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电子半导体相关的资讯

  • 新型薄膜半导体?电子迁移速度约为传统半导体的7倍
    来自美国麻省理工学院、加拿大渥太华大学等机构的科学家,利用一种名为三元碲铋矿(ternary tetradymite)的晶体材料研制出一种新型超薄晶体薄膜半导体。据介绍,这种“薄膜”厚度仅 100 纳米,其中电子的迁移速度约为传统半导体的 7 倍从而创下新纪录。这一成果有助科学家研发出新型高效电子设备。相关论文已经发表于《今日材料物理学》杂志。据介绍,这种“薄膜”主要是通过“分子束外延技术”精细控制分子束并“逐个原子”构建而来的材料。这种工艺可以制造出几乎没有缺陷的材料,从而实现更高的电子迁移率(即电子在电场作用下穿过材料的难易程度)。简单来说,当科学家向“薄膜”施加电流时,他们记录到了电子以 10000 cm² /V-s 的速度发生移动。相比之下,电子在“硅半导体”中的移动速度约为 1400 cm² /V-s,而在传统铜线中则要更慢。这种超高的电子迁移率意味着更好的导电性。这反过来又为更高效、更强大的电子设备铺平了道路,这些设备产生的热量更少,浪费的能量更少。研究人员将这种“薄膜”的特性比喻成“不会堵车的高速公路”,他们表示这种材料“对于更高效、更省电的电子设备至关重要,可以用更少的电力完成更多的工作”。科学家们表示,潜在的应用包括将“废热”转换成电能的可穿戴式热电设备,以及利用电子自旋而不是电荷来处理信息的“自旋电子”设备。科学家们通过将“薄膜”置于极寒磁场环境中来测量材料中的电子迁移率,然后通过对薄膜通电测量“量子振荡”。当然,这种材料即使只有微小的缺陷也会影响电子迁移率,因此科学家们希望通过改进薄膜的制备工艺来取得更好的结果。麻省理工学院物理学家 Jagadeesh Moodera 表示:“这表明,只要能够适当控制这些复杂系统,我们就可以实现巨大进步。我们正朝着正确的方向前进,我们将进一步研究、不断改进这种材料,希望使其变得更薄,并用于未来的自旋电子学和可穿戴式热电设备。”
  • 全国半导体照明电子行业测试标准发布
    1月24日,由中国电子技术标准化研究所、工业和信息化部半导体照明技术标准化工作组等联合主办的2010年全国半导体照明电子行业标准发布及宣传贯彻大会在广东省江门市召开,标志着我国LED产业发展进入一个新的历史时期。  工业和信息化部于2005年成立了半导体照明技术标准工作组。经过多年的努力,工作组在半导体照明材料、芯片技术、封装产品检验和测试方法上取得了突破性进展,并相继主持制定了9项行业标准。本次大会发布了这9项标准:《半导体光电子器件功率发光二极管空白详细规范》、《半导体发光二极管测试方法》、《氮化镓基发光二极管用蓝宝石衬底片》、《半导体发光二极管用荧光粉》、《功率半导体发光二极管芯片技术规范》、《半导体发光二极管芯片测试方法》、《半导体光电子器件小功率发光二极管空白详细规范》、《半导体发光二极管产品系列型谱》以及《LED照明名词术语》等。会上,有关专家分别对9项电子行业标准进行了详细讲解。  9项行业标准的发布与实施对规范半导体照明行业市场、完善现行制度、鼓励先进企业跨地区自由竞争、推动技术创新具有重要意义。同时有利于引导企业有序、按照标准进入市场,有利于推动我国半导体照明产业健康良性发展。  工业和信息化部、广东省、江门市等相关部门负责同志以及工业和信息化部半导体照明技术标准工作组成员单位、国内外半导体照明产业上下游厂商、研究机构的代表近400人出席了大会。
  • 日本电子在上海成立半导体贸易有限公司
    日本电子株式会社6月11日在上海市成立捷伊欧半导体贸易(上海)有限公司,专门为中国的半导体生产企业提供仪器设备和售后服务。日本电子的电子显微镜在中国已经广为人知,而为半导体生产企业提供的各种在线检测设备由于行业局限,了解的人并不是很多。日本电子在这方面其实也走在世界前列,在中国的半导体企业(包括外资企业)中已经有了很多的用户,捷伊欧半导体贸易(上海)有限公司的成立一定可以进一步扩大市场销售并提供更好的售后服务与技术支持。
  • 半导体异质结隧穿电子调控机制研究取得进展
    中科院上海技物所红外科学与技术重点实验室胡伟达、苗金水团队与宾州大学德普贾瑞拉教授合作,通过耦合局域场调控二维原子晶体能带,实现硒族半导体/硅半导体异质结隧穿电子的有效操控,为混合维度异质结构在高性能电子与光电子器件研制方面提供了理论与实验基础。相关成果于2022年10月28日以“Heterojunction tunnel triodes based on two-dimensional metal selenide and three-dimensional silicon”为题发表在国际期刊《自然电子学》(Nature Electronics)杂志。半导体中电子的输运(漂移、扩散、隧穿等)对电子与光电子器件有着重要的影响。近年来,二维原子晶体因其外场可调的物理性质,为突破电子与光电子器件的性能极限提供了机遇。然而,二维/三维异质结器件中电子的产生与复合、隧穿等动力学过程以及外场调控机制尚不清晰,多功能器件的研制有待进一步发展。针对上述问题,上海技物所研究团队利用二维原子晶体无表面悬挂键以及能带结构易受局域场调控的物理特性,研究了二维硒族原子晶体与硅半导体异质结中隧穿电子在栅极电压与漏极电压协同调控下的输运行为。通过电容耦合的局域电场操控半导体异质结的能带结构,实现了电子band-to-band隧穿效率的有效操控,并成功观测到负微分电导与齐纳击穿现象。基于二维/三维异质结构的器件,实现了6.4mV/decade的极低亚阈值摆幅以及高的电流开关比(106)。苗金水研究员为该论文的第一兼通讯作者、德普贾瑞拉为共同通讯作者。
  • 微电子所在半导体器件物理领域获进展
    半导体器件存在缺陷态等无序因素,其载流子的输运往往表现为跃迁形式。半导体中的缺陷态种类较为复杂,准确认识并描述半导体器件中的载流子输运及宏观电学特性是本领域内的难点和重点。   低温下半导体器件所广泛表现出的非线性伏安(I-V)特性的具体物理原因是备受关注的话题之一。此前,多数研究将非线性I-V特性归因于电场对半导体材料中的电子跃迁速率的均匀调制效应。这一解释没有解决非线性输运的问题,反而引发了更激烈的争论。   中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室刘明院士团队从理论方面提出了载流子的“集体输运效应”(collective transport)的物理机制。该理论认为外电场所导致的非均匀分布的渗流路径生长产生了collective transport效应,进而在器件尺度上导致非线性的I-V特性。在实验方面,该团队进一步在聚合物器件中,通过巧妙控制半导体的维度实现了对器件渗流阈值的控制,在此基础上通过对器件I-V非线性程度的控制直接证实了非线性输运来源于collective transport这一假设。该工作实现了关于上述话题互存争议的各种假设的统一,为发展操控半导体器件I-V特性的方法提供了理论依据。   相关研究成果以Collective Transport for Nonlinear Current-Voltage characteristics of Doped Conducting Polymers为题,发表在《物理评论快报》【Physical Review Letters 130, 177001 (2023)】上。a.collective transport模型,b.电场驱动渗流路径的形成,c.实验观测到维度控制的非线性输运,d.基于collective transport理论仿真维度控制的非线性输运。
  • 中京电子加速布局半导体封装核心基材领域
    12月29日晚间,中京电子发布公告称,公司与江门盈骅光电科技有限公司(简称“盈骅光电”)签署股权转让协议,拟使用自有资金1000万元人民币购买盈骅光电所持有的广东盈骅新材料科技有限公司(简称“盈骅新材”)1.4286%的股权。对于此次交易目的,中京电子在公告中指出,盈骅新材为目前国内封装载板基材的先进企业,已实现BT材料等半导体封装基材的批量供货。本次交易,有利于公司切入半导体上游材料领域,并与公司 IC载板业务形成良好的技术与客户协同,符合公司的战略发展方向。同时,中京电子表示,公司积极关注产业链协同发展和半导体材料进口替代进程,增强供应链快速响 应机制和保障机制,本次交易有利于促进公司IC载板业务的长期发展。据了解,半导体封装基板(IC载板)系中京电子重点发展的战略产品,而封装基板材料(BT/ABF)是IC载板等半导体先进封装材料的核心基础材料,但目前主要由日本三菱瓦斯、味之素等国外厂商垄断。而盈骅新材长期致力于先进封装领域高性能树脂材料、先进封装载板用BT基材以及FC-BGA封装载板用ABF增层膜的研发以及产业化,其技术研发与创新能力达到国际先进水平,是国内较早开发半导体封装载板用BT基材和芯板的企业。公告显示,盈骅新材的BT基材已在MiniLED显示、存储芯片、传感器芯片等领域实现批量供货,其ABF载板增层膜已经向全球ABF载板龙头企业送样,应用于CPU、GPU、AI等芯片领域。
  • 精测电子:公司半导体硅片应力测量设备已取得客户订单
    近日,精测电子在接受机构调研时表示,目前公司子公司上海精测主要聚焦半导体前道检测设备领域,致力于半导体前道量测检测设备的研发及生产。上海精测膜厚产品(含独立式膜厚设备)、电子束量测设备已取得国内一线客户的批量订单;明场光学缺陷检测设备已取得突破性订单;OCD设备获得多家一线客户的验证通过,且已取得部分订单;半导体硅片应力测量设备也取得客户订单,其余储备的产品目前正处于研发、认证以及拓展的过程中。精测电子认为,随着电动汽车产业、大数据及人工智能的快速发展,对芯片产出的需求量与日俱增,国内对半导体设备需求强烈,后续仍将有比较长的持续增长周期;同时,公司所处的半导体检测设备领域,特别是前道量测领域,生产线的国产设备供给率较低,公司的主力产品已得到诸多一线客户认可,并取得良好的市场口碑,同时公司还在加紧其余核心产品的研发、认证以及拓展,因此公司对未来在半导体领域的销售增长保持积极乐观态度。对于公司显示、半导体、新能源领域业务情况,精测电子表示,在显示测试领域,公司不断突破创新,积极调整产品结构,加大了面板中、前道制程设备、关键核心器件以及Micro-LED、Mini-LED等新型显示产品研究开发力度,同时公司也不断优化客户结构,由原来集中大客户攻关逐步转变为大客户战略合作伙伴,增加海外客户的拓展力度。公司在AR/ VR/MR等头显设备配套检测领域取得较大进展,来自于国际头部战略客户相关订单持续增加。未来公司将继续加大在新型显示领域的研发力度,进一步加大与国内外头部战略客户的合作关系。在半导体领域,随着公司研发投入进入收获期,无论是技术,还是产品、市场方面均取得了重大进展,产品成熟度以及市场对公司产品的认可度不断提升,订单快速增长。2022年1-9月公司在整个半导体板块实现销售收入11,222.59万元,较上年同比增长43.71%。在新能源领域,精测电子控股子公司常州精测新能源技术有限公司(以下简称“常州精测”)作为基石投资者参与中创新航科技股份有限公司(以下简称“中创新航”)港股发行,进一步巩固、深化双方战略合作关系,发挥双方在资源整合、技术支持、业务协同等方面的优势,进一步推进双方在锂电设备领域开展深度合作。此外,精测电子正积极开拓与国内其他知名电池厂商的合作关系。2022年1-9月公司在新能源领域实现销售收入22,275.68万元,较上年同比增长502.46%。半导体和新能源领域销售收入和毛利率持续增长,成为公司新的业绩增长点。公司及核心管理成员对未来的发展充满信心。
