研究级经典型椭偏仪

椭偏仪概述椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。由于并不与样品接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量设备。椭偏仪可测的材料包括：半导体、电介质、聚合物、有机物、金属、多层膜物质。椭偏仪涉及领域有：半导体、通讯、数据存储、光学镀膜、平板显示器、科研、生物、医药等。椭偏法测量优点(1)能测量很薄的膜(1nm)，且精度很高，比干涉法高1~2个数量级。(2)是一种无损测量，不必特别制备样品，也不损坏样品，比其他精密方法如称重法、定量化学分析法简便。(3)可同时测量膜的厚度、折射率以及吸收率。因此可以作为分析工具使用。(4)对一些表面结构、表面过程和表面反应相当敏感，是研究表面物理的一种方法。在半导体制造领域，为了监测硅片表面薄膜生长/蚀刻的工艺，需要对其尺寸进行量测。一般量测的对象分为两种：3D结构与1D结构。3D结构是最接近于真实Device的结构，其量测出来的结果与电性关联度最大。3D结构量测的精度一般是纳米级别的。1D结构就是几层，几十层甚至上百层薄膜的堆叠，主要是用来给研发前期调整工艺稳定性保驾护航的，其测量精度一般是埃数量级的。就逻辑芯片来说，最重要的量测对象是HKMG这些站点各层薄膜的量测。因为这些站点每层薄膜的厚度往往只有几个到十几个埃，而process window更极限，往往只有1-1.5个埃，也就是说对工艺要求极高。而这些金属层又跟电性关联度很大，所以每一家fab都对这些站点的量测非常重视。如何验证这些精度呢？在fab里，一般会撒一组DOE wafer: Baseline wafer，以及Baseline +/-几埃的wafer，然后每片wafer上切中心与边缘的两个点。zai采用TEM或XPS结果作为参考值，与椭偏仪量测结果拉线性，比如R-Square达到0.9以上就算合格。最能精确验证椭偏仪精度的是沉积那些薄膜的机台，比如应用材料等公司的机台，通过调节cycle数可以沉积出不同厚度的薄膜，其名义值往往与椭偏仪的量测值有极其高的线性（比如R-Square在0.95以上)。但为啥不用这些机台的名义值作为参考值啊？因为这些机台本身也是以光学椭偏仪量测出来的值来调整自身工艺的，当然需要一个第三方公证，也就是TEM或XPS。光学椭偏仪的原理上世纪七十年代就有了，已经非常成熟。光学椭偏仪的量测并不是像TEM一样直接观察，而是通过收集光信号再通过物理建模(调节材料本身的光学色散参数与薄膜3D结构参数)来反向拟合出来的。真正决定量测精度的是硬件水平，软件算法，以及物理建模调参时的经验。硬件水平决定信号的强弱，也就是信噪比。软件算法决定在物理建模调参时的速度。因为物理建模调参是一个最花费时间的过程: 需要人为判断计算是过拟合还是欠拟合，需要人为判断算出来的3D结构是否符合制程工艺，需要人为判断材料的光学色散参数是否符合物理逻辑。仪器原理椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。椭圆偏光法涉及椭圆偏振光在材料表面的反射。为表征反射光的特性，可分成两个分量：P和S偏振态，P分量是指平行于入射面的线性偏振光，S分量是指垂直于入射面的线性偏振光。菲涅耳反射系数r描述了在一个界面入射光线的反射。P和S偏振态分量各自的菲涅耳反射系数r是各自的反射波振幅与入射波振幅的比值。大多情况下会有多个界面，回到最初入射媒介的光经过了多次反射和透射。总的反射系数Rp和Rs，由每个界面的菲涅耳反射系数决定。Rp和Rs定义为最终的反射波振幅与入射波振幅的比值。椭偏法这种非接触式、非破坏性的薄膜厚度、光学特性检测技术测量的是电磁光波斜射入表面或两种介质的界面时偏振态的变化。椭偏法只测量电磁光波的电场分量来确定偏振态，因为光与材料相互作用时，电场对电子的作用远远大于磁场的作用。折射率和消光系数是表征材料光学特性的物理量，折射率是真空中的光速与材料中光的传播速度的比值N=C/V；消光系数表征材料对光的吸收，对于透明的介电材料如二氧化硅，光完全不吸收，消光系数为0。N和K都是波长的函数，但与入射角度无关。椭偏法通过测量偏振态的变化，结合一系列的方程和材料薄膜模型，可以计算出薄膜的厚度T、折射率N和吸收率（消光系数）K。市场规模据GIR (Global Info Research)调研，按收入计，2021年全球椭圆偏振仪收入大约40百万美元，预计2028年达到51百万美元，亚太地区将扮演更重要角色，除中美欧之外，日本、韩国、印度和东南亚地区，依然是不可忽视的重要市场。目前椭偏仪被广泛应用到OLED 、集成电路、太阳能光伏、化学等领域。有专家认为，随着国内平板显示、光伏等产业爆发，国内椭偏仪将形成30亿元到50亿元大市场。据专家估计，全球显示面板制造，约有六七成在我国生产。光谱椭圆偏振仪和激光椭圆偏振仪根据不同产品类型，椭圆偏振仪细分为: 光谱椭圆偏振仪和激光椭圆偏振仪。激光椭偏仪采用极窄带宽的激光器作为光源，在单波长下对纳米薄膜样品进行表面和界面的表征。激光椭偏仪作为常规的纳米薄膜测量工具,与光谱椭偏仪相比，具有如下特点：1.对材料的光学常数的测量更精确：这是由激光的窄带单色性质决定的，激光带宽通常远小于1nm，因此能够更准确地获得激光波长下的材料的材料参数。2.可对动态过程进行快速测量：激光良好的方向性使得其强度非常高，因此非常适合对动态过程的实时测量。但激光椭偏仪对多层膜分析能力不足，不如光谱型椭偏仪。椭偏仪的发展进程1887年，Drude第一次提出椭偏理论，并建立了第一套实验装置，成功地测量了18种金属的光学常数。1945年，Rothen第一次提出了“Ellipsometer”(椭偏仪)一词。之后，椭偏 仪有了长足发展，已被广泛应用于薄膜测量领域。根据工作原理, 椭偏仪主要分为消光式和光度式两类。在普通椭偏仪的基础上，又发展了椭偏光谱仪、红外椭偏光谱仪、成像椭偏仪和广义椭偏仪。典型的消光式椭偏仪包括光源、起偏器、补偿器、检偏器和探测器。消光式椭偏仪通过旋转起偏器和检偏器，找出起偏器、补偿器和检偏器的一组方位角(P、C、A), 使入射到探测器上的光强最小。由这组消光角得出椭偏参量Y和D。在椭偏仪的发展初期，作为唯一的光探测器，人眼只能探测到信号光的存在或消失，因而早期椭偏仪的类型都是消光式。消光式椭偏仪的测量精度主要取决于偏振器件的定位精度，系统误差因素较少, 但测量时需读取或计算偏振器件的方位角，影响了测量速度。所以消光式椭偏仪主要适用于对测量速度没有太高要求的场合，例如高校实验室。而在工业应用上主要使用的是光度式椭偏仪。光度椭偏仪对探测器接收到的光强进行傅里叶分析, 再从傅里叶系数推导得出椭偏参量。光度式椭偏仪主要分为旋转偏振器件型椭偏仪和相位调制型椭偏仪。其中旋转偏振器件型椭偏仪包括旋转起偏器型椭偏仪、旋转补偿器型椭偏仪和旋转检偏器型椭偏仪。光度式椭偏仪不需测量偏振器件的方位角，便可直接对探测器接收的光强信号进行傅里叶分析，所以测量速度比消光式椭偏仪快，特别适用于在线检测和实时测量等工业应用领域。对于多层薄膜，一组椭偏参量不足以确定各层膜的光学常数和厚度, 而且材料的光学常数是入射光波长的函数, 为了精确测定光学常数随入射波长的变化关系, 得到多组椭偏参量, 椭偏仪从单波长测量向多波长的光谱测量发展。1975 年，Aspnes 等首次报道了以RAE为基本结构的光谱椭偏仪。它利用光栅单色仪产生可变波长，从而在较宽的光谱范围(近红外到近紫外)内可以测量高达 1000 组椭偏参量，膜厚测量精度可以达到0.001 nm，数据采集和处理时间仅为7s。1984年，Muller 等研制了基于法拉第盒自补偿技术的光谱椭偏仪。这种椭偏仪采集400组椭偏参量仅用时 3s。为了进一步缩短系统的数据采集时间，1990年Kim 等研制了旋转起偏器类型的光谱椭偏仪，探测系统用棱镜分光计结合光学多波段分析仪(OMA) 代替常用的光电倍增管，在整个光谱范围内获取 128 组椭偏参数的时间为 40ms。紫外波段到可见波段消光系数较大或厚度在几个微米以上的薄膜，其厚度和光学常数的测量需使用红外椭偏光谱仪。红外椭偏光谱仪已经成为半导体行业异质结构多层膜相关参量测量的标准仪器。早期的红外椭偏光谱仪是在 RAE、RPE 或 PME 的基础上结合光栅单色仪构成的。常规的红外光源的强度较低，降低了红外椭偏仪的灵敏度。F. Ferrieu 将傅里叶变换光谱仪(FT) 引入到 RAE，使用常规的红外光源，其椭偏光谱可以从偏振器不同方位角连续记录的傅里叶变换光谱得到，从而能够对材料进行精确测量，提高了系统的灵敏度。其缺点是不能实现快速测量。由于集成电路的特征尺寸越来越小，一般椭偏仪的光斑尺寸较大(光斑直径约为 1 mm)，为了提高椭偏仪的空间分辨率，Beaglehole将传统椭偏仪和成像系统相结合，研制了成像椭偏仪。普通椭偏仪测量的薄膜厚度是探测光在样品表面上整个光斑内的平均厚度，而成像椭偏仪则是利用 CCD 采集的椭偏图像得到样品表面的三维形貌及薄膜的厚度分布，从而能够提供样品的细节信息。成像椭偏仪的 CCD 成像单元，将样品表面被照射区域拍摄下来，一路信号输出到视频监视器显示，一路信号输入计算机进行数据处理。CCD 成像单元较慢的响应速度限制了成像椭偏仪在实时监测方面的应用。为了克服这一限制，Chien - Yuan Han 等利用频闪照明技术代替传统照明方式，成功研制了快速成像椭偏仪。与传统椭偏仪相比，由于 CCD 器件干扰了样品反射光的偏振态，且有很强的本底信号，成像椭偏仪的系统误差因素增多，使用前必须仔细校准。探测光与样品相互作用时，若样品是各向同性的，探测光的p分量和s分量各自进行反射，若各向异性，则探测光与样品相互作用后还将会发生光的 p 分量和 s分量的相互转化。标准椭偏仪只考虑探测光的 p 分量和 s 分量各自的反射情况，所以只能用于测量各向同性样品的参量，对于各向异性的样品，需使用广义椭偏仪。国内椭偏技术的研究始于20世纪70年代。70年代中期，我国第一台单波长消光椭偏仪TP-75 型由中山大学莫党教授等设计并制造。1982年，旋转检偏器式波长扫描光度型椭偏仪( TPP-1 型) 也得以问世。随后在80年代中后期西安交通大学研制出了激光光源椭偏仪，同期实现了椭偏光谱仪的自动化。复旦大学的陈良尧教授于1994年研制出了一种同时旋转起偏器和检偏器的新型全自动椭偏仪。该类型椭偏仪曾成功实现商业化，销售给包括德国在内的多家国内外单位使用。1998年，中国科学院上海技术物理研究所的黄志明和褚君浩院士等人研制出了同时旋转起偏器和检偏器的红外椭圆偏振光谱仪。2000年，中国科学院力学所靳刚研究员研制出了我国第一台椭偏光显微成像仪。该仪器可以实现纳米级测量和对生物分子动态变化及其相互作用进行实时观测。2000 年，复旦大学陈良尧和张荣君等人研制出了基于双重傅里叶变换的红外椭偏光谱系统。2013年华中科技大学张传维团队成功研发出椭偏仪原型样机。2014年，华中科技大学的刘世元教授等人使用穆勒矩阵椭偏仪测试了纳米压印光刻的抗蚀剂图案，同时还检测了该过程中遇到的脚状不对称情况，其理论和实验结果都表明该仪器具有良好的敏感性。2015年，国内首台商品化高端穆勒矩阵椭偏仪终于成功面世。主流厂商企业名称国内睿励科学仪器合能阳光复享光学量拓科技赛凡光电武汉颐光科技国外Accurion GmbHK-MacAngstrom Advanced瑟米莱伯J.A.WoollamHORIBAPhotonic LatticeAngstrom Sun大塚电子GaertnerFilm SenseHolmarc Opto-MechatronicsOnto Innovation Inc.AQUILAPARISA TECHNOLOGYDigiPol TechnologiesSentech Instruments海洋光学 以上，就是小编为大家整理的椭偏仪知识大全，附上部分市场主流厂商信息，更多仪器，请点击进入“椭偏仪”专场。 找靠谱仪器，就上仪器信息网【选仪器】栏目。它是科学仪器行业专业导购平台，旨在帮助仪器用户快速找到需要的仪器设备。栏目囊括了分析仪器、实验室设备、物性测试仪器、光学仪器及设备等14大类仪器，1000余个仪器品类。

