干涉测量实验装置

仪器简介：本实验装置主要面向大专院校教学使用。本实验是用激光光束直接照射到测试表面，再用CCD采其变形前后表面散斑颗粒干涉形成的条纹，以测定其离面位移的新型，先进的测试技术。本实验装置可以使学生了解其原理和测量的方法。 仪器特点：自己调节光路，可提高动手能力； 采用了最新处理光学信息的CCD测量技术 计算机处理图象，软件操作简便 可利用软件画出测试表面受力变形后的三维立体图。 成套性：CCD摄像头、氦氖激光器、图象采集卡、图象处理软件、精密调节杆、光学零件、被测样品。技术参数：本实验装置主要面向大专院校教学使用。本实验是用激光光束直接照射到测试表面，再用CCD采其变形前后表面散斑颗粒干涉形成的条纹，以测定其离面位移的新型，先进的测试技术。本实验装置可以使学生了解其原理和测量的方法。 仪器特点：自己调节光路，可提高动手能力； 采用了最新处理光学信息的CCD测量技术 计算机处理图象，软件操作简便 可利用软件画出测试表面受力变形后的三维立体图。 成套性：CCD摄像头、氦氖激光器、图象采集卡、图象处理软件、精密调节杆、光学零件、被测样品。主要特点：本实验装置主要面向大专院校教学使用。本实验是用激光光束直接照射到测试表面，再用CCD采其变形前后表面散斑颗粒干涉形成的条纹，以测定其离面位移的新型，先进的测试技术。本实验装置可以使学生了解其原理和测量的方法。 仪器特点：自己调节光路，可提高动手能力； 采用了最新处理光学信息的CCD测量技术 计算机处理图象，软件操作简便 可利用软件画出测试表面受力变形后的三维立体图。 成套性：CCD摄像头、氦氖激光器、图象采集卡、图象处理软件、精密调节杆、光学零件、被测样品。

仪器简介：该仪器主要利用导轨、支架及光学组件、如双棱镜分成两束光，将两束光相遇产生的明暗相间的干涉条纹用读数显微镜测出条纹间距，再用二次成像绘测出一大、一小两个缝像（即虚光源S1、S2）之间的距离代入公式即可。技术参数：成套性：导轨、二维调整架、干板架、白屏、单面可调狭缝、低压钠灯、双棱镜、牛顿环、透镜、读数显微镜、双缝

概述： 光干涉式甲烷测定器检定装置主要用于对光干涉甲烷测定器进行定期检定和日常校准。（检测0～10%或者0～100%光干涉甲烷测定器），完全符合国家标准、检定规程要求，采用高精度变送器，具有测量准确度高、稳定可靠。操作简单、检定方便、经济实用等特点。 符合 JJG 677-2006 光干涉式甲烷测定器检定规程要求。主要技术参数：1、主要型号： A型：FMS-Ⅰ/10光干涉甲烷测定器检定装置10%， B型：FMS-Ⅰ/100光干涉甲烷测定器检定装置100%，C型：FMS-Ⅰ双量程光干涉甲烷测定器检定装置；2、温度：（0～50）℃ 基本误差：±0.5℃；3、测量范围：A型和C型：0Pa～8000Pa，±8Pa（检测0～10%光干涉甲烷测定器），B型和C型：0KPa～65Kpa，±0.06kPa（检测0～100%光干涉甲烷测定器）；4、湿度测量范围：（0～100）%RH, 基本误差：3%RH； 5、手摇泵：最大可加压力±150kPa；6、触摸屏同时显示压力，温度，湿度，和甲烷浓度，带压力和温度自校功能。 概述：利用气体自然扩散原理，在保持箱内甲烷浓度不变的同时，光干涉式甲烷测定器检定装置箱内外的压力能自动平衡，具有重量轻、外形美观等特点。主要用于作光干涉原理甲烷测定器的扩散试验。满足MT 28-2005《光干涉式甲烷测定器》、JJG 677-2006《光干涉甲烷测定器》要求。主要技术指标：1. 箱内外压力差：＜10Pa；2. 压力平衡时间：＜2min；3. 每次可试验台数：≥12台；4. 甲烷浓度保存时间：＞10h。

