亚纳米级三维扫描台

SKYSCAN 2214 是布鲁克推出的新纳米断层扫描系统，是显微 CT 技术领域的先行者，在为用户带来了终级分辨率的同时,提供非常好的用户体验。SKYSCAN 2214 的每个组件都融入的新的技术，使其成为当今市场上性能很强、适用性很广的系统。■多用途系统，样品尺寸可达300mm，分辨率（像素尺寸）可达 60 纳米■金刚石窗口x射线源，焦斑尺寸500nm■创新的探测器模块化设计，可支持 4 个探测器、可现场升级。■全球速度很快的 3D 重建软件（InstaRecon）。■支持精确的螺旋扫描重建算法。■近似免维护的系统，缩短停机时间并降低拥有成本。地质、石油和天然气勘探■常规和非常规储层全尺寸岩心或感兴趣区的高分辨率成像■测量孔隙尺寸和渗透率，颗粒尺寸和形状■测量矿物相在3D空间的分布■原位动态过程分析聚合物和复合材料■以500 nm 的真正的 3D 空间分辨率解析精细结构■评估微观结构和孔隙度■量化缺陷、局部纤维取向和厚度电池和储能■电池和燃料电池的无损 3D 成像■缺陷量化■正负极极片微观结构分析■电池结构随时间变化的动态扫描生命科学■以真正的亚微米分辨率解析结构，如软组织、骨细胞和牙本质小管等■对骨整合生物材料和高密植体的无伪影成像■对生物样品的高分辨率表征，如植物和昆虫

“55mm 系列”— Linear55-x-Slim (闭环控制)低温 压电运动- 线性位移系列纳米级压电位移台Linear55-x-Slim主要特征&bull 紧凑设计, 尺⼨ : 55*55*10.5 mm&bull 超⾼ 真空 & 超低温兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK&bull ⽆ 磁材料(纯 Ti & BeCu)，最⾼ 兼容 18 Tesla 磁场&bull 超⾼ 负载 & 超⾼ 推⼒ : 2500 g & 3 N&bull ⼤ ⾏ 程 : 30 mm&bull 闭环控制，内置位置传感器， 最⼩ 位置分辨率 0.1 um纳米级压电位移台Linear55-x-Slim⼆ 维尺⼨ Linear55-x-Slim, SpeciÞ cation*所有数据均通过50欧姆线缆测量. 虽然对导线的电导率没有要求，但我们建议电阻低于50欧姆。 可选版本 ⇨ .HV (默认).ULT.UHV.ULT.UHV.HV ⾼ 真空版本，默认产品 .ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机.UHV 超⾼ 真空版本, 最⾼ 兼容 2E-11 mbar1 三维尺⼨ 55.× 55 mm × 10.5 mm2 质量130 g适⽤ 环境范围 3 基础温度范围: 1.4 ~ 400 K 最低真空度: 2e-7 mbar 最⼤ 磁场: 18 Tesla4 可选1 - 30 mK&check &check 5 可选2 - 2e-11 mbar&check &check 材质6 主体Pure TiBeCuPure TiBeCu7 线缆磷⻘ 铜双绞线，20cm8 针脚材质聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCuPeek, BeCu9 针脚数量驱动 -2 pins，传感 - 3 pins运动参数10 ⾏ 程30 mm11 最⼤ 运动速度 @300 K~ 2 mm/s12 驱动电压Max. 200 V13 最⼤ 负载2500 g14 最⼤ 推⼒ 3 N传感器（闭环）15 位置传感器电阻传感16 传感器⾏ 程30 mm17 传感器分辨率~ 150 nm18 重复定位精度1 - 2 um

魔技纳米DLW-Bio专为生物应用设计的加工检测一体纳米级三维激光直写设备DLW-Bio具备纳米级高精度3D加工能力，满足复杂生物结构的微纳制造需求，同时可兼有生物荧光显微功能。设备配备多种生物样品台，可根据具体需求灵活配置和定制，适应不同生物医学样品和微流控芯片等打印要求。该设备还特别配备多种生物相容性打印材料，包括无生物毒性且具备亚微米特征和高纵横比的光敏聚酯、水凝胶，均符合ISO-10993-5/USP87标准，可在生物医学领域安全应用。用户可以根据研究需要选择适合的材料，实现定制化的生物医学样品打印。从组织工程到微流控芯片，从药物递送系统到个性化医疗，DLW-RD-Bio为多样化的生物医学应用提供强大的材料支持。如需了解更多产品信息，欢迎查询我司官网 魔技纳米科技或来电咨询。 [企业介绍] 魔技纳米科技是三维微纳制造领域集研发、生产、销售、服务于一体的高新技术企业。核心研发团队拥有十年以上设备研发经验，深入生物医疗、光电通信、新材料、微纳器件等多个产业应用领域，打造具有自主知识产权的商用纳米级三维激光光刻直写制造系统。拥有应用于多行业场景的成熟加工工艺。可定制研发适配各产业领域生产需求的个性化设备和产品，突破生物制药、传感、光电芯片、超材料等领域从科研到工业生产的屏障，将纳米级制造精度和大范围生产相结合，提供针对精密智造领域的整套专业解决方案。

中图仪器SuperViewW纳米级微观三维形貌3D白光干涉仪主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。它能以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。SuperViewW纳米级微观三维形貌3D白光干涉仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。产品功能1)样件测量能力：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；2)单区域自动测量：单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；3)多区域自动测量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位，一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；4)自动拼接测量；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量； 5)编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动单测量功能，实现一键测量；6)数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；7)数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。8)批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；9)数据报表导出：支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、数值结果的导出；10)故障排查功能：配置诊断模块，可保存扫描过程中的干涉条纹图像；11)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；12)环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据；13)气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度；14)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；15)镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。应用领域对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，SuperViewW纳米级微观三维形貌3D白光干涉仪的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式手动和电动兼容型Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×600×900㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

