精度调整专用位移台

“坐标”这个概念源于解析几何，其基本思想是构建坐标系，将点与实数联系起来，进而可以将平面上的曲线用代数方程表示。坐标的概念应用到工业生产中解决了大量实际问题，例如，坐标测量机可采集被测工件表面上的被测点的坐标值，并投射到空间坐标系中，构建工件的空间模型等诸多案例。坐标测量机还被用于产品质量控制，测量磨损，制造精度，产品形貌，对称性，角度等工业产品参数，因此需要非常高的移动精度，才能确保测量的准确性。德国attocube公司推出的IDS3010皮米精度位移测量激光干涉仪就是辅助坐标测量机提高测量精度的有力手段。图1 皮米精度位移测量激光干涉仪IDS3010IDS3010皮米精度位移测量激光干涉仪是如何帮助坐标测量机实现高精度的呢？图2 IDS3010激光干涉仪集成到坐标测量机探测臂上通常坐标测量机要求探测臂位移精度高于1微米，现在坐标测量机位移反馈大多是通过玻璃分划尺来实现的。玻璃分划尺是常用的一种位置测量的方法，分划尺在坐标测量机上位于龙门处，一般情况下，采用玻璃分划尺探测的不是探测臂本身，而是坐标测量机龙门处的位置变化。实际上， 坐标测量机的探测臂与龙门之间有一定长度的距离，它们的位置变化会因存在例如振动、位置差等而有所不同，因此只凭借龙门处位置变化来判断真实的位移反馈是不准确的，影响到实际样品的测量精度。图3 IDS3010激光干涉仪集成到坐标测量机上。坐标测量机通过干涉仪探头的配合，可反馈探测臂的位移。德国attocube公司的IDS3010皮米精度位移测量激光干涉仪通过非接触式方法测量，可以直接测量探测臂的运动，避免龙门处探测误差，实现高精度测量。如图3，激光探头位于坐标测量机侧边，M12/C7.6激光探头出射的激光可以被探测臂上的反射镜（直径3mm）反射回激光探头，IDS3010干涉仪通过分析干涉信号从而进行位置测量。探测臂能够移动0.8米距离，移动精度达到10微米。干涉仪能够实时测量该探测臂的位移以及振动等信息。图4 IDS3010实时位置测量软件WAVE测量数据。扩展图为中间区域的数据放大。IDS3010配置的软件WAVE可以实时观测与保存测量数据。如图4，坐标测量机的运动数据被测量并记录。图中所示，前15秒与终10秒间的数据是0.8m距离的往复运动。中间时间的数据看似没有变化，但通过WAVE软件的放大功能，我们发现中间时间的探测臂其实进行了10微米的步进运动。同时，通过WAVE软件我们也可以观测到步进运动的详细变化过程。每一个步进大约2秒，在运动初始的时候位移有超过，在大约0.4秒的短时间内位移被调整为10微米的步进长度。而在步进的末尾，也有小幅的位置噪音，该噪音一般是由于振动引入。这对于探测样品位移以及振动信息具有重大意义。IDS3010技术特点：IDS3010皮米精度位移测量激光干涉仪具有体积小、适合集成到工业应用与同步辐射应用中的特点，同时，测量精度高，分辨率高达1 pm，是适合工业集成与工业网络无缝对接的理想产品。除与坐标测量机结合使用外，在工业中的其他应用实例也非常广泛，包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量等等。+ 测量精度高，分辨率高达1 pm+ 测量速度快，采样带宽10MHz+ 样品大移动速度 2m/s+ 光纤式激光探头尺寸小，灵活性高+ 兼容超高真空，低温，强辐射等端环境+ 其可靠与稳定+ 环境补偿单元，不同湿度、压力环境中校正反射率参数提高测量精度+ 多功能实时测量界面，包含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、Biss-C等界面相关产品及链接：1、皮米精度位移激光干涉器attoFPSensor：http://www.instrument.com.cn/netshow/C159543.htm2、EcoSmart Drive系列纳米精度位移台：http://www.instrument.com.cn/netshow/C168197.htm3、低温强磁场纳米精度位移台：http://www.instrument.com.cn/netshow/C80795.htm

nature：二维磁性材料的磁结构与相关特性研究关键词：二维铁磁材料；低温纳米精度位移台；反铁磁态；二次谐波 近年来，二维磁性材料在国际上成为备受关注的研究热点。近日，中国与美国的研究团队合作，在二维磁性材料双层三碘化铬中观测到源于层间反铁磁结构的非互易二次谐波非线性光学响应，并揭示了三碘化铬中层间反铁磁耦合与范德瓦尔斯堆叠结构的关联。同时，研究团队发现双层反铁磁三碘化铬的二次谐波信号相比于过去已知的磁致二次谐波信号（例如氧化铬Cr2O3），在响应系数上有三个以上数量的提升，比常规铁磁界面产生的二次谐波更是高出十个数量。利用这一强烈的二次谐波信号，团队成功揭示双层三碘化铬的原胞层堆叠结构的对称性。图一 双层三碘化铬的二次谐波光学显微图 运用光学二次谐波这一方法来探测二维磁性材料的磁结构与相关特性是此实验的关键。团队利用自主研发搭建的无液氦可变温强磁场显微光学扫描成像系统，完成了关键数据的探测。值得指出的是，该无液氦可变温强磁场显微光学扫描成像系统采用德国attocube公司的低温强磁场纳米精度位移台和低温扫描台来实现样品的位移和扫描。德国attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造商。公司已为全科学家生产了4000多套位移系统，用户遍及全球著名的研究所和大学。它生产的位移器设计紧凑，体积小，种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和纳米精度扫描器。图二 attocube低温强磁场位移器、扫描器attocube低温位移台技术特点如下：参考文献:Sun, Z., Yi, Y., Song, T. et al. Giant nonreciprocal second-harmonic generation from antiferromagnetic bilayer CrI3. Nature 572, 497–501 (2019). nature：石墨烯摩尔超晶格可调超导特性研究关键词：石墨烯 超晶格 高温超导高温超导性机制是凝聚态物理领域世纪性的课题。这种超导性被认为会在以Hubbard模型描述的掺杂莫特缘体中出现。近期，美国和中国的国际科研团队合作在nature上报道了在ABC-三层石墨烯（TLG）以及六方氮化硼（hBN）摩尔超晶格中发现可调超导性特征。研究人员通过施加垂直位移场，发现ABC-TLG/hBN超晶格在20K的温度下表现出莫特缘态。进一步通过冷却操作发现，在温度低于1K时，该异质结的超导特特性开始出现。通过进一步调控垂直位移场，研究人员还成功实现了超导体-莫特缘体-金属相的转变。 图1.德国attocube公司低温mK纳米旋转台电学输运工作的测量是在进行仔细的信号筛选后，本底温度为40mK的稀释制冷机内进行的。值得指出的是，样品的面内测量需要保证样品方向与磁场方向平行，这必须要求能够在低温（40mK）环境下实现良好且工作的旋转台来移动样品，确保样品与磁场方向平行。实验中使用了德国attocube公司的mK纳米精度旋转台（如图1所示）。Attocube公司可提供水平和竖直方向的旋转台，使样品与单轴线管的超导磁场方向的夹角调整为任意角度。通过电学输运结果，证实了样品中存在超导体-莫特缘体-金属相的转变（结果如图2所示），为三层石墨烯/氮化硼的超晶格超导理论模型（Habbard model）以及与之相关的反常超导性质和新奇电子态的研究提供了模型系统。 图2. ABC-TLG/hBN的超导性图左低温双轴旋转台；图右下：石墨烯/氮化硼异质节的超导性测量测试结果，样品通过attocube的mK适用旋转台旋转后方向与磁场方向平行参考文献：Guorui CHEN et al, Signatures of tunable superconductivity in a trilayer graphene moiré superlattice, Nature, 572, 215-219 (2019) nature：分数量子霍尔效应区的非线性光学研究关键词：量子霍尔效应 四波混频 化激元设计光学光子之间的强相互作用是量子科学的一项重要挑战。来自瑞士苏黎世联邦理工学院（Institute of Quantum Electronics, ETH Zürich, Zürich,）的研究团队在光学腔中嵌入一个二维电子系统的时间分辨四波混频实验，证明当电子初始处于分数量子霍尔态时，化激元间的相互作用会显著增强。此外，激子-电子相互作用导致化子-化激元的生成，还对增强系统非线性光学响应发挥重要作用。该研究有助于促进强相互作用光子系统的实现。值得指出的是，该实验在温度低于100mK的环境下进行，使用德国attocube公司的低温mK环境纳米精度位移台来实现物镜的移动和聚焦。参考文献:Knüppel, P., Ravets, S., Kroner, M. et al. Nonlinear optics in the fractional quantum Hall regime. Nature 572, 91–94 (2019). Science：NV center在加压凝聚态系统中的量子传感研究关键词：NV色心 量子传感器压力引起的影响包括平面内部性质变化与量子力学相转变。由于高压仪器内产生巨大的压力梯度，例如金刚石腔，常用的光谱测量技术受到限制。为了解决这一难题，巴黎十一大学，香港中文大学和加州伯克利大学的研究团队研发了一款新型纳米尺度传感器。研究者把量子自旋缺陷集成到金刚石压腔中来探测端压力和温度下的微小信号，这样空间分辨率不会受到衍射限限制。为此加州伯克利大学团队采用了德国attocube公司的与光学平台高度集成的闭循环低温恒温器- attoDRY800来进行试验，其中包含了attocube公司的低温纳米精度位移台，以此来实现快速并且控制金刚石压强的移动以及测量实验。参考文献：[1] S. Hsieh et al., Science, Vol. 366, Issue 6471, pp. 1349-1354 (2019) [2] M. Lesik, et al., Science, Vol. 366, Issue 6471, pp. 1359-1362 (2019)[3] K. Yau Yip et al., Science, Vol. 366, Issue 6471, pp. 1355-1359 (2019)

光纤通信因其具有高带宽、低损耗、重量轻、体积小、成本低、抗电磁干扰等优点，已成为现代信息社会的支柱。同时，传统的微波无线技术也展现出了有效的泛在感知与接入能力。而将上述两种技术进行有机融合，则诞生了微波光子学。微波光子学为电子传感和通信系统提供了上述优势，但与非线性光学领域不同的是，到目前为止，电光器件需要经典调制场，其变化由电子或热噪声而不是量子涨落控制。从理论到实际的量子通讯不仅需要用于量子纠缠的组件，而且还需要一个低损耗和鲁棒性很好的网络来做进一步的数据分发和传输。超导处理器与光通信网络的接口问题是量子领域的一个开放性问题，也是目前面临的大挑战。近期，奥地利科学技术研究所（位于奥地利克洛斯特纽堡）的约翰内斯芬克小组提出了一个可能的解决办法。他们通过使用纳米机械传感器将双向和芯片可伸缩转换器的超导电路集成到大规模光纤网络中开辟了一条道路（如图一所示）。文章中介绍了一种可在毫开尔文环境下工作的腔电光收发器，其模式占用率低至0.025± 0.005噪声光子。其系统是基于铌酸锂回音壁模式谐振器，通过克尔效应与超导微波腔共振耦合。对于1.48 mw的大连续波泵浦功率，演示了X波段微波到C波段电信光的双向单边带转换，总（内部）效率为0.03%（0.7%），附加输出转换噪声为5.5光子（如图二所示）。10.7兆赫的高带宽与观测到的1.1兆赫噪声光子的非常慢的加热速率相结合使量子有限脉冲微波光学转换触手可及。该装置具有通用性和与超导量子比特兼容的特点，为实现微波场与光场之间的快速、确定的纠缠分布、超导量子比特的光介导远程纠缠以及新的多路低温电路控制和读出策略开辟了道路。图一：实验装置示意图图二：转换噪声与模式布居结果在10mK温度下，实现转换的关键是：光纤与微波芯片的对准和稳定连接需要一套用于x、y和z精密移动的位移台。实验中使用了attocube公司的 ANPx101/RES/LT-linear x-nanopositioner，ANPz101/RES/LT-linear z-nanopositioner，ANPx101/ULT/RES+/HV-Linear x-Nanopositioner和ANPz102/ULT/RES+/HV-linear z-nanopositioner系列mk环境兼容的位移台。attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造商，已为全科学家生产了4000多套位移系统，用户遍及全球著名的研究所和大学。它生产的位移器设计紧凑，体积小，种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和纳米精度扫描器。图三 attocube低温强磁场位移器，扫描器，及3DR旋转台低温mK纳米精度位移台技术特点如下： 参考文献:[1] Nature Communications 11, 4460 (2020) [2] PRX Quantum 1, 020315 (2020)

电荷化理论能够描述中性玻色子系统的布洛赫能带，它预言二维量子化的四缘体具有带隙、拓扑的一维边缘模式。苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙地利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑缘体，次在实验上观测到了声子四拓扑缘体。这一具有重要意义的结果时间被刊登在nature上。研究人员通过测试一种机械超材料的体、边缘和拐角的物理属性，发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。 图1：实验装置示意图（图片来源：doi:10.1038/nature25156） 值得指出的是，Sebastian Huber教授利用细金属丝将100片硅片组成一个10cmX10cm的平面，以此来模式二维拓扑缘体（如图1所示）。关键点是，当硅晶片被超声激励时，只有中心点有振动；其他角尽管连接在一起仍然保持静止。这种行为类似于二维拓扑缘体的带隙边缘和隙内拐角态的电子行为。而如何探测硅晶片的微小振动是整个实验成功的关键，Sebastian Huber教授利用德国attocube system AG公司的IDS3010皮米精度激光干涉仪（如图2所示）来测量硅晶片不同位置的微小振动变化，整个测量系统的不确定度达到5pm的精度，测量统计误差达到10pm，后在通过超声激励后测得硅晶片的中心位置的振动位移为11.2pm，通过傅里叶变换之后在73.6KHz（如图3所示）。通过attocube皮米精度激光干涉仪IDS3010成功实现声子四拓扑缘体的次观测。 图2：皮米精度位移测量激光干涉仪IDS3010 图3：测量系统示意图和经过傅里叶频率变换的测量结果（图片来源：doi:10.1038/nature25156）IDS3010皮米精度位移测量激光干涉仪体积小、测量精度高，分辨率高达1 pm，适合集成到工业应用与同步辐射应用中，包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量等。同时也得到了国内外众多低温、超导、真空等领域科研用户的认可和肯定。

背景介绍 载流子之间的相互作用是凝聚态物理学的热门研究和重点关注对象。调控这种相互作用的能力将有望调控复杂的电子相图。近年来，二维莫尔超晶格已经成为量子领域非常具体潜力的一个研发平台。莫尔系统通过调整层扭转角、电场、莫尔载流子浓度和层间耦合，可以实现其物理参数的高度可调。进展概述 近期，Xiaodong XU（美国华盛顿大学）的研究小组报道了光激发可以高度调整莫尔捕获载流子之间的自旋-自旋相互作用，从而产生WS2/WSe2莫尔超晶格中的铁磁有序。该研究中，作者使用了德国attocube公司提供的ANPxyz101系列兼容低温强磁场纳米精度位移台，以确保在低温强磁场环境中精确控制样品位置。文章以《Light-inducedferromagnetism in moirsuperlattices》为题，发表于Nature期刊。 图1显示了丰富的填充因子依赖的磁光响应，在填充因子为&minus 1时，RMCD显示出超顺磁样响应。当空穴掺杂明显减少（见图1e）时，一个磁滞回线开始出现, 这是铁磁性的标志。在&minus 1/3的填充因子（即每3个莫尔晶胞中有一个空穴）附近，随着激子共振激发功率的增加，在磁圆二色性信号中出现了一个明显的磁滞回线。图1. WS2/WSe2异质结中的磁圆二色性随填充因子变化。a) 器件示意图 b) PFM图像，标尺：20 nm c) 反射谱随偏置电压变化 d-e) 磁圆二色（RMCD）随填充因子变化 图2a显示了在1.6K温度与填充因子为-1/3时RMCD信号与激光功率的关系。当功率小于16 nW时，RMCD信号与磁场之间的关系消失，表现为一条无特征的直线。当功率增加到临界阈值以上时，出现一个滞回线。图2b中零磁场下RMCD信号的强度随激光功率的增加而增大，最终达到饱和。在低填充因子下，由于空穴距离更大固有磁相互作用明显较弱。因此，在分数填充因子为&minus 1/3处出现的功率依赖的RMCD响应表明，通过光学诱导的长程自旋-自旋相互作用，出现了铁磁序。磁滞回线宽度对光激发功率的依赖关系可以忽略不计，这意味着在温度远低于居里温度时，磁滞回线宽度主要由磁各向异性决定。如图2c-d所示，随着温度的升高磁滞回线宽度减小，有效的居里温度被确定为8K左右。图2. 在填充因子为-1/3的时候对光致铁磁性的观察。a-b）1.6K温度，不同激光功率下RMCD信号随磁场变化。c-d）磁滞回线宽度与温度的关系，激光功率103 nW 课题组进一步在填充因子为&minus 1/7下进行了温度与激光功率依赖性的RMCD测量（图3）。图3a显示了在不同的激光功率下的测量结果。作者定义了一个临界温度Tc，超过这个温度，RMCD的磁性响应（心跳线形状）就会消失。以253 nW光激发为例，心跳线形状保持强至约40K。为了进一步突出这一效应，图3b中绘制了提取的RMCD信号振幅与激发功率和温度的变化关系。这些数据表明，一旦光激发功率足够大，可以引入磁序，Tc可以从20K左右的调谐到45K。观察到的现象指出了一种机制，其中光激发激子促成了莫尔捕获空穴之间的交换耦合。这种激子促成的相互作用可能比莫尔捕获空穴之间的直接耦合范围更长程，因此即使在稀空穴体系中也会出现磁序。这一发现为莫尔量子物质的丰富的多体哈密顿量增加了一个动态调谐方案。图3. 利用光激发功率和填充因子调节磁态。a-d) RMCD信号强度与磁场、温度、填充因子的关系图 图a-b中填充因子为-1/7 值得指出的是，整个实验都是在低温及强磁场中进行的。这其中关键的设备就是德国attocube公司提供的ANPxyz101系列兼容低温强磁场纳米精度位移台，该位移台能够在极低温环境下提供纳米级的精确位移，成为整个变温及磁场调控过程中精确控制样品位置的关键设备。 attocube公司生产的位移器设计紧凑，体积小巧，种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和扫描器，并以稳定而优异的性能，原子级定位精度，纳米位移步长和厘米级位移范围受到科学家的肯定和赞誉。产品广泛应用于普通大气环境和极端环境中，包括超高真空环境(5E-11mbar)、极低温环境（10 mK）和强磁场中（31 T）。图4 attocube低温强磁场位移器，扫描器attocube低温位移台技术特点如下：参考文献：[1]. Xiaodong XU, et al. Light-induced ferromagnetism in moiré superlattices. Nature 604, 468–473 (2022)