热烈庆祝量拓科技激光椭偏仪在西安交通大学顺利交货验收。 量拓科技是中国唯一的专业椭偏仪器企业,专业致力于椭偏测量的方法研究、技术开发、产品制造和仪器销售，并提供纳米薄膜层构和物性参数的椭偏测试服务和椭偏测量整体解决方案的专业咨询服务。经过持续的创新发展，目前已成为国际高端激光椭偏仪和光谱椭偏仪的主要厂商。 量拓科技以发展国际领先的椭偏测量技术，提供纳米薄膜检测整体解决方案为企业使命，将通过持之以恒的不懈努力，在国际椭偏测量领域树立源自中国的高端专业椭偏品牌ELLiTOP形象，藉此提升中国在国际椭偏测量领域的实力和地位，实现中国高科技企业贡献世界的梦想。

近期，Park原子力显微镜公司收购了德国欧库睿因公司，并于2月20日在山东济南鲁能贵和洲际酒店进行了欧库睿因成像椭偏仪产品相关的研讨会。 在本场研讨会上，Park欧库睿因中国销售经理左方青作了《成像椭偏仪》的相关报告介绍。报告分为六个部分：椭偏仪原理介绍；成像椭偏仪介绍；成像椭偏仪的优缺点；成像椭偏仪与传统椭偏仪的比较；Accurion成像椭偏仪的硬件及特点；成像椭偏仪的应用范围和应用案例。 除此之外，左青方还详细介绍了欧库睿因产品、欧库睿因被收购前在中国的销售业绩、客户分布范围以及售后问题等内容。报告人介绍：左方青，Park中国销售代表，成像椭偏仪应用工程师，拥有十年以上成像椭偏仪销售和售后经验。目前专注于帕克Accurion成像椭偏仪和主动隔震台的销售和应用。 本场研讨会持续了四个小时，其中一小时作为讨论。整场讨论会气氛热烈。本场研讨会让我们更加了解了欧库睿因产品的历史，并对如何结合Park现有客户拓展新型多样化的销售渠道等问题做了规划。此后Park中国区技术团队将竭心维护欧库睿因产品的销售和售后，相信欧库睿因的销量和客户满意度将逐步提高。据相关报道，早在2022年10月14日，Park Systems为庆祝这一战略扩张，在德国举行盛大仪式庆祝Accurion公司的并购，双方管理团队齐聚一堂。Accurion新公司名称宣布为：Park Systems GmbH，Accurion Division。“我非常确信，我们选择了一个具有许多协同效应的非常好的合作伙伴。这不仅对Park的业务有利，而且对Accurion的业务也有利，”新的Park Systems公司的首席执行官Stephan Ferneding补充道。Accurion与Park Systems的合并为Park的计量产品带来了一个超越AFM技术的新时代。“通过将成像光谱和椭圆测量模块与Park Systems平台相结合，我们可以轻松地为半导体行业创建新的ISE解决方案。所有这些都将超越AFM扩大我们的业务组合，这是推动我们公司增长的重要一步。”Dr. Park透露。关于Accurion公司Accurion在两个产品线中提供高端可靠的尖端技术：成像椭偏和主动振动隔离。2009年，主动隔振解决方案专家Halcyonics公司和表面分析工具专家Nanofilm Technology 公司并入Accurion公司。回顾其30年的宝贵经验，Accurion为世界各地的客户提供了技术和科学进步，设计和制造了先进的仪器，用于具有挑战性的测量任务。

2016年5月5日，科技部在武汉组织召开了首批国家重大科学仪器设备开发专项项目“宽光谱广义椭偏仪设备开发”(项目编号：2011YQ160002)综合验收会议。该项目由武汉光迅科技股份有限公司牵头，华中科技大学为仪器开发技术支持单位，武汉新芯集成电路制造有限公司、武汉珈玮光伏照明有限公司、武汉光电国家实验室(筹)为应用开发单位，武汉颐光科技有限公司为产业化单位。　　天津大学叶声华院士、华东师范大学曾和平教授、中科院上海光机所周常河研究员、北京光学仪器厂骆东淼教授级高工等11名专家组成了本次会议验收技术专家组，叶声华院士任专家组组长。验收会由科技部国家科技评估中心毛建军副主任主持，湖北省科技厅条件处魏敏杰处长等出席会议。　　项目负责人刘世元教授代表项目组对项目执行完成情况进行了详细汇报。截止项目验收时，研制完成宽带消色差补偿器、高精度双旋转补偿器同步控制等核心部件与关键技术，开发出具有自主知识产权的宽光谱广义椭偏仪设备4台 获授权国际发明专利3件，授权国内发明专利29件，软件著作权8件，商标权1件。获日内瓦国际发明奖金奖1项，发表SCI学术论文50篇 形成设计图纸、工程工艺、软件代码等完整技术文档各1套，质量和可靠性保障方案1套 建成中试生产线1条，销售仪器产品2台。　　汇报结束后，专家组现场审阅了相关资料，随后前往产业化单位武汉颐光科技有限公司考察了宽光谱广义椭偏仪设备产品，对产品指标和性能进行了现场测试与考核，并就项目完成情况及产业化进展提出现场质询。经认真讨论，验收专家组认为，该项目实施情况良好，完成了预期目标并达到全部考核指标，一致同意通过验收。　　椭偏仪是一种测量偏振光状态改变的重要科学仪器，本项目研制的广义椭偏仪(也称穆勒矩阵椭偏仪)代表了椭偏仪最高水平，可以测得一个44阶的穆勒矩阵共16个参数，因而可以获得更为丰富的测量信息。椭偏仪广泛应用于材料光学常数、纳米薄膜厚度及表面特性表征等基础科学研究与纳米制造相关产业，应用范围涵盖集成电路、光伏太阳能、平板显示、LED照明、存储、生物、医药、化学、电化学、光学薄膜等众多领域。

2012年4月13日，由NOM研究组和武汉光迅科技股份有限公司等单位共同承担的国家重大科学仪器设备开发专项“宽光谱广义椭偏仪设备开发”项目启动会正式在汉举行。科技部条财司副司长吴学梯、省科技厅副厅长周爱清、中国工程院院士天津大学叶声华教授、清华大学机械学院院长尤政教授以及哈尔滨工业大学谭久彬教授等单位专家共80余人参加会议。　　项目启动仪式由两部分组成，即：总体启动会和专项组织分会。总体启动会由省科技厅条件处方国强处长主持，省科技厅周爱清副厅长汇报了项目组织、实施、监理的相关情况并提出几点要求。科技部吴学梯副司长指出，科学仪器设备的自主研发是一项重要的技术创新活动，国家重大科学仪器设备开发专项的设立，是为了提升我国科学仪器设备的自我保障能力和对经济社会发展的支撑能力，加快推进仪器科技成果转化为现实生产力，在专项实施中要进一步强化企业为主体，市场为主导，产学研用相结合。吴司长强调，国家重大科学仪器设备开发专项的目标是形成具有市场竞争力的仪器产品，要注重协同创新，强研发产品的质量控制。项目组织部门要切实做好项目组织实施和监督管理，保障项目技术研发和产业化工作顺利推进。　　“宽光谱广义椭偏仪设备开发”专项启动分会由武汉光迅科技股份有限公司副总经理胡强高主持，华中科技大学刘世元教授为参会的两组两会专家组做了关于项目仪器开发方案、仪器应用开发方案、项目组织管理以及项目进展情况等方面介绍的报告。报告会后与会专家以本项目预期开发的宽光谱广义椭偏仪为中心，围绕吴司长提出仪器设备产业化与市场化的展开了讨论，叶声华院士对研究组前期工作予以肯定并对后期工作提出一些建议。清华大学尤政教授和哈尔滨工业大学谭久彬教授结合自己从事国家项目经验为研究组在设备后期产业化与市场化过程可能遇到的问题提出各自的看法，认为研究组在完成设备原理样机研究的同时也要加强同各合作应用企业的交流，且牵头企业务必要做好设备产业化的工作，保证最终的产品有过硬的质量和较高的市场竞争力。根据财政部、科技部相关要求，宽光谱广义椭偏仪仪器应在2014年完成研发并实现产业化。该项目的实施将为我国纳米材料学研究等领域提供重要的研究工具，对于增强我国在相关科研领域的研发能力，提高仪器企业的市场竞争力将起到重要的推动作用。

项目编号：清设招第2022344号项目名称：清华大学高精度光谱椭偏仪采购项目预算金额：120.0000000 万元（人民币）采购需求：包号名称数量是否允许进口产品投标01高精度光谱椭偏仪1套是设备用途介绍：拟采购的椭偏仪设备将应用于测量各类薄膜的膜厚及光学参数（n，k），对特殊结构的材料具有光学性能分析能力。简要技术指标：Psi和Delta精确度测量：直射测量空气（Psi = 45° Delta = 0°），满足：Ψ≤45°±0.02°，Δ≤0°±0.02°(1.5-5eV)；光谱范围覆盖190– 2000nm；入射角：自动量角器，角度可从40°到90°变化，最小步进为0.02°。合同履行期限：合同签订后7个月内交货本项目( 不接受 )联合体投标。

椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器，广泛应用于材料、物理、化学、生物、医药等领域的研究、开发和制造过程中。近年来，由于以京东方、华星光电为代表的国产显示器件制造商的崛起，椭偏仪的销量不断攀升，带动了一批以颐光科技、量拓等为代表的国产椭偏仪制造商，但一直以来，椭偏仪在科研院所等研究单位的情况缺乏调查。不过，中央及各级政府在近几年来制订颁布了关于科学仪器、科研数据等科技资源的共享与平台建设文件。2021年1月22日，科技部和财政部联合发布《科技部 财政部关于开展2021年度国家科技基础条件资源调查工作的通知（国科发基〔2020〕342号）》，全国众多高校和科研院所将各种科学仪器上传共享。其中，对椭偏仪的统计分析或可一定程度反映科研用椭偏仪的市场信息。不同地区（省/市/自治区）椭偏仪分布情况北京各高校及研究所椭偏仪数量分布情况据统计，网络管理平台椭偏仪的总数量为132台，涉及23省（直辖市/自治区）。其中，北京、江苏、上海、广东的共享椭偏仪数量最多，分别为30台、16台、16台和12台，北京椭偏仪数量较多，主要是由于其实力强劲的高等院校较多，科研经费充足，可以购买更多的设备。以上四个地区的经济发展水平在全国名列前茅，而且半导体产业发达，对椭偏仪的需求也更高。进一步统计，北京涉及16所高校及研究院所，其中清华大学、中国科学院微电子研究所和中国计量科学研究院的共享椭偏仪数量最多。椭偏仪品牌分布从不同品牌椭偏仪数量分布来看，J. A. Woollam占比最多达38%，其次为Horiba和Sentech分别占比23%和11%，Semilab以6%的份额排第四。值得注意的是，前两名J. A. Woollam和Horiba在椭偏仪市场中的占比合计超过了60%，而国产品牌颐光科技占比仅2%。椭偏仪产地分布从椭偏仪的产地分布可以看出，进口设备中美国产椭偏仪最受科研用户青睐，占比达43%，国产椭偏仪占仅5%。统计结果表明，中国品牌包括了颐光科技、量拓、光机所等厂商。本次椭偏仪盘点中，涉及品牌有J. A. Woollam、Sopra、Semilab、Horiba、Accurion、Sentech、Photonics、上海光机所、JASCO、颐光科技、Angstrom Sun、J.A.Wollam、量拓科技等。

Horiba Jobin Yvon将于3月31日上午 9：30－12：00 在复旦大学先进材料楼202室。4月1日上午 9：30－12：00 在西北工业大学航空楼B6174月3日下午 2：00－5：00 在北京大学物理学院 北236房间。举行三场椭偏仪技术交流会。介绍HJY椭偏仪的技术特点和近应用。会上有HJY公司新的MM16液晶调制光谱型椭偏仪的展示。衷心希望大家参加，联系人：俞罡电话：021 64479785e_mail: alexyu@jobinyvon.cn

仪器信息网讯 2022年9月2日，Park原子力显微镜公司(Park Systems Corp.) 宣布收购德国欧库睿因公司(Accurion GmbH)。德国欧库睿因公司是一家研发并制造成像椭偏仪和主动隔振器的私营公司。此次收购优化了Park原子力显微镜和白光干涉显微镜联用技术。交易的财务细节没有披露。欧库睿因公司总部位于德国哥廷根，是成像椭偏仪领域的先驱。该公司起初是马克斯-普朗克生物物理化学研究所的衍生公司，成立之时便开始研发用于表征超薄膜的布鲁斯特角显微镜。由于这些显微镜对振动很敏感，主动隔振技术就此应运而生。欧库睿因的成像椭偏仪将椭偏仪和光学显微镜的优点集于一身。强强联合之下创造了一款新兴的计量工具，突破了光学显微镜的测量极限。成像椭偏仪增强的空间分辨率将椭偏仪扩展到微分析、微电子和生物分析的新领域。“这是 Park原子力显微镜公司第一次进行完整品牌收购。我们很高兴这家传奇的高科技公司能成为Park，这也将成为Park企业史上浓墨重彩的一笔。”Park原子力显微镜的CEO朴尚一博士(Dr. Sang-il Park)介绍道，“欧库睿因的成像椭偏仪和主动隔振将与 Park 现有的原子力显微镜系列融合，衍生出许多造福纳米界的新产品，并产生业务协同效应。对我们的客户和投资者来说，这无疑是个令人振奋的好消息。”“我们很荣幸成为 Park原子力显微镜公司的一员。”欧库睿因的联合创始人兼首席执行官 Stephan Ferneding 补充道，“我们很期待 Park原子力显微镜公司以工业制造自动化系统方面的专业知识、优秀的全球销售能力以及专业的售后服务把业务带入全新的领域，创造新机遇。我们不仅具有 30 多年来为全球客户服务的宝贵经验，更还期待今后能在 Park原子力显微镜公司领导下更加快速地成长。”关于德国欧库睿因公司：德国欧库睿因公司（Accurion GmbH）位于德国下萨克森州的哥廷根，公司起源于1991年从德国马克斯-普朗克生物物理化学研究所（Max-Planck Institute for biophysical chemistry in Goettingen）独立出来的高科技公司Nanofilm GmbH。德国欧库睿因公司（Accurion GmbH）新公司于2008年由Nanofilm GmbH战略并购Halcyonics GmbH后更名而成立。公司的产品主要是Nanofilm产品，应用在材料、物理、化学、生物和医学等领域的光学表面及界面分析测量技术；以及Halcyonics产品，为各种高精仪器提供主动减震平台。关于Park原子力显微镜公司(Park Systems Corp.):作为世界领先的原子力显微镜 (AFM) 制造厂商，Park原子力显微镜公司为化学、材料、物理、生命科学、半导体和数据存储行业的研究人员和工程师提供全系列产品。“为科学家和工程师实现纳米级进步，助其解决世界上最紧迫的问题，并推动科学发现和工程创新不断地前进”是Park原子力显微镜公司义不容辞的使命。 Park原子力显微镜的客户大多数是世界前20的半导体公司和亚洲、欧洲和美洲的国家研究型大学。 近年来在10纳米先进制程量测领域取得不菲业绩。Park原子力显微镜公司是韩国证券交易所 (KOSDAQ) 的上市公司，公司总部位于韩国水原，分公司分别位于加利福尼亚州圣克拉拉、曼海姆、巴黎、北京、东京、新加坡、印度和墨西哥城。

p　　日前，HORIBA宣布推出新的模块化椭偏仪——Uvisel Plus，该产品采用最新的技术，旨在提高测量的速度及准确性。/pp style="TEXT-ALIGN: center"img title="uvisel-plus-new.jpg" style="HEIGHT: 300px WIDTH: 450px" border="0" hspace="0" src="http://img1.17img.cn/17img/images/201707/insimg/fc5ecfe0-90a5-458a-b9d7-23094a7b25c4.jpg" width="450" height="300"//pp style="TEXT-ALIGN: center" /pp　　采用最新的FastAcq技术，基于新的电子数据处理和高速单色仪，该设备可以在3分钟内完成190到2100nm范围内的高分辨率样品测量。在测量范围内连续调整光谱分辨率的可能性，使样品扫描变得更智能，更快速。此外，UVISEL Plus还引入了一种新的校准程序，提供更快的性能和更优的精度。由于光路中没有旋转元件及附加组件，该产品为精确的椭圆参数测量提供最纯粹和有效的偏振调制。/pp style="TEXT-ALIGN: center"img title="csm_uvisel-plus-img2_40ebe269fc.jpg" style="HEIGHT: 374px WIDTH: 400px" border="0" hspace="0" src="http://img1.17img.cn/17img/images/201707/insimg/8b954c2b-dc5d-4e66-946a-c02f121e7c8f.jpg" width="400" height="374"//pp　　此外，Uvisel Plus为样本提供的微孔低至50μm，可变角度从40° 到90° ，自动水平映射和各种不同的附件，可以满足各种应用和预算需求。/pp /p

