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复合真空计

仪器信息网复合真空计专题为您提供2024年最新复合真空计价格报价、厂家品牌的相关信息， 包括复合真空计参数、型号等，不管是国产，还是进口品牌的复合真空计您都可以在这里找到。 除此之外，仪器信息网还免费为您整合复合真空计相关的耗材配件、试剂标物，还有复合真空计相关的最新资讯、资料，以及复合真空计相关的解决方案。

复合真空计相关的论坛

  • 真空计的选择

    真空计的种类很多，常用的真空计就有压缩式真空计、电离真空计、热电偶真空计、电阻真空计等等。真空计的真空测量是真空技术的重要组成部分，因此真空计在科研与生产中的使用很广泛。那么在选择真空计时我们应该考虑哪些因素呢？ 　　1.不同的真空计有不同的测量范围与测量精度，首先要确保真空计的测量范围满足设备的需要，再考虑真空计的测量精度； 　　2.有些真空计对被测气体有要求，如热阴极电离真空计的阴极易受过量空气及泵油蒸气等污染物的损害，因此需要考虑被测气体是否会对真空计造成损伤； 　　3.部分真空计会影响被测环境，如压缩式真空计测量时要压缩被测气体，这会使水蒸气凝结。因此要考虑真空计是否会对被测真空环境造成影响； 　　4.考虑真空计所测压强是全压还是分压，是否已校准，是否与气体种类有关； 　　5.考虑真空计能否实现连续测量，数值指示及反应时间如何； 　　6.考虑真空计的稳定性、可靠性、使用寿命。 　　7.考虑真空计的安装方法、操作性能、保修、管理、市场有无销售、购买的难易程度和规格

  • 怎样选择真空计

    怎样选择真空计很多试验仪器设备都需要用到真空泵、真空机组，如样品真空干燥、真空蒸馏、真空解压等等实验工作、中式，为了达到最优状态和测试效果，或提供效率、节约能源，就需要对设备的容器中的真空度进行准确的测量和自动控制，现在大家使用的大多数还是老式的电接点真空表、电阻真空计的、热偶计等等，准确度差、不稳定、寿命短、当然也有进口设备，但真空测控仪表、真空计进口的产品非常昂贵，那么我们普通设备需要真空控制时应该如何选择性价比高的真空计呢？以下的几点供大家参考，希望有帮助。第一，从真空测量机理的先进性来考虑，应该选择采用新型传感元件的真空计，如硅集成真空传感器、陶瓷基片厚膜电路真空度传感器、陶瓷电容式薄膜真空规等等；而传统老式的热传导类（热偶计、电阻计、皮拉尼计等等）虽然价格稍低些，但其精度低、稳定性差、寿命短，按照产品标准测量精度误差50%就合格；虽然现在也有数字化、但是毕竟是先天不足。第二，从真空设备的工作真空度来选择真空度测控范围：而不是根据使用真空泵或机组的极限真空度来选择，如，系统采用2x旋片泵，其极限真空度可达0.5Pa，但是，由于抽气效率的原因，往往用在100Pa以上，所以应该选择0.1kPa测量下限即可（下限越低，往往精度要求越高，价格也越高）第三，合理选择测量精度等级和测量分辨率，一般设备选择1.0级、0.5级就可以了，但是如果是作为精密真空度测量和控制、计量标准器等等，就要选择0.1级、高分辨率的仪表；首选陶瓷薄膜规（--PS510--ABCD）;对于用来测量管道、容器、散热器、空调冰箱部件密封等等用途的真空计选型，可以选择0.5、0.25级精度、但是分辨率为1Pa的高分辨率的仪表如（208--310ap型），性价比极高；另外，还要根据需要测控的泵阀来选择仪器的测控继电器等等控制功能，最好要选择带有真空智能测控功能的仪表（一个继电器就能控制一个启停或开闭的真空度区间，而不是一个点）。最后不要忘记选择合适的真空接口标准，推荐kf系列卡箍法兰，当然，还有其他测试介质的重要特点：卫生洁净度、防腐蚀、防爆要求，附加功能会增加价格，要求不高，就不一定要用专门的防爆型、防腐蚀型的，要求严格的话，当然不能马虎的。简单说说，供参考了。再次提醒大家：现在是2011年啦！真空仪器仪表已经现代化了，希望大家选择更加新型的、高性价比的真空仪器仪表，

  • 求购：低真空计

    我公司想购买一台低真空计，工作范围在50~100μHg或6.6~13.3Pa。请帮忙提供合适真空计的型号及相关资料。最好是数显的。

  • 谈谈薄膜真空计（3）

    谈谈薄膜真空计（3）

    http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2011/10/201110211922_325615_1608408_3.jpg学习和引进国外先进核心技术，,根据我国真空设备配套测控仪表的特点，研制出的陶瓷薄膜真空计，其测量精度和稳定性已经完全可以与进口产品相媲美了。根据国内设备的习惯，控制柜上数字面板表，还是经常使用的，采用专门设计的具有真空测控特点的精密二次仪器仪表，借籍于现代智能仪表技术的科技成果，有利于提供测量的精度、分辨率、稳定性和可靠性，增加智能化的自动控制功能，（可以配接任何一种模拟量、数字量的接口，比进口的薄膜真空计更灵活、更方便）实践证明，陶瓷薄膜真空计使用到真空冷冻干燥机、真空单晶炉、气氛真空炉、真空精馏设备、真空镀膜机等设备，做真空测量和自动控制，带来极大地方便和性能提高，可以快速升级为智能型的真空应用设备。当然，也可以用到实验室、计量室作为相应的真空段的0.1级标准器，陶瓷芯片的优异性能使其年稳定度达到0.1%以上。

  • 谈谈薄膜真空计（1）

    薄膜真空计是迄今为止唯一得到公认的可作为低真空测量（0.01--100Pa）工作副标准的一种真空仪器，也是我国唯一具有法定计量校准检定规程的一种真空度计量器具（校准参照规程：Q/WHJ46-1998标准型电容薄膜真空计校准规程）电容薄膜真空计是一种绝压、全压测量的真空计，原理是把加于电容薄膜上的压力变化产生膜片间距离的变化，即产生了电容的变化，再通过鉴频器把电容变化转换成为电流或电压的变化，组成为输出信号，所以，它的测量是直接反映了真空压力的变化值，而且只与压力有关，与气体成分无关，即：薄膜真空计是一种直接测量式的、全压型的真空计。而我们的真空设备的真空度测量控制常用的真空计往往是电阻计、热偶计等等间接测量的真空计，是一种热传导型的真空测量方法，简单一点来说，就是通过测量感受气体温度的方法来间接测量气体压强（真空度），是一种类似于大家很熟悉热电阻、热电偶的测量方法，。由于测量原理上的先天不足，这类真空计的测量精度、测量稳定度是很不好的。其测量误差一般比薄膜真空计大1~2个以上数量级（误差大于30%，行业标准是50%），尤其是在低真空段，误差更大，另外，使用过电阻计、热偶计的度知道，这些仪表测量前还需要零点、满度校正，怎么能够用于在线测量控制呢？另外，遇到氢气等小质量的气体就无法测量了，如果要测，也查表换算，到底真空度是多少？猜吧。不过，它确实也有它的优点的：制造容易、价格低廉，在许多的要求较低真空设备上还普遍使用着,……用过电阻计的都领教过它的烦心。许多人抱怨花了3、4千元买到进口的真空传感器也误差大、毛病多?就是因为老外的这个价位的产品还是老的热传导测量机理的真空传感器。所以选择真空计、真空传感器、首先要看看什么原理、什么类型的，而不是数字、智能，测量机理陈旧，再怎么数字、怎么智能，也于事无补的。未完待续

