等离子双束扫描电镜

CIF扫描电镜等离子清洗机CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计，并可自动切换，一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。产品特点u 双等离子清洗源u 一机多用u 高效低损伤技术参数产品型号CIF-SEM法兰接口KF40工作气压0.3-3Pa等离子电源13.56MHz射频电源，射频功率5-100W可调，自动匹配器气体控制标配双路50毫升/分气体质量流量控制器（MFC），精确测量自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响气源选择根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择真空控制美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计， 测量范围1E-5Torr真空保证真空计和电磁阀安全互锁操控方式7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面电源/功率220V，50/60Hz，300W可选配件可选氧气、氮气、氢气发生器， 氢气纯度﹥99.999％，输出流量0-300ml/min 质量保证二年质保，终身维护创新点：CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用双等离子清洗源设计，自动切换，一机多用，清洗快速高效、低等离子体轰击损伤，核心部件采用国际一流品牌，保证设备优异的质量和稳定性。CIF扫描电镜等离子清洗机

4月29日，南京大学公开招标购买1套聚焦离子束扫描电镜双束系统，预算400万元。　　项目编号：0667-211JIBEP6018　　项目名称：聚焦离子束扫描电镜双束系统　　预算金额：400.0000000 万元(人民币)　　采购需求：　　聚焦离子束扫描电镜双束系统 1套　　简要技术要求：扫描电子显微镜5-15kv分辨率1.8nm　　合同履行期限：交货期：合同签订后三个月内　　本项目( 不接受 )联合体投标。　　开标时间：2021年05月21日 14点30分(北京时间)

9月2日，中国科学院广州地球化学研究所公开招标购买1套聚焦离子电子双束场发射扫描电镜系统，预算750万元。　　项目编号：OITC-G210351290　　项目名称：中国科学院广州地球化学研究所聚焦离子电子双束场发射扫描电镜系统采购项目　　预算金额：750.0000000 万元(人民币)　　最高限价(如有)：700.0000000 万元(人民币)　　采购需求：包号货物名称数量是否允许采购进口产品采购预算(人民币）最高限价(人民币）1聚焦离子电子双束场发射扫描电镜系统1套是750万元700万元　　合同履行期限：合同签订后的6个月内交货　　本项目( 不接受 )联合体投标。　　开标时间：2021年09月23日 14点30分(北京时间)1290项目需求.docx

仪器信息网讯 2024年5月18-19日，2024清华大学国家卓越工程师学院春季工程博士论坛在北京亦庄举办。论坛围绕“先进装备”“大健康”“未来建设”“工业软件”“集成电路”“新能源”“综合交通”“大数据AI”“智能制造”九大产业集群要素开展主题沙龙。本次论坛作为又一次盛大的学术交流活动，现场展出了诸多优秀创新成果，仪器设备相关成果也位于其中，如“应用于集成电路制造的12英寸电感耦合等离子体刻蚀机和硅通孔（TSV）铜籽晶层物理气相成绩（PVD）设备”、“单束高通量扫描电镜及其跨尺度材料观测分析”。成果一：等离子体刻蚀机和硅通孔（TSV）铜籽晶层物理气相成绩（PVD）设备一、主要工程技术难点和创新性1、等离子体刻蚀机：先进脉冲射频脉冲等离子体产生和控制技术，实现多种等离子体参数的调控 先进的抗等离子体刻蚀的涂层技术实现纳米级别的颗粒环境调控，复合径向和角向联合小区域精确控温技术实现优异的整片关键尺寸均匀性，高精度终点检测技术(如光学发射光谱和光学相干光谱)识别精细刻蚀工艺过程中信号强度变化 双重/四重图形曝光工艺能力实现小线宽的图形控制等技术。2、TSV铜籽晶层物理气相沉积设备：高离化率磁控管技术、带有偏压的低温ESC技术 实现高深宽比下高台阶覆盖率沉积 实现优异的颗粒控制 二、工程应用价值和成熟程度目前研发的等离子刻蚀机，通过实现优异的双重/多重图形曝光、高介电常数介质/金属栅等刻蚀工艺形貌控制，适用于鳍式晶体管、多层3D NAND 闪存高密度DRAM内存等先进结构生成，广泛应用于国际主流逻辑、存储等芯片制造生产。TSV铜籽晶层物理气相沉积设备，已经广泛应用于逻辑，存储和先进封装芯片领域，能够实现较高深宽比的硅通孔铜籽晶层沉积，该设备已在多家客户端实现量产应用，代表国产金属薄膜沉积设备的较高水平。成果二：“单束高通量扫描电镜及其跨尺度材料观测分析”创新性的设计单束扫描电镜的电子光学系统：1、采用浸没式的电磁复合透镜保证1nA的落点电流下实现1.8nm@1keV的分辨率。2、采用位于透镜中的背散射(BSE)和二次电子(SE)探测器提高信号电子收集效率和图像信噪比，实现最短10nS/像素的驻留时间，即实现100M像素/秒的成像速度。工程博士论坛每年春季学期和秋季学期各举办一次，旨在加强工程领域的学术交流，激发工程博士生的创新思维，提高工程博士生解决复杂工程技术问题、进行工程技术创新、组织工程技术研究开发工作等能力，促进跨界交叉融合创新，不断扩大工程博士生在工程界、学术界和社会上的影响，推进产教融合，高起点、高质量地培养造就工程技术领军人才。工程博士论坛自2019年创办至今，已先后在北京、南通、深圳、成都、海盐、武汉、上海成功举办9届，经过几年不断地建设和发展，论坛活动成效和影响力不断扩大，逐渐打造成彰显清华特色的学术品牌。工程博士论坛网站：http://qhgbforum.ihaogo.com/index.htmlfor

2024年6月25-28日，仪器信息网(www.instrument.com.cn) 与中国电子显微镜学会（对外）（www.china-em.cn）将联合主办“第十届电子显微学网络会议(iCEM 2024)”。会议结合目前电子显微学主要仪器技术及应用热点，邀请业界知名电子显微学专家、电子显微学仪器技术专家、电子显微学应用专家等，重点邀请近来有重要工作成果进展的优秀青年学者代表线上分享精彩报告。iCEM 2024恰逢电子显微学网络会议创立十周年，会议专场将增设“十周年”主题内容，围绕过去十年我国电子显微学重要进展、未来展望等进行分享。第十届电子显微学网络会议(iCEM 2024)将设置八个分会场：1) 原位/环境电子显微学与应用；2）先进电子显微学与应用；3）扫描电镜/聚焦离子束显微镜技术与应用；4）电子能量损失谱/电镜光谱分析技术；5）低温电子显微学与应用；6）生物医学电镜技术与应用；7）电镜实验操作技术及经验分享；8）电镜开放共享平台及自主保障体系建设。诚邀业界人士线上报名参会。主办单位：仪器信息网，中国电子显微镜学会（对外）参会方式：本次会议免费参会，参会报名请点击会议官网：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/iCEM2024/或扫描二维码报名“扫描电镜/聚焦离子束显微镜技术与应用”专场预告（注：最终日程以会议官网为准）专场三：扫描电镜/聚焦离子束显微镜技术与应用（6月26日上午）专场主持暨召集人：王晋 浙江大学材料学院高温合金研究所 副研究员 报告时间报告题目演讲嘉宾8:30-9:00【十周年主题报告】：纳米分辨可视化方法在变形高温合金热制造中的应用研究王晋（浙江大学材料学院高温合金研究所 副研究员）9:00-9:30赛默飞双束电镜在生命科学研究的应用介绍及选型推荐程路（赛默飞世尔科技 电镜业务拓展经理）9:30-10:00钛合金双相组织变形机制的原位SEM/EBSD研究王柯（重庆大学 教授）10:00-10:30TESCAN 电镜在材料领域的最新应用李景（泰思肯（中国）有限公司 资深应用工程师）10:30-11:00新品发布：飞纳台式扫描电镜的技术突破及全新智能型离子研磨制样平台介绍张传杰（复纳科学仪器（上海）有限公司 产品、应用专家）11:00-11:30ECCI结合HR-EBSD研究增材制造金属结构材料变形机理及稳定性研究安大勇（上海交通大学 助理教授）11:30-12:00锂电池材料表界面改性与工况条件下失效机制的原位扫描电镜研究程晓鹏（北京工业大学 助理研究员）嘉宾简介及报告摘要（按分享顺序）专场主持暨召集人：王晋 浙江大学材料学院高温合金研究所 副研究员【个人简介】主要从事电子显微镜原位测试表征仪器的开发、高温合金材料微观结构与力学性能、变形断裂机理等研究,并致力于国内自主科学仪器的转化与应用。先后参与国家自然科学基金委科学仪器设备专项，科技部国家重大科学仪器设备开发专项，国家863计划重大项目，国家自然科学基金基础科学中心项目等。在国内外SCI期刊发表论文22余篇，授权国家专利20余项，完成发明专利职务科技成果转化3项。报告题目：纳米分辨可视化方法在变形高温合金热制造中的应用研究【摘要】热锻造、热处理是金属材料加工制造领域的传统基础工艺，但是由于金属材料加工工艺烦琐，精确过程控制难度大等问题，目前我国高端金属热加工工艺优化和过程精确控制的智能化基础理论与关键工艺技术研究开发显著落后。我国制造业面临严峻挑战，只有深入发展智能化设计和加工制造基础理论与关键工艺技术，并借力于自主开发新的热加工工艺设计与表征方法，才能更为高效、经济、全面的一体化研究该合金热锻造工艺-微观组织-锻造工艺性能之间关系，缩短合金性能优化研制时间，降低研发成本，提高生产合格率，解决热加工制造领域的共性难题。程路 赛默飞世尔科技 电镜业务拓展经理【个人简介】硕士毕业于北京科技大学之后进入电镜行业，曾多次前往日本、奥地利和德国学习电镜操作和电镜制样技术，从事电镜和电镜制样应用工程师工作超过15年时间，积累了丰富的电镜应用技术经验。2022年入职赛默飞生物电镜部门，现负责赛默飞双束电镜、常温透射电镜和扫描电镜在生物应用领域的售前技术支持和业务拓展。报告题目：赛默飞双束电镜在生命科学研究的应用介绍及选型推荐【摘要】双束电镜结合了聚焦离子束（FIB/PFIB）的精确样品修饰和扫描电镜（SEM）的高分辨率成像功能，广泛应用于获取生物样品的超微结构，包括拍摄常温2D图像、获取高分辨率体电子显微3D图像，和为CryoET制备Lamella等，其分析尺度范围可以从亚纳米级到毫米级。报告将从介绍多种类型的生物样品应用案例出发，结合丰富类型的赛默飞双束电镜，推荐对应的最适合型号。王柯 重庆大学 教授【个人简介】王柯，博士，重庆大学教授，博士生导师，长期从事钛合金热加工工艺与组织性能调控研究，重点关注钛合金高温变形和热处理一体化工艺设计、组织遗传性机制、组织性能关系、强韧性协同优化调控技术等。主讲课程包括：《材料力学性能》、《材料热力学与动力学》、《轻质耐高温航空结构材料：钛合金》等。主持国家自然科学基金面上/青年项目，重点研发计划项目子课题、企业横向等项目10余项，以第一/通讯作者发表学术论文 50 余篇，授权发明专利 6 项。参编《锻压手册》第四版高温合金部分。2022年获评重庆市创新创业导师。获陕西省自然科学一等奖1项。报告题目：钛合金双相组织变形机制的原位SEM/EBSD研究【摘要】对于大多数近α和α+β钛合金，滑移是主要的变形机制。本报告主要汇报内容包括：（1）α相和β相之间滑移启动的先后顺序；（2）微观组织对滑移启动和传递、以及裂纹形核的影响；（3）基于微观变形机制分析了组织对力学性能的影响机制；（4）基于组织性能关系研究，研制出一种多尺度组织，实现了钛合金强塑性协同提升。李景 泰思肯（中国）有限公司 应用工程师【个人简介】李景是TESCAN中国公司的高级应用工程师、首席应用专家，2015年毕业于北京科技大学材料科学与工程专业。她长期专注于扫描电镜在材料领域的研究，并且具有丰富的扫描电镜、FIB-SEM双束电镜及相关联用仪器（TOF-SIMS、Raman、EBL等）的操作与应用经验。李景在TESCAN公司中，不仅专注于技术研究，多年来持续参与各种学术交流和培训活动，包括但不限于客户研究项目技术支持、电镜会议分享、高级应用培训讲座等，获得客户的一致好评与感谢。报告题目：TESCAN 电镜在材料领域的最新应用【摘要】随着科研的深入及学科的交叉，常规扫描电镜系统无法满足科研工作者日益增高的分析需求。借助其它分析系统所得的数据，和电镜系统的数据往往非同时同位。TESCAN提出了All-In-One的综合解决方案，在常规的FIB-SEM系统上，增加Raman Spectrum Image以及TOF-SIMS和AFM等多种表征系统，可以极大的提升扫描电镜系统的原位综合分析能力，做到所见即所得。张传杰 复纳科学仪器（上海）有限公司 产品、应用专家【个人简介】飞纳电镜应用专家，长期从事扫描电镜应用拓展，自动化开发等相关工作，相关发明专利授权4篇，参与《2021年度国家药品标准制修订研究课题 2021Y05》，参会与起草《2025 中国药典 -- 扫描电子显微镜法通则》。报告题目：新品发布：飞纳台式扫描电镜的技术突破及全新智能型离子研磨制样平台介绍【摘要】飞纳电镜焕新赋能中国科研。全新发布台式场发射扫描透射一体机—Pharos STEM，扫透模式下分辨率突破 1 nm。 发布 Maps 3 全新软件平台，支持自动化多尺度成像及拼接，关联能谱分析及拼接以及尺度和多模态关联表征功能。发布 Phase Mapping 相分布软件。并将发布TechnoorgLinda 全新智能型离子研磨制样设备！敬请期待！安大勇 上海交通大学 助理教授【个人简介】安大勇，2019年毕业于德国亚琛工业大学/德国马普钢铁所，研究方向聚焦于金属结构材料微观变形机理研究。主持NSFC青年基金、重庆市自然基金等项目10余项，作为骨干参加173项目、国家重点研发计划项目、NSFC航空发动机重点项目、GF基础科研计划项目等7项，获第九届中国科协青年人才托举计划；揭示了增材制造奥氏体不锈钢胞状结构中周期性位错偶极子是其强韧性的关键因素，发现了位错类型决定胞状结构的热稳定性。提出了热力耦合渐进成形工艺，成功制备出晶粒-位错反向梯度高性能复杂薄壁构件，研究成果以第一和通讯作者在Int J Plast、 J Mater Sci Tech、 Mater Res Lett、Mater Charact、J Mater Proc Tech等期刊发表论文10篇，应邀撰写MRS Bulletin综述1篇，发明专利受理10项；报告题目：ECCI结合HR-EBSD研究增材制造金属结构材料变形机理及稳定性研究【摘要】金属增材制造奥氏体不锈钢中常具有亚微米级的胞状结构，该结构中包含高密度位错胞、纳米析出相和元素偏析等，显著影响着材料的机械性能。研究发现，不同胞状结构中的位错的热稳定性不同。本论文利用先进表征技术，对激光粉床熔融技术打印的奥氏体不锈钢胞状结构热稳定性进行了系统性研究，并揭示影响热稳定性的内在机理。程晓鹏 北京工业大学 助理研究员【个人简介】程晓鹏，北京工业大学助理研究员，硕士生导师。2021年博士毕业于北京工业大学材料与制造学部并留校从事教学科研工作，获北京市优秀毕业生。主要从事原位电子显微学表征方法及技术开发、原子层沉积技术与应用、能源材料与先进金属材料微观结构与性能等研究。主持国家自然科学基金青年项目、北京市教委科技项目、中国博士后基金等多个项目，授权国家专利5项，目前在Nature Energy，ACS Energy Letters，Nano Letters，Corrosion Science等发表学术论文30余篇，他引2000多次，担任Journal of Energy Chemistry等多个期刊审稿人。报告题目：锂电池材料表界面改性与工况条件下失效机制的原位扫描电镜研究【摘要】原位扫描电子显微镜（in-situ SEM）拥有较大的内部腔室，可容纳更接近实际的原位电池系统，同时具有足够高的分辨率，能够在实际工作状态下表征电池材料的结构演化机制，进而提出性能优化策略。本报告将介绍利用原位扫描电镜揭示锂电池材料在工况循环过程中的微结构演变机制，以及原子层沉积技术在电池材料表界面改性中的应用研究进展。会议联系1. 会议内容仪器信息网杨编辑：15311451191，yanglz@instrument.com.cn中国电子显微镜学会（对外）汪老师：13637966635，cems_djw @163.com2. 会议赞助刘经理，15718850776，liuyw@instrument.com.cn

