普发氦质谱检漏系统

ZXL-840型氦质谱检漏仪一、 产品介绍ZXL-840型，分体设计。主机部分和机械泵部分可以方便的拆装。方便维护和更换抽气泵。 二、主要配置 1. 德国普发进口检漏仪专用分子泵2. 中韩合资品牌百仪优成机械泵3. 配置标准漏口4. 美国AD放大器5. 采用质谱专用模块 三、主要技术指标1. 最小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s2. 漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s3. 启动时间：≤5min4. 响应时间：≤1.0s5. 检漏口的最高压力：1000Pa6. 电源要求：220v，50Hz，单相，10A7. 工作环境：5-35℃8. 相对湿度：≤80%9. 外形尺寸：550（w）×420（D）×900（H）10. 重量：62kg[color=r

目前国内制作钢瓶的厂家很多采用水检法，即将消防钢瓶打上一定的压力，大约 2 MPa，然后将整个钢瓶放入水槽中，看有无气泡冒出，但是使用此方法只能检到漏孔比较大的情况，根据计算得出：气泡直径为Æ 2.26mm 在每分钟冒出一个气泡的情况下漏率约为 1.0 x 10-4 mbar l/s，对于小漏的检测比较难实现。随着我国出口量的增加以及客户对于安全意识的提高，消防钢瓶的检漏需要更高的要求，所以现在的厂家都引入氦质谱检漏仪 进行检漏；Pfeiffer 氦质谱检漏仪在钢瓶生产厂家被广泛应用，检漏采用 Sniffer 模式（即正压模式），其工作原理如下：氦气充入被检工件压力只要 1.2 个大气压即可----吸枪对工件找漏点。通常在 Sniffer 模式下，氦质谱检漏仪报警值设定在 1.5*E-5 mbar.l/s，在实际测漏过程中，被检工件的漏率大于此值就会形成漏点报警，小于此值就认为该钢瓶密封要求合格。

氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型 在实际检验过程中要根据检验的目的选用最合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。1、测定漏点型氦质谱检漏方法确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫星、导弹弹体、弹头、输气管道、气罐、油罐、锅炉等。1.1、喷氦法氦质谱检漏方法这是最常用的一种方法,一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等) 用喷枪喷氦,如图4 所示,如果被检器件某处有漏孔,当氦喷到漏孔上时,氦气立即会被吸入到真空系统,从而扩散到质谱室中,氦质谱检漏仪的输出就会立即有响应,使用这种方法应注意:氦气是较轻的惰性气体,在喷出后会自动上升,为了准确的在漏孔位置喷氦,喷氦时应自上而下,由近至远(相对检漏仪位置) ,这是因为在喷下方时氦气有可能被上方漏孔吸入,就很难确定漏孔的位置 再者漏孔离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷氦应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远来进行。常用的几种氦质谱检漏方法-无眼界科技喷氦法检漏示意图在检测较大部件时要借助机械泵进行真空预抽,就可以提高检漏效率和时间,如图所示,喷氦法在检查那些结构比较复杂的,密封口和焊缝又比较多而且挤在一起的小容器时,由于氦喷出后会很快扩散开来,往往不容易准确地确定漏隙所在的部位,要采取从不同角度喷氦,仔细观察反应时间上的差别和将已发现的漏孔用真空封泥暂时封起来等办法,就可以把漏孔逐个检出。常用的几种氦质谱检漏方法-无眼界科技辅助机械泵检漏示意图1.2、吸氦法氦质谱检漏方法吸氦法主要用于检查某些大型密封容器。如导弹弹体、弹头、气罐、油罐等,先将容器抽真空,再给容器充入氦气(为了节省用氦量,可以用低浓度氦气) ,在氦质谱检漏仪的进气法兰处接上橡皮管,橡皮管的前端有直径很小的毛细管,使毛细管在充了氦的被检容器外壁的焊缝和密封接头等处移动,如果该容器有漏隙,经漏隙渗出的氦会被毛细管吸入,检漏仪就会响应。2、测定漏率型氦质谱检漏方法吸氦法检漏示意图图片测定漏率型主要是针对密封性要求严格的部件进行检测,如宇宙飞船、火箭液体燃料储料箱、卫星、电子元器件等。这种方法只能测试试件的漏率,无法确定漏孔的位置和漏孔的个数。

