超高精密手动旋转台

[size=16px][color=#000099]摘要：超高真空度的控制普遍采用具有极小开度的可变泄漏阀对进气流量进行微小调节。目前常用的手动可变泄漏阀无法进行超高真空度的自动控制且不准确，电控可变泄漏阀尽管可以实现自动控制但价格昂贵。为了实现自动控制且降低成本，本文提出了手动可变泄漏阀与低漏率电控针阀组合的解决方案，结合真空压力PID控制器可实现超高真空度自动控制。[/color][/size][align=center][size=16px][/size][/align][size=16px][/size][align=center][color=#000099]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/color][/align] [b][size=18px][color=#000099]1. 问题的提出[/color][/size][/b][size=16px] 超高真空一般是指10-7Pa~10-2Pa范围的真空度，相应的超高真空技术应用也十分广泛，特别是对于芯片级原子钟（CSACs）、电容膜片规（CDGs）、显微镜、质谱仪和和新型金属有机化学[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]沉积（MOCVD）等需要超高真空环境的设备，其真空度控制的稳定性通常非常重要。[/size][size=16px] 超高真空度控制的基本原理如图1所示，可采用开环和闭环两种控制形式，基本控制原理是固定真空泵的抽速，通过调节进气流量来实现不同真空度的控制。对于超高真空控制，要求进气量非常微小，所以一般采用可变泄漏阀（varible leakage valve）进行调节进气量。[/size][align=center][size=16px][color=#000099][b][img=01.超高真空度控制系统结构示意图和各种可变泄漏阀,650,493]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/04/202304272211542322_7977_3221506_3.jpg!w690x524.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#000099][b]图1 超高真空度控制的基本原理和各种可变泄漏阀[/b][/color][/size][/align][size=16px] 如图1所示，目前常用的可变泄漏阀有手动和自动两种形式，但在实际应用中存在以下两方面的问题：[/size][size=16px] （1）手动可变泄漏阀只能组成开环控制回路，需要人工调节泄漏阀开度并同时观察真空计读数进行超高真空度控制。这种开环控制方法很难实现真空度的稳定，气源和真空腔体内稍有扰动就会带来严重的波动，另外就是在多个真空度点控制时很难操作和控制。[/size][size=16px] （2）自动可变泄漏阀是在手动泄漏阀上配置了一个电子致动器和PID控制器，与真空计可构成闭环控制回路，可实现超高真空度的精密控制，但存在的问题是价格昂贵，自动可变泄漏阀要比手动泄漏阀贵三倍左右。[/size][size=16px] 针对目前可变泄漏阀具体使用中存在的上述问题，本文提出了如下解决方案。[/size][size=18px][color=#000099][b]2. 解决方案[/b][/color][/size][size=16px] 解决方案的基本思路是采用价格相对较低的手动可变泄漏阀以提供微小的很定进气流量，然后再配备低漏率的电控针阀对此微小进气流量进行电动调节，以实现最终超高真空度的自动控制，由此构成的超高真空度控制系统结构如图2所示。[/size][align=center][size=16px][color=#000099][b][img=02.手动泄漏阀和电动针阀组合式超高真空度控制系统结构示意图,600,267]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/04/202304272212262679_3036_3221506_3.jpg!w690x308.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#000099][b]图2 手动泄漏阀和电动针阀组合式超高真空度控制系统结构示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 由图2所示的控制系统可以看出，整个系统由手动泄漏阀、电控针阀、真空计和PID真空压力控制器构成，并形成闭环控制系统。在具体控制过程中，首先将手动泄漏阀调节到某一固定位置使其保持恒定的微小进气流量，真空压力控制器根据采集到的真空计信号与设定值比较后对电控针阀进行动态调节。由于电控针阀自身有很小的真空漏率，所以电控针阀的开度变化相当于是对手动泄漏阀进气流量的进一步调节，由此电动针阀与手动泄漏阀配合可实现对进入腔体的流量进行调节而最终实现超高真空度的控制。[/size][size=16px] 在图2所示的控制系统中，真空计采用了组合式皮拉尼真空计，真空度测试范围可以从一个大气压到5×10-8Pa，全量程真空度对应的模拟信号输出为0~10V。此真空计信号可以直接被真空压力PID控制器接收，PID控制器具有24位AD、16位DA和0.01%最小输出百分比技术指标，并带有程序控制和RS485通讯功能，可很好的进行超高真空度的全量程自动控制。[/size][size=16px] 此解决方案除了可以满足小型真空腔室的超高真空度控制之外，也可以用于较大腔室的控制，所需的只是改变手动可变泄漏阀开度大小。[/size][align=center][size=16px][color=#000099]~~~~~~~~~~~~~~~~[/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#000099][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#000099][/color][/size][/align]