  • 三星电子子公司拟投3.6亿美元,建半导体设备研发中心
    4月27日消息,据韩媒Business Korea报道,三星电子子公司,韩国最大半导体设备制造商SEMES正计划建立一个新的研发中心。报道称,该公司计划在未来10年投资4000亿韩元(约合3.60亿美元)建设新研发中心,该中心所选地块位于三星电子京畿道器兴(Giheung)工厂附近,面积将近11万平方米。随着各国在半导体领域的竞争加剧,主要的芯片制造商正在努力确保自身的半导体设备供应链。2020年10月,三星电子副社长李在熔(Lee Jae-yong)就曾访问荷兰,以确保EUV光刻设备的供应。四月中旬,科技新报也曾报道,三星多位高层前往美国、荷兰,与应用材料、泛林集团以及ASML等半导体设备商会面,希望保证设备的稳定供应。而上述研发中心项目或许能帮助三星电子实现这一目的,在半导体设备领域获得更多自主权。自两年前,日本对韩国限制半导体设备出口以来,三星在这一领域已变得越来越重要。SEMES计划在五月下旬通过韩国中央和地方政府,完成对研发中心用地的购置。行业专家预测SEMES将推动增资以获得上述项目所需的资金。
  • LDMAS2021低维半导体电子/光电子器件分论坛成功举办
    近日,2021年第四届低维材料应用与标准研讨会(LDMAS2021)在北京西郊宾馆成功召开。会议吸引了低维材料与器件相关领域的400余名专家学者与企业代表出席,云端参会人数超过1万人。会议同期举办5个不同主题的分会场,仪器信息网编辑对“第2分论坛:低维半导体电子/光电子器件分论坛”进行了跟踪报道。该会场共安排了16个邀请报告和6个青年论坛报告,相继由北京大学集成电路学院研究员黄芊芊、中国科学院半导体所研究员赵德刚、中国科学院半导体研究所研究员薛春来、华中科技大学光学与电子信息学院/武汉光电国家研究中心副教授叶镭和北京化工大学教授邵晓红主持;内容精彩纷呈,得到与会观众的高度关注。以下为此分会场的部分报告集锦,以飨读者。报告题目:GaN 基材料与激光器报告人:中国科学院半导体所研究员 赵德刚氮化镓(GaN)材料被称为第三代半导体,GaN基激光器在激光显示、激光照明、激光加工等领域重要的应用价值,材料生长与器件工艺是基础和关键。在材料方面,赵德刚课题组提出了独特的MOCVD外延方法,生长出高质量的GaN材料,室温下电子迁移率超过1000 cm2/Vs,这是目前国际上公开报道的最好结果;发现并抑制了碳杂质对p-GaN材料的补偿效应,提出了少量掺氧的p型杂质激活方法,解决了p型掺杂问题;还发现了GaN材料“黄光峰”与碳杂质和刃位错紧密相关。在器件方面,利用碳杂质实现了良好的p-GaN欧姆接触特性;掌握了InGaN量子阱界面控制方和局域态调控方法,并生长出高质量的InGaN量子阱材料;研究了InGaN波导层的生长技术,有效抑制了表面V型坑缺陷的形成;提出了降低吸收损耗、抑制电子泄漏的多种激光器新结构,提高了器件性能,研究了激光器物理,发现了GaN基激光器失效机制。研制出我国第一只GaN基紫外激光器,目前连续功率输出920mW,进一步实现了366nm的GaN基紫外激光器电注入激射,并研制出室温连续激射功率6W的蓝光激光器。报告题目:基于低维硅材料的异质结构及其光电神经突触器件报告人:浙江大学教授 皮孝东由于基于传统的冯诺依曼架构的计算的发展面临着高功耗等瓶颈问题,新型计算如神经形态计算正受到人们越来越多的关注。在生物神经系统中,信号的传递都是通过神经突触实现的,因此模拟生物神经突触的神经突触器件成为了发展神经形态计算所必需的核心器件。生物神经系统中的信号主要是电信号,所以早期的研究人员主要研究电刺激-电输出的电子神经突触器件。然而,光电集成特别是硅基光电集成的发展表明,神经形态计算将来若能建立在光电集成的人工神经网络之上,其性能将比只依赖于电集成的更加卓越。这导致近年来研究人员考虑到将光信号引入神经突触器件中,制备光电神经突触器件,进而构建光电集成的人工神经网络。对于光电神经突触器件,如果它们基于硅,研究人员就有望充分利用硅成熟的器件制备和集成工艺,推动光电集成的神经形态计算的快速发展。报告中,皮孝东主要介绍近年来基于低维硅材料如硅量子点和硅纳米膜,与新型半导体材料如二维半导体材料、有机无机杂化钙钛矿、有机半导体等构建异质结构,制备光电神经突触器件,实现对一系列生物突触行为的模拟。报告题目:基于二维层状半导体的偏振光探测器报告人:中国科学院半导体研究所研究员 魏钟鸣近年来,二维材料由于其独特的光电性能而受到了广泛的关注。相比于零带隙的石墨烯,二维半导体材料如MoS2,WSe2等具有一定宽度的带隙,使其可以广泛应用于各种光电器件(包括存储器、探测器和晶体管等)。魏钟鸣课题组针对二维半导体及光电器件进行了长期的探索,围绕材料的设计、制备和器件应用已经取得一些进展,部分材料在场效应晶体管和光探测器等方面显示出较好的性能。作为一种特殊的光电器件,偏振光探测器在光通信、成像等领域有非常重要的应用,魏钟鸣在报告中主要针对新型二维半导体在偏振光探测方面的原型器件和工作机理进行汇报。发现具有二维层状堆积晶体结构和面内各向异性的GeSe与GeAs等材料表现出优异的偏振光探测性能,并且探测波段从可见区覆盖到红外区,这两种材料都在808 nm的短波近红外区获得最优性能。报告题目:高性能低维半导体器件报告人:北京大学微纳电子学系研究员 吴燕庆超薄二维材料体系具有丰富的能带结构与优异的电学特性,可用来实现高性能逻辑、射频与存储器件。其超薄体特性可在超短沟器件中有效抑制短沟道效应。基于二维材料体系的垂直范德华异质结可突破传统体材料异质结的结构限制,实现超越传统器件的功能,并大幅提升性能。纳米尺寸的短沟道器件以及与硅基工艺相兼容的二硫化钼晶体管具有优异的输出特性,其输出电流可超过1mA/µm。基于大面积生长工艺的双层二硫化钼射频晶体管的最大振荡频率峰值可达到23 GHz,基于柔性衬底的混频器也可工作在GHz频段。基于面内各向异性最佳输运方向,沟长为100 nm的黑磷晶体管室温驱动电流达到1.2 mA/ µm,20 K时进一步提高到1.6 mA/µm。室温下其弹道输运效率达到36%,在低温20 K时提高到79.4%。基于上述两种二维材料的范德华异质结可实现电压可调的可重构多值逻辑,并且在超浅垂直异质结中可实现超高整流比与开关比。因此基于范德华异质结的量子隧穿器件具有优异的特性和极大的潜力。此外,在基于超薄4nm的氧化铟锡半导体的短沟道器件中实现了开关比超越1010的超低功耗器件,最短沟长可以达到10nm,并且实现了相关的环振电路,振荡频率为氧化物半导体中最高。并实现了极高的反相器增益及射频增益。低维材料高性能电子器件可为未来后摩尔时代提供具有应用潜力的新一代电子器件。报告题目:低维半导体载流子动力学调控报告人:南京大学教授 王枫秋低维半导体是发展新一代微纳电子和光电子器件的重要技术路径。从微观层面操控低维半导体载流子及载流子激发态的基本性质(如迁移率、寿命、弛豫通道、极化率等),是提升器件宏观性能并发展新原理光电器件的关键。近年来,王枫秋课题组聚焦二维半导体、碳基材料及其异质结构,深入开展限域体系载流子弛豫机制和新型光电器件研究,主要代表成果:(1)提出系列具有普适性的载流子动力学调控策略,实现了两类重要体系载流子寿命宽谱、大范围调制,一项成果入选“2017中国光学十大进展”。(2)首创全碳异质薄膜光探测器结构,解决光电导增益和响应速度协同优化难题,率先实现“光学神经元”新概念器件。(3)发展了低维半导体超快光开关技术,突破宽波段覆盖和参数精控两大实用化技术瓶颈,多项指标保持世界纪录。报告题目:新型二维半导体在集成电路中的可行性和优势报告人:复旦大学研究员 包文中近年来作为学术界研究热点的二维材料,也逐渐引起了工业界的关注。最新的国际器件与系 统发展路线图(IRDS 2020)高度评价了二维半导体材料在未来集成电路中应用于叠层纳米片晶体管及其他新型能带调控器件的巨大潜力。在此背景下,包文中课题组在实现批量生长高质量晶圆级二维材料的基础上,系统性的发展了多个可实用的工艺新方法,包括有效的掺杂、金半接触和栅介质生长等分立工艺。在此基础上开创性的提出了二维材料工艺集成的新方法,从而开发了二维材料的集成电路成套流片工艺。结合器件紧凑模型和电路仿真优化,我们成功制作了传统的数字、模拟、存储电路;同时,还充分发挥二维材料的独特优势,提出多种开创性的器件结构。报告题目:硅/石墨烯宽光谱红外探测器报告人:浙江大学教授 徐杨徐杨课题组研究了一种用于中红外光电探测的宏观组装石墨烯(MAG)纳米膜/硅异质结。高结晶度的MAG通过氧化石墨烯的可扩展湿法组装,然后进行热退火制备,厚度可调(14-60 nm),尺寸可以达到2 英寸。MAG/Si肖特基二极管在室温下响应波段范围为1- 4 μm,具有高速响应(120-130 ns,4 mm2窗口)和高探测率(1.5 μm波长下为1011 Jones),其瞬态光电流性能优于单层石墨烯/硅光电探测器2个数量级以上。这种光电性能归功于MAG的优越优势(~ 40%的光吸收、~ 23 ps 的载流子弛豫时间、相对较低的功函数 (4.52 eV) 和高准平衡热载流子倍增增益)、原子尺度的异质结接触界面,以及来自硅的碰撞电离雪崩倍增增益(~102倍)。MAG提供了一个了解2D材料中的热载流子动力学的平台,也为探索新型室温下宽光谱碳硅融合的图像传感器提供了研究基础。报告题目:局域场调控红外探测器研究进展报告人:中科院上海技物所青年研究员 王鹏随着半导体技术的快速发展,光电探测技术取得了长足进步。其中,以Si、InGaAs、HgCdTe等为代表的传统半导体薄膜光电探测器以其成熟的集成技术与稳定的探测性能在商业化产品与国防军工等领域占据主导地位,且已广泛应用于地球观测、环境监测、目标识别、空间遥感等领域。目前,新一代光电探测技术正朝着高性能、大面阵、低噪声以及高工作温度等方向发展,对光电探测材料与器件提出了更高的要求。低维半导体材料表现出明显区别于经典体系的物性特征,载流子输运、光学跃迁等物理行为具有可控的量子特性,产生许多新颖的物理性质和效应,并以此形成的具有颠覆性意义的光电技术在性能指标上超越传统器件的理论极限,对现有红外探测体系是很好的补充。因此,不断深入和优化现有材料体系的同时,持续开展新材料、新结构的研究和开发,是光电探测器技术发展的必然要求。本次报告将围绕新一代红外探测器技术的发展需求,介绍当前研究现状,汇报我们在局域场调控红外探测器研制与新颖探测机理研究等方面进展。