基本信息 关键内容： 椭偏仪 开标时间： 2022-01-24 14:30 采购金额： 155.00万元 采购单位： 华南理工大学 采购联系人： 文老师 采购联系方式： 立即查看 招标代理机构： 广东志正招标有限公司 代理联系人： 李小姐 代理联系方式： 立即查看 详细信息 ZZ0211031 多功能椭圆偏振仪采购公告 广东省-广州市-天河区 状态：公告 更新时间： 2021-12-31 招标文件: 附件1 附件： /ECP/view/srplatform/upload/attachmentAjaxFile5.jsp 项目概况 华南理工大学多功能椭圆偏振仪采购项目招标项目的潜在投标人应通过链接http://www.zztender.com/获取招标文件，并于2022年1月24日14点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：ZZ0211031 项目名称：华南理工大学多功能椭圆偏振仪采购项目 预算金额：155万元（人民币） 最高限价（如有）：155万元（人民币） 采购需求： 1、 标的名称：多功能椭圆偏振仪 2、 标的数量：1套 3、 简要技术需求或服务要求： 1） 购置具备水平入射面构造，入射角范围覆盖20～90°，波长范围覆盖193～2500 nm，可实现4*4全穆勒矩阵测量，并配备控温样品台的椭圆偏振测试设备，详见“招标需求”部分。 2） 本项目为科研仪器设备采购。 3） 经政府采购管理部门同意，本项目（多功能椭圆偏振仪）允许采购本国产品或不属于国家法律法规政策明确规定限制的进口产品。 4、 其他：/ 合同履行期限：自合同签订起至履约结束之日止 本项目（不接受）联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求：本项目不属于专门面向中小企业采购的项目。 3.本项目的特定资格要求： （1） 应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件，提供以下材料： 1）提供最新的投标人营业执照（或事业单位法人证书，或社会团体法人登记证书，或执业许可证）副本复印件；若以不具有独立承担民事责任能力的分支机构投标，须取得具有法人资格的总公司的授权书，并提供总公司营业执照副本复印件；如投标人为自然人的需提供自然人身份证明。 2）投标人应当具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度，提供以下证明之一： ①提供2020年年度审计报告或企业所得税年度汇算清缴报告（适用于在上一年度前成立的法人或其他组织）； ② 2021年任一季度或任一月的财务报表，内容含盖资产负债表和利润表和现金流量表（适用在上一年度或本财务年度成立的法人或其他组织）； ③银行出具的资信证明（适用于法人或其他组织）； ④中国人民银行出具的个人信用报告（适用于自然人）。 3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力，提供签署及盖章合格的资格声明函。 4）提供2021年任意一个月的依法缴纳税收的证明（如纳税凭证）复印件，如依法免税的，应提供相应文件证明其依法免税；（其中税种不能为社会保险基金）；投标人成立不满三个月的，可不提供缴纳税收的证明。 5）提供2021年任意一个月的依法缴纳社会保险的证明（如缴费凭证）复印件，如依法不需要缴纳社会保障资金的，应提供相应文件证明其依法不需要缴纳社会保障资金；投标人成立不满三个月的，可不提供缴纳社会保险的证明。 6）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录，提供签署及盖章合格的资格声明函。重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。（较大数额罚款按照发出行政处罚决定书部门所在省级政府，或实行垂直领导的国务院有关行政主管部门制定的较大数额罚款标准，或罚款决定之前需要举行听证会的金额标准来认定） （2） ①未列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商（以开标当日资格审查人员在“信用中国”网站（）、中国政府采购网（）的查询结果为准；处罚期限届满的除外。如“信用中国”网站查询结果显示“没有找到您搜索的企业”或“没有找到您搜索数据”，视为没有上述三类不良信用记录）。②若投标人具有分公司的，其所属分公司有上述不良信用记录的，视同该投标人存在不良信用记录。③若投标人为分公司的，其所属总公司（总所）存在上述不良信用记录的，视同该分公司存在不良信用记录。 （3） 供应商有以下情形之一的，不得参加本项目（同一包组）的投标（提供签署及盖章合格的资格声明函） 1）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一包组投标或者未划分包组的同一招标项目的政府采购活动。如同时参加，则评审时均作无效投标处理。 2）为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。 （4） 本项目不接受联合体投标。 三、获取招标文件 时间：2022年1月1日至2022年1月10日（提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日），每天上午9:00至12:00，下午12:00至17:30（北京时间，法定节假日除外） 地点：链接http://www.zztender.com/ 招标文件获取方式： 步骤一：投标人须在华南理工大学招标中心（新）采购管理与电子招投标系统（网址： http://zbzx.scut.edu.cn:8888/ECP/）进行必要的注册账号并登陆，找到需要投标登记的项目并在线填写获取招标文件资料，投标登记完成后将参与结果截图并发至招标代理机构邮箱（tender@gd.gov.cn），并在邮件正文写清楚报名供应商的名称以及联系方式。否则，投标人将不能进入下一步，由此产生的后果由投标人负责。 步骤二：招标文件于代理机构处线上购标，售后不退。请于2022年1月10日17：30前登录广东志正招标有限公司官网“https://www.zztender.com/”进行操作，从采购公告右侧的“我要购标”入口，相关操作成功后即可下载采购文件，并可在规定的获取采购文件时间段内到采购代理机构现场领取纸质采购文件。（咨询电话020-87554018，李小姐） 售价（元）：￥300.00元，本公告包含的招标文件售价总和。 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 2022年1月24日14点30分（北京时间）（自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标文件截止之日止，不得少于20日） 地点：广州市天河区龙怡路117号银汇大厦5楼广东志正招标有限公司会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1. 招标项目的详细内容及技术参数、执行标准：详见“招标需求”部分。 2. 经政府采购管理部门同意，本项目（多功能椭圆偏振仪）允许采购本国产品或不属于国家法律法规政策明确规定限制的进口产品。 3. 采购项目需要落实的政府采购政策：《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库[2020]46号）、《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》(财库[2014]68号)、《三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141号）、《关于环境标志产品政府采购实施的意见》（财库〔2006〕90号、《节能产品政府采购实施意见》的通知（财库〔2004〕185号）、《财政部 发展改革委 生态环境部 市场监管总局 关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》（财库〔2019〕9号）等。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名称：华南理工大学 地址：广州市天河区五山华南理工大学南秀村物资大楼 联系方式：文老师 020-22236003 2.采购代理机构信息 名称：广东志正招标有限公司 地址：广州市天河区龙怡路117号银汇大厦5楼 联系方式：李小姐 020-87554018 85165610 3.项目联系方式 项目联系人：滕小姐、李小姐 电话：020-85165610 广东志正招标有限公司 2022年12月31日 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：椭偏仪 开标时间：2022-01-24 14:30 预算金额：155.00万元 采购单位：华南理工大学 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：广东志正招标有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 ZZ0211031 多功能椭圆偏振仪采购公告 广东省-广州市-天河区 状态：公告 更新时间： 2021-12-31 招标文件: 附件1 附件： /ECP/view/srplatform/upload/attachmentAjaxFile5.jsp 项目概况 华南理工大学多功能椭圆偏振仪采购项目招标项目的潜在投标人应通过链接http://www.zztender.com/获取招标文件，并于2022年1月24日14点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：ZZ0211031 项目名称：华南理工大学多功能椭圆偏振仪采购项目 预算金额：155万元（人民币） 最高限价（如有）：155万元（人民币） 采购需求： 1、 标的名称：多功能椭圆偏振仪 2、 标的数量：1套 3、 简要技术需求或服务要求： 1） 购置具备水平入射面构造，入射角范围覆盖20～90°，波长范围覆盖193～2500 nm，可实现4*4全穆勒矩阵测量，并配备控温样品台的椭圆偏振测试设备，详见“招标需求”部分。 2） 本项目为科研仪器设备采购。 3） 经政府采购管理部门同意，本项目（多功能椭圆偏振仪）允许采购本国产品或不属于国家法律法规政策明确规定限制的进口产品。 4、 其他：/ 合同履行期限：自合同签订起至履约结束之日止 本项目（不接受）联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求：本项目不属于专门面向中小企业采购的项目。 3.本项目的特定资格要求： （1） 应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件，提供以下材料： 1）提供最新的投标人营业执照（或事业单位法人证书，或社会团体法人登记证书，或执业许可证）副本复印件；若以不具有独立承担民事责任能力的分支机构投标，须取得具有法人资格的总公司的授权书，并提供总公司营业执照副本复印件；如投标人为自然人的需提供自然人身份证明。 2）投标人应当具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度，提供以下证明之一： ①提供2020年年度审计报告或企业所得税年度汇算清缴报告（适用于在上一年度前成立的法人或其他组织）； ② 2021年任一季度或任一月的财务报表，内容含盖资产负债表和利润表和现金流量表（适用在上一年度或本财务年度成立的法人或其他组织）； ③银行出具的资信证明（适用于法人或其他组织）； ④中国人民银行出具的个人信用报告（适用于自然人）。 3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力，提供签署及盖章合格的资格声明函。 4）提供2021年任意一个月的依法缴纳税收的证明（如纳税凭证）复印件，如依法免税的，应提供相应文件证明其依法免税；（其中税种不能为社会保险基金）；投标人成立不满三个月的，可不提供缴纳税收的证明。 5）提供2021年任意一个月的依法缴纳社会保险的证明（如缴费凭证）复印件，如依法不需要缴纳社会保障资金的，应提供相应文件证明其依法不需要缴纳社会保障资金；投标人成立不满三个月的，可不提供缴纳社会保险的证明。 6）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录，提供签署及盖章合格的资格声明函。重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。（较大数额罚款按照发出行政处罚决定书部门所在省级政府，或实行垂直领导的国务院有关行政主管部门制定的较大数额罚款标准，或罚款决定之前需要举行听证会的金额标准来认定） （2） ①未列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商（以开标当日资格审查人员在“信用中国”网站（）、中国政府采购网（）的查询结果为准；处罚期限届满的除外。如“信用中国”网站查询结果显示“没有找到您搜索的企业”或“没有找到您搜索数据”，视为没有上述三类不良信用记录）。②若投标人具有分公司的，其所属分公司有上述不良信用记录的，视同该投标人存在不良信用记录。③若投标人为分公司的，其所属总公司（总所）存在上述不良信用记录的，视同该分公司存在不良信用记录。 （3） 供应商有以下情形之一的，不得参加本项目（同一包组）的投标（提供签署及盖章合格的资格声明函） 1）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一包组投标或者未划分包组的同一招标项目的政府采购活动。如同时参加，则评审时均作无效投标处理。 2）为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。 （4） 本项目不接受联合体投标。 三、获取招标文件 时间：2022年1月1日至2022年1月10日（提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日），每天上午9:00至12:00，下午12:00至17:30（北京时间，法定节假日除外） 地点：链接http://www.zztender.com/ 招标文件获取方式： 步骤一：投标人须在华南理工大学招标中心（新）采购管理与电子招投标系统（网址： http://zbzx.scut.edu.cn:8888/ECP/）进行必要的注册账号并登陆，找到需要投标登记的项目并在线填写获取招标文件资料，投标登记完成后将参与结果截图并发至招标代理机构邮箱（tender@gd.gov.cn），并在邮件正文写清楚报名供应商的名称以及联系方式。否则，投标人将不能进入下一步，由此产生的后果由投标人负责。 步骤二：招标文件于代理机构处线上购标，售后不退。请于2022年1月10日17：30前登录广东志正招标有限公司官网“https://www.zztender.com/”进行操作，从采购公告右侧的“我要购标”入口，相关操作成功后即可下载采购文件，并可在规定的获取采购文件时间段内到采购代理机构现场领取纸质采购文件。（咨询电话020-87554018，李小姐） 售价（元）：￥300.00元，本公告包含的招标文件售价总和。 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 2022年1月24日14点30分（北京时间）（自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标文件截止之日止，不得少于20日） 地点：广州市天河区龙怡路117号银汇大厦5楼广东志正招标有限公司会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1. 招标项目的详细内容及技术参数、执行标准：详见“招标需求”部分。 2. 经政府采购管理部门同意，本项目（多功能椭圆偏振仪）允许采购本国产品或不属于国家法律法规政策明确规定限制的进口产品。 3. 采购项目需要落实的政府采购政策：《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库[2020]46号）、《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》(财库[2014]68号)、《三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141号）、《关于环境标志产品政府采购实施的意见》（财库〔2006〕90号、《节能产品政府采购实施意见》的通知（财库〔2004〕185号）、《财政部 发展改革委 生态环境部 市场监管总局 关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》（财库〔2019〕9号）等。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名称：华南理工大学 地址：广州市天河区五山华南理工大学南秀村物资大楼 联系方式：文老师 020-22236003 2.采购代理机构信息 名称：广东志正招标有限公司 地址：广州市天河区龙怡路117号银汇大厦5楼 联系方式：李小姐 020-87554018 85165610 3.项目联系方式 项目联系人：滕小姐、李小姐 电话：020-85165610 广东志正招标有限公司 2022年12月31日

据中国科学院力学研究所消息 在中国科学院重大科研装备研制项目的资助下，力学研究所国家微重力实验室靳刚课题组成功研制出“光谱椭偏成像系统”及其实用化样机。 该研究是利用高灵敏的光学椭偏测量术，同时结合光谱性能及数字成像技术，具有对复杂二维分布的纳米层构薄膜样品的快速光谱成像定量测量能力。在中科院专家组对仪器性能和各项技术指标进行现场测试的基础上，验收专家组一致认为：系统为复杂横向结构的大面积多层纳米薄膜样品的快速表征和物性分析提供了有效手段，是一种纳米薄膜三维结构表征的新方法。 光谱椭偏成像系统的特点在于：信息量大，可同时测量大面积样品上各微区的连续光谱椭偏参数，从而可以获得相关材料物理参数(如厚度、介电函数、表面微粗糙度、合成材料中的组分比例等)及其空间分布；空间分辨率高，对纳米薄膜的纵向分辨和重复性均达到0.1nm、横向分辨达到微米量级；检测速度快，单波长下获得图像视场内各微区(42万像素以上)的椭偏参量(ψ和Δ)的采样时间达到7秒，比机械扫描式光谱椭偏仪提高2~3个量级；结果直观，形成视场内对比测量，可准确定位和排除伪信号，这是单光束光谱椭偏仪所不具备的，并且系统自动化程度高，操作简便。 该系统既可应用于单光束光谱椭偏仪所覆盖的领域，也可应用于单波长或分立波长的椭偏成像仪所涉及的领域，适合同时需要高空间分辨和光谱分辨测量的纳米薄膜器件测量的场合，这将为椭偏测量开拓新的应用方向。目前已成功应用于“863”项目“针对肿瘤标志谱无标记检测蛋白质微阵列生物传感器的研制”等研究工作中，并将在微/纳制造、生物膜构造、新型电子器件、生物芯片及高密度存储器件等领域中发挥重要作用。

