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等离子清洗活化机

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等离子清洗活化机相关的资讯

  • relyon发布relyon手持式等离子清洗机PZ3新品
    piezobrushPZ3高效便携式手持等离子体发生器piezobrush PZ3 是一款小体积紧凑型手持等离子体发生器,适用于实验室开发以及小批量产品的研发和组装加工。piezobrush PZ3的最大功耗为18瓦,凭借压电直接放电技术(Piezoelectric Direct Discharge Technology – PDD技术)可以产生温度低于50摄氏度的冷活性等离子体。PZ3的核心部件是来自TDK电子集团的CeraPlas™ ,用来产生常压冷活性等离子体的高压放电组件。等离子体能高效加工活化材料表面,同时还可以杀菌消毒和祛除异味。 应用领域》 接合技术 》 生产流程的开发和优化 》 实验室的研发设备 》 微生物、微流体以及食品生产 》 医疗和牙科技术 》 原型和样品模型制造 》 小批量生产加工潜在用途》 各种基础材料表面的活化加工处理 》 提高材料表面润湿性 》 优化黏合、喷漆、印刷以及涂层处理工艺 》 塑料、玻璃、陶瓷、金属、半导体、天然纤维以及复合材料的表面加工处理 》 精细清洁 》 杀菌消毒和祛除异味piezobrushPZ3的技术参数供电电源:AC110-240/50-60Hz最大功耗:18W重量:110g产品组成:手持式设备带电源线,集成风扇音量:45dB等离子体温度:不超过50℃加工处理速度:5cm2/s加工处理距离:2–10mm加工处理宽度:5–29mm可替换模块为了取得最好的加工处理效果,不同类型的材料表面需要使用相应的模块组件进行活化加工处理。我们目前为piezobrushPZ3手持式等离子体发生器提供两种不同的可替换模块组件。piezobrushPZ3所产生的冷活性等离子体是基于压电直接放电技术(Piezoelectric Direct Discharge Technology – PDD技术)中的高强度电场放电形成的。因此,待处理材料表面的电导率是选择相应可替换模块组件的重要参考。标准模块近场模块标准模块是专门为非导电材料(例如塑料、陶瓷以及玻璃等)表面加工处理设计的。为了获得最好的加工处理效果,推荐的使用距离为1–5毫米。如果加工材料表面产生不受控制的偏移或者翻转,等离子体加工设备将自动切断电源并关闭。在这种情况下,材料表面将会部分导电,因此后续的加工处理请使用近场模块进行操作。近场模块用于处理(部分)导电材料例如金属、碳纤维强化聚合物、铅玻璃以及导电塑料等。如果是带有导电涂层的材料或是产品中带有导电组件的情况下,也建议使用近场模块以获得最佳的加工处理效果。只有当近场模块足够接近待处理的导电材料表面时(也可以穿透所覆盖的薄绝缘涂层),才会激发点燃等离子体。当距离在几毫米的范围内,近场模块和待处理材料表面之间可以看见紫光,表明加工处理正在进行。系统会自动识别当前所使用的模块类型,并相应地调整加工处理参数。液晶显示为了更好的控制等离子体的各种加工处理过程,piezobrush PZ3配备了一块液晶显示屏用来显示和调用各种不同的功能:过程控制: 》 秒表:用来测量时间 》 定时器:具有自动结束功能的定时功能 》 节拍器:在设定的加工处理间隔以后,会给予声音反馈功耗设置:多级可调的等离子体功率piezobrushPZ2和piezobrushPZ3的对比piezobrush PZ3被认为是piezobrush PZ2的后继产品。下表简单介绍了两个产品各自的优点。piezobrushPZ2带内置电源的手持式设备可更换的喷嘴无法进行过程控制 piezobrushPZ3 带内置电源的手持式设备 可更换的压电模块 过程控制:秒表、定时器以及节拍器 110-240V/ 50-60Hz供电电源110-240V/ 50-60HzMax.30W功耗Max18W170g重量110g57dB噪音水平45 dB不超过50℃等离子体温度不超过50℃4cm2/s加工处理速度5cm2/s2–10mm使用距离2 – 10mm20mm最大使用宽度29mm标准、近场和混合喷嘴/模块标准、近场氩气、氦气和氮气工作气体/ 创新点:piezobrush® PZ3被认为是piezobrush® PZ2的后继产品。下表简单介绍了两个产品各自的优点。piezobrush® PZ2带内置电源的手持式设备,可更换的喷嘴,无法进行过程控制piezobrush® PZ3 带内置电源的手持式设备,可更换的压电模块,过程控制:秒表、定时器以及节拍器relyon手持式等离子清洗机PZ3
  • 等离子清洗机的清洗过程指导
    等离子清洗机的清洗过程指导等离子清洗机 的清洗过程一般包括以下步骤:1. 准备工作:先将待清洗物放入等离子清洗室,并确保清洗室内没有杂物和污垢。2. 封闭清洗室:关闭清洗室的门和密封装置,确保清洗室密封。3. 抽气和抽真空:打开真空泵,将清洗室内的气体抽走,形成一定的真空度。真空度的选择根据清洗物的要求和等离子清洗机的规格来确定。4. 气体进入和等离子放电:在清洗室内引入清洗气体(如氧气、氮气等)并调整流量和压力。然后启动等离子发生器,产生等离子放电,形成气体等离子体。5. 清洗时间和功率:根据清洗物的材料和污染程度,设定适当的清洗时间和功率。清洗时间通常为几分钟到几十分钟,功率通常为几十瓦到几千瓦。6. 清洗结束和处理:清洗时间结束后,关闭等离子发生器和抽真空泵。待等离子体消失后,打开清洗室门,将清洗物取出。7. 清洗室清理和维护:清理清洗室内壁、电极和密封件,并检查设备的各种部件是否正常。需要注意的是,在进行等离子清洗时,应根据具体情况选择合适的清洗参数,如气体种类、流量、压力、功率等,在操作过程中要遵循设备使用说明书和安全操作规范,确保操作安全和清洗效果。
  • 深圳市普仕曼发布PSM /等离子清洗机/ PR1000B新品
    p style="text-align: justify text-indent: 2em "近日,深圳市普仕曼科技有限公司发布PSM /等离子清洗机/ PR1000B新品,该设备为射流型大气低温等离子处理机(旋转型),可以针对三维物体进行均匀高效的表面清洁处理和表面活化。在表面清洗方面,可以进行粘接、锡焊、电镀前的表面处理,适用于手机盖板、摄像头模组;汽车密封条、灯罩、刹车片等;PCB板除胶、LCD屏涂覆处理等。在表面活化方面,可以进行生物材料的表面修饰,电线电缆表面喷码,塑料表面涂覆,金属基材的表面清洁活化,印刷涂布或粘接前的表面处理。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "该设备设备具有可靠的系统性能,系统设备可实行自检以及全面过程的状态及参量监测、监控,并报警保护。灵活的控制方式,可实现主机面板控制、远程控制;也可实现人工控制,或自动化在线控制方式。适合多种使用场合 ,多种喷射枪嘴选用,可适合多种的处理应用场合。/pp style="text-align:center"img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201906/pic/47eb032d-5c4b-42fc-8814-994df399d1de.jpg!w400x400.jpg" alt="PSM /等离子清洗机/ PR1000B"//pp style="margin: 15px 0px padding: 0px line-height: 30px background: rgb(255, 255, 255) text-indent: 0em "span style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"span style="font-family:微软雅黑"主机规格:/span/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"285/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"mm (W) × /spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"275/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"mm (H)× /spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"45/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"0mm (D )/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"br//spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"span style="font-family:微软雅黑"电源系统:/spanAC220V(± 20%)(自主研发)/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"br//spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"span style="font-family:微软雅黑"功率:/span /spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"1000/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"span style="font-family:微软雅黑"VA/span/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"(可调)/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"br//spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"span style="font-family:微软雅黑"处理直径:/span/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"30-60mm,火焰长度:15mm/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"br//spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"span style="font-family:微软雅黑"主机重量:/span/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"15/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"kg/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"br//spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"span style="font-family:微软雅黑"使用温度范围:-/span10℃~+40℃/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"br//spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"span style="font-family:微软雅黑"进/span/spanspan style="font-family: 微软雅黑 color: rgb(51, 51, 51) letter-spacing: 0 font-size: 16px"span style="font-family:微软雅黑"气压力:/span 0.3~0.5MPa/span/p
  • 等离子清洗机如何助力动力电池发展?
    近日,小米汽车SU7正式亮相,在电池安全方面,小米采用全球最高电池安全标准,全系采用高安全的电芯。另外,小米SU7上市27分钟大定超5万台,十分火爆。*图片源自小米汽车视频号,侵删在新能源汽车行业迅猛发展的当下,800V及以上高电压平台车型的兴起,电池安全也成为汽车制造商和消费者的核心关注点。一、PET蓝膜 vs UV涂覆绝缘材料电池绝缘材料作为电池安全的重要屏障,对于电池模组性能乃至整车性能都有着关键作用。在电池生产过程中,PET蓝膜以其良好的绝缘性、化学抗性和拉伸强度备受青睐,PET蓝膜贴合一直以来都是主流的绝缘方案。然而,随着新能源汽车对电池性能的要求提高,PET蓝膜逐渐显现出其局限性,蓝膜粘接性能不足,且在高电压下容易产生击穿风险,对于电池安全而言是一大隐患。为优化单体电池乃至整个电池模组的性能,UV涂覆绝缘材料应运而生。这种材料不仅具备良好的绝缘性、耐高温性和耐腐蚀性,还具备与电池完美结合的能力,能够为电池提供更为全面的保护,有效防止短路和热失控的风险。而UV涂覆绝缘材料也因此被认为在动力电池领域具有广泛的应用前景。*图片源自网络,侵删UV涂覆绝缘材料喷涂固化后,会在电芯铝壳表面形成一层连续、致密的绝缘涂层,可以提高电芯的耐久性和稳定性,延长使用寿命。同时,为了使得UV涂覆绝缘材料可以更好地与电芯铝壳表面结合,等离子表面预处理的作用不容小觑。二、等离子表面处理在喷涂UV绝缘材料之前,通过等离子表面处理可以粗化电芯铝壳表面,提高其表面附着力,使其更有利于UV绝缘材料的涂覆和固化,有助于防止涂层在使用过程中出现脱落或剥离,进一步提高电池的安全性和可靠性。大气等离子清洗机应用案例经过等离子处理前后接触角的数据对比可以看出,电芯铝壳表面润湿性得到提高,保证后续UV绝缘材料能够更均匀地分布。大气等离子清洗机,适用于各种平面材料清洗,在动力电池领域,可搭配旋转枪头使用,有效粗化材料表面,提高表面附着力和润湿性。
  • CIF发布CIF扫描电镜等离子清洗机新品