  • 【讨论】有关麦氏真空计问题

    公司用麦氏真空计，里面水银有了残渣，想换掉水银，请问水银的加入量一般是多少？有要求吗？ 另外想问：数显示的便携真空计多少钱？

  • 数控针阀在便携式真空计校准装置中的应用

    数控针阀在便携式真空计校准装置中的应用

    [color=#ff0000]摘要：针对便携式真空计校准装置以实现真空计的现场校准，基于静态比对法校准技术，本文提出了一种采用微型数字针阀和上下游双向气体流量调控模式的技术方案，结合双通道高精度的真空度PID控制器，可在真空度精密控制的前提下解决现场校准和便携性问题。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align][size=18px][color=#ff0000]一、问题的提出[/color][/size]真空计作为一种真空度传感器在众多领域应用普遍，并需要进行定期校准。而真空计校准装置是包含了真空标准器、真空泵、真空阀门及连接管路在内的一整套测量系统，一般体积较大，不便移动，多在实验室内固定使用。现有的真空计校准方式大多是将现场使用的真空计拆下送检。为满足现场校准的需求，需要解决以下几方面的问题：（1）减小相关部件的尺寸，使真空计校准装置便于携带。（2）采用数控和电动阀门，提高气体流量调节的精密度。（3）改进真空度控制方式，提高真空度控制精度和稳定性。为实现真空计 现场校准和校准装置的便携性，基于静态比对法校准技术，本文将提出采用微型数字针阀和上下游双向气体流量调控模式的技术方案，结合高精度的真空度PID控制器，可在真空度精密控制的前提下解决现场校准和便携性问题，真空度的波动可控制在±1%以内。[size=18px][color=#ff0000]二、便携式真空计校准装置技术方案[/color][/size]便携式真空计校准装置的整个结构如图1所示，这里示出的是0.1~760Torr真空度范围内的校准装置典型结构示意图。方案具体内容如下：[align=center][img=真空计校准,600,596]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/05/202205261606551375_610_3384_3.png!w690x686.jpg[/img][/align][align=center]图1 便携式真空计校准装置结构示意图[/align]（1）采用静态比对法，将被校准真空计与参考标准真空计比对。参考标准真空计采用两个电容薄膜真空计以覆盖整个真空度校准范围，参考标准真空计也同时作为真空度控制传感器。（2）真空度控制器采用二通道高精度真空度控制器，控制器的A/D为24位，D/A为16为，可对应电容薄膜真空计的高精度信号输出和满足真空度控制精度要求。控制器的两个通道分别对应于两个真空计的输入信号、两路数字针阀的进气和抽气流量的精密调节。在真空度控制过程中两路传感器信号可根据需要自动切换，以实现全量程范围内的可编程自动控制。控制器带PID自整定功能和标准的MODBUS通讯协议。（3）采用两个数字针阀分别调节进气和抽气流量，控制器采用双向模式分别对两个针阀进行调节。在粗真空范围内主调节进气针阀，在高真空范围内主调节进气针阀，全量程范围内的真空度恒定控制时，真空度波动率可控制在±1%以内。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]

  • 谈谈薄膜真空计（2）

    现代真空应用技术的发展，涉及的应用范围越来越广泛、真空应用设备对仪器仪表的要求越来越高，特别是对测量精度、稳定性要求、以及自动控制性能要求也越来越高，这直接关系到真空设备的整体性能质量，关系到真空应用技术或应用工艺的应用效果，甚至于成功与否。在精细化工、真空冶炼、真空单晶炉、真空热处理、真空浸渍、真空冷冻干燥、真空绝缘处理、电真空器件、半导体材料生产、高特新材料、新能源设备等等行业中尤其特出。许多新设备、新工艺、新产品的开发之所以老是无法实现预想的技术指标和效果，往往就是因为真空测控仪表选型不当、其实际的测量控制精度无法达到设计要求所造成的。当然，薄膜真空计也不是没有缺点的，首先是价格高，国内一般是4-6千元，量限低的贵些；进口则1.6—2.5万元/只左右；其次，国内老式的薄膜规容易零漂，需要经常校正，要求高的经常校正。主要是技术陈旧，国内材料科学相对落后造成的，温度稳定性不好；还有一个量程跨度小，国内的不超过3个数量级。第三是国产规娇气，容易坏，有油污进去很难清洗，要用丙酮，清洗挽救13往往会报废，小量程的23会坏。所以，我们需要有一种具有国产价格、进口品质的、使用方便、经久耐用薄膜真空计。结合我国国情、学习国际先进的真空测量新技术，我们能够做得到的。分析国外的薄膜真空计与我们旧式国产产品的有什么不同呢？简单说一说，其核心技术一是陶瓷薄膜电容真空压力测量技术、二是现代智能仪表技术。首先是通过大规模厚膜电路（国内有些厂家还是20年前的007运放），将薄膜电容测量机构和传感器调理电路微型化，做在陶瓷基片上，另外，将智能仪表电路微型化，一次仪表和二次仪表合二为一，所以量程宽、精度高、体积小；（其典型代表如莱宝62x、英福康TCBG等等）。未完待续

  • 请教5975C真空计报错

    5975C真空计micro Ion E报错，怎么办？3年多的机器经常连续开机，重启能搞定吗还是要换了？这东西贵吗

  • 高真空计PENNING的最臭位置

    PENNING是最常用的高真空计，可以安装在靠近分子泵的地方，或者直接安装在发射枪部位，最差的位置是装在样本室外部，最最臭的位置是样本室正相对SE检测器的方向，为什么这么说呢？

  • 气质联用离子真空计

    请教各位高手，岛津2010plus[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]气质联用[/color][/url]，每次开机抽真空时，都会显示离子真空计不能正常控制，离子源灯丝即将关闭，重启一次或几次又好了，求助：这是什么原因？需要怎么解决？长时间如此会对仪器损害么？万分感谢

  • 【求助】电阻真空计如何校准？

    我们实验室的等离子体设备上配了一个电阻真空计，最近等离子体厂家的人告诉我真空计应该重新校准了，可是我又联系不到真空计生产厂家，那我自己如何校准真空计呢？

  • 岛津GCMS离子真空计不能正常控制怎么办？

    岛津GCMS离子真空计不能正常控制怎么办？

    批处理样品，十几个样以后出现离子真空计不能正常控制的问题，质谱停止批处理。这是从一次老化柱子之后开始的，那会因为是旧柱子，就没有断质谱，质谱还是真空状态，老化完以后就开始出现这问题。批处理停止以后重新开始批处理一切正常，真空也没掉，真空度计也是正常的，就是走一段时间样就可能会出错。谁遇到过啊，这个怎么解决。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/01/201701191701_669765_2851308_3.jpg

