气相质谱分子涡轮泵

一台热电Trace1300 的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]气质联用仪[/color][/url]，分子涡轮泵坏了，坏的过程经历几个阶段，请大神解疑答惑。1. 第一次是做样分析的时候，质谱端Vacuum灯一直闪烁，发现分子涡轮泵和机械泵均停止了工作。然后我把质谱端电源断开后再通电，分子涡轮泵和机械泵均恢复正常，真空度一会就达到60mtor。2. 正常工作一个星期左右，质谱端Vacuum灯又一直闪烁，发现分子涡轮泵和机械泵再次停止了工作。这次我放空关机后，把机械泵泵油更换新的，换下来的泵油也就一点点黄。然后再正常开机，分子涡轮泵和机械泵均恢复正常，抽完真空后，真空度也达到约60mtor。3.正常工作约2天左右，质谱端Vacuum灯又一直闪烁，发现分子涡轮泵和机械泵还是停止了工作。这次没辙了，也不敢再断电重启MS，直接关机待修了。呼唤厂家工程师上门。昨天开机后，机械泵启动几分钟后停止工作，分子涡轮泵一直不工作了。请问，这个分子涡轮泵故障的原因有哪些？换一个新的要10多万大洋[img]https://simg.instrument.com.cn/bbs/images/default/em09509.gif[/img]急急急！