魔技纳米MJ-Works-Fiber专为光纤应用设计的纳米级三维激光直写设备MJ-Works-Fiber是一款专为光纤传感与光通信应用而生的超高精度加工而设计的高性能3D激光直写设备，配有超清成像及纳米级定位对准系统，可实现在光纤纤芯或光芯片表面及内部进行纳米级3D加工。配备有专门的卷对卷光纤自动输送装置，并配有应力监测，纤芯自动识别、定位及对准，实现高通量精准快速生产。如需了解更多产品信息，欢迎查询我司官网 魔技纳米科技或来电咨询。 [企业介绍]魔技纳米科技是三维微纳制造领域集研发、生产、销售、服务于一体的高新技术企业。核心研发团队拥有十年以上设备研发经验，深入生物医疗、光电通信、新材料、微纳器件等多个产业应用领域，打造具有自主知识产权的商用纳米级三维激光光刻直写制造系统。拥有应用于多行业场景的成熟加工工艺。可定制研发适配各产业领域生产需求的个性化设备和产品，突破生物制药、传感、光电芯片、超材料等领域从科研到工业生产的屏障，将纳米级制造精度和大范围生产相结合，提供针对精密智造领域的整套专业解决方案。

魔技纳米PROME-Uni基于多光⼦ 聚合原理的超⾼ 速度一体化纳米级三维加⼯ 设备自研专利技术，大幅提高加工效率，突破多光子聚合速度限制，适应不同尺度的精密加工需求；拥有多项稳定系统，可长时无需维护，稳定工作；采用模块化的光机电设计，拥有极高的灵活性和可扩展性；为科研和工业领域提供全新的3D加工技术解决方案，适用于微光学器件、微流控芯片、微机械、超材料、微纳传感器件光子芯片集成等领域 主要特点： 如需了解更多产品信息，欢迎查询我司官网 魔技纳米科技或来电咨询。 企业介绍 魔技纳米科技是三维微纳制造领域集研发、生产、销售、服务于一体的高新技术企业。核心研发团队拥有十年以上设备研发经验，深入生物医疗、光电通信、新材料、微纳器件等多个产业应用领域，打造具有自主知识产权的商用纳米级三维激光光刻直写制造系统。拥有应用于多行业场景的成熟加工工艺。可定制研发适配各产业领域生产需求的个性化设备和产品，突破生物制药、传感、光电芯片、超材料等领域从科研到工业生产的屏障，将纳米级制造精度和大范围生产相结合，提供针对精密智造领域的整套专业解决方案。

中图仪器SuperViewW1三维光学表面轮廓仪纳米级白光3D形貌检测以白光干涉技术为原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）；产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。性能特色1、高精度、高重复性 1）SuperViewW1三维光学表面轮廓仪纳米级白光3D形貌检测采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。SuperViewW1三维光学表面轮廓仪纳米级白光3D形貌检测可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

仪器简介： 德国Klocke Nanotechnik公司生产的纳米级三维测量仪(3D Nanofinger)俗称纳米三坐标，是一种实用的纳米精度坐标和形貌综合测量设备。由台架、控制系统、探头、针尖组成. 可测量样品外形尺寸，表面轮廓、粗糙度等，并可与超精密微加工、微组装系统组合，进行在线检测、质量控制等。系统拥有5个自由度，可以根据样品设定测量路径，测量范围达到厘米级甚至更大。现已广泛应用于超精密机械加工、MEMS器件、半导体微电子加工、光学、分子生物学和精密工程。 技术参数：设备主要参数： 测量范围: X = 10, 20 or 50 mm Y = 10, 20 or 50 mm Z = 10 or 20 mm 采用花岗岩基底，XY方向行程扩展为： 100 x 100 mm2 or 350 x 350 mm2 测量特性： 运动分辨率： 1 nm 针尖分辨率： 0.5 nm 水平与竖直方向均配有操纵传感器 线形轮廓测量 样品内部与外部轮廓测量 坐标测量功能 测量用探针: 针尖型金属丝, 尖端半径 100 nm 钩型金属丝, 尖端半径 100 nm 圆形针尖, 直径 0.12-0.3 mm 金刚石针尖, 如用于表面压痕 软件： 针尖自动校准与逼近 2D 和 3D 图形功能 分析软件 自动化模块选项（序列发生器） 可选择的配置: 小型花岗岩平台式3D-Nanofinger 便携式3D-Nanofinger 3D-Nanofinger 模块，如集成到CNC机床内部 适合电镜中安装的3D-Nanofinger 模块 可安装到多功能检测工作台中 附件: 纳米精度自动旋转平台 摄像机 图形识别系统主要特点：1.纳米精度测量，而且是三维方向都可保持统一的精度。 2.测量量程跨越纳米到厘米,甚至分米级。 3.多功能多参数测量设备，可以涵盖三坐标、轮廓仪、形貌仪、粗糙度仪等的功能。 4.用户可以设定测量路径，这样就能沿着样品形状进行测量。适合复杂轮廓测试。 5.配合多种不同功能的探针，可以完成一般轮廓仪无法进行的结构测量。特别是结构内部。 6.用户可以根据需要灵活设置测量方法，可以进行大面积精确测量，也可以先进行大面积低精测量，然后对特定感兴趣的区域进行高精测量，以节省时间。 7.整个过程非接触的，间距可以保持在可以设定为几个纳米。适合各种固态样品测量，对材料性质没有特别要求和限制。 8.布局灵活，根据用户测试要求组成合适的系统。平台可以任意组合，探头也以改变安装方向。 9.如果和微加工设备组合，可以实现在线测量。