  • 半导体行业湿电子化学品常用检测仪器及技术盘点
    湿电子化学品是半导体、集成电路等多个领域的重要基础性关键化学材料,是当今世界发展速度较快的产业领域。我国湿电子化学品2012年市场规模仅为34.81亿元,到2018年已增至79.62亿元,而2021年湿电子化学品市场规模预计超过100亿元。湿电子化学品(又称电子级试剂、超净高纯化学试剂、工艺化学品、湿化学品等)一般主体成分纯度大于99.99%,是电子行业湿法制程的关键材料,常用于湿法刻蚀、清洗等微电子、光电子湿法工艺制程,约占集成电路制造成本的5%。湿电子化学品湿电子化学品可分为通用性湿电子化学品和功能性湿电子化学品。通用湿电子化学品一般为单组份、单功能、被大量使用的液体化学品,包括酸、碱、有机溶剂等,常用于集成电路、液晶显示器、太阳能电池、LED制造工艺等;功能湿电子化学品指通过复配手段达到特殊功能、满足制造中特殊工艺需求的复配类化学品,包括蚀刻液、清洗液、光刻配套试剂等,常用于半导体刻蚀、清洗等工艺中。常见湿电子化学品(数据自中国电子材料行业协会)类别湿电子化学品约占湿电子化学品总需求比例(%)合计占比估计通用湿电子化学品过氧化氢16.70%88.20%氢氟酸16%硫酸15.30%硝酸14.30%磷酸8.70%盐酸4.80%氢氧化钾3.80%氨水3.70%异丙酮2.80%醋酸1.90%功能湿电子化学品MEA等极佳溶液3.20%11.80%显影液(半导体用)2.70%蚀刻液(半导体用)2.20%显影液(液晶面板用)1.60%剥离液(半导体用)1.20%缓冲刻蚀液(BOE)0.90%湿电子化学品的国际分类标准国际半导体设备和材料协会(SEMI)根据金属杂质、控制粒径、颗粒个数和应用范围等制定了湿电子化学品国际等级分类标准。Grade1等级湿电子化学品常用于光伏太阳能电池等领域;Grade2等级湿电子化学品常用于平板显示、LED、分立器件等领域;Grade3等级湿电子化学品常用于平板显示、LED、集成电路等;Grade4等级湿电子化学品常用于集成电路等领域。 IC制造不同线宽对应湿电子化学品国际等级分类标准SEMI等级IC线宽(μm)金属杂质(10-9)控制粒径(μm)颗粒(个/mL)C1(Grade1)>1.2≤1000≤1≤25C7(Grade2)0.8-1.2≤10≤0.5≤25C8(Grade3)0.2-0.6≤1≤0.5≤5C12(Grade4)0.09-0.2≤0.1≤0.2*Grade5*≤0.01**国际湿电子化学品市场国际湿电子化学品市场份额的80%主要被德国的E.Merck 公司、美国的Ashland 公司、Sigma-Aldrich 公司、Mallinckradt Baker 公司、日本的Wako 、Summitomo 等占据。欧美传统老牌企业的湿电子化学品产品市场份额(以销售额计)约为34%,主要企业有德国巴斯夫公司、美国亚什兰集团、亚什兰化学公司、美国Arch 化学品公司、美国霍尼韦尔公司、AIR PRODUCTS、德国E.Merck 公司、美国Avantor Performance Materials 公司、ATMI 公司等。日本企业约占30%的市场份额,主要企业关东化学公司、三菱化学、京都化工、日本合成橡胶、住友化学、和光纯药工业(Wako)、stella-chemifa 公司等。中国台湾、韩国、中国大陆企业(即内资企业)约占全球市场份额的35%。全球湿电子化学品行业主要企业国家及地区企业名称美国霍尼韦尔、ATMI、Arch化学品、亚仕兰集团、空气化工产品、Avantor™ Performance Materials德国巴斯夫、汉高、E.Merck日本关东化学、三菱化学、京都化学、东京应化、住友化学、宇部兴产、Stella Chemifa、Wako、日本合成橡胶韩国东友精细化工、东进世美肯、soulbrain ENG中国台湾台湾联仕电子、台湾侨力 国内湿电子化学品研究 自1980 年北京化学试剂研究所在国内率先研制成功适合5µm技术用的MOS级试剂开始,经过数十年积累,国内湿电子化学品企业陆续获得了 G1、G2 等级的化学试剂生产技术,少数部分技术领先企业已经具备 G2 等级化学试剂规模化生产的能力,部分产品的关键技术指标已经达到了国际G3 标准的水平。2010 年之后,技术领先企业的部分产品具备了 G3 等级的生产技术,行业进入快速发展阶段。国内的湿电子化学品目前主要生产G2、G3级别,仅部分达到G4级别,产品主要进口自欧美、日本、韩国、中国台湾的企业。湿电子化学品常用检测仪器与技术湿电子化学品的纯度和洁净度对于电子元器件产品的成品率、性能和可靠性有重要影响。仪器信息网特将湿电子化学品纯度及杂质分析和颗粒检测常用的仪器进行整理。湿电子化学品常用检测仪器常用仪器用途对应仪器专场(点击进入)粒度仪颗粒分析等粒度仪仪器专场电感耦合等离子体—质谱仪(ICP-MS)纯度和杂质分析等电感耦合等离子体—质谱仪(ICP-MS)仪器专场离子色谱纯度和杂质分析等离子色谱仪器专场电位滴定仪纯度和杂质分析等电位滴定仪仪器专场紫外可见分光光度计纯度和杂质分析等紫外可见分光光度计仪器专场液相色谱纯度和杂质分析等液相色谱仪器专场液质联用纯度和杂质分析等液质联用仪器专场
  • 韩立:电子束曝光机是半导体制造的基础设备
    p style="text-align: justify text-indent: 2em "10月15日-16日,中国科学院半导体研究所、仪器信息网联合主办首届“半导体材料与器件研究与应用”网络会议(i Conference on Research and Application of Semiconductor Materials and Devices, iCSMD 2020),22位业内知名的国内外专家学者聚焦半导体材料与器件的产业热点方向,进行为期两日的学术交流。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "会议期间,来自中国科学院电工研究所的韩立研究员做了《电子束曝光及相关技术的研究》的报告。/pp style="text-align: center text-indent: 0em "script src="https://p.bokecc.com/player?vid=7657F36C41DF1A879C33DC5901307461&siteid=D9180EE599D5BD46&autoStart=false&width=600&height=350&playerid=621F7722C6B7BD4E&playertype=1" type="text/javascript"/script/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "据介绍,电子束曝光(EBL)始于上世纪60年代,是在电子显微镜的基础上发展起来的用于微电路研究和制造的曝光技术,是半导体微电子制造及纳米科技的关键设备、基础设备。电子束曝光是由高能量电子束和光刻胶相互作用,使胶由长(短)链变成断(长)链,实现曝光,相比于光刻机具有更高的分辨率,主要用于制作光刻掩模版、硅片直写和纳米科学技术研究。电子束曝光主要有可变矩形电子束曝光系统、电子束投影光刻技术、大规模平行电子束成像三种技术。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "韩立在报告中谈到,电子束曝光是电子光学、机械、电子技术、计算机及半导体工艺集成,包含了检测与定位、环境控制、超高真空、计算机控制、系统控制软件、多功能图形发生器、激光定位工件台和电子光学柱8个子系统,其中电子光柱体、图形发生器和激光工件台是关键部件。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "电子光柱体主要作用是通过控制束斑、束流、加速电压、最小线宽、写场尺寸和扫描频率,来实现束斑小,亮度高,速度快的曝光。但这些参数控制往往相互矛盾,对此韩立介绍了电工所和日本电子的解决方案。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "图形发生器主要用于解决复杂图形控制难题,以提高扫描速率、生产率和图形复杂度。如果直接对曝光点位进行曝光,数据量太大而难以处理,因此需要将复杂的原始图形切割成基本图形,这样就能用简单的参数来实现控制。为保证控制精度,图形发生器从单束发展到多束,同时用激光束来补偿位置的偏移。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "激光工件台以平面镜激光干涉仪作为整个系统的测量基准,主要有光栅扫描和矢量扫描两种工作方式。工件台主要性能指标包括了加工精度、拼接精度和套刻精度,主要通过结合激光干涉仪来实现。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "目前,我国电子束曝光机严重依赖进口,但国外已禁止对中国出售最新型号的设备。对此,韩立结合在电工所多年的电子束曝光技术研发经历和应用推广情况,深入探讨了如何在电子束曝光机研制中取得突破,提出了自己的一些真知灼见。/p
  • 精测电子已基本形成半导体检测全领域的布局
