定量气体分析质谱

基于20多年稀有气体质谱仪的经验，Thermo Scientific开发了系列新一代多接收稀有气体质谱仪。它结合创造性的新特征和经过实践验证的成熟的同位素质谱技术，开发了Helix MC Plus、Helix SFT和ARGUS VI三款先进的静态真空稀有气体质谱仪，是多接收静态惰性气体质谱迈进的重要一步。Thermo Scientific HELIX SFT质谱是为氦同位素同时分析及高精度跳峰分析而设计的高分辨、多接收系统，可以同时测定3He和4He，也可以用跳峰模式测量任何稀有气体同位素。 主要特点 该系统可同时测量氦同位素，无需跳峰扫描，减少了分析时间，获得了更高的精度和产出效率； 丰度灵敏度：由于HELIX SFT独特的设计，质量4对质量3的贡献小于1ppb； 体积：HELIX SFT的内部体积约1400cc，这是当前技术的重要提升； 分辨率：低质量数接收器，通常用来测定3He，其分辨率大于700，这保证了3He 能够和两个干扰峰HD和H分开； 1010Ω/1011Ω/1012Ω/1013Ω放大器拥有不同的动态范围范围使大部分分析都能在长寿命的法拉第接收器上进行。

基于20多年稀有气体质谱仪的经验，Thermo Scientific开发了系列新一代多接收稀有气体质谱仪。它结合创造性的新特征和经过实践验证的成熟的同位素质谱技术，开发了Helix MC Plus、Helix SFT和ARGUS VI三款先进的静态真空稀有气体质谱仪，是多接收静态惰性气体质谱迈进的重要一步。Thermo Scientific Helix MC Plus质谱是专为微量样品稀有气体分析而设计的高分辨磁质谱，可实现氖、氩、氪、氙惰性气体中任何五个同位素的同时检测。主要特点： 该系统可测量氖、氩、氪和氙的同位素。同时多达5个同位素的多接收测量无需跳峰，减少了分析时间，获得了更高的精度和产出效率； 可以进行跳峰测量，如氦同位素； 接收器动态范围：考虑到CFM接收器结合了法拉第和CCD，能够获得更大样品浓度范围的测量能力； 分辨率：标准分辨率接收器750(10%峰谷)能够解决标准碳水化合物干扰，而 1500（10%峰谷）分辨的高分辨接收器能够使得很多科学问题得到解决； 1010Ω/1011Ω/1012Ω/1013Ω 放大器拥有不同的动态范围范围使大部分分析都能在长寿命的法拉第接收器上进行。

产品简介：NGX-600是一台全自动、高精度的质谱仪，具有全面的多接收能力，可以高分辨率地测量稀有气体同位素比率。它配备有高灵敏度的“Nier”型气源和小体积静态真空计。探测阵列由可以定制组合的法拉第杯和离子计数电子倍增器组成。NGX标配了ATONA放大器。设计特点：- 紧凑设计- 大半径的磁场确保其有更佳的离子传送、质量分辨率和稳定性- 可旋转离子焦平面使接收器焦平面和离子轨迹垂直，不论接收器和离子焦平面的初始相对位置如何，均可确保更佳的峰平坦度- 专利（专利号GB2552233）的新一代电子校正ATONA放大器，用于全部法拉第杯- 小体积设计- 新一代高灵敏度离子源- 高质量分辨率，可以排除有机物基质干扰，从HD中分辨3He，从双电荷40Ar中分辨20Ne。- 全面的多接收能力，可选配置实现同时测定氙的9种同位素。一台仪器适用于多种稀有气体。应用领域：地质年代学、天体化学和热年代学等研究领域中稀有气体 He、Ne、Ar、Kr 和 Xe 的同位素分析。

仪器原理 大气中的挥发性有机物样品，具有组成复杂、含量低、活性强、浓度和化学活性差异大等特点，系统通过与Exp-200深冷预处理装置配合使用，结合氢火焰离子化检测器（FID）技术和质谱检测器技术（MSD）进行大气中VOC样品的在线分析监测。 样品经Pre-3000深冷预处理装置除水、富集浓缩后，通过直热式高温热脱附，被快速送入至毛细管色谱柱进行分离，分离后的样品，低碳（C2-C5）类VOC样品使用氢火焰离子化检测器（FID）进行检测；高碳（C6-C12）和含氧类VOC样品使用质谱检测器（MSD）进行检测，得到各单一组分准确的定性定量分析结果。 在线色谱-质谱分析仪充分利用了气相色谱的分离技术和质谱检测器的定性检测技术，可有效用于环境大气中复杂多组分VOC样品监测。一次采样可检测100多种各类VOC（碳氢化合物、卤代烃、含氧挥发性有机物）样品。仪器特点 工业标准系统设计，系统可靠性高；断电开机后，系统自动循环运行，维护量低； 低温电制冷技术，仪器体积小，整机采用19”标准机柜设计，安装维护方便； 质谱检测数据自动分析处理，结果直接输出，并传送至分析平台，无需人工计算； GC-FID、GC-MS双系统进行VOC检测，一次可检测100多种各类VOC（碳氢化合物、卤代烃、含氧挥发性有机物）； GC-FID系统使用预分离和阀切换反吹技术，避免高沸点组分进入分析系统，提高色谱柱的使用寿命； 对样品深度除水，解决水汽对色谱柱性能的影响；深冷富集可提高样品富集效率，解决含氧类VOC常温富集效率低、差异大的问题，提高检测灵敏度。应用领域　　环境空气组分分析监测　　环境空气痕量样品监测　　石化化工园区厂界挥发性溶剂及未知物组分分析　　科学研究

英国Hiden公司的QGA定量气体分析质谱仪是为在常压附近连续定量分析气体/蒸气的而设计。QGA配有专业版定量气体分析软件，提供了多种气体实时定量分析的功能。操作界面简单方便，使得用户非常容易去设置，减少了编辑程序的麻烦。设置简单、操作方便 图形、数据实时显示 本底自动校正 16种气体的定量分析 数据以原始数据、%或ppm形式输出 智能谱库扫描功能 准确的碎片峰形记录 自动减去重叠谱 数据输入外部气体分析器，例如一个CO分析器，能自动积分分析质谱数据 多路气体分析可自动顺序测量能连接多达80路气流（需选配多路取样阀）

QGA配有专业版定量气体分析软件，提供了多种气体实时定量分析的功能。操作界面简单方便，使得用户非常容易去设置，减少了编辑程序的麻烦。应用： 催化研究反应动力学热分析质谱气体纯度分析多组分气体分析 环境气体分析 燃烧研究 CVD / MOCVD 发酵过程分析 氢气在线监测技术规格： 质量数范围：1～200 amu(标准配置) 1-300amu可选 响应速度： 300毫秒内对于气体浓度的变化做出反映 取样压力：100mbar～2bar 标准配置；1mbar～30bar 选配 检测浓度： 1 ppm～100% QGA专业定量分析软件 多种气体或蒸汽的定量气体分析 智能谱库扫描功能 建立气体/蒸汽谱分析计算并自动减去重叠谱 谱图模拟器动态快速显示用户控制的变化 可从外部输入触发信号，自动开始分析 能够读取多种输入，如温度和压力 数据输入外部气体分析器，例如一个CO分析器，能自动积分分析质谱数据 多路气体分析可自动顺序测量能连接多达80路气流（需选配多路取样阀）

新一代的QGA 2.0质谱仪采用了全新的外观和内部设计，以更小的体积和重量，呈现出更加美观的外观。其更快的扫描速度和更高的灵敏度使其能够实现每秒1000次的测量速度，并覆盖了从100ppb到100%的扫描范围。 便捷简化 – 一键启动操作先进卓越 – 全新电子学部件设计多功能应用 – 兼容多种进样口精心优化 – 专为氢气分析而优化高效速度 – 每秒高达1000次测量直观易用 – QGA 2.0 定量分析软件紧凑轻巧 – 实验台占地面积减小了42%轻盈便携 – 重量减轻了26%可持续环保 – 制造过程中使用更少，更环保的材料

仪器简介：英国Hiden公司的QIC 20 小型在线气体分析质谱仪是一台完备的台式气体分析系统，用于监测气体和过程分析，便于生产、研究使用。应用： 过程监测 在线分析 污染物研究 CVD / MOCVD 环境气体分析 热分析质谱 催化剂研究/ 反应动力学技术参数： QIC 直接进样，对气体、蒸气的响应时间 1～20 sccm / min连续进样 取样压力：100 mbar ～ 2 bar（可选配10mbar－2bar） 高压取样接口至30 Bar（选配） 灵敏度高 (0.1ppm标配，可选配至 5 ppb) 质量数：1-200amu标配。可选配50amu，100amu，300amu,510 amu。主要特点： 高效、柔韧、加热(直到200℃)惰性石英毛细管（QIC) 惰性毛细管避免了气体与毛细管发生物理或化学反应 自动流量控制，以恒定离子源压力 液氮低温板（选配），增强对可凝结的背景气体的抽吸 软离子化技术，有利于分析复杂有机物 稳定性(24h以上，峰高变化小于±0.5% ) 通过RS232、RS485或以太网连接计算机，由 MASsoft 软件控制 定量分析方法