  • 多点拟合功能的PID控制器在真空计线性化处理中的应用

    多点拟合功能的PID控制器在真空计线性化处理中的应用

    [align=center][img=多点拟合功能的PID控制器在真空计线性化处理中的应用,550,416]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309141551304705_7372_3221506_3.jpg!w690x522.jpg[/img][/align][size=16px][color=#990000][b]摘要：针对高真空度用皮拉尼计和电离规信号的非线性和线性两种输出规格，为改进高真空度的测量和控制精度，本文提出了线性化处理的解决方案。解决方案的关键是采用多功能超高精度的真空压力控制器，具体内容一是采用控制器自带的最小二乘法多点拟合功能来进行高真空区间的非线性处理，二是采用控制器的数值转换功能对真空度对数线性输出进行相应测试量程转换。此解决方案还可以推广应用于其他具有非线性输出性质的传感器中。[/b][/color][/size][align=center][color=#990000][b]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/b][/color][/align][size=16px][color=#990000][b][/b][/color][/size][size=18px][color=#990000][b]1. 问题的提出[/b][/color][/size][size=16px] 在真空度测量过程中，一般会根据不同真空度范围选择相匹配的真空度传感器。常用的三类真空度传感器是电容真空计、皮拉尼真空计和电离规，这些传感器会对应所测量的真空度输出相应的电压信号，其中电容真空计的真空电压关系曲线为线性，而皮拉尼计和电离规的真空电压关系曲线基本都是底数为10的幂函数，具有强烈的非线性特征，如图1所示。[/size][align=center][size=16px][color=#990000][b][img=皮拉尼计和电离规的真空度测量与输出电压信号典型关系曲线,660,342]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309141555049140_6935_3221506_3.jpg!w690x358.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]图1 皮拉尼计和电离规的真空度测量与输出电压信号典型关系曲线[/b][/color][/size][/align][size=16px] 皮拉尼计和电离规往往会用在高真空和超高真空范围内的测量，由此这种非线性会给高真空和超高真空范围内的测量带来以下一系列的问题：[/size][size=16px] （1）大多数真空测量仪表基本上都采用的是线性电路，以采集真空计输出信号并进行线性转换后进行显示和输出。这种对非线性信号仅进行简单线性转换的方式，势必会给真空度测量带来巨大误差，这也是皮拉尼计和电离规在高真空度范围内测量精度不高的主要原因。[/size][size=16px] （2）如图1所示，这种非线性特征是以10为底数的幂函数，因此可以通过对数处理将其进行线性化处理。有些国外厂家的真空计也确实具有这种功能，使得真空度的对数与输出电压值呈线性关系。这种线性化处理的最大优点是可以大幅度提高真空计的测量精度，特别是对超高真空度范围内的精度提高更加显著。但这种线性化处理仅是针对真空度到模拟输出信号，如果要对这输出信号进行还原或准确显示真空度，还需后续的处理电路或采集仪表进行反向处理。[/size][size=16px] （3）除了上述在真空度测量中存在的如何准确显示的问题之外，更大的问题是在真空度控制中的应用。在真空度控制中，真空计往往是连接到PID控制器的传感器，无论真空计自身是否采用了线性化处理技术，但都要求线性控制形式的PID控制器具有线性化处理功能，而现状是很少有PID控制器具有这种线性化处理的高级功能，这也是制约高真空度范围内控制精度不高的主要原因。[/size][size=16px] （4）皮拉尼计和电离规的另一个显著特点是具有气体的选择性，对于不同气体环境下的真空度测量其非线性公式中的常数并不相同，需要根据气体类型进行选择。这种气体选择性特征更加大了真空计输出信号的线性化处理难度和复杂程度，很难采用一种通用电路和仪表来满足大多数不同气体氛围下的真空度测量和控制。[/size][size=16px] 为了解决上述皮拉尼计和电离规的信号非线性和气体选择性特性给高真空度测量和控制带来的问题，本文提出了相应的解决方案，关键是采用具有线性化处理等高级功能的PID控制器。[/size][size=18px][color=#990000][b]2. 解决方案[/b][/color][/size][size=16px] 针对现有的各种皮拉尼计和电离规的真空度电压输出信号，包括非线性信号和已经处理后的线性信号，解决方案的核心是采用如图2所示的具有众多高级功能的超高精度真空压力控制器。[/size][align=center][size=16px][color=#990000][b][img=VPC-2021系列超高精度PID控制器,500,264]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309141555336153_2091_3221506_3.jpg!w690x365.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]图2 VPC-2021系列超高精度真空压力控制器[/b][/color][/size][/align][size=16px] 此控制器在具有超高精度24位AD模数转换和16位DA数模转换的同时，还充分发挥了微处理器的速度和数据处理能力，在现有各种温度传感器线性化处理的基础上，增加了八点拟合线性化处理功能和数值变换功能，通过相应的面板按键操作或所配软件的设置，可对皮拉尼计和电离规输出信号进行有效处理，可显著改善高真空度范围内的测量和控制精度。[/size][size=16px][color=#990000][b]2.1 真空计非线性信号的多点拟合处理[/b][/color][/size][size=16px] 对于皮拉尼计和电离规，在0.00001Pa~0.1Pa（甚至更宽泛）的高真空度范围内，随着压力的增大所输出的电压信号基本是缓慢上升的平滑曲线形式，如图1所示。由此，在此高真空范围内，这也是皮拉尼计和电离规的主要测量应用范围，真空度与电压信号的关系曲线完全可以用多项式曲线来准确描述，本解决方案就是采用此特性来进行多点拟合处理，通过拟合处理实现真空度的高精度测量以及后续的准确控制。[/size][size=16px] VPC2021系列多功能超高精度PID控制器具有特殊的8点曲线拟合功能，PID控制器8点线性化处理功能是通过8组数据组成线性化表，将输入值经过最小二乘法拟合计算产生输出值和显示值。如图3所示，在使用此功能时，所选的输入值（X轴，代表真空计输出的电压或电流值）必须是递增形式，而对应的测量值或显示值则可以是递增或递减关系。自定义传感器非线性输入支持以下三种输入类型和对应量程：[/size][align=center][size=16px][color=#990000][b][img=PID控制器8点线性化处理功能示意图,500,306]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309141555590193_5542_3221506_3.jpg!w690x423.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]图3 八点线性化处理功能示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] （1）20mV、100mV；(LSB：0.01mV)。[/size][size=16px] （2）0-10mA、0-20mA、4-20mA；（LSB：0.001mA）。[/size][size=16px] （3）0-1V、0-2V、0-5V、1-5V、0-10V、2-10V；（LSB：1mV）。[/size][size=16px] 通过这种多点拟合处理，使得真空度测量和控制具有了以下特点：[/size][size=16px] （1）可提高真空度的测量和控制精度。[/size][size=16px] （2）测量值和控制值可直观的进行准确显示，显示的真空度即为真实的真空度值。[/size][size=16px] （3）可适用于所有皮拉尼计和电离规非线性信号的处理和应用，但局限性是仅适用于变化舒缓的高真空度区间。[/size][size=16px][color=#990000][b]2.2 真空计线性信号输出的数值变换处理[/b][/color][/size][size=16px] 个别厂家和型号的真空计其输出信号已经进行了线性化处理，输出信号与真空度的对数呈线性关系。如图1所示，此时对应于纵坐标的电压输出值，横坐标的真空度变化范围是-10~+5；也可以是对应于横坐标的电压输出值，纵坐标的真空度变化范围是-10~+5。[/size][size=16px] 对于不同的皮拉尼计和电离规，这个线性的电压值与真空度对数值范围并不相同，在具体应用中都需要对其数值范围进行修正以形成一一对应关系。采用VPC2021系列真空压力控制器可以很容易的进行这种数值变换处理并形成准确的线性对应关系，这种处理具有以下特点：[/size][size=16px] （1）建立的输出电压和对数真空度的线性关系，可进一步提高真空度控制的准确性，这是因为经过对数处理后放大了真空度测量灵敏度。[/size][size=16px] （2）局限性是这种线性化处理后的显示值并不直观，所显示的真空度为对数真空度。在具体显示和控制时，真空度控制的设定值输入要求也必须是对数真空度，如果要显示真实真空度，还需上位机进行转换。[/size][size=18px][color=#990000][b]3. 总结[/b][/color][/size][size=16px] 综上所述，通过本解决方案可以很好的对信号输出非线性特征明显的皮拉尼计和电离规进行线性化处理，可明显提高高真空度范围的测量控制精度，同时本解决方案可推广应用到其它非线性传感器的线性化处理中。[/size][size=16px][/size][align=center][size=16px][b][color=#990000]~~~~~~~~~~~~~~~[/color][/b][/size][/align]

  • 中国真空计量技术达国际先进水平

    中新社兰州2月15日电 (南如卓玛)兰州空间技术物理研究所研究员李得天及其科研团队的真空计量研究成果，成果已应用于月球探测、航天器空间环境模拟、重离子加速器、同步辐射光源等国家重大工程，使中国真空计量技术达国际先进水平。　　李得天近日接受中新社记者采访时称，通过十余年持续研究，该团队成功研制出了载人飞船舱门快速检漏仪等真空计量仪器和装置，解决了航天、核工业等领域对微小气体流量的精确测量难题。　　随着中国探索太空的步伐不断加快，迫切需要建立超高/极高真空计量标准，以满足对月球表面、行星际空间、恒星际空间真空环境探测的需求。　　李得天介绍说，载人航天工程中，航天员要在太空飞行多天，期间航天员需反复进出舱，操作舱门打开和闭合。航天员在舱里生存，维持其正常生活的气体不能泄漏，因此精准快速检测舱门的密封性至关重要。　　李得天说，该团队研制的舱门快速检漏仪，仪器重不足5公斤，自动完成全部检测所需时间小于8分钟，实现了对舱门和对接面的快速、准确检漏，技术达到国际先进水平。　　该装置已成功应用于神舟八号、神舟九号、神舟十号载人飞船以及天宫一号目标飞行器，为中国载人航天工程实施提供了重要保障。