    CIF扫描电镜等离子清洗机CIF 扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计,并可自动切换,一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。产品特点u 双等离子清洗源u 一机多用u 高效低损伤技术参数产品型号CIF-SEM法兰接口KF40工作气压0.3-3Pa等离子电源13.56MHz射频电源,射频功率5-100W可调,自动匹配器气体控制标配双路50毫升/分气体质量流量控制器(MFC),精确测量自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响气源选择根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择真空控制美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计, 测量范围1E-5Torr真空保证真空计和电磁阀安全互锁操控方式7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面电源/功率220V,50/60Hz,300W可选配件可选氧气、氮气、氢气发生器, 氢气纯度﹥99.999%,输出流量0-300ml/min 质量保证二年质保,终身维护创新点:CIF 扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用双等离子清洗源设计,自动切换,一机多用,清洗快速高效、低等离子体轰击损伤,核心部件采用国际一流品牌,保证设备优异的质量和稳定性。CIF扫描电镜等离子清洗机
  • 速普仪器发布【SuPro】离子清洗仪IC150新品
    采用进口品牌高性能真空干泵产生一个洁净的 50 Pa的真空压强,通常抽真空时间小于2-3分钟。采用高品质恒功率RF射频电源,确保工艺重复性。感应射频放电模式也大幅降低等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤。特别适用于对温度或轰击敏感的TEM或SEM生物样品进行清洗、表面活化、亲水化等用途。触摸屏自动控制,即插即用。创新点:1.采用高性能无油隔膜泵,抽真空及等离子处理过程中不会产生二次有机污染物;2.采用ICP远程离子源,使等离子体严格束缚于离子源表面,达到样品表面起清洗作用的是氧活性原子及臭氧分子;3.清洗或活化过程是纯化学反应过程(没有物理溅射作用);即与样品表面有机污染物(碳氢化合物)发生化学反应,生成CO2,CO,H2O并被真空泵组抽出;最终实现样品表面有机污染物清洗之目的。【SuPro】离子清洗仪IC150
  • 不锈钢等离子清洗效果评估|钢板表面油脂污染情况检测方案表面残留油污检测仪
    不锈钢等离子清洗效果评估|钢板表面油脂污染情况检测方案测试说明客户:德国Relyon Plasma公司样品:不锈钢板测量设备:析塔清洁度仪FluoScan 3D污染物:福斯溶剂型防锈油Fuchs Anticorit MKR 4目标采用荧光法测量不锈钢表面污染情况,检查等离子清洗的效果及其影响参数。操作过程首先,将不锈钢板放在60°C的超声波清洗槽中,使用碱性清洗剂清洗15分钟,然后用去离子水彻底冲洗并干燥不锈钢板。随后,在不锈钢板上滴一滴Anticorit MKR 4防腐蚀油,并用实验室用布擦拭。然后,使用析塔FluoScan 3D清洁度检测仪,采用荧光法,高分辨率扫描钢板,检测钢板上的防腐蚀油分布。荧光法是一种对油膜厚度敏感的测量,测试结果以RFU(相对荧光单位)显示,RFU值越低,表面越干净。等离子清洗对于等离子体清洗,手持等离子体设置piezobrush PZ3被连接到析塔SITA FluoScan 3D(自动检测清洁度的测试台)的移动轴上,使得可以通过自动化进行等离子清洗处理。piezobrush PZ3在测试板上以编程的移动路径移动,同时等离子体以恒定的移动速度开启,并与钢板表面保持恒定的距离。为了说明速度(清洗时间)的影响,首先以2.5mm/s的速度进行处理,然后在清洗时间一半的位置上,以5mm/s的速度进行处理。测量结果图1:未清洗的不锈钢板上的荧光测量结果图2:等离子清洗后的不锈钢板上的荧光测量结果结论荧光测量的结果表明,使用等离子清洗的两个区域比钢板的其他部分干净很多。清洗时间越长,清洗效果越好。荧光法适用于在等离子清洗后轻松和快速地监测清洗结果,通过测量可以确定影响等离子清洗的参数,达到最佳的清洗效果,同时降低成本。使用析塔FluoScan 3D清洁度仪自动检测测量零件清洁度,高分辨率扫描零件,最终以图像化呈现零件污染程度不同的区域。析塔FluoScan 3D自动表面清洁度检测仪广泛运用在不同的清洗工艺(水基、溶剂、激光、等离子.....),可以灵活应用在实验室或生产车间。翁开尔是德国析塔中国独家代理商,欢迎致电咨询析塔自动清洁度检测系统。
  • 等离子如何提升太阳能光伏板封装可靠性
    等离子清洗机提升太阳能光伏板封装可靠性2017年,习近平总书记在党的十九大报告中提出,必须树立和践行“绿水青山就是金山银山”的理念,站在人与自然和谐共生的高度谋发展。生态环境是人类生存发展的根基,通过清洁能源的开发使用,才能做好保护生态环境,走好绿色发展之路。一、清洁能源之太阳能光伏一般情况,太阳能光伏板的使用环境较为苛刻,而国家规定光伏电站的设计使用寿命是25年,因此太阳能光伏组件封装的可靠性就显得尤为重要。光伏产业流程中,哪些环节会影响最终的封装效果呢? 二、光伏产业流程 显而易见,中游太阳能光伏板制程中,背板可靠性、压层件工艺、整体光伏组件封装工艺等,均是影响太阳能光伏板封装可靠性的重要因素。下面我们来了解,如何使用等离子技术,提高太阳能光伏组件封装可靠性!三、等离子提升太阳能光伏板封装可靠性太阳能光伏板在生产过程中,存在大量涂覆、复合、粘接、热压等工艺,使用等离子技术活化后,可以有效提高材料表面的润湿性,从而提升整体封装效果。01 等离子提升光伏背板可靠性太阳能背板需具备优越的耐候性、高绝缘性以及低水透性能。含氟材料的耐候性、斥水赤油性能,能很好的满足这一要求,但斥水斥油性不利于与基材复合,因此在与基材(PET)涂覆/复合前,使用等离子清洗,可有效提高含氟材料与基材涂覆/复合的可靠性。02 等离子提升光伏压层件工艺可靠性 压层件工艺中,使用等离子清洗机对光伏玻璃表面和底板上的氟膜进行表面处理,能更好的与EVA结合,提高压层件各组件的结合强度。03 等离子提升“组件”工艺可靠性压层件完成后,加上边框、密封胶、接线盒,就完成了我们的主体“太阳能光伏板”的制作。在这一环节,使用等离子清洗机对边框进行处理,从理论上讲,对密封效果也会有一定程度的提升。后续加上逆变器、汇流箱、支架、蓄电池等,一个整体的光伏系统就可以完成啦。
  • 光伏太阳能电池-等离子表面处理和USC干式除尘的关键作用
    光伏电池又称太阳能电池,是一种直接将光能转化为电能的半导体薄片。*光伏电池(图源网络,侵删)其中,基板作为光伏电池的主要组成部分之一,其表面性能和洁净度直接关系到电池的光电转换效率和稳定性。光伏太阳能电池等离子处理、除尘解决方案在光伏电池制程中,等离子表面处理可用于玻璃基板表面活化,阳极表面改性,涂保护膜前处理等,在提高光伏元件表面亲水性、附着力等方面具有显著的优势。*光伏电池结构(图片来源:灼识咨询,侵删)同时,需要解决光伏电池制程中的尘埃污染问题。浮尘颗粒会附着在基材表面,不仅影响光电转换效率,还可能引发电池内部故障。*光伏电池工艺制程(资料来源:灼识咨询、中泰证券,侵删)因此,在光伏电池制程中,需要对光伏元件进行表面活化和除尘处理,增强基板表面附着力和洁净度,提升电池的稳定性。大气等离子应用案例通过等离子表面活化,可以提高玻璃基板表面亲水性,有效优化表面附着力,提升电池的稳定性和品质,从而改善器件的性能。等离子处理玻璃基板*光伏原片玻璃(图片来源:江西赣悦新材料,侵删)USC干式超声波除尘应用案例通过USC干式超声波除尘清洗机清除基板上的浮尘,可以提高光伏电池的性能和稳定性。除尘率可达97-99%光伏电池基板除尘光伏太阳能电池领域应用设备1、 大气等离子清洗机SPA-5800具有强大的数据处理功能,实现设备数字化控制,可对接客户产线,有效减低生产成本。✅ 支持数字通信接口和模拟通信接口✅ 搭载进口ARM芯片,实现功率自匹配✅ 具有十余种故障报警功能,故障率低2、 中频宽幅等离子清洗机适用于各种平面材料的清洗活化,可装配不同长度等离子枪头,可客制化流水线设备。✅ 等离子体均匀✅ 电源设计兼容性充足,输出功率范围大✅ 软件/硬件多重保护,安全可靠3、 在线式干式超声波除尘清洗机集除尘、除静电为一体的在线式除尘设备。配有真空吸附移动平台、内部洁净系统,不会对洁净室造成2次污染。✅ 非接触式除尘,产品无损伤✅ 闭环系统,不造成2次污染✅ 以空气作为除尘媒介物质,无需水、溶剂、干燥等过程4、 接触角测量仪SDC-200S光伏电池制备中对于基板表面的润湿性能具有一定的要求,SDC-200S具有全面、完整、精准的拟合测量法,可用于光伏电池基材表面润湿性能检测。✅ 变焦变倍镜头,成像清晰✅ 自动注液系统✅ 可自动生成报告
  • 西安光机所等在激光等离子体光谱研究中获进展
    近日,中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室汤洁研究员课题组联合美国劳伦斯伯克利国家实验室教授Vassilia Zorba团队,在激光等离子体光谱研究领域取得重要进展。相关研究成果发表在Cell Reports Physical Science上。激光诱导击穿光谱(LIBS)是基于原子发射光谱学的元素分析技术,在多元素分析、实时快速原位测量等方面具备优势,且在定性识别物质与定量物质成分分析等领域具有重要的应用前景。目前,该技术在深空深海探测、地质勘探、生物医药以及环境监测等领域广泛应用。D-LIBS即放电辅助LIBS技术,通常是将火花放电或电弧放电与LIBS技术相结合来实现。以上两种放电模式具有放电功率密度大和电子数密度高的特点,在辅助元素定性和定量分析方面具有独特的技术优势。因此,利用放电辅助可以显著增强LIBS信号强度,从而达到提高分析灵敏度的目的。然而,D-LIBS在放电时电能消耗过大,同时从交变电压和电流中产生电磁脉冲,导致能源浪费和环境污染相关问题。这一负面因素加大了安全隐患和运行风险,更不利于社会倡导的节能减排和环境保护要求,进而限制了D-LIBS技术的进一步应用。因此,开发一种“两低一高”(低环境危害、低能耗、高分析灵敏度)的D-LIBS技术仍是物质分析领域中难度较大的挑战。针对上述问题,该团队提出离子动力学调制方法,对克服传统D-LIBS放电能耗大、安全风险高、环境危害大等不利因素,同时提高分析灵敏度具有显著改善效果。该工作借助这一方法,合理优化电极配置,有序调控放电模式,在有效增强光谱信号强度的同时,大幅降低放电能耗。关键创新点在于:(1)首次提出并利用激光诱导等离子体冲击波与外加电场空间零弧度耦合方式,实现有效放电区域全方位覆盖激光等离子体中粒子的扩散方向,离子的动力学特征从原始的向外扩散变更为放电空间内阳极和阴极之间的漂移运动。这种调制使得大部分离子被抓捕、约束在有效放电空间内,促进电能与激光等离子体耦合,大幅降低放电能耗。(2)突破传统D-LIBS方法,即仅在电容器放电过程中辅助LIBS,将放电增强LIBS拓展到电容器放电和充电的两个过程。采用直流电源与充电电容共同作用等离子体间隙的策略,使约束的带电粒子在电容放电结束后继续在电极之间漂移,并在毫秒尺度维持带电粒子电迁移运动特性,大幅延长等离子体寿命,进而实现火花和电弧放电的有序调控以及原子和离子光谱信号的选择性增强。上述研究有效解决了在D-LIBS中同时具备“两低一高”特性的关键技术难题。实验测试结果表明:与传统D-LIBS对比,该成果对于非平坦样品实现了在维持光谱信号2个数量级提升情况下,放电能耗降低了约1个数量级。结合经改进的小波变换降噪方法,D-LIBS中谱线信噪比、信背比以及稳定性相比原光谱均获得了显著提升。微量元素(Mg)的检出限从近百ppm降低至亚ppm量级。此外,与传统D-LIBS及其他LIBS增强技术相比,微量元素(Mg、Si)探测灵敏度提高近2个数量级。该研究有助于推动节能环保建设以及D-LIBS的广泛应用,同时,在低烧蚀激光功率密度的极端条件下,为D-LIBS微量或痕量元素定性与定量分析提供了有力的理论依据和技术支撑。研究工作得到国家自然科学基金、陕西省自然科学基金、瞬态光学与光子技术国家重点实验室自主课题、中科院光谱成像技术重点实验室开放基金等的支持。离子动力学调制LIBS增强原理和思路
  • 速普仪器发布【SuPro】离子清洗笔P5新品
    P5等离子笔是一种便携手持大气冷等离子发生器,不需要外部气体供应,只需将其插电即可开始清洗!特别适用于实验室样品表面的有机污染物等离子清洗、亲水化处理和表面改性。比如扫描电镜SEM样品观测前处理等用途。创新点:1.便携性,可随身携带;2.可以用外接220V民用电,亦可使用充电宝提供电源,插电即可开始清洗;3.手持大气冷等离子发生器,无需外部气体供应;4.特别适用于实验室样品表面的有机污染物等离子清洗、亲水化处理和表面改性。【SuPro】离子清洗笔P5
  • 石墨烯缺陷工程的重要一员——表面等离子体激元反射
    石墨烯是近年来受到广泛关注的二维材料,具有特的物理化学性质,在信号传感、物质检测、和能源电池领域都有着广阔的应用前景。2016年9月,南开大学许京军、蔡卫老师研究团队在国际期刊 2D Materials上公开发表题为“Tailorable re?ection of surface plasmons in defect engineered graphene”的全文文章,通过探讨缺陷改变石墨烯光、电、热性质的可能性,提出了对石墨烯纳米尺度下的等离子激元性质进行操控的思路,为未来纳米光电设备的实现开辟新篇。(a) NeaSNOM测量原理示意图 (b)NeaSNOM的AFM成像显示了石墨烯缺陷处的形貌结构 (c)NeaSNOM的纳米显微光学成像展示了该区域的表面等离子波传播图样许京军、蔡卫老师研究团队先设计了离子束对石墨烯缺陷边界的操控可行性,并通过AFM等常规测量手段对这一设想进行了重复验证,检验其可行性。该研究团队对石墨烯表面等离子波在缺陷边界的传播进行了深入研究,通过NeaSNOM提供的可靠等离子激元成像手段,他们近场等离子激元成像图中观测到了靠近边界的明显干涉条纹。通过典型的石墨烯楔形结构,边界处的等离子激元的有效散射波通过操控的缺陷得到了大的增强。在缺陷边界处的等离子激元反射次得到清晰观测,证实了这些缺陷在表面等离子波传播中散射中心的作用。不同程度缺陷石墨烯中等离子激元传播和反射的研究在入射激光波长为10.653um下,不同程度缺陷石墨烯中等离子激元传播和反射的研究。其中,等离子激元干涉峰值被定义为M,在边界处衰减比例为0.28,实验结果与理论数值得到了很好的拟合。该研究团队证明了通过引入离子束在石墨烯缺陷边界处改变等离子激元的反射的结论,他们认为缺陷可以作为有效的等离子激元传播散射中心,通过缺陷程度的控制可以实现对等离子激元的操控,这一研究结果有效开创了控制表面等离子波的新篇章。参考文献:Luo W, Cai W, Wu W, et al. Tailorable reflection of surface plasmons in defect engineered graphene[J]. 2D Materials, 2016, 3(4): 045001.本文涉及的研究过程及实验结果均以原著作为准。相关产品:超高分辨散射式近场光学显微镜:http://www.instrument.com.cn/netshow/C170040.htm纳米傅里叶红外光谱仪Nano-FTIR:http://www.instrument.com.cn/netshow/C194218.htm