TESCAN 全球第3000台扫描电镜 — TESCAN AMBER X 氙气等离子双束 FIB 已在德国弗莱堡大学（University of Freiburg）完成了安装调试。TESCAN AMBER X 是 TESCAN 公司近年来最新推出的第四代电镜中的一员，它完美地结合了超高分辨 SEM 和等离子 FIB，用于样品表面成像以及刻蚀加工等。 这台 TESCAN AMBER X 安装在弗莱堡大学的微系统工程系（IMTEK），近期实验室为新设备举办了技术讲座，除了扫描电镜的演示之外，还介绍了这款设备即将发挥重要作用的两个研究项目。第一个研究项目是弗莱堡大学正在研发的先进神经反馈义肢，将在假肢上集成有“感觉”的反馈系统来实现缺失的神经系统的功能，患者使用这种特殊的义肢接触物体后，就产生“触感”，例如可以感知到物体的表面信息和硬度等。另一个研究项目是燃料电池，最终目的在于能够发现新的解决方案。TESCAN 德国子公司的 Sven Gosda 总经理表示：“ TESCAN AMBER X 已经被证明广泛适用于各类科研。对于我们的电镜能为这两个宏伟的科研项目提供帮助，我完全无法抑制内心的喜悦。”去年，位于布尔诺的 TESCAN 工厂生产了近300台电镜，其中绝大部分出口到全球各大城市。TESCAN 全球营销总监 Maro? Karabino? 表示：“TESCAN 是全球著名的电子显微镜和聚焦离子束供应商，我们非常高兴看到这台对 TESCAN 具有重大纪念价值的电镜能够在德国安装，我们一向重视德国市场并有长期发展的计划。” 这也不是弗莱堡大学第一次选择 TESCAN 的产品，自2016年开始 TESCAN 第三代扫描电镜就已经是弗莱堡大学实验室设备中的一员。TESCAN 公司在德国一直有着良好的口碑。为了能够给客户提供更优质的服务，TESCAN 公司在2018年正式收购了原德国经销商 EOElektronen-Optik-Service GmbH ，成立 TESCAN 的德国子公司 TESCAN GmbH。关于扫描电镜扫描电子显微镜不仅可以用于样品观察，还可以使用聚焦离子束（FIB）实现精确地定位切削和沉积加工，是微纳尺度加工和制样必不可少的工具。TESCAN 是全球首家将等离子 FIB 集成到扫描电子显微镜（SEM）中的制造商，并于去年底推出了新一代的 TESCAN AMBER X 和 TESCAN SOLARIS X。其中 TESCAN AMBER X 完美地结合了可用于样品精确加工的氙等离子体 FIB 和无漏磁的超高分辨成像的 SEM，适合于各类材料的显微结构表征。氙等离子体 FIB 与传统的金属镓离子的 FIB 相比，在小束斑的大离子束流上具有明显的优势。因此，TESCAN AMBER X 可以用更快的速度完成样品切削工作，并且仍然能完成精细加工和抛光，并实现15 nm的高分辨率成像。弗赖堡的阿尔伯特路德维希大学 (Albert Ludwig University of Freiburg) 是首批尝试使用这种新技术的机构之一。关于 TESCAN 公司TESCAN 公司位于欧洲电子光学研发和制造基地捷克布尔诺市，主要研发和生产扫描电子显微镜。公司成立于1991年，由原世界电子光学设备制造的领航者 TESLA 的研发人员和售后工程师创建。TESCAN 于1996年推出了首台仪器 PROXIMA，并凭借该系列产品跻身世界知名设备供应商之列。2013年，TESCAN 与法国公司 ORSAY PHYSICS 组建控股公司 TESCAN ORSAY HOLDING，在全球范围内进行扩张并建立多家子公司，公司总部、生产和研发部门仍然位于布尔诺-科胡图维斯。每一台 TESCAN 扫描电镜都在布尔诺生产，其中大约95％会运往全球各地。TESCAN 的主要客户包括大学，研究中心以及各个行业的工业企业和生产企业。TESCAN ORSAYHOLDING 拥有600多名员工，各类电镜的年产量约为300台，每年的营业额达到20亿捷克克朗。 2018年，TESCAN 收购了 X射线 CT 领域著名的制造商 XRE NV 公司，开始生产商业化可用于大尺寸样品三维、四维原位动态分析的 XCT 设备，可研究各种样品在真实环境（原位）下的材料演变，为科学研究及工业应用提供成熟的亚微米尺度分析解决方案。我们的 XCT 客户快速增长，截止2019年底，全球已有近20家科研院所和知名企业和 TESCAN 达成了合作协议并采购了 XCT，包括华威大学、鲁汶大学、CWI 研究所、美国国家能源技术实验室、加拿大国家研究院、沙特阿拉伯国王科技大学和 P&G 等高端科研和工业用户。TESCAN 公司不会停下前进的步伐，我们将致力于为更多的客户提供有价值的综合解决方案，以更好的产品质量以及应用售后团队服务于全球客户！

S8000系列产品目前包括S8000型超高分辨场发射扫描电镜（FE-SEM）和S8000G型镓离子聚焦离子束双束扫描电镜（FIB-SEM），是TESCAN扫描电子显微镜系列产品中的全新家族，集成了多项创新设计，尤其是在高分辨能力、原位应用扩展能力和分析扩展能力达到了业内顶级水平。2017年11月22-24日，2017年第八届中国FIB技术及学术交流研讨会在甘肃省兰州市兰州大学隆重召开，会议期间，TESCAN发布了最新系列扫描电镜产品S8000。今年8月和10月，TESCAN聚焦离子束双束扫描电镜（FIB-SEM）新品S8000G已分别在美国M&M展会以及北京BCEIA展会上发布，此次是S8000系列扫描电镜在国内首次发布。2017年FIB大会由兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室，兰州大学物理科学与技术学院，兰州大学电镜中心和西安开普纳信息科技有限责任公司联合承办，会议邀请了国内外相关领域的知名科学家、研究者和工程师以及FIB设备厂商就FIB基础、技术和在材料科学、生命科学、物理学、化学化工、环境科学、地学等领域中的基础研究和应用研究等最新进展进行了深度交流。2017中国FIB技术交流会现场聚焦离子束（Focused ion beam, FIB）凭借其独特的微纳尺度加工制造能力和优势，已成为多领域科技工作者不可或缺的工具之一。近年来FIB系统在我国的安装数量逐年攀升，从事FIB的科技人员也逐年增加。作为全球电子显微镜及聚焦离子束系统领域的技术领导者和开拓者，TESCAN受邀参加了此次会议，并正式发布TESCAN最新系列的扫描电镜新品S8000。全新一代的S8000系列电子显微镜产品是软硬件全新设计的新一代扫描电镜，使用了全新开发的电子和离子光学镜筒并配备了最新的多种探测器以及多项创新技术，电子枪、离子枪的性能都有了很大提升。最新一代的SmartMill高速切割技术、OptiGIS™ 气体注入系统、新一代的Essence™ 操作软件都使得S8000系列扫描电镜产品不仅拥有世界顶级的创新性技术，在操作体验上了也带给了使用者更舒适、便捷、高效的体验。TESCAN全新设计的S8000系列扫描电镜S8000系列产品目前包括S8000型超高分辨场发射扫描电镜（FE-SEM）和S8000G型镓离子聚焦离子束双束扫描电镜（FIB-SEM），是TESCAN扫描电子显微镜系列产品中的全新家族，集成了多项创新设计，尤其是在高分辨能力、原位应用扩展能力和分析扩展能力达到了业内顶级水平。TESCAN FIB应用专家马瑞博士介绍到，S8000系列本身是一个强大的微观分析工具，结合TESCAN产品“All In One 综合显微分析平台”的强大拓展能力，可以配置TESCAN自有或第三方的多种扩展分析附件，并可独家实现TESCAN系列产品与Raman、TOF-SIMS的一体化，S8000系列产品已经成为业内最具竞争力的产品之一！TESCAN应用专家马瑞博士向与会专家介绍S8000新品S8000系列新一代扫描电镜主要特点：新一代镜筒内电子加速、减速技术，保证了复杂样品的低电压高分辨观测能力首次配置的静电-电磁复合物镜，物镜无磁场外泄，实现磁性样品高分辨成像及分析配置4个新一代探测器，可实现9种图像观测，对样品信息的采集更加全面配置大型样品室，有超过20个扩展接口，为原位观测、分析创造了良好的工作环境可以配置TESCAN自有或第三方的多种扩展分析附件，如EDS、EBSD、CL、EBL并独家实现与Raman联用会议结束之后，参会代表们参观了兰州大学电子显微镜中心，了解了电镜中心的先进设备。兰州大学电子显微镜中心安装有一台TESCAN镓离子源双束FIB系统LYRA3，这是兰州大学电镜中心安装的唯一一台双束扫描电镜系统，为中心实验室的研究课题提供了大量非常漂亮优秀的结果。兰州大学电镜中心老师向参会代表介绍电镜中心设备关于TESCANTESCAN发源于全球最大的电镜制造基地-捷克Brno，是电子显微镜及聚焦离子束系统领域全球知名的跨国公司，有超过60年的电子显微镜研发和制造历史，是扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用技术、聚焦离子束与飞行时间质谱仪联用技术以及氙等离子聚焦离子束技术的开拓者，也是行业领域的技术领导者。

p　　仪器信息网讯 2017年 8月，TESCAN在美国举办的M& M2017展会上推出第四代扫描电镜产品，S8000G超高分辨聚焦离子束和扫描电子束双束电镜系统。据悉，S8000G搭载了TESCAN最新研发的多项创新技术，可以提供无与伦比的图像质量、可完成复杂的纳米操作并保证极佳的精度和操作灵活性，能够满足现今工业研发和学术研究的所有需求。br//pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201710/insimg/f29ca29a-4509-496c-ab57-91e8466db05d.jpg" title="S8000G-泰思肯.jpg" width="440" height="310" style="width: 440px height: 310px "//pp style="text-align: center "S8000G超高分辨双束扫描电镜系统/pp　　借BCEIA2017召开之际，仪器信息网编辑采访了TESCAN(中国)总经理冯骏，对S8000G超高分辨聚焦离子束和扫描电子束双束扫描电镜系统(以下简称：S8000G)的技术特点，面对的用户以及扫描电镜市场发展趋势等问题进行了详细了解。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201710/insimg/fefdc5a9-346e-4379-bd55-16a683d796d9.jpg" title="冯骏.jpg"//pp style="text-align: center "TESCAN(中国)总经理 冯骏/pp　　据冯骏介绍，与此前TESCAN推出的前三代扫描电镜相比，S8000G非简单升级，而是有了质的飞跃，主要体现在电子枪、离子枪以及软件系统的全新设计上。S8000G的电子枪采用全新的BrightBeam™ SEM镜筒，专利的70° 静电-电磁物镜，使系统拥有更加出色的低电压分辨率，并且无漏磁物镜可以最大化的实现各种分析，包括磁性样品的分析等 S8000G的离子枪采用最新压电陶瓷移动控制的全自动光阑，离子束流从此前的50、60nA提升至100nA，束流更强，加工性能更好 软件系统提升了原有电子枪、离子枪控制的一体化功能，通过同一个显示屏和集成度更好的系统软件实现更优的一体化控制。/pp　　TESCAN以生产扫描电镜为主，产品线基本涵盖了高、中、低档。目前，传统钨灯丝电镜在中国电镜市场上获得一定的认可并取得一定的市场占有率，属于TESCAN的传统优势产品 场发射电镜、FIB(聚焦等离子束和扫描电子束双束扫描电镜)等高端产品的销量也呈增长态势，并且高端产品属于TESCAN近期大力拓展的产品线，帮助TESCAN提升企业形象，打造公司品牌。/pp　　对于近年来电镜技术的发展，“电镜技术发展在分辨率上的提升已经不太明显，真正的发展主要在功能扩展上。”冯骏讲到。就目前技术的发展，扫描电镜分辨率提升空间愈来愈有限，原位电镜、冷冻电镜以及联用技术逐渐成为用户关注的重点。冯骏认为，电镜联用技术是一种搭配其他分析手段，以更全面表征分析样品的技术。传统电镜属于孤立技术，用于形貌观测，研究人员为获得特殊环境或状态下的形貌，已经不满足于现有技术，因此联用技术的出现成为电镜技术发展的方向之一，如与光镜联用、在电镜基础上增加原位加热、力学性能测试等，新技术发展最有代表性的即是获得本年度诺贝尔奖的冷冻电镜技术。/pp　　目前，TESCAN的联用技术主要有两个。/pp　　其一，拉曼与扫描电镜联用，此项技术由TESCAN最先推出。该技术通过与拉曼技术联用，获得分析结果除常规扫描电镜的形貌观测和拉曼光谱分析的成分结构分析之外，还可准确表征样品微区(几百纳米到微米)的形貌和成分结构的相关关系，目前包括上海交大，中国地质大学(武汉)，国家核安保中心，石油勘探研究院等用户购买。/pp　　其二，FIB与TOF-SIMS(飞行时间质谱仪)联用。该技术完全不同于传统能谱仪的成分分析功能，主要特点有可准确分析轻元素(H-B)，检出样品中的痕量元素(PPM级)，以及纳米级别的成分分析的空间分辨率等独特优势。目前，在中国市场已经有包括上海交大，南京航空航天大学，核工业地质研究院等多个用户。/pp　　对于TESCAN面临的市场机遇，冯骏认为，近两年，扫描电镜整体市场需求趋向于应用扩展，如冷冻、原位和联用，主要是因为科研分析对象越来越复杂。就中国市场而言，政府对前沿科研支持力度巨大，从事高端研究的用户对电镜的需求越来越多。未来两年，联用电镜、冷冻电镜、球差电镜等高端电镜将迎来黄金时期。但传统以形貌观测和简单成分分析为使用目的的中低端电镜市场的发展则取决于工业的发展。/ppbr//p