在线质谱分析仪与气体分离测试系统联用上海伯东客户某研究院采购在线质谱分析仪 Omnistar 与气体分离测试系统联用进行 CH4, CO, C2H2,CO2 的快速定量分析.在线质谱分析仪使用方法: 质谱分析仪通过毛细管与气体分离测试系统连接, 开始测试前加配对应的标气, 利用氦气作为载体, 在测试前进行标定. 采用 MCD 定量模式分析, 即可快速在线实时分析反应产物的含量.在线质谱分析仪 Omnistar GSD 350 01 主要参数质量数1-100 amu最大进气口压力1200 hPa检测极限 100 ppb气体流率1-2 sccm (0 °C)输入模拟5 x, -10 – +10 V, 14 bit | 16 bit不锈钢毛细管长度1m进样加热温度最高200 °C铱灯丝, Y2O32根鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解在线质谱分析仪, 请联络上海伯东叶女士

HPR20 QIC TMS瞬变过程气体分析质谱仪是为在常压附近快速反应的气体分析而设计的系统。配置0.9m长度的石英毛细进样管，是理想的气体瞬变过程分析质谱仪。0.9m长的高效、柔韧、加热(直到200℃)石英惰性毛细管（QIC) APSI-MS 软离子化技术，选择性分析复杂气体和蒸汽 多离子源选择和快速响应的优化泵结构 脉冲离子记数器，可检测连续7个数量级的动态范围 ppm,%定量分析方法 提供两组外部参数显示信号；可选配16组 扩展余地宽 质量数范围： 1～50、100、200 、300、500、1000amu 响应速度： ＜150ms，200毫秒内对于5个数量级气体组成变化做出反映 扫描速度： 100amu/s 取样压力： 100mbar～2bar 标准配置 1mbar～30bar 选配 检测浓度： 5ppb～100% 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5% 测量速度： 500点/秒

SHP8400PMS-I 防爆型过程气体质谱分析仪，将前沿的在线质谱分析技术与针对性的行业解决方案相结合，实现过程气体的实时、在线分析。通过多通道采样实现多点监测，提供多组分、多流路同时分析。该款质谱分析仪适用于易燃易爆环境和复杂工况环境下的过程气体多组分同时分析，满足长期不间断在线分析和多路不同样品监测的需求。设备简介： SHP8400PMS-I防爆型在线工业质谱仪可用于危险及复杂工况环境下的气体成分快速在线分析，具有防爆、防水、防尘等防护功能。仪器可实现高精度多组分同时检测，提供精准的定性定量测试，并可与生产反应调控过程关联。高精度流体控制◆仪器内置温度补偿型全自动高精度电子流体控制系统，当样气状态改变时，自动进行流量调节，避免了样气压力、温度波动对数据准确性的影响，保证长期连续监测过程中数据的一致性。高稳定质量分析◆72小时内质量轴偏差优于0.1amu，是连续稳定监测的可靠保证。可靠的长期稳定性◆连续36天监测空气中Ar的含量，大标准偏差优于0.4，满足长期连续监测的实际需要。智能在线监控◆在线监控真空度、气路温度、分子泵状态等系统运行参数，如有异常情况出现，立即报警或停机，大程度保障运行安全。精益管理解决方案降低投资成本◆单台质谱仪轻松取代多台气相色谱仪，不仅降低设备投资费用，减少了占地面积，也节省了分析小屋的成本。◆多个工艺气流的各种气体分析数据由一台质谱仪提供，简化了与控制系统的连接，也更为高效。减少运行成本◆质谱仪运行无需载气、助燃气、色谱柱等，避免了气相色谱仪的高维护成本和气体消耗。 在线质谱分析控制原理示意图

仪器简介：qRGA托卡马克装置残余气体分析质谱仪专为阈值电离质谱(TIMS)模式下操作，核聚变系统燃料输送进行分析而设计的质谱仪。 通过控制TIMS模式提供的电子发射能量，能对D2 和4He的同位素进行分析检测。 主要特点：实时定量分析 ppm级检测水平 在常规质量分析和TIMS模式下操作 电子能量分辨率为0.1 eV 辐射屏蔽和磁屏蔽，低耗费运行 技术规格：质量数范围：1～200 amu 软离子化： 0～150eV 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5%

仪器简介：HPR20 QICPlus是在HPR20 QIC基础上发展的全自动定量分析在线质谱仪系统,包括HPR20 QIC的所有功能技术参数：质量数范围： 1-50，1-200，1-300，1-500，1-1000 amu四极杆种类： RGA，3次过滤四极杆气体取样管： 内置石英玻璃毛细管，外部为不锈钢套。 加热温度至200℃。2米长气体流量： 1-20sccm，可调节进样压力： 压力恒定状态：100mbar－2bar（标准配置） 压力不断变化：100mbar－2bar，需选配FCI自动流动控制阀 2-30bar，定做装配方式： 台式或车载（选配）检测极限： 0.1-1 ppm RGA HAL系列四极杆（标准配置） 5ppb 3F系列四极杆 （选配）最小扫描步阶： 0.01amu多路进样阀： 多至80路。加热与否均可（此项为选配）主要特点：四组份气体传送和预混合面板，用于调配校准气体双气路进样口，低死体积阀门，自动/手动切换： 校准气体－零气体－样品气体，确保样品气体正向流动进样过滤器 (5µ m)，高传输、低死体积，方便清洁定量气体分析软件，利用标气进行自动定量气体分析校准矩阵倒置算法用于组份浓度计算，数据可显示为：％，ppm

针对生物发酵尾气分析需求，SHP8400PMS过程气体质谱分析仪配置多通道采样系统，高稳定性四级杆质量分析器，耐水、耐氧性双灯丝离子源等进口关键部件。整个仪器精度高、漂移小 、响应快、维护少并且可以实现多个生物反应器发酵尾气实时、连续、精确的全组分气体分析 ，是提供发酵尾气监测的理想工具。详细信息 SHP8400PMS 过程气体质谱分析仪依托多年研发应用经验，以实时、高精度、在线监测多路生物过程气体为目标，配置16通道采样系统，具有指纹谱图库的电子轰击离子源，经典、成熟的四极杆质量分析器，性能稳定，使用寿命长的法拉第检测器等。另有专业设计的发酵尾气预处理系统，保证分析结果准确的同时确保了仪器不受溢罐等特殊情况的伤害。更高的投资回报率◆一台过程质谱多可同时分析15台发酵罐尾气组分，台均投入费用少；◆快速在线气体分析（每个取样点快30秒），准确反映工艺动态，给工艺优化提供强有力支撑；◆高稳定性，3-6个月的标定间隔，可长时间稳定运行；◆全组分分析，自动生成摄氧率（OUR）、二氧化碳释放率（CER）、呼吸商（RQ）等数据和曲线；◆自动化程度高，维护需求少，运营成本低；16通道采样系统◆每一通道均为独立进气和独立排气，彻底摒除通道间干扰◆连续流动式取样，保证气体的实时更新◆可控温的进气管路，有效防止过程气体在采样过程中冷凝全组分气体分析◆SHP8400PMS可实现气体全组分分析，除了提供N 2 、O 2 、C O 2 、A r等无机气体的监测结果，也能实现甲醇、乙醇、甲烷等有机气体的实时分析。高精度流量控制◆仪器内置温度补偿型全自动高精度电子流量控制系统，当样气状态改变时，自动进行流量调节，避免了样气压力、温度波动对数据准确性的影响，保证长期连续监测过程中数据的一致性。高稳定质量分析◆72小时内质量轴偏差优于0.1am u，是连续稳定监测的可靠保证。全中文在线质谱分析工作站◆采用新一代Fluent Ribbon用户界面，在提供丰富信息的同时，降低操作难度，易于用户掌握。质谱仪在线监控示意图 在线气体前处理系统◆针对生物过程设计的多通道样气在线处理系统，具备除尘、除湿、除泡沫、控温及调压等功能，保证样气的真实快速传输和质谱仪的长期稳定运行。 完美兼容各种发酵控制系统和工艺分析软件◆软件的数据存储格式和内部交换格式均采用通用的工业标准，与其他软件系统完美兼容。 SHP9000PA在线监控及工艺分析软件◆中文软件界面，适用于工业生产以及实验室多参数过程监控，可根据用户工艺流程定制工艺画面，通过实时数据的采集即时掌握整个工艺流程的概况。◆支持各类工业P LC ，数据采集装置以及本公司在线质谱仪等各类在线分析仪器。自动生成摄氧率（OUR）、二氧化碳释放率（CER）、呼吸商（RQ）等数据和曲线，提供趋势图，柱状图等显示监测数据或历史数据，可更直观地对参数进行分析处理，用户可轻易发现参数之间的相关性，同时按要求格式保存输出。◆可输出控制信号，具有报警功能。

