当前位置: 仪器信息网 > 行业主题 > >

气相层析质谱分析仪

仪器信息网气相层析质谱分析仪专题为您提供2024年最新气相层析质谱分析仪价格报价、厂家品牌的相关信息, 包括气相层析质谱分析仪参数、型号等,不管是国产,还是进口品牌的气相层析质谱分析仪您都可以在这里找到。 除此之外,仪器信息网还免费为您整合气相层析质谱分析仪相关的耗材配件、试剂标物,还有气相层析质谱分析仪相关的最新资讯、资料,以及气相层析质谱分析仪相关的解决方案。

气相层析质谱分析仪相关的仪器

  • APIX超高纯电子气质谱分析仪 结合了工艺先进的电子电路和功能强大的过程分析软件的、性能卓越 的大气压离子化质谱仪 (API-MS)使得 Thermo Scientific APIX 生产线提供的分析仪系统成为半导体和电子工业大宗气体连续质量控制的选择。 API-MS 为传统质量控制技术提供了一个成本-效益的替代方案,允许每种大宗气体中一系列潜在污染物浓度监测能够达到很低的测量下限;相较于其他技术,甚至能够优于100倍。 APIX产品线提供了更多完整的杂质分析,包括: H2、CO、CO2、H2O、O2、CH4 、Kr和 Xe ,以及其他需要测量的杂质。随着 300 mm 晶圆生产者发布更严格污染物控制气体质量标准,这种技术将持续的成为ppt级杂质测量下限的首选技术。 特点: 快速在线测量(典型<5秒)确保 了立即响应供气的波动状况 完全集成的多分析器分析方案提 供了污染物的快速检测 超高的灵敏度和10ppm的测量下限满足当下以及未来的严格的气体分析要求 备份能力在单个大气压离子化分 析器(API)在维护时,允许每 一台大气压离子化质谱仪(APIMS)支持多流路分析 针对于工厂控制和数据集中的标准 化工业通讯协议 (OPC, DDE, Modbus, Siemens 3964R, PROFIBUS, 等等)应用 超高纯氮气(UHP N2) 超高纯氩气(UHP Ar) 超高纯氦气(UHP He) 超高纯氢气(UHP H2) 运行原理APIX δQ 和APIX Quattro 采用阳离子大气压离子化质谱仪 ( API-MS)技术, 该技术被电子工业广泛用于检测超纯气体中的污染物。进样时,样气以大气压或略高于大气压的压力进入离子源。 金属针设置在靠近由孔板行成的通向棱镜组的入口附近。它带有高的电压,能够产生电晕放电。这就产生了从孔板到针头的电子流。电子与离子源中 大量样气发生反应,从而导致大量样气气体分子的电离。 幸运的是,相对于氮气、氢气、氦气和氩气而言,这些出现在样气中浓度很低的污染物需要很少的能量就可以产生 电离。正是因为如此,任何污染物分子出现在样气中,它们与样气离子发生反应的几率就非常高。 这种反应发生时,电荷转移至污染物气体分子,这就形成了再次电离。 这个电荷转移导致非常高比例的污染物气体分子被电离。 事实上,这个效率比其他使用真空腔电离技术的质谱仪, 其效率要高1000倍。 部份样品、完全电离的污染物,经过一系列的减压透镜后,进入三重四级杆质谱仪。一个测量质量数达到300道尔顿(原子质量单位)三重四级杆能够确保实现所有污染物的精确测量。脉冲计数放大器的噪声等级仅为10个脉冲,每106个脉冲, 与大气压离子源配合后, 能够确保12数量级的测量下限,它可以低1012之一 (即1 ppt). 配置:APIX δQ的标准配置为一个单一机箱,它里面配置了1个大气压离子化质谱仪(API-MS)和 一个Air Liquide 气体处理单元,它能够用于ppb或ppt级自动校准。标准机箱是为 相对空气洁净且有温度控制的环境而配置;如果需要,一定数量的冷却降温和吹扫选项也可以满足更多环境需求。 APIX Quattro 标准配置使用了三个机箱,两个配置了4 个大气压离子化质谱仪(API-MS)独立机箱,和第三个装有一个Air Liquide 气体处理单元机箱。 四个质谱仪中的每一个都安装在滑轨上,以便向前拖出,便于维护。 顶部安装的机箱盖包含流路切换阀组, 用于采样气体连接。它允许多个流路连接到每个独立的 散装气体分析器。这种流路选择可以是手动或完全自动完成。每一个大气压离子化质谱仪( API-MS )都是独立的,并且都具备多流路切换功能。当一台质谱仪进行年度固定维护时,可以使用其余三台质谱仪监测四个散装气体。 在这两种配置的机箱盖组件包含一个氢安全系统,以确保质谱仪在氢气泄漏时安全关闭。这个安全设备使用独立于质谱仪供电。如果需要有限的机动性,可以提供一组车轮,使该质谱仪能够安全地从一个测试点推送到另一个测试点。 每一个质谱仪通过使用后备电池闪存、运行实时的操作系统的处理器控制。这个处理器作为一系列内部控制器的主人,它们之间的通过以太电缆实现互联。 这些微处理器中的每一个都能作为一个独立部件单独运行,例如气体处理器和多流路进样系统。气体处理器仅需要一个单独的校准气瓶并结合了来自渗透管装置的湿度校准。 内部配电装置通过内部分析仪网络进行监测和控制。 这一设计拓展了 GasWorks 软件的诊断能力。每一个多处理器网络提供了冗余的通讯渠道,允许质谱仪可靠、不需要电脑工作站独立运行,直接传送样品流路数据和诊断信息至DCS或SCADA系统。每一个通讯渠道都可被配置为点对点的 光纤通讯或是硬接线的电流回路、多点连接 。每个分析器都可以配置一个嵌入式opc服务器,与 Microsoft 主机或多种工艺网关协议(Modbus, Siemens, Allen-Bradley, 等.)实现无缝通信 。如果需要质谱仪提供硬接线模拟检测和数字报警输出, OPTO 22 SNAP 和 OPTOMIX 协议将被完全支持,一系列硬件卡件能够使用。 Thermo Scientific GasWorks 软件 Thermo Scientific GasWorks 软件包为质谱仪操作提供了一个直观的、信息丰富且灵活的窗口。使用安装了Gasworks软件的一台电脑可以完成初始设置,过程数据和诊断信息的显示。我们也可以断开电脑与APIX的连接;APIX能够脱离与电脑的连接而独立运行于无人值守模式。 从设计概念到数代产品,完全认可的ISO 9001质量程序得到了软件团队的严格执行。 软件安装可以随时检查,以确保其可验证的完整性和正确性。软件更新可以远程上传。 技术参数测量方式APIX δQ: 1x 三重四级杆质谱分析器 APIX Quattro: 4x 三重四级杆质谱分析器质量范围1-300 AMU离子源类型大气压离子化离子源背景<1 ppt放大器和动态测量范围100 MHz脉冲计数型检测器脉冲计数通道电子倍增器检测噪声每106 有10个数检测下限 10 ppt (根据组份变化)分析时间(典型) 1s每个组份流路切换时间(典型)15分钟至 1 ppb适合的大宗气体H2 , N2 , Ar, He串口连接类型RS232, RS422, RS485检测的污染物H02 , He, CO, CO2 , O2 , CH4 , Kr 和 Xe (其他污染物也可检测)外形尺寸APIX δQ: 1.9 m (H) x 0.7 m (W) x 0.65 m (D) APIX Quattro: 1.9 m (H) x 2.1 m (W) x 0.65 m (D)
    留言咨询
  • 赛默飞旗下液相色谱LC、气相色谱GC、离子色谱(IC)、质谱(LC-MS/MS、GC-MS/MS、LCHRMS、GCHRMS、IOMS)、痕量元素分析(TEA)和样品前处理系统,是业界领先产品,能为科学分析创造出全新的可能性。主要产品:液相色谱(LC)液质联用(LC-MS/LC-MSMS)高分辨液质离子阱质谱气相色谱(GC)气质联用(GC-MS/GC-MSMS)高分辨气质痕量元素分析产品(AAS, ICP, ICP无机质谱离子色谱(IC)样品前处理设备(SP)水质分析仪(CDD)色谱数据系统(CDS)网络讲堂同位素技术在葡萄酒真伪鉴定和产地溯源中的应用离子色谱在有机化合物分析中的应用研究赛默飞三重四极气质联用仪在疾控领域中的应用赛默飞CSR(大体积进样技术)和NCI(负离子化学电离技术)在电子电器产品有害化合物分析中的应用赛默飞液相色谱柱在制药领域中的应用赛默飞2015版《国家药包材标准》色谱、光谱及元素分析解决方案赛默飞iCAP RQ ICP-MS新产品介绍及最新应用进展赛默飞色谱、光谱对食品中有毒有害物质分析应用更多信息:请访问赛默飞色谱与质谱分析的展台,展位号:SH100244。或使用域名登陆:http://www.instrument.com.cn/netshow/SH100244/
    留言咨询
  • ■ 简述JMS-TQ4000GC沿用了高端GC-MS所有技术之气相层析三段四极柱质谱仪。具有高通量及高灵敏度能力的JMS-TQ4000GC,能够提升常规分析的效率,包含蔬果的农药分析、监测不同地区及国家的水质、微量化学药剂的检测等。■ 特色说明三项特点技术可以更快地且更准确地进行定量分析:极短的碰撞室具有离子的累积及瞬间射入离子之功能,实现高灵敏度及高速的测量,通过高速进行SRM的切换(达1,000 transitions/sec),可以大幅度的减少测量时间,为目前市面上最快的GC-MS/MS。1. 离子累积Ion Accumulation极短的碰撞室能在短时间内累绩离子,并利用脉冲的方式射出,通过同步进行离子脉冲射出及讯号采集,可大大的降低背景讯号进行高灵敏度的分析。2. 极短的碰撞室Short Cell使用较短的碰撞室,可以快速地射出在碰撞室中所累积的离子,提供了高灵敏度极高速的SRM切换,并且不会造成SRM channel之间离子交互干扰(crosstalk),这样的方式也能有效地使背景讯号降低,达到灵敏度提升。 3. Fast GCFast GC的技术(使用直径较小和长度较短的毛细管柱,搭配快速的升温程序)可大大缩短测量时间,由于层析图中的peak变窄,因此必须搭配high-speed transition,较短的碰撞室技术能够支持Fast GC所需的high-speed transition,在没有任何灵敏度损失的情况下进行测量。常规管柱测量266种农药需花费40分钟(上图),使用Fast GC能够在15分钟内完成分析(下图),同时能保持层析的分离。 即使使用Fast GC分析,依然能够获得良好的层析峰型以及稳定的再现性,下图为农药化合物之EIC (重复8次测试)。 ■ 更简单及更快速的数据分析简易的Multi-Target compounds分析软件”EscrimeTM”为了满足客户的实际需求,“Escrime&trade ”开发成易理解的布局方式和简单操作的数据分析软件,Escrime&trade 软件具有许多功能,提供给客户最有效的数据分析方式。 用于数据检查的窗口slideshow(复合式观察窗口功能)在观察窗口中包含了样品中所有目标化合物的检量线、层析图、定量结果,皆会显示在同一窗口之中,用户无需再对软件进行任何操作及参数修改,即可检查所有的信息,如有需要的话也可在同一窗口中进行数据编辑,减少了数据分析软件的复杂度。 简易的清洁及较低的维护成本不须任何工具就可拆卸下离子源进行清洁,且高速的真空泵能够快速的使仪器回到真空状态,无需过多的等待即可恢复进行实验,大大降低等待的时间即维护成本。
    留言咨询