10月25日，仪器信息网将携手屹东光学技术（苏州）有限公司共同举办“屹光新启 显耀未来”主题研讨会暨屹东光学产品发布会。此次会议将聚焦于扫描电镜在生物和新能源领域的应用，届时屹东光学将推出全新的场发射扫描电镜产品。敬请期待！大会介绍扫描电子显微镜是材料分析和研究的重要工具，其利用聚焦到纳米尺度的电子束在样品表面扫描，通过收集电子束和样品发生相互作用后产生的信号来成像，可揭示样品的微观形貌和成分信息，是现代科研开发、生产制造过程中不可或缺的重要仪器装备，广泛应用于半导体、生物制药、能源地矿、化工材料、生物医学、微电子等各个领域。屹东光学技术（苏州）有限公司团队成员深耕带电粒子光学领域多年，设计开发了多款高性能的电子显微镜产品。本次发布会屹东光学将推出全新的场发射扫描电镜产品，其优异的电子光学系统，不仅为用户提供了高分辨的成像能力，模块化设计使得电镜本身具有良好的扩展性；从“用户角度出发设计的用户界面”把“用户友好型操作”落到了实处，流畅的软件界面极大地提升了电镜操作效率。本次发布会上，我们也将推出射频等离子清洗设备、连续型表面亲水化处理系统等几款电镜相关的制样设备，助力客户获得更好的电镜使用体验。本次发布会也邀请了生物和新能源研究领域的知名专家，介绍其运用扫描电镜在相关领域做出的杰出研究成果。主办单位屹东光学技术（苏州）有限公司仪器信息网活动时间10月25日 10:00-12:00活动报名点击会议官网报名，或扫码以下二维码报名https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/yidon231025/会议日程10月25日 屹光新启 显耀未来——屹东产品线上发布会10:0010:05发布会开场主持人10:0510:15屹东光学介绍尉东光屹东光学技术(苏州)有限公司 总经理/研究员10:1510:50屹东光学扫描电镜和附件折别介绍刘宁屹东光学技术(苏州)有限公司 产品市场部总监10:5011:20通向小鼠全脑的全细胞连接图谱张若冰中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 研究员11:2011:50SEM平台多技术联用探索介尺度电池科学问题李林森上海交通大学 电化学工程与技术研究所/长聘教轨副教授11:5011:55抽奖主持人11:5512:00发布会结束主持人演讲嘉宾尉东光 总经理/研究员屹东光学技术（苏州）有限公司【嘉宾简介】尉东光博士长期从事带电粒子（电子/离子）光学技术与电子显微学的教学、研究与技术开发工作，曾长期任职于美国新泽西理工学院、哈佛大学等知名电镜中心；2020年回国工作之前，一直在世界知名电镜企业，德国卡尔蔡司（美国）公司任职，历任透射电镜产品经理、北美应用技术部主任和离子显微技术创新中心高级研究员等职。2020年加入中国科学院苏州医工所开展电子显微镜技术的研发工作，任研究员。2022年创立屹东光学技术（苏州）有限公司，任董事长/总经理。发表学术论文40余篇，其中包括CELL、NATURE Nanotechnology、NATURE Materials等高影响因子期刊10余篇。【报告】屹东光学介绍【摘要】带电粒子光学技术（通称电镜技术）支撑着一大批现代科研开发、生产制造过程中不可或缺的大型科学仪器装备，如电子显微镜、离子显微镜、能谱仪、质谱仪、电子束曝光机、工业测量、半导体检测与刻蚀加工设备等，是一类共性关键技术。 我国在这一领域与世界先进水平还有较大的差距，制约了我国自主科研开发创新与支撑企业产业升级的能力。对从事这一领域的工程技术人员来说，这既是一种压力，也是一个难得的机会。基于此，一群志同道合的工程师和技术专家创立了屹东光学，希望通过我们共同的努力，为我国带电粒子光学技术及装备领域添砖加瓦，在探索中国科研仪器制造的成功之路上贡献一份力量。刘宁 产品市场部总监屹东光学技术（苏州）有限公司【嘉宾简介】刘宁，屹东光学技术（苏州）有限公司产品市场部总监。长期从事带电粒子显微镜的应用开发和拓展工作，熟知各类扫描电子显微镜，聚焦镓离子束显微镜和扫描电镜双束系统，氦氖镓多束离子显微镜的原理和应用。加入屹东光学之前在国际知名电镜企业工作多年，先后担任应用工程师，应用专家和应用主管的职务，积累了丰富的电镜行业相关经验。【报告】屹东光学扫描电镜和附件设备介绍【摘要】屹东光学技术（苏州）有限公司场发射扫描电镜产品“YF-1801”的详细介绍，包括技术特点，应用方向，软件模块，拓展能力，使用便利性等。同时还将介绍在线等离子清洗机，亲水化仪，多功能电镜样品清洗机，微气体注入系统等几款附件设备。张若冰 研究员中国科学院苏州生物医学工程技术研究所【嘉宾简介】张若冰博士，中国科学院苏州生物医学工程技术研究所研究员，博士生导师。入选中科院“百人计划”、院基础原创类特聘研究岗位、院稳定支持基础研究领域青年团队，和江苏省双创领军团队。致力于神经连接组学（Connectomics）方向，发展并应用电子与光学高通量连续断层显微成像、大规模图像自动化分割与标注、神经连接图谱和神经环路分析与建模等方法，重建并解析动物三维脑图谱，研究脑神经网络的底层连接模式和规律，以揭示自然智能的结构基础与工作方式，并探索神经系统疾病超微病理、脑肿瘤微结构与微环境等。发表SCI、EI论文多篇，包括ACS Photonics、ACS Nano、Nano Letters、Optics Express、Angewandte Chemie、 Frontiers in Neuroinformatics 等领域一流期刊，申请发明专利4项，授权2项。【报告】通向小鼠全脑的全细胞连接图谱【摘要】 连续断层扫描电子显微成像 (serial sectioning SEM) 是最近十年发展起来的纳米级分辨率三维成像技术。辅以深度学习大规模图像分割，它能够重建大体积脑神经组织的微观突触连接图谱。多电子束扫描电镜的出现更大大提高了连续电镜的成像速度，使更大体积脑组织的成像重建成为可能。然而，从时间、成本和数据量而言，电镜成像重建与哺乳动物全脑图谱之间仍存在难以逾越的鸿沟。我们提出一种能与电镜兼容的光学方法，光学多层干涉断层成像 (OMLIT)技术。其衔接连续扫描电镜成像，可以用于获取包含所有神经元的介观-微观融合脑图谱。同时致力于发展和应用等离子减薄技术与连续电镜成像的结合，开发新的大体积电镜三维脑成像路线。在这里，我们将介绍上述几种技术，并结合讨论一些相关方法，展示它们如何用于重建庞大复杂的脑神经网络，提出迈向重建小鼠全脑全细胞完整结构连接图谱的可行路线图。李林森 电化学工程与技术研究所/长聘教轨副教授上海交通大学【嘉宾简介】李林森，上海交通大学化学化工学院特别研究员，博士生导师。入选国家海外高层次人才计划（2017年），上海市青年科技启明星（2020年）。2010年获复旦大学理学学士学位，2015年获美国威斯康辛大学麦迪逊分校化学博士学位，2015年2017年在美国麻省理工学院材料科学与工程系从事博士后研究，2017年9月加入上海交通大学。长期从事先进电池材料与表征技术研究，在电池正极材料的设计制备和结构调控、电子显微与谱学联用技术、钠离子电池等研究方面取得了多项创新成果，已在Nature Commun.，Chem, J. Am. Chem. Soc, PNAS，National Science Review等期刊发表论文70余篇。申请美国专利3项（授权2项），中国专利13项（授权5项）。已承担和参与了多项国家、省部级、及企业合作项目。【报告】SEM平台多技术联用探索介尺度电池科学问题【摘要】锂离子电池已经在消费电子、电动汽车、电化学储能等领域大规模应用并且不断地在开拓新的应用场景。这些应用场景对电池的性能、安全性、成本等关键指标不断提出新的需求。电池技术的进一步发展需要学术界和工业界的密切合作。当前与电池相关的科学研究很多是集中在单个电池颗粒、晶体结构、或者关健界面（例如电极材料-电解液界面，SEI）及其演变机制，涉及的空间尺度在亚微米到皮米范围；另一方面，工业界的研究以应用为导向，在器件的层次（厘米到米）的层次关注性能、稳定性、与安全性。衔接两类研究的关键是在二者之间的“介尺度”，即电极层次（数十微米级别）理解多颗粒的反应和失效均匀性问题。例如，当电池的容量衰减到初始容量的80%的时候，活性材料颗粒的结构或者界面破坏是否均匀？如果不均匀，那些被破坏的更多的颗粒在电极中什么位置？为什么？回答这些问题的第一步是寻找或建立合适的表征分析技术和实验方法。在本报告中，我们将介绍在扫描电子显微镜平台中，联合使用SEM、Raman、TOF-SIMS等技术，同时获得Ah级别电池的电极中颗粒的形貌（裂纹）、结构、和Li浓度等关键信息，并对电池材料失效的空间不均匀性及其原因进行讨论。

质谱主要发展方向—小型化和质谱成像技术人类很早以前就对物质产生兴趣，我们很想知道物质的结构、成分、特点是怎样的，只要仔细观察一下周围的世界，我们就会发现自然界存在着复杂繁多的物质，而物质都在发生着变化，那物质是否是由少数元素构成的？构成物质的微粒是什么？这些构成物质的微粒是如何组成物质的？物质的结构与物质的性质之间存在什么样的关系？物质发生变化的本质是什么? 我们一直在不断努力，发明创造能够检测、观察和分析物质结构的方法和技术。质谱分析技术是一种很重要的分析技术，它可以对样品中的有机和无机化合物进行定性定量分析，同时它也是唯一能直接获得分子量及分子式的谱学方法。其中，无机、同位素质谱技术的发展历史最为悠久，广泛应用于元素含量及其形态、同位素分析，质谱成像分析等领域。 而随着科学技术的发展和研究领域的不断拓展，目前的质谱分析技术日趋成熟，在高通量、高灵敏度、高分辨率、低检出限等性能上均已达到很高的水平。比如表面分析技术飞行时间-二次离子质谱（TOF-SIMS），已拥有非常好的灵敏度和极高的分辨率，可以提供表面、薄膜、界面以至于三维样品的元素、分子等结构信息而被广泛应用。2017年8月19日在成都召开的2017年中国质谱学会无机及同位素质谱学术会议上，核工业北京地质院郭冬发研究员分享了题为《铀矿物质谱成像分析》的大会报告，向与会的的质谱专家们介绍了质谱成像技术的重要性和铀矿物分析的最新应用进展。郭冬发研究员谈到，随着质谱分析技术的发展和成熟，未来质谱的发展方向主要是小型化和质谱成像技术。利用现代质谱成像技术，可以实现单点成像（1D）、二维成像（2D）和 三维成像（3D），并用于铀矿勘查和铀基材料的加工研究。2017无机及同位素质谱学术会议核工业北京地质研究院郭冬发研究员分享报告质谱会议首亮相，联用技术的一场革命随着质谱成像技术的快速发展，现在的质谱成像技术已经不局限于一种或者几种分子，可以同时反应多种分子在空间上的分布信息。但从综合分析的角度，目前的质谱成像技术，无论是哪一种分析手段都无法在分析速度、灵敏率、分辨率、空间三维信息、消除背景干扰上得以兼顾。常规的SIMS分析手段对于样品表面成分分析可以达到非常高的灵敏度，但在样品的整个面和空间深度分析方向，虽然辅以现在的质谱成像技术，已经能够获得一些信息，但在成像速度和三维结构分析上仍然捉襟见肘。而对样品的大面积分析和空间三维信息的获取，正是FIB-SEM（聚焦离子束-扫描电镜）技术的优势所在。借助FIB-SEM极高的分析速度和更优异的空间成像能力，SIMS也能在三维分析上具有更好更快速的分析性能，这也是FIB—SEM—TOF-SIMS联用技术带来的应用价值，使质谱成像技术从单点一维、二维成像走向真正意义上的三维成像分析，快速全面的获取样品的分子和结构信息。核工业北京地质研究院是TESCAN FIB—SEM—TOF-SIMS联用系统的重要用户，在铀矿物质谱成像分析等方面做了大量实验和研究，在此次无机和同位素质谱会议上，核工业北京地质院郭冬发研究员也提到，目前质谱成像（MSI）仪器主要有LA-ICP-MS、FIB-SEM，LG–SIMS，其中LG–SIMS MSI更适用于点成像，LA-ICP-MS MSI更适用于元素成像，FIB-SEM-TOF-SIMS MSI更适用于界面成像。利于这项联用技术，更加有利于实现三维快速成像，获得样品的综合全面信息。TESCAN在此次质谱学术会议上，也携带其FIB—SEM—TOF-SIMS技术产品首次亮相质谱学术界，向参会的专家学者们介绍了这款FIB-SEM和TOF-SIMS新型联用技术碰撞出的新产品以及在质谱和材料分析领域所带来的应用拓展，解读了TESCAN公司在综合分析和联用拓展上的创新理念，而在TESCAN展台，不少专家在了解了这项技术后表示出了浓厚的兴趣。2017无机及同位素质谱会议TESCAN展台三维质谱成像，FIB—SEM—TOF-SIMS技术得天独厚TESCAN是第一个将TOF-SIMS和自己的SEM/FIB成功集成在一起，拥有这项技术的公司，这项技术是用聚焦离子束 (FIB)将试样剥离，产生带电离子或者中性粒子，采集带电离子作为TOF-SIMS的分析信号，实现对于轻元素、同位素、三维数据重构或者对薄膜深度方向的剖析和化学高分子试样的官能团等化学结构的解析。更加有利于实现三维快速成像，获得样品的综合全面信息。集成在FIB-SEM上的TOF-SIMSFIB—SEM—TOF-SIMS技术独特的优势同位素快速检测三维重构更好的空间分辨率水平方向分析示例：垂直方面分析示例：正离子和负离子模式而正是因为TESCAN“All In One” 的创新产品设计理念，使得TESCAN的任何系统在接入EDS、WDS、RAMAN、TOF-SIMS等更多分析附件和设备时表现出更好的兼容性和更优异的性能，对于样品的进一步组合分析提供了很大的便利。尤其是随着分析技术的发展，对分析的要求也越来越高，FIB与TOF-SIMS的联用开始受到越来越多的关注。TESCAN将TOF-SIMS和自己的SEM/FIB成功集成在一起，创新成为一体化系统，为更深入、更全面的分析应用提供解决方案，其双束聚焦离子束与飞行时间二次离子质谱联用系统（TOF-SIMS）将越来越多地在分析行业发挥巨大价值。TESCAN FIB—SEM—TOF-SIMS一体化系统（核工业北京地质研究院分析测试研究所） 关于TESCANTESCAN发源于全球最大的电镜制造基地-捷克Brno，是电子显微镜及聚焦离子束系统领域全球知名的跨国公司，有超过60年的电子显微镜研发和制造历史，是扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用技术、聚焦离子束与飞行时间质谱仪联用技术以及氙等离子聚焦离子束技术的开拓者，也是行业领域的技术领导者。关注微信公众号“TESCAN显微平台”，更多精彩资讯。