产品详情德国Klocke Nanotech纳米级三维测量仪3D Nanofinger 纳米级三维测量仪(3D Nanofinger)俗称纳米三坐标，是一种实用的纳米精度坐标和形貌综合测量设备。由台架、控制系统、探头、针尖组成. 可测量样品外形尺寸，表面轮廓、粗糙度等，并可与超精密微加工、微组装系统组合，进行在线检测、质量控制等。系统可以根据样品设定测量路径，测量范围达到厘米级甚至更大。现已广泛应用于超精密机械加工、MEMS器件、半导体微电子加工、光学、分子生物学和精密工程。 工作原理： Nanofinger传感器是一个小的MEMS器件，用来监测针尖和样品之间的距离。这个距离小于10nm时，传感器检测到针尖和样品之间的范德华力。此过程针尖跟样品没有接触，即没有任何损伤。 Nanofinger的传感器由一个特殊的，带宽为几kHz的高速电子控制系统驱动，闭环控制朝向样品运动，增量为1nm直至达到理想的信号值（如，放大倍数为75%）。这时，位置信息以坐标数据信息存储下来。传感器继续运动，到达下一位置，任何时候，都是1nm增量的闭环控制。同时，在X.Y和Z方向都可以实现厘米的运动行程。 所有运动方向都实现1nm运动分辨率。线扫描后非常容易地获得三维图像。 应用灵活： 3D-Nanofinger可以作为一个模块，应用到其他系统中。 可以构建成一个独立的纳米级三维测量仪。 可以与Klocke公司的机械臂组合，安装在SEM/FIB系统中，进行三维测量。“实时的图像位置”模块引导Nanofinger轻松到达鼠标点击的SEM图像位置。 设备主要参数： 可选行程: X = 20 or 50 mm2 Y = 20 or 50 mm2 Z = 10 or 20 mm2 采用花岗岩基底，XY方向行程扩展为： 100 x 100 mm2 or 350 x 350 mm2 测量特性： 运动分辨率： 1 nm针尖分辨率： 0.5 nm水平与竖直方向均配有操纵传感器线形轮廓测量样品内部与外部轮廓测量坐标测量功能 测量用探针: 针尖型金属丝, 尖端半径 100 nm钩型金属丝, 尖端半径 100 nm圆形针尖, 直径 0.12-0.3 mm金刚石针尖, 如用于表面压痕 软件: 针尖自动校准与逼近2D 和 3D 图形功能工序设置，实现复杂动作自动控制（选项） 应用图例： 轮廓测量 二维和三维轮廓和表面精糙度参数 TFT LCD显示行业的金字塔结构 外形测量 沿内部及外部形状 1.4 mm直径的内螺纹 尺寸测量 确定物体的方位和尺寸 钻床和磨床上使用的刀具刃部的三维图像

中图仪器NS200探针纳米级表面测量台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。NS200探针纳米级表面测量台阶仪通常使用2μm半径的金刚石针尖来测量这些小特征。一个精密的xy载物台联合扫描轴R和转台θ，在测针下移动样品，测针中的垂直位移被转换为与特征尺寸相对应的电信号。然后将这些电信号转换为数字格式，在其中它们可以显示在计算机屏幕上并进行操作以确定有关基材的各种分析信息。可以微调扫描长度和扫描速度，以增加或减少分析时间和分辨率。此外，测力可调以适应硬质或软质材料表面。结构主要组成部分1、测量系统（1）单拱龙门式设计，结构稳定性好，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响，提高了测量精度。（2）线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。（3）传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量。测力恒定可调，以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的精准接触式测量。2、工件台 （1）精密的XY平台结合360°连续旋转电动旋转台，可以对样品的位置以及角度进行调节，三维位置均可以调节，利于样品调整。（2）超高直线度导轨，有效避免运动中的细微抖动，提高扫描精度，真是反映工件微小形貌。3、成像系统500万像素高分辨率彩色摄像机，即时进行高精度定位测量。可以将探针的形貌图像传输到控制电脑上，使得测量更加直观。4、软件系统测量软件包含多个模块。5、减震系统防止微小震动对测量结果的影响，使实验数据更加准确。NS200探针纳米级表面测量台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。3）应力测量：可测量多种材料的表面应力。2.测量模式与分析功能1）单区域测量模式：完成Focus后根据影像导航图设置扫描起点和扫描长度，即可开始测量。2）多区域测量模式：完成Focus后，根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，可根据横向和纵向距离来阵列形成若干到数十数百项扫描路径所构成的多区域测量模式，一键即可完成所有扫描路径的自动测量。3）3D测量模式：完成Focus后根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，并可根据所需扫描的区域宽度或扫描线条的间距与数量完成整个扫描面区域的设置，一键即可自动完成整个扫描面区域的扫描和3D图像重建。4）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.双导航光学影像功能在NS200-D型号中配备了正视或斜视的500W像素的彩色相机，在正视导航影像系统中可精确设置扫描路径，在斜视导航影像系统中可实时跟进扫描轨迹。4.快速换针功能采用了磁吸式测针，当需要执行换针操作时，可现场快速更换扫描测针，并根据软件中的标定模块进行快速标定，确保换针后的精度和重复性，减少维护烦恼。磁吸针实物外观图（330μm量程）应用场景介绍部分技术参数型号NS200测量技术探针式表面轮廓测量技术探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)样品R-θ载物台电动，360°连续旋转单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

压电纳米定位台是一款三维运动的压电平 台，行程可高达 100μm，适用于小型样品的三维纳米定位应用。产品特点■ 高速响应■ 压电陶瓷驱动■ 较高的重复定位精度■ 纳米级位移分辨率■ 机体材料为铝合金■ 具有开环和闭环两种控制方式■ 采用数控、线切割等加工工艺，严格保证结构精度■ 采用计算机有限元仿真分析等现代设计方案设计微动结构■ 采用精机的表面处理工艺，提高了适应不同工作环境的能力

OptoTop 高精度纳米级三维形貌仪设备介绍： OptoTop不仅可以测量材料的表面三维形貌，而且可以测量表面的颗粒度，纳米颗粒大小和粗糙度，以及复杂的表面磨耗性能。OptoTop可满足研发、磨损分析、失效分析及工艺控制等领域的需求。设备优点: ¤ 操作简便¤ 高速数据采集能力¤ 强大的数据分析能力¤ 对各种材料和涂层进行智能测量¤ 线性轮廓的微粗糙度值¤ 实现2-D线性剖面，3-D显示表面轮廓及高度剖面应用领域: ◆ 平坦、结构性及弯曲表面的粗糙度及结构分析◆ 测量宏观和微观的几何结构◆ 表面控制，例如滚动起伏（选购配件：移动式装置）技术资料 感应度白光共聚焦测量范围Z*300µ m1mm 2mm解析度 Z*12nm25nm75nm侧向解析度1.55µ m2µ m4µ m测量感应距离11mm12.7mm16.4mm测量频率30 Hz, 100 Hz, 300 Hz, 1 kHzv标准XY轴试验范围60 x 60 mm移动速度0.1 - 10 mm/s标准样品台大小165 x 165 mm 或定制品

