带光栅尺电动位移台

仪器简介：卓立汉光研发生产的电移台包括电动平移台，电动旋转台，电控角位台，电控升降台，两维电控平移台，多维电控平移台，电移台控制箱及软件。电移台全称叫电控位移台，因其高精度、快速度、大承载、行程大、自动化而广泛应用于科研、激光应用、全自动计量检测仪器设备、工业自动化等领域；以及实现真空、污染、无菌、辐射等环境下的自动位移控制。技术参数：凯撒-KSA系列高精密电控位移台帕萨-PSA系列精密电控位移台TSA系列电控位移台RAK系列高精密电控旋转台RSA系列精密电控旋转台电控位移台组合应用客户定制系统展示位移台 电控位移台 电移台 电动位移台主要特点：电移台全称叫电控位移台，因其高精度、快速度、大承载、行程大、自动化而广泛应用于科研、激光应用、全自动计量检测仪器设备、工业自动化等领域；以及实现真空、污染、无菌、辐射等环境下的自动位移控制。电控位移系统基本由三部分组成：位移台；驱动电机；控制箱。驱动电机及控制箱主要决定驱动扭矩，分辨率，加减速度，信号处理，使用功能（如扫描，圆弧插补）等性能参数。位移台则是系统的心脏，主要技术指标如位移精度，行程，负载，稳定性，适用环境，外形尺寸均由其决定。运动控制箱 采用多种结构形式，精选优质零部件，涵盖多种精度，多种行程，多种负载，多种外形尺寸。产品适配步进电机和伺服电机（标准品配有步进电机）；可配装光栅尺进行闭环控制，提高精度；可加装防尘罩，适合多种环境。并且，本着服务用户的原则， 我们还在不断的推出更多的新产品，提供更多选择。价格面议。

MDX系列小尺寸精密电动位移台 MDP 系列小尺寸超精密电动位移台，产品小巧，精度高。采用日本进口交叉滚柱导轨和C3 研磨级五项步进电机直连丝杠，通过严格装配工艺控制，保证产品组装精度及运动定位精度, 产品结构精巧，同一性好。 MDT 系列小尺寸精密电动位移台，采用高精密交叉滚柱导轨配合滚珠丝杠直联两项步进智能电机，内部集成驱动器和编码器，形成半闭环反馈，电脑USB 直连驱动使用，具有更高的分辨率和定位精度。产品主体材料均采用优质铝合金，零件均使用卓立特 有CNC 加工磨削及三坐标检测技术保证最终产品组装精度及运动定位精度。可满足空间尺寸要求较小、精度要求高的精密光学实 验、精密定位、精密加工及高端设备集成等领域。 MDX 小尺寸精密电动位移台选型表： 型号MDP13-40MDP25-65MDT13-40MDT25-65行程范围（mm）±6.5±12.5±6.5±12.5台面尺寸（mm）40X4065X6540X4065X65主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理导轨交叉滚柱导轨滚珠丝杠直径Φ6mm X导程1mm分辨率（μm/脉冲）Step：2 Half：1Step：5 Half：2.5最大速度（mm/sec）10定位精度（μm）1030重复定位精度（μm）13回程间隙（μm）26静态平行度（μm）30405080运动平行度（μm）15202530俯仰/偏摆 （″）25/2520/2030/3025/25最大静扭矩（Nm）16mN.m80mN.m中心负载（Kg）3535自重（Kg）0.40.60.50.8限位传感器2个原点传感器1个表面处理阳极氧化（符合RoHS）

说明：uKSA 系列超高精密电动直线滑台是卓立汉光开发的高端电动滑台产品，该系列产品采用进口滚珠丝杠和交叉滚柱导轨，内置进口光栅尺实现闭环分辨率0.1μm，其运动精度达到国际水平。该系列产品按行程分为50、100、200mm 等三款产品，配合卓立汉光的MC6003P 或TMC-USB 系列控制器，定位于超高精度要求的领域，如：超精密激光加工、超精密三维扫描测量等。特点：• 加厚的铝合金底座，配合精密磨削工艺，保证产品的精度和稳定型• 内置进口精密光栅尺，闭环分辨率可达0.1μm• 采用进口C3级滚珠丝杠驱动，具有超高定位精度• 采用进口交叉滚柱导轨，具有超高运动精度，强度高，负载能力强• 标配三相步进电机，有效降低电移台运行时的振动和噪音选型表：

仪器简介：卓立汉光新开发出的高承载电动角位移台，适合于高负载情况下使用，高承载电动角位台最大承重可达50Kg以上，角度范围±15°.欢迎来电垂询！技术参数：型 号 PSAG15-250 PSAG15-370 角度范围（°） ±15 ±15 台面尺寸(mm) 280×250 340×250 轴心高(mm) 250 370 导轨 弧形导轨 传动比 610:1 870:1 8细分下分辨率(°) 0.00018 0.00013 步进电机(步距角°) 57(1.8) 工作电流(A) 2.4 中心负载(kg) 50主要特点：卓立汉光新开发出的高承载电动角位移台，适合于高负载情况下使用，高承载电动角位台最大承重可达50Kg以上，角度范围±15°.欢迎来电垂询！

标准电动平移台EPSA系列产品介绍：标准电动平移台EPSA系列产品采用精密滚珠丝杠、自调心滚珠线性导轨和高品质联轴器等部件进行传动，采用大转矩、低发热、高稳定性的两相步进电机作为动力源，采用轻量化、高强度的优质铝合金作为主体材料，并结合多年积累特殊加工装配工艺制造而成。产品系列化程度高、稳定性好、通用性强、组合方便，适用于各类科研、工业用户的精密光学实验、精密定位和精密加工等领域，产品在复杂工业环境下依然能够保持较高的稳定性和一致性，是性价比超高的电动平移台产品。 产品特点：■特有的机加工工艺和表面阳极氧化处理，实现精度、耐磨性和外观的完美统一；■精密滚珠丝杠传动，传动效率高、启动力矩小、定位和重复定位精度高；■采用自调心滚珠线性导轨支撑导向，配合轻预压装配工艺，有效消除间隙和提高刚性，负载能力强，运行直线度、平行度好； ■采用标准两相步进电机驱动，转矩大、稳定性高；■标准电机配有手轮，实现手自调节一体化；■2个机械限位开关，可实现超程降速和限位保护；■1个光电零位开关，实现零位精密定位和误差校正，防止误差累积；■标准DB9接口，通用性强，也可与我公司两相步进电机控制器兼容；■采用标准安装孔位，便于仪器设备安装及多自由度模组组合；■可选配光栅尺进行闭环控制，闭环分辨率可达1μm； 命名规则：EPSA50G-系列代码：标准电动平移台行程：50：50mm100：100mm150：150mm200：200mm300：300mm400：400mm可定制特殊规格光栅尺：选配：G代表含光栅尺 选型表：型号EPSA50GEPSA100GEPSA150GEPSA200GEPSA300GEPSA400G 机械规格台面尺寸(mm)125X124160X160行程(mm)50100150200300400传动机构精密滚珠丝杠?12X4精密滚珠丝杠?16X4导轨（导向机构）线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理整体高度（mm）55mm66mm自重4.04.44.95.310.612.3联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm）25-6-525-10-6.35 精度规格闭环分辨率（μm）1μm0.1μm20细分开环分辨率1μm最大速度（mm/s）20重复定位精度（μm）≤±10回程间隙（μm）≤10静态平行度（μm）≤50偏摆（“）≤50≤60俯仰（“）≤50≤60 电气规格电机及步距角（゜）二相42步进电机，步距角1.8二相57步进电机，步距角1.8电机品牌及型号雷赛工作电流（A）2.54.2电机扭矩（Nm）0.61.3光栅尺品牌贵阳新天驱动器品牌及型号雷赛滑台接头&光栅尺接头两个DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.4限位传感器（内置）欧姆龙原点传感器（内置）欧姆龙传感器电源电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出；负载电源：DC5-24V；OFF电源：0.5mA以下；残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）；输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）； 负载水平负载20kg30kg倒置负载10kg15kg竖直负载10kg15kg配合Z轴转接板型号OMLB01BOMLB01BOMLB02BOMLB02BOMLB03BOMLB03B最大速度为空载情况下，按照步进电机速度为300 /转理论计算和实际测量值。XY电动位移台步进/光栅 标准电动平移台 光学滑台

英国真尚有_光栅尺 | 微米级光栅尺 | AE0xAE0x微米级光栅尺设计用于测量和检查工程物体的位移、尺寸、跳动、表面轮廓和变形。主要特点：◇ 0.1 µm 分辨率◇ 最高±2 µm 精度◇ 测量范围从 3 到 55 mm◇ 可应用范围广，对被测物本身无限制（低反射率、镜面、透明… … 都不影响）◇ 绝对测量的创新技术◇ 增量编码器信号的仿真应用领域：技术规格：