仪器信息网讯 2023年4月22日，“第一届扫描电镜联用技术论坛”在武汉大学成功举办，论坛由武汉大学科研服务公共条件平台主办，上海交通大学分析测试中心、吉林大学电镜中心、中国科学院上海硅酸盐研究所无机材料分析测试中心、中国科学院南京古生物研究所、湖北省电子显微镜学会、中国分析测试协会高校分析测试分会科普与新方法推广部协办。论坛同期也举办了武汉大学科研服务公共条件平台-TESCAN公司联合实验室成立仪式。论坛采用线下+线上直播的方式进行，微赞直播、电镜网、TESCAN视频号、仪器信息网视频号等平台进行了同步线上直播，线下百余位、线上三千余位专家学者共同参加了本次论坛。论坛线下现场武汉大学校长助理 陈慧东致辞北京工业大学教授、中国电子显微镜学会理事长 韩晓东致辞武汉大学科研公共服务条件平台主任、教授 王建波致辞TESCAN中国区总经理 冯骏致辞签约仪式武汉大学科研服务公共条件平台-TESCAN公司联合实验室成功揭牌第一届扫描电镜联用技术论坛成功召开韩晓东 北京工业大学教授、中国电子显微镜学会理事长专题报告题目：原子分辨的材料力学显微学与高强高韧材料设计论坛首先邀请韩晓东教授为大家作了专题报告，报告从基础科学研究、国际前沿、国家重大需求三方面，层层递进的分享了利用原子尺度电子显微学方法与装置，逐步解决先进性能结构材料重大需求科学问题的发展历程。基于面心立方材料弹塑性力学行为原子机制的基础科学研究，发展了原子分辨的材料弹塑性力学行为研究新方法，并将材料弹塑性力学行为研究分辨率由纳米提高至原子层次。并提出晶格弯曲限域效应、发现硅基材料室温脆韧转变等，相关成果荣获2020年国家自然科学二等奖。国际前沿方面，团队成功开发研制了原子分辨材料力学行为实验方法与装置，实现了材料力学行为原子层次的缺陷/应变演化测量和表征，以及晶界滑移现象原子分辨的测量和研究。取得包括透射电镜原位高温拉伸系统在内的多个国家发明专利和软件著作权各12项，转化产品荣获“2019年度科学仪器优秀新品”。同时，面向国际前沿与国家重大需求，依托研发的原子分辨力学显微镜取得系列重大科研成果。曾毅 中国科学院上海硅酸盐研究所无机材料分析测中心主任、研究员报告题目：扫描电镜与拉曼和AFM联用技术在材料研究中的应用航空发动机的发展主要依赖于推重比的提高，而热障涂层的发展是其获得更大推重比的重要手段。报告中，曾毅介绍了对Al2O3—YSZ涂层热障涂层的研究，期望找到影响Al2O3—YSZ涂层热震寿命的因素，为其应用提供技术积累。虽然原位表征有利于深入了解涂层的失效机理，但热震温度达到1100℃以上，热震次数少则几十次，多则上千次导致原位分析几乎不能实现。对此，曾毅所在团队采取离位表征的方法，在不同热震次数下，对涂层同一位置进行表征。结合EBSD高取向分辨率和AFM高空间分辨率原位观察到了“非典型”的孪生对称生长的单斜变体。通过测量单斜变体取向确定孪生晶面指数，并测量两不平行单斜变体间的夹角，确定惯习面指数。采用AFM高空间分辨率，观察到涂层内周期性 (0.5nm)起伏的条纹，其方向确定为等离子喷涂涂层内最大残余应力方向。该方向与涂层四方(001)面取向吻合，热处理后经应力释放原位观察单斜到四方的逆相变。何琳 上海交通大学分析测试中心副主任报告题目：拉曼联用电镜RISE和TOF-SIMS双束联用的运行情况及成果据介绍，上海交通大学分析测试中心不仅作为校级科研服务平台承担学校各类科研项目的分析测试研究任务，还承担国家大设施、大型科学仪器设备共享服务平台的测试任务，对社会相关行业和研究机构开展广泛的测试服务和科研合作。报告中，何琳分析了扫描电镜-拉曼联用系统RISE和TOF-SIMS双束联用电镜的概况、运行情况、典型案例等内容。此外，中心还依托高端联用扫描电镜（RISE和TOF-SIMS双束联用），进一步扩大联用技术的社会影响力。张伟 吉林大学电镜中心主任、教授报告题目：联用电镜All-In-One的运行与展望吉大电镜中心现有多种高端、中端和常规分析仪器（14台大型）以支撑吉林大学（双一流学科）和其他科研单位。目前中心已纳入测试科学实验中心的质量认证管理体系（大仪共享管理），支持吉林大学和其他研究单位发表高水平学术论文200余篇，涉及单原子电催化、锂电池、燃料电池、分子筛、界面仿生、生物传感、碳点、汽车材料等诸多领域。此外，张伟还介绍了利用联用电镜All-in-One联用系统的一些成果。报告最后，张伟围绕“插层电极材料与离子之间的相互作用本质及电化学性能优化机制”这一关键科学问题，针对氢氧化物、氧化物电极材料提出“近体相赝电容”新机制，验证了近体相氧化还原反应对Fe2O3、Bi/Bi2O3、MnO2/Mn3O4、MoO3/CoWO4、FeHCF及石墨和MXene等典型电极材料体系具有一定的普适性，发现了电极材料Fe2O3充放电过程中发生类“非扩散相变”新现象，其储能兼有赝电容和双电层电容双重属性而呈现出高比电容、高倍率、高稳定性。方艳 中国科学院南京古生物研究所平台负责人、高级工程师报告题目：早期国外联用的情况及拉曼联用电镜在古生物中的应用报告主要介绍了拉曼联用电镜技术以及其在古生物学中的应用。据介绍，古生物专业领域对电镜的需求主要有三点：分辨率过剩（绝大多数学科应用是纳米级以上）；原位多功能需求（仅以成像和能谱数据去表达科学问题的情况越来越少，多检测方法联合论证对学术问题的阐释越来越重要）；样品适应性需求。拉曼联用电镜技术弥补了扫描电镜观察的缺陷，EDS元素分析的缺陷，具有原位微区分析等优势。利用拉曼联用电镜技术，方艳介绍了蓝田生物群丘尔藻埋藏机制研究；缅甸琥珀保存机制等应用实例。报告题目：武汉大学科研公共服务条件平台及联用设备介绍王建波 武汉大学科研公共服务条件平台主任、教授王建波在报告中首先汇报了科研公共服务条件平台建设运行情况。据介绍，武汉大学科研公共服务条件平台成立于2019年3月为学校直属的独立运行的条件保障类科研支撑基地，是学校科技创新体系的重要组成部分。平台基础为武汉大学测试中心，建立于1983年，是教育部直属高等院校中首批利用世界银行贷款成立的分析测试中心之一。报告最后，王建波分享了纳米材料微结构演变原子尺度电子显微学研究，研究了拉伸应力作用下，ZnO纳米线从WZ到h-mgO结构的可逆相变；压缩应力作用下，CuO纳米线中氧空位迁移诱导的结构相变。圆桌论坛环节现场讨论集锦参观武汉大学科研服务公共条件平台集锦合影留念

p style="text-align: center "strong style="text-align: center "具有快速、可切换的离子源的新型双束电镜/strong/pp style="text-align: center "strong可实现创新研究和增强样品制备/strong/pp　　聚焦离子束(FIB)光源与扫描电子显微镜(SEM)相结合，由于其独特的生成各种结构的能力，无论是通过切割还是离子束诱导沉积(IBID)，都引起了人们的极大兴趣。通过SEM观察。直到最近，只有镓(Ga+)和氙(Xe+)FIB / SEM仪器可商购。由于其光斑尺寸小和电流密度高，Ga+FIB可为样品制备和纳米原型制作提供良好的结果。Xe+等离子体FIB(PFIB)具有更高的最大电流，可实现高通量切割，适用于大体积表征，同时还可消除Ga+污染样品。但是，在一些情况下，两种离子源都不是理想的选择。/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 399px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201907/uepic/ff3d817a-c92b-4900-976e-52634d33d3fe.jpg" title="1.jpg" alt="1.jpg" width="400" height="399" border="0" vspace="0"//pp　span style="color: rgb(0, 176, 240) "　图1.用Helios Hydra UX DualBeam制备的高质量GaAs薄片的HR S / TEM图像，使用Ar FIB进行最终抛光。/span/pp　　为了扩展FIB应用领域的视野，赛默飞推出了新的Thermo Scientific Helios Hydra DualBeam。这种先进的仪器具有新一代PFIB光源，支持多种离子作为主光源。Helios Hydra与氙一起提供三种额外的离子种类：氩，氧和氮。单个离子源，提供多种离子，可在10分钟或更短的时间内在各个光源之间进行独特、轻松的切换。这为各种应用案例提供了显着的优势 例如，先进的TEM样品制备，其中采用氩束的最终抛光可以显着改善成像结果。这项新技术还将使科学家能够对离子 - 物质相互作用进行基础和应用研究，例如氮离子束硅藻与硅相互作用。/pp　　" 为科学家在一台仪器中轻松选择四种不同离子源的整合能力,将扩大和优化跨长度尺度研究材料性能的应用空间," 赛默飞世尔科技-材料和结构分析总裁Mike Shafer说，" 我们新的 Helios Hydra DualBeam 系统提供了所需的灵活性,可以更好地分析样品、改进结果并开发新的和增强的材料。”/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 435px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201907/uepic/355e5007-ce56-4bf5-8d90-ac0a6b27a17c.jpg" title="2.jpg" alt="2.jpg" width="400" height="435" border="0" vspace="0"//pp　　span style="color: rgb(0, 176, 240) "图2.使用Helios Hydra CX DualBeam采用O+聚焦离子束和AS& V4软件进行自动连续切片的汽车机油滤清器壳体(聚合物/玻璃纤维复合材料)的三维重构。HFW(水平宽度)为350μm。/span/pp　　Helios Hydra 双束电镜允许材料科学研究人员发现和设计新材料并分析其性能和结构。凭借其氧离子束,非常适合用于切割碳基材料,如电池正极中使用的石墨,它可以帮助研究人员开发更安全、更轻、更高效的储能设备。/pp　　这是第一款商业化的，允许快速、简便地离子束切换的仪器。以前，应用不同的离子束需要研究人员在仪器之间转移样品,或进行冗长而复杂的源交换。例如,独立的专用宽束氩离子抛光机目前是高质量透射电子显微镜(TEM)样品制备工作流程的典型部件。使用 Helios Hydra DualBeam 电镜,在初始切割后,可直接将聚焦的氩离子应用于样品抛光,从而大大减少了样品的转移和处理时间。切换时间为 10 分钟或更短,研究人员还可以在一个小节内将所有 4 束光束应用于样品,以确定哪种离子最适合其预期用途。这种灵活性扩展了FIB在探索电子-样品相互作用方面的潜在应用。/pp　　strongHelios Hydra 双束电镜的正式生产将于 2019 年 9 月开始。/strong/ppbr//p

2018年8月5日-9日，在美国马里兰州的巴尔的摩市召开的美国电镜年会“M&M 2018”上，TESCAN重磅发布了最新一代的氙等离子源双束电镜系统 S9000X！现今，半导体器件的物理故障分析已经成为一项极其复杂的任务，需要处理越来越小的高密度和高功能器件。而随着新纳米技术和纳米材料的发展、集成电路的设计和体系结构的日益复杂，就需要更加可靠的分析平台，以匹配集成电路、光电器件等的发展。此次 TESCAN 发布的双束电镜新品 TESCAN S9000X，是一个强大的双束电镜分析应用平台，专门设计来应对这样的挑战。S9000X Xe FIB-SEM 配备超快速的氙等离子源，具有极高的精度和极高的效率。其最新一代Triglav™ 镜筒的探测器系统具有非常优异的表面灵敏度和出色的对比度；另一方面，新的 iFIB+™ 离子镜筒进一步扩大了Xe等离子FIB的应用领域，提升了大体积样本微加工和3D微量分析的能力，并且大大缩短了加工时间。 △ TESCAN 新品 Xe FIB-SEM S9000X在此次举办的电子显微学盛会M&M2018上，TESCAN总部携旗下子公司TESCAN USA, ORSAY PHYSICS, TESCAN DO BRASIL共同参展，并重磅发布了该款双束电镜新品S9000X，展览非常成功，S9000X的发布和亮相吸引了众多观众眼球；同期，TESCAN全球团队也举办了多场应用和技术讲座！ △ 展会同期 TESCAN 应用技术讲座 △ TESCAN 新品 S9000X 引起广泛关注 TESCAN S9000X新一代Xe FIB-SEM系统提供了纳米尺寸结构分析所必需的高分辨率和表面灵敏度，为大体积 3D 样品特性分析提供了最佳条件；同时，它还提供优异的FIB功能，可实现精确、无损的超大面积加工，包括封装技术和光电器件的横截面加工，为大尺寸试样进行高效率制备和高分辨表征提供了最佳的解决方案。 主要特点 新一代Triglav™ UHR SEM镜筒具有极佳的分辨率，优化的镜筒内探测器系统在低束流能量下具有卓越的性能，信号检测效率提高3倍Triglav™ 还具有自适应束斑优化功能，可提高大束流下的分辨率，快速实现EDS, WDS和EBSD等分析新型iFIB +™ Xe等离子FIB镜筒具有超大视野，30 keV下最大视场范围超过1 mm，可在几个小时内实现极大面积的截面加工新一代SEM镜筒内探测器结合高溅射率FIB，可实现3D微量分析的超快数据采集。 并且，EDS和EBSD数据可以在FIB-SEM断层扫描期间同时获得专利的气体增强腐蚀和加工工艺，尤为适合封装和IC去层应用全新立体设计的Essence 软件，可实现更轻松、更快速、更流畅的操作，包括碰撞模型和可定制的面向应用流程的布局 案例展示 △ OLED显示屏1086 μm宽的横截面制备，FoV: 1.26 mm △ SiAlON-石墨烯样品的3D微分析，显示不同相分布的精确信息；分析体积：22×22.3×66.9μm3

