场发射枪扫描显微镜

11月15日-19日,第二十五届中国国际高新技术成果交易会(以下简称“高交会”)在深圳隆重举办。中科科仪作为国科控股与国科科仪高端装备制造版图中的重要组成部分,携众多前沿技术及硬核产品亮相国科控股高端装备板块。16日上午,中科科仪总经理助理兼科仪光电总经理孟祥良在高交会(福田展区)新产品新技术精品发布活动中进行了《场发射枪扫描电子显微镜》的精彩报告,带来了具有自主知识产权的国产高端场发射枪扫描电子显微镜KYKY-EM8100并进行详细介绍。【发布现场】扫描电子显微镜是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器,具有景深大、分辨率高、成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点,是中国科技发展中不可或缺的高端科学仪器。中科科仪具有50多年的电镜研制历史,具备深厚的电子光学技术基础,是国内率先实现扫描电子显微镜产业化的企业,在产品的研发和制造方面拥有丰富的经验。针对基础科学研究和高精尖工业制造对国产场发射枪扫描电子显微镜的迫切需求,2013年,北京中科科仪股份有限公司牵头,联合北京大学、中科院微电子所、中科院生物物理所、国家环境分析测试中心、清华大学等单位,承担国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”,在2014年成功推出了国内首台肖特基场发射枪扫描电子显微镜KYKY-EM8000,并在此基础上提升电子光学系统综合性能,于2017年推出了国产高端场发射枪扫描电子显微镜产品KYKY-EM8100,分辨率优于0.9nm@30kV,3nm@1kV,解决了高分辨率电子光学成像系统、系统集成调试等关键技术,成为国内首创、达到国际同类产品技术水平、具有完全自主知识产权的肖特基场发射枪扫描电子显微镜。KYKY-EM8100型扫描电子显微镜是中科科仪承担科技部国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”研制成果的一部分,具有自主设计制造了低像差物镜、突破了电子束镜筒加速技术、自主研制了电子光学智能化控制系统等三大技术优势。目前该设备已完成科技成果转化及产业化落地,并形成批量销售,深受各行业用户好评,为我国纳米科技、材料分析、分子生物学研究与半导体检测领域提供技术支撑,取得了显著的经济效益和社会效益。场发射枪扫描电子显微镜是纳米技术、生物技术、医学、化学、物理学研究的重要工具,在半导体集成电路加工、微机电系统、微型传感器等信息技术支撑领域和环境保护领域也发挥着重要作用,广泛应用于金属、陶瓷、矿物、冶金、高分子、复合材料、微生物、新能源材料的表面形貌进行观察及微区的点、线、面成分分析 同时,场发射枪扫描电子显微镜在虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、产品质量鉴定等方面也有广泛的应用,在我国的基础科学研究、生产工艺控制、各分类学科研究的过程中发挥着不可或缺的重要作用。场发射枪扫描电子显微镜的研制成功,是我国电子光学研究水平的集中体现,是我国电子光学领域的重要成果,对摸索我国高端大型科学仪器的发展模式具有重要意义。当前,紧随科研需求和市场热点,中科科仪积极推进电子束等光学仪器设备的研究制造,加速高端仪器设备国产化替代进程,满足更多的科研及产业客户的特殊需求,助力中国高新技术产业高质量发展。未来,中科科仪将加快推进电子光学高端科学仪器装备的研制进程,提升国产化替代水平,不断解决高端仪器装备的问题,高质量引领重大科学仪器攻关及产业化发展,为强化国家战略科技力量、实现高水平科技自立自强做出新的贡献。

p　　strong仪器信息网讯 /strong2019年12月6日，由北京中科科仪股份有限公司承担的国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”项目技术综合验收会在北京外国专家大厦召开，科技部专家组成员、项目牵头单位、合作和应用单位代表参加了本次会议。/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 338px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201912/uepic/12c61986-7256-46e1-96d0-5c32fcd33ee9.jpg" title="验收.jpg" alt="验收.jpg" width="450" height="338" border="0" vspace="0"//pp　　会上，验收专家组现场听取了中科科仪项目完成情况汇报，观看了项目视频，听取了异地测试情况汇报。与会专家组成员对项目完成情况给予高度评价，一致建议通过验收。/pp style="text-align: center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 600px height: 224px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201912/uepic/aa7c05ae-5295-49d6-b65c-ff0a014dc18b.jpg" title="场发射.png" alt="场发射.png" width="600" height="224" border="0" vspace="0"//pp　　场发射枪扫描电子显微镜是纳米科技研究不可缺少的工具,为前沿科技研究提供重要支撑，提升高端科学仪器研制水平，促进精密制造业发展，满足半导体技术、生命科学、环境保护等领域的迫切需求。该项目突破了高分辨电子光学成像系统设计、场发射枪工程化设计制造、电子束加速镜筒设计制造等多项关键技术，成功开发出具有自主知识产权的肖特基场发射枪扫描电子显微镜，分辨率指标分别达到和优于3nm@1kV和1nm@30kV，达到国际一流水平，极大促进了我国电子光学仪器产业的发展，使我国扫描电镜实现台阶式飞越，有效解决当前“卡脖子”问题，打破了国外产品垄断局面，促进国家、民族工业发展。极大推动和提高我国前沿科学研究、重大工程和战略型新兴产业高端装备的国产化和自主化水平。/ppbr//p