    p 同花顺(300033)金融研究中心8月4日讯,有投资者向精测电子(300567)提问, 董秘你好,我们知道贵公司所属半导体、显示、新能源检测系统,未来发展前景很好。那我们很想知道公司的半导体检测设备产品定位如何,公司的半导体在细分行业中是否俱有可持续的竞争力,公司的企业模式是什么?谢谢/pp 公司回答表示,目前公司已基本形成在半导体检测前道、后道全领域的布局,具体请查阅公司已披露的年报;未来公司将继续加大在半导体领域的投入,不断努力实现技术及产品的突破,以期在新的领域取得更好销售实绩参与市场竞争。公司生产模式是以销定产,谢谢!br//ppbr//p
  • 建立电子元器件和集成电路交易平台,半导体产业也要“集采”了
    1月26日,国家发展改革委官网发布《关于深圳建设中国特色社会主义先行示范区放宽市场准入若干特别措施的意见》(以下简称“《若干特别措施》”)。《若干特别措施》提出要放宽和优化先进技术应用和产业发展领域市场准入,完善金融投资领域准入方式,创新医药健康领域市场准入机制,放宽教育文化领域准入限制,推动交通运输领域准入放宽和环境优化和放宽其他重点领域市场准入等六方面内容,共计24条措施。其中,在放宽和优化先进技术应用和产业发展领域市场准入方面,《若干特别措施》强调,创新市场准入方式建立电子元器件和集成电路交易平台。支持深圳优化同类交易场所布局,组建市场化运作的电子元器件和集成电路国际交易中心,打造电子元器件、集成电路企业和产品市场准入新平台,促进上下游供应链和产业链的集聚融合、集群发展。支持电子元器件和集成电路企业入驻交易中心,鼓励国内外用户通过交易中心采购电子元器件和各类专业化芯片,支持集成电路设计公司与用户单位通过交易中心开展合作。积极鼓励、引导全球知名基础电子元器件和芯片公司及上下游企业(含各品牌商、分销商或生产商)依托中心开展销售、采购、品牌展示、软体方案研发、应用设计、售后服务、人员培训等。支持开展电子元器件的设计、研发、制造、检测等业务,降低供应链总成本,实现电子元器件产业链生产要素自由流通、整体管理;优化海关监管与通关环境,在风险可控前提下,推动海关、金融、税务等数据协同与利用,联合海关、税务、银行等机构开展跨境业务,交易中心为入驻企业提供进出口报关、物流仓储服务,鼓励金融机构与交易中心合作,为企业提供供应链金融服务。鼓励市场主体依托中心开展采购,设立贸易联盟并按市场化运作方式提供国际贸易资金支持,汇聚企业对关键元器件的采购需求,以集中采购方式提高供应链整体谈判优势。支持设立基础电子元器件检测认证及实验平台,面向智能终端、5G、智能汽车、高端装备等重点市场,加快完善相关标准体系,加强提质增效,降低相关测试认证成本。(工业和信息化部、国家发展改革委、民政部、海关总署、商务部、人民银行、税务总局、市场监管总局、银保监会、外汇管理局等单位按职责分工会同深圳市组织实施)近年来,全球半导体产业“缺芯”情况严重,对全球产业发展业绩造成了较大的影响。自2020年下半年以来,市场就已频频传出缺货潮。2021年以来,半导体行业经历了前所未有的缺货潮和涨价潮,各大厂商纷纷发布涨价函。其中,部分品种涨幅甚至超过300倍。二级市场方面,涨价潮所带来的红利早已兑现。市场普遍预期,缺货要到2022年下半年才有望缓解。对此,工信部发言人表示,一方面,随着社会智能化程度的不断提升,芯片作为智能设备最关键的组成部分,需求在持续增长。另一方面,全球疫情蔓延,还有一些个别国家对他国企业进行无理的制裁和打压,都对全球半导体供应链造成了严重冲击。综合多种因素的叠加,也客观上造成了“缺芯”问题的出现。随着市场调节机制逐步发挥作用,以及在各级政府、汽车企业、芯片企业的共同努力下,汽车领域的芯片“缺芯”问题正在逐步缓解。但是我们也要看到,全球集成电路供应链稳定性依然面临着严峻的挑战,未来较长一段时期内,这种芯片供应将依然处于紧张状态。在“缺芯”潮下,电子元器件和集成电路产品价格暴涨严重影响了供应链,加大了下游企业的成本。面对此种情况,一方面要大力建设晶圆厂,另一方面也需要提升下游企业在供应链中的话语权。虽然此前各地政府已出台大量政策措施鼓励投资和建设晶圆厂等,但晶圆厂建设周期长,起效慢,远水解不了近渴。此次,《若干特别措施》的出台,鼓励建立电子元器件和集成电路交易平台,汇聚企业对关键元器件的采购需求,以集中采购方式提高供应链整体谈判优势。这将有助于提升供应链透明度,为下游企业提升采购效率,降低采购成本。【政策链接】:《关于深圳建设中国特色社会主义先行示范区放宽市场准入若干特别措施的意见(发改体改〔2022〕135号)》
  • 满足越来越严苛的电子气体质量要求,从源头提升半导体生产工艺
    从去年开始“缺芯”一直困扰着众多工业行业的发展,尤其是汽车行业受到的干扰更为突出。全球芯片代工厂都在满产运转,各大半导体供应商无不开足马力提升产量,扩展产能,提高未来市场话语权。而在半导体众多工艺过程中,集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的电子气体所扮演的角色也越发不能忽视。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。随着电子消费品的升级换代,整个电子工业界对电子气体气源纯度,以及杜绝输送系统二次污染的要求越来越苛刻。基本上工业界对电子气体气相不纯物以及颗粒度污染提出的技术指标,直接与分析仪器技术进步带来的最低检测极限(LDL)相关联。* 图片源自正版图片网站Unsplash在实际生产过程中,半导体厂商发现随着工厂生产工艺的提升,由于对大宗气体检测手段的落后,已经无法提供更高杂质检出限(PPT级)的检测结果,导致产品良品率持续降低:虽然气体杂质检测结果正常,但是生产质量却频频出现问题。对于来自最终用户对于大宗气体质量的指责,气体供应商也认为有必要在大宗气体出厂之前就能够完成质量控制监测,尽早减少生产波动、设备故障带来产品质量问题,确保质量稳定,消除与用户的争议。Thermo Scientific™ APIX dQ(APIX Quattro)超高纯电子气质谱分析仪APIX dQ是赛默飞世尔科技与法国液化空气(Air Liquide)气体公司联合开发的新一代超高纯电子气质谱分析仪。APIX dQ采用了阳离子大气压离子化质谱仪( API-MS)技术, 该技术被电子工业广泛用于检测超纯大宗气体中的众多污染物,如H20, He, CO, CO2, O2, CH4, Kr 和 Xe 等。相比于其他传统的、由多个独立的分析仪组成的分析仪系统,APIX dQ超高纯电子气质谱分析仪有着自身独特的优势: 测量下限低,可达到10ppt级; *注:X表示不分析 单台表能够同时分析多种杂质(见表1:APIX能够监测N2中的杂质和测量下限); 响应时间快,每个组分小于1秒钟;-分析N2中众多杂质不会超过10秒钟; 运行成本低,维护量小(没有载气、助燃气等要求); 配置简单,不需要预处理系统,样气直接进行分析; 真正的在线分析仪,直接在线标定; 全球超过100台套以上使用业绩,为众多电子厂商和大宗气体供应商在全球使用。Thermo Scientific™ APIX dQ(APIX Quattro)超高纯电子气质谱分析仪作为核心检测手段,能够为不断高歌猛进的半导体工业,尤其是芯片制造领域提供可靠、准确,值得信赖的大宗电子气纯度和洁净度的在线连续检测。赛默飞四气体在线杂质检查方案,极大的提升了芯片的质量和良品率,为芯片国产化和半导体工业的发展提供了基础保障,将不断助力于国内数字化、智能化、5G和工业物联网进程。互动福利赛默飞世尔科技中国简介赛默飞世尔科技进入中国发展已超过35年,在中国的总部设于上海,并在北京、广州、香港、成都、沈阳、西安、南京、武汉、昆明等地设立了分公司,员工人数约为5000名。我们的产品主要包括分析仪器、实验室设备、试剂、耗材和软件等,提供实验室综合解决方案,为各行各业的客户服务。为了满足中国市场的需求,现有7家工厂分别在上海、北京、苏州和广州等地运营。我们在全国还设立了8个应用开发中心以及示范实验室,将世界级的前沿技术和产品带给中国客户,并提供应用开发与培训等多项服务;位于上海的中国创新中心,拥有100多位专业研究人员和工程师及70多项专利。创新中心专注于针对垂直市场的产品研究和开发,结合中国市场的需求和国外先进技术,研发适合中国的技术和产品;我们拥有遍布全国的维修服务网点和特别成立的中国技术培训团队,在全国有超过2600名专业人员直接为客户提供服务。我们致力于帮助客户使世界更健康、更清洁、更安全。欲了解更多信息,请登录网站:www.thermofisher.com
  • 第四届全球半导体产业与电子技术(重庆)博览会今日开幕
    6月29日,第四届全球半导体产业与电子技术(重庆)博览会(以下简称“博览会”)在重庆国际博览中心盛大开幕。300家知名企业及组团单位同馆展览,规模达15000平方米。作为西部专业的半导体及电子信息行业盛会,本届博览会由中国电子学会、中国汽车工业协会、重庆市经济和信息化委员会共同支持,重庆市电子学会、四川省电子学会、重庆市半导体行业协会、重庆市电源学会、重庆市机器人与智能装备产业联合会、重庆市集成电路技术创新战略联盟、重庆市电子产业技术创新战略联盟、重庆市电子电路制造行业协会、重庆市软件行业协会共同主办,旨在推动区域间产业链合力创新,促进我国半导体及电子信息产业高质量发展。博览会聚焦“集成电路设计制造、封装测试、半导体材料、AI+IOT+5G、智慧电源、生产设备、电子元器件、电子智能制造、智慧工厂、测试测量、连接器及线束加工”等重点领域,涵盖展览展示、权威发布、高端论坛、技术研讨、招商推介等多维度活动内容,发布推广新产品、前沿技术成果和优秀解决方案,搭建专业高端的产业生态交流合作平台。数百家名企硬核亮相,共绘未来“芯电”图本次博览会汇聚了华为、高通、恩智浦、联合微、卡尔蔡司、中电科思仪、西南计算机、重庆经开区Qualcomm中国中科创达联合创新中心、中电科第九所、赛昉科技、神州数码、双环集团、平创、先导、威科赛乐、平伟实业、德尔科技、恒旸绿、芯准检测技术研究院、盟讯电子科技、大族粤铭、长春光华微、里阳半导体、中科新松、发那科机器人、JUKI、镭晨智能、航天新通、航天磁电、金立通、森美协尔、北斗精密、安泰天龙钨钼、汉得集团、贵研铂业、大连华邦、飞时曼、鹏城半导体、天瑞仪器、九同方微、蒙特、基恩士、谷微半导体、浙江西亚特、荣耀电子、美卓伦仪、驰耐特、福禄克、中科睿华科技、中科鑫松、海目星激光、奥克思光电、肇庆电子信息行业协会等近300家企业及组团单位参与展览。展会现场,各企业携大批新技术新产品首次亮相,精彩不断!