当今世界，科技创新进入空前密集活跃时期，“加快实现高水平科技自立自强”被写入二十大工作报告。科学技术从来没有像今天这样深刻影响着国家的前途与命运。在科学界，有这样一种工具，被称之为科学研究的“纳米之眼”，它与芯片、光刻机等关键技术共同被列为我国35项“卡脖子”科技难题之一，它就是扫描电镜。这项核心技术的突破，对于正在发展战略性产业的中国来说，有着重要意义和实用价值。钢研纳克党委书记、董事长、总经理杨植岗、中国仪器仪表行业协会分析仪器分会秘书长曾伟为国产旗舰机（双束）扫描电镜FE-1050揭幕纳克微束此前发布的国内首款高分辨力（双束）扫描电镜产品FE-1050系列1.继国内扫描电镜“旗舰机型”FE-1050发布之后，又一行业重磅消息！日前，本报记者了解到最新消息，素有“中国电镜技术引领者”之称的纳克微束（北京）有限公司（以下简称，纳克微束）继此前在“70周年庆，质镜新征程”发布的国产高分辨场发射扫描电镜“旗舰机型”——FE-1050系列（其为国内首款可搭载聚焦离子束（FIB）模块的双束场发射电镜，创造两个“国内第一”）之后，研发团队没有一丝松懈，持续向扫描电镜技术最高峰发起挑战，并在技术上再获突破，此次硬核发布的行业新顶端产品：国内首款自主研发——极高分（Extreme High Resolution，XHR）场发射扫描电子显微镜FE-2050X，它将具备全电压段亚纳米（≤1.0nm）的极致分辨能力，媲美进口扫描电镜顶端产品。它的问世，将使我国在扫描电镜技术（分辨力设计能力）与国际先进技术的技术差距从此前的25年大幅缩短到不到5年，实现了“跨越式”高质量发展！国际主流扫描电镜产品线划分（分辨力金字塔）与产品定位2.全段亚纳米：极致体验，“冷热”相宜据悉，纳克微束此次发布的极高分辨场发射产品——FE-2050X（代号“电离层”）将搭载新型冷场发射电子阴极和全新自主开发的X-Lens&trade 电磁复合透镜技术，具备优越的球色差相差系数的同时，保证了更好的图像信噪比和更低的电子能散。“冷热相宜”，基于同一系统平台化开发两款高端扫描电镜系列，满足不同应用需求同平台化设计开发的FE-1050系列（“同温层”）和FE-2050系列（“电离层”）两款设备具备非常好的模块通用性和后期升级潜质，行业内首先提出的关键可通用化模组（KCU）概念使得新的第三方附件模块集成变得异常轻松，进入“小时级开发”潜质。据纳克微束总经理介绍，两款产品设计之初便各有所侧重，FE-1050（“同温层”）侧重于综合分析表征能力，而FE-2050（“电离层”）更多侧重于极致的高分辨成像能力。强大的KCU平台概念开发架构，支持多种应用环境3.持续引领电子显微镜技术发展风向，继续“中国电镜技术引领者”地位作为一支拥有多年一线电镜开发经验的国内技术团队： 2016年，在全球率先提出“高通量扫描电镜”概念并付诸市场化，并同控股母公司钢研纳克（股票代码300797）共同获得“BCEIA2019大会金奖”等多项大奖。 2022年初在国内市场预先发布高分辨场发射扫描电镜“旗舰”产品——FE-1050系列，也是国内第一台具备可搭载聚焦离子束（FIB）能力的多用途双束电镜平台，并获得多个国内顶级高校研究所订单，率先将我们扫描电镜水平代入低压高分辨力（＜2nm@1kV）阶段。 2022年底，技术永无止境，纳克微束率先发布国内首款极高分（XHR）场发射扫描电镜——FE-2050X，它也是国内首套可基于冷场发射结构的扫描电镜产品。4. 守正创新——科学仪器国家队就要打赢关键技术“卡脖子”攻坚战 作为拥有70年历史沿革的央企上市公司，中国“电镜第一股”——钢研纳克（股票代码300797）的控股子公司，纳克微束专注于以（场发射）扫描电子显微镜为代表产品的综合性显微成像解决方案的技术开发与探索，打造可以对标主流进口厂商的全品类电镜制造商。团队研发人员占比超过60%，通过十余年成熟的技术积淀及团队创新能力，在设计理念、关键环节、核心技术等方面超前布局，保持国内仪器公司中第一梯队。作为高端国产科学仪器国家队，纳克微束传承了“聚合科技动能”精神，始终坚持“守正创新”。此次突破扫描电镜领域“卡脖子”难题，正是其践行“助力我国科学与硬实力提升”使命的具体行动。纳克微束在高端仪器技术研发领域的突围，对国产电镜行业起到极大激励和引领作用，更增强了国产电镜行业发展的信心。未来，一定会有更多中国科技企业，做强做大中国电镜产业，实现更大范围、更高质量的国产替代！长期以来，国产科学仪器的研发、生产、制造依赖国外先进经验，核心技术“受制于人”。纳克微束总经理指出，虽然此次产品发布使我们在设计层次距离世界电镜强国又近了一步，但是在诸多核心器件、工程工艺、基础材料、控制芯片等子领域要想实现深度的自主创新发展，还有相当长的路要走！“业精于勤而荒于嬉”，我们要想不受制于人，就要“把马步扎得更稳”，花更多精力在基础的研发上，才能走出属于我们中国人的技术路线，这也是当年我们这批人回国报效祖国的梦想。

当今世界，科技创新进入空前密集活跃时期，“加快实现高水平科技自立自强”被写入二十大工作报告。科学技术从来没有像今天这样深刻影响着国家的前途与命运。在科学界，有这样一种工具，被称之为科学研究的“纳米之眼”，它与芯片、光刻机等关键技术共同被列为我国35项“卡脖子”科技难题之一，它就是扫描电镜。这项核心技术的突破，对于正在发展战略性产业的中国来说，有着重要意义和实用价值。钢研纳克党委书记、董事长、总经理杨植岗、中国仪器仪表行业协会分析仪器分会秘书长曾伟为国产旗舰机（双束）扫描电镜FE-1050揭幕纳克微束此前发布的国内首款高分辨力（双束）扫描电镜产品FE-1050系列1.继国内扫描电镜“旗舰机型”FE-1050发布之后，又一行业重磅消息！日前，根据了解到的最新消息，素有“中国电镜技术引领者”之称的纳克微束（北京）有限公司（以下简称，纳克微束）继此前在“70周年庆，质镜新征程”发布的国产高分辨场发射扫描电镜“旗舰机型”——FE-1050系列（其为国内首款可搭载聚焦离子束（FIB）模块的双束场发射电镜，创造两个“国内第一”）之后，研发团队没有一丝松懈，持续向扫描电镜技术最高峰发起挑战，并在技术上再获突破，此次硬核发布的行业新顶端产品：国内首款自主研发——极高分（Extra-high Resolution，XHR）场发射扫描电子显微镜FE-2050X，它将具备全电压段亚纳米（≤1.0nm）的极致分辨能力，媲美进口扫描电镜顶端产品。它的问世，将使我国在扫描电镜技术（分辨力设计能力）与国际先进技术的技术差距从此前的25年大幅缩短到不到5年，实现了“跨越式”高质量发展！国际主流扫描电镜产品线划分（分辨力金字塔）与产品定位2.全段亚纳米：极致体验，“冷热”相宜据悉，纳克微束此次发布的极高分辨场发射产品——FE-2050X（代号“电离层”）将搭载新型冷场发射电子阴极和全新自主开发的X-Lens™电磁复合透镜技术，具备优越的球色差相差系数的同时，保证了更好的图像信噪比和更低的电子能散。“冷热相宜”，基于同一系统平台化开发两款高端扫描电镜系列，满足不同应用需求同平台化设计开发的FE-1050系列（“同温层”）和FE-2050系列（“电离层”）两款设备具备非常好的模块通用性和后期升级潜质，行业内首先提出的关键可通用化模组（KCU）概念使得新的第三方附件模块集成变得异常轻松，进入“小时级开发”潜质。据纳克微束总经理介绍，两款产品设计之初便各有所侧重，FE-1050（“同温层”）侧重于综合分析表征能力，而FE-2050（“电离层”）更多侧重于极致的高分辨成像能力。强大的KCU平台概念开发架构，支持多种应用环境3.持续引领电子显微镜技术发展风向，继续“中国电镜技术引领者”地位作为一支拥有多年一线电镜开发经验的国内技术团队：• 2016年，在全球率先提出“高通量扫描电镜”概念并付诸市场化，并同控股母公司钢研纳克（股票代码300797）共同获得“BCEIA2019大会金奖”等多项大奖。• 2022年初在国内市场预先发布高分辨场发射扫描电镜“旗舰”产品——FE-1050系列，也是国内第一台具备可搭载聚焦离子束（FIB）能力的多用途双束电镜平台，并获得多个国内顶级高校研究所订单，率先将我们扫描电镜水平代入低压高分辨力（＜2nm@1kV）阶段。• 2022年底，技术永无止境，纳克微束率先发布国内首款极高分（XHR）场发射扫描电镜——FE-2050X，它也是国内首套可基于冷场发射结构的扫描电镜产品。 生物切片 锂电池正极片 锂电池正极粉末 高温合金4. 守正创新——科学仪器国家队就要打赢关键技术“卡脖子”攻坚战 作为拥有70年历史沿革的央企上市公司，中国“电镜第一股”——钢研纳克（股票代码300797）的控股子公司，纳克微束专注于以（场发射）扫描电子显微镜为代表产品的综合性显微成像解决方案的技术开发与探索，打造可以对标主流进口厂商的全品类电镜制造商。团队研发人员占比超过60%，通过十余年成熟的技术积淀及团队创新能力，在设计理念、关键环节、核心技术等方面超前布局，保持国内仪器公司中第一梯队。作为高端国产科学仪器国家队，纳克微束传承了“聚合科技动能”精神，始终坚持“守正创新”。此次突破扫描电镜领域“卡脖子”难题，正是其践行“助力我国科学与硬实力提升”使命的具体行动。纳克微束在高端仪器技术研发领域的突围，对国产电镜行业起到极大激励和引领作用，更增强了国产电镜行业发展的信心。未来，一定会有更多中国科技企业，做强做大中国电镜产业，实现更大范围、更高质量的国产替代！长期以来，国产科学仪器的研发、生产、制造依赖国外先进经验，核心技术“受制于人”。纳克微束总经理指出，虽然此次产品发布使我们在设计层次距离世界电镜强国又近了一步，但是在诸多核心器件、工程工艺、基础材料、控制芯片等子领域要想实现深度的自主创新发展，还有相当长的路要走！“业精于勤而荒于嬉”，我们要想不受制于人，就要“把马步扎得更稳”，花更多精力在基础的研发上，才能走出属于我们中国人的技术路线，这也是当年我们这批人回国报效祖国的梦想。

仪器信息网讯 2021年10月14日晚，“2021年全国电子显微学学术年会”在广东省东莞市会展国际大酒店召开前夕，祺跃科技原位高温扫描电镜新品发布会在酒店四楼举办，并正式发布祺跃科技自主研制的原位高温扫描电镜。基于新的发展思路、新的设计理念，突破成像温度，引领原位表征技术，实现原位扫描电镜整机国产化。新品发布会现场中国科学院院士、浙江大学教授张泽致辞 张泽院士在致辞中表示，从科研平台发展成为一个商业化产品会面临很大挑战，需要把我们擅长的科学技术转变为大家都可以方便使用的产品，不仅需要各类跨学科人才，还要经历市场考验。而当前时代下，从经济实力、到学术积累，再到国家支持等，让迎接以上挑战具备了条件。此时，若有勇气去做，便是一件很了不起的事。当前，电子显微镜的空间分辨率、能量分辨率、成分分辨率等已经不断推向极致，团队早期牵头完成的国家基金委重大科研仪器专项便希望从材料真正使用环境出发，在苛刻使役环境条件的原位电镜技术发展方面寻求突破。但已有商品化电镜在设计开发时大部分考虑的还是室温成像能力和分辨能力，均不能满足兼顾超高温加热拉伸和实时原位微观表征的能力。扫描电镜可以配置原位拉伸台、热台、以及拉伸加热台等附件，但受限于现有的SEM样品腔室结构和真空系统设计，也无法满足更高温、高应力等苛刻环境的需求，研究面临“蜗居”受限境况。本次原位电镜新品便解决了这些问题，这款电镜大概是目前世界上最大的扫描电镜腔室，长度已经超过半米，如此大的空间，可以提供更多的想象空间和努力方向。将已有扫描电镜分辨率的极致性能与这样的环境条件相结合，可以做许多事情，比如原位分析大数据人工智能等。而这只是基于材料研究的一类模式，无限可能下，更多挑战将待大家探索。浙江祺跃科技公司总经理 浙江大学教授张跃飞介绍新品张跃飞教授表示，祺跃科技成立于2019年3月，主要致力于研发基于扫描电子显微镜、光学显微镜、x射线衍射仪等设备的原位分析装置，涉及的领域包括原位力学、高低温环境控制、力热耦合、电化学测试等多个方向。祺跃科技在原位分析测试领域快速发展的研发基础，主要来自于浙江大学张泽院士牵头的国家基金委重大科研仪器专项的成果转化。祺跃科技原位高温扫描电镜新品当前，扫描电镜在空间分辨、成分分析、晶体取向等方面已经取得很高水平，扫描电镜在“显微”方面已经做的足够好，祺跃科技未来扫描电镜需要进一步开拓扫描电镜的“威”力——在于材料分析的应用场景和过程分析之中，将材料应用场景与扫描电镜显微分析能力结合起来，具体如快速、多场、原位、动态、实时、在线等。新开发的扫描电镜设计理念包括样品室空间从紧凑到合理，样品台承载能力较大、成像探测器承温能力提升、保证高真空足够的抽气能力等，达到追求时序信息的目标。新品视频介绍：本次新品实现整机国产化的核心部件包括高温二次电子探测器、三维移动平台与大载荷拉伸平台、1400度原位加热器、超大结构样品腔室和超高真空系统等。保障电镜极端环境长时间稳定运行的相关模块包括冷阱、等离子清洗、极靴屏蔽、红外测温等。同时兼容EDX和EBSD等，还预留设置了多种通讯接口，为今后拓展更多原位技术留有余地。 最后，张跃飞教授表示，扫描电子显微的发展还有更多的可能性，而祺跃科技从事扫描电镜开发刚刚上路，愿意与国内外电镜厂商共同开拓扫描电镜更多的应用可能，也愿意与更多专家学者开展技术合作与交流，共同推进中国电子显微仪器事业的发展。由于电镜腔室的移动、减震等问题比较困难，所以此次新产品发布会没有把电镜带到发布会现场。但祺跃科技的工作人员通过在线直播的方式，采用东莞与桐庐两地现场直播的方式，在线介绍了实体电镜的各项功能与研发思路等。 浙江大学副研究员王晋协助新品远程演示