氦质谱仪检漏的原理及国内外不同之处，及研究方向

以下是真空箱式氦检漏的一般特点[color=windowtext][font=宋体]系统特点：[/font][/color][font=ˎ ̥ ][font=宋体]PLC[/font][/font][font=宋体]控制，触摸屏显示，全自动检测[/font][font=宋体][font=ˎ ̥ ] [/font]整体泄漏检测，排除人为因素干扰[/font][font=宋体][font=ˎ ̥ ] [/font]本底抑制技术，消除本底影响[/font][font=宋体][font=ˎ ̥ ] [/font]质谱分析检漏，确保检漏精度[/font][font=宋体][font=ˎ ̥ ] [/font]检漏节拍快，适合现代化生产线[/font][font=宋体][font=ˎ ̥ ] [/font]智能化监测与故障自诊断，确保系统可靠运行[/font][font=宋体][font=ˎ ̥ ] [/font]氦回收率达[font=ˎ ̥ ]98%[/font]，节省运行成本[/font][font=ˎ ̥ ][/font]

各位大虾好，我公司有套设备需要氦质谱检漏，设备的漏气标准是2000psig压力下漏气率必须≤10[sup]-6[/sup]ml/s,但是我们的设备只能耐压2.0MPa,请问如果我们在2.0MPa压力下检漏，漏气率应该是多少？如何换算？谢谢各位了！（1.0MPa=145psig）

对于质谱检漏，我是外行。我看到我们车间在进行氦质谱检漏时总是先充入高纯度的氦气至10MPa，然后有将它们放出，这是为什么呢？

http://www.instrument.com.cn/show/Breviary.asp?FileName=C81590%2Ejpg&iwidth=200&iHeight=200 成都仪器厂 的 氦质谱检漏仪(计算机型）(ZLS-26D/M)已参加“国产好仪器”活动并通过初审。自上市以来，这款产品已经被多家单位采用，如果您使用过此仪器设备或者对其有所了解，欢迎一起聊聊它各方面的情况。您还可以通过投票抽奖、参与调研等方式参与活动，并获得手机电子充值卡。【点击参与活动】 仪器简介： 仪器简介： ZLS-26D/M 型氦质谱检漏仪是成都仪器厂开发的新一代氦质谱检漏仪器。 仪器采用计算机程序控制，通过触摸式显示屏按人机对话方式进行功能操作，具有检漏方式程序控制、检漏数据存储、分析、统计、打印及自动寻峰等功能，具备高度的智能化程度。 技术参数： 1.微机系统控制 2.12寸触摸式液晶显示屏，大字符漏率显示，漏率直读，四种常用漏率单位转换 3.自动扫描氦峰，具有图形显示和保存功能 4.动态清除本底 5.不同工件检漏曲线显示 6.检漏数据保存和打印功能 7.声讯报警，报警点可程序设置 主要技术参数： 1.仪器最小可检漏率：优于5*10E-12Pam3/s 2.仪器最大可检漏率：2×10E-1Pam3/s 3.仪器的反应时间： 不大3s 4.仪器质谱室允许工作的最高压强：1×10E-2Pa 5.仪器测试口允许工作的最高压强：1000Pa 6.背压法检漏时间可调范围：5～30s 7.仪器的启动时间： 不大于5min 8.仪器的轮廓尺寸： 640×550×980 mm3 9.仪器的重量： 约75Kg 10.仪器使用电源：220V±10％，50Hz 主要配置： 涡轮分子泵（德国莱宝50型） 前级泵（美国瓦里安DS42型） 粗抽泵（英国爱德华RV12型） 校准漏孔 1只（有计量校验证书） 质谱分析室 1套（成都仪器厂） 控制电路 1套（成都仪器厂） 工控计算机 1台（研华牌） 喷枪、吸枪各一套 主要特点： 1.微机系统控制 ， 2.12寸触摸式液晶显示屏，大字符漏率显示，漏率直读，四种常用漏率单位转换 3.自动扫描氦峰，具有图形显示和保存功能 4.动态清除本底 5.不同工件检漏曲线显示及记录 6.检漏数据保存和打印功能 7.声讯报警，报警点可程序设置 【了解更多此仪器设备的信息】

[em0803]如题：有谁知道瓦里安氦质谱检漏仪938-41这个产品的？最近在仓库里发现了这个家伙，竟然是新的，不知道还能不能用，产品说明资料都没得。在网上也没搜到它的信息！不知道是什么年代的？估计超过10年了。现在还有生产不？能修修使用吗？非常急切的想知道！！！！！！！请知道的大侠来指点一下啊。非常感谢！[em0807][em0807]