被誉为工业机器人“四大家族”之首FANUC带来电子产品组装系统、机器人塑封件自动化上下料系统、检测机上下料系统;平伟实业股份有限公司展示了新研发成果和汽车级产品器件;大连华邦化学有限公司带来的具有纯度高、稳定性好、抗意外能力强、质量可靠的9N气体纯化器,目前已在上海格科微、中芯国际、武汉长鑫、大连英特尔、无锡海力士、上海集成电路研发中心等十余家国家重点项目进行配套并全部实际应用;华富(深圳)实业科技有限公司携全球第一JUKI异型插件机、供料器、接驳台和升降机进行现场实物展示;苏州飞时曼精密仪器有限公司带来的原子力显微镜呈现,能够在不破坏半导体样品的情况下,短周期、高效率检测半导体器件形貌。此外,来自全国各地20余家政府单位及产业园组团展出,其中肇庆市电子信息行业协会携12家基地企业以“肇庆市端州电子信息基地”隆重亮相博览会,彰显肇庆电子信息产业集群发展力量,进一步推动肇庆市与西南地区半导体及电子产业深度交流合作。前沿技术探索,“会”聚大咖共谋发展博览会同期举办第四届未来半导体产业发展大会、GEME 2022电子产业链创新发展大会、电子信息产业与新技术论坛暨重庆市电子学会学术年会、成渝地区电子信息产业协同发展研讨会等多场高端活动,邀请专家学者、国内外行业精英,共同为半导体电子产业未来发展建言献策,加速推进科技成果转化落地。第四届未来半导体产业发展大会由重庆经开区Qualcomm中国中科创达联合创新中心联合主办,围绕“IC设计、封装测试、高性能电源和电动车技术、智能手机芯片、汽车芯片、川渝半导体产业投资”等热门话题展开专题论坛,中国电子学会副秘书长曹学勤、中国半导体行业协会封测分会秘书长徐冬梅、重庆市电子学会理事长徐世六、重庆市半导体行业协会秘书长王志宽、中国信息通信研究院知识产权中心副主任张俊霞、中国(上海)自由贸易试验区临港新片区投资促进服务中心主任顾长石、中科创达、华为、联合微电子、优艾智合机器人、中国汽车工程研究院、平伟、芯准检测、上海赛昉科技、华芯金通、浙江大学、重庆大学、重庆邮电大学等大咖专家齐聚,共话半导体产业未来趋势、产业热点痛点,打造产学研用一体深度互动平台,构建产业生态交流长效机制。由重庆市电子学会表面贴装与微组装技术专业委员会与重庆市电子产业技术创新战略联盟主办的“GEME 2022电子产业链创新发展大会”汇聚智造精英,发那科、节卡、非夕机器人、苏州图锐智能科技、盟讯电子、海康威视、华数机器人、钦州港片区招商服务中心、等围绕热点话题展开交流,大会还将为重庆市电子学会表面贴装与微组装技术委员会委员及会员单位授予牌匾,汇聚行业力量,推动西南地区电子产业高质量创新发展。为进一步推进成渝地区电子信息产业高质量协同发展,由重庆市半导体行业协会与成都电子信息产业生态圈联盟联合主办“成渝地区电子信息产业协同发展研讨会”。本次研讨会聚焦半导体领域,交流探讨产业发展新格局、新趋势,共同分享市场发展新机遇、新成果,促进成渝地区半导体产业链上下游左右岸紧密协作,助力打造互促共兴的产业新生态。多方联动赋能,精准观众提振产业信心现场专业观众纷纷与展商进行深度洽谈,四川省眉山市东坡区经济合作局、宇隆光电、格力电器、海康威视、中国电信、美垦半导体、普利英、康佳光电、英业达、美的、长安汽车、海尔、金美通信、 SK海力士、万泰电力、冠思泽电子、伟京电子等一大批知名企业与会观摩并展开合作交流。大多数专业观众表示,本次赴渝观展参会有利于企业了解新技术、新产品,开发新资源,精准对接市场用户,有助于企业开展合作攻关和市场拓展,是有效推动产业内循环和外循环共赢的盛会。上海市电子学会、天津市集成电路行业协会、陕西省半导体行业协会、湖南省电子学会、河北省电子学会、山东电子学会、浙江省电子学会、河南省电子学会、广西电子学会、浙江省半导体行业协会、四川省电源学会、成都市集成电路行业协会、成都市电子信息行业协会、大连市半导体行业协会、深圳市电子行业协会、深圳市芯片行业协会、深圳市半导体行业协会、集成电路知识产权联盟、国家工业信息安全发展研究中心西部中心、中国(上海)自由贸易试验区临港新片区投资促进服务中心等全国各地行业组织合力召集当地重点企业组团参观采购,助推产业链供求双方精准对接。 本次博览会将持续到7月1日,参观需提前关注微信公众号“全球半导体产业博览会”或“GEME 全球电子”预先登记,获取入场二维码安全观展,可至S1馆观众休息区参与活动领取精美礼品,未到场观众还可通过线上直播平台实时观看展会,“渝”你相约,开启不一样的半导体电子观展之旅!
  • 1.73亿元!精测电子与客户签订半导体前道检测设备销售合同
    8月11日,精测电子发布公告称,公司控股子公司深圳精积微近日与客户签订了销售合同,拟向客户出售半导体前道检测设备,总交易金额合计173,229,000元。精测电子表示,若本合同能顺利履行,预计将会对公司经营成果产生积极影响。本合同的签署,是公司与该客户在良好合作基础上进一步加深了双方的合作关系,体现了客户对公司半导体测试设备的高度认可,有助于拓展公司品牌影响力,提升公司的市场竞争力。此外,本合同的履行对公司的业务独立性不构成影响,公司主要业务不会因履行合同而对当事人形成依赖。资料显示,精测电子主要从事显示、半导体及新能源检测系统的研发、生产与销售。公司目前在显示领域的主营产品涵盖LCD、OLED、Mini/Micro-LED等各类显示器件的检测设备,包括信号检测系统、OLED调测系统、AOI光学检测系统和平板显示自动化设备等;在半导体领域的主营产品分为前道和后道测试设备,包括膜厚量测系统、光学关键尺寸量测系统、电子束缺陷检测系统和自动检测设备(ATE)等;在新能源领域的主要产品为锂电池生产及检测设备,主要用于锂电池电芯装配和检测环节等,包括锂电池化成分容系统、切叠一体机、锂电池视觉检测系统和BMS检测系统等。半导体产业化过程,设备先行,半导体前道检测设备是制约我国半导体制造产业的“卡脖子”难题,以美国科磊半导体为代表的国际巨头占据了全球量测检测设备大部分的市场。在政府引导和下游市场需求的双重推动下,越来越多的国产设备企业投入到半导体测试领域。精测电子在半导体领域致力于半导体前道量测检测设备以及后道电测检测设备的研发及生产,在光学领域自主开发针对集成电路微细结构及变化的OCD测量、基于人工智能深度学习的OCD人机交互简便易用三维半导体结构建模软件等核心技术,在电子束领域自主开发了半导体制程工艺缺陷全自动检测、晶圆缺陷自动识别与分类等核心技术,填补了国内空白。此外,公司在半导体光学、半导体电子光学及泛半导体领域积极进行项目研发,在半导体单/双模块膜厚测量设备、高性能膜厚及OCD测量设备、半导体硅片应力测量设备、FIB-SEM双束系统、全自动晶圆缺陷复查设备、DRAMRDBI测试设备、CP/FTATE设备等方面积累了大量经验,形成了较好技术沉淀。
  • 瑞士万通助力第三届半导体湿电子化学品与电子气体论坛2022顺利召开
    2022年7月28日,第三届半导体湿电子化学品与电子气体论坛2022在海南省三亚市顺利召开。本次会议聚集了业内50余家半导体相关企业,参会代表100余人。会议期间,各参会代表通过报告、展览等形式进行了广泛而深入的交流,共同助力我国半导体湿电子化学品与电子气体的发展和国产化推进,促进相关领域的技术开发和进步,对未来半导体产业的发展也将产生积极和长远的影响。大会报告现场——分会场(一)大会报告现场——分会场(二)瑞士万通携半导体行业整体解决方案精彩亮相此次大会,并在会场外设立了展台,吸引了众多参会代表前来交流探讨。瑞士万通展台瑞士万通四大产品线(离子色谱系统、自动电位滴定系统、近红外光谱仪、CVS循环伏安溶出分析仪)合力打造行业领先的全方位解决方案,可为半导体及相关行业提供多层次技术支撑。如:硝酸、氢氟酸等电子级化学品和三氟化氮等电子特气中阴阳离子含量的检测,可采用瑞士万通技术领先的离子色谱系统进行分析;蚀刻液中混酸含量的检测,可采用瑞士万通近红外光谱液体分析仪进行快速分析。瑞士万通针对半导体行业的整体解决方案
  • 精测电子子公司获3亿战略融资 持续发力半导体检测领域
    在12英寸独立式光学线宽测量设备(OCD)、12英寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备(Review SEM)进入客户验证阶段后,精测电子(300567.SZ)开启了在半导体前道量测检测设备领域的新布局,瞄准了明场缺陷检测设备。近日,精测电子发布公告称,公司控股子公司上海精积微拟引入新的投资者,与原股东上海精测拟共向上海精积微出资3亿元,以取得进一步发展,扩大规模,增强业务能力。精测电子表示,此次增资有利于上海精积微获得充裕资金,以开展半导体检测领域相关设备的研发及产品化,有利于公司下一阶段的良性发展。获充裕资金开展相关研发根据精测电子公告内容,此次增资的投资者包括上海装备投、张江燧锋、浦东海望、海宁精海、上海精望,以及公司实控人彭骞,出资金额分别为2500万元、2500万元、5000万元、1亿元、5000万元、2500万元。而这些引入的新股东中,多数颇有来头。例如,上海装备投,其股东万业企业、大基金、执行事务合伙人上海半导体装备材料产业投资管理有限公司分别占出资比例的19.8%、19.8%、0.99%,实际控制人为朱旭东。张江燧锋的合伙人包括浦东建设、张江高科、上海浦东科技创新投资基金合伙企业(有限合伙)、上海科创中心一期股权投资基金合伙企业(有限合伙)等。浦东海望的合伙人包括上海浦东科技创新投资基金合伙企业(有限合伙)、浙江韦尔股权投资有限公司等,韦尔股份100%持有浙江韦尔股权投资有限公司。本次增资完成后,上海精测持有上海精积微的股权比例由100%变更为21.43%。鉴于上海精望、彭骞已于今年2月11日分别同上海精测签订了《股东表决权委托协议》,同意将其持有的上海精积微股权所对应的表决权、提名权和提案权独家、无偿且不可撤销地委托上海精测行使,因此上海精积微仍为公司合并报表范围内公司。上海精积微设立于2021年5月12日,注册资本5000万元,经营范围包括一般项目:半导体、计算机、显示屏、光伏、锂电池、新能源、检测设备、测试设备科技领域内的技术服务、技术转让、技术咨询、技术开发等。据悉,目前在图形晶圆光学明场缺陷检测领域,美国KLA一家独大,占据半壁江山,AMAT 和Hitachi 占比也都超过10%,三家合计市占率达75%。国内前道测试设备与国外相比差距较大,我国半导体设备厂商在该领域几乎处于空白阶段。本土企业中,中科飞测和上海精测分别在检测设备和测量设备领域实现突破。其中,上海精积微现阶段便主要聚焦明场晶圆有图形缺陷检测设备领域相关产品的研究开发以及生产制造等。据精测电子披露,这类领域技术壁垒、研发周期相对较长,资金需求较大,目前都被海外巨头供应商垄断,从技术面到市场面都具备一定的风险。