一、项目基本情况项目编号：HBT-15210194-214251项目名称：华中科技大学场发射扫描电子显微镜采购项目预算金额：300.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：300.0000000 万元（人民币）采购需求：华中科技大学拟采购场发射扫描电子显微镜1台，采购清单如下，具体要求见本项目招标文件第三章内容。本项目已做进口设备论证。序号货物名称是否接受进口产品单位数量简要技术要求1场发射扫描电子显微镜是台1主机发射源：热场发射电子枪，束流稳定性优于0.2%/h主机物镜系统：电磁/静电式复合式物镜系统，电子束无交叉光路设计，无漏磁 合同履行期限：交货期：合同签订后6个月内供货；质保期：设备验收后一年

项目编号：0613-227122241216项目名称：ZYCGR22011903场发射扫描电子显微镜采购预算金额：380.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：380.0000000 万元（人民币）采购需求：序号内容数量简要要求1场发射扫描电子显微镜1套分辨率：优于0.6nm@15kv（WD≥4mm），0.7nm@1kv（WD≥1.5mm） 合同履行期限：合同签订后7个月内交货本项目( 不接受 )联合体投标。

岁末年初，屹东光学站在了一个重要的起点上，屹东光学获批科技部2023年 “基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项的 “场发射扫描电子显微镜”项目。此专项是围绕国家基础研究与科技创新重大战略需求，以关键核心部件国产化为突破口，重点支持高端科学仪器工程化研制与应用开发，切实提升我国科学仪器自主创新能力和装备水平，促进产业升级发展。屹东光学牵头了此次项目的申报，联合申报单位还包括中国科学院物理研究所，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，中国科学院苏州生物医学工程技术研究所，北京芯愿景软件技术股份有限公司。通过激烈竞争，获得国家重大仪器专项任务，既是对屹东光学团队能力的认可和肯定，也是对屹东光学全体员工的激励——为我国在扫描电子显微镜这一共性关键技术上实现完全的自主可控做出自己的贡献。正如科技部2023年国家重点研发计划申报指南中专项1.30“场发射扫描电子显微镜”所提出的，“突破超高分辨电磁透镜设计仿真、高信噪比电子探测器、高亮度场发射源、高通量电镜成像综合控制、多模态图像融合及识别算法等关键技术，开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的场发射扫描电子显微镜，在图像分辨率、电子探测器、样品重复定位精度等关键考核指标均处于国际领先水平，项目需通过可靠性测试和第三方异地测试，平均故障间隔时间≥3000小时项目，技术就绪度不低于8级”。这是一个使我国在扫描电镜技术上追平国际电镜大厂最先进技术能力的目标，是一项艰巨的任务！屹东光学团队深知此项任务之重大，将竭尽全力，完成这一光荣任务，为国产仪器争光！祝贺屹东光学获此光荣任务，预祝屹东团队取得圆满成功！！！

项目编号：QSZB-Z(H)-E22342(GK) 项目名称：场发射扫描电子显微镜 预算金额（元）：6600000 最高限价（元）：6600000 采购需求： 标项名称: 场发射扫描电子显微镜 数量: 1 预算金额（元）: 6600000 简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：场发射扫描电子显微镜主要内容：详见招标文件第三部分采购需求。 备注： 合同履约期限：标项 1，合同生效后10个月内交付。 本项目（是）接受联合体投标。

8月23日，上海大学公开招标购买1台冷场发射扫描电子显微镜，预算650万元。　　项目编号：SHXM-00-20210813-1030　　项目名称：上海大学冷场发射扫描电子显微镜　　预算金额(元)： 6500000　　最高限价(元)： 6000000　　采购需求：　　包名称：冷场发射扫描电子显微镜　　数量：1　　预算金额(元)：6500000　　简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：　　合同履约期限： 合同签订后5个月内　　本项目( 不允许 )接受联合体投标。　　开标时间： 2021年09月15日 09:30

1、项目编号：HBCZ-20120026-2210782、采购计划备案号：420000-2022-058033、项目名称：场发射电子扫描显微镜采购4、采购方式：公开招标5、预算金额：650(万元)6、最高限价：650(万元)7、采购需求：武汉纺织大学场发射电子扫描显微镜系统采购项目，采购需求为场发射电子扫描显微镜系统1套。具体技术及商务要求详见本项目招标文件第三章内容8、合同履行期限：交货期：合同签订后，8个月（日历天）内9、本项目（是/否）接受联合体投标：否10、是否可采购进口产品：是11、本项目（是/否）专门面向中小微企业：否

项目编号：GZSW22156HG2165项目名称：原位场发射扫描电子显微镜采购采购方式：公开招标预算金额：8,000,000.00元采购需求：合同包1(原位场发射扫描电子显微镜):合同包预算金额：8,000,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1其他专用仪器仪表原位场发射扫描电子显微镜1(套)详见采购文件8,000,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：自合同签订之日起至质保期满之日。

项目编号：清设招第2021493号项目名称：清华大学场发射扫描电子显微镜预算金额：310.0000000 万元（人民币）采购需求：包号名称数量是否允许进口产品投标采购预算（人民币）01场发射扫描电子显微镜1套是310万元设备用途介绍 ：场发射扫描电子显微镜能够对各种类型的材料样品表面微观结构进行超高分辨率成像观察，获取样品表面微观结构形貌信息、成分衬度信息。低电压条件下，无需镀膜可直接高分辨观察金属材料、薄膜类材料等样品。简要技术指标 ：1）无样品台减速模式下多边统计法测试得到的二次电子分辨率：≤0.7nm@15kV，≤1.2nm@1kV；最低加速电压和着陆电压均≤20V，最高加速电压和着陆电压均≥30kV，加速电压以10V为步进连续可调；2）放大倍率：可调节范围优于10~2,0000,000倍，根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数可自动校准，低倍率与高倍率之间无需模式更换；3）配置样品室内二次电子探测器，镜筒内无偏压环形超高分辨二次电子探测器。合同履行期限：交货时间：合同签订后6个月内。