双量程光干涉甲烷测定器检定装置产品简介双量程光干涉式甲烷测定器检定装置主要用于检定和校准矿用光干涉甲烷测定器，符合JJG677-2006《光干涉甲烷测定器》检定规程和MT28-2005《光干涉甲烷测定器》标准要求。是计量检测机构或各大矿务局、煤矿对矿用光干涉甲烷测定器，进行周期校准／检定的理想产品。JZG-IV双量程光干涉甲烷测定器检定装置性能特征：1）、实现压力全自动加压；测试期间压力自动补偿，杜绝微漏。2）、同时显示压力，温度，湿度，和甲烷浓度。3）、配备专用的检定软件，可实现数据自动采集，软件完成计算和结果判定。4）、检测数据独立存储，可模糊查询，可实现原始记录和证书的双面自动打印。5）、为保证测量数据的可靠性，压力采用日本横河变送器，温度采用瑞士进口变送器，真正的精度高，稳定性好，一机多用，温度传感器压力变送器送检后可当标准器校准温度传感器和压力传感器。JZG-IV双量程光干涉甲烷测定器检定装置技术参数1）、测量范围：（0～8000）Pa，（检测0～10%光干涉甲烷测定器）；2）、测量范围：（0～60）kPa，（检测10～100光干涉甲烷测定器）；3）、压力测量范围：（0～8000）Pa，±8Pa；4）、压力测量范围：（0～60）Kpa，±0.06kPa；5）、甲烷测量范围：（0～10）%CH4，±0.016 CH4；6）、甲烷测量范围：（10～100）CH4，±0.12 CH4；7）、温度测量范围：（0～50）℃ 基本误差：±0.5℃；8）、湿度测量范围：（0～100）RH, 基本误差：3%RH；9）、可实现数据自动采集，软件完成计算和结果判定，可实现原始记录和证书的双面自动打印；10）、仪器尺寸：（1000×800×1400）mm。郑州艾迪生产关于煤矿用仪表仪器仪表：双量程光干涉甲烷测定器检定装置 煤钻屑解吸仪 深孔取样装置 压力测定仪 突出参数仪 地勘解吸仪，钻孔流量计矿井抽采与防突设备，煤的真视密度测定仪，含量测定仪，井下煤层含量快速测定仪，放散初速度自动测定仪，扩散速度测定仪，煤抽放管道气体参数仪

多功能光栅光谱仪实验装置，YTR-6308简介YTR-6308多功能光栅光谱仪是一款以光栅作为分光元件的光谱仪，其基本原理是当不同波长的光束以相同的入射角入射到光栅上时，不同波长的光束同一级衍射的主极大位置不同，从而达到分光的目的。其优点是具有较宽的光谱测量范围和较高的分辨率，综合性能突出，是目前使用最为广泛的光谱仪器。该光栅光谱仪专为物理实验教学开采用开放式的结构设计，学生可以直观的观看光谱仪的内部光路和结构。同时采用了光电倍增管和线阵式CCD作为光电传感器，既可以获得高分辨率光谱，也可以快速获得宽光谱。使学生更加充分理解和掌握光谱仪的工作原理。该仪器可以很好的使用在氢氘光谱实验，钠原子光谱等实验。特点对称式C-T光路结构，采用可视化的结构设计，帮助学生理解和掌握光谱仪结构组成和工作原理双光路设计，分别使用高品质光电倍增管和线阵CCD作为光电探测器，使得学生更能深入的理解和掌握探测器的性能和实验仪器优缺点和用途专业的光谱分析实验软件，包含：光谱测量、透过率测量、反射率测量、吸光度测量和色度学测量等多种实验模块（有些实验模块需要另配附件）实验内容热辐射光源光谱测定波长准确性的测定和修正氢原子光谱测定及里德堡常量测量吸收光谱的测量CCD测量的波长定标颜色测透过率测量吸光度测量浓度测量透镜焦距测量实验，YGP-6212简介YGP-6212透镜焦距测量实验学习的知识点有几何光学基本定律、透镜成像、显微镜、望远镜。