中图仪器NS系列纳米级高精度台阶仪接触式表面形貌测量是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，其主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。它采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。台阶仪工作原理当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。结构主要组成部分1、测量系统（1）单拱龙门式设计，结构稳定性好，而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响，提高了测量精度。（2）线性可变差动电容传感器（LVDC），具有亚埃级分辨率，13μm量程下可达0.01埃。高信噪比和低线性误差，使得产品能扫描到几纳米至几百微米台阶的形貌特征。（3）传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和正常力测量。测力恒定可调，以适应硬质或软质材料表面。超低惯量设计和微小电磁力控制，实现无接触损伤的精准接触式测量。2、工件台（1）精密的XY平台结合360°连续旋转电动旋转台，可以对样品的位置以及角度进行调节，三维位置均可以调节，利于样品调整。（2）超高直线度导轨，有效避免运动中的细微抖动，提高扫描精度，真是反映工件微小形貌。3、成像系统500万像素高分辨率彩色摄像机，即时进行高精度定位测量。可以将探针的形貌图像传输到控制电脑上，使得测量更加直观。4、软件系统测量软件包含多个模块。5、减震系统防止微小震动对测量结果的影响，使实验数据更加准确。NS系列纳米级高精度台阶仪接触式表面形貌测量应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位，其对表面微观形貌参数的准确表征，对于相关材料的评定、性能的分析与加工工艺的改善具有重要意义。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。3）应力测量：可测量多种材料的表面应力。2.测量模式与分析功能1）单区域测量模式：完成Focus后根据影像导航图设置扫描起点和扫描长度，即可开始测量。2）多区域测量模式：完成Focus后，根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，可根据横向和纵向距离来阵列形成若干到数十数百项扫描路径所构成的多区域测量模式，一键即可完成所有扫描路径的自动测量。3）3D测量模式：完成Focus后根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，并可根据所需扫描的区域宽度或扫描线条的间距与数量完成整个扫描面区域的设置，一键即可自动完成整个扫描面区域的扫描和3D图像重建。4）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.双导航光学影像功能在NS200-D型号中配备了正视或斜视的500W像素的彩色相机，在正视导航影像系统中可精确设置扫描路径，在斜视导航影像系统中可实时跟进扫描轨迹。4.快速换针功能NS系列纳米级高精度台阶仪接触式表面形貌测量采用了磁吸式测针，当需要执行换针操作时，可现场快速更换扫描测针，并根据软件中的标定模块进行快速标定，确保换针后的精度和重复性，减少维护烦恼。 磁吸针实物外观图（330μm量程）应用场景介绍

中图仪器SuperViewW高精度微纳米白光干涉三维形貌仪基于白光干涉原理，以3D非接触方式，对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。产品功能(1)SuperViewW高精度微纳米白光干涉三维形貌仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：SuperViewW高精度微纳米白光干涉三维形貌仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，中图仪器SuperView W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。 性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。 部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

P12系列压电扫描台为压电陶瓷驱动、1~3维并联式平移扫描台，台体中心圆形通孔孔径可选25mm或35mm，满足显微等应用。压 电扫描台可以实现单轴320μm的位移行程，一体式结构使得多维运动无耦合、多种规格型号可选，以满足不同应用的需求。P12.XYZ三维XYZ轴压电扫描台，结构紧凑，外形尺寸60×60×24mm，最大行程可达110μm。压电驱动、无摩擦、柔性铰链导向系统使得这一系列产品实现纳米级的分辨率，毫秒级的响应时间，台体中心中孔尺寸达Φ25mm，非常适合于显微及扫描中的样品定位。特性 三维XYZ向运动，最大行程110μm/轴 最大承载0.6kg 通孔尺寸：?25mm(?35mm可选 ) 闭环重复定位精度高 响应速度快P12系列压电扫描台采用机构放大设计原理，超小的体 积外形，尺寸仅为60×60×24mm，P12.XYZ可以实现最大110μm/轴的扫描范围，中心通孔可选25mm或35mm，35mm通孔对应台体外形尺寸为70×70×24mm。台体采用FEA有限元分析优化设计，具有零摩擦、超高导向精度、纳米级分辨率等优点。P12系列压电扫描台内置高可靠性表面绝缘压电陶瓷，确保了扫描台的可靠性与稳定性。

中图仪器NS系列纳米级表面测量台阶仪是一种接触式表面形貌测量仪器，可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。NS系列纳米级表面测量台阶仪采用了线性可变差动电容传感器LVDC，具备超微力调节的能力和亚埃级的分辨率，同时，其集成了超低噪声信号采集、超精细运动控制、标定算法等核心技术，使得仪器具备超高的测量精度和测量重复性。产品功能1.参数测量功能1）台阶高度：能够测量纳米到330μm或1050μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等工艺期间沉积或去除的材料。2）粗糙度与波纹度：能够测量样品的粗糙度和波纹度，分析软件通过计算扫描出的微观轮廓曲线，可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数十项参数。3）应力测量：可测量多种材料的表面应力。2.测量模式与分析功能1）单区域测量模式：完成Focus后根据影像导航图设置扫描起点和扫描长度，即可开始测量。2）多区域测量模式：完成Focus后，根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，可根据横向和纵向距离来阵列形成若干到数十数百项扫描路径所构成的多区域测量模式，一键即可完成所有扫描路径的自动测量。3）3D测量模式：完成Focus后根据影像导航图完成单区域扫描路径设置，并可根据所需扫描的区域宽度或扫描线条的间距与数量完成整个扫描面区域的设置，一键即可自动完成整个扫描面区域的扫描和3D图像重建。4）SPC统计分析：支持对不同种类被测件进行多种指标参数的分析，针对批量样品的测量数据提供SPC图表以统计数据的变化趋势。3.双导航光学影像功能在NS200-D型号中配备了正视或斜视的500W像素的彩色相机，在正视导航影像系统中可精确设置扫描路径，在斜视导航影像系统中可实时跟进扫描轨迹。4.快速换针功能采用了磁吸式测针，当需要执行换针操作时，可现场快速更换扫描测针，并根据软件中的标定模块进行快速标定，确保换针后的精度和重复性，减少维护烦恼。磁吸针实物外观图（330μm量程）NS系列纳米级表面测量台阶仪对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求，样品适应面广，数据复现性高、测量稳定、便捷、高效，是微观表面测量中使用非常广泛的微纳样品测量手段。应用场景适应性强，其对被测样品的反射率特性、材料种类及硬度等均无特殊要求，能够广泛应用于半导体、太阳能光伏、光学加工、LED、MEMS器件、微纳材料制备等各行业领域内的工业企业与高校院所等科研单位。典型应用部分技术参数型号NS200测量技术探针式表面轮廓测量技术探针传感器超低惯量，LVDC传感器平台移动范围X/Y电动X/Y(150mm*150mm)(可手动校平)样品R-θ载物台电动，360°连续旋转单次扫描长度55mm样品厚度50mm载物台晶圆尺寸150mm（6吋）,200mm（8吋）尺寸（L×W×H）mm640*626*534重量40kg仪器电源100-240 VAC，50/60 Hz，200W使用环境相对湿度：湿度 （无凝结）30-40% RH温度：16-25℃ (每小时温度变化小于2℃)地面振动：6.35μm/s（1-100Hz）音频噪音：≤80dB空气层流：≤0.508 m/s（向下流动）恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