一、电动位移台综合介绍电动位移台简称电移台，通常是由电机带动驱动机构进行运动的一种装置。由运动方 式进行划分，可分为电动平移台、电动升降台、电动旋转台、电动摆动台四大类。可单维使 用，也可组维使用，广泛应用于科研及工业市场。电动位移台产品需要和控制器或驱动器配套使用，驱动器决定了电机的输出扭矩、细 分、噪音及振动等参数，控制器决定了电机旋转速度、圈数、方向及加减速等，这两者缺一 不可。一个高精度的电移台系统，通常需要高等级的零件的加工及装配的保证，还需要性能 良好的驱动器和控制器配合使用，飞创义达拥有行业内优秀的电子、机械、软件方面的人 才，无论从机构设计、加工装配工艺、电气控制、软件编程等各个环节来保证系统整体的精 度、稳定性、耐用性等方面来满足用户的需求，为用户提供完整的系统解决方案。下面将从 我司产品的分类开始详细介绍电动位移台系统的主要零件的含义及构成。二、电动平移台1、分类2、UST系列超高精密电动平移台UST系列是飞创义达推出的超高精密电动平移台，该系列产品传动机构采用进口C3级 滚珠丝杠，主体材料采用优质铝合金，底座和导轨安装面经过精密磨削工艺和三次时效处 理，配合进口交叉滚柱导轨、高品质联轴器、三相步进电机等部件，保证该系列产品具有很 高的运动精度和定位精度。该系列产品内置进口光栅尺，配合飞创义达GMC-USB系列控 制器，可实现全闭环反馈控制，闭环分辨率可达0.1μm。该系列产品行程有50mm、100m m、200mm三种，可单独使用，也可组维使用，该系列产品适合超精密激光微加工、超精 密扫描定位、飞秒延迟线等应用。1）特点● 采用进口C3级滚珠丝杠，保证超高精度● 高品质铝合金底座配合精密磨削工艺，保证平移台的精度和稳定性● 内置进口光栅尺，闭环分辨率可达0.1μm● 采用进口交叉滚柱导轨，保证超高运动直线度和平行度，负载大● 标配三相步进电机，声音小且运行平稳2）命名规则3）技术参数二、电动升降台1、分类2、PST-Z系列精密电动升降台PST- Z系列是飞创义达基于PST系列产品基础上，增加直角固定块及失电保护装置， 可实现竖直方向升降的精密电动平移台。除负载能力外，其它各项指标与PST系列相同。 该系列产品常被用于多维系统搭建，精密z轴传动，精密扫描测量等领域。1）特点● 专用直角固定块连接，安装或组合使用很方便● 采用精密级滚珠丝杠，可实现高定位精度● 需要更大负载的情况，还可以换装减速电机或增加配重。●采用精密级线性滑块导轨，负载大、运动平稳● 标配二相步进电机，稳定、可靠● 专用失电保护装置，提高使用安全性2）命名规则3）技术参数三、电动旋转台1、分类：2、PRT系列高精密电动旋转台PRT系列产品是飞创义达推出的高精密电动旋转台，主体材料采用优质合金铝，表面 黑色阳极氧化处理，美观耐用，该系列产品采用精密交叉滚柱轴环，保证了旋转台的刚性 和稳定性，精研蜗轮蜗杆保证了旋转台的精度。该系列产品可水平、竖直、倒置使用，广泛 应用于精密角度测量或扫描等领域。1）特点●采用高等级交叉滚柱轴环，特殊的轴系设计，运动精度高、刚性好、负载较大●采用精研蜗轮蜗杆，精度高，耐磨性好，使用寿命长● 标配二相步进电机，稳定、可靠2）命名规则3）技术参数四、电动摆动台1、分类2、PGT系列精密电动摆动台PGT系列产品是飞创义达推出的精密电动摆动台，主体材料采用优质合金铝，表面黑 色阳极氧化处理，美观耐用，传动机构采用精密蜗轮蜗杆驱动，导向机构采用弧形V型导 轨，该系列产品精度高、刚性好、负载能力较强，适合精密角度调整、多维电动组维应 用。1）特点●采用精研蜗轮蜗杆驱动，定位精度较高●采用弧形V型导轨，有效控制旋转时的空间●尺寸适中，方便同飞创义达其他电移台产品组合使用●调整角度较大，适合于大多数调整领域●标配二相步进电机，带自锁、稳定、可靠2）命名规则3）技术参数五、 TSC系列运动控制器TSC系列运动控制器是飞创义达研发的一款1轴或4轴的点对点位置控制的运动控制 器。产品集成度高、体积较小、重量较轻，非常适合科研或工业客户使用。该控制器内部 集成了PLC、步进电机驱动器、接口电路等部件，控制功能强大，性能也非常稳定。同时 外置触摸屏（选配），客户可选择触摸屏控制，也可以直接通过上位机控制，控制方式便 捷、人性化。软件界面友好，全中文显示，方便学习，能够快速上手。另外，软件中有控 制方案的功能，可以满足客户自动控制的需求，同时提供通讯协议和示例，可以进行二次 开发。1）命名规则2）技术参数3）控制界面六、电动台定制系统展示如有更多型号尺寸需求，请联系我们！

阿米精控绝对式光栅位移传感器用于对指标有着极高要求的超精密测量应用及需要精确实时的运动系统。光栅位移传感器读数头通过感测光栅尺上均匀间隔的刻线来精确测量位置，并将位置实时数据以模拟或数字信号输出。高运动速度、抗干扰能力强，能提供可靠的直线、旋转和圆弧位置测量。技术特点：绝对式光栅尺自主知识产权芯片高运动速度测量长度支持6.7m定制防护等级IP53抗干扰能力强接受定制协议应用领域： 半导体与集成电路 精密制造 医疗器械 电子信息 科学仪器 航空航天规格参数：尺寸：36ｘ13.5ｘ10mm分辨率：12.5nm电子细分误差：＜25nm最大速度：50(直线系统) m/s重量(读数头)：10g重量(电缆)：18g电源：5V±10% 300mA输出接口：BISS C，ABZ（RS422)；可选LVDS差分或SPI串行通讯出线长度：2(可选5、10)m工作温度：-40~125℃工作湿度：小于95%相对湿度（非冷凝）栅尺材质：玻璃/钢尺 （栅尺长度可定制）栅尺类型：直线型

在雷尼绍光栅尺里VIONiC是一款超高精度数字增量式光栅，其读数头内集成了雷尼绍经过市场检验的可靠光学滤波系统和先进的细分技术。VIONiC光栅系统具有多种速度和分辨率配置，并可配用一系列直线栅尺或圆光栅。这使其成为适合高精密反馈应用的功能最全面的光栅之一。此外，VIONiC读数头采用直观的自动校准模式设计，易于安装。在雷尼绍光栅尺里RTLC20是一款轻薄小巧的不锈钢钢带栅尺，其具有20 μm栅距的增量式刻线和用户可选择的IN-TRAC参考零位。精度达±5 μm/m，长度最大达10米。有两种安装选项可供选择，均具有独立热膨胀系数和钢带栅尺的便利性。RTLC20能够与创新的FASTRACK™ 栅尺导轨系统结合使用。该系统可快速轻松地安装导轨，而无需固定孔。移除一次性垫片，然后将钢带送入轨道。用背面自带的不干胶带将RTLC20-S粘贴到基体上。不干胶的作用是确保基体的热膨胀不会影响到栅尺。为了完成安装，两种类型的栅尺都用夹具夹在一个点上，从而提供基准位置。VIONiC将高速细分功能与优异的测量性能相结合，非常适合要求极为严苛的应用，因此是一款理想的光栅。它提供多种不同光栅配置，以便用户可根据他们的运动控制要求优化系统的速度和分辨率。此外，VIONiC读数头可与各种精度的直线栅尺和圆光栅配合使用。VIONiC光栅的校准简单快捷，因此非常适合用于大批量产线。搭配FASTRACK导轨系统的RTLC20栅尺非常适合需要将机器拆分进行运输或其他要求栅尺安装/拆卸转运的应用场合。栅尺可从导轨上拆下并快速重新装上，即使在空间狭小受限的场合也是如此，因此减少了机器停机时间。技术规格测量标准FASTRACK RTLC20：带导轨安装系统的不锈钢钢带栅尺RTLC20-S：背面自带不干胶带的不锈钢钢带栅尺，可直接安装至基体，无需FASTRACK导轨读数头尺寸 (LxHxW)35 mm x 13.5 mm x 10 mm栅距20 μm20 °C时的热膨胀系数10.1 ±0.2 μm/m/°C20 °C时的精度等级±5 μm/m参考零位IN-TRAC 参考零位直接嵌入RTLC20 / RTLC20-S选择器磁体用于识别一个或多个参考零位限位开关双限位栅尺长度FASTRACK：100 mm至25,000 mmRTLC20/RTLC20-S：20 mm至10,000 mm最高速度最高可达12 m/s（详见规格手册）电子细分误差 (SDE)典型值 ±15 nm*动态信号控制实时信号调节，包括自动增益控制 (AGC)、自动平衡控制 (ABC) 和自动偏置控制 (AOC)，整个工作条件范围内实现性能优化增量信号分辨率从5 μm至2.5 nm（详见规格手册）电气连接电缆长度为0.5 m、1 m、1.5 m、2 m和3 m，采用D型插头（9针和15针）或圆形同轴插头（12针）电源5 V -5%/+10%，完全端接通常200 mA振动（工作）55 Hz至2,000 Hz时100 m/s2（最大值）震动（非工作）500 m/s2，11 ms，?正弦，3轴工作温度0 °C至+70 °C防护等级IP40雷尼绍光栅尺，首选创盛世