  • 分享JJF 1050-2023《工作用热传导真空计校准规范》

    分享JJF 1050-2023《工作用热传导真空计校准规范》

    JJF 1050-2023《工作用热传导真空计校准规范》（全文见附件）[img=,690,516]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/10/202310110507529936_5441_1626275_3.png!w690x516.jpg[/img][img=,690,670]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/10/202310110508034751_7688_1626275_3.png!w690x670.jpg[/img][img=,690,345]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/10/202310110508097547_4700_1626275_3.png!w690x345.jpg[/img][img=,690,669]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/10/202310110508162438_3991_1626275_3.png!w690x669.jpg[/img][img=,690,383]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/10/202310110508224801_8900_1626275_3.png!w690x383.jpg[/img]

  • 【基础知识】真空常用名词术语

    1、真空的定义 真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态2、真空度 处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。3、真空度单位 通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱4、托与帕的转换 1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托5、平均自由程 作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。6、流量 单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕升/秒（PaL/s）或托升/秒（TorrL/s）。7、流导 表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。 　　U＝Q/(P2- P1)8、压力或压强 气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。9、标准大气压 压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。10、极限真空 真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。11、抽气速率 在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp＝Q/（P－P0）12、热偶真空计 利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。13、电离真空计（又收热阴极电离计） 由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。14、复合真空计 由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。15、冷阴极电离计 阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。16、电阻真空计 利用加热元件的电阻与温度有关，元件的温度又与气体传导有关的原理，通过电桥电路来测量真空度的真空计。17、麦克劳真空计（压缩式真空计） 将待测的气体用汞（或油）压缩到一极小体积，然后比较开管和闭管的液柱差，利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种绝对真空计。18、B－A规 这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。收集极是一根细丝，放在栅网中心，灯丝放在栅网外面，因而减少软X射线影响，延伸测量下限，可测超高真空。19、水环真空泵 泵的叶轮转子旋转而产生水环。由于转子偏心旋转而使水环与叶片间容积发生周期性改变而进行抽气的机械真空泵。20、往复真空泵 利用活塞的往复运动而进行抽气的机械真空泵。21、油封机械真空泵 用油来保持密封的机械真空泵，可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式等。22、罗茨真空泵 具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵，此泵不可以单独抽气，前级需配油封、水环等可直排大气的真空泵。23、涡轮分子真空泵 有一高速旋转的叶轮，当气体分子与高速旋转的涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。24、油扩散真空泵 扩散泵喷口中喷出高速蒸汽流。在分子流条件下，气体分子不断地向蒸流中扩散，并被蒸汽带向泵出口处逐级被压缩后再由前级泵排除。25、低温真空泵 利用20K以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵。26、冷阱（水冷挡板） 置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。27、气镇阀 油封机械真空泵的压缩室上开一小孔，并装上调节阀，当打开阀并调节入气量，转子转到某一位置，空气就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比，从而使大部分蒸汽不致凝结而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇阀。28、真空冷冻干燥 真空冷冻干燥，也称升华干燥。其原理是将材料冷冻，使其含有的水份变成冰块，然后在真空下使冰升华而达到干燥目的。29、真空蒸镀 在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。30、真空干燥 利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。31、真空系统常用名称 (1)主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。(3)粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。[em09] 来源：Internet

  • 【转帖】质谱真空系统的开机与关机

    对于质谱而言，真空系统是价格昂贵的组成部分。维护好质谱的真空系统对工作安全和降低使用成本是非常重要的。打开真空系统一、检查1、机械泵的温度小于50摄氏度；2、机械泵油色泽清亮，无浑浊、不透明和分层现象；3、确保分子泵的温度小于35度；4、如果是水冷大泵，应打开分子泵循环水，并且无漏水；二、启动前机泵1、打开机械泵，听机械泵启动的声音，无异常；2、打开前级真空计；三、启动分子涡轮泵1、确保前级规气压小于1Torr（对于非复合式分子泵应小于20Pa）；2、逐个启动分子泵，听每台分子泵启动的声音，无异常；3、分子泵在5分钟内达到全速，否则需要停机；4、在分子泵达到全速后方可启动高真空规；

  • 【原创】真空系统的组成及各种真空泵的工作原理

    [size=3][font=SimSun]在真空实用技术中，真空的获得和测量是两个最重要的方面，在一个真空系统中，真空获得的设备和测量仪器是必不可少的。目前常用的真空获得设备主要有[/font][u][color=red][font=SimSun]旋片式机械真空泵、油扩散泵、涡轮分子泵、离子溅射泵、升华泵等[/font][/color][/u][font=SimSun]。真空测量仪器主要有[/font][font=Times New Roman]U[/font][font=SimSun]型真空计、热传导真空计、电离真空计等。随着电子技术和计算机技术的发展，各种真空获得设备向高抽速、高极限真空、无污染方向发展。各种真空测量设备与微型计算机相结合，具有数字显示、数据打印、自动监控和自动切换量程等功能。本附件详细地介绍了上述内容，欢迎各位下载，交流。[/font][/size]

  • 实验室用冷冻干燥机中如何实现高精度的压力和真空度控制

    实验室用冷冻干燥机中如何实现高精度的压力和真空度控制

    [size=14px][b][color=#cc0000]摘要：本文针对实验室用冷冻干燥机的真空度控制，提出了干燥过程中的真空度精密控制解决方案。解决方案主要是采用双真空计（电容真空计和皮拉尼真空计）测量干燥过程中的真空度变化，双通道PID真空度控制器一方面采集电容真空计信号并通过电动针阀对干燥腔室的真空度进行高精度控制，同时采集皮拉尼真空计信号显示和记录整个干燥过程中的真空度变化曲线。此解决方案可完美的实现干燥过程中的真空度精密控制和监测。[/color][/b][/size][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align][size=14px][/size][size=14px] 在典型的真空冷冻干燥过程中，为了监控整个过程的真空度变化，一般会采取真空度比较测量方式，即在腔室和冷凝器上分别配置电容真空计和皮拉尼真空计。由此在冷冻干燥过程中，用电容真空计测量和控制腔室真空度，同时使用皮拉尼真空计进行真空度监测。这种方法利用了皮拉尼真空计的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]成分依赖性，该皮拉尼计的输出变化反映了当过程从一次干燥过渡到二次干燥时[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]成分的变化。这个典型过程中的真空度和温度变化如图1所示。一般是基于电容真空计来控制腔室真空度，这不仅仅是因为它独立于[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp][color=#3333ff]气相[/color][/url]成分而测量绝对压力（绝对真空度）。电容式压力计比皮拉尼压力计更准确、线性和稳定。[/size][size=14px][/size][align=center][size=14px][color=#cc0000][img=真空冷冻干燥过程中的典型真空度和温度变化曲线,600,400]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/11/202211231817231440_186_3221506_3.jpg!w690x460.jpg[/img][/color][/size][/align][color=#cc0000][size=14px][/size][/color][align=center]图1 真空冷冻干燥过程中的典型真空度和温度变化[/align][size=14px][/size][align=center]皮拉尼压力表（洋红色），电容压力计（红色）[/align][size=14px][/size][align=center][color=#cc0000]隔板温度用黑线表示，其他线是热电偶测量的单个产品温度[/color][/align][size=14px] 从上述真空冷冻干燥过程中可以看出，冷冻干燥机上需要配备两只真空计，一个是电容真空计，另一个是皮拉尼计。其中电容真空计用来控制腔室真空度，真空度控制范围在几十豪托左右，而皮拉尼计则用来监控整个真空度的变化过程并用来判断干燥过程的变化。为此，我们设计了如图2所示的冷冻干燥机真空度控制系统。[/size][align=center][size=14px][color=#cc0000][img=真空冷冻干燥机真空度控制系统结构示意图,500,428]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/11/202211231818284971_7024_3221506_3.jpg!w690x592.jpg[/img][/color][/size][/align][size=14px][/size][align=center][color=#cc0000]图2 真空冷冻干燥机真空度控制系统结构示意图[/color][/align][size=14px] 图2所示的控制系统主要四个部分组成，分别描述如下：[/size][size=14px] （1）真空泵：主要用于抽取真空。在冷冻机干燥过程中，由于真空腔室一般工作在较高真空范围，所以真空泵要求处于全速开启抽取状态而无需调节排气速率。[/size][size=14px] （2）真空计：真空计包含了电容真空计和皮拉尼真空计，其中高精度的真空计为绝对真空传感器，用来作为真空度控制用传感器。精度稍差的皮拉尼真空计由于测试量程较大，用来监视整个过程的真空度变化，并作为第一次和第二次干燥变化的判断。[/size][size=14px] （3）电动针阀：通过步进电机来快速调节针阀的开度，以调节进气流量。[/size][size=14px] （4）双通道PID真空度控制器：此控制器为带有PID参数自整定功能的双通道控制器，其中第一通道与电容真空计和电动针阀组成闭环控制回路用来控制腔室真空度，第二通道与皮拉尼真空计连接作为测试和显示。此双通道PID控制器具有24位AD和16位DA，采用了双浮点计算方法可使得最小输出百分比达到了0.01%的高控制精度，非常适合冷冻干燥过程中的真空度控制。而且此控制器具有标准的MODBUS协议，可与上位机进行通讯实现远程遥控。[/size][size=14px] 总之，本文所述的解决方案非常适合实验室冷冻干燥机的真空度精密控制和干燥过程的监测，强大的双通道PID控制器除了可保证真空度控制精度和自动控制之外，还可以通过随机配备的计算机软件独立进行冷冻干燥机真空度控制过程的参数设置、PID参数自整定、自动运行、真空度设置和测量值的测量、曲线显示和存储。[/size][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align][size=14px][/size][size=14px][/size][size=14px][/size]

