液氮温区变温探针台

LNPS-80 可以 对器件进行非破坏性的测试，器件的 最大尺寸可达到 80mm。可以对材料 或器件的电学特性、光电特性等效应 进行测量，为 DC 测量 RF 测量和微波特性测量提供一个低温测试平台。 纳米电子材料、量子线、量子点和半 导体材料是在探针台上进行测量的比 较典型的材料。探针台系统的探针、 测试电缆、样品台都有多种类型可供 选择，从而满足不同用户的需要。 LNPS-80 的温度变化范围从 80K 到 425K，系统需要使用液氮实现变温， 防热辐射屏大大降低了黑体辐射，提 高了制冷效率，减少了液氮消耗。样 品台上装有温度传感器和加热器，实现样品台快速变温以及精准控温。 LNPS-80 具有四个可以进行微调的探针臂，每个探针臂上的探针都 可以进行三维方向上的精准定位。探针采用铍或者钨制成，针尖直径 10 微米，减少探针 对样品的热传导。每个探针臂都采用 304 优质不锈钢加 G10 制作而成，每个探针臂都进 行有效的热沉，减小探针臂漏热进而减少探针对样品的漏热。 为了提高系统的实用性和操作性，系统配备了高放大倍数的显微镜。

液氮高低温探针台在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试，帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能，从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。 PSM-LN2系列液氮高低温探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个80K-800K高低温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电测试。特点&bull 液氮高低温真空探针台，15分钟内腔体真空度可达到 10E-4torr，液氮消耗量小,降到温度只需0.2L液氮，使用方便快捷同时兼顾经济性。&bull 探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空 的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。&bull 独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足4英寸样品的测试。&bull 真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性&bull 探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA @1V@80K--800K&bull 测试温度范围宽，支持80K-800K连续变温。&bull 独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏&bull 上盖采用翻盖结构，换样更便捷。参数和指标：探针台主机分类型号PSM-LN2-2PSM-LN2-2HPSM-LN2-4PSM-LN2-4H温度范围 80K--500K80K--800K80K--500K 80K--800K控温稳定性+/-50mK+/-100mk+/-50mK+/-100mk样品座类型及材料无氧铜接地镀金样品座无氧铜接地样品座 无氧铜接地样品座无氧铜接地样品座 尺寸2寸2寸4寸4寸可选规格绝缘样品座 （温度只能到400K）同轴样品座 （温度只能到400K）三同轴样品座（温度只能到400K）探针臂类型直流探针臂数量4接头及电缆三同轴接头+极细同轴低温电缆漏电流100fA@1V 真空环境中信号频率 DC--50MHz匹配阻抗 50欧姆位移范围Z +/-6.5m R+/-10°X+/- 50mm,Y+/- 12.5m X+/- 35mm,Y+/- 12.5mZ +/-6.5m R+/-10°光学系统显微镜放大倍数 10--180倍分辨率3微米视场 22mm工作距离 90--100mm真空腔材料铝合金腔体容积 4L 5.5L整体尺寸800*800*600900*900*600腔体内径 124mm155mm视窗尺寸 50mm 100mm真空腔体窗口红外吸收窗口防辐射屏窗口 N/A标准石英窗口 N/A标准石英窗口真空度 5*10E-4 torr预留接口2个探针臂接口&2个电学接口防辐射屏材料 N/A不锈钢 N/A不锈钢液氮腔体液氮容量 0.5L冷却时间60分钟到80K 80分钟到80K液氮消耗量0.2L从室温到80K0.3L从室温到80K液氮保持时间 4小时@80K 3小时@80K专用振动隔离桌尺寸 800*800*800 900*900*800桌推 固定脚&滚轮

产地：美国型号：PSF-4，PSW-4；该产品是全球知名的低温探针台、样品致冷机的生产厂家。致冷机(Cryostat)是低温探针台的核心组件：使用闭循环致冷机的低温探针台(PSF-4)，无须使用液氦、液氮等冷媒，仪器使用更方便，使用成本更低；使用开循环致冷机的低温探针台(PSW-4)，仪器噪声更低，仪器的价格也更好。技术规格：制冷技术冷头：DE-204闭循环冷头致冷类型气动G-M循环冷媒无须使用冷媒温度DE-204AF 10 K - 350 KDE-204SF 4.2 K - 350 KDE-204PF 6 K - 350 K800K高温选件(基础温度+2K) - 700K450K高温选件(基础温度+2K) - 450 K稳定性0.1 K降温时间降温至20K90分钟降温至1K160分钟升温时间加热功率样品台100W，辐射壳20W升温至300K30分钟破真空1小时探针臂探针臂数量标配4套，选配6套附选端口标准为2端口测量区域2 inch X 2 inch径向移动 (X-axis)63 mm (1.13 in.)横向移动 (Y-axis)51 mm ( 2 in.)垂直方向 (Z-axis)25 mm (1 in.)移动尺度10 μm灵敏度1 μm样品距视窗距离63 mm (2.48 in.)探针直流-射频 DC-RF微波 DC-67 GHz光纤防振台振动水平 1 μm (冷头工作)高度765 mm (30.1 in.)宽度927 mm ( 36 in.)垂直移动范围737 mm (29 in.)显微镜，带有CCD相机视场4.2 - 0.61 mm工作距离89 mm数值孔径 (N.A.)0.024 - 0.08最高分辨率1 μm放大倍率和显示器的规格有关图像尺寸1280 x 1024 像素相机输出USB-2.0帧速25 fps参考用户：北京大学，清华大学，电子科技大学，东南大学，浙江理工大学等；

Avantgarde 液氮高低温探针台在科学研究和技术开发中发挥着至关重要的作用。它能够在低温环境下对样品进行各种非破坏性的物理性能和电学性能测试，帮助研究人员深入了解材料或者器件的各种物理性能和电学性能，从而为新材料的研发和应用提供重要的数据支持。PSM-LN2系列液氮高低温探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个80K-800K高低温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成电路的电压、电流、电阻以及IV曲线等参数检测，用于低温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电测试。特点：1.液氮高低温真空探针台，15分钟内腔体真空度可达到 10E-4torr，液氮消耗量小,降到最低温度只需0.2L液氮，使用方便快捷同时兼顾经济性。2.探针臂的位移调节在真空腔外操作，可以在不破坏真空 的情况下，切换样品上的不同器件进行测试。3.独特的探针臂 X-Y-Z-R四维调节，能满足最大4英寸样品的测试。4.真空腔材质为铝制材料，能够有效减小外界的电磁干扰，提高测试的精准度和稳定性5.探针臂采用三同轴接头，漏电性能好，实测漏电流小于100fA @1V@80K--800K测试温度范围宽，最大支持80K-800K连续变温。6.独特设计的柔性探针，将探针安装到铜制弹片上，避免扎针过程中力量过大导致样品或电极损坏7.上盖采用翻盖结构，换样更便捷。

