气体质量流量控制器

Porter 气体质量流量控制器 Porter 气体质量流量控制器 无需等待即可读数，在 1/16 DIN 装置内响应快且精度高––插拔式接线板电气连接––远程模拟 I/O 功能在经济适用的质量流量控制方面，MPC 系列质量流量控制器代表了一种独特的理念。前面板具有易于使用的功能，并配有大型数字显示屏，便于读取设定点、流速和总流量。警报器、批量控制、累加器和设定点均可编程，有助于提高多用性。流量控制器具有远程模拟输入和输出功能。MicroFlow硅微电机传感器使用 MEMS 和薄膜技术制造而成。因此传感器的速度极快，精度极高，且热式质量流量传感器不会受到压力和温度波动的影响。通过前面板或外部输入对多达四个设定点进行编程。空气、氮气、氩气及二氧化碳测定值均为标准值。随机配备：面板安装支架和配套电连接器。

气体质量流量控制器（Mass Flow Controller)/气体质量流量计（Mass Flow Metre)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，特别是对于微小质量流量的测量和控制。D600系列数字型气体质量流量计/控制器精度高、重复性好、稳定性高、工作压力范围宽，广泛应用于能源、电力、化工、医疗、半导体等各个领域。 【气体流量计产品特点】◆ 本地高清晰中文液晶显示；◆ 适用极低的流量，精确测量各种量程的流量，最低量程0~5 SCCM( 标准毫升/分钟）；◆ 数字、模拟量输入输出；◆ 可连接上位机软件控制运行；◆ 极低的零漂和温漂；◆ 多气体、多量程、高精度，响应时间短；◆ 多种可量程可供选择： 流量规格（N2）： (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM； （0~1、2、3、5、10、20、30 、50、100）SLM【注】SLM和SCCM都常常是气体质量流量单位。SLM（Standard Liter per Minute）是表示每分钟标准升。SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）是表示每分钟标准毫升。【气体质量流量计参数】产品名称 气体质量流量控制器,气体质量流量计 适用介质 洁净、干燥的气体（不能含水汽、油） 量程范围（N2) (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；（0~1、2、3、5、10、20、30 、50、100）SLM 公称压力 0～10MPa 环境温度 5～65℃ 测量精度 ±1.0% 响应时间 1秒 壳体材质 不锈钢； 供电方式 外供7～16VDC（带电源适配器）； 输出信号 4～20mA；0～5V；RS232/RS485 差压范围 0.05～0.3MPa； 表头显示 累积流量；瞬时流量；工作模式；阀控状态 连接方式 卡套连接Φ3,Φ6,Φ8,Φ10【气体质量流量计原理】气体质量流量计由质量流量计传感器、分流器通道、流量控制调节阀、放大控制电路组成。被测气体分成两个层流区，一个通过主流量管道，另一个通过毛细管。独特的设计确保两个管路里的流体都是层流状态，因此两个管路的流量比是恒定的。工作时，毛细管上两个精确的温度感应绕组被加热，当有流量时，被加热的气体从上游到下游流动，在两个感应绕组之间产生了温差，温差与电阻的变化成比例关系。用惠斯顿电桥来测量温度感应绕组的温度变化差值。惠斯顿电桥的输出通过ADC(模数转换)转换成12位的数字信号。微处理器和非易失性存储器存储了所有的标定数据，直接控制操作比例电磁阀。这个数字闭环控制系统不断的比较当前的流量值与设定值，如果与设定值偏离，通过调整阀门进行修正，PID算法运算实现高精确度的控制。根据被测气体的流量大小输出0… 5VDC或者4… 20mA信号。【生产能力】年产一万套【公司网站】 【厂家热线】，西安上太仪表感谢您关注本公司产品！依托古都西安坚实的工业基础、强大的科研能力，汇集西部人才，上太人以“严谨、务实、创新”为理念，为客户奉献行业精品。我们郑重承诺，本公司产品从出厂之日起12个月三包，出现非人为损坏质量问题，本公司负责包修、包换、包退，并提供终身维护服务。

本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量， 所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

上海欧格斯特气体技术中心提供超纯环境、流量控制、压力控制、真空获得等解决方案。气体质量流量计和控制器数字质量空气流量传感器、控制器和流量计当你需要精确的，高可靠性的气体流量测量和控制时，请选择斯亚乐公司100系列产品。配合其先进的传感器，阀门，线性层流器技术，使得简单易用的流量控制器性能又再上一台阶。 提供气体稳定控制，灵活性高，独立性强。兼备气体切换和使用手操器操作设置.如有疑问请在此联系我们。

本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量， 所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

莱峰科技热式气体质量流量控制器LF420-B简要描述：用于对中大流量气体的质量流量进行精密的测量和控制，具有精度高，稳定性好，模拟电路，可靠性高，安装简单，操作方便。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。莱峰科技热式气体质量流量控制器LF420-B产品特点： 精度高、稳定性好、模拟电路、响应速度快产品用途：广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。莱峰科技热式气体质量流量控制器LF420-B技术参数：产品型号LF420-BCLF420-BM满量程范围SLM 30～40，50，100，150，200, 300量程比控制器50:1流量计100:1精度±2.0%F.S线性±0.5%F.S重复性±0.2%F.S阀门类型常闭阀响应时间≤1S-3S工作压差0.1...0.5Mpa耐压 3MPa工作环境温度5...45℃泄漏率1×10-8Pa.m3/s通信信号0-5V / 4-20MA供电方式24VDC（250mA）密封材料丁晴橡胶 氟橡胶接头尺寸3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8”电器接头DB9针