此次增资公司放弃部分优先认购权引入不同的战略合作方风险共担,有利于其获得充裕资金得以开展半导体检测领域相关设备的研发及产品化,有效降低公司及上海精测的投资风险和资金压力,有利于上海精积微下一阶段的良性发展。日前,精测电子在与投资者互动时指出,目前上海精测生产经营情况一切正常,现已形成了膜厚/OCD量测设备、电子束量测设备、泛半导体设备三大产品系列,其半导体检测领域相关主力产品已取得国内一线客户的批量重复订单,其余储备的产品目前正处于研发、认证以及拓展的过程中。已形成半导体检测全领域布局资料显示,精测电子成立于2006年,以模组检测设备起家,2013 年通过收购台湾光达和宏濑光电,产品拓展至AOI、OLED检测等领域,是国内面板检测设备领域覆盖最全的公司之一。2010年,公司进入检测自动化领域,又于2014年进入面板前工程光学领域。2016年11月22日,精测电子在深交所创业板上市,之后开始搭建海外投资平台,进一步走向国际化。2018年,精测电子从平板显示检测领域,正式跨入半导体、新能源行业的测试领域,并迅速迎来新一轮业绩增长。2019年、2020年,公司营业收入分别为19.5亿元、20.77亿元,分别同比增长40.39%、6.45%。2021年前三季度,精测电子实现营业收入为17.68亿元,同比增长42.98%;归母净利润为1.82亿元,同比增长20.33%。其中,2021年上半年,公司实现营业收入12.92亿元,同比增长76.44%;归母净利润1.46亿元,同比增长高达203.43%。在市场最为关注的半导体前道量测检测设备领域,精测电子在2021年取得了长足的进展。资料显示,精测电子已基本形成在半导体检测前道、后道全领域的布局。其中,上海精测主要聚焦半导体前道检测设备领域,现已形成了膜厚/OCD量测设备、电子束量测设备、泛半导体设备三大产品系列。子公司武汉精鸿主要聚焦自动检测设备(ATE)领域(主要产品是存储芯片测试设备),并已实现关键核心产品技术转移、国产化研发、制造、核心零部件国产化,由之前单一老化产品线扩展到了 CP/FT 产品线。精测电子表示,公司2021年7月份出机中芯国际12寸独立式光学线宽测量设备(OCD)与12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备(Review SEM),当前进展非常顺利,公司正在积极推进相关业务。目前公司在半导体领域在手订单快速增长,公司对2022年在半导体领域的市场需求和订单持积极乐观态度。公司还表示,后续将持续加大对半导体及新能源领域的研发投入,进一步完善新业务板块产业布局,将公司发展成为“半导体、显示、新能源行业以测试设备为核心的综合服务提供商”。据披露,精测电子去年上半年研发投入1.74亿元,较上年同期增加36.80%,占营业收入的13.49%。2018年至2020年,公司研发投入金额分别为1.72亿元、2.88亿元、3.22亿元,呈逐年递增趋势。有机构指出,精测电子作为国内面板检测产品线最齐全玩家,通过内生外延不断实现业务纵向深化和横向拓展,逐步形成“显示、半导体、新能源三位一体”业务布局。预计公司在把握国内面板检测设备存量替代市场和OLED 与高世代LCD 增量市场基础上,在半导体和新能源设备上持续实现突破,实现业绩和收入的高增长。
  • 普洛帝颗粒计数器积极拥抱电子半导体行业
    普洛帝颗粒计数器在电子半导体行业中发挥着不可或缺的作用,它以其卓越的性能和精准度,正积极拥抱并推动着这一行业的快速发展。这个日新月异的科技时代,电子半导体行业作为支撑现代信息技术的基石,对产品质量和工艺精度的要求日益严格。普洛帝颗粒计数器以其高精度的测量能力,为行业内的生产过程提供了可靠的保障。无论是在芯片制造、封装测试,还是在半导体材料的质量控制中,普洛帝颗粒计数器都能精准地检测并计数微小颗粒,为提升产品质量、降低不良率提供了有力的技术支持。助力超纯水颗粒监测品质提升普洛帝颗粒计数器的优势不仅在于其高精度的测量能力,更在于其广泛的应用范围和强大的适应性。面对不同电子半导体生产环节的多样化需求,普洛帝颗粒计数器能够灵活调整参数,确保在各种环境下都能稳定、准确地完成颗粒计数任务。此外,该设备还具有智能化的操作系统,能够自动记录数据、生成报告,大大提高了工作效率。在电子化学品颗粒监测领域,普洛帝颗粒计数器的应用同样具有重要意义。随着电子化学品行业的快速发展,对产品质量和纯度的要求也在不断提高。普洛帝颗粒计数器能够实时监测电子化学品中的微小颗粒,及时发现并处理潜在的质量问题,为提升产品品质提供了有力保障。在超纯水颗粒监测方面,普洛帝颗粒计数器的表现更是出色。超纯水作为电子半导体生产过程中的关键原料,其质量直接关系到产品的性能和稳定性。普洛帝颗粒计数器能够精确检测超纯水中的微小颗粒,确保生产过程中的水质达到要求,从而降低不良品率,提高生产效率。普洛帝颗粒计数器的积极拥抱电子半导体行业,不仅体现在其技术的不断进步和更新迭代上,更体现在其对行业需求的敏锐洞察和积极响应上。随着电子半导体行业的快速发展,对颗粒计数器的性能要求也在不断提高。普洛帝颗粒计数器紧跟行业步伐,不断提升自身的测量精度和稳定性,以满足行业日益增长的需求。此外,普洛帝颗粒计数器还注重与电子半导体行业的深度合作与交流。通过与行业内企业的紧密合作,普洛帝颗粒计数器不断了解行业发展的最新动态和趋势,从而及时调整和优化自身的产品和技术,以更好地适应和满足行业的发展需求。可以说,普洛帝颗粒计数器在电子半导体行业中发挥着越来越重要的作用。它以其卓越的性能和精准度,为行业的快速发展提供了有力的技术支持和保障。相信在未来的日子里,普洛帝颗粒计数器将继续与电子半导体行业携手共进,共同开创更加美好的未来。
  • 中车时代半导体与贺利氏电子签约 深化战略合作 助力“双碳”目标
    8月30日下午,在PCIM Asia国际电力元件、可再生能源管理展览会上,株洲中车时代半导体有限公司(以下简称“中车时代半导体”)与贺利氏电子举行关于功率模块的战略合作备忘录签约仪式,进一步推进双方深度合作。  近几年,功率半导体器件市场持续保持高热度。中车时代半导体作为我国最早开发大功率半导体器件的单位之一,紧抓市场机遇,目前产品已全面应用于轨道交通、智能电网、新能源汽车、新能源发电等领域,打造了良好的规模优势与品牌价值。未来,还将保持在相关领域的持续布局与有序投入。  中车时代半导体总经理罗海辉表示,贺利氏电子是一家功率器件材料全球领先供应商,双方前期已经有过一些愉快、成功的合作。中车时代半导体是一家致力于功率半导体器件的IDM模式企业,当前产品聚焦“交通”+“能源”领域,取得了不错成绩,这些成绩的取得也离不开产业链上下游供应商的支持。此次两家具有深厚历史底蕴公司的强强联合、加深合作,有助于双方在上述领域达到共赢的结果。  在气候变化和能源短缺的时代,市场对功率模块在高效率和可靠性方面的需求越来越高。功率模块在功率密度、载流能力和可靠性等方面越来越逼近极限。因此,改进功率模块里的半导体芯片和其封装材料是通向成功的关键要素。贺利氏对中国市场的前景持续看好。  贺利氏电子全球业务单元总裁Klemens Brunner 说,很荣幸与重要的客户、合作伙伴——中车时代半导体携手并进,互相学习、互相支持,共同攀登新高峰。同时,相信这次签约有利于双方深化低碳环保领域的合作,带动我们的产业链上下游一起迈向绿色可持续、高质量发展,助推中国“双碳”目标的实现。
  • 芯片制造设备商前往印度建立基地,东京电子、应用材料等将参加新德里半导体展
    芯片制造设备行业正在转向在印度建立运营基地,因为在中美关系紧张的情况下,印度正成为有希望的替代国家/地区选择。国际半导体产业协会SEMI将于今年9月在新德里附近首次举办印度半导体展。该展会已在美国、日本、欧洲、中国台湾、韩国、中国大陆和东南亚举行。东京电子、Disco(迪斯科)、佳能、东京精密和大福(Daifuku)等日本公司计划参加。东京电子将展示用于晶圆沉积、涂层和其他芯片制造工艺前端步骤的设备。Disco预计将展示用于后端工艺的设备,如研磨和切割晶圆以形成芯片。来自美国的应用材料、泛林集团和KLA(科磊)也将有大型展位。由于对水电等基础设施的担忧,印度尚未吸引许多半导体制造厂或晶圆厂。该国在芯片设备市场的份额被认为不到1%,与中国大陆34%的市场份额相比差距很大。然而,近年来,由于中美关系紧张,国际供应链已开始向其他地区转移。苹果正在将iPhone和其他产品的生产转移到印度。随着供应商涌向智能手机、个人电脑和其他成品生产地,分析师普遍认为印度市场将迎来强劲增长。印度企业集团塔塔集团计划在古吉拉特邦建造一座半导体工厂,技术由力积电提供。这很可能是印度第一家前端工艺芯片制造厂。“到2029年,印度将成为全球五大芯片生态系统之一,”印度电子和信息技术部长Ashwini Vaishnaw在3月份的奠基仪式上表示。该工厂计划于2026年开始运营,总投资将达到9100亿卢比(109亿美元)。将半导体加工成电子元件的后端工艺是劳动密集型的,因此许多公司都计划在劳动力成本较低的印度建厂。美国存储制造商美光科技也在古吉拉特邦建造一家工厂,计划于2024年开始运营。日本瑞萨电子已宣布计划与当地公司合作建厂。Counterpoint Technology Market Research调研机构表示,印度的半导体相关市场将在2026年达到640亿美元,几乎是2019年的三倍。SEMI也称赞印度是半导体制造和采购的有吸引力的地方。为迎接新芯片制造厂的到来,设备制造商开始开设工厂。东京电子已经建立营销基地。“对于需要集中供应商的半导体行业来说,印度是一个有吸引力的市场,可以期待技术创新和市场增长,”东京电子表示,还计划根据客户趋势扩大基地,预计前端设备的需求将增加。专门从事后端设备的Disco正在考虑建立一家当地子公司来处理销售和维护服务。Disco目前通过新加坡子公司覆盖印度市场,但随着后端工厂的激增,将需要建立当地基地。“随着工厂建设项目的成型,我们将响应客户的要求。”Disco表示。日本测试设备制造商爱德万测试(Advantest)在2013年收购的一家印度软件开发商设有基地,正在开发与性能测试相关的软件。由于前端和后端工厂建设的预期,爱德万测试表示正在考虑在印度开设销售基地。佳能今年6月表示,为印度半导体行业做出贡献被视为增长支柱,并指出光刻机和其他设备的需求机会。在美国公司中,泛林集团于2022年在印度开设了具有简单开发功能的工程中心,以响应客户的要求。应用材料公司已表示计划投资4亿美元在印度建立开发中心。对于人口众多、创造就业机会具有挑战性的印度来说,启动尖端产业一直是长期以来的愿望。印度总理莫迪政府在2021年宣布将投资7600亿卢比支持半导体和液晶面板生产。然而,基础设施结构问题仍然存在。研究公司IDC负责人Crawford Del Prete表示,前端组装和测试流程极其复杂。他补充说,在工业基础设施到位之前,重点可能会放在建立涉及后端流程的公司集群上。
