压电马达线性平移台

美国Micronix 公司成立于2006 年，总部位于美国加州圣塔安那市，专注于微米和纳米定位机构的生产和研发，主要产品包括压电马达微位移平台，步进电机驱动位移台和直线电机驱动位移台。产品种类丰富，满足不同客户的需求， 特别是生物医学领域得到广泛应用。可以提供整套的解决方案，所有位移机构都有配套的控制系统。压电马达微米级位移平台特点： 超大行程 超高稳定性 超高精密，纳米级精度 可以使用在真空和无磁的环境中（需要发货前特殊处理）

“25mm 系列”— Linear25-z-LR (闭环控制)低温 压电运动- 线性位移系列⾼ 负载和完美闭环控制的压电位移台压电线性位移台Linear25-z-LR主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 25*25*29.6 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 300 g & 3 N&bull ⼤ ⾏ 程 : 16 mm&bull 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩ 位置分辨率 0.1 um⼆ 维尺⼨ Linear25-z-LR, SpeciÞ cation*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本，默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 25.× 25 mm × 29.6 mm2 质量34 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线，20cm8 针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 - 2 / 4 (adv) pins，传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程16 mm11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 2 mm/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载300 g14 最⼤ 推⼒ 3 N传感器（闭环）15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程16 mm17 传感器分辨率~ 150 nm18 重复定位精度1 - 2 um

压电 线性位移台— LS65x.Lab.O / .R (闭环)室温 压电运动解决⽅ 案 —“.Lab 系列“ 良好封装的位移台外形紧凑，动⼒ 性能不折扣的压电线性台；同时保证优质的价格空间。压电 线性位移台— LS65x.Lab.O / .R (闭环)产品特⾊ &bull 超安静运动， 20 kHz驱动频率&bull 65 mm × 65 mm × 12 mm极紧凑外形设计&bull 闭环控制 位置传感⽀ 持电阻型(.R) 和光学型(.O)&bull ⾼ 精度 空间传感分辨率(.O) 1 nm 、10 nm可选&bull 经济型 空间传感分辨率(.R) 100-200nm&bull 最⼩ 步伐优于 10 nm&bull 可提供多轴堆叠安装转接件&bull 控制器兼容旋转台，摇摆台&bull ⽀ 持⽆ 磁( .NM)、⾼ 真空( .HV)和超⾼ 真空 ( .UHV)选件2D 尺⼨ 图LS65x.Lab.O / .R 压电线性台 — 技术参数可选版本 ⇨ 正常版本.NM.HV.UHV.NM 绝对⽆ 磁版本；.HV， ⾼ 真空版本 .UHV ，超⾼ 真空版本；1 底⾯ 尺⼨ *⾼ 度65 × 65 mm × 12 mm2 主体材料不锈钢纯钛不锈钢不锈钢3 线缆 & 接头标准屏蔽线缆DSub9 接头kapton漆包线，PEEK-2mm插针运动参数-空间推荐安装形式 I. (下列性质均在推荐安装形式下测得)4 运动⾏ 程30 mm5 最⼤ 速度~ 20 mm/s6 最⼩ 步伐~ 10 nm7 驱动频率Max. 20 kHz (超安静运动)8 最⼤ ⽔ 平推⼒ 2 N9 保持⼒ 5 N0.3 mrad / 0.2 mrad10 全⾏ 程俯仰/偏摆运动参数-空间推荐安装形式 II. (下列性质均在推荐安装形式下测得)11最⼤ 垂直负载2 N12保持⼒ 5 N传感精度13 位置传感类型- 电阻型传感( .R )- 光栅尺传感( .O )14 位置传感量程30 mm15 位置传感分辨率- 电阻型传感( .R )， 100-200 nm- 光栅尺传感( .O )， 10 nm， 1nm可选(默认 10nm)

TSM系列平移台采用线性滚珠走精磨钢棒和精研燕尾副（型号中加D）等多种导轨形式，细牙螺杆，分厘卡（型号中加A）和精研丝杠（型号中加S）等多种驱动方式，采用弹簧复位，消除轴向间隙,为您提供多种行程，多种精度，多种负载，多种安装台面选择。台面和底座分布标准孔距的安装孔，方便安装和组合，可与其它系列位移台组成多维位移台。 TSM50D-1S台面侧面配有刻度，可使平移量化调整。 ■技术指标 行程(mm)50精度(mm)0.01台面尺寸(mm)100x60导轨精研燕尾付驱动方式精研丝杠驱动位置中心位置游标读数(mm)0.02负载(kg)10自重(kg)0.65

仪器简介：PSMX系列平移台采用精密线性滚珠和精磨钢棒导轨，分别采用分厘卡和螺距为M7X0.25螺纹副驱动，安装面采用高精密加工，重量轻、承载大，拉簧复位，消除空回，可组维使用。技术参数：型 号 PSMX25-1/L1 PSMX25-C1/C2 PSMX25-1A/L1A PSMX25-C1A/C2A行程(mm) ± 12.5 ± 12.5 ± 12.5 ± 12.5驱动方式 螺纹副 螺纹副 分厘卡 分厘卡最小读数(mm) &mdash &mdash 0.01 0.01灵敏度(mm) 0.001 0.001 0.001 0.001台面尺寸(mm) 65× 65 负载(kg) 7.0 7.0 7.0 2.5主要特点：PSMX系列平移台采用精密线性滚珠和精磨钢棒导轨，分别采用分厘卡和螺距为M7X0.25螺纹副驱动，安装面采用高精密加工，重量轻、承载大，拉簧复位，消除空回，可组维使用。驱动分为左手型（L1/L1A）、右手型(1/1A)、中央型(C1/C1A)、竖直使用型（C2/C2A），适合不同的操作要求。