国内专业生产和代理的流量控制器供应商，能保证货期短，相同型号价格低，买不买都可以来找我咨询下，欢迎围观朋友圈BythewayJack不止是产品还有服务，到时候您比比价格，看看品质，您再选择。Whisper系列低压损气体质量流量控制器，适用于在几乎没有可用系统压力的情况下控制质量流量和体积流量。低压损将保证对系统产生极小影响，实现接近大气压力条件下的流量控制并缩短系统响应时间。我们将根据您的应用参数，为您定制阀门和PID调节功能，确保产品能够在保持低压损的同时实现快速、稳定的控制。多功能 - 监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER&trade 气体编辑器确定自己的气体组成。连接 - 利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。耐用 - MCW系列低压损气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可以为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。性能指标精度± 0.8 %R.D and ± 0.2 %F.S重复度 ±（ 0.2 % R.D+0.02%F.S ）控制范围0.5–100% F.S控制响应时间（T63，用户可调）小阀门：30ms；R阀门：150ms显示响应时间127ms；用户可调工作精度 ± 0.75°C工作温度-10–60°C压力精度± 0.75 % R.D（＞1 Atm）/ ±0.1 PSIA（＜1Atm）预热时间＜1 S电气参数模拟通讯 4–20 mA； 0–5 V；1–5 V； 0–10 V数字通讯RS-232 ； RS-485 ； Modbus RTU (RS-232 / RS-485), Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus电气接口6 pin locking； 8 pin mini-DIN； DB-9；DB-15电 源 12 - 30 VDC ； 1A；2A；250 mA (如果配备 4–20 mA，则为290 mA )

产品介绍 D07-60G气体质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。D07-60产品是七星流量计研发大流量的模拟产品，最大量程达2000SLM。特点• 高精度、重复性好、快响应型 、超大流量型• 橡胶密封、模拟电路的MFC• 国际标准机械接头D07-60G气体质量流量控制器技术参数项目D07-60BD07-60BMD07-60GD07-60GM流量规格300，500，750，1000，1500，2000SLM300，500，750，1000，1500，2000SLM准确度± 2% F.S.± 2% F.S.线性±1% F.S.±1% F.S.重复精度±0.2%F.S.±0.2%F.S.响应时间＜ 10 sec＜ 10 sec工作压差范围(0.25 ~ 0.5) MPa （≤1000SLM）(0.4 ~ 0.6) MPa （＞1000SLM）＜0.2 MPa(0.25 ~ 0.5) MPa （≤1000SLM）(0.4 ~ 0.6) MPa （＞1000SLM）＜0.2 MPa最大工作压力0.6MPa0.6MPa耐压3 MPa3 MPa工作环境温度5~ 45 ℃5~ 45 ℃输入信号 0 ~ 5.00 V (输入阻抗大于 100K)无 4~20 mA 或 1~5 VDC无输出信号0V ~ 5.00 V (输出电流≤3mA)4~20 mA 或 1~5 VDC阀的类型常闭无常闭无电源+15V 50 mA-15V 200 mA+15V 50 mA-15V 50 mA+24VDC 400 mA重量6 kg5 kg6 kg5 kg全国包邮，价格优惠，含税运， 产品规格不同，型号不同价格就不同，价格根据需求面议

产品介绍 D07-19C气体质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。D07-19产品是七星流量计研发精度高、响应时间快的模拟产品。特点• 高精度，快响应型• 橡胶密封、模拟电路的MFC• 采用DB15型电插头，国际标准机械接头• 国际兼容D07-19C气体质量流量控制器技术参数项目D07-19BD07-19BMD07-19FD07-19FM 型流量规格( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM0~1,2,3,5,10,20,30 SLM准确度±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)±1% F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)线性±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)±0.5% F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.)重复精度±0.2 % F.S.±0.2 % F.S.±0.2 % F.S.±0.2 % F.S.响应时间≤2 sec≤2sec≤4 sec≤4 sec工作压差范围≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)-≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)-气压降-0.02 MPa (2.9 psid)-0.02 MPa (2.9 psid)最大工作压力1 MPa1 MPa1 MPa1 MPa耐压3 MPa (435.1 psig)10 MPa (1450.4 psig)3 MPa (435.1 psig)10 MPa (1450.4 psig)工作环境温度5 ℃ ~ 45 ℃5 ℃ ~ 45 ℃5 ℃ ~ 45 ℃5 ℃ ~ 45 ℃输入输出信号0 V ~ +5.00 V(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)0 V ~ +5.00 V(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)4~20 mA 或 1~5 VDC4~20 mA 或 1~5 VDC电源+15 V 50 mA -15V 200 mA+15 V 50 mA－15 V 50 mA24 VDC 100 mA24 VDC 100 mA重量0.95 kg0.7 kg1.2 kg1 Kg

仪器简介：CS200A:数字式气体质量流量计/流量控制器，高精度，多气体多量程，自动调零，量程5sccm-50slm 橡胶密封，通讯方式：模拟0-5V、模拟0-10V、数字485、DeviceNet主要特点：1.数字化，橡胶密封 2.高精度，快响应 3.极低零漂及温漂 4.良好的兼容性 技术参数：产品型号CS200-A型产品类型高精度型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰流量量程5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm, 1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm产品精度±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)重复精度±0.2% FS线性±0.5% F.S.响应时间≤1sec工作温度范围(5~45)°C耐压3MPa密封材料氟橡胶Viton输入输出信号(0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus电源±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC阀类型常开(流量量程≤30slm)或常闭温度系数零点: ≤±0.05% F.S/℃；调节时: ≤±0.1% F.S/℃ 流量规格≤30SLM 调节时: ≤±0.2% F.S/℃ 流量规格＞30SLM零点飘移指标＜0.6%F.S. per year without autozero电气连接Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male工作压差范围(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）,(0.2～0.45) MPa（30slm＜F.S.）漏率1×10-10 Pa?m3 / sec He标准接头形式双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套1/8”(满量程≤5slm),双卡套Φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),双卡套Φ10,双卡套3/8”,VCR1/4”,VCO1/4”表面化学成分- 无 -表面粗糙度25μinch抗电磁干扰CE重量1Kg