  • 中国电子专用设备工业协会半导体设备年会:专家建言提高仪器设备水平
    记者15日从中国电子专用设备工业协会获悉,第11届中国电子专用设备工业协会半导体设备年会暨产业链合作论坛、第11届半导体设备材料与核心部件展示会(CSEAC)近日成功举行。  会上,中国电子专用设备工业协会副秘书长李晋湘表示,我国半导体设备厂商面临一些挑战,比如“设备齐全,但特殊工艺要求无法满足”,又如“设备和工艺虽然完善,但关键工艺尚不稳定”。  另有专家表示,中国半导体产业结构日渐优化,产业链逐步完善,形成相互促进、共同发展的局面。瞄准未来,还需进一步加强产业链配套能力,制定出科学合理的发展战略。  “仪器设备处于工业的核心地位,提高仪器设备水平,充分发挥其作用,才能促进半导体等产业发展,并走向世界前沿。”中国科学院院士褚君浩在作报告时说。  为此,本届大会设有展览展示会、主峰会论坛、专题论坛等环节。其中,专题论坛聚焦“制造工艺与设备产业联动发展”“化合物装备与材料发展”等议题。与会者通过学术研究、政策分析、市场研讨等方式,就产业未来发展建言献策。  据统计,截至8月11日17时,本届大会累计进场突破6.3万人次,百余家相关企业现场意向成交额达到26.5亿元人民币。  值得一提的是,本届CSEAC开设3个展览馆,展示面积超过2.8万平方米,近400家企事业单位参展,展示面积、参展数量均较上届大幅增加。参展企业覆盖半导体设备产业链各环节,与会者表示,参加展会为交流机遇、谋求合作提供了契机,让上下游企业的对接更为精准高效。  中国电子专用设备工业协会相关负责人表示,下一步将力求以更新的角色和更深度地市场服务方式,打造会议,为半导体设备产业搭建交流平台。
  • 欧洲微电子研究中心(IMEC)加入无锡市半导体行业协会
    近日,欧洲微电子研究中心(IMEC,Interuniversity Microelectronics Centre)正式成为无锡市半导体行业协会的会员单位。图片来源:无锡市半导体行业协会IMEC在纳米电子和数字技术领域处于世界领先地位的研发和创新中心,与Intel、Sony、Samsung、华为等世界知名的半导体及系统厂商合作,2019年收入已超6亿欧元。其实IMEC与无锡早有渊源。早在2018年9月,时任无锡市长的黄钦书记到IMEC访问,与IMEC全球执行副总裁Masoud Mirgoli就人才培训及成果转化合作等进行了高层对话。随后,无锡市半导体行业协会和其他机构一起积极响应和推动。在2019年世界物联网博览会上,与IMEC等欧洲研究机构联合举办了中欧物联网无锡峰会论坛,并签订了合作备忘录。2020年双方就高端人才培训和技术转移等正式签订合作协议。无锡市半导体行业协会消息显示,无锡市半导体行业协会秘书长黄安君表示:当前无锡正在全力打造集成电路完整产业链、国际供应链和技术创新链。希望借力这次IMEC加入无锡半协的契机,不断加深与IMEC的国际交流合作,充分利用IMEC国际一流的基础设施、先进技术资源和顶级师资力量,为无锡培养一批掌握核心关键技术的专家,并开展相关技术转移和项目联合开发等,为把无锡建设成为国内一流、国际知名的集成电路产业高地而努力。
  • 总投资10亿元,基侑电子半导体刻蚀设备生产项目正式签约
    据微讯广丰消息,6月19日,半导体刻蚀设备生产项目签约仪式举行。半导体刻蚀设备生产项目由昆山基侑电子科技有限公司(以下简称“基侑电子”)投资,总投资10亿元,位于上饶高新区霞峰电子信息产业园,用地面积约30亩,主要生产晶圆刻蚀机、清洗机等设备。项目达产达标后,预计年产值可达15亿元人民币。资料显示,基侑电子成立于2011年,是一家以生产半导体湿法蚀刻清洗相关设备的企业。
  • 旅游公司跨界半导体设备,1.13亿元收购硅密电子51%股权
    2022年12月12日,元成环境股份有限公司发布了关于收购硅密(常州)电子设备有限公司部分股权的公告。公告信息显示,2022年12月12日,元成环境股份有限公司(以下简称“公司”或“收购方”)与YOYODYNE,INC(以下简称“转让方”、“优友丹”)、Carl Robert Huster(以下简称“实际控制人(一)”)、Jessica Yan Huster(以下简称“实际控制人(二)”)签署了《关于硅密(常州)电子设备有限公司的股权收购协议》(以下简称“股权收购协议”)。转让方将其持有的标的公司51%股权(对应注册资本 357,000.00 美元)转让给收购方。各方同意,参考硅密(常州)电子设备有限公司(以下简称“硅密电子”或“标的公司”)股权评估值,经友好协商后确定本次交易的股权转让款合计为 11,345.00 万元。公告显示,2021年,硅密电子半导体清洗业务实现销售收入2677.45万元,销售净利润538.19万元 2022年1-9月已实现销售收入2875.34万元,净利润688.72万元。据了解,元成股份一直致力于建设生态文明,服务于大型基础设施建设工程,绿地生态景观工程、污染治理及生态修复工程、高端休闲旅游度假工程等项目。公司连续 15 年来被评为“AAA”级企业和“守合同重信用”单位,是国家级高新技术企业和浙江省知名商号。该公司表示,近年来公司传统园林绿化行业受各方面影响,以往的发展模式受到了较大挑战,近年来公司一方面通过投资控股越龙山旅游度假公司谋求传统产业链的延伸,通过休闲旅游产业的运营提高公司的可持续能力,另一方面也希望通过本次收购半导体清洗设备厂商硅密电子51%股权,布局新的产业领域和发展方向,一方面形成新的利润增长点,提升上市公司的盈利能力,另一方面也希望通过产业和周期的错配,降低公司的发展压力和经营风险。对于本次收购,元成股份也明确表示,公司尚未具备发展半导体的人员、技术、设备和资源。公司目前尚未有半导体行业相关的业务,没有相关的技术储备,没有相关的资源及专业团队。本次仅系收购后硅密电子成为公司控股子公司。
  • 对话江化微:深耕半导体供应链创新,助推国产湿电子化学品突围
    当下,遍及全球的数字化技术正在催生新一轮的科技革命和产业变革,尤其自去年,在经济发展停滞和疫情的双重夹击下,发展半导体芯片的创新和制造的实力,加强自主创新意识及知识产权战略布局,已经自上而下成为中国全社会的新共识。新能源、信息通讯、消费电子等下游电子信息产业的快速发展的同时,湿电子化学品行业需求的更新换代速度也不断加快。湿电子化学品是电子工业中的关键性基础化工材料,也是重要支撑材料之一,其质量的好坏,直接影响到电子产品的成品率、电性能及可靠性,对微电子制造技术的产业化有重大影响。因此,电子工业的发展要求湿电子化学品与之同步发展,不断地更新换代,以适应其在技术方面不断推陈出新的需要。从某种意义上说,湿电子化学品支撑着新能源、现代通信、计算机、信息网络技术、微机机械智能系统、工业自动化和家电等现代技术产业。所以,电子化学材料产业的发展规模和技术水平,已经成为衡量一个国家经济发展、科技进步和国防实力的重要标志,在国民经济中具有重要战略地位,是科技创新和国际竞争最为激烈的材料领域之一。江阴江化微电子材料股份有限公司(下文称:江化微)是目前国内规模最大、品种最齐全、整体配套服务能力最强、技术领先的湿电子化学品专业服务提供商之一,在业内享有较高的声誉。近日,江化微副总经理姚玮先生就湿电子化学品的研发相关话题接受了记者采访。江阴江化微电子材料股份有限公司副总经理姚玮先生湿电子化学品的角色姚玮首先归纳到,我国半导体行业的发展可分为三个阶段:第一阶段自 80 年代改革开放起,带有国家主导的单位、研究所等等,初期引入了一些集成电路的产线,由于比较缺少经验,真正投入运营起来的生产线还是寥寥无几。第二阶段为在 20 世纪 90 年代八五期间实施的发展微电子产业的重点工程,主体企业是由无锡 742 厂和永川半导体研究所无锡分所合并成立的中国华晶电子集团公司,该项目的建成投产使国内集成电路生产技术水平由 2-5 微米提高到 0.8-2 微米。909 工程是电子工业有史以来投资规模最大的国家项目,表现了当时党和国家的领导人迫切希望提高我国集成电路水平。第三阶段自 2014 年 10 月 14 日,工信部办公厅宣布国家集成电路产业投资基金设立至今,国家重点投资集成电路芯片制造业,兼顾芯片设计、封装测试、设备和材料等产业,实施市场化运作、专业化管理,在这一阶段我国在集成电路领域产生了较快发展。超净高纯化学试剂成为制约半导体等微电子微细加工技术发展的瓶颈。以半导体生产为例,大规模集成电路在其生产过程中有几十道工序,工艺制造过程中的空气、水、各种气体、化学试剂、工作环境、电磁环境噪声以及微振动、操作人员、使用的工具、器具等各种因素都可能带来污染物,集成电路集成度越高,对高纯试剂颗粒控制的要求越严格,污染物数量超过一定限度时,会导致集成电路产品漏电、电特性异常等情况,轻者影响电路使用寿命,严重时可导致电路报废,而这些污染物都需要相关的超净高纯试剂去除。随着集成电路线宽尺寸减小,对专用化学品中的金属杂质、尘埃含量、尘埃粒径等指标提出了更高的要求。超净高纯试剂正是随着集成电路制造业对产品纯度不断提出严格要求,在通用试剂基础上发展起来的纯度最高的试剂。为衡量不同湿电子化学品的“超净”和“高纯”的程度, 1975 年国际半导体设备和材料组织(SEMI)制定了国际统一的超净高纯试剂标准,以对应不同线宽的集成电路应用。目前国际上制备 G1 到 G5 级超净高纯试剂的技术都已经趋于成熟,国内大部分企业已经达到了国际 G3 标准,并已开展 G4 与 G5 标准产品的研发工作。一些技术领先的湿电子化学品企业,如江化微公司,目前技术水平已达到 SEMI 标准等级的高端行列,硝酸、硫酸、氨水、金属刻蚀液等均已完成行业 G4 级或 G5 级品类中试,量产在即。江化微的技术演进作为国家火炬计划高新技术企业,江化微历来注重自主研发创新,配备有 50 余人的专业研发团队,是江苏省企业技术中心和江苏省超高纯湿电子化学品工程技术中心。公司全心致力于微电子、光电子专用湿电子化学品制造业的发展,不断开发出先进的工艺技术和生产高性能的微电子化学品,是目前国内产品达到国际标准,且具有一定生产规模的多家企业之一。随着下游对产品纯度不断提出严格要求,江化微不断创新技艺突破技术壁垒,在半导体制程当中所涉足到的化学品除了光刻胶、研磨液以外,基本上做到了全覆盖,能够为下游客户开发功能性新产品,有效解决客户对产品的功能性需求,获得客户的广泛认可,为我国半导体在内的集成电路制造业自主研发控制核心技术提供了不可或缺的前提条件和支持。