MS GAS-100气体分析质谱仪用于对气体和挥发物质，包括同位素、溶剂和可挥发有机物进行复杂的精确分析。 系统组成：质谱分析模块：由开放/封闭版电子碰撞离子源，两个独立灯丝和一个四级质朴分析器组成。质量范围分为1-100、1-200和1-300 amu。系统中应用两种检测器：法拉第检测器：灵敏度低于10ppm次级电子倍增检测器（SEM）：灵敏度低于100ppb高效真空泵系统：真空室内置加热元件；专用汽水分离模块；双泵抽真空模块，包括前级隔膜泵和涡轮分子泵。恒温加热元件可以去除真空室中的杂质。汽水分离模块中的电子控制斯特林制冷器可以高效抑制水分子背景，从而显著提高离子源寿命。这一模块可以连续运行数周。温度可以由用户自定义，从而监测特定的挥发物质，如乙醇等。进样单元：模块化设计，可互换渗透膜探头或针阀进样器。渗透膜探头允许溶解物质通过，既可以测量液态样品，也可以测量环境气体。针阀进样器适用于直接测量气态样品中的挥发物质。真空压传感器：测量真空室中的总压力和进样单元中的压力，确保不会损坏质谱分析器。集成触屏监控器：可手动控制加热/制冷温度，开闭进样器、分流阀和安全阀。可通过预设程序进行自动测量。控制软件：操作设定质谱仪、获取测量数据、编写用户自定义测量程序用于测量特定的物质。应用领域： 气体和液体样品的气体交换，如藻类光合作用（CO2、O2）、生物燃料研究（H2、乙醇、烃类）一台仪器即可进行多种气体和挥发物质的长期监测两种进样单元，即可测量气体也可测量液体模块进样设计，多种接口可选，可以进行整株植物或细胞悬液的气体交换分析固氮生物研究（N2）18O2标记光呼吸研究同位素分布分析气体污染研究（CH4，H2S，NOx，SO2，CS2，CO等）水污染研究（可溶性有害气体、挥发性有机物等） 技术参数：分析气体种类：气体：CO2、O2、H2、N2、C2H4、CH4、H2S、NOx、SO2、CS2、CO等挥发性有机物：乙醇、烃类、苯、甲苯、丙酮等 质谱分析器：残余气体分析器（RGA）质量范围：1-100 amu、1-200 amu、1-300 amu离子源：开放或封闭版电子碰撞离子源，两个独立灯丝（灯丝材料：yttriated iridium）检测器：法拉第检测器：灵敏度10ppm次级电子倍增检测器（SEM）：灵敏度100ppb响应时间：20秒真空系统：前级隔膜泵和涡轮分子泵进样器：渗透膜探头（PDMS）或针阀进样器加热系统：100W恒温加热元件，最高温度90℃制冷系统：电子控制内置斯特林制冷汽水分离模块，最低温度-80压力传感器：高真空压传感器用于测量真空室中总压力；进样器压力传感器用于保护质谱分析器触控屏：系统控制并显示实际读数BIOS：可升级固件通讯端口：千兆以太网，TCP/IP协议外部工作站：预装专用软件，操作设定质谱仪、获取测量数据、编写用户自定义测量程序用于测量特定的物质尺寸：54.5×72×45.5cm重量：65kg供电：110-230V交流电应用案例：配合FMT150藻类培养与在线监测系统测量蓝藻Synechocystis 6803光补偿点（测量O2）。配合专用测量室和FluorCam便携式叶绿素荧光成像系统，测量整株番茄的光合作用（测量CO2），同时与Li6400测量数据进行对比，可见MS GAS-100的稳定性和重复性要远远高于Li6400。 产地：欧洲 参考文献：1. Zav?el T. et al, 2016, A quantitative evaluation of ethylene production in the recombinant cyanobacterium Synechocystis sp. PCC 6803 harboring the ethylene-forming enzyme by membrane inlet mass spectrometry. Bioresource Technology, 202:142-1512. Zav?el T., ?erveny J., Knoop H., Steuer R., 2016, Optimizing cyanobacterial product synthesis: Meeting the challenges. Bioengineered, 7(6): 490-496.

因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准 残余气体分析仪 Hicube RGA 上海伯东销售维修德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA. 四极杆质谱 PrismaPro 与 HiCube 涡轮分子泵组的搭配, 质量数范围 1-300, 高分辨率和灵敏度. 适用于残余气体分析, 过程监测, 泄漏检测.残余气体分析仪 Hicube RGA 优势残余气体分析和氦气泄漏检测模式可用于从大气压至高真空环境高分辨率和灵敏度通过真空压力监测保护灯丝进气系统带集成式切断阀Pfeiffer 残余气体分析仪 Hicube RGA 技术规格 涡轮分子泵组HiCube&trade Eco功耗170W电压（范围）110 - 240 V 50 / 60 Hz氮气抽速67 l/s前级泵在 50 Hz 时的泵送速度1 m3/h极限真空1X10-7 hPa真空计PKR 361测量范围1X10-9 至 1X103 hPa阀门EVN 116气体流量可调整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s进气口DN 16 ISO-KF PrismaProQMG 250 F1QMG 250 F2QMG 250 F3QMG 250 M1QMG 250 M2QMG 250 M3检测器法拉第 Faraday (F)电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)质量数 amu1–1001–2001–3001–1001–2001–300四极杆直径／长度6 /125 mm最小检测极限 F hPa *1,24X10-135X10-137X10-13---最小检测极限 M hPa *1,2---3X10-154X10-155X10-15对Ar的灵敏度 F A/hPa*35X10-44X10-43X10-45X10-44X10-43X10-4最大工作压力 F hPa5X10-4最大工作压力 M hPa---5X10-55X10-55X10-5对临近质量数的影响*1 10 ppm 20 ppm 50 ppm 10 ppm 20 ppm 50 ppm操作温度 分析200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)操作温度 电子5 – 50 °C烘烤温度 分析300 °C连接法兰DN 40 CF-F保压时间1 ms – 16 s/amu峰比值可重复性± 0.5 %接口以太网电源电压100–240 V AC，50/60 HzHiCube&trade RGA重量25.5 - 26.2 kg 残余气体分析仪 Hicube RGA 典型应用 残余气体分析: 对真空系统中残余气体的分析, 可以获知在达到所需的最终压力或调节要求时, 残余物质的组成. 由此可以得出各种有关系统表面性质, 脱附行为, 纯度和密封性以及工艺气体成分的结论. 这将为您提供有关真空室或真空组件状态的重要信息.泄漏检测: 上海伯东 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA 具有氦气泄漏检测模式, 可以通过软件控制激活. 此功能可以方便您发现真空系统中的任何泄漏.过程监控: HiCube RGA 可以在最大 300u 的测量范围内随时间观察任意数量的选定质量强度, 并可对选定的各质量分配警报循环阈值. 如果它们高于或低于所需极限, 则可以通过数字输出将信号提供给更高级别的控制系统. 因此残余气体分析仪 HiCube RGA 能够提供实时过程观察和控制功能. EVN 116 气体计量阀还可以使真空系统中的压力适应相应过程需求, 此外, 集成式切断阀还允许对泄漏设定点进行快速开/关控制.质量保证和过程优化: 诸如提供气体成分定量测定, 确定过程气体纯度, 以及监测真空镀膜过程相关气体成分等能力, 残余气体分析仪 HiCube RGA 是过程记录和质量保证中的重要工具. 即使测量正在执行, 所有测量值也会得到存储, 并且可以在不停止测量的情况下追踪. 即使仍在执行测量, 也可以导出测量结果以进行进一步分析.若您需要进一步的了解残余气体分析仪详细信息或讨论, 请联络：上海伯东: 叶女士 上海伯东版权所有, 翻拷必究！

仪器简介 英国Hiden公司的HAL 201 RC超高真空残余气体分析四极质谱仪专为检测超高真空容器中的存在组分而设计，针对真空诊断进行精确的分析。 离子源为镀金离子源，适合应用在总压小于5 x 10-10mbar的领域，其系统与EPIC离子/分子分析质谱仪完全兼容。 主要特点：镀金离子源，以减少离子源脱气 氧化物涂层双铱丝的离子源 双法拉第/ Channeltron电子倍增器检测器 技术规格：质量数范围： 200，300 amu扫描速度： 100amu/s 最小扫描步阶：0.01amu 灵敏度： 0.1 ppm～1ppm 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5% 最小检测分压：5 x 10-14 mbar 最大工作压力：1 x 10-4 mbar

仪器简介：HALO 201 MBE 分子束外延残余气体分析四极质谱仪用于泄漏探测、趋势分析、真空诊断的过程监测和残余气体的精确分析。该分子束外延特定分析质谱仪由兼容性材料组成，并能在分子束外延环境中长期使用。 主要特点：钼铜布线增加MBE环境下系统的寿命 抗污染离子源护罩 双法拉第/ channelplate电子倍增器 技术规格：质量数范围： 1～300 amu 扫描速度： 100amu/s 最小扫描步阶：0.01amu 灵敏度： 0.1 ppm～1ppm 稳定性： 24h以上，峰高变化小于±0.5% 最小检测分压：2 x 10-13 mbar 最大工作压力：1 x 10-4 mbar Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB)