  • 稷以科技完成亿元级D轮融资,深耕等离子设备领域
    近日,上海稷以科技有限公司(以下简称“稷以科技”)宣布完成亿元级D轮融资。临港科创投、俱成投资、旭诺资本、鹏汇投资等共同投资。稷以科技成立于2015年,是一家专注于等离子体技术应用的半导体设备公司,为业内提供一流的等离子体应用整体解决方案,主要应用于化合物半导体制造、硅基半导体制造、半导体封装、LED 芯片、汽车电子等领域。公司核心团队人员均来自国内外半导体行业领军公司,团队经验丰富,在技术研发、应用、销售以及客户技术支持上都具备全方位的行业竞争力。稷以科技旗下多款设备包括“Triton”、“Hesita”、“Patron”、“Virgo”、“Mars”、“Metis”等,可用于化合物芯片、硅基半导体、晶圆级封装、传统封装、LED等行业的去胶、清洗、表面处理等多种工艺,设备在众多性能以及工艺方面超过海外龙头企业,打破了海外厂商垄断的局面。目前稷以科技的各类型设备已经进入传统芯片封装、LED芯片、先进芯片封装、化合物半导体制造、硅基半导体制造等领域的头部公司,获得大量订单。本次融资后,稷以科技将继续深耕等离子设备领域,同步从等离子体去胶、刻蚀拓展到成膜设备领域,致力于为客户提供更加丰富的解决方案,力争成为半导体行业特色设备的龙头。半导体设备是支撑半导体行业发展的基石,也是半导体产业链上游环节中市场空间广阔、战略价值最重要的环节之一。长期以来,中国大陆的半导体设备市场一直被海外厂商所垄断,主要的半导体设备国产化率普遍较低。随着美国对中国大陆的半导体产业进行针对性制裁,尤其是今年以来限制美国半导体设备厂商向大陆出售14nm及以下制程的设备,迫使国内半导体设备产业坚定不移向全面国产化奋进。发展独立自主的半导体设备产业,推动国产设备厂商替代海外厂商,成为了当前半导体行业发展最迫切的任务。
  • 等离子体修饰碳纳米管在污染物处理方面取得进展
    低温等离子改性接枝是一种处理时间短、不产生化学污染、不破坏材料的整体体积结构、仅仅改变材料表面性能的处理技术。近年来,等离子体所“低温等离子体应用研究室”陈长伦、邵大冬、胡君、王祥科等所在的课题组利用低温等离子体技术对碳纳米管进行表面修饰改性组装,克服了碳纳米管的难溶性带来的制约等问题,大为提高了其实际应用程度。  该课题组在用低温等离子体技术对碳纳米管进行改性组装后,将其应用于环境污染物检测和治理研究方面,取得了一系列成果。  一是分别利用Ar/H2O,Ar/NH3,Ar/O2微波等离子体对碳纳米管进行表面处理,使其表面引入含氧、含氨基等功能基团,提高了碳纳米管的亲水性和分散性,使其可制备纳米溶液。这些经过处理的(表面修饰的)功能化材料对改善碳纳米管在生物、环境污染物吸附等方面,具有很好的应用前景。部分研究结果发表在Applied Physics Letter (2010, 96, 131504) Carbon (2010, 48, 939-948) The Journal of Physical Chemistry C (2009, 113, 7659-7665) Diamond & Related Materials (in press) 并受邀请在国际会议上做2次口头报告。  二是利用N2射频等离子体对碳纳米管表面进行活化处理,然后接枝上有机单体和天然高分子材料,制备碳纳米管/有机物复合材料。等离子体制备的复合材料表面具有各种功能基团,这些功能基团对持久性有机污染物(POPs)、有毒有害的重金属离子、放射性核素具有强的吸附、络合能力,因而提高了复合材料对污染物的吸附能力。部分研究结果发表在The Journal of Physical Chemistry B (2009, 113, 860-864) Chemosphere (2010, 79, 679-685) Plasma Processes and Polymers (in press,并被选为封面)。  三是碳纳米管由于尺度小,使其在吸附处理有机/无机污染物后,在回收和循环利用纳米材料方面具有很大的难度。采用传统的离心法需要高的转速,过滤法易导致过滤膜堵塞,如果吸附污染物的碳纳米管进入环境,会产生二次污染。针对上述问题,该课题组采用溶胶—凝胶法,首先在碳纳米管上组装上铁氧化物,然后利用N2射频等离子体对碳纳米管/铁氧化物表面进行活化处理,接枝上有机单体和天然大分子材料,制备出磁性多重复合纳米材料,该磁性复合纳米材料不仅具有高的吸附性能,且磁分离技术可以简单方便地把磁性复合纳米材料从溶液中分离出来,解决了固液分离的难题,同时可以大量的应用到实际工作中。部分相关研究成果发表在Environmental Science and Technology (2009,43,2362-2367) Journal of Hazard Material (2009,164, 923-928) Journal of Physical Chemistry B (jp-2009-11424k)。  该工作得到了国家自然科学基金,科技部973重大研究计划“面向持久性有毒污染物痕量检测与治理的纳米材料应用基础”,中科院合肥物质科学研究院重大项目,合肥研究院人才项目和火花项目,中科院新型薄膜太阳能电池重点实验室基金等经费的支持。
  • CIF发布CIF透射电镜样品杆清洗机新品
    CIF透射电镜样品杆清洗机CIF透射电镜(TEM)样品杆清洗机采用双等离子清洗源设计,自动切换,一机多用,清洗快速高效。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途。产品特点u 双等离子清洗源u 一机多用u 快速高效低损伤 技术参数产品型号CIF-TEM真空泵Agilent 、IDP-3涡轮式真空干泵入口压力1.0个大气压(0psig),出口压力1.4个大气压(6.5psig)抽速60L/min,极限真空3.3 x 10-1 mbarKF16入口接口等离子电源13.56MHz等离子射频电源,射频功率5-100W可调两种等离子体清洗源,原位等离子源和远程等离子源,自动匹配器清洗室清洗室尺寸(长X宽X高)150X150X150mm清洗数量可同时清洗3支TEM样品杆适配品牌THERMO FISHER(FEI)、日立HITACHI、捷欧路JEOL气体控制标配双路50毫升/分气体质量流量控制器(MFC),精确测量自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响气源选择根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择真空控制美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计, 测量范围1E-5Torr真空保证真空计和电磁阀安全互锁操控方式7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面电源220V,50/60Hz,300W质量保证二年质保,终身维护创新点:CIF透射电镜(TEM)样品杆清洗机采用双等离子清洗源设计,自动切换,一机多用,清洗快速高效、低等离子体轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。核心部件采用国际一流品牌,保证设备优异的质量和稳定性。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途。CIF透射电镜样品杆清洗机
  • 前十月进口额远超去年全年:等离子体干法刻蚀机海关进口数据分析
    自美国提出终断该国企业与华为多年的芯片供应以来,研制中国自己的国产芯片提上了我国的发展日程,也是当前中国市场最为紧迫的一项技术,关于芯片技术发展的讨论不仅在专业领域盛行,也成为了普通民众议论的焦点所在。而芯片的制造离不开刻蚀设备,其中等离子体刻蚀机更是先进制程中必不可少的设备,是重中之重。2021年是“十四五”开局之年,中国政府也推出了一系列激励政策来鼓励半导体产业发展,明确了半导体产业在产业升级中的重要地位,同时全球自2020年爆发的“芯片荒”在全球范围内愈演愈烈,却迟迟得不到缓解,各行各业都受到了一定的影响,受此影响包括仪器产业、新能源产业等在内的诸多产业都面临产品涨价、缺货的危机。危中有机,全球半导体行业的巨震却是中国半导体产业的发展契机。通过分析海关等离子体刻蚀机的进口情况,可以从一个侧面反映出中国等离子体刻蚀机市场的一些情况,进而了解到中国半导体产业的一些情况。为了解过去2021年中等离子体刻蚀机的进出口情况,仪器信息网特别对2021年1-10月,等离子体干法刻蚀机(商品编码84862041)进口数据进行了分析汇总,为大家了解中国目前等离子体刻蚀机市场做一个参考。2021年1-10月进口等离子体刻蚀机贸易伙伴变化(人民币/万元)贸易伙伴进口额(元)进口数量(台)均价(元/台)美国777014343651615058418日本621252727637416611035韩国328231684432710037666中国台湾18771365038921091421新加坡181269896211316041584马来西亚17790801177723104937英国544211135786977066德国203676120414967710中国1296367043240918荷兰632916423164582法国415082322075412波兰643071643072021年1-10月各贸易伙伴进口总额(人民币/元)2021年1-10月,中国进口等离子体干法刻蚀机总额约235亿元,总台数达1624台,其中美国进口金额最多约78亿元,台数达516台,占比高达33%,日本进口金额紧随其后约62亿元,374台,占比达26%。可以看出,目前等离子体刻蚀机主要来自于美国和日本,进口均价都超1500万元/台,此类等离子体刻蚀机以高端产品为主,主要用于生产。值得注意的是,波兰进口的一台等离子体刻蚀机仅6万多元,此设备可能是用于科研领域的低端产品或配件。从此前统计的【2020年等离子体刻蚀机海关进出口数据盘点】可以看出,2020年1-12月,我国共进口等离子体刻蚀机1276台,进口额约为170亿元,而今年仅前十个月就已超去年全年的进口额。这表明,今年我国晶圆代工厂的建设热度不减,这也和如今的半导体投资热、芯片荒有关。2021年1-10月等离子体干法刻蚀机进口数据(人民币/万元)从进口额的时间变化趋势可以看出,等离子体刻蚀机进口额在4-6月出现了一个高峰,进口额连续大幅度增长,而在七月份却断崖式下跌,直到回归正常水平。这一变化可能和疫情有关,在夏季全球疫情由于气温上升得到缓解,海关进口更畅通,而春秋季节气温较低,全球疫情出现反复。另一个可能的原因是海运费用暴涨导致六月以后进口额降低。2021年1-10月等离子体刻蚀机各注册地进口数据变化(单位/万元)2021年1-10月等离子体干法刻蚀机注册地进口额分布那么这些等离子体刻蚀机主要销往何处?通过对进口数据的注册地进行分析发现,陕西省、上海市和湖北省的进口额最多,分别为54亿元、43亿元和41亿元。等离子体刻蚀机主要应用于集成电路生产中,这表明这些地区在新建或改造集成电路生产线上投入较大,对等离子体刻蚀机的需求也在激增。我国在1-10月从韩国进口等离子体刻蚀机总额约33亿元,其中注册地为陕西省的进口额约19亿元,占比约59%。这表明,陕西省等离子体刻蚀机的进口可能和三星等韩国企业在西安的半导体生产线有关。
  • 新品发布!喜瓶者全自动酸蒸清洗机,解决痕量样品瓶皿清洗难题
    痕量分析用于测定痕量元素在试样中的总浓度,和用探针技术测定痕量元素在试样中或试样表面的分布状况,主要用于测定Pb、As、Hg、Cd、Cr、Ni等痕量元素,常用方法有化学光谱法、中子活化分析法、质谱法、分光光度法、原子吸收光谱法、极谱法等多种方法。主要应用于化学、材料科学、生物医学、环境科学、表面科学等领域。洁净的样品反应容器是获得正确分析结果的前提。痕量分析所使用的微波消解罐、超级微波消解管、常压消解罐、玻璃器皿(试管、烧杯、容量瓶等)等的痕量清洗,对于实验人员来说,始终是一个非常繁琐而又非常重要的挑战。而酸蒸清洗很好地解决了这个问题。酸蒸超净清洗是一种自动、密闭、酸蒸汽清洗方法。通过内置可控温加热系统,利用酸蒸汽安全高效地对所有可溶于酸中的任何痕量金属污染物进行超净清洗,并将其留在液体酸中,绝不会接触正在清洗的反应容器。传统的清洗方式酸缸浸泡,有极大的弊端1、效率低 效果差,常常要浸泡24小时以上,需多买一套消解管周转,成本极高;2、酸缸存放困难,大量酸气渗出,污染实验室环境;3、 为避免交叉污染,需定期换酸,酸消耗量大,且危险;4、酸泡之后,还需手工冲洗和干燥,繁琐且二次污染。之后有了微波空消的清洗方式,虽摆脱了长时间酸缸浸泡,但清洗效果一般,且也有一定缺陷。1、每个消解管清洗需耗纯酸5mL;2、 高温高压条件下运行,减少一半消解管寿命,成本极高;3、 空消之后,还需手工冲洗和干燥,繁琐且二次污染;4、因脏酸始终在消解管内循环,清洗效果有限。然而现在使用全自动酸蒸清洗机进行清洗,逐渐被被各大实验室所接受:1、效率高,一批可处理多达66个55mL消解管;2、热蒸汽的高效淋洗,一般只需2-5小时,AC400清洗最快只需30分钟;3、一批只需100-300mL酸;4、程序控制,清洗重复性好;5、全自动型号还进行超纯水预清洗。以及在酸蒸清洗之后,自动纯水冲洗和热空气干燥,一条龙式流程。 全自动酸蒸清洗机,解决了痕量分析中样品反应容器的清洗难题,为实验的准确性于便捷性提供助力。喜瓶者,让清洗工作更幸福!