精密电动平移台EPSH系列产品介绍：精密电动平移台EPSH系列产品是OMTOOLS在EPSB系列产品基础上为适应低速大负载平稳运行的控制要求改进而成。产品采用高精密研磨滚珠丝杠、进口精密级自调心滚珠线性导轨和高品质联轴器等部件进行传动，采用矩频特性好、过载能力强、调速范围宽、振动噪声极低的松下伺服电机作为动力源，采用轻量化、高强度的优质铝合金作为主体材料，并结合多年积累特殊加工装配工艺制造而成。产品精度高、承载能力强，稳定性好、振动噪声极低，运行平顺性好，低速大负载时无爬行现象。适用于在精密光学实验、光学检测等场景特别是精密光学加工场景中，要求高动态性能、宽调速范围、高过载能力、速度稳定和精确定位场合。 产品特点：■特有的机加工工艺和表面阳极氧化处理，实现精度、耐磨性和外观的完美统一；■研磨级滚珠丝杠传动，传动效率高、启动力矩小、无颤动和滞后，定位和重复定位精度高；■采用进口精密级自调心滚珠线性导轨，通过轻预压装配工艺，负载能力强，运行直线度、平行度好；■采用日本进口的松下伺服电机，矩频特性好、过载能力强、调速范围宽、振动噪声极低■2个机械限位开关，可实现超程降速和限位保护；■1个光电零位开关，实现零位精密定位和误差校正，防止误差累积；■标准DB9接口，通用性强，也可与我公司两相步进电机控制器兼容；■采用标准安装孔位，便于仪器设备安装及多自由度模组组合；■可选配光栅尺进行闭环控制，闭环分辨率可达0.1μm； 命名规则：EPSH-50G-系列代码：精密电动平移台，松下伺服电机行程：50：50mm100：100mm150：150mm200：200mm300：300mm400：400mm可定制特殊规格光栅尺：选配：G代表含光栅尺 选型表：型号EPSH50EPSH100EPSH150EPSH200EPSH300EPSH400 机械规格台面尺寸(mm)125X124160X160行程(mm)50100150200300400传动机构精密滚珠丝杠?12X4 精密滚珠丝杠?16X4导轨（导向机构）线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理整体高度（mm）55mm66mm自重4.054.54.955.4510.9512.65联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm）25-8-625-10-11 精度规格编码器分辨率23bit光栅尺分辨率1μm0.1μm最大速度（mm/s）50单向定位精度（μm）≤5≤10≤13≤15≤20≤25重复定位精度（μm）≤±2回程间隙（μm）≤5静态平行度（μm）≤40运动直线度（μm）≤20≤25运动平行度（μm）≤25≤30偏摆（“）≤50≤60俯仰（“）≤50≤60 电气规格电机额度输出功率100W200W电机品牌及型号松下伺服工作电流（A）0.51.1电机扭矩（Nm）0.320.64光栅尺品牌贵阳新天驱动器品牌及型号松下滑台接头&光栅尺接头两个DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.4限位传感器（内置）欧姆龙原点传感器（内置）欧姆龙传感器电源电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出；负载电源：DC5-24V；OFF电源：0.5mA以下；残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）；输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）； 负载水平负载20kg30kg倒置负载10kg15kg竖直负载10kg15kg配合Z轴转接板型号OMLB01BOMLB01BOMLB02BOMLB02BOMLB03BOMLB03B最大速度为空载情况下，按照伺服电机速度为750 /转理论计算和实际测量值。

精密电动平移台EPSB系列产品介绍：精密电动平移台EPSB系列产品是OMTOOLS在EPSA系列产品基础上改进而成。产品采用高精密研磨滚珠丝杠、进口精密级自调心滚珠线性导轨和高品质联轴器等部件进行传动，采用大转矩、高稳定性的两相步进电机作为动力源，采用轻量化、高强度的优质铝合金作为主体材料，并结合多年积累特殊加工装配工艺制造而成。产品精度高、承载能力强，稳定性好、通用性强、组合方便，适用于各类科研、工业用户的精密光学实验、精密定位和精密加工等领域，如：高精密激光加工、高精密三维扫描测量等，是性价比超高的电移台产品。 产品特点：■特有的机加工工艺和表面阳极氧化处理，实现精度、耐磨性和外观的完美统一；■研磨级滚珠丝杠传动，传动效率高、启动力矩小、无颤动和滞后，定位和重复定位精度高；■采用进口精密级自调心滚珠线性导轨，通过轻预压装配工艺，负载能力强，运行直线度、平行度好；运行平行度和直线度≤20μm■采用标准两相步进电机驱动，转矩大、稳定性高；■标准电机配有手轮，实现手自调节一体化；■2个机械限位开关，可实现超程降速和限位保护；■1个光电零位开关，实现零位精密定位和误差校正，防止误差累积；■标准DB9接口，通用性强，也可与我公司两相步进电机控制器兼容；■采用标准安装孔位，便于仪器设备安装及多自由度模组组合；■可选配光栅尺进行闭环控制，闭环分辨率可达1μm； 命名规则：EPSB-50G-系列代码：精密电动平移台行程：50：50mm100：100mm150：150mm200：200mm300：300mm400：400mm可定制特殊规格光栅尺：选配：G代表含光栅尺 选型表：型号EPSB50EPSB100 EPSB150EPSB200EPSB300EPSB400 机械规格台面尺寸(mm)125X124160X160行程(mm)50100150200300400传动机构精密滚珠丝杠?12X4精密滚珠丝杠?16X4导轨（导向机构）线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理整体高度（mm）55mm66mm自重3.553.854.154.59.410.8联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm）25-6-525-10-6.3520细分开环分辨率1μm最大速度（mm/s）20单向定位精度（参考值μm）≤10≤15≤20≤25≤35≤45重复定位精度（参考值μm）≤±5回程间隙（μm）≤5静态平行度（μm）≤40运动直线度（μm）≤20≤25运动平行度（μm） ≤25≤30偏摆（“）≤50≤60俯仰（“）≤50≤60 电气规格电机及步距角（゜）二相42步进电机，步距角1.8二相57步进电机，步距角1.8电机品牌及型号雷赛工作电流（A）2.54.2电机扭矩（Nm）0.61.3光栅尺品牌贵阳新天驱动器品牌及型号雷赛滑台接头&光栅尺接头两个DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.4限位传感器（内置）欧姆龙原点传感器（内置）欧姆龙传感器电源电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出；负载电源：DC5-24V；OFF电源：0.5mA以下；残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）；输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）； 负载水平负载20kg30kg倒置负载10kg 15kg竖直负载10kg15kg配合Z轴转接板型号OMLB01BOMLB01BOMLB02BOMLB02BOMLB03BOMLB03B最大速度为空载情况下，按照步进电机速度为300 /转理论计算和实际测量值。精密电动平移台 高精度电动位移台 电控位移平台

• 这是一种可直接连接控制装置的细长、封闭、两相方波光栅尺。• 光栅尺报警显示功能易于维护。• 适于您应用的多种规格。• 适用于控制半导体制造系统和NC机床。型号AT211有效测量范围*100-1500mm(20型号)精度(20°O*(3+3Lo/1OOO)卩mLo:有效测量范围(mm)(2+2Lo/1OOO)pm(Lo^5OOmm)输出波形90唯位差二相方波信号最大峋应速度*5.4-120m/min（B分辨力及边缘距离而异）分辨力

RGS20-S&RGS40-S镀金栅尺 钢带式光栅尺雷尼绍的独特RGS镀金光栅尺具有20 μm或40 μm栅距，采用保护膜或聚酯涂层。RGS20-S光栅尺栅距的单位刻线为20 μm，刻划在6 mm宽的钢带上，光栅尺表面有一层可增强和稳定反射率的镀金薄层；一层保护膜不但增强了光栅尺使用的便捷性，而且还保护其不受污染；并采用背面自带特殊配方的不干胶带，安装简单快捷。RGS40-S光栅尺是栅距为40 μm的栅尺。为减少用户的库存需要并尽可能增强生产灵活性，光栅尺可以成卷供货，用户可在安装地点根据需要裁剪。20 μm栅距的光栅尺适合与雷尼绍的所有RG2系列读数头配合使用：RGH22、RGH24和RGH25F，而40 μm的RGS40-S光栅尺适合与RGH34和RGH41读数头配合使用。RGS20-S和RGS40-S光栅尺适合安装在金属、花岗岩、陶瓷和合成材料等大多数常见的工程材料上；雷尼绍RGS20-P和RGS40-P聚酯涂层选项增强了光栅尺抗溶剂和润滑剂的能力。可使用由环氧胶粘合的端压片将光栅尺端部牢牢固定在轴基体上，无需钻孔。由于光栅尺的截面尺寸非常小，因此可固定到基体上，并与基体的热膨胀系数保持一致。光栅尺与基体的移动差几乎为零，即使出现较大的温度波动也不受影响。雷尼绍RGSZ是新版的RGS镀金光栅尺，专为TONiC光栅尺所开发，该光栅尺具有备受推崇的用户自选IN-TRAC光学参考零位，直接嵌入增量码道通道中，并且只需按下按钮即可方便地实现自动电子调相。 栅尺 描述 线性度 微线性 RGS20-S 20 μm栅距，带保护膜的自贴式镀金钢带光栅尺 ±3 μm/m ±0.75 μm/60 mm了解更多产品信息及产品价格 请联系我们 联系方式： 毕先生 程女士