国内专业生产和代理的流量控制器供应商，能保证货期短，相同型号价格低，买不买都可以来找我咨询下，可围观朋友圈bythewayjack不止是产品还有服务。性能极佳的质量流量控制器只需将流量保持在您的设定值。Alicat MC系列气体质量流量控制器可快速达到新的设定值，并保持该设定值，即使在压力突然增加的情况下，亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能，确保相关产品能快速实现稳定控制。多功能：监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER&trade 气体编辑器确定自己的气体组成。连 接：利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。耐 用：MC系列气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。型号最大满量程（N2标准）最小满量程（N2标准）最大工作压力Alicat MC系列低流量5 SCCM0.5 SCCM160 psi性能指标流量精度 ±0.8% R.D and ±0.2% F.S ； ±0.4% R.D and ±0.2% F.S（用于≥5 SCCM型号）重复性±(0.2% R.D + 0.02% F.S)控制范围0.01–100%F.S响应时间10 ms；与流量相关温度精度±0.75°C压力精度±0.5 %R.D（＞ 1 Atm）/ ±0.07 PSIA（＜ 1Atm）工作温度&minus 10–60°C预热时间1 s电气参数电源 12–24 V；250 mA (如果配备 4–20 mA，则为290 mA )数字通讯RS-232 ； RS-485 ； Modbus RTU (RS-232 / RS-485), Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus模拟通讯4–20 mA； 0–5 V；1–5 V； 0–10 V电气接口6 pin locking； 8 pin mini-DIN； 8 pin M12；DB-9；DB-15机械参数阀门类型 常闭阀（MFM无意义）基体材质302； 303； 304；316L；和 430FR 不锈钢；FKM；氧化铝陶瓷；黄铜；玻璃；金；热固化环氧树脂；热固化硅橡胶；聚酰胺；硅尺寸结构尺寸重量（kg）型号高度宽度深度ABCEFG0.5-5sccm3.897in3.338in1.050in0.336in0.525in0.125in0.925in0.150in2.225in≈ 1.1 lb98.98mm84.79mm26.67mm8.53mm13.34mm3.18mm23.5mm3.81mm56.52mm≈ 0.5 kg

公司简介：厚礼博精密仪器（北京）有限公司是全球热式质量流量控制器（MFC）制造商HORIBA STEC的全资子公司，以研发、生产、销售热式质量流量控制器为主业的高新技术企业。公司采用HORIBA STEC的技术，以日本品质、中国制造为宗旨，研发、生产、销售具有国际标准并符合国内市场的质量流量控制器。产品广泛应用于太阳能光伏、分析仪器、光纤、真空镀膜等领域，同时在石油化工、热处理、冶金、食品制药等领域也有充分的运用。 2011年1月30日 合资公司成立公司名称 北京堀场汇博隆精密仪器有限公司2019年9月19日 变更为外国独资公司(STEC 100%出资) 变更公司名称 厚礼博精密仪器（北京）有限公司

官方授权代理Cole-Parmer Flow 气体质量流量控制器0.05 至 5 LPM能够超快速进行精确的质量测量和控制精确度为读数的 ±0.8%，±0.2% 满量程；±0.2% 可重复性测量 30 种标准气体 — 用户可从显示屏选择100:1 降载比，范围为 1 CSSM 满量程至 1000 SLPM有具备 4 至 20 mA 输出或积算仪的型号可选包括120/230 VAC 电源适配器和通信线缆 32929-89，以及制造商提供的 NIST 可溯源校准报告。关于该商品的更多信息该仪表通过压降层流元件 (LFE) 来测量流量。由于水流元素本身存在流层，因此放置流量计时无需确保上游或下游为直行管道，大大简化了安装过程。与热质量流量计相比，LFE 设计可以在 10 毫秒内提供超快速响应，而且是“瞬时”完成，|无预热时间。||是编程装置以便使用只需要显示屏周围的集成键盘。0 至 5 VDC 输出可将流量值传送至远程显示器、记录仪或控制器以调节阀门或泵。||流量控制器采用集成 PID 控制器，可控制装置对过程变化的响应。流量设定值可采用键盘、可选的设定点控制模块，利用 0 至 5 V 信号或 RS-232 输入信号来确立。从表中单独订购设定点控制模块。对于便携式流量计应用，可订购“配件”下面列出的电池组。重复性±0.2%准确性±0.8% 读数；±0.2% 满量程最小流速 (mL/min)50最大流速 (mL/min)5000触液材料302、303 和 410 SS；Viton、硅胶 RTV、玻璃纤维增强尼龙、铝、黄铜、硅、玻璃最低工作温度 (° F)14最低工作温度 (° C)-10最高工作温度 (° F)122最高工作温度 (° C)50工艺连接件1/8" NPT(F)调节比100:1液体类型粘性Media TypeAcetylene Argon Water Hydrogen Nitrogen Air Carbon Dioxide Oxygen Carbon Monoxide Helium气体类型Acetylene (C2H2), Air, Argon (Ar), i-Butane (i-C4H10), n-Butane (n-C4H10), Carbon Dioxide (CO2), Carbon Monoxide (CO), Deuterium (D2), Ethane (C2H6), Ethylene/Ethene (C2H4), Helium (He), Hydrogen (H2), Krypton (Kr), Methane (CH4), Neon (Ne), Nitrogen (N2), Nitrous Oxide (N2O), Oxygen (O2), Propane (C3H8), Sulfur Hexaflouride (SF6), Xenon (Xe)响应时间 (ms)50电子连接8 针圆形超小型 DIN输出 (电压)有输出0 至 5 VDC显示类型7 行 x 4 位数 LCD；0.25" 高，流量显示器通信RS-232已认证有描述Gas Mass Flow Controller, 0.05 to 5 LPM

☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上，结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）开放协议。协议简单可靠，兼容性强，易于组网。配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小，工作压力范围宽。☆阀体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。线路板、阀体、弹簧片、精密电阻和resistor等为重要零部件，均执行严格 的入厂标准。☆可任意角度安装。☆兼容数字和模拟控制及显示，使用方便。易于与电气或自动控制系统配合。 配合MT-52或51系列流量显示仪，可对气流的瞬时流量进行精确测量和计量。型式批准证书：2013F53-11 执行Q/CYHMT0001-2014企业标准 许可证编号：京制01050063号

产品优势/ Product advantages气体质量流量控制器LF-A010适用范围:3ml/min ---30 l/min精度:±1.0%F.S，耐压:3Mpa,信号：0-5V或4-20MA，供电：15-24VDC稳定性好，模拟电路，可靠性高，安装简单，操作方便。用于对小流量气体的质量流量进行精密的测量和控制。产品用途用于对气体质量流量进行精密测量和控制，具有精度高，稳定性好，可靠性高，安装简单，操作方便。应用领域广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。 产品特点/ Product features长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2%。1能够根据命令变化迅速进行流量响应并且过冲/下冲可忽略不计。2流量范围宽 - 从3 sccm 一直到3000 slm。3耐高压等级 - 高达 10MPA。4可拆卸式流量传感器。5不受安装角度影响。6能和其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容。7电驱动阀超调。8耐化学腐蚀阀门。9