几何光学是光学的重要分支之一，它的应用十分广泛，尤其是在设计光学仪器的光学系统等方面显得十分方便和实用。透镜作为光学仪器的基本元件，可以组建各种光学系统，在成像系统、图像摄取、遥感等领域中已经得到广泛应用。光学显微镜是一种常见的助视光学仪器，它对推动科技进步，尤其是生物学和医学，起到了重要作用；望远镜是另一种常见的助视光学仪器，它对天文学及物理学的发展起到了重要的推动作用。本实验装置可完成《理工科类大学物理实验课程教学基本要求（2023版）》中透镜焦距测量实验的基础内容、提升内容、进阶内容以及高阶内容。特点器材丰富，可以组建各种光学系统；实验内容满足分层次教学要求；通过配置COMS相机及相应的软件，使实验既有鲜明的数字化特点，又保留了手动读数的特色实验内容a)基础内容用自准直法、位移法测量凸透镜焦距；物像距法测量凹透镜焦距。b)提升内容自准直法测量凹透镜焦距；光学成像系统共轴的粗、细调节；透镜成像的景深、成像位置判断与视差消除。c)进阶内容用薄透镜自组显微镜和望远镜；探究常用显微镜结构和性能参数。d)高阶内容观测凸透镜的球差和色差；观测显微成像系统的像散。光的干涉和衍射实验，YGP-6213简介光的干涉和衍射现象是波动光学的重要内容。光干涉现象曾经是奠定光波动性的基石，在波动光学中有重要的意义。而光衍射现象，则是光束传播中，几何光学无法解释的现象，是光波动性的主要标志之一。研究光的干涉和衍射不仅有助于进一步加深对光的波动性的理解，同时还有助于进一步学习近代光学实验技术，如光谱分析、晶体结构分析、全息照相、光信息处理等。本实验同时用单缝、多缝、圆孔、方孔等进行实验，能够明显地展现出衍射、干涉的特征，并利用光强分布探测器测量光强的相对分布，实时给出光强与位置的关系曲线，以及用面阵相机研究衍射图像的两维光强分布情况，实现实验的数字化。特点采用光强分布探测器，无需扫描结构，实时测量光强一位置的分布曲线，响应时间最快可达毫秒级。利用光强分布探测器可以精确测量8级以上衍射条纹，位置测量精度可达0.01mm。利用面阵相机可以研究衍射图像的两维光强分布情况。一体化狭缝组设计，切换方便，易于实验。实验内容a) 基础内容 研究激光通过双缝后形成的干涉图案，测量双缝形成的干涉光强分布，说明干涉条纹的极大值位置与理论预见的一致性。 研究激光经过单缝后形成的衍射图案，测量单缝形成的衍射光强分布，说明衍射条纹的极小位置与理论预见的一致。b) 提升内容 研究激光通过多缝后形成的干涉图案，理解多缝衍射与多光束干涉的原理。c) 进阶内容 观察激光经过圆孔和方孔后的衍射现象，利用面阵相机研究衍射图像的两维光强分布情况。d) 高阶内容 利用COMS相机研究激光经过多孔后形成的衍射图案，利用COMS相机研究衍射图像的两维光强的分布情况光的偏振实验，YGP-6214简介光的偏振现象是波动光学的重要内容。利用这种现象研制的各种光学元件和仪器，在探测物质结构、激光与光电子技术领域有着极其重要和广泛的应用。YGP-6214光的偏振实验装置主要包含：光传感器、转动传感器、激光光源、精密调节架、升降调节架、连接杆、托板和观察屏组成。该实验装置利用先进的传感器技术和智能软件，可以实现连续的数据采集和实时绘制实验数据曲线，极大的提升了实验效率，使学生将更多的精力用于实验本身的原理学习、数据分析和结果讨论上，更加能够透彻的学习、理解和掌握实验。特点无线光传感器，USB2.0和蓝牙通讯，3档可调，适用于不同强度光源的测量。