在线质谱仪 参数如下：配置包括：1 减压装置：1米长不锈钢取样毛细管，外置加热套，最高加热温度200℃可调，双级降压；2 真空系统：涡轮分子泵作为主抽泵，前级泵为无油隔膜干泵，配全量程真空计检测真空度，真空系统由液晶显示屏显示和控制，真空度可以在液晶显示屏上显示；3 质谱室：不锈钢材质，外配加热套，最大可烘烤温度为200℃；4 质量分析器：开放式离子源，配双灯丝，可检测1-100/1-200/1-300质量数气体；5 软件：多通道检测气体，可实现定性和定量分析，适用于Windows 7/10系统；6 两个独立显示温控仪，控制取样管和质谱室的加热；技术参数：1 质量数范围： 1-100/1-200/1-300；2 离子源：开放式离子源，含2根灯丝；3 最大测量通道：128个；4 最小检测极限: 优于1ppm5 检测器最大烘烤温度：300℃6 质谱仪响应时间：小于200ms7 扫描时间：1ms-16s/amu8 通讯方式：TCP/IP Ethernet；9 腔体烘烤最大温度： 200℃10 高真空泵：涡轮分子泵，抽速67L/S11前级泵：无油隔膜干泵，抽速1m3/h12真空计：皮拉尼和冷阴极复合真空规，测量范围大气压到5x10-9hPa13 主机尺寸不大于400mmX 620mmX400mm

上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪无等离子体设计,可以实现快速, 化学特定的原位定量气体分析, 与光学发射光谱 OES 对比, Aston™ 质谱仪 的 OA% 灵敏度显示为 0.25%, 适用于半导体工艺中蚀刻计量控制, ALD, 3D-NAND 和新兴的堆叠式 DRAM.半导体蚀刻工艺挑战日益增加蚀刻是半导体制造中常用的工艺之一. 介电蚀刻用于形成绝缘结构, 触点和通孔, 多晶硅蚀刻用于在晶体管中创建栅极, 金属蚀刻去除材料以显示电路连接图案并钻穿硬掩模.连续蚀刻铝 Al, 钨, 铜 Cu,钛 Ti 和氮化钛 TiN 等工艺金属具有挑战性, 因为许多金属会形成非挥发性金属卤化物副产品（例如六氯化钨 WCl6）, 这些副产品会重新沉积在蚀刻侧壁上, 导致成品率降低（通过微粒污染或沉积材料导致短路）.随着半导体行业不断缩小关键特征尺寸并采用垂直扩展 (如 3D-NAND 存储器和全环绕栅极先进技术节点), 各种新的蚀刻挑战已经出现. 这些包括在晶圆上蚀刻更小的特征, 高展弦比 HAR 沟槽蚀刻 (具有小的开放面积百分比- OA%), 以及在新兴的非挥发性存储器和高 k介质中蚀刻金属闸极, 稀土金属等新材料. 对于先进的纳米级工艺, 如蚀刻到硅介质和金属薄膜, 选择性处理, 如原子层蚀刻 ALE 一次去除材料的几个原子层. ALE 提供了比传统蚀刻技术更多的控制. 对于 3D-NAND 和先进 DRAM 来说, 向批量生产过渡的重大挑战包括解决导体蚀刻困难的要求, 满足积极的生产斜坡和实现所需的吞吐量, 以推动成本效益.上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪提供高性能, 嵌入式和可靠的原位定量分子气体计量已经成为验证工艺室和持续监测工艺化学过程的关键工具, 确保生产环境中的高产率和更大吞吐量.Aston™ 质谱分析仪提供全腔室解决方案使用上海伯东 Atonarp Aston™ 质谱仪通过实时, 定量和精确的分子传感器来解决半导体新兴蚀刻工艺技术相关的关键挑战. 通过解决传感器耐久性, 灵敏度, 匹配, 系统集成和易用性等方面的挑战, 日本 Atonarp Aston™ 质谱仪升级了传统的气体分析计量方法. Aston 是一种全室解决方案, 用于在各种工艺步骤中实时监测前体, 反应物和副产物.这些包括基准室和过程指证, 腔室清洁, 过程监测 (包括存在腐蚀性气体), 颗粒沉积和气体污染物凝结. 小的占地面积和灵活的通信接口允许在室内安装和集成到过程设备控制系统. 为了集成到半导体工艺工具中, Aston 质谱分析仪的高性能和可靠性设计用于生产晶圆的大批量生产过程控制.Aston™ 质谱分析仪半导体蚀刻计量控制半导体行业正从二维结构的扩展转向复杂三维结构的挑战性要求. 传统的离线晶圆测量已不足以实现性能和良率目标, 原位蚀刻测量传统上缺乏生产所需的鲁棒性和可重复性. Aston™ 质谱分析仪的结构中嵌入了专利技术, 使其具有卓越的分析和操作性能. 为了满足过程控制和跨工厂生产工具匹配的严格要求, Aston 从头开始设计, 高运行时间和低维护的吞吐量, 长期信号稳定性和可重复性.为了承受腐蚀和沉积过程的恶劣环境, Aston™ 引入了两个的功能: 等离子电离和自清洁 (ReGen™模式). 等离子体电离消除了由于与腐蚀性气体(如NF3, CF4, Cl2)的反应而导致的灯丝降解. 此外, 除去(正硅酸四乙酯) TEOS 等颗粒和蒸汽污染物沉积, 同时定期进行室内清洁循环, 延长了 Aston™ 质谱仪的使用寿命. ReGenTM 模式使仪器能够使用高能等离子离子清洗自身, 通过去除在膜沉积过程中可能发生在传感器和腔室壁上的沉积. 结合这两个功能, 传感器的灵敏度可维持在数百个RF(射频)小时的操作. Aston质谱仪支持的基于测量的控制, 有可能延长清洗间隔 MTBC 的平均时间. MTBC 的增加意味着工具可用性和长期吞吐量的增加. 除了等离子电离器(用于工艺), 传感器还配备了传统的电子冲击 EI 灯丝电离器, 用于基线和校准.分子传感器的分析级是使用微米级精密双曲电极的四极杆. 由高度线性射频(RF)电路驱动, Aston 质谱的HyperQuad 传感器在 2到300 amu的质量范围内具有更高的分析性能.Aston™ 质谱分析仪技术参数参数值质量分辨率0.8u质量数稳定性0.1u灵敏度(FC / SEM)5x10-6 / 5x10-4 A/Torr最低可检测的部分压力(FC / SEM)10-9 / 10-11 Torr检测极限10 ppb最大工作压力1X10-3 Torr每 u 停留时间40 ms每u扫描更新率37 ms发射电流0.4 mA发射电流精度0.05 %启动时间5mins离子电流稳定 ±1%浓度的准确性 1%浓度稳定±0.5%电力消耗350w重量13.7kg尺寸400 x 297 x 341mm高展弦比 HAR 3D 蚀刻随着多模式技术和 3D器件结构的出现, 高度密集的蚀刻和沉积过程驱动了计量需求. 3D多层膜栈, 如 NAND 存储架构, 代表复杂的, 具有挑战性的蚀刻过程, 具有关键的蚀刻角度, 统一的通道直径和形状要求, 尽管高蚀刻纵横比通道 100:1 是常见的. 对于 3D-NAND, 关键导体蚀刻过程包括阶梯蚀刻(下图)和用于垂直通道和狭缝的 HAR 掩模打开. 通过硝酸硅和氧化硅交替层蚀刻需要高速定量终点检测. 对于 DRAM, 蚀刻过程包括 HAR 门, HAR 沟槽和金属隐窝. 对于阶梯蚀刻, 关键是在整个 3D堆栈的每个介质膜对的边缘创建等宽的“步骤”, 以形成阶梯形状的结构. 在器件加工过程中, 这些步骤的大量重复要求蚀刻高吞吐量和严格的过程控制.多功能现场气体计量需要在一个工具中执行多种监测功能:• 检测和量化污染, 交叉污染, 气体杂质和工艺室内的工艺化学• 评估已开发的蚀刻过程在生产工具 / 运行的复杂功能上的性能• 测量刻蚀后的清洁 (包括先进的无晶圆自动清洁 WAC) 作为腔条件对于消除工艺漂移和确保可重复性性能是至关重要的• 快速准确的蚀刻端点检测 EPD, 通过等离子体或气体监测, 因为这是一个关键的控制功能. 举例包括一氧化碳 CO 副产物在介电蚀刻中下降或氯 Cl 反应物在多晶硅和金属蚀刻端点上升.• 全面的实时计量数据, 允许过程等离子体和反应物的动态腐蚀控制, 以管理要求的腐蚀剖面Aston™ 质谱分析仪无等离子体终点检测虽然光学发射光谱 OES 已被广泛用于蚀刻 EPD, 但低开放面积 OA 和 HAR 设计的趋势使其在许多蚀刻任务中无效. OES 技术需要等离子体'开'和发光物种. 随着昏暗和远程等离子体越来越多地用于 3D设备和原子水平蚀刻 ALE 工艺, 需要更多敏感的数据和分析技术来实现迅速和确定的 EPD. 此外, 脉冲等离子体通常用于管理 HAR 和 低 OA% 工艺的蚀刻剖面, 这使得 OES 对于 EPD 来说是一个不切实际的解决方案. 在3D 结构中, 多层薄膜和多个接触深度阻碍了每一行触点到达底部时端点的光学发射信号的急剧步进变化其他 OES 限制包括:• 在电介质蚀刻中, 在 OA 5% 的模式上进行 EPD一直具有挑战性, 因为 OES 在低浓度下具有低信噪比.在高压Si深蚀刻(例如博世工艺)中, 要求 OA% 的 EPD低于 0.3%, OES 中较大的背景噪声水平抑制了对发射种数量的任何变化的检测.• 在金属蚀刻中, OA% 可能低于10%, 这取决于所涉及的互连尺寸. 对于接触和通过蚀刻, OA 可以在0.1-0.5%之间或更低, 这取决于所涉及的特征的大小. 在钨 W 蚀刻的情况下, 随着 OA的减小, 氯 Cl 反应物的消耗减少, 由于材料运输到 HAR 蚀刻特征, 蚀刻趋于放缓. 这两个因素都降低了反应气的消耗率. 因此, 由于等离子体中反应物的耗尽, 很难看到在终点处 OES信号的显著变化.Aston™ 质谱仪可以利用蚀刻反应物和 EPD 的副产物. 此外, Aston 能够在小的, 有限体积的传感器上运行周期性清洗, 以保持其性能(灵敏度), 在延长晶圆运行次数的情况下获得更大的正常运行时间. 然而, OES 要求在腔室上有一个需要保持清洁的访问窗口，以获得足够强度的稳定信号。通常，加热石英窗用于减缓工艺产品的堆积. 使用 Aston™质谱分析仪，在低浓度下的检测不受等离子体发射的背景光谱的影响, 也不受射频功率脉冲期间等离子体强度波动的影响.图 3a/3b 显示了 CO+和 SiF3 +的副产物 OA%下降到0.25%的电介质腐蚀EPD数据数据清楚地显示了线性行为和在低浓度下的检测不受等离子体发射的背景光谱影响. Aston 质谱的 ppb 灵敏度是针对 0.1%以下的 OA性能.原子级蚀刻 ALE在三维结构中, ALE 过程中的逐层去除需要脉冲射频电源来控制自由基密度和较低的离子能量, 以减少表面损伤和保持方向性. 在这样的光源中, 等离子体的整体光强较低, 并表现出波动幅度. 通常等离子体离晶圆区很远(距晶圆区25厘米), 而且等离子体激发的副产物很少, 使得光学测量不切实际.在 ALE中, 由于每个周期都是自我限制的, 端点检测可能不那么重要. 然而, 在缺乏气体分析的情况下, 工艺工程师对监测腔室和工艺健康状况“视而不见”, 因为无法看到化学状态, 特别是在工艺步骤 (吸附/净化/反应/净化) 之间过渡时的动态状态, ALE 的自限性并不能使它不受过程漂移的影响. 此外, 由于 ALE 不是基于等离子体的, 因此过程中的化学变化不一定可以通过等离子体监测检测到.有一种误解, 认为 ALE 技术实际上是一次一个原子层 相反, 它们每循环的去除/沉积量可能比单分子膜多一点(或少一点). 由于真空泵性能, 晶圆温度或离子轰击能量 (电压) 的变化分别导致表面饱和度和表面反应性的变化, 工艺移位(Å/周期的变化)可能发生.在 ALE (下图)中,由于等离子体的使用不一致, 化学监测方面的差距就不那么明显了. 在这种情况下, Aston™ 质谱仪具有以下优点:• 在每个工艺步骤中建立一个腔室化学状态的指证. 这可以参照其自身的正常行为, 也可以参照标准腔• 描述和监控与化学变化相关的动态过程中, 从一个步骤过渡到下一个步骤• 监测在 ALE 循环第一步之后从系统中清除吸附物质的时间. 等离子体通常用于产生吸附物质(自由基), 但它是在远离晶圆片的地方产生的• 监测 ALE 循环第二步反应产物的变化. 等离子体光强通常较低, 因为它使用了低占空比的脉冲射频• 监测反应产物和反应物在ALE循环第二步后被净化的时间结论原子级蚀刻只能使用像上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱仪这样的分子传感器进行真正的测量和监测. 它的高灵敏度, 速度和对等离子体强度变化的低敏感性产生可靠的定量测量, 即使在低浓度的反应物和副产物, 具有低于1% 水平的高精度, 可以监测微妙的过程漂移和过程变化效应, 提供了可用于机器学习模型的见解.利用其高扫描速度, 通过监测反应产物减少的时间来实现步进时间优化, 因为它是表面反应活性变化的指示, 增加了总体吞吐量.ALE 是先进的蚀刻技术, 上海伯东 Aston 质谱仪为 ALE 提供了先进的化学计量技术, 可以测量和控制反应及其持续时间, 为大批量生产提供了可靠的解决方案.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