项目编号：ZH2022020072、JG066022982409项目名称：南京大学场发射扫描电子显微镜系统预算金额：650.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：650.0000000 万元（人民币）采购需求：序号名称数量1场发射扫描电子显微镜主机1 套2镜筒内二次电子探测器1 套3样品舱内二次电子探测器1 套4样品室内多象限环形背散射探测器1 套5彩色CCD 相机1 套6电流监视器1 套7镜筒内正光轴上的能量选择背散射探测器或同样功能的探测器1 套8能量过滤系统，调节范围优于 0~1500V1 套9多功能扫描透射探测器1 套10可变压力(VP)成像系统1 套11超高分辨可变压力装置1 套12可变压力下样品室内环形多象限环形背散射探测器1 套13可变压力二次电子和 CL探测器1 套14等离子清洗系统1 套15样品交换仓1 套16冷却循环水1 套17原装空气压缩机1 套18高分辨能谱1 套19矿物分析系统1 套20EBSD1 套21光学显微镜1 套22光电关联软硬件1 套23大面积图像自动拼接功能1 套具体需求详见招标文件。合同履行期限：合同签订生效或免税办好并收到外贸公司通知后，7个月内全部货物、材料全部运抵买方目的地（如CIP报价为南京禄口机场），并安装、调试结束，验收合格，交付采购人使用。本项目( 不接受 )联合体投标。

项目编号：AZF202200006项目名称：场发射扫描电子显微镜采购预算金额：350.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：350.0000000 万元（人民币）采购需求：场发射扫描电子显微镜 1套合同履行期限：自合同生效之日起至合同全部权利义务履行完毕之日止本项目( 不接受 )联合体投标。

项目编号：ZUPC-GK-HW-2022023G项目名称：场发射扫描电子显微镜预算金额：260.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：260.0000000 万元（人民币）采购需求：场发射扫描电子显微镜 一套，详见标书文件合同履行期限：合同签订后10个月内本项目( 不接受 )联合体投标。

