飞秒激光加工系统

飞秒微加工系统方案激光的发明加快了人类文明的进步。激光以其高相干性，高能量等特点，使其已经广泛应用于人类生活的各个领域，例如激光焊接，激光测距，激光雷达等等。其中激光加工也是一个重要领域。传统的激光加工一般使用纳秒量级脉冲激光或是像CO2激光（10.6um）这样的强激光，随着飞秒激光的逐渐普及，使用成本逐渐降低，使用飞秒激光作为加工光源也越来越受到关注。飞秒激光加工的特点主要有：1，飞秒激光脉冲与材料相互作用时间在一个非常短的时间（飞秒量级），因此可以实现材料的冷加工， 2，飞秒激光可以聚焦到透明材料的内部，实现真正的三维微加工，3，超快激光可以使材料发生多光子吸收，可以突破光学衍射极限进行加工，飞秒微加工的研究领域：可用于飞秒3D打印，双光子聚合等加工技术。可用于切割，打孔，烧蚀，表面微结构等加工技术。由于飞秒激光持续时间很短，可以在易碎易燃材料上获得高质量的烧蚀形貌用于材料的内部改性处理。例如用飞秒激光在玻璃内部进行光波导直写，光存储以及新相材料的制作 飞秒激光直写加工系统一般根据制作方式可分为基于扫描振镜方式和基于样品位移台两种。扫描振镜的方式其优点在于加工精度很高，但是加工的范围有限基于样品位移台的则可以分为：1，使用高质量三维压电位移台，可以获得亚纳米级别的精度，范围可以到几百微米。2，使用高质量的电机驱动的直线气浮平台。其优点在于移动范围可以达到几厘米。卓立汉光基于多年的显微拉曼荧光系统，结合高功率飞秒激光，推出飞秒激光直写加工系统！ 图1：飞秒加工直写系统简图图2：显微系统简图飞秒激光推荐方案：激光器中心波长：1030nm,输出功率： =20W@ 50-200KHZ, 400uJ@1-50KHz, 脉宽：290fs 一体化免维护设计；三维位移台推荐方案： 室温 压电运动⽅ 案 —“Carrier. 系列“ ⼤ ⾏ 程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征⼤ 范围压电扫描台Carrier.S200.XY产品特⾊ &bull 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；&bull 闭环定位精度优于 1nm；&bull 最⼤ 负载 500 g；&bull 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅ 案；&bull ⽀ 持⽆ 磁( .NM)和⾼ 真空( .UHV)选件升级Carrier.S200.XY ⼤ 范围压电扫描台 — 技术参数 可选版本 ⇨ 正常版本.NM 绝对⽆ 磁版本；.HV， ⾼ 真空版本 .UHV ，超⾼ 真空版本；1 底⾯ 尺⼨ *⾼ 度180 mm × 150 mm × 20 mm2 主体材料铝合⾦ 3 中空透孔80 mm × 60 mm4 运动⾏ 程200 um × 200 um5 闭环分辨率优于1nm6 推荐最⼤ 负载500 g7 闭环传感器电容式8 电容精度0.3 nm9 压电电容(X, Y)6.5 uF15 到 40 摄⽒ 度10 推荐使⽤ 温度11 质量1 kg12 安装螺纹孔⾃ 动兼容 Carrier.L7550.XY

GLFs-BMH系列飞秒激光加工系统，主要是针对利用贝塞尔光束技术加工的应用，如微孔加工。该系统配置空间光调制器进行光束整形，通过软件控制，产生的贝塞尔光束可实现高品质、大深径比的微孔加工。系统可应用于如航空航天燃气涡轮叶片上的气膜微孔、 高灵敏度传感器微孔结构、高灵敏器件的通孔制备、柔性电路板、发动机喷油嘴微孔等方面的加工的工艺探索研究。

立陶宛Workshop of Photonics公司从2003年进入飞秒激光微加工领域，成为全球领先的飞秒激光微加工设备以及解决方案提供商。WOP主要业务包括：飞秒激光微加工可行性分析，定制飞秒激光系统和光学组件，激光微加工车间，激光微加工自动化软件，定制激光系统和设备控制电路。■ 飞秒激光加工系统 FemtoFABFemtoFAB是一款工业用飞秒激光微加工设备。配置选定后，根据客户特定激光加工应用调试，包括对任何材料激光切割，激光划片，激光钻孔，3D激光铣削（使用的激光峰值功率2.4GW）。系统使用Class 1激光安全防护罩，通过单个SCA工程软件窗口控制。FemtoFAB提供激光同步移动控制和/或集成扫描振镜系统控制，对不同工业微加工应用，提供最佳的速度和精度参数。产品在立陶宛设计和装配。产品特点：●高加工速度，最高350000px/s●加工不同物体亚微米分辨率●飞秒加工模式具有最小热影响区●直驱亚微米精度位移台●使用高性能扫描振镜精细激光束控制●点数控制（单点到350KHz）●激光脉冲和移动物体在空间和时间上同步●原版软件界面控制所有集成的硬件设备产品应用：●微光学●光伏产业●多光子聚合●生物医学技术传感器●其他精细微加工任务样品特性材料固体材料，液态聚合物尺寸（mm）150×150×150光束成型和控制脉冲选择集成、自动控制扫描振镜10m/s扫描速度，5×5聚焦高NA非球面镜或物镜，焦长1.45-18.4mmSLM（选配）1920×1080,15.36mm×8.64mm，16bit，反射式位置类型XYZ，线性电机，交叉定位，空气轴承（选配）加工速度350mm/s工作区域（mm）160×160分辨率（nm）1位置精度（nm）±300重复性（nm）±50稳定度（nm）3样品支架真空夹头激光参数激光介质Yb:KGW波长1028±5nm功率（W）4（6，8，10选配）振荡器输出功率（W）0.7-1.5脉冲能量（mJ）1重频（KHz）200（600,1000选配）脉宽200fs-10ps（可调）；80fs（振荡器）光束质量M21.2输出脉冲稳定性1%RMS谐波产生器谐波SH（515nm），TH（343nm）选配，FH（258nm）选配转换效率（@200KHz）50%（SH），30%（TH）选配，10%（FH）选配谐波产生器功率控制激光输出，电动衰减器位移台控制2.5D微加工，3D XYZ指令控制界面算法窗口，虚拟或GUI操纵杆图形或矢量格式.bmp，.plt