某质谱检漏仪的性能指标给出：最小可检漏率(氢吸枪模式≤1X10-7Pa.m3/S)，请教的问题：1X10-7Pa.m3/S这个数量的物理含义，该单位怎么换算成以氢气质量表示的形式？

我们实验室的是热电公司的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相[/url]-质谱仪。昨天做了一天的实验，还熬了通宵，待我把质谱真空度抽至50mTorr时，然后检漏，结果根本就没有离子出来，观察不到空气和水的质谱图。请各位专家给我分析分析！谢谢！

本实验室有台安捷伦 7890A-5975C 走样前检漏，氮气会达到20&左右，但是走几针样品之后氮气的含量会降到10%左右。这是什么原因？应该如何解决？注：关于质谱部分的手动检查漏气本人都有做过，基本没问题。

从事质谱检漏仪工作，想考相关方面的研究生，请问：应该报哪所高校，哪个专业

有人知道安捷伦5977A质谱的分子涡轮泵是普发的什么型号吗？

各位DX,我们实验室最近从一家汽车企业买了一套二手的进口氦质谱探漏系统,因为很旧了,所以其中的离子源需要清洗,我刚进大学,对这方面还了解不多,同时因为是进口的东西,又是二手的已没有资料,老师就让找一家能做这方面业务的公司给清洗,要能保证清洗效果,以后可长期合作的!麻烦DX们给推荐几家好联络,先拜谢啦

和气质比，找到小的泄漏点还是比较挑战的，特别是在没有氦质谱检漏仪的情况。大家说说都有什么好办法？

在气路检漏及质谱系统检漏中，大家一般用的哪些试剂？

各位DX,我们实验室最近从一家汽车企业买了一套二手的进口氦质谱探漏系统,因为很旧了,所以其中的离子源需要清洗,我刚进大学,对这方面还了解不多,同时因为是进口的东西,又是二手的已没有资料,老师就让找一家能做这方面业务的公司给清洗,要能保证清洗效果,以后可长期合作的!麻烦DX们给推荐几家好联络,先拜谢啦…… [em0812]

真空系统无论是成熟的GCMS，还是大有作为的LCMS，亦或者是ICPMS，这些分析仪器的精贵之处毋庸置疑就是质谱仪MS。质谱仪，最基本的系统就是真空系统，也是最重要的系统之一。真空系统的作用就是提供足够的真空度来满足质谱仪的功能，主要提供足够高的平均自由程，减少背景噪声获得高灵敏度。还可以防止灯丝被氧化（GCMS），避免高压放电（TOF-MS），等。真空基础：平均自由程：每次发生碰撞之间移动的平均距离被称为 平均自由程 (l)http://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif真空vacuum 可以简单分为粗真空（1 x 105 - 1.33 x 10-1 Pa）-高真空（1.33 x10-1 - 1.33 x 10-6 Pa）-超高真空（1.33 x 10-6 Pa）。真空技术：真空技术包括真空获得、真空测量技术、泄露和检漏技术。一、真空获得真空获得技术：主要通过各种真空泵或者真空泵组来获得所需的真空度。真空泵的技术指标主要有：抽气量、抽气速度、极限压力、压缩比。1、 抽气量 Q (mbar L/S or torr L/S)，被真空泵从一点传送到另外一点的气体数量，它取决于压力；2、 抽气速度 S（L/S）,单位时间内的抽气量；3、 极限压力 （mba），真空泵所能达到的最低压力；4、 压缩比 K=Po/Pi，排气口的压力与进气口压力的比值。1.粗真空获得，可以通过各种机械泵来获得。如油封式旋片泵http://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif（通常我们所说的油泵）；还有涡卷式干泵http://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif；隔膜泵http://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif；罗茨泵等。主要作用就是从真空室中取出大部分空气，为高真空泵保持适合的排气口压力和提供合适的进气口启动压力。各种粗抽真空泵性能对比：http://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif2.高真空获得，主要有油扩散泵、涡轮分子泵、冷泵。油扩散泵：http://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif涡轮分子泵：http://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gifhttp://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif各种高真空泵性能对比：http://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif3.超高真空获得，主要通过超高真空泵，如离子泵、钛升华泵。二、真空测量技术主要是通过不同的真空规（vacuum gauge）来测量真空度。三、泄露和检漏技术检漏技术是用来保证元器件或系统的密闭性可以满足某种标准的一种方法。通常的检漏方法有冒泡法、压降法、卤素吸收法以及氦质谱检漏仪，以下是各种方法的比较。http://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif1 x 10-1 atmcc/sec. = 6.00 cc/分钟. (0.1 *60)http://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif瓦里安Varian 氦质检漏仪