国内专业生产和代理的流量控制器供应商，能保证货期短，同品类价格低，买不买都可以来找我咨询下，可围观朋友圈bythewayjack不止是产品还有服务。FAC系列采用毛细管热温差式传感器，测量精度不受温度和压力影响，气体质量流量控制器高性价比首选，支持0~5V和4~20mA，可用于直接替换进口流量计。基体采用316L不锈钢，适应有毒和腐蚀性气体，最大工作压力可达750 Psi。模拟测量控制电路，输出信号0~5V/4~20mA，电气接口部分采用浪涌抑制和过压过流保护电路，确保系统稳定可靠运行。FAC系列已通过CE和Rohs认证。性能指标流量精度 ±1% F.S 重复性±0.2% F.S控制范围2%~100% F.S响应时间2s温度系数Zero: 0.05% of F.S./℃. Span: 0.1% of S.P. /℃压力系数0.2% of S.P. / Bar工作温度0~50 ℃泄漏率1x10-9 atm. cc/sec He预热时间5 min精度达到±2% F.S（30 min达到最佳精度）电气参数电源 ＋15~24V dc最大功耗10W（MFC）；3W（MFM）模拟信号0-5V / 4-20mA电气接口9Pin D-Connector（Male）机械参数阀门类型 常闭阀（MFM无意义）基体材质316L不锈钢密封材质氟橡胶；三元乙丙橡胶；丁腈橡胶气路接口1/8、1/4、3/8、φ3、φ6、φ9卡套或VCR

MC 气体标准质量流量控制器产品介绍： MC 气体标准质量流量控制器全球控制响应很快、很稳定的质量流量控制器，可测量并控制低至2.5微升的流量，依照用户应用需求量身定制阀门孔径以确保达到很好工作效果。所有气体的满量程流量在0.5 SCCM和 5000 SLPM之间（ H2 为 10,000 SLPM）监测四个变量： 质量流量、体积流量、压力和温度控制三个变量之一：质量流量、体积流量或压力预加载98 多种气体校准且可供用户选择本地、模拟或数字控制，包括工业协议技术参数：稳态控制范围：满量程的0.01% – 100%NIST 可追溯校准标准精度：读数的 ±0.6% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准高精度：读数的 ±0.5% 或满量程的 ±0.1%，以较大者为准重复性：±（读数的0.1% + 满量程的0.02%）典型控制响应时间：快至 30 ms预热时间：1秒兼容气体：98+ 纯气体和混合非腐蚀性气体工作温度：–10°C 至 +60°C满量程工作压力：160 PSIA (11 barA)

：：产品描述：： 北京华旭世纪HXMF05系列气体质量流量计/控制器，采用了数字式技术，相比模拟技术，HXMF05系列产品提高了精度和数字化程度。它采用了毛细管热传感技术和热温差原理，来测量和控制气体的质量流量。由于热温差只和气体的质量流量有关，因此其测量值不受气体的温度和压力变化的影响。 HXMF05系列小流量热式质量流量产品，采用了紧凑型设计，体积小巧精致，产品坚固耐用。产品使用了线性化校正电路和EMI保护，具备安全可靠、性能稳定、低功耗、寿命长等特点。 在数据传输上，不但具备传统的有线式，还具备局域网无线传输数据，互联网远程数据监控云平台等强大功能。 ：：产品特色：： ● 数字化技术，更快速的响应时间● 优于1%FS的高精度● 出色的长期稳定性● 可测量腐蚀性气体，坚固耐用● 精巧的外观设计，全面的安全保护电路及EMI● 可配专用显示表，显示瞬时流量● 诸多选项：高精度、自定义量程、流量信号无线传输 远程数据监控云平台、短信报警、邮件报警等 ：：典型应用：： 光伏及晶体制备 真空行业及镀膜 泄漏检测 炉窑及微反应装置 半导体行业 大学/研究所 分析仪器 气体混合配比 计量及计价 燃料电池 燃烧测试 其它气体测控场合 ：：性能指标：： 介质要求：与介质兼容的气体，支持腐蚀性气体介质种类：客户指定，也可现场更改-需咨询我们标定工况：0℃ @ 1 atm（氮气）测控量程：从0～5sccm到0～250slm任选,可定制更高流量范围量程比：50:1 精度：±0.35%F.S.或±1.0%RD，取数值大者（FS-满量程 RD-读数）重复性：±0.2%F.S.流量分辨率：0.1%F.S.响应时间：1.5S阀门状态：常闭（仅控制器，流量计无阀门）工作温度：5～45℃工作湿度：0～100%RH（无冷凝）工作压差范围：流量计 0.02MPa～3MPa 控制器 0.1～0.5MPa(10SLM为0.1～0.3MPa)最大耐压：3MPa，可选高压选项10MPa输入输出信号：标准为RS485，可选0～5V通讯协议：Modbus供电电压：24VDC@250mA电气接口：DB15pin，2XRJ45泄漏率：≤1×10-10次方Pa立方米 /S（He）接液材质：316L SS密封材料：根据气体种类由厂家选择或客户指定，包括：PTF、氟橡胶FKM、全氟橡胶FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ，等管道接头：1/4〃VCR，1/8、1/4、3/8双卡套，3、6、8、10mm双卡套外形尺寸：长×宽×高：127×30×128.5mm产品重量：流量计0.75kg 控制器0.9kg ：：订购信息：： 流量计或控制器 气体种类 流量范围 工作温度 入口压力 出口压力 管道连接尺寸和类型 输入/输出信号 安装姿势 选项及其它特殊要求：请咨询我们