2010年度扫描电子显微镜最新技术与实验技术讲座在京举办　　仪器信息网讯 为了提高首都科技条件平台电镜实验人员的仪器操作水平和电镜分析水平，2010年11月23日，由北京科学仪器装备协作服务中心和北京理化分析测试学会电镜分会共同主办的“2010年度扫描电子显微镜最新技术与实验技术讲座”在北京北科大厦隆重举行。来自全国高等院校、科研机构、企事业单位的近130位从事扫描电子显微镜研究及其应用的专家学者参加了此次会议，仪器信息网亦应邀参会。北京市电镜学会理事长张德添教授主持会议北京科学仪器装备协作服务中心张晓强主任致辞　　张晓强主任在致辞中说到：非常荣幸能有机会与北京市电镜学会共同举办此次电镜会议。北京科学仪器装备协作服务中心是一个实现北京地区科学仪器装备共享共用的科技平台，是北京市科学技术委员会授权的“首都科技条件平台”的总体支撑建设和运营单位。通过该平台举办一些技术交流活动，能够促进科技资源与创新需求的宣传与对接，发挥北京地区科学仪器装备资源优势，提高科学仪器装备的协作水平。最后，张晓强主任预祝此次会议能够取得圆满成功。北京大学徐军高工报告题目：钨灯丝、场发射SEM、FIB等应用技术技巧　　徐军高工说到：提高扫描电子显微镜的分辨率最重要的措施之一是提高电子枪的亮度。其中，关键是要寻找电流密度很高、发射角分布非常集中且能量分散很小的电子源。目前，常用的电子枪(工作方式)主要有钨灯丝(热发射)、LaB6(肖特基发射)、单晶钨丝(冷场发射)以及附有氧化锆的钨灯丝(扩展的肖特基发射)。此外，影响扫描电镜图像分辨率的因素主要有样品的潜在衬度、电子探针的电子光学性能、电子和样品的相互作用区以及外部环境。　　最后，徐军高工着重介绍了聚焦离子束(FIB)的四大基本功能：离子束成像、刻蚀各种图形、离子束诱导沉积、辅助气体选择刻蚀。日立高新技术公司罗琴女士报告题目：正确使用扫描电镜的若干技巧分享　　罗琴女士提到：若要获得良好的扫描电镜解析，所需包括加速电压、工作距离、电子束流、样品前处理、外界干扰、图像调整以及仪器保养等诸多因素。随着加速电压的升高，图像分辨率会升高，但样品损伤、污染程度也会加大 电子信号主要包括二次电子、背散射电子、透射电子等，根据不同的样品检测要求，选择不同的电子信号 而探针电流的升高，图像信噪比也会升高，分辨率会略受影响，但样品损伤、污染程度亦会增大 适当降低探针电流、加速电压或者以背散射电子成像可降低荷电效应 样品的前处理则需考虑样品材质、形态以及观察目的。　　同时，罗琴女士在报告中还介绍了日立公司IM-3000平面样品抛光仪以及E-3500离子抛光仪在样品前处理过程中的应用。清华大学杨文言高级实验师报告题目：环境扫描电子显微术在生物学和材料科学研究中的应用　　杨文言老师在报告中指出：理想中的扫描电镜分析是指样品保持原来形态，以最简单的处理过程，实时观测样品的变化过程，得到样品真正的表面形貌。传统的扫描电子显微镜观察样品需要在高真空下进行，并且要求样品表面要有较好的导电性，为此就需要湿样品干燥、非导电样品镀膜处理，而环境扫描电子显微镜除了中和电荷外，还具有保持样品环境0-100%湿度等多种功能，但观察视角与对象有局限性，成本也会增加，应对样品特性事先有所了解。　　在生物学研究中，对样品无需任何处理，可直接观察“活”的生物结构，如昆虫复眼、神经束断面、嗜骨细胞等。最后，杨文言老师介绍了环境扫描电镜在研究环保型粮仓杀虫剂、观察生物固沙效果、水泥沥青砂浆水硬化过程等研究中的应用。上海易微科技有限公司李金树先生报告题目：扫描电子显微镜主要附件的最新进展　　李金树先生用通俗易懂的语言向大家介绍了介绍两款用于扫描电镜高真空环境下的新型纳微操纵仪的工作原理及应用领域。李金树先生谈到：运用扫描电镜纳米操纵仪，实现了在扫描电镜中操纵样品，包括拨动、搬移、旋转，对样品进行多角度观察。其移动范围：轴向0-12mm 水平方向：-120度-+120度 垂直方向：-120度-+120度。可获得力-时间、力-位移曲线，实时测试样品的力学性能。此外，它还可以与微注入功能一起使用，在扫描电镜中进行微区反应的原位观察，与FIB双束仪器一起应用，可以高效和无污染地提取由FIB制备的TEM样品薄片。　　最后，李金树先生向大家展示了德国最新推出的Evactron除污仪产品，并介绍了其技术优势与主要应用。北京工业大学吉元教授报告题目：电子背散射衍射(EBSD)技术及其应用　　吉元教授指出：电子背散射衍射技术是在1980年发展起来的，是一种应用于扫描电镜中的微区晶体学分析技术。EBSD菊池衍射花样可以通过计算晶面、晶带轴指数以及晶粒取向来标定晶体取向，具有分辨率高、菊池花样取向敏感性高、花样应变敏感性高、花样收集角大等特点。近几年，EBSD的技术进展主要集中在高速EBSD探测器、一体化分析系统、软件功能等方面，越来越多的应用到晶体学取向关系测量、晶粒结构测试、晶界测试、相鉴定、应力/应变分析等领域。　　最后，吉元教授总结了在EBSD的应用中需要考虑的问题：合理选择和选用SEM-EBSD设备及测试参数、制备好EBSD测试样品、综合利用形貌结构和成分等分析信息、在非导电、纳米材料中的应用难点等。北京科学仪器装备协作服务中心孙月琴副主任　　在会议最后，孙月琴副主任表示：非常感谢各位专家精彩的学术报告，为各位参会者带来了扫描电镜领域最新的技术进展与应用成果。　　同时，孙月琴副主任还说到：首都科技条件平台通过支持研发实验服务基地、领域平台、工作站三类主体，整合科学仪器、科技成果、科技人才三类资源，是实力测试对接、研发实验对接、技术对接三种服务。自成立以来，已有423个国家级及市级重点实验室和工程中心、价值109亿元的1.8万台(套)仪器设备资源向社会开放。目前共计6300多家企业享受到了首都科技条件平台的研发实验服务，服务金额高达6.8亿元。会议现场

捷报传来，TESCAN拉曼光谱-扫描电镜一体化系统RISE即将进入核安保示范中心。这是继2016年FIB与飞行时间二次离子质谱联用系统进入中国后，又一TESCAN首创的联用技术被中国客户接受。RISE拉曼光谱-扫描电镜一体化系统发布于2014年，是世界上第一台集成共聚焦拉曼成像的扫描电子显微镜，可同时完成扫描电镜和拉曼光谱分析。核安保示范中心是中国与美国两国政府共同在北京建设的中心，由国家核安保技术中心负责管理运行，该中心位于北京市房山区长阳科技园，于2016年3月18日正式投入运行，是亚太地区乃至全球规模最大的核安保示范中心，主要发挥核安保、核材料管制、核进出口管理领域的国际交流与合作、教育与培训、测试与认证和新技术展示与研发的四大平台作用，是迄今中美两国由政府直接投资建设的核领域最大合作项目。核安保示范中心显微拉曼对微米或亚微米级材料的分子组分分布分析，功能非常强大。基于应力下某些拉曼谱峰发生频移的原理，还可进行微区和高温条件下的原位测量，建立测量核材料高温氧化膜残余应力的方法体系。在核材料分析研究中，例如钚污染灰烬等复杂混合组分的分析，应用显微拉曼等技术可获得原子和分子的空间分辨信息。这种技术对极小样品测试非常有利。而在化学和材料科学中，应用元素和分子联合成像对样品进行表征和研究，也可更好的理解材料组分及其空间分布。TESCAN拉曼光谱-扫描电镜一体化系统RISE Microscopy核安保示范中心作为全球规模最大、最全面的综合性核安保示范平台，此次与TESCAN的成功牵手意义重大，这是TESCAN RISE拉曼光谱-扫描一体化系统首次落户中国，为核安全事业保驾护航！关于TESCANTESCAN发源于全球最大的电镜制造基地-捷克Brno，是电子显微镜及聚焦离子束系统领域全球知名的跨国公司，有超过60年的电子显微镜研发和制造历史，是扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用技术、聚焦离子束与飞行时间质谱仪联用技术以及氙等离子聚焦离子束技术的开拓者，也是行业领域的技术领导者。

锂离子电池锂离子电池（LIB）是21世纪以来最为热门的储能器件之一，具有能量密度高、单体输出电压高、循环性能优越、可快速充放电和使用寿命长等优点，被广泛应用于消费电子产品、电动汽车和新能源电站的储能电源系统等[1]。LIB主要是由正极材料、负极材料、隔膜、电解液和外壳组成。其中，正极材料作为锂离子的主要来源，负极材料是提供比容量的重要因素，隔膜提供锂离子传输的微孔通道。其结构示意图如图1所示，充电时，锂离子（Li+）从正极脱出在电解液中穿过隔膜到达负极并嵌入到负极晶格中，此时正极处于贫锂态，负极处于富锂态；而放电时，Li+再从富锂态的负极脱出再次在电解液中穿过隔膜到达贫锂态的正极并插入正极晶格中，此时正极处于富锂态，负极处于贫锂态[2]。图1 锂离子电池结构示意图基于国仪量子自主研制的扫描电子显微镜，在锂离子电池领域中可以对正极材料、负极材料、隔膜等进行快速、可靠的材料检测，避免因原料质量低、引入杂质、加工工艺不当引起的电池失效。助力锂电材料的深入研究，进而从各个方面改善锂离子电池性能。国仪量子电子显微镜产品全景图扫描电镜在锂电正极材料中的应用正极材料是锂离子电池中的“锂源”，通常既要提供充放电时在正负极之间往返的锂离子，又要提供锂离子电池首圈充放电形成的固体电解质相界面(简称SEI)膜时于负极所消耗掉的锂离子。电池功率受到正极材料的结构、掺杂改性、表面包覆及制备工艺等多种因素的影响[1]。开发具有安全、经济、高性能、大容量等优点的正极材料将有效地促进LIB的广泛应用[3]。如图2和图3所示，扫描电子显微镜不仅可以对正极材料的浆料和极片进行粒径分析和整体形貌的拍摄，而且为特定的正极材料体系深入研究和探索提供了有力条件。使用扫描电子显微镜可以对调浆后的正极材料以及经涂布、辊压后极片表面的正极活性物质分布、导电添加剂均匀性程度和分散性进行检测。另外借助扫描电子显微镜可对正极材料及其前驱体的单颗粒形貌、颗粒分布情况进行表征。据扫描电子显微镜呈现的结果可以针对性帮助正极材料进行设计和改进，大幅度提高材料的结构稳定性及LIB的性能。图2-1 正极浆料/10kV/ETD图2-2 正极极片/3kV/Inlens图3-1 三元正极前驱体/3kV/Inlens图3-2 磷酸铁/3kV/BSE图3-3 锰酸锂/5kV/ETD图3-4 磷酸铁锂/15kV/ETD扫描电镜在锂电负极材料中的应用负极的锂离子插入能力是决定锂离子电池性能的主要因素。为了追随先进正极材料的发展，需要开发大容量的负极材料来提高整个锂离子电池的性能。自1991年对石墨商业化生产以来，石墨一直作为主要的负极材料。石墨具有成本低、无毒性、重复循环和结构稳定等优点[4]。由图4和5可知，扫描电镜可以对调浆后的材料以及涂覆后的极片进行表面形貌分析，同时对石墨负极进行尺寸、形状图像分析，以帮助解释不同石墨负极引起的LIB性能差异。利用扫描电子显微镜可以清晰观察到石墨表面的片层结构形貌。图4-1 负极浆料/3kV/Inlens图4-2 负极极片/10kV/ETD图4-3 负极极片/3kV/Inlens图5-1 石墨负极/5kV/ETD图5-2 球形石墨表面/3kV/ETD扫描电镜在锂电隔膜中的应用作为锂电池的关键材料，隔膜在其中扮演着隔绝电子的作用，既可以阻止正负极直接接触，又可以允许电解液中锂离子自由通过。隔膜对于保障电池的安全运行有至关重要的作用[5]。当前，市场上商业化的锂电隔膜主要是以聚乙烯（PE）和聚丙烯（PP）为主的微孔聚烯烃隔膜，这类高分子材料凭借着较低的成本、良好的力学性能、优异的化学稳定性和电化学稳定性等优点被广泛应用于锂电隔膜中。国仪量子扫描电子显微镜可以在低压下直接观察到隔膜表面的精细结构，并且根据拍摄的形貌图像照片可以对隔膜进行孔径和孔隙率分析（图6）。图6-1 隔膜/5kV/ETD图6-2 干法拉伸隔膜/0.5kV/Inlens锂电材料分析测试前沿解决方案国仪量子以先进的量子精密测量技术为核心，聚焦科学仪器主航道，推出了一系列“人无我有”“人有我优”的高端科学仪器，针对锂离子电池行业推出了系统化的原材料检测分析与产品质量检测方案。基于国仪量子自主研制的扫描电镜、比表面及孔径分析仪、电子顺磁共振波谱仪等高端科学仪器，可分别对锂离子电池的负极材料、正极材料、隔膜等原材料进行检测，避免因原料质量低、引入杂质和加工工艺不当而引起的电池失效。欢迎扫描下方二维码下载PDF！参考资料[1]陈港欣,孙现众,张熊 等. 高功率锂离子电池研究进展[J].工程科学学报,2022,44(04):612-624.[2]郭炳焜, 徐徽, 王先友, 等. 锂离子电池[M]. 长沙: 中南大学出版社, 2005: 48-65.[3]李仲明，李斌，冯东，曾天标.锂离子电池正极材料研究进展[J].复合材料学报,2022,39(2): 513-527.[4]彭盼盼，来雪琦，韩啸，伊廷锋.锂离子电池负极材料的研究进展[J].有色金属工程,2021,11(11): 80-91[5]王振华，彭代冲，孙克宁.锂离子电池隔膜材料研究进展[J].化工学报,2018,69(1): 282-294

科技发展水平与国家实力息息相关，所以随着全球逐渐进入知识密集型经济时代，科学和工程研究、商业化应用及智力成果转化的重要性愈发凸显，世界许多国家都把强化科技创新作为国家战略，把科技投资作为战略性投资，出台一系列科技创新政策以鼓励各领域的科技创新，其中就包括纳克微束所在的扫描电镜行业。根据公开数据显示，美国于 2009、 2011、2015 年连续出台《美国国家创新战略》；欧盟于 2014 年起正式实施“地平线 2020”科研规划；日本近年出台了《第五期科学技术基本计划（2016-2020）》、《科学技术创新综 合战略 2017》等重要文件，中国也推出了。而随着各个国家将资源集中到研发、教育等知识密集型领域，科学仪器行业市场规模也在不断增长——根据 Statista 机构统计，2019 年全球研发总支出约 2.37 万亿美元，2010-2019 年复合增速 6%左右。在此背景下，我国也在2021年颁布的国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要中对科技发展进行了战略布局，再次确定和加深了“坚持创新核心地位，加快建设科技强国”的战略发展目标。其中，加强高端科研仪器设备研发制造是我们国家“十四五”规划中重点要抓的事情，而大型扫描电子显微镜作为一种应用广泛的大型实验设备，被国内许多科研院校迫切需要，但是长期被欧美所垄断，所以成为国产替代攻关的关键卡点之一。作为中国老牌科研院所、共和国工业和科研仪器制造奠基人与领路者钢研纳克控股子公司，纳克微束一直专注于以（场发射）扫描电子显微镜为代表产品的综合性显微成像解决方案的技术开发与探索，打造可以对标主流进口厂商的全品类电镜制造商，实现了传统电镜从分析仪器到科学仪器的板块跨越。其在2022年11月发布创新研发的（双束）扫描电镜产品FE-1050是国内首款低电压高分辨力扫描电镜，打破了欧美厂商垄断。而且，该机型硬件的高通量设计以及软件的集成性开发，也开创了国产扫描电镜新设计、新用途、新采集模式，为我国的相关领域实现了扫描电镜变革性发展。如今，坚持创新已成为我国现代化建设全局中的核心工作，把科技自立自强作为国家发展的战略支撑，进行面向世界科技前沿、面向经济主战场、面向国家重大需求的科技创新是未来中国发展工作的关键。纳克微束未来将秉持“守正创新”理念继续努力，持续加大研发投入，推出可以“抗衡”国外技术围堵的高精尖创新技术产品，缩短与国际先进电镜制造商的技术差距，带来更多更具创新性的高端科学仪器产品，助力我国打赢这场全球范围内的科研竞争。

p　　电子显微镜是一种多功能的仪器。近年来，随着纳米科学的迅猛发展，推动了材料学、电子学、生命科学等众多学科的进步与更新。如今，电子显微镜已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具。/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/01ca9fd5-915f-47ce-8f54-5fe9a8216d83.jpg" title="1.png"//pp　　电子显微镜按结构和用途可分为透射式电子显微镜、扫描式电子显微镜、反射式电子显微镜和发射式电子显微镜等。以扫描式电子显微镜为例，扫描式电子显微镜主要应用于主要用于纺织、化工、印染、仪器仪表、材料分析、教学科研等许多领域。/pp　　扫描电子显微镜作为一种强大的科学视觉仪器，可以帮助人类以难以置信的视角清晰地观察事物。近日，美国《连线》杂志公布了由美国自然历史博物馆科学家提供的一批精彩的扫描电子显微照片，特写镜头展现蜜蜂、蜘蛛等动物美丽、神奇之处。/pp　　扫描电子显微镜的神奇与广泛应用吸引了国内外众多仪器商触角于此。从全球市场来看，美国、日本、德国可以说在该领域三足鼎立。其中以日本日立、日本电子公司、美国FEI以及德国蔡司公司表现最为突出，而我国在电镜领域严重依赖进口。/pp　　可观的是，进口品牌在中国市场的发展一定程度上助推了我国扫描电镜产业的壮大。新技术日益更新，新成果迭出不穷。赛默飞与时俱进地推出Verios G4 XHR SEM超高分辨率扫描电镜，为生产商提供了确定缺陷、找到良率损失以及工艺和产品失效所需的检测能力和灵活性。不仅如此，赛默飞还收购桌面扫描电子显微镜 (SEM)公司Phenom-World，增强其在电子显微镜领域的领先地位 牛津仪器与中科微力共同开发高性能扫描探针显微镜产品 TESCAN推出第四代扫描电镜产品——S8000G超高分辨聚焦离子束和扫描电子束双束电镜系统。/pp　　不言自明，相关技术不断升级，扫描电子显微镜市场规模逐日扩大，市场红利日益彰显。这同样也使更多人关注该领域。业内分析认为，一些想进入扫描电镜行业的新生产厂家业需要慎重思考几点：是否同现有厂家有同等的生产和市场规模 是否做好准备投入大量的时间与成本，建立自己的品牌新形象 厂房设备、市场销售、产品研发、品牌宣传等需要的资金是否是问题 是否做好分销渠道的重新建立与完善工作。/pp　　新时代下，我国科技创新持续发力，创新能力显著提升。显微镜等技术发展也跑出“加速度”，产品性能持续完善、市场应用愈加广泛。对业内厂商而言，需要针对市场需求提供个性化应用方案，这样才能有效提高自身的市场占有率。/p