纳米薄层解析的新锐器——光谱椭偏成像系统研制成功　　在中国科学院重大科研装备研制项目的资助下，力学所国家微重力实验室靳刚课题组成功研制出“光谱椭偏成像系统”及其实用化样机。　　该研究是利用高灵敏的光学椭偏测量术，同时结合光谱性能及数字成像技术，具有对复杂二维分布的纳米层构薄膜样品的快速光谱成像定量测量能力。在中科院专家组对仪器性能和各项技术指标进行现场测试的基础上，4月1日，验收专家组一致认为：系统为复杂横向结构的大面积多层纳米薄膜样品的快速表征和物性分析提供了有效手段，是一种纳米薄膜三维结构表征的新方法。　　光谱椭偏成像系统的特点在于：信息量大，可同时测量大面积样品上各微区的连续光谱椭偏参数，从而可以获得相关材料物理参数(如厚度、介电函数、表面微粗糙度、合成材料中的组分比例等)及其空间分布 空间分辨率高，对纳米薄膜的纵向分辨和重复性均达到0.1nm、横向分辨达到微米量级 检测速度快，单波长下获得图像视场内各微区(42万像素以上)的椭偏参量(ψ和Δ)的采样时间达到7秒，比机械扫描式光谱椭偏仪提高2-3个量级 结果直观，形成视场内对比测量，可准确定位和排除伪信号，这是单光束光谱椭偏仪所不具备的 并且系统自动化程度高，操作简便。　　该系统既可应用于单光束光谱椭偏仪所覆盖的领域，也可应用于单波长或分立波长的椭偏成像仪所涉及的领域，适合同时需要高空间分辨和光谱分辨测量的纳米薄膜器件测量的场合，这将为椭偏测量开拓新的应用方向。已成功应用于“863”项目“针对肿瘤标志谱无标记检测蛋白质微阵列生物传感器的研制”等研究工作中，并将在微/纳制造、生物膜构造、新型电子器件、生物芯片及高密度存储器件等领域中发挥重要作用。

HORIBA Scientific 暨华南理工大学测试中心拉曼、SPRi及椭偏光谱技术交流会邀 请 函　　主办：HORIBA Scientific (Jobin Yvon光谱技术)　　协办：华南理工大学分析测试中心　　时间：2011年4月27日(周三)上午8:30　　地点：华南理工大学人文馆报告厅日程安排　　上午：拉曼光谱及SPRi在化学、生物领域的应用专场　　8:30~9:00 来宾签到　　9:00~9:10 开幕词　　9:10~10:00 拉曼光谱仪新进展以及应用 (HORIBA Scientific 沈婧 博士)　　10:00~10:50 拉曼光谱在生物医学领域的应用(暨南大学 黄耀熊 教授)　　10:50~11:00 提问及茶歇　　11:00~11:30 拉曼光谱在食品化学领域的应用(华南理工大学 宋国胜 博士)　　11:30~12:00 SPRi技术以及在生物、食品和卫生安全领域的应用(HORIBA Scientific 沈婧 博士)　　12:00~13:30 午餐及休息　　下午：拉曼光谱及椭圆偏振光谱在新能源、新材料领域的应用专场　　13:30~14:00 来宾签到　　14:00~14:30 拉曼光谱在新材料领域的应用(HORIBA Scientific 武艳红 应用工程师)　　14:30~15:30 椭圆偏振光谱测量技术以及HORIBA Jobin Yvon新型椭偏仪(HORIBA Scientific Dr. Ramdane Benferhat)　　15:30~15:45 提问及茶歇　　15:45~16:45 椭偏仪在新能源材料领域的应用(HORIBA Scientific Dr. Ramdane Benferhat)　　因本次会议场地有限，为方便我们对会议的组织与安排，请您与4月25日前确认参加　　(请点击如下按钮完成网络提交)　　 　　如果您对会议有任何疑问，欢迎您随时与我们联系：　　联系人：Li Su邮件地址：info-sci.cn@horiba.com　　电话：021-62896060-101　　会议地址地图　　 HORIBA Scientific(HORIBA集团科学仪器事业部)　　HORIBA Scientific隶属 HORIBA 集团。一直致力于为用户提供先进的测和分析仪器：包括激光拉曼光谱、椭圆偏振光谱、元素分析、荧光、ICP、粒度表征、油中硫分析、水质和XRF等分析仪器。结合旗下知名品牌的技术优势，包括拥有近200年发展历史的世界光谱制造技术的Jobin Yvon。　　今天，HORIBA Scientific 的各种高端检测分析仪器已经遍布全球各地，并在中国实现了销售和服务的本土化，位于上海、北京、广州三地的产品专家、售后服务团队以及全国各地的代理商机构可充分保障国内用户的技术咨询以及售后服务需求。　　www.horiba.com/cn华南理工大学分析测试中心(计量认证合格单位)　　组建于1982年10月，现有专业技术教师和管理人员共27人分析测试工作十年以上人员占80%，整体的检测分析能力强。中心装备了高分辨透射电镜、热场发射扫描电镜、超导核磁共振谱仪、液-质联用仪、多功能化学电子能谱、电子探针、X 射线荧光光谱仪、拉曼光谱仪、多功能生物质谱、气- 质联用仪、单晶衍射仪等大型精密贵重仪器30台，仪器总价值5000多万元 拥有独立且相对集中的现代化实验室，使用面积达3000m2 是华南地区规模宏大、设备先进、富具特色、　　队伍精良的现代分析测试中心。　　www.scut.edu.cn/test/　　 HORIBA科学仪器快讯第13期第12期

2012年12月20日-21日，HORIBA Scientific在北京应用中心举办了期椭圆偏振光谱仪应用培训班，来自于全国各地的HORIBA椭偏用户参加了此次活动。 本期培训活动由本公司资深应用工程师主持，不仅深入浅出地给大家介绍了椭圆偏振光谱仪的原理、建模拟合、样品建模拟合方法基础等理论知识，而且还上机对样品测量及数据处理进行实际演练。 通过此类培训活动，我们旨在为广大用户提供一个学习交流的平台，对大家在日常工作中遇到的问题进行答疑解惑。更重要的是，为广大用户之间的交流提供了一个的广阔的平台。 我们会定期举行类似活动，请关注我们的网站、微博、以及邮件通知。

Horiba JobinYvon在此非常高兴地向大家宣布，在斯图加特举行的SEMICON Europa会议 (2008年10月) 上，我公司的新品Auto SE荣获 “2008 IC产业新产品奖（2008 IC Industry New System Award）”。一年一度的“IC产业新产品奖”是半导体业界对产品和服务的评估的重要平台。 Horiba JobinYvon 薄膜测量部市场部主任 Mélanie Gaillet 在获奖现场 Horiba JobinYvon 薄膜测量部副主任Denis Cattelan说：“我们坚信，快速、简便而又精准的薄膜测量工具—— Auto SE将成为椭圆偏振光谱仪行业的转折点！的可视化系统MyAuto View展示了光斑的精确位置，是图形化样品特性测量的理想工具。作为Auto SE的创造者，能获得此殊誉，我们感到非常高兴和自豪。Auto SE是我公司薄膜测量部工作人员刻苦钻研和辛勤劳动的结晶。” 新品Auto SE是一种操作简便的、实用性强的全自动椭圆偏振光谱仪，用于单层或多层薄膜样品的厚度和光学常数的分析测量。这种新产品完全符合薄膜测量的质量控制及研究的要求。 Auto SE 具有超高自动化程度：可以全自动的载入样品、自动校准调整以及自动成像；能根据客户要求自动选择8种不同大小的光斑，光斑小可达25×60 μm；同时拥有的光斑可视化系统（技术）。 操作直观的Auto Soft软件，加上先进的机器构造和不断更新的新材料的模型，使得繁琐的薄膜分析变得简单易行，只需按动几个按钮，即可完成。

HORIBA Jobin Yvon, 薄膜部推出了新型MM16高精度，高灵敏，低价格的相调制椭圆偏振光谱仪。 其采用液晶调制技术，2048CCD采集光谱，全谱采集时间仅2s钟，同时椭偏仪在可见光波段采用4× 4的Mueller 矩阵进行数据分析，可以精确的对测量复杂折射率材料进行分析，可广泛应用在平板显示，生物，包装和半导体领域。 目前HORIBA Jobin Yvon 在ex-situ和in-situ领域有着一系列的椭偏仪产品，UVISEL，MM16，DigiSel，PZ2000。其组成了一个高性能的椭偏家族。同时HJY公司还有多种配件可选以扩展椭偏仪的功能，如自动样品台，微光斑反射仪，液体池，高低温样品台等。基于Windows的强大软件工作平台DeltaPsi2使椭偏的数据分析变得更加的简单直观， 具体情况请查阅网站 www.jobinyvon.com 电话：021-64479785传真：021－64479480E-Mail：jjhjy@jobinyvon.cn

前道量检测根据测试目的可以细分为量测和检测。量测主要是对芯片的薄膜厚度、关键尺寸、套准精度等制成尺寸和膜应力、掺杂浓度等材料性质进行测量，以确保其符合参数设计要求；而检测主要用于识别并定位产品表面存在的杂质颗粒沾污、机械划伤、晶圆图案缺陷等问题。广义上的半导体检测设备，分为前道量测（又称半导体量测设备）和后道测试（又称半导体测试设备）。前道量检测主要用于晶圆加工环节，目的是检查每一步制造工艺后晶圆产品的加工参数是否达到设计的要求或者存在影响良率的缺陷，属于物理性的检测。仪器信息网近期特对一年内半导体前道检测用光学显微镜、聚焦离子束、电子显微镜、四探针和椭偏仪的中标讯息整理分析，供广大仪器用户参考。（注：本文搜集信息全部来源于网络公开招投标平台，不完全统计分析仅供读者参考。）各月中标量占比2019年10月至2020年9月，根据统计数据，检测设备的总中标数量为142台。2019年10月至2020年1月，平均中标量约15台每月。2020年2月，由于疫情影响，半导体量测仪器市场低迷。从2020年3月起，随着国内疫情稳定以及企业复产复工和高校复学的逐步推进，光刻设备市场逐渐回暖，其中9月产品中标量高达21台。招标单位地区分布本次盘点，招标单位地区分布共涉及25个省份、自治区及直辖市。其中，广东省采购量最多，达33台，远超其他地区。在广东省的采购中，以光学显微镜和四探针设备为主，采购单位多数为高校。采购单位性质分布从光刻设备的招标采购单位来看，高校是采购的主力军，采购量占比高达63%，企业和科研院所的采购量分别占比17%和20%。值得注意的是，企业和科研院所采购检测设备的平均价格较高。这表明，前道检测设备主要用户集中于研发领域。各类检测设备占比从各类前道检测设备占比来看，根据搜集到的中标数据可知，四探针、椭偏仪、电子显微镜和光学显微镜占比分别为32%、25%、22%和18%。这里的光学显微镜包含了金相显微镜和体视显微镜。值得注意的是，企业采购以电子显微镜为主，而高校采购则以四探针为主，科研院所各类设备采购数量差距不大。本次设备中标盘点，涉及椭偏仪品牌有颐光科技、SEMILAB、J.A.Woollam、海瑞克、HORIBA等；四探针品牌有广州四探针、瑞柯、苏州晶格、海瑞克、品鸿科技、海尔帕、普西工业、Napson Corporation、三菱等。其中，各品牌比较受欢迎的产品型号有：HORIBA UVISEL 研究 级经典型椭偏仪 这款仪器是HORIBA公司20多年技术积累和发展的结晶，是一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型。即使在透明的基底上也能对超薄膜进行精确的测量。采用PEM相位调制技术，与机械旋转部件技术相比，能提供更好的稳定性和信噪比。同时，这款仪器提供多种光谱范围选择，还针对紫外、可见和近红外提供优化的PMT和IGA探测器。 FT-330 系列四 探针测试 仪 FT-330系列普通四探针方阻电阻率测试仪是按照硅片电阻率测量的国际标准（ASTM F84）及国家标准设计制造该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准设计。本机配置232电脑接口及USB两种接口，采用范德堡测量原理能改善样品因几何尺寸、边界效应、探针不等距和机械游移等外部因素对测量结果的影响及误差，比市场上其他普通的四探针测试方法更加完善和进步,特别是方块电阻值较小的产品测量，更加准确。FT-341 双电测 电四探针 方阻电阻率测试仪 这款仪器采用四探针双电测量方法，适用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。同时，仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高精确度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。点击此处进入【电子显微镜】【聚焦离子束】【四探针测试仪】和【椭偏仪】等专场，获取更多产品信息。更多资讯请扫描下方二维码，关注【材料说】