吸入剂安瓿瓶灌装线专用清洗机成功交付记实验室清洗机顾名思义，一般是用于实验室器皿的清洗，可以被广泛应用于制药、食品、化妆品、高校、科研等实验室领域。用于药品罐装生产线是比较罕见的，用于安瓿瓶的罐装生产就更是难上加难。近期，白小白就完成了这个看似不太可能的应用交付。药品安全是涉及民生的大事，关乎用药人的生命安危。国家对药品的生产有着严格的管理规范和要求，以确保药品的质量和安全。因此，药品罐装生产线对罐装容器清洗也有着严格的要求。同时，安瓿瓶本身的特点也给这款专用清洗设备的研发带来了诸多困难。客户需求口服液体制剂车间生产亚硝酸异戊酯吸入剂品种，新增一台安瓿瓶洗烘一体机，需要对1ml的安瓿瓶进行清洗、烘干。罐装车间工艺流程（仅供参考）法规标准要求设备用于药品的包装生产，因此必须符合相关标准/要求：中国《药品生产质量管理规范（2010年修订）》、TJ36-79工业企业设计卫生标准、GB-52261-2002 机械安全机械电气设备第一部分：通用技术条件、GB-8196-87 机械设计防护罩安全要求、GB-12265-90 机械防护安全要求。工艺性能要求能够满足直径Ø 10mm，瓶口内径Ø 4mm，高度60mm的1ml安瓿瓶的洗烘；能够满足三班连续生产要求，设备洗烘能力≥1300瓶/柜；每柜的流程不大于1小时；洗烘瓶完好合格率应＞99.9%；设备放置在洁净区（D级区）灌装间，上瓶方式：整盘人工上瓶。连续运转要求应具备长时间持续运行能力，且设备运转稳定。机械要求（部分）设备与产品/药瓶接触部件材质为316L不锈钢，软连接/垫片等部件应采用硅胶、PTFE/EPDM等符合GMP要求的材料。其余部分采用符合GMP要求的其它材料（不锈钢至少为304）制成，并提供相关材质证明。设备内壁为镜面抛光，Ra＜0.65μm，焊接部分应有焊接相关证明材料/记录。所有附件设计及制作应符合GMP环境要求，无污染，无生锈，表面易清理。项目难点与实现在综合考虑GMP法规符合性、总成本、交付周期以及各项技术指标要求等主要因素后，白小白研发团队决定在现有制药实验室清洗机BS580D基础上进行客户所需安瓿瓶灌装线专用清洗机的专项开发。这样既可以在最短的时间内实现交付，也可以为客户节约经济成本，是最佳的选择。BS580D外观图白小白BS系列实验室清洗机经过测试、检验和认证机构SGS的合格性检测，通过IEC60068运行稳定性测试标准检验，具备长时间持续稳定运行能力。BS580D是针对制药行业定向研发的实验室清洗机，所有设计均以满足GMP的合规性要求为前提。腔体采用316L镜面不锈钢，表面粗糙度Ra＜0.2μm，采用激光焊接工艺，平整度和粗糙度可通过无线探伤仪器进行拍照检验，管路材质达到医用级和食品级，均有认证证书；内置审计追踪、权限管理、数据统计的合规性模块符合FDA法规21CFRpart11的条款要求。现有机型的上述软硬件配置为本次实现GMP要求下的安瓿瓶罐装线清洗机的研发打下了坚实基础，主要攻克对象便落在了工艺性能方面的要求满足上。清洗对象为1ml安瓿瓶，内径最小处仅为4mm，且靠近瓶口位置，清洗容量不低于1300个，在1小时内实现清洗和干燥，合格率＞99.9%。看似简单的几个数字，却在实践过程中给开发工程师们带来了极大的困难与挑战。难点一、1728个安瓿瓶清洗篮架设计现有机型针对的是实验室的应用场景，没有清洗安瓿瓶的专用篮架，需要进行全新的设计与开发。根据现有舱体的空间容量，经过工程师的测算可以实现一次最多清洗1728个安瓿瓶的结构设计，远大于客户要求的1300个。这个结果无疑是令人振奋的，但数量越多需要打破的现有平衡也就越多，意味着开发难度越大。现有设备的配套能力能够实现的是400余个安瓿瓶的清洗烘干，要增加到1728个，无疑是小马拉大车，系统性改进的难度可想而知。经过认知思索，研发部门决定接受这个高难度的挑战，这样可以地为客户提高清洗效率，这也是工程师们非常希望看到的结果。大方向确认后，经验丰富的工程师们很快就设计出了第一版安瓿瓶清洗篮架，并迅速进行了开模与加工。但是在上机测试完成后，大家却没有了最初的兴奋。清洗效果与实际要求差距太大，超出了预期设想。这该怎么办呢？工期本就很紧张，工程师们的压力一下子就上来了。经过反复的研究、探讨，终于发现了问题的症结所在。实验室清洗机清洗孔位总量通常不会超过600个，现有设备BS580D最大清洗量是400+。同时清洗1728个安瓿瓶，与其对应的是匹配1728个喷淋管和出水孔位。放眼整个行业也很难找到先例，遇到的困难自然也是从未有过。同等舱体容积前提条件下倍增量级增加的孔位数，造成的是滞空率的极大提升。滞空率越高，表示流体在流动过程中受到的阻力越大，清洗用水在喷淋过程中的流动越困难。这直接导致了流体匹配的失衡，严重打破了现有清洗水用量的平衡，需要对水路系统进行整体性的设计调整（因系统性改造过于复杂，本文略，下同），可谓牵一发动全身。从篮架设计的角度，受安瓿瓶内径尺寸4mm的限制，喷淋管内径尺寸基本固定，几乎没有可调整空间。工程师们遂将设计重点放在了对篮架底部储水箱体结构的调整上，主要是箱体的容量以及结构形态，经过一次次的测算和调整，最终找到了新的平衡，解决了滞空率大幅增加带来的喷淋失衡问题。其中非常值得一提的是，工程师们打破惯有思维，采用了斜面式的形态设计，最终成为了取得成功的关键因素。难点二、1小时内实现清洗和干燥仔细观察安瓿瓶的结构，具有颈部狭长细窄的特点。这种结构特征，会导致里面的水不易流出。因为较细的瓶口会增加水的表面张力，在瓶口处形成一个张力膜，阻碍水的流出。经过简单的测试发现，几乎无法通过正常倾倒的方式使安瓿瓶里面的水出来，需要借助一定的外力才可以实现。因此，不难得出超窄径安瓿瓶的清洗和烘干难度都非常大的结论。尤其是烘干，让工程师们几近崩溃。为了保证洁净度，工程师们选择了难度最大的注射式清洗方式，问题也随之而来。喷淋管距离瓶子底部近，利于瓶子下半部分的干燥，但是颈部的水汽很难得到烘干；距离底部稍远，则呈现相反的效果。这样经过反复测试才调整到了最佳尺寸位置。如果停留在这里就太好了，但问题还远不止如此。在1小时内实现清洗和干燥，对于现有条件下的烘干效率要求是很高的。为了使瓶子里的水可以尽可能多且快速的流出来，工程师们增加了设计的“脉冲式"烘干。为了进一步提高烘干效率，增加了相应的外路烘干系统。但完成率也仅仅从70%提升到85%左右，还是远低于预期目标。问题出在了哪里呢？经过反复测试发现，随着风路系统的增加，完成率是不增反降的。不合常理必有缘故，需要进一步深挖。此时，交付期马上就要到了，工程师们已经焦虑到几近彻夜难眠的程度。这也是考验工程师耐性的关键时刻，越是在这样的时刻越要看谁能够稳得住。大胆假设，小心求证。通过一个因素一个因素的排查，最终锁定了核心因素。原来，随着风量倍增到一个临界值时，舱体内压会升高，导致空气流动受到阻碍，原有的进出气平衡被打破，里面的气流出不去，外面的气流进不来。空气流动效率下降，烘干效率自然也就随之下降了。找到问题的症结后，工程师们随即对气路进行了系统性的改造，这一困局也在交付前得以成功打破。难点三、循环水过滤精度200目药品包装生产必须符合中国《药品生产质量管理规范（2010年修订）》要求。据此，安瓿瓶专用清洗机的过滤精度需要达到200目，即有效过滤清洗水中肉眼难以分辨的微小颗粒、悬浮物等，才能保证清洗水中的残留物达到要求。水过滤网目数是指过滤网每英寸长度上的网孔数量。它是用来衡量过滤网孔径大小的一种标准。一般来说，目数越大，网孔越小，过滤精度越高，过滤出的水就越纯净，水通过滤网的效率也就越低。200目是现有设备过滤精度的2倍，这一改变同样也打破了现有水过滤系统的平衡。随着目数的增加，水流速急剧下降，清洗水无法按照需要的速度循环，导致清洗流程无法正常进行。必须提升水通过滤网的效率，才能保证水循环系统的正常运转。滤网的孔隙变小，上面的水形成表面张力，堵塞滤网下面的空气，使得下面的气压变高，导致滤网上面的水难以下去。这就像我们日常使用带有滤网的茶杯泡茶时的经历，滤网太细，水很难倒进茶杯里。下面堵塞的空气进入水泵后还会产生大量气泡形成汽蚀现象，对水泵的叶轮、叶片等部件造成不同程度的损坏，危害性也是比较大的。在密封性能较好的舱体空间内解决这一问题的难度是巨大的。容易想到的办法是增加水泵的吸力，靠增加外力的方式把水从下面吸过来，提高水流效率，但这还远远不够。此时，发挥工程师们聪明才智的时刻又到了。他们采取了反向操作，在滤网上开一个气孔。当然不是普通的气孔，既要保证清洗水中的杂质不会从滤网上漏下去，又能改善滤网下方空气的流通性。经过精心的设计，一个较好的解决方案最终被呈现了出来，这一难题又得以顺利突破。难点小结清洗机是由多系统组成的一个相对庞杂的清洗系统，通过各个系统之间环环相扣紧密配合来完成整个清洗任务。因此，改动一个点，可能涉及的是一个线或者是一个面的联动，是系统性的改进。在本项目的实际研发过程中，还有非常多的小难点，篇幅有限不能一一列举，仅以以上三个难点作为攻克典型进行简单分享，希望大家能够对于设备厂家的工作有一个更深层面的了解。也希望在大家的支持和鼓励下，我们的工程师们能够更多的发挥所长，打磨出更多的好产品，让清洗设备的服务领域更深更广，更好的贡献社会，服务社会。验收交付工厂验收经过2个月艰苦卓绝的奋战，全新开发的吸入剂安瓿瓶灌装线专用清洗机迎来了客户的实地验收。验收当天，研发负责人和所有工程师们都信心满满，像刚打了一场胜仗从战场归来的将士等待胜利的检阅一样。虽疲惫，但内心充满了喜悦，因为他们深知所有难题都已经被解决。结果毫无疑问，顺利通过了客户的工厂验收，且获得了高度评价。交付安装随后，安装工程师们抵达客户所在药厂，完成了设备的安装与调试。至此，白小白吸入剂安瓿瓶灌装线专用清洗机成功交付。白小白的研发能力得到了进一步的提升和认可。上海汉尧自去年开始成为白小白上海、浙江、江苏地区制药行业总代理商。汉尧一直专注于为中国的生物制药/食品/化工实验室行业用户提供高品质的产品和技术服务，秉持一贯的服务宗旨，践行“诚信、利他、感恩"的价值观，以客户满意度为前提，提供周到的服务，与我们的客户和合作伙伴共同成长的同时，努力为社会创造更多价值。

吸入剂安瓿瓶灌装线专用清洗机成功交付记实验室清洗机顾名思义，一般是用于实验室器皿的清洗，可以被广泛应用于制药、食品、化妆品、高校、科研等实验室领域。用于药品罐装生产线是比较罕见的，用于安瓿瓶的罐装生产就更是难上加难。近期，白小白就完成了这个看似不太可能的应用交付。药品安全是涉及民生的大事，关乎用药人的生命安危。国家对药品的生产有着严格的管理规范和要求，以确保药品的质量和安全。因此，药品罐装生产线对罐装容器清洗也有着严格的要求。同时，安瓿瓶本身的特点也给这款专用清洗设备的研发带来了诸多困难。客户需求口服液体制剂车间生产亚硝酸异戊酯吸入剂品种，新增一台安瓿瓶洗烘一体机，需要对1ml的安瓿瓶进行清洗、烘干。罐装车间工艺流程（仅供参考）法规标准要求设备用于药品的包装生产，因此必须符合相关标准/要求：中国《药品生产质量管理规范（2010年修订）》、TJ36-79工业企业设计卫生标准、GB-52261-2002 机械安全机械电气设备第一部分：通用技术条件、GB-8196-87 机械设计防护罩安全要求、GB-12265-90 机械防护安全要求。工艺性能要求能够满足直径Ø 10mm，瓶口内径Ø 4mm，高度60mm的1ml安瓿瓶的洗烘；能够满足三班连续生产要求，设备洗烘能力≥1300瓶/柜；每柜的流程不大于1小时；洗烘瓶完好合格率应＞99.9%；设备放置在洁净区（D级区）灌装间，上瓶方式：整盘人工上瓶。连续运转要求应具备长时间持续运行能力，且设备运转稳定。机械要求（部分）设备与产品/药瓶接触部件材质为316L不锈钢，软连接/垫片等部件应采用硅胶、PTFE/EPDM等符合GMP要求的材料。其余部分采用符合GMP要求的其它材料（不锈钢至少为304）制成，并提供相关材质证明。设备内壁为镜面抛光，Ra＜0.65μm，焊接部分应有焊接相关证明材料/记录。所有附件设计及制作应符合GMP环境要求，无污染，无生锈，表面易清理。项目难点与实现在综合考虑GMP法规符合性、总成本、交付周期以及各项技术指标要求等主要因素后，白小白研发团队决定在现有制药实验室清洗机BS580D基础上进行客户所需安瓿瓶灌装线专用清洗机的专项开发。这样既可以在最短的时间内实现交付，也可以为客户节约经济成本，是最佳的选择。BS580D外观图白小白BS系列实验室清洗机经过国际公认的测试、检验和认证机构SGS的合格性检测，通过IEC60068运行稳定性测试标准检验，完全具备长时间持续稳定运行能力。BS580D是针对制药行业定向研发的实验室清洗机，所有设计均以满足GMP的合规性要求为前提。腔体采用316L镜面不锈钢，表面粗糙度Ra＜0.2μm，采用激光焊接工艺，平整度和粗糙度可通过无线探伤仪器进行拍照检验，管路材质达到医用级和食品级，均有认证证书；内置审计追踪、权限管理、数据统计的合规性模块完全符合FDA法规21CFRpart11的条款要求。现有机型的上述软硬件配置为本次实现GMP要求下的安瓿瓶罐装线清洗机的研发打下了坚实基础，主要攻克对象便落在了工艺性能方面的要求满足上。清洗对象为1ml安瓿瓶，内径最小处仅为4mm，且靠近瓶口位置，清洗容量不低于1300个，在1小时内实现清洗和完全干燥，合格率＞99.9%。看似简单的几个数字，却在实践过程中给开发工程师们带来了极大的困难与挑战。难点一、1728个安瓿瓶清洗篮架设计现有机型针对的是实验室的应用场景，没有清洗安瓿瓶的专用篮架，需要进行全新的设计与开发。根据现有舱体的空间容量，经过工程师的测算可以实现一次最多清洗1728个安瓿瓶的结构设计，远大于客户要求的1300个。这个结果无疑是令人振奋的，但数量越多需要打破的现有平衡也就越多，意味着开发难度越大。现有设备的配套能力能够实现的是400余个安瓿瓶的清洗烘干，要增加到1728个，无疑是小马拉大车，系统性改进的难度可想而知。经过认知思索，研发部门决定接受这个高难度的挑战，这样可以最大化地为客户提高清洗效率，这也是工程师们非常希望看到的结果。大方向确认后，经验丰富的工程师们很快就设计出了第一版安瓿瓶清洗篮架，并迅速进行了开模与加工。但是在上机测试完成后，大家却完全没有了最初的兴奋。清洗效果与实际要求差距太大，完全超出了预期设想。这该怎么办呢？工期本就很紧张，工程师们的压力一下子就上来了。经过反复的研究、探讨，终于发现了问题的症结所在。实验室清洗机清洗孔位总量通常不会超过600个，现有设备BS580D最大清洗量是400+。同时清洗1728个安瓿瓶，与其对应的是匹配1728个喷淋管和出水孔位。放眼整个行业也很难找到先例，遇到的困难自然也是前所未有。同等舱体容积前提条件下倍增量级增加的孔位数，造成的是滞空率的极大提升。滞空率越高，表示流体在流动过程中受到的阻力越大，清洗用水在喷淋过程中的流动越困难。这直接导致了流体匹配的失衡，严重打破了现有清洗水用量的平衡，需要对水路系统进行整体性的设计调整（因系统性改造过于复杂，本文略，下同），可谓牵一发动全身。从篮架设计的角度，受安瓿瓶内径尺寸4mm的限制，喷淋管内径尺寸基本固定，几乎没有可调整空间。工程师们遂将设计重点放在了对篮架底部储水箱体结构的调整上，主要是箱体的容量以及结构形态，经过一次次的测算和调整，最终找到了新的平衡，解决了滞空率大幅增加带来的喷淋失衡问题。其中非常值得一提的是，工程师们打破惯有思维，采用了斜面式的形态设计，最终成为了取得成功的关键因素。难点二、1小时内实现清洗和完全干燥仔细观察安瓿瓶的结构，具有颈部狭长细窄的特点。这种结构特征，会导致里面的水不易流出。因为较细的瓶口会增加水的表面张力，在瓶口处形成一个张力膜，阻碍水的流出。经过简单的测试发现，几乎无法通过正常倾倒的方式使安瓿瓶里面的水出来，需要借助一定的外力才可以实现。因此，不难得出超窄径安瓿瓶的清洗和烘干难度都非常大的结论。尤其是烘干，让工程师们几近崩溃。为了保证洁净度，工程师们选择了难度最大的注射式清洗方式，问题也随之而来。喷淋管距离瓶子底部近，利于瓶子下半部分的干燥，但是颈部的水汽很难得到完全烘干；距离底部稍远，则呈现相反的效果。这样经过反复测试才调整到了最佳尺寸位置。如果停留在这里就太好了，但问题还远不止如此。在1小时内实现清洗和完全干燥，对于现有条件下的烘干效率要求是极高的。为了使瓶子里的水可以尽可能多且快速的流出来，工程们增加了独创的“脉冲式”烘干。为了进一步提高烘干效率，增加了相应的外路烘干系统。但完成率也仅仅从70%提升到85%左右，还是远低于预期目标。问题出在了哪里呢？经过反复测试发现，随着风路系统的增加，完成率是不增反降的。不合常理必有缘故，需要进一步深挖。此时，交付期马上就要到了，工程师们已经焦虑到几近彻夜难眠的程度。这也是考验工程师耐性的关键时刻，越是在这样的时刻越要看谁能够稳得住。大胆假设，小心求证。通过一个因素一个因素的排查，最终锁定了核心因素。原来，随着风量倍增到一个临界值时，舱体内压会极具升高，导致空气流动受到阻碍，原有的进出气平衡被打破，里面的气流出不去，外面的气流进不来。空气流动效率下降，烘干效率自然也就随之下降了。找到问题的症结后，工程师们随即对气路进行了系统性的改造，这一困局也在交付前得以成功打破。难点三、循环水过滤精度200目药品包装生产必须符合中国《药品生产质量管理规范（2010年修订）》要求。据此，安瓿瓶专用清洗机的过滤精度需要达到200目，即有效过滤清洗水中肉眼难以分辨的微小颗粒、悬浮物等，才能保证清洗水中的残留物达到要求。水过滤网目数是指过滤网每英寸长度上的网孔数量。它是用来衡量过滤网孔径大小的一种标准。一般来说，目数越大，网孔越小，过滤精度越高，过滤出的水就越纯净，水通过滤网的效率也就越低。200目是现有设备过滤精度的2倍，这一改变同样也打破了现有水过滤系统的平衡。随着目数的增加，水流速急剧下降，清洗水无法按照需要的速度循环，导致清洗流程无法正常进行。必须提升水通过滤网的效率，才能保证水循环系统的正常运转。滤网的孔隙变小，上面的水形成表面张力，堵塞滤网下面的空气，使得下面的气压变高，导致滤网上面的水难以下去。这就像我们日常使用带有滤网的茶杯泡茶时的经历，滤网太细，水很难倒进茶杯里。下面堵塞的空气进入水泵后还会产生大量气泡形成汽蚀现象，对水泵的叶轮、叶片等部件造成不同程度的损坏，危害性也是比较大的。在密封性能卓越的舱体空间内解决这一问题的难度是巨大的。容易想到的办法是增加水泵的吸力，靠增加外力的方式把水从下面吸过来，提高水流效率，但这还远远不够。此时，发挥工程师们聪明才智的时刻又到了。他们采取了反向操作，在滤网上开一个气孔。当然不是普通的气孔，既要保证清洗水中的杂质不会从滤网上漏下去，又能改善滤网下方空气的流通性。经过精心的设计，一个完美的解决方案最终被呈现了出来，这一难题又得以顺利突破。难点小结清洗机是由多系统组成的一个相对庞杂的清洗系统，通过各个系统之间环环相扣紧密配合来完成整个清洗任务。因此，改动一个点，可能涉及的是一个线或者是一个面的联动，是系统性的改进。在本项目的实际研发过程中，还有非常多的小难点，篇幅有限不能一一列举，仅以以上三个难点作为攻克典型进行简单分享，希望大家能够对于设备厂家的工作有一个更深层面的了解。也希望在大家的支持和鼓励下，我们的工程师们能够更多的发挥所长，打磨出更多的好产品，让清洗设备的服务领域更深更广，更好的贡献社会，服务社会。验收交付工厂验收经过2个月艰苦卓绝的奋战，全新开发的吸入剂安瓿瓶灌装线专用清洗机迎来了客户的实地验收。验收当天，研发负责人和所有工程师们都信心满满，像刚打了一场胜仗从战场归来的将士等待胜利的检阅一样。虽疲惫，但内心充满了喜悦，因为他们深知所有难题都已经被解决。结果毫无疑问，顺利通过了客户的工厂验收，且获得了高度评价。交付安装随后，安装工程师们抵达客户所在药厂，完成了设备的安装与调试。至此，白小白吸入剂安瓿瓶灌装线专用清洗机成功交付。白小白的研发能力得到了进一步的提升和认可。

压电位移台常用术语中英文对照表Absolute accuracy : Deviation between the actual position and the desired one. If a stage has to move 100µm but it moves only 99.99µm (measured through an ideal scale), then the inaccuracy is 10nm. The permanent positioning error along an axis is designated as accuracy. Absolute accuracy is aff¬ected by calibration errors, linearity errors, hysteresis, Abbe errors and positioning noise. 绝dui精度：实际位置与所需位置之间的偏差。 如果一个平台必须移动 100µm，但它仅移动 99.99µm（通过理想标尺测量），则误差为 10nm。 沿轴的泳久定位误差称为精度。 绝dui精度受校准误差、线性误差、滞后、阿贝误差和定位噪声的影响。Backlash : Backlash is a positioning error occurring upon change of direction. Backlash can be caused by insufficiently preloaded thrust or inaccurate meshing of drive components, for example gear teeth. Piezoconcept’s flexure motion translation mechanism and piezo actuator designs are inherently backlash free. 齿隙：齿隙是在运动方向改变时发生的定位误差。 齿隙可能是由于预载推力不足或驱动部件（例如齿轮齿）啮合不准确造成的。 Piezoconcept 的弯曲运动平移机构和压电致动器设计本质上是无间隙的。Bandwidth : The frequency range to which the amplitude of the stage' s motion is dropped by 3dB. It reflects how fast the stage can follow the driving signal. 带宽：载物台运动幅度下降的频率范围为3dB。 它反映了平台能够以多快的速度跟随驱动信号。Drift : A position change over time, which includes the e¬ffects of temperature change and other environmental e¬ffects. The drift may be introduced from both the mechanical system and electronics. 漂移：位置随时间的变化，包括温度变化和其他环境影响的影响。 漂移可能来自机械系统和电子设备。Friction : Friction is defined as resistance between contacting surfaces during movement. Friction may be constant or speed dependent. Because they use flexure, the nanopositioners from Piezoconcept are friction free. 摩擦力：摩擦力定义为运动过程中接触表面之间的阻力。 摩擦力可以是恒定的或取决于速度的。 因为使用柔性连接，Piezoconcept 的纳米定位器是无摩擦的。Hysteresis : The positioning error between forward scan and backward scan. A closed-loop control is an ideal solution for this problem and is done by using a network of High Resolution silicon sensor to provide feedback signals. 滞后：前向扫描和后向扫描之间的定位误差。 闭环控制是该问题的理想解决方案，它通过使用高分辨率硅传感器网络提供反馈信号来完成。Linearity error : The error between the actual position and the first-order best fit line (straight line). Our nanopositioning products are calibrated with laser interferometry and the non linearity errors are compensated down to 0.02% of the full travel.线性误差：实际位置与一阶蕞佳拟合线（直线）之间的误差。 我们的纳米定位产品使用激光干涉仪进行校准，非线性误差补偿低至全行程的 0.02%。Orthogonality error : The angular off¬set of two defined motion axes from being orthogonal to each other. It can be interpreted as a part of crosstalk. 正交性误差：两个定义的运动轴相互正交的角度偏移。 它可以解释为串扰的一部分。Position noise : The amplitude of the stage shaking when it is on a static command. It is usually measured and specified with Peak-To-Peak value. It is a combination of the sensor noise, driver electronics noise and command noise, etc. The position noise of our stages is very limited due to the very high Signal-To-Noise ratio of the Silicon HR sensors we use. 位置噪声：在静态命令下载物台晃动的幅度。 它通常用峰峰值来测量和指定。 它是传感器噪声、驱动器电子噪声和命令噪声等的组合。由于我们使用的 Silicon HR 传感器具有非常高的信噪比，我们平台的位置噪声非常有限。Range of motion : The maximum dISPlacement of the nanopositioners. 运动范围（行程）:纳米定位器的蕞大位移。Resolution : The minimum step size the stage can move. 分辨率:舞台可以移动的蕞小步长。Resonant frequency : Piezostage are oscillating mechanical systems characterized by a resonant frequency. The resonant frequency that we give is the lowest resonant frequency that can be seen on a nanopositioner. In general, the higher the resonant frequency of a system, the higher the stability and the wider working bandwidth the system will have. The resonant frequency of a piezostage is determined by the square root of the ratio of sti¬ness and mass. 谐振频率：压电级是以谐振频率为特征的振荡机械系统。 我们给出的共振频率是在纳米定位器上可以看到的蕞低共振频率。 一般来说，系统的谐振频率越高，系统的稳定性和工作带宽就越宽。 压电级的共振频率由刚度和质量之比的平方根决定。Silicon HR sensor : Piezoconcept use temperature compensated High-Resolution silicon sensors network for reaching highest long-term stability. This measuring device is capable of measuring position noise in the picometer range and its response is not dependent of the presence of pollutants, air pressure changes like other high-end sensors can be. Si-HR 传感器：Piezoconcept 使用温度补偿高分辨率硅传感器网络，以达到蕞高的长期稳定性。 该测量装置能够测量皮米范围内的位置噪声，并且其响应不依赖于污染物的存在，应对改变气压带来的影响与其他高端传感器一样。Step response time : The step response time is the time needed by the nanopositioner to do the travel from 10% of the commanded value to 90% of the commanded value. The step response time reflects the dynamic characteristics of the system and is relatively to the installation method and load of the stage.阶跃响应时间：阶跃响应时间是纳米定位器从指令值的 10% 到指令值的 90% 所需的时间。 阶跃响应时间反映了系统的动态特性，并且与位移台的安装方式和负载有关。更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。相关技术文