高精密恒温恒湿空调箱外包服务怎么选择[size=13px][b] 实验室有些试验需要在恒定的温湿度下操作，这就是要有一个恒温恒湿室，希望能精密的控制温度和湿度，并且恒温恒温室内任何一个点都要是稳定的温湿度，素衣要求比较严格，一般的设备达不到这么精密，维修维护的成本也高，过了保质期怎么办，这是我们现在最头疼的事情。[/b][/size] 最开始公司想在本市找一个空调维修的售后部门来做我们的精密空调的维护保养和故障维修服务，但是他们看了之后，很多配件和他们常用的型号都不对，也比一般空调复杂，可以接受空调维护，比如清洗外机，清洗过滤网等，他们不愿意包维修，说维修要单独购买配件，价格较高，报价太多，我们也承受不了。最后公司临高决定，还是和厂家联系，让他们报价，包给他们算了，因为他们在外地，唯一要求是要24小时内给与反应，维修速度和效率要快。把这个要求转达给厂家，厂家很快发来了报价单，分为两种包的方式。[table][tr][td][align=center]序号[/align][/td][td][align=center]项目[/align][/td][td][align=center]规格型号[/align][/td][td][align=center]数量[/align][/td][td][align=center]单价[/align][align=center]（人民币元）[/align][/td][td][align=center]总价[/align][align=center](人民币元)[/align][/td][td][align=center]备注[/align][/td][/tr][tr][td][align=center]1[/align][/td][td][align=center]一年小包[/align][/td][td][align=center]JOV[/align][/td][td][align=center]1台[/align][/td][td][align=center]￥15000.00[/align][/td][td][align=center]￥15000.00[/align][/td][td]a)免无限次人工费，配件另算b)每年巡检4次，遇到紧急情况24小时内到达现场，[/td][/tr][tr][td][align=center]2[/align][/td][td][align=center]一年大包[/align][/td][td][align=center]JOV[/align][/td][td][align=center]1台[/align][/td][td][align=center]￥25000.00[/align][/td][td][align=center]￥25000.00[/align][/td][td]无费用 每年定期到现场巡检4次，遇到紧急情况24小时内到达现场[/td][/tr][/table]接下来有采购部和他们先谈价格，经过采购的努力，最终确定价格[table][tr][td][align=center]序号[/align][/td][td][align=center]项目[/align][/td][td][align=center]规格型号[/align][/td][td][align=center]数量[/align][/td][td][align=center]单价[/align][align=center]（人民币元）[/align][/td][td][align=center]总价[/align][align=center](人民币元)[/align][/td][td][align=center]备注[/align][/td][/tr][tr][td][align=center]1[/align][/td][td][align=center]一年小包[/align][/td][td][align=center]JOV[/align][/td][td][align=center]1台[/align][/td][td][align=center]￥13000.00[/align][/td][td][align=center]￥13000.00[/align][/td][td]a)免无限次人工费，配件另算b)每年巡检4次，遇到紧急情况24小时内到达现场， [/td][/tr][tr][td][align=center]2[/align][/td][td][align=center]一年大包[/align][/td][td][align=center]JOV[/align][/td][td][align=center]1台[/align][/td][td][align=center]￥23000.00[/align][/td][td][align=center]￥23000.00[/align][/td][td]无费用 [align=center]每年定期到现场巡检4次，遇到紧急情况24小时内到达现场[/align][/td][/tr][/table] 因为采购部门这方面也不懂具体细节方面由我去谈，然后由我决定是大包还是小包，首先我要求看一下他们维护和维修都有哪些项目[img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/09/202009241445268873_2060_2154459_3.png[/img]然后明确哪些方面他们是免责的对下列条款不管大包还是小包他们不负责1.