产品介绍 K1000质量流量控制器为高精度，高稳定性的热式质量流量控制器。它的量程范围从10sccm到1000sccm，K1000A为小流量量程MFC（从10sccm~50slm），具备多气体多量程功能，8种BIN Size能对应10sccm～50slm的所有流量 K1000质量流量控制器优势• 传感器部分采用哈氏合金，耐腐蚀性强。• 产品精度高，可达100%～25%：±1.0% of S.P.、25%～2%：±0.25%F.S. 响应时间快(≤1s)• 产品具有多气体多量程功能，可对气体种类、流量的变更设定• 支持大流量(最大可到1000L)数字模式通讯模式• 产品通过CE、RoHS认证K1000质量流量控制器技术参数型号K1000AK1000BK1000C流量规格(N2换算流量) Bin 1: 10 SCCM ~30SCCMBin 2: 30 SCCM ~100SCCM　 Bin 6: 3SLM ~10SLM 60SLM 、100SLM、200SLM、300SLM、 Bin 3: 100SCCM~300SCCM Bin 7: 10SLM~ 30SLM Bin 8: 30 SLM ~50SLM 150SLM、200SLM400SLM、500SLM600SLM、1000SLM（N2, H2, Air 等)Bin 4: 300 SCCM ~1SLM Bin 5: 1SLM ~3SLM阀类型N/O：常开型、N/C：常闭型N/C：常闭型流量控制范围2%～100%F.S.准确度100%～25%：±1.0% of S.P.，25%～2%：±0.25%F.S.（精度保证范围15～35℃）±1%F.S.(精度保证范围15～35℃)±2%F.S.(精度保证范围15～35℃)工作环境温度5～50℃5～45℃响应时间≦1sec≦3sec线性±0.5%F.S.重复精度±0.2%F.S.工作压差范围 N/O 　 100～300KPa (3SLM～10SLM)　　 　50～300KPa N/O 　150～300KPa (11SLM～30SLM)200～300KPa　　　（Ar: 100～300KPa）N/C 　100～300KPa (3SLM～30SLM)（Ar: 250～450KPa）　　100～300KPa　　150～300KPa300～450kPa (H2：150～300kPa)（Ar 200～3500KPa）温度系数Zero:±0.1%F.S./℃ Span: ±0.1%F.S./℃最大工作压力400KPa（Ar:500KPa）700KPa耐压1MPa漏率金属密封：1×10－11Pa?9?9m3/sec He (1×10－10 atm?9?9cc/sec He)橡胶圈密封：1×10-7Pa?9?9m3/sec He (1×10－6 atm?9?9cc/sec He)橡胶圈密封：1×10－7Pa?9?9m3/sec He (1×10－6 atm?9?9cc/sec He)密封材料金属密封；氟橡胶；氯丁橡胶氟橡胶；氯丁橡胶通讯形式模拟：0~5V DC 数字：RS485、DeviceNet、EtherCAT模拟：0~5V DC 数字：RS485、DeviceNet、电源模拟/数字：+15VDC 50mA，-15VDC 200mA DeviceNet：+11~+24VDC，5.5VA(5.5W)标准接头形式VCR 1/4阳接头、双卡套1/4阳接头 、 1.5' ' W-Seal、1.125' ' W-Seal、 1.125' ' C-SealVCR 3/8阳接头、双卡套3/8阳接头VCR 1/2阳接头、双卡套1/2阳接头重量1.0kg3.0kg3.7kg 全国包邮，价格优惠，含税运， 产品规格不同，型号不同价格就不同，价格根据需求面议

：：产品描述：：美国ALICAT 21W系列低压降质量流量控制器，采用专利技术的内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的21W系列数字式质量流量控制器具有超低压损，满量程压损最低可达360Pa。21W系列可用于快速精确地测量过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度，适用于多种流量测控场合，尤其是要求低压损的应用场合。产品特点 ： ● 数字化产品 ● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等 ● 多参数可控：质量流量、体积流量和压力 ● 可选高精度：可优于0.5% ● 高量程比 200:1 ● 满量程超低压损最低为360Pa ● 阀门响应时间快 仅需100ms ● 内置98种气体 ● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气技术参数 ：介质要求：非腐蚀性、洁净、干燥的气体介质种类：内置了98种气体，请参考“产品资料下载”中气体兼容表一台设备内置所有气体，用户可现场选择量程：从0-0.5SCCM 到 0-500SLPM（详情请咨询）量程比：200:1最大显示流量：102.4%FS显示屏：带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏显示方式：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-满量程高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，选配仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备重复性：± 0.2% FS零点漂移&满量程漂移：0.02% FS / oC / Atm响应时间：100ms(可调) 预热时间：1s标定工况：25oC & 100kPa 绝压、20oC & 100kPa 绝压、0oC & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)工作温度：-10 ～ +50 oC工作湿度：0-100%,无冷凝标准最大工作压力：0.3MPa 表压标准极限耐压：1.2MPa 表压中压选项：2MPa数字输入/输出信号：RS232或RS485或Modbus或Profibus*模拟输入/输出信号：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可选第二路模拟输出：质量流量或体积流量或压力或温度供电电压：7-30 Vdc (如选4-20 MA输出，须为15-30 Vdc)供电电流：250mA ～ 750mA电气接口：8针Mini-DIN或DB9或DB15或6针工业接头材质：302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝黄铜、430FR不锈钢、硅、玻璃、416不锈钢安装方式：对位置无要求 防护等级：IP40* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需咨询我们应用及案例 ：● 低温容器检测 ● 大学/研究所 ● 泄漏检测 ● 环境监测 ● 汽车制造 ● 过程工艺气体测量

质量流量控制器主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量，该产品是基于业内先进的微机电（MEMS）流量芯片技术，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款智能化、紧凑型可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控制器产品，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。产品支持数字型和模拟型两种，模拟型产品采用0～5V模拟信号输入输出，数字型产品采用RS485通讯。产品特点精度高，响应快长期稳定性，良好的重复性温度压力影响小兼容多种信号输出方式产品应用半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业；分析检测仪器、医药、环保和真空等领域；稀释设备，便携分析仪，生物发酵流量过程控制；分析检测仪器、医药、环保和真空等领域。

Cole-Parmer 低压降气体质量流量计和控制器实现高精度和低压降––满量程压降低至 0.1 psid - 0.69 psid––可测量 98 种标准气体，调节比为 200:1––通过易用键盘进行设置和控制使用最新的层流压差流技术，这款质量流量计和控制器可使通过仪器的流体压降更低。流量计和控制器无需预热，流量计的响应时间为 10 ms，控制器的响应时间为 100 ms。典型应用包括空气取样、天然气计量和校准、气体分析及流量累计。从 130 种不同气体中实时选择，使用气体和气体混合校准对流量计或控制器进行编程。使用显示屏周边环绕的连体键盘即可完成全部编程操作。0 - 5 VDC 输出可将流量值传送至远程显示器、记录仪或控制器中，便于调节阀门或泵。您可将电池供电的流量计携带至不同的现场，便于确定流量和现场校准。此款流量计配有单色显示器和可充电集成电池组。电压驱动的流量计和控制器专为局部区域而设计，配有带背光灯的动态颜色薄膜晶体管 (TFT) 显示器。TFT 显示器可同时显示流量、管道压力、流体温度和（控制器）设定点。在设备处于最大极限范围或超出极限范围时，可轻松查看数值—在 100% 范围内，四个参数变化的每个数值读数均为黄色，而在128% 范围内为红色。电源和输入/输出信号均通过单个多针接头进行传送。随机配备：配有通讯电缆的 120/230 VAC 电源适配器以及由制造商提供的 NIST-可溯源校准报告。

