普发残余气体分析仪

因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准 残余气体分析仪 Hicube RGA 上海伯东销售维修德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA. 四极杆质谱 PrismaPro 与 HiCube 涡轮分子泵组的搭配, 质量数范围 1-300, 高分辨率和灵敏度. 适用于残余气体分析, 过程监测, 泄漏检测.残余气体分析仪 Hicube RGA 优势残余气体分析和氦气泄漏检测模式可用于从大气压至高真空环境高分辨率和灵敏度通过真空压力监测保护灯丝进气系统带集成式切断阀Pfeiffer 残余气体分析仪 Hicube RGA 技术规格 涡轮分子泵组HiCube&trade Eco功耗170W电压（范围）110 - 240 V 50 / 60 Hz氮气抽速67 l/s前级泵在 50 Hz 时的泵送速度1 m3/h极限真空1X10-7 hPa真空计PKR 361测量范围1X10-9 至 1X103 hPa阀门EVN 116气体流量可调整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s进气口DN 16 ISO-KF PrismaProQMG 250 F1QMG 250 F2QMG 250 F3QMG 250 M1QMG 250 M2QMG 250 M3检测器法拉第 Faraday (F)电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)质量数 amu1–1001–2001–3001–1001–2001–300四极杆直径／长度6 /125 mm最小检测极限 F hPa *1,24X10-135X10-137X10-13---最小检测极限 M hPa *1,2---3X10-154X10-155X10-15对Ar的灵敏度 F A/hPa*35X10-44X10-43X10-45X10-44X10-43X10-4最大工作压力 F hPa5X10-4最大工作压力 M hPa---5X10-55X10-55X10-5对临近质量数的影响*1 10 ppm 20 ppm 50 ppm 10 ppm 20 ppm 50 ppm操作温度 分析200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)操作温度 电子5 – 50 °C烘烤温度 分析300 °C连接法兰DN 40 CF-F保压时间1 ms – 16 s/amu峰比值可重复性± 0.5 %接口以太网电源电压100–240 V AC，50/60 HzHiCube&trade RGA重量25.5 - 26.2 kg 残余气体分析仪 Hicube RGA 典型应用 残余气体分析: 对真空系统中残余气体的分析, 可以获知在达到所需的最终压力或调节要求时, 残余物质的组成. 由此可以得出各种有关系统表面性质, 脱附行为, 纯度和密封性以及工艺气体成分的结论. 这将为您提供有关真空室或真空组件状态的重要信息.泄漏检测: 上海伯东 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA 具有氦气泄漏检测模式, 可以通过软件控制激活. 此功能可以方便您发现真空系统中的任何泄漏.过程监控: HiCube RGA 可以在最大 300u 的测量范围内随时间观察任意数量的选定质量强度, 并可对选定的各质量分配警报循环阈值. 如果它们高于或低于所需极限, 则可以通过数字输出将信号提供给更高级别的控制系统. 因此残余气体分析仪 HiCube RGA 能够提供实时过程观察和控制功能. EVN 116 气体计量阀还可以使真空系统中的压力适应相应过程需求, 此外, 集成式切断阀还允许对泄漏设定点进行快速开/关控制.质量保证和过程优化: 诸如提供气体成分定量测定, 确定过程气体纯度, 以及监测真空镀膜过程相关气体成分等能力, 残余气体分析仪 HiCube RGA 是过程记录和质量保证中的重要工具. 即使测量正在执行, 所有测量值也会得到存储, 并且可以在不停止测量的情况下追踪. 即使仍在执行测量, 也可以导出测量结果以进行进一步分析.若您需要进一步的了解残余气体分析仪详细信息或讨论, 请联络：上海伯东: 叶女士 上海伯东版权所有, 翻拷必究！