ALIO六轴位移台Hybrid Hexapod重新定义纳米加工和精 准对位贴合技术！自昊量光电推出以来全新的六轴位移台，ALIO Industries的Hybrid Hexapod彻底改变了6D运动的方法，并重新定义了运动控制在需要平整度和直线度加上刚度的应用中的作用，如纳米加工和精 准对位贴合技术中的应用。ALIO工业公司总裁Bill Hennessey表示:“在6自由度(6DOF)纳米技术应用领域，Hybrid Hexapod技术允许在纳米级精度的运动中提供身体所有6DOF性能的文件证明。因此，它是独 一 无 二的，这是第 一次成为可能。我们现在看到领 先技术研发人员在光学、半导体、制造、计量、激光加工和微加工领域致力于纳米应用，并取得了以前无法企及的成功。”所有的传统六足位移台运动系统都在三维空间内运行，并且在所有的六个自由度上都存在误差。然而，传统六足位移台的运动系统通常只能用单自由度的运动数据来表征。这种做法在几个自由度上留下了误差来源，特别是在平面和直线度方面，这是纳米级别的关键精度需求。所以说，一个传统的六足位移台在测量行程的平整度和直线度时，每轴会损失几十微米的精度。庆幸的是，Hybrid Hexapod完全克服了这些问题。Hennessey继续说道:“因为传统六足位移台有六个独立控制的连杆连接在一起，移动一个共同的平台，平台的运动误差将是所有连杆和关节误差的函数。众所周知，传统六足位移台在执行z轴运动时具有最 佳的精度和可重复性，因为所有连杆在相同的相对连杆角上执行相同的运动。然而，当任何其他X、Y、俯仰、偏航或摇摆运动被指令时，由于所有连杆执行不同的运动，传统六足位移台的精度和几何路径性能大幅下降。传统六足位移台的关节不精确，运动控制器无法实现正运动学和逆运动学方程，因此误差的来源更加明显。”Hybrid Hexapod由ALIO开发，旨在解决传统传统六足架设计的关键弱点，以及堆叠串行级的弱点，并在运动过程中实现纳米级的精度、可重复性和高完整性的平面和直线度。它采用了一个三脚架平行运动学结构来提供Z平面和尖 端/倾斜运动，集成了一个整体串行运动学结构来进行XY运动。一个旋转平台集成到三脚架的顶部(或下面，根据应用需要)提供360度的连续偏航旋转。在这种混合设计中，每个轴可以定制，提供从毫米到1米以上的行程范围，同时保持纳米级的精度。Hennessey总结道:“让我们看看4K镜头的制造商。典型的4K镜头需要极其高科技的材料技术，精密的组装实践，以及非常复杂的制造工艺和技术。所有方向的公差几乎为零用于制造透镜的制造过程经常会导致误差，这就是为什么它们需要不断的主动对准。 传感器和镜头对齐，多个目标沿着镜头投影到传感器，然后拍摄图像。调制传递函数(MTF)总是由主动对准装置不断监测，以保持每个MTF值在预先确定的范围内。当满足限度时，用紫外光对胶粘剂进行部分固化，然后再进行完全热固化。这确保了在对准镜头和传感器平面时的极端准确性。Hybrid Hexapod被证明是这种应用的完美选择，因为它的绝 对重复性和精度可以一次又一次地产生准确的结果。” “必须激励在可能的前沿工作的工程师提出更多要求，因为他们看到这项技术可以实现其他人无法实现的目标，具有促进创新的潜力，并且可以优化制造的效率和成本效益。Hybrid Hexapod 比传统六足位移台精度高出几个数量级，刚性提高100倍，速度提高30倍，可用工作范围是传统六轴位移台的10倍。 和传统六足设备同类型型号主要参数对比优势关于生产商：ALIO Industries 成立于 2001 年，由一支由杰出工程师组成的无与伦比的团队推动，他们痴迷于纳米级运动控制、客户成功以及尽可能突破感知界限。今天，ALIO非常重视对客户的响应。作为一家公司，我们一直专注于纳米级精度，因此我们拥有声誉、知识库和稳定性，这在需要超精确和可靠的运动控制时是无法比拟的。与 ALIO 作为您的合作伙伴，您将与一个强大、完善、财务稳定、全球认可和受人尊敬的品牌合作，为各种行业领 先客户提供服务。我们培养伙伴关系的基本含义，相信当知识在整个团队中公开共享时，结果总是更好。这也使我们能够创造性地为任何应用找到实用的运动控制解决方案。ALIO 的团队以诚实、正直和热情为特征。我们专注于成功，而不是为了现金流而出售解决方案。这就是性格！这就是为什么我们在纳米级运动控制解决方案领域享有无与伦比的声誉。上海昊量光电作为ALIO在中国大陆地区最 大的代理商，为您提供专业的选型以及技术服务。对于ALIO有兴趣或者任何问题，都欢迎通过电话、电子邮件或者微信与我们联系。 如果您对六轴位移台有兴趣，请访问上海昊量光电的官方网页：https://www.auniontech.com/details-1529.html欢迎继续关注上海昊量光电的各大媒体平台，我们将不定期推出各种产品介绍与技术新闻。关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是目前国内知 名光电产品专业代理商，也是近年来发展迅速的光电产品代理企业。除了拥有一批专业技术销售工程师之外，还有拥有一支强大技术支持队伍。我们的技术支持团队可以为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等工作。秉承诚信、高效、创新、共赢的核心价值观，昊量光电坚持以诚信为基石，凭借高效的运营机制和勇于创新的探索精神为我们的客户与与合作伙伴不断创造价值，实现各方共赢！您可以通过我们昊量光电的官方网站www.auniontech.com了解更多的产品信息，或直接来电咨询4006-888-532。

关键词：低温位移台；近场扫描微波显微镜； 稀释制冷机 背景介绍扫描隧道显微镜（STM）[1]和原子力显微镜（AFM）[2]等基于扫描探针显微术（SPM）的出现使得科学家能够在纳米分辨率下去研究更多材料的物理特性及图形。以这些技术为基础的纳米技术、材料和表面科学的迅速发展，大地推动了通用和无损纳米尺度分析工具的需求。尤其对于快速增长的量子器件技术领域，需要开发与这些器件本身在同一区域（即量子相干区域）中能够兼容的SPM技术。然而，迄今为止，能够与样品进行量子相干相互作用的纳米尺度表征的工具仍非常有限。特别是在微波频率下，光子能量比光波长小几个数量，加之缺乏单光子探测器和对mK端温度的严格要求，更是一个巨大的挑战。近年来，固态量子技术飞速发展迫切需要能够在此端条件下运行的SPM探测技术。技术核心近场扫描微波显微技术（NSMM）[3]结合了微波表征和STM或AFM的优势，通过使用宽带或共振探头来实现探测。在近场模式下，空间分辨率主要取决于SPM针尺寸，可以突破衍射限的限制，获得纳米别的高分辨率图像。NSMM的各种实现方式已被广泛应用于非接触式的探测半导体器件[4]，材料中的缺陷[5]、生物样品的表面[6]及亚表面分析，以及高温超导性[7]的研究。但是在低温量子信息领域中的应用还鲜有报道。英国物理实验室NPL的塞巴斯蒂安德格拉夫（Sebastian de Graaf）小组与英国伦敦大学谢尔盖库巴特金（Sergey Kubatkin）教授小组合作开发了一种在30 mK下工作的新型低温近场扫描微波显微镜，同时，该显微镜还结合了高达6 GHz的微波表征和AFM技术，旨在满足量子技术领域的新兴需求。整个系统置于一台稀释制冷机中（如图1（b）所示），NSMM显微镜的示意图如图1（a）所示：在石英音叉上附着了一个平均光子占有率为~1的超导分形谐振器。一个可移动的共面波导被用来感应耦合到谐振器上进行微波的发射和信号的读出。整个系统的核心是德国attocube公司提供的兼容低温的铍铜材质的纳米精度位移台，该小组使用一组ANPx100和ANPz100纳米位移器将样品与针在x，y和z方向上对齐，同时使用一个小的ANPz51纳米位移器进行RF波导的纳米定位和耦合。图1.（a）NSMM显微镜的示意图。（b） 稀释制冷机中弹簧和弹簧悬挂的NSMM示意图。测量结果如图2所示，Sebastian教授演示了在单光子区域中以纳米分辨率进行扫描的结果。扫描的区域与在硅衬底上形成铝图案的样品相同。扫描显示三个金属正方形（2×2μm2）与两个较大的结构相邻，形成一个叉指电容器。叉指电容器的每个金手指有1 μm的宽度和间距，尽管在图2中，由于的形状，这些距离看起来不同。图2. 在30 mK下扫描具有相邻金属垫的交叉指电容器.（a）得到的AFM形貌图。（b） 单光子微波扫描（~1）显示了微波谐振腔的频移,微波扫描速度为0.67 μm/s.（c）高功率微波扫描结果（~270）。（d） 在调谐叉频率（30 kHz）下解调的PDH误差信号，与dfr/dz（~270）成正比。（e） 扫描获得的信噪比（SNR）作为平均光子数的函数。attocube低温位移台德国attocube公司是上著名的端环境纳米精度位移器制造公司。拥有20多年的高精度低温纳米位移台的研发和生产经验。公司已经为各地科学家提供了5000多套位移系统，用户遍及全球著名的研究所和大学。它生产的位移器设计紧凑，体积小，种类包括线性XYZ线性位移器、大角度倾角位移器、360度旋转位移器和扫描器。德国attocube公司的位移器以稳定而优异的性能、原子的定位精度、纳米位移步长和厘米位移范围深受科学家的肯定和赞誉。产品广泛应用于普通大气环境和端环境中，包括超高环境(5E-11 mbar)、低温环境（10mK）和强磁场中（31 Tesla）。图3. attocube低温强磁场纳米精度位移器，扫描器，3DR主要参数及技术特点参考文献：[1]. Binnig, G., Rohrer, H., Gerber, C. & Weibel, E. Surface studies by scanning tunneling microscopy. Phys. Rev. Lett. 49, 57 (1982).[2]. Binnig, G., Quate, C. F. & Gerber, C. Atomic force microscope. Phys. Rev. Lett. 56, 930 (1986).[3]. Bonnell, D. A. et al. Imaging physical phenomena with local probes: From electrons to photons. Rev. Mod. Phys. 84, 1343 (2012).[4]. Kundhikanjana, W., Lai, K., Kelly, M. A. & Shen, Z. X. Cryogenic microwave imaging of metalinsulator transition in doped silicon. Rev. Sci. Instrum. 82, 033705 (2011).[5]. Gregory, A. et al. Spatially resolved electrical characterization of graphene layers by an evanescent field microwave microscope. Physica E 56, 431 (2014).[6]. Gregory, A. et al. Spatially resolved electrical characterization of graphene layers by an evanescent field microwave microscope. Physica E 56, 431 (2014).[7]. Lann, A. F. et al. Magnetic-field-modulated microwave reectivity of high-Tc superconductors studied by near-field mm-wave. microscopy. Appl. Phys. Lett. 75, 1766 (1999). 更多文章信息请点击：https://doi.org/10.1038/s41598-019-48780-3

为贯彻落实《工业转型升级规划(2011-2015年)》和《信息产业“十二五”发展规划》，促进电子信息制造业增强核心竞争力，提升发展质量效益，工业和信息化部制定了《电子信息制造业“十二五”发展规划》。《规划》包含《电子基础材料和关键元器件“十二五”规划》、《电子专用设备仪器“十二五”规划》和《数字电视与数字家庭产业“十二五”规划》3个子规划。　　附件： 　　1、电子信息制造业“十二五”发展规划　　2、子规划1：电子基础材料和关键元器件“十二五”规划　　3、子规划2：电子专用设备仪器“十二五”规划　　4、子规划3：数字电视与数字家庭产业“十二五”规划 　　其中关于《电子专用设备仪器“十二五”规划》的详细内容如下：　　目 录　　前 言 1　　一、“十一五”产业发展回顾 1　　(一)产业规模持续稳定增长 1　　(二)重点产业领域取得较大成绩 2　　(三)电子仪器产业结构调整初见成效 3　　(四)产业自主创新能力不断提升 3　　(五)产业链整合进程日益加速 4　　(六)产业扶持政策逐步完善 4　　二、“十二五”面临的形势 5　　(一)产业发展形势分析 5　　(二)技术发展趋势分析 6　　(三)面临的环境条件 7　　三、发展思路和发展目标 7　　(一)发展思路 7　　(二)发展目标 8　　1、经济指标 8　　2、创新指标 8　　四、主要任务和发展重点 9　　(一)主要任务 9　　1、围绕战略性新兴产业，提升配套能力 9　　2、加强基础能力建设，提升产业整体水平 9　　3、以重大专项实施为契机，加强产业互动 9　　(二)发展重点 10　　1、集成电路生产设备 10　　2、太阳能电池生产设备 11　　3、新型元器件生产设备 13　　4、通信与网络测试仪器 14　　5、半导体和集成电路测试仪器 15　　6、数字电视测试仪器 15　　五、政策措施 15　　(一)加强战略引导，完善产业政策 15　　(二)加大投入力度，支持自主创新 15　　(三)提升产品可靠性，加强服务能力建设 16　　(四)引导专项成果辐射，推动技术应用扩展 16　　(五)重视人才战略，集聚高端人才 16　　前 言　　电子专用设备产业是重大装备制造业的重要分支，是知识、技术、资本高度密集型产业，处于电子信息产业链最高端，其基础性强、关联度高、技术难度大、进入门槛高，决定着一个国家或地区电子信息产品制造业的整体水平，也是电子信息产业综合实力的重要标志。　　电子仪器产业是电子信息产业重要的基础性产业，具有高投入、多品种、小批量、更新换代快的特点，在国民经济总产值中的占比不高，但对经济发展的“杠杆”和“倍增”作用却十分巨大。　　为推动电子专用设备仪器产业持续发展，缩小与国际同类产品的差距，根据《工业转型升级“十二五”规划》、《信息产业“十二五”发展规划》和《电子信息制造业“十二五”发展规划》，制定本规划。　　本规划涉及电子专用设备和电子仪器两大行业，是“十二五”期间我国电子专用设备仪器产业发展的指导性文件和加强行业管理、组织实施重大工程的依据。　　一、“十一五”产业发展回顾　　(一)产业规模持续稳定增长　　我国电子专用设备仪器产业在“十一五”期间保持了较高的增速，虽然期间受全球金融危机影响，2008年下半年至2009年上半年呈现出下滑态势，但在国内多项政策激励下，随着世界经济逐步回暖，电子专用设备仪器业企稳回升，实现了生产、销售和经济效益总体平稳增长的态势。　　据统计，“十一五”期间我国电子专用设备销售收入年均增长率为20%，从2005年的783亿元增长到超过1987亿元，电子专用设备工业协会统计的行业骨干企业年均增长率为25%，从52.7亿元增长到160.6亿元。统计数据表明，“十一五”期间我国电子仪器规模以上企业年均增长19%，到“十一五”末实现销售收入940亿元。五年间，电子专用设备仪器产品中太阳能光伏设备以及元器件参数测量仪器、超低频测量仪器等保持了较大幅度的增长。　　(二)重点产业领域取得较大成绩　　“十一五”期间，国家科技重大专项围绕光刻机、刻蚀机、65纳米制造工艺、先进封装设备等重点任务，集中资源重点投入，取得很大进展。北方微电子及上海中微公司2种12英寸65纳米刻蚀机产品样机已进入大生产线进行考核验证 上海微电子公司封装光刻机已进入长电科技(600584)考核测试 七星华创12英寸氧化炉已进入大线测试 中科信12英寸离子注入机已完成3台样机组装，正在进行测试。多种12英寸关键设备陆续进入大生产线考核验证，标志着我国集成电路设备产业已初步形成产业化发展态势。　　“十一五”期间新兴产业的发展，为电子专用设备产业带来了良好的发展契机。尤其是我国晶硅太阳能电池设备年均增长率达到58%，基本具备了从晶体硅到太阳能电池片的成套生产线设备供应能力，为我国光伏产业的发展提供了有力保障。晶硅太阳能设备爆发式增长，为电子专用设备产业实现“十一五”规划目标提供了有力支撑。　　(三)电子仪器产业结构调整初见成效　　电子仪器产业根据市场应用需求的变化，不断调整结构，产品种类日益丰富。针对多功能、多参数的复合测试需求，测试设备从单台仪器向大型测试系统形式迈进 电子测量仪器向模块化和合成仪器方向发展 野外工程应用需求不断促进测试仪器向便携式和手持式升级 新型的实时频谱分析仪开始推向市场 3G、数字电视等民用领域专业测试仪器新品不断涌现。　　(四)产业自主创新能力不断提升　　“十一五”以来，电子专用设备仪器行业内主要企业通过引进国内外的高科技人才，加强与高校、科研单位的合作，在关键设备和开发中规避已有的国外专利，开发出一批技术含量高、性能稳定、具有自主知识产权的产品，初步建立起了以企业为主体的技术创新体系。　　在国家“863”计划、国家科技重大专项的支持下，一批具有自主知识产权的集成电路设备进入了大生产线。我国的无铅焊接设备达到了国际先进水平，成为我国表面贴装设备市场中最具竞争力的产品。电子仪器行业的本土企业逐步进入自主研发阶段，初步掌握核心和高端仪器技术，能够为国家重大工程提供大部分配套电子仪器。在部分特种电子仪器产品方面打破了国外禁运和技术封锁，为重点装备的技术保障和研制建设提供了有力支撑。　　(五)产业链整合进程日益加速　　在国家科技重大专项引导下，以龙头企业为核心的产业链整合进程持续加速。北方微电子、上海中微、七星华创等整机企业与北京科仪、沈阳科仪、沈阳新松等零部件企业围绕刻蚀机、注入机、氧化炉等高端芯片制造装备与关键部件进行联合攻关 江苏长电、南通富士通等国内封装龙头企业联合26家企业开展成套封装设备与配套材料的系统应用工程。按照上下游配套的“项目群”方式，系统部署实施重大专项，有力促进集成电路产业链的建立、产业规模的增长和综合配套能力的形成。　　(六)产业扶持政策逐步完善　　《国务院关于加快振兴装备制造业的若干意见》将集成电路关键设备、新型平板显示器件生产设备、电子元器件生产设备、无铅工艺的整机装联设备列入了国家重大技术装备中，加大政策支持和引导力度，鼓励本土重大技术装备订购和使用，为产业发展创造了有利的市场环境。“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项的实施，有力带动了我国电子专用设备仪器技术提升。　　“十一五”期间我国电子专用设备仪器行业取得较大成绩，但仍存在突出问题：产业规模偏小，本土企业实力不强 自主创新能力有待提高，高端设备开发相对落后 部分产品性价比虽高，但可靠性较差，市场占有率低 设备开发与产品制造工艺脱离，影响了技术成果产业化的进程 高水平、复合型人才缺乏。　　二、“十二五”面临的形势　　“十二五”期间，随着政策环境的不断完善、战略性新兴产业的快速发展，国际国内市场迅速增长、新兴增长点不断涌现、应用领域进一步拓宽，为我国电子专用设备仪器产业发展提供了广阔的空间和坚实的政策支持。但全球经济形势存在不确定性、国产设备仪器的推广应用难度加大，也使产业发展面临较大挑战。　　(一)产业发展形势分析　　2010年全球半导体制造设备销售总额达到395.4亿美元，恢复到历史最高水平。各个地区的设备支出都呈现了两位数甚至三位数百分比的增长，增长最快的是中国大陆和韩国。2010年中国内地半导体设备市场为22.4亿美元，预计2011年为26.4亿美元。按此增长率推算，到2015年，我国半导体设备市场规模将达到300亿元人民币。　　2010年，全球光伏生产设备销售额比上年增长40%，达到104亿美元，预计2011年将达到124亿美元，同比增长24%。从区域市场来看，2010年中国大陆地区占全球市场51%的份额，预计未来5年还将继续保持这一较高比例。据此，可以判断到2015年我国光伏设备将继续保有巨大市场空间。　　新能源汽车用锂离子动力电池、高性能驱动永磁式同步电机、金属化超薄膜电力电容器等新型电子元器件生产设备将成为我国电子专用设备市场新的增长点。　　多学科交汇为电子仪器开辟了新的发展空间，物联网技术发展和三网融合对电子仪器提出新的测试需求，预计上述领域的电子仪器以及环境保护测试仪器和医疗电子仪器会面临大发展。　　(二)技术发展趋势分析　　集成电路技术发展将继续遵循“摩尔定律”，制造工艺水平的提升对相应制造设备提出了新的挑战。不仅是特征尺寸的缩小和套刻精度的提高等技术指标的改进，而且需要更高的生产效率和更低的用户拥有成本等经济指标的提升。不仅仅局限于集成电路的制造设备，太阳能电池制造设备、平板显示设备、整机装联设备等设备功能和性能的提升也将符合这一发展趋势。　　电子仪器向宽频带、大实时带宽、大功率、高精度、高密度、高速方向发展 将广泛采用新型元器件，与信息技术和计算机技术融为一体，向智能化、系统化、模块化、网络化、开放式、可重构、微型化、抗恶劣环境、测量功能集成集约化方向迈进。　　(三)面临的环境条件　　“十二五”期间，随着我国继续加快发展战略新兴产业，加大对“极大规模集成电路装备制造技术及成套工艺”、“新一代宽带无线移动通信网”等重大科技专项的支持，新能源、新材料等新兴产业的发展以及量大面广的电子元器件的需求，将为电子专用设备仪器企业的进一步发展创造良好的发展机遇。　　同时，产业也面临着制造企业对于采购本地设备仪器的积极性不高，在采购本土设备时需要面对工艺与设备的融合，新工艺开发缺乏技术支持等一系列问题。　　为本地开发的专用设备仪器提供良好的市场销售环境和政策支持，进一步降低国产设备仪器的使用成本，提升本土产品的配套率，提升本土产品的竞争优势，提振用户对国产设备仪器信心，是“十二五”期间需重点关注和解决的问题。　　三、发展思路和发展目标　　(一)发展思路　　深入贯彻落实科学发展观，充分发挥重大科技专项、战略性新兴产业发展的引领作用，推动形成以企业为主体、产学研用结合的技术创新体系 以市场亟需的、带动性较显著的电子专用设备、电子测量仪器为重点，集中力量重点突破，开发满足国家重大战略需求、具有市场竞争力的关键产品，批量进入生产线，提升市场自给率 以承担重大专项为契机，形成一批自主知识产权核心技术，扶植起一批电子专用设备仪器重点企业。　　(二)发展目标　　1、经济指标　　“十二五”时期，我国电子专用设备产业将实现17%的年均增长速度，其中骨干企业年均增长20%，到2015年实现销售收入400亿元 电子仪器产业年均增长速度达15%，到2015年实现销售收入达到1800亿元。　　2、创新指标　　12英寸65纳米集成电路制造装备实现产业化，研发成功45纳米-32纳米制造装备整机产品并进入生产线应用。在若干技术领域形成具有特色的创新技术和创新产品，大幅提升创新实力和差异化竞争能力。研发出8-10种前道核心装备、12-15种先进封装关键设备并形成批量生产能力。　　缩小我国集成电路设备、工艺技术水平与当时国际先进水平的差距，除光刻机外基本缩小到1代甚至基本同步 晶硅太阳能电池设备达到国际先进水平 表面贴装设备除自动贴片机外达到国际先进水平 集成电路后封装设备、液晶显示器件后工序设备、发光二极管(LED)设备(除金属有机化学气相沉积设备外)、片式元件设备、净化设备、环境试验设备接近国际先进水平。　　电子仪器总体技术水平达到2005年前后国际先进水平，在新一代移动通信、数字电视、绿色环保等应用领域的电子仪器基本达到与国际先进水平同步。　　四、主要任务和发展重点　　(一)主要任务　　1、围绕战略性新兴产业，提升配套能力　　加强为战略性新兴产业配套的电子专用设备仪器的研发和产业化，围绕集成电路、太阳能光伏、中小尺寸平板显示、下一代通信等重点领域所需电子专用设备仪器，大力推进关键技术研发和产业化，加快产品推广应用进程。　　2、加强基础能力建设，提升产业整体水平　　针对关键设备和仪器产业化水平低、可靠性差等问题，加强基础工艺研究，提升重点设备和仪器质量水平，积极发展电子专用设备制造的关联产业和配套产业，加大技术改造投入，提高基础零部件和配套产品的技术水平，不断满足电子信息制造业发展的需要。　　3、以重大专项实施为契机，加强产业互动　　引导承担重大专项的企业在攻克技术难关的同时延展技术应用，推动集成电路设备相关技术在半导体、显示、光伏、元器件等领域的应用，推动通信网络测试设备在通用测试仪器中的应用。针对新兴市场需求，加强产业链上下游联动，共同探索新工艺，联合研发新型设备仪器。　　(二)发展重点　　1、集成电路生产设备　　(1)8英寸0.13微米集成电路成套生产线设备产业化　　在“十一五”攻关的基础上，以设备生产能力的提升和产业化为重点。解决以光刻设备、刻蚀设备、离子注入设备、退火设备、单晶生长设备、薄膜生长设备、化学机械抛光设备和封装测试设备为代表的8英寸0.13微米工艺的集成电路成套设备的自主研发，突破核心关键技术，在国内建立成套生产线，提高半导体设备行业的配套性和整体水平。　　(2)12英寸65纳米-45纳米集成电路关键设备产业化　　光刻机：基于国产核心部件完成90纳米光刻机的产品定型，形成小批量生产能力，实现产品销售。　　刻蚀机：使国产65纳米-45纳米刻蚀机进入主流生产线，实现刻蚀机的产业化 完成45纳米以下栅刻蚀和介质刻蚀产品研制，逐步完成关键技术攻关，实现设备生产线验证及商业设备定型设计。通过纳米刻蚀机研制和工艺开发掌握高密度等离子刻蚀机制造的核心技术。　　封测设备：开展先进封装圆片减薄设备、三维系统封装通孔设备、高密度倒装键合设备、新型晶片级封装用设备等的研发。　　其它设备：完成45纳米薄膜设备、掺杂设备、互联设备、平坦化设备、清洗设备、工艺检测设备等整机产品的研发，在工程样机设计及工艺开发的基础上，结合可靠性、稳定性等产业化指标要求，改进设计，制造中试样机，通过大量工艺验证与优化试验，确定商业机设计，实现产业化销售。　　2、太阳能电池生产设备　　(1)太阳能级多晶硅及单晶硅生长、切割、清洗设备产业化　　多晶硅生长设备：突破热场分控技术、定向凝固技术，实现投料量吨级及以上产品硅铸锭炉的研发和产业化，并实现成品率达到75%以上。　　单晶硅生长设备：突破单晶生长全自动控制技术，实现8英寸(156 毫米×156 毫米硅片)以上尺寸全自动单晶炉产业化。　　切割设备：突破张力控制软件技术、水冷却气密封技术、砂浆温度闭环控制技术等关键技术，保证能满足太阳能硅片大生产切割需求，切割硅片尺寸8英寸，切割精度优于10微米、厚度在180微米以下的太阳能硅片多线切割机产业化。　　清洗设备：突破槽体温度控制技术、溶液循环技术、大行程直线传输技术等关键技术，提升产品质量的一致性，实现碎片率小于0.3‰的太阳能晶硅清洗制绒设备产业化，促进晶硅太阳能电池片转化效率提升。　　(2)全自动晶硅太阳能电池片生产线设备研发及产业化　　重点发展扩散炉、等离子增强化学气相沉积设备(PECVD)等关键设备，突破单机自动化及生产线设备之间物流传输自动化技术，实现整线自动化集成。　　重点突破自动图像对准技术、柔性传输技术、高精度印刷技术、高速高精度对准技术、测试分选技术、智能化控制及系统集成技术，进一步提高电池片电极印刷、烘干、测试分选速度，实现产能达到1440片/小时以上、碎片率低于0.5%的全自动太阳能印刷线设备产业化。　　(3)薄膜太阳能生产设备　　硅基类薄膜太阳能电池设备：重点提高大面积沉积的均匀性，进一步提升设备运行的稳定性，适度提升自动化程度，提高生产效率。　　碲化镉(CdTe)薄膜太阳能电池设备：突破真空镀膜设备技术难点，研发新型升华源的结构，进一步提高温度均匀性，开发在高温、真空环境下的传动系统。　　铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池设备：突破真空镀膜设备、材料溅射、硒化技术等技术难点，实现元素配比的精确控制，保证大面积沉积的均匀性，提高生产效率，降低制造成本。实现0.7平方米以上、电池转化效率达14%以上的CIGS整线设备集成。　　3、新型元器件生产设备　　(1)中小尺寸有机发光显示(OLED)生产设备研发及产业化　　解决无源有机发光显示(PM-OLED)用有机蒸镀和封装等关键设备大面积化和低成本化等问题，重点发展蒸发源、掩模对位、玻璃和掩模板固定装置等设备，进一步提高生产效率。　　开展中小尺寸有源有机发光显示(AM-OLED)产品生产工艺和制造设备研发，突破溅镀台、PECVD系统、热蒸发系统等AM-OLED用的薄膜晶体管(TFT)薄膜沉积装备 涂胶机、曝光机、干湿法刻蚀机等AM-OLED用的TFT图形制作装备 退火炉、退火气体管道、激光退火设备等AM-OLED用TFT退火装备 TFT电学测试设备、OLED光学测试设备等AM-OLED用检测装备 AM-OLED用缺陷检测修补装备，如激光修补机等。　　(2)高储能锂离子电池生产设备研发及产业化　　突破电池浆料精密搅拌技术、电极极片精密涂敷技术、极片精密轧膜技术及快速极片分切技术，实现400升(装量)浆料搅拌设备、650毫米(幅宽)挤出式涂布设备、Φ800(轧辊直径800毫米)强力轧膜设备、极片分切设备(分切速度30-35米/分钟)研发及产业化，实现整线设备集成。　　(3)其他元器件生产设备研发及产业化　　重点发展高性能永磁元件生产设备、高亮度LED生产设备、金属化超薄膜电力电容器生产设备、超小型片式元件生产设备、高密度印制电路板生产设备、高精密自动印刷机高速、多功能自动贴片机无铅再流焊机、高精度光学检测设备。　　4、通信与网络测试仪器　　满足时分双工长期演进技术(TD-LTE)网络测试的多模终端样机的研发，开发TD-LTE路测分析仪并达到商用化要求，配合TD-LTE技术网络试验和规模商用。　　针对TD-LTE基站和终端特点及相关新技术和实际测试需求，开发模块化的TD-LTE基站和终端射频测试系统，推动基站和终端性能进一步提高。　　针对长期演进技术(LTE)网络接口进行协议一致性测试的需求，研究更方便、更简洁的测试工具对LTE的核心网络设备和无线网络设备进行测试，推动设备接口实现一致性。　　针对TD-LTE终端一致性测试开发扩展测试集仪器 针对TD-LTE-Advanced终端一致性测试开发终端协议仿真测试仪。　　其他通信方式以及网络测试所需的新一代通信测试仪器、计算机网络测试仪器、射频识别综合测试仪器、各类读卡器、近距离无线通信综合测试仪器。　　5、半导体和集成电路测试仪器　　满足对多种功能半导体和集成电路进行测试需求的射频与高速数模混合信号集成电路测试系统 存储器等专项测试系统 半导体和集成电路在线测试系统、测试开发系统。　　6、数字电视测试仪器　　满足数字电视和数字音视频测试需求的数字电视信号源、数字音视频测试仪、码流监测分析仪、图像质量分析仪、数字电视上网融合分析仪、网络质量和安全监测仪、数字电视地面信号覆盖监测系统。　　五、政策措施　　(一)加强战略引导，完善产业政策　　充分利用优惠政策，降低企业在技术进步中的风险，合理地运用优惠政策促进科研成果产业化。制定并完善《重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品清单》，进一步加强对电子专用设备关键零部件税收优惠政策的支持力度。　　加快出台《关于印发进一步鼓励软件产业和集成电路产业发展若干政策的通知》(国发[2011]4号)的实施细则，对符合条件的集成电路专用仪器以及集成电路专用设备相关企业给予企业所得税优惠，支持行业发展。　　(二)加大投入力度，支持技术创新　　充分发挥国家科技重大专项、电子信息产业发展基金等引导作用，以多种形式支持电子专用设备仪器行业技术创新，重点支持战略意义大、技术难度高、市场前景广、带动作用强、发展基础好的关键电子专用设备仪器发展。　　推动落实《首台(套)重大技术装备试验示范项目管理办法》，鼓励支持集成电路关键设备、新型平板显示器生产设备、电子元器件生产设备、无铅工艺的整机装联设备自主创新，为首台(套)重大电子专用设备应用创造良好条件。　　(三)提升产品可靠性，加强服务能力建设　　抓好零部件配套和维修服务工作，推行平均失效间隔(MTBF)、平均恢复时间(MTTR)等可靠性指标，采用可靠性设计、元器件筛选等行之有效的办法，提高零部件产品可靠性，拓展维修、备件供应等服务范围，提高专用设备仪器的服务水平。　　(四)引导专项成果辐射，推动技术应用扩展　　在支持企业承担重大专项的企业攻克技术难关、强化核心竞争力的同时，积极引导将掌握的技术向相关领域进行应用扩展，重点推动半导体专用设备技术和产品在太阳能电池、LED、平板显示等领域的应用。　　(五)重视人才战略，集聚高端人才　　推动在高等院校和科研院所加强电子专用设备仪器相关学科建设与专业技术人才的培养，建设高校、企业联动的人才培养机制。以国家科技重大专项为平台，加快人才引进，进一步提升高端复合型人才的积累。