The above picture shows the sample space of the probe stationThe above picture shows a custom sample holder and 4 DC probes. 美国ARS 公司的PS-L型液氦/液氮型低温探针台用于样品的非破坏性检测，测试灵活，广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。 液氦/液氮型和闭循环低温探针台核心部件是相同的，可共用相同的桌面、真空腔和探针臂。如果您先购买了液氦/液氮型的探针台，那么可以在之后的任何时间内升级成一个闭循环（无任何制冷剂）的系统。 该类型探针台使用了ARS液氦/液氮型低温恒温器，样品温度因制冷剂不同可达~4K（液氦）或 ~77K（液氮）。 该系统旨在提供一个大的、干净的样本环境。真空室由焊接不锈钢制成，辐射防护罩由镀有镍的HC铜制成。镍镀层的低发射率和铜的高导电性使得样品空间的辐射屏蔽更冷，净制冷量更大。高质量的真空元件是至关重要的，因为它允许更深层的真空水平和更清洁的样品具有更好的电接触。 ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了系统的稳定性能，也利于系统的诊断和售后服务。 应用案例：l 电磁特性l 微波特性 l 低频，高频特性l MEMSl 纳米电子学l 超导特性l 纳米器件光电性能l 量子点及纳米线l 单电子l 低电流物理特性 典型结构l 液氦/液氮型低温恒温器l 传输管线-标准6英尺（8英尺或者10英尺）l 流量计l 10英寸的不锈钢真空腔带6个微操作探头端口和2个备用的NW80附件端口，安装在经阳极化处理的铝台面上，由铝制支撑架支撑l 8 英寸的镀镍无氧铜防热辐射屏l 2.25英寸的无氧铜接地样品座l DC, 微波或光纤探针l 4个温度计和2个加热器用于温度控制和监视l LS336四通道温度控制器带与恒温器连接电缆l 7:1变焦显微镜，分辨率小于2 微米，同轴或者环形光。包括一个高分辨的24寸的宽屏液晶显示器和显微镜光源 特点备注8英寸镀镍无氧铜防热辐射屏2.25英寸镀金无氧铜样品台可升级4英寸样品台高纯石英观察窗蓝宝石防热辐射屏冷窗多至8个三维微操作探针臂可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器温度计安装位置：1、冷头温度计，用于诊断2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温3、样品温度计，用于精确测量样品温度4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换样三级减振系统样品台综合振动1微米样品台振动100nm7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源可升级16:1显微观察系统规格及技术参数制冷方式开环恒温器，液氦/液氮温度范围液氦~4K - 400K(可选500K,800K)液氮~77K - 400K(可选500K,800K)温度稳定性优于50mK泵抽真空时间机械泵约45分钟分子泵约10分钟降温时间约30到45分钟降温到5K真空腔不锈钢真空腔直径10英寸上盖安装高纯石英窗口防热辐射屏镀镍无氧铜防热辐射屏直径8英寸上盖蓝宝石冷窗热连接至1级冷头样品台镀金无氧铜样品台2.25英寸直径样品台连接接地（标准）绝缘（可选）偏压，通过同轴电缆至外部BNC接头（可选）偏压到Guard，通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头（可选）探针臂位移台手动驱动不锈钢焊接波纹管连接X方向（轴向）2英寸行程Y方向（横向）1英寸行程（标准） 2英寸行程（可选）Z方向（垂直方向）0.5英寸行程刻度10微米灵敏度5微米振动三级减振，样品台综合振动优于1微米温度计安装4个温度计，2套加热器4个温度计位置：1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温1个DT-670B-SD安装于样品台底部用于控温1个DT-670B-SD安装于冷头位置用于诊断1个校准型DT-670-CU-4M温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温 2套加热器位置：1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温显微观测系统标准7:1显微镜4.2毫米-0.61毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.024-0.08光源：环形光源分辨率：3微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器 可选16:1显微镜12.8毫米-0.8毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.0090-0.15光源：环形光源分辨率：2微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器探针臂直流/低频探针臂微型同轴电缆接头：SMA或BNC频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆包含接地屏蔽接头 三同轴电缆接头：三同轴接头频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆卡尔文探针电缆：同轴或三同轴接头：SMA/BNC/三同轴频率：0-100兆赫兹 针尖材料：钨针（标准）镀金钨针（可选）铍铜镀金（可选） 针尖半径：0.5微米（其他半径可选）GSG高频探针臂0-40GHz接头：K型接头电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-50GHz接头：2.4电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-67GHz接头：1.85电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖光纤探针臂紫外/可见 或 可见/红外接头：SMA905公头光纤样品端：抛光裸头尺寸：100微米-400微米 典型案例PS-L Continuous flow probe station with leastomeric vibration isolators. This design features manual and motorized capabilities.

Side profile of a UHV Cryogenic Probe StationHigh Conductance 8” Vacuum Pump Out Port 美国ARS公司的 PS-L-UHV探针台是专为样品的非破坏检测和最~大的真空洁净而设计，测试灵活，广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。 液氦/液氮型和闭循环低温探针台核心部件是相同的，可共用相同的桌面、真空腔和探针臂。如果您先购买了液氦/液氮型的探针台，那么可以在之后的任何时间内升级成一个闭循环（无任何制冷剂）的系统。 该类探针台使用了ARS液氦/液氮型低温恒温器，样品温度因制冷剂不同可达~4K（液氦）或 ~77K（液氮）。 Sample space of the UHV probe station.Close-up view of the Load-lock sample holder and 4 DC probes 该系统旨在提供一个大型的，可烘烤的超高真空样品环境。真空腔由不锈钢焊接而成，防热辐射屏由裸无氧铜制成。铜的高导热性使得样品空间处有更冷的防热辐射和更大的净制冷量。高质量的焊接刀口法兰和巨大的泵出端口是至关重要的，因为这样可以实现真正的10-11 Torr的超高真空环境，并最~大程度保证了样品的洁净度。 ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了系统的稳定性能，也利于系统的诊断和售后服务。 应用案例：l 电磁特性l 微波特性 l 低频，高频特性l MEMSl 纳米电子学l 超导特性l 纳米器件光电性能l 量子点及纳米线l 单电子l 低电流物理特性 典型结构l 液氦/液氮型低温恒温器l 传输管线-标准6英尺（8英尺或者10英尺）l 流量计l 10英寸的不锈钢真空腔带5个微操作探头端口和2个备用的NW80附件端口，安装在经阳极化处理的铝台面上，由铝制支撑架支撑l 8 英寸的镀镍无氧铜防热辐射屏l 2.25英寸的无氧铜接地样品座l DC, 微波或光纤探针l 4个温度计和2个加热器用于温度控制和监视l 涡轮分子真空泵l 四通道温度控制器及与恒温器连接电缆l 7:1变焦显微镜，分辨率小于2 微米，同轴或者环形光。包括一个高分辨的24寸的宽屏液晶显示器和显微镜光源 特点备注8英寸镀镍无氧铜防热辐射屏2.25英寸镀金无氧铜样品台可升级4英寸样品台高纯石英观察窗蓝宝石防热辐射屏冷窗标配4个三维微操作探针臂,可选6-8个可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器温度计安装位置：1、冷头温度计，用于诊断2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温3、样品温度计，用于精确测量样品温度4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换样样品台综合振动 1微米样品台振动 100nm7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源可升级16:1显微观察系统规格及技术参数制冷方式开环恒温器，液氦/液氮温度范围液氦~3.5K - 400K（最大流量）(可选500K,800K)液氮~77K - 400K(可选500K,800K)温度稳定性优于50mK泵抽真空时间机械泵约45分钟分子泵约10分钟降温时间约30到45分钟降温到4.5K真空腔焊接法兰，不锈钢真空腔直径11.97英寸（304mm）上盖安装高纯石英窗口防热辐射屏镀镍无氧铜防热辐射屏直径8英寸上盖蓝宝石冷窗样品台镀金无氧铜样品台2.25英寸直径样品台连接接地（标准）绝缘（可选）偏压，通过同轴电缆至外部BNC接头（可选）偏压到Guard，通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头（可选）探针臂位移台手动驱动焊接刀口法兰的不锈钢焊接波纹管连接X方向（轴向）2英寸行程Y方向（横向）1英寸行程（标准） 2英寸行程（可选）Z方向（垂直方向）0.5英寸行程刻度10微米灵敏度5微米振动样品台综合振动优于1微米温度计安装4个温度计，2套加热器 4个温度计位置：1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温1个DT-670B-SD安装于样品台底部用于控温1个DT-670B-SD安装于冷头位置用于诊断1个校准型DT-670-CU-4M温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温 2套加热器位置：1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温显微观测系统标准7:1显微镜4.2毫米-0.61毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.024-0.08光源：环形光源分辨率：3微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器可选16:1显微镜12.8毫米-0.8毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.0090-0.15光源：环形光源分辨率：2微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器探针臂直流/低频探针臂微型同轴电缆接头：SMA或BNC频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆包含接地屏蔽接头 三同轴电缆接头：三同轴接头频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆 卡尔文探针电缆：同轴或三同轴接头：SMA/BNC/三同轴频率：0-100兆赫兹针尖材料：钨针（标准）镀金钨针（可选）铍铜镀金（可选） 针尖半径：0.5微米（其他半径可选）GSG高频探针臂0-40GHz接头：K型接头电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖 0-50GHz接头：2.4电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖 0-67GHz接头：1.85电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖光纤探针臂紫外/可见 或 可见/红外接头：SMA905公头光纤样品端：抛光裸头尺寸：100微米-400微米

PicoFemto国产闭循环液氦变温探针台,物理实验室专用探针台,可定制探针台系统，整套系统包括探针台主体、4K液氨制冷机、视频显微镜、针座、探针线缆、直流探针、温控仪、真空机组等配置探针台主体- 样品台尺寸：50mm- 6个探针臂：4个直流，2个30G射频- 直流超低漏电底栅接口，标准Triax输出- 变温范围：9K~350K- 极限真空度优于1E-3Pa- 气浮减震支腿- 降温时间：2小时 4K液氦制冷机- 住友液氦闭循环制冷机，含循环冷水机组- 一级冷头:35 W @ 50 K- 二级冷头:1.5 W@ 4.2 K- 降温时间：1个小时视频显微镜- Thorlabs 6.5X变焦镜头，LED环形照明- 物镜0.7~4.5倍连续变倍，- 工作距51mm，分辨率3.1um- 配高清HDMI摄像头，总放大倍率约700倍针座- XYZ移动范围：25mm- 移动分辨率优于5um- 可选射频探针探针线缆- 超低漏电探针设计，漏电流低于100fA- Triax标准接口输出- Keithley原装低噪声Triax线缆直流探针- 超低漏电探针设计，针尖直径标配10um，可选最小1um温控仪- 双通道温度控制仪- 测温分辨率1mK，- 最da加热功率50W- 温度稳定性：优于±0.01K- 带LabVIEW 驱动真空机组- Edwards T-Station 85 分子泵机组，含全量程真空规- 30分钟系统真空达到可用状态以上就是关于手动探针台配置介绍，如果需要详细了解请致电：源文地址：