国内专业生产和代理的流量控制器供应商，能保证货期短，相同型号价格低，买不买都可以来找我咨询下，可围观朋友圈bythewayjack不止是产品还有服务，采用先进的全数字化设计，能够通过差错检测和纠正技术来减少噪声和抵御干扰的影响。同时反应速度更快。FDC-300系列采用毛细管热温差式传感器，测量精度不受温度和压力影响，基体采用316L不锈钢，适应有毒和腐蚀性气体，最大工作压力可达1500 Psi（100 Bar）。数字型测量控制电路，抗干扰能力更强，数字通讯兼容模拟信号0~5V/4~20mA，电气接口部分采用浪涌抑制和过压过流保护电路，确保系统稳定可靠运行。FDC系列已通过CE和Rohs认证。性能指标流量精度 ±1% F.S ； ±1.5% F.S（100 SLM）重复性±0.2% F.S控制范围2%~100% F.S响应时间2s温度系数Zero: 0.05% of F.S./℃. Span: 0.1% of S.P. /℃压力系数0.2% of S.P. / Bar工作温度0~50 ℃泄漏率1x10-9 atm. cc/sec He预热时间5 min精度达到±2% F.S（30 min达到最佳精度）电气参数电源 +15~24 V dc最大功耗10W（MFC）；3W（MFM）数字通讯RS-485（modbus Rtu协议）模拟通讯0-5V / 4-20mA电气接口9Pin D-Connector（Male）机械参数阀门类型 常闭阀（MFM无意义）基体材质316L不锈钢密封材质氟橡胶、三元乙丙橡胶、丁腈橡胶气路接口1/8、1/4、3/8、φ3、φ6、φ9卡套或VCR

概要30A气体质量流量控制器采用毛细钢管传热和温差量热原理测量气体的质量流量，其中质量流量控制器可以对气体的质量流量进行精确的控制，由于温差量热只和气体的质量流量相关，所以气体的温度和压力变化不会影响到测量值。本型号产品满量程可以再5sccm-30SLM的范围内任意定制。特点稳定性和可靠性高 ±0.2%F.S的高重复精度 可应用大多数腐蚀性气体同类产品尺寸最小 安装尺寸国际兼容 不受温度及压力变化影响 满量程可在5sccm-30SLM范围任意定制标定标准标定气体：氮气（N2） 标定温度：温度273.15K（0 oC） 标定压力：101325pa(760mm Hg)输入输出信号0~5.00V（输入阻抗大于100KΩ）输出电流不大于3mA流量规格0~5，10，20，50，100，200，300，500，1000 sccm0~1, 2 ,3 ,5 ,10, 20, 30 SLM注：满量程流量不限于此处列出的规格，可再满量程5sccm-30SLM范围内任意选择,列如:123sccm质保与服务我公司承诺对产品的质保期为壹年，再您收到产品壹年内，如果按照说明书要求使用，遵守安全注意事项，并且产品没有损坏，改装或翻新，若有任何故障和问题，我公司负责免费维修或更换产品部件。再质保期外，我们提供终生维修和维护服务，但适当收取维修和维护的成本费，维修和维护后，维修部分的部件同样质保壹年。我公司有专业的售后工程师可以帮助您解决关于安装和使用等各方面的问题，并提供产品的使用培训。规格参数功能质量流量计，质量流量控制器流量规格（N2）标定0~5，10，20，50，100，200，300，500，1000 sccm流量规格（N2）标定0~1, 2 ,3 ,5 ,10, 20, 30 SLM精度±1%F.S调节阀类型常闭式线性±1%F.S重复精度±0.2%F.S响应时间≤2ses输入输出信号0~5.00V（输入阻抗大于100KΩ）输出电流不大于3mA电缆接头DB15pin(针型)工作环境温度5~45℃工作压差范围0.1-0.5Mpa对外单点泄漏率≤1X10-8pa.m3/s(He)耐压3Mpa介质接触材质316,316L,密封填料介质接触材质氟橡胶,硅橡胶,丁晴橡胶,聚四氟乙烯,金属密封密封材料丁晴橡胶NBR,三元乙丙橡胶EPDM,氯丁橡胶CR,硅橡胶VMQ,氟橡胶FKM管道接头尺寸VCR型接头 1/4管道接头尺寸(公制)Φ3 Φ6 Φ8 Φ10 Φ12管道接头尺寸(英制)1/8 ,1/4 ,1/2供电电源要求+15VDC(50mA) -15VDC(200mA)工作环境湿度＜80RH重量0.9KG尺寸127X28X100mm