超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器 杨宏兴 1，2，付海金 1，2，胡鹏程 1，2*，杨睿韬 1，2，邢旭 1，2，于亮 1，2，常笛 1，2，谭久彬 1，2 1 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所，黑龙江 哈尔滨 150080； 2 哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室，黑龙江 哈尔滨 150080 摘要 针对微电子光刻机等高端装备中提出的超精密、高速位移测量需求，哈尔滨工业大学深入探索了传统的共 光路外差激光干涉测量方法和新一代的非共光路外差激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差 精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技术方面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉仪，激 光真空波长相对准确度最高达 9. 6×10-10，位移分辨力为 0. 077 nm，光学非线性误差最低为 13 pm，最大测量速度 为 5. 37 m/s。目前该系列仪器已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测 试领域，为我国光刻机等高端装备发展提供了关键技术支撑和重要测量手段。 关键词 光学设计与制造；激光干涉；超精密高速位移测量引 言 激光干涉位移测量（DMLI）技术是一种以激光 波长为标尺，通过干涉光斑的频率、相位变化来感知位移信息的测量技术。因具有非接触、高精度、高动 态、测量结果可直接溯源等特点，DMLI 技术和仪器被广泛应用于材料几何特性表征、精密传感器标定、 精密运动测试与高端装备集成等场合。特别是在微电子光刻机等高端装备中嵌入的超精密高速激光干涉仪，已成为支撑装备达成极限工作精度和工作效率的前提条件和重要保障。以目前的主流光刻机为例，其内部通常集成有 6 轴至 22 轴以上的超精密高速激光干涉仪，来实时测量高速运动的掩模工件台、 硅片工件台的 6 自由度位置和姿态信息。根据光刻机套刻精度、产率等不同特性要求，目前对激光干涉的位移测量精度需求从数十纳米至数纳米，并将进一步突破至原子尺度即亚纳米量级；而位移测量速度需求，则从数百毫米每秒到数米每秒。 对 DMLI 技术和仪器而言，影响其测量精度和测量速度提升的主要瓶颈包括激光干涉测量的方法原理、干涉光源/干涉镜组/干涉信号处理卡等仪器关键单元特性以及实际测量环境的稳定性。围绕光刻机等高端装备提出的超精密高速测量需求，以美国 Keysight 公司（原 Agilent 公司）和 Zygo 公司为代表的国际激光干涉仪企业和研发机构，长期在高精度激光稳频、高精度多轴干涉镜组、高速高分辨力干涉信号处理等方面持续攻关并取得不断突破， 已可满足当前主流光刻机的位移测量需求。然而， 一方面，上述超精密高速激光干涉测量技术和仪器 已被列入有关国家的出口管制清单，不能广泛地支撑我国当前的光刻机研发生产需求；另一方面，上述技术和仪器并不能完全满足国内外下一代光刻机研 发所提出的更精准、更高速的位移测量需求。 针对我国光刻机等高端装备研发的迫切需求， 哈尔滨工业大学先后探索了传统的共光路双频激光干涉测量方法和新一代的非共光路双频激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差精 准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等关键技术方 面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉 仪，可在数米每秒的高测速下实现亚纳米级的高分辨力高精度位移测量，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域。该技术和仪器不仅直接为我国当前微电子光刻机研发生产提供了关键技术支撑和核心 测量手段，而且还可为我国 7 nm 及以下节点光刻机研发提供重要的共性技术储备。高精度干涉镜组设计与研制 高精度干涉镜组的 3 个核心指标包括光学非线性、热稳定性和光轴平行性，本课题组围绕这 3 个核心指标（特别是光学非线性）设计并研制了前后两代镜组。 共光路多轴干涉镜组共光路多轴干涉镜组由双频激光共轴输入，具备抗环境干扰能力强的优点，是空间约束前提下用于被测目标位置/姿态同步精准测量不可或缺的技术途径，并且是光刻机定位系统精度的保证。该类干涉镜组设计难点在于，通过复杂光路中测量臂和参考臂的光路平衡设计保证干涉镜组的热稳定性，并通过无偏分光技术和自主设计的光束平行性测量系统，保证偏振正交的双频激光在入射分光及多次反射/折射后的高度平行性［19- 20］。目前本课题组研制的 5 轴干涉镜组（图 11） 可实现热稳定性小于 10 nm/K、光学非线性误差小于 1 nm 以及任意两束光的平行性小于 8″，与国 际主流商品安捷伦 Agilent、Zygo 两束光的平行性 5″~10″相当。 图 11. 自主研制的共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图非共光路干涉镜组 非共光路干涉镜组在传统共光路镜组的基础上， 通过双频激光非共轴传输避免了双频激光的频率混叠，优化了纳米量级的光学非线性误差。2014 年，本课题组提出了一种非共光路干涉镜组结构［2，21］，具体结构如图 12 所示，测试可得该干涉镜组的光学非 线性误差为 33 pm。并进一步发现基于多阶多普勒 虚反射的光学非线性误差源，建立了基于虚反射光迹精准规划的干涉镜组光学非线性优化算法，改进并设计了光学非线性误差小于 13 pm 的非共光路干涉镜组［2-3］，并通过双层干涉光路结构对称设计保证热稳定性小于 2 nm/K［22- 25］。同时，本课题组也采用多光纤高精度平行分光，突破了共光路多轴干涉镜组棱镜组逐级多轴平行分光，致使光轴之间的平行度误差 逐级累加的固有问题，保证多光纤准直器输出光任意 两个光束之间的平行度均小于 5″。 图 12. 自主设计的非共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图基于上述高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技 术，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉仪 （图 17），其激光真空波长准确度最高达 9. 6×10-10 （k=3），位移分辨力为 0. 077 nm，最低光学非线性误差为 13 pm，最大测量速度为 5. 37 m/s（表 2）。并成功应用于上海微电子装备（集团）股份有限公司 （SMEE）、中国计量科学研究院（NIM）、德国联邦物理技术研究院（PTB）等十余家单位 ，在国产光刻机、国家级计量基准装置等高端装备的研制中发挥了关键作用。 图 17. 自主研制的系列超精密高速激光干涉仪实物图。（a）20轴以上超精密高速激光干涉仪；（b）单轴亚纳米级激光干涉仪；（c）三轴亚纳米级激光干涉仪超精密激光干涉仪在精密工程中的实际测量， 不仅考验仪器的研制水平，更考验仪器的应用水 平，如复杂系统中的多轴同步测量，亚纳米乃至皮 米量级新误差源的发现与处理，高水平的温控与隔 振环境等。下面主要介绍超精密激光干涉仪的几 个典型应用。 国产光刻机研制：多轴高速超精密激光干涉仪 在国产光刻机研制方面，多轴高速超精密激光 干涉仪是嵌入光刻机并决定其光刻精度的核心单元之一。但是，一方面欧美国家在瓦森纳协定中明确规定了该类干涉仪产品对我国严格禁运；另一方面该类仪器技术复杂、难度极大，我国一直未能完整掌握，这严重制约了国产光刻机的研制和生产。 为此，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉测量系统，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域，典型应用如图 18 所示，其各项关键指标均满足国产先进光刻机研发需求，打破了国外相关产品对我国 的禁运封锁，在国产光刻机研制中发挥了重要作用。在所应用的光刻机中，干涉仪的测量轴数可达 22 轴以上，最大测量速度可达 5. 37 m/s，激光真空 波 长/频 率 准 确 度 最 高 可 达 9. 6×10−10（k=3），位 移 分 辨 力 可 达 0. 077 nm，光 学 非 线 性 误 差 最 低 为 13 pm。 配 合 超 稳 定 的 恒 温 气 浴（3~5 mK@ 10 min）和隔振环境，可以对光刻机中双工件台的多维运动进行线位移、角位移同步测量与解耦，以满足掩模工件台、硅片工件台和投影物镜之间日益复杂的相对位置/姿态测量需求，进而保证光刻机整体套刻精度。图 18. 超精密高速激光干涉测量系统在光刻机中的应用原理及现场照片国家级计量基准装置研制：亚纳米精度激光干涉仪 在国家级计量基准装置研制方面，如何利用基本物理常数对质量单位千克进行重新定义，被国际知名学术期刊《Nature》评为近年来世界六大科学难题之一。在中国计量科学研究院张钟华院士提出的“能量天平”方案中，关键点之一便是利用超精密激光干涉仪实现高准确度的长度测量，其要求绝对测量精度达到 1 nm 以内。为此，本课题组研制了国内首套亚纳米激光干涉仪，并成功应用于我国首套量子化质量基准装置（图 19），在量子化质量基准中 国方案的实施中起到了关键作用，并推动我国成为首批成功参加千克复现国际比对的六个国家之一［30- 32］。为达到亚纳米级测量精度，除了精密的隔振与温控环境以外，该激光干涉仪必须在真空环境 下进行测量以排除空气折射率对激光波长的影响， 其测量不确定度可达 0. 54 nm @100 mm。此外，为了实现对被测对象的姿态监测，该干涉仪的测量轴 数达到了 9 轴。图 19. 国家量子化质量基准及其中集成的亚纳米激光干涉仪 结论 近年来，随着高端装备制造、精密计量和大科学装置等精密工程领域技术的迅猛发展，光刻机等高端制造装备、能量天平等量子化计量基准装置、 空间引力波探测等重大科学工程对激光干涉测量技术提出了从纳米到亚纳米甚至皮米量级精度的 重大挑战。对此，本课题组在超精密激光干涉测量方法、关键技术和仪器工程方面取得了系列突破性进展，下一步的研究重点主要包括以下 3 个方面： 1）围绕下一代极紫外光刻机的超精密高速激光干涉仪的研制与应用。在下一代极紫外光刻机中，其移动工件台运动范围、运动精度和运动速度将进一步提升，将要求在大量程、6 自由度复杂耦合、高速运动条件下实现 0. 1 nm 及以下的位移测量精度，对激光干涉仪的研发提出严峻挑战；极紫外光刻机采用真空工作环境，可减小空气气流波动和空气折射率引入的测量误差，同时也使整个测量系统结构针对空气- 真空适应性设计的复杂性大幅度增加。2）皮米激光干涉仪的研制与国际比对。2021年， 国家自然科学基金委员会（NSFC）联合德国科学基 金会（DFG）共同批准了中德合作项目“皮米级多轴 超精密激光测量方法、关键技术与比对测试”（2021 至 2023 年）。该项目由本课题组与德国联邦物理技术研究院（PTB）合作完成，预计将分别研制下一代皮米级精度激光干涉仪，并进行国际范围内的直接 比对。3）空间引力波探测。继 2017 年美国 LIGO 地面引力波探测获诺贝尔物理学奖后，各国纷纷开展了空间引力波探测计划，这些引力波探测器实质上就是巨型的超精密激光干涉仪。其中，中国的空间引力波探测计划，将借助激光干涉仪在数百万公里距离尺度上，实现皮米精度的超精密测量，本课题组在引力波国家重点研发技术项目的支持下，将陆 续开展卫星- 卫星之间和卫星- 平台质量块之间皮米级激光干涉仪的设计和研究，特别是皮米级非线性实现和皮米干涉仪测试比对的工作，预期可对空间引力波探测起到积极的支撑作用。本课题组在超精密激光干涉测量技术与仪器领域有超过 20 年的研究基础，建成了一支能够完全自主开发全部激光干涉仪核心部件、拥有完整自主知识产权的研究团队，并且在研究过程中得到了 12 项国家自然科学基金、2 项国家科技重大专项、2 项 国家重点研发计划等项目的支持，建成了超精密激光测量仪器技术研发平台和产业化平台，开发了系列超精密激光干涉测量仪，在国产先进光刻机研发、我国量子化质量基准装置等场合成功应用，推动了我国微电子光刻机等高端装备领域的发展，并将通过进一步研发，为我国下一代极紫外光刻机研 发、空间引力波探测、皮米激光干涉仪国际比对提供支撑。全文详见：超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器.pdf

仪器信息网讯 2012年6月9日-10日，由上海仪迈仪器科技有限公司和广西计量协会联合主办的2012广西糖厂化验室仪器使用与维修培训班在广西南宁顺利举行。180余名来自广西、广东、海南、云南等地制糖企业的实验室人员参加了此次培训班。广西计量院相关领导、上海仪迈仪器科技有限公司副总经理夏云雷先生出席了此次活动。交流会现场　　上海仪迈致力于“打造品质与进口高端仪器媲美 价格与国产仪器接近的本土精品”上海仪迈仪器科技有限公司副总经理夏云雷先生　　夏云雷先生介绍说：“中国分析测试仪器的市场多年来已经形成进口仪器和国产仪器两大阵营各自为阵的格局，呈现出进口仪器价高质高，国产仪器性能质量不够稳定的特征。因而上海仪迈成立之初就确立了以‘打造品质与进口高端仪器媲美，价格与国产仪器接近的本土精品’为己任。我们的愿景是成为中国本土仪器精品的代名词，着力打造‘Insmark’这一中国品牌新形象，为用户提供价格合理，品质性能优异，功能和操作符合中国用户使用习惯和应用需求的分析仪器。”　　“经过长时间的筹备，上海仪迈吸纳了国内仪器行业顶尖人才，组成了核心技术团队和管理精英团队，并引进了海外技术和资源， 在公司内部创立了一套先进的产品开发和管理流程。在产品设计当中，上海仪迈坚持的理念是一切从用户和应用出发，为中国用户提供快捷、个性化的产品。目前，我们拥有多项专利技术储备以及多种产品研发的技术平台。在客户服务方面，上海仪迈是目前唯一能够提供IQ/OQ/PQ服务的国产仪器厂商、唯一能够提供具备GLP，数据溯源、用户管理等先进功能的国内厂家。”　　“正是上海仪迈独特的发展理念，以及人才和技术方面的实力，我们获得了资本市场的青睐，这也使我们有足够的资金以最快的速度不断地向市场推出新的产品。同时我们也得到了政府部门的支持，专注于打造国产精品仪器。”　　最后，夏云雷先生表示：“打造国产仪器品牌，研发精品仪器，在目前的市场环境中其实这条路并不好走，但我们还是要坚持，我们要用足够的耐心和勇气让用户看到国产仪器也有精品，国产仪器也可以拥有国际化的影响力。”　　倾听用户的声音 因“用”而动的产品设计理念上海仪迈仪器科技有限公司研发工程师陈睿先生　　陈睿先生说到：“倾听用户的声音(VOC-voice of customer)一直是上海仪迈进行产品设计的灵感及构思的来源。我们的产品设计理念是因‘用’而动，这里的‘用’包括用户和应用两个方面。上海仪迈目前推出的折光仪、旋光仪系列产品定位和设计任务由市场与应用专家充分研究海内外产品的性能，特别是中国用户的使用习惯的基础上制定 同时我们定期收集用户意见，革新和改进产品，不断追求完美 另外我们还专门研究行业的特殊应用，为行业和一些的特殊应用量身定做仪器。”　　“此次活动中我们展示的糖业专用仪器，就是在走访工厂、认真探讨蔗糖生产流程、研究甘蔗制糖行业的应用需求后，成立了项目小组在通用型旋光仪和折光仪的基础上，设计出的专门针对甘蔗制糖行业的专用产品。新产品在硬件方面进行了光路设计革新，进一步满足了对有色糖溶液的测量需求 开发新型软件，实现了旋光仪、折光仪联用，数据打印等功能 专门设计操作流程和操作界面，实现蔗糖分、简纯度等多种参数的直接测量等。在设计过程中我们对产品性能进行多重测试，精益求精 并采集用户实际数据，对产品进行了大量的测试和验证。”　　优秀的产品设计离不开优秀的人才，陈睿先生介绍说：“目前上海仪迈拥有业内30年以上产品研发经验的顶级教授级高工, 高级设计师 业内15年以上产品管理, 研发及应用开发经验的海归专家 10年以上研发与项目管理经验的外企高工，以及拥有数年研发经验，勇于拼搏和创新的80后工程师。大家的共同目标就是倾听用户的声音，开发满足用户需求的精品仪器。”　　唯“糖”独尊——量身打造糖业专用旋光仪、折光仪、旋折联用系统上海仪迈仪器科技有限公司产品工程师谢军先生　　在经过了大量的调查统计之后，上海仪迈的研发人员发现目前折光仪、旋光仪在甘蔗制糖行业的应用当中存在的问题主要包括：样品颜色深，测不准 目前的仪器不能直接读出简纯度、蔗糖分等重要数据，需要手工查表或计算，导致工作效率低下，而且容易出错 另外，不能满足某些特殊的应用需求，比如成品糖的纯度比对。基于上海仪迈在折光仪、旋光仪研发方面的技术实力，上海仪迈推出了针对制糖行业专用的折光仪、旋光仪、旋折联用仪。上海仪迈产品工程师谢军先生分别介绍了这三类仪器的特点。IP140糖业专用旋光仪　　“IP140糖业专用旋光仪采用LED冷光源，延长光源使用寿命，并采用半导体控温，精度更高。其透过率限值远低于市场上同类产品，可达到0.5%，可测透过率≥0.5%的深色样品，满足深颜色样品的测量需求。此外，能够直接读取简纯度、蔗糖分等多种数据 可与折光仪联用，并具备打印功能，有助于实验记录的溯源和归档，避免人为更改和减少抄写记录的差错。”　　“同时IP140糖业专用旋光仪拥有测量系统自动监控报警功能，当被测样品的颜色太深或透过率低于仪器的测量限值时，提示操作者测量数据可能有偏差 若样品透过率太低，可能导致无法锁定终点，也会提示用户要将样品稀释测量或重新过滤。”IR120S智能型折光仪　　“IR120S智能型折光仪采用宽大的LCD彩色触摸屏，不需目视瞄准，中文界面、具备中英文输入功能，极大地方便了用户操作 此外，采用全反射原理，不需要繁琐的机械和光学零件，大大降低了制造成本。仪器还自带流通池，确保了高精度糖度和折光指数的测量 采用蓝宝石棱镜，避免多次测量样品后，棱镜被擦毛 具有自动温度补偿功能，符合国际糖度标准 同时内置国标测量方法及用户自定义方法 拥有独创的测量系统自检、补偿和报警功能。”IPR-S旋折联用系统　　“甘蔗制糖生产过程中，需要综合折光仪和旋光仪测量的结果进行计算。为保证原始数据的正确传递，避免繁琐的人工计算，上海仪迈推出了IPR-S旋折联用系统，其中旋光仪为主设备，折光仪为从设备，折光仪测量数据将可以直接导入旋光仪的测量界面中。还可以在旋光仪的测量界面中选择‘连接打印机’，将测量的一系列数据通过打印机打印出来。”　　最后，谢军先生表示：“上海仪迈在蔗糖行业智能型专用仪器的研发方面，虽倾注了大量的时间和精力。但公司本着唯‘糖’独尊的理念，加料不加价，用户只需要付普通仪器的价钱，即可享受个性化VIP服务。”上海仪迈仪器科技有限公司销售工程师袁天斌先生IR200S手持式糖度计　　上海仪迈销售工程师袁天斌先生介绍了IR200S手持式糖度计的特点及使用，“IR200S手持式糖度计是目前市场上唯一不需要用水校准的糖度计，它的测量范围为0-95% ，精度高达±0.1% ，能够提供观测锤度和改正锤度两种测量结果，可满足各类样品的测量需求。”　　“IR200系列手持式折光仪采用中文屏幕导航式操作菜单，测量简便，方便使用。该仪器虽然是手持式折光仪，却具有较大的市场上独一无二的LCD彩色显示屏。不仅可显示日期、时间、测量结果、温度等各种详细信息，还可在特定条件下完成测量并及时保存测量记录。无论是车间还是田间地头，处处使用都可以得心应手。”用户交流现场　　在此次活动中，现场用户对于上海仪迈的糖业专用折光仪、旋光仪表现出了浓厚的兴趣。在上海仪迈的工程师对糖业专用折光仪、旋光仪做了介绍后，现场许多用户针对自己感兴趣的问题进行了提问 会议茶歇间隙，用户对上海仪迈在会场内展示的仪器进行了操作和使用，并向现场的工程师反馈了自己的意见和建议。不少用户表示上海仪迈的仪器外观精致，仪器的一些特殊设计及功能对自己的日常实验工作也很有帮助。如果实验室的折光仪、旋光仪需要更新，将会考虑采购上海仪迈的仪器。　　广西计量院陈老师表示上海仪迈的糖业专用折光仪旋光仪所采用的技术以及可实现的操作方式等都是国产仪器当中最先进的。　　广西计量院曾老师表示他对于上海仪迈推出的旋光仪折光仪联用技术最感兴趣，认为这一技术有助于减小误差、提高数据分析的准确度。　　最后，为了感谢广大用户的支持，上海仪迈在此次活动中还特别为用户准备了精美的礼品，希望广大用户能够多关注上海仪迈，多为上海仪迈的产品研发提宝贵意见，上海仪迈将继续努力坚持为用户提供价格合理，品质性能优异的精品仪器。