SPM Aarhus 150极其稳定且用途广泛的SPM Aarhus 150 SPECS，适用于最终的扫描探针显微镜应用SPM Aarhus 150是一款非常稳定且省时的仪器。专门设计的3千克质量的可变温度扫描仪平台，带有集成的低噪声液氮（LN 2）冷却装置确保了卓越的SPM性能。要特别注意将流动冷却器与样品台分离，但要确保它们之间的永久冷却连接。为此，使用专用的柔性铜丝编织物将超重的扫描仪平台连接至流动低温恒温器，而不会影响SPM Aarhus的出色稳定性。样品架和SPM台之间紧密的机械和热接触可实现极其精确的样品温度控制和稳定性。在低于130K的温度下，典型的冷却时间少于60分钟。从室温下插入样品到低于130 K的“准备SPM”，典型的时间跨度为20分钟。对于温度上升，甚至在高达400 K的高温下也可以对样品进行反加热。从室温到低温恒温器的快速冷却过程中以及在运行中均可实现2消耗。初始冷却期间消耗约20 l LN 2，而典型的LN 2在130 K下运行期间的耗油量约为每小时10升。通过将SPM机制整合为一个STM / AFM单元，可以使用KolibriSensor™ 轻松将SPM Aarhus 150升级为AFM。SPM Aarhus 150通过在90至400K之间的可变温度下显示出最高的热稳定性而又不损害其原始机械稳定性，从而树立了新的标准。直接原位光学通道允许样品照明和光诱导过程的研究。另外，蒸发口允许在样品表面上原位沉积并在扫描过程中研究生长过程。规格书SPM奥尔胡斯150安装安装法兰150CF控制电子纳诺尼斯SPC 260性能温度稳定性优于±2 K（150 K ... 400 K）灵敏度z范围±175纳米漂移率0.05 nm / min（垂直），0.15 nm / min（纬度）稳定性10 pm运作方式现场访问镜面反射和蒸发扫描范围1.500纳米x 1.500纳米温度控制2个用于样品和扫描仪的受控子系统操作模式STM原子力显微镜感测器STM提示Kolibri传感器可选配件STM技巧Kolibri传感器样品架所需配件STM技巧Kolibri传感器样品架工作压力10 -11至10 -7 mbar

PicoFemto 0.5T水平磁场变温探针台 ,物理实验室专用探针台,可定制探针台系统，整套系统包括探针台主体、4K液氨制冷机、进口视频显微镜、针座、探针线缆、直流探针、射频探针、温控仪、7英寸电磁铁、双极性恒流电源、分体式循环水冷机、进口分子泵组的配置如下：探针台主体- 样品台尺寸：50mm- 4个探针臂：2个直流，2个10G射频- 直流超低漏电底栅接口，标准Triax输出- 变温范围：10K~400K- 极限真空度优于5E-3Pa4K液氦制冷机- 住友液氦闭循环制冷机，含循环冷水机组- 一级冷头:35 W @ 50 K- 二级冷头:1.5 W@ 4.2 K- 降温时间：1个小时进口视频显微镜- Thorlabs 6.5X变焦镜头，LED环形照明- 物镜0.7~4.5倍连续变倍- 工作距51mm，分辨率3.1um- 配高清HDMI摄像头，总放大倍率约700倍针座- XYZ移动范围：25mm- 移动分辨率优于10um- 标配4个探针线缆- 超低漏电探针设计，漏电流低于100fA- Triax标准接口输出- Keithley原装低噪声Triax线缆直流探针- 超低漏电探针设计，漏电流低于100fA- Triax标准接口输出- Keithley原装低噪声Triax线缆射频探针- GGP Picoprobe Model 10， 10GHz 射频探针温控仪- PicoFemto SmartT温度控制仪- 测温分辨率1mK- 最da加热功率50W- 温度稳定性：优于±0.01K- 触摸面板，USB接口7英寸电磁铁 - 极头76mm- 水平方向不低于0.5T磁场- 高纯优质铜线、铁芯，特殊设 计散热结构，适合长时间高场下 稳定工作- 水冷双极性恒流电源- 60V,90A- 水冷，稳定性50pp/h- 支持磁场模式和电流模式控制 输出- 带RS232通讯接口分体式循环水冷机- 7.2KW，水箱容积90L，出水口温 度5～35℃， 控温精度±1℃进口分子泵组- Edwards T-Station 85 分子泵机组，含全量程真空规以上就是关于 0.5T水平磁场变温探针台配置介绍，如果需要详细了解请致电：源文地址：

PicoFemto 0.2T垂直磁场液氦闭循环变温探针台,物理实验室专用探针台,可定制探针台系统，整套系统包括探针台主体、垂直磁场、4K液氨制冷机、进口视频显微镜、针座、探针线缆、直流探针、温控仪、进口分子泵组配置如下：探针台主体- 样品台尺寸：50mm- 4个探针臂- 直流超低漏电底栅接口，标准Triax输出- 变温范围：10K~400K- 极限真空度优于5x10-3Pa垂直磁场- 使用6个不同大小的永磁体，- 提供从0.2T到0.03T的垂直磁场4K液氦制冷机- 住友液氦闭循环制冷机，含循环冷水机组- 一级冷头:35 W @ 50 K- 二级冷头:1.5 W@ 4.2 K- 降温时间：1个小时进口视频显微镜- Thorlabs 6.5X变焦镜头，LED环形照明- 物镜0.7~4.5倍连续变倍，- 工作距51mm，分辨率3.1um- 配高清HDMI摄像头，总放大倍率约700倍针座- XYZ移动范围：25mm- 移动分辨率优于10um- 标配4个探针线缆- 超低漏电探针设计，漏电流低于100fA- Triax标准接口输出- Keithley原装低噪声Triax线缆直流探针- 超低漏电探针设计，针尖直径标配10um，可选最小1um温控仪- PicoFemto SmartT温度控制仪- 测温分辨率1mK，- 最da加热功率50W- 温度稳定性：优于±0.01K- 触摸面板，USB接口进口分子泵组- Edwards T-Station 85 分子泵机组，含全量程真空规以上就是关于0.2T垂直磁场液氦闭循环变温探针台配置介绍，如果需要详细了解请致电： 源文地址：

Instec来自液晶先驱院校美国科罗拉多大学的精密温控装置与液晶检测设备" _ue_custom_node_="true" 功能特点 可编程精密控温。可独立控制，也可从上位机软件控制软件可拓展性强，可提供LabView等语言的SDK#温度# 可选100℃ /200℃ / 400℃ / 600℃#温度# 可选 -190℃ / -40℃ / 常温 / 其他#腔体密封性# 可选 气密腔室 / 真空腔室#样品观察# 可选 透射光观察 / 反射光观察 / 无#样品区# 可选22x22mm / 35x35mm / 其他#台面电位# 可选 电接地 / 电悬空#电测试接口# 可选 BNC/电悬空BNC/Triaxial三同轴#探针类型# 可选 弯针探针 / 直针探针#探针支架# 可选 杠杆式 / 磁吸式#探针移动性# 可选 探针外部移动 / 探针开盖移动#霍尔效应测试# 可用非磁性材料制作，用于霍尔测试可做改动或定制，详询上海恒商另有可升至1000℃以上的超高温探针台，详询上海恒商 " _ue_custom_node_="true" 技术参数 通用性能温度分辨率0.001℃温度稳定性±0.05℃(at 100℃) 可提升稳定性控温速度±0.1℃/小时温度传感器100Ω铂质RTD温控方式开关式PID 可升级为LVDC式PID结构尺寸物镜距离8 mm样品腔高度2.5 mm 具体由探针决定样品观察范围26.5 mm 反光孔径腔室接口快速接头 (气密型号)KF16 (真空型号)*其他技术参数请参考 具体型号的彩页介绍 " _ue_custom_node_="true" 配置列表 标准温控探针台√mK2000温度控制器 软件免费，控制线有多种接口供选√选配件液氮制冷系统 包含液氮泵与液氮罐，使样品降至负温外壳水冷配件 用常温水或冰水循环防止外壳过热安装支架 把台体固定在使用平台上，防止滑动温控联动显微镜相机 温度-图像联动工作，附软件线性可变直流电源(LVDC) 装在温控器里，抑制电噪音 真空系统(真空腔型号适用) 真空泵、真空计、真空管路*注：产品有多种配置变化，详询上海恒商 " _ue_custom_node_="true" 杠杆式探针支架.vs.磁吸式探针座 杠杆式探针支架，对样品点针更准确，点针力度更大，电接触性更好。磁铁吸式探针座则通过底部的磁铁吸附于探针台外壳底座上，探针移操作方便。 欲咨询产品请访问本公司官网联系我们 本公司为美国Instec中国区总代理、瑞典FLCE(FLC Electronics)中国区代理，不经过中间商直接与原厂接触，能提供优惠的价格。