  • ■实现高灵敏度和压倒性的动态范围 检测限:IDL 5 fg 在SIM模式下连续测量OFN 20 fg 8次,根据得到的EIC萃取离子层析图的面积值及其重现性计算设备检测下限,达到2.6 fg 宽色谱动态范围 当在标准EI离子源的SIM模式下测量OFN 0.005至 1,000 pg时,校准曲线的决定系数为0.999或更高,并获得了良好的线性。5位数以上的宽动态范围不仅对定量分析有效,而且有效对不同浓度的混合样品的定性分析。■自动 SIM 条件创建功能使用Peak Dependent SIM进行简单且高灵敏度的定量分析,您不再需要进行麻烦的SIM分组工作。自动SIM条件创建功能Peak Dependent SIM自动设置最佳SIM分组。任何人都可以在优化的SIM条件下轻松进行测量。SIM测量中每组通道数可设置为100,组数可设置为500。■独特离子源扩展解决方案高性能离子源 (Enhanced Performance Ion Source, EPIS),设备检测限:IDL 1 fg EPIS通过改良离子源室实现了高灵敏度。EPIS中的设备检测限为IDL 1 fg(OFN 5 fg注射,8次测量),为业界最高水平的灵敏度&bull 微量成分分析&bull 浓缩作业的简化、样品导入量的减少(减少污染)&bull 从SIM定量替换为SCAN定量(简化测量条件,可进行非目标分析)它产生各种优点,达到最佳条件的定量分析与定性分析。在SIM模式下连续测量OFN 5 fg 8次,根据得到的EIC萃取离子层析图的面积值及其重现性计算设备检测下限IDL 0.6 fg。光游离化 EI/PI 共享离子源 光游离化(PI)法是使用真空紫外(VUV)灯的离子化方法,可以结合EI(硬性离子源)和PI(软生性离子源)的共享离子源使用。只需打开/关闭 EI灯丝和打开/关闭PI灯,即可在EI方法和PI方法之间切换。特征&bull 无需更换离子源&bull 无需破真空&bull 无需反应气体&bull 大幅提升定性分析 聚苯乙烯泡沫塑料Py/GC-MS测量结果,吸收PI紫外线游离化的芳香烃,因此可以高灵敏度检测分子离子。■广泛运用的软件组合综合定性分析软件“msFineAnaysis iQ”摆脱数据库搜索的定性分析!通过结合软性游离法数据实现更高阶的定性分析!msFineAnalysis iQ为GC-TOFMS的集成分析软件,开发专用于技术应用于QMS数据分析msFineAnalysis iQ是一款自动定性分析软件,它结合了使用EI质谱的数据库搜寻和使用软性离子源的分子量确认。通过将软性游离源添加到数据库搜索结果中,与以往单独进行数据库比对结果相比,将大幅提高识别准确性。msFineAnalysis iQ 自动执行以下任务。&bull 峰检测(反折积deconvolution或TIC峰检测)&bull 链接EI和SI数据(链接)&bull 数据库检索 (EI)&bull 分子离子搜索 (SI)&bull 缩小数据库检索结果(EI、SI集成)&bull 提供综合分析结果我们将摆脱单纯的数据库检索的定性分析,自动、及时地提供更高阶的定性分析结果。在综合分析结果画面中,可以查看结合了EI方法和软性游离(SI)层析图谱数据、色谱图信息、光谱信息、数据库检索和分子离子分析结果的综合分析结果。点击两下分析结果列表中的每一行,可以展开单个质谱分析屏幕。在这里,您可以查看和重新分析库检索结果和分子离子分析结果。全新感受的控制软件“MSPRIMO&trade ”与测量、设备控制和分析工作联动的多功能序列 不仅可以安排分析测量,还可安排设备启动和停止。MSPRIMO &trade 配备了用于测量、设备控制和分析工作指令的多功能序列。由于可以设置工作开始时间,因此可以自由安排工作。我们支持日常分析工作,例如测量后设备关闭、连续测量任意位置的调谐以及测量数据的定量分析。多组分定量分析软件“Escrime&trade ” 配备全方位的定量分析功能与定性分析Escrime&trade 是一款多组成分定量分析软件,自动计算层析峰面积,创建校准曲线,计算定量值,以及后续面积计算范围的个别设置、批次变化和定量离子变化。可以做到这一点,并且可以大量减少定量计算过程所需的时间。定量条件创建和分析可以与 MSPRIMO &trade 链接。您可以更轻松、更高效地执行分析工作。定量分析结果的报告格式可以根据目的和应用自由定制。Escrime &trade 是多样品、多组分定量分析的必备软件。 报告输出示例多个样品中包含的组分峰或一个样品中的多个组分峰可以显示在同一屏幕上。另外,可以同时改变峰面积计算范围,一次可以处理多个样品。
    留言咨询
  • 日本电子JEOL推出JMS-T2000GC AccuTOF&trade GC-Alpha是第六代GC-TOFMS,具有新一代的离子光学系统,可实现高效率离子传输(灵敏度)和超高解析力。关键技术一:高性能飞行质谱仪■ AccuTOF&trade GC-Alpha的基本性能AccuTOF&trade GC-Alpha为二阶段反射电子管的正交加速飞行时间质谱仪(oaTOFMS)。 它采用了最佳的离子光学系统,可实现高效率离子传输(灵敏度)和超高解析力。 高灵敏度检测极限:IDL = 18.7 fg宽幅质量范围:〜 m / z 6,000Mass separation of m/z 28高质量解析力:30,000高质量精度:1 ppm高速数据采集:50 Hz提供绝佳GCxGC及Fast GC应用大宽幅动态分析范围:4级数■ 多样软性游离源提供新的定性分析功能 FI和FD〜 EI / FI / FD组合离子源(可选)单一离子源,具有EI(硬性离子源)和FI / FD(软性离子源)技术,可自动快速切换EI和FI / FD模式。特征&bull 无需更换离子源&bull 无需打破真空&bull 无需反应气通过将此组合离子源与GC结合使用,可以进行以下分析:&bull GC / EI通过图书馆检索进行定性分析&bull GC / FI用于分子量测定&bull 精确的质量测量 FI和FD〜 确定分子量的理想软电离技术FI和FD是极软性的游离化技术,与EI甚至CI相比较,提供分析物的能量更低,从而产生清晰的分子离子。FI(场离子化)&bull 样品通过GC或标准样品入口系统引入离子源。&bull 与CI不同,FI不使用反应气。&bull 无需选择适合分析物的反应气。FD(场脱附)&bull 样品被施加到发射器上并直接引入系统中。&bull 适用于热不稳定化合物的分析。&bull 非常适合可溶于非极性溶剂的样品。&bull 分析可分散在溶剂中的粉末样品。&bull 分析低至中极性的金属错合物。&bull 分析GC-MS不支持的高分子量样品,例如聚合物。 PI(光离子源)〜 EI / PI组合离子源PI是一种软性游离方法,使用真空紫外(VUV)灯的光子进行电离。 AccuTOF&trade GC-Alpha具有可选的组合离子源,可同时提供EI(硬性游离源)和PI(软性游离源)。 通过简单地打开/关闭EI灯丝和PI灯,此离子源就可以在EI和PI之间进行切换。PI非常适合分析复杂混合物中的芳族化合物。 这些化合物强烈吸收UV光产生高强度峰。关键技术二:新一代分析软件可实现简单,快速的操作■ 自动化图谱分析软件:MsFineAnalysisMsFineAnalysis为非特定目标(non-target)分析软件,结合EI / SI图谱数据进行定性分析,自动完成数据库比对、分子离子确认、精确质量、同位素分析、碎片离子比对等分析,提供了快速有效的数据分析,可以轻松地对未知化合物以及未在EI质谱库中注册的化合物进行定性分析,使用户大量减少分析数据的时间,而将更多的时间用于研究和创造!可以直接比较两个相似的样本进行差异分析,对于制程管控、质量管理、竞品比对具有强大的分析功能!msFineAnalysis的功能&bull 自动结合EI / SI图谱数据进行定性分析&bull 层析峰反折积(deconvolution)&bull 组别分析提取具有常见次结构的化合物&bull 直接比较两个样品光谱差异分析&bull 亦可对单一EI图谱数据进行分析 ■ AccuTOF&trade GC-Alpha不只是GC-TOFMS,更是直接进样的Direct MS直接MS模式(不使用GC)可用于分析不适用于GC的高沸点和高质量化合物,可以将高沸点、高分子量和非挥发性化合物直接引入离子源中。AccuTOF&trade GC-Alpha的质量范围为m / z 6,000或更高质量范围,因此可运用在大分子量化合物分析应用。 ► DEP (Direct Exposure Probe)&bull 将溶解或分散在溶剂中的样品添加到尖端的细丝上&bull 适用于高沸点和/或热不稳定化合物&bull 与EI和CI兼容使用► DIP (Direct Insertion Probe)&bull 可以将固体样品引入玻璃样品管中。&bull 适用于高沸点和/或不溶性化合物&bull 与EI和CI兼容使用► FDP (Field Desorption Probe)&bull 将溶解或分散在溶剂中的样品施加到尖端的碳发射器上。&bull 适用于高沸点,高分子量和/或热不稳定的化合物&bull 适用于中低极性金属配合物&bull 用于FD软性游离法■ 通过FD探头和Kendrick质量缺陷(KMD)分析进行聚合物分析 FD是一种电离方法,添加在发射器化合物会被高电场解吸并电离。 在测量过程中,流经发射器的电流可逐渐增加,因此可以在不同时间下,解离混合物中的成分,提取特定类别化合物的质谱。 此外,即使在电离过程中化合物未及时分离时,通过创建KMD图仍可以清楚地分离目标化合物。
    留言咨询
  • 仪器简介:详情请咨询上海楚定分析仪器有限公司 021-649340602001-B-III是当今从事生命科学研究、药物测定、农业科研、化工、食品科学及大专院校及医疗单位等行业的现代分析实验仪器。核酸蛋白检测仪/紫外检测仪系列产品是自动液相色谱分离层析仪2001-B-III中分离具有紫外吸收物质(蛋白、核酸、多肽、酶)的一种紫外检测装置,其原理是根据物质(样品)对紫外光有明显吸收的特征,实现对样品成份含量比对分析,以便进行样品蛋白、核酸物质识别检测和含量测定。嘉鹏牌可直接读出光密度A值,且波长准确度和重复性高、单色性好、定性、定量分析中能直接记录各个峰面积的相对峰面值,并能计算质量相对的含量 仪器配上嘉鹏采集器、恒流泵、部分收集器、梯度混合器、层析柱,即组成一套完整的自动液相色谱分离分析装置,可满足凝胶渗透层析、亲和层析、离子交换层析等多种色谱分析的使用要求,具有极高的性能价格比。 自动液相色谱分离层析仪2001-B-III具有微量样品池进行连续检测功能,在柱层析分离分析过程中,洗脱液流过嘉鹏样品池,层析图谱采集仪即可自动绘制出样品分离的图谱(吸收峰或透过峰),同时可检测出所需样品在部分收集器试管中的分布情况,并随时监测柱层析过程,特别是在摸索实验过程中,及时改变洗脱条件,以便迅速取得最佳实验方案,最后达到分离生物大分子。自动液相色谱分离层析仪2001-B-III配置: HD-2000核酸蛋白检测仪1台,HD-A层析采集仪1台,BT-100SD恒流泵1台,DBS-100部分收集器1台,层析柱1.0×50cm , 1.0×70cm , 2.6×50cm, 各1根。★与GE Healthcare 实验室规模层析柱接口完全兼容,不需要任何连接件即可在AKTA等设备系统进行预分离。新型微电脑芯片控制,显示3个OD值,用户直接读出光密度A值。波长: 214nm、254nm、280nm软件:可实现电脑绘图,数据分析,计算及打印。★收集盘数字标记设计,每根试管均对应1个数字,确保试管精确对号取管。收集试管:100支,每支最大容量:12ml,定时收集范围:1秒-199小时59分59秒,计滴收集范围:1滴-9999滴,任意选择,定峰收集范围:0-100mv;超大蓝膜LCD独创极清显示方式;★转速分辨率0.1转/分—150转/分,正反可调,流量:1—14500ml/h;★灌装功能:定时运转:1秒—9小时59分59秒,定时休眠:0秒—9小时59分59秒;流量精度:±1%。层析柱1.0×50cm , 1.0×70cm , 2.6×50cm,各1根。 自动液相色谱分离层析仪2001-B-III正确使用:嘉鹏自动液相色谱分离层析仪是精密的仪器,流动相中的不溶物、缓冲液中盐的析出、流动相中的气泡、仪器管道或阀门内长菌或微生物都会影响仪器的寿命或性能,在操作过程中对有关方面应该特别注意,正确使用仪器以保证发挥仪器良好的性能并延长仪器寿命。1、自动液相色谱分离层析仪使用完毕后如果放置过夜,应用低盐缓冲液(最好是去离子水)彻底清洗所有管道和阀门。2、如果自动液相色谱分离层析仪一段时间不用,用去离子水清洗后,再用20%乙醇或0.05%叠氮化钠溶液充满管道,长期不用要把泵、阀门、检测器等出入口用随机带的塞子封闭以免溶液挥发。防止仪器管道阀门内部长菌或微生物,高温天气尤其要注意。长菌或微生物后很难除去。3、自动液相色谱分离层析仪应存放应置干燥通风环境,防止仪器长霉菌或锈蚀。如果仪器放在低温环境(冷室或层析柜),不要关闭电源,防止水蒸气凝结。