中图仪器Mars高分辨光栅尺高精度坐标测量机支持触发探测系统，能够对各种零部件的尺寸、形状及相互位置关系进行检测。采用的测量技术和精密的传感器，结合精密的机械结构和温度补偿系统，精度高、重复性优。不管是复杂的三维形状还是细微的尺寸差异，每一次测量都能达到微米级精度，实现对产品质量的严格把控。主要特点1.三轴均采用低热膨胀系数的花岗岩导轨，机器具有良好的温度适应性，抗时效变形能力。2.环抱式气浮布局，使机器在高效稳定运行的同时保持高精度。3.关键部件一体铸造成型，重量轻，强度高，提升机器精度及运动平稳性。4.Z轴采用柔性平衡系统，降低摩擦阻力，提高Z轴运动精度。5.采用高精度、高分辨光栅尺，确保机器高精度和长时间稳定。6.高刚性传动方式，保证机器传动的平稳性和刚性。7.开放式的工作台面，具备良好的承载能力，以及开阔的测量视野。8.气压检测安全装置，时刻监测Z轴不因断气而下坠，确保测座测头使用安全。中图仪器自主研发的专业三坐标测量软件，具有丰富的功能和直观的用户界面。用户可以轻松进行测量操作、数据分析和报告生成，提高工作效率和数据处理能力。国产三坐标测量机，控制器、测头测座、软件全自主研发，安全可控。测控部分Mars高分辨光栅尺高精度坐标测量机测控部分的配置可以根据需求进行选择不同的型号和品牌。1、控制器中图Alpha系列控制器，是中图自主研发的三坐标控制器，可以匹配中图自己研发的测头测座系统和主机系统。性能特点：全闭环直流伺服电机驱动控制技术，具有优异的伺服跟随控制能力；固态电子开关设计，无大功率继电器，具有更小的体积和冲击电流，更高的可靠性；同步PWM控制技术和共模抑制设计，环路响应快，驱动效率高，发热低；微秒级速度前瞻轨迹规划算法，实现高效平滑运动和高空间运动重复性；控制器符合I++标准，能兼容市面上的主流测量软件。2、测座ACH100T全自动旋转测座为中图仪器自主研发的自动旋转测座，可实现测头在A 轴和B 轴以7.5 度为增量移动，该测座具有720个可重复定位空间位置，可配置长达300mm 加长杆。精度超进口测座。性能特点：测座能实现A角度0-105°，B角度-180°-﹢180°的运动；测座采用精密的6点定位，实现测座的高定位精度；关键零部件采用复合材料、高强度材料；测座通过动态防撞、静态防撞设计，确保测座的使用安全。3、测头CP100T触发测头为中图仪器自主研发的机械式触发测头，可以在空间5个方向进行触发受力，经过长时间的反复对比测试，性能优于同类型进口测头。精度高，稳定性好。4、测量软件Power DMIS测量软件是中图仪器自主研发的三坐标测量分析软件，拥有自主可控的核心技术。该软件支持DMIS与I++标准协议，并通过了德国PTB认证。中图仪器高分辨光栅尺高精度坐标测量机国产化品牌本地化生产和供应链管理降低了生产和运营成本，使产品价格更具竞争力，而且性能同样可靠，提供了高性价比的选择。由于不同行业和领域的测量需求各不相同，国产三坐标测量机功能的研发和应用也可以根据具体情况进行定制和改进，国产品牌也能够更快地响应客户需求，提供及时的售后服务。

根据所选产品型号尺寸不同，价格不同！可根据要求定制！精密型电动平移台（交叉滚柱）：ZP110-15 □型号特性：■标配步进电机和RS232接口，我司的ZK系列运动控制器可对其实现自动化控制■产品结构小巧轻薄，适合与轻载，低速使用，科学试验使用■高品质精磨丝杠驱动，小导程，相同细分数可达到高的分辨率■巧妙的消空回螺母结构设计，可使研磨丝杠副的间隙降到最小■导轨采用交叉滚柱导轨，运动舒适，有侧向调整导轨预紧力和消间隙之功能，可多维组合使用 二维组合■精磨电移台底板和合理的导轨固定方式大大的降低了电移台的俯仰和偏摆，使运动的直线度和平行度有较大提高■步进电机和研磨丝杆通过进口高品质弹性联轴节连接，传动同步，消偏性能好，大大降低了偏心扰动且噪音小■两端装有零位和限位开关，方便准确定位和保护产品,配有手轮，方便调试■底座有标准孔距的螺纹孔和通孔，方便安装固定■可换装伺服电机，光栅尺，接受产品的改制和量身定制产品型号ZP110-15结构描述行程15 mm台面尺寸65×65mm螺杆规格φ8研磨丝杆（导程1 mm）导轨精密交叉滚柱导轨步进电机(1.8°)日本信浓42步进电机-SHINANO主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载5kg重量0.93kg精度描述分辨率5μ/脉冲（无细分）大速度5mm/sec重复定位精度2μ绝定位精度10μ直线度5μ运动平行度20μ俯仰30″偏摆25″回程间隙2μ丢步2μ附件描述有霍尔元件限位开关/标配无原点开关,可加装可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D)精密型电动平移台（交叉滚柱）：ZP110-30H□型号特性：■标配步进电机和RS232接口，我司的ZK系列运动控制器可对其实现自动化控制■产品结构小巧轻薄，适合与轻载，低速使用，科学试验使用■高品质精磨丝杠驱动，小导程，相同细分数可达到高的分辨率■巧妙的消空回螺母结构设计，可使研磨丝杠副的间隙降到最小■导轨采用交叉滚柱导轨，运动舒适，有侧向调整导轨预紧力和消间隙之功能，可多维组合使用 二维组合■精磨电移台底板和合理的导轨固定方式大大的降低了电移台的俯仰和偏摆，使运动的直线度和平行度有较大提高■步进电机和研磨丝杆通过进口高品质弹性联轴节连接，传动同步，消偏性能好，大大降低了偏心扰动且噪音小■两端装有零位和限位开关，方便准确定位和保护产品,配有手轮，方便调试■底座有标准孔距的螺纹孔和通孔，方便安装固定■可换装伺服电机，光栅尺，接受产品的改制和量身定制产品型号ZP110-30结构描述行程30 mm台面尺寸60×70mm螺杆规格φ8研磨丝杆（导程1 mm）导轨精密交叉滚柱导轨步进电机(1.8°)日本信浓28步进电机-SHINANO主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载5kg重量0.58kg精度描述分辨率5μ/脉冲（无细分）大速度5mm/sec重复定位精度2μ绝定位精度10μ直线度5μ运动平行度20μ俯仰30″偏摆25″回程间隙2μ丢步2μ附件描述有霍尔元件限位开关/标配无原点开关,可加装可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D) 二维组合精密型电动平移台（交叉滚柱）：ZP110-（30-75）□产品特性：■标配步进电机和RS232接口，公司自主研发的ZD-KZ系列运动控制器可对其实现自动化控制■产品结构小巧轻薄，适合与轻载，低速使用，科学试验使用■高品质精磨丝杠驱动，小导程，相同细分数可达到高的分辨率■巧妙的消空回螺母结构设计，可使研磨丝杠副的间隙降到最小■导轨采用交叉滚柱导轨，运动舒适，有侧向调整导轨预紧力和消间隙之功能，可多维组合使用■精磨电移台底板和合理的导轨固定方式大大的降低了电移台的俯仰和偏摆，使运动的直线度和平行度有较大提高■步进电机和研磨丝杆通过进口高品质弹性联轴节连接，传动同步，消偏性能好，大大降低了偏心扰动且噪音小■配有手轮，方便调试■两端装有零位和限位开关，方便准确定位和保护产品■底座有标准孔距的螺纹孔和通孔，方便安装固定■可换装伺服电机，光栅尺，接受产品的改制和量身定制产品型号ZP110-30ZP110-50ZP110-75结构描述行程30mm50 mm75 mm台面尺寸90×90mm90×110mm90×110mm螺杆规格研磨丝杆（导程1 mm）导轨精密交叉滚柱导轨步进电机(1.8°)42BYG主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载15kg20 kg重量1.25kg1.4kg1.7kg精度描述分辨率5μ（无细分）0.25μ（20细分）大速度10mm/sec重复定位精度5μ绝定位精度10μ直线度8μ12μ运动平行度15μ俯仰25″偏摆20″回程间隙2μ丢步2μ附件描述可加装限位开关和光耦开关可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D)组合应用(二维)组合应用(三维 )组合应用(多维)ZP110-50H精密型电动平移台（圆导轨）：ZP120-（50-300）□产品特性：■标配步进电机和RS232接口，公司自主研发的ZD-KZ系列运动控制器可对其实现自动化控制■进口精密滚珠螺杆驱动，重复定位精度和绝定位精度好，轴向间隙小，寿命长■防松和防轴窜结构，有效防止螺杆松动，轴向窜动，有效保证重复定位精度和绝定位精度，特别适合高速往复使用■导轨采用精密线性轴承导轨（两端支撑，中间悬空），承载较小，适合单轴科学试验使用，垂直使用效果好■合理的导轨调整固定方式大大提高了导轨的安装精度，有效保证运动的直线度和平行度，运动舒适度■步进电机和滚珠螺杆通过进口高品质弹性联轴节连接，消偏性能好，大大降低了偏心扰动且噪音小■配有手轮，方便调试■两端装有零位和限位开关，方便准确定位和保护产品■底座有标准孔距的螺纹孔和通孔，方便安装固定■可换装伺服电机，光栅尺做闭环控制，实现高速重载产 品 型 号ZP120-50ZP120-100ZP120-150ZP120-200ZP120-300结构描述行程50 mm100 mm150 mm200 mm300 mm台面尺寸90×90mm90×90mm90×90mm120×120mm120×120mm螺杆规格精密滚珠螺杆（直径12mm导程4 mm）-台湾上银(HIWIN)导轨精密线性轴承导轨步进电机(1.8°)日本信浓42步进电机(SHINANO)主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载15kg15kg10kg7 kg5kg重量2.75kg3kg3.23kg3.8kg4.8kg精度描述分辨率20μ（无细分）1μ（20细分）大速度20mm/sec重复定位精度5μ绝定位精度10μ直线度5μ6μ7μ8μ8μ运动平行度10μ15μ20μ25μ30μ俯仰25″50″50″60″60″偏摆20″25″25″30″30″回程间隙2μ2μ2μ2μ2μ丢步3μ3μ5μ5μ5μ附件描述可加装失电制动功能(Z)可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D)可加装防尘罩(F)ZP120-200组合应用(二维)组合应用(三维)精密型电动平移台（支撑圆导轨）：ZP130-（50-500）□产品特性：■带支撑圆导轨电移台采用带支撑线性轴承作导轨，可以承受更大的负载，稳定性更好，且运行平稳，相对普通圆导轨而言带支撑圆导轨不会发生微小弯曲■标配步进电机和RS232接口，公司自主研发的ZD-KZ系列运动控制器可对其实现自动化控制■进口精密滚珠螺杆驱动，重复定位精度和绝定位精度好，轴向间隙小，寿命长■防松和防轴窜结构，有效防止螺杆松动，轴向窜动，有效保证重复定位精度和绝定位精度，特别适合高速往复使用■导轨采用支撑型精密线性轴承导轨（整体与底板连接），运动舒适，承载较大，适合单轴中载或多轴组合使用■精磨电移台底板和合理的导轨调整固定方式大大提高了导轨的安装精度，有效保证运动的直线度和平行度，运动舒适度■步进电机和滚珠螺杆通过进口高品质弹性联轴节连接，消偏性能好，大大降低了偏心扰动且噪音小■配有手轮，方便调试■两端装有零位和限位开关，方便准确定位和保护产品■底座有标准孔距的螺纹孔和通孔，方便安装固定■可换装伺服电机，光栅尺做闭环控制，实现高速重载产品型号ZP130-50ZP130-100ZP130-150ZP130-200ZP130-300ZP130-400ZP130-500结构描述行程50 mm100 mm150 mm200 mm300 mm400 mm500 mm台面尺寸150×100mm150×100mm150×100mm150×100mm150×100mm150×100mm160×130mm螺杆规格滚珠螺杆（导程4 mm）滚珠螺杆（导程5 mm）导轨支撑型精密线性轴承导轨步进电机(1.8°)日本信浓42步进电机(SHINANO)SHINANO主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载30kg重量3.5kg4kg4.5kg5.5kg6kg6.8kg7.2kg精度描述分辨率20μ（无细分）1μ（20细分）25μ（无细分）1.25μ（20细分）大速度20mm/sec50mm/sec重复定位精度5μ绝定位精度10μ直线度10μ30μ60μ运动平行度20μ30μ30μ俯仰80″80″80″偏摆60″60″60″回程间隙2μ丢步3μ5μ附件描述可加装失电制动功能 (Z)可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D)可加装防尘罩(F) 电动改手动精密型电动平移台（方导轨）：ZP140-（50-500）□产品特性：■标配步进电机和RS232接口，公司自主研发的ZD-KZ系列运动控制器可对其实现自动化控制■进口精密滚珠螺杆驱动，重复定位精度和绝定位精度好，轴向间隙小，寿命长■防松和防轴窜结构，有效防止螺杆松动，轴向窜动，有效保证重复定位精度和绝定位精度，特别适合高速往复使用■导轨采用精密线性滑块导轨（方形，整体与底板连接），运动舒适，承载大，适合单轴重载或多轴组合使用■精磨电移台底板和合理的导轨固定方式大大的降低了电移台的俯仰和偏摆，使运动的直线度和平行度有较大提高■步进电机和滚珠螺杆通过进口高品质弹性联轴节连接，消偏性能好，大大降低了偏心扰动且噪音小■配有手轮，方便调试■两端装有零位和限位开关，方便准确定位和保护产品■底座有标准孔距的螺纹孔和通孔，方便安装固定■可换装伺服电机，光栅尺做闭环控制，实现高速重载产 品 型 号ZP140-50ZP140-100ZP140-150ZP140-200ZP140-300ZP140-400ZP140-500结构描述行程50 mm100 mm150 mm200 mm300 mm400 mm500 mm台面尺寸120×120mm120×120mm120×120mm120×120mm120×120mm160×160mm160×160mm螺杆规格精密滚珠螺杆（直径12mm导程4 mm）-台湾上银（HIWIN)滚珠螺杆（导程5 mm）导轨精密线性滑块导轨- 台湾上银（HIWIN)步进电机(1.8°)日本信浓42步进电机(SHINANO)日本信浓57步进电机(SHINANO)主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载20 kg30 kg50 kg重量3.4kg3.8kg4.2kg4.6kg5kg5.8kg6.6kg精度描述分辨率20μ（无细分）25μ（无细分）大速度20mm/sec25mm/sec重复定位精度5μ绝定位精度8μ直线度5μ6μ8μ运动平行度10μ15μ20μ俯仰25″50″60″偏摆20″25″30″回程间隙2μ丢步运动3μ5μ附件描述可加装失电制动功能(Z)可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D)可加装防尘罩(F)组合应用（三维）定制系统（三轴）组合应用（四维）高精度型电动平移台（方导轨）：ZP150-（50-500）H□产品特性：■方导轨型电动平移台采用进口滚珠螺杆传动，线性滑块导轨，承载高，刚性好，特别适合工业加工或需要高负荷长期连续运行的场所，我公司提供不同精度，不同行程的产品■标配步进电机和RS232接口，公司自主研发的ZD-KZ系列运动控制器可对其实现自动化控制■进口高精密滚珠螺杆驱动，重复定位精度和绝定位精度好，轴向间隙小，寿命长■防松和防轴窜结构，有效防止螺杆松动，轴向窜动，有效保证重复定位精度和绝定位精度，特别适合高速往复使用■导轨采用高精密线性滑块导轨（方形，整体与底板连接），运动舒适，承载大，适合单轴重载或多轴组合使用■精磨电移台底板和合理的导轨固定方式大大的降低了电移台的俯仰和偏摆，使运动的直线度和平行度有较大提高■步进电机和滚珠螺杆通过进口高品质弹性联轴节连接，消偏性能好，大大降低了偏心扰动且噪音小■两端装有零位和限位开关，方便准确定位和保护产品■底座有标准孔距的螺纹孔和通孔，方便安装固定■可换装伺服电机，光栅尺做闭环控制，实现高速重载产品型号ZP150-50HZP150-100HZP150-150HZP150-200HZP150-300HZP150-400HZP150-500H结构描述行程 mm50100150200300400500台面尺mm150×150150×150150×150150×150150×150150×150150×150高精密滚珠螺杆（导程4 mm）滚珠螺杆（导程5 mm/10 mm）导轨高精密线性滑块导轨步进电机（1.8°）42BYG/57BYG主体材料铝合金/不锈钢表面处理阳极氧化发黑台面承载20kg30kg50 kg重量2.8kg3.4kg4.5kg5.2kg6.3kg7.2kg8.3kg精度描述分辨率20μ（无细分）1μ（20细分）25μ/50μ（无细分）1.25μ/2.5μ（20细分）大速度40mm /sec50mm /sec重复定位精度1μ2μ绝定位精度3μ直线度3μ4μ5μ运动平行度10μ15μ20μ俯仰25″50″60″偏摆20″25″30″回程间隙2μ丢步运动1μ2μ附件描述可加装失电制动功能（Z）可加装光栅尺（G）可换装伺服电机（D）可加装防尘罩（F）