请问正常Ms的涡轮分子泵配置是66L 小泵还是 300L大泵 有什么区别？我主要应用在高分子材料定性上，还有少量入场检测

涡轮分子泵是高或者超高真空泵，可以提供无油的超高真空度，因此是质谱仪的重要组成部分，想要更好的使用质谱仪，就不得不了解涡轮分子泵工作原理的基础及合适的（前级）泵的择。第一台涡轮分子泵是在1955年发明的。当时，Willi Becker博士在Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik GmbH（现在的Pfeiffer Vacuum）已经任职13年，担任技术实验室负责人。他关注的问题是如何防止扩散泵中的油回流到泵壳中。为此，他将一个旋转风扇轮作为挡板。通过这种方式，气体粒子沿压力梯度方向流动，没有明显的传导损失。在这相反方向，倒流的油分子被旋转的风扇轮反射。这阻止了分子到达高真空一侧。在进一步的研究中，贝克尔博士注意到，这种设计不仅减少了扩散泵油回流的问题，同时还产生了较低的总压力。然后，他应用了一个转子-定子组合和多个串联的泵级。在这种设计中，他使用了左右两侧对称流模式--一个由皮带驱动的转子，速度达到16,000转/分钟。该泵重62公斤，抽速为900立方米/小时，在1956年获得专利，是今天所有涡轮分子泵的先驱。1958年，在比利时纳穆尔举行的国际真空大会上，该泵首次被展示。如果没有这项发明，我们的现代生活将是不可想象的--因为没有涡轮分子泵，半导体生产的许多制造步骤以及无数的真空镀膜工艺将不可能实现。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323927.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]* 威利-贝克尔博士，1958年在阿瑟-普发真空技术有限公司（今天的普发真空）的实验室里[color=#222222]工作原理和压缩比[/color]涡轮分子泵是如何工作的？从快速旋转的叶片到被抽气的气体分子的动量转移是转子和定子叶片排列的泵送作用的基本原理，如图1。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323928.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img] 图1 涡轮分子泵的工作原理[color=#222222]撞击到叶片上的分子被吸附在那里，并在短时间内再次离开叶片。叶片速度v被叠加到分子热运动速度c。分子热运动速度c是分子离开泵的速度。分子流动必须在泵中占主导地位。否则，叶片传递的速度分量将通过与其他分子的碰撞而丢失。因此，平均自由路径T必须大于通道高度h。在泵送气体的过程中，动能泵中会出现背压，导致倒流。S[/color] [font=&][color=#222222]0 [/color][/font] [color=#222222]表示没有前级压力的抽速。它随着前级压力的增加而减少，在最大压缩比K时达到0值。[/color]压缩比K0，可以根据Gaede来估计。对于视觉密集型叶片结构，Gaede的公式适用。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323929.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图2 转子和定子叶片的排列方式Gaede的公式[align=center][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323930.png?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][/align]其中： p[size=11px]V[/size] = 前级真空压力 p[size=11px]A[/size] = 吸气压力 v = 叶片速度[font=微软雅黑, &][size=14px] = 平均分子热运动速度[/size][/font] L = 通道长度 h = 通道高度 g = 用于指定平均冲击距离的系数，是通道高度的倍数（1g3)在图中用v-cos α替换公式v，用b替换L，用t-sin α替换h，我们可以得到[font=微软雅黑, &][size=14px][size=18px] [/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px] [/size][/size][/font]根据Gaede的估计，假设叶片是视觉密集的，因此满足cos α = t/b的条件（见图1）。对于较大的叶片间距，这意味着压缩量减少。[font=微软雅黑, &][size=14px][size=18px] [/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px] [/size][/size][/font][font=微软雅黑, &][size=14px]几何比率取自图1。因子g在1到3之间[2]。K[size=11px]0 [/size]因此，随着叶片速度v和 [/size][/font][font=微软雅黑, &][size=14px] aaan的增加呈指数增长。[/size][/font][font=微软雅黑, &][size=14px][size=18px] [/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px][/size][size=18px] [/size][/size][/font]R 是通用气体常数。T 是热力学温度和。M 是分子质量。因此，氮气的压缩比要比氢气的压缩比高得多。抽气速度的计算抽气速度S [size=11px]0 [/size]与吸气面积A和叶片的平均圆周速度v，即旋转速度成正比。如果考虑到叶片角度α，就可以得到这个结果。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323931.png?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][font=微软雅黑, &][size=14px][color=#222222]图3 的Y轴上画出了以[/color][i]l[/i][color=#222222]s[/color][font=&]-1[/font][color=#222222] cm-2为单位的比抽速，X轴上画出了循环频率f和叶片的外半径（Ra）和内半径（Ri）的平均叶片速度v=π-f-（Ra+Ri） 。从X轴上的一个选定点垂直向上移动，与曲线的交点显示了该速度下泵SA的最大特征泵送速度。乘以输入盘的叶片面积：[i]A[/i]=（Ra2-Ri2）π ，就可以得到抽气速度。[/color][/size][/font][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323932.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图3 涡轮泵的具体泵送速度[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323933.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图4｜泵送速度是相对分子量的函数[color=#222222]图3中输入的点是根据所示的Pfeiffer Vacuum泵的测量值确定的。远高于曲线的点在实际上是不可能的。以这种方式确定的泵送速度还不能说明轻质气体的数值，例如氢气（图4）。如果涡轮分子泵是为低极限压力而设计的，就会使用不同叶片角度的泵级，并对氢气的最大泵速进行分级优化。这样就能同时为氢气（约1000）和氮气提供足够的压缩比的泵。