新品发布 | TESCAN新一代镓离子 FIB-SEM双束电镜技术革新、完美升级！AMBER 2 在 2024 年显微镜及显微分析年会暨博览会（M&M）上首次亮相，带来了用于 TEM 样品制备的新工具。更清晰 | 更高效 | 更灵活新消息，新消息！科学仪器新消息！备受赞誉的 AMBER 平台升级啦！ TESCAN AMBER 2，即 TESCAN 镓离子双束电镜平台第四代产品，即将在今年的M&M 2024博览会上揭晓。与 AMBER 2 同时推出的还有两项新的集成创新工具：AURA Gentle离子束系统，将镓离子FIB在TEM制样中引起的损伤降到最低；以及 TEM AutoPrep Pro&trade 人工智能软件技术，对TEM样品制备过程进行了全面优化，实现完全自动化。AMBER 2简介TEM/STEM 制样 完全自动化拓展纳米原型设计最初在 2019 年推出的 TESCAN AMBER，凭借其超高分辨扫描电镜和先进的 Ga+ FIB，在材料纳米表征方面树立了新的标准。AMBER 2 在这一基础上，通过提升自动化和易用性构建，确保了样品制备和三维分析的精确和高效。AMBER 2完全自动化功能简化了操作，降低使用难度；使常规制样亦能通宵运转，显著提高了实验室的生产力。探测系统也进行了升级，增强了材料表面表征的能力，并扩展了如电子束光刻等原型设计应用的能力。新增&强化&bull AI 驱动 和 丰富材料库确保了AMBER 2 对各种材料制样的可靠性和完全自动化能力。&bull 新一代 BrightBeam&trade 扫描电镜镜筒此外，新一代 BrightBeam&trade 扫描电镜镜筒集成了电子束闸，能有效控制电子束光刻进行纳米原型设计。AMBER 2 还是从微米级到纳米级的 FIB-SEM 表征的绝佳起点。主要特点&bull 完全自动化：让用户省心，让效率最大。&bull 直观界面：对初学者和高级用户的操作都非常友好。&bull 通宵运作：夜间执行自动化任务，提高实验室生产力。&bull 精确的样品制备：在样品制备和成像中保持高分辨率和准确性。&bull 优化的原型设计：扩展了原型设计功能。扫码了解更多详情两项新工具的发布：除了 AMBER 2，TESCAN 还推出了 AURA Gentle 离子束镜筒技术 和 TEM AutoPrep Pro&trade 人工智能软件技术。TESCAN AURA Gentle 离子束镜筒技术AURA Gentle 离子束镜筒技术为 TEM 制样树立了新的基准。AURA Gentle 离子束镜筒通过集成成熟的氩离子束技术，能够在典型的低能量下运行，例如低至 200 eV。这样就尽可能地减少了非晶体化损伤，并保持了样品的晶体结构，这对于高分辨率 STEM/TEM 成像至关重要。它与 TESCAN FIB-SEM 无缝集成，提供超薄样品制备的优越质量和效率。扫码了解更多详情TESCAN TEM AutoPrep Pro&trade 人工智能TEM制样自动化软件技术TEM AutoPrep Pro&trade 技术利用 AI 和 TESCAN Essence&trade 软件来实现自动化 TEM 制样，适应各种材料并实现无人值守操作。该系统通过在夜间运行时自动执行铣削、提取、修整和抛光等任务，提升生产力，确保高质量的 TEM 薄片，几乎不需要培训或交互。扫码了解更多详情参加发布会@ 2024M&MTESCAN AMBER 2 的正式发布将在美国俄亥俄州克利夫兰（Cleveland, Ohio）2024 M&M 显微镜及显微分析年会暨博览会上。如果你在展会现场，一定不要错过，来看看这个先进系统工作的机会。你可以预订演示、参加演讲并参与讨论，了解 AMBER 2 如何通过新工具为你的研究带来变化。来吧！规划行程，准备探索 TESCAN AMBER 2 带来的纳米表征的未来。我们迫不及待地想看看这项新技术将如何推进材料研究，并使你的实验室工作比以往任何时候都更高效。9 月系列网络研讨会，即将开始！为了让你熟悉 TESCAN 丰富的产品组合中的新技术，我们正在准备关于 AURA Gentle 离子束镜筒技术和TEM AutoPrep Pro&trade 人工智能软件技术的新一轮网络研讨会。敬请期待更多！

以石墨烯、BN、MoS2为代表的二维材料因其特殊的性能成为现在科研领域的新宠。现在，除了石墨烯和MoS2等热度较高的二维材料之外，很多其他类型的二维材料也相继被开发出来。然而真正的二维材料因为厚度极薄，在扫描电镜下衬度较低；而且因为X射线在深度方向的穿透，EDS对二维材料上的分析也无能为力。而目前的二维材料除了用到SEM之外，拉曼光谱也是极其重要的表征手段，而将两者完全一体化的电镜-拉曼系统在二维材料的表征上有着得天独厚的优势。生长的石墨烯片层很多科研工作者都会通过扫描电镜进行石墨烯的形貌观察，然而观察到的究竟是否是石墨烯？石墨烯质量、厚度如何？这些问题却不是仅用SEM能够知道的。而扫描电镜-拉曼联用技术给出了很好的解决方案，确实成为石墨烯研究最强大的“神器”。在电镜-拉曼一体化系统中，当用SEM观察的同时可以直接进行拉曼光谱的面扫描，可以通过D峰、G峰、2D峰之间的关系直接得到石墨烯的质量、厚度等信息。如下图，在SEM观察到的区域再进行拉曼光谱面扫描，发现扫描区域存在三种不同的光谱。厚度约薄的2D峰强度越高，厚度增加2D峰减弱但G峰升高。因此电镜-拉曼一体化系统的SEM和Raman混合图像上不仅有形貌信息，也有石墨烯的质量厚度信息。在SEM观察形貌的同时进行拉曼面扫描通过拉曼特征峰获得石墨烯质量、厚度信息 目前，有关石墨烯质量和厚度的测试方法还没有明确的国家标准，行业上比较认可的方法有光学对比度法、原子力显微镜法和拉曼光谱法。在拉曼光谱中通常也用G峰和2D峰的比值来衡量石墨烯的厚度，比值越小，膜厚也约小。如下图，在硅衬底上用CVD法生长的石墨烯。我们通过电镜-拉曼一体化系统得到G峰和2D峰的面分布图，不过仅有G峰和2D峰的分布情况并不能完全帮助我们进行明确的厚度分布分析。在硅衬底上用CVD法生长的石墨烯石墨烯样品的G峰和2D峰拉曼面分布图而电镜-拉曼一体化系统的面分布能力非常强大，除了利用正常峰的强度、半高宽、位移等物理性质进行Mapping外，还可生成2D峰/G峰强度的面分布图。 通过电镜-拉曼一体化系统得到石墨烯样品的2D峰/G峰强度的面分布图通过2D/G峰强度的分布图有助于我们更加准确的进行石墨烯厚度分布的分析，最终获得不同膜厚区域的特征光谱，以及其分布图。石墨烯样品不同膜厚区域的拉曼特征光谱 石墨烯样品不同膜厚区域分布图石墨烯的质量控制与鉴别石墨烯是一个非常热门的新兴领域，不过也正因为如此，石墨烯的研究和制备也存在着良莠不齐的现象。很多研究的时候，在电镜下观察到明显的明暗衬度的膜层就认为是石墨烯，甚至一些文献中也出现了这样的情况。科研工作者也会借助AFM、普通拉曼光谱等来配合电镜进行石墨烯的表征，但是拉曼光谱、AFM的数据和SEM的数据基本不在同一处，不能很好的进行严密的论证。所以从表征的角度来看，不在同一处的不同仪器的数据，有时并不能充分说明问题，至少表征还不够严密。比如在上述例子中，在花状的石墨烯外面，电镜图像上认为的空白处，经过电镜-拉曼一体化系统扫描后，该区域的拉曼光谱依然反应出石墨烯的存在。 再比如下图，在电镜中观察到类似石墨烯的膜层状结构，然而试样是否真是石墨烯？质量、厚度又是如何？这还需要借助其他手段进行综合判断。在电镜中观察到类似石墨烯的膜层状结构 在利用电镜-拉曼一体化系统对该区域进行拉曼光谱面分布分析后，发现该区域的D峰、G峰强度较高，而2D峰很弱，说明了该区域的膜厚比较高，已经算不上是石墨烯，而且缺陷也很多，石墨烯的质量并不是非常理想，此外该区域还存在较多的拥有荧光峰的杂质。进行拉曼光谱面分布分析该区域石墨烯厚度 该区域存在较多拥有荧光峰的杂质 此外，很多客户在电镜下观察到的石墨烯，经过电镜-拉曼一体化系统分析后，也发现均是质量不好的石墨烯，或者是石墨薄片，甚至是非晶碳，如下图。质量不好的石墨烯、石墨薄片、非晶碳等的SEM图像质量不好的石墨烯、石墨薄片、非晶碳等的拉曼特征峰表现 由此可见，电镜-拉曼联用技术对于石墨烯的观察和原位的质量鉴别及分析有着非常强大的优势。石墨烯复合材料现在热门的不仅仅是石墨烯本身，很多石墨烯转移材料，或者把石墨烯作为添加剂的新材料和器件也成为研究热门，希望利用石墨烯特殊的热力光电磁性能来改变材料的性能。那么石墨烯在新复合材料中的分布、状态及本身质量就成为新材料性能能否提升及提升多少的重要因素。因此在石墨烯复合材料中，能够准确的进行传统电镜形貌、元素的测试，及石墨烯的详细表征就成为了表征环节的重中之重，而这是电镜-拉曼联用技术的最大优势所在。 如下图，金属合金材料中复合石墨烯，用以增强新材料的力学性能。在电镜下确实观察到了衬度偏暗的区域，能谱分析出的确是富含碳。但该区域是否真是石墨烯？只能求助于电镜-拉曼联用技术。通过电镜-拉曼一体化系统分析，结果表明偏暗区域的确是石墨烯的存在，不过缺陷相对较多，膜层层数也较多，这些信息对复合材料性能的研究有着置换重要的作用。 金属合金材料的SEM图像，衬度偏暗的区域可能是复合石墨烯通过能谱分析，SEM图像中衬度偏暗的区域富含碳 通过电镜-拉曼分析技术，确认为石墨烯，且该区域缺陷和膜层层数相对较多 再比如下图，试样为表面包覆石墨烯的锌粉。要想通过截面制备或者侧面直接观察出石墨烯的厚度和层数，无论扫描电镜的分辨率有多好，都是不可能完成的任务。就算真的观察到类似层状的结构，也不是我们所理解的石墨烯每一层层数，只是很多层堆叠在一起后的分层而已。而在电镜-拉曼一体化系统中可以直接进行拉曼面扫的分析。观察到在整个扫描区域内，都有明显的G峰和2D峰分布。由此我们可以知道该锌粉外层的确有质量较好的石墨烯包覆，而且层数很少。 表面包覆石墨烯的锌粉 通过电镜-拉曼一体化系统，观察到整个区域内G峰和2D峰的分布MoS2的研究除了石墨烯外，过渡金属二硫化物也是二维材料的一个大类，如MoS2也是因为其特殊性能在电子器件领域广受关注。电镜和能谱对二维的MoS2的表征除了稍有形貌信息外，再无其他分析能力了。但是MoS2却有非常强的拉曼特征峰。如下图，通过拉曼峰我们可以分析出MoS2的孪晶。MoS2的SEM图像MoS2 的SEM-Raman叠加图像通过拉曼特征峰表征MoS2的孪晶通过对MoS2的拉曼面扫描，我们发现MoS2的特征峰在不同的区域呈现出不同的分裂。由此我们可以对其做出更详细的分析，另外通过特征峰分裂后的波数差值，也可以大致得到MoS2的层数。而这都是常规电镜无法得出的信息。MoS2的拉曼面扫描分析MoS2的特征峰在不同的区域呈现出不同的分裂其他二维材料满足结构有序、在二维平面生长、在第三维度超薄这三个条件都算是二维材料，现在除了石墨烯和MoS2等热度较高的二维材料之外，很多其他类型的二维材料也相继被开发出来。比如和C元素相邻的B、Si、P、Ge、Sn等元素的单原子层材料，即X烯，如硅烯、磷烯、硼烯；还有二维有机材料，如二维MOF或COF；还有超薄氮化物，如BN等。这些二维材料都有着很强的拉曼特征谱峰，所以利用电镜-拉曼一体化系统对二维材料的分析表征将会成为不可或缺的重要手段。关于TESCANTESCAN发源于全球最大的电镜制造基地-捷克Brno，是电子显微镜及聚焦离子束系统领域全球知名的跨国公司，有超过60年的电子显微镜研发和制造历史，是扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用技术、聚焦离子束与飞行时间质谱仪联用技术以及氙等离子聚焦离子束技术的开拓者，也是行业领域的技术领导者。关注TESCAN新微信“TESCAN公司”，更多精彩资讯