  • 德国在实验室制造出黑洞等离子体
    据美国物理学家组织网11月4日报道,德国马克斯普朗克核物理研究所和赫尔姆霍茨柏林中心的研究人员使用柏林同步加速器(BESSY Ⅱ)在实验室成功产生了黑洞周边的等离子体。通过该研究,之前只能在太空由人造卫星执行的天文物理实验,也可以在地面进行,诸多天文物理学难题有望得到解决。   黑洞的重力很大,会吸附一切物质。进入黑洞后,任何东西都不可能从黑洞的边界之内逃逸出来。随着被吸入的物体的温度不断升高,会产生核与电子分离的高温等离子体。  黑洞吸附物质会产生X射线,X射线反过来又会刺激其中的大量化学元素发射出具有独特线条(颜色)的X射线。分析这些线条可以帮助科学家了解更多有关黑洞附近等离子体的密度、速度和组成成分等信息。  在这个过程中,铁起了非常关键的作用。尽管铁在宇宙中的储量并不如更轻的氢和氦丰富,但是,它能够更好地吸收和重新发射出X射线,发射出的光子因此也比其他更轻的原子发射出的光子具有更高的能量、更短的波长(使得其具有不同的颜色)。  铁发射出的X射线在穿过黑洞周围的介质时也会被吸收。在这个所谓的光离化过程中,铁原子通常会经历几次电离,其包含的26个电子中有超过一半会被去除,最终产生带电离子,带电离子聚集成为等离子体。而现在,研究人员在实验室中重现了这个过程。  实验的核心是马克斯普朗克核物理研究所设计的电子束离子阱。在这个离子阱中,铁原子经由一束强烈的电子束加热,从而被离子化14次。实验过程如下:一团铁离子(仅仅几厘米长并且像头发丝一样薄)在磁场和电场的作用下被悬停在一个超高真空内,同步加速器发射出的X射线的光子能量被一台精确性超高的“单色仪”挑选出来,作为一束很薄但却集中的光束施加到铁离子上。  实验室测量到的光谱线与钱德拉X射线天文台和牛顿X射线多镜望远镜所观测的结果相匹配。也就是说,研究人员在地面实验室人为制造出了太空中的黑洞等离子体。  这种新奇的方法将带电离子的离子阱和同步加速器辐射源结合在一起,让人们可以更好地了解黑洞周围的等离子体或者活跃的星系核。研究人员希望,将EBIT分光检查镜和更清晰的第三代(2009年开始在德国汉堡运行的同步辐射源PETRAⅢ)、第四代(X射线自由电子激光XFEL)X射线源结合,将能够给该研究领域带来更多新鲜活力。
  • 液质常见问题解析 | 如何清洗离子传输毛细管
    当您的仪器长期运行样品,可能会导致传输毛细管污染,典型现象是【调谐液各个离子灵敏度普遍下降,特别是低端离子】。安捷伦仪器目前有三种毛细管 ,请先辨别清楚您的毛细管是哪种,适用不同的清洗方法:如何清洗离子传输导电毛细管导电毛细管六孔导电毛细管(适用G6495/G6550仪器,9cm长)对于快速切换导电毛细管(包括上图两种),我们推荐下面步骤清洗:需要的工具:Alconox清洁粉末(随新仪器附带),100 mL量筒,天平,超声清洗仪,1mL移液枪头,18MΩ 高纯水等。清洗步骤:1. 称取一克Alconox清洁粉末置100 mL洁净的量筒中(建议使用聚丙烯量筒), 用高纯水充分溶解。如溶解困难,可超声使溶解。2. 如果使用聚丙烯量筒的话,可以直接将毛细管放入量筒中。如果使用玻璃量筒的话,请将毛细管两头用1 mL的移液枪枪头套住,并将枪头前端剪去如下图所示。这样可以保护毛细管在超声清洗的时候不会直接碰到玻璃量筒壁,防止毛细管破碎。3. 将毛细管竖直放入充满Alconox溶液的量筒中,确保液面没过毛细管。超声清洗5min。如果液面无法没过毛细管的话,请适量添加一些高纯水。4. 拔掉移液枪枪头,用高纯水冲洗毛细管。5. 用一个1mL的移液枪头紧紧套住毛细管的一端,然后用注射器抽吸高纯水,拔掉注射器针头,通过移液枪头处冲洗毛细管内壁。反复多次,以确保清洗剂充分冲洗干净。6. 用甲醇冲洗毛细管外表面,并用甲醇置换掉毛细管内孔的水。自然晾干。重新安装毛细管,开机。如何清洗离子传输经典透明毛细管经典玻璃透明毛细管这种毛细管可以用导电毛细管的步骤进行清洗。但推荐遵循下面的步骤进行清洗。需要的工具:棉签,用于毛细管清洁的金属丝(备件号G1946-80054),色谱级甲醇或异丙醇清洗步骤:1. 用异丙醇或甲醇/水溶液湿润清洗毛细管内壁。2. 截取约50厘米长的金属丝,把两端重叠在一起,小心穿过毛细管。直到只剩最后一小圈在外面。3. 用一小团脱脂棉穿过钢丝圈。注意,注意棉花团不要太大,必须保证其可以顺利穿过毛细管。否则金属丝可能被拉断而棉花团堵塞在毛细管内,很难去除。4. 用异丙醇或甲醇/水溶液润湿小棉花团,然后小心的慢慢拉金属丝,使棉花团穿过毛细管。5. 如果发现棉签很脏,可以重复1-2次,直到棉签完全干净为止。6. 重新安装毛细管,开机。使用异丙醇润滑毛细管外表面,会使毛细管更容易插入。后注:对于六孔导电毛细管 ,是有方向性的,标有黑色圆环一端是前端;其他毛细管在新毛细管安装时无方向性,但对于日常清洗毛细管时,建议拆下来时哪一端在前,安装时也要相同方向。收看安捷伦售后直播 学习工程师视角的“冷知识”
  • 牛津最新等离子技术App可用于等离子体刻蚀和沉积
    牛津仪器等离子技术最近更新的App包括一个明确和互动的元素周期表、详细的等离子体、离子束和原子层沉积工艺信息。它允许iPhone和iPad用户查阅工艺化学的相关信息,可以通过简单的周期表界面实现任何材料的刻蚀和沉积。  这个周期表App可以免费下载,将吸引大量的工业和学术界的用户。同时,它也是一个优秀的教学设备,可以展示单个元素属性和电子构型。
  • 正安县中医院180.00万元采购切割机,空气压缩机,超声波清洗器
    详细信息 正安县中医院消毒中心设备购置项目采购公告 贵州省-遵义市-正安县 状态:公告 更新时间: 2024-03-07 招标文件: 附件1 附件2 项目概况 正安县中医院消毒中心设备购置项目招标项目的潜在投标人应在全国公共资源交易平台(贵州省●遵义市)获取招标文件,并于2024年03月28日 10时00分(北京时间))前递交投标文件。 一、项目基本信息 项目编号:P52032420240001J2 项目名称:正安县中医院消毒中心设备购置项目 采购方式:公开招标 项目序列号:ZYB-20240307-000012-9 预算金额(元):1800000.00元 采购需求:正安县中医院消毒中心设备购置,包括电动升降传递窗5台,单槽污物清洗槽4个,器械清洗喷枪2把,超声波清洗机1台,内镜清洗工作站1个,洗衣机1台,清洗工作台1个,医用干燥柜1个,快速式全自动清洗消毒器2台,超声波清洗机1台,器械检查打包台3个,脉动真空灭菌器1台,包布检查打包台2个,移动式货架10个,医用封口机1台,纸袋切割机1台,过氧化氢低温等离子体灭菌器1台,空气压缩机1台,平板送物车5个,双层平台车5个,常规密封下送车4个,消毒供应中心装修1项。 标项一 标项名称:正安县中医院消毒中心设备购置项目 数量:批 预算金额(元):1800000.00 最高限价(元):1800000.00 保证金金额(元):20000.00 简要规格描述或项目基本概况介绍、用途:电动升降传递窗 5 台,单槽污物清洗槽 4 个,器械清洗喷枪 2 把,超声波清洗机 1 台,内镜清洗工作站 1 个,洗衣机 1台,清洗工作台 1 个,医用干燥柜 1 个,快速式全自动清洗消毒器 2 台,超声波清洗机 1 台,器械检查打包台 3 个,脉动真空灭菌器 1台,包布检查打包台 2 个,移动式货架 10 个,医用封口机 1 台,纸袋切割机 1 台,过氧化氢低温等离子体灭菌器 1 台,空气压缩机 1 台,平板送物车 5 个,双层平台车 5 个,常规密封下送车 4 个,消毒供应中心装修 1 项。 备注: 合同履约期限:合同签订后30日历天内安装调试完成。 本项目(是/否)接受联合体投标:否 二、保证金相关信息 保证金收款单位:遵义市公共资源交易中心 保证金开户银行:交通银行遵义分行厦门路支行 保证金银行账号:5230615000735640001 保证金缴纳截止时间:2024年03月28日 10时00分 三、公告发布媒体 采购公告发布媒体 四、申请人的资格要求 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定 2.落实政府采购政策需满足的资格要求:供应商应为残疾人福利企业,其他,供应商为节能产品、环境标志产品企业,供应商应为监狱企业,供应商为中小企业/小微企业 3.本项目的特定资格要求:投标人须具有有效的《医疗器械经营许可证》或第二类医疗器械经营备案凭证。 五、获取招标文件 时间:2024年03月08日 09时00分至 2024年03月18日 17时30分 地点:遵义市公共资源交易中心(遵义市新蒲新区播州大道东 100 米,遵义市政务服务中心大楼9 楼)网址:全国公共资源交易平台(贵州省﹒遵义市)电子交易服务系统http://111.122.63.26:88/TPBidder/memberLogin或省平台https://ggzy.guizhou.gov.cn/hallweb/#/login) 方式:全国公共资源交易平台 (贵州省.遵义市) 会员系统下载 售价:0元人民币(含电子文档) 六、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间:2024年03月28日 10时00分00秒 投标地点(网址):遵义市公共资源交易中心(遵义市新蒲新区播州大道东 100 米,遵义市政务服务中心大楼9 楼)网址:全国公共资源交易平台(贵州省﹒遵义市)电子交易服务系统http://111.122.63.26:88/TPBidder/memberLogin或省平台https://ggzy.guizhou.gov.cn/hallweb/#/login) 开标时间:2024年03月28日 10时00分 开标地点:916开标室 七、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 八、其他补充事宜 保证金的金额:贰万元整(20000.00元); 交纳方式:银行转账或银行保函或担保保函或保证保险 单位名称:遵义市公共资源交易中心 开户银行:交通银行遵义分行厦门路支行 帐 号:5230615000735640001 交纳时间:2024-03-08 09:00至投标截止时间前 九、对本次招标提出询问,请按以下方式联系 1、采购人信息 名称:正安县中医院 地址:正安县凤仪镇文化北路 项目联系人:张康 项目联系方式:0851-26401438 2、采购代理机构信息 名称:贵州鲁班招标代理有限公司 地址:遵义市天津路水榭花都B幢1-4-5 项目联系人:杨毓芬 项目联系方式:13508515215 交易公告.pdf 招标文件(4).pdf × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容:切割机,空气压缩机,超声波清洗器 开标时间:2024-03-28 10:00 预算金额:180.00万元 采购单位:正安县中医院 采购联系人:点击查看 采购联系方式:点击查看 招标代理机构:贵州鲁班招标代理有限公司 代理联系人:点击查看 代理联系方式:点击查看 详细信息 正安县中医院消毒中心设备购置项目采购公告 贵州省-遵义市-正安县 状态:公告 更新时间: 2024-03-07 招标文件: 附件1 附件2 项目概况 正安县中医院消毒中心设备购置项目招标项目的潜在投标人应在全国公共资源交易平台(贵州省●遵义市)获取招标文件,并于2024年03月28日 10时00分(北京时间))前递交投标文件。 一、项目基本信息 项目编号:P52032420240001J2 项目名称:正安县中医院消毒中心设备购置项目 采购方式:公开招标 项目序列号:ZYB-20240307-000012-9 预算金额(元):1800000.00元 采购需求:正安县中医院消毒中心设备购置,包括电动升降传递窗5台,单槽污物清洗槽4个,器械清洗喷枪2把,超声波清洗机1台,内镜清洗工作站1个,洗衣机1台,清洗工作台1个,医用干燥柜1个,快速式全自动清洗消毒器2台,超声波清洗机1台,器械检查打包台3个,脉动真空灭菌器1台,包布检查打包台2个,移动式货架10个,医用封口机1台,纸袋切割机1台,过氧化氢低温等离子体灭菌器1台,空气压缩机1台,平板送物车5个,双层平台车5个,常规密封下送车4个,消毒供应中心装修1项。 标项一 标项名称:正安县中医院消毒中心设备购置项目 数量:批 预算金额(元):1800000.00 最高限价(元):1800000.00 保证金金额(元):20000.00 简要规格描述或项目基本概况介绍、用途:电动升降传递窗 5 台,单槽污物清洗槽 4 个,器械清洗喷枪 2 把,超声波清洗机 1 台,内镜清洗工作站 1 个,洗衣机 1台,清洗工作台 1 个,医用干燥柜 1 个,快速式全自动清洗消毒器 2 台,超声波清洗机 1 台,器械检查打包台 3 个,脉动真空灭菌器 1台,包布检查打包台 2 个,移动式货架 10 个,医用封口机 1 台,纸袋切割机 1 台,过氧化氢低温等离子体灭菌器 1 台,空气压缩机 1 台,平板送物车 5 个,双层平台车 5 个,常规密封下送车 4 个,消毒供应中心装修 1 项。 