近日，国科大杭州高等研究院预算220万元欲采购1套进口超高分辨率场发射扫描电子显微镜，用于样品表面微观形貌和结构表征的科研项目研究。该设备的采购已经由归口部门科研处组织5名熟悉该产品性能的专家（含1名法律专家），进行了超高分辨率场发射扫描电子显微镜的可行性论证及进口设备专家认证。详情如下：一、采购人名称：国科大杭州高等研究院二、进口产品公示编号：importedProduct2022101549659249三、采购项目名称：超高分辨率场发射扫描电子显微镜四、符合采购要求的进口产品产地、品牌（一家及以上）：序号品牌/厂家产地1日立日本2赛默飞美国3蔡司德国五、 专家论证意见：专家一：采购单位研究的超小磁性纳米生物材料及其复合材料样品在磁分离、磁靶向、纳米酶催化、体内磁热治疗、体内MRI造影等领域应用广泛。磁性样品显微形貌结构表征时，为了避免磁性样品吸附到仪器内，污染干扰仪器检测，安全起见通常需要在10 mm及以上的大工作距离下进行表征，因此，大工作距离下的分辨率指标很重要。另外，为了避免这类尺寸超小的复合生物材料样品受电子束辐照损伤，通常采用低电压和小束流的条件，并且在低电压下达到1.0 nm以下的高空间分辨率对样品微结构形貌分析很重要。进口产品在1kV的低加速电压下可达到≤0.8 nm的分辨率，在10 mm的工作距离、1kV低加速电压时，仍可保证达到1.0 nm的分辨率指标。国产设备在1kV的低加速电压下最高空间分辨率仅能达到1.5 nm，随着工作距离调整到10 mm及以上时，1kV低电压分辨率显著降低，不能满足超小的磁性纳米生物材料及其复合材料样品的研究分析需求。综上，根据采购单位样品分析需求，国产设备目前暂时无法满足使用，建议采购进口设备。专家二：采购单位涉及囊泡纳米颗粒、蛋白组装纳米颗粒等类型各异的生物样品。对于导电性差的生物类样品在高加速电压电子束作用下表面微结构形貌容易损伤，最好在低电压下表征，而为了高分辨表征样品细节，仪器需要保证在低电压时具有超高的分辨率性能。进口设备起步发展早，机型种类多，高端机型在1 kV低加速电压下可达到0.8 nm以下的分辨率。相比之下，国产设备发展晚、可供选择的机型少，在1 kV低加速电压下，高端的国产机型分辨率都在1.5 nm及以上，国产设备不能达到1.0 nm及以下的分辨率指标，会导致很多实验样品不能被表征分析，影响项目研究推进。因此，为了保障采购单位的项目申请和研究需求，建议采购进口设备。专家三：此次拟采购的超高分辨率场发射扫描电子显微镜需要用于聚合物纳米颗粒、蛋白纳米颗粒等纳米材料的微结构形貌和元素分布研究。高分子、蛋白类的纳米材料通常导电性不佳、容易受到电子辐照损伤，故对这类样品进行电子显微表征时，需要考虑仪器低电压下的空间分辨率和元素测试的速度。低电压分辨率方面，目前进口的高端设备低电压1kV的分辨率可达到1.0 nm或更优，在配备电子速减速技术时分辨率可达到0.8 nm或更优。目前国产最高端设备，在低电压1kV、减速条件下最优达到1.5 nm分辨率，无法满足1.5 nm以下的成像分辨率，使用受限。元素分析方面，进口设备可选配一体化的硅漂移探测器，因其底层与扫描电子束信号共用同一个图形发生器，可以在进行形貌扫描的同时实时得到元素分布的结果，达到同样元素分析效果的前提下速度比使用第三方探测器快一倍以上，减少了所需要的电子辐照样品时间。目前国内暂时没有生产硅漂移探测器的厂家，国产设备只能选配进口的、第三方的产品，需要额外的图形处理器和软件，速度较慢，电子辐照时间变长，增加了辐照损伤样品的风险。综上，建议采购进口设备以满足单位的科研工作需要。专家四：拟采购的超高分辨率场发射扫描电子显微镜利用高能电子束和不同的探测器，可从毫米尺度到纳米尺度连续地对样品进行形貌、结构、元素、电位分析，是材料微观分析领域不可替代的设备之一。对于采购单位研究的小尺寸聚合物纳米点、量子点等纳米材料，表征时镀膜处理会带来假象，采用低加速电压探测是最常用和有效的表征方法。1kV的低加速电压下进口高端产品的分辨率可以做到≤0.8nm，而国产的高端产品低电压1kV的分辨率≥1.5nm。成像能力和分辨率指标的倒数成正相关，意味着国产产品在低电压成像分辨能力比进口高端产品有大于50%的差距。因此，在低电压成像分辨能力方面，国产产品确实不能很好地满足上述尺寸小的样品表征需求。在功能探测器方面，进口产品具备独立的形貌、元素、电位衬度探测器；具备一体化硅漂移探测器，能量分辨率129 eV或更优；具备一体化软件，可以实时得到形貌信息、结构信息、电位信息、元素信息的原位微观表征结果。国产产品具备形貌、元素衬度探测器，并无独立的电位衬度探测器；无国内厂家可生产硅漂移探测器，只能选配第三方的产品，软件功能无法集成一体，也会带来售后问题。综上，建议采购进口设备。专家五：（一）国科大杭州高等研究院企业信息拟采购的进口产品符合《政府采购的进口产品管理办法》（财库[2007]119号第三条）以及《关于政府采购进口产品管理有关问题的通知》（财办库[2008]248号）的认定情形。（二）该商品未列入商务部《限制进口机电产品目录》和《中国禁止进口限制进口技术目录》；（三）通过市场调查，国产设备目前在导电性差/尺寸小的生物样品形貌空间分辨力等性能指标达不到要求，不满足采购单位科研需要。该设备属于国家非限制进口仪器设备，符合国家相关进口产品的法律规定，建议该项目采购进口设备。

项目编号：招标编号：1069-224Z20224803/1 项目编号：S2022122707项目名称：华东理工大学场发射扫描电子显微镜采购项目预算金额：250.0000000 万元（人民币）采购需求：场发射扫描电子显微镜1套合同履行期限：合同签订后365天内交货（90天内完成安装调试并具备验收条件等）本项目( 不接受 )联合体投标。

项目编号：2240SUMEC/GXGG1108项目名称：江南大学宜兴研究生院场发射扫描电子显微镜等设备预算金额：550.0000000 万元（人民币）采购需求：分包号产品名称数量（套）简要技术要求项目预算金额（万元/人民币）1场发射扫描电子显微镜1详见招标文件第四章招标技术规格及要求500.002全自动临界点干燥仪150.00超过对应的预算金额作无效投标处理合同履行期限：分包1：合同生效后180天内。分包2：（1） 国（境）内供货：合同生效后30天内；（2） 国（境）外供货：合同生效后120工作日内。本项目( 不接受 )联合体投标。

项目编号：OITC-G220272138/清设招第20221223号项目名称：清华大学场发射扫描电子显微镜采购项目预算金额：292.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：292.0000000 万元（人民币）采购需求：1、采购项目的名称、数量：包号货物名称数量（台/套）是否允许采购进口产品1场发射扫描电子显微镜1是投标人可对其中一个包或多个包进行投标，须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，评标、授标以包为单位。2、技术要求详见公告附件。合同履行期限：详见采购需求本项目( 不接受 )联合体投标。采购需求.pdf

项目编号：0705-224006054004/招设2022A00010项目名称：上海交通大学场发射扫描电子显微镜国际招标预算金额：430.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：350.0000000 万元（人民币）采购需求：序号货物名称数量简要技术规格交货期1场发射扫描电子显微镜1套1）高真空模式： 15kV时0.5nm；1 kV时优于0.8nm；500 V时优于1.0nm；2）大工作距离分辨：工作距离10 mm时，1 kV时优于1.0 nm；3）分析条件下分辨：束流6.4nA，工作距离10 mm下，15kV时优于1.9 nm；4）其他技术要求详见第八章第二部分《技术规格》。签订合同后6个月内合同履行期限：签订合同后6个月内交货本项目( 不接受 )联合体投标。