基于音圈电机驱动和高精度导向模组实现纳米级超高分辨力的定位/扫描直线运动，内置光栅位移传感器，结构紧凑，通过自主研发的高性能纳米伺服系统获得优异的闭环控制效果，具有纳米级运动分辨率和运动精度，同时兼具高速、高动态位移定位和扫描功能。特点：高精度、高动态、跨尺度、大承载、灵活性应用领域：光学系统中透镜的定位医学装置中精密电子管、真空管控制机械工具的多坐标定位平台柔性机器人中使未端执行器快速精确定位

仪器简介 ANASYS公司长期致力于纳米热学分析领域，开发出了多种新颖的、易操作的研究和分析仪器。基于多年累积的纳米热学专利技术，ANASYS又推出了一款最新的测试技术仪器&mdash &mdash Nano-IR纳米级红外光谱仪。突破了传统的傅里叶红外光谱（FT-IR）及衰减全反射红外光谱（ATR-IR）的分辨局限，让用户可以获得纳米尺度上的红外光谱分析、热分析、扫描探针成像和热力学性能测试。技术参数主要技术参数光谱范围：1200-1600cm-1光谱分辨率：16cm-1最大图像尺寸：100&mu m× 100&mu m光谱采集时间：&le 1min主要特点①　与&ldquo 远场&rdquo 光学相比，改技术的特点在于吸收的辐射可以通过尖端近场的尖端得到测量。②　PTIR技术可以实现纳米级红外并获得样品的化学性质。③　接触共振获得样品的力学性质。④　通过原子力显微镜（AFM）获得高分辨率的样品三维相貌图。⑤　纳米热学分析获得样品的热量传输温度。⑥　Nano-IR操作软件能够自动的跟踪并且可以让用户便捷的获得样品任 意位置的红外吸收光谱。

工业CT三维扫描简 介： 工业CT是工业用计算机断层成像技术的简称，采用辐射成像原理，实现对产品的非接触式三维高精度扫描成像，可获得产品内部高精度的三维断层数据和材料数据，清晰、准确、直观地展示被检测物体内部的结构、组成、材质及缺损状况。目 的：在不破坏零件的前提下通过CT技术重建零件的三维模型，进行材料缺陷分析、无损测量、材料分析、逆向工程等。优 势：检测设备拥有高精度微米和纳米级别的射线源、先进的高频恒压X射线源、数字成像探测器以及高精度机械检测平台，检测速度快、图像清晰、检测精准能够实现关键零部件、组件和系统的精确定量无损检测与评价。应用范围：产品广泛应用于航天、航空、军工、机械、铸造、IT、汽车等行业的无损检测和无损测量。测试步骤：确认样件材质、尺寸→放置检测平台→三维扫描→CT重建→缺陷分析。

SkyScan 2214多量程x射线纳米ct系统，X射线源电压最高可达160kV。最多可提供四个探测器，CMOS探测器用于高能量快速扫描，3个CCD探测器用于各种情形下的高分辨率扫描。高能量与高分辨的完美结合，使其能够灵活地适用于各种类型、各种大小的样品，并实现纳米级分辨率的样品扫描，为不同领域材料的3D成像和精确建模提供独一无二地解决方案，广泛应用于油气开采，复合材料，燃料电池，电子产品等领域。SkyScan 2214高分辨三维X射线显微成像系统可对直径为30cm，长度40cm样品的内部结构进行3D无损检测与重建，对样品的细节检测能力（标称分辨率）最高可达60纳米。 特点介绍： ●最大程度上保护样品：无需制备样品，无损三维重现● 对样品的细节检测能力（分辨率）最高可达：60nm● 最大样品直径：30cm； 最大样品长度：40cm●自动可变扫描几何系统：根据用户设定的放大倍率，仪器可自动优化扫描几何，找到最快的测试方案，用最短时间，得到高质量数据●全新的160kV超高强度开放式微焦斑X射线光源，提供更高的光通量和更好的光束稳定性，20-160kV连续可调，完全免维护● 配备多探测器：600万像素CMOS探测器适用于高能量X射线，800/1100万像素CCD探测器更适合高分辨测试模式 了解更多应用方向，请致电束蕴仪器（上海）有限公司~

纳米级材料振动分散机JQ-NM10A/B/C 纳米级材料分散机采用三维高频振动技术，产生每分钟上千次的冲击、剪切、研磨，效率比球磨机提高几十倍。通过冲击力和摩擦力结合的方法来减小颗粒尺寸。电磁动力马达产生振动，通过研磨球的冲击振动进行分散纳米材料，纳米粉体被其所添加溶剂、助剂、分散剂、树脂等包覆住，以便达到颗粒完全被分离，此外，由研磨球翻滚运动产生的摩擦也使样品的尺寸进一步减小。 行业应用：适用于实验干样品或悬浮液中固体样品的精细研磨粉碎适用于乳状液或糊状物的均匀化处理适用于纳米材料分散，效果优于普通机械法和超声波法适用于无机矿物材料的表面改性、光饰作用，金属材料的机械合金化技术参数型号JQ-NM10A/B/C订货号JQ001631-0113定时器0—99小时分散珠材质氧化锆/碳化钨/不锈钢振动频率1500次/分主机尺寸Φ600 * 800主机重量140kg研磨罐数量（个）（A）1/（B）3/(C)6显示及控制液晶触摸屏（1~100段程序梯度设定）研磨罐容量50—1000ml　研磨罐材质PTFE、碳化钨、不锈钢、尼龙、玛瑙、氧化锆等显示方式液晶触摸屏(功率曲线、转速、振动平衡提示）电压220V 备注纳米分散时纳米材料的添加溶剂、助剂、分散剂、树脂配比需要用户自行掌握