HORIBA Scientific将于9月11日上午1:30举办&ldquo 有机电子学中纳米材料的光谱型椭偏表征&rdquo 免费网络讲座，欢迎大家届时参加。 有机电子学是一门新兴技术，正广泛应用于有机光伏（OPVs）、有机发光二管（OLEDs）、有机晶体管（OTFTs-传感器）和生物传感器等产品。 HORIBA Scientific邀请了希腊亚历士多德大学有机电子研究组组长Argiris Laskarakis博士作为本次讲座的主讲者。讲座将围绕柔性有机电子器件中的纳米材料的光学表征展开讨论，例如柔性OPVs。此外，还会讨论在Roll-to-Roll(R2R)系统上实现在线椭偏系统、实时分析柔性PET衬底上印刷的纳米薄膜的光学常数和和厚度形貌等内容。 作为拥有有近200年发展历史的光学光谱专家，HORIBA Scientific的椭圆偏振光谱仪可广泛应用于显示（TFT/OLED等）、光学镀膜、半导体、光电子、太阳能、纳米及生物技术等领域。与此同时，HORIBA Scientific也通过此类技术交流会不断与各领域的研究者进行深度合作，始终为科研及工业用户提供先进的检测和分析工具及解决方案。 您可以通过新浪官方微博来关注HORIBA Scientific新的动态，也可以通过以下邮箱与工程师进行技术交流：info-sci.cn@horiba.com

为提升椭偏用户的应用技能，4月25-26日我司将于上海复旦大学举办椭偏用户培训班。本次培训将以仪器硬件操作和基本建模为主，带领大家展开学习，欢迎各位老师参加！椭圆偏振光谱仪是一种高精度薄膜表征工具，用于测量光学常数(n，k)和厚度。并越来越多地应用于光学薄膜、半导体薄膜、介电薄膜、有机薄膜、LED显示、滤光片、纳米器件、包装等材料的测量和表征。本次培训中将着重介绍椭偏的日常使用，包括硬件操作和模型分析两大部分，帮助用户真正利用仪器获取材料光学常数。请自备笔记本电脑，系统要求win7(条件允许提前安装软件并携带密码狗)报名截止日期：4月22日 HORIBA Optical SchoolHORIBA一直致力于为用户普及光谱基础知识，其旗下的Jobin Yvon有着近200年的光学、光谱经验，我们非常乐意与大家分享这些经验，为此特创立 Optical School（光谱学院）。无论是刚接触光谱的学生，还是希望有所建树的研究者，都能在这里找到适合的资料及课程。 我们希望通过这种分享方式，使您对光学及光谱技术有更系统、全面的了解，不断提高仪器使用水平，解决应用中的问题，进而提升科研水平，更好地探索未知世界。

p 首批设备进场！中科飞测椭偏膜厚量测仪正式搬入厦门士兰集科/pp 继士兰微电子12英寸特色工艺半导体芯片项目于5月10日宣布正式通电后，工艺设备也将开始陆续进场。5月20日，深圳中科飞测科技有限公司（以下简称“中科飞测”）椭偏膜厚量测仪作为首批设备，正式搬入厦门士兰集科微电子有限公司（以下简称“士兰集科”）。/pp 中科飞测是一家以在集成电路设备领域有多年经验的研发和管理团队为核心，自主研发和生产工业智能检测装备的高科技创新企业。同时，中科飞测也是目前国内唯一一家在Metrology（量测）和Inspection（缺陷检测）两大领域均在国内一线半导体制造厂商取得批量订单的半导体光学检测设备供应商。/pp 士兰集科由厦门半导体投资集团有限公司与杭州士兰微电子股份有限公司共同出资设立。根据规划，士兰集科将投资170亿元在厦门海沧建设两条12英寸特色工艺芯片生产线。/pp 2018年10月18日，士兰厦门12英寸特色工艺芯片生产线暨先进化合物半导体生产线在厦门海沧动工，这是国内首条12英寸特色工艺芯片制造生产线和下一代化合物生产线。2020年5月10日，士兰厦门12英寸特色工艺半导体芯片项目正式通电。随着该项目的正式通电，工艺设备将从5月中旬陆续进场，预计年底通线。/p

10月30日HORIBA举办了2017 Optical School系列在线讲座第五场——光谱技术在半导体领域中的应用，涉及：拉曼、椭圆偏振、光学光谱和辉光放电，四种光学光谱技术，为大家带来满满的知识技能包。课上同学们积留言互动，那么针对这三种光学光谱技术，大家都有哪些疑问呢，我们一起来看一看。光学光谱1. 什么是CCD TE制冷？CCD探测器的制冷方式一般分为两种：热电制冷（TE）和液氮制冷（LN2）。热电制冷就是通过帕尔贴效应，将热量从芯片带走；液氮制冷是通过液氮气化吸收热量来降低温度。2. 5K和10K的低温是怎么实现的。采用低温恒温器，闭循环低温恒温器或消耗液氦型低温恒温器可以实现5K和10K的低温，将样品放置在低温恒温器中测量。3. PL Mapping测量的是什么？相对宏观测试而言，微观尺寸的光致发光光谱更能表征样品的性质，并且能够展现更多的细节信息，在进行显微测量时，我们对整个样品表面进行扫描，得到所有测量点的光致发光光谱，这个过程称为Mapping。4. MicOS的PL和拉曼光谱仪测试的PL谱是一样的吗？原理上是一样的，都属于光致发光光谱，区别在于：MicOS光谱仪所采用的光谱仪焦距长度跟拉曼光谱仪不一样，光谱分辨率也不一样；拉曼光谱仪主要是为了拉曼测试而设计，它的探测器CCD通常覆盖到1000nm左右，有些型号的拉曼光谱仪不能拓展光谱范围到近红外波段，而MicOS可以灵活方便地拓展光谱范围从紫外到近红外（200-1600nm）。5. 激光测试固体光谱时需要滤光片吗？推荐加滤光片，因为激发激光的能量很强，激发样品的同时，部分激发光会通过反射与信号光一起进入探测系统，可能产生杂散光，为了避免干扰，建议加入滤光片将激发光滤除。因为信号光能量较低，波长比激发光长，所以只需要加入截止波长在激发光和信号光之间的滤光片即可。此外，如果激发光的二级衍射光与信号光波长重叠的话，那么也需要加入滤光片将激发光波长滤除从而消除激发光的二级衍射光。6. 这里的PL发光和寿命测量与荧光光谱仪测得荧光光谱和寿命有什么区别？荧光也是一种光致发光，但是荧光光谱仪通常用氙灯作为激发光源，能量比较低，对于宽带隙材料可能无能为力，定制化光致发光系统用激光作为激发光源，可以成功激发大部分样品。此处提到的寿命测试功能与HORIBA荧光光谱仪的寿命功能原理相同，并无区别，不过MicOS中测量荧光寿命是在显微下测量的，而荧光光谱仪通常是在宏观光路中测量的。7. 使用光纤导入光谱仪（iHR550）时，狭缝的宽度对分辨率还会有影响吗？采用光纤导入信号光到iHR550光谱仪时，一般会采用光纤适配器将光纤连接到光谱仪，此时狭缝宽度对光谱分辨率的影响需要分两种情况讨论：（1）如果光纤出来的信号光光斑通过光纤适配器耦合到光谱仪狭缝上是小于狭缝宽度，那么狭缝宽度的变化对光谱分辨率无影响；（2）如果光纤出来的信号光光斑通过光纤适配器耦合到光谱仪狭缝上是大于狭缝宽度，那么狭缝宽度的变化对光谱分辨率有影响，狭缝越大分光谱分辨率越低。8. 光栅的刻线密度怎么去选择？光栅刻线密度的选择主要考虑两个因素：分辨率和光谱范围。相同焦长光谱仪配置的光栅刻线密度越高，光谱分辨率越高，但是所能使用的长波长范围越窄；光栅刻线密度越低，光谱分辨率越低，但是低刻线密度光栅能覆盖的长波长越长；所以要综合平衡考虑，一块光栅覆盖范围不够可以选择多块光栅以拓展光谱范围。9. MicOS激光照射到样品上的光强和光斑大小?MicOS的激光光斑照射到样品上的光强与所采用的激光器功率大小相关，所采用激光器功率越高照射到样品的光强越大。激光照射到样品的光斑大小与耦合方式（光纤耦合还是自由光路耦合）以及所采用的物镜倍率相关，如采用100倍物镜，采用光纤耦合激光，光斑小于10um；采用自由光路耦合激光，光斑小于2um。拉曼光谱1. 用532nm激光测试的深度为多少？（实验中测试不到厚度为100nm薄膜的Raman光谱）总体来说，入射深度与激光器的波长和材料本身消光系数相关。激光越偏红光，其入射深度越深；消光系数越小，入射深度越深。所以，532 nm针对不同材料的入射深度不一样，一般来说，对单晶硅的入射深度约为1微米。厚度不到100 nm的薄膜需要考虑使用325 nm激光器检测。2. 老师，实际测试比如石墨烯，532,633,785测试D,G,2D频移和相对强度都不一样，这是什么原因呢？可以考虑的原因：三个激光器是否校准好；激光器的能量是否合适，是否某一个激光能量过高将样品破坏。一般石墨烯测试，激光能量的选择建议从低到高尝试；考虑机理方面解释，激光和样品的是否有耦合效应。墨烯测试，推荐532 nm激光器。3. HORIBA提供拉曼与SEM联用的改装服务吗？我们实验室对这个比较干兴趣，想了解一下我们的电镜可不可以改装？国内和国外都有已经完成的案例。若有需求，请进一步联系！4. 我们处理拉曼光谱的时候有时候要使用归一化的方法，这个对结果分析会有影响吗？归一化一般不会对结果分析产生影响。归一化操作是对光谱中所有的拉曼峰等比例的放大和缩小，不会影响峰的位置和形状。若还有担心，可以考虑提高光谱的信噪比。5. 半高宽和强度是怎么成像的？若使用的是Labspec 6软件，至少有两种成像方法可以实现半高宽和强度成像。夹峰法：用线夹住需要成像的峰，在Analysis中，进入 Map characterization中选择对应的Height, area, position, width进行成像。分峰拟合法：对所需成像的峰进行分峰拟合后，直接选择各参数成像。夹峰法，目前多同时可以做三个峰的成像；分峰拟合理论上可以实现所有峰的成像。6. 如何用325nm激光器测拉曼光谱，PL和BPF这两块滤光片怎么用？使用325nm测试和其它的激光器测试类似，需要注意的是：激光器稳定半小时，软件中勾选紫外测试，使用紫外物镜，激光光斑进行聚焦。PL和BPF滤光片都是为了滤去激光器的等离子体线，PL和BPF分别针对测试PL和拉曼。7. 老师，做拉曼成像的时候勾选SWIFT，老是提示不兼容是怎么回事？可以考虑：是否工作在单窗口的模式下；成像区域的选择是否是长方形；控制盒上的开关是拨到SWIFT模式下。8. 100nm薄膜测试不到信号（532nm激发）答案见问题一。9. 老师，可不可以用显微共聚焦拉曼测重金属的浓度？重金属的浓度目前还没有用拉曼直接测试的好方法。但有间接的方法：加入指示剂，通过指示剂间接测试重金属的浓度；做成传感器（DNA/蛋白/小分子等为传感元件），以拉曼信号为输出。10. 老师您好，树脂样品532nm激光器基线上飘严重，降低hole值仍然，切换785nm后基线下飘，这个是荧光引起的吗，应如何调节或者加激光器呢？荧光背景干扰的可能性比较大。缩小Hole只能抑制荧光，不能消除荧光。建议先利用532 nm做个PL光谱看一看。降低激光能量；更换测量点；若荧光背景还是比较高，可以考虑选用紫外和更红外激光器试一试。椭圆偏振1. 请问在测试的时候起偏器不动但是检偏器旋转吗？在UVISEL系列椭偏仪中，起偏器和检偏器均保持固定，由相位调制器PEM起到调制偏振光的作用，没有机械转动的干扰，保证了仪器对椭偏角测试的高精度。2. 为什么可以测SIGe的组分？研究表明SiGe合金的含量与介电方程的实部有关，介电方程实部是通过椭偏仪分析得到的，因此在进行了大量标准样品与实部的关系推导后，可以根据未知含量样品的介电方程实部推算出合金含量。3. 要测试膜厚度，需要这个样品是透明的吗?样品可以是不透明的硅基底或透明的玻璃基底等，待测试薄膜需要是光学透明的，以便椭偏仪分析反射之后的偏振光信号。4. 不转怎么测椭偏角？UVISEL系列椭偏仪采用PEM相位调制技术，调制器虽然保持静止，但其内部光学元件的双光轴相位以50KHz高频发生变化，从而实现偏振光的调制。5. 椭偏仪的入射角是可调的吗？是固定几个值还是连接可调？入射角是连续可调的，但通常测试使用55-75度，主要与样品的布儒斯特角相近即可。例如，大多数半导体样品的布儒斯特角在70度附近，玻璃等样品在55度附近。6. 测SiGe的组分与测带隙宽度有关吗？没有7. 椭偏仪可以测不透明的样品吗？无法用肉眼判断样品是否光学透明，一般来说肉眼看到透明的样品，可透过可见光，而有些样品如SOI中的顶层硅薄膜，可见不透过，但仍然可以使用椭偏测试分析，因为其对近红外透过。8. 可以测碳纳米管吗？可以测试均匀的CNT薄膜，由于光斑大小限制不能测试单根纳米管9. 是相位调制器每变一下，收集一组光强吗？那请问相位改变一个周期内会采集多少组数据来计算psi 和delta。是的，通常8-16点HORIBA科学仪器事业部结合旗下具有近 200 多年发展历史的 Jobin Yvon 光学光谱技术，HORIBA Scientific 致力于为科研及工业用户提供先进的检测和分析工具及解决方案。如：光学光谱、分子光谱、元素分析、材料表征及表面分析等先进检测技术。今天HORIBA 的高品质科学仪器已经成为全球科研、各行业研发及质量控制的首选。