一、项目编号：0705-2240JDSMTXDK/15/招设2022A00249（招标文件编号：0705-2240JDSMTXDK/15）二、项目名称：上海交通大学场发射扫描电子显微镜三、中标（成交）信息供应商名称：上海主流贸易有限公司供应商地址：上海嘉定区天祝路789弄2号楼501A中标（成交）金额：399.7000000（万元）四、主要标的信息序号 供应商名称 货物名称 货物品牌 货物型号 货物数量 货物单价(元) 1 上海主流贸易有限公司 场发射扫描电子显微镜 日立 SU8600 1 CNY 3997000

项目编号：OITC-G230310456项目名称：中国科学院大连化学物理研究所高分辨场发射扫描电子显微镜采购项目预算金额：500.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：500.0000000 万元（人民币）采购需求：包号设备名称数量简要用途交货期交货地点是否允许采购进口产品1高分辨场发射扫描电子显微镜1套该设备能够对各种类型的材料样品表面微观结构进行高分辨率成像观察，获取样品表面微观结构形貌信息、成分衬度信息，可以在低电压下条件下无需镀膜直接高分辨观察样品。配置能谱仪，可用来对材料微区成分元素种类与含量分析。合同签订后11个月内中国科学院大连化学物理研究所是 投标人可对其中一个包或多个包进行投标，须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，评标、授标以包为单位。合同履行期限：合同签署后11个月内到货本项目( 不接受 )联合体投标。

【项目概况】场发射电子扫描显微镜采购招标项目的潜在投标人应在线上领取获取招标文件，并于2022年06月21日09点30分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况1、项目编号：HBCZ-20120026-2210782、采购计划备案号：420000-2022-058033、项目名称：场发射电子扫描显微镜采购4、采购方式：公开招标5、预算金额：650(万元)6、最高限价：650(万元)7、采购需求：武汉纺织大学场发射电子扫描显微镜系统采购项目，采购需求为场发射电子扫描显微镜系统1套。具体技术及商务要求详见本项目招标文件第三章内容8、合同履行期限：交货期：合同签订后，8个月（日历天）内9、本项目（是/否）接受联合体投标：否10、是否可采购进口产品：是11、本项目（是/否）专门面向中小微企业：否二、申请人的资格要求1、满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定，即：（1）具有独立承担民事责任的能力；（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（6）法律、行政法规规定的其他条件。2、单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同投标人，不得参加本项目同一合同项下的政府采购活动。3、为本采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的，不得再参加本项目的其他招标采购活动。4、未被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单，未被列入政府采购严重违法失信行为记录名单。5、落实政府采购政策需满足的资格要求：无6、本项目的特定资格要求：（1）提供投标人参加政府采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明（格式要求详见第六章相关内容）；（2）投标人不是所投设备制造商且所投产品为进口产品的，须满足以下条件之一：提供制造商(含制造商专设的子公司或分公司或办事处，应提供相关关系说明）的授权书或售后服务承诺函；如投标人为所投进口产品国内总代理的，须提供售后服务承诺函，同时提供该授权单位（或承诺单位）为国内总代理的相关证明材料；（3）如国家法律法规对市场准入有要求的还应符合相关规定；（4）本项目不接受联合体投标。三、获取招标文件1、时间：2022年05月30日至2022年06月06日，每天上午08:30至12:00，下午14:00至16:30（北京时间，法定节假日除外）2、地点：线上领取3、方式：将资料（1）或（2）、（3）【（1）法定代表人身份证明书原件及法定代表人身份证原件；（2）法定代表人授权书原件及被授权人身份证原件；（3）文件获取登记表】的扫描件在获取文件截止时间之前发送邮件至项目联系人邮箱（以项目负责人收到邮件的时间为准），并在邮件正文中中注明项目编号后六位和所投包号。《文件获取登记表》详见“六、其他补充事宜”4、售价：0(元)四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点1、开始时间：2022年06月21日08点30分（北京时间）2、截止时间：2022年06月21日09点30分（北京时间）3、地点：武汉市武昌区东湖西路特2号平安财富中心（东湖大厦正对面）B座湖北省成套招标股份有限公司10楼1008号会议室（如由于疫情防控原因，投标人无法到开标地点参加开标会，可将纸质投标文件按本项目招标文件要求进行密封，并于开标时间前（以签收时间为准）邮寄到湖北省成套招标股份有限公司，收件人：郑建伟，联系电话：15927377312。递交时间以收件人本人签收时间为准，投标人务必在显示“已签收”后与郑建伟电话确认。以邮寄方式递交投标文件的投标人被视为对开标程序和内容无异议）五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜1.本项目需要落实的政府采购政策：促进中小企业发展政策、支持监狱企业发展政策、促进残疾人就业政策、节能环保等，具体约定详见本项目招标文件第四章政策支持。2.递交标书费的帐户信息收 款 人：湖北省成套招标股份有限公司账 号：572976591978开 户 行：中国银行武汉中南路支行3.参加要求：届时敬请参加投标的授权代表携本人二代身份证原件及投标文件出席开标会议4.信息发布媒体中国湖北政府采购网湖北省成套招标股份有限公司门户网5.《文件获取登记表》文件获取登记表项目名称：项目编号：包号 ：投标人：纳税人识别号/统一社会信用代码：授权代表 ：联系电话：地址：邮箱 ：七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系1、采购人信息名 称：武汉纺织大学地 址：武汉市江夏区阳光大道1号联系方式：027-593677742、采购代理机构信息名 称：湖北省成套招标股份有限公司地 址：武汉市武昌区东湖西路特2号平安财富中心B座7楼（东湖大厦正对面）联系方式：159273773123、项目联系方式项目联系人：郑建伟 叶凡 徐沫电 话：15927377312/027-87816666-8662/（邮箱）875471922@qq.com