产品简介 Instec的真空型台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。功能特点 桌上型温控探针台，占地面积小可编程控温，涵盖-190℃~1000℃（具体由型号而定）适用 10 mm ~ 300 mm 晶圆和器件可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK*可做定制或改动，详询上海恒商温控参数 温度范围涵盖 -190℃~1000℃（具体由型号而定）加热块材质铝合金 或 银 或 陶瓷传感器/温控方式100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）最小加热/制冷速度±0.01℃/min温度分辨率0.01℃ RTD传感器0.1℃ 热电偶传感器温度稳定性±0.05℃（25℃），±0.1℃（25℃）软件功能可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数 探针默认为铼钨材质的弯针探针 *可选其他种类探针探针座可从外部XYZ移动的探针臂粗调模式+微调模式，微调行程20mm点针从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置探针接口默认为BNC接头，可选三同轴接口样品台面电位默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口光学参数 适用光路反射光路窗片可拆卸与更替的窗片最小物镜工作距离25 mm *截面图中WD上盖窗片观察窗片范围φ50mm，大视角±40° *截面图中θ1负温下窗片除霜吹气除霜管路结构参数 适用样品10 mm ~ 50 mm 直径 （标准）*可定至300mm的样品台面样品腔高6 mm探针座可从外部XYZ移动的探针臂粗调模式+微调模式，微调行程20mm气氛控制气密腔，可充入保护气体 *另有真空腔型号外壳冷却可通循环水，以维持外壳温度在常温附近台体尺寸/重量1060 mm x 600 mm x 213.2 mm / 20kg选型表 TP102SV-PS温度范围 -40℃ ~ 180℃，真空腔HCP422V-PS温度范围 -190℃ ~ 600℃（负温需配液氮制冷系统），真空腔HP1000V-PS温度范围 35℃ ~ 1000℃，真空腔定制型号按客户需求定制，适用300mm晶圆样品

简介：位移探针台可以在测试准备和测试过程中精确移动探针位置，实现微米级别的电极接触；同时探针前端可调整角度和长度，从而适应样品范围更加广泛。用途：1.用于光刻器件的高低温光电测试；2.用于IV、介电常数、霍尔效应、射频、低温电路等测试；3.可拓展低温温控和真空管路模块，实现液氮温度测量。制冷方式：液氮温度范围（℃）：-196到600℃显示精度（℃）：0.1控温精度：0.1℃样品区域：30*35mm最大加热速率：50℃/min最大冷却速率：-40℃/min正面观察窗口大小：φ41mm探针类型：探针后端XYZ轴方向位置可调，位移精度1um，位移范围±6mm探针材质：钨钢或铍铜（探针针尖1um）探针数量：四个（可拓展为6个）外观尺寸：410*410*80mm腔体净重：10Kg备注：探针前端水平角度和长度可调

桌面式小型探针台 ， 高低温探针台系统达到≤10Pa即可进行低温测试而无凝露或结霜。对于选用了入门级配置的用户，可选用双极旋片式机械泵即可达到目标真空度，从而减少设备的配置预算。对于真空度有更高要求的用户，可选用分子泵组对系统进行抽真空。低温探针台系统可达10-3Pa。也可选配更高真空度的泵组，以满足测试要求。桌面式小型探针台 参数真空腔体类型加热型350℃ 或者加热制冷型 室温到350℃ 室温到-190℃腔体材质304不锈钢腔体内尺寸φ90x40mm腔体上视窗尺寸Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm）腔体抽气口KF16腔体进气口公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选腔体出气口公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质304不锈钢样品台尺寸26X26mm样品台-视窗 距离30mm（可选凹视窗间距15mm）样品台测温传感器A 级PT100铂电阻样品台温度室温到350℃（可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃）样品台测温误差±0.2℃样品台变温速率高温10℃/min 低温5℃/min 最大值温控仪温度显示7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温）温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100热电阻 （可选 K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷）辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可定做6探针）探针材质镀金钨针探针尖10μm探针移动平台X轴移动行程12mm ±6mmX轴控制精度≤5μmY轴移动行程12mm ±6mmY轴控制精度≤5μmZ轴移动行程12mm ±6mmZ轴控制精度≤5μm数码显微镜显微镜类别物镜放大+电子放大显微镜放大倍数100倍显微镜工作间距50-150mm相机分辨率1080P 60帧 相机信号输出HDMI输出+USB输出LED可调光源LED光源显示屏5寸 屏幕一体机

产品简介 HCP621G-PMH专为变温霍尔效应测试测试。探针台的台体全部由非磁性材料制作。其可在 -190℃ ~ 600℃ 范围内控温，同时允许探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个气密腔，可往内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。功能特点 非磁性材料制作的探针台，专为变温霍尔效应测试设计-190℃~600℃ 可编程控温（负温需配液氮制冷系统）28 mm x 30 mm加热区可充入保护气体的气密腔BNC接口四探针，手动点针 *可选三同轴接口，用于pA级测试可选增设腔内接线柱（样品接电引线）可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK*可做定制或改动，详询上海恒商温控参数 温度范围-190℃ ~ 600℃（负温需配液氮制冷系统）传感器/温控方式100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）加热/制冷速度+80℃/min （100℃时）-50℃/min （100℃时）加热/制冷速度±0.01℃/min温度分辨率0.01℃温度稳定性±0.05℃（25℃），±0.1℃（25℃）软件功能可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数 探针默认为铼钨材质的弯针探针 *可选其他种类探针探针座杠杆式探针支架，点针力度更大，电接触性更好点针手动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置探针接口默认为BNC接头，可选三同轴接口*可增设腔内接线柱（样品接电引线）样品台面电位默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口霍尔测试台体为非磁性材料制作，可用于变温霍尔效应测试光学参数 适用光路反射光路 *另有透射光路型号窗片可拆卸与更替的窗片最小物镜工作距离8.5 mm *截面图中WD上盖窗片观察窗片范围φ38mm，大视角±60.7° *截面图中θ1负温下窗片除霜吹气除霜管路

产品简介 HCP621G-PM可单独使用，也可搭配显微镜/光谱仪使用。其可在 -190℃ ~ 600℃ 范围内控温，同时允许探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个气密腔，可往内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。此外另有真空腔型号HCP421V-PM提供。功能特点 迷你温控探针台，可用于 显微镜/光谱仪-190℃~600℃ 可编程控温（负温需配液氮制冷系统）28 mm x 30 mm加热区可充入保护气体的气密腔（另有真空腔型号）BNC接口四探针，手动点针 *可选三同轴接口，用于pA级测试可选增设腔内接线柱（样品接电引线）可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK*可做定制或改动，详询上海恒商温控参数 温度范围-190℃ ~ 600℃（负温需配液氮制冷系统）传感器/温控方式100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）加热/制冷速度+80℃/min （100℃时），-50℃/min （100℃时）加热/制冷速度±0.01℃/min温度分辨率0.01℃温度稳定性±0.05℃（25℃），±0.1℃（25℃）软件功能可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数 探针默认为铼钨材质的弯针探针 *可选其他种类探针探针座杠杆式探针支架，点针力度更大，电接触性更好点针手动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置探针接口默认为BNC接头，可选三同轴接口*可增设腔内接线柱（样品接电引线）样品台面电位默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口非磁性改造台体可改用非磁性材质制造，用于变温霍尔效应探针测试光学参数 适用光路反射光路 *另有透射光路型号窗片可拆卸与更替的窗片物镜工作距离8.5 mm *截面图中WD透光孔台面默认无通光孔，可增设通光孔以支持透射光路上盖窗片观察窗片范围φ38mm，大视角±60.7° *截面图中θ1负温下窗片除霜吹气除霜管路

科研小型气敏测试真空探针台高低温探针台系统达到≤10Pa即可进行低温测试而无凝露或结霜。对于选用了入门级配置的用户，可选用双极旋片式机械泵即可达到目标真空度，从而减少设备的配置预算。对于真空度有更高要求的用户，可选用分子泵组对系统进行抽真空。低温探针台系统可达10-3Pa。也可选配更高真空度的泵组，以满足测试要求。 为了减少泵组的振动，我们还专门为用户设计了隔振器，地衰减泵组工作时产生的振动，以确保系统的稳定，减少探针的漂移。度科研小型气敏测试真空探针台真空腔体类型高温型室温到350℃高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃腔体材质304不锈钢 6061铝合金 可选腔体内尺寸127mmX57mmX20mm腔体外尺寸150mmX80mmX32mm腔体重量不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG腔体上视窗尺寸Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）腔体抽气口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体真空测量口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体进气口6mm快拧 或 6mm快插腔体冷却方式腔体水冷+上盖气冷腔体水冷接口腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块样品台尺寸26x26mm样品台加热方式电阻加热电阻加热 液氮制冷样品台-视窗 距离11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）样品台测温传感器PT100型热电阻样品台温度室温到400℃室温到400℃ 室温到-196℃样品台测温误差±0.5℃样品台升温速率高温100℃/min 低温7℃/min温控仪温度显示7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100 （可选K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热直流线性电源加热+液氮流速控制器辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口温控器尺寸32cmX170cmX380cm温控器重量约5.6KG探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可扩展5探针）探针材质镀金钨针 （其他材质可选）探针尖10μm手动探针移动平台X轴移动行程20mm ±10mm（需手动推动滑台）X轴控制精度≥500μmR轴移动行程120° ±60°（需手动旋转探针杆）R轴控制精度≥500μmZ轴移动行程2mm ±1mmZ轴控制精度≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）