2010 年 5 月 23 日- 28 日，第五届椭圆偏振光谱国际会议(ICSE-V,International Conference on Spectroscopic Ellipsometry)将在美国纽约州奥尔巴尼市（Albany）奥尔巴尼大学纳米科技与工程学院(CNSE)举办。 和历届会议一样，为椭圆偏光术和相关测量技术领域的科学家和工程师提供国际交流的平台。ICSE-V 会议将为您展示椭圆偏振光谱技术和应用的新研究进展，包括涉及偏振技术开发的相关光谱分析技术等。 更多信息: http://www.icse-v.org/web/index.php 向世界同行展示您的工作！ HORIBA Scientific（Jobin Yvon 光谱技术）诚邀 Jobvin Yvon 椭偏仪用户提交会议摘要并参加第五届椭圆偏振光谱国际会议(ICSE-V)！ 摘要提交起讫时间: Oct.19&mdash Dec.6, 2009HORIBA Jobin Yvon 赞助 HORIBA Scientific 承诺赞助参与展板展示（poster presentation）或口头报告（oral presentation）的 Jobvin Yvon 用户。 申请赞助，请联系 ：tfd-marketing.sci@horiba.com 应用支持，请联系： tfd-sales-sci.fr@horiba.com

近日，厦门市妇幼保健院生殖医学医疗团队通过共享厦门大学基因技术仪器设备，发现了患者精子的结构缺陷，从而帮助患者找到了病因。这是厦门大学与校外共享仪器的典型案例。近年来，厦门大学主动服务社会，利用仪器共享网络平台，实现大型仪器对外开放“一站式”服务。通过仪器共享，厦门大学协助企业、政府部门、高校解决了多项技术难题，还在一些“卡脖子”技术上有所突破。厦门大学推进仪器设备共享，带来哪些启示？对此，记者进行了采访。主动作为，提供便捷高效服务“如果不共享厦大的高端设备，这些工作几乎不能完成。”厦门市妇幼保健院生殖医学科副主任医师沙艳伟介绍。今年3月，由厦门大学倡议发起的闽西南大型仪器开放共享联盟正式成立。学校依托大型仪器共享网络平台，实现大型仪器对外开放服务。用户包括地方政府、企事业单位、科研机构，也包括华侨大学、闽南师范大学等高校。进入仪器共享平台网页，登录之后，填写预约使用设备的时间，通常在半个工作日内就能得到回复，很便捷。2015年，国务院印发《关于国家重大科研基础设施和大型科研仪器向社会开放的意见》，要求高校的大型科学装置、科学仪器和服务单元要统一纳入国家网络管理平台，实现开放服务。但在现实条件下，高校仪器设备共享却存在着不尽如人意的现象。国内期刊《中国现代教育装备》于今年4月份刊发一篇题为“高校大型仪器设备开放共享发展趋势研究”的文章，文中提出：“高校大型仪器设备管理人员短缺，一般一人需要管理多台仪器，而开放共享进一步增加教师的工作量，因此，教师自发参与开放共享的意愿不强。”这说明，科研仪器开放共享，从“要我服务”向“我要服务”的转变，还有相当长的路要走。如何做到“我要服务”？学校的考核与引导是关键，也可以说“指挥棒”是重点。“高校要发挥前瞻引领和自主创新作用，与地方优势互补、资源共享，要为解决重大基础研究难题、支撑国家核心技术攻关、服务国家重大战略需求多作贡献。”厦门大学副校长江云宝说。“维持仪器运转是一项基础性工作，也是一项系统性工程，技术含量很高。”厦门大学实验室与设备管理处副处长郭志福介绍。记者了解到，为了做好实验服务，厦门大学成立了3个团队，一是“大型仪器与技术服务中心团队”，负责仪器的自主维修；二是“实验服务中心团队”，主要负责公共测试，即通常所说的实验人员；三是“仪器与装备研发中心团队”，主要负责仪器设备的研制与开发。“企业愿意来学校做实验或检测，很大程度上是因为我们的实验队伍能给予全方位的支持。”厦门大学实验室与设备管理处干部张晶介绍，多数企业是把实验要求、实验材料送到厦门大学，再由学校专业的实验人员来完成相关工作，企业能直接拿到结果。降低成本，助力打通技术堵点椭偏仪是一种光学测量仪器。由于其测量精度高，并能实现对超薄膜的测量，而且能做到与样品非接触测量，因此得到广泛应用。高精度的椭偏仪价格达百万元，企业购置成本较高，所以到高校共享设备成为校外单位的优先选项。除了能避开高昂购置成本，仪器设备共享还成为企业打通技术堵点的一把“金钥匙”。厦门大学材料学院的“旋转流变仪”是材料粘弹性能测试分析的重要设备，其在福建省战略性新材料产业的研发中起到作用。三明市海斯福化工有限责任公司在对半导体产业的CPI柔性显示领域的“卡脖子”原材料攻关过程中，依托“旋转流变仪”，对聚合体的黏度进行实时监测，解决了聚酰亚胺前体聚酰胺酸不稳定、易水解、难监控等难题，在技术上取得了新突破。“突破‘卡脖子’的高精技术，除了要有高规格的研发团队，更要有高精尖设备的支持。”三明市海斯福化工有限责任公司技术总监吴成英说。厦门大学电子科学与技术学院依托LED光电色综合检测系统和LED热光参数测试系统等半导体照明检测仪器，与厦门市信达光电科技有限公司等企业开展联合攻关，带动了厦门市乃至福建省的迷你LED产业化应用。“厦门大学的LED检测系统，解决了LED显示封装器件对光电色热测试精度，让我们在技术上向前迈进了一大步。”厦门信达信息科技集团研发负责人兼信达研究院院长陈亚勇说。服务社会，“中国智造”走出国门最近，福建台风肆虐。而厦门大学海洋与地球学院的珊瑚礁在线监测系统被纳入福建省海洋预报台的监测体系，可记录台风事件前后珊瑚礁的变化情况，从而为海洋生态环境建设的研究提供了基础数据。仪器设备共享不仅是服务政府与部门的“好帮手”，也成为推动高校间合作的“助推器”。早在2016年，在厦门大学实验室与设备管理处的支持下，由中国科学院院士韩家淮牵头，生命科学学院、医学院、公共卫生学院、药学院、细胞应激生物学国家重点实验室共同建设大型仪器共享平台。该平台目前上线仪器近400台，价值约3亿元。该平台实现24小时全天候预约服务。近5年来，平台与香港大学、北京医院、广西医科大学、厦门第一医院等院校科研机构合作，取得多项成果，相关论文被发表于《自然》等国际一流期刊，引发学术界关注。“对校外共享仪器，另一个意外收获是了解了市场对仪器的需求。”郭志福介绍，厦门大学在共享设备的过程中积累了大量的数据，对哪些设备是企业所急需的，哪些是被“卡脖子”的，学校做到了心中有数，这也让学校自主仪器研制做到有的放矢。在仪器国产化进程上，厦门大学多个学院都在发力。厦门大学化学化工学院研制的纳米流式检测仪器远销牛津大学、梅奥医学中心、阿斯利康等欧美顶尖科研医疗机构和生物制药公司，让“中国智造”走出国门。国家自然科学基金委网站专门报道了厦门大学颜晓梅教授课题组的技术研发成果。目前，厦门大学化学化工学院申请光谱、质谱、色谱、电化学检测和生物芯片等方面仪器类发明专利100余项。其中，“基于原创的壳层隔绝表面增强原理研制的拉曼光谱快检系统”实现产业化。团队自主研发了便携式拉曼快速检测仪，在内蒙古、浙江等多省份食药监系统达到千万元级销售额。