——这是世界上第一款能对非导电样品和有污染样品进行超高分辨表征的扫描电镜 2005年3月1日, FEI公司发布了其Nova系列扫描电镜(SEM)和双束电镜(DualBeam)产品的最新成员：Nova NanoSEM。该产品是世界上第一款可以对有机材料、基板、多孔材料、塑料以及高聚物材料等有电荷积累的样品和/或污染性样品进行超高分辨表征的低真空场发射扫描电子显微镜（FEG-SEM）。作为FEI公司引领市场的众多设备中最新的一员，Nova NanoSEM为用户在纳米研究、开发与生产的相关工作提供了更多的可能。 Nova NanoSEM的出现为那些非导电的以及有污染的纳米材料研究和开发者们带来了新的表征手段。与NanoSEM同时发布的FEI Helix探测技术将浸入式透镜和低真空扫描电镜两种技术成功地组合在一起，这在场发射扫描电镜的历史上还是第一次。在给用户带来超高分辨率的同时，还能在低真空环境下有效地抑制非导电材料的电荷积累效应。Nova NanoSEM的这种新技术还可以有效地抑制由前道样品处理过程所引起的电子束诱导污染。 “Nova NanoSEM所独有的电子光学系统和信号采集系统使之成为那些每天要面临不断增长的各种应用与挑战的客户的更有力的工具”，FEI扫描电镜和小型双束电镜(DualBeam)的产品经理Tony Edwards称，“FEI一直以其独特的ESEM技术在非导电样品免镀层的观测上独占鳌头。现在这种领先的低真空技术与超高分辨技术的结合使其在这种目前仍然极具挑战性样品的观测上进一步拓展了它的优势”。 除了低真空条件下二次电子和背散射电子成像以外，Nova NanoSEM还具有浸入式透镜的技术和FEI所特有的使用电子束进行纳米结构沉积的气体化学技术，所有的这些特点使之成为纳米结构与纳米材料研究领域中最先进、最理想的扫描电镜。 随着材料、器件和生物样品越来越复杂，尺度越来越小，人们对FEI公司在各个领域中所提供的各种纳米表征设备都提出了更高的要求。2004年，FEI公司成为第一个能够提供分辨率小于一埃（一埃等于一百亿分之一米）或原子尺度的商业透射电子显微镜的电子光学生产厂家。NanoSEM及其相关纳米技术表征设备的不断发展使FEI公司继续在各种纳米材料的高分辨表征与分析中保持着领先地位。 关于FEI 公司： FEI 公司服务于纳米技术的装备，以聚焦离子束和电子束技术为特色，提供最高分辨率小于一埃的3D 特征描述、分析及修改功能。公司在北美和欧洲拥有研究开发中心，在全球四十多个国家经营销售和提供维修服务。FEI 公司将纳米尺度呈献给研究人员和生产厂商，协助将本世纪一些最杰出的理念变成现实。更多的信息可在FEI 公司网站上找到：http://www.feicompany.com 中文版译注： (1) 任何中文版疑义，以英文版为准。英文版见FEI公司网站: http://www.feicompany.com (2) 1纳米等于10埃。

11月15日，第二十五届中国国际高新技术成果交易会（以下简称“高交会”）在深圳开幕。　　记者在中国科学院专馆看到，作为尖端科学仪器和真空技术领军者——北京中科科仪股份有限公司携其全资子公司科仪光电带来了具有自主知识产权的场发射枪扫描电子显微镜产品KYKY-EM8100。据悉，这是该产品首次在高交会亮相。中国科学院专馆　　场发射枪扫描电镜是纳米技术、生物技术、医学、化学、物理学研究的重要工具，在半导体集成电路加工、微机电系统、微型传感器等信息技术支撑领域和环境保护领域也发挥着重要作用，广泛应用于金属、陶瓷、矿物、冶金、高分子、复合材料、微生物、新能源材料的表面形貌进行观察及微区的点、线、面成分分析。　　同时，场发射枪扫描电镜在虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、产品质量鉴定等方面也有广泛的应用，对于我国的基础科学研究、生产工艺控制、各分类学科的研究有着不可替代的重要地位。　　针对基础科学研究和高精尖工业制造对国产场发射枪扫描电镜的迫切需求，2013年，中科科仪牵头，联合北京大学、中国科学院微电子研究所、中国科学院生物物理研究所、国家环境分析测试中心、清华大学等单位，承担国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”，在2014年成功推出了国内首台肖特基场发射枪扫描电镜KYKY-EM8000，并在此基础上提升电子光学系统综合性能，于2017年推出了国产高端场发射枪扫描电子显微镜产品KYKY-EM8100，分辨率优于0.9nm@30kV，3nm@1kV，解决了高分辨率电子光学成像系统、系统集成调试等关键技术，成为国内首创、达到国际同类产品技术水平、具有完全自主知识产权的肖特基场发射枪扫描电子显微镜。　　KYKY-EM8100场发射枪扫描电镜的技术优势主要有方面：一是自主设计制造了低像差物镜；二是突破了电子束镜筒加速技术；三是自主研制了电子光学智能化控制系统，实现了自动灯丝加热、自动偏压、自动孔径角、自动聚焦、自动亮度/对比度等电子光学智能化控制功能，还实现了图像增强、图像锐化、样品尺寸测量、形貌拟合、颗粒度分析等功能，大大提升了产品的功能性与使用便捷性，助力打好科技仪器设备国产化攻坚战。　　据介绍，该款扫描电镜是北京中科科仪股份有限公司承担科技部国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”研制成果的一部分。该设备目前已完成科技成果转化及产业化落地，并形成批量销售。