由于空气中的氮气分压很高，压缩比应该在10的9次方左右。对于由转子和定子盘组成的纯涡轮分子泵，由于其分子流的要求，前级真空压力需要达到约10[/color][font=&][color=#222222]-2[/color][/font][color=#222222] hPa（图5）。[/color][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323934.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图5｜抽速与抽气压力的关系[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323935.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图6｜霍尔韦克级的工作原理[color=#222222]霍尔韦克级的特殊功能[/color]Holweck级（图6）是一个多级Gaede分子泵，有一个螺旋形的泵通道。由于转子的旋转，进入泵通道的气体分子在泵通道的牵引方向上得到一个速度。由于转子和分离分隔Holweck级的挡板之间存在间隙，因此会出现回流损失。为了尽量减少回流，间隙的宽度必须保持较小。圆柱形套筒（1）被用作霍尔韦克平台的转子，它在定子（2）的螺旋通道中旋转。如果定子被安排在转子的外部和内部，两个霍尔韦克级可以很容易地被整合到一个泵中。这样，被泵送的气体颗粒首先通过转子外侧的定子通道，然后再通过转子内侧的定子通道向上输送。从那里，它们通过一个收集通道，到达前级泵。现代涡轮分子泵有时有几个这样的"折叠式"霍尔韦克级，其泵送速度S [size=11px]0[/size]是相同的。[font=微软雅黑, &][size=14px] [/size][/font]这里，b - h是通道的横截面，v - cos α是通道方向的速度分量。随着通道长度L和速度v - cos α[align=center][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323936.png?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][/align]压缩比就会增加。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323937.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图7｜纯涡轮分子泵和涡轮拖动泵的压缩比今天，涡轮泵配备了Holweck级，是为了使极限压力在0.5-5hpa之间，以隔膜泵为前级建立起涡轮分子泵系统，这些被称为涡轮拖动泵。由于涡轮泵的高压缩比，只需要很小的泵送速度就可以为Holweck级产生低的本底压力。因此，排气通道--特别是通道高度和到转子的间隙--可以保持得非常小，分子流可以保持在1 hPa范围内。氮气的压缩比同时增加了所需的10的3次方数量级。在图9中，我们可以看到压缩比曲线向更高压力的方向移动了大约10的2次方。在为高气体吞吐量而设计的涡轮分子泵中，在气体吞吐量、前真空兼容性和颗粒容忍度之间做出了妥协。在这种情况下，Holweck级的间隙距离尺寸要大一些。[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323938.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]图9｜纯涡轮分子泵和涡轮拖动泵对氢气的压缩比[font=&]选择正确的前级泵[/font]涡轮分子泵和前级泵的压缩在获得最低的压力范围方面起着重要作用。这对于氢气等轻质气体来说尤其如此。在以前的超高真空应用中，前级泵已经能够提供10-2hPa左右的低压。涡轮分子泵的压缩比可以在此基础上确定。旋片泵、多级罗茨泵或泵站等前级泵可以提供这样的低前级压力。尽管旋片泵是比较经济的选择，但当涡轮泵关闭时，有油倒流的风险，特别是在错误操作的情况下。干式前级泵甚至泵站，能产生很低的前级真空，其价格要高得多，而且需要相对较大的空间，这在许多应用中是一个不利因素。这里最理想的解决方案是使用一个小型的、低成本的干式前级泵。大多数涡轮分子泵是全能型的。除了良好的压缩性能，它们还提供大的泵送速度和高的气体吞吐量。然而，在极少数超高真空应用中，高气体吞吐量根本没有发挥任何作用。相反，泵送速度和对轻质气体的出色压缩比才是最重要的。涡轮分子泵的霍尔韦克级为最大压缩值进行了优化，这不可避免地减少了泵的气体吞吐量。然而，这对上述应用来说是次要的。然而，备用泵和涡轮分子泵的总压缩比的很大一部分可以转移到涡轮泵上的事实是非常有利的。因此，带有压缩优化的霍尔韦克级的涡轮分子泵可以在明显高于前级压力的情况下排气，以达到相同的极限压力。因此，在使用带有压缩优化的霍尔韦克级的涡轮分子泵时，一个小型隔膜泵就足以产生超高真空（见图9，表1）。[font=微软雅黑, &][size=14px][font=&][img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323939.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][/font][/size][/font][font=&][/font][font=微软雅黑, &][size=14px][font=&]表1｜使用Hipace300H和不同的前级泵所能达到的极限压力[/font][/size][/font] [img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323940.gif?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img][align=left]这种优化的涡轮分子泵具有很高的真空兼容性，因此隔膜泵毫无疑问仍然可以在间歇模式下运行。只有当前级的真空压力达到一个不允许的高值时，才需要开启它。众多的应用表明，隔膜泵的运行时间不到总时间的10%。除了由此带来的能源节约外，前级泵较低的热辐射和最终在实验室中几乎无噪音的运行也不应被低估。[/align][align=left]此外，为了保持极低的压力（见图9和表1），通常连接在涡轮分子泵下游的离子捕集泵就不再需要了。[/align][align=left]因此，通过现代涡轮分子泵中Holweck级的智能互连，可以大大增加压缩比，特别是对轻质气体。简单、小型的前级泵可用于在低UHV范围内产生非常低的压力。与过去使用的选择相比，这是一个非常大的优势。然而，同样重要的是指出这些解决方案的局限性。高压缩比的涡轮泵不太适合大气体负荷。[/align]激光平衡技术[img]https://file.jgvogel.cn/134/upload/resources/image/323941.jpeg?x-oss-process=image/resize,w_700,h_700[/img]2021年，Pfeiffer真空公司已经推出了激光平衡技术。最后，小析姐分享给大家几个涡轮分子泵在使用小tips：1、为防止涡轮分子泵返油，开机前先将前级泵抽至2托，然后再启动涡轮分子泵。2、在涡轮分子泵与前级泵之间可串入一只挡油阱以防止机械泵油蒸汽的返油。3、不能在前级泵工作时（前级管路接通）和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。4、选择系统前级泵大小时，应使涡轮分子泵的前级泵保持在分子流状态下。5、不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运行。6、分子泵入口应装设防护网，以免异物进入泵内损坏转子和定子叶片。7、规范使用涡轮分子泵，可有效提升真空泵的使用效率，延长使用寿命