慕尼黑上海光博会将于3月15日至17日在上海新国际博览中心举行，量拓科技将与来自22个国家的六百多家展商汇聚一堂，共同参加这次中国最大的激光、光学、光电行业盛会。慕尼黑上海光博会引领行业发展趋势，集中展示涵盖激光器与光电子、光学与光学制造、激光生产与加工技术、成像，检测和质量控制四大板块的全方位产品内容。 量拓科技在此次展会上，将重点展示公司针对光学领域推出的行业整体解决方案，包括：（1）纳米薄膜检测整体解决方案；（2）偏振器件检测解决方案；（3）偏振光束分析解决方案。同时，也会展出具有自主知识产权的国际一流水品的系列椭偏仪器，包括：ES/ESS系列光谱椭偏仪、EM系列激光椭偏仪、EX系列教学椭偏仪、EW系列波片检测仪、EPA系列偏振态检测仪、ERM系列消光比检测仪等。 欢迎新老客户届时前往我公司展台参观交流（上海新国际博览中心，W3号馆　3736展台）。 关链接：慕尼黑上海光博会详见 http://www.photonicschina.cn

近日，中国科学院新疆理化技术研究所爆炸物传感检测团队在高灵敏快速比色-荧光双模检测典型氧化剂的研究获得进展，相关研究成果发表在Analytical Chemistry上。 　　高锰酸钾(KMnO4)、次氯酸钠(NaClO)等典型氧化剂是代表性非制式爆炸物原料，而过量排放会造成环境污染。因此，开展氧化剂的高灵敏、高选择性、现场快速检测和分析对维护国家公共安全与环境保护具有重要意义。 　　有机光学探针因具有结构可调、官能团多样、发光效率高、反应快、识别位点特异等优点，被广泛应用于典型氧化剂检测。目前，相关研究集中在调控探针结构增强单个目标物检测性能方面，如何通过探针设计实现对不同氧化剂的同时区分检测颇具挑战。 　　中国科学院新疆理化技术研究所爆炸物传感检测团队基于KMnO4和NaClO皆可氧化双键，以及氧化能力和反应机制不同的特征，提出了基于D-π-A(电子给体-π共轭桥-电子受体)结构的“一箭双雕”探针分子设计策略，实现了对KMnO4和NaClO的比色-荧光双模区分识别。 　　研究基于多氰基呋喃(TCF)中甲基易与醛基进行羟醛缩合反应生成双键的特点，以自身含有碳碳双键的TCF为拉电子基，以对二甲氨基苯甲醛为推电子基，设计制备了TCF基D-π-A型比色-荧光探针分子(DMA-CN)。由于KMnO4可以同时打断TCF和π共轭桥中的碳碳双键，而NaClO仅可以打断π共轭桥中的碳碳双键，进而生成具有不同光学性质的产物，从而产生不同的比色和荧光信号。 　　研究发现，DMA-CN对KMnO4的荧光-比色检测限分别达60 nM和 91 nM，而对NaClO的荧光-比色检测限达13 nM和214 nM，响应时间均1 s，并对10余种干扰物具有良好的选择性。与已报道的荧光探针检测方案相比较，该成果在检测限、响应速度与选择性方面均具有优势。 　　此外，研究还通过将设计的荧光探针与静电纺丝技术相结合，制备了纳米纤维素纸基传感器，并用于实际环境中痕量KMnO4和NaClO的准确、快速、可视化识别。该研究为环境监测、工业产品风险管控和爆炸物检测等领域荧光传感原理探针分子的高效设计及应用奠定了实验和理论基础。 　　研究工作得到国家自然科学基金、中科院青年创新促进会、中科院基础前沿科学研究计划从0到1原始创新项目、中科院“西部之光”人才培养计划和新疆维吾尔自治区等的支持。新疆大学科研人员参与研究。

根据检测工艺所处的环节，IC集成电路检测被分为设计验证、前道量检测和后道检测。前道量测、检测均会用到光学技术和电子束技术，其中光学量测通过分析光的反射、衍射光谱间接进行测量，其优点是速度快、分辨率高、非破坏性。后道检测工艺是芯片生产线的“质检员”，根据工艺在封装环节的前后顺序，后道检测可以分为CP测试和FT测试。在以上测试中，光谱仪可以用于膜厚测量、蚀刻终点监控等工艺中。(1)膜厚测量半导体集成电路的生产以数十次至数百次的镀膜、光刻、蚀刻、去膜、平坦等为主要工序，膜层的厚度、均匀性等直接影响芯片的质量和产量，在加工中必须不断地检测及控制膜层的厚度。光学薄膜测厚仪是半导体生产流程中必不可少的设备之一，用于对芯片晶圆及相关半导体材料的镀膜厚度等进行检测。半导体光学薄膜测厚仪技术主要有光谱反射仪和椭偏仪两种。椭偏仪考虑了光的极化，采用P波和S偏振反射光之间的相位差异，适用于非常薄的薄膜，并可直接测试N，K值。光谱反射仪虽然没有椭偏仪的这些性能，但也能测量数纳米以下的薄膜厚度，测量精度高，而且测量速度较快。基于光波的干涉现象，光束照射在薄膜表面，由于入射介质、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系数值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射，反射光波相互干涉，从而形成干涉光，这些干涉光在不同相位处的强度将随着薄膜的厚度发生变化。通过对干涉光的检测，结合适当的光学模型即可计算得到薄膜的厚度。海洋光学（OceanInsight）膜厚仪检测系统，配置有采样平台、UV-VIS反射探头，配置如下。图1：薄膜厚度测量系统配置(2)终点监控在基于等离子体的蚀刻工艺中，等离子体监测对工艺控制很重要。晶圆是用光刻技术制造和操作的，蚀刻是这一过程的主要部分，在这一过程中，材料可以被分层到一个非常具体的厚度。当这些层在晶圆表面被蚀刻时，等离子体监测被用来跟踪晶圆层的蚀刻，并确定等离子体何时完全蚀刻了一个特定的层并到达下一个层。通过监测等离子体在蚀刻过程中产生的发射线，可以精确跟踪蚀刻过程。这种终点检测对于使用基于等离子体的蚀刻工艺的半导体材料生产至关重要。等离子体监测可以通过灵活的模块化设置完成，使用高分辨率光谱仪，如海洋光学的HR或Maya2000Pro系列（后者是检测UV气体的一个很好的选择）。对于模块化设置，HR光谱仪可以与抗曝光纤相结合，以获得在等离子体中形成的定性发射数据。从等离子体室中形成的等离子体中获取定性发射数据。如果需要定量测量，用户可以增加一个光谱库来比较数据，并快速识别未知的发射线、峰和波段。图2：模块化的光谱仪设置可以配置为真空室中的等离子体测量。图3：通过真空室窗口测量氩气等离子体的发射。紫外-可见-近红外光谱是测量等离子体发射的有力方法，以实现元素分析和基于等离子体过程的精确控制。这些数据说明了模块化光谱法对等离子体监测的能力。Maya2000Pro在紫外光下有很好的响应。另外，光谱仪和子系统可以被集成到其他设备中，并与机器学习工具相结合，以实现对等离子体室条件更复杂的控制。在半导体领域中的光谱应用是海洋光学的未来业务侧重点之一。从OceanOptics更名为OceanInsight，也是海洋光学从光谱产品生产商转型为光谱解决方案提供商战略调整的开始。海洋光学不仅继续丰富扩充光传感产品线，且增强支持和服务能力，为需要定制方案的客户提供量身定制的系统化解决方案和应用指导。作为海洋光学官方授权合作伙伴，爱蛙科技（iFrogTechnology）致力于与海洋光学携手共同帮助客户面对问题、探索未来课题，为打造量身定制的光谱解决方案而努力。本文资料来源-海洋光学/编辑整理-爱蛙科技关于海洋光学海洋光学（OceanInsight）作为世界领先的光学解决方案提供商，应用于半导体、照明及显示、工业控制、环境监测、生命科学生物、医药研究、教育等领域。其产品包括光谱仪、化学传感器、计量检测设备、光纤、透镜等。作为光纤光谱仪的发明者，如今海洋光学在全球已售出超过40万套的光纤光谱仪。关于爱蛙科技爱蛙科技（iFrogTechnology）是海洋光学官方授权合作伙伴，提供光谱分析仪器销售、租赁、维护，以及解决方案定制、软件开发在内的全链条一站式精准服务。

德祥ATAGO库存促销啦, 经典型号更低价格,欢迎垂询! 日本ATAGO（爱宕）折射仪是利用折光现象测量糖，盐，酸，蛋白等液体中溶解浓度的仪器。折射仪按照不同溶解物质可分为糖度计，盐度计，浓度计。例如，如测量糖液体中的糖度，折射仪可称为糖度计。如该液体包含2个以上的物质，则折射仪可测量该液体的总和浓度，可称为浓度计。ATAGO公司作为折射仪的专业厂家，这67年来一直走在世界的最前端。折射仪从单一的模拟型光学精密仪器开始，到现在高技术实现了数字化进化。 德祥作为ATAGO(爱宕)在中国的代理商, 近期开展了经典型号的促销活动。此次促销活动均是库存型号，现货支持。欢迎广大新老客户随时和我们联系！ 货号 型号 描述 促销内容 3810 PAL-1 手持式数显折射计,Brix:0-53% 10支以上,单价优惠50元 2313 master-&alpha 手持式折射计,Brix:0-33%(目视,防水) 10支以上,单价优惠50元 2311 master-m 手持式折射计,Brix:0-33%(目视,不防水) 5支以上,单价优惠50元 2483 Master-S28M 手持式盐度计,NaCl:0-28%(目视,不防水) 5支以上,单价优惠50元 2481 master-S28&alpha 手持式盐度计,NaCl:0-28%(目视,防水) 5支以上,单价优惠50元 3850 Pal-RI 手持式数显折射计,RI:1.3306-1.5284 5支以上,单价优惠50元 3262 RX-7000&alpha 全自动台式折光仪,RX/RI.RX:0-* 库存现货,仅此一台! 3271 RX-5000&alpha -bev 全自动台式折光仪,RX/RI.RX:0-* 库存现货,仅此一台! 3276 RX-5000i 触摸屏全自动台式折光仪,RX/RI.RX:0-* 库存现货,仅此一台! 更多产品请登陆德祥官网：www.tegent.com.cn渠道合作：南区（华南，西南与中南）地区请联系：周先生 Tel：020-22273381东区（华东, 江，浙，沪）地区请联系：黄小姐 Tel：021-52610159北区（华北，东北，西北）地区请联系：王先生 Tel：010-82326924德祥热线：4008 822 822邮箱：info@tegent.com.cn

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