无线转动传感器，USB2.0和蓝牙通讯，角分辨率0.18°。安全的激光光源。数字实验室分析软件，编辑性强，通用程度高。实验内容理解和掌握偏振片的基本原理，使用方法。理解和掌握激光器的偏振特性。通过研究和验证马吕斯定律，掌握光的起偏和检偏原理和方法。研究3片偏振片光强与偏振片角度的关系曲线，进一步掌握光的偏振特性。等厚干涉实验（含牛顿环实验），YGP-6215简介YGP-6215等厚干涉实验（含牛顿环实验）学习的知识点有牛顿环、等厚干涉、光程差、曲率半径。牛顿环和空气劈尖的等厚干涉原理在生产实践中具有广泛的应用，它可以用于检测透镜的曲率，测量光波的波长，精确的测量微小长度、厚度和角度，检验物体表面的光洁度、平整度等。本实验装置可完成《理工科类大学物理实验课程教学基本要求（2023版）》中牛顿环实验的基础内容、提升内容、进阶内容以及高阶内容。特点开放的构架，可以让学生看到所用镜片的类型和位置。可以让学生练习搭建各种光学系统。配套有测微目镜与CMOS相机两种读数方式，即实现实验数字化的同时，保留了传统手动读数的方式。多种光源，更多的分立器件，便于师生开展各种探索研究，比如：同时观察透射和反射的牛顿环，波长测量等实验内容a)基础内容测定平凸球面透镜的球面半径。b)提升内容用劈尖干涉测量细丝直径。c)进阶内容测定平凹球面透镜的球面半径。d)高阶内容用透射和反射两种方法观察牛顿环，并测量绿光、紫光、黄光的波长。更多精彩，请关注下方！的P-tP

干涉仪ZMI™ 系列–位移测量干涉仪ZYGO的标准干涉仪配置支持多种类型的测量方案。大多数干涉仪可以支持直通或直角测量方向，并且可以在真空中工作。线性干涉仪该装置会测量回射器目标，用于跟踪主要在一个线性维度上移动或围绕一个固定点旋转的物体。ZYGO提供标准和紧凑尺寸的线性干涉仪，以满足不同的空间限制要求。例如：十字刻线台、龙门系统、转向镜平面镜干涉仪该装置会测量平面镜目标，用于跟踪在多个线性维度上移动且旋转次数有限的物体。ZYGO的平面镜干涉仪具有高稳定性，可减少热误差。例如：晶圆台、堆叠工作台系统波长补偿器该装置会测量折射率的变化，用于补偿其他测量轴。ZYGO的紧凑型波长补偿器提供了高精度的折射率变化反馈，可在环境条件下实现最佳的位移测量性能。配件通过将光束从激光器传输到干涉仪，并最终传输到测量电子装置，完善测量系统。ZYGO提供各种标准的转折镜、分光镜、光纤耦合器和光纤电缆，方便您灵活配置测量系统。定制干涉仪设计ZYGO专业生产用于OEM应用的定制多轴干涉仪。定制设计允许在空间有限的应用中进行合并光束传输。它还减少了对准系统所需的时间，可在生产过程中实现更快的集成。

仪器简介：复旦大学研究中心利用&ldquo 全光纤白光干涉技术&rdquo ，在5项专利技术的基础上，成功研制出多功能光纤教学实验仪。其核心在于采用标准化、模块化的组合架构，通过共享主机、根据不同实验要求选用不同功能模块，灵活搭配，组装出不同功能的教学实验。系统的开放性特点还意味着易于拓展功能，便于将来升级。同时，系统还配备专门利用LABVIEW软件开发平台和数据采集卡开发的信号处理软件，结合物理量，提供强大的数据采集、存储、分析能力。 通过变换组件开发的实验均属于光纤应用技术范畴，覆盖了目前先进的光纤通信、传感技术。测试的物理内容在20项以上，一套综合实验系统的功能与20套分散的实验仪器实现的功能相当。此外，仪器还具有稳定光源、光电转换电信号放大器等独立功能。利用多功能光纤干涉教学实验仪主机，并配置相应配件，可实现下列实验功能： 1. 