1 引 言激光干涉位移测量技术具有大量程、高分辨力、非接触式及可溯源性等优势，广泛应用于精密计量、微电子集成装备和大科学装置等领域，成为超精密位移测量领域中的重要技术之一。近年来，随着这些领域的迅猛发展，对激光干涉测量技术提出了新的测量需求。如在基于长度等量子化参量的质量基准溯源方案中，要想实现1×10−8 量级的溯源要求，需要激光干涉仪长度测量精度达0. 1 nm 量级；在集成电路制造方面，激光干涉仪承担光刻机中掩模台、工件台空间位置的高速、超精密测量任务，按照“ 摩尔定律”发展规律，近些年要想实现1 nm 节点光刻技术，需要超精密测量动态精度达0. 1 nm，达到原子尺度。为此，国际上以顶级的计量机构为代表的单位均部署了诸如NNI、Nanotrace 等工程，开展了“纳米”尺度测量仪器的研制工程，并制定了测量确定度在10 pm 以下的激光干涉测量技术的研发战略。着眼于国际形势，我国同样根据先进光刻机等高端备、先进计量的测量需求，制定了诸多纳米计量技术的研发要。可见，超精密位移测量技术的发展对推进我国众多大高端装备具有重要战略意义，是目前纳米度下测量领域逐步发展的重大研究方向。2 激光干涉测量原理根据光波的传播和叠加原理，满足相干条件的光波能够在空间中出现干涉现象。在激光干涉测量中，由于测量目标运动，将产生多普勒- 菲佐（Doppler-Fizeau效应，干涉条纹将随时间呈周期性变化，称为拍频现象。移/相移信息与测量目标的运动速度/位移关系满足fd = 2nv/ λ ， （1）φd = 2nL/ λ ， （2）式中：fd为多普勒频移；φd为多普勒相移；n 为空气折射率；v 和L 为运动速度和位移；λ 为激光波长。通过对干涉信号的频率/相位进行解算即可间接获得测量目标运动过程中速度/位信息。典型的干涉测量系统可按照激光光源类型分为单频（零差式）激光干涉仪和双频（外差式）激光干涉仪两大类。零差式激光干涉测量基本原理如图1 所示，其结构与Michelson 干涉仪相仿，参考光与测量光合光干涉后，经过QPD 输出一对相互正交的信号，为Icos = A cos (2πfd t + φ0 + φd ) ， （3）Isin = A sin (2πfd t + φ0 + φd ) ， （4）式中：（Icos， Isin）为QPD 输出的正交信号；A 为信号幅值；φ0 为初始相位。结合后续的信号处理单元即可构成完整、可辨向的测量系统。图1　零差激光干涉测量原理外差式激光干涉仪的光源是偏振态相互垂直且具有一定频差Δf 的双频激光，其典型的干涉仪结构如图2 所示。双频激光经过NPBS 后，反射光通过偏振片发生干涉，形成参考信号Ir；透射光经过PBS，光束中两个垂直偏振态相互分开，f2 光经过固定的参考镜反射，f1 光经运动的测量镜反射并附加多普勒频移fd，与反射光合光干涉后形成测量信号Im。Ir = Ar cos (2πΔft + φr ) ， （5）Im = Am cos (2πΔft + φm )， （6）式中：Δf、A 和φ 分别为双频激光频差、信号幅值和初始相位差。结合式（5）和式（6），可解算出测量目标的相位信息。图2　外差激光干涉测量原理零差式激光干涉仪常用于分辨力高、速度相对低并且轴数少的应用中。外差式激光干涉仪具有更强的抗电子噪声能力，易于实现对多个目标运动位移的多轴同步测量，适用于兼容高分辨力、高速及多轴同步测量场合，是目前主流的干涉结构之一。3 激光干涉测量关键技术在超精密激光干涉仪中，波长是测量基准，尤其在米量级的大测程中，要实现亚纳米测量，波长准确度对测量精度起到决定性作用。其中，稳频技术直接影响了激光波长的准确度，决定激光干涉仪的精度上限；环境因素的变化将影响激光的真实波长，间接降低了实际的测量精度。干涉镜组结构决定光束传播过程中的偏振态、方向性等参数，影响干涉信号质量。此外，干涉信号相位细分技术决定激光干涉仪的测量分辨力，并限制了激光干涉仪的最大测量速度。3. 1　高精度稳频技术在自由运转的状态下，激光器的频率准确度通常只有±1. 5×10−6，无法满足超精密测量中10−8~10−7的频率准确度要求。利用传统的热稳频技术（单纵模激光器的兰姆凹陷稳频方法等），可以提高频率准确度，但系统中稳频控制点常偏离光功率平衡点，输出光频率准确度仅能达2×10−7量级，无法完全满足超精密测量的精度需求。目前，超精密干涉测量中采用的高精度稳频技术主要有热稳频、饱和吸收及偏频锁定3 种。由于激光管谐振腔的热膨胀特性，腔长随温度变化呈近似线性变化。因此，热稳频方法通过对谐振腔进行温度控制实现对激光频率的闭环调节。具体过程为：选定稳定的参考频标（双纵模激光器的光功率平衡点、纵向塞曼激光器频差曲线的峰/谷值点），当激光频率偏离参考频标时，产生的频差信号用于驱动加热膜等执行机构进行激光管谐振腔腔长调节。热稳频方法能够使激光器的输出频率的准确度在10−9~10−8 量级，但原子跃迁的中心频率随时间推移受腔内气体气压、放电条件及激光管老化的影响会发生温度漂移。利用稳频控制点修正方法，通过对左右旋圆偏振光进行精确偏振分光和对称功率检测来抑制稳频控制点偏移的随机扰动，同时补偿其相对稳定偏置分量。该方法显著改善了激光频率的长期漂移现象，阿伦方差频率稳定度为1. 9×10−10，漂移量可减小至（1~2）×10−8。稳频点修正后的激光波长仍存在较大的短期抖动，主要源于激光器对环境温度的敏感性，温差对频率稳定性的影响大。自然散热型激光器和强耦合水冷散热型激光器均存在散热效果不均匀和散热程度不稳定的问题。多层弱耦合水冷散热结构为激光管提供一个相对稳定的稳频环境，既能抑制外界环境温度变化对激光管产生的扰动，冷却水自身的弱耦合特性又不影响激光管性能，进而减小了温度梯度和热应力，提高了激光器对环境温度的抗干扰能力，减少了输出激光频率的短期噪声，波长的相对频率稳定度约为1×10−9 h−1。碘分子饱和吸收稳频法将激光器的振荡频率锁定在外界的参考频率上，碘分子饱和吸收室内处于低压状态下（1~10 Pa）的碘分子气体在特定频率点附近存在频率稳定的吸收峰，将其作为稳频基准后准确度可达2. 5×10−11。但由于谐振腔损耗过大，稳频激光输出功率难以超过100 μW 且存在MHz 量级的调制频率，与运动目标测量过程中产生的多普勒频移相近。因此，饱和吸收法难以适用于多轴、动态的测量场合。偏频锁定技术是另一种高精度的热稳频方法，其原理如图3 所示，通过实时测量待稳频激光器出射光与高精度碘稳频激光频差，获得反馈控制量，从而对待稳频激光器谐振腔进行不同程度加热，实现高精度稳频。在水冷系统提供的稳频环境下，偏频锁定激光器的出射光相对频率准确度优于2. 3×10−11。图3 偏频锁定热稳频原理3. 2　高精度干涉镜组周期非线性误差是激光干涉仪中特有的内在原理性误差，随位移变化呈周期性变化，每经过半波长，将会出现一次最大值。误差大小取决光束质量，而干涉镜组是决定光束质量的主导因素。传统的周期非线性误差可以归结为零差干涉仪的三差问题和外差干涉仪的双频混叠问题，产生的非线性误差机理如图4 所示，其中Ix、Iy分别表示正交信号的归一化强度。其中，GR为虚反射，MMS 为主信号，PISn 为第n 个寄生干涉信号，DFSn 为第n 阶虚反射信号。二者表现形式不完全相同，但都会对测量结果产生数纳米至数十纳米的测量误差。可见，在面向亚纳米、皮米级的干涉测量技术中，周期非线性误差难以避免。图4　零差与外差干涉仪中的周期非线性误差机理。（a）传统三差问题与多阶虚反射李萨如图；（b）多阶虚反射与双频混叠频谱分布Heydemann 椭圆拟合法是抑制零差干涉仪中非线性误差的有效方法。该方法基于最小二乘拟合，获得关于干涉直流偏置、交流幅值以及相位偏移的线性方程组，从而对信号进行修正。在此基础上，Köning等提出一种基于测量信号和拟合信号最小几何距离的椭圆拟合方法，该方法能提供未知模型参数的局部最佳线性无偏估计量，通过Monte Carlo 随机模拟后，其非线性幅值的理论值约为22 pm。在外差干涉仪中，双频混叠本质上是源于共光路结构中双频激光光源和偏振器件分光的不理想性，称为第1 类周期非线性。对于此类周期非线性误差，补偿方法主要可以从光路系统和信号处理算法两个方面入手。前者通过优化光路可以将非线性误差补偿至数纳米水平；后者通过椭圆拟合法提取椭圆特征参数，可以将外差干涉仪中周期非线性误差补偿至亚纳米量级；两种均属补偿法，方法较为复杂，误差难以抑制到0. 1 nm 以下。另一种基于空间分离式外差干涉结构的光学非线性误差抑制技术采用独立的参考光路和测量光路，非共光路使两路光在干涉前保持独立传播，从根本上避免了外差干涉仪中频率混叠的问题，系统残余的非线性误差约为数十皮米。空间分离式干涉结构能够消除频率混叠引起的第1 类周期非线性误差，但在测量结果中仍残余亚纳米量级的非线性误差，这种有别于频率混叠的残余误差即为多阶多普勒虚反射现象，也称为第2 类周期非线性误差。虚反射现象源自光学镜面的不理想分光、反射等因素，如图5所示，其中MB 为主光束，GR 为反射光束，虚反射现象普遍存在于绝大多数干涉仪结构中。虚反射效应将会使零差干涉仪中李萨如图的椭圆产生畸变，而在外差干涉仪中则出现明显高于双频混叠的高阶误差分量。图5　多阶虚反射现象使用降低反射率的方法，如镀增透膜、设计多层增透膜等，能够弱化虚反射现象，将周期非线性降低至亚纳米水平；德国联邦物理技术研究院Weichert等通过调节虚反射光束与测量光束间的失配角，利用透镜加入空间滤波的方法将周期非线性误差降低至±10 pm。上述方法在抑制单次的虚反射现象时有着良好的效果，但在面对多阶虚反射效应时作用有限。哈尔滨工业大学王越提出一种适用于多阶虚反射的周期非线性误差抑制方法，该方法利用遗传算法优化关键虚反射面空间姿态，精准规划虚反射光束轨迹，可以将周期非线性误差抑制到数皮米量级，突破了该领域10 pm 的周期非线性误差极限。3. 3　高速高分辨力相位细分技术在激光干涉仪中，相位细分技术直接决定系统的测量精度。实现亚纳米、皮米测量的关键离不开高精度的相位细分技术。相位的解算可以从时域和频域两个角度进行。最为常用的时域解算方法是基于脉冲边缘触发的相位测量方法，该方法利用高频脉冲信号对测量信号与参考信号进行周期计数，进而获取两路信号的相位差。该方法的测量速度与测量分辨力模型可表达为vm/dLm= Bm ， （7）式中：vm 为测量速度；dLm 为测量分辨力；Bm 为系统带宽。在系统带宽恒定的情况下，高测速与高分辨力之间存在相互制约关系。只有提高系统带宽才能实现测量速度和测量分辨力的同时提升，也因此极度依赖硬件运行能力。在测量速度方面，外差激光干涉仪的测量速度主要受限于双频激光频差Δf，测量目标运动产生的多普勒频移需满足fd≤Δf。目前，美国的Zygo 公司和哈尔滨工业大学利用双声光移频方案所研制的结构的频差可达20 MHz，理论的测量速度优于5 m/s。该方法通过增加双频激光频差来间接提升测量速度，频差连续可调，适用于不同测量速度的应用场合，最大频差通常可达几十MHz，满足目前多数测量速度需求。从干涉结构出发，刁晓飞提出一种双向多普勒频移干涉测量方法，采用全对称的光路结构，如图6所示，获得两路多普勒频移方向相反的干涉信号，并根据目标运动方向选择性地采用不同干涉信号，保证始终采用正向多普勒频移进行相位/位移解算。该方法从原理上克服了双频激光频差对测量速度的限制，其最大测量速度主要受限于光电探测器带宽与模/数转换器的采样频率。图6 全对称光路结构在提升测量分辨力方面，Yan 等提出一种基于电光调制的相位调制方法，对频率为500 Hz 的信号进行周期计数，该方法实现的相位测量标准差约为0. 005°，具有10 pm 内的超高位移测量分辨力，适用于低速测量场合。对于高速信号，基于脉冲边缘触发的相位测量方法受限于硬件带宽，高频脉冲频率极限在500 MHz 左右，其测量分辨力极限约为1~10 nm，难以突破亚纳米水平。利用高速芯片，可以将处理带宽提升至10 GHz，从而实现亚纳米的测量分辨力，但成本较大。闫磊提出一种数字延时细分超精细相位测量技术，在硬件性能相同、采样频率不变的情况下，该方法利用8 阶数字延迟线，实现了相位的1024 电子细分，具有0. 31 nm 的位移测量分辨力，实现了亚纳米测量水平。该方法的等效脉冲频率约为5 GHz，接近硬件处理极限，但其测量速度与测量分辨力之间依旧存在式（7）的制约关系。德国联邦物理技术研究院的Köchert 等提出了一种双正交锁相放大相位测量方法，如图7所示，FPGA 内部生成的理想正交信号分别与外部测量信号、参考信号混频，获取相位差。利用该方法，可以实现10 pm 以内的静态测量偏差。双正交锁相放大法能够处理正弦模拟信号，充分利用了信号的频率与幅值信息，其测量速度与测量分辨力计算公式为vm/0. 1λ0= Bm ， （8）dLm/0. 5λ0=Bs/dLc， （9）式中：Bs为采样带宽；dLc为解算分辨力。图7 双正交锁相方法测量原理可见，测量速度与测量分辨力相互独立，从原理上解决了高测速与高分辨力相互制约的矛盾，为激光干涉仪提供了一种兼顾高速和高分辨力的相位处理方法。在此基础上，为了适应现代工业中系统化和集成化的测量需求，美国Keysight 公司、Zygo 公司及哈尔滨工业大学相继研发出了光电探测与信号处理一体化板卡，能够实现高于5 m/s 的测量速度以及0. 31 nm 甚至0. 077 nm 的测量分辨力。此外，从变换域方面同样可以实现高精度的相位解算。张紫杨等提出了一种基于小波变换的相位细分方法，通过小波变换提取信号的瞬时频率，计算频率变化的细分时间，实现高精度的位移测量，该方法的理论相位细分数可达1024，等效位移精度约为0. 63 nm。Strube 等利用频谱分析法，从信号离散傅里叶变换（DFT）后的相位谱中获取测量目标的位移，实现了0. 3 nm 的位移测量分辨力。由于采用图像传感器为光电转换器，信号处理是以干涉条纹为基础的，适用于静态、准静态的低速测量场合。3. 4环境补偿与控制技术环境中温度、气压及湿度等变化会引起空气折射率变化，使得激光在空气中传播时波长变动，导致测量结果产生纳米量级的误差。环境误差补偿与控制技术是抑制空气折射率误差的两种重要手段。补偿法是修正空气折射率误差最常用的方法，具有极高的环境容忍度。采用折光仪原理、双波长法等可以实现10−7~10−8 量级的空气折射率相对测量不确定度。根据Edlen 经验公式，通过精确测定环境参数（温度、湿度和大气压等），可以计算出空气折射率的精确值，用于补偿位移测量结果，其中温度是影响补偿精度的最主要因素。采用高精度铂电阻传感器，设备可以实现1 mK 的温度测量精度，其折射率的补偿精度可达10−8量级，接近Edlen 公式的补偿极限。环境控制技术是保证干涉仪亚纳米测量精度的另一种有效方法。在现行的DUV 光刻机中，采用气浴法，建立3 mK/5 min 以内恒温、10 Pa/5 min 以内恒压、恒湿气浴场，该环境中能够实现10−9~10−8 量级空气折射率的不确定度。对于深空引力波探测、下一代质量基准溯源等应用场合，对激光干涉仪工作的环境控制要求更为严苛，测量装置需置于真空环境中，此时，空气折射率引入的测量误差将被彻底消除。4 激光干涉测量技术发展趋势近年来，超精密位移测量的精度需求逐渐从纳米量级向亚纳米甚至皮米量级过渡。国内在激光干涉仪中的激光稳频、周期非线性误差消除和信号处理等关键技术上均取得了重大的突破。在LISA 团队规划的空间引力波探测方案中，要求在500 万千米的距离上，激光干涉仪对相对位移量需要具有10 pm 以内的分辨能力。面对更严苛的测量需求，超精密位移测量依然严峻面临挑战。激光干涉测量技术的未来发展趋势可以归结如下。1）激光波长存在的长期漂移和短期抖动是限制测量精度提升的根本原因。高精度稳频技术对激光波长不确定度的提升极限约为10−9量级。继续提升激光波长稳定度仍需要依托于下一阶段的工业基础，改善激光管本身的物理特性，优化光源质量。2）纳米级原理性光学周期非线性误差是限制激光干涉仪测量精度向亚纳米、皮米精度发展的重要瓶颈。消除和抑制第1 类和第2 类周期非线性误差后，仍残余数十皮米的非线性误差。由于周期非线性误差的表现形式与耦合关系复杂，想要进一步降低周期非线性误差幅值，需要继续探索可能存在的第3 类非线性误差机理。3）测量速度与测量分辨力的矛盾关系在动态锁相放大相位测量方法中得到初步解决。但面对深空引力波探测中高速、皮米的测量要求，仍然需要进一步探索弱光探测下的高分辨力相位细分技术；同时，需要研究高速测量过程中的动态误差校准技术。高速、高分辨力特征依旧是相位细分技术今后的研究方向。全文下载：亚纳米皮米激光干涉位移测量技术与仪器_激光与光电子学进展.pdf