主要参数 / Main Parameters: ◆ 四极质谱：德国英福康（INFICON）在线质谱（产地：美国，提供原产地证书及原厂校准测试证书）； ◆ 质量数：默认1-100amu；选配1-200amu或1-300amu； ◆ 灯丝：镀铱灯丝，2套，一用一备，软件切换； ◆ 分辨率：优于0.5ppm（40amu）； ◆ 扫描速度：可达1.8毫秒/amu，扫描步阶0.1amu； ◆ 最小可检测分压：2E-15Torr （4s停留时间） ◆ 气体采样流量：默认可低达2SCCM的微流量采样，可至0.2SCCM的超微采样量；（相比其它国际品牌，完全避免了大流量采样吸入空气的弊端） ◆ 响应速度：可在低达＜2SCCM的微流量采样量下，仍然保持超快速的响应，响应时间＜1秒；（无需大流量采样来提高响应速度） ◆ 分流系统：具有，高精度分流系统是快速灵敏响应速度的保证。 ◆ 软离子化功能：离子源电子能量软件可调，提供更高分辨率。 ◆ 涡轮分子泵：爱德华，抽速85L/s，100KRPM，极限真空1*10E-12mbar； ◆ 干泵：涡旋干泵，抽速20L/S，极限真空1*10E-1mbar； ◆ 质谱腔体：一体式腔体，非焊接式，含加热烘烤，烘烤温度150℃； ◆ 进样接口：1.2米内洁净钝化不锈钢毛细管进样装置，防冷凝防堵塞保护结构；采样压力默认100±10kpa，负压或高压采样可定制； ◆ 软件分析系统：德国英福康（INFICON），英文；通讯接口TCP/IP。 ◆ 规格：H510mm*L520mm*W225mm，Weight30kg，高集成度。测试报告 / Test report其它功能 / Other functions ◆ 零焊缝超高真空质谱腔体技术（将传统的4焊缝降低到0焊缝）； ◆ 分子泵高真空大流导MAX接口技术（将流导面积增加3倍以上，流导长度缩短5倍以上），从而获得极限灵敏度； ◆ 分子泵电流电压监测，质谱腔体温度监测； ◆ 采样管线防蒸汽凝结技术；采样口防堵技术；高温变压高湿气体在线质谱分析系统BSD用户论文 / BSD User Paper

价格货期电议在线质谱分析仪热催化分析上海伯东客户某大学采购在线质谱分析仪 Omnistar, 对经过热催化后的气体 CH4, NO, CO2 等气体进行分析. 热催化主要涉及在较低温度 (≤ 523 K) 的加氢反应, 生成 CH4, NO, CO2 等气体. 热催化是催化 CO2 转化最常用的方法之一.在线质谱分析仪使用方法: 在催化反应装置尾气段接入质谱分析仪 Omnistar GSD 350 02, 即可在线实时分析反应产物的种类及特性. 定量分析需要加配对应的标气, 利用氦气作为载体, 在测试前进行标定.若您需要进一步了解详情，请联络上海伯东叶女士

价格货期电议上海伯东客户某研究院采购 Pfeiffer 在线质谱分析仪 Omnistar GSD 350 O1 主要用于催化剂的吸附分析检测.在线质谱分析仪与化学吸附仪联用, 检测催化剂通过化学吸附后的微量的气体产物变化, 来进一步优化催化剂的催化性能. 可研究催化剂的 NH3-TPD, TPR, TPO 等反应, 通过 Omnistar 对吸附后的微量产物做更加清晰的定性和定量分析, 明确反应的机理和反应过程. 伯东质谱分析仪成功协助客户发现新的催化剂的拓扑结构!除此之外, 此客户还计划在后续的研究中, 采用伯东质谱分析仪 GSD 350 直接连接催化反应装置, 通过直接检测反应后的气体产物, 来做催化剂的在线研究和评价.上海伯东德国 Pfeiffer 质谱分析仪 Omnistar 体积小, 重量轻, 一体设计, 易于携带和搬运, 可方便快捷地应用于多个反应之中, 一台即可满足实验室后续的各种研究需求. 具有强大的软件分析功能 PV MassSpec, 提供多种质谱图谱库, 可以准确迅速, 定性定量地识别出检测到的未知产物, 是催化研究中不可或缺的科研仪器之一.在线质谱分析仪 Omnistar GSD 350 01 主要参数质量数1-100 amu最大进气口压力1200 hPa检测极限 100 ppb气体流率1-2 sccm (0 °C)输入模拟5 x, -10 – +10 V, 14 bit | 16 bit不锈钢毛细管长度1m进样加热温度最高200 °C铱灯丝, Y2O32根若您需要进一步的了解在线质谱分析仪 OmniStar, 请联络上海伯东叶女士