备注: 合同履约期限:合同签订后30日历天内安装调试完成。 本项目(是/否)接受联合体投标:否 二、保证金相关信息 保证金收款单位:遵义市公共资源交易中心 保证金开户银行:交通银行遵义分行厦门路支行 保证金银行账号:5230615000735640001 保证金缴纳截止时间:2024年03月28日 10时00分 三、公告发布媒体 采购公告发布媒体 四、申请人的资格要求 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定 2.落实政府采购政策需满足的资格要求:供应商应为残疾人福利企业,其他,供应商为节能产品、环境标志产品企业,供应商应为监狱企业,供应商为中小企业/小微企业 3.本项目的特定资格要求:投标人须具有有效的《医疗器械经营许可证》或第二类医疗器械经营备案凭证。 五、获取招标文件 时间:2024年03月08日 09时00分至 2024年03月18日 17时30分 地点:遵义市公共资源交易中心(遵义市新蒲新区播州大道东 100 米,遵义市政务服务中心大楼9 楼)网址:全国公共资源交易平台(贵州省﹒遵义市)电子交易服务系统http://111.122.63.26:88/TPBidder/memberLogin或省平台https://ggzy.guizhou.gov.cn/hallweb/#/login) 方式:全国公共资源交易平台 (贵州省.遵义市) 会员系统下载 售价:0元人民币(含电子文档) 六、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间:2024年03月28日 10时00分00秒 投标地点(网址):遵义市公共资源交易中心(遵义市新蒲新区播州大道东 100 米,遵义市政务服务中心大楼9 楼)网址:全国公共资源交易平台(贵州省﹒遵义市)电子交易服务系统http://111.122.63.26:88/TPBidder/memberLogin或省平台https://ggzy.guizhou.gov.cn/hallweb/#/login) 开标时间:2024年03月28日 10时00分 开标地点:916开标室 七、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 八、其他补充事宜 保证金的金额:贰万元整(20000.00元); 交纳方式:银行转账或银行保函或担保保函或保证保险 单位名称:遵义市公共资源交易中心 开户银行:交通银行遵义分行厦门路支行 帐 号:5230615000735640001 交纳时间:2024-03-08 09:00至投标截止时间前 九、对本次招标提出询问,请按以下方式联系 1、采购人信息 名称:正安县中医院 地址:正安县凤仪镇文化北路 项目联系人:张康 项目联系方式:0851-26401438 2、采购代理机构信息 名称:贵州鲁班招标代理有限公司 地址:遵义市天津路水榭花都B幢1-4-5 项目联系人:杨毓芬 项目联系方式:13508515215 交易公告.pdf 招标文件(4).pdf
  • 天大巩金龙Angew. Chem. Int. Ed. : 等离子体增强TiO2光电极表面氧空位增强光催化固氮活性
    引言氨(NH3),作为一种每年产量超过1.5亿吨的基本化学品,是现代社会发展和人口增长的重要基石。工业上的哈伯-博世法,即在高温高压下将氮气和氢气转化成氨,这一过程消耗世界上3-5%的天然气以制取氢气以及世界上1-2%的能源储备,同时每年向大气中排放数百万吨的二氧化碳(CO2)。与生物固氮酶类似,光催化过程能在温和的条件下将N2还原为NH3,为更清洁和更可持续的NH3生产提供了一条无碳化道路。近期的研究表明,氧化物半导体表面氧空位(Ovac)对于N2吸附和活化具有很大的潜力。而传统的引入氧空位的方法如H2焙烧同样会在氧化物体相引入空位,进而引入体相缺陷,导致载流子的复合,降低材料的光催化性能。因此,如何只在表面上引入氧空位而不影响体相是一个很大的挑战。成果简介近日,美国麦克仪器公司用户天津大学巩金龙教授(通讯作者)领导的科研团队在Angew. Chem. Int. Ed.上发表了题为“Promoted Fixation of Molecular Nitrogen with Surface Oxygen Vacancies on Plasmon-Enhanced TiO2 Photoelectrodes”的研究论文。在这篇文章中,研究者首次发现了利用无定形TiO2中Ovac来提升光固氮性能的新方法。通过原子层沉积的表面自限制生长机制,在等离子体增强金红石TiO2/Au纳米棒表面均匀包覆含有Ovac的无定形TiO2层。这层无定形TiO2薄膜中的Ovac可以促进N2吸附和活化,促进了紫外光驱动TiO2以及可见光驱动金表面等离子体产生的激发电子将氮气还原为氨。这一发现为在常规条件下(即室温常压)下进行光催化固氮研究提供了一种新的方法。图1 TiO2/Au/a-TiO2光电极的制备过程和形貌a-d) TiO2/Au/a-TiO2光电极的制备过程;e-h) TiO2/a-TiO2、原始TiO2、TiO2/Au和TiO2/Au/a-TiO2的SEM图像;i-l) TiO2/a-TiO2、原始TiO2、TiO2/Au和TiO2/Au/a-TiO2的HRTEM图像(j图内插:原始TiO2 NR的选区电子衍射)。图2 TiO2/Au/a-TiO2光电极的光电固氮过程a) 不同样品的紫外/可见光吸收;b) 在AM 1.5G照射下、氮气流中的光催化固氮活性;c) 不同光电极12 h的氨产量;d) 单池光电池的示意图(左)以及TiO2/Au/a-TiO2中表面Ovac和金等离子体光催化协同固氮示意图(右)。图3 金的SPR效应以及表面Ovac氮气吸附增强a) 用于FDTD模拟的TiO2和TiO2/Au NRs模型;b,c) 544 nm下TiO2和TiO2/Au电场增强的FDTD模拟;d,e) TiO2和TiO2/a-TiO2的Ti 2p和O 1s XPS光谱;f) TiO2和TiO2/a-TiO2的N2-TPD曲线。小结在室温常压下,研究人员成功地将表面Ovac和等离子体Au NPs集成于TiO2/Au/a-TiO2光电极并将其用于光电化学固氮,反应完全在太阳光驱动下进行且不使用任何有机牺牲试剂。金的表面等离子体效应将TiO2的吸收范围扩展至可见区域,并为固氮过程提供高能热电子。更为重要的是,具有表面Ovac催化中心的无定形ALD TiO2层可以促进N2吸附和活化,大大提高了光催化固氮速率。由于ALD的表面生长机理,Ovac仅存在于TiO2的表面区域而不影响体相性质。这一优势不仅有助于激发态电子和吸附氮气之间的表面反应,也可以避免体相缺陷导致的载流子复合。因此,TiO2/Au/a-TiO2光电极的NH3产生速率远超原始TiO2,在一个太阳光照强度下下可达到13.4 nmolcm-2h-1。文献链接:Promoted Fixation of Molecular Nitrogen with Surface Oxygen Vacancies on Plasmon-Enhanced TiO2 Photoelectrodes (Angew. Chem. Int. Ed., 2018, DOI:10.1002/anie.201713229)转自材料人公众号
  • 石墨烯等离子超介质可使药检达单分子水平
    据物理学家组织网1月14日(北京时间)报道,一个由英国曼彻斯特大学和法国艾克斯—马赛大学人员组成的研究小组,开发出一种新型的等离子超介质探测设备,利用了奇点光学中超常相位拓扑的性质,能通过简单的光学系统就看到单个分子,并在几分钟内分析出它的成分,药物检测精确度提高了3个数量级,可用于人体药检、机场安检、爆炸物探测等。相关论文发表在最近出版的《自然材料》上。  “该设备的总体设想是要通过一种简单的光学系统,如显微镜,来看到单个分子,真实地看到它们。”领导该研究的萨沙格里乔科说。他提出了一种新的传感设备:一种具有黑暗拓扑性的人造材料。这种设备极其灵敏,而其灵敏性是来自它的光相位拓扑性能,即使附着一个小分子也能引起反应。  奇点相位的超常性质是研究许多重要物理现象的关键,通过控制光相位,人们能造出“扭曲的”光子流,如光涡流结 打断相位使之分离,就会产生奇点光场。而等离子超介质经过恰当设计就会显出一种拓扑性,从而在其附近产生突然的相位改变。利用这一性质能造出一种等离子共振传感器,从根本上提高探测的灵敏度。  为了测试该设备,研究人员给一种等离子超介质涂了一层石墨烯,然后将氢气导入石墨烯上面,利用可逆的石墨烯氢化反应来测试其灵敏度。“石墨烯是用于检测分子灵敏性的最佳材料之一,可以很容易地把氢分子以可控的方式附着在上面。”格里乔科说,他们证明了该设备能探测到单个生物分子水平。通过验血可以检测人体内的毒素或药物,几分钟就能出结果,精确度比现有设备高出3个数量级。  研究人员指出,这一概念性论证结果提供了一种更简单的、可升级的单分子免标记生物感测技术,使药物检测更加快捷精确,可用于检查运动员是否服用了违禁药物以及机场或机密要地的安检,预防恐怖分子藏匿爆炸物、不法商贩走私药物等,还可能探测人们感染了哪种病毒。  格里乔科说,奇点光学是一门新兴学科,研究的是光在超常相位的性质,他们的成果显示了这一学科在实际应用方面的巨大价值。这只是个开始,它可能对药物与病毒探测、安全检查等产生深远影响。  总编辑圈点:  童话《豌豆公主》里,隔着十二张床垫和二十张鸭绒被,公主仍然能感觉出一颗豌豆的凹凸。英、法科学家开发的新技术,让仪器也具备了这样的灵敏度——增加一个分子,仪器就能察觉出“凹凸”。超级材料石墨烯,相当于一张平滑的床垫,为检测提供了纯净的光学背景,使微小形状的干扰也变得很显著。依靠新开发的这种精密探测手段,今后的医学检测可能不必借助生化试剂,直接“看”到病毒的模样,这将大大方便医生的快速诊断。
  • 敞开式等离子体辅助激光解吸质谱成像系统的构建和应用
    成果名称敞开式等离子体辅助激光解吸质谱成像系统的构建和应用单位名称北京大学联系人马靖联系邮箱mj@labpku.com成果成熟度&radic 研发阶段 □原理样机 □通过小试 □通过中试 □可以量产成果简介:质谱成像已经成为了质谱领域的研究热点,特别是在生命科学研究领域应用广泛,成为了病理学、生物化学以及制药分析等领域的强有力工具,具有非常广泛的发展前景。鉴于我国在质谱成像领域的研究基础较为薄弱,本项目拟从研究平台的搭建入手,开展等离子体辅助激光解析质谱成像研究。主要研究内容包括:1)利用DART、多波长激光以及三维移动平台搭建质谱成像研究平台,提高分辨率,为实际研究奠定基础。2)开发适用于成像平台的数据处理软件,并逐步改进和优化。3)探讨新型基质在质谱成像系统中的作用,以提高质谱成像检测结果。4)利用搭建的质谱成像研究平台,进行生命科学研究领域中相关样品组织的小分子目标物成像研究。目前,项目按照计划顺利进行。完成质谱成像平台的搭建和测试工作。将DART、多波长激光以及三维移动平台组合在一起形成了质谱成像技术平台,采用三维移动样品台自动控制样品分析位点, 质谱成像软件将样品位置和质谱数据整合在一起,可以绘出二维图像。并且改进激光仪器,提高激光的分辨率以提高质谱成像的分辨率。应用前景:质谱成像已经成为了质谱领域的研究热点,特别是在生命科学研究领域应用广泛,成为了病理学、生物化学以及制药分析等领域的强有力工具,具有非常广泛的发展前景。
  • 激光冷却造出零下273℃中性等离子体
    p style="text-indent: 2em text-align: left "据美国《新闻周刊》网站近日报道,科学家利用激光冷却,创造出温度达到零下273℃的中性等离子体,其比太空深处温度还要低。这一成果发表于《科学》杂志,显示了极端环境下(比如白矮星和木星中央)等离子体的新的可能性。/pp style="text-indent: 2em text-align: left "一般认为,激光可用于加热,但其实也可用于冷却物理系统。在实验中,英国莱斯大学的汤姆· 基利安和同事使用10台不同波长的激光器来冷却中性等离子体。等离子体是在固体、液体和气体之后,物质的第四种它通常在极热的地方(比如太阳内)产生。/pp style="text-indent: 2em text-align: left "研究人员先用一组激光器蒸发锶金属,这些激光器捕获并冷却了一组原子。然后,他们用第二组激光电离这些超冷气体,激光脉冲将这些气体转换成等离子体,这些等离子体迅速膨胀然后消散。/pp style="text-indent: 2em text-align: left "基利安解释说:“如果一个粒子(原子或离子)正在移动,我用一束激光来抵制它的运动,当该粒子从激光束中散射出光子时,就获得了动量来减慢速度。诀窍在于确保光子始终从与粒子运动相反的激光中散出来。”/pp style="text-indent: 2em text-align: left "1999年,基利安在美国国家标准与技术研究所进行博士后研究,开创了从激光冷却的气体中创造中性等离子体的电离方法。此后,他一直在寻求让等离子体更冷的方法,最新研究让他20年的追寻成为现实。目前,他们正努力制造更冷的等离子体。/pp style="text-indent: 2em text-align: left "基利安说:“我们将尝试开发新的温度探头来测量更冷的温度。如果能在不让密度变得太低的情况下,将温度降到足够低,该系统将形成结晶等离子体——维格纳晶体,据信白矮星中心的离子以这种状态存在。”/pp style="text-indent: 2em text-align: left "基利安表示,当科学家研究出如何冷却原子气体时,就打开了“超冷世界”的大门,这使他们能将原子气体冷却到比绝对零度(零下273.15℃)高出百万分之一摄氏度左右,“在此处,量子力学开始发挥作用”。通过研究超冷等离子体,有望回答有关物质在高密度和低温的极端条件下如何表现的基本问题。/p