  • 【原创大赛】机械分子复合真空泵的使用总结

    【原创大赛】机械分子复合真空泵的使用总结

    工作学习当中，我们经常会用到一些国内外的各种仪器设备，但是厂家书写的仪器使用手册过于详细冗长，甚至不易于掌握。遇到不经常用的仪器，更是要连人和仪器一起借过来，才可以使用它，这样一来，往往就非常不方便。当我们“借”不到熟练的使用者时，贸然边学边操作仪器，存在极大地误操作风险，甚至损坏昂贵仪器，并且耗费大量时间和精力。 对于不经常使用的仪器，非核心的仪器设备，由于时间精力还有风险等多重因素，我们压根不想学会使用操作它的方法，也不需要。我们迫切希望，仪器制造商，能够提供“傻瓜式”的仪器操作说明，越简洁越明了，越好，最好等能够让任何能够识字识图的初学者，第一次，就能正确使用它，但是很难遇到这样的情况。 为此，我写了一份机械分子复合真空泵的操作步骤说明，风格就是越简洁越好，不需要阅读，和理解仪器的工作原理，以及为什么这样做的前因后果，后经过吴光恒老师的精心修改，此文方成，在此非常感谢吴老师。但此文修改结束后，发现文章还是太长了，后期我考虑根据吴老师的修改意见，再出一版更加简洁的仪器操作步骤。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align][align=center][b][font=华文中宋][size=16.0pt]杜瓦夹层抽真空详细步骤[/size][/font][/b][/align][font=华文中宋][size=12.0pt]杜瓦夹层不同于一般真空腔，其内部空间弯曲、出气口窄小，而内表面积较大。这导致了两个不利因素：[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]在有了一定真空度后，分子自由程增大，气体不再以流动方式被抽出，而是像乒乓球那样碰撞前行，难以穿过窄小空间；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]夹层内两个大面积表面吸附了很多气体。这导致了短时间内把真空抽上去的难度。有的杜瓦还把活性炭放进夹层吸附气体，更增加了获得高真空的难度。因此，杜瓦夹层与一般真空腔抽空有些不同的地方。但分子泵的使用是大致一样的。[/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]一．标识图部分：[/size][/font][/b][align=center][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][img=,434,274]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006240937407447_2275_3389662_3.jpg!w434x274.jpg[/img][/size][/font][/align][font=华文中宋][size=12.0pt]图[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]控制仪表面板[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] 1. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]空开控制这个面板的所有动力输入，紧急情况下可以一拉了之；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]高真空计要在具有一定真空度（[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下）的时候方可打开。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]本系统所有阀门的关闭均为顺时针旋转，开启均为逆时针开启，与生活中开关矿泉水瓶子盖一致。[/size][/font][align=center][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] [img=,690,269]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006240943148195_16_3389662_3.png!w690x269.jpg[/img][/size][/font][/align][font=华文中宋][size=12.0pt]图[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]真空泵阀门[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]左图是个典型的机械泵[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]-[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分子泵两级真空系统。如果没有“[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀”及其通道，则是“非典型”设计，一般厂家为了盈利，有时会故意省略这里，采购时注意。右图中的[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1, 2,3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀称为“角阀”。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]4[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀称为闸板阀，是既能保持分子泵最大抽气口径，又能抵抗大气压密封分子泵的特殊阀门，不能在一侧为大气压时开动此阀门。注意右图中真空计的高低真空传感器安装在真空室上面，真空计示数指示的仅仅是这个位置的真空度。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分子泵是靠叶片在油中高速运转获得高真空的。因此确定了第一条使用规则：一旦分子泵开动直到其内部完全静止（关断电源仍然转动约[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟），[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀必须始终开启，保证机械泵对分子泵底部的抽气。第二条使用规则是，开启[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]4[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀用分子泵抽真空室之前，必须先对真空室预抽，获得[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下的真空度。这可以通过打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀利用机械泵[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]-2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]-[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]真空室这一旁路进行预抽。在开启[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀之前，必须先关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，顺序不能颠倒，否则真空室里的气体会通过[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀和[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀倒灌进入分子泵底部，轻则憋停分子泵，重则打坏叶片。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]这两条规则的相互矛盾之处在于，只有一台机械泵，严格遵守第一条，就无法操作第二条；操作第二条，则第一条就无法保证。解决的方法是机械泵可以暂时不抽分子泵（就是前面说的“关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀”），一旦把真空室预抽完成后，立即关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀、打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，把机械泵切换到分子泵这边来。这个“暂时”以[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]30[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟为度，期间足以把真空腔抽好。但一般大型设备[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]15[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟就切换一次，保证分子泵不至于过热。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]尽管各种阀门管道手动电动，位置各异，奇形怪状，但分子泵的原理决定所有系统的拓扑结构是一样的，基本操作规则也是一样的。[/size][/font][align=center][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] [img=,690,298]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006240944266237_929_3389662_3.png!w690x298.jpg[/img][/size][/font][/align][font=华文中宋][size=12.0pt]开关控制机械泵，该开关可以常开[/size][/font][align=center][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] [img=,690,538]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006240945483798_8974_3389662_3.png!w690x538.jpg[/img][/size][/font][/align][b][font=华文中宋][size=12.0pt]二．准备工作[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]连接管路：真空泵与杜瓦连接[/size][/font][/b][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]a.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]来到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]PPMS[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]（或[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]SQUID[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]、核磁）旁边，按下图所示找到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]PPMS[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]（或[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]SQUID[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]、核磁）杜瓦的外真空抽口。用一个活动扳手保护住下面的灰黑色方块，另外一个活动扳手小心的拧下[color=#C00000]铜帽[/color]子。用一根足够长的波纹管从真空室的抽口连接到专用接头的[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]KF25[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]接头上。可以用绳子、支架之类的物品辅助支撑和固定，避免接头过大受力（如上面图[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]8[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]所示）。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][img=,304,227]https://bbs.instrument.com.cn/xheditor/xheditor_skin/blank.gif[/img][img=,629,301]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006240946206595_1211_3389662_3.png!w629x301.jpg[/img][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]b.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]将抽口螺纹上的残留生料带清理干净，并重新缠上几圈新的生料带。之后将抽杜瓦外真空的专用接头接到抽口上。拧紧时还是需要用一个扳手保护住下面的灰黑色方块，一个扳手稍稍用力拧紧即可。[/size][/font][align=center][b][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][img=,658,505]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006240946479499_2442_3389662_3.png!w658x505.jpg[/img][/size][/font][/b][/align][font=华文中宋][size=12.0pt]【以上各图待编号】[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]c.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]将真空泵机组放置到杜瓦旁边的合适位置，检查电源线的接头处是否破皮，脱落，谨防漏电短路等危险；检查真空泵金属壳，是否另连接地线（实验室墙边接地铜排或接地箱），谨防触电；在需要时，插上泵总电源线插头。[/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]三．杜瓦夹层初抽[/size][/font][/b][font=华文中宋][size=12.0pt]由于前面说的原因，夹层需要低真空下长时间的初抽，重要性甚至超过采用分子泵高真空的[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]“[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]精抽[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]”[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]。[/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]开动机械泵（[/size][/font][/b][font=华文中宋][size=12.0pt]这个时候最好不要开真空表开关，真空表开关尽量在必要时且有一定真空度的时候开，以保护真空传感器[/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]）：[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]检查泵、波纹管路连接密闭性[/size][/font][/b][font=华文中宋][size=12.0pt]检查真空泵所有管路的[color=red]卡箍[/color]是否卡紧，避免漏气；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]a.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]检查[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]1[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]~[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]5[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]门和杜瓦针阀，确保全部处于关闭状态；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]b.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]检查机械泵电动机上的[color=red]开关（图[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=red]3[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=red]），打开并在此后保持常开[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]c.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]给电。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]上推闭合[color=red]控制板上的空开[/color]，接着按下[color=#C00000]机械泵绿钮[/color]，启动机械泵。热机[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2-3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟，期间注意听机械泵声音（不同气体流量声音不同），确认没有问题后，进入下一步[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] [/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]d.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]预抽真空室。逆时针[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]慢慢打[color=#C00000]开[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]2[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀，注意听气流声（真空室从大气压抽到大约[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]100 Pa[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]有明显声音变化），避免气流过猛。最后[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]2[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]转到底后回半圈。使机械泵抽空真空腔。在没有异常声音的情况下，几分钟后即可进入下一步；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]e.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]观察真空腔真空度。打开真空表电源（图[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]右上角）开关，（真空表只有一个开关，高真空计有保护，真空达标才自动开启）。此时低真空计显示真空室真空度应该在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]50 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下。若在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟内可以抽到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下，说明机械泵至[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀之内的空间所有密封良好。可以进入下一步；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]f.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]抽波纹管。[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]逆[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]时针[color=#C00000]慢开[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]1[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]，不要让低真空示数超过[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]200Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]。开到底后返回半圈。如果在几分钟内低真空计达到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下，说明管道密封良好，可进入下一步；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]g.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]抽夹层。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]开启杜瓦[color=red]针阀旋钮[/color]，慢拧，不要让示数超过[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]200 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]，观察真空气压仪表示数，判断杜瓦夹层密封状态；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]h.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]若在几分钟后低真空计可低于[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]50 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]，说明夹层密封良好，可进入持续抽空[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]进程。建议连续抽气[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]24[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]小时以上，争取抽到低真空计示数[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[sup]-1[/sup][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]附近。长时间抽气关掉真空计为好。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以上“杜瓦初抽”过程的[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]a~e[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]也是机械泵预抽任何真空腔的通用步骤。在分子泵不开动的情况下，这个过程可用于长时间抽空，但要保证低真空计示数在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下。如果示数高于此说明真空腔或管道有漏气点，强行抽气容易造成机械泵过热和损坏。此时应停止抽气，关闭机械泵和[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，检查真空腔和各个阀门接头。排除漏气点后方可继续抽气。[/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]四[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]开动分子泵[/size][/font][/b][font=华文中宋][size=12.0pt]由于分子泵开动后，机械泵必须持续抽分子泵下部，不能长时间（超过[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]30[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟）用于对其他真空腔的预抽，因此，请在夹层长时间抽空，且达到预期真空度（比如上面说的[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[sup]-1[/sup]Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]）之后，再开启分子泵。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]上面已经说过分子泵的两条使用规则：[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]一旦分子泵开动机械泵必须始终抽其下部（在本系统为[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀始终开启）；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]用分子泵去抽真空室之前，必须先对真空室预抽，获得[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下的真空度。[b]必须牢记的是，在预抽操作中开启[/b][/size][/font][b][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀之前，必须先关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，顺序不能颠倒[/size][/font][/b][font=华文中宋][size=12.0pt]。否则真空室里的气体会通过[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀和[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀倒灌进入分子泵底部，轻则憋停分子泵，重则打坏叶片。因此，在使用分子泵时，任何阀门的开启都应该尽量慢些，以便即使开错阀门，也只是憋停分子泵而不至于打坏涡轮叶片。