    留言咨询
  • 仪器简介:ME99-1型普通六件套配置自动液相色谱分离层析仪(配恒温层析柜)简介:层析谱分析分析系统由层析谱电脑采集器、电脑和分析软件组成。实现层析分离过程中对吸光度(A)和透过率(T%)的实时采集、描谱、保存、参数计算、打印谱图等功能。详情请来电:021-64927579技术参数:ME99-1型普通六件套配置自动液相色谱分离层析仪(配恒温层析柜)技术参数:仪器型号名称:ME99-1型自动液相色谱分离层析仪配置:HD-3紫外检测仪,BSZ-100电子钟控自动部份收集器,HL-2恒流泵, XWT-S台式记录仪,CXG-1层析柜,层析柱:&Phi 1.0× 40,&Phi 1.6× 50,&Phi 2.5× 60各一支。技术参数:波长:220,254,280,340nm;定时范围:1分-24小时;流量:0.1-10ml/m;收集容量:12ml× 100;温控范围:0-45℃;层析柜容积:250L;重量:105Kg。仪器型号名称:ME99-2型自动液相色谱分离层析仪配置:HD-3紫外检测仪,SBS-100数控计滴自动部份收集器,HL-2S恒流泵,3057-11台式记录仪,CXG-1层析柜,层析柱:&Phi 1.0× 40,&Phi 1.6× 50,&Phi 2.5× 60各一支。技术参数:波长:220,254,280,340nm;定时范围:1秒-9999分;流量:0.1-10ml/m;计滴范围:1滴-9999滴;收集容量:12ml× 100;温控范围:0-45℃;层析柜容积:250L;重量:105Kg。仪器型号名称:ME99-3型自动液相色谱分离层析仪配置:HD-3紫外检测仪,DBS-100电脑全自动部份收集器,DHL-A电脑数显恒流泵,HD-A电脑采集器,CXG-1层析柜;层析柱:&Phi 1.0× 40,&Phi 1.6× 50,&Phi 2.5× 60各一支。技术参数:波长:220,254,280,340nm;定时范围:1秒-9999分;流量:0.01-15ml/m;计滴范围:1滴-9999滴;定峰范围:0-100mv;收集容量:12ml× 100;温控范围:0-45℃;层析柜容积:250L;自配电脑可实现电脑绘图、保存、数据分析和计算;重量:95Kg。主要特点:ME99-1型普通六件套配置自动液相色谱分离层析仪(配恒温层析柜)简介:层析谱分析分析系统由层析谱电脑采集器、电脑和分析软件组成。实现层析分离过程中对吸光度(A)和透过率(T%)的实时采集、描谱、保存、参数计算、打印谱图等功能。
    留言咨询
  • 仪器简介:产 品 名 称: 自动液相色谱分离层析仪(电脑数据采集)型 号: MD99-2A详情请咨询上海楚定分析仪器有限公司 021-64934060技术参数:产 品 名 称: 自动液相色谱分离层析仪(电脑数据采集)型 号: MD99-2A外形尺寸 长× 宽× 高 :标准配置(六件套)主 要 技 术 参 数 : HD-3紫外检测仪,BS-100A自动部份收集器HL-2恒流泵, TH-500梯度混合器,HD-A电脑采集器层 析 柱:&Phi 1.0× 40,&Phi 1.6× 50,&Phi 2.5× 60各一支 波 长:220,254,280,340nm定时范围:1秒-100分; 流 量:0.1-10ml/m收集容量:12ml× 100给出梯度:1000ml, 梯度形状可直线自配电脑可实现电脑绘图、保存、数据分析和计算重 量 (Kg): 28出厂价 (元):25800产 品 名 称: 自动液相色谱分离层析仪(电脑数据采集)型 号: MD99-2A外形尺寸 长× 宽× 高 :标准配置(六件套)主 要 技 术 参 数 :HD-3紫外检测仪,BS-100A自动部份收集器HL-2恒流泵, TH-500梯度混合器,HD-A电脑采集器层 析 柱:&Phi 1.0× 40,&Phi 1.6× 50,&Phi 2.5× 60各一支波 长:220,254,280,340nm定时范围:1秒-100分; 流 量:0.1-10ml/m收集容量:12ml× 100给出梯度:1000ml, 梯度形状可直线自配电脑可实现电脑绘图、保存、数据分析和计算重 量 (Kg): 28出厂价 (元):25800
    留言咨询
  • 简单介绍:自动液相色谱分离层析仪2001-D-III是当今从事生命科学研究、**测定、农业科研、化工、食品科学及大专院校及医疗单位等行业的现代分析实验仪器。详情介绍:&diams 产品介绍自动低压液相色谱分离层析仪是当今从事生命科学研究、**测定、农业科研、化工、食品科学及大专院校及医疗单位等行业的现代分析实验仪器。&diams 产品特点可快速满足凝胶渗透层析、亲和层析、离子交换层析等多种色谱分析。全自动部分收集器,具有多种收集模式,可配置多种规格收集管。自动绘制层析图谱,显示和保存层析数据。&diams 技术参数产品型号2001-D-III配置JP-3001双光束核酸蛋白检测仪(内置色谱工作站),TH-500A梯度混合器,DBS- 100自动部分收集器,HL-2S恒流泵,层析柜层析柱1.0×40cm,1.6×50cm,2.6×60cm各2支GE接口与GE层析柱接口兼容,可在AKTA等设备系统进行预分离。( 选配)显示,调零蓝膜高清LCD液晶显示,双光束一键调零,超大10.1英寸波长260nm、280nm;选配405nm、310nm量程LED冷光源,寿命50000小时,10ul~120ul试管编号任意设置起始管,每根试管均对应1个数字,确保试管**对号收管。试管显示试管: 100支,每支较大容量: 12ml超大蓝膜L CD极清显示方式定时范围1秒- 199小时59分59秒计滴范围1滴-9999滴,任意选择定峰范围0-100mV流量.2x (0.5-900) ml/h调速范围0-65转/分分装灌装手动分装灌装梯度混合给出梯度1000ml层析柜容积250L软件可实时采集、实时显示各种参数,如时间、UV、梯度谱线、温度、电导率、收集试管号等
    留言咨询
  • 简单介绍:2001-C系列自动低压液相色谱分离层析仪是当今从事生命科学研究、**测定、农业科研、化工、食品科学及大专院校及医疗单位等行业的现代分析实验仪器。详情介绍:&diams 产品介绍自动低压液相色谱分离层析仪是当今从事生命科学研究、**测定、农业科研、化工、食品科学及大专院校及医疗单位等行业的现代分析实验仪器。&diams 产品特点可快速满足凝胶渗透层析、亲和层析、离子交换层析等多种色谱分析。全自动部分收集器,具有多种收集模式,可配置多种规格收集管。自动绘制层析图谱,显示和保存层析数据。&diams 技术参数产品型号2001-C-I2001-C-II2001-C-III2001-C-IV配置JP-3000双光束核酸蛋白检测仪HL-2F恒流泵BSZ-100部份收集器层析柜JP-3000双光束核酸蛋白检测仪DHL-B恒流泵DBS- 100自动部分收集器TH-500A梯度混合器层析柜JP-3000双光束核酸蛋白检测仪DBS- 100自动部分收集器BT- 100SD恒流泵层析柜JP-3000双光束核酸蛋白检测仪BT-100SD恒流泵CBS-B自动部分收集器TH-500A梯度混合器层析柜层析柱1.0x 50cm,1.0x 70cm,2.6 x 50cm各1根GE接口与GE层析柱接口兼容,可在AKTA等设备系统进行预分离。( 选配)显示,调零蓝膜高清LCD液晶显示,双光束一键调零波长260nm、280nm;选配405nm、310nm量程LED冷光源,寿命50000小时,10ul~120ul试管编号任意设置起始管,每根试管均对应1个数字,确保试管**对号收管。试管显示试管: 100支,每支较大容量: 12ml超大蓝膜L CD**极清显示方式定时范围1秒- 199小时59分59秒计滴范围无1滴-9999滴,任意选择定峰范围.无0-100mV0-250mV程控范围无1-10个模式流量2x (0.5-900) ml/h1-14500ml/h调速范围0-65转/分0.1转/分-150转/分分装灌装手动分装灌装1秒-59小时59分定时运转: 1秒- 9小时59分59秒定时休眠: 0秒- 9小时59分59秒梯度混合无给出梯度1000ml无给出梯度1000ml软件可实时采集、实时显示各种参数,如时间、UV、梯度谱线、温度、电导率、收集试管号等
    留言咨询
  • 简单介绍:2001-A系列自动低压液相色谱分离层析仪是当今从事生命科学研究、**测定、农业科研、化工、食品科学及大专院校及医疗单位等行业的现代分析实验仪器。详情介绍:&diams 产品介绍自动低压液相色谱分离层析仪是当今从事生命科学研究、**测定、农业科研、化工、食品科学及大专院校及医疗单位等行业的现代分析实验仪器。&diams 产品特点可快速满足凝胶渗透层析、亲和层析、离子交换层析等多种色谱分析。全自动部分收集器,具有多种收集模式,可配置多种规格收集管。自动绘制层析图谱,显示和保存层析数据。&diams 产品参数产品型号2001-A-I2001-A-II2001-A-III2001-A-IV配置JP-3000双光束核酸蛋白检测仪HL-2F恒流泵BSZ-100部份收集器仪器车JP-3000双光束核酸蛋白检测仪DHL-B恒流泵DBS- 100自动部分收集器TH-500A梯度混合器仪器车JP-3000双光束核酸蛋白检测仪DBS-100自动部分收集器BT-100SD恒流泵仪器车 JP-3000双光束核酸蛋白检测仪BT-100SD恒流泵CBS-B自动部分收集器TH-500A梯度混合器仪器车. 层析柱1.0x 50cm,1.0x 70cm,2.6 x 50cm各1根GE接口与GE层析柱接口兼容,可在AKTA等设备系统进行预分离。( 选配)显示,调零蓝膜高清LCD液晶显示,双光束一键调零波长260nm、280nm;选配405nm、310nm量程LED冷光源,寿命50000小时,10ul~120ul试管编号任意设置起始管,每根试管均对应1个数字,确保试管**对号收管。试管显示试管: 100支,每支较大容量: 12ml超大蓝膜L CD**极清显示方式定时范围1秒- 199小时59分59秒计滴范围无1滴-9999滴,任意选择定峰范围无0-100mV0-250mV程控范围无1-10个模式流量.2x (0.5-900) ml/h1-14500ml/h调速范围0-65转/分0.1转/分-150转/分分装灌装手动分装灌装1秒-59小时59分定时运转: 1秒- 9小时59分59秒定时休眠: 0秒- 9小时59分59秒梯度混合无给出梯度1000ml无给出梯度1000ml软件可实时采集、实时显示各种参数,如时间、UV、梯度谱线、温度、电导率、收集试管号等
    留言咨询
  • 简单介绍:2001-B系列自动低压液相色谱分离层析仪是当今从事生命科学研究、**测定、农业科研、化工、食品科学及大专院校及医疗单位等行业的现代分析实验仪器。详情介绍:&diams 产品介绍自动低压液相色谱分离层析仪是当今从事生命科学研究、**测定、农业科研、化工、食品科学及大专院校及医疗单位等行业的现代分析实验仪器。&diams 产品特点可快速满足凝胶渗透层析、亲和层析、离子交换层析等多种色谱分析。全自动部分收集器,具有多种收集模式,可配置多种规格收集管。自动绘制层析图谱,显示和保存层析数据。 &diams 技术参数产品型号2001-B-I2001-B-II2001-B-III2001-B-IV配置JP-3000双光束核酸蛋白检测仪HL-2F恒流泵BSZ-100部份收集器滴定台JP-3000双光束核酸蛋白检测仪DHL-B恒流泵DBS- 100自动部分收集器TH-500A梯度混合器滴定台JP-3000双光束核酸蛋白检测仪DBS- 100自动部分收集器BT- 100SD恒流泵滴定台JP-3000双光束核酸蛋白检测仪BT-100SD恒流泵CBS-B自动部分收集器TH-500A梯度混合器滴定台层析柱1.0x 50cm,1.0x 70cm,2.6 x 50cm各1根GE接口与GE层析柱接口兼容,可在AKTA等设备系统进行预分离。( 选配)显示,调零蓝膜高清LCD液晶显示,双光束一键调零波长260nm、280nm;选配405nm、310nm量程LED冷光源,寿命50000小时,10ul~120ul试管编号任意设置起始管,每根试管均对应1个数字,确保试管**对号收管。试管显示试管: 100支,每支较大容量: 12ml超大蓝膜L CD**极清显示方式定时范围1秒- 199小时59分59秒计滴范围无1滴-9999滴,任意选择定峰范围.无0-100mV0-250mV程控范围无1-10个模式流量2x (0.5-900) ml/h1-14500ml/h调速范围0-65转/分0.1转/分-150转/分分装灌装手动分装灌装1秒-59小时59分定时运转: 1秒- 9小时59分59秒定时休眠: 0秒- 9小时59分59秒梯度混合无给出梯度1000ml无