3D Nanoimaging三维纳米成像（3D Nanoimaging）和单分子跟踪系统（升级Olympus 共焦显微镜）Overview在过去的几年里，人们已经设计了几种方法来使用光学显微镜（STED，PALM，STORM）获得具有纳米分辨率的细胞特征图像。这些方法虽然功能强大，但在检测图像中稀疏的纳米结构时效率很低。同时，它们也不足以探测纳米级三维结构中亚秒级的化学反应动力学，这些结构是不断移动和改变形状的。在纳米成像方法达到超分辨率的情况下，激光束不会像光栅图像那样按照预定的模式扫描样品。相反，激光扫描成像基于反馈算法，在扫描过程中，根据待成像物体的形状连续地调整和确定激光束跟随的路径。该算法将激光光斑移动到离物体表面一定距离的位置，由于激光光斑的位置和离物体表面的距离是已知的参数，所以利用这些参数来重建物体的形状。三维细胞结构可以在几秒钟内分辨率达到20-40纳米，精度为2纳米。How it work? 使用SMT（Single-Molecule Tracking）纳米成像的操作顺序很简单：首先，获取感兴趣区域的共焦图像；然后，用户识别要成像的对象。SMT纳米成像通过开关激活，激光束位于距离物体中心100-200纳米的位置。当激光光斑接近待成像表面时，荧光量增加。然而，荧光强度的增加取决于距离以及荧光团的浓度和它们各自的量子产率。为了将距离效应与浓度效应分开，点的位置被迫垂直于表面振荡。也就是说，荧光强度在振荡过程中发生变化（图1）。Figure 1. 调制跟踪技术示意图。束点围绕物体以圆形轨道运动，其与物体表面的距离以设定的频率周期性地变化；通常，对于每个轨道，振荡次数在8到32之间，取决于物体的大小。这些半径的小振荡被用来计算轨道的调制函数，从中可以确定光斑与表面的距离。 调制函数定义为由于表面的局部荧光而使交替部分与平均部分之比。实际上，调制是PSF的空间导数与强度的比值。调制函数随着离表面距离的函数呈准线性增加，这一特性允许它用于确定沿轨道激光光斑离表面的距离。通过这种方法，计算并重建物体的横向形状。Tracking MethodologyXY-axis using galvo-controlled mirrors Z-axis using piezo-controlled stageMaximum Resolution20 nm ± 2 nmData Acquisition Frequency32 to 256 KHzCircular Orbit Frequency2 KHzDetectorInternal PMT of FV1000/FV1200Detection Electronics ISS Photon Counting UnitComputer3 GHz, 4GB RAM, 200 GB hard drive, 27" monitor (minimum specifications shown)Acquisition and Analysis SoftwareSimFCS by Globals Unlimited 下面是纳米成像单元及其与FV1000共焦显微镜的连接示意图。开关盒允许用户在标准操作模式下操作FV1000，或激活纳米成像系统。在纳米成像操作中，FV1000的振镜通过国际空间站提供的电子设备进行控制。该信号由FV1000的内部探测器收集并转移到ISS光子计数数据采集单元。使用FV1000的振镜在XY平面上跟踪分子，并通过压电控制级在z轴上跟踪分子。仪表控制、数据采集和显示在单独的计算机上完成。右侧部分包括仪器组件（PC、控制电子设备、扫描仪和激光发射器）。示意图的左侧部分包括ISS随升级包提供的组件. 可参看文献： Nanometer-scale Imaging by the Modulation Tracking MethodLanzano, L., Digman, M.A., Fwu, P., Giral, H., Levi, M., Gratton, E.J Biophotonics, 2011, 4(6), 415-24. Measurement of Distance with the Nanoscale Precise Imaging by Rapid Beam Oscillation MethodLanzano, L., Gratton, E.Microsc Res Tech, 2012, 75(9), 1253-64. Real-time Multi-Parameter Spectroscopy and Localization in Three-Dimensional Single-Particle TrackingHellriegel, C., Gratton, E.J R Soc Interface, 2009, 6, Suppl 1:S3-14. Real-time Nanomicroscopy Via Three-Dimensional Single Particle TrackingKatayama, Y., Burkacky, O., Meyer, M., Bráuchle, C., Gratton, E., Lamb, D.C.Chemphyschem, 2009, 10(14), 2458-64. Distance Measurement by Circular Scanning of the Excitation Beam in the Two-Photon MicroscopeKis-Petikova, K., Gratton, E.Microsc Res Tech, 2004, 63(1), 34-49.

纳米CT扫描仪（3D-XRM）是布鲁克推出的最新纳米断层扫描系统，是显微 CT 技术领域的先行者，在为用户带来了终级分辨率的同时,提供最佳的用户体验。SKYSCAN 纳米CT扫描仪（3D-XRM 的每个组件都融入的最新的技术，使其成为当今市场上性能、适用性都广泛的系统。 ●多用途系统，最大样品尺寸300mm，分辨率（像素尺寸）最高 60 纳米； ●金刚石窗口x射线源，焦斑尺寸500nm； ●创新的探测器模块化设计，支持最多 4 个探测器、可现场升级； ●全球速度最快的 3D 重建软件（InstaRecon）； ●支持精确的螺旋扫描重建算法。 以水泥为基材和地质科学：表征和定量分析孔隙结构、测量渗流、研究储碳过程、分析尾矿、提高开采效率以及了解钢和其它金属的颗粒定向。提供精准的三维亚微米成像，用于数字岩石物理模拟、原位多相渗流研究、三维矿物学及金属的研发与开发。 ▼Geology, Oil & gas exploration 了解更多应用方向，请致电束蕴仪器（上海）有限公司

