检查专用自动显微镜

产品优势徕科光学研发的LK-86R半导体\FPD检查显微镜在整体设计上有重大突破，其最大支持200mm晶圆及11英寸液晶面板的检查，含4、6、8 英寸多种转盘，可适用不同尺寸的晶圆检查。LK-86R半导体\FPD检查显微镜具备卓越的成像性能、稳定的系统结构，其所展现出来的整体水平已达到同类、同领域产品的顶尖水准。LK-86R半导体\FPD检查显微镜以其领先的技术、平价的定位获得了各相关领域客户的一致青睐，有越来越多的高校、研究所、科研单位、企业等首选本款型号的显微镜作为半导体/FPD检查的必备设备，这也让LK-86R半导体\FPD检查显微镜成为了该领域的“明星产品”被广泛应用，且获得一致好评。在国货崛起的今天，徕科光学研发的LK-86R半导体\FPD检查显微镜依靠着科技感和创新感双强的研发力量，能够以稳扎稳打的专业核心技术为不同客户制定出高性价比的解决方案和内核稳定的售后方案，其所呈现出的效果与进口设备的毫无差别，但其价格仅为进口设备的三分之一左右，真正成为了一款“小价格、大惊喜”的产品。依靠着科技感和创新感双强的研发力量，可以根据不同客户的需求定制出高性价比的产品方案；作为专业服务保障团队，具备内核稳定的售后方案，7*24小时响应，提供安装培训 一体化互动，更加直接且高效地为客户做好售前、售中、售后服务保障。经过十余年的研发服务，已积累千万客户，并在多地区投建服务部方便与客户的沟通互动。下图为LK-86R半导体\FPD检查显微镜产品实景图：下图为现场安装、培训实景图：下图为合作伙伴情况：下图为服务站分布图：产品介绍1、光路：采用国际领先的无限远双重校正光路设计（UISC）下图左图为有限远光路，右图为无限远光路下图为同一物体在有限远光路（左图）与无限远光路（右图）下观察到的情况对比：2、光源：明暗场反射照明器为12V100W卤素灯照明，并带有光强预设功能，可快速切换到预设亮度，带明暗场切换机构；透射光源为单颗大功率5W白色LED，并带有NA0.5聚光镜。透射照明与反射照明可独立控制，即透反照明可同时开启，亦可单独开启。传统卤素光源 传统卤素光源+色温平衡滤片3、观察方法：明场观察( 透射 )、暗场观察、DIC微分干涉观察、简易偏光观察明场观察( 透射 )：明场图例：暗场观察：暗场图例：DIC微分干涉观察：DIC微分干涉图例：简易偏光观察：简易偏光图例：4、智能化图像处理方法：5、图像测量功能6、可实现实时景深叠加和实时多视场拼图功能： 实时景深叠加(EFI) 实时多视场拼图(MIA)7、内置式灵活搬运装置：机身采用全金属材质，稳定性极佳。在底部两端设有内置搬运装置，搬运时，用户只需将内置搬运手柄旋转拧出，反向拧进，即可形成坚固的搬运装置。此装置的设定，能够将机器重量均匀分配，只需两人即可完成搬运，有效避免搬运过程中，无从下手、移动困难、重量分布不均匀、发生碰撞等诸多问题。搬运过程中，为防止仪器平台移动而造成损坏，可将平台锁紧，以确保仪器的安全稳固性。8、仰角可调观察筒：0-35°观察角度可调，适合不同身高的用户，降低了对工作环境的要求，让不同的使用者都能找到最佳的观察角度，减轻了长时间工作带来的不适与疲劳，大幅度提高工作效率。9、全新离合驱动式载物台：采用离合式手柄，用户按下离合扳手就可灵活移动平台，无需长时间捏紧手柄；按下离合按钮，取消快速移动。避免长时间操作出现手麻现象，并加快观察速度。 引入精密导轨传动机构，移动更轻更顺畅，产品更加稳定可靠。10、防震支架设计：机身由六端支架支撑，低重心、高稳定性全金属机架，具备强效的抗震功能，确保像质稳定。安全、高速的电动式物镜转换器设有前进、后退两档切换模式，可快速、精确定位到所需要的观察倍率，重复定位精度高。机械式的切换模式，有效提升了转换器的使用寿命。11、落射照明器：孔径光阑与物镜倍率自动匹配，无需再手动调节，更加快捷、高效，让不同使用者都有同样的观察效果。暗场模式下，光阑自动打开，减小使用者对显微镜的专业技术要求，让显微观察简单化。12、诺曼尔斯基微分干涉衬比系统：采用高性能微分干涉组件，可以将明场观察下无法检测的细微高低差，转化为高对比度的明暗差并以立体浮雕形式表现出来，广泛用于LCD 导电粒子、精密磁盘表面划痕检测等领域。例图（案例图片上传已被压缩，获取原图请联系我们！）半导体图一：100X半导体图二：200X半导体图三：500X半导体图四：500X DIC玻璃图一：5X 明场玻璃图二和图三：5X DIC玻璃图四：10X 明场玻璃图五和图六：10X DIC玻璃图七：20X 明场玻璃图八和图九：20X DIC玻璃图十：50X 明场玻璃图十一和图十二：50X DIC花岗闪长岩图一：明场花岗闪长岩图二：偏光石英岩图一：明场石英岩图二：暗场石英岩图三：偏光金属划痕图一：明场金属划痕图二：暗场产品参数产品结构正置显微镜品牌徕科光学型号LK-86R产地中国大陆总体放大倍率50X-1000X（5x、10x、20x、50x、100X）光学系统无限远色差校正光学系统观察方式明场/暗场/偏光/DIC观察筒无限远铰链三通观察筒，5-35°倾角可调，正像，瞳距调节：50-76mm,分光比100:0或0:100。目 镜高眼点大视野平场目镜PL10X/23mm,视度可调，可带测微尺物镜明暗场半复消金相物镜(5X、10X、20X)转换器明暗场六孔电动转换器，带DIC插槽机架组反射式机架，前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统透反机架，前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统载物台8英寸三层机械移动平台，低手位X、Y方向同轴调节；平台面积525mmX330mm,移动范围：210mmX210mm 带离合器手柄可用于全行程范围内快速移动；玻璃载物台板(反射用)照明系统明暗场反射照明器，带可变电动孔径光阑，视场光阑，中心均可调；带明暗场照明切换装置；带滤色片插槽与偏光装置插槽图像采集系统有效像素：2000万像素，5440 * 3648留言或致电我们，获取更多方案。