    留言咨询
  • 价格货期电议在线质谱分析仪热催化分析上海伯东客户某大学采购在线质谱分析仪 Omnistar, 对经过热催化后的气体 CH4, NO, CO2 等气体进行分析. 热催化主要涉及在较低温度 (≤ 523 K) 的加氢反应, 生成 CH4, NO, CO2 等气体. 热催化是催化 CO2 转化最常用的方法之一.在线质谱分析仪使用方法: 在催化反应装置尾气段接入质谱分析仪 Omnistar GSD 350 02, 即可在线实时分析反应产物的种类及特性. 定量分析需要加配对应的标气, 利用氦气作为载体, 在测试前进行标定.若您需要进一步了解详情,请联络上海伯东叶女士
    留言咨询
  • 产品简介:博晖腹泻病毒(轮状病毒、肠道腺病毒、诺如病毒、星状病毒)联合检测系统系统包括BH400fx荧光免疫肠道病毒四项联检仪和轮状病毒、肠道腺病毒、诺如病毒、星状病毒联合检测试剂盒(免疫荧光法),用于腹泻病毒的检测。1、仪器、试剂一体开发2、多病毒联合检测 产品特点:四病毒联合检测机器检测,避免人为读数误差检测峰高对比值,有效避免假阳性,有效检测时间窗显著长,60分钟内读数易于实现全自动化操作,简化客户操作,提高工作效率易于实现信息化,可与LIS、HIS连接信息自动存储,便于数据检索和分析技术平台可扩展到更多的检测项目 检测原理:  利用免疫层析技术,采用双抗体夹心法检测轮状病毒、肠道腺病毒、诺如病毒和星状病毒的抗原。当待测样本加入测试卡加样孔后,待测样本中含有轮状病毒和(或)肠道腺病毒和(或)星状病毒和(或)诺如病毒的抗原与荧光标记的抗体形成反应复合物,在层析作用下,反应复合物沿硝酸纤维膜向前移动,分别被硝酸纤维膜检测区上预先包被的轮状病毒单克隆抗体和(或)肠道腺病毒单克隆抗体和(或)星状病毒单克隆抗体和(或)诺如病毒单克隆抗体捕获,在检测区上形成反应带,使用荧光免疫分析仪检测出反应带上的荧光值,当荧光值等于或高于检出限时,显示为阳性;当荧光值低于检出限时显示为阴性,从而实现检测轮状病毒、肠道腺病毒、星状病毒和诺如病毒的目的。 技术参数: 分析方式免疫荧光 测定范围可以检测浓度范围为0-500ng/ml的荧光素溶液,在此范围内线性相关系数r应≥0.990。 信噪声背景用仪器检测空白试剂卡,连续检测10次,求平均值,噪声的背景荧光强度值小于50。 准确度用仪器测定荧光素校准品,测定值应该在标示值的±5%内。 精密度浓度为100ng/ml的荧光素溶液做样本,进行检测,变异系数≤10% 准确性仪器在20分钟内,荧光强度的示值变化小于5% 测试时间一次全测量时间小于30秒 供电电源电压220V;频率50Hz 工作条件a)室内使用b)海拔高度在2000m以下c)环境温度:10℃~30℃;相对湿度:≤70%。d)仪器不应受到影响使用的震动、腐蚀性气体及电磁场干扰。 外形尺寸400×436×200(mm)
    留言咨询
  • 产品简介:博晖腹泻病毒(轮状病毒、肠道腺病毒)联合检测系统系统包括BH100荧光免疫分析仪和轮状病毒、肠道腺病毒联合检测试剂盒,用于腹泻病毒的检测。1、仪器、试剂一体开发2、多病毒联合检测 产品特点:机器检测,避免人为读数误差检测峰高对比值,有效避免假阳性,有效检测时间窗显著长,60分钟内读数易于实现全自动化操作,简化客户操作,提高工作效率易于实现信息化,可与LIS、HIS连接信息自动存储,便于数据检索和分析技术平台可扩展到更多的检测项目 检测原理:  利用免疫层析技术,采用双抗体夹心法检测轮状病毒和肠道腺病毒的抗原。当待测样本加入测试卡加样孔后,待测样本中含有轮状病毒和肠道腺病毒的抗原与荧光标记的抗体形成反应复合物,在层析作用下,反应复合物沿硝酸纤维膜向前移动,分别被硝酸纤维膜检测区上预先包被的轮状病毒间克隆抗体和肠道腺病毒单克隆抗体捕获,在检测区上形成反应带,使用荧光免疫分析仪检测出反应线上的荧光值,当荧光值等于或高于检出限时,显示为阳性,当荧光值低于检出限时显示为阴性,从而实现检测轮状病毒和肠道腺病毒的目的。 技术参数: 分析方式免疫荧光 测定范围可以检测浓度范围为0-500ng/ml的荧光素溶液,在此范围内线性相关系数r应≥0.990。 信噪声背景用仪器检测空白试剂卡,连续检测10次,求平均值,噪声的背景荧光强度值小于50。 准确度用仪器测定荧光素校准品,测定值应该在标示值的±5%内。 精密度浓度为100ng/ml的荧光素溶液做样本,进行检测,变异系数≤10% 准确性仪器在20分钟内,荧光强度的示值变化小于5% 测试时间一次全测量时间小于30秒 供电电源电压220V;频率50Hz 工作条件a)室内使用b)海拔高度在2000m以下c)环境温度:10℃~30℃;相对湿度:≤70%。d)仪器不应受到影响使用的震动、腐蚀性气体及电磁场干扰。 外形尺寸400×436×200(mm)
    留言咨询
  • 青岛华晶荧光免疫层析分析仪特点【测量方法】:免疫荧光【反应通道】:不同项目同时检测,样本随到随检【智能高效】:插卡自动检测自动丢卡,自动上传结果【操作简便】:定标采用智能高效刷卡系统,不用自做标曲,即时测试、自动测试和列队测试可选检测快速,可机内孵育,做到随到随测【配套试剂】:原厂提供配套试剂【测值精准】:优化反应条件,全定量检测,提高灵敏度和准确度,线性范围宽,多点定标检测结果可靠。【售后】:厂家直发 支持定制 专人对接 陆运密封包装运输 售后维修 客服咨询 【成分结构】:荧光免疫层析分析仪由主机和电源适配器组成。其中主机由送样单元、检测模块、控制板、显示屏、打印机及软件部分组成【产品适用/用途】:与本公司生产的量子点标记的荧光免疫层析试剂配套使用,用于对人体血清、血浆和全血样本中的待测物进行体外定量检测。
    留言咨询
  • 3D NAND 工艺通过堆叠存储单元, 提供更高的比特密度, 上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪适用于先进半导体工艺(如沉积和蚀刻)所需的定量气体分析. 沉积应用中: 实时过程气体监控,以驱动自动化工具调整以实现过程控制, 沉积步骤之间的终点检测, 实现层的化学计量工程 蚀刻应用中: 以 ppb 为单位测量的工艺气体和副产品, 启用端点腔室清洁.3D NAND 工艺概述工艺步骤 堆叠沉积: 交替氧化物(蓝色)和氮化物(绿色)薄膜沉积(每个堆叠 200 对) 通道蚀刻: 沉积硬掩模, 形成开口, 高纵横比通道贯穿所有层(每个晶片1 万亿个孔) 阶梯蚀刻: 字线的接触焊盘是使用产生阶梯结构的受控蚀刻来创建的. ASTON 优势 均匀的厚度对电气性能至关重要. Aston™ 质谱分析仪可实现厚度控制, 层定义和化学计量工程. 高纵横比通道孔需要从上到下完整且均匀, 没有弯曲或扭曲. Aston™ 质谱能够在腔内测量蚀刻反应物. 蚀刻轮廓控制精度(埃). 蚀刻深度能力(微米).Aston™ 质谱仪通过动态测量化学物质来实现蚀刻 工艺步骤 狭缝蚀刻: 沉积硬掩模层, 形成硬开口图案, 蚀刻狭缝以分离通道孔列. 这将创建一个存储单元阵列. 字线沉积: 在一些 3D NAND 方案中, 去除氮化物层, 然后使用由内向外的原子层沉积工艺(紫色)创建钨字线. 晶圆上最终 3D NAND 结构的横截面 ASTON优势 Aston™ 质谱仪通过连续测量反应物来实现蚀刻的均匀性和精度. 去除氮化层并填充钨. Aston™ 质谱仪实现了分子水平的控制. 来源: Lam Research: 3D NAND - Key Process Steps (2016) url: https://www.youtube.com/watch?v=hglK1cf3meM Aston™ 质谱仪优势ppb 级灵敏度的高速采样非常适合高纵横比的 3D 结构耐腐蚀性气体, 坚固紧凑易于集成到工具平台中沉积应用中: 实时过程气体监控,以驱动自动化工具调整以实现过程控制, 沉积步骤之间的终点检测, 实现层的化学计量工程蚀刻应用中: 以 ppb 为单位测量的工艺气体和副产品, 启用端点腔室清洁 Atonarp Aston™ 质谱分析仪技术参数类型Impact-300Impact-300DPPlasma-200Plasma-200DPPlasma-300Plasma-300DP型号AST3007AST3006AST3005AST3004AST3003AST3002质量分离四级杆真空系统分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵检测器FC /SEM质量范围2-2852-2202-285分辨率0.8±0.2检测限0.1 PPM工作温度15-35“℃功率350 W重量15 kg尺寸299 x 218 x 331 LxWxH(mm)400 x 240 x 325 LxWxH(mm)若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:上海伯东: 罗先生
    留言咨询
  • Atonarp 质谱分析仪 Aston™ 半导体 CVD / ALD 应用上海伯东代理日本 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™ 为半导体生产而设计, 作为一个强大的平台, Aston™ 可以取代多种传统工具, 提供半导体制程中 ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实现尾气在线监控, 诊断并在一系列应用中提供更高的控制水平, 适用于光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.Aston™ 质谱分析仪耐受腐蚀性气体和气化污染物冷凝液, 能够在半导体生产遇到的恶劣工况下可靠运行, 与传统质量分析仪相比, 使用 Aston™ 的维修间隔更长. 它包括自清洁功能, 尽可能的清除由于某些工艺中存在的冷凝物沉积而导致的污垢积累.Aston™ 质谱分析仪典型应用: 保护 CVD 工艺免受干泵故障的影响真空泵是半导体加工厂中应用广泛的设备之一. 真空泵对于在真空环境操作下的各种化学气相沉积工艺至关重要, 这些工艺在真空下运行, 以确保在较低的加工温度下获得均匀, 保形的沉积涂层. 干泵通常是惰性且可靠的, 但在苛刻的半导体制造工艺中进行泵送时, 干泵可能会出现意外故障.灾难性故障电介质沉积冷凝液和苛刻的工艺气体 (如 NF3) 可能会导致性能下降或突然失效模式, 包括沉积物突然吸入, 排气堵塞, 沉积导致干泵卡死以及干泵部件的腐蚀退化. 干泵故障通常会对 10片甚至 100片在加工中的晶圆造成不可修复的损坏. 此外, 工具停机和清理可能会导致大量开支和收入损失.CVD 工艺过程中, 已污染的干泵上海伯东 Aston™ 质谱分析仪提供解决方案通过在故障前, 提前更换或使干泵离线, 可以减轻灾难性的真空损失, 从而提高生产线良率.数据驱动干泵故障预测. 