上海伯东日本 Atonarp Aston™ 过程质谱仪应用于半导体光刻技术 EUV 极紫外光源卤化锡原位定量EUV 极紫外光刻技术越来越多地用于支持 10nm 工艺技术的关键尺寸图案形成. 管理这些价值超过 2亿美元光刻机的正常运行时间和生产量对晶圆 Fab 厂的经济至关重要. 上海伯东日本 Atonarp Aston™ 过程质谱分析仪通过快速, 可操作, 高灵敏度的分子诊断数据实现了更佳的反射板镀锡层清洁, 并且 Aston™ 过程质谱的实时氢气 H2 监测也降低了每个 EUV 工具的氢气消耗.随着工艺几何尺寸的不断缩小, 半导体工艺制造商面临着新的挑战. 在先进的极紫外 EUV 光刻技术中, 13.5nm 波长的光源是通过二氧化碳 CO2 激光器蒸发熔融锡 Sn 液滴, 从而产生等离子体. 大批量生产的关键挑战包括控制蒸发锡再沉积引起的光学污染所造成的缺陷.光源产生的一个副产品是 EUV 光源反射光学元件上的锡 Sn 碎片, 该反射光学元件聚焦等离子体发出的 EUV光. 收集镜涂层表面上的锡沉积导致 EUV 镜的反射率降低. 沉积锡厚度约为 1nm（只有几个原子层）会使收集镜反射率降低多达10%, 通常被视为收集镜寿命规范. 这种污染增加了提供足够的 EUV 功率以形成晶圆所需的时间, 因此降低了光刻产量, 并可能影响光刻图案的定义. 解决措施包括使用氢等离子体 (结合磁场) 以锡烷气体 SnH4 的形式化学去除锡, 然后从真空室排气, 并防止锡进一步再沉积.上海伯东 Aston™ 过程质谱 EUV 极紫外光源卤化锡原位定量解决方案在反射板清洁期间, 需要实现现场测量, 快速, 准确地测量锡 SnH4 端点, 确保以省时的方式清除锡沉积物, 通过使用 Aston™ 过程质谱仪可以测量 H2 大气中 0.01-1 ppm 浓度下的微量 SnH4. 此外, Aston™ 还可以监测 EUV 工具前端的气体成分.Aston™ 过程质谱价值在于通过监测从 EUV 腔室中抽空所有锡原子的效率和优化氢气 H2 流量, 实现终点检测. 通过尽可能地减少气体流量, 可以降低每分钟 100 标准升的高纯度氢气消耗量.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

先进半导体应用的原位过程控制上海伯东日本 Atonarp Aston™ Impact 和 Aston™ Plasma 是超紧凑型质谱仪, 适用于先进半导体工艺（如沉积和蚀刻）所需的定量气体分析.分子测量快速，灵敏度达到十亿分之一 检测残留气体 / 冷凝物污染.提高产量提供化学特定的可操作见解, 尽可能地提高产量提高安全性监测爆炸性气体. 检查排放和减排效果.Aston™ 质谱仪解决了关键的原位计量问题• 提高吞吐量: 端点检测而不是基于时间的流程• 提高产量: 以十亿分之一的灵敏度测量沉积和蚀刻工艺期间的工艺气体 / 副产物Aston™ 质谱仪先进工艺的优势ppb 级灵敏度的高速采样非常适合高纵横比的 3D 结构耐腐蚀性气体坚固紧凑易于集成到工具平台中沉积应用中: 实时过程气体监控，以驱动自动化工具调整以实现过程控制, 沉积步骤之间的终点检测, 实现层的化学计量工程蚀刻应用中: 以 ppb 为单位测量的工艺气体和副产品, 启用端点腔室清洁Atonarp Aston™ 技术参数类型Impact-300Impact-300DPPlasma-200Plasma-200DPPlasma-300Plasma-300DP型号AST3007AST3006AST3005AST3004AST3003AST3002质量分离四级杆真空系统分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵检测器FC /SEM质量范围2-2852-2202-285分辨率0.8±0.2检测限0.1 PPM工作温度15-35“℃功率350 W重量15 kg尺寸299 x 218 x 331 LxWxH(mm)400 x 240 x 325 LxWxH(mm) Aston™ 质谱仪半导体制造应用先进的工艺原子层沉积 (ALD)化学气相沉积 (CVD)原子层蚀刻 (ALE)腔室管理干净的终点检测指纹识别和匹配 Sub-fab 安全性, 可持续性和节省优化过程安全监控干泵保护减排管理沉积化学气相沉积钨TEOS蚀刻介电,导电,金属高纵横比 1% 开放区域检测EUV/光刻SnH4 蚀刻光掩模蚀刻自主过程控制模型驱动的实时过程监控若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

Aston™ 质谱分析仪安全地减少设备停机时间预防性维护是良好晶圆厂管理与安全第一的理念支柱. 刻蚀和沉积设备需要定期脱机进行深度清洁和/或打开工艺室进行部件更换. 考虑到沉积或蚀刻工艺设备的每小时折旧和生产损失可能轻易超过 1000美元/小时, 减少设备停机时间是至关重要的. 但是, 考虑到许多工具都有高度腐蚀性的清洁气体或工艺副产物气体, 如 HCl, NF3, HBr, HF, F, Cl, 如何安全地停机维护是一个挑战.问题在打开腔室进行日常维护之前, 需要安全地清除腔室内的工艺副产品或清洁循环中的残留工艺气体, 然而,挑战在于如何确保腔室在打开之前是安全的并且没有有害残留气体. 已知的一个方法, 确保工艺室不含有害残留气体（包括由表面去吸收产生的残留气体）的方法是运行（过长）长压力循环吹扫气体. 在没有计量或反馈的情况下, 吹扫周期需要足够长以确保腔室没有有害物质, 这会导致效率低下, 周期长和设备停机时间长. 由于灵敏度和等离子体可用性的问题, 不能使用常见的计量解决方案, 例如光学发射光谱. 传统的残余气体分析仪在腐蚀性气体环境中工作时面临挑战, 这可能导致电子冲击灯丝在长吹扫周期中腐蚀和故障.上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪减少设备停机时间解决方案Aston 原位质谱仪可以进行快速, 化学特异性原位定量气体分析, 以实现准确和快速的腔室吹扫终点检测. 与典型的基于时间的清洗程序相比, 这可以节省大量的设备停机时间。 由于 Aston™ 质谱分析仪可用于加速泄漏检测和腔室老化到已知良好腔室化学指征, 因此可以实现清洁后的进一步停机.在不需要等离子体的情况下, 每秒可以采集数十个样本, 灵敏度低至 100 PPB（十亿分之几）水平. 除了基于灯丝的电子碰撞电离源外, Aston Plasma 还提供内部等离子电离能力. 双电离源支持较宽的工艺压力范围, 等离子电离允许分析较高压力下的苛刻气体, 而不会出现残留气体分析仪中常见的灯丝腐蚀问题.通过减少设备停机时间和重新调试, 可以在不到 12 个月内实现回报, 此外, Aston™ 质谱分析仪还为现场过程监控和管理提供了价值优势.Aston™ 质谱分析仪是一种具有成本效益的解决方案, 可在日常维护和后续维护后投产调试前实现快速, 安全的腔室清洗. 除了 Aston ™ 在沉积和蚀刻过程控制中提供的过程监控优势外, 还可以通过原位测量灵敏度和速度来显着减少设备停机时间.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