快速检测，快速行动微电子和半导体检查系统 DM3 XL检测速度在微电子和半导体行业的检查、过程控制或缺陷和故障分析中至关重要。您发现缺陷的速度越快，您可以做出更快的反应。大视野——视野增加30％DM3 XL检测系统视野开阔，可让您的团队更快地发现缺陷并提高合格率。利用独特的宏观物镜增加的30％视野。 视野更大，效率更高看到更多意味着更快地工作。为了快速扫描6英寸以下的大型组件，DM3 XL提供了独特的微距物镜。放大倍数为0.7倍，它可以立即捕获35.7毫米的视场-比其他常规扫描物镜大30％。有了宏观目标，缺陷就没有机会了：提高产量可靠地检测到晶圆边缘或中心的显影不足检测不均匀的径向膜厚度 LED适用于所有对比方法DM3 XL将LED照明用于所有对比方法。LED照明提供恒定的色温，并提供所有强度级别的真实彩色成像。 在所有强度级别上逼真的彩色成像免调整无需更换灯泡-无需停机可重复的结果由于使用寿命长且功耗低，LED还具有巨大的成本节省潜力。 光学高性能使用DM3 XL，您可以以可承受的价格享受卓越的光学效果。用倾斜照明检查侧面，边缘或碎片：从不同角度照亮样品，这是可视化地形图的简便有效方法。通过深入的暗场对比度检测样品下层中的微小划痕或小颗粒。灵敏度和分辨率的急剧提高会让您震惊。 各种样品–可变台插入无论您要检查哪种样品大小和样品类型，都可以从各种载物台中进行选择：载物台尺寸：150毫米x 150毫米舞台插件：金属插件，晶圆支架或掩模支架快速粗台或精台定位 舒适直观地工作彩色编码膜片助手（CCDA）简化了分辨率，对比度和景深的基本设置，有助于加快工作速度并减少操作错误。简单直观的功能使您的团队可以更快地提供可靠的结果。借助易于触及的控件，可在切换对比度或照明时将手放在显微镜上，将眼睛放在样品上用右手轻松操作光强度控制器使用可变的ErgoTubes和聚焦旋钮将显微镜调整到不同的身高

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