2、压缩比　　涡轮分子泵的压缩比是指前级管道（排气口处）的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同，泵对各种气体的压缩比也不同。泵对氢的压缩比很小，一般为1000 左右，这样一来如果前级管道中氢的压力为1×10- 7Torr（13.33 μPa），那么进气口处氢的压力则小1000倍，即为1×10- 10 Torr（13.33 nPa），由于氢是超高真空系统中主要的残余气体，所以氢的压缩比是决定涡轮分子泵的极限压力的关键因素。?　　涡轮分子泵对于大分子量的气体，如对那些碳氢化合物分子的压缩比是相当大的，一般高于1012。这个比值根据不同泵，以及不同分子量而不同，由于前级泵的不同和其它因素，涡轮分子泵的前级管道中的碳氢化合物的分压力在10- 4 Torr（13.33 mPa）～10- 6 Torr（133.3 μPa）之间，在这种条件下，在泵的入口处碳氢化合物的分压力将低了1012 倍，即为10- 16 Torr（13.33 fPa）或更低。这样几乎是无限小的压力，已超出了可测量的范围，即使最灵敏的质谱仪也难以测出。

最近要评估GC/MS,厂家在分子涡轮泵这快有很大争议,请高手帮忙指点迷津!我们是做RoHS的实验室,有厂家说配制70L/S的分子涡轮泵就可以了,有厂家说要配制255L/S的分子涡轮泵,由于本身2种型号的分子涡轮泵价格差异不少,也想请问下各位你们在使用的仪器用的哪种分子涡轮泵呢?非常感谢