实时直接分析（DART）为新型原位电离新技术，是继电喷雾离子化（ESI）及大气压化学电离（APCI）成功解决了生物和有机分子的分析之后，又一个具有划时代意义的质谱离子化技术，用以满足实验室对样品高通量分析的要求和对现场、无损、快速、低碳、原位、直接分析的需求。该技术由美国的 Robert Cody 博士和 Jim Laramee 博士于 2002 年发明，于 2005 由 JEOL 和 IonSense 公司商品化并获得当年匹兹堡仪器博览会撰稿人金奖和美国 R&D 100 创新大奖。DART 原理是在常温常压下，载气（如氦气或氮气）经放电产生的激发态原子，解吸并离子化样品中的化合物，进而以质谱或串联质谱检测。该技术不需要（像 ESI 那样）引入其他溶剂来影响离子的形成过程，真正实现直接、快速或无损、无接触分析。由于溶剂、基质（如蛋白质）、盐类对 DART 离子化过程不产生抑制效应，因而该技术对样品基质不需要进行特殊的前处理或繁琐、冗长、耗溶剂的色谱分离。通过自动化样品扫描功能和基于苹果 iPad 图形化的操作界面，DART 结合串接质谱（MSMS）或高分辨质谱（HRMS）能充分实现几秒钟内的快速、高通量的样品分析，大大提高大批量样品的瞬时定量和定性分析能力。 DART 典型客户包括美国 FDA、FBI、EPA 等政府实验室，比如，DART 用于特勤局的货币检查、国会图书馆的文档验证；美国食品药品管理局 (FDA) 物证鉴定中心研究发表了 DART 串联高分辨质谱快速筛选 500 多种农药的方法。FDA 在海关配置 DART ，旨在快速鉴定蔬菜、水果的多种农药残留。在全美和世界各地的法医法检中心领域，DART 的应用也很广泛。在著名药物研发机构如 Merck、Pfizer、Roche、GSK 等，保化品 NMC 跨国企业如资生堂、欧莱雅等，都能看到 DART 的身影。国际知名的学术研究机构如 Purdue，Rice，Harvard，北大、浙大、NIH、中科院等运用 DART-MS 做出了许多先进的发明和发现。近两年，中国食品药品检定研究院（sFDA）、北京市药品检验所、中国计量院等国内顶尖药品、食品检验检测机构也陆续采纳了 DART 技术，运用在药品、食品、包材、化妆品等质量安全检验和检测分析。DART 操作简单，样品置放于 DART 源出口和一台 LC-MS 质谱仪的离子采样口，便可进行分析。DART 适用于分析液、固、气态的各类型样品。已广泛应用于药物发现与开发（ADME）、食品药品安全控制与检测、司法鉴定、临床检验、材料分析、环境、天然产品品质鉴定、及相关化学和生物化学等领域。升级版 DART-JS (HTS) 利用脉冲气体控制，实现更完美峰形（改进的峰形和分离度可实现自动峰检测） 更快速采集，缩短分析时间 更省载气（节约90-95%的氦气用量，不影响性能的情况下节省大量成本） 消除环境背景离子，减少基质干扰 AnalyzerPro 自动寻峰、批量处理，更快的数据分析 热图分析、统计学分析（PCA 主成分分析） 创新点介绍： 和液质联用相比，DART 具备诸多优势，使质谱分析“更直接、更快速”。例如：（1）直接分析：DART 基本不需要样品制备，样品分析时间很短（几秒钟），满足了现代社会对高通量样品快速分析的需求；（2）操作简便、节省人力：研究人员仅需要调节 DART 源的温度和正负极，不必花费太多时间和精力去优化其他操作参数；（3）绿色、低碳：分析过程几乎不需要化学溶剂，仅以氮气或氦气等做载气，耗能少，且减少了外来污染源；（4）可在常压下分析液体、固体、气体样品，或任何形状的样品（比如药片、叶子、粉末、食用油、食品、农产品、水产品、玩具、包材）。由于 DART 离子化机理不同于电喷雾等传统方式，基质如蛋白质和盐类对分析结果几乎没有影响。（5）能同时离子化极性、中极性、和弱极性的活性化合物、药物、毒物、和残留有机物。对中性化合物如食用油中的甘油三酯、蜡、聚合物，以及螯合盐等同样灵敏有效，且不需像 ESI 或 MALDI 那样必须先行溶解样品；（6）不产生加合盐离子，离子信号仅包括所有能离子化的待测组分的单电荷离子，简化定量分析和谱图解析；（7）样品分析非常简便，只需将样品手动或自动置放于 DART 出口和质谱仪离子采样口之间；可调节参数只有三个，优化操作异常方便。iPad 图形化操作界面更轻松帮助实现全自动操作和现场分析；（8）和众多主流质谱厂商（如 SCIEX、Agilent、Bruker、ThermoFisher、Waters、Shimadzu、JEOL 等）各种类型的质谱仪如飞行时间、离子阱、三级四极杆及各类混联质谱联用。仪器或技术设备名称：l “实时直接分析离子源 – 串联质谱系统（DART-MS/MS）”或“实时直接分析质谱离子源”，作为质谱仪的配件设备主要用途：DART 与串联质谱如 DART - SCIEX 5500Q MS/MS；DART- Agilent 6460 MS/MS；DART-Waters TQD MS/MS 等中高端质谱仪或更高或稍低档次的 MS/MS 串联质谱仪联机，利用其强大的原位电离、简化的样品预处理、直接快速的进样分析和 MRM 多反应离子检测、中性丢失扫描、前端离子扫描等功能，实现食品中痕量、超痕量的有毒有害、营养和功能成分的快速筛选、快速鉴定和高通量定量分析。无需样品前处理可直接、常压下分析固相、气相、或凝固相样品，直接高敏分析检验检疫物品的有机化合物、药物、毒物、或代谢物；同时离子化及识别样品中不同种类（极性、非极性、弱极性）的化学成分，包括痕量、超痕量的生物标记物、有毒有害物质、营养或功能成分的定性、定量。实现有机和生物样本的无基质分子轮廓分析或组学分析，无歧视离子化和广谱化，同时筛查大、中、小有机化合物的关键物质信息及分布信息；兼容实验室各品牌的质谱仪，扩展质谱设备的能力，提升质谱仪测样服务水平。为什么要选择 DART？1、获美国 Pittcon 大奖，R & D 100 大奖 ；2、不同质谱/不同应用，发表新技术文章潜力大 ；3、不需溶剂，仅用氮气或氦气，真正绿色低碳 ；4、简便无损分析，无需样品制备和处理，自动操控 ；5、快速灵敏，几秒钟定性定量，亚pg级检出 ；6、广谱：可检测液、气、固态样品或材料；7、和众多主流质谱厂商各种类型的质谱仪兼容。生产商为 IonSense Inc（美国）；大中华区代理为华质泰科生物技术（北京）有限公司。

激光拉曼光谱气体分析仪LRGA-6000产品名称：激光拉曼光谱气体分析仪　产品型号：LRGA-6000激光拉曼光谱气体分析仪LRGA-6000基于激光拉曼散射原理，通过对待测气体的特征拉曼散射光谱进行增强、收集、处理和识别，并对含量进行定量计算。可同时对多种气体进行全量程的在线和实时检测。　　 产品特性　　 采用激光拉曼气体特征指纹技术，干扰少 在线、实时：一台仪器解决工业过程气体全流程监测 全组分：测量包括N2、O2、H2O在内的气体全组分 响应速度快，样气进入分析仪后直接显示测量结果 全量程气体浓度测量，检测范围为(0.01-100)%，调整时间，也可以测量微量组分 具备温度和压力自动修正功能，无漂移 使用和维护成本低，无须载气与耗材 集全自动气体连续采样、反吹、标定系统于一体 可选配集成系统，实现对多个监测点的实时循环监测 智能化软件设计，全触屏界面，数据直观显示，可外接PC键盘产品优势在线、实时、全组分，可取代气相色谱GC和质谱MS对比红外分析技术(NDIR)——红外气体分析仪量程范围小，且不能检测同核双原子分子，如N2、O2和H2等。LRGA-6000拥有多组分气体成分检测能力，尤其是能够精确测量天然气中的双原子分子，且量程更大，精度更高。对比气相色谱技术(GC)——气相色谱仪使用需要载气和色谱柱，且响应时间通常需要几分钟到几十分钟，需要专业技术人员操作。LRGA-6000响应时间极短，无需载气和耗材，操作简便，使用成本低。对比质谱分析技术（MS）——质谱分析仪价格昂贵，维护成本高，操作复杂，很少用于工业现场在线分析。LRGA-6000坚固耐用，操作简单，维护成本低，更适用于恶劣的工业现场。 技术参数行业应用领域监测气体煤化工行业煤气发生炉煤制天然气合成氨/尿素CO、CO2、H2、N2、O2、CH4、C2H2、C2H4、C2H6、C3H8、H2S…CO、CO2、H2、N2、O2、CH4、C2H6、C3H8、iC4、nC4、H2S、H2O…CO、CO2、H2、N2、O2、CH4…钢铁冶金行业CO、CO2、CH4、C2H2、C2H4、C2H6、C3H8、O2、H2、N2、H2S…石油天然气行业CH4、CO、CO2、H2S、C2H6、C2H4、C3H6、C3H8、H2…原铝行业CO、CO2…环保行业H2、N2、O2、CO、CO2、CH4、C2H2、C2H4、C3H6、C3H8、H2S…电力行业CO、CO2、H2S、CH4、H2O…水泥行业CO、CO2、H2O、H2S…基本参数量程范围最低量程：（0~10）%，最高量程：（0-100）%线性误差≤±1%F.S.分辨率0.01%仪表响应时间≤90s漂移≤2%F.S./24h，

耐驰 STA/TG-MS 热分析与质谱联用系统 应用领域：- 材料分解机理- 氧化还原反应- 气- 固反应- 燃烧产物- 溶剂残留量- 前驱体反应- 挥发,脱气 耐驰 STA/TG-MS 热分析与质谱联用系统 产品特点：- 热重单元顶部装样立式结构，逸出产物无损失- 单步减压- 逸出气体传输全过程加热，避免冷凝- 拥有极高的检测灵敏度- 逸出产物可定量分析- 可以三维形式呈现MS信号和热分析数据- 全内核化软件，全自动软硬件同步触发工作 耐驰 STA/TG-MS 热分析与质谱联用系统 技术参数：STA/TG-MS质量范围1 … 300amu（毛细管）1 … 1024amu（SKIMMER）连接温度RT … 350°C（毛细管）RT … 2000°C（SKIMMER）质谱仪与热分析仪同步测量，亦可单独使用专利技术SKIMMER，尤其适合大分子研究详细参数，敬请垂询 *价格范围仅供参考，实际价格与配置、汇率等若干因素有关。如有需要，请向当地销售咨询。我们讲竭尽全力为您制定完善的解决方案。