高精密空调的耗材，易磨损配件2.高精密空调如外壳掉漆，刮花3.我们实验室自己之前换过的其他品牌的配件4.违规操作造成的损坏5.发生过火灾或水淹的高精密空调外机或内机最后双方确定并同意以上这些情况下高精密空调如果要维修需要另外报价付钱。最后他们又提出两个补充；1.签合同前要去实验室检查一下仪器，如果有主要配件损坏或者近期内肯定会坏掉，要先维修再签合同。2.如果关键部件损坏，而他们仓库有没有这种配件，需要进口，这些维修时间要延长到15天，并且运费要我们另外付款。最后经过商议，我们公司同意我提出的意见，1签订大包合同，高精密空调全包。2.不统一第二项不同要求，要他们在仓库一定要合理备件，不接受15天维修情况，不接受国外订货我们付运费。3.仪器故障要能及时维修，24小时到现场，最迟3天内必须维修完成，包括换配件。4.所有配件都要有备货，不能我们报修了才采购配件。最后交流后，双方各退一步，签订了合同。

纺织品恒温室高精密空调检查，查什么？ 纺织品检测实验室，有一个标准环境是必须配备的，就是恒温恒湿环境，一般的要求是达到三级大气压的标准要求，需要的温度20±2℃，相对湿度65%±3%；一般需要专业恒温恒湿设施才能达到这个标准要求，这样的恒温恒湿室从装修到设备都是很专业级的。 恒温恒湿室，其主要控制系统就是高精密恒湿恒湿机系统，它的运作是通过三个相互联系的系统：制冷剂循环系统、空气循环系统、电器自控系统。其中电器自控系统是对压缩机、风扇、电加热器，加湿器等供应电源自动控制部分，自动运行压缩机(降温、除湿)，加湿器，电加热(升温)等元件，实现恒温恒湿的自动控制。高精密恒湿恒湿机制冷原理为蒸发器中的液态制冷剂吸收空气的热量并开始蒸发，最终制冷剂与空气之间形成一定的温度差，液态制冷剂亦完全蒸发变为气态，后被压缩机吸入并压缩,气态制冷剂通过冷凝器吸收热量，凝结成液体。通过膨胀阀节流后变成低温低压制冷剂进入蒸发器，完成制冷剂循环过程。 高精密恒湿恒湿机和简单空调机原理差不多，但又不一样，是更精密的控制室内的温度和湿度，内部构造比一般空调复杂，又因一般恒温恒湿室都是24小时不间断的作业，那么其内部零件的损耗和磨损也是比较严重的，特别是每年的七八月份是一年气温最高的时候，因为室内外温度的温差大，湿度相差也大，所以这两个月是高精密空调故障频发期，一般这两个月我们都会出钱要求仪器供应商每个月来巡检一次，以防止仪器故障，出现不必要的麻烦。纺织品恒温室高精密空调巡检，要查什么呢，现在厂家工程师来了，但我们却不知道要检查什么项目，为了搞清楚决定跟着看看，大家也一起来看看，看看恒温恒湿高精密空调‘体检’要查什么？[img=,690,920]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/09/201809130921542347_8583_2154459_3.jpg!w690x920.jpg[/img][img=,690,920]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/09/201809130922129361_1495_2154459_3.jpg!w690x920.jpg[/img][img=,690,920]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/09/201809130921407887_946_2154459_3.jpg!w690x920.jpg[/img][img=,690,920]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/09/201809130922037357_2092_2154459_3.jpg!w690x920.jpg[/img][img=,690,1226]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/09/201809130921326497_9234_2154459_3.jpg!w690x1226.jpg[/img] 厂家工程师一般首先看温湿度历史记录，曲线图，没有异常就开始检查主机过滤网，这个是每次巡查都要清洗的，然后再看风机的皮带磨损情况，接着就是风机电压电流；制冷系统主要就是高压低压，膨胀阀，冷凝器和过滤器，最后就是外机，外机是每次都会清洗，一般巡查没有提示故障的话，清洗一下外机就算差不多结束工作了。加湿系统主要就是看漏不漏水，加湿灌脏不脏等，整个过程一般2-3个小时就可以完成一台高精密空调的全部巡检。 其实仪器的没有故障之前的检查是很有必要的；不仅仅是为了各种规定要求，主要目的就是做一个维护和保养，仪器故障前的检查，成本低，这个是隐形成本控制；并且可以避免突然地仪器故障造成工作的耽误和业务的损失，仪器的状态也会更好，比如清洗过滤网，检查电压，电容等，能初步判定精密空调配件磨损程度，预计故障的可能，更重要一点是安全检查，仪器24小时运转，晚上没有人值班，如果因为仪器故障，短路出现事故就得不偿失了，虽然不一定能完全杜绝这样的现象，但排查还是可以发现一些隐患的，一些建议性的意见还是要引起注意的。