压电直线纳米位移台 Z轴扫描台,得益于特殊的结构设计，卓聚科技的Z轴扫描台，提供约等于5nm的粗调步进。产品支持真空，低温等应用。Z轴扫描台尺寸参数中间位置外形尺寸（长*宽*高）45.6*44.0*24.6mm样品台面平面度5 μm总重量78g运动参数Z轴行程±1.0mm粗调步进5~200nm细调行程300nm细调步进（理论值）0.005nm闭环运动分辨率2nm负载竖直方向负载10N操作环境闭环（开环）操作温度-20~80（-269~80）℃是否适用真空是/以上就是东莞市卓聚科技有限公司提供的压电直线纳米位移台 Z轴扫描台的介绍，了解更多直接咨询：原文： 随着微电子、纳米科技和人工智能等领域的进一步发展，精密定位不仅在实验室用途广泛，工业界的应用也越来越多。该团队在以往研究基础上，发展出一系列具有自主知识产权的超精密定位产品，填补了国产空白。一个火柴盒大小、外壳包覆金属的小方块，通过电压控制能够实现纳米级别的精密位移，可以用于对精密度要求超.高的科学实验、精密制造和半导体工业等领域。日前，在松山湖材料实验室高.端科研设备产业化团队的实验室内，团队负责人许智展示了该团队拥有核心技术的压电驱动纳米位移台。 安徽泽攸科技有限公司为您提供压电旋转纳米位移台RF-5950A的参数、价格、型号、原理等信息，压电旋转纳米位移台RF-5950A产地为安徽、品牌为泽攸科技，型号为旋转纳米位移台，价格为面议，更多相关信息可来电咨询，公司客服电话7*24小时为您服务

魔技纳米DLW-RD桌面级经济型三维激光直写设备DLW-RD基于多光子聚合原理，具有封闭光路设计，独特隔振温控系统，使得小型化、经济型设备也具有加工过程中的长时稳定性。得益于多光子聚合和高自由度的设计，给出了一种经济型纳米级3D制造的解决方案，适配多功能的材料，可应用于生物医学工程、微光学器件、超材料等应用领域。如需了解更多产品信息，欢迎查询我司官网 魔技纳米科技或来电咨询。【企业介绍】 魔技纳米科技是三维微纳制造领域集研发、生产、销售、服务于一体的高新技术企业。核心研发团队拥有十年以上设备研发经验，深入生物医疗、光电通信、新材料、微纳器件等多个产业应用领域，打造具有自主知识产权的商用纳米级三维激光光刻直写制造系统。拥有应用于多行业场景的成熟加工工艺。可定制研发适配各产业领域生产需求的个性化设备和产品，突破生物制药、传感、光电芯片、超材料等领域从科研到工业生产的屏障，将纳米级制造精度和大范围生产相结合，提供针对精密智造领域的整套专业解决方案。

布鲁克Anasys的 nanoIR3-s 系统将散射扫描近场光学显微镜（s-SNOM）、纳米级红外光谱（AFM-IR）与原子力显微镜（AFM）完美整合到单一平台。依托 Anasys 技术在 AFM 纳米光学表征方面的领先地位，nanoIR3-s 可提供纳米级红外光谱、化学成像和光学成像，在 2D 材料样品上实现 10 纳米空间分辨率。该系统还可以提供达到纳米级分辨率的 AFM 形貌和性能成像，因此是对各种材料科学应用开展相关性研究的理想仪器。只有 nanoIR3-s 能够提供：高性能纳米级 FTIR 光谱高性能红外近场光谱，采用目前最先进的纳米红外激光源纳米级 FTIR 光谱，采用集成式DFG，可与宽带同步辐射光源集成适用于光谱和化学成像的多芯片 QCL 激光源

仪器简介： CSPM5500是本原纳米仪器有限公司于2008年8月研制成功的新一代扫描探针显微镜,其功能齐全、性能优越、运行稳定、使用方便，非常适合用户开展纳米研究工作。 技术参数：(1)国际主流的研究级专业仪器，集成原子力显微镜(AFM)，横向力显微镜(LFM)，扫描隧道显微镜(STM) (2)分辨率： 原子力显微镜：横向0.2nm，垂直0.1nm（以云母晶体标定） 扫描隧道显微镜：横向0.1nm，垂直0.01nm（以石墨晶体标定） (3)高精度计量型仪器，采用NanoSensors提供的可溯源于国际计量权威机构Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)的标准样品进行校准 (4)一键式快速全程全自动进样，无需手动预调，行程大于30mm，可容纳超大样品 (5)两级可读数样品调节机构，可对样品进行精确的检测区域定位 (6)一次扫描技术，图像分辨高达4096×4096物理象素，微米级扫描即可得到纳米级的实际信息 (7)先进PID反馈算法实现快速高精度作用力控制，确保系统在高速扫描中稳定成像，实际扫描速度提升一个数量级 (8)系统采用10M/100M快速以太网(Fast Ethernet 10/100)或USB 2.0与计算机连接 (9)主控机箱前面板具有16×4液晶显示屏，系统当前状态实时显示 (10)具备实时在线三维图像显示功能，便于用户在检测过程中随时直观获得样品信息主要特点：(1) 标准配置： 原子力显微镜(AFM)：包括接触、轻敲、相移成像(Phase Imaging)等多种工作模式 横向力显微镜(LFM)：具有摩擦力回路曲线、摩擦力载荷曲线、摩擦力恒载荷曲线等摩擦学性能分析测量功能 扫描隧道显微镜(STM)：包括恒流模式、恒高模式、I-V曲线、I-Z曲线等 曲线测量分析功能：力-距离曲线、振幅-距离曲线、相移-距离曲线等(2)选配功能： 纳米加工：包括图形刻蚀模式、压痕/机械刻画、矢量扫描模式、DPN浸润笔模式等； 磁力显微镜/静电力显微镜； 环境控制扫描探针显微镜； 液相扫描探针显微镜； 导电原子力显微镜； 扫描探针声学显微镜； 扫描开尔文探针显微镜； 扫描电容显微镜； 压电力显微镜