项目编号：0612-2241D2190397项目名称：华南理工大学超高分辨场发射扫描电子显微镜项目预算金额：450.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：450.0000000 万元（人民币）采购需求：序号标的名称数量（单位）简要技术需求或服务要求（具体详见采购需求）最高限价/单价最高限价万元（人民币）1超高分辨场发射扫描电子显微镜1台1、主机(包括电子枪、电子光学系统、检测器系统、真空系统)1.1电子枪▲1.1.1高稳定性场发射电子枪，灯丝寿命≥5年，能量色差≤0.3eV1.2 电子光学系统★1.2.1空间分辨率SE：≤0.6nm(@15kV，工作距离≥4mm)，≤0.7nm@1kV（@1kV，工作距离≥1.5mm）；450合同履行期限：境内货物：在合同签订后（30）天内完成供货、安装和调试并交付用户单位使用；境外货物：收到信用证后（180）天内。本项目( 不接受 )联合体投标。

新品发布|设备更新政策好，惠然科技高性能场发射扫描电子显微镜F4000助力科技攻关近日，为加快构建新发展格局、推动高质量发展，国务院印发《推动大规模设备更新和消费品以旧换新行动方案》（以下简称《行动方案》）的通知，提出实施设备更新、消费品以旧换新、回收循环利用、标准提升四大行动，大力促进先进设备生产应用，推动先进产能比重持续提升等举措。《行动方案》指出，推动符合条件的高校、职业院校（含技工院校）更新置换先进教学及科研技术设备，提升教学科研水平。严格落实学科教学装备配置标准，保质保量配置并及时更新教学仪器设备。强化创新支撑，聚焦长期困扰传统产业转型升级的产业基础、重大技术装备“卡脖子”难题，积极开展重大技术装备科技攻关。完善“揭榜挂帅”、“赛马”和创新产品迭代等机制，强化制造业中试能力支撑，加快创新成果产业化应用。惠然科技长期专注于攻克国家第35项“卡脖子”工程“扫描电镜”的关键技术壁垒，坚持全正向自主研发，关注供应链国产化率，期望为中国科学仪器行业带来真正的国产高性能电子束检测设备，助力科学研究及工业领域科技攻关，成为领先的“纳米世界之眼”关键设备供应商。新品问世惠然科技FE-SEM整机“风”系列再添新品——高性能场发射扫描电子显微镜F4000。2023年，惠然科技FE-SEM整机“风”系列F6000顺利出机并取得较好客户反馈，其业界独创的WR-HybriCol磁电混合式电子束扫描偏转系统、WR-AdapCol 双物镜镜筒设计以及优化设计的“能量选择型”WR-ExBCol 双镜筒内探测器设计，得到技术专家认可的同时，其低电压成像，大视野无畸变成像，快速定位ROI以及多种探测器匹配的产品特点受到市场好评。为满足客户不同应用场景下的要求，以及客户对于高性能场发射扫描电镜的多样化需求，惠然科技即日发布FE-SEM整机“风”系列F4000，可实现较高分辨率的同时，实现磁性样品的直接观测以及强大的可拓展附件功能，同时在价格上更具市场优势。FE-SEM整机“风”系列 高性能场发射扫描电子显微镜F40005大技术优势自主研发电子光学系统分辨率 0.9nm@30kV； 1.4nm@15kV无漏磁镜筒设计，可直接观测磁性样品双物镜无漏磁设计，可直接观测磁性样品高速扫描成像技术单像素有效驻留时间20ns，将SEM跨越至视频级纳米摄像机时代三步成像，操作易上手WD（工作距离、放大倍数）、ABC（自动亮度、对比度调整）、AF/AS（自动对焦）附件拓展功能强可拓展功能：样品预抽交换仓；真空转移样品杆；拉曼-电镜联用系统；EDS能谱仪；EBSD背散射衍射仪；CL阴极荧光分析成像等。5大产品竞争力自主研发国产电镜，核心技术自主正向研发，分辨率性能达到通用型科研电镜领先水平软件可控软件系统自主开发，可支持Windows、Linux、麒麟系统，满足客户信息安全保密需求操作方便界面中文为主，支持英文，可选专家级页面模式和极简模式，适应不同类型用户应用习惯客户定制强大的研发团队，可根据用户需求和应用场景，定制化开发和升级软硬件系统售后服务先进的售后理念和完善的运维体系，最快的速度响应用户的需求，支持用户的应用惠然FE-SEM整机“风”系列产品 当前，惠然科技紧跟国家政策，以市场需求为导向，以客户为中心，为客户带来更多可选择、高性能的国产电子束检测产品。