2019年6月18日下午，北京公司携手日立高新在天美北京总部举办了“冷冻扫描电镜应用技术研讨会”。参加会议的有南京农业大学、东北农业大学、沈阳农业大学、大连工业大学、中科院植物所等40多名电镜专家和学者。 　　日立高新技术公司总经理田中先生对到场参加的专家学者表示感谢，天美公司副总裁赵薇女士介绍了天美公司发展情况并作会议致辞，quorum公司总经理robert henning先生也作了公司介绍。日立高新技术公司总经理田中先生（右） 天美公司副总裁赵薇女士 quorum公司总经理robert henning先生　　天美公司市场部副总监高敞先生介绍了日立冷场扫描电镜的特点及应用。quorum公司技术总监robert morrison先生介绍了冷冻制样系统的技术优势，操作过程及应用特点。南京农大贺子义老师介绍了冷冻制样系统的使用经验，以及跟传统干燥方法的区别。日立高新产品经理张希文先生介绍了日立120kv透射电镜的特点及应用。robert morrison先生最后还在实验室现场演示了冷冻制样操作过程。很多用户对冷冻扫描电镜能实现的效果大加赞赏，现场热烈讨论。 天美公司市场部副总监高敞先生 quorum公司技术总监robert morrison先生 日立高新产品经理张希文先生　　冷冻制样技术解决了含水样品的扫描电镜无形变高倍观察的需求，冷冻制样技术跟冷场扫描电镜配合使用，不仅可以发挥冷冻电镜低电压条件下分辨率高的优势，而且可以利用冷场电镜小束流观察样品从而避免电子束的损伤。冷冻扫描技术已经广泛应用在生命科学、化学化工、材料科学、食品科学、地质地矿等领域。本次技术交流会给日立电镜用户提供了冷冻制样手段的交流平台，很多老师希望能够今后能加强沟通合作。我们在此感谢各位专家的积极参与和热情支持，今后我们将再接再厉，继续为广大用户提供最好的服务！ 　　robert morrison先生在实验室现场演示冷冻制样操作过程及叶片断面现场拍摄结果 原创文章 作者：高敞 关于天美：　　天美集团从事表面科学、分析仪器、生命科学设备及实验室仪器的设计、开发和制造及分销；为科研、教育、检测及生产提供完整可靠的解决方案。近年来天美集团积极拓展国际市场，先后在新加坡、印度、澳门、印尼、泰国、越南、美国、英国、法国、德国、瑞士等多个国家设立分支机构。公司亦先后收购了法国Froilabo公司、瑞士Precisa公司、美国IXRF公司、英国Edinburgh Instruments公司等多家海外知名生产企业和布鲁克公司Scion气相和气质产品生产线，以及上海精科公司天平产品线, 三科等国内制造企业、加强了公司产品的多样化。

2022年4月，部分高校在中国政府采购网陆续公布了其2022年4-12月的仪器采购意向。仪器信息网将各高校和研究所2022年4-12月扫描电镜、透射电镜、原子力显微镜等采购意向加以整理，涉及共约28台（套）仪器，采购预算总额高达约9642万元。仪器采购单位涉及19个高校及研究所，包括电子科技大学、东北林业大学、南京航空航天大学、天津大学、中国科学技术大学、中南大学、中国科学院半导体研究所、中国科学院大连化学物理研究所、中国科学院电工研究所、中国科学院福建物质结构研究所、中国科学院金属研究所、中国科学院兰州化学物理研究所、中国科学院青海盐湖研究所、中国科学院上海光学精密机械研究所、中国科学院上海硅酸盐研究所、中国科学院上海应用物理研究所、中国科学院生态环境研究中心、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中国科学院武汉病毒研究所、中国科学院长春应用化学研究所。从采购时间上看，2022年4月采购7台（套），5月采购8台（套），6月采购4台（套），7-8月各采购1台（套），9-10月各采购2台套。12月采购3台（套）。从采购金额上，扫描电镜最低采购预算为100万，最高采购预算530万元；透射电镜采购预算最低为380万元，最高采购预算金额为980万元；原子力显微镜最低采购预算金额为163万元，最高采购预算金额为300万元。由于部分高校仅集中发布了4-6月的仪器采购意向，后续仍将对各大高校研究机构采购信息进一步跟踪。各高校2022年4-12月扫描电镜、透射电镜、原子力显微镜等采购意向整理序号采购单位采购项目名称采购品目采购需求概况（点击查看）预算金额(万元)预计采购日期1中国科学技术大学透射电镜原位实验系统A033499其他专用仪器仪表详见项目详情6002022年5月2中国科学技术大学原子力显微镜A02100301显微镜详见项目详情3002022年10月3天津大学天津大学机械学院大样品台原子力显微镜A02100301显微镜详见项目详情1632022年5月4电子科技大学扫描电子显微镜A02100305-电子光学及离子光学仪器详见项目详情3902022年5月5中南大学中南大学基础医学院扫描探针显微镜采购项目A02100301 A02100301显微镜详见项目详情1502022年4月6南京航空航天大学快速扫描探针显微镜A02100301-显微镜详见项目详情2002022年4月7南京航空航天大学场发射高分辨透射电子显微镜A02100301-显微镜详见项目详情8202022年4月8东北林业大学多维材料表征平台一期建设项目（透射电子显微镜）A02100301显微镜详见项目详情9802022年5月9中国科学院大连化学物理研究所扫描电子显微镜A02100301详见项目详情1002022年8月10中国科学院大连化学物理研究所电子束-离子束双束显微镜A02100305详见项目详情7502022年6月11中国科学院长春应用化学研究所透射电镜CMOS相机A0202050105详见项目详情*2022年4月12中国科学院上海硅酸盐研究所具有原位拉伸功能的台式扫描电镜A02100301显微镜详见项目详情1312022年6月13中国科学院生态环境研究中心高分辨原子力显微镜A02100301详见项目详情1102022年12月14中国科学院福建物质结构研究所透射电镜A02100301显微镜详见项目详情3802022年5月15中国科学院兰州化学物理研究所原子力显微镜A02100301显微镜详见项目详情2602022年5月16中国科学院青海盐湖研究所扫描电镜A02100304详见项目详情1502022年4月17中国科学院武汉病毒研究所电镜序列断层成像超薄切片机采购项目A02100604生物、医学样品制备设备详见项目详情1202022年4月18中国科学院半导体研究所高分辨场发射透射电子显微镜A033499-其他专用仪器仪表详见项目详情8002022年5月19中国科学院半导体研究所扫描电子显微镜（SEM）A033499-其他专用仪器仪表详见项目详情418.12022年5月20中国科学院半导体研究所高分辨场发射透射电子显微镜A033499-其他专用仪器仪表详见项目详情7002022年9月21中国科学院半导体研究所扫描电子显微镜A033499-其他专用仪器仪表详见项目详情5302022年9月22中国科学院上海光学精密机械研究所EBSD扫描电子显微镜A02100699-其他试验仪器及装置详见项目详情3002022年6月23中国科学院电工研究所高分辨场发射扫描电镜A02100399详见项目详情4002022年10月24中国科学院金属研究所扫描探针显微镜A02100301显微镜详见项目详情1502022年6月25中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所原位扫描电子显微镜A02100399-其他光学仪器详见项目详情2802022年12月26中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所原位扫描电子显微镜-真空腔体A032199-其他电工、电子专用生产设备详见项目详情1802022年12月27中国科学院青海盐湖研究所扫描电镜A02100304详见项目详情1502022年4月28中国科学院上海应用物理研究所透射电镜原位高温力学测量杆A02100416分析仪器辅助装置详见项目详情1302022年7月

随着纳米材料在各个工业领域的应用，推动了超高分辨率的扫描电镜的发展，但这些材料导电性不佳，因此，对低电压下仍具有高分辨率的扫描电镜提出迫切需求。 低电压扫描电镜的主要特点之一是能直接对不导电样品进行观察，同时保持高的分辨率。但是其面临的问题是束流电压降低，信号量会显著下降，同时低电压下扫描电镜像差导致分辨率降低。随着扫描电镜技术的蓬勃发展，这些问题目前都得已大大改善。 为了弥补低电压下信噪比低的问题，赛默飞Apreo 2系列电镜配备了YAG材质背散射探测器（T1）（图1）。YAG（Y3Al5O12:Ce3+）是一种具有高发光效率的闪烁体材料，用掺铈的YAG材料制成的背散射探测器，发光效率更高，亮度更高，更耐离子和电子的轰击，因此几乎不存在随使用时间的累积而导致发光效率下降的问题。Apreo 2系列电镜的T1背散射探测器置于镜筒内靠近极靴下部，这样不仅可以获取大量的信号，而且不会有误操作导致的撞毁风险。同时T1接收的是背散射电子，因此，可以大大改善导电性不佳的样品带来的荷电问题。 图1 Apreo 2 扫描电镜的T1探测器位置示意图 为了减小低电压下像差增加的问题，赛默飞Apreo 2系列电镜发展出了样品台减速模式（图2），以减小透镜色差和提高低电压图像分辨率。减速模式中引入的“着陆电压”的概念，即实际到达样品表面的电压，其计算非常简单，入射电压减去减速电压即为着陆电压。例如，电子束初始加速电压5kV，在样品台上加4kV的减速电压，在样品表面的着陆电压为1kV，采用减速模式后入射到样品上的电压是1kV，在样品内的电子束扩展范围和对样品荷电的减缓同初始加速电压为1kV的情形一致，但其电子束的亮度接近加速电压为5kV的状态。因此，采用减速模式，一方面保持了高加速电压下的亮度和足够的信噪比，以及高分辨率，同时又真正实现了样品表面荷电的有效缓解。减速模式下，还有一个优点，使电子束与样品相互作用产生的信号电子在减速电压的作用下加速，这些信号电子在被探测器探测到时能量更高，从而提高了二次电子或者背散射电子收集效率，增加了信噪比。图2 样品台减速模式工作原理示意图 在实际应用中，我们会将样品台减速模式和T1探测器联合使用，以获取高分辨图像。比如，锂电池隔膜是一种PP或者PE材质的高分子薄膜，其导电性极差，常规的电镜无法解决荷电问题，而使用T1探测器不仅可以解决荷电问题，而且搭配减速模式仪器使用还可以获取高信噪比图像（图3）。稀土氧化物Y2O3粉体是制造微波用磁性材料及军事通讯工程用的重要材料，综合导电性较差，高加速电压容易使表面积累荷电，而且会掩盖颗粒表面细节，因此，我们采用低加速电压搭配减速模式进行高分辨成像（图4）。 图3 锂电池隔膜（加速电压：500V，放大倍数：30000，探测器：T1，减速电压：1kV） 图4 Y2O3粉末颗粒（加速电压：500V，放大倍数：100000，探测器：T1）

随着科学技术的日新月异，扫描电镜在多个领域的应用日益广泛。作为一种重要的分析设备，扫描电镜以其高效、准确的特性受到了广大科研工作者和实验室技术人员的青睐。为了满足市场需求，市场上涌现出了众多品牌和型号的扫描电镜，而如何从中挑选出性能优越、稳定可靠的设备成为了用户关注的焦点。在此背景下，我们特别推出了扫描电镜排行榜，旨在为用户提供一个权威、公正的参考依据。排行榜的评选不仅综合了仪器的技术性能、可靠性、售后服务等多个维度，还结合了市场上的用户反馈和行业专家的评价。我们相信，通过这份排行榜，用户能够更加清晰地了解各个品牌和型号扫描电镜的优劣势，从而作出更加明智的购买决策。我们期待着这份排行榜能够为广大用户带来实质性的帮助，并推动扫描电镜行业的持续发展和创新。同时，我们也欢迎广大用户提出宝贵的意见和建议，共同促进扫描电镜技术的进步和应用范围的拓展。钨灯丝扫描电子显微镜品牌型号：日本电子 | JSM-IT210价格：17万日本电子株式会社(JEOL)电话咨询留言咨询国仪量子场发射扫描电镜SEM5000品牌型号：国仪量子 | SEM5000价格：250万 - 300万国仪量子技术（合肥）股份有限公司电话咨询留言咨询Apreo 2超高分辨场发射扫描电镜品牌型号：赛默飞 | Apreo 2价格：300万 - 400万北京欧波同光学技术有限公司电话咨询留言咨询FusionScope多功能显微镜品牌型号：Quantum Design | FusionScope价格：面议QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司电话咨询留言咨询纳克微束高分辨场发射扫描电镜SEM FE-1050系列品牌型号：纳克微束 | FE-1050系列价格：200万 - 500万纳克微束(北京)有限公司电话咨询留言咨询TESCAN MIRA 场发射扫描电镜品牌型号：泰思肯 | TESCAN MIRA价格：200万 - 250万泰思肯（中国）有限公司电话咨询留言咨询库赛姆（COXEM）EM-30+ 台式扫描电镜品牌型号：库赛姆 | EM-30 +价格：面议北京天耀科技有限公司电话咨询留言咨询TESCAN MAGNA 新一代超高分辨场发射扫描电镜品牌型号：泰思肯 | TESCAN MAGNA价格：300万 - 400万泰思肯（中国）有限公司电话咨询留言咨询屹东光学(Yidon Technologies)场发射扫描电子显微镜YF-1801品牌型号：屹东光学 | YF-1801价格：面议屹东光学技术(苏州)有限公司电话咨询留言咨询惠然科技高分辨广适配热场发射扫描电镜F6000—整机“风”系列品牌型号：惠然科技 | F6000价格：面议惠然科技有限公司电话咨询留言咨询

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TESCAN FERA3氙等离子超高速双束FIB系统近日在安靠封装测试（上海）有限公司顺利完成安装！FERA3是世界上首台完全集成的Xe等离子源FIB和SEM的双束聚焦扫描电镜，离子束流高达2μA，其溅射速率相比传统的Ga离子源高达50倍以上。因此，FERA3非常适合于大尺寸材料去除的应用，特别是应用于TSV的半导体封装技术。 安装在Amkor的TESCAN FERA3 Amkor Technology是全球半导体封装和测试外包服务业中最大的独立供应商之一，成立于1968 年，公司总部、研发中心、产品及市场部位于美国利桑那州的钱德勒。经过40 多年的发展，已成为当今世界上半导体主要供应商的重要合作伙伴，为半导体行业的发展持续提供包装、服务和技术支持服务。 安靠封装测试（上海）有限公司是Amkor Technology的直属子公司。安靠封装测试（上海）有限公司成立于2001 年，截止到2014 年，投资总额达6.45 亿美元，注册资本达2.15亿美元。如今，安靠上海已拥有包括封装、测试、凸块和指定交运在内的全套解决方案，测试能力包括逻辑测试、混合信号测试和存储器测试等。 安靠封装测试（上海）有限公司 在半导体应用中，需要对大面积的样品进行剖析，但Ga等离子源FIB系统加工速度过慢，即使是在几十微米级别的加工尺度上，加工时间依然是按小时计算。而TESCAN首创的氙等离子超高速双束FIB系统可将加工速度提升50-60倍；对于百微米量级的加工，也可以实现按分钟计算，这大大提高了半导体行业用户的分析效率，帮助用户节约了时间成本。 同样，在材料科学领域，利用氙等离子双束FIB技术，可以轻松提高加工速度。例如，钢铁样品的EBSD三维重构，FERA3首次实现了FIB加工速度快于EBSD分析速度。此外，在生命科学领域中，氙等离子FIB技术也扩展了生物组织三维重构的应用。 TESCAN FERA3氙等离子超高速双束FIB系统 TESCAN 的售后工程师对仪器进行了系统的安装和测试，同时，也完成了基本操作培训，目前设备已正式投入使用。Amkor是TESCAN FERA3氙等离子超高速双束FIB系统的第一个用户，也是国内第一个使用FERA3氙等离子超高速FIB技术的用户。此次FERA3的顺利安装对于双方都有重要意义，后续我们将进一步提升应用和技术支持，和Amkor公司通力合作，助力半导体行业的发展。 关于TESCAN TESCAN发源于全球最大的电镜制造基地-捷克Brno，是电子显微镜及聚焦离子束系统领域全球知名的跨国公司，有超过60年的电子显微镜研发和制造历史，是扫描电子显微镜与拉曼光谱仪联用技术、聚焦离子束与飞行时间质谱仪联用技术以及氙等离子聚焦离子束技术的开拓者，也是行业领域的技术领导者。