[/size][/font][align=center][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][img=,213,172]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2020/06/202006240948014562_305_3389662_3.png!w213x172.jpg[/img][/size][/font][/align][align=center][font=华文中宋][size=12.0pt]图[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]x[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]【图号顺编】[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分子泵操作仪表盘（白色）[/size][/font][/align][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]a. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]检查。确认[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀关闭。如果是长时间不用，除关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀外，此时不要去旋动任何阀门，以免大气冲进分子泵（分子泵关闭后，可长时间保持负压）。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]b. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]开动机械泵。倾听声音，确认没有“抽大气”（长时间连续高速气流）的声音。打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，先抽真空室。这一步操作可以确认真空室密封没问题，也可以减少[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]4[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀两侧的压差。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]c. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]打开真空计。观察低真空计，判断真空室密封良好。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]d. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]抽分子泵下部。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]关[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]2[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀，慢开[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]3[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]到底，然后回半圈。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]保持[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2-3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟，若无异常声音，可认为分子泵一切良好。此时[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]4[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀两边应该压差较小，检查是否处于关闭状态（一般有指示）。无异常可进入下一步；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]e. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]启动分子泵。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]按下[color=#C00000]分子泵绿钮（图[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]x[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]中“[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]4[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀”两字下面那个）[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]。有的还要按下分子泵白色操作仪表盘（图[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]x[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]右[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]）的绿色“[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]Run[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]”按钮。此时仪表盘上行“[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]RUN[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]”字符下的[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]红色[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]LED[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]灯开始[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]闪烁，数字显示为“[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]Fxxx.x[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]”（[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]F[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]是[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]frequence[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]，数字表示转数）；随分子泵转速上升。该系统分子泵转数为[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]400[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]转[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]/s[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]。转速达到后没有噪音可判断分子泵转速已达稳定（期间可能有两次共振）。此时分子泵已经正常运转。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] f. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]再次预抽真空室（分子泵抽气之前，应即时进行一次预抽，以降低流过分子泵气流量）。关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀。打开真空计，低真空若能在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟内达到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]以下，即可进入下一步；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]g. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分子泵抽真空室。关紧[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，再慢慢打[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]开[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]4[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]（到底回半圈）。关注[color=red]高真空仪表[/color]示数，若能够在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]5[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟内降至[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[sup]-2[/sup][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]级时，说明分子泵与真空室密封合格。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]注意：以上操作是抽真空腔。如果是抽杜瓦夹层，操作[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]f.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]时要把[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀打开，同时预抽夹层。[b]没有经过预抽的空间，不允许用分子泵抽气[/b]（规则二）。[/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]关闭分子泵[/size][/font][/b][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]a. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]首先切断与真空腔的联通。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]关闭[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]4[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]。确认[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀在开启状态。无异常可进入下一步；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]b. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]切断分子泵电源。按下[color=red]分子泵红钮（图[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=red]x[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=red]）[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]，也可以先按下分子泵白色操作盘面上的“[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]stop[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]”[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]键。观察转数示数的降低，应在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]30[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟左右停转；停转后再等待[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]5[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟，手摸分子泵感觉温度，若无异常可进入下一步；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]c. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]停机械泵。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]3[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀。关闭机械泵（按下机械泵红色按钮（图[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]1[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]））。[/color][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]d. [/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]切断电源。拉下白色空开，拔下真空系统电源线插头。[/color][/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]五[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分子泵抽夹层[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]此步操作应在夹层长时间预抽之后进行。夹层有大量吸附气体，不经长时间预抽而进行分子泵抽气，效率低且对分子泵不利。此步操作也要在分子泵已经启动之后进行。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]假定此时状态为：波纹管已连接杜瓦；杜瓦针阀是关闭的；系统[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1, 2, 4, 5[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀均为关闭；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] 3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀打开，机械泵抽分子泵底部；分子泵运转正常。[/size][/font][/b][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]a. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]预抽真空室。关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt][color=#C00000]3[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt][color=#C00000]阀[/color][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]，慢慢打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，让气流平稳。若无声音异常可进行下一步；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]b. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]打开真空计电源，注意观察真空示数，如果在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]5[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟内示数低于[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]，则说明真空室密封良好，可以进入下一步；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]c. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]预抽夹层。慢慢打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，观察示数，避免旋转太快使之高于[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]200 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]。到底退半圈。如果在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]5[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟内低真空示数低于[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]，说明夹层密封良好，即可进入预抽，但关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀的时间不要连续超过[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]30[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]d. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]如果在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]15[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟内真空示数达不到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]5 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]之下（但可以低于[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]），则应将机械泵切换到分子泵抽气[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]5[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟，再切回预抽。操作顺序为：[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]-[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]开启[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀将机械泵切换到分子泵；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]-[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]开启[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀将机械泵切换到夹层预抽。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]e. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]夹层若在持续抽[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]15-20[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟后低真空示数在[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]5 Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]之下，即可进行下一步；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]f. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分子泵抽夹层。关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]2[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀（均为到底回半圈），打开[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]4[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，观察真空计，此时高真空应该有示数，在几分钟之内应该进入[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[sup]-2[/sup][/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]即为正常。此时分子泵抽夹层，根据需要持续抽气，期间可将真空计关闭。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]SQUID[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]真空夹层小，抽[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]24[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]小时上到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]10[sup]-5[/sup][/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt] Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]PPMS[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]建议抽[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]48[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]小时以上，到[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1.2*10[sup]-4[/sup]Pa[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]e. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]收尾。抽气完毕后，首先关闭夹层阀门，封闭夹层。然后关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]1[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，断开真空室与波纹管连接。此时分子泵还在抽气真空室。关闭[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]4[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀，将分子泵与真空室断开。至此分子泵才是安全的，可进行其他操作。关闭真空计电源，保护真空传感器。[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]注意：上面[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]c.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]条中关于“不超过[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]30[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]分钟”的规定即为解决[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]“两条规则”冲突的变通方法。在这样短的时间里，分子泵可以暂时不被机械泵抽气，为机械泵提供一个执行预抽的时间窗口。[/size][/font][b][font=华文中宋][size=12.0pt]六[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]拆下波纹管：[/size][/font][/b][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]a. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]如果分子泵在运转，[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]确认分子泵处于安全状态（[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]4[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀关紧，[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]3[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]阀抽下部）。[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]b.[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]拧松钢波纹管[color=#C00000]卡箍[/color]，慢慢拧动放气，再完全拿下卡箍，用一个活动扳手（[color=#C00000]保持不动[/color]）保护住下面的灰黑色方块，另外一个活动扳手小心的拧下[color=#C00000]转接头[/color]；[/size][/font][font='Times New Roman','serif'][size=12.0pt]c. [/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]将[color=#C00000]抽口[/color]螺纹、和[color=#C00000]铜帽[/color]内螺纹上的残留生料带清理干净，并重新缠上几圈新的生料带，[/size][/font][font=华文中宋][size=12.0pt]用一个活动扳手（[color=#C00000]保持不动[/color]）保护住下面的灰黑色方块，另外一个活动扳手小心的将[color=#C00000]铜帽[/color]拧紧到抽口上。[/size][/font][align=right][font=华文中宋][size=12.0pt]蔡泽森，吴光恒修改[/size][/font][/align][align=right][font=&][size=12pt]2020.06.08[/size][/font][/align]