外形紧凑，动⼒ 性能不折扣的压电线性台；同时保证优质的价格空间。压电 线性位移台— LS25x.Lab.R (闭环)产品特⾊ &bull 超安静运动，20 kHz驱动频率&bull 25 × 25 mm × 8 mm极紧凑外形设计&bull 闭环控制 位置传感⽀ 持电阻型(.R)&bull 经济型 空间传感分辨率(.R) 150 nm&bull 最⼩ 步伐优于 15 nm&bull 可提供多轴堆叠安装转接件&bull 控制器兼容旋转台，摇摆台&bull ⽀ 持⽆ 磁（.NM）、⾼ 真空（.HV）和超⾼ 真空（.UHV）选件2D 尺⼨ 图LS25x.Lab.R 压电线性台 — 技术参数可选版本 ⇨ 正常版本.NM.HV.UHVNM， 绝对⽆ 磁版本；.HV， ⾼ 真空版本 .UHV ，超⾼ 真空版本；1 底⾯ 尺⼨ *⾼ 度25 × 25 mm × 8 mm2 主体材料不锈钢纯钛不锈钢不锈钢3 线缆 & 接头标准屏蔽线缆DSub9 接头kapton漆包线，PEEK-2mm插针运动参数-空间推荐安装形式 I. (下列性质均在推荐安装形式下测得)4 运动⾏ 程8 mm5 最⼤ 速度~ 20 mm/s6 最⼩ 步伐⼩ 于 15 nm7 驱动频率Max. 20 kHz (超安静运动)8 最⼤ ⽔ 平推⼒ 2 N9 保持⼒ 5 N0.3 mrad / 0.2 mrad10 全⾏ 程俯仰/偏摆运动参数-空间推荐安装形式 II. (下列性质均在推荐安装形式下测得)11最⼤ 垂直负载2 N12保持⼒ 5 N传感精度13位置传感类型- 电阻型传感( .R )14位置传感量程8 mm15位置传感分辨率~ 150 nm

新型LMA 系列直线电机平移台新型LMA 系列直线电机平移台特点： 优选直线电机，满足高速、高精度、高扭矩的要求，精度达到卓立汉光“超高精密”的标准 采用进口超高精密（SP级）线性滑块导轨，产品负载能力大、运动平稳，具有超高运动精度，达到国际先进水平 左右两侧均采用双光电开关（非接触式），起到减速、限位作用 左右两侧均采用双油压缓冲器，有效阻止高速碰撞 在多重保护的基础上，又增加聚氨酯防撞垫块，进一步提高安全性 可选择不同精度的玻璃式光栅尺或者钢带式光栅尺，配置灵活新型LMA 系列直线电机平移台技术指标型号LMA-TR-100LMA-TR-200LMA-TR-400LMA-TR-600LMA-TR-800LMA-TR-1000导轨形式线性滑块导轨，四滑块编码器分辨率（μm）0.1，1，5（可选）行程（mm）1002004006008001000理论最大速度（m/s）3510重复定位精度（mm）≤0.001（同光栅尺及控制器有关）定位精度（mm）±0.005或±0.010（同光栅尺及控制器有关）直线度（μm /100mm）＜3＜5平直度（μm/100mm）＜5＜8偏摆（″）＜10＜15俯仰（″）＜15＜20水平负载（Kg）253555自重（Kg）101216202530

TSM系列平移台采用线性滚珠走精磨钢棒和精研燕尾副（型号中加D）等多种导轨形式，细牙螺杆，分厘卡（型号中加A）和精研丝杠（型号中加S）等多种驱动方式，采用弹簧复位，消除轴向间隙,为您提供多种行程，多种精度，多种负载，多种安装台面选择。台面和底座分布标准孔距的安装孔，方便安装和组合，可与其它系列位移台组成多维位移台。■技术指标 TSM13-1TSM13-1ATSM13-2TSM13-2 A行程(mm)13精度(mm)0.005灵敏度(mm)0.002台面尺寸(mm)34x34导轨线性滚珠 驱动方式M6x0.25螺杆分厘卡M6x0.25螺杆分厘卡 驱动位置中心位置侧边位置 最小刻度(mm) 0.01 0.01 负载(kg)2自重(kg)0.050.070.050.07

TSM系列平移台采用线性滚珠走精磨钢棒和精研燕尾副（型号中加D）等多种导轨形式，细牙螺杆，分厘卡（型号中加A）和精研丝杠（型号中加S）等多种驱动方式，采用弹簧复位，消除轴向间隙,为您提供多种行程，多种精度，多种负载，多种安装台面选择。台面和底座分布标准孔距的安装孔，方便安装和组合，可与其它系列位移台组成多维位移台。 ■技术指标 TSM25-1TSM25-1ATSM25-2TSM25-2 A行程(mm) 25精度(mm)0.005灵敏度(mm)0.002台面尺寸(mm)54x54导轨线性滚珠驱动方式 M6x0.25螺杆分厘卡M6x0.25螺杆分厘卡驱动位置侧边位置中心位置最小刻度(mm) 0.01 0.01负载(kg)5自重(kg) 0.350.450.350.45

KSAxxx-13系列精密电控平移台该系列产品特别针对工业客户研发，底板采用U型新结构，刚性高，特别适合高承载及组维使用。密封采用弹性密封带，保证平移台在运动过程中也能可靠密封。经过严格检测，关键指标达到国际同类产品水平。标配1微米分辨率进口光栅尺（根据客户需要可以选配更高分辨率的光栅尺）。■产品特点：◆配合MC600系列运动控制箱，可实现闭环控制；◆高精密滚珠丝杠驱动，超精密线性滑轨导向，有效保证了运动精度和直线性；◆关键、主要自制件采用超精密加工；◆装配工艺严格、独特，保证了产品的性能一致性；◆左右极限开关和零位开关设置，保证了产品运行安全。■ 产品一览表 型号KSA050-13-XKSA100-13-XKSA200-13-XKSA300-13-XKSA400-13-X行程(mm)50100200300400导程(mm)45闭环分辨率(&mu m)1开环分辨率(&mu m)2.53.125最大速度(mm/sec.)4050重复定位精度(&mu m)3回程间隙(&mu m)5偏摆(&Prime )15202530俯仰(&Prime )15253040运动直线度(&mu m)10121520步进电机(步距角）42(1.8° ）57(1.8° ）工作电流（A）1.72.4

旋转压电线性位移台Rotator25主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 25*25*16.5 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 250 g & 1.5 Ncm&bull ⼤ ⾏ 程 : 360 ° endless&bull 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩ 位置分辨率 10 m°⼆ 维尺⼨ Rotator25, SpeciÞ cation*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本，默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 25 × 25 mm × 16.5 mm2 质量24 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线，20cm8 针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 -2 pins，传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程360 ° endless11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 3 °/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载250 g14 最⼤ 扭矩01.5 Ncm传感器（闭环）15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程320 °17 传感器分辨率10 m°18 重复定位精度~ 50 m°