1、产品简介 荷兰TeraNova公司的光栅CD尺寸无损检测仪是一款针对工业客户的大范围、快速、无损光栅关键尺寸检测设备。该设备利用光的散射原理，可以无损、快速检测被测光栅的周期（pitch）、线高（Height）、占空比（DC）、侧壁角（Side-wall Angle）、残余层厚度（RLT）、折射率（Diffractive index）等尺寸参数。特别适合AR/VR光学镜头表面光栅图形的无损检测。可以解决传统采用电镜只能进行切割、局部检测、破坏性检测的缺点。2、检测原理 光源的入射光线在物镜（Objective lens）的后焦平面（Back-focal plane）聚焦，通过物镜后产生准直平行光（Collimated light）照射样品表面。通过调整入射光线在后焦平面的聚焦位置（Δ）来调整准直平行光照射样品表面的角度。照射样品表面的准直平行光发生衍射，形成不同光强的衍射级（Diffracted orders），收集不同入射角度（Incidence angle）对应产生的不同衍射级信号，与数据库信息进行拟合，就可以对被测样品进行评估并得到被测样品的几何参数信息。3、主要技术参数: 关键尺寸灵敏度：＜2nm； 空间分辨率：50μm； 每个点扫描时间：15s-30s； 照射角度范围：-40°～40°； 仪器尺寸（高度*长度*宽度）：1.8m*0.9m*0.5m； 最小晶圆厚度：0.3mm； 晶圆尺寸（直径）：最大300mm（12寸； 基底兼容性：透明或不透明； 晶圆装载方式：手动或自动；4、与扫描电镜（SEM）检测方法对比 待测样品由荷兰SCIL公司的AutoSCIL型纳米压印机加工，使用荷兰SCIL公司的NanoGlass无机光刻胶，光栅周期（Pitch）约为380nm，残余层厚度（RLT）约为47nm，线高（Height）约为102nm。通过将检测值与数据库信息拟合，得到样品几何参数。 测试结果对比：检测方法CD尺寸参数周期（Pitch）线高（Height）残余层厚度（RLT）占空比（DC） TeraNova光栅关键尺寸测量仪385nm102nm47nm42.5%SEM382nm97nm42nm43% 结论：通过两种不同检测方法测得的样品CD尺寸参数的对比可以看出，采用TeraNova光栅尺寸无损检测仪测得的数据与SEM无明显差异，但由于TeraNova光栅尺寸无损检测仪具有大范围、快速、无损检测的特点，使其更适合应用于工业领域。5、应用案例-光栅关键尺寸（CD尺寸）空间点阵扫描样品尺寸：25mm * 25mm光栅周期（Pitch）：380nm线高（Height）：96nm光栅制备方法：基底保形纳米压印（SCIL）1） 光学显微镜和电子显微镜下的被测样品2） 同一测量点，入射光TE方向偏振和TM方向偏振的入射角与对应光强分布的测量值与数据库拟合结果3） 光栅样品的线高和边缘角的数据及其分布情况6、应用领域：AR/VR/光栅