：：产品描述：： 美国ALICAT 21系列标准型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差专利技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。 Alicat的21系列数字式质量流量计可用于快速精确地测量并控制过程气体的质量流量、体积流量、压力，并显示气体温度，适用于多种流量测控场合。设备采用快速稳定的优质电磁阀以及优化的PID调校，可达到由于100ms的控制速度，并保持极佳稳定性，并有超低压降产品可供您选择。 产品特点 ： ● 数字化产品 ● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等 ● 多参数控制，如体积流量、质量流量和压力 ● 标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板 ● 可选高精度：优于0.5% ● 高量程比 200:1 ● 响应时间快 仅需100ms ● 内置98种气体 ● 可现场标定混合气体，并存储20种混合气 技术参数 ：介质要求：非腐蚀性、洁净、干燥的气体介质种类：内置了98种气体，请参考背面气体兼容表一台设备内置所有气体，用户可现场选择量程：从0-0.5SCCM 到 0-5000SLPM（详情请咨询）量程比：200:1最大显示流量：102.4%FS显示屏：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-满量程高精度：±(0.4%Rd + 0.2%FS)，选配仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备重复性：± 0.2% FS零点漂移&满量程漂移：0.02% F.S / oC / Atm预热时间：1s响应时间：100ms(可调)标定工况：25oC & 100kPa 绝压、20oC & 100kPa 绝压、0oC & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)工作温度：-10 ～ +50 oC工作湿度：0-100%,无冷凝标准最大工作压力：1MPa 表压标准极限耐压：1.2MPa 表压中压选项：2MPa数字输入/输出信号：RS232、RS485、Modbus、Profibus*模拟输入/输出信号：0-5Vdc、1-5Vdc、 0-10Vdc、4-20mA供电电压：7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)供电电流：250mA ～ 750mA电气接口：8针Mini-DIN、DB9、DB15、6针工业接头材质：302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝黄铜、 430FR 不锈钢、 硅、 玻璃防护等级：IP40* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需咨询我们 选项及配件 ： 标准性能 多功能数字显示屏 显示多种测量参数：质量流量、体积流量、温度和压力 低压损 无需预热 Viton密封 8针mini-DIN电信号接口 标准圆形电源接口 RS-232多点式数字输出 RS-232多点式数字输入 0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多种模拟信号输出可选 0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模拟信号输入可选 可调节PID算法 内置30种气体可选 200:1 量程可调比 NPT接头 可控制从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量 有条件的终身质保 可选性能 高精度 累加器 6针、DB9或DB15电信号接口 ProfiBUS数字信号输出 RS-485数字信号输出 4-20mA模拟信号输出 第二种模拟信号输出 TFT背光彩色显示屏 远程显示屏 远程TFT背光彩色显示屏 丙烯酸绝缘涂层 EPDM密封 NeSSI本体 氧气清洁 用于高温环境的远程电子包装 SAE接头 VCR, VCO接头 5VDC、12VDC、24VDC排气量报警(过高或过低) 双向流动 额外标定点 定制混个气体（最多4种） 定制流量范围 不锈钢阀门 高流量低压损阀门 防爆选项 集成式电位计控制 应用及案例 ： ● 大学/研究所 ● 环境监测 ● 真空行业及镀膜 ● 工业炉窑 ● 半导体 ● 汽车制造 ● 光伏 ● 燃料电池 ● 计量 ● 过程工艺气体测量

仪器简介：用 途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。 标 准: 气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为： 标准温度&hellip &hellip &hellip &hellip &hellip &hellip 0℃（273.15K） 标准压强&hellip &hellip &hellip &hellip &hellip &hellip 101325Pa 输入和输出: 输入电源&hellip &hellip &hellip &hellip &hellip &hellip +15V,50mA -15V,200mA 输入设定电压&hellip &hellip &hellip &hellip 0～+5.00V 输出电压检测&hellip &hellip &hellip &hellip 0～+5.00V技术参数：满量程流量范围（N2）5SCCM～30SLM控制范围2～100％F.S.阀类型（及阀初始状态）电磁调节阀（常闭）准确度&le 10SLM± 1％F.S.＞10SLM± 2％F.S.线性&le 10SLM± 0.5～1％F.S.＞10SLM± 2％F.S.重复精度± 0.2％F.S.响应时间&le 2sec工作温度范围5～45℃工作压差&le 10SLM0.1～0.5MPa＞10SLM0.1～0.3MPa耐压3MPa漏气率1× 10-9SCCSHe密封材料氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶接头选择VCR1/4&rdquo 或&phi 4hose、&phi 6hoseSwagelok1/8&rdquo 、1/4&rdquo 或&phi 3、&phi 6mm电插头形式DB15 pin(Male)抗电磁干扰CE重量0.95Kg主要特点：★高精度，快响应型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★采用DB15型电插头，国际标准机械接头 ★国际兼容

仪器简介：质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。标 准: 气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为： 标准温度&hellip &hellip &hellip &hellip &hellip &hellip 0℃（273.15K） 标准压强&hellip &hellip &hellip &hellip &hellip &hellip 101325Pa输入和输出: 输入电源&hellip &hellip &hellip &hellip &hellip &hellip +15V,50mA -15V,200mA 输入设定电压&hellip &hellip &hellip &hellip 0～+5.00V 输出电压检测&hellip &hellip &hellip &hellip 0～+5.00V技术参数：满量程流量范围（N2）5SCCM～20SLM控制范围2～100％F.S.阀类型（及阀初始状态）电磁调节阀（常闭）准确度&le 10SLM± 1％F.S.＞10SLM± 2％F.S.线性&le 10SLM± 0.5～1％F.S.＞10SLM± 2％F.S.重复精度± 0.2％F.S.温度系数Zero: ≤±0.05% F.S./℃ Span: ≤±0.1% F.S./℃ 响应时间≤1.5 sec工作温度范围5～45℃工作压差&le 10SLM0.1～0.5MPa＞10SLM0.1～0.3MPa耐压3MPa漏气率1× 10-9SCCSHe密封材料氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶接头选择VCR1/4&rdquo 或&phi 4hose、&phi 6hoseSwagelok1/8&rdquo 、1/4&rdquo 或&phi 3、&phi 6mm电插头形式DB15 pin(Male)抗电磁干扰CE重量1.2Kg主要特点：★高精度，快响应型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★采用DB15型电插头，国际标准机械接头 ★国际兼容

国内专业生产和代理的流量控制器供应商，能保证货期短，相同型号价格低，买不买都可以来找我咨询下，可搜索朋友圈bythewayjack不止是产品还有服务。FAC系列采用毛细管热温差式传感器，测量精度不受温度和压力影响，基体采用316L不锈钢，适应有毒和腐蚀性气体，最大工作压力可达750 Psi。模拟测量控制电路，输出信号0~5V/4~20mA，电气接口部分采用浪涌抑制和过压过流保护电路，确保系统稳定可靠运行。FAC系列已通过CE和Rohs认证.性能指标流量精度 ±1% F.S 重复性±0.2% F.S控制范围2%~100% F.S响应时间2s温度系数Zero: 0.05% of F.S./℃. Span: 0.1% of S.P. /℃压力系数0.2% of S.P. / Bar工作温度0~50 ℃泄漏率1x10-9 atm. cc/sec He预热时间5 min精度达到±2% F.S（30 min达到最佳精度）电气参数电源 ＋15~24V dc最大功耗10W（MFC）；3W（MFM）模拟信号0-5V / 4-20mA电气接口9Pin D-Connector（Male）机械参数阀门类型 常闭阀（MFM无意义）基体材质316L不锈钢密封材质氟橡胶；三元乙丙橡胶；丁腈橡胶气路接口1/8、1/4、3/8、φ3、φ6、φ9卡套或VCR尺寸结构型号ABCDHEFGM重量（kg）FAC-320/1761241331125561610M40.6

