IDS3010激光干涉仪在扫描荧光X射线显微镜中的应用
在搭建具有纳米分辨率的X射线显微镜时,对于系统稳定性的要求提出了更高的要求。在整个过程中实验过程中,必须确保各个组件以及组件之间的热稳定性和机械稳定性。德国attocube的IDS3010激光干涉仪具有优异的稳定性和测量亚纳米位移的能力,表现出优异的性能。IDS3010在40小时内具有优于1.25nm的稳定性,并且在100赫兹带宽的受控环境中具有优于300pm的分辨率。因此,IDS3010是对所述X射线显微镜装置中使用的所有部件进行机械控制的不二选择,使得整个X射线显微镜实现了40nm的分辨率,而在数据收集所需的整个时间内系统稳定性优于45nm。