全光纤音频信号录入、传输、解调功能； 2. 双向音频传输系统（光纤电话） 3. 激光外调制、解调技术； 4. 光在介质中传播速度的测量； 5. 光纤长度测量； 6. 光纤定点应变测量； 7. 全光纤声纳测试实验 8. 全光纤振动测试实验 实验教学内容包括 （1） 光纤传感器的特性及其应用；光纤通讯；声光调试；迈克尔逊干涉仪 （2） 速度、加速度测定；力学传感器（位移、应力速度、加速度&hellip ）与其应用；振动模式研究；傅里叶频率合成；电信号的傅里叶分析 （3） 声光调试； （4） 激光在实时测量中的应用；激光的倍频与混频 （5） 纳米材料制备与测量；光纤应用；仿真物理仪器。 （6） 半导体激光器特性的研究；光的色度研究；虚拟仪器在物理实验的应用 （7） 声速的测定；激光在实时测量中的应用； （8） 光纤通讯（全光通信）；声光调试；白光干涉仪 提供完整的实验解决方案 利用&ldquo 多功能光纤干涉实验教学仪&rdquo 和辅件，能够完成以上八个实验的实验教学功能。完整的实验解决方案包括以下实验配置： 编 号 设 备 名 称 功 能 1 多功能光纤干涉实验教学仪（2台） 全光纤白光干涉 2 光纤光功率分配器（4支） 光功率分配 3 光纤跳线（6条） 光路连接 4 光纤准直器（1支） 光发射、接收 5 标准振动台(1台) 提供标准振动源 6 声源（2个） 提供声音 7 放音器（2套） 播放声音 8 声光调制器（1支） 光纤外调制 9 数据采集卡（1张） 信号采集 10 信号处理软件平台（1套） 分析信号测试特征 11 全光纤送话器（2个） 声音采集 12 单模光纤（2 12公里） 测试、传输用 13 光纤反射器（2个） 光纤中光波反射 14 信号发生器（1台） 提供信号源 15 示波器（1台） 看转化为电信号后的光信号的波形技术参数：多功能光纤干涉教学实验仪的优势 1、 实验再现的物理概念清晰 实验仪成功再现了&ldquo 白光干涉技术&rdquo ，光的干涉通过不断的完善，已经形成了传统的干涉方式，主要有：（1）迈克耳逊干涉；（2）F-P干涉；（3）M-Z干涉等。在上个世纪九十年代，出现了&ldquo 全光纤白光干涉技术&rdquo ，该技术作为一种全新的干涉方法与传统的干涉方法相比，具有更大的实用价值。但是，在全国范围内，所有的实验都未涉及&ldquo 白光干涉&rdquo 实验。&ldquo 多功能光纤干涉教学实验仪&rdquo 填补了&ldquo 全光纤白光干涉原理&rdquo 的实验空白，具有较高的学术价值和实用价值。同时，实验仪能够测量的物理量包括： （1） 光波在光纤中的传播速度 （2） 光纤等效折射率 （3） 振动速度、加速度和位移 （4） 水中声波传播特性 （5） 光纤弹光效应 （6） 光波相位调制、解调 （7） 光纤分布传感技术 （8） 振动信号频谱分析 （9） 光纤长度测量主要特点：2、 实验方式灵活 通过共享一套主机，结合不同的功能模块，能够按照需要组装不同的实验。通过该方式，能够充分发挥学生的主动性，在节约财力的情况下，完成了以往多套实验仪器设备才能完成的实验功能；同时，很好地培养了学生的主动性，一改传统实验内容过于死板，学生主动参与性不强的缺点。 3、 系统性能好不同实验通过一套系统来实现，节约了大量的财力， 4、 实验内容和方法包含的技术新颖 不同的实验内容都来自最新的专利和文章，包含的方法和内容属于新的科研成果，使得整个实验的学术水平属于国内领先水平，其中利用低频信号测试光速等实验在全国来说属于首次提出，国际上未见文献报告；保密通信利用了量子通信等先进技术，在国内也属于创新实验。 5、 实验内容贯穿理论-应用-推广应用这一过程 对明确的原理概念首先通过基础实验学习理论，通过工程应用实验学会该原理的工程应用，最后通过大型系统实验巩固物理概念、锻炼学生动手能力和拓展学生思维。通过实验学习理论知识，而不是通过学习理论知识来重复实验，是&ldquo 多功能光纤干涉教学实验仪&rdquo 开设实验的强度教学功能。 开设的实验介绍