精密型电动整体平移台: ZT200-15×15产品型号ZT200-15×15结构描述X，Y轴行程15 mm台面尺寸90×90mm螺杆规格高研丝杆副（导程1 mm）导轨交叉滚柱导轨步进电机（1.8°）28STH51H-0674B主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载10 kg重量3.2kg精度描述分辨率2.5μ（无细分）0.125μ（20细分）**速度6mm/sec重复定位精度1.5μ**定位精度5μ直线度5μ运动平行度15μ俯仰50″偏摆25″回程间隙2μ丢步2μ可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D)精密型电动整体平移台：ZT200-50×50产品型号ZT200-50×50结构描述X，Y轴行程50 mm台面尺寸155×155mm螺杆规格高研丝杆副（导程1 mm）导轨交叉滚柱导轨步进电机（1.8°）28STH51H-0674B主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载10 kg重量3.2kg精度描述分辨率2.5μ（无细分）0.125μ（20细分）**速度6mm /sec重复定位精度1.5μ**定位精度5μ直线度5μ运动平行度15μ俯仰50″偏摆25″回程间隙2μ丢步2μ可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D)精密型电动整体平移台：ZT200-100×100产品型号ZT200-100×100结构描述X,Y轴行程100 mm台面尺寸300×300mm螺杆规格高精密滚珠螺杆（导程4 mm）导轨交叉滚柱导轨步进电机（1.8°）STP-42D3016主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载50 kg重量8.3kg精度描述分辨率20μ（无细分）1μ（20细分）**速度40mm /sec重复定位精度2μ**定位精度3μ直线度5μ运动平行度15μ俯仰50″偏摆25″回程间隙2μ丢步2μ可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D)精密型电动整体平移台：ZT200-170×170产品型号ZT200-170×170结构描述行程170 mm台面尺寸300×300mm螺杆规格高精密滚珠螺杆（导程4 mm）导轨交叉滚柱导轨步进电机（1.8）57BYG主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑台面承载60 kg重量10.3kg精度描述分辨率20μ（无细分），1μ（20细分）**速度25mm /sec重复定位精度2μ**定位精度3μ直线度5μ运动平行度15μ俯仰50″偏摆25″回程间隙2μ丢步2μ可加装光栅尺(G)可换装伺服电机(D)精密型电动整体旋转台：ZT300-XZ□产品特性：■标配步进电机和RS232接口，公司自主研发的ZD-KZ系列运动控制器可对其实现自动化控制■旋转轴系采用多道工艺精密加工而成，配合精度高，承载大，寿命长■采用精密研配的蜗轮蜗杆结构，运动舒适，可以任意正向和反向旋转且空回极小■设计精巧的消空回结构，可调整长期使用造成的空回间隙■特殊的结构设计保证了旋转台面极低的端跳和偏心，使旋转运动更加平稳■旋台的中心通孔与旋转中心有严格的同轴度要求，旋台的中心孔径有严格的配合公差限制，方便客户做精密定位■台面外围的刻度圈是激光刻划标尺，标尺可相对台面转动，方便初始定位和读数■步进电机和蜗杆通过进口高品质弹性联轴节连接，传动同步，消偏性能好，大大降低了偏心扰动且噪音小■可增加限位功能，增加初始零位，换装伺服电机，加装旋转编码器，接受产品的改制和量身定制产品型号ZT300-XZ结构描述角度范围绕X，Y，Z三轴360°台面尺寸150×150mm传动比180∶1驱动机构蜗轮和蜗杆机构导轨形式轴承步进电机(1.8°)57BYG主体材料铝合金表面处理阳极氧化发黑中心承载10kg重量10kg精度描述分辨率0.01°=36″（无细分）0.0005°=1.8″（20细分）速度25°/sec重复定位精度0.005°=18″**定位精度0.01°=36″端跳精度15μ空回0.005°=18″偏心20μ丢步0.005°=18″平行度100μ

1、产品简介 荷兰TeraNova公司的光栅尺寸无损检测仪是一款针对工业客户的大范围、快速、无损光栅尺寸检测设备。该设备利用光的散射原理，可以无损、快速检测被测光栅的周期（pitch）、线高（Height）、占空比（DC）、边缘角（Side-wall Angle）、残余层厚度（RLT）、折射率（Diffractive index）等数据。特别适合AR/VR光学镜头表面光栅图形的无损检测。2、检测原理 光源的入射光线在物镜（Objective lens）的后焦平面（Back-focal plane）聚焦，通过物镜后产生准直平行光（Collimated light）照射样品表面。通过调整入射光线在后焦平面的聚焦位置（Δ）来调整准直平行光照射样品表面的角度。照射样品表面的准直平行光发生衍射，形成不同光强的衍射级（Diffracted orders），收集不同入射角度（Incidence angle）对应产生的不同衍射级信号，与数据库信息进行拟合，就可以对被测样品进行评估并得到被测样品的几何参数信息。3、主要技术参数n 关键尺寸灵敏度：＜2nm；n 空间分辨率：50μm；n 每个点扫描时间：15s-30s；n 照射角度范围：-40°-40°；n 仪器尺寸（高度-长度-宽度）：1.8mÍ 0.9mÍ 0.5m；n 最小晶圆厚度：0.3mm；n 晶圆尺寸（直径）：最大300mm；n 基底兼容性：透明或不透明；n 晶圆装载方式：手动或自动；4、与扫描电镜（SEM）检测方法对比 待测样品由荷兰SCIL公司的AutoSCIL型纳米压印系统加工，使用SCIL公司的NanoGlass&trade 无机光刻胶，光栅周期（Pitch）约为380nm，残余层厚度（RLT）约为47nm，线高（Height）约为102nm。通过将检测值与数据库信息拟合，得到样品几何参数。 测试结果对比：检测方法样品几何参数周期（Pitch）线高（Height）残余层厚度（RLT）占空比（DC）TeroNova光栅尺寸无损检测仪385nm102nm47nm42.5%SEM382nm97nm42nm43% 结论：通过两种不同检测方法测得的样品几何参数的对比可以看出，采用TeroNova光栅尺寸无损检测仪测得的数据与SEM无明显差异，但由于TeroNova光栅尺寸无损检测仪具有大范围、快速、无损检测的特点，使其更适合应用于工业领域。5、应用案例-光栅关键尺寸（CD）空间点阵扫描样品尺寸：25mmÍ 25mm光栅周期（Pitch）：380nm线高（Height）：96nm光栅制备方法：基底保形纳米压印（SCIL）1） 光学显微镜和电子显微镜下的被测样品2） 同一测量点，入射光TE方向偏振和TM方向偏振的入射角与对应光强分布的测量值与数据库拟合结果3） 光栅样品的线高和边缘角的数据及其分布情况

标准电动平移台EPSA系列产品介绍：标准电动平移台EPSA系列产品采用精密滚珠丝杠、自调心滚珠线性导轨和高品质联轴器等部件进行传动，采用大转矩、低发热、高稳定性的两相步进电机作为动力源，采用轻量化、高强度的优质铝合金作为主体材料，并结合多年积累特殊加工装配工艺制造而成。产品系列化程度高、稳定性好、通用性强、组合方便，适用于各类科研、工业用户的精密光学实验、精密定位和精密加工等领域，产品在复杂工业环境下依然能够保持较高的稳定性和一致性，是性价比超高的电动平移台产品。 产品特点：■特有的机加工工艺和表面阳极氧化处理，实现精度、耐磨性和外观的完美统一；■精密滚珠丝杠传动，传动效率高、启动力矩小、定位和重复定位精度高；■采用自调心滚珠线性导轨支撑导向，配合轻预压装配工艺，有效消除间隙和提高刚性，负载能力强，运行直线度、平行度好；■采用标准两相步进电机驱动，转矩大、稳定性高；■标准电机配有手轮，实现手自调节一体化；■2个机械限位开关，可实现超程降速和限位保护；■1个光电零位开关，实现零位精密定位和误差校正，防止误差累积；■标准DB9接口，通用性强，也可与我公司两相步进电机控制器兼容；■采用标准安装孔位，便于仪器设备安装及多自由度模组组合；■可选配光栅尺进行闭环控制，闭环分辨率可达1μm； 命名规则：EPSA50G-系列代码：标准电动平移台行程：50：50mm100：100mm150：150mm200：200mm300：300mm400：400mm可定制特殊规格光栅尺：选配：G代表含光栅尺 选型表：型号EPSA50EPSA100EPSA150EPSA200EPSA300EPSA400机械规格台面尺寸(mm)125X124160X160行程(mm)50100150200 300400传动机构精密滚珠丝杠?12X4精密滚珠丝杠?16X4导轨（导向机构）线性导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理整体高度（mm）5566自重（kg）3.553.854.154.59.410.8联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm）25-6-525-10-6.35精度规格整步分辨率（μm）2020细分开环分辨率（μm）1最大速度（mm/s）140单向定位精度（μm）≤30重复定位精度（μm）≤±3回程间隙（μm）≤3静态平行度（μm）≤50直线度（μm）≤30运动平行度（μm）≤25≤30偏摆（“）≤50≤60俯仰（“）≤50≤60电气规格电机及步距角（゜） 二相42步进电机，步距角1.8二相57步进电机，步距角1.8电机品牌及型号雷赛42CM06-SZ雷赛57CM13-SZ工作电流（A）2.54.2电机扭矩（Nm）0.61.3驱动器品牌及型号 雷赛DM422雷赛DM542滑台接头DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆 滑台接头线缆长度（m）0.4限位传感器（内置）欧姆龙EE-SX951原点传感器（内置）欧姆龙EE-SX951传感器电源电压DC5-24V ±10%消耗电流（mA）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出负载电源：DC5-24VOFF电源：0.5mA以下残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）；水平负载（kg） 2030倒置负载（kg）1015竖直负载（kg）1015根据步进电机负载速度曲线，负载转矩下降不超过最大负载转矩10%时对应的速度核算