这个泵10年了，漏油4-5年了吧，紧了螺丝也不行，但漏的不严重，一般一年加个2次也就行了问了安捷伦要直接换，好像3万吧问了普发修，上门修报价7k-8k，寄过去5k-6k，寄过去修周期居然说15天，骗着你加急，套路太多，2家都有点恶心人大家是怎么处理的，能分享下经验？另外泵上那个蓝色的油雾过滤器应该是去除泵油味道的吧？用了太久了，怎么翻新下？用压缩空气吹吹可以吗？谢谢[img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/09/202009111030425684_1917_1689180_3.png[/img][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/09/202009111030426534_2532_1689180_3.png[/img]

最近发现氮，氧的比例都比较高，氮已经到了12%，氧有4%左右。气相和质谱检漏也没发现问题，最后怀疑是顶空漏气，将顶空屏蔽以后发现氮、氧比例下降了很多。请问下各位坛友，谁做过顶空的检漏？分享一下经验呗。顶空的型号是安捷伦7694E。

启普发生器 【概述】　　一种实验室常用的气体发生装置,以荷兰的D.J.启普的姓命名。它用普通玻璃制成,构造见图。适用于块状固体与液体在常温下反应制取难溶的气体,如氢气,硫化氢等。块状固体在反应中很快溶解或变成粉末时,不能用启普发生器。只要生成的气体难溶于反应液才可,如二氧化碳可溶于水,但难溶于盐酸,故用石灰石与盐酸反应制二氧化碳时可用启普发生器。启普发生器不能加热。 　　使用前应先检查装置的气密性,方法是,开启旋塞,向球形漏斗中加水,当水充满容器下部的半球体时关闭旋塞,继续加水,使水上升到球形漏斗中。静置片刻,观察水面是否下降,如下降说明漏气。漏气处可能是容器上气体出口处的橡皮塞、导气管上的旋塞或球形漏斗与容器接触的磨口处。如漏气应塞紧橡皮塞或在磨口处涂一薄层凡士林。 　　固体试剂由容器上的气体出口加入,加固体前应在容器的球体中加入 一定量的玻璃棉或放入橡皮垫圈,以防固体掉入半球体中。加固体的量不得超过球体容积的1/3。液体试剂从球形漏斗口注入,注液方法与上述注水方法相同。液体的量以反应时刚刚浸没固体为宜。 　　使用时,打开导气管上的旋塞,球形漏斗中的液体进入容器与固体反应,气体的流速可用旋塞调节。停止使用时,关闭旋塞,容器中的气体压力增大,将液体压回球形漏斗,使液体和固体脱离接触,反应停止。为保证安全,可在球形漏斗口加安全漏斗(见图),防止气体压力过大时炸裂容器。【改进者】　　启普(P.J.Kipp，1808—1864)是荷兰人，是一位稍通化学的药物商人。19世纪初，他在前人工作基础上设计出这种实验室用的气体发生器，一直沿用到今天，基本上没有改型。【反应原理】　　实验室里制取较多的氢气常用启普发生器。它由球形漏斗、容器和导气管三部分组成。最初使用时，将仪器横放，把锌粒由容器上插导气管的口中加入，然后放正仪器，再将装导气管的塞子塞好。接着由球形漏斗口加入稀硫酸。使用时，扭开导气管活塞，酸液由球形漏斗流到容器的底部，再上升到中部跟锌粒接触而发生反应，产生的氢气从导气管(3)放出。不用时关闭导气管的活塞，容器内继续反应产生的氢气使容器内压强加大，把酸压回球形漏斗，使酸液与锌粒脱离接触，反应即自行停止。使用启普发生器制取氢气十分方便，可以及时控制反应的发生或停止。【使用】　　1．发明　　启普发生器是化学实验室中最普通、应用最广的玻璃仪器，它设计上的巧妙，堪称化学仪器中的一绝。　　仪器的发明人启普是荷兰的一名药物商人，曾经学过一些化学。他根据前人制作的制取硫化氢气体的简易装置，设计出一种可以随时使反应发生或停止的气体发生装置，后人为纪念他，将这种装置叫做启普发生器。　　2．工作原理（以用稀硫酸和锌粒制取氢气为例） 　　打开活塞，容器内压强与外界大气压相同，球形漏斗内的稀硫酸在重力作用下流到容器中，与锌粒接触，产生氢气；关上活塞后，由于酸液继续与锌粒接触，氢气依然生成，此时容器内部压强大于外界大气压，压力将酸液压回球形漏斗，使酸液与锌粒脱离接触，氢气不再产生。　　3．使用范围　　启普发生器是用固体与液体试剂在常温条件（不用加热）下起反应制取气体的典型装置。如氢气、二氧化碳、硫化氢等均可以用它来制取。但对于固体呈粉末状或固体与液体相遇后溶解或反应时产生高温者，如二氧化硫、二氧化氮等，都不适宜用此装置制取。【注意事项】　　（1）使用前要检查装置气密性，排尽空气后再收集气体；　　（2）使用启普发生器制备氢气，应远离火源；　　（3）移动启普发生器时，要握住球形容器的蜂腰处，千万不可单手握住球形漏斗，以免底座脱落造成事故。 　　向启普发生器中添加固体时,需用橡皮塞将球形漏斗口塞紧,然后取下容器上的橡皮塞加入固体。液体需要更换时,也应塞紧漏斗口,然后拔下容器底部的液体出口塞,使废液缓缓流出,塞上液体出口塞后,再从球形漏斗口注液。 移动启普发生器时,应握住容器的球体,切不可只握球形漏斗,否则会使之与容器脱离,造成漏液或损坏容器。