：产品描述：： 北京华旭世纪HXMF03系列气体质量流量计/控制器，采用了毛细管热传感技术和热温差原理，即流动中的流体与热源之间热量交换关系，来测量和控制气体的质量流量。由于热温差只和气体的质量流量有关，因此其测量值不受气体的温度和压力变化的影响。HXMF03系列中流量热式质量流量产品，采用了紧凑型设计，体积小巧精致，产品坚固耐用。产品使用了线性化校正电路和EMI保护，具备安全可靠、性能稳定、低功耗、寿命长等特点。 在数据传输上，不但具备传统的有线式，还具备局域网无线传输数据，互联网远程数据监控云平台等强大功能。可有效地满足各种客户的不同工况需求，广泛应用于诸多工业和科研领域。 ：：产品特色：： ● 快速响应● 超高性价比● 测量精确，出色的长期稳定性● 可测量腐蚀性气体，坚固耐用● 精巧的外观设计，全面的安全保护电路及EMI● 可配专用显示表，显示瞬时流量● 诸多选项：高精度、自定义量程、流量信号无线传输 远程数据监控云平台、短信报警、邮件报警等 ：：典型应用：： 光伏及晶体制备 真空行业及镀膜 泄漏检测 炉窑及微反应装置 半导体行业 大学/研究所 分析仪器 气体混合配比 计量及计价 燃料电池 燃烧测试 其它气体测控场合 ：：性能指标：： 介质要求：与介质兼容的气体，支持腐蚀性气体介质种类：客户指定，也可现场更改-需咨询我们标定工况：0℃ @ 1 atm（氮气）测控量程：从0～30slm到0～250slm任选,可定制更高流量范围量程比：50:1 精度：±2%满量程 高精度选项：±1%满量程、±1%读数重复性：±0.2%满量程流量分辨率：0.1%满量程响应时间：2S阀门状态：常闭（仅控制器，流量计无阀门）工作温度：5～45℃工作湿度：0～100%RH（无冷凝）工作压差：流量计 0.02～2MPa(≤100slm)，0.05～2MPa(＞100slm) 控制器 0.1～0.3MPa(≤100slm)，0.15～0.3MPa(＞100slm)最大耐压：2MPa输入输出信号：标准为4～20mA 可选1～5V、0～5V、Modbus、RS485供电电压：流量计 24VDC@100mA，控制器 24VDC@400mA电气接口：DB 15pin泄漏率：≤1×10-9次方Pa立方米 /S（He）接液材质：316L SS密封材料：根据气体种类由厂家选择或客户指定，包括：EPDM、氟橡胶FKM、丁腈橡胶NBR、氯丁橡胶CR、硅橡胶VMQ管道接头：3/8〃、1/2〃双卡套，或8、10、12mm双卡套外形尺寸：长宽高：流量计157×40×125mm，控制器182×40×125mm产品重量：流量计1.16kg 控制器2.26kg ：：订购信息：： 流量计或控制器 气体种类 流量范围 工作温度 入口压力 出口压力 管道连接尺寸和类型 输入/输出信号 安装姿势 选项及其它特殊要求：请咨询我们

：：产品描述：： 北京华旭世纪HXMF02系列气体质量流量计/控制器，采用了毛细管热传感技术和热温差原理，即流动中的流体与热源之间热量交换关系，来测量和控制气体的质量流量。由于热温差只和气体的质量流量有关，因此其测量值不受气体的温度和压力变化的影响。HXMF02系列小流量热式质量流量产品，采用了紧凑型设计，体积小巧精致，产品坚固耐用。产品使用了线性化校正电路和EMI保护，具备安全可靠、性能稳定、低功耗、寿命长等特点。 在数据传输上，不但具备传统的有线式，还具备局域网无线传输数据，互联网远程数据监控云平台等强大功能。可有效地满足各种客户的不同工况需求，广泛应用于诸多工业和科研领域。 ：：产品特色：： ● 快速响应● 超高性价比● 测量精确，出色的长期稳定性● 可测量腐蚀性气体，坚固耐用● 精巧的外观设计，全面的安全保护电路及EMI● 可配专用显示表，显示瞬时流量● 诸多选项：高精度、自定义量程、流量信号无线传输 远程数据监控云平台、短信报警、邮件报警等 ：：典型应用：： 光伏及晶体制备 真空行业及镀膜 泄漏检测 炉窑及微反应装置 半导体行业 大学/研究所 分析仪器 气体混合配比 计量及计价 燃料电池 燃烧测试 其它气体测控场合 ：：性能指标：： 介质要求：与介质兼容的气体，支持腐蚀性气体介质种类：客户指定，也可现场更改-需咨询我们标定工况：0℃ @ 1 atm（氮气）测控量程：从0～5sccm到0～30slm任选量程比：50:1精度：±1.5%满量程（15L为2%） 高精选项：±1%满量程、±1%读数重复性：±0.2%满量程流量分辨率：0.1%满量程响应时间：2S阀门状态：常闭（仅控制器，流量计无阀门）工作温度：5～45℃工作湿度：0～100%RH（无冷凝）工作压差范围：流量计 0.02MPa～3MPa 控制器 0.1～0.5MPa（10SLM为0.1～0.3MPa）最大耐压：3MPa，可选高压选项10MPa输入输出信号：标准为0～5V 可选4～20mA、1～5V、Modbus、RS485输入输出电气参数：输入阻抗＞100kΩ，输出电流＜3mA供电电压：+15VDC@50mA -15VDC@200mA电气接口：DB 15pin泄漏率：≤1×10-9次方Pa立方米 /S（He）接液材质：316L SS密封材料：根据气体种类由厂家选择或客户指定，包括：PTFE、氟橡胶FKM、全氟橡胶FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ，等管道接头：1/4〃VCR，1/8、1/4、3/8双卡套，3、6、8、10mm双卡套外形尺寸：长×宽×高：127×30×100mm产品重量：流量计0.72kg 控制器0.88kg ：：订购信息：： 流量计或控制器 气体种类 流量范围 工作温度 入口压力 出口压力 管道连接尺寸和类型 输入/输出信号 安装姿势 选项及其它特殊要求：请咨询我们