  • 微激光束焊接中真空控制系统的压力调节解决方案

    微激光束焊接中真空控制系统的压力调节解决方案

    [color=#990000]摘要：本文针对微激光束焊接中真空控制系统的压力调节，介绍了相应的解决方案。具体实施方案是配备不同量程的真空计、进气电动针阀、排气电动球阀和双通道高精度PID控制器，并采用上游和下游控制模式可实现全量程范围内的气压调节和恒定控制。此解决方案可在全量程范围内任意设定点的真空度恒定控制达到波动率小于±1%。[/color][align=center][color=#990000]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/color][/align][color=#990000] [size=18px]一、背景介绍[/size][/color]微激光束焊接 (LBW) 也称为微焊接，是通过投射出的微小直径激光光束，产生微观焊缝将不同金属熔合在一起。最近有客户提出定制要求，要求在微激光束焊接的系统中，配备用于精确压力调节的真空控制系统。具体要求是焊接腔室内充入惰性气体，焊接腔室内的绝对气压在10Pa至一个大气压（0.1MPa）的真空范围内精确恒定控制，在任意控制点上的气压波动小于±1%。本文将针对上述客户对微激光束焊接中真空控制系统的压力调节技术要求，提出相应的解决方案。具体实施方案是配备不同量程的真空计、进气电动针阀、出气电动球阀和双通道高精度PID控制器，并针对不同真空度量程分别采用上游和下游控制模式实现全量程范围内的气压调节和恒定控制。此解决方案可在全量程范围内任意设定点的真空度恒定控制达到波动率小于±1%。[size=18px][color=#990000]二、解决方案[/color][/size]微激光束焊接 (LBW) 真空控制系统的压力调节解决方案如下图所示。[align=center][img=微激光束焊接中的真空控制系统,400,555]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209201618016926_439_3221506_3.png!w590x819.jpg[/img][/align]由于微激光束焊接所要求的气压调节范围（绝对压力）为10Pa~0.1MPa的真空度，并实现全量程任意设定真空度在恒定过程中的波动率小于±1%，而且还要求对焊接过程中所引起的气压波动进行快速调节并恒定能力，故本解决方案采用两个控制回路来覆盖全量程。第一个控制回路负责控制1kPa~101kPa范围的高气压，采用了1000Torr量程的薄膜电容真空计作为传感器。此真空计连接PID控制器的第一通道，PID控制器通过接收到的真空度信号与设定值进行比较来调节电动球阀，使得焊接室内的气压快速达到设定值并保持恒定。第二个控制回路负责控制10Pa~1kPa范围的低气压，采用了10Torr量程的薄膜电容真空计作为传感器。此真空计连接PID控制器的第二通道，PID控制器通过接收到的真空度信号与设定值进行比较来调节电动针阀，使得焊接室内的气压快速达到设定值并保持恒定。为保证控制精度和稳定性，此解决方案中要求电动针阀和球阀需要具有1秒以内的响应速度，并要求双通道PID控制器具有24位AD和16位DA的高精度。此解决方案已成功得到广泛应用。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]