LMA-TR系列直线电机平移台 说明：●LMA-TR 系列采用国产直流永磁同步直线电机，为无铁心U 型槽式结构，进口精密级线性滑块导轨，配合卓立汉光精密磨削工艺，可以提供高速度、高负载、高精度的电动平移台解决方案。LMA-TR 直线电机平移台自带霍尔元件作为极限开关，双向限位缓冲器，带拖链，可以选装不同类型和精度等级的光栅尺，详情请联系我们。 配套产品：TMC全功能运动控制系统特点：● 采用国产直线电机，性价比高● 进口精密级线性滑块导轨，导轨安装有基准面和定位面，运动特性好● 高速、高精度、高扭矩● 无磨损、免维护● 光栅尺可选、配置灵活 技术指标一览表：（研制中，以最终发布内容为准，此表不做为选型依据）型号LMA-TR-100LMA-TR-200LMA-TR-400LMA-TR-600LMA-TR-800LMA-TR-1000导轨形式线性滑块导轨，四滑块编码器分辨率(&mu m)0.1，0.5，1(可选)行程(mm)1002004006008001000理论最大速度(m/s)3510重复定位精度(mm)0.001(同光栅尺及控制器有关)定位精度(mm)0.003(同光栅尺及控制器有关)直线度(&mu m /100mm)＜3＜4＜5平直度(&mu m/100mm)＜4＜5＜6偏摆(&Prime )＜15＜20＜25俯仰(&Prime )＜20＜40＜50水平负载(Kg)253555自重(Kg)101216202530

PSMX13系列精密平移台PSMX系列产品采用精密线性滚珠和精磨钢棒导轨，分别采用分厘卡和螺距为M7X0.25螺纹副驱动，安装面采用高精密加工，重量轻、承载大，拉簧复位，消除空回，可组维使用。驱动分为左手型（L1/L1A）、右手型(1/1A)、中央型(C1/C1A)、竖直使用型（C2/C2A），适合不同的操作要求。 ■技术指标 型 号PSMX13-1/L1PSMX13-C1/C2PSMX13-1A/L1APSMX13-C1A/C2A行程(mm)± 6.5± 6.5± 6.5± 6.5驱动方式螺纹副螺纹副分厘卡分厘卡最小读数(mm)&mdash &mdash 0.010.01灵敏度(mm)0.0010.0010.001 0.001台面尺寸（mm）34× 3434× 3434× 3434× 34负载(kg)5.05.05.01.5

LMA-TE系列直线电机平移台 说明：LM-TE 系列采用进口无铁芯直线电机，高精密线性滑块导轨，配合卓立汉光精密磨削工艺，可以提供高速度、高负载、高精度的电动平移台解决方案。LMA-TE 直线电机平移台自带霍尔元件作为极限开关，双向限位缓冲器，带拖链，可以选装不同类型和精度的光栅尺，详情请联系我们。 配套产品： 特点： ● 采用进口直线电机，性价比高 ● 高速、高精度、高扭矩 ● 无磨损、免维护 ● 光栅尺可选、配置灵活 TMC全功能运动控制系统进口直线电机技术指标一览表：（研制中，以最终发布内容为准，此表不做为选型依据）型号LMA-TE-100LMA-TE-200LMA-TE-400LMA-TE-600导轨形式线性滑块导轨，四滑块编码器分辨率(&mu m)0.1，0.5，1(可选)行程(mm)100200400600理论最大速度(m/s)5重复定位精度(mm)0.001(同光栅尺及控制器有关)定位精度(mm)0.003(同光栅尺及控制器有关)直线度(&mu m /200mm)＜3＜4平直度(&mu m/200mm)＜4＜5偏摆(&Prime )＜15＜20俯仰(&Prime )＜20＜40水平负载(Kg)2535自重(Kg)10121620

二、线性平移台位移平台可以通过手动和电动来调节。具有高精度和卓越的稳定性。特性：尺寸紧凑，高载荷，平移范围5-40mm，可方便地组成X-Y,X-Y-Z方向调节器，用于光路中光学元件的调整。 角度调节台角度平台：围绕定位器安装面中心的一个固定旋转点进行精确角度调整定位。 旋转平台这些小型旋转台同时采用粗调和微调精确定位。连续旋转，360 °刻度读数，可用于水平或垂直，调整角度可锁定，带有横向千分尺。 倾斜台：采用高强度铝合金磨砂黑色的弹性和抗划伤性阳极氧化表面。结构紧凑，千分尺结构，俯仰范围±3 °，灵敏度3”

具有自主知识产权的真空预载气浮支承技术，能获得稳定的气膜间隙 高承载和刚度，负载能力80kg 先进的制造装调工艺，轴跳和端跳均优于0.05um，机械性能突出 多读数头误差反馈补偿技术，获得稳定的0.1”分度精度；采用压电马达驱动，实现纳米级控制，驱动分辨率0.001”，能实现任意角度分度；高可靠性驱动控制系统，稳定运行的保证 各项参数可根据用户需求定制。ZT320型高精度转台实物使用全组合法测试转台角定位精度角定位精度测试数据，优于0.1角秒参数值台面直径320mm承载能力80kg最大转速3rpm回转精度50nm控制分辨率0.001角秒有效行程360度定位精度0.1角秒

SDS 系列线性平移台采用极薄的型材，同时在不锈钢滚珠轴承的专用型槽上支持载重能力适中的单轴和多轴线性行程。不锈钢主体的设计考虑了工业 OEM 系统，使用最少数量的加工零件实现稳健的运动和长期稳定性。极薄侧面安装的促动器具有更小的占地面积滚珠轴承和优化的哥特式拱形接触轮廓行程平滑且具有刚性特征，角度偏差小于 150 ?μrad无影响锁定机制有关更多信息，请参阅Newport 官网。