通过测量进入 (进气) 和排出 (排气) 干泵的气体的分子类型和质量 (分压), 可以对破坏性腐蚀或沉积物堆积进行建模. 仅气体压力和体积仅部分指示气流的腐蚀性或堵塞性. 至关重要的是流经干泵的气体成分. Aston™ 质谱分析仪通过对干泵暴露在气体浓度下的情况进行建模, 并将模型与实际泵故障相关联, 可以较准确的预测干泵的预期运行寿命.在恶劣的 CVD 环境中, Aston™ 利用可操作的数据预测和预防因 PV-CVD 干泵引起的灾难性故障, 能够对破坏性腐蚀或沉积进行预测建模, 优化氮气吹扫成本.适用场景: 多个腔室连接到 1个干泵, 高浓度的电介质会导致灾难性的泵故障 (一次损失 10-100 片的晶圆)通过使用上海伯东 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™ 可以提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率, 此款质谱仪可以在新工艺腔室的组装过程中进行安装, 也可将其加装到已运行的现有腔室, 可在短时间内实现晶圆更高产量! Atonarp 质谱由统一的软件平台, 光学和质谱技术的突破性创新提供支持, 可提供实时, 可操作, 全面的分子谱分析数据.Atonarp Aston™ 质谱仪半导体行业应用1. 介电蚀刻: Dielectric Etch2. 金属蚀刻: Metal Etch EPD3. CVD 监测: CVD Monitoring4. 腔室清洁 EPD: Chamber Clean EPD5. 腔室指纹: Chamber Fingerprinting6. 腔室匹配: Chamber Matching7. 高纵横比蚀刻: High Aspect Ratio Etch8. 小开口面积 0.3% 蚀刻: Small Open Area 0.3% Etch9. ALD10. ALE若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:上海伯东: 罗先生
    留言咨询
  • 详情请咨询上海楚定分析仪器有限公司 021-64934060MF99-2型标准六件套配置自动液相色谱分离层析仪(配电脑)技术参数:产品型号:MF99-1自动液相色谱分离层析仪配置:HD-5电脑紫外检测仪,CBS-A程控全自动部份收集器,HL-2恒流泵,TH-500梯度混合器,组装台式电脑,层 析 柱:&Phi 1.0× 40,&Phi 1.6× 50,&Phi 2.5× 60各一支。技术参数:波长:220,254,280,340nm;定时范围:1秒-9999秒;1分-9999分;收集容量:12ml× 100;流量:0.1-10ml/m;移动方式:可编程控制;程序数:10个;给出梯度:1000ml,梯度形状可直线;电脑配置:台式电脑(普通配置),可实现电脑绘图、保存、数据分析和计算;重量:105Kg。产品型号:MF99-2自动液相色谱分离层析仪配置:HD-5电脑紫外检测仪,CBS-A程控全自动部份收集器,HL-2S恒流泵,TH-500A梯度混合器,品牌台式电脑,层析柱:&Phi 1.0× 40,&Phi 1.6× 50,&Phi 2.5× 60各一支。技术参数:波长:220,254,280,340nm;定时范围:1秒-9999秒;1分-9999分;收集容量:12ml× 100;流量:0.1-10ml/m;移动方式:可编程控制;程序数:10个;给出梯度:1000ml,梯度形状可直线;电脑配置:品牌台式电脑(标准配置),可实现电脑绘图、保存、数据分析和计算;重量:105Kg。产品型号:MF99-3自动液相色谱分离层析仪配置:HD-5电脑紫外检测仪,CBS-B程控多功能全自动部份收集器,BT-100N恒流泵,TH-1000A梯度混合器,仪器车,品牌笔记本电脑,层析柱:&Phi 1.0× 40,&Phi 1.6× 50,&Phi 2.5× 60各一支。技术参数:波长:220,254,280,340nm;定时范围:1秒-9999分;收集容量:12ml× 100;定峰范围:0-1000mv;流量:0.1-80ml/m;移动方式:可编程控制;程序数:10个;给出梯度:2000ml, 梯度形状可直线;电脑配置:品牌笔记本电脑(标准配置),可实现电脑绘图、保存、数据分析和计算(耐有机溶液);重量:110Kg。MF99-2型标准六件套自动液相色谱分离层析仪(配电脑)简介:层析谱分析分析系统由层析谱电脑采集器、电脑和分析软件组成。实现层析分离过程中对吸光度(A)和透过率(T%)的实时采集、描谱、保存、参数计算、打印谱图等功能。
    留言咨询
  • 仪器简介:MD99-2五件套标准配置自动液相色谱分离层析仪(电脑数据采集)简介:层析谱分析分析系统由层析谱电脑采集器、电脑和分析软件组成。实现层析分离过程中对吸光度(A)和透过率(T%)的实时采集、描谱、保存、参数计算、打印谱图等功能。详情请咨询上海楚定分析仪器有限公司 021-64934060技术参数:MD99-2五件套标准配置自动液相色谱分离层析仪(电脑数据采集)技术参数:型号:MD99-1型自动液相色谱分离层析仪普通五件套配置: HD-3紫外检测仪,BSZ-100电子钟控自动部份收集器,HL-2恒流泵,HD-A电脑采集器,层析柱:&Phi 1.0× 40,&Phi 1.6× 50,&Phi 2.5× 60各一支。基本参数:波长:220,254,280,340nm;定时范围:1分-24小时;流量:0.1-10ml/m;收集容量:12ml× 100;自配电脑可实现电脑绘图、保存、数据分析和计算型号:MD99-2型自动液相色谱分离层析仪 标准五件套配置:HD-3紫外检测仪,SBS-100数控计滴自动部份收集器,HL-2S恒流泵,HD-A电脑采集器,层析柱:&Phi 1.0× 40,&Phi 1.6× 50,&Phi 2.5× 60各一支。基本参数:波长:220,254,280,340nm;定时范围:1秒-9999分;流 量:0.1-10ml/m;计滴范围:1滴-9999滴;收集容量:12ml× 100,自配电脑可实现电脑绘图、保存、数据分析和计算。型号:MD99-2A型自动液相色谱分离层析仪 标准六件套配置: HD-3紫外检测仪,BS-100A自动部份收集器,HL-2恒流泵,TH-500梯度混合器,HD-A电脑采集器,层析柱:&Phi 1.0× 40,&Phi 1.6× 50,&Phi 2.5× 60各一支。基本参数:波长:220,254,280,340nm;定时范围:1秒-100分;流量:0.1-10ml/m;收集容量:12ml× 100;给出梯度:1000ml,梯度形状可直线;自配电脑可实现电脑绘图、保存、数据分析和计算。型号:MD99-3型自动液相色谱分离层析仪豪华六件套配置: HD-3紫外检测仪,DBS-100电脑全自动部份收集器,DHL-A电脑数显恒流泵,HD-A电脑采集器,仪器车,层析柱:&Phi 1.0× 40,&Phi 1.6× 50,&Phi 2.5× 60各一支。基本参数: 波长:220,254,280,340nm;定时范围:1秒-9999分;流量:0.01-15ml/m;计滴范围:1滴-9999滴;定峰范围:0-100mv;收集容量:12ml× 100,自配电脑可实现电脑绘图、保存、数据分析和计算。
    留言咨询
  • —来自美国劳伦斯伯克利国家实验室的绿色化学分析技术技术背景 当激光作用于样品表面时,在极短时间内诱导产生含有样品物质的等离子体,等离子体产生的过程中,发射出带有样品元素信息的发射光谱,通过检测这些发射光谱,得到样品的元素信息。这种技术被称为激光诱导击穿光谱技术LIBS(Laser Induced Breakdown Spectroscopy),俗称激光光谱元素分析技术,检测限可达ppm级;随着等离子的冷却,凝结的样品颗粒可输送到ICP-MS,可测量样品中的微量、痕量元素或同位素,检测限可达ppb级。 测量的元素可覆盖元素周期表中的大部分元素,高达100多种。 J200激光质谱联用元素分析仪是美国应用光谱公司APPLIED SPECTRA(ASI公司)融会美国劳伦斯伯克利国家实验室(Lawrence Berkeley National Laboratory)30多年激光化学分析基础理论研究成果推出的全球顶级产品。ASI公司由美国劳伦斯伯克利国家实验室资深科学家 Dr. Rick Russo及其团队成立。Russo博士研究领域包括:激光加热和激光剥蚀过程的机理研究;飞秒激光进样系统;利用激光剥蚀技术提高LIBS及ICP-MS 的化学分析精度;激光超声的无损检测和评估等。Russo 博士共发表学术论文300 多篇,专利22 项。ASI公司在激光应用领域具有世界领先的技术及经验。 系统介绍 J200激光质谱联用元素分析仪创造了激光等离子光谱化学分析技术的新时代,首次将LIBS技术和ICP-MS结合,将检测限提高到ppb级,并可得到样品元素的空间分布图(elements mapping)。目前已广泛用于国际高端和国家级实验室,如美国劳伦斯伯克利国家实验室、美国大克拉曼多犯罪实验室 、巴西圣保罗大学、 美国西北太平洋国家实验室等众多知名机构。 J200激光质谱联用元素分析仪基于激光诱导击穿光谱技术,实现了从氢元素到钚元素几乎全元素的测量,包括H、N、O等轻元素以及卤族等其他传统方法(包括ICP-MS)不能测量的元素。此外,J200激光质谱联用元素分析仪还可将剥蚀出的纳米级固体样品微粒直接送入ICP-MS进行更精确的分析,有效避免酸溶、消解等复杂样品前处理带来的二次污染和可能的误差引入,同时还可以大大提升元素检测限,实现了ppb以下到100%的宽范围测量。 功能 快速检测土壤、植物、中草药、刑侦材料(玻璃、油墨等)、矿石、合金等样品中的: ? 常量元素N, P, K, Ca, Mg, S ? 微量元素Fe, Cu, Mn, Zn, B., Mo, Ni, Cl ? 痕量元素:可检测化学周期表上大部分元素 ? 其他:有机元素C、H、O和轻元素Li、Be、Na等 (其他技术很难同时分析) ? 同位素 (可升级和ICP-MS 联用测量) 应用领域 ? 土壤、植物样品检测 ? 中药元素分析 ? 刑侦微量物证分析 ? 农产品检测 ? 地质矿物分析 ? 煤粉组分检测 ? 重金属污染检测 ? 合金分析 ? 宝石鉴定 ? 材料分析等 工作原理 J200激光质谱联用元素分析仪的固体激光器产生激光作用于样品表面。当激光能量大于样品击穿门槛能量时,在样品表面形成等离子体。这些等离子体中受激光能量激发到达高能态的样品物质在迅速回迁至低能态的过程中,发射出带有样品元素种类、含量信息的发射光谱,这些发射光谱信号被智能信号收集系统收集并传输至光谱仪中进行分光,再由CCD检测器进行检测,得到元素信息。硬件特点 ? J200激光质谱联用元素分析仪可对样品进行全元素快速检测,同时可将固体样品的剥蚀颗粒直接送入ICP-MS 系统,实现ppb级精确分析。弥补了ICP-MS不能测量部分轻元素的缺憾,也有效避免了ICP-MS分析中繁杂的 样品前处理过程及可能引入的二次污染。 ? J200激光质谱联用元素分析仪配置高适连接口,轻松实现与市面上绝大多数主流品牌ICP-MS的联用。 ? J200激光质谱联用元素分析仪配备有固体样品室,还可根据用户需求同时配置气体、液体样品室,并通过设 置可自动切换的光路系统,实现固、液、气体样品室在同一系统中的自动化切换,无需人为拆卸。 ? J200激光质谱联用元素分析仪的硬件采用模块化设计,易于更新。激光器和光谱仪(检测器)可根据样品的 种类及用户的研究目的进行升级,两者均不受外界环境温度影响,无需进行特殊的环境控制,使用寿命长。 ? J200的激光能量和激光光斑大小连续可调,激光脉冲能量稳定一致,可实现样品分层剥蚀(分辨率最小可达 7nm)、夹杂物和微光斑分析(直径最小可达5μm)、元素分布制图、高精度定量等多种分析。 ? J200激光质谱联用元素分析仪采用ASI专利技术:剥蚀导航激光和样品高度自动调整传感器相结合,解决了样 品表面凹凸不平导致剥蚀不均匀的问题;激光能量稳定阀确保到达样品表面的激光能量稳定一致;3-D全自动 操作台。 ? J200具备双摄像系统,分别用于广角成像和放大观察某一样品区域。 软件特点 J200的系统软件能实现对所有硬件组件的控制,能提供多种采样模式,包括直线、曲线、随机点、网格任意大小和自定义采样等,通过设置参数,可在无人值守的条件下自动进行大面积采样。 ASI公司专利的TruLIBS™ 数据库是真正的等离子体发射光谱数据库,与NIST数据库相比,TruLIBS™ 数据库能快速、准确地识别复杂的元素谱线,各种搜索功能,如波长范围、元素种类和等离子体激发态,将搜索时间缩短至几秒。TruLIBS™ 同时允许用户直接上传元素激光诱导特征谱线,进行谱峰的识别和标记。 J200内置的数据分析软件功能强大、分析速度快。能任意选取谱线及背景,自动计算谱线的净强度;计算两个波峰之比;自动计算所有波峰的标准偏差;同步分析所有文件夹及目录下的测量数据。多次采样时,软件自动统计监测LIBS的强度 ,监控信号质量,获得精确的定性和定量分析结果。 数据分析软件具有单变量和多变量校准曲线制定功能,易于完成高精度定量分析。单变量标定曲线对于基质较为简单的样品分析效果较好。多变量标准曲线用于分析基质较为复杂的样品,例如土壤、植物样品等,以减少基质中其它元素对目标元素的影响,提高分析准确性。 此外,J200的数据分析软件还具有PCA、PLS-DA、多参数线性回归等多种化学统计分析功能。可对样品进行快速分类鉴别,并可通过样品某一特定元素的二维或三维分布制图,形象展示样品元素的分布。 产地:美国应用案例1、土壤样品常量和微量元素分析 将不同来源的9个土壤标准样品压片处理,使用ASI公司的J200 激光光谱元素分析系统进行测量,并采用J200内置的专业分析软件对测量结果进行分析。并对分析结果的精确度和分类鉴别能力进行评价。图1为9个土壤标准样品的PCA三维分析结果图。这表示分析结果能良好的判断出这9个样品为不同类型的土壤。采用建立的标准曲线检测21号土壤标准物样品,以此来评价分析的准确度和精度(表1)。 2、植物样品表层及深层元素分布 将植物叶片置于金属元素溶液中至24小时,使用J200 激光光谱元素分析系统对叶片进行扫描,可见植物叶片对重金属元素吸收分布的情况。其中常量元素由LIBS系统直接测出,重金属元素由LA-ICP-MS进行测量。 采用飞秒LA-ICP-MS系统还可以对植物叶片进行深度的剖析。测量叶片内部不同部位的元素变化情况以及特定元素的分布情况。实验使用飞秒激光器,10个脉冲,脉冲1至脉冲10表示叶片的表层至内部。3、大米和糙米样品外壳及内部砷元素的分布图谱 大米是中国、韩国和日本等东亚诸国的主要农作物,大米中砷元素含量超标引发了很多食品安全问题。国际食品法典委员会标准中也明确规定铅含量不得大于0.2mg/kg ,镉含量不得大于0.1mg/kg,但仍然对砷元素含量无规定。为了建立相关标准,韩国科学技术研究院搜集了韩国市场上常见的100种大米和糙米样品,分析其中砷元素的含量及分布作为相关标准制定的科学依据。研究结果表明,砷元素主要分布在糙米和大米样品的表面,并存在砷元素含量明显的向中心递减趋势。结论:砷元素主要分布在大米和糙米的表面,打磨是降低砷元素含量的主要手段。部分文献 欢迎来电索取文献目录OlgaSyta,BarbaraWagner,Ewa Bulska,Dobrochna Zielinska,Grazyna Zo?a Zukowska,Jhanis Gonzalez,RichardRusso.Elemental imaging of heterogeneous inorganic archaeological samples by means of simultaneous laser induced breakdown spectroscopy and lasera blationin ductively coupled plasma masss pectrometry measurements.Kiran Subedi, Tatiana Trejos, Jose Almirall,Department of Chemistry and Biochemistry, Florida International University, Miami, FL 33199, USA.Forensic analysis of printing inks using tandem Laser Induced Breakdown spectroscopy and Laser Ablation Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry万翔宇,王阳恩,熊艳,王绍龙,梅兴安;长江大学物理科学与技术学院, 湖北荆州;《激光杂志》2014年第35卷第4期.激光诱导击穿光谱对水系沉积物的分类及铬元素测定的研究李辉,王阳恩,刘庆,林佳辉,徐大海.长江大学物理与光电工程学院,湖北荆州;分段激光诱导击穿光谱的水稻种子识别Benjamin T.Manard,C.Derrick Quarles Jr,E.Miller Wyliea and Ning Xua.Laser ablation–inductively couple plasma masss pectrometry/laserinduced breakdown spectroscopy:a tandem technique for uranium particle characterizationHerveK.Sanghapi,Jinesh Jain,Alexander Bol' shakov,Christina Lopano,Dustin McIntyre,Richard Russoc.Determination of elemental composition of shalerocks by laser induced breakdown spectroscopy.Chirinos, J. R., Oropeza, D. D., Gonzalez, J., Hou, H., Morey, M., Zorba, V., & Russo, R. E. (2014). Simultaneous 3-Dimensional Elemental Imaging with LIBS and LA-ICP-MS. Journal of Analytical Atomic Spectrometry. doi:10.1039/c4ja00066hChoi, S. H., Kim, J. S., Lee, J. Y., Jeon, J. S., Kim, J. W., Russo, R. E., et al. (2014). Analysis of arsenic in rice grains using ICP-MS and fs LA-ICP-MS. Journal of Analytical Atomic Spectrometry, 29(7), 1233–1237. doi:10.1039/C4JA00069BQuarles, C. D., Gonzalez, J. J., East, L. J., Yoo, J. H., Morey, M., & Russo, R. E. (2014a). Fluorine analysis using Laser Induced Breakdown Spectroscopy (LIBS). Journal of Analytical Atomic Spectrometry, 29(7), 1238–1242. doi:10.1039/C4JA00061GDong, M., Mao, X. L., Gonzalez, J., Lu, J., & Russo, R. E. (2013). Carbon Isotope Separation and Molecular Formation in Laser-Induced Plasmas by Laser Ablation Molecular Isotopic Spectrometry. Atomic Spectroscopy. doi:10.1021/ac303524dHarmon, R. S., Russo, R. E., & Hark, R. R. (2013). GEOLIBS–A Review of the Application of Laser-Induced Breakdown Spectroscopy for Geochemical and Environmental Analysis. Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy. doi:10.1016/j.sab.2013.05.017Piscitelli, V., Gonzalez, J., Mao, X. L., Fernandez, A., & Russo, R. E. (2013). Micro-Crater Laser Induced Breakdown Spectroscopy-an Analytical approach in metals samples.
    留言咨询
  • 上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪无等离子体设计,可以实现快速, 化学特定的原位定量气体分析, 与光学发射光谱 OES 对比, Aston™ 质谱仪 的 OA% 灵敏度显示为 0.25%, 适用于半导体工艺中蚀刻计量控制, ALD, 3D-NAND 和新兴的堆叠式 DRAM.半导体蚀刻工艺挑战日益增加蚀刻是半导体制造中常用的工艺之一. 介电蚀刻用于形成绝缘结构, 触点和通孔, 多晶硅蚀刻用于在晶体管中创建栅极, 金属蚀刻去除材料以显示电路连接图案并钻穿硬掩模.连续蚀刻铝 Al, 钨, 铜 Cu,钛 Ti 和氮化钛 TiN 等工艺金属具有挑战性, 因为许多金属会形成非挥发性金属卤化物副产品(例如六氯化钨 WCl6), 这些副产品会重新沉积在蚀刻侧壁上, 导致成品率降低(通过微粒污染或沉积材料导致短路).随着半导体行业不断缩小关键特征尺寸并采用垂直扩展 (如 3D-NAND 存储器和全环绕栅极先进技术节点), 各种新的蚀刻挑战已经出现. 这些包括在晶圆上蚀刻更小的特征, 高展弦比 HAR 沟槽蚀刻 (具有小的开放面积百分比- OA%), 以及在新兴的非挥发性存储器和高 k介质中蚀刻金属闸极, 稀土金属等新材料. 对于先进的纳米级工艺, 如蚀刻到硅介质和金属薄膜, 选择性处理, 如原子层蚀刻 ALE 一次去除材料的几个原子层. ALE 提供了比传统蚀刻技术更多的控制. 对于 3D-NAND 和先进 DRAM 来说, 向批量生产过渡的重大挑战包括解决导体蚀刻困难的要求, 满足积极的生产斜坡和实现所需的吞吐量, 以推动成本效益.上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪提供高性能, 嵌入式和可靠的原位定量分子气体计量已经成为验证工艺室和持续监测工艺化学过程的关键工具, 确保生产环境中的高产率和更大吞吐量.Aston™ 质谱分析仪提供全腔室解决方案使用上海伯东 Atonarp Aston™ 质谱仪通过实时, 定量和精确的分子传感器来解决半导体新兴蚀刻工艺技术相关的关键挑战. 通过解决传感器耐久性, 灵敏度, 匹配, 系统集成和易用性等方面的挑战, 日本 Atonarp Aston™ 质谱仪升级了传统的气体分析计量方法. Aston 是一种全室解决方案, 用于在各种工艺步骤中实时监测前体, 反应物和副产物.这些包括基准室和过程指证, 腔室清洁, 过程监测 (包括存在腐蚀性气体), 颗粒沉积和气体污染物凝结. 小的占地面积和灵活的通信接口允许在室内安装和集成到过程设备控制系统. 为了集成到半导体工艺工具中, Aston 质谱分析仪的高性能和可靠性设计用于生产晶圆的大批量生产过程控制.Aston™ 质谱分析仪半导体蚀刻计量控制半导体行业正从二维结构的扩展转向复杂三维结构的挑战性要求. 