  • 真空泵 使用保养

    真空泵根据使用的范围和抽气效能可将真空泵分为三类：(1) 一般水泵，压强可达到1.333~ 100kPa (10~760mmHg)为“粗”真空。(2) 油泵，压强可达0.133~133.3 Pa(0.001~1mmHg)为“次高”真空。(3) 扩散泵，压强可达0.133 Pa以下，(10-3 mmHg)为“高”真空。在有机化学实验室里常用的减压泵有水泵和油泵两种，若不要求很低的压力时，可用水泵，如果水泵的构造好且水压又高，抽空效率可达1067~3333 Pa (8~25mmHg)。水泵所能抽到的最低压力理论上相当于当时水温下的水蒸气压力。例如，水温25℃、20℃、10℃时，水蒸气的压力分别为3192、2394、1197Pa(8-25mmHg)。用水泵抽气时，应在水泵前装上安全瓶，以防水压下降，水流倒吸；停止抽气前，应先放气，然后关水泵。若要较低的压力，那就要用到油泵了，好的油泵能抽到133.3Pa（1mmHg）以下。油泵的好坏决定于其机械结构和油的质量，使用油泵时必须把它保护好。如果蒸馏挥发性较大的有机溶剂时，有机溶剂会被油吸收结果增加了蒸气压，从而降低了抽空效能，如果是酸性气体，那就会腐蚀油泵，如果是水蒸气就会使油成乳浊液而抽坏真空泵。因此使用油泵时必须注意下列几点：在蒸馏系统和油泵之间，必须装有吸收装置。蒸馏前必须用水泵彻底抽去系统中有机溶剂的蒸气。如能用水泵抽气的，则尽量用水泵，如蒸馏物质中含有挥发性物质，可先用水泵减压抽降，然后改用油泵。减压系统必须保持密不漏气，所有的橡皮塞的大小和孔道要合适，橡皮管要用真空用的橡皮管。磨口玻璃涂上真空油脂。抽真空步骤及注意事项首先检查真空容器所处状态，处于真空下或者处于大气中。决定了两种启动真空设备的程序：第一种，真空下操作程序。第二种，大气状态下操作程序。注意：第一次启动要先打开ESP—A总控电源，总控电源上面三个灯表示三相电，三灯全亮表示正常。1、如果容器处于低真空状态下，不能立即打开闸板阀以免引起真空油的回流。正确的操作步骤是先打开水龙头，然后打开机械泵(注：按下机械泵的启动键)，同时打开ZDF—IV真空计电源，观察真空计读数到达30Pa左右时，再打开分子泵(注：先按下FDK—600K总电源，然后按下启动键)，看到分子泵的工作频率达到50Hz左右时方可打开闸板阀。2、如果容器处于大气下，首先要做的是检查大漏，即关闭容器大门和放气阀。然后打开水龙头，闸板阀，机械泵，ZDF—IV真空计电源，观察真空计读数到达30Pa左右时，再打开分子泵(注：先按下FDK—600K总电源，然后按下启动键)。3、等到分子泵正常工作后(工作频率稳定在450Hz)，按下真空计中电离计单元的启动键对真空度进行观测。4、在真空达到 Pa时可以打开离子泵，此时先关闭分子泵处的闸板阀，但不要关闭分子泵，等到离子泵的电压达到4000V时(离子泵稳定工作后)再关掉分子泵，机械泵。5、如果不需要维持真空时，先关掉真空计电源，后只需要把离子泵的闸板阀关闭即可，不关闭离子泵，而是让离子泵处于工作状态保持其内部环境。(注意：烘烤与离子泵不能同时打开，烘烤的目的是为了让离子泵更好的工作，需要时可先烘烤，关闭烘烤后在打开离子泵开关。一般不需要打开烘烤。)

  • 真空压力控制技术在低温恒温器高精度温度恒定中的应用

    真空压力控制技术在低温恒温器高精度温度恒定中的应用

    [color=#990000]摘要：针对低温恒温器中低温介质温度的高精度控制，本文主要介绍了低温介质减压控温方法以及气压控制精度对低温温度稳定性的影响，详细介绍了低温介质顶部气压高精度控制的电阻加热、流量控制和压力控制三种模式，以及相应的具体实施方案和细节。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align][align=left][size=18px][color=#990000]1. 引言[/color][/size][/align] 在低温恒温器中，低温介质（液氦和液氮等）温度波动产生的主要原因是沸腾的低温介质顶部气压（真空度）的变化。因此，为了实现低温介质内部的温度稳定，就需要对低温介质顶部的气压进行准确控制。 国内外针对低温恒温器的温度控制大多采用以下三种技术途径： （1）主动控制方式：在浸没于低温介质的真空腔里直接引入加热电路，利用温度计对真空腔温度的实时监测数据，与目标温度值进行比较后来控制加入到加热电路中的电流。 （2）被动控制方式：对低温介质顶部气压进行控制，使低温介质温度稳定。 （3）复合控制方式：复合了上述两种控制方式，在浸没于低温介质的真空腔里直接引入加热控制电路之外，还同时对低温介质上部的气压进行控制。 电阻加热控温方式已经是一种非常成熟的技术，本文将主要针对低温介质顶部气压控制方式，介绍气压控制精度对低温温度稳定性的影响，以及高精度气压控制的实现途径和具体方案。[align=center][img=真空度控制,690,396]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112080959307199_6660_3384_3.png!w690x396.jpg[/img][/align][align=center][color=#990000]图1 液氦饱和蒸气压与温度关系曲线[/color][/align][size=18px][color=#990000]2. 气压控制精度与温度稳定性关系[/color][/size] 以液氦为例，液氦的饱和蒸汽压与对应温度变化曲线如图1所示。 由图1可以看出，在很小的温度范围内，上述曲线可以用直线段来描述，所以可以得到4K左右的温度范围内，气压大约100Pa的波动可引起1mK左右的温度波动。由此可以认为，如果要实现1mK以下的波动，气压波动不能超过100Pa。[size=18px][color=#990000]3. 顶部气压控制的三种模式[/color][/size] 低温介质顶部气压控制一般采用三种模式：电阻加热、流量控制和压力控制。[size=16px][color=#990000]3.1 电阻加热模式[/color][/size] 在低温恒温器的恒温控制过程中，电阻加热模式是在低温介质中放置一电阻丝加热器，如图2所示，真空计检测顶部气压变化，通过PID控制器改变加热电流大小来调节和控制顶部气压，将顶部气压恒定在设定值上。从图2可以看出，电阻加热模式比较适合增加顶部气压的升温控温方式，但无法实现减压降温。[align=center][color=#990000][img=真空度控制,690,569]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112081000054776_8294_3384_3.png!w690x569.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图2 电阻加热模式示意图[/color][/align][size=16px][color=#990000]3.2 流量控制模式[/color][/size] 流量控制模式是一种典型的减压降温模式，如图3所示，真空泵按照一定抽速连续抽取低温恒温器来降低顶部气压，真空计、电动针阀和PID控制器构成闭环控制回路，通过电动针阀调节抽气流量使顶部气压准确恒定在设定真空度上。由此可见，流量控制模式比较适合降低顶部气压的降温控温方式，但无法实现增压升温。[align=center][color=#990000][img=真空度控制,690,504]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112081000399321_2525_3384_3.png!w690x504.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图3 流量控制模式示意图[/color][/align] 另外流量控制模式中，真空泵的连续抽气使得低温介质的无效耗散比较严重。[size=16px][color=#990000]3.3 压力控制模式[/color][/size] 压力控制模式是一种即可增压也可减压的控温模式，如图4所示，当采用真空泵抽气时为减压模式，当采用增压泵时为增压模式，由此可实现宽温区内温度的连续控制。所采用的调压器自带一路进气口（大气压），结合真空泵在对顶部气压进行恒压控制的同时，可有效避免低温介质的大量无效耗散。[align=center][color=#990000][img=真空度控制,690,518]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112081000533816_3012_3384_3.png!w690x518.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#990000]图4 压力控制模式示意图[/color][/align] 另外，这里的增压方式也可以采用低温介质中增加电加热器来实现。[size=18px][color=#990000]4. 其他实施细节[/color][/size] 在上述三种控制模式实施过程中，还需特别注意以下细节： （1）真空计的选择 真空计是测量顶部气压变化的传感器，是决定低温恒温器温度控制稳定性的关键，所以一定要选择高精度真空计。 目前高精度真空计一般为电容薄膜规，一般整体精度为0.2%。 如前所述，在液氦4K左右的恒温控制过程中，要求气压波动不超过100Pa，及±50Pa，如果对应于100kPa的气压控制，则真空计的精度要求需要高于±0.05%。由此可见，对于温度波动小于1mK的恒温控制，还需要更高精度的真空计。 （2）PID控制器的选择 在恒温控制过程中，PID控制器通过A/D转换器采集真空计的测量值，计算后再将控制信号通过D/A转换器发送给执行器（电动针阀、调压器和加热电源等）。为此，要保证能充分发挥真空计的高精度和控制的准确性，需要A/D和D/A转换器的精度越高越好，至少要16位，强烈建议选择24位高精度的PID控制器。 （3）调压器的配置 调压器是一种集成了真空压力传感器、控制器和阀门的压力控制装置，但真空压力传感器的精度远不如电容薄膜规，控制器精度也比较低。为此在使用调压器时，要选择外置控制模式，即采用电容薄膜规作为控制传感器。 另外，需要特别注意的是，调压器中控制器的A/D和D/A转换器精度较低，因此对于高精度和高稳定性的顶部气压控制而言，不建议采用控压模式，除非采用特殊订制的高精度调压器。[hr/]

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