UMR 系列双列滚珠轴承线性平移台具有坚固的钢结构和双列滚珠轴承，提供优异、平滑、线性的行程，同时还能承载高负载。移动托架预装入了两个弹簧，确保与测微计的恒定接触和无侧隙运动。线性、单轴、双列滚珠轴承平移台尺寸和行程的选择范围最大薄型钢结构，可实现高稳定性和刚度中心载重能力高达 200 磅型号UMR3.5UMR5.5UMR5.16UMR5.25UMR8.4最大位移台行程5 mm5 mm16 mm25 mm4 mm中心负载600 N600 N600 N600 N900 N轴向负载40 N40 N40 N40 N100 N角度偏差100 µ rad100 µ rad200 µ rad200 µ rad200 µ rad滚转顺应性0.7 mrad/Nm0.1 mrad/Nm0.1 mrad/Nm0.1 mrad/Nm0.05 mrad/Nm俯仰顺应性0.3 mrad/Nm0.2 mrad/Nm0.2 mrad/Nm0.2 mrad/Nm0.05 mrad/Nm偏摆顺应性0.5 mrad/Nm0.2 mrad/Nm0.2 mrad/Nm0.2 mrad/Nm0.05 mrad/Nm材料SteelSteelSteelSteelSteel轴承Double-Row Ball BearingsDouble-Row Ball BearingsDouble-Row Ball BearingsDouble-Row Ball BearingsDouble-Row Ball Bearings平台尺寸29 x 38.5 mm50 x 58 mm50 x 58 mm50 x 68 mm80 x 92 mm驱动位置Center driveCenter driveCenter driveCenter driveCenter drive螺纹类型8-324-40, 8-32 and 1/4-204-40, 8-32 and 1/4-204-40, 8-32 and 1/4-208-32 and 1/4-20推荐的BM 系列测微头BM11.5BM11.5BM11.16BM11.25BM17.04N推荐的DM差分式测微头DM11-5DM11-5DM11-16DM11-25DM17-4型号UMR8.25 1UMR8.51 2UMR12.40 3UMR12.63 4UMR12.80最大位移台行程25 mm50 mm40 mm63 mm80 mm中心负载900 N900 N400 N400 N400 N轴向负载100 N100 N440 N440 N440 N角度偏差200 µ rad150 µ rad200 µ rad200 µ rad200 µ rad滚转顺应性0.05 mrad/Nm0.05 mrad/Nm0.02 mrad/Nm0.02 mrad/Nm0.02 mrad/Nm俯仰顺应性0.05 mrad/Nm0.05 mrad/Nm0.02 mrad/Nm0.02 mrad/Nm0.02 mrad/Nm偏摆顺应性0.05 mrad/Nm0.05 mrad/Nm0.02 mrad/Nm0.02 mrad/Nm0.02 mrad/Nm材料SteelSteelAlloy SteelAlloy SteelAlloy Steel轴承 5Double-Row Ball BearingsDouble-Row Ball BearingsSingle-Row Ball BearingsSingle-Row Ball BearingsSingle-Row Ball Bearings驱动位置Center driveCenter driveCenter driveCenter driveCenter drive平台尺寸80 x 92 mm80 x 118 mm120 x 142.5 mm120 x 166.5 mm120 x 210.5 mm螺纹类型8-32 and 1/4-208-32 and 1/4-2010-24 and 1/4-2010-24 and 1/4-2010-24 and 1/4-20推荐的BM 系列测微头BM17.25BM17.51BM25.40BM25.63BM32.80推荐的DM差分式测微头DM17-25推荐使用 LTA 电动促动器LTA-HLLTA-HSLTA-HSLTA-HS推荐使用TRA 电动促动器TRA25CC or TRA25PPD推荐使用 TRB 电动促动器TRB25CC or TRB25PPD面向平滑移动和重型负载的双列滚珠轴承滚珠轴承滑块通过滚动运动提供更加平滑的位移。滚珠轴承通过具有哥特轮廓的硬化钢杆捕获在导轨中。这只产生最小摩擦的两个接触点，即使最小的增量运动也能提供极其平滑的行程。与其他滚珠轴承设计的 4 点接触相比，更少的接触点也意味着更少的差式滑动,并提供更高的载重能力。较低的差式滑动保持摩擦和磨损最小，增加了这些平台的耐久性和寿命。低轮廓并具有各种尺寸这些 UMR 线性位移台提供从 0.2 英寸 (5 mm) 到 3.15 英寸 (80 mm) 的行程。