ARS纳米级超稳超低振动型低温探针台的设计具有极大的灵活性，可用于无损器件测试。探针配置和系统设计可以根据您的具体实验要求进行定制。 系统标准温度配置为低温5K，可选450K和800K高温度选项。 探针台采用ARS闭式循环制冷机，ARS制冷机为气动驱动GM制冷机，它具有一级冷台制冷能力高和固有的低振动相结合的特点，使其成为纳米科学和敏感器件测量的理想选择。 ARS探针台都采用高质量的真空元件，高抛光的不锈钢真空腔室和镀镍的高纯铜辐射屏蔽提供了干净的样品环境。低发射率和高导热率的镀镍和铜防热辐射屏使样品台具有更大的冷却能力。 ARS不仅是探针台的生产商，也是制冷机的生产商，这确保了集成制造的一致性，并能对系统提供整体的售后保障。 应用案例：● 电磁特性● 微波特性● 低频，高频特性● MEMS● 纳米电子学● 超导特性● 纳米器件光电性能● 量子点及纳米线● 单电子● 低电流物理特性 特点备注温度范围： 6K-350K振动优于50纳米10英寸不锈钢真空室7英寸镀镍无氧铜防热辐射屏2.25英寸镀金无氧铜样品台高纯石英观察窗蓝宝石防热辐射屏冷窗多至6个三维微操作探针臂可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器温度计安装位置：1、冷头温度计，用于诊断2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温3、样品温度计，用于精确测量样品温度4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换样7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源可升级16:1显微观察系统规格及技术参数制冷方式闭循环制冷，无需液氦温度范围6K-350K（可选更高制冷量DE215冷头冷台温度 4K,安装高温隔热台高温度可达800K）温度稳定性优于50mK泵抽真空时间机械泵约45分钟分子泵约10分钟降温时间约4小时至10K（DE2010S冷头）真空腔不锈钢真空腔直径10英寸上盖安装高纯石英窗口防热辐射屏镀镍无氧铜防热辐射屏直径7英寸上盖蓝宝石冷窗热连接至1级冷头样品台镀金无氧铜样品台2.25英寸直径样品台连接接地（标准）绝缘（可选）偏压，通过同轴电缆至外部BNC接头（可选）偏压到Guard，通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头（可选）探针臂位移台手动驱动不锈钢焊接波纹管连接X方向（轴向）2英寸行程Y方向（横向）1英寸行程（标准） 2英寸行程（可选）Z方向（垂直方向）0.5英寸行程刻度10微米灵敏度5微米振动氦气减震， 30-50纳米（峰对峰）温度计安装4个温度计，2套加热器4个温度计位置：1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温1个DT-670B-SD安装于样品台底部用于控温1个DT-670B-SD安装于冷头位置用于诊断1个校准型DT-670-CU-4M温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温2套加热器位置：1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温显微观测系统标准7:1显微镜4.2毫米-0.61毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.024-0.08光源：环形光源分辨率：3微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器可选16:1显微镜12.8毫米-0.8毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.0090-0.15光源：环形光源分辨率：2微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器探针臂直流/低频探针臂微型同轴电缆接头：SMA或BNC频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆包含接地屏蔽接头三同轴电缆接头：三同轴接头频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆卡尔文探针电缆：同轴或三同轴接头：SMA/BNC/三同轴频率：0-100兆赫兹针尖材料：钨针（标准）镀金钨针（可选）铍铜镀金（可选）针尖半径：0.5微米（其他半径可选）GSG高频探针臂0-40GHz接头：K型接头电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-50GHz接头：2.4电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-67GHz接头：1.85电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖光纤探针臂紫外/可见 或 可见/红外接头：SMA905公头光纤样品端：抛光裸头尺寸：100微米-400微米单模或多模 典型案例PS-CCMicro-photoluminescence cryogen-free probe station with custom piezoelectric-positioned XY motion.PS-CCUltra-low vibration probe station with XYZ motion and objective lens

DCH系列高低温真空探针台产品概要DCH系列高低温真空探针台是我司自主研发的一款在极端环境下给样品加载电学信号的设备。可以实现器件及材料表征的IV/CV特性测试,射频测试,光电测试等。通过液氮或者压缩机制冷,可以在防辐射屏内营造一个稳定的测试环境。在特殊材料,半导体器件等研究方向具有广泛运用。极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试:当晶圆加热至300°C,400°C,500”C甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。技术特点防辐射屏和热沉设计 降温速度快,常温降至 77k25mins,大大提高测试效率 液氮自动控制系统,液氮流量模块和温度控制模块一起联动共同控制温度。

公司主要经营产品：霍尔效应测试仪、探针台系列、显微镜系列：三维视频显微镜、超长工作距离视频显微镜、测量显微镜、红外/近红外显微镜、传统光学显微镜(体式、生物、偏光、荧光、金相、相衬、比对等常用教学及教研类显微镜)、光学产品组件、工业科研无损检测设备及光学自动一体化系统集成项目。测试噪声小于5E-13A 可扩展上下双透视窗口用于光电测试 可扩展凹视镜 。观察窗口可下凹，使物镜离样品更近，方便观察。 加热台材质纯银块，导热更好，不易氧化专业检测设备生产研发经验，实力见证品牌国内家专业研发探针台设备厂家，有强大技术研发实力已与国内2000多所高校和研究院合作，为您提供*价值的技术解决方案*信赖的检测设备服务商涉及光学、电学、电子、材料、生物、医学等各检测领域拥有国内专业的技术研发团队在探针台电学量测方面拥有近十年的经验小型真空探针台KT-Z4019MRL4T小型真空探针台KT-Z4019MRL4T参数真空腔体类型高温型室温到350℃高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃腔体材质304不锈钢 6061铝合金 可选腔体内尺寸127mmX57mmX20mm腔体外尺寸150mmX80mmX32mm腔体重量不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG腔体上视窗尺寸Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）腔体抽气口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体真空测量口KF16法兰（其余接口规格可转接）腔体进气口6mm快拧 或 6mm快插腔体冷却方式腔体水冷+上盖气冷腔体水冷接口腔体正压≤0.05MPa腔体真空度机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）样品台样品台材质不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块样品台尺寸26x26mm样品台加热方式电阻加热电阻加热 液氮制冷样品台-视窗 距离11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）样品台测温传感器PT100型热电阻样品台温度室温到400℃室温到400℃ 室温到-196℃样品台测温误差±0.5℃样品台升温速率高温100℃/min 最大值 低温7℃/min温控仪温度显示7寸人机界面温控类型标准PID温控 +自整定温度分辨率0.1℃温控精度±0.5℃温度信号输入类型PT100 （可选K S B型热电偶）温控输出直流线性电源加热直流线性电源加热+液氮流速控制器辅助功能温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口温控器尺寸32cmX170cmX380cm温控器重量约5.6KG探针电信号接头配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米电学性能绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA探针数量4探针（可扩展5探针）探针材质镀金钨针 （其他材质可选）探针尖10μm手动探针移动平台X轴移动行程20mm ±10mm（需手动推动滑台）X轴控制精度≥500μmR轴移动行程120° ±60°（需手动旋转探针杆）R轴控制精度≥500μmZ轴移动行程2mm ±1mmZ轴控制精度≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）