传统的离线晶圆测量已不足以实现性能和良率目标, 原位蚀刻测量传统上缺乏生产所需的鲁棒性和可重复性. Aston™ 质谱分析仪的结构中嵌入了专利技术, 使其具有卓越的分析和操作性能. 为了满足过程控制和跨工厂生产工具匹配的严格要求, Aston 从头开始设计, 高运行时间和低维护的吞吐量, 长期信号稳定性和可重复性.为了承受腐蚀和沉积过程的恶劣环境, Aston™ 引入了两个的功能: 等离子电离和自清洁 (ReGen™模式). 等离子体电离消除了由于与腐蚀性气体(如NF3, CF4, Cl2)的反应而导致的灯丝降解. 此外, 除去(正硅酸四乙酯) TEOS 等颗粒和蒸汽污染物沉积, 同时定期进行室内清洁循环, 延长了 Aston™ 质谱仪的使用寿命. ReGenTM 模式使仪器能够使用高能等离子离子清洗自身, 通过去除在膜沉积过程中可能发生在传感器和腔室壁上的沉积. 结合这两个功能, 传感器的灵敏度可维持在数百个RF(射频)小时的操作. Aston质谱仪支持的基于测量的控制, 有可能延长清洗间隔 MTBC 的平均时间. MTBC 的增加意味着工具可用性和长期吞吐量的增加. 除了等离子电离器(用于工艺), 传感器还配备了传统的电子冲击 EI 灯丝电离器, 用于基线和校准.分子传感器的分析级是使用微米级精密双曲电极的四极杆. 由高度线性射频(RF)电路驱动, Aston 质谱的HyperQuad 传感器在 2到300 amu的质量范围内具有更高的分析性能.Aston™ 质谱分析仪技术参数参数值质量分辨率0.8u质量数稳定性0.1u灵敏度(FC / SEM)5x10-6 / 5x10-4 A/Torr最低可检测的部分压力(FC / SEM)10-9 / 10-11 Torr检测极限10 ppb最大工作压力1X10-3 Torr每 u 停留时间40 ms每u扫描更新率37 ms发射电流0.4 mA发射电流精度0.05 %启动时间5mins离子电流稳定 ±1%浓度的准确性 1%浓度稳定±0.5%电力消耗350w重量13.7kg尺寸400 x 297 x 341mm高展弦比 HAR 3D 蚀刻随着多模式技术和 3D器件结构的出现, 高度密集的蚀刻和沉积过程驱动了计量需求. 3D多层膜栈, 如 NAND 存储架构, 代表复杂的, 具有挑战性的蚀刻过程, 具有关键的蚀刻角度, 统一的通道直径和形状要求, 尽管高蚀刻纵横比通道 100:1 是常见的. 对于 3D-NAND, 关键导体蚀刻过程包括阶梯蚀刻(下图)和用于垂直通道和狭缝的 HAR 掩模打开. 通过硝酸硅和氧化硅交替层蚀刻需要高速定量终点检测. 对于 DRAM, 蚀刻过程包括 HAR 门, HAR 沟槽和金属隐窝. 对于阶梯蚀刻, 关键是在整个 3D堆栈的每个介质膜对的边缘创建等宽的“步骤”, 以形成阶梯形状的结构. 在器件加工过程中, 这些步骤的大量重复要求蚀刻高吞吐量和严格的过程控制.多功能现场气体计量需要在一个工具中执行多种监测功能:• 检测和量化污染, 交叉污染, 气体杂质和工艺室内的工艺化学• 评估已开发的蚀刻过程在生产工具 / 运行的复杂功能上的性能• 测量刻蚀后的清洁 (包括先进的无晶圆自动清洁 WAC) 作为腔条件对于消除工艺漂移和确保可重复性性能是至关重要的• 快速准确的蚀刻端点检测 EPD, 通过等离子体或气体监测, 因为这是一个关键的控制功能. 举例包括一氧化碳 CO 副产物在介电蚀刻中下降或氯 Cl 反应物在多晶硅和金属蚀刻端点上升.• 全面的实时计量数据, 允许过程等离子体和反应物的动态腐蚀控制, 以管理要求的腐蚀剖面Aston™ 质谱分析仪无等离子体终点检测虽然光学发射光谱 OES 已被广泛用于蚀刻 EPD, 但低开放面积 OA 和 HAR 设计的趋势使其在许多蚀刻任务中无效. OES 技术需要等离子体'开'和发光物种. 随着昏暗和远程等离子体越来越多地用于 3D设备和原子水平蚀刻 ALE 工艺, 需要更多敏感的数据和分析技术来实现迅速和确定的 EPD. 此外, 脉冲等离子体通常用于管理 HAR 和 低 OA% 工艺的蚀刻剖面, 这使得 OES 对于 EPD 来说是一个不切实际的解决方案. 在3D 结构中, 多层薄膜和多个接触深度阻碍了每一行触点到达底部时端点的光学发射信号的急剧步进变化其他 OES 限制包括:• 在电介质蚀刻中, 在 OA 5% 的模式上进行 EPD一直具有挑战性, 因为 OES 在低浓度下具有低信噪比.在高压Si深蚀刻(例如博世工艺)中, 要求 OA% 的 EPD低于 0.3%, OES 中较大的背景噪声水平抑制了对发射种数量的任何变化的检测.• 在金属蚀刻中, OA% 可能低于10%, 这取决于所涉及的互连尺寸. 对于接触和通过蚀刻, OA 可以在0.1-0.5%之间或更低, 这取决于所涉及的特征的大小. 在钨 W 蚀刻的情况下, 随着 OA的减小, 氯 Cl 反应物的消耗减少, 由于材料运输到 HAR 蚀刻特征, 蚀刻趋于放缓. 这两个因素都降低了反应气的消耗率. 因此, 由于等离子体中反应物的耗尽, 很难看到在终点处 OES信号的显著变化.Aston™ 质谱仪可以利用蚀刻反应物和 EPD 的副产物. 此外, Aston 能够在小的, 有限体积的传感器上运行周期性清洗, 以保持其性能(灵敏度), 在延长晶圆运行次数的情况下获得更大的正常运行时间. 然而, OES 要求在腔室上有一个需要保持清洁的访问窗口,以获得足够强度的稳定信号。通常,加热石英窗用于减缓工艺产品的堆积. 使用 Aston™质谱分析仪,在低浓度下的检测不受等离子体发射的背景光谱的影响, 也不受射频功率脉冲期间等离子体强度波动的影响.图 3a/3b 显示了 CO+和 SiF3 +的副产物 OA%下降到0.25%的电介质腐蚀EPD数据数据清楚地显示了线性行为和在低浓度下的检测不受等离子体发射的背景光谱影响. Aston 质谱的 ppb 灵敏度是针对 0.1%以下的 OA性能.原子级蚀刻 ALE在三维结构中, ALE 过程中的逐层去除需要脉冲射频电源来控制自由基密度和较低的离子能量, 以减少表面损伤和保持方向性. 在这样的光源中, 等离子体的整体光强较低, 并表现出波动幅度. 通常等离子体离晶圆区很远(距晶圆区25厘米), 而且等离子体激发的副产物很少, 使得光学测量不切实际.在 ALE中, 由于每个周期都是自我限制的, 端点检测可能不那么重要. 然而, 在缺乏气体分析的情况下, 工艺工程师对监测腔室和工艺健康状况“视而不见”, 因为无法看到化学状态, 特别是在工艺步骤 (吸附/净化/反应/净化) 之间过渡时的动态状态, ALE 的自限性并不能使它不受过程漂移的影响. 此外, 由于 ALE 不是基于等离子体的, 因此过程中的化学变化不一定可以通过等离子体监测检测到.有一种误解, 认为 ALE 技术实际上是一次一个原子层 相反, 它们每循环的去除/沉积量可能比单分子膜多一点(或少一点). 由于真空泵性能, 晶圆温度或离子轰击能量 (电压) 的变化分别导致表面饱和度和表面反应性的变化, 工艺移位(Å/周期的变化)可能发生.在 ALE (下图)中,由于等离子体的使用不一致, 化学监测方面的差距就不那么明显了. 在这种情况下, Aston™ 质谱仪具有以下优点:• 在每个工艺步骤中建立一个腔室化学状态的指证. 这可以参照其自身的正常行为, 也可以参照标准腔• 描述和监控与化学变化相关的动态过程中, 从一个步骤过渡到下一个步骤• 监测在 ALE 循环第一步之后从系统中清除吸附物质的时间. 等离子体通常用于产生吸附物质(自由基), 但它是在远离晶圆片的地方产生的• 监测 ALE 循环第二步反应产物的变化. 等离子体光强通常较低, 因为它使用了低占空比的脉冲射频• 监测反应产物和反应物在ALE循环第二步后被净化的时间结论原子级蚀刻只能使用像上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱仪这样的分子传感器进行真正的测量和监测. 它的高灵敏度, 速度和对等离子体强度变化的低敏感性产生可靠的定量测量, 即使在低浓度的反应物和副产物, 具有低于1% 水平的高精度, 可以监测微妙的过程漂移和过程变化效应, 提供了可用于机器学习模型的见解.利用其高扫描速度, 通过监测反应产物减少的时间来实现步进时间优化, 因为它是表面反应活性变化的指示, 增加了总体吞吐量.ALE 是先进的蚀刻技术, 上海伯东 Aston 质谱仪为 ALE 提供了先进的化学计量技术, 可以测量和控制反应及其持续时间, 为大批量生产提供了可靠的解决方案.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:上海伯东: 罗先生
    留言咨询
  • 价格货期电议上海伯东客户某研究院采购 Pfeiffer 在线质谱分析仪 Omnistar GSD 350 O1 主要用于催化剂的吸附分析检测.在线质谱分析仪与化学吸附仪联用, 检测催化剂通过化学吸附后的微量的气体产物变化, 来进一步优化催化剂的催化性能. 可研究催化剂的 NH3-TPD, TPR, TPO 等反应, 通过 Omnistar 对吸附后的微量产物做更加清晰的定性和定量分析, 明确反应的机理和反应过程. 伯东质谱分析仪成功协助客户发现新的催化剂的拓扑结构!除此之外, 此客户还计划在后续的研究中, 采用伯东质谱分析仪 GSD 350 直接连接催化反应装置, 通过直接检测反应后的气体产物, 来做催化剂的在线研究和评价.上海伯东德国 Pfeiffer 质谱分析仪 Omnistar 体积小, 重量轻, 一体设计, 易于携带和搬运, 可方便快捷地应用于多个反应之中, 一台即可满足实验室后续的各种研究需求. 具有强大的软件分析功能 PV MassSpec, 提供多种质谱图谱库, 可以准确迅速, 定性定量地识别出检测到的未知产物, 是催化研究中不可或缺的科研仪器之一.在线质谱分析仪 Omnistar GSD 350 01 主要参数质量数1-100 amu最大进气口压力1200 hPa检测极限 100 ppb气体流率1-2 sccm (0 °C)输入模拟5 x, -10 – +10 V, 14 bit | 16 bit不锈钢毛细管长度1m进样加热温度最高200 °C铱灯丝, Y2O32根若您需要进一步的了解在线质谱分析仪 OmniStar, 请联络上海伯东叶女士
    留言咨询
  • Aston™ 质谱分析仪安全地减少设备停机时间预防性维护是良好晶圆厂管理与安全第一的理念支柱. 刻蚀和沉积设备需要定期脱机进行深度清洁和/或打开工艺室进行部件更换. 考虑到沉积或蚀刻工艺设备的每小时折旧和生产损失可能轻易超过 1000美元/小时, 减少设备停机时间是至关重要的. 但是, 考虑到许多工具都有高度腐蚀性的清洁气体或工艺副产物气体, 如 HCl, NF3, HBr, HF, F, Cl, 如何安全地停机维护是一个挑战.问题在打开腔室进行日常维护之前, 需要安全地清除腔室内的工艺副产品或清洁循环中的残留工艺气体, 然而,挑战在于如何确保腔室在打开之前是安全的并且没有有害残留气体. 已知的一个方法, 确保工艺室不含有害残留气体(包括由表面去吸收产生的残留气体)的方法是运行(过长)长压力循环吹扫气体. 在没有计量或反馈的情况下, 吹扫周期需要足够长以确保腔室没有有害物质, 这会导致效率低下, 周期长和设备停机时间长. 由于灵敏度和等离子体可用性的问题, 不能使用常见的计量解决方案, 例如光学发射光谱. 传统的残余气体分析仪在腐蚀性气体环境中工作时面临挑战, 这可能导致电子冲击灯丝在长吹扫周期中腐蚀和故障.上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪减少设备停机时间解决方案Aston 原位质谱仪可以进行快速, 化学特异性原位定量气体分析, 以实现准确和快速的腔室吹扫终点检测. 与典型的基于时间的清洗程序相比, 这可以节省大量的设备停机时间。 由于 Aston™ 质谱分析仪可用于加速泄漏检测和腔室老化到已知良好腔室化学指征, 因此可以实现清洁后的进一步停机.在不需要等离子体的情况下, 每秒可以采集数十个样本, 灵敏度低至 100 PPB(十亿分之几)水平. 除了基于灯丝的电子碰撞电离源外, Aston Plasma 还提供内部等离子电离能力. 双电离源支持较宽的工艺压力范围, 等离子电离允许分析较高压力下的苛刻气体, 而不会出现残留气体分析仪中常见的灯丝腐蚀问题.通过减少设备停机时间和重新调试, 可以在不到 12 个月内实现回报, 此外, Aston™ 质谱分析仪还为现场过程监控和管理提供了价值优势.Aston™ 质谱分析仪是一种具有成本效益的解决方案, 可在日常维护和后续维护后投产调试前实现快速, 安全的腔室清洗. 除了 Aston ™ 在沉积和蚀刻过程控制中提供的过程监控优势外, 还可以通过原位测量灵敏度和速度来显着减少设备停机时间.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:上海伯东: 罗先生