恒温恒湿试验箱制冷系统检漏主要包括两个部分：一部分是制冷压缩机、冷凝器、蒸发器、干燥过滤器、毛细管等部件的检漏，第二部分是制冷管路组成的封闭系统的检漏。那么恒温恒湿试验箱制冷系统检漏的方法有哪些呢，我们来一起了解一下。 1、肥皂泡检漏 先将肥皂切成薄片，浸于温水中，使其溶成稠状肥皂液。检漏时，在被检部位用纱布擦去污渍，用干净毛笔沾上肥皂液，均匀地抹在被检部位四周，仔细观察有无气泡，如有肥皂泡出现，说明该处有泄漏。有时，需先向系统充入0.8-1.0Mpa(8-10kgf/cm2)的氮气。 2、水中检漏 此法常用于恒温恒湿试验箱压缩机(注意接线端子应有防水保护)、蒸发器、冷凝器等零部件的检漏。其方法是：对蒸发器应充入0.8Mpa氮气，对冷凝器应充入1.9MPa氮气(对于热泵型空调器，二者均应充入1.9MP氮气)，浸入50度左右的温水中，仔细观察有无气泡发生。使用温水的目的在于降低水的表面张力，因为水的温度越低，表面张力越大，微小的渗漏就不能检测出来。检漏场地应光线充足，水面平静。观察时间应不少于30秒，工件浸入水面20厘米以下。浸水检漏后的部件应烘干处理后方可进行补焊。 更多精彩内容，请看下文。

每次更换色谱柱都都要检漏，用肥皂水的话每次都弄得柱温箱内到处都是，检漏玩后还得小心的擦去，费时费力。

我用的是PE-Clarus 500 的气象色谱，配有TurboMatrix HS顶空进样器，怎样对气相色谱主机和顶空进样器进行检漏？

老机器最近老出问题，前段时间开机发现Ratio28 to 69(10 %)都达到了快300，抽两天还接近200，初步断定漏气，咨询工程师A让将进口端的毛细管柱拆掉，用隔垫堵上，然后抽30 Min做检测，仪器报错，压力出问题不能打开质谱，没办法重新装上柱子。咨询工程师B，根据该工程师指导，如下步骤检测。首先要想办法判断是质谱漏还是质谱前端（柱子或进样系统），打开质谱在线数据，将载气流量调大（2 ml/min）发现空气峰变小了，说明载气肯定没问题。然后将载气调小（0.5 ml/min）发现空气峰变大了，说明进样口应该没问题，因为这个部位为正压，不大可能。然后用丙酮擦拭进样口和柱接口处，没有发现丙酮峰出现，进一步断定是质谱部分漏。到修空调或冰箱处借氟利昂，用小管子对着质谱各密封圈处吹（因为这些部位多有电路板，丙酮擦拭不方便），进一步确认漏的位置。然后关机，将质谱各密封圈（主要是侧板大O型圈和放空O型圈）用异丙醇擦拭，然后涂上硅真空油，开机，OK。这次检漏的经验表明，对于年龄稍大的机器，O型圈容易老化，或是每次清洗离子源或是打开侧板或多或少会有灰尘粘到O型圈上，这样小的灰尘非常容易导致微漏，这个最头疼。今天专门买了个小的吸尘器将仪器大清洁了一遍，维护仪器真不是件轻巧事。希望我的经历能对大家提供参考。