精密电动平移台EPSBF系列产品介绍：精密电动平移台EPSBF系列产品是OMTOOLS在EPSB系列产品基础上改进而成。产品采用高精密研磨滚珠丝杠、进口精密级自调心滚珠线性导轨和高品质联轴器等部件进行传动，采用小步距角、低发热、高平顺性的五相东方马达步进电机作为动力源，采用轻量化、高强度的优质铝合金作为主体材料，并结合多年积累特殊加工装配工艺制造而成。产品精度高、承载能力强，稳定性好、振动低，运行平顺性好。在精密光学实验、精密光学加工、光学检测等要求低扰动、超高精度定位应用场景中，是各类科研、工业用户的优选产品。 产品特点：■特有的机加工工艺和表面阳极氧化处理，实现精度、耐磨性和外观的完美统一；■研磨级滚珠丝杠传动，传动效率高、启动力矩小、无颤动和滞后，定位和重复定位精度高；■采用进口精密级自调心滚珠线性导轨，通过轻预压装配工艺，负载能力强，运行直线度、平行度好；运行平行度和直线度≤20μm■采用日本进口的五相东方马达步进电机，极大降低振动和噪音，提升运动平顺性■电机配有手轮，实现手自调节一体化；■2个机械限位开关，可实现超程降速和限位保护；■1个光电零位开关，实现零位精密定位和误差校正，防止误差累积；■标准DB9接口，通用性强，也可与我公司两相步进电机控制器兼容；■采用标准安装孔位，便于仪器设备安装及多自由度模组组合；■可选配光栅尺进行闭环控制，闭环分辨率可达0.1μm； 命名规则：EPSB-50FG-系列代码：精密电动平移台行程：50：50mm100：100mm150：150mm200：200mm300：300mm400：400mm可定制特殊规格电机：东方马达步进电机光栅尺：选配：G代表含光栅尺 选型表：型号EPSB50FGEPSB100FGEPSB150FGEPSB200FGEPSB300FG台面尺寸(mm)125X124160X160行程(mm)50100150200300传动机构精密滚珠丝杠?12X4精密滚珠丝杠?16X4导轨（导向机构）线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理整体高度（mm）55mm66mm自重3.553.854.154.59.4联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm）25-6-525-10-8闭环分辨率（μm）1μm0.1μm20细分开环分辨率0.4μm最大速度（mm/s）20单向定位精度（μm）≤8≤12≤16≤20≤28 重复定位精度（μm）≤±3回程间隙（μm）≤5静态平行度（μm）≤40运动直线度（μm）≤20≤25运动平行度（μm）≤25≤30偏摆（“）≤50≤60俯仰（“）≤50≤60电机及步距角（゜）五相42步进电机，步距角0.72五相57步进电机,步距角0.72电机品牌及型号东方马达工作电流（A）1.82.8电机扭矩（Nm）0.370.81光栅尺品牌贵阳新天驱动器品牌及型号东方马达滑台接头&光栅尺接头两个DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.4限位传感器（内置）欧姆龙原点传感器（内置）欧姆龙传感器电源电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出；负载电源：DC5-24V；OFF电源：0.5mA以下；残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）；输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）；水平负载20kg30kg倒置负载10kg15kg竖直负载10kg15kg配合Z轴转接板型号OMLB01BOMLB01BOMLB02BOMLB02BOMLB03B最大速度为空载情况下，按照步进电机速度为300 /转理论计算和实际测量值。红星杨科技精密电动平移台EPSBF-G五相步进/光栅 电动位移滑台

了解更多产品信息及价格 请联系我们 联系方式： 毕先生 程女士雷尼绍提供品种齐全的、小巧的光栅测量系统以满足多种工业领域应用的需求。本产品样本精选了多种高速直线光栅、“安装简便”的平面光栅、圆光栅和系列细分卡加以介绍。雷尼绍光栅系统的成功开发是基于其创新的非接触式光学结构。这种设计在实现**测量、高分辨率和零机械磁滞的同时，有很强的抗污能力，如灰尘、轻度油渍和划痕而不影响信号的完整性。这些都确保了用户的机器运行可靠而不需过多的维护。不仅如此，雷尼绍的光栅系统还以其易于安装响誉业界。镀金的光栅尺可被灵活地剪至适宜的长度以适应不同的轴长（可达70m），其背面自粘的特别设计使得安装时无需钻孔和螺钉压紧，从而节省了时间和成本。所有读数头和接口都有获得**的LED 安装状态指示灯监控，而无需示波器及其它复杂的安装监控装置，这样也节省了时间和成本。雷尼绍光栅测量系统广泛应用于大多数工业领域，包括计量、运动系统、电子、半导体设备、医疗、扫描/ 印刷、科学仪器、空间测量、影像和专用机器。“无论何时何地，只要有精密运动控制，就需要精密光栅测量系统。” - - 雷尼绍就能满足这一需求。TI1000A10ATI1000A40ATI1000A00AT1000-30ATI0020A20ATI0020A21A

了解更多产品信息及价格请联系我们 联系方式： 毕先生 程女士雷尼绍光栅尺配件 原装 参考零点RGM22S/A-9531-0250 端压片 RGC-F/A-9523-4015 限位开关RGP22S A-9531-0251

产品说明双轴整体正交设计、精度高、厚度薄，空间利用率大幅提升；三相无铁芯线性电机直接驱动；自润滑导轨滑块，大大减少维护时间；带通光孔台面，实现特殊应用需求，同时提供各类安装孔组合，灵活应用于不同工业场合；非接触式、超高精度的光栅尺直接测量平台的位置； 本产品采用无铁芯直线电机驱动，省去了动力传动系统中的机械部件，并将驱动力无摩擦地直接传递到运动平台，可实现高速度和高加速度。采用自润滑直线导轨，在实现高精度的空间XY两轴位移的同时，可以大大减少维护时间。大口径的通光孔设计，是OMTOOLS为解决工业生产线、自动化加工装备、自动化观测检测设备等场景中的特殊应用需求而开发的。该台面提供丰富多样的安装孔组合，满足各类设备和工件等载物需求。主体材料采用高强度铝合金，表面氧化黑处理，耐磨性好，外观精美。

• 细长型外形适于节省空间设计的。• 高刚性ABSAT500-S系列具有抗振动、抗冲击和温度控制的特性，ABSAT500-H系列具有良好的温度控制特性和高精度。• 一旦光栅尺发出报警，接口单元的报警灯(红色)会亮起。• 支持多种制造商接口，允许多种系统配置。高刚性型高精度型型号ABSAT500-SCABSAT500-HCABSAT500-HL/HR分辨力0.005pm*V0.05pm最大响应速度150m/min(H系列分辨力为0.005pm的型号:72m/min)有效测量范围100-2200mm100-1000mm100-350mm

电动双轴平移台产品说明：谱量生产的电动平移台的关键部件如滚珠螺杆、线性轴承导轨、线性滑块导轨、弹性联轴器等均选用进口高品质产品；具有左右限位开关和零位光电开关设置，确保电动平移台安全可靠运行及零位准确一致；标准安装孔位，便于组合多维电控位移台；可配装光栅尺，实现闭环控制。更换运动部件和电机，核心零件经特殊处理后，可应用于真空环境中；也可加装防尘罩，可有效保护螺栓和导轨。特殊规格，接受订做。产品特点：&bull 标配步进电机和标准DB9接口，配合控制器可实现自动控制 &bull 双轴整体式设计，结构紧凑，并且两轴正交精度高 &bull 进口高品质滚珠螺杆驱动，重复定位精度高，驱动力大 &bull 采用交叉滚珠配合精磨V型导轨，运行平稳，精度高，承载大 &bull 中心方孔设计，适合通光，还可装夹载物玻璃 &bull 两端装有零位和限位开关，方便准确定位和保护产品 &bull 底部有标准孔距的螺纹孔和通孔，方便安装固定。产品参数：型号MTS160行程60x60mm螺杆导程4mm分辨率0.0025mm重复定位精度0.005mm（8细分）最大速度20mm/s重复定位精度0.005mm 标配电机步进电机最大速度15mm/s中心负载 10Kg自重5.8KgMTS160型号MTS1100行程100x100mm螺杆导程4mm分辨率0.00125mm重复定位精度0.005mm（8细分）最大速度20mm/s重复定位精度0.005mm标配电机步进电机最大速度15mm/s中心负载20Kg自重13KgMTS1100型号MTS1200行程200x300mm螺杆导程 4mm分辨率0.00125mm重复定位精度0.005mm（8细分） 最大速度20mm/s重复定位精度0.005mm标配电机 步进电机最大速度15mm/s中心负载20Kg 自重22.5KgMTS1200应用领域：应用于科学实验、激光加工、自动检测、自动计量、自动控制等科研、工业自动化领域。