中图仪器SuperViewW光学纳米级光学表面粗糙度测量仪利用光学干涉原理，具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。特殊光源模式可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。产品功能1)样件测量能力：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；2)单区域自动测量：单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；3)多区域自动测量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位，一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；4)自动拼接测量；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量；5)编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动单测量功能，实现一键测量；6)数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；7)数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。8)批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；9)数据报表导出：支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、数值结果的导出；10)故障排查功能：配置诊断模块，可保存扫描过程中的干涉条纹图像； 11)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；12)环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据；13)气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度；14)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；15)镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。SuperViewW光学纳米级光学表面粗糙度测量仪结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。SuperViewW光学纳米级光学表面粗糙度测量仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。 结果组成1、三维表面结构：粗糙度，波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等；2、二维图像分析：距离，半径，斜坡，格子图，轮廓线等；3、表界面测量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；4、薄膜和厚膜的台阶高度测量；5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量；6、微电子表面分析和MEMS表征。主要应用领域1、用于太阳能电池测量；2、用于半导体晶圆测量；3、用于镀膜玻璃的平整度（Flatness)测量；4、用于机械部件的计量；5、用于塑料，金属和其他复合型材料工件的测量。应用领域案例部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

ALIO高精度纳米级高负载电动旋转台产品负责人：姓名：李工(Maple)电话：（微信同号）邮箱：ALIO高精度纳米级高负载电动旋转台产品简介： 昊量光电推出全新一代高精度纳米级高负载电动旋转台，通过集成无框扭矩伺服电机，这些高负载电动旋转台能够处理需要极大质量和加速度的应用，同时保持纳米级精度。ALIO高负载电动旋转台 对材料和零件机械加工的关注保证了这些旋转器的标准重复性高达 0.2 弧秒。 可提供不同型号（从 80 毫米到 300 毫米的可变直径）和电机，以满足任何负载、加速度和工作循环的要求。 10 多年来，ALIO高负载电动旋转台 一直专注于纳米精密运动和可重复性。由 ALIO高负载电动旋转台 引入的 Nano Point Precision™ 6-D 和 True Nano™ 概念现已被 NIST 采用，并被认为是未来运动系统测量和量化的标准方法。 Nano Point Precision 6-D 包括移动工作台的所有 6 个误差自由度：它允许您根据精确点（在 3D 空间中）指示“精度数字”，并用于许多应用，从激光处理到计量。ALIO高负载电动旋转台 生产一系列线性运动控制解决方案，这些解决方案的设计和制造符合可保证其性能的标准。该公司的机械轴承台可以以任何空气轴承台无法复制的精度水平运行。 在用户群体中，ALIO高负载电动旋转台 提供了超精确且具有成本效益的运动控制解决方案，即使对于苛刻的应用也是如此。该公司由一支无与伦比的杰出工程师团队组成，他们痴迷于纳米级运动控制，并尽可能突破感知界限。带有交叉滚子轴承的整体式 XY 系统 ALIO 的机械轴承旋转台采用交叉滚子轴承设计，以提高偏置负载的刚度和旋转精度。与伺服扭矩无框电机集成，这些平台可以处理质量和加速度需求比较苛刻的应用，同时仍保持纳米级精度性能。 使用 ALIO 提供的运动控制器，标准 ALIO 旋转平台具有 0.2 弧秒的可重复性。 也提供真空版本和用于安装主轴的附件。有带角接触轴承的旋转台 这些是市场上紧凑的转台，专门设计有角接触轴承，可将轮廓减小到很小。通过集成无铁芯伺服电机，这些工作台非常适合需要具有纳米精度的小角位移的计量应用。同样对于该产品线，ALIO 保证高达 0.2 弧秒的标准重复性和不同的直径/电动组合，以满足任何负载、加速度和工作循环要求。定制化需求 ALIO 真正定制其核心运动控制解决方案的能力使其与替代解决方案提供商区别开来，通过精确匹配 OEM 客户的需求以及推动纳米精密应用的极限，提供显着的附加值。

高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台产品负责人：姓名：李工(Maple)电话：（微信同号）邮箱： 昊量光电推出全新一代高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台，在保证纳米级精度（双向线性可重复性30nm）的前提下可以达到80kG（可选）的中心负载。 10 多年来，ALIO 一直专注于纳米精密运动和可重复性。由 ALIO 引入的 Nano Point Precision™ 6-D 和 True Nano™ 概念现已被 NIST 采用，并被认为是未来运动系统测量和量化的标准方法。 Nano Point Precision 6-D 包括移动工作台的所有 6 个误差自由度：它允许您根据精确点（在 3D 空间中）指示“精度数字”，并用于许多应用，从激光处理到计量。ALIO 生产一系列线性运动控制解决方案，这些解决方案的设计和制造符合可保证其性能的标准。该公司的机械轴承台可以以任何空气轴承台无法复制的精度水平运行。 在用户群体中，ALIO 提供了超精确且具有成本效益的运动控制解决方案，即使对于苛刻的应用也是如此。该公司由一支无与伦比的杰出工程师团队组成，他们痴迷于纳米级运动控制，并尽可能突破感知界限。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 带有交叉滚子轴承的整体式 XY 系统 凭借纳米直线度和纳米平面度，您可以放心，您的精度是 True Nano。该系列位移台还提供中间开口和 50 毫米至 450 毫米的行程。标准的双向可重复性小于 50 纳米，但对于更苛刻的计量和生产需求，可以提供双向可重复性为 10 纳米配置（可选）。 纳米精度由 NIST 可追溯数据保证，而不是由数据表中指示的数字保证。 也可提供不对称版本（不同的 X 和 Y 行程）。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 带有伺服电机 CM的直线工作台 由 ALIO 设计的带有伺服电机的直线工作台是希望在不牺牲 True Nano 精度的情况下限制成本的客户的理想解决方案。带有 CM 伺服电机的工作台仍然具有 ALIO 6-D 精度，但由于力较小，它们适用于所有需要低水平加速度和力的应用。该系列中的板使用集成在其他 ALIO 产品中的相同精密防滑轴承。可提供从 25 毫米到 400 毫米的行程。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 定制化需求 ALIO 真正定制其核心运动控制解决方案的能力使其与替代解决方案提供商区别开来，通过精确匹配 OEM 客户的需求以及推动纳米精密应用的极限，提供显着的附加值。高精度纳米级高负载电动线性/二维位移台 详细参数请下载数据单