p　　strong仪器信息网讯 /strong中国科学仪器行业“优秀新品”评选活动由仪器信息网发起，旨在将在中国仪器市场上推出的、创新性比较突出的国内外仪器产品全面、公正、客观地展现给广大的国内用户。“科学仪器行业优秀新产品”评选活动自2006年起已经成功举办了十三届，本次是第十四届。该活动自推出以来，受到越来越多的仪器用户、国内外仪器厂商以及相关媒体的关注和重视。/pp　　今日，2019年度中国科学仪器行业“优秀新品”评选活动“提名奖”揭晓，共79台各类仪器新品获奖。在技术评审委员会主席团监督下，经仪器信息网编辑审查、中国科学仪器行业“优秀新品”网络评审团评审，产生了本届中国科学仪器行业“优秀新品”评选活动“提名奖”名单，获“提名奖”的仪器新品进入到“优秀新品奖”评审环节。/pp　　获得“2019年度科学仪器优秀新产品”提名奖的行业专用类仪器4台、测量/计量仪器2台、电化学仪器2台、X射线类仪器1台，波谱仪器1台、元素分析类仪1台，其他分析仪器1台，获奖名单如下(排名不分先后):/ptable border="1" cellspacing="0" cellpadding="0" width="600" align="center"tbodytr class="firstRow"td width="72"p style="text-align:center "序号/p/tdtd width="284"p style="text-align:center "仪器名称/p/tdtd width="113"p style="text-align:center "型号/p/tdtd width="142"p style="text-align:center "创新点/p/tdtd width="239"p style="text-align:center "公司名称/p/td/trtrtd width="72"p style="text-align:center "1/p/tdtd width="284"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C368934.htm" target="_blank"牛津仪器宽带多核台式核磁共振谱仪X-Pulse/a/p/tdtd width="113"p style="text-align:center "X-Pulse/p/tdtd width="142"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/newproduct/innovation.asp?id=10308" target="_blank" title="牛津仪器宽带多核台式核磁共振谱仪X-Pulse"查看/a/p/tdtd width="239"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100233/" target="_blank"牛津仪器科技（上海）有限公司/a/p/td/trtrtd width="72"p style="text-align:center "2/p/tdtd width="284"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C368189.htm" target="_blank"岛津/Kratos X射线光电子能谱仪AXIS SUPRA+/a/p/tdtd width="113"p style="text-align:center "AXIS SUPRA+/p/tdtd width="142"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/newproduct/innovation.asp?id=10284" target="_blank" title="岛津/Kratos X射线光电子能谱仪AXIS SUPRA+"查看/a/p/tdtd width="239"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/sh100277/" target="_blank"岛津企业管理（中国）有限公司/岛津（香港）有限公司/a/p/td/trtrtd width="72"p style="text-align:center "3/p/tdtd width="284"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C368558.htm" target="_blank"海能T930 全自动水分滴定仪/a/p/tdtd width="113"p style="text-align:center "T930/p/tdtd width="142"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/newproduct/innovation.asp?id=10341" target="_blank" title="海能T930 全自动水分滴定仪"查看/a/p/tdtd width="239"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/sh101343/" target="_blank"济南海能仪器股份有限公司/a/p/td/trtrtd width="72"p style="text-align:center "4/p/tdtd width="284"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C313586.htm" target="_blank"雷磁ZDY-504型常量水分滴定仪/a/p/tdtd width="113"p style="text-align:center "ZDY-504/p/tdtd width="142"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/newproduct/innovation.asp?id=10348" target="_blank" title="雷磁ZDY-504型常量水分滴定仪"查看/a/p/tdtd width="239"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/sh100463/" target="_blank"上海仪电科学仪器股份有限公司（原上海精密科学仪器有限公司）/a/p/td/trtrtd width="72"p style="text-align:center "5/p/tdtd width="284"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C334035.htm" target="_blank"德国埃尔特红外碳硫分析仪ELTRA CS-d/a/p/tdtd width="113"p style="text-align:center "CS-d/p/tdtd width="142"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/newproduct/innovation.asp?id=10073" target="_blank" title="德国埃尔特红外碳硫分析仪ELTRA CS-d"查看/a/p/tdtd width="239"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/sh101146/" target="_blank"弗尔德(上海)仪器设备有限公司/a/p/td/trtrtd width="72"p style="text-align:center "6/p/tdtd width="284"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C371330.htm" target="_blank"BDFIA-8600流动注射分析仪（2019BCEIA金奖）/a/p/tdtd width="113"p style="text-align:center "BDFIA-8600/p/tdtd width="142"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/newproduct/innovation.asp?id=10372" target="_blank" title="BDFIA-8600流动注射分析仪（2019BCEIA金奖）"查看/a/p/tdtd width="239"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100808/" target="_blank"北京宝德仪器有限公司/a/p/td/trtrtd width="72"p style="text-align:center "7/p/tdtd width="284"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C337836.htm" target="_blank"车载紫外荧光硫分析仪CTS6160/a/p/tdtd width="113"p style="text-align:center "CTS6160/p/tdtd width="142"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/newproduct/innovation.asp?id=10066" target="_blank" title="车载紫外荧光硫分析仪CTS6160"查看/a/p/tdtd width="239"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH103851/" target="_blank"北京诺德泰科仪器仪表有限公司/a/p/td/trtrtd width="72"p style="text-align:center "8/p/tdtd width="284"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C263396.htm" target="_blank"C130H气体渗透测试系统/a/p/tdtd width="113"p style="text-align:center "C130H/p/tdtd width="142"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/newproduct/innovation.asp?id=10362" target="_blank" title="C130H气体渗透测试系统"查看/a/p/tdtd width="239"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/sh101887/" target="_blank"济南兰光机电技术有限公司/a/p/td/trtrtd width="72"p style="text-align:center "9/p/tdtd width="284"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C364683.htm" target="_blank"Dansensor 密封测试仪 LeakPointer 3/a/p/tdtd width="113"p style="text-align:center "LeakPointer 3/p/tdtd width="142"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/newproduct/innovation.asp?id=10203" target="_blank" title="Dansensor 密封测试仪 LeakPointer 3"查看/a/p/tdtd width="239"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH104268/" target="_blank"阿美特克膜康/a/p/td/trtrtd width="72"p style="text-align:center "10/p/tdtd width="284"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C319630.htm" target="_blank"低温探针测试平台/a/p/tdtd width="113"p style="text-align:center "Model 122/p/tdtd width="142"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/newproduct/innovation.asp?id=9662" target="_blank" title="低温探针测试平台"查看/a/p/tdtd width="239"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH100980/" target="_blank"QUANTUM量子科学仪器贸易（北京）有限公司/a/p/td/trtrtd width="72"p style="text-align:center "11/p/tdtd width="284"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C327518.htm"MS-10S(UVA) MS-11S（UVB） 高精度紫外辐射仪/a/p/tdtd width="113"p style="text-align:center "MS-10S(UVA) MS-11S（UVB）/p/tdtd width="142"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/newproduct/innovation.asp?id=9932" title="MS-10S(UVA) MS-11S（UVB） 高精度紫外辐射仪"查看/a/p/tdtd width="239"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH103476/"北京博伦经纬科技发展有限公司/a/p/td/trtrtd width="72"p style="text-align:center "12/p/tdtd width="284"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/C263022.htm"梅特勒-托利多XPR分析天平/a/p/tdtd width="113"p style="text-align:center "XPR系列/p/tdtd width="142"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/newproduct/innovation.asp?id=9854" title="梅特勒-托利多XPR分析天平"查看/a/p/tdtd width="239"p style="text-align:center "a href="https://www.instrument.com.cn/netshow/sh100270/"梅特勒-托利多中国/a/p/td/tr/tbody/tablep　　“2019年度科学仪器优秀新产品”提名奖获奖名单将在仪器信息网进行为期10天的公示。所有获奖新品的详细资料均可在新品栏目进行查阅，如果您发现获奖仪器填写的资料与实际情况不符，或非2019年上市的仪器新品，请您于2020年3月20日前向仪器信息网新品评审组举报和反映情况，一经核实，新品评审组将取消其获奖资格。/pp　　2019年，中国科学仪器行业“优秀新品”评选活动在原有年度“入围奖”和“优秀新品奖”的基础上对奖项设置进一步优化，以契合行业新品发布、上市的节奏，第一时间为用户提供新品选购的专业评价意见参考，特将评审周期由年度入围评审调整为季度入围评审，并相应设立“季度入围奖” 对应增设“提名奖”，现有“优秀新品奖”保留不变。br//pp　　为适应新的奖项设置，相应调整、建立三级评审体系和评审办法，在原有中国科学仪器行业“优秀新品”技术评审委员会的基础上，设立中国科学仪器行业“优秀新品”网络评审团，形成“网络评审团”、“技术评审委员会”、“技术评审委员会主席团”三级评审体系。按调整后的评选流程，企业申报后，编辑将进行“新品”资格审查，符合新品定义的仪器将历经三个阶段的评审：“季度入围奖”评审、“提名奖”评审、“优秀新品奖”评审。中国科学仪器行业“优秀新品”网络评审团分别承担“季度入围奖”、“提名奖”评审工作 中国科学仪器行业“优秀新品”技术评审委员会承担“优秀新品奖”评审工作 中国科学仪器行业“优秀新品”技术评审委员会主席团承担各个阶段评审工作的监督、检查工作，对季度入围奖名录、提名奖名录、优秀新品奖名录拥有最终裁决权。/pp　　仪器信息网新品评审组联系方式：/pp　　电话：010-51654077-8027 刘女士/pp　　传真：010-82051730/pp　　电子信箱：xinpin@instrument.com.cn/ppbr//p

近日，中国科学技术大学微纳光学与技术课题组王沛教授和鲁拥华副教授在大量程纳米位移光学感测研究方面取得重要进展。课题组利用光学超表面(metasurface)设计了一种简捷的光场偏振态空间编码，结合精巧的光学系统设计，发展了一种大量程(百微米量级)、高灵敏(亚纳米)、简捷实用的位移感测技术。该研究成果10月12日以“Ultrasensitive and long-range transverse displacement metrology with polarization-encoded metasurface”为题发表在《科学进展》上。 　　纳米精度的高灵敏位移测量对于半导体制造、精密加工和先进成像等领域都具有关键性作用。以半导体制造为例，不同层光刻图案的叠对误差对提升产品良率具有重要的作用。一般要求叠对误差测量技术(overlay metrology)的精度优于光刻线条宽度的五分之一。因此，对于10纳米以下节点的半导体制造工艺必须发展纳米及亚纳米的位移感测技术。 　　以往的研究表明，利用纳米光学天线的定向散射光场可以实现亚纳米位移感测的技术指标。课题组在先前的研究中也分别提出了硅纳米天线对(OE, 26 : 1000-1011, 2018)、表面等离激元天线对(PRL, 124, 243901, 2020)的技术方案。但是基于光学天线散射的感测方法通常只有百纳米的量程，且存在信噪比低的问题，给叠对误差测量等位移感测的实际应用带来较为苛刻的限制。 　　在这项研究工作中，课题组利用光学超表面独特的位相和偏振调控能力，将空间位置信息编码在光场的偏振取向上，并通过精巧的光学系统设计让光场两次经过超表面结构，从而将超表面相对于光束的横向位移信息转化为读出光强信息。由于超表面结构可以在亚波长精度上调控光场的偏振和位相分布，从而可以极大提高偏振空间编码的梯度，进而提高位移感测的灵敏度。 　　实验测试证明，这一偏振编码超表面系统的位移感测精度可以达到100皮米(图1)。进一步，课题组通过移相方法实现了测量范围的周期性延拓，并消除了感测灵敏度的“死区”，偏振编码超表面系统的感测量程可以拓展到200微米以上。 　　与基于光学天线散射的纳米位移感测技术不同，这项研究工作在保持亚纳米的位移感测精度的同时，极大地拓展了感测的量程，而且，通过光强读出位移信息，具有可工程化、简单可靠且精度高的特点，为其在叠对误差测量等位移感测领域的实际应用带来便捷。 图1 偏振编码超表面位移感测系统示意图和实验测试结果 　　光电子科学与技术安徽省重点实验室的臧昊峰、席铮特任教授和张植宇为该论文的共同第一作者，鲁拥华副教授和王沛教授为共同通讯作者。该工作得到了科技部重点研发项目、国家自然科学基金区域创新发展联合基金和先进激光技术安徽省实验室主任基金的经费资助。

装备制造业是为国民经济各行业提供技术装备的战略性产业，产业关联度高、吸纳就业能力强、技术资金密集，是各行业产业升级、技术进步的重要保障和国家综合实力的集中体现。　　为应对国际金融危机的影响，落实党中央、国务院关于保增长、扩内需、调结构的总体要求，确保装备制造业平稳发展，加快结构调整，增强自主创新能力，提高自主化水平，推动产业升级，特编制本规划，作为装备制造业综合性应对措施的行动方案。规划期为2009－2011年。　　一、装备制造业现状及面临的形势　　经过多年发展，我国装备制造业已经形成门类齐全、规模较大、具有一定技术水平的产业体系，成为国民经济的重要支柱产业。特别是《国务院关于加快振兴装备制造业的若干意见》（国发〔2006〕8号）实施以来，装备制造业发展明显加快，重大技术装备自主化水平显著提高，国际竞争力进一步提升，部分产品技术水平和市场占有率跃居世界前列。我国已经成为装备制造业大国，但产业大而不强、自主创新能力薄弱、基础制造水平落后、低水平重复建设、自主创新产品推广应用困难等问题依然突出。同时，受国际金融危机影响，2008年下半年以来，国内外市场装备需求急剧萎缩，我国装备制造业持续多年的高速增长势头明显趋缓，企业生产经营困难、经济效益下滑，可持续发展面临挑战。　　应该看到，我国目前正处于扩大内需、加快基础设施建设和产业转型升级的关键时期，对先进装备有着巨大的市场需求；金融危机加快了世界产业格局的调整，为我国提供了参与产业再分工的机遇，装备制造业发展的基本面没有改变。必须采取有效措施，抓住机遇，加快产业结构调整，推动产业优化升级，加强技术创新，促进装备制造业持续稳定发展，为经济平稳较快发展做出贡献。　　二、指导思想、基本原则和目标　　（一）指导思想。　　全面贯彻落实党的十七大精神，以邓小平理论和“三个代表”重要思想为指导，深入贯彻落实科学发展观，依托国家重点建设工程，大规模开展重大技术装备自主化工作；通过加大技术改造投入，增强企业自主创新能力，大幅度提高基础配套件和基础工艺水平；通过加快企业兼并重组和产品更新换代，促进产业结构优化升级，全面提升产业竞争力，努力推进装备制造业由大到强的转变。　　（二）基本原则。　　坚持装备自主化与重点建设工程相结合。加强政策支持和市场引导，充分利用实施重点建设工程和调整振兴重点产业形成的市场需求，加快推进装备自主化，保障工程需要，带动产业发展。　　坚持自主开发与引进消化吸收相结合。支持企业自主开发新产品，鼓励开展引进消化吸收再创新，引导企业逐步由依赖引进技术向自主创新转变，大力推进技术产业化。　　坚持发展整机与提高基础配套水平相结合。努力实现重大技术装备自主化，带动基础配套产品发展。提高基础件技术水平，开发特种原材料，扭转基础配套产品主要依赖进口的局面。　　坚持发展企业集团与扶持专业化企业相结合。支持装备制造骨干企业通过兼并重组发展大型综合性企业集团，鼓励主机生产企业由单机制造为主向系统集成为主转变，引导专业化零部件生产企业向“专、精、特”方向发展，形成优势互补、协调发展的产业格局。　　（三）规划目标。　　1．产业实现平稳增长。保持装备制造业生产经营稳定，增加值占全国工业增加值的比重逐步上升，为扩大内需、转变发展方式、确保国民经济稳定增长提供保障。　　2．市场份额逐步扩大。提高国产装备质量水平，扩大国内市场，国产装备国内市场满足率稳定在70%左右，巩固出口产品竞争优势，稳定出口市场。　　3．重大装备研制取得突破。全面提高重大装备技术水平，满足国家重大工程建设和重点产业调整振兴需要，百万千瓦级核电设备、新能源发电设备、高速动车组、高档数控机床与基础制造装备等一批重大装备实现自主化。　　4．基础配套水平提高。基础件制造水平得到提高，通用零部件基本满足国内市场需求，关键自动化测控部件填补国内空白，特种原材料实现重点突破。　　5．组织结构优化升级。形成若干家具有国际竞争力的科工贸一体化大型企业集团，形成一批参与国际分工的“专、精、特”专业化零部件生产企业。　　6．增长方式明显转变。生产组织方式和重要生产工艺得到改进，现代制造服务业得到发展，单位工业增加值能耗、物耗和污染物排放显著降低，劳动生产率显著提高，大型企业集团的现代制造服务收入占销售收入比重达到20%以上。　　三、产业调整和振兴的主要任务　　（一）依托十大领域重点工程，振兴装备制造业。　　1．高效清洁发电。以辽宁红沿河、福建宁德和福清、广东阳江、浙江方家山和三门、山东海阳以及后续核电站建设工程为依托，推进二代改进型、AP1000核电设备自主化，重点实现压力容器、蒸汽发生器、控制棒驱动机构、核级泵阀、应急柴油机等主要设备的国内制造。以东北、西北、华北北部和沿海地区大型风电场工程为依托，推进风电设备自主化，重点实现变频控制系统、风电轴承、碳纤维叶片等产品的国内制造。进一步提高70万千瓦以上水电设备、大型抽水蓄能机组、百万千瓦级超临界/超超临界火电设备、大型燃气机组、垃圾焚烧发电设备等技术装备的性能质量。开发太阳能发电设备。发展大型火电、核电站辅机。　　2．特高压输变电。以特高压交直流输电示范工程为依托，以交流变压器、直流换流变压器、电抗器、电流互感器、电压互感器、全封闭组合电器等为重点，推进750千伏、1000千伏交流和±800千伏直流输变电设备自主化。　　3．煤矿与金属矿采掘。以平朔东、胜利东二号、白音华、朝阳等十个千万吨级大型露天煤矿，酸刺沟等十个深井煤矿，以及大型金属矿建设为依托，大力发展新型采掘、提升、洗选设备，重点实现电牵引采煤机、液压支架、大型矿用电动轮自卸车、大型露天矿用挖掘机等设备的国内制造。　　4．天然气管道输送和液化储运。以西气东输二线、陕京三线等天然气管道输送工程为依托，发展长距离输送管道燃压机组、大型管线球阀和控制系统等装备；以浙江、江苏、珠海、青岛等液化天然气接收站工程为依托，发展大型液化天然气运输船及接收站等设备。　　5．高速铁路。以在建的京沪、京广、京沈、沪昆等约1万公里高速铁路客运专线，以及西部干线铁路、煤运通道建设项目为依托，组织实施铁路交通设备自主化，实现高速动车组、大功率交流传动电力/内燃机车、重载货车、大型养护机械等装备的国内制造。　　6．城市轨道交通。以北京、上海、广州、深圳等17个城市近70条线路工程项目为依托，重点实施城市轨道交通车辆、信号系统、列车网络控制系统、制动系统、主辅逆变器等机电设备自主化。　　7．农业和农村。以国家新增千亿斤粮食工程为依托，大力发展大功率拖拉机及配套农机具、节能环保中型拖拉机等耕作机械，通用型谷物联合收割机、新型半喂入式水稻联合收割机、高效玉米联合收割机、自走式采棉机等收获机械，免耕播种机，节水型喷灌设备等。适应新农村建设、农业现代化的需要，重点发展农产品精深加工成套设备、灌溉和排涝设备、沼气除料设备、农村安全饮水净化设备等。　　8．基础设施。适应交通、能源、水利、房地产等行业发展需要，以大型隧道全断面掘进机、大型履带吊和全路面起重机、架桥机、沥青混凝土搅拌和再生成套设备等为重点，发展大型、新型施工机械；以空管设备和空管自动化系统、行李和货物高速分拣系统、安检设备与智能化监测系统、航显综合系统及设备、机场信息集成系统及设备等为重点，发展机场专用装备；以大型斗轮堆取料机、翻车机、装卸船机等为重点，发展港口机械。　　9．生态环境和民生。适应环境保护和社会民生需要，大力发展污水污泥处理设备、脱硝脱硫设备、余热余气循环再利用设备、环境在线监测仪器仪表，食品、药品、煤矿瓦斯等安全检测设备，重大事故应急救援设备，数字化医疗设备等。　　10．科技重大专项。加快实施高档数控机床与基础制造装备科技重大专项，重点研发高速精密复合数控金切机床、重型数控金切机床、数控特种加工机床、大型数控成形冲压设备、重型锻压设备、清洁高效铸造设备、新型焊接设备与自动化生产设备、大型清洁热处理与表面处理设备等八类主机产品，基本掌握高档数控装置、电机及驱动装置、数控机床功能部件、关键部件等的核心技术。　　（二）抓住九大产业重点项目，实施装备自主化。　　1．钢铁产业。以钢铁产业调整和振兴规划确定的工程为依托，以冷热连轧宽带钢成套设备、大型板坯连铸机、彩色涂层钢板生产设备、大型制氧机、大型高炉风机、余热回收装置等为重点，推进大型冶金成套设备自主化。　　2．汽车产业。结合实施汽车产业调整和振兴规划，重点提高汽车冲压、装焊、涂装、总装四大工艺装备水平，实现发动机、变速器、新能源汽车动力模块等关键零部件制造所需装备的自主化。　　3．石化产业。以石化产业调整和振兴规划确定的工程为依托，以千万吨级炼油、百万吨级大型乙烯、对苯二甲酸（PTA）、大化肥、大型煤化工和天然气输送液化储运等成套设备，大型离心压缩机组、大型容积式压缩机组、关键泵阀、反应热交换器、挤压造粒机、大型空分设备、低温泵等为重点，推进石化装备自主化。　　4．船舶工业。结合实施船舶工业调整和振兴规划，重点提高焊接、涂装工艺装备水平，实现船用柴油机、曲轴、推进器、舱室设备、甲板机械等关键零部件制造所需装备的自主化。　　5．轻工业。结合实施轻工业调整和振兴规划，以食品机械、制浆造纸机械、塑料成型机械、制革制鞋机械、光机电一体化缝制机械、包装设备以及食品安全检测设备等为重点，推进轻工机械自主化。　　6．纺织工业。结合实施纺织工业调整和振兴规划，以粗细联、细络联、高速织造设备，非织造成套设备、专用织造成套设备，高效、连续、短流程染整设备等为重点，推进纺织机械自主化。　　7．有色金属产业。结合实施有色金属产业调整和振兴规划，以高精度轧机、大断面及复杂截面挤压机等为重点，推进有色冶金设备自主化。　　8．电子信息产业。结合实施电子信息产业调整和振兴规划，以集成电路关键设备、平板显示器件生产设备、新型元器件生产设备、表面贴装及无铅工艺整机装联设备、电子专用设备仪器及工模具等为重点，推进电子信息装备自主化。　　9．国防军工。结合国防军工发展需要，以航空、航天、舰船、兵器、核工业等需要的关键技术装备，以及试验、检测设备为重点，推进国防军工装备自主化。发挥军工技术优势，促进军民结合。　　（三）提升四大配套产品制造水平，夯实产业发展基础。　　1．大型铸锻件。重点发展大型核电设备铸锻件，百万千瓦级超临界/超超临界火电机组铸锻件，70万千瓦以上等级大型混流式水轮机组铸锻件，石化、煤化工重型容器锻件，冷热连轧机铸锻件，大型船用曲轴、螺旋桨轴锻件，大型轴承圈锻件等。　　2．基础部件。重点发展大功率电力电子元件、功能模块，大型、精密轴承，高精度齿轮传动装置，高强度紧固件，高压柱塞泵/电动机、液压阀、液压电子控制器、液力变速箱，气动元件，轴承密封系统、橡塑密封件等。加快发展工业自动化控制系统及仪器仪表、中高档传感器等。　　3．加工辅具。重点发展大型精密型腔模具、精密冲压模具、高档模具标准件，高效、高性能、精密复杂刀具，高精度、智能化、数字化量仪，高档精密磨料磨具等。　　4．特种原材料。重点发展耐高温、耐高压、耐腐蚀电站用钢（钢管），大型变压器用高磁感取向硅钢，高压、特高压输变电设备用绝缘材料，高速列车转向架、轮对用特种钢，飞机用高档铝型材，轴承、齿轮、模具、量具、刃具、高强度紧固件用特种钢，机床滚珠丝杠和直线导轨专用钢材，高耐磨钢，高强度、耐高温、低磨损、长寿命复合密封材料等。　　（四）推进七项重点工作，转变产业发展方式。　　1．加快产业组织结构调整。重点支持装备制造骨干企业跨行业、跨地区、跨所有制重组，逐步形成具有工程总承包、系统集成、国际贸易和融资能力的大型企业集团。加大对重点基础配套企业的投入力度，引导民营资本和外资投向基础零部件、加工辅具等领域，发展一批高起点、大规模、专业化企业，健全产业配套体系。　　2．增强自主创新能力。加大科研投入力度，集中攻克一批长期困扰产业发展的共性技术。加快建设一批带动性强的国家级工程研究中心、工程技术研究中心、工程实验室等，提升企业产品开发、制造、试验、检测能力。推进以企业为主体的产学研结合，鼓励科研院所走进企业，支持企业培养壮大研发队伍。　　3．提高专业化生产水平。改进企业生产组织方式，合理配置资源，整合区域内铸造、锻造、热处理、表面处理四大基础工艺能力，建设专业化生产中心。加大技术改造投入力度，推广先进制造技术和清洁生产方式，提高材料利用率和生产效率，降低能耗，减少污染物排放。　　4．加快完善产品标准体系。加快制（修）订装备产品技术标准，提高标准水平，促进新技术、新工艺、新设备、新材料的推广应用，淘汰落后产品。跟踪国际先进技术发展趋势，注重与国际标准接轨，积极参与国际标准制（修）订工作，促进自主创新产品进入国际市场。　　5．利用境外资源和市场。充分吸收借鉴境外先进管理经验，有选择地引进先进技术，为海外专业技术人才回国工作创造良好条件，提高我国装备制造业技术水平。支持有条件的企业兼并重组境外企业和研发机构。稳定和扩大装备产品出口，提高出口产品技术含量、附加值和成套水平。　　6．发展现代制造服务业。围绕产业转型升级，支持装备制造骨干企业在工程承包、系统集成、设备租赁、提供解决方案、再制造等方面开展增值服务，逐步实现由生产型制造向服务型制造转变。鼓励有条件的企业，延伸扩展研发、设计、信息化服务等业务，为其他企业提供社会化服务。　　7．加强企业管理和人才队伍建设。引导装备制造企业加快改革步伐，优化产权结构，转换经营机制，建立现代企业制度，加强企业管理，全面提高科学决策和生产、经营水平，增强参与国际竞争和防范市场风险的能力。改进企业生产组织方式，加强产品质量管理，落实各项安全生产措施，提高生产效率和产品质量。加强人才队伍建设，重点引进和培养创新型研发设计人才、开拓型经营管理人才、高级技能人才等专业人才，强化职工培训，提高职工队伍素质，满足企业可持续发展需要。　　四、政策措施　　（一）发挥增值税转型政策的作用。　　充分发挥增值税转型政策对企业技术进步的促进作用，鼓励企业加大技术改造力度，加快装备更新，调整产品结构，推动企业技术进步。　　（二）加强投资项目的设备采购管理。　　中央预算内投资项目要支持自主创新的技术装备。项目申报文件中须附有设备采购清单，项目咨询评估阶段需对设备采购方案进行评估，项目实施阶段要加强对设备招投标的监督和指导，确保自主创新设备采购方案的落实。　　（三）鼓励使用国产首台（套）装备。　　建立使用国产首台（套）装备的风险补偿机制。鼓励保险公司开展国产首台（套）重大技术装备保险业务。　　（四）加大技术进步和技术改造投资力度。　　制定《装备制造业技术进步和技术改造项目及产品目录》，支持使用国产首台（套）重大技术装备，支持目录内装备的自主化、节能节材减排改造、企业兼并重组后内部资源整合、区域性四大基础工艺中心建设、发展现代制造服务业等。　　（五）支持装备产品出口。　　完善出口退税政策，适当提高部分高技术、高附加值装备产品的出口退税率。鼓励金融机构增加出口信贷资金投放，支持国内企业承揽国外重大工程，带动成套设备和施工机械出口。　　（六）调整税收优惠政策。　　鼓励开展引进消化吸收再创新，对生产国家支持发展的重大技术装备和产品，确有必要进口的关键部件及原材料，免征关税和进口环节增值税。在对铸件、锻件、模具、数控机床产品增值税实行先征后返的政策到期后，研究制定新的税收扶持政策，调整政策适用范围，引导发展高技术、高附加值产品。　　（七）推进企业兼并重组。　　制定鼓励境内企业跨地区、跨行业、跨所有制重组的政策措施，妥善解决富余人员安置、债务核定与处置、财税利益分配等问题；对重组企业发行股票、企业债券、公司债券、中长期票据、短期融资券以及申请贷款等予以支持；对境内企业并购境外制造企业和研发机构，可给予相关项目贷款贴息支持。鼓励金融机构在风险可控的条件下开展境内外并购贷款业务。　　（八）落实节能产品补贴和农机具购置补贴政策。　　用好节能产品补贴资金，对购买高效节能装备产品的终端用户给予补贴，2009年先行开展对高效电机推广应用的补贴。抓紧落实好农机具购置补贴政策，及早兑现到户。　　（九）建立产业信息披露制度。　　适时向社会发布产业政策导向、项目核准、企业重组、产能利用、进出口、生产销售库存等信息，为企业投资决策、银行贷款、土地预审等提供信息指导。　　（十）支持产品检验检测和认证机构建设。　　加强产品质量检验检测能力建设，提高质量检测水平。建设高速铁路、城市轨道交通等新型装备产品检验检测和认证机构，完善国家强制性产品认证体系。　　五、规划实施　　国务院有关部门要根据《规划》分工，尽快制定完善相关政策措施，密切配合，形成合力，确保《规划》顺利实施。要适时开展《规划》的后评价工作，及时提出评价意见。　　各地区要按照《规划》确定的目标、任务和政策措施，结合当地实际抓紧制定具体落实方案，确保取得实效。具体工作方案和实施过程中出现的新情况、新问题要及时报送发展改革委、工业和信息化部等有关部门。