  • 等离子体所七个大科学装置维修改造项目通过验收
    3月1日至2日,中国科学院计划财务局会同基础科学局对合肥物质科学研究院等离子体物理研究所组织承担的“1.5MW高功率离子回旋共振加热系统” 等七个中科院重大科学装置维修改造项目进行了验收。专家组一致同意七个维修改造项目全部通过验收。  计财局、基础局负责人,验收专家组和装置的相关人员参加了验收会。计财局副局长潘锋主持会议,部署了此次验收会的工作安排及具体要求。项目验收专家组由院内外研究所和高校的17位专家组成,分为工艺、档案、财务3个小组。  专家组认真听取了每个项目所做的验收总结报告,仔细询问了项目有关建设情况,考察了现场,查看了自测数据记录及档案、财务资料。经过讨论,验收组认为,已完成的维修改造项目各项技术指标实现了改造预期目标,达到了任务书要求 项目预算执行情况基本符合国家和院有关财经制度规定,经费使用基本合理 文件材料收集较齐全,档案分类清晰,案卷质量符合规范,反映了项目维修改造的实际情况。  在计财局的支持下,合肥超环(HT-7)、东方超环(EAST)装置分别对离子回旋系统、低杂波系统、诊断系统和高温超导电流引线、内部部件等方面进行了维修改造。维修改造项目的成功实施为HT-7、EAST装置的稳定、安全、可靠运行提供了有效保障,对装置总体运行质量的提升起到了重要作用。
  • 《Science》:近场太赫兹光电流-石墨烯等离子体在近费米速度传播下的非局域量子效应
    近期,西班牙光子科学研究所(ICFO)的 Marco Polini教授和Frank H. L.Koppens教授在《Science》上发表了题为:Tuning quantum nonlocal effects in graphene plasmonics的文章。 在本篇文章中,研究者利用散射式近场光学手段,对石墨烯-(h-NB)-金属复合体系表面进行了纳米尺度下的精细扫描,由此观测到了太赫兹波段下的石墨烯等离子体以近费米速度进行传播。研究发现,在慢的速度(数百倍低于光速)下,石墨烯等离子的非局域响应得以探测,通过近场成像能够以无参数匹配手段清晰地揭示无质量的Dirac电子气体的量子描述,进而展示了三种类型的非局域量子效应,即单粒子速率匹配,相互增强费米速率和相互减弱压缩性。 通过该近场光学的研究方法,研究者终提供了确定电子体系的全时空反应的新途径。 图1 太赫兹散射式近场光学显微镜及光电流测试结果 在国外用户取得科研成果的同时,国内学者也是“喜讯频传”,科研工作不断收获国际杂志肯定。截止今年6月,国内用户仅在今年发表文章7篇,其中苏州大学用户关于有机钙钛矿太阳能材料的研究被Advance Materials(影响因子19.79)收录,中山大学用户和苏州大学用户关于石墨烯纳米结构、石墨烯等离子体的研究被nature子刊Light:Science & Application(影响因子13.6)收录。至此,neaspec国内用户自2015年底至今,已在国际学术期刊发表文章共计13篇,其中影响因子大于10的文章数目有6篇。图2 近两年国内学者研究成果 在《Science》正文后,作者严正申明:“R.H. is cofounder of Neaspec GmbH, a company producing scattering-type scanning near-field optical microscope systems such as the ones used in this study.” Hillenbrand教授进一步指出“这可能只是近场纳米视觉新时代的开始”。相关产品链接 太赫兹近场光学显微镜 — THz-NeaSNOM http://www.instrument.com.cn/netshow/SH100980/C270098.htm纳米傅里叶红外光谱仪Nano-FTIR http://www.instrument.com.cn/netshow/SH100980/C194218.htm超高分辨散射式近场光学显微镜http://www.instrument.com.cn/netshow/SH100980/C170040.htm
  • 光电材料/器件最新等离子技术应用探讨——记牛津仪器等离子技术部用户交流会
    p  strong仪器信息网讯/strong 2016年11月17日,由牛津仪器等离子技术部和中山大学共同举办的“牛津仪器-中山大学用户学术交流研讨会”在名校环抱的广州南国会国际会议中心召开。近80名来自中山大学、华南理工大学等高校的用户专家代表及牛津仪器等离子技术部高层、应用专家参加了此次研讨会。/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201611/insimg/ca7b023b-75cb-421c-8bb9-ec46c373a9a6.jpg" title="1.jpg" style="width: 450px height: 300px " height="300" hspace="0" border="0" vspace="0" width="450"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) background-color: rgb(255, 255, 255) "strong研讨会签到处/strong/span/pp  此次交流会主题为“光电子材料及器件研讨”,旨在通过用户之间、用户与设备厂商的深入交流探讨,提高光电材料、器件等相关学科工作者的学术和技术水平,并促进等离子技术在刻蚀、沉积和生长等领域的应用和发展。/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201611/insimg/15175e9c-fd9b-4d6e-82ec-c7f63c493f55.jpg" title="2.jpg" style="width: 450px height: 300px " height="300" hspace="0" border="0" vspace="0" width="450"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) background-color: rgb(255, 255, 255) "strong研讨会现场/strong/span/pp  研讨会以七个大会报告和现场交流的形式进行。大会报告上,用户专家及牛津仪器应用专家为大家带来7个精彩报告,内容涉及二维材料的生长机理和应用、携带轨道角动量光束的产生和调控、功率器件的应用、层状过渡金属氧化物材料研究、ALD和ALE技术介绍及应用、以及薄膜晶体管的新兴应用等。现场交流部分,大家针对报告内容展开积极交流互动,展现出一派活跃的学术氛围。/pp  为了让广大网友对牛津仪器等离子体技术部及相关用户进一步了解,仪器信息网编辑现场采访了牛津仪器等离子科技部亚洲区销售和服务副总裁 WRIGHT Ian、牛津仪器等离子科技部中国区经理陈世伟,以及中山大学王凯教授。/pp  span style="color: rgb(255, 255, 255) background-color: rgb(112, 48, 160) "strong通过合办交流会——用户与厂商实现共赢/strong/span/pp  作为薄膜晶体管领域的专家,王凯教授此次参会可谓双重身份,一方面是牛津仪器的用户,并做了薄膜晶体管新兴应用的精彩报告,另一方面,王凯教授所在中山大学还是此次交流会的合办方。提及本次研讨会的举办意义,王凯教授讲到:“这种活动为我们科研工作者提供了一个很好的经验分享机会。通过用户之间的交流及牛津仪器应用专家的讲解,用户可以学习到一些宝贵的设备使用经验以及设备的一些新的应用。比如此次交流会中,我可能会关注薄膜晶体管在能量采集、传感、生物医药等非显示领域的仪器设备应用等相关内容。”/pp  同时,陈世伟经理也表示:“通过这样与用户面对面的交流活动,首先,牛津仪器可以获得用户关于设备使用情况的反馈,从而指导我们更好的服务 其次,更重要的是,我们还可以了解科研用户的一些最新研发动态或用户直接提出的对设备的新需求,这些宝贵信息对我们新品研发都具有重要指导意义。比如,当下,石墨烯二维材料领域对于相关科研用户是一个十分热门的领域,与之对应的石墨烯及二维材料解决方案便成为我们的研发重点,而且,我们也很自豪牛津仪器已率先推出了石墨烯及二维材料行业解决方案。”/pp  span style="color: rgb(255, 255, 255) background-color: rgb(112, 48, 160) "strong牛津仪器等离子体技术部:注重高端设备研发,更多企业用户是发展趋势/strong/span/pp  此次用户交流活动得到了牛津仪器的高度重视,多位牛津仪器总部高层和应用专家都参加了此次活动,等离子科技部亚洲区销售和服务副总裁 WRIGHT Ian就是其中一位。WRIGHT Ian先生在介绍等离子科技部时说:“从产品角度讲,我们主要提供刻蚀、沉积和生长设备,为材料的微米、纳米级工程提供工艺方法。牛津仪器向来重视并擅长高端科研级仪器设备的研发。比如,随着各种器件尺寸的逐渐微小化趋势,在小尺寸器件上实现刻蚀和沉积的同时保证低损伤,对于设备及工艺提出了更高的要求,而我们独到的ALD和ALE技术则完全可以保证这种工艺的实现。”/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201611/insimg/ef455111-cbc6-4292-b7b1-714770388fe4.jpg" title="3.jpg" style="width: 450px height: 300px " height="300" hspace="0" border="0" vspace="0" width="450"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) background-color: rgb(255, 255, 255) "strong采访现场/strong/span/pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) "(左一:牛津仪器等离子科技部亚洲区销售和服务副总裁 WRIGHT Ian,左二:牛津仪器等离子科技部中国区经理陈世伟,左三:中山大学王凯教授)/span/pp  接着,陈世伟经理补充道:“目前,等离子体技术部在中国的客户主要集中在前沿晶片研发的高校院所,但随着科技发展的不断深入,企业用户逐渐增加是未来发展的必然趋势,比如我们在日本市场已经有部分企业用户出现,相信在中国当下科技研发投入不断增多的大背景下,中国市场的企业用户变得更多也只是时间问题。”/pp  span style="color: rgb(255, 255, 255) background-color: rgb(112, 48, 160) "strong以客户需求为导向——牛津仪器与客户共成长/strong/span/pp  2016年已接近尾声,当被问及牛津仪器等离子体技术部的业绩表现时,WRIGHT Ian表示:“我很高兴我们在中国市场的业绩是保持稳定增长的,这除了得益于我们优秀的产品和完善的服务,也离不开我们对客户需求的足够重视。比如我们除了对客户进行一对一拜访、举行用户会、学术会等之外,还会针对那些对设备有特殊需求的科研客户提供定制化服务。并且,在帮助客户解决问题的同时,我们也实现了与客户的共同成长。”/pp  “我十分看好中国市场的发展前景,接下来,对于中国市场,我们会在产品研发及市场服务方面加大投入。”