UMR 系列双列滚珠轴承线性平移台具有坚固的钢结构和双列滚珠轴承，提供优异、平滑、线性的行程，同时还能承载高负载。移动托架预装入了两个弹簧，确保与测微计的恒定接触和无侧隙运动。线性、单轴、双列滚珠轴承平移台尺寸和行程的选择范围最大薄型钢结构，可实现高稳定性和刚度中心载重能力高达 200 磅 M-UMR8.25线性位移台，双列滚珠轴承，25 mm行程，M4和M625 mm80 x 92 mmM-UMR5.16线性位移台，双列滚珠轴承，16 mm行程，M3，M4和M616 mm50 x 58 mmM-UMR8.51线性位移台，双列滚珠轴承，51 mm，900 N 载重量，公制50 mm80 x 118 mmM-UMR3.5线性位移台，双列滚珠轴承，5 mm行程，M45 mm29 x 38.5 mmM-UMR5.25线性位移台，双列滚珠轴承，25 mm行程，M3，M4和M625 mm50 x 68 mmM-UMR5.5线性位移台，双列滚珠轴承，5 mm 行程，M3，M4和M65 mm50 x 58 mmM-UMR8.4线性位移台，双列滚珠轴承，4 mm行程，M4和M64 mm80 x 92 mm型号UMR3.5UMR5.5UMR5.16UMR5.25UMR8.4最大位移台行程5 mm5 mm16 mm25 mm4 mm中心负载600 N600 N600 N600 N900 N轴向负载40 N40 N40 N40 N100 N角度偏差100 µ rad100 µ rad200 µ rad200 µ rad200 µ rad滚转顺应性0.7 mrad/Nm0.1 mrad/Nm0.1 mrad/Nm0.1 mrad/Nm0.05 mrad/Nm俯仰顺应性0.3 mrad/Nm0.2 mrad/Nm0.2 mrad/Nm0.2 mrad/Nm0.05 mrad/Nm偏摆顺应性0.5 mrad/Nm0.2 mrad/Nm0.2 mrad/Nm0.2 mrad/Nm0.05 mrad/Nm材料SteelSteelSteelSteelSteel轴承Double-Row Ball BearingsDouble-Row Ball BearingsDouble-Row Ball BearingsDouble-Row Ball BearingsDouble-Row Ball Bearings平台尺寸29 x 38.5 mm50 x 58 mm50 x 58 mm50 x 68 mm80 x 92 mm驱动位置Center driveCenter driveCenter driveCenter driveCenter drive螺纹类型8-324-40, 8-32 and 1/4-204-40, 8-32 and 1/4-204-40, 8-32 and 1/4-208-32 and 1/4-20推荐的BM 系列测微头BM11.5BM11.5BM11.16BM11.25BM17.04N推荐的DM差分式测微头DM11-5DM11-5DM11-16DM11-25DM17-4型号UMR8.25 1UMR8.51 2UMR12.40 3UMR12.63 4UMR12.80最大位移台行程25 mm50 mm40 mm63 mm80 mm中心负载900 N900 N400 N400 N400 N轴向负载100 N100 N440 N440 N440 N角度偏差200 µ rad150 µ rad200 µ rad200 µ rad200 µ rad滚转顺应性0.05 mrad/Nm0.05 mrad/Nm0.02 mrad/Nm0.02 mrad/Nm0.02 mrad/Nm俯仰顺应性0.05 mrad/Nm0.05 mrad/Nm0.02 mrad/Nm0.02 mrad/Nm0.02 mrad/Nm偏摆顺应性0.05 mrad/Nm0.05 mrad/Nm0.02 mrad/Nm0.02 mrad/Nm0.02 mrad/Nm材料SteelSteelAlloy SteelAlloy SteelAlloy Steel轴承 5Double-Row Ball BearingsDouble-Row Ball BearingsSingle-Row Ball BearingsSingle-Row Ball BearingsSingle-Row Ball Bearings驱动位置Center driveCenter driveCenter driveCenter driveCenter drive平台尺寸80 x 92 mm80 x 118 mm120 x 142.5 mm120 x 166.5 mm120 x 210.5 mm螺纹类型8-32 and 1/4-208-32 and 1/4-2010-24 and 1/4-2010-24 and 1/4-2010-24 and 1/4-20推荐的BM 系列测微头BM17.25BM17.51BM25.40BM25.63BM32.80推荐的DM差分式测微头DM17-25推荐使用 LTA 电动促动器LTA-HLLTA-HSLTA-HSLTA-HS推荐使用TRA 电动促动器TRA25CC or TRA25PPD推荐使用 TRB 电动促动器TRB25CC or TRB25PPD面向平滑移动和重型负载的双列滚珠轴承滚珠轴承滑块通过滚动运动提供更加平滑的位移。滚珠轴承通过具有哥特轮廓的硬化钢杆捕获在导轨中。这只产生最小摩擦的两个接触点，即使最小的增量运动也能提供极其平滑的行程。与其他滚珠轴承设计的 4 点接触相比，更少的接触点也意味着更少的差式滑动,并提供更高的载重能力。较低的差式滑动保持摩擦和磨损最小，增加了这些平台的耐久性和寿命。低轮廓并具有各种尺寸这些 UMR 线性位移台提供从 0.2 英寸 (5 mm) 到 3.15 英寸 (80 mm) 的行程。中心孔径版本对于需要光学通道的应用，UMR系列还提供具有中心孔径的版本。

精密电动平移台EPSBF系列产品介绍：精密电动平移台EPSBF系列产品是OMTOOLS在EPSB系列产品基础上改进而成。产品采用高精密研磨滚珠丝杠、进口精密级自调心滚珠线性导轨和高品质联轴器等部件进行传动，采用小步距角、低发热、高平顺性的五相东方马达步进电机作为动力源，采用轻量化、高强度的优质铝合金作为主体材料，并结合多年积累特殊加工装配工艺制造而成。产品精度高、承载能力强，稳定性好、振动低，运行平顺性好。在精密光学实验、精密光学加工、光学检测等要求低扰动、超高精度定位应用场景中，是各类科研、工业用户的优选产品。 产品特点：■特有的机加工工艺和表面阳极氧化处理，实现精度、耐磨性和外观的完美统一；■研磨级滚珠丝杠传动，传动效率高、启动力矩小、无颤动和滞后，定位和重复定位精度高；■采用进口精密级自调心滚珠线性导轨，通过轻预压装配工艺，负载能力强，运行直线度、平行度好；运行平行度和直线度≤20μm■采用日本进口的五相东方马达步进电机，极大降低振动和噪音，提升运动平顺性■电机配有手轮，实现手自调节一体化；■2个机械限位开关，可实现超程降速和限位保护；■1个光电零位开关，实现零位精密定位和误差校正，防止误差累积；■标准DB9接口，通用性强，也可与我公司两相步进电机控制器兼容；■采用标准安装孔位，便于仪器设备安装及多自由度模组组合；■可选配光栅尺进行闭环控制，闭环分辨率可达0.1μm； 命名规则：EPSB-50FG-系列代码：精密电动平移台行程：50：50mm100：100mm150：150mm200：200mm300：300mm400：400mm可定制特殊规格电机：东方马达步进电机光栅尺：选配：G代表含光栅尺 选型表：型号EPSB50FGEPSB100FGEPSB150FGEPSB200FGEPSB300FG台面尺寸(mm)125X124160X160行程(mm)50100150200300传动机构精密滚珠丝杠?12X4精密滚珠丝杠?16X4导轨（导向机构）线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理整体高度（mm）55mm66mm自重3.553.854.154.59.4联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm）25-6-525-10-8闭环分辨率（μm）1μm0.1μm20细分开环分辨率0.4μm最大速度（mm/s）20单向定位精度（μm）≤8≤12≤16≤20≤28重复定位精度（μm）≤±3回程间隙（μm）≤5静态平行度（μm）≤40运动直线度（μm）≤20≤25运动平行度（μm）≤25≤30偏摆（“）≤50≤60俯仰（“）≤50≤60电机及步距角（゜）五相42步进电机，步距角0.72五相57步进电机,步距角0.72电机品牌及型号东方马达工作电流（A）1.82.8电机扭矩（Nm）0.370.81光栅尺品牌贵阳新天驱动器品牌及型号东方马达滑台接头&光栅尺接头两个DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.4限位传感器（内置）欧姆龙原点传感器（内置）欧姆龙传感器电源电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出；负载电源：DC5-24V；OFF电源：0.5mA以下；残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）；输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）；水平负载20kg30kg倒置负载10kg15kg竖直负载10kg15kg配合Z轴转接板型号OMLB01BOMLB01BOMLB02BOMLB02BOMLB03B最大速度为空载情况下，按照步进电机速度为300 /转理论计算和实际测量值。红星杨科技精密电动平移台EPSBF-G五相步进/光栅 电动位移滑台