ARS 闭循环电磁铁探针台美国ARS 公司的PS-CC闭循环探针台用于样品的非破坏性检测，测试灵活，可提供0.6T的水平磁场并配备双极电源。该设备广泛应用于直流（DC），射频（RF）,MEMS, 纳米电子，超导性，纳米电路的光电特性，量子点和量子线，非破坏性测试等。 该款探针台使用DE204、DE210或DE215系列冷头，整个测试过程中无需使用任何制冷剂（液氦/液氮）。可根据不同测试要求，选用不同型号冷头，以便样品最低温度到达13K、10K、7K或 4K。所有的ARS闭式循冷头均采用高制冷量的一级冷头，该设计可使系统快速降温并最大程度降低系统热负载。气动驱动GM冷头一级制冷量高，固有振动小，是该领域的理想选择。 该系统配有硬涂层铝制真空罩和高抛光的无氧铜防热辐射屏。高质的真空器件至关重要，可以使样品获得更高的真空环境，更洁净的表面，更好的电接触。 ARS既生产冷头又生产探针台的一站式生产确保了该产品的稳定性能，也利于系统的诊断和服务。 The above picture shows the 4 probes connected to the vacuum chamber.This is a side profile of the table top and does not show the cryocooler underneath.The above picture shows the sample space inside the probe station.应用案例：● 电磁特性● 微波特性● 低频，高频特性● MEMS● 纳米电子学● 超导特性● 纳米器件光电性能● 量子点及纳米线● 单电子● 低电流物理特性 特点备注温度范围： 7K-400K其他温区可选样品区0.6T水平磁场样品区振动优于 1微米12英寸×5英寸不锈钢真空室5.5英寸 × 2.875英寸镀镍无氧铜防热辐射屏1英寸方形镀金无氧铜样品台高纯石英观察窗蓝宝石防热辐射屏冷窗多至4个三维微操作探针臂可选直流DC/高频RF/微波/光纤探针探针臂控温系统：高精度4通道控温仪、用于测量样品温度的校准行硅二极管温度计（±12mK）、加热器温度计安装位置：1、冷头温度计，用于诊断2、样品台温度计及加热器，用于控制样品台温度，实现精确控温3、样品温度计，用于精确测量样品温度4、冷屏温度计及加热器，用于控制加热冷屏温度，实现快速换样7:1显微观测系统，3微米分辨率，环形光源可升级16:1显微观察系统规格及技术参数制冷方式闭循环制冷，无需液氦温度范围7K-400K（可选更高制冷量DE215冷头冷台温度 4K,安装高温隔热台高温度可达800K）磁场范围-0.6T至+0.6T磁体型号GMW5403EG磁场方向水平方向极面76毫米水冷需求：2升/分钟，0.8bar电源：双极型电源电压±20V电流±40A高斯计：LS475DSP霍尔传感器LS HGCT-3020温度稳定性优于50mK泵抽真空时间机械泵约45分钟分子泵约10分钟降温时间约2.5小时至10K（DE204P冷头）真空腔无磁不锈钢真空腔12英寸×5英寸上盖安装高纯石英窗口防热辐射屏镀镍无氧铜防热辐射屏5.5英寸 × 2.875英寸上盖蓝宝石冷窗热连接至1级冷头样品台镀金无氧铜样品台1英寸方形接地（标准）绝缘（可选）偏压，通过同轴电缆至外部BNC接头（可选）偏压到Guard，通过同轴或三同轴电缆连接到外部三同轴接头（可选）探针臂位移台手动驱动不锈钢焊接波纹管连接X方向（轴向）2英寸行程Y方向（横向）1英寸行程（标准）Z方向（垂直方向）0.5英寸行程刻度10微米灵敏度5微米振动三级减震，振动小于1微米温度计安装4个温度计，2套加热器4个温度计位置：1个DT-670B-SD温度计安装于防热辐射屏用于防热辐射屏的快速升温1个DT-670B-SD温度计安装于样品台底部用于控温1个DT-670B-SD温度计安装于冷头位置用于诊断1个校准型CX-1070-CU-4L温度计安装在样品台顶部样品附近，用于精确测温2套加热器位置：1套50W筒状加热器安装在样品台底部用于控温1套100W加热器安装在防热辐射屏上用于系统快速升温显微观测系统标准7:1显微镜4.2毫米-0.61毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.024-0.08光源：环形光源分辨率：3微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器可选16:1显微镜12.8毫米-0.8毫米视野工作距离：89毫米数值孔径：0.0090-0.15光源：环形光源分辨率：2微米安装手动三维位移台高分辨率24英寸显示器探针臂直流/低频探针臂微型同轴电缆接头：SMA或BNC频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆包含接地屏蔽接头三同轴电缆接头：三同轴接头频率：0-100兆赫兹阻抗：50欧姆卡尔文探针电缆：同轴或三同轴接头：SMA/BNC/三同轴频率：0-100兆赫兹针尖材料：钨针（标准）镀金钨针（可选）铍铜镀金（可选）针尖半径：0.5微米（其他半径可选）GSG高频探针臂0-40GHz接头：K型接头电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-50GHz接头：2.4电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖0-67GHz接头：1.85电缆：半刚性同轴电缆针尖：钨针或铍铜针尖光纤探针臂紫外/可见 或 可见/红外接头：SMA905公头光纤样品端：抛光裸头尺寸：100微米-400微米单模或多模

产品简介 TP102SG-PM可单独使用，也可搭配显微镜/光谱仪使用，是一款基于帕尔贴半导体温控片（TEC）的温控探针台，无需液氮制冷耗材即可达到 -30℃，同时允许光学观察和样品气体环境控制。热台上盖与底壳构成一个气密腔，可往内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜。此外另有真空腔型号TP102V-PM提供。功能特点 迷你温控探针台，可用于 显微镜/光谱仪TEC半导体温控片，降温时无需液氮制冷耗材，适合长时间实验-30℃~160℃ 可编程控温（无需制冷耗材）40 mm x 40 mm加热区可充入保护气体的气密腔（另有真空腔型号）BNC接口四探针，手动点针 *可选三同轴接口，用于pA级测试可选增设腔内接线柱（样品接电引线）可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK*可做定制或改动，详询上海恒商温控参数 温度范围-30℃ ~ 160℃传感器/温控方式100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）加热/制冷速度±0.01℃/min~+60℃/min (37℃时),~+60℃/min (37℃时)温度分辨率0.01℃温度稳定性±0.05℃软件功能可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数 探针默认为铼钨材质的弯针探针 *可选其他种类探针探针座杠杆式探针支架，点针力度更大，电接触性更好点针手动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置探针接口默认为BNC接头，可选三同轴接口*可增设腔内接线柱（样品接电引线）样品台面电位默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口光学参数 适用光路反射光路 *另有透射光路型号窗片可拆卸与更替的窗片物镜工作距离8.5 mm *截面图中WD透光孔台面默认无通光孔，可增设通光孔以支持透射光路上盖窗片观察窗片范围φ38mm，视角±60.7° *截面图中θ1负温下窗片除霜吹气除霜管路结构参数 加热区/样品区40 mm x 40 mm样品腔高6.3 mm *样品厚度由探针决定放样打开上盖后置入样品再点针，关上盖后无法移动探针气氛控制气密腔，可充入保护气体 *另有真空腔型号外壳冷却通循环水，以维持外壳温度在常温附近安装方式水平安装 或 垂直安装台体尺寸/重量200 mm x 145 mm x 30 mm / 1500g

HSPM-05VT变温霍尔测试系统由霍尔测试仪、液氮存储式恒温器以及永磁铁运动机构组成，可以给样品提供一个80K到500K的连续变温、0.5T垂直磁场测试环境，可以测试变温下的霍尔参数，为既需要低温又需要高温的科学实验提供了极大的便利。这是一款性价比极高，也是使用用户较多的霍尔测试系统，可以实现较大范围的温度测试，也可配其它电表，作为一个纯粹的温度环境和磁环境用于其它测试。系统特点：&bull 双层样品座设计，底部为光学样品座，通过增加四探针加四接线柱样品座盖板实现探针样品座功能。接线柱支持增加探针，改造为六探针样品座，能同时满足霍尔巴样品和范德堡样品的测试。&bull 装有调节支架，可调整恒温器竖直方向的位置。&bull 磁铁移动装置可使永磁铁前后移动和翻转。&bull 可快速打开样品室，更换样品。&bull 液氮可以通过顶端的液氮补充口方便的灌装，补充液氮不会影响系统的控温。&bull 恒温器带有液氮流量调节杆，可以用来调节恒温器的冷量。&bull 与低温同轴电缆和三同轴/SMA接头配合使用，漏电流小于1pA@1V。&bull 内置加热器和传感器与外部的控温仪配合实现低温恒温器的变温和控温。测试材料：&bull 热电材料：碲化铋、碲化铅、硅锗合金等&bull 光伏材料/太阳能电池：（A硅（单晶硅、非晶硅）CIGS（铜铟镓硒）、碲化镉、钙钛矿等）&bull 有机材料：（OFET、OLED）&bull 透明导电金属氧化物TCO：（ITO、AZO、ZnOIGZO（铟镓锌氧化物）等）&bull 半导体材料：SiGe、InAs、SiC、InGaAs、GaN、SiC、InP、ZnO、Ga2O3等&bull 二维材料：石墨烯、BN、MoS2等参数和指标：标准电阻范围10mΩ-100GΩ迁移率10-2-106cm2/VS载流子浓度8x102-8x1023/cm3电压激励范围100nV ~ 10V电流激励范围10pA ~ 100mA测试方法范德堡或霍尔巴样品尺寸Φ50mm样品接触方式四探针样品座，可升级六探针或接线柱样品温度80-500K样品环境真空磁场0.5T磁场调节方式手动位移及翻转磁铁间隙30mm磁场均匀区10mm*10mm*10mm优于5%