残余气体分析仪四极杆质谱仪是用于在真空系统中评估残余气体成分的经典测量仪。质谱仪为气体成分质量 - 电荷比供应的离子电流提供有关真空系统在多个操作阶段有用的信息，无论是用于确定安装后的气密性和无污染性还是在操作真空处理时用于其特性。根据真空室和抽气系统的设计，在真空系统中获得的压力范围决定了质谱仪对检测器的选择。在高真空中，通常一个法拉第检测器就足够了，而在高真空中检测非常低的气体密度时，一个二级电子倍增器是必要的。另一个重要标准则是待检测的质量范围。在传统的真空系统中，大气中的气体，例如氮气、氧气、氩气、水蒸汽等，通常受到轻烃污染是重点。为了检测这些气体，范围在 1 至 100 原子质量单位 (amu) 之间的四极杆质谱仪是理想的，因为在该范围内显示了良好的质量分离。若较重的气体及其组成成分也须检测出来，如长链烃，普发真空也为此提供了范围在 1?200 amu 或 1?300 amu 之间的质量过滤器。开放的离子源在大多数残余气体分析任务中是最佳选择，因为它们将稳健的设计与较高的检测灵敏度相结合。凭借封闭或交叉束离子源，可有利地掌握必须分析气体喷流或气体流的任务。对于超高真空范围，也可提供具有极低释气率的栅网离子源。由于有大量的部件可供选择，且得益于普发真空四极杆质谱仪的精确配置，质谱仪可作为所有测量任务的最佳选择。我们的产品和应用专家拥有多年的经验，将十分乐意为您提供有关残余气体分析仪配置方面的一些建议。PrismaPlust四极质谱仪：PrismaPlusTM是新型定量定性气体分析和检漏的质谱仪。该四极质谱仪积累了丰富的应用经验，高灵敏度，高稳定性和智慧化操作的完美结合是 PrismaPlusTM 四极质谱仪新的优点。在适用中客户将感受到它坚固，紧凑的设计和简单的系统集成，并从中受益。通过可选择质量数范围，检测器、离子源和介面介面等，该四极质谱仪可以应用于多个领域，例如：工业和分析领域、研发、检漏、半导体生产以及镀膜工艺等。PrismaPlusTM 四极质谱仪是从品质保证，残气分析直至综合的定量分析工作等应用领域的最佳方案。PrismaPlusTM 四极质谱仪可 以在三个不同的质量数范围（1-100，1-200，1-300 amu）内，下至检测极限1*10-14 mbar 情况下给出精确的检测结果。在真空系统中，配合有效的法拉, 第和电子倍增检测仪，即使很低程度的污染也可以被快速地识别出来。除显示可选择的分压外，直接增加一个压力量规，PrismaPlusTM 四极质谱仪就可以作为一个精确的全压监控器使用。Quadera 软件不仅操作简单，它还提供了捕获和观察所有测试资料以及参数记录的易读平台。结合多种可供选择的介面介面，例如乙太网，数位式和类比式输入输出，可以方便地集成到各种系统中去。轻点滑鼠就可以启动预设的功能。Hiquad700是一款高分辨率的四极质谱议质量范围选择为 1-2048 amu超过九个数量级的动态量程极快的测量速度：0.125 ms/amu最小可检分压 10E-16 mbar极高的分辨能力，可以分析小分子气体同位素分压比0.3ppb超过 10 个不同的离子源和离子光学组合离散或连续倍增电极电子倍增器选件用于正负离子以及中性粒子分析的离子计数前置放大器IO 选项：8 个模拟输入/输出和 32 个数字输入/输出软件功能强大，灵活实用且具友好的用户界面

价格电议Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro上海伯东德国 Pfeiffer 残余气体分析仪(四级杆质谱仪)集高灵敏度, 高稳定性和智能操作于一体, 配置新一代的操作软件 PV MassSpec, 可定量定性评估真空系统中的残余气体成分. 最低可检测分压 3 X10-15 hPa.Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 特性:模块化设计保证兼容性, JSON 编程界面和多种接口易于系统集成 分析仪器和电子单元可灵活互换 双灯丝延长工作时间 最低可检测分压 3 X10-15 hPa可直接连接真空计, 方便测量压力 Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 技术参数:型号QMG 250 F1QMG 250 F2QMG 250 F3QMG 250 M1QMG 250 M2QMG 250 M3检测器法拉第 Faraday (F)电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)质量数 amu1–1001–2001–3001–1001–2001–300四极杆直径／长度6 /125 mm最小检测极限 F hPa *1,24X10-135X10-13 7X10-13---最小检测极限 M hPa *1,2---3X10-154X10-15 5X10-15对Ar的灵敏度 F A/hPa*35X10-4 4X10-43X10-45X10-44X10-43X10-4工作压力 F hPa5X10-4 工作压力 M hPa---5X10-5 5X10-55X10-5对临近质量数的影响*1 10 ppm 20 ppm 50 ppm 10 ppm 20 ppm 50 ppm操作温度 分析200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)操作温度 电子5 – 50 °C烘烤温度 分析300 °C连接法兰DN 40 CF-F保压时间1 ms – 16 s/amu重量2.5 kg3.2 kg* 1 开放式离子源,* 2 停留时间 4秒*3 与C-SEM相比, 具有较高的灵敏度Pfeiffer 残余气体分析仪结构视频若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请联络上海伯东罗先生