精密电动平移台EPSBF系列产品介绍：精密电动平移台EPSBF系列产品是OMTOOLS在EPSB系列产品基础上改进而成。产品采用高精密研磨滚珠丝杠、进口精密级自调心滚珠线性导轨和高品质联轴器等部件进行传动，采用小步距角、低发热、高平顺性的五相东方马达步进电机作为动力源，采用轻量化、高强度的优质铝合金作为主体材料，并结合多年积累特殊加工装配工艺制造而成。产品精度高、承载能力强，稳定性好、振动低，运行平顺性好。在精密光学实验、精密光学加工、光学检测等要求低扰动、超高精度定位应用场景中，是各类科研、工业用户的优选产品。 产品特点：■特有的机加工工艺和表面阳极氧化处理，实现精度、耐磨性和外观的完美统一；■研磨级滚珠丝杠传动，传动效率高、启动力矩小、无颤动和滞后，定位和重复定位精度高；■采用进口精密级自调心滚珠线性导轨，通过轻预压装配工艺，负载能力强，运行直线度、平行度好；运行平行度和直线度≤20μm■采用日本进口的五相东方马达步进电机，极大降低振动和噪音，提升运动平顺性■电机配有手轮，实现手自调节一体化；■2个机械限位开关，可实现超程降速和限位保护；■1个光电零位开关，实现零位精密定位和误差校正，防止误差累积；■标准DB9接口，通用性强，也可与我公司两相步进电机控制器兼容；■采用标准安装孔位，便于仪器设备安装及多自由度模组组合；■可选配光栅尺进行闭环控制，闭环分辨率可达0.1μm； 命名规则：EPSB-50FG-系列代码：精密电动平移台行程：50：50mm100：100mm150：150mm200：200mm300：300mm400：400mm可定制特殊规格电机：东方马达步进电机光栅尺：选配：G代表含光栅尺 选型表：型号EPSB50FEPSB100FEPSB150FEPSB200FEPSB300F台面尺寸(mm)125X124160X160行程(mm)50100150200300传动机构精密滚珠丝杠?12X4精密滚珠丝杠?16X4导轨（导向机构）线性滑块导轨主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理整体高度（mm）55mm66mm自重3.553.854.154.59.4联轴器（外径-孔径1-孔径2）（mm）25-6-525-10-8整步分辨率（μm）8μm20细分开环分辨率0.4μm最大速度（mm/s）20单向定位精度（μm）≤10≤15≤20≤25≤35重复定位精度（μm）≤±3回程间隙（μm）≤5静态平行度（μm）≤40运动直线度（μm）≤20≤25运动平行度（μm）≤25≤30偏摆（“）≤50≤60俯仰（“）≤50≤60电机及步距角（゜）五相42步进电机，步距角0.72五相57步进电机，步距角电机品牌及型号东方马达工作电流（A）1.82.8电机扭矩（Nm）0.370.81驱动器品牌及型号东方马达滑台接头DB9（针）滑台接头线缆类型高柔性线缆滑台接头线缆长度（m）0.4限位传感器（内置）欧姆龙原点传感器（内置）欧姆龙传感器电源电压（V）DC5-24V ±10%消耗电流（mV）合计30mA以下控制输出输出方式：NPN集电极开路输出；负载电源：DC5-24V；OFF电源：0.5mA以下；残留电压：0.7V以下（负载电流50mA时）、0.4V以下（负载电流5mA时）；输出逻辑限位传感器：到达限位时输出晶体管OFF（截止）；零位光电传感器：到达限位时输出晶体管ON（导通）；水平负载20kg30kg倒置负载10kg15kg竖直负载10kg15kg配合Z轴转接板型号OMLB01BOMLB01BOMLB02BOMLB02BOMLB03B最大速度为空载情况下，按照步进电机速度为300 /转理论计算和实际测量值。精密电动平移台EPSBF五相步进 OMTOOLS高精度位移台

Linear16z 低温压电线性位移台● 紧凑的设计，外形尺寸：16 * 16 * 16 mm● 超高真空 & 极低温兼容：2 E-11 mbar & 30 mK● 无磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容 35 Tesla磁场● 高负载 & 大推力：250 g & 3 N● 大行程：3 mm● 闭环控制，内置位置传感器，最小位置分辨率为 0.1 um 低温压电陶瓷线性位移台，z方向，16mm尺寸——详细参数 *多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上无要求（建议低于50欧姆）。*In principle, there is no requirement on the total resistance of wiring used to drive a Multifields low temperature piezo-positioner (50 ohm below recommended).低温压电陶瓷线性位移台，z方向，16mm尺寸——尺寸图： 多场科技针对使用环境 (30 mK, 2E-11 mbar & 35 Tesla) 提供全尺寸的闭环线性运动解决方案。行程从毫米扩展至数十毫米；精度可达到纳米级别。“低温压电线性台”系列所有产品，默认工作环境为 1.4 K ~ 400 K, 1E-7 mbar ~ 大气 & Max. 35 Tesla。但该系列 “低温压电线性台”中的所有产品均有超⾼ 真空版本 ( .UHV ～ 2E-11 mbar ) 和超低温版本 ( .ULT ～ 30 mK ) 版本可选。运动控制器默认6路闭环输出，兼容多场科技的 “低温压电旋转台” 和 “低温压电摇摆台”。