MALDI 即基质辅助激光解吸电离成功地使质谱得以分析生物大分子，因而获得2002 年诺贝尔化学奖。目前，MALDI-TOF MS 已广泛应用于微生物鉴定、SNP 检测、肿瘤标志物测定、生物组织成像等领域。 QuanTOF 新一代宽谱定量飞行时间质谱，是基于 MALDI-TOF MS 飞行时间质谱技术的质谱分析技术平台。通过对传统MALDI-TOF MS 光、机、电、软件等全方位的重新设计与研发，QuanTOF 在蛋白定量、大分子检测、宽谱分析以及质谱成像等方面都有质的提升。新一代宽谱定量飞行时间质谱QuanTOF 分析平台为MALDI-TOF MS 拓展了更广泛的应用领域，为生命科学行业以及其他行业客户提供更多的方法学选择。我们的创新 宽谱：具有宽质量范围（10-1,000,000 Da）检测能力。QuanTOF 能在高质量区检测时仍具有高灵敏度；在宽质量范围内，高低质量区均能同时达到高分辨率。定量：可实现定量检测的MALDI-TOF MS。相对于上一代MALDI-TOF MS 的重现性（SD ＞ 25%）而言，QuanTOF 新一代宽谱定量飞行时间质谱仪，仪器的重现性SD ＜ 5%，能够满足临床定量的要求。 应用方向 QuanID微生物质谱系统 QuanID 微生物质谱系统，基于QuanTOF 技术平台，通过对微生物具有种属特异性的核糖体蛋白建立指纹图谱数据库，采集未知菌的图谱和数据库的谱图进行匹配，实现对微生物的种类的准确且可靠鉴定。产品优势快：10分钟内可自动化完成超过96个样本的检测准：基于基因组学、蛋白组学和生物信息学独特建库方法的全新微生物质谱数据库，超过500属、4500余种微生物，更拥有一级、二级两个数据库，二级菌库可对基因型相近的难分辨微生物做出准确鉴定稳：新一代QuanTOF 宽谱定量飞行时间质谱平台，保证微生物质谱高重现性省：5000Hz半导体激光器，终身免更换，节省用户更换激光器的成本；省人工，自动化完成采集、鉴定等流程；多功能，应用可扩展至蛋白质组学分析、生物标志物筛 选、代谢组学分析、核酸分型及质谱成像等更多应用，节省用户购买仪器成本应用范围● 临床微生物快速鉴定● 疾控中心病原微生物检测分析● 市场监督● 环境微生物监测● 检验检疫● 农林畜牧研究● 菌种保藏中心● 企业自检（食品、药品） 分枝杆菌鉴定时间更短结果更准融智生物提供结核分枝杆菌一体化高通量、高自动化解决方案，包括对结核分枝杆菌 和其他非典型分枝杆菌进行种以及更高水平的鉴定，并能高效地为结核病诊断提供有价值 的检测结果。 食品微生物行业数据库（益生菌）益生菌是一种能够通过改善肠道微生态平衡而促进人体健康的微生物。融智生物开发了使用MALDI-TOF 质谱法对益生菌候选菌株进行筛选及鉴定方法, 基于菌株特征性蛋白指纹图谱实现菌株鉴定的新型微生物鉴定方法, 其方法除具有鉴定准确、快速等优点外,还具备可高通量鉴定被检菌株等特点, 由于其适用性和实用型，正广泛用于益生菌的检测中。 QuanGHb糖化血红蛋白定量质谱系统 QuanGHb 糖化血红蛋白定量质谱系统， 基于MALDI-TOF MS 技术， 得益于QuanTOF 强大的分辨能力，通过对蛋白分子量变化的准确检测，能准确定量糖化血红蛋白的同时，也可发现更多其他类型变异血红蛋白，且抗干扰能力优异，可广泛应用于糖尿病患者血红蛋白糖化率连续监测、临床糖尿病诊断、糖尿病人群筛查、医院急诊术前检测，以及临床科研服务。 系统特点：可定量：糖化血红蛋白定量检测，同时可检测变异血红蛋白（hemoglobin variant）效率高：一次可达96 或384 样本通量；一个样本30 秒内即可完成检测结果准：质谱检测特异性及灵敏度高，抗干扰能力强成本低：测试成本比其他方法低 参考文献1. Anping Xu, et. al., Evaluation of MALDI-TOF MS for the measurement of glycated hemoglobin ，Clinica Chimica Acta ，154-1602. Anping Xu, et. al., Detection of a novel hemoglobin variant Hb Liaoning by matrix assisted laserdesorption/ionization-time of flight mass spectrometry, ClinChem Lab Med 2019,1-3 QuanTOF产地溯源质谱鉴定系统在不用地域间某些相似产品会有明显差异，可利用MALDI-TOF 质谱仪查找、筛选、分析和鉴定这些产品间某些特殊的生物标志物，从而实现产地溯源。利用生物标志物指纹图谱分析技术鉴别和追溯这些高附加值作物的产地来源，为更多产品的产地溯源研究提供参考的方法思路。江苏某监管部门，使用融智生物QuanTOF 产地溯源质谱鉴定系统，基于阳澄湖大闸蟹蛋白指纹图谱方法对大闸蟹进行准确鉴别，以此保护阳澄湖大闸蟹品牌，创造出更大的商业价值和经济利益。应用场景 各级市场监督部门、农业局、水产畜牧局等 QuanTOF肉制品品质鉴定系统以MALDI-TOF MS 为技术平台的生物蛋白质组学分析方法，为肉制品品质鉴定提供了全新的思路。借助QuanTOF 可检测生物大分子，且样本前处理简单，检测通量高等优势, 通过寻找、筛选与肉质性状相关的蛋白质组，探究猪肉品质形成基础, 并基于人工智能分析，建立一种肉制品品质鉴定方法。融智生物联合中国农业大学汪懋华院士团队，河北动物疫控中心组建应急攻关团队，联合进行方法学开发，已形成完整的解决方案，为猪肉品质评价及形成机理研究提供了新的思路。应用场景 大型屠宰场质控、市场监督部门、动物疫控中心等 QuanSNP核酸质谱系统QuanSNP 核酸质谱系统，基于多重PCR 和MALDI-TOF 质谱技术原理，实现核酸分型、甲基化分析，可用于遗传学分析、分子诊断、肿瘤研究和个体化用药等，在医疗第三方、临床检验研究、生命科学研究以及农业育种都有广泛的应用。系统优势—从样本到结果全解决方案高通量：单管可以完成多达40 重的检测，一次可检测96/384 个样本高效率：15 分钟完成96 个样本检测，单日实现从样本到结果输出高灵敏：核酸质谱方法学的灵敏度达到单拷贝低成本：降低单个位点检测成本应用广：基因分型（SNP、插入缺失和CNV）、甲基化分析、实体肿瘤、液体活检应用范围多病毒检测① 10 种鸭病毒联合检测质谱解决方案近年来我国养鸭业出现多种新病毒病病原，融智生物与中国农业大学，开发了多病毒质谱检测方法，可同时检测10 种鸭病毒，可为鸭病毒病病原的快速诊断和分子流行病毒学调查提供便利。 ② 20 项呼吸道病原体（新型冠状病毒等）检测质谱解决方案融智生物QuanSNP 病毒质谱检测方案，基于病毒核酸的检测，可对新型冠状病毒进行确诊，并能对常见的20 项呼吸道病原体进行分型检测，快速准确鉴定不同的病毒，提高诊疗效果。 QuanIMAGE成像质谱系统——原位生物标志物分析质谱成像是以MALDI-TOF 质谱技术为基础的分子成像方法，该方法通过激光直接扫描生物样本进行成像，可以在同一张组织切片上同时分析数百种分子的空间分布特征以及相对含量。QuanIMAGE 成像质谱系统，能够针对生物体内参与生理和病理过程的分子进行定性或定量的可视化检测。可实现蛋白、多肽、脂类以及药物分子在生物体内的分布特征和其含量变化的检测，提供生物体不同生理或病理过程中的分子变化及空间分布。因此在临床医学、分子生物学和药学等领域具有广阔前景。 创新性的QuanIMAGE 带来质谱成像质的突破：成像速度快——成像速度300 像素/ 秒，重新定义了MALDI 成像的关键性能指标分辨率高——空间分辨率优于10μm，能得到更高质量图像重现性好——仪器硬件的创新性结合，能得到重现性更好的图像实验示例应用方向药物研发- 靶向用药代谢组学研究精准医疗- 肿瘤标志物的发现精准医疗- 单细胞分型 让我们一起探索QuanTOF 的更多应用！新一代宽谱定量飞行时间质谱平台QuanTOF 的宽谱分析和定量性能，在具备传统MALDI-TOF MS 已有应用能力的基础上，将展现更多全新应用空间。大蛋白分子检测（大于300，000M/z 的大质量分子）即使是大于300,000 m/z 的大分子，也可以获得良好的谱图，为大蛋白分析提供了有力的支持。脂质分子检测QuanTOF 特有的宽谱（10Da~1,000,000Da）分析能力，辅以独特的基质，可以对脂类等小分子进行分析。QuanTOF 为飞行时间质谱打开了更开阔、更全面的应用空间