安捷伦5975C，昨天下午仪器在待机情况下涡轮泵和前级泵都停下来了，离子源和四级杆温度也降下来了，由于临近下班时才发现，于是先把仪器关机今天早上上班再检查。起初以为是哪里大漏导致真空达不到，仪器自己放空了。先是检查前级泵泵油，油位在最低位以上，泵油颜色也正常，接口也很紧，应该没什么问题。接着想要打开质谱真空仓检查，发现侧板还吸得挺紧的（感觉不太像是大漏吧），拧松放空阀卸掉真空（放空完顺手拧紧），打开侧板发现真空仓里面有些细小的金属粉末，立马意识到情况不妙，这是哪里来的呢？！先用镜头纸小心将颗粒物清扫出真空仓外吧，OMG！！！我的分子涡轮泵发生什么事了？！先上图吧，那个伤心。。。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/05/201505122122_545756_2905367_3.jpg请问各位版友，涡轮泵的扇叶是打到哪里了吗？怎么会打成这样？真空仓里面的金属粉应该是扇叶上磨出来的吧？仪器上次维护清洗离子源是去年的12月底，一直正常使用没什么问题，怎么突然就这样了？现在的情况是这样，我把真空仓清理干净试着重新开机，前级泵运行正常能把侧板吸住，仪器也有自检（嘀一声），但是涡轮泵没有运转，速度一直都是0.1，然后大概5分钟之后，涡轮泵长时间没有启动，仪器自动把前级泵也关闭了。这种情况感觉涡轮泵应该是挂彩了吧，下午联系了安捷伦的工程师也说可能是涡轮泵坏了，请大家帮忙分析一下故障的原因吧，仪器应该是06-08年买的（具体记不清了），期间也没坏过什么部件。前级泵和涡轮泵都是普法的，上一张涡轮泵外观图http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2015/05/201505122221_545765_2905367_3.jpg还有联系了安捷伦维修报价，G3170-67000 New-HiPACE 80 Turbo Pump Service Kit 3万3千多（不含税），这个价格怎样，有没有被坑了？

实验室液质泵噪音太大 担心影响分析结果 大家质谱涡轮泵噪音都这么大么？还是有其他好的解决办法。请各位赐教！！

5、操作程序　　由于涡轮分子泵的种类和型号是多种多样的，每种泵的操作方式由制造厂家提供，涡轮分子泵的操作最简单、最便宜的方法是同时启动涡轮分子泵和前级泵，当涡轮分子泵加速到正常转速时，同时也预抽完了该系统，在此初始高压强预抽阶段，油蒸汽的返流是不可能的。因为这时系统内气体处于粘滞流或层流状态，排出气体的密度大，可阻挡任何碳氢化合物的分子向涡轮分子泵方向返流。当达到分子流态时，涡轮分子泵已进入正常速度运转，在泵高压缩比的情况下运转时，就可防止了油蒸汽的返流。　　涡轮分子泵的前级泵由一个电纽开关控制，两泵可同时启动和停车。　　在某些快速循环的系统中，也没有足够的时间，使涡轮分子泵在每一个循环周期内，由于时间短来不及达到正常的运转速度。在这种情况下，就不能随工作循环去周期性地开启涡轮分子泵。此时涡轮分子泵就不得不连续的运转，前级泵粗抽真空室，很快就能达到涡轮分子泵的启动压力，就可以很快打开主阀，涡轮分子泵可以在相对高的压力下工作（节约了时间）也可使粗抽管道返流降到最低程度。

工作太多了太忙了，大概有一个星期没去伺候[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]气质联用[/color][/url]，今天去看它时，它发脾气了，六万元钱死在我手里了，不吃不喝也得干一年半呢！叫我怎么忍心过这个年哪，叫我最最亲爱的领导怎么受得了这样的打击呀。我太对不起领导了。分子涡轮泵只能换不能修的吗！

安捷伦[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Yp][color=#3333ff]液质[/color][/url]6120重新开机分子涡轮泵启动了一会儿后speed 后power就一直往下降，氮气和粗真空泵，提前半小时就开了的，没有问题[img=,690,518]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/06/202306191031560266_6913_5045341_3.png[/img][img=,690,518]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/06/202306191031566260_1086_5045341_3.png[/img][img=,690,518]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/06/202306191031568283_9750_5045341_3.png[/img][img=,690,518]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/06/202306191031570541_3583_5045341_3.png[/img]