黏着力测试仪NZ-30是赛成依据2015年药典0952黏附力测定法中第四法要求研制。本仪器适用于测定贴膏剂、贴剂敷贴的黏性表面与皮肤附着后对皮肤产生的黏附力的大小。广泛应用于制药厂家、药检机构等单位。产品特点◎ 微电脑控制，液晶屏显示，实时测试曲线图同步画出，专业测控软件支持。◎ 丝杠传动系统，大大提高了传动位移的准确性，可以实现无级调速功能。◎ 采用高精度传感器，测试结果准确可靠。◎ 配备微型静音打印机。测试原理本机采用卧式结构，精密丝杠传动系统拖动负载夹头，有效提高了位移精度。整机由拖动电机、主机壳、微电脑控制器、 微型打印机等组成。测试标准中华人民共和国药典 2015年版应用领域NZ-30黏着力测试仪适用于贴剂、凝膏剂、膏药、医用辅料等材料的胶粘表面进行黏着力测定。创新点：◎ 微电脑控制，液晶屏显示，实时测试曲线图同步画出，专业测控软件支持。◎ 丝杠传动系统，大大提高了传动位移的准确性，可以实现无级调速功能。◎ 采用高精度传感器，测试结果准确可靠。◎ 配备微型静音打印机。赛成上新NZ-30黏着力试验机 胶粘制品专用仪器

主题：Next Level of Precision: Customized Motion & Sensing Solutions[报告简介]德国attocube公司致力于提供超高精度与稳定性的纳米位移解决方案。其提供的多种压电定位器，非常适合各种端环境。另外与基于光纤式的皮米精度激光干涉仪相结合，为先进的纳米定位系统奠定了基础，并实现了亚纳米精度的位移控制精度。我们将展示：☛ 为显微镜应用定制的亚纳米位移解决方案☛ 为端环境中的亚纳米应用及反馈解决方案☛ 如何结合位移和传感解决方案，实现限纳米位移精度 您将收获：☛ 对实现真正纳米精度和度的关键问题的详细见解☛ attocube以应用为中心的工程研发流程概述☛ 现场问答环节，与attocube工程师讨论您的具体需求问题[注册链接]欢迎点击此链接https://app.livestorm.co/attocube-systems-ag/next-level-of-precision-customized-motion-and-sensing-solutions?type=detailed观看讲座。[主讲人介绍][报告时间]开始： 2021年7月28日 15:00（CST）结束： 2021年7月28日 15:30（CST） 2021年7月28日 15:30（CST） 2021年7月28日 15:30（CST）请点击注册报名链接，预约参加在线讲座（北京时间21:00开始）[更多相关报告]1. ON-Demand: Moiré excitons in 2D semiconductor heterostructures2. Online DEMO: Nano-precise optical displacement measurement (on-demand)3. Online DEMO: Nano-precise positioning with multi-axis piezo stages (on-Demand)4. Online Demo: Standardized Calibration of CNC Machines & CMMs (on-demand)5. Online Demo: Standardized Calibration of CNC Machines & CMMs6. Online DEMO: Nano-precise positioning with multi-axis piezo stages7. Online DEMO: Nano-precise optical displacement measurement8. Moiré excitons in 2D semiconductor heterostructures[技术线上论坛]http://www.qd-china.com/zh/n/2004111065734

各有关单位：根据国家市场监督管理总局下达的国家计量技术规范制修订计划，全国生态环境监管专用计量测试技术委员会已组织完成《环境空气二氧化碳高精度监测检定系统表》等9项国家计量技术规范征求意见稿的编制工作。为确保国家计量技术规范科学性、适用性和可操作性，现面向社会公开征求意见和建议，请于2023年10月11日前填写征求意见反馈表，并以邮件形式反馈至全国生态环境监管专用计量测试技术委员会秘书处。逾期视为无意见。联系人:徐 驰 电话： 010-84943294意见反馈邮箱：secretary@cnemc.cn附件：1.《环境空气二氧化碳高精度监测检定系统表》征求意见稿2.《环境空气二氧化碳高精度监测检定系统表》编制说明3.《环境空气二氧化碳、甲烷高精度光谱监测系统校准规范》征求意见稿4.《环境空气二氧化碳、甲烷高精度光谱监测系统校准规范》编制说明5.《固定污染源CO2排放连续监测系统校准规范》征求意见稿6.《固定污染源CO2排放连续监测系统校准规范》编制说明7.《环境空气颗粒物（PM2.5）连续自动监测系统现场校准规范》征求意见稿8.《环境空气颗粒物（PM2.5）连续自动监测系统现场校准规范》编制说明9.《环境空气颗粒物中有机碳、元素碳监测系统校准规范》征求意见稿10.《环境空气颗粒物中有机碳、元素碳监测系统校准规范》编制说明11.《环境空气氟化物采样器校准规范》征求意见稿12.《环境空气氟化物采样器校准规范》编制说明13.《林格曼烟气黑度图板校准规范》征求意见稿14.《林格曼烟气黑度图板校准规范》编制说明15.《水质总有机碳在线分析仪现场校准规范》征求意见稿16.《水质总有机碳在线分析仪现场校准规范》编制说明17.《环境监测用液体标准物质比对通用技术规范》征求意见稿18.《环境监测用液体标准物质比对通用技术规范》编制说明19.《全国生态环境监管专用计量测试技术委员会国家计量技术规范征求意见反馈表》全国生态环境监管专用计量测试技术委员会秘书处2023年8月11日

8月9日，我国自主研发的质子位移损伤效应模拟试验装置（PREF）——60MeV质子加速器建成出束，首次成功储存、加速、慢引出质子到实验终端。质子位移损伤效应模拟试验装置（PREF）由中国科学院近代物理研究所承担建设，可提供10-60MeV能量段连续精确可调、高流强、高占空比、大扫描面积的高品质质子束流，是目前国内唯一的位移损伤效应模拟试验专用装置。质子位移损伤效应模拟试验装置——60MeV质子加速器全景图。受访者供图基于几代离子加速器设计、建造的技术和经验积累，近代物理研究所加速器团队首次在超小型质子同步加速器中采用了钛合金瓷环内衬极高真空室及全储能非谐振大功率电源新技术，研发了快上升全波形动态磁场补偿和全系统同步性实时测量技术，实现了加速器全过程数字模拟和束流的精准操控。同时，团队还通过工程全系统BIM（建筑信息模型）建模，严控工艺规范和流程，实现了工程质量大幅提升，为装置的高效运行打下了良好基础。据了解，该装置基于重大基础前沿研究需求而研发，将填补我国空间辐射效应试验能力缺项，成为承载我国空间科学、空间技术和国产宇航元器件发展的重要试验平台。同时，该装置的建成出束也将为我国应用加速器的进一步推广打下坚实基础。PREF质子同步环束流强曲线。受访者供图

2016年5月30日，国家质检总局公布了质检总局2016年专用仪器设备采购项目的中标结果，项目共计6个，涉及28类仪器设备，采购金额共计3亿元。 作为中国顶尖的纯水系统制造商、实验室纯水系统领域唯一的“国产好仪器”，和泰系列实验室纯水系统产品，成功中标单独第二十七包：纯水机，以综合最具竞争力的价格和性价比优势基本包揽了此类目下的所有纯水机分项（A、B、D、E、F分项），是国产实验室纯水系统生产厂家中标分项最多的企业。详细中标结果如下： 在国内外众多仪器品牌中，尤其国外品牌一直占主导地位的质检、检验检疫系统项目中，和泰此次能成功中标国家质检总局的设备采购项目，充分证明了和泰实验室纯水系统产品的竞争力，印证了我们沿袭“专业、稳健、进取、创新”的道路前进的正确性，充分说明了和泰在中国实验室纯水市场的领导地位，当然，离不开多年来和泰对产品品质与服务的追求，更离不开用户与合作伙伴对和泰的信任支持！ 我们将继续秉承“您的需要，我们创造-Createfor your need ”的理念，为实验室、医疗、工业客户提供更专业而全面的纯水系统解决方案，为和泰产品的用户和合作伙伴创造价值！

关于调整大型环保及资源综合利用设备等　　重大技术装备进口税收政策的通知　　财关税[2010]50号　　各省、自治区、直辖市、计划单列市财政厅(局)、工业和信息化主管部门、国家税务局，新疆生产建设兵团财务局，海关总署广东分署、各直属海关：　　按照《财政部 国家发展改革委 工业和信息化部 海关总署 国家税务总局 国家能源局关于调整重大技术装备进口税收政策的通知》(财关税[2009]55号)规定，根据国内相关产业发展情况，在广泛听取有关主管部门、行业协会及企业意见的基础上，经研究决定，对大型环保和资源综合利用设备、应急柴油发电机组、机场行李自动分拣系统、重型模锻液压机及其关键零部件、原材料进口税收政策予以调整，现通知如下：　　一、自2010年6月1日起，对符合规定条件的国内企业为生产国家支持发展的大型环保和资源综合利用设备、应急柴油发电机组、机场行李自动分拣系统、重型模锻液压机(见附件1)而确有必要进口部分关键零部件、原材料(见附件2)，免征关税和进口环节增值税。　　二、自2011年1月1日起，对财关税[2009]55号文件附件《重大技术装备进口税收政策暂行规定》第三条所列项目和企业进口本通知附件3所列自用设备以及按照合同随上述设备进口的技术及配套件、备件，一律征收进口税收。　　三、国内企业申请享受本通知附件1有关领域进口税收优惠政策的，具体申请要求和程序应按照财关税[2009]55号文件有关规定执行。其中，企业在2010年6月1日至12月31日、2011年1月1日至12月31日期间进口规定范围内的零部件、原材料申请享受本进口税收政策的，分别应在2010年10月15日至11月15日、2011年3月1日至3月31日期间按照财关税[2009]55号文件规定的程序提交申请文件。　　工业和信息化部或省级工业和信息化主管部门应按照财关税[2009]55号文件规定审查企业的申请文件，申请文件符合规定的，应当予以受理，并向申请企业出具受理证明文件。申请企业凭受理部门出具的证明文件，可向海关申请凭税款担保先予办理有关零部件及原材料放行手续。省级工业和信息化主管部门在2010年10-11月和2011年3月期间受理的申请企业，应在2011年4月15日前一并将申请文件及初审意见汇总上报工业和信息化部。　　四、《财政部海关总署国家税务总局关于调整重大技术装备进口税收政策暂行规定有关清单的通知》(财关税[2010]17号)附件1、2、3中“大型高炉余压透平发电装置”更名为“大型高炉煤气余压透平能量回收利用装置”，国内企业申请享受该装备进口税收优惠政策的，具体申请要求和程序比照本通知第三条执行。　　财关税[2010]17号文件附件3第十三类“输变电设备”项下“直流输变电设备”包括第1、2、4、5、9条商品 “交流输变电设备”包括第10、11、13、14、15、17、18条商品 “交直流通用输变电设备”包括第3、6、7、8、12、16、19、20、21、22、23、24、26条商品。　　附件：1.大型环保及资源综合利用设备等重大技术装备目录　　2.大型环保及资源综合利用设备等重大技术装备进口关键零部件、原材料商品清单　　3.进口不予免税的部分重大技术装备目录　　附件1：　　大型环保及资源综合利用设备等重大技术装备目录编号名称技术规格要求销售业绩要求一大型清洁高效发电装备　　（一）百万千瓦级核电机组　　2常规岛设备：应急柴油发电机组50Hz/6.6Kv/10.5kV持有合同订单九大型环保及资源综合利用设备　　（一）大气污染治理设备　　4300MW及以上燃煤电站烟气脱硝成套设备：吸收剂系统、催化反应设备脱硝效率：70-90%，氨逃逸率≤3ppm持有合同订单（二）工业废水、城市污水、污泥处理设备　　1城市污水处理成套设备：转盘式膜反应分离器、转盘式微滤机转盘式膜反应分离器：过滤精度≤0.038μm，出水浊度＜2NTU； 转盘式微滤机：过滤精度≤10μm，出水固体悬浮物＜10mg/l持有合同订单2污泥处理成套设备：污泥浓缩脱水设备、中低温污泥干化处理设备污泥浓缩脱水设备:处理能力≥20m3/h； 中低温污泥干化处理设备：处理能力≥50m3/d，出泥含固率≥60%DS持有合同订单3水质在线监测系统可在线监测CODcr、总磷、氨氮、TOC、UV、高锰酸盐指数、总氮六价铬、正磷酸盐指数等项目。持有合同订单（四）资源综合利用设备　　5煤气综合利用净化设备: 脱酸塔、喷淋式饱和器　持有合同订单6木塑产品生产线　持有合同订单十大型施工机械和基础设施专用设备　　（二）机场专用设备　　1机场行李自动分拣系统单套分拣能力大于5000件/小时持有合同订单十二大型、精密、高速数控设备、数控系统、功能部件与基础制造装备　　（三）基础制造装备　　2重型模锻液压机400MN及以上持有合同订单　　　注：该目录的编号按照财关税[2010]17号文件附件1已有序列编制。　　财政部 工业和信息化部　　海关总署 国家税务总局　　二○一○年九月三十日

中国国际机床展览会正如火如荼地开展，无数明星展品争相斗艳，让人目不暇接。立足百年计量专长，精准应对国内高端制造装备的切实需求，海克斯康于CIMT期间发布一款重量级新产品——国产Xpert高精度检测平台。全新产品传承海克斯康在计量领导优势的机械设计、运动控制与测量软件技术，精度高达0.5μ+，是海克斯康目前精度最高的国产测量装备，供货周期短、服务响应快，全面解决各类现实性因素和需求下激发的国内制造商对本地化高精度设备的需求，解决复杂零部件的检测难题，将广泛应用于航空航天、精密制造和电子等高端制造业。百年计量专长，国产高精度巅峰之作现场发布会中介绍到，海克斯康旗下拥有众多高端检测系列产品和解决方案，仅仅是旗下百年Leitz品牌就有大量高精度、高速率测量的设计专利。Xpert就是基于海克斯康百年的计量专长，打造的国产高精度巅峰之作。它采用先进的机械设计和运动控制技术，拥有增强型平衡支架、主体全花岗岩材料、稳定坚固的封闭框架结构、专业的移动工作台设计、精密滚珠丝杠传动，保证更好的性能和长期稳定性。在软件领域，配置专用的测量软件及附件包，适用性更强，应用更灵活，为用户提供一站式解决方案。丰富的本地化经验，强化快速响应伴随《质量强国建设纲要》的发布，国家对制造业的高质量发展指明了方向。中国制造业也正在不断往高精尖方向发展，对于高精度检测的产品需求也相应的增加。然而进口装备交付难、周期慢等也是横在高端制造快速发展眼前的重要问题。在高精度及超高精度领域，海克斯康已经拥有非常广泛的用户基础和成熟的服务经验。Xpert的面世便是将本地化经验和快速响应能力充分放大。在丰富的本地化应用经验基础上，凭借全国5大研发中心，6大生产基地和22大方案中心的服务网络，快速触达每位客户需求。直面复杂零部件，实现定制化检测Xpert高精度检测平台专为高速、高精度测量机设计，满足各种零部件的高精度测量，是专为破解复杂零部件检测难题而生。同时，平台配备了定制化附件包，操作人员无需编程即可运行检测程序，并且可以定制化全尺寸检测与评价，目前已成功在RV减速器应用，后续会陆续上线和更新更多丰富的附件包，充分满足各种零部件的高精度测量。助力中国制造高质量发展，海克斯康持续为中国企业提供本地化、快速响应的服务。本次国产Xpert高精度检测平台的发布，正是海克斯康全球技术能力与本地化快速服务的集大成之作，也是海克斯康全面赋能中国智造的又一次有力证明。

税收政策是政府对市场经济进行宏观干预的重要措施。税收政策的变动调整对于相关行业的发展影响力巨大。仪器行业作为我国科技发展的基础性行业，在税收政策上被政府给予了较大的支持力度，包括减税、免税以及通过税收调整仪器进出口情况等。2021年上半年，我国也出台了多项与仪器行业相关的税收政策，详情如下： 　　制造业研发费用加计扣除比例提高 　　3月31日，财政部和税务总局发布关于进一步完善研发费用税前加计扣除政策的公告，自2021年1月1日起，将制造业研发费用加计扣除比例由75%提高到100%，相当于企业每投入100万元研发费用，可在应纳税所得额中扣除200万元。 　　本条所称制造业企业，是指以制造业业务为主营业务，享受优惠当年主营业务收入占收入总额的比例达到50%以上的企业。制造业的范围按照《国民经济行业分类》(GB/T 4574-2017)确定，仪器仪表制造业也享受这一结构性减税政策。 　　同时，研发费用加计扣除清缴核算方式也进行了一定调整，允许企业自主选择按半年享受加计扣除优惠，上半年的研发费用由次年所得税汇算清缴时扣除改为当年10月份预缴时即可扣除。 　　“十四五”期间支持科技创新进口税收政策 　　4月20日，财政部、海关总署、税务总局发布关于“十四五”期间支持科技创新进口税收政策的通知。政策规定对科学研究机构、技术开发机构、学校、党校(行政学院)、图书馆进口国内不能生产或性能不能满足需求的科学研究、科技开发和教学用品，免征进口关税和进口环节增值税、消费税。 　　同时，政策特别指出对纳入国家网络管理平台统一管理、符合本通知规定的免税进口科研仪器设备，符合科技部会同海关总署制定的纳入国家网络管理平台免税进口科研仪器设备开放共享管理有关规定的，可以用于其他单位的科学研究、科技开发和教学活动。 　　先进制造业增值税期末留抵退税 　　4月1日起，仪器仪表以及运输设备、电气机械、医药、化学纤维等制造业企业进入先进制造业企业增值税留抵退税政策范围，实行按月全额退还增量留抵税额。 　　4月28日，财政部与税务总局再次发布公告，明确符合条件的“非金属矿物制品”“通用设备”“专用设备”“计算机、通信和其他电子设备”“医药”“化学纤维”“铁路、船舶、航空航天和其他运输设备”“电气机械和器材”“仪器仪表”销售额占全部销售额的比重超过50%且符合条件的纳税人可以自2021年5月及以后纳税申报期向主管税务机关申请退还增量留抵税额。 　　先进制造业纳税人当期允许退还的增量留抵税额，按照以下公式计算：允许退还的增量留抵税额=增量留抵税额×进项构成比例。 　　部分石油（天然气）、煤层气勘探相关仪器进口免除关税 　　4月30日，财政部、海关总署、税务总局发布关于“十四五”期间能源资源勘探开发利用进口税收政策的通知。 　　通知规定： 　　1.对陆上特定地区石油(天然气)勘探开发作业的自营项目，进口国内不能生产或性能不能满足需求的，并直接用于勘探开发作业的设备(包括按照合同随设备进口的技术资料)、仪器、零附件、专用工具，免征进口关税； 　　2.对陆上石油(天然气)勘探开发作业的中外合作项目以及海洋石油(天然气)勘探开发作业的项目、煤层气勘探开发作业的项目，进口国内不能生产或性能不能满足需求的，并直接用于勘探开发作业的设备(包括按照合同随设备进口的技术资料)、仪器、零附件、专用工具，免征进口关税和进口环节增值税。 　　3.对经国家发展改革委核(批)准建设的跨境天然气管道和进口液化天然气接收储运装置项目，以及经省级政府核准的进口液化天然气接收储运装置扩建项目进口的天然气(包括管道天然气和液化天然气，下同)，按一定比例返还进口环节增值税。 　　重大技术装备进口税收政策有关目录修订发布 　　5月13日，工信部公示重大技术装备进口税收政策有关目录(2021年修订)，内容包括《国家支持发展的重大技术装备和产品目录(2021年修订)》、《重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录(2021年修订)》和《进口不予免税的重大技术装备和产品目录(2021年修订)》。其中不予进口税收优惠产品目录新增和调整项目主要主要集中于集成电路、生物医疗、分析检测仪器领域。如新增了大气PM2.5在线源解析质谱监测系统、大气在线离子色谱仪等。 　　《研发机构采购国产设备增值税退税管理办法》修订发布 　　6月22日国家税务总局修订发布《研发机构采购国产设备增值税退税管理办法》，将采购国产设备给予了全额退还增值税政策实施期限延长为2021年1月1日至2023年12月31日。办理增值税退税的研发机构和国产设备的具体范围，按照《财政部 商务部 税务总局关于继续执行研发机构采购设备增值税政策的公告》第一条、第二条和第四条的规定执行。 　　退税政策涉及的国产设备具体包括以下四类：实验环境方面，如超净设备、恒温设备等；样品制备设备和装置，如分离、纯化、浓缩设备等；实验室专用设备，如材料科学专用设备、特种数据记录设备等；计算机工作站，中型、大型计算机。