    留言咨询
  • 荧光免疫层析分析仪与本公司生产的量子点标记的荧光免疫层析试剂配套使用,用于对人体血清、血浆和全血样本中的待测物进行体外定量检测。产品基本参数显示:触摸显示屏打印:内置微型打印机测量通道:八通道接口:USB口开机预热时间:60S功耗:90VA 产品功能 数据显示:测试内容可通过显示屏输出 结果打印输出:可将测试结果通过打印机输出报告查询软件:可以根据项目名称、日期及样本号进行查询并显示系统设置软件:可以设置打印机、测量方式IC扫描:读取IC卡数据信息及显示IC卡信息自检功能:打开分析仪电源开关,分析仪启动开始自检,检测基本软件和硬件功能是否正常运行。录入校准信息功能:分析仪通过读取IC卡录入校准信息。结果的存储和查询功能:检测完成后,结果自动存储,进入查询模块,可对检测结果进行查询。故障提示功能:分析仪无法正常运行时,显示屏应有相应的文字提示。设备操作简单、检测快速。适用于各临床检验科室不同检测需求。厂家直供,详情电议。
    留言咨询
  • 荧光免疫层析分析仪采用荧光定量快速检测原理,主要检测粮油谷物饲料中真菌毒素含量,包括黄曲霉毒素B1、黄曲霉毒素M1、玉米赤霉烯酮、呕吐毒素、伏马毒素等等,检测样品涵盖粮食谷物(大米、玉米、小麦、大麦、高粱等)及其制品、饲料及其原料、食用油脂、牛奶及其制品等;样品前处理简单,整个检测过程检测12min,产品适用于地方粮库、谷物生产企业、饲料厂、各类畜牧养殖企业、面粉厂、食品加工厂、第三方检测机构及各级政府监管部门。产品特点: 1、智能操作:安卓智能操作系统,10.1英寸高清彩色触摸屏,操作、显示更直观流畅;2、稳定性极高:采用进口荧光微球,颗粒均一,从源头保证产品稳定性好,批次内、批次间重现性好;配备8孔恒温孵育器,一条一孔,自动计时,蜂鸣提醒,不受外界温湿度影响,适用场地更广;3、快速准确定量:集胶体金快速,酶联免疫定量、色谱准确检测的特点于一身,实现快速准确定量检测;4、内置定量标准曲线:仪器内置标准曲线,无需使用标准品,检测时无需做标准曲线,既节省了成本,也避免了操作人员与呕吐毒素的接触,保护操作人员的安全;5、配套要求低:对配套的前处理仪器设备及人员要求低,操作人员仅需简单培训或通过仪器内操作视频即可学会;6、移动便携:仪器质量轻,体积小,配置全套前处理设备和拉杆箱,适用于现场测试及实验室测试。7、内置热敏打印机,可及时打印检测信息,检测数据可上传监管平台功能。8、超大存储:8G超大存储内存,可储存超1000000条检测数据,可拓展支持扩展 MicroSD(TF)卡,便于数据查找追溯。9、质控功能:可设置每个项目的上限值,检测完成后,仪器自动判断是否超标并保存。10、节约成本:相对色谱检测,耗材成本极低,并且节省人力物力,大幅降低检测费用。技术参数: 1、信息输入:支持中英文手写输入;2、打印机:内置热敏打印机,可自由选择打印内容; 3、二维码扫描:可定制;4、曲线导入方式:IC卡;5、仪器重复性:≤0.8%;6、仪器稳定性:≤0.6%;7、数据无线上传:仪器连接WIFI以后可将检测数据上传至检测监管系统平台;8、通讯方式:蓝牙、USB、无线WIFI、RJ45;9、本机数据管理:具有检测数据存储、查询,批量数据删除和打印等功能;10、电源电压220V±22V,频率50Hz±1Hz,输出12V,5A;额定功率40W;11、工作温度:5-40℃;12、相对湿度:10%-90%;13、仪器尺寸:300*240*125mm;14、主机净重量:1.7kg。
    留言咨询
  • 针对生物发酵尾气分析需求,SHP8400PMS过程气体质谱分析仪配置多通道采样系统,高稳定性四级杆质量分析器,耐水、耐氧性双灯丝离子源等进口关键部件。整个仪器精度高、漂移小 、响应快、维护少并且可以实现多个生物反应器发酵尾气实时、连续、精确的全组分气体分析 ,是提供发酵尾气监测的理想工具。详细信息 SHP8400PMS 过程气体质谱分析仪依托多年研发应用经验,以实时、高精度、在线监测多路生物过程气体为目标,配置16通道采样系统,具有指纹谱图库的电子轰击离子源,经典、成熟的四极杆质量分析器,性能稳定,使用寿命长的法拉第检测器等。另有专业设计的发酵尾气预处理系统,保证分析结果准确的同时确保了仪器不受溢罐等特殊情况的伤害。更高的投资回报率◆一台过程质谱多可同时分析15台发酵罐尾气组分,台均投入费用少;◆快速在线气体分析(每个取样点快30秒),准确反映工艺动态,给工艺优化提供强有力支撑;◆高稳定性,3-6个月的标定间隔,可长时间稳定运行;◆全组分分析,自动生成摄氧率(OUR)、二氧化碳释放率(CER)、呼吸商(RQ)等数据和曲线;◆自动化程度高,维护需求少,运营成本低;16通道采样系统◆每一通道均为独立进气和独立排气,彻底摒除通道间干扰◆连续流动式取样,保证气体的实时更新◆可控温的进气管路,有效防止过程气体在采样过程中冷凝全组分气体分析◆SHP8400PMS可实现气体全组分分析,除了提供N 2 、O 2 、C O 2 、A r等无机气体的监测结果,也能实现甲醇、乙醇、甲烷等有机气体的实时分析。高精度流量控制◆仪器内置温度补偿型全自动高精度电子流量控制系统,当样气状态改变时,自动进行流量调节,避免了样气压力、温度波动对数据准确性的影响,保证长期连续监测过程中数据的一致性。高稳定质量分析◆72小时内质量轴偏差优于0.1am u,是连续稳定监测的可靠保证。全中文在线质谱分析工作站◆采用新一代Fluent Ribbon用户界面,在提供丰富信息的同时,降低操作难度,易于用户掌握。质谱仪在线监控示意图 在线气体前处理系统◆针对生物过程设计的多通道样气在线处理系统,具备除尘、除湿、除泡沫、控温及调压等功能,保证样气的真实快速传输和质谱仪的长期稳定运行。 完美兼容各种发酵控制系统和工艺分析软件◆软件的数据存储格式和内部交换格式均采用通用的工业标准,与其他软件系统完美兼容。 SHP9000PA在线监控及工艺分析软件◆中文软件界面,适用于工业生产以及实验室多参数过程监控,可根据用户工艺流程定制工艺画面,通过实时数据的采集即时掌握整个工艺流程的概况。◆支持各类工业P LC ,数据采集装置以及本公司在线质谱仪等各类在线分析仪器。自动生成摄氧率(OUR)、二氧化碳释放率(CER)、呼吸商(RQ)等数据和曲线,提供趋势图,柱状图等显示监测数据或历史数据,可更直观地对参数进行分析处理,用户可轻易发现参数之间的相关性,同时按要求格式保存输出。◆可输出控制信号,具有报警功能。
    留言咨询
  • EnviroSafe多通道在线质谱分析系统能够实时检测、跟踪和监测有害物质的泄漏和生产工艺的安全问题,无需配置多套复杂的分析仪就能实现低成本、高收益的解决方案。该系统专门为有害物质的实时监测设计,在灵敏度、分析速度、响应时间和报告生成等方面提供了卓越的性能。实时监测几乎任何有害物质的能力使该系统成为工业安全的优秀选择之一,并符合国家和行业的相关标准或法规的要求。该系统安装在一个紧凑的、布局合理的机柜内以节省空间,可以灵活地选择放置该系统的位置。如果需要安装在危险区域,可以选择符合ATEX防爆标准的适用于安全1区的配置版本。该系统可以同时监测多达70个采样点位(可定制),这通常意味着整个工厂或园区可以只用一个系统进行监测。所有的样品点通过采样泵连续进样,确保当选择某一样品点时,“新鲜的”样品可以直接到达质谱分析仪。每个样本点的进样和检测时间是可选择的,并且可以按照预设的顺序进行检测。整个过程通过自动化的无人值守远程操作,也可以集成到工厂或园区的控制系统,检测报告可以自动生成,非常适合许多危险区域的实时监测,包括:氯乙烯/DCM生产和中试装置尿素/氨装置VOCs泄漏环境溶剂监测(如甲苯、苯乙烯、苯等)含氯化合物硫醇和胺气体洗涤器监测封闭/密闭工作场所腐蚀物以及许多其他应用领域 每一采样通路可实时监测多达64个组分,每一组分可以单独控制并设置报警参数,确保整个过程被监测,没有任何遗漏。具有真正的在线监测功能,EnviroSafe提供了一种比传统技术更快、更可靠的分析方法。EnviroSafe系统是基于英国ESS公司多年的现场经验,在为工业安全提供技术应用支持的同时,也验证了其数据的可靠性。EnviroSafe系统代表了工业安全预警监测和工作场所暴露监测中的众多先进技术的选择之一。
    留言咨询
  • 在线质谱分析仪与气体分离测试系统联用上海伯东客户某研究院采购在线质谱分析仪 Omnistar 与气体分离测试系统联用进行 CH4, CO, C2H2,CO2 的快速定量分析.在线质谱分析仪使用方法: 质谱分析仪通过毛细管与气体分离测试系统连接, 开始测试前加配对应的标气, 利用氦气作为载体, 在测试前进行标定. 采用 MCD 定量模式分析, 即可快速在线实时分析反应产物的含量.在线质谱分析仪 Omnistar GSD 350 01 主要参数质量数1-100 amu最大进气口压力1200 hPa检测极限 100 ppb气体流率1-2 sccm (0 °C)输入模拟5 x, -10 – +10 V, 14 bit | 16 bit不锈钢毛细管长度1m进样加热温度最高200 °C铱灯丝, Y2O32根鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解在线质谱分析仪, 请联络上海伯东叶女士
    留言咨询
  • 仪器简介:薄层色谱分析工作主要分五个步骤完成。制板-点样-展开-显色-检测每个步骤需要相应的薄层色谱仪器设备来完成。我公司是薄层色谱仪器的专业生产厂家。产品由湖北省医药工业研究院从事药物薄层分析30多年的资深工程师和武汉大学博导从事研发。希望能给于从事薄层色谱工作的分析人员带来方便。 简 配中 配高 配选 配制 板薄层预制板4盒硅胶粉,玻板薄层预制板4盒硅胶粉,玻板薄层预制板4盒硅胶粉,玻板硅胶粉,玻板 CA-活化储板箱1个YJ-有机贮板盒1个LB-折叠晾板架1个CA-活化储板箱2个YJ-有机贮板盒1个LB-折叠晾板架1个CA-活化储板1+2 个YJ-有机贮板盒2个LB-折叠晾板架1个 涂敷器TF-Ⅲ手动 BF-III电动涂敷器BF-II电动涂敷器BQ薄层专用切割器点 样BD-I电动点样仪BD-Ⅱ电动点样仪TD薄层电动条状点样仪AD全自动点样仪展 开双槽层析缸10x20cm 2个600双槽层析缸10x20cm 2个20x20cm 1个双槽层析缸10x20cm 2个20x20cm 2个DZ-多板展开缸显 色XR-I薄层显色加热器(选用) PN-电动喷雾器PX-喷雾显色箱XR-I 显色加热器PN-电动喷雾器PX-喷雾显色箱IA-碘蒸气发生器YS 薄层衍生化浸渍装置检 测ZF-三用紫外线分析仪 ZX-紫外线分析暗箱ZS薄层色谱成像仪YOKO-2000薄层成像扫描仪BA-便携紫分仪价格6000起
    留言咨询
Instrument.com.cn Copyright©1999- 2023 ,All Rights Reserved版权所有,未经书面授权,页面内容不得以任何形式进行复制