[align=center][font=DengXian]涡轮分子泵的结构和工作原理是什么？分子涡轮泵使用有什么注意事项？[/font][/align][font=DengXian]涡轮分子泵的结构和工作原理是什么：分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子涡轮泵靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。[/font][font=DengXian]分子涡轮泵使用时候，确保前级真空泵运转正常得到足够的初级真空，不漏气。按照开机和关机程序来开关[/font][font='Aptos',sans-serif][url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]GCMS[/color][/url][/font][font=DengXian]。不频繁启动。柱子穿过石墨密封垫后切割后进入离子源。应避免颗粒或其它杂物进入，叶片的间隙很长小，会高速运转生物损坏叶片。遇到突然停电，及时关闭电源，以防止突然来电，分子涡轮泵突然开启。尽量安装后备[/font][font='Aptos',sans-serif]UPS[/font][font=DengXian]电源或断电保护装置。注意观察分子涡轮泵的风扇是否运转正常。平时开关机多注意分子涡轮泵的速度变化和声音变化[/font]

(3)在何处充气　　在涡轮分子泵的前级侧充气，能强制使碳氢化合物立刻通过涡轮分子泵流入真空室。另一方面，若在涡轮分子泵吸入侧充气，能达到以清洁气体覆盖表面的目的。并使气流流向涡轮分子泵（自上而下），能暂时阻止、延迟碳氢化合物的返流，也有些涡轮分子泵在压缩级之间进行中间充气，它和在吸入侧充气控制碳氢化合物返流几乎同样有效。在超高真空系统中，在压缩级充气尤其优越。因为中间充气不需要价格昂贵的金属密封的可烘烤的充气阀。

分子涡轮泵自动减速，停止。之前的征象是泵电流起初略高,～265mA，后来超高，～500mA,并停止工作。已经做过的诊断是diagnosis通过，前级泵无问题，风扇和电子元件除尘处理，仍无改善。我猜想会不会是泵自我保护？或是泵坏了（最好不是这样）请问高手：泵电流在哪些情况下会跑高？问题可能出在哪里？现在该做如何处理？谢谢！

1、返流　　涡轮分子泵具有提供超清洁、无碳氢化合物的真空环境的能力，故常被用户选用，然而，用户也偶尔会发现涡轮分子泵提供不了不含碳氢化合物的真空环境，经调查发现碳氢化合物的来源，50%是操作失误所带来的问题，如涡轮分子泵的前级泵为油封式旋片泵时，没有控制返流的安全阀，不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的安全阀也会引起油污染。　　为了在系统中实现无碳氢化合物这一要求，在前级泵不是干式泵的情况下，有必要了解涡轮分子泵的压缩比及如何给泵充气的一些基本知识。

只知道岛津GCMS用的涡轮分子泵的设计使用寿命是25000h，其它公司的呢？

质谱开机分子涡轮泵转速0.1%怎么回事

3、充气措施(1)为什么要充气　　当涡轮分子泵关闭或运转极慢时，泵将不再有足够大的压缩比（泵内压力梯度）来阻止前级侧存在的碳氢化合物通过涡轮叶片向真空室进行返流。这种现象称作反扩散或分子返流。在静态条件下，整个系统的压力均衡时，在前级管道侧， 油的分压力通常为10- 4 ～10- 6 Torr （ 或13.33mPa～133.3μPa）最后也会波及到泵的入口处。当泵关闭时，适当地给泵内充气是控制油分子返流，保持真空室内无碳氢化合物的一种有效的措施。　　当停泵后，碳氢化合物返流很快通过泵进入真空室内，如果系统仍保持在真空状态下，碳氢化合物将会粘在清洁的叶片和真空室的表面上。在随后再运转该系统时，将极难抽除粘着的碳氢化合物。另一方面，在涡轮分子泵停止运转时，如果给泵充入干燥氮气或干燥空气，则该干燥气体将给暴露的表面提供一层气体保护层，而且在系统充气后，返流的碳氢化合物由于与充入的气体混合起来，从而它的粘着能力很弱，在混合气体中碳氢化合物所占比例极小，在下一次抽空时也很快就能被抽走。