产品概要：此类闭循环制冷机不需要消耗液氦和液氮，CPS-50探针台的温度变化范围 5/10K 到 350，加上一个可以更换的高温样品架选件，温度变化范围可达到 20K 到 700K。每一个低温样品级都安装温度计和加热器，可以提供快速的热响应，迅速回到室温，样品更换非常方便。热辐射屏大大降低了黑体辐射，提高了制冷效率。系统采用了精心的设计来降低振动，采用各种减震装置阻止机械振动影响测量的性能，在全量程温度范围内，样品的振动小于 1um ( X, Y, Z 轴)。专用的探针根据尺寸和材料不同，分为多种类型，探针减少了热质量，优化了和器件的电接触性，每个探针都直接和冷头进行导热，这样就减小了探针对样品的热传递。基本信息：1、采用闭循环制冷机制冷，不需消耗任何液氮和液氦，基本系统温度范围：标准 10K/5K 到 350K2、高温选件温度范围：20K 到 700K3、系统冷却时间2.5 小时4、探针臂分别在防辐射屏和样品台上热沉5、探针臂传上安装温度感器进行温度监测6、控温稳定性： ±50mK7、样品更换循环时间4 小时8、低振动设计：在样品台1 μm ( X, Y, Z 轴)9、测量 DC 到 67GHz10、各种样品架适于低噪音，高频，高阻测量11、最大测试样品尺寸 51mm (2in) 直径12、最多可使用6 个探针臂13、射频探针臂可进行 3 轴调整和平面内±5 度的调整技术优势：1、快速的热响应2、可方便的更换样品3、制冷效率大大提高4、振动幅度有效降低应用方向：主要应用于样品在整个温度范围内的IV和CV曲线测试，光电测试，表征变磁环境下的磁输运特性和其他材料的研究。

CPX低温探针台采用模块化设计以满足广泛实验的需求，是Lake Shore功能最多的高性能低温探针台。CPX多样的选件和配置可使研究者完成精确的、富有挑战性的测量。CPX具有多个防辐射屏蔽层，以实现优异的低温性能，其低温选件可使样品温度低至1.6 K。探针台内多个温度计的安装可确保准确和重复的测量。 由于采用了分流设计，样品可在防辐射屏冷却时保持温度，与高真空选件，最大限度地减少了冷却过程中的样品冷凝，这是测量亲水性有机材料的关键要求。理想的应用包括有机物研究和微波测量。真空Load Lock可配置用于高通量测量。此外，CPX可以被配置为能够在真空下将受控的样品输送到腔室。CPX可容纳直径为51 mm（2英寸）的晶圆（最多102 mm[4英寸]可选）。该系统使用液氦或液氮运行。主要特征： √ 温度范围4.3 K~475 K√ 可选低温1.9 K/1.6 K√ 标准2英寸（51 mm）样品，4英寸（102 mm）可定制√ 样品可面内±5°旋转√ 样品振动＜30 nm可选√ 超高真空选件√ 可定制真空腔联用转移样品，避免样品暴露在大气环境√ 环形磁体选件最大0.19T设备参数：温度范围最多安装6个探针臂基础温度4.3 K，控制范围4.4 K ~ 475 K安装PS-LT低温选件基础温度1.9 K，控制范围2 K ~ 475 K安装PS-VLT-CPX极低温选件基础温度1.6 K，控制范围1.65 K ~ 400 K安装PS-LL-CPX选件（Load Lock）基础温度10 K，控制范围10 K ~ 400 K温度稳定性液氦液氮基础温度 (无加热控制)±15 mK±20 mK10 K±50 mK—10 K ~ 100 K±20 mK±50 mK101 K ~ 250 K±15 mK±50 mK251 K ~ 350 K±15 mK±100 mK351 K ~ 675 K±50 mK±100 mK真空以TPS-FRG分子泵组为标准PS-HV-CPX高真空选件抽真空时间30 min (1 × 10-3 Torr)10 min (1 × 10-3 Torr)室温5 × 10-4 Torr5 × 10-6 Torr基础温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr最高温度1 × 10-5 Torr5 × 10-7 Torr循环时间总循环3 h抽真空0.5 h探针台冷却1.25 h探针台升温2 hLoad Lock样品更换时间1小时（配有PS-LL-CPX选件）样品最大尺寸51 mm（2英寸）标准25.4 mm（1英寸）安装PS-VLT-CPX高真空选件25.4 mm（1英寸）安装PS-LL-CPX Load Lock选件样品背光接口不可选样品旋转±5°面内旋转样品振动＜300 nm标准，＜30 nm配有PS-PVIS减震选件探针配置最大探针数6探针臂温度计用于监视探针臂的温度冷却探针支架＜20 K(样品在基础温度下)探针支架连接样品台或4K防辐射屏热沉探针臂支架连接防辐射屏热沉DC/RF探针电绝缘100GΩ用于低漏电流测量微波探针频率范围从DC到67GHz光纤探针可用于电光测量落针范围所有探针均可在直径为 25.4 毫米（1 英寸）的圆内落针

产品简介INSTEC HCP421V-MPS 通用迷你温控探针台真空型mini台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。功能特点mimi型温控探针台，可集成到各种光学设备，可编程控温，涵盖-190℃~400℃，适用 10 mm ~30 mm 晶圆和器件，可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用，独立的四个探针（可升级至七个臂），可从设备外部移动探针进行点针，可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK，模块化设计，可自由组合。温控参数&bull 温度范围：-190℃~400℃（负温需配液氮制冷）&bull 加热块材质：银&bull 传感器/温控方式：100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）&bull 最大升温速率：30℃/min&bull 最小温控速度：±0.01℃/min&bull 温度分辨率：0.01℃ RTD传感器&bull 温度稳定性：±0.05℃（25℃），±0.1℃（25℃）&bull 软件功能：可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数&bull 探针：默认为铼钨材质的弯针探针&bull 探针座：可从外部XYZ移动的探针臂&bull 点针：从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置&bull 探针接口：标准BNC接头，可选三同轴接口&bull 样品台面电位：标准电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口光学参数适用光路：反射光路窗片：可拆卸与更替的窗片最小物镜工作距离：12 mm上盖窗片观察：窗片范围φ50mm，最大视角±50°负温下窗片除霜：吹气除霜管路结构参数&bull 适用样品：30 mm&bull 样品腔高：8 mm&bull 探针座：可从外部XYZ移动的探针臂&bull 调节精度 ：10um&bull 气氛控制：真空腔，也可充入保护气体&bull 外壳冷却：可通循环水，以维持外壳温度在常温附近

产品简介INSTEC HCP421V-MPS 通用迷你温控探针台真空型mini台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。功能特点mimi型温控探针台，可集成到各种光学设备，可编程控温，涵盖-190℃~400℃，适用 10 mm ~30 mm 晶圆和器件，可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用，独立的四个探针（可升级至七个臂），可从设备外部移动探针进行点针，可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK，模块化设计，可自由组合。温控参数&bull 温度范围：-190℃~400℃（负温需配液氮制冷）&bull 加热块材质：银&bull 传感器/温控方式：100Ω铂RTD / PID控制（含LVDC降噪电源）&bull 最大升温速率：30℃/min&bull 最小温控速度：±0.01℃/min&bull 温度分辨率：0.01℃ RTD传感器&bull 温度稳定性：±0.05℃（25℃），±0.1℃（25℃）&bull 软件功能：可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线电学参数&bull 探针：默认为铼钨材质的弯针探针&bull 探针座：可从外部XYZ移动的探针臂&bull 点针：从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置&bull 探针接口：标准BNC接头，可选三同轴接口&bull 样品台面电位：标准电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口光学参数适用光路：反射光路窗片：可拆卸与更替的窗片最小物镜工作距离：12 mm上盖窗片观察：窗片范围φ50mm，最大视角±50°负温下窗片除霜：吹气除霜管路结构参数&bull 适用样品：30 mm&bull 样品腔高：8 mm&bull 探针座：可从外部XYZ移动的探针臂&bull 调节精度 ：10um&bull 气氛控制：真空腔，也可充入保护气体&bull 外壳冷却：可通循环水，以维持外壳温度在常温附近