1.项目编号：440001-2023-16757项目名称：惠州学院高分辨率场发射扫描电镜（场发射电子扫描探针微分析仪）科研仪器设备购置项目采购方式：公开招标预算金额：5,600,000.00元采购需求：合同包1(高分辨率场发射扫描电镜（场发射电子扫描探针微分析仪）):合同包预算金额：5,600,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1其他分析仪器高分辨率场发射扫描电镜（场发射电子扫描探针微分析仪）1(台)详见采购文件5,600,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：交货时间在合同签订后6个月内。2.项目编号：HW20230022/ HBT-15123011-230415项目名称：华中科技大学转盘共聚焦显微镜采购项目预算金额：400.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：400.0000000 万元（人民币）采购需求：华中科技大学拟采购转盘共聚焦显微镜一套，采购清单如下，具体要求见本项目招标文件第三章内容。序号货物名称是否接受进口产品单位数量简要技术要求1转盘式共聚焦显微镜是套1双相机光路，可以同步双色双相机成像合同履行期限：交货期：自合同签订之日起90天内。质保期：自验收合格之日起3年。本项目( 不接受 )联合体投标。3.项目编号：HW20230029/HBT-15123012-230416项目名称：华中科技大学近红外上转化共聚焦显微镜采购项目预算金额：430.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：430.0000000 万元（人民币）采购需求：华中科技大学拟采购近红外上转化共聚焦显微镜一套，采购清单如下，具体要求见本项目招标文件第三章内容。序号货物名称是否接受进口产品单位数量简要技术要求1近红外上转化共聚焦显微镜是套1不少于六个独立的荧光检测器，一个透射DIC检测通器，所有通道可实时扫描、同时叠加合同履行期限：交货期：自合同签订之日起6个月内。质保期：自验收合格之日起整机质保3年。本项目( 不接受 )联合体投标。4.项目编号：SDSHZB2023-243项目名称：山东大学超声波扫描显微镜采购项目采购方式：竞争性磋商预算金额：180.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：180.0000000 万元（人民币）采购需求：超声波扫描显微镜，亟需购置，具体内容详见磋商文件。合同履行期限：详见磋商文件本项目( 不接受 )联合体投标。技术要求.pdf惠州学院高分辨率场发射扫描电镜（场发射电子扫描探针微分析仪）科研仪器设备购置项目招标文件（2023050501） (1).zip

项目编号：HBCT-221431-001/002项目名称：物理科学与技术学院公共测试平台仪器预算金额：3540000最高限价（如有）：1包：315万元；2包39万元。采购需求：物理科学与技术学院公共测试平台仪器，共分为2个包（1包：高分辨场发射扫描电子显微镜1台；2包：荧光分光光度计1台），具体详见招标文件“采购需求”。合同履行期限：合同签订后11个月内交货，并安装调试完毕本项目不接受联合体投标。

项目编号：HBCT-221431-001项目名称：物理科学与技术学院公共测试平台仪器预算金额：3150000最高限价（如有）：3150000采购需求：物理科学与技术学院公共测试平台仪器，1包：高分辨场发射扫描电子显微镜1台；具体详见招标文件“采购需求”合同履行期限：合同签订后11个月内交货，并安装调试完毕本项目不接受联合体投标。

一、项目基本情况项目编号： OITC-G240261656-2项目名称：中国科学院2024年仪器设备部门批量集中采购项目预算金额：1090.000000 万元（人民币）最高限价（如有）：1090.000000 万元（人民币）采购需求：1、采购项目的名称、数量：包号货物名称数量（台/套）用户单位采购预算万元（人民币）最高限价万元（人民币）是否允许采购进口产品20场发射透射电子显微镜1国家纳米科学中心650650是包号货物名称数量（台/套）用户单位采购预算万元（人民币）最高限价万元（人民币）是否允许采购进口产品21高分辨场发射扫描电子显微镜1中国科学院兰州化学物理研究所440440是投标人须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，评标、授标以包为单位。2、技术要求详见公告附件。合同履行期限：合同生效后15个月内本项目( 不接受 )联合体投标。二、获取招标文件时间：2024年07月25日 至 2024年08月01日，每天上午9:00至11:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：www.oitccas.com；北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层方式：登录“东方招标”平台www.oitccas.com注册并购买。售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和三、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：中国科学院兰州化学物理研究所　　　　　地址：兰州市城关区天水中路18号 　　　　　　　　联系方式：0931-4968123　　　　　　2.采购代理机构信息名 称：东方国际招标有限责任公司　　　　　　　　　　　　地　址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层　　　　　　　　　　　　联系方式：冯宇图 吴旭 李媛 010-68290550、010-68290510、010-68290524　　　　　　　　　　　　3.项目联系方式项目联系人：冯宇图 吴旭 李媛 ytfeng@oitc.com.cn电　话：　　 010-68290550、010-68290510、010-68290524

2006年1月25日，日本电子株式会社在全世界同步推出最新型号的冷场发射扫描电子显微镜JSM-7500F系列产品，包括JSM-7500F和JSM-7500F两个型号A，后者附带一体化能谱系统。JSM-7500F系列在性能和操作的简便性两个方面都有很大提高。主要有以下几个特点：1）良好的分辨率：0.6nm(30kV)1.0nm(15kV)1.4nm(1kV)2) 友好的操作界面：操作自动化程度大幅度提高。3）多通道显示：能够同时显示二次电子和背散射电子等四种信号，可以更好的观察和研究样品表面，获得更多的有用信息。4）主动式减震器，提高了抗震能力：减小了外部环境对电镜的影响。5）节省能源：比旧型号最多可节省55%的电消耗。6）五轴马达台标准配置7）最先进的分子泵真空系统详情请垂询日本电子北京、上海、广州、武汉或成都事务所。