实验室的一台Waters的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Yp][color=#3333ff]液质联用仪[/color][/url]，分子涡轮泵型号为德国普发的Split Flow 80，机器自安装验收一年半时间，分子涡轮泵就坏了。今年春节回来上班开机后，听见仪器有“滋滋滋”刺耳的声音，工程师上门检查确定分子涡轮泵出现问题，但是还可以运行，故没换它，结果没过两天，就彻底不转了。。。现在公司领导很恼火，泵不能维修，只能更换，而更换又过了1年的质保期，买买得花5-6W，觉得太贵。这泵的质量怎么那么差呢，前后算起来，就是一直运行也就13000小时左右，跟所说的2W-3W小时也差太多了。难道碰到这种事情只能自认倒霉吗？[img]https://simg.instrument.com.cn/bbs/images/default/em09501.gif[/img]

(2)延迟充气　　虽然在泵断开电源后就应给泵充气已被大家所接受，且很平常，但是，涡轮分子泵在切断电源后，泵要渐渐地减速，若延迟几秒或几分钟再充气会更好一些。在泵减速到它平时速度的30%～50%期间，此时泵仍能起到抽气和压缩作用。能有效地使真空室处在真空状态下且能防止碳氢化合物的返流。延迟充气也能使阀门有足够的时间关闭，在经常停电的情况下，延迟充气是很有用的。为了延迟充气， 前级真空必须维持在1 ～1000 μmHg （1 ×10- 3 mmHg ~1 mmHg 或133.3 mPa～133.3 Pa）范围之内，所以在涡轮分子泵与前级泵之间必须有一个真空阀，或者在前级泵内部装一个控制阀，该阀应在电源中断时，使涡轮分子泵与前级泵隔离开来。否则，通过前级泵、前级管道被充气，并导致了油的污染。

4、前级管道设安全阀　　如果不采用一个操作合理的前级管道安全阀，就有可能即污染涡轮分子泵又污染真空室。当前级泵断电停车时，前级泵就会给自己充气反向通到涡轮分子泵的排气口。这种前级泵充气会输送前级管道返流的泵油，之后通过涡轮分子泵进入真空室，这种现象称为油污染，被污染后涡轮分子泵的叶片就必须在厂家的指导下用氟利昂来清洗。　　在涡轮分子泵与前级泵之间装上一个真空阀，可以防止反向充气，当停电时立刻关上此阀。理想的情况是，它即能对前级泵入口充气又不致于使泵油返流浸入安全阀。另外，只有当它的压力基本均衡时才能打开安全阀，否则就有可能出现压力冲击前级管道的问题，例如，在断电瞬间前级泵压力将为大气压力，然而前级管道仍可能处于真空状态下。若阀门的两侧压力差很大，一旦通电阀门会立刻打开，含污染油的大气压下的气体将由前级泵冲向前级管道，从而会污染系统。所以安全阀需要一定的延迟开启的时间，以便让前级泵将阀门后的管道内抽成真空，阀前后的压差均衡时才可打开安全阀，总之采取办法来控制阀门的两侧的压力差，不使气流返冲。现在许多直联式旋片泵，在泵内装有安全阀，但阀门密封性能一定要保证，一旦阀门关不上后果相当严重，涡轮分子泵系统就会被油污染，这种问题是可能通过检测事先发现的。在运转的前级泵上安装一个前级真空规管，将泵关闭如果前级压力增加值在10～1000 μmHg （1×10- 2～1 torr 或1.333～133.3Pa）之间并不再增加，则阀门有效如果压力继续上升很快，直接达到大气压力说明阀门失效。如果阀门的密封良好，检查阀门是否立即开启还是等压力均衡后再开启，观察规管并开前级泵，如果规管马上就跳到几乎是大气压力，说明有返流的蒸汽的冲击。