精密电动平移台EPSB系列产品介绍：精密电动平移台EPSB系列产品是OMTOOLS在EPSA系列产品基础上改进而成。产品采用高精密研磨滚珠丝杠、进口精密级自调心滚珠线性导轨和高品质联轴器等部件进行传动，采用大转矩、高稳定性的两相步进电机作为动力源，采用轻量化、高强度的优质铝合金作为主体材料，并结合多年积累特殊加工装配工艺制造而成。产品精度高、承载能力强，稳定性好、通用性强、组合方便，适用于各类科研、工业用户的精密光学实验、精密定位和精密加工等领域，如：高精密激光加工、高精密三维扫描测量等，是性价比超高的电移台产品。 产品特点：■特有的机加工工艺和表面阳极氧化处理，实现精度、耐磨性和外观的完美统一；■研磨级滚珠丝杠传动，传动效率高、启动力矩小、无颤动和滞后，定位和重复定位精度高；■采用进口精密级自调心滚珠线性导轨，通过轻预压装配工艺，负载能力强，运行直线度、平行度好；运行平行度和直线度≤20μm■采用标准两相步进电机驱动，转矩大、稳定性高；■标准电机配有手轮，实现手自调节一体化；■2个机械限位开关，可实现超程降速和限位保护；■1个光电零位开关，实现零位精密定位和误差校正，防止误差累积；■标准DB9接口，通用性强，也可与我公司两相步进电机控制器兼容；■采用标准安装孔位，便于仪器设备安装及多自由度模组组合；■可选配光栅尺进行闭环控制，闭环分辨率可达1μm； 命名规则：EPSB-50G-系列代码：精密电动平移台行程：50：50mm100：100mm150：150mm200：200mm300：300mm400：400mm可定制特殊规格光栅尺：选配：G代表含光栅尺 选型表：型号EPSB50EPSB100EPSB150EPSB200EPSB300EPSB400机械规格台面尺寸(mm)125X124160X160行程(mm)50100150200300400传动机构精密滚珠丝杠?12X4精密滚珠丝杠?16X4导轨（导向机构）线性导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理整体高度（mm）5566自重（kg）3.553.854.154.59.410.8联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm）25-6-525-10-6.35精度规格整步分辨率（μm）2020细分开环分辨率（μm）1最大速度（mm/s）140单向定位精度（μm）≤20重复定位精度（μm）≤±2回程间隙（μm）≤1静态平行度（μm）≤40直线度（μm）≤20运动平行度（μm）≤12≤17≤20偏摆（“）≤30≤40俯仰（“）≤30≤40电气规格电机及步距角（゜）二相42步进电机，步距角1.8二相57步进电机，步距角1.8电机品牌及型号雷赛42CM06-SZ雷赛57CM13-SZ工作电流（A）2.54.2电机扭矩（Nm）0.61.3驱动器品牌及型号雷赛DM422雷赛DM542滑台接头DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.4限位传感器（内置）欧姆龙EE-SX951原点传感器（内置）欧姆龙EE-SX951传感器电源电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mA）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出负载电源：DC5-24VOFF电源：0.5mA以下残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）；负载水平负载（kg）2030倒置负载（kg）1015竖直负载（kg）1015根据步进电机负载速度曲线，负载转矩下降不超过最大负载转矩10%时对应的速度核算

精密电动平移台EPSBF系列产品介绍：精密电动平移台EPSBF系列产品是OMTOOLS在EPSB系列产品基础上改进而成。产品采用高精密研磨滚珠丝杠、进口精密级自调心滚珠线性导轨和高品质联轴器等部件进行传动，采用小步距角、低发热、高平顺性的五相东方马达步进电机作为动力源，采用轻量化、高强度的优质铝合金作为主体材料，并结合多年积累特殊加工装配工艺制造而成。产品精度高、承载能力强，稳定性好、振动低，运行平顺性好。在精密光学实验、精密光学加工、光学检测等要求低扰动、超高精度定位应用场景中，是各类科研、工业用户的优选产品。 产品特点：■特有的机加工工艺和表面阳极氧化处理，实现精度、耐磨性和外观的完美统一；■研磨级滚珠丝杠传动，传动效率高、启动力矩小、无颤动和滞后，定位和重复定位精度高；■采用进口精密级自调心滚珠线性导轨，通过轻预压装配工艺，负载能力强，运行直线度、平行度好；运行平行度和直线度≤20μm■采用日本进口的五相东方马达步进电机，极大降低振动和噪音，提升运动平顺性■电机配有手轮，实现手自调节一体化；■2个机械限位开关，可实现超程降速和限位保护；■1个光电零位开关，实现零位精密定位和误差校正，防止误差累积；■标准DB9接口，通用性强，也可与我公司两相步进电机控制器兼容；■采用标准安装孔位，便于仪器设备安装及多自由度模组组合；■可选配光栅尺进行闭环控制，闭环分辨率可达0.1μm； 命名规则：EPSB-50FG-系列代码：精密电动平移台行程：50：50mm100：100mm150：150mm200：200mm 300：300mm400：400mm可定制特殊规格电机：东方马达步进电机光栅尺：选配：G代表含光栅尺 选型表：型号EPSB50FEPSB100FEPSB150FEPSB200FEPSB300F台面尺寸(mm) 125X124160X160行程(mm)50100150200300传动机构精密滚珠丝杠?12X4精密滚珠丝杠?16X4导轨（导向机构）线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理整体高度（mm）55mm66mm自重3.553.854.154.59.4联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm）25-6-525-10-8整步分辨率（μm）8μm20细分开环分辨率0.4μm最大速度（mm/s）20单向定位精度（μm）≤10≤15≤20≤25≤35重复定位精度（μm） ≤±3回程间隙（μm）≤5静态平行度（μm）≤40运动直线度（μm）≤20≤25运动平行度（μm）≤25≤30偏摆（“）≤50≤60俯仰（“）≤50≤60电机及步距角（゜）五相42步进电机，步距角0.72五相57步进电机，步距角电机品牌及型号东方马达工作电流（A）1.82.8电机扭矩（Nm）0.370.81驱动器品牌及型号东方马达滑台接头DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.4限位传感器（内置）欧姆龙原点传感器（内置）欧姆龙传感器电源电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出；负载电源：DC5-24V；OFF电源：0.5mA以下；残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）；输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）；水平负载20kg30kg倒置负载10kg15kg竖直负载10kg15kg配合Z轴转接板型号OMLB01BOMLB01BOMLB02BOMLB02BOMLB03B最大速度为空载情况下，按照步进电机速度为300 /转理论计算和实际测量值。精密电动平移台EPSBF五相步进 OMTOOLS高精度位移台

产品说明：OMTOOLS 直驱电动位移台EPSW系列,该系列为半封闭式结构。高效的三相同步有铁芯线性电机作为驱动元件，比螺杆驱动平移台外形更短，使其更紧凑，更节省空间，这是对于需要高吞吐量，高可靠性和超静音操作的空间受限应用的最佳方案。采用精密级自调心滚珠线性导轨，可保证高运行直线度和平行度。非接触式线性编码器可提供纳米分辨率，可提供出色的位置灵敏度，可靠的重复性和稳定性。采用轻量化、高强度的优质铝合金作为主体材料，并结合多年积累特殊加工装配工艺制造而成。 产品介绍：■高效的三相同步有铁芯线性电机驱动，可提供较高负载■精密线性滑轨导向，有效保证运动精度和直线性■纳米级分辨率的非接触式线性编码器■独特装配工艺要求，保证产品的一致性 选型表：型号EPSW100EPSW200EPSW300机械规格外形尺寸165X310165X410165X510行程(mm)100 200300台面尺寸(mm)165X165165X165165X165导轨（导向机构） 精密线性滑轨精密线性滑轨精密线性滑轨主体材料及表面处理6061T66061T66061T6负载（KG）353535总厚度（mm）737373自重（Kg）6810精度规格光栅尺分辨率（μm）0.050.050.05最大速度（mm/s）*300300300重复定位精度（μm）±1±1.5±2俯仰（"）505050偏摆（"）505050电气规格电机三相同步有铁芯线性电机三相同步有铁芯线性电机三相同步有铁芯线性电机持续推力（N）454545峰值推力（N）95 9595电机常数（N² /W）404040电机力常数（N/Arms）303030持续电流（Arms）1.51.5 1.5峰值电流(Arms)3.73.73.7滑台接头DB9、DB15DB9、DB15DB9、DB15注：精度参数为实验室测得数据

产品介绍：OMTOOLS 封闭式电动位移台EPSG系列,针对工业客户或者研发环境较差的情况下采用封闭式防尘结构，采用玻璃纤维防尘布，保证在台面移动的时候也能可靠密封，经过严格的检测，关键指标达到行业领先水平。特别适合用于防尘要求高的场合，比如激光陶瓷切割、LCD切割、太阳能板切割和精密加工等。 产品特点：■精密滚珠丝杆驱动，精密线性滑轨导向，有效保证运动精度和直线性■特殊密封设计，保证了产品的密封效果，适合密封防尘要求高的场合■独特装配工艺要求，保证产品的一致性■左右极限开关和零位开关设置，保证产品运行安全■可选配伺服电机和光栅尺 选型表：型号EPSG300 机械规格行程(mm)300台面尺寸(mm)225X225传动机构精密滚珠丝杠Ø 20X5导轨（导向机构）线性滑轨主体材料及表面处理铝合金，阳极氧化总厚度（mm）101自重（Kg）10.8联轴器（外径-孔径1-孔径2）mm20-6.35-12精度规格整布分辨率（μm）2020细分开环分辨率1um最大速度（mm/s）*15单向定位精度（μm）50重复定位精度（μm）±10静态平行度（μm）50运动平行度（μm）25运动直线度（μm）20回程间隙（μm）≤10电气规格电机二相57步进电机，步距角1.8电机品牌及型号雷赛工作电流（A）4.2电机额定转矩（Nm）1.3驱动器品牌及型号雷瑟滑台接头DB9限位传感器（内置）欧姆龙光电传感器原点传感器（内置）欧姆龙光电传感器传感器电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出；负载电源：DC5-24V；OFF电源：0.5mA以下；残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）；输出逻辑 限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）；负载水平负载（Kg）40

• ABSOLUTE线性编码器吸纳了我们独特的静电电容和光电技术。*ABSOLUTE光栅尺的详尽工作原理，详细信息参见H-30页“精密量仪量具的小知识”。• 无备用电源，因而大大降低了功耗。• 在启动或断电后不需要重新校准，因而易于操作。• 适用于需要高精度和高速度控制的机器的位置反馈。• 增强了防机械推动性能和抗噪音干扰性能。型号ABSAT353ABSAT343ABSAT343AABSAT303ABSAT303A适用系统FANUCLtd.NC控制装置三菱电器三菱CNC系列三菱电器MR-J3放大器支持三丰ENSIS接口分辨力