德国PI六轴六足纳米平移台 德国Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米与纳米定位技术的研发与制造。PI代表着技术性能，定位精度可达纳米。PI可获得的组件独立于市场上，并提供超越现有技术水平的单独解决方案。高度的灵活性为PI的客户提供了显着的竞争优势。 Physik Instrumente提供了超越全球竞争的技术范围和垂直生产范围。然而，PI重要的关注是通过定位解决方案不断地激励客户。今天，无论是在计量、显微，生命科技，还是激光技术，精密加工技术；无论是半导体科技，数据存储技术，还是光电子/光纤，天文等领域，PI的产品和技术正得到越来越广泛的应用，也赢得了越来越广泛的赞誉。 Physik Instrumente (PI)主要产品： 线性平台和执行器 电动旋转平台和测角器 XY平台 六足/平行运动 XYZ扫描仪 Z-/倾斜平台，提示/倾斜镜和有源光学 陶瓷部件 压电陶瓷组件 压电陶瓷执行器 控制器和驱动器 空气轴承导向系统 主要型号： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91六轴六足位移台六自由度并联运动设计使其比串联运动系统更加紧凑、更具刚性，动态范围更大，无移动电缆：更稳定、摩擦更小，用于全天候应用的重型精密轴承。绝对编码器绝对编码器提供明确的位置信息，帮助即刻确定位置。这意味着在接通期间无需定位，提高了操作过程中的效率和安全性。六轴六足位移台无刷直流电机(BLDC)无刷直流电机尤其适合高旋转速度。能够对其进行控制并确保高精度。由于无滑动接触，可无磨损地平稳运行，因此能够实现较长的使用寿命。六轴六足位移台应用领域科研和工业. 用于天文学、光学定位、航空航天。 科研和工业. 用于天文学、光学定位、航空航天。

齿轮齿条燕尾槽手动平移台SPYC系列产品介绍：齿轮齿条燕尾槽手动平移台SPYC系列是OMTOOLS推出的齿轮齿条式手动平移台。该系列产品主体材料采用高强度铝合金，表面氧化黑处理，使用燕尾副导轨导向，负载能力强。采用斜齿轮齿条驱动，调整速度较快。侧面带有刻度并具有锁紧功能，锁紧效果好，稳定性高。台面和底座分布标准孔距的安装孔，方便安装和组合，可组成多维调整架或和其它系列产品组成多维调整。 产品特点：• 燕尾副导轨，大行程，负载能力强• 齿轮齿条传动，调整速度快• 带有刻度尺，读取数据快速便捷• 具有锁紧功能，锁紧效果好，稳定性强• 规格系列丰富、性价比高 命名规则：SPYC25L50系列代码：齿轮齿条燕尾槽手动平移台台面尺寸：25：25mm×42mm40：40mm×40mm主体长度：50mm-280mm 选型表：型号SPYC25-L50SPYC25-L70SPYC25-L100SPYC25-L150SPYC25-L200台面尺寸(mm)25X4225X4225X4225X4225X42主体长度（mm）5070100150200行程(mm)305080130180厚度(mm)2626262626最小刻度(mm)0.1导轨燕尾副导轨驱动方式齿轮齿条驱动位置侧面驱动主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重（Kg）0.110.120.150.190.24水平负载（Kg）33333配合面包板转接板型号OMLA06OMLA06OMLA06OMLA06OMLA06 型号SPYC40-L100SPYC40-L150SPYC40-L200SPYC40-L250SPYC40-L300台面尺寸(mm)40X4040X4040X4040X4040X40主体长度（mm）100150200250300行程(mm)80130180230280厚度(mm)2828282828最小刻度(mm)0.1导轨燕尾副导轨驱动方式齿轮齿条驱动位置侧面驱动主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重（Kg）0.240.310.380.450.52水平负载（Kg）33333配合面包板转接板型号 OMLA07OMLA07OMLA08OMLA08OMLA08 此部分的命名规则和上面的不同！！！SPYC4040系列代码：齿轮齿条燕尾槽手动平移台台面尺寸：4040：40mm×40mm4060：40mm×60mm4090：40mm×90mm 型号SPYC4040SPYC4060SPYC4090台面尺寸(mm)40X4040X6040X90主体长度（mm）406090行程(mm)204060厚度(mm)343434最小刻度(mm)0.1导轨燕尾副导轨驱动方式齿轮齿条驱动位置侧面驱动主体材料及表面处理铝合金，黑色阳极氧化处理自重（Kg）0.210.270.36水平负载（Kg）555配合面包板转接板型号 OMLA07OMLA07OMLA07

产品说明结构紧凑、高刚性；零间隙，高精度柔性铰链导向系统；常温和超低温均能使用，超高真空兼容；压电陶瓷促进器具有超长使用寿命；带位移传感器，提供位置和速度闭环控制； OMTOOLS提供的OMZF系列压电旋转台，采用压电陶瓷驱动器直接驱动，具有更快的加速度和更高的带宽、零摩擦和零粘力的铰链导向，并且导向精确性优良。采用传感器的闭环系统，具有谐振频率，扫描角度小、分辨率高、线性度好。一般应用于自适应光学、光束跟踪和稳定等需要快速响应和小角度偏转的领域，多用于图象处理/稳定、激光扫描、通信、光线偏转、光束偏转/稳定等系统。 具有定位精准，位置保持性好，自带自锁，能360°无限旋转等优点。在增加位置反馈模块后，可实现高精度及高分辨率的开环/闭环控制，适用于常规环境以及真空环境。

低温压电线性位移台Linear35-z.HV● 紧凑的设计，外形尺寸：35 * 35 * 30 mm● 超高真空 & 极低温兼容：2 E-11 mbar & 30 mK● 无磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容 35 Tesla磁场● 高负载 & 大推力：500 g & 5 N● 大行程：8 mm● 闭环控制，内置位置传感器，最小位置分辨率为 0.1 um● 通光孔径：10 mm低温压电线性位移台，z方向，35mm尺寸——详细参数：*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上无要求（建议低于50欧姆）。*In principle, there is no requirement on the total resistance of wiring used to drive a Multifields low temperature piezo-positioner (50 ohm below recommended).低温压电线性位移台，z方向，35mm尺寸——尺寸图：多场科技针对使用环境 (30 mK, 2E-11 mbar & 35 Tesla) 提供全尺寸的闭环线性运动解决方案。行程从毫米扩展至数十毫米；精度可达到纳米级别。“低温压电线性台"系列所有产品，默认工作环境为 1.4 K ~ 400 K, 1E-7 mbar ~ 大气 & Max. 35 Tesla。但该系列 “低温压电线性台"中的所有产品均有超⾼ 真空版本 ( .UHV ～ 2E-11 mbar ) 和超低温版本 ( .ULT ～ 30 mK ) 版本可选。运动控制器默认6路闭环输出，兼容多场科技的 “低温压电旋转台" 和 “低温压电摇摆台"。