谈及技术突破过程中,姚总表示,满足下游产业不断提出的更高要求,对于如江化微一样的供应商而言需要的是对更高标准的检测技术的掌握,这当中有来自于安捷伦这样的公司提供的帮助。“比如为应对 G4 或者 G5 标准,进入到中高端制程与之匹配的 ICP-MS/MS 等高端仪器都是必不可少的。在一些中高端芯片制程当中我们提供的数据不能不准确,必须是非常严谨的,因为某些元素超标就可能影响到芯片的性能,特别是一些电性能这方面受到一些元素的影响,哪怕是很微不足道的 PPT 级的对它也会有影响,这就对我们的合作伙伴像安捷伦科技这样的分析仪器制造企业提出了挑战,经过时间的考验安捷伦无疑提交了令人满意的答卷,无论是检测相对低要求的服务了超过 20 年经久耐用的 7500 ICP-MS 系列还是应对高要求的不断创新研发解决问题的 8800 ICP-MS/MS 和 8900 ICP-MS/MS。与江化微有着一样不断满足客户需求不断突破自我的信念的企业才是研发生产路上最好的合作伙伴。”安捷伦代表与江化微领导在第二届半导体湿电子化学与电子气体论坛合影(从左至右:安捷伦科技化学分析市场经理王海鉴 江化微副总经理姚玮先生 安捷伦科技材料行业市场经理冯旭)在国家政策支持下,包括江阴江化微电子材料股份有限公司在内的中国科技企业不断总结经验教训潜心研发攻克技术难题,以技术为先导,自主研发、与客户共同研发及“产学研用”相结合,不断实现产品的升级换代;以服务为依托,秉持“为客户提供价值”及“同客户共同成长”的理念,逐步增强综合配套服务能力,致力于成为国际电子化学品研发的引领者和高端配套服务提供商,助力下游产业中国客户技术革新科技强国,相信“技”高一筹指日可待!期待机遇无限的未来作为处在市场前景光明的高端化学品行业,江化微也观察到随着国家政策战略以及资金支持、国内高科技产业不断升级、技术逐渐成熟等背景下,传统的化工企业也在不断寻求产品升级转型的机会。有着丰富行业经验的姚总分享了几点宝贵经验,“首先企业自身要有一支专业性的管理团队、技术团队,要熟悉行业未来发展的方向、确定自身的产品等级、去服务这个行业当中的哪些客户群。与之对应的,产品技术来源、专利技术等等需要工业设备要去配套支持。其次,及时转变与之适应的管理体系。积极与比较先进的客户群沟通学习,包括芯片厂各项的管理、对产品品质的管控,要从用户角度去转变我们的观念与思路,来适应用户越来越高的要求,才能够尽快得到客户群的认可。最后是做产品,产品的装备升级、对应的包括检测的仪器升级、检测方法的提升与建立完善等,也是非常关键的转变。”“大家都知道中国国内的市场非常庞大,中国可以带动世界的经济占比都是比较高的,特别是这两年,包括人才的回流,市场本身又在国内,可以说国内半导体的发展和繁荣已到了天时、地利、人和的阶段,这是我对半导体行业的展望。应该讲,未来是有可超过十年以上的繁荣期和发展。与此对应的,我们处在整个材料行业当中提供材料包括设备的子行业,与我们配套的检测器材行业比如安捷伦,所提供的包括检测设备、解决方案这一块,相辅相成一同来发展,应该是比较好的前景。”谈及行业未来发展,姚玮这样评价。关于江阴江化微电子材料股份有限公司江阴江化微电子材料股份有限公司,是无锡科技领军企业、国家高新技术企业,专业生产适用于半导体(TR、IC)、晶体硅太阳能(solar PV)、FPD平板显示(TFT-LCD、CF、TP、OLED、PDP等)以及LED、硅片、锂电池、光磁等工艺制造过程中的专用湿电子化学品——超净高纯试剂、光刻胶配套试剂的专业制造商,是目前国内生产规模大、品种齐全、配套完善的湿电子化学品专业服务提供商。关于安捷伦科技安捷伦科技公司(纽约证交所:A)是生命科学、诊断和应用化学市场领域的全球领导者,致力于提供敏锐洞察与创新,帮助提高生活质量。我们的仪器、软件、服务、解决方案和专家能够为客户最具挑战性的难题提供更可靠的答案。在2020财年,安捷伦的营业收入为53.4亿美元,全球员工数为16400人。
  • 合肥先微半导体材料有限公司高纯电子新材料项目签约合肥新站高新区
    11月29日,合肥先微半导体材料有限公司高纯电子新材料项目在新站高新区签约。区党工委委员、管委会副主任徐斌,合肥先微半导体材料有限公司总经理董宜忠,十月资本合伙人李结华,区投促局、经贸局、应急局、生态环境分局、鑫城公司相关负责人参加并见证签约仪式。合肥先微半导体材料有限公司主要从事蚀刻气、激光气、离子扩散气、电子混合气等高纯电子特种气体的生产,具备提纯、分装、输配送一体化能力,为集成电路、新型显示等产业链企业提供独立自主、高品质电子特种气体。高纯电子特种气体主要应用于集成电路、新型显示、光伏、光导纤维四大领域。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。此次签约的项目计划投资约5亿元,占地面积54亩,主要从事高纯电子特种气体及设备的研发、生产。项目建成后,将进一步完善新站高新区集成电路产业链,为合肥及周边地区集成电路、新型显示以及光伏产业提供高纯电子特气材料的稳定供应。
  • 《芯片法案》改变不了中国半导体发展的大势——访日本电子顾问张仁和
    2022年9月21-24日,由全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会主办,合肥芯碁微电子装备股份有限公司承办的第三届年会暨第十二届微光刻技术交流会在合肥成功召开。来自TC203微光刻分技术委员会的委员以及国内外近百家单位的微光刻领域专家、技术人员出席本次会议。回望过去,寄语未来。会议现场,仪器信息网随机采访5位专家、厂商代表,分别谈了各自的与会感受以及他们眼中中国半导体事业的发展现状和前景展望。以下是对捷伊欧半导体贸易(上海)有限公司顾问张仁和的现场采访视频:
  • SEMICON现场直击:半导体超纯水和化学品分析、电子材料称重技术
    2023年6月29日,半导体和电子行业年度盛会SEMICON China 2023在上海新国际博览中心隆重举行。展会现场,梅特勒托利多也携最新半导体相关技术解决方案亮相E7馆。梅特勒托利多展位(展位号:E7507)展会期间,梅特勒托利多过程分析业务事业部高级细分市场专员马珺瑛、工业业务浙沪区域销售工程师庞森夫为我们介绍了梅特勒托利多在水质分析和化学品分析、高精度台秤(电子特气等材料称重)解决方案。以下是现场视频:水质分析和化学品分析解决方案高精度台秤
  • Milli-Q:电子级水在半导体行业硅晶圆、湿电子化学品和溅射靶材中的应用和解决方案
    p style="text-align: justify text-indent: 2em "10月15日-16日,中国科学院半导体研究所、仪器信息网联合主办首届“半导体材料与器件研究与应用”网络会议(i Conference on Research and Application of Semiconductor Materials and Devices, iCSMD 2020),22位业内知名的国内外专家学者聚焦半导体材料与器件的产业热点方向,进行为期两日的学术交流。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "会议期间,来自默克化工技术(上海)有限公司的高级应用专家李子超分享了电子级水在半导体行业中的应用及解决方案。/pp style="text-indent: 0em text-align: center "script src="https://p.bokecc.com/player?vid=B2A5F3FC42E9871E9C33DC5901307461&siteid=D9180EE599D5BD46&autoStart=false&width=600&height=350&playerid=621F7722C6B7BD4E&playertype=1" type="text/javascript"/script/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "据介绍,纯水是实验室应用最广泛的试剂!水中含有大量的污染物,可大致分为有机物(腐殖质、核酸酶、三聚氰胺、PCB)、无机离子(Nasup+/sup/Casup2+/sup/Fesup3+/sup/SOsub4/subsup2-/sup/Clsup-/sup)、颗粒&胶体(硅胶体、泥沙、灰尘、管路剥落)、微生物和气体(COsub2/sub、Osub2/sub),这些污染物的存在可能会导致实验的失败,浪费大量的时间、试剂和原材料。而纯化后的水等级可大致分为实验级纯化水、分析级纯化水和超纯水,其中超纯水还可分出更高一级的电子级水以满足一部分要求更高的仪器或生产工艺需求。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "李子超表示,国内纯水标准体系中GB/T11446规定的电子级水是工业用水的最高规格标准,主要用于电子和半导体工艺过程中。电子级水的高标准对采样、存储与运输、检测频次提出了更高要求,需要注意容器选择、容器清洗、防止污染、贮存与运输等问题,例行检查至少每年一次,当制水条件发生改变时也应进行例行检查。报告中,李子超还介绍了电子级水的水质检测方法、注意事项和检测仪器。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "电子级水在半导体行业主要应用于硅晶圆、湿电子化学品和溅射靶材中。在多晶硅生产中涉及的提纯工艺,多晶硅质量检测中的精密仪器和晶圆清洗都离不开电子级水。半导体对湿电子化学品的微量金属杂质、颗粒粒径和数量、阴离子杂质含量等方面有严格要求,且集成电路线宽越窄,所需标准越高,这对相应的电子级水提出了越来越高的要求。在靶材的生产过程中,靶材原材料纯化提纯过程中的检测和后期靶材的清洗也对电子级水提出了需求。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "报告最后,李子超介绍了Milli-Q的电子级水解决方案。电子级水的制备有一个完整的流程,首先自来水通过Milli-Q HX 70XX可以得到纯化水,进一步利用Super Q纯化可以得到超纯水,最后再利用IQ 7000+ Element纯化即可得到电子级水。值得注意的是,电子级水必须在洁净空间中进行取水,以避免环境干扰。/p
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