[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相色谱[/url]的流动相是气体，所以当气体出现泄漏或者气压不稳定的情况对检测结果会有显著的影响，造成分析结果的误差或者分析失败。首先当载气漏气时，色谱图会发生一些变化：① 基线变化 a.基线不稳定（噪声大、恒温操作时无规则波动或向一个方向漂移）。i.基线燥声大，可能是载气流速过大或漏气；ii.基线正弦波波动，可能是载气流量不稳定，除检查气源外，也要排除是否漏气；iii.恒温操作时基线无规则波动或向一个方向漂移，出现这些现象可先排除载气是否漏气。 b.基线不能调零。对热导池检测器可能是漏气导致热导丝没有完全泡在氢气中，热导丝失去平衡或已被烧坏。② 色谱峰变化 a.峰形变小、保留时间正常，载气在色谱柱后漏气或进样器、硅胶垫在进样时漏气； b.峰形变小、保留时间变大，从进样器到检测器的气路中有漏气，或进样垫连续漏气。③ 在排除进样技术的前提下，多次进样重现性差（保留时间、峰面积以及定量结果）。 辅助气漏气时，一般表现为色谱峰响应降低甚至没有响应等。如当氢火焰离子化检测器（FID）运行时，氢气源和空气源控制失调、流量不稳定，可能导致恒温操作时基线出现无规则波动。、 当出现如上述问题，一般就要考虑是否是漏气了，也就是要开始检漏了，检查气路泄露的方法一般分为A、B、C三级： A级试漏：对气路严重泄漏的最粗略观察。通常在气源打开并稳定之后，不应听到气路流经的各管路及阀件接头处有丝丝的跑气声，如听到明显的漏气声，说明系统有大漏。必须依据漏气声追查出泄露处，并加以排除。查找气路的严重泄漏，也可在流路的流量开大最大时，用肥皂水在各接头逐步测试有无气泡出现而加以证实。 B级试漏：对气路中轻微漏气的检查。方法是堵住气路出口，观察气路中流量计内的转子。如果能缓缓下降为零，即可认为次气路B级试漏合格。如转子不能降到零，可用肥皂水在各接头处仔细观察。直到找到泄漏处为止。 C级试漏：对气路中极小漏气检查。方法是堵住气路出口，观察系统压力表，不得在半小时内有5kPa以上的下降。此时系统压力应在0.25MPa以上。必要时可在系统出口处外接一个0.5级标准压力表来读取压力变化数。也可将仪器总进气阀暂时关闭。后再将钢瓶高压阀打开，减压阀调到0.3-0.6MPa待减压阀稳定时，关闭钢瓶上高压阀。注意减压阀上的高低压表，在5min内应无可观察到的下降。如有较明显下降，则说明气路系统的上游有泄漏，否则应对后面的气路做进一步检查。 在找到漏气点后则应对漏气故障进行排除，一般流程如下： 一般在漏气点为接头时，多数人认为只要继续紧固接头螺丝即可达到消除泄漏的目的。这种简单的处理方法是片面的，有时还会造成接头的永久性损伤。正确的处理方法应当是在发现接头处有泄漏时，应对接头做如下检查： 1、接头配合的垫片是否合适，退火及无伤痕； 2、接头密合处是否干净平滑无污物； 3、接头配合装配时，是否相互对准对正； 4、能否先用手将接头大体拧紧。 如上述检查无异常，再用扳手将接头上紧。上紧时应注意压力要适当，对于有塑料、橡胶、聚四氟垫片的接头压力不宜过大，一般能密封后再上紧一点即可；对于金属垫片的接头，压力可适当加大，但也应以不漏气为界限。

我们公司在漏率为10-4Pam3/S时就用高纯度的氦气进行捡漏，我觉得很浪费，又没有理论支持。谁能为我提供这方面的书籍？拜托了！