2017年5月11日，国家质检总局公布了国家质检总局2017年专用仪器设备采购项目(招标编号：0702-1741citc5m06)的中标公告。作为中国知名的纯水系统制造商、实验室纯水系统领域首届唯一、蝉联的“国产好仪器”，HHitech和泰系列实验室纯水系统产品，成功中标“第二十七包：纯水机”，以综合最具竞争力的价格和性价比优势，包揽了此类目下的所有纯水机分项（A、B、C、D、E、F分项），是全部中标入围的国产实验室纯水系统生产厂家。详细中标结果如下：国家质检总局2017年专用仪器设备采购项目(招标编号：0702-1741citc5m06)和泰中标一览表（招标编号：0702-1641CITC5M08）包号/包名称品目号中标供应商中标品牌中标产品第二十七包：纯水机　　　　　A:EDI可再生纯水机中康中卫(上海)生物科技有限公司HHitech和泰EDI-Q10 B:纯水机中康中卫(上海)生物科技有限公司HHitech和泰Master-Q15 C:RO膜可再生纯水机中康中卫(上海)生物科技有限公司HHitech和泰Smart-RO15-1 D:RO纯水机中康中卫(上海)生物科技有限公司HHitech和泰Smart-RO15 E:超纯水系统中康中卫(上海)生物科技有限公司HHitech和泰Master-S15UVF F:纯水/超纯水系统中康中卫(上海)生物科技有限公司HHitech和泰Master-S15UF 在国内外众多仪器品牌中，尤其国外品牌一直占主导地位的质检、检验检疫系统项目中，HHitech和泰2017年能再次成功中标入围国家质检总局的设备采购项目的全部纯水机分项，充分证明了和泰实验室纯水系统产品及品牌的竞争力，当然，离不开多年来和泰对产品品质与服务的追求，更离不开用户与合作伙伴对和泰的信任支持！我们将继续秉承“您的需要，我们创造-Createfor your need ”的理念，为实验室、医疗、工业客户提供更专业而全面的纯水系统解决方案，为和泰产品的用户和合作伙伴创造价值！

国务院关税税则委员会近日发布了《国务院关税税则委员会关于2023年关税调整方案的公告）》，根据《中华人民共和国进出口关税条例》及相关规定，2023年1月1日起，对部分商品的进出口关税进行调整。随通知公布的还有《2023年关税调整方案》、《进口商品暂定税率表》、《部分信息技术产品最惠国税率表》、《部分冻鸡产品最惠国税率调整表》、《关税配额商品税目税率表》、《自由贸易协定和优惠贸易安排实施税率表》、《出口商品税率表》、《进出口税则税目调整表》等附表。2023年科学仪器调整的具体内容：《进出口税则税目调整表》中，主要列出了2022年和2023年税则税目的对比，包括税则号列、货品名称、最惠国税率、普通税率和调整说明。调整后，删除了税则号为9015.1000的测距仪子目。删除了税则号为8479.5010的多功能工业机器人字目，并新增8479.5011协作机器人和8479.5019其它子目。子目8479.5011所称“协作机器人”，是指能和人类在共同工作空间中协同工作的机器人，由执行机构、一体化关节和控制系统组成，其中一体化关节又由伺服电机、减速器、编码器、驱动器和通信总线等组成。新增了9018.9080手术机器人子目。子目9018.9080所称“手术机器人”，是指由机械臂、控制台、成像系统等部分组成，能以微创方式实施复杂的外科手术的一种医疗设备。包括骨科手术机器人、腔镜手术机器人、神经外科手术机器人、放射介入手术机器人。《进口商品暂定税率表》中，列出了税则号列、商品名称、2023年最惠国税率和2023年暂定税率，涉及包括X射线断层检查仪专用探测器、X射线断层检查仪专用闪烁体、准直器、用于90章下列环境产品，包括太阳能定日镜、其他测量海洋、水文、气象或地球物理用仪器及设备，测量，检验液体流量或液位的仪器，测量、检验压力的仪器及装置，90.26其他税号未列名的液体或气体测量仪器及装置，气体或烟雾分析仪，色谱仪和电泳仪，使用光学射线（紫外线，可见光，红外线）的分光仪、分光光度计及摄谱仪以及其他理化分析仪器及装置，用于测量、记录、分析和评估环境样品或对环境的影响的理化分析仪器及装置，检镜切片机，轮廓投影仪，光栅测量装置，其他光学测量或检验仪器和器具，测振仪，手振动仪，具有可再生能源和智能电网应用的自动电压和电流调节器，自动调控流量、液位和湿度的仪器,且在其他税目未列名的零附件。《部分信息技术产品最惠国税率表》中，主要列出了税则号列、商品名称和最惠国税率，最惠国税率按照2022上半年和下半年税率分别列出。《部分信息技术产品最惠国税率表》中列出分析仪器、测试测量等仪器和仪器相关零件、附件的最惠国税率，部分仪器2023年最惠国税率为0，部分仪器2022年下半年降为0。以上涉及的具体仪器类别可下载附件查看。2022年1月1日起实施：2023年关税调整方案.pdf附1 进口商品暂定税率表.pdf附2 部分信息技术产品最惠国税率表.pdf附3 部分冻鸡产品最惠国税率调整表.pdf附4 关税配额商品税目税率表.pdf附5 自由贸易协定和优惠贸易安排实施税率表.pdf附6 出口商品税率表.pdf附7 进出口税则税目调整表.pdf

屠宰场专用非洲猪瘟检测仪-实时荧光定量PCR仪器#2022已更新【品牌型号：天合环境TH-P800】猪作为非洲猪瘟的唯一宿主，病毒野猪、家猪、蜱虫、受污染的猪排泄物及饲料等。我国境内野猪极小，且大部分的养殖场附近无野猪，蜱虫一般传播范围较小，从目前来看非洲猪瘟传播及扩散更大可能在于家猪、受污染的猪排泄物及饲料，方式主要是生猪及猪肉产品。生猪在调运（包括仔猪购买运输）过程中，携带病毒的生猪位移及长途运输过程中猪的排泄物容易掉落在沿途公路带来了病毒的扩散。部分养殖户喜欢用厨余或者猪肉加工的边角料喂养生猪，如果含有非洲猪瘟病毒的猪肉产品未能有效将非洲猪瘟病毒灭活，猪采食了含了非洲猪瘟的饲料极为容易疫情感染。一、仪器用途非洲猪瘟病毒检测是非洲猪瘟防控工作的重要举措，意义重大。为进一步提高非洲猪瘟病毒检测结果准确性，规范非洲猪瘟病毒诊断制品生产、经营和使用行为，2021年1月1日起，各有关部门和单位在动物检疫或疫病监测、诊断中，对生猪及其产品开展非洲猪瘟病毒检测，应当使用已取得农业农村部核发的产品批准文号的非洲猪瘟病毒诊断制品，确保检测结果准确。天合非洲猪瘟PCR检测仪(实时荧光定量PCR仪支持变温检测)用于运行病毒检测实验，并对实验数据进行分析 仪器既可在实验室内操作，又可用于野外科学实验，配合相应试剂，对取自待检测样本的分析物或其他分析物中的目标核酸进行快速、准确的定性检测。天合非洲猪瘟检测仪配套非洲猪瘟病毒荧光pcr检测试剂盒、非洲猪瘟病毒荧光pcr核酸检测试剂盒均已经获得农业农村部产品批准，可以满足非洲猪瘟核酸现场快速检测需求。可定量快速畜牧类疾病诊断如非洲猪瘟、禽流感、猪瘟、猪蓝耳、伪狂犬等疾病，广泛应用于养殖场、屠宰场、食品加工厂、肉产品深加工企业、农业农村部、畜牧局、检验检疫单位使用。实验员需要经过实验室技术和仪器、软件操作的专门培训，具备熟练的相关操作技能。二、仪器特点1.体积小，重量轻，易于携带。轻松满足外出实验的需求。2.内置7寸高清电容屏PDA，触屏操作，简便快捷。3.Marlow高品质Peltier制冷片，结合德国高端PT1000温度传感器以及电性电阻加热补偿边缘的温度控制模式，最大升温速度7℃，最大降温速度5℃，大大缩短实验时间。4.整板3s快速采光模式，保证实验结果孔位一致性。5.简洁直观的软件引导，轻松开启检测实验。三、非洲猪瘟PCR检测仪应用领域□基础科学研究□病原体检测□肉制品掺假□转基因检测□食品安全检测□药物开发及合理用药□基因表达□水体监测四、技术参数样品容量：8x0.2ml、支持8联管适用耗材：常见透明PCR耗材，8x0.2ml排管，0.2ml单管反应体系：5-120ul反应模式体系加热/制冷模块：进口半导体热电模块温度控制范围：4°C-99℃升降温平均速率≥2°C/秒温控精度：≤±0.1°C温度均匀性：≤±0.2°C温控区域数量：多点(2点)梯度数：0个梯度温度范围：无梯度孔数：无激发光源：免维护led激发光波长范围：400-700nm检测部件：进口光电检测器检测通道数：标配1通道(FAM)适用染料和探针：FAM/SYBR Green I软件功能：荧光定量PCR系统软件 实时扩增反应曲线功能 特定标本实时反应曲线显示 数据分析功能 阴阳结果自动判定功能 图形化显示功能。噪音：45 dB屏幕尺寸：7英寸(HD)触摸屏：电容式外接USB：支持数据导入导出热盖：自动压力调节外观尺寸：（长宽高）355X200X124mm净重：约2.5Kg

养殖专用在线荧光法溶解氧传感器1200元起-惊艳上市随着技术的进步和客户对产品性能、体验要求的提高，各类电子仪器也在不断更新换代，东润溶解氧传感器经历了两次升级后，1200元起/高颜值/高性价比/优质量/多功能并存的新一代荧光法溶解氧传感器上市啦！（解释权归东润市场部所有 详询400-600-1619）第一代溶解氧第一代溶解氧——取得发明专利。第二代溶解氧第二代溶解氧-工业环保专用，外观及性能优化、取得CCEP环保认证、山东省名牌产品。第三代溶解氧1、自主研发新型氧敏感膜。2、软硬件进行了性能升级。3、精简结构，性价比提高。4、耐淡水海水，养殖专用。由于水产养殖集约化规模的不断扩大，水环境监测问题至关重要，尤其是在沿海以及内地湖泊等地区，水体中有毒物质增多、氧含量缺少或饱和都会严重影响水质，造成水生生物的大量死亡。现代化的水产养殖需要依靠各种先进的科学技术，FDO-99SE在线荧光法溶解氧传感器是专门为渔业养殖过程监测而设计的产品，能够快速准确地测量出水中溶解氧的浓度。♢ 自主研发新型氧敏感膜本款荧光法溶解氧传感器采用特制光化学材料和配方，自主研发新型氧敏感膜，自带NTC温补功能，解决了国内荧光膜响应速度慢、灵敏度低、使用寿命短的问题，测量结果具有良好的稳定性和可靠性。♢ 软硬件进行了性能升级 线路板重新布线与布局，数字与模拟分开，优化了信号波形，消除了干扰信号；软件功能再完善。通过算法计算，调整标定点再次提升测量精度，并把标定时实时大气压的影响考虑在内，实现产品测试。♢ 精简结构，性价比提高 20多年自主研发，从研发、技术、工艺、采购用料、生产等各环节降本，一定限度让利用户！ ♢ 耐淡水海水，养殖专用 产品采用POM材料制作而成，具有高强度、耐磨性，还有优良的电绝缘性，适合淡水养殖与海水养殖，是一款渔业养殖专用的溶解氧传感器。 ♢ 5-24V宽电压，一定限度满足现场多电压兼容需求。 ♢ 电源、通讯错接保护。 具备防电源和通讯接线错接保护。仪器特点▶ 测量稳定；▶ 自带温度补偿；▶ 无须标定，出厂时已做3D标定；▶ 无须更换固态电极或膜／电解液；▶ 没有流速，搅动要求；▶ 不会因为硫化物而“中毒”；▶ 不受“热扰动”影响；▶ 不受下列物质的交叉干扰：H₂S、pH、CO₂、NH₃、SO₄²-、Cl-、Cl₂等；▶ 荧光膜使用寿命可达1年以上； ▶ 功能损耗超低，可采用太阳能电池供电；1END1山东东润仪表科技股份有限公司成立于1998年3月，主要从事水环境在线监测仪器和物（液）位仪表的研发、生产、销售和计算机物联网软件的开发及系统工程的设计、集成与服务。不断学习、创新、创造和制造行业前列的技术与产品，成为监测智能设备和数字化系统解决方案世界品牌，东润仪表致力于为人类健康、环境美好、社会效益做出贡献。公司荣誉资质：国家专利及软件著作权百余项/发明专利十余项/软件著作权50余项/国家专精特新重点“小巨人”企业/高新技术企业/双软认证企业/山东省水环境监测分析工程技术研发中心/山东省科技进步奖/华为技术认证/电子与智能化工程专业承包二级资质/山东省海洋科技创新奖/ 质量/环境/职业健康/测量/安全管理体系认证… …

2015年7月9日，国家质检总局网站发布目招标公告，就国家质检总局2015年120万元以上专用仪器设备采购项目所需的货物和服务，以国内公开招标方式进行招标采购。　　本次采购的50套仪器设备中，包括8套质谱系统，此外还有数字PCR检测仪、波长色散X射线荧光光谱仪、样品前处理系统、现场微生物快速检测系统、高通量基因分析系统等一系列仪器设备。　　此次发布的招标公告共37包，其中有6包不接收进口产品投标。　　招标编号：OITC-G15026171-1包号品目号货物名称数量（套）用途简要技术要求用户单位是否允许进口产品投标11Cs-137&gamma 射线辐照装置和定位系统1检测Cs-137放射源等效活度：3.7× 1013Bq计量院否21深硅刻蚀系统1检测系统能够提供至少7路气体（SF6、CF4、CHF3、C4F8、O2、Ar、He）到刻蚀腔室计量院是318声道气体超声流量计2检测声道布置：8声道计量院是41氢原子钟2检测温度灵敏度：&le 2.0E-15/℃计量院是51参考协议分析仪1检测测试板卡多用户使用计量院是61手机综合测试仪1检测频率范围：350MHz至3.6 GHz计量院是71高精度6D姿态测量系统1检测测量距离：不小于3m计量院是81高温热膨胀仪1检测分辨率：&le 0.125 nm/digit计量院是91精密万能测长仪1检测内尺寸绝对测量：（0.8～300）mm计量院是101光学扫描仪校准标准器组1检测扫描速度：&ge 480,000次测量/秒计量院是111短波长工具显微镜1检测视场数：&ge 22mm计量院是　　备注：第1包，不接受进口产品参加投标 第2、3、4、5、6、7、8、9、10、11包，接受进口产品参加投标(进口产品指通过中国海关报关验放进入中国境内且产自关境外的产品)。　　招标编号：0722-156FE331YNO包号品目号货物名称数量（套）用途简要技术要求用户单位是否允许进口产品投标11超高效液相-三重四级杆线性离子阱质谱联1兽药检测ESI正离子: 1pg 利血平，考察 m/z 609195，S/N 120000:1；ESI负离子: 1pg 氯霉素，考察 m/z 321152，S/N 120000:1"云南局是2超高效液相色谱-串联四极杆质谱联用仪1毒素和非法添加剂检测ESI正离子灵敏度：柱上进样，1pg 利血平，MRM分析测量m/z195（子离子）、m/z609（母离子）， 信噪比&ge 20000:1。辽宁局是3液相色谱三重四极杆质谱联用仪1食品检测ESI+灵敏度：1pg利血平直接进样，MRM分析测量609＞195m/z信噪比S/N 30000:1（RMS），需要提供原始数据，并放大噪音部分，以显示背景水平。ESI-灵敏度：1pg氯霉素直接进样，MRM分析测量312＞152m/z信噪比S/N 30000:1（RMS），需要提供原始数据，并放大噪音部分，以显示背景水平。广东局是4高分辨率液相色谱-串联质谱仪1食品检测质量数范围：m/z 10-1200 amu，保证全质量范围内均可达到超高灵敏度和稳定性ESI正离子灵敏度：1pg 利血平，MRM分析测量m/z195（子离子）、m/z609（母离子），柱上进样，信噪比&ge 80000:1。50fg和1pg利血平分别连续进样10次，峰面积CV 小于5%。需要提供原始数据，并放大噪音部分，以显示背景水平；山东局是21感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS ）1元素分析适合于复杂基质、氢氟酸及高盐度等各类样品的分析。分析的质量范围4-280 amu。仪器采集速度达到100000点/秒。四极杆跳转速度 0.6M amu/秒。新疆局是2液相-电感耦合等离子-质谱仪1食品元素分析质量范围：4－260amu或更宽丰度灵敏度： 在M＋1处优于107，在M－1处优于106。瞬时采集速度不低于10000点/秒。线性动态范围：大于 9个数量级。同位素比精度：107Ag/109Ag 同位素比， RSD ＜ 0.1％。福建局是3ICP-MS1重金属检测质量范围：2－280amu。质量校准的稳定性应优于0.05amu/8小时，不使用多点寻峰算法。线性动态范围：大于 9个数量级。同位素比精度：定义为 107Ag/109Ag 的同位素比，使用25ng/L的溶液，RSD 0.08％。宁波局是4液相-电感耦合等离子-质谱仪1重金属检测质量数范围4-256amu背景：&le 1.0 cps （在质量数9或220，测定实际背景）二价离子产率(Ce2+/Ce+)：&le 3.0 %短期稳定性(RSD): &le 3% (20 min)长期稳定性(RSD): &le 4% (2 hrs)同位素精度比：107 Ag/109 Ag 0.1%福建局是31数字PCR检测仪1生物检测采用乳液或固相方式形成数字PCR技术体系仪器可同时检测24个以上样品；山东局是41立式分布光度计1光源测量测量时灯具燃点姿态不变，灯具测量最大尺寸1600mm，最大重量50kg；广东局否　　备注：第4包，不接受进口产品参加投标 第1、2、3包，接受进口产品参加投标(进口产品指通过中国海关报关验放进中国境内且产自关境外的产品)。　　招标编号：0730-156112BJ0019包号品目号货物名称数量（套）用途简要技术要求用户单位是否允许进口产品投标11高精度有机高分子材料筛查系统1检测质量范围： m/z高端不小于2250；扫描速度：&ge 15000 amu/sec；质量稳定性：不低于0.05amu/12h检科院是21全自动样品存储管理系统1检测支持二维码或条形码或RFID射频标签；能够无缝对接FreezerPro等软件系统进行样品管理，并与其他系统进行对接和管理，具备安全和审核功能；详细的审核日志提供良好的数据可追踪性检科院是31激光共聚焦显微镜1检测固态激光器405nm 功率&ge 30mW；多线氩离子激光器（含458 nm, 488nm, 514nm激发谱线）功率&ge 25mW；固态激光器561nm 功率&ge 20mW检科院是41组合式多浓度动物口鼻吸入暴露系统1检测气溶胶发生器产生的气溶胶空气动力学直径MMAD:1 -4&mu m ，GSD:1.5-3；粉尘气溶胶粒径分布质量中值直径:1-4&mu m，几何标准差:1.5-3；质量流量：10mg～20000mg/min检科院是51应力超声测量系统1检测测量应力时材料厚度范围覆盖10~120mm；应用应力测量误差（外加负载）&le 10 Mpa；残余应力测量误差&le 0.15&sigma y (屈服强度) Mpa特检院是61慢应变速率应力腐蚀实验系统1检测最大拉伸载荷：&ge 50KN；拉伸速度范围：1 x 10-4~1x10-8mm/s；拉伸杆最大位移：&ge 40mm特检院是71&Phi 720mm大容积高压气瓶专用自动超声波探伤设备（含设备附件）2检测发射/接收板多通道转换器采样频率&ge 40 MHz；增益（或衰减）范围：＞90dB；信噪比：仪器在正常检测灵敏度条件下，轴向检测大于8 dB，周向检测应大于12 dB特检院否81管道腐蚀在线成像检测系统1检测像素间距不大于148&mu m；10mm钢板用EN463.5标准双丝像质计测试空间分辨率不低于8D；一次成像面积不小于220× 220mm；动态范围不低于14Bit；特检院是91反康普顿高纯锗谱仪1检测峰康比： 800 ：1（反康模式下）；9 X 9 英寸，能量分辨率：&le 9.5 %；3 X 3 英寸，能量分辨率：&le 7 %厦门局是　　备注：第1、2、3、4、5、6、8包如所投产品为进口产品，必须由境外投标人或在保税区注册的投标人参与投标。　　招标编号：0733-156212216201包号品目号主要产品清单11热场发射环境扫描电子显微镜21情景再现辅助设备31车辆路径跟随系统　　备注：第1、2、3包接受进口产品参加投标(进口产品指通过中国海关报关验放进中国境内且产自关境外的产品)。　　招标编号：0733-156212216301包号品目号货物名称数量（套）用途简要技术要求用户单位是否允许进口产品投标11汽车制动器惯性试验台1检测轻型车驱动电机：功率大于200kW；15～2000r/min，控制精度&le ± 1r/min，无级可调中重型汽车驱动电机：功率大于300kW；15～1200r/min，控制精度&le ± 1r/min，无级可调广西局否21抗扰度测试系统1检测测量准确度(1kHz sine)：最小± 0.05 dB江苏局是31国境口岸出入境人员及行包核与辐射有害因子2检测辐射定位精度：&le 2° 深圳局否41波长色散X射线荧光光谱仪1检测高压发生器稳定性：顺序扫描式仪器高压发生器外电源波动1%时，输出波动&le 0.00006%（固定通道仪器外电源波动1%时，输出波动&le 0.0006%）新疆局是51免疫生化一体机1检测进样方式：任选自动进样，最大样本为365个，可连续进样。免疫模块同时可容纳135个样本，不少于35个急诊位置，100个常规样本位置，可灵活满足批量样本和单个样本进样。上海局是61样品前处理系统1检测去盖和分类速度：&ge 250标本/小时（在分注样品体积为1500ul时）广东局是71全自动生化分析仪1检测实际光学检测速度：&ge 1600 Test/小时浙江局是81现场微生物快速检测系统4检测检测激发波长/发射光谱使用的激发波长为960nm-995nm，发射光谱主峰波长为525nm-575nm；山东局否91棉花大容量综合测试仪（HVI）1检测测试速度：7个半小时可测试不低于1000个样品，每个测试样品测试2个长强子样、1个马克隆子样、4个色杂子样。4个色杂子样测试中不需操作员翻样，4个色杂子样测试时间不超过15秒。中纤局是　　备注：第1、3、8包，不接受进口产品参加投标 第2、4、5、6、7、9包，接受进口产品参加投标(进口产品指通过中国海关报关验放进中国境内且产自关境外的产品)。　　招标编号：15CNIC01-5020包号品目号货物名称数量（套）用途简要技术要求用户单位是否允许进口产品投标11高通量基因分析系统1检测*技术：通过双脱氧末端终止法的金标准测序技术实现长片段的快速测序并通过片段分析技术实现基因分型。湖北局是　　备注：接受进口产品参加投标(进口产品指通过中国海关报关验放进中国境内且产自关境外的产品)。