大家的仪器都是什么厂家、型号的？分子涡轮泵都用了多长时间了？有用坏的没有？因为很多人都在讨论GC-MS是一直开机好还是为了避免断电造成损害经常关机好。这是一个仁者见仁、智者见智的问题。很多人都说频繁开关机对分子涡轮泵不好，但是有没有实际的数据来支撑这个观点呢？大家把各自的使用情况写下来，看看到底有多少把涡轮泵用坏过，我们可以通过统计的方法来做出结论。

如何更换泵油？安捷伦5975c 涡轮分子泵，麻烦高手详解，不胜感激！！！

[size=3][font=楷体_GB2312] 哪位高手能说一下分子涡轮泵的工作原理啊？谢谢拉！[/font][/size]

一般来讲，如果说前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气（排除其它的漏气）、或着解吸附作用降低，说明真空泵有点脏了，需要进行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下： 关掉分子泵，进行排气。从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等拆掉润滑的油包将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜，如下图。上下活动分子泵几次，便于分子泵的定子和转子的叶片清洗，在无水酒精中浸泡大概5～10分钟。换掉无水酒精，加入新的无水酒精，重复前面的工作，最少要重复一次。拿出分子泵。将高真空接口朝上，从垂直慢慢放倒到180度，以便排除磁性轴承中的酒精。用一个网格放在高真空接口上，然后朝下放置，利用一个泵抽大概30分钟左右。注意接口的密封表面不要损坏。接上前级真空泵，不要开分子泵，利用前级泵抽真空，达到大概10E－1左右，以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。更换真空泵中的真空油，接上分子泵开始工作。注意第一次抽真空时是比较慢，这是因为分子泵中有残留的酒精，属于正常情况。在分子泵中最容易损坏的就是轴承了，所以更换轴承是一个主要的工作。更换轴承需要爱一个干净的环境中更换，我们一般更换的是马达这边的轴承。更换轴承需要一些特殊的专用工具。值得注意的是，在每次更换轴承的时候，油包也一定要更换。[color=#DC143C][size=4]以上内容来自网络，质谱工程师不建议自己对分子涡轮泵进行维护，工程师说他们只负责拆装，也不做维护，都是发回厂家维护的。[/size][/color]

小白求助，各位大佬最近遇到一些问题【仪器型号】岛津 [size=16px]GC:[/size]GC-2010Plus MS:GC/MSQP20201.有一段时间发现[font=宋体]经常性报错[/font][font='Times New Roman',serif]CAR1 purge leaks[/font][font=宋体]，往常报此错误一般解决方案是更换进样口隔垫，但是报错频繁2.有一天发现[font=宋体]“[/font][font='Times New Roman',serif]AOC time out [E4011]”[/font][font=宋体]、“涡轮分子泵[/font][font='Times New Roman',serif]1[/font][font=宋体]未准备好”“[/font][font='Times New Roman',serif][112f] [/font][font=宋体]载气不足，真空自启动顺序停止[/font][font='Times New Roman',serif] Line1[/font]”，[font=宋体]怀疑是外部机械泵密封性下降、漏油漏气导致，遂修了机械泵3.机械泵修好后发现，启动泵一段时间确实正常起转，高低真空度也能下降，并且有时候能下降到标准范围，但是一段时间之后就会提示“[font='Times New Roman',serif][0dbb][/font][font=宋体]涡轮分子泵[/font][font='Times New Roman',serif]1[/font][font=宋体]未准备好[/font]”请问：1.这种情况是不是可以确定涡轮分子泵需要更换了2.是否是我们以前的操作流程出现问题，有哪些操作可能导致这个问题（比如样品不纯或是什么其他的的）[/font][/font]

才买了一年多，分子涡轮泵竟然挂了。。。。。。。。。。。岛津QP2010S。。。。。。。。。。