1、 低温探针台工作原理：低温探针台可用来测试芯片、晶圆片和封装器件应用领域包括半导体、MEMS、超导、铁电子学、材料科学以及物理和光学等探针可以施加直流、低频信号或微波信号等（可选一到八探针）高效率连续流低温恒温系统使用液氦或者液氮可使温度控制在3K到475K（可选600K）各类无制冷剂制冷系统（Basetemperature:5K,8K,10K等）可施加各类磁场（永磁体、电磁体和超导磁体）2、低温探针台型号及技术参数如下：CPS-25-CF-HV-10K无氦低温探测台用于10K到460K成本效益，稳定，可靠，使用方便 可达25mm直径的晶片- 温度范围从4.5K到470K（0.1K或更好的精度和稳定性）- 闭环循环制冷机 - 高达25mmx25mm样品表征- 选择DC至67GHz的测量与合适的探头- 4 微控探针臂（最多8个，可以在可选的配置），以高度准确的XYZ和任选θ调整，具有可达4英寸X，1.75英寸Y和0.5的英寸Z- 热锚定探针针尖- 温控辐射屏蔽- 改进真空等度的组件的- 方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）- 高频振动阻尼- 定制的高水平，以适应各种的探测需求详细参数可达25mm，50mm以上100毫米无液氦闭路循环制冷机，包括冷头，压缩机，制冷机和氦软管温度范围：低于10K到480K控温精度：0.1K温度分辨率：0.001K热锚探头武器和辐射屏蔽chuck温控（加热）盘变焦70系统（4UM分辨率）标准，缩小125或160变焦系统可作为选件，以及更便宜的解决方案同轴和环形照明LED照明数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力软件进行计算机控制和温度监控。几个温度测试序列是预编程和定制序列可以由最终用户很容易地编程 CPS-100-CF-77K无氦低温探针台对于晶圆级测试在77K至480K- 成本效益，稳定，可靠，方便使用可达100mm直径的晶片- 温度范围从4.5K到480K（0.1K精度）- 闭环循环制冷机- 高达2英寸直径的表征样品- 选择DC至67GHz的测量与适当的探头- 4 微控探针臂（最多8个，可以在可选的配置），以高度准确的XYZ和任选θ调整，具有最多4英寸X，1.75英寸Y和0.5英寸Z- 热锚定探针针尖- 温控辐射屏蔽方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）- 高频振动阻尼- 定制的高水平，以适应各种的探测需求详细参数可达25mm，50mm以上100毫米无液氦封闭循环制冷机包括冷头，压缩机，制冷机和氦要求软管低于77K到480K控温精度：0.1K温度分辨率：0.001K热锚探头武器和辐射屏蔽chuck温控（加热）盘窗口材料：熔融石英，定制材料和涂层可变焦70系统（4UM分辨率）标准，缩小125或160变焦系统可作为选件，以及更便宜的解决方案同轴和环形照明LED照明数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力软件进行计算机控制和温度监控。几个温度测试序列是预编程和定制序列可以由最终用户很容易地编程 CPS-150-LN2/LHe-HV液体低温探针台适合全片的测试在5K至460K范围 具有成本低，稳定，可靠，方便使用等特点可达150mm直径的晶片- 温度范围从4.5K到470K（0.1K或更好的精度和稳定性，优于在低于250K50mK稳定性）无论是用液氮或液氦冷却均可兼容- 选择DC到110GHz的测量与合适的探头- 4 微控探针臂（最多8个，可以在可选的配置），以高度准确的XYZ和任选θ调整，具有最多4英寸X，1.75英寸Y和0.5英寸Z- 热锚定探针针尖- 温控辐射屏蔽方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）- 高频振动阻尼- 定制的高水平，以适应各种的探测需求- 电动XY，XYZ或XYZ?夹头位置调整作为选项带有不同的范围和分辨率 详细参数175毫米D，最多3个辅助夹头可以安装液氮或液氦冷却温度范围：5K至480K可用控温精度：0.1K温度分辨率：0.001K热锚探头武器和辐射屏蔽窗口材料：熔融二氧化硅或石英，定制材料和涂层可同轴和环形照明LED照明数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力隔振- 空气减震系统隔振表- 无振动隔离波纹管- 在卡盘振动30nm CPS-CF无氦低温探针台CPS-CF成本低，稳定，可靠，方便在非常低的温度对器件和电路的探测。内置隔振，智能热管理和工程热补偿，使这个系统非常适用于广泛的纳米电子学，从跨越应用程序（石墨烯研究，分子电子学等）。该系统采用闭式循环制冷机和专有的热管理，具有经济快速的操作。内置隔振的振动最小化符合行业标准的水平。超稳定的微操纵阶段允许在设备功能的探针尖端的准确和可重复的接触。探头和硅片夹的多种选择允许应用程序超精密，FA-规模的测量，射频测量等等 具有成本低，稳定，可靠，方便的使用的优点- 温度范围从4.5K到480K（0.1K精度）- 闭环循环制冷机 成本低- 高达2英寸的直径样品- DC至67GHz的测量- 4 微控探头臂（最多8个提供选装配置），高度精确的XYZ和可选θ调整-热锚定探针针尖- 温控辐射屏蔽方便的顶部观察窗口（高纯度的石英）- 高频振动阻尼- 定制的高水平，以适应各种的探测需求 详细参数可达50mm无液氦 封闭循环制冷机包括冷头，压缩机，制冷机和氦要求软管温度范围：4.5K到480K，6.5K至480K，10K到480K控温精度：0.1K热锚探头武器和辐射屏蔽chuck温控（加热）盘夹头和探针臂的温度监控窗口材料：熔融石英，定制材料和涂层变焦70系统（4UM分辨率）标准，缩小125或160变焦系统可作为选件，以及更便宜的解决方案同轴LED照明数码相机从100万像素到10百万像素附带相机的图像和视频捕捉软件，以及尺寸测量能力基于LabVIEW的软件进行计算机控制和温度监控，可以由最终用户很容易地编程空气减震系统隔振表- 无振动隔离波纹管低温探针台的特点：全自动真空探针台由美国MicroXact公司生产，该探针台通过真空系统、气体压力系统及自动化软件实现对系统真空腔内真空度的精确控制，通过光学显微镜及搭配的数字成像系统实现对测试晶圆影像的捕捉及存储，并通过软件控制自动马达根据设定程序实现晶圆测试过程中的自动对准及移动测试功能。同时配置的变温载物台通过加热和冷却装置实现样品的变温测试目的

产品概要：低温探针台可以对器件进行非破坏性的测试，器件的最大尺寸可达到102mm(4inch)。一般来讲， 纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是在低温探针台在进行测量的比较典型的材料。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择，从而满足不同用户的需要。基本信息：1、系统可使用液氮或液氦制冷，基本系统温度 范围：4.2/77 K to 500 K2、高温选件，温度范围可到 20K-700K3、￠5mm(0.2 in)光学样品架，可以从背面照射样品4、样品台旋转选件，旋转角度±180 度，角度分辨率5、0.1 度，可选手动或电动旋转6、测量 DC 到 67GHz7、最大测试样品尺寸 51mm 直径8、最多可使用 6 个探针臂9、探针臂上安装温度感器进行温度监测10、控温稳定性： ±50mK11、探针臂 3 轴方向可调节，并可进行面内±5°旋转技术优势：1、电缆、屏蔽和 Guard 保护进一步减少了电噪声和热辐射损失2、支持未来升级闭循环，可将温度范围扩展到 4k3、控温稳定性大大增强4、实时进行温度检测应用方向：它为材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、 high Z 测量、DC 测量、RF 测量和微波特性测量提供一个测试平台。

微型探针台主要应用于传感器 半导体探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 该探针台的承载台为26X26mm不锈钢台面，台面可升温到350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0-13mm,y方向调节范围：0-13mm；z方向调节范围：0-13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测三：主要技术要求微型探针台主要应用于传感器 半导体1． 类型：高温型：室温～350℃ 低温型 -190℃:350℃ 低温型：室温到-190℃2． 腔体材质：304不锈钢3． 腔体内尺寸：φ90x40mm4． 腔体上视窗尺寸：Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm）5． 腔体抽气口：KF166． 腔体进气口：公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选7． 腔体出气口：公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选8． 腔体正压：≤0.05MPa9． 腔体真空度：机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）10． 样品台材质：304不锈钢11． 样品台尺寸：26X26mm12． 样品台-视窗 距离：30mm（可选凹视窗间距15mm）13． 样品台测温传感器：*级PT100铂电阻14． 样品台温度：室温到350℃（可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃）15． 样品台测温误差：±0.2℃16． 样品台变温速率：高温10℃/min 低温5℃/min 最大值17． 温度显示：7寸人机界面18． 温控类型：标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温）19． 温度分辨率：0.1℃20． 温控精度：±0.5℃21． 温度信号输入类型：PT100热电阻 （可选 K S B型热电偶）22． 温控输出：直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷）23． 辅助功能：温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线24． 电信号接头：配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米25． 电学性能：绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA26． 探针数量：4探针（可定做6探针）27． 探针材质：镀金钨针28． 探针尖：10μm29． X轴移动行程：12mm ±6mm30． X轴控制精度：≤5μm31． Y轴移动行程：12mm ±6mm32． Y轴控制精度：≤5μm33． Z轴移动行程：12mm ±6mm34． Z轴控制精度：≤5μm35． 显微镜类别：物镜放大+电子放大36． 显微镜放大倍数：100倍37． 显微镜工作间距：50-150mm38． 相机分辨率：1080P 60帧39． 相机信号输出：HDMI输出+USB输出40． LED可调光源：LED光源41． 显示屏：5寸 屏幕一体机四：主要配置要求1．1台 KT-0904T-RL微型探针台一台2．1台 触摸屏温控箱3. 1个 6mm聚四氟管4. 1根 电源线5: 2个 6mm金属内衬6： 1根 触摸屏笔7： 4个 SMA-香蕉插头8： 1根 功率输出线9: 6米 6mm水冷管10： 1套 K型上盖扳手、备用螺丝，内六角选配: 分子泵真空机组 机械泵