低温压电线性位移台Linear16-x.HV● 紧凑的设计，外形尺寸：16 * 16 * 10.5 mm● 超高真空 & 极低温兼容：2 E-11 mbar & 30 mK● 无磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容 35 Tesla磁场● 高负载 & 大推力：50 g & 1.5 N● 大行程：3 mm● 闭环控制，内置位置传感器，最小位置分辨率为 0.1 um 低温压电线性位移台，x方向，16mm尺寸——详细参数：*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上无要求（建议低于50欧姆）。*In principle, there is no requirement on the total resistance of wiring used to drive a Multifields low temperature piezo-positioner (50 ohm below recommended).低温压电线性位移台，x方向，16mm尺寸——尺寸图：多场科技针对使用环境 (30 mK, 2E-11 mbar & 35 Tesla) 提供全尺寸的闭环线性运动解决方案。行程从毫米扩展至数十毫米；精度可达到纳米级别。“低温压电线性台”系列所有产品，默认工作环境为 1.4 K ~ 400 K, 1E-7 mbar ~ 大气 & Max. 35 Tesla。但该系列 “低温压电线性台”中的所有产品均有超⾼ 真空版本 ( .UHV ～ 2E-11 mbar ) 和超低温版本 ( .ULT ～ 30 mK ) 版本可选。运动控制器默认6路闭环输出，兼容多场科技的 “低温压电旋转台” 和 “低温压电摇摆台”。

超低温压电线性位移台Linear25-x.HV● 紧凑的设计，外形尺寸：25.4 * 25.4 * 9.5 mm● 超高真空 & 极低温兼容：2 E-11 mbar & 30 mK● 无磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容 35 Tesla磁场● 高负载 & 大推力：500 g & 2 N● 大行程：6 mm● 闭环控制，内置位置传感器，最小位置分辨率为 0.1 um低温压电线性位移台，x方向，25mm尺寸——详细参数：*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上无要求（建议低于50欧姆）。*In principle, there is no requirement on the total resistance of wiring used to drive a Multifields low temperature piezo-positioner (50 ohm below recommended).低温压电线性位移台，x方向，25mm尺寸——尺寸图：多场科技针对使用环境 (30 mK, 2E-11 mbar & 35 Tesla) 提供全尺寸的闭环线性运动解决方案。行程从毫米扩展至数十毫米；精度可达到纳米级别。“低温压电线性台"系列所有产品，默认工作环境为 1.4 K ~ 400 K, 1E-7 mbar ~ 大气 & Max. 35 Tesla。但该系列 “低温压电线性台"中的所有产品均有超⾼ 真空版本 ( .UHV ～ 2E-11 mbar ) 和超低温版本 ( .ULT ～ 30 mK ) 版本可选。运动控制器默认6路闭环输出，兼容多场科技的 “低温压电旋转台" 和 “低温压电摇摆台"。

低温压电线性位移台Linear35-x.HV● 紧凑的设计，外形尺寸：35 * 35 * 10.5 mm● 超高真空 & 极低温兼容：2 E-11 mbar & 30 mK● 无磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容 35 Tesla磁场● 高负载 & 大推力：2.5 kg & 3 N● 大行程：20 mm● 闭环控制，内置位置传感器，最小位置分辨率为 0.1 um低温压电线性位移台，x方向，35mm尺寸——详细参数：*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上无要求（建议低于50欧姆）。*In principle, there is no requirement on the total resistance of wiring used to drive a Multifields low temperature piezo-positioner (50 ohm below recommended).低温压电线性位移台，x方向，35mm尺寸——尺寸图：多场科技针对使用环境 (30 mK, 2E-11 mbar & 35 Tesla) 提供全尺寸的闭环线性运动解决方案。行程从毫米扩展至数十毫米；精度可达到纳米级别。“低温压电线性台"系列所有产品，默认工作环境为 1.4 K ~ 400 K, 1E-7 mbar ~ 大气 & Max. 35 Tesla。但该系列 “低温压电线性台"中的所有产品均有超⾼ 真空版本 ( .UHV ～ 2E-11 mbar ) 和超低温版本 ( .ULT ～ 30 mK ) 版本可选。运动控制器默认6路闭环输出，兼容多场科技的 “低温压电旋转台" 和 “低温压电摇摆台"。

低温压电线性位移台Linear25-z.HV● 紧凑的设计，外形尺寸：25 * 25 * 19.6 mm● 超高真空 & 极低温兼容：2 E-11 mbar & 30 mK● 无磁材料 纯Ti & BeCu组成，兼容 35 Tesla磁场● 高负载 & 大推力：300 g & 3 N● 大行程：6 mm● 闭环控制，内置位置传感器，最小位置分辨率为 0.1 um低温压电线性位移台，z方向，25mm尺寸——详细参数：*多场科技-低温压电位移台-对导线电阻原则上无要求（建议低于50欧姆）。*In principle, there is no requirement on the total resistance of wiring used to drive a Multifields low temperature piezo-positioner (50 ohm below recommended).低温压电线性位移台，z方向，25mm尺寸——尺寸图：多场科技针对使用环境 (30 mK, 2E-11 mbar & 35 Tesla) 提供全尺寸的闭环线性运动解决方案。行程从毫米扩展至数十毫米；精度可达到纳米级别。“低温压电线性台"系列所有产品，默认工作环境为 1.4 K ~ 400 K, 1E-7 mbar ~ 大气 & Max. 35 Tesla。但该系列 “低温压电线性台"中的所有产品均有超⾼ 真空版本 ( .UHV ～ 2E-11 mbar ) 和超低温版本 ( .ULT ～ 30 mK ) 版本可选。运动控制器默认6路闭环输出，兼容多场科技的 “低温压电旋转台" 和 “低温压电摇摆台"。