对于在中国市场的下一步计划,WRIGHT Ian讲到,“另外,在生产型客户的开拓上我们也会加大力度。”/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201611/insimg/bbef5148-e93a-4edd-8621-d6599e36010e.jpg" title="4.jpg" style="width: 450px height: 300px " height="300" hspace="0" border="0" vspace="0" width="450"//pp style="text-align: center "span style="color: rgb(0, 176, 240) background-color: rgb(255, 255, 255) "strong全体合影留念/strong/span/ppstrong span style="font-family: 宋体, SimSun "后记/span/strong/pp  span style="font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai "据悉,此次交流会之所以选择在周围不算繁华的广州南国会国际会议中心召开,主要是考虑到此次参会人员中有许多大学城高校用户,选择在高校附近进行交流活动可以尽量减少对他们正常科研工作的影响。另外,笔者在茶歇期间还发现,一些用户正在填写牛津仪器的调研问卷,这些问卷中不仅包含了“功能是否够用”、“性能如何”、“易用性如何”等关于产品的评价,还包含了“培训交流”、“响应速度”、“交流态度”等服务评价。据牛津仪器工作人员介绍,“这样的评价调研,几乎涵盖了我们每次的线上线下活动,是我们获取客户反馈的最快途径,这些声音,也为我们从产品到服务的下一步策略提供了重要参照和导向。”/span/ppspan style="font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai "  从事事为客户着想,到时时因客户而动,也许这便是牛津仪器能够不断在中国取得佳绩的原因。每个客户都有雪亮的眼睛,企业若能以客户需求为己任,把帮助客户取得成功当作一项终极目标,那么,相信这样的企业也一定能够在与客户的一起成长中实现共赢。/span/p
  • 出口增长63%!2020年等离子体刻蚀机海关进出口数据盘点
    自美国提出终断该国企业与华为多年的芯片供应以来,研制中国自己的国产芯片提上了我国的发展日程,也是当前中国市场最为紧迫的一项技术,关于芯片技术发展的讨论不仅在专业领域盛行,也成为了普通民众议论的焦点所在。而芯片的制造离不开半导体设备,其中刻蚀设备是其中的重中之重。据了解,目前我国已经突破了刻蚀设备的技术难关,其中中微公司的5nm刻蚀设备已成功销往海外,更是进入台积电的生产线。如今最先进的芯片制造主要使用干法刻蚀技术即等离子体刻蚀技术,相对于湿法刻蚀,具有更好的各向异性,工艺重复性,且能降低晶圆污染几率,因此成为了亚微米下制备半导体器件最主要的刻蚀方法。伴随着国际半导体行业的产能危机,国内等离子体刻蚀机需求或将爆发。通过分析海关等离子体刻蚀机的进口情况,可以从一个侧面反映出中国等离子体刻蚀机市场的一些情况。2020年是特殊的一年,新冠肺炎疫情在全球爆发,各行各业都受到了一定的影响,包括半导体产业。为了解过去近两年中等离子体刻蚀机的进出口情况,仪器信息网特别对2019、2020年1-12月,等离子体刻蚀机(商品编码84862041)进出口数据进行了分析汇总,为大家了解中国目前等离子体刻蚀机市场做一个参考。2019、2020年1-12月海关等离子体刻蚀机进出口数据统计统计年月进口量(台)进口金额(人民币:元)出口量(台)出口金额(人民币:元)2019年1-12月109712,685,798,98279353,896,8762020年1-12月127616,949,614,747122577,419,680从上表可以看到,2020年1-12月,我国共进口等离子体刻蚀机1276台,进口额约为170亿元,进口单价约为1328万元。而2019年同期,等离子体刻蚀机进口1097台,进口额约为127亿元,进口单价约为1156.4万元。与去年同期相比,2020年1-12月我国等离子体刻蚀机进口台数增加约16.3%,进口额增加约33.6%,进口单价提高约15%。从整体来看,2020年进口等离子体刻蚀机市场增长非常明显,同时进口单价也略有提高。而从出口情况来看,2020年1-12月,我国共出口等离子体刻蚀机122台,出口额约为5.8亿元,出口单价约为473万元。而2019年同期,等离子体刻蚀机出口79台,出口额约为3.54亿元,出口单价约为448万元。总体而言,我国等离子体刻蚀机出口量仍然很少,但2020年比上年同期出口金额明显增加约63%,出口数量增加约54%,出口单价也略有提高。2019、2020年1-12月等离子体刻蚀机进口量逐月数据图(单位:台)对2020年1-12月等离子体刻蚀机进口量逐月数据分析发现,并对比2019年同期数据可以明显看出,2020年等离子体刻蚀机进口数量明显有所增加,且逐月变化较为明显,其中2020年1月受国内新冠肺炎疫情影响,等离子体刻蚀机进口数量较去年有所下降,而则2~4月份迎来“报复性”增长,等离子体刻蚀机进口台数比去年同期多大约一半,5~7月每月进口数量与去年有所增长,但增幅有所下降,8月进口数量较去年同期有所下降,可能受国外新冠疫情影响,而9月进口量的大爆发可能是为了弥补8月份进口量不足的部分。10-11月平稳增加,但12月进口量再次下降,这可能来自于特朗普政府将中芯国际列入“实体清单”和冬季疫情反扑的多重影响。2019、2020年1-12月等离子体刻蚀机进口金额逐月数据图(单位:人民币/亿元)对2020年1-12月等离子体刻蚀机进口金额逐月数据分析发现,并对比2019年同期数据可以明显看出,除12月较去年进口金额有所下降以外,等离子体刻蚀机每月进口金额都较去年同期有所增加,其中,6、7、11月较去年增长幅度较小之外,但其他月份增幅明显。值得注意的是,9月进口额更是达到了去年同期的两倍以上,一个可能的原因是9月份台积电停止为华为代工芯片,华为大量订单转向国内代工厂生产,国内代工厂的扩大产能所导致。2019、2020年1-12月等离子体刻蚀机主要海关进口贸易伙伴数量(单位:台)2019、2020年1-12月等离子体刻蚀机主要海关进口贸易伙伴金额(单位:人民币/亿元)2020年1-12月等离子体刻蚀机海关进口贸易伙伴金额分布图根据海关数据,近两年我国主要从美国、日本、新加坡、韩国、中国台湾、马来西亚、英国以及德国等贸易伙伴进口等离子体刻蚀机。其中进口金额最高的前5个贸易伙伴分别是美国、日本、新加坡、韩国和中国台湾。从数据中可以看出,我国等离子体刻蚀机对美日依赖严重。2020年1-12月等离子体刻蚀机进口企业注册地数量分布(单位:台)2020年1-12月等离子体刻蚀机进口企业注册地金额分布(单位:人民币/亿元)通过海关进口等离子体刻蚀机的企业注册地数据,可以大致了解到进口等离子体刻蚀机在国内的“落脚地”。可以看出 ,2020年,江苏、上海、湖北、陕西等省市进口等离子体刻蚀机数量较多,而这些地区也是我国经济较发达,半导体相关行业比较发达的省份和地区。就海关进出口数据来看,等离子体刻蚀机在国内的市场潜力非常巨大,2020年尽管新冠疫情爆发给各行各业造成一定影响,但我国等离子体刻蚀机市场增长依然明显,但由于进口等离子体刻蚀机美日产品占据主流,受到美国贸易战影响较大,国内产线等离子体刻蚀机的“去美化”迫在眉睫。另一方面,由于国内掌握等离子体刻蚀机所涉及的核心零部件、研发人才等仍然相对较少,虽然在介质刻蚀机上的研究已逐渐达到国际先进水平,但难度较大的深硅等离子体刻蚀机的发展距美、日还有一定差距。同时,由于半导体设备企业与晶圆代工厂的工艺深度绑定,也使得等离子体刻蚀机为代表的半导体设备仍依赖进口,受制于人。不过,近年来随着以中微半导体、北方华创等国内等离子体刻蚀机厂商的崛起,国产刻蚀机在一定程度上也能满足部分企业的要求。未来,伴随着中美半导体产业的争夺和全面“去美化”的浪潮,等离子体刻蚀机的国内市场占有率将有望进一步提升。
  • 聚焦半导体产业与等离子技术工艺——2019牛津仪器等离子技术研讨会在武汉隆重举行
    p  strong仪器信息网讯 /strong2019年10月31日,由牛津仪器主办的“2019牛津仪器等离子技术研讨会——光电及微机电器件制造工艺解决方案”在湖北武汉隆重举行。本次会议是一次针对等离子技术在光电及微机电应用领域的信息共享盛会,参会人数近百人。来自中山大学、华中科技大学、德国Axitron、深圳珑璟光电、湖南启泰传感科技、以及牛津仪器的技术专家为到会人员讲解了半导体行业前沿动态和等离子技术应用实例。仪器信息网在会议期间采访了牛津仪器等离子技术部中国区经理陈伟和中国区市场与工艺高级部门经理方子文博士,听两位大咖谈半导体产业和等离子技术的最新进展。/pp  牛津仪器等离子技术部中国区经理陈伟首先对到场人员表示欢迎,并作“牛津仪器等离子技术部全产品介绍”的报告。牛津仪器诞生在牛津大学,并在1959年成为第一家独立于牛津大学的商业机构,恰好今年也是牛津仪器的60岁生日。世界只有一个硅谷,在美国 世界只有一个光谷,即武汉光电发展产业园,这也是牛津仪器选择在武汉举办第三次用户会的原因。牛津仪器目前关注的重点主要有三部分:光电子、传感器、射频和功率器件 并且牛津仪器超过50%的用户都是量产型用户。其他在研的领域还有二维材料和原子层镀膜刻蚀等,这些领域可能在未来3-5年后才会产生应用。牛津仪器等离子产品主要集中在刻蚀和沉积两块,陈经理介绍了铌酸锂在体声波传感器应用、ICP、PECVD 离子束产品、离子束刻蚀、离子束沉积等内容。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/8dacdfad-60e0-4a08-957b-8b2be967ceec.jpg" title="陈伟.jpg" alt="陈伟.jpg" width="400" height="267" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong牛津仪器等离子技术部中国区经理 陈伟/strong/pp  中山大学教授蔡鑫伦作“基于硅-铌酸锂复合基底的马赫-曾德尔调制器”的报告。光电子芯片是光通信的基石,而硅基光电子器件是目前最有前景的集成平台,具有高集成度和CMOS兼容带来的低成本等优势。硅基电光调制器是其中最重要的部分,能把电域转化成光域,使得器件速率提高。硅基电光调制器目前主要有传统硅基调制器和硅基异质集成两种(如石墨烯/硅、聚合物/硅、磷化铟/硅、铌酸锂/硅等)。铌酸锂材料具有优秀的电光、声光、压电等性质,但面临折射率差小、尺寸大、集成度低、效率低等问题。使用干法刻蚀工艺制备的铌酸锂薄膜材料在垂直方向上可形成高折射率差,具有折射率差大、尺寸小、集成度高、效率高等优势。2018年,哈佛大学发表的铌酸锂材料做到了半波电压1.4V,电光带宽40GHz,速率210Gbit/s 2019年,中山大学取得了进一步的突破,半波电压提升到1.6V,电光带宽提升到了45GHz,速率提升到了220Gbit/s。铌酸锂薄膜与硅光结合,全面突破电光调制器的性能瓶颈,能够更好地支撑下一代光通信技术。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/176f1ba3-e146-4a90-944a-6284c5ea47b0.jpg" title="蔡鑫伦.jpg" alt="蔡鑫伦.jpg" width="400" height="267" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "  strong中山大学教授 蔡鑫伦/strong/pp  牛津仪器等离子技术部邓丽刚作“磷化铟半导体化合物光子器件等离子等离子刻蚀工艺综述”的报告。邓丽刚在牛津仪器工作了超过25年,在等离子刻蚀等领域具有超过30年的经验,长期在英国从事等离子体刻蚀等方面的工作。磷、铟等广泛应用于光电子器件中,报告中介绍了不同的器件对于工艺的基本要求、基本的等离子体概念、由基本概念引申出等离子体刻蚀影响因素以及如何利用这些概念调制刻蚀形貌 还介绍了DFB激光器的刻蚀工艺、器件损伤和工艺的重复性等。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/8c3e4706-f280-4738-9372-fd82b27bf801.jpg" title="邓丽刚.jpg" alt="邓丽刚.jpg" width="400" height="267" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong牛津仪器等离子技术部 邓丽刚/strong/pp  湖南启泰传感科技有限公司董事长王国秋作“薄膜压力传感器与物联网发展”的报告。压力传感器,由于压力源会造成表面变形,导致破坏性作用,使得传感器面临损坏、失效、寿命缩短等问题,目前国内主要使用进口产品。湖南启泰传感制造的压力传感器应用了金属基底,不但弹性更好、稳定性高、可靠性好、温度适应性好(-200℃-200℃),而且避免了使用硅和陶瓷材料的极端高压适应性问题 王总还以消防行业为例,阐述了物联网动态监测对于下一代压力传感器的革命性变革。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 237px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/c07e59d6-debf-4766-9d80-6a00a7129eb6.jpg" title="湖南启泰传感科技有限公司董事长 王国秋.jpg" alt="湖南启泰传感科技有限公司董事长 王国秋.jpg" width="400" height="237" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong湖南启泰传感科技有限公司董事长 王国秋/strong/pp  深圳珑璟光电技术有限公司赵硕博士作“AR光学方案趋势”的报告,介绍了AR和VR市场目前发展趋势及相关技术方案、衍射波导相关内容以及AR仪器在现实场景中的应用。赵博士认为,VR和AR市场取代手机是一个必然的发展趋势,2025年AR市场将达到8000亿美金以上。华为、英特尔、高通、微软、苹果等行业巨头已经在AR领域开始布局,其中,AR眼镜产品将成为焦点,而光学模组限制了AR场景的使用,且成本占比接近50%,是AR产品的重要元部件。 赵博士介绍了深圳珑璟光电在棱镜、Birdbath、阵列光波导、光栅的产品研发计划以及在G端、B端、C端的应用。br//pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/0faa9bd8-d9dd-4e5a-8c16-0e3d45edf8fd.jpg" title="赵硕.jpg" alt="赵硕.jpg" width="400" height="267" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong深圳珑璟光电技术有限公司 赵硕/strong/pp  华中科技大学引力中心刘骅锋教授作“基于硅基刻穿工艺的高精度MEMS加速度计”的报告,介绍了MEMS火星微震加速度计原理及关键技术,包括高深宽比体硅刻穿工艺、高精度位移传感技术、电磁力反馈控制技术、温度自补偿技术、冲击过载保护技术、低应力封装技术等。刘教授还在现场播放了来自火星的风声,令现场观众耳目一新。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/d22f4dee-1b9e-414c-9444-386f844bd6ce.jpg" title="刘骅锋.jpg" alt="刘骅锋.jpg" width="400" height="267" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong华中科技大学 刘骅锋/strong/pp  牛津仪器等离子技术部邓丽刚作“VCSEL及其他镓砷-铝镓砷等离子刻蚀工艺”的报告,通过大量实例介绍了VCSEL解决方案和镓砷-铝镓砷的刻蚀工艺。报告后,邓丽刚向参会观众提出两个与VCSEL有关的基础性问题,并为两位答题观众颁发了奖品。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/c03d2870-7b58-4670-a0b6-6d1d35a372c2.jpg" title="邓丽刚为答题者颁奖.jpg" alt="邓丽刚为答题者颁奖.jpg" width="400" height="267" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong牛津仪器等离子技术部邓丽刚为答题者颁奖/strong/pp  Axitron公司中国区市场与工艺高级部门经理方子文博士作“III/V族光电设备的大批量外延制造”的报告,介绍了VCSEL具体在砷化镓基、磷化铟基方面的应用以及Micro LED在显示方面标杆性的工作。方博士表示,VCSEL器件的出现已经很多年历史,但落实到生产要考虑到良率等问题,比如在均匀性方面,要考虑厚度均匀性、组分均匀性,另外也要考虑成本问题 尺寸在50微米以下的Micro LED产品,在未来必然会替代LCD、OLED等,但这离不开业界的努力,其市场相比于LED照明市场更加广阔,是LED市场的10倍以上。市面上见到的Micro LED产品其实还没有实现量产,而目前工业届最大的问题就是量产,Axitron公司也正在解决如何实现低成本、高良率生产问题,因为只有这样才能打开更广阔的市场。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/db4f3c98-a467-4476-8443-c2b69cc8e72a.jpg" title="方子文.jpg" alt="方子文.jpg" width="400" height="267" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strongAxitron公司中国区市场与工艺高级部门经理 方子文/strong/pp  牛津仪器纳米分析部马岚博士作“半导体材料的表面分析”的报告,介绍了EDS及EBSD在半导体中的应用以及原子力显微镜在半导体中的应用。EBSD主要用于长程有序的结晶半导体样品分析,如微焊点等。EBSD能通过采集周期性样品表面所产生的衍射电子信号,确定样品晶体结构、晶粒取向、晶粒尺寸和界面分布,可以用于芯片的失效分析。随后,马岚博士也就原子力显微镜如何分析半导体表面粗糙度、形貌、缺陷等进行了详细介绍。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/e05c777d-cf78-47be-8e59-4999118212af.jpg" title="马岚.jpg" alt="马岚.jpg" width="400" height="267" border="0" vspace="0"/ /pp style="text-align: center "strong 牛津仪器 马岚/strong/pp style="text-align: center "strongimg style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 400px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/02f3ede5-bd2f-4713-b0d0-d61cde0ce5ee.jpg" title="颁奖_副本.png" alt="颁奖_副本.png" width="400" height="400" border="0" vspace="0"//strong/pp style="text-align: center "strong牛津仪器为报告人颁奖/strong/pp style="text-align: left "  仪器信息网还在会议期间采访了牛津仪器等离子技术部中国区经理陈伟和Axitron公司中国区市场与工艺高级部门经理方子文博士,了解国内半导体产业发展现状与等离子技术发展的趋势。br//pp  strong牛津仪器:/strongstrong以客户需求为中心 以行业应用为导向/strong/pp  陈经理谈到,得益于国内政策导向的支持与半导体芯片企业的飞速发展,牛津仪器凭借着每年10%以上的科研投入保持着两位数的高速增长。一方面,牛津仪器迎合客户需求,积极推陈出新,关注化合物半导体的发展,尤其是在光电、能源领域 另一方面,牛津仪器积极发展等离子体技术,比如在等离子体低损伤方面,不同于传统ICP以时间为单位,新型原子层刻蚀以每个Cycle为单位,刻蚀可以控制在原子层级别,精度大幅提升。/pp  牛津仪器目前超过50%的用户都是量产型用户,通过举办类似的线下用户会,与用户面对面交流,第一时间了解到用户的问题和攻克的难点,确定攻克方向上的优先顺序。在传统领域,牛津仪器主要是帮助量产型用户提升产能、良率 在新领域研发方面,牛津仪器也在关注二维材料等领域,虽然三到五年内尚不会成为主流,但其发展潜力看好。包括砷化镓,碳纳米管以及二硫化钼等低维材料都有希望成为替代硅的晶体管材料。目前,客户对等离子技术的需求日益提高,以无机材料中的化合物半导体为例,随着芯片的迭代升级,对频率和功率的要求更加严格,不仅要朝着刻蚀的无损化的方向发展,还要求一台设备能对应更多类型的材料,这都是牛津仪器目前在研发的方向。/ppstrong  Axitron公司:将与牛津仪器密切合作 携手促进等离子技术发展和半导体相关产业升级/strong/pp  方博士表示,Axitron公司与牛津仪器是上下游的合作关系,比如在薄膜的沉积和刻蚀方面,双方合作攻克新材料,从硅基材料到新型化合物半导体材料,如砷化镓及磷化铟等新兴材料。目前,化合物半导体材料在性能上比硅强,但是化合物半导体材料的普及主要还是集中在成本上,这包括了整个行业长期的质量验证过程以及行业整体“量”上的提升。以LED蓝宝石衬底为例,过去单片成本高昂,但随着政府的支持和大量工厂的兴起,单片成本大幅降低。在这个过程中,科研用户在化合物半导体领域进行初筛,选择最具量产前景的半导体新材料 工业用户主要负责降低单位成本,比如基台的成本和消耗,保证产能和良率的提升和化学源效率的提高。/pp  对于国内半导体产业面临的问题,方博士也指出,国内产业在数据分析方面还停留在初级阶段,产品质量出现问题才由工程师人为分析,尚未建立起工业的自动化,进行常见参数如温度、压力与对应产品批次的质量分析。对于国内半导体产业技术相对落后的问题,牛津仪器和Axitron公司也经常为客户做一些技术分享,帮助半导体相关产业升级。/pp  陈经理最后谈到,中国市场对于牛津仪器意义非凡,在整个亚太市场都占有很高的比重,牛津仪器也会重视中国市场的巩固与开拓,未来考虑将在上海建立DEMO实验室,帮助用户提供专业解决方案。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/aa4ca30d-bd3b-434f-ab51-7ad34ef13c6c.jpg" title="Axitron公司方子文博士(左)和牛津仪器经理陈伟(右).jpg" alt="Axitron公司方子文博士(左)和牛津仪器经理陈伟(右).jpg" width="400" height="267" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strongAxitron公司方子文博士(左)和牛津仪器等离子技术部中国区经理陈伟(右)/strong/pp  本次会议在武汉隆重举行,牛津仪器与用户进行了深入的交流讨论,对于用户痛点以及未来的发展方向有了更加清晰的认知,也帮助用户解决了科研生产中的工艺问题,会议取得了圆满成功。/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 266px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/897cf5fb-7e61-4f7d-9275-41ac011fb8f7.jpg" title="获奖.jpg" alt="获奖.jpg" width="400" height="266" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong研讨会期间还举办了抽奖环节,牛津仪器为与会老师提供了丰富的奖品/strong/pp style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 267px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/201911/uepic/e67b1886-c314-44cd-b252-629652092789.jpg" title="会后热烈讨论.jpg" alt="会后热烈讨论.jpg" width="400" height="267" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strong会后热烈讨论/strong/ppbr//p
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