仪器简介：ESPI（Eletronic Speckle Pattern Interferometry）电子散斑干涉技术是以激光散斑作为被测物场变化信息的载体，利用被测物体在受到激光照射后产生干涉散斑场的相关条纹来检测双光束波前后之间的相位变化。电子散斑干涉技术（ESPI）是一种非接触式全场实时测量技术，可完成位移、应变、表面缺陷和裂纹等多种测试，其具有通用性强、测量精度高、测量简便等优点。Dantec Q-300 TCT ESPI是丹迪公司研发生产的一款用于试件热膨胀效应的高灵敏度的三维位移、变形和应变分析的光学仪器。技术参数：测量维度：一维、二维、三维测量区域：0.7mm×1mm—40mm×50mm测量精度：位移（0.01—0.1μm可调），应变（0.005%—100%）加热装置：最高300℃，加热功率200W，加热速度30℃/min主要特点：精度高、无接触、方便使用

中图仪器SJ6000长距离高精度长度激光干涉测量仪集光、机、电、计算机等技术于一体，利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。SJ6000长距离高精度长度激光干涉测量仪结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。 产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。在机床领域中的应用1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿在计量检定领域的应用 1、测长机检定传统的测长机示值误差主要采用量块进行校准，受环境因素影响较大，校准条件要求高，且量程大于1m的测长机需要分段校准，效率低，而使用激光干涉仪进行校准，不仅可以提高效率，还可通过环境补偿单元对空气温度、压力、湿度和材料温度进行补偿，提高校准精度。2、三坐标测量机示值误差测量随着三坐标测量机技术的更新和发展，使用传统的量块、球板等已经难以满足大型三坐标测量机的检测要求，激光干涉仪测量准确度高，测量范围大，测量数据丰富，适合测量三坐标各项几何误差。3、位移传感器检定利用SJ6000长距离高精度长度激光干涉测量仪对位移传感器检定成为发展趋势,其特点是测量精度高、反应速度快、易于数字化测量。在测量中设计一个精密导轨,将反射镜同被测传感器放在一起同步检测,从而形成对比，位移传感器自动检定系统与SJ6000激光干涉仪(标准)对定长位移进行测试对比,得出往复测试实验结果。4、影像仪定位精度测量影像仪传统检测方法采用线纹尺比对法进行，存在着检测精度低、测量系统误差大、成因分析功能缺失、改善方向不精准、 检测效率低下等问题。使用激光干涉仪可以对影像仪的定位误差进行快速检测，对测量数据进行运算分析，利用软件生产补偿文件快速实施二维平面多点位补偿，可大大降低设备制造过程中的精度检测难度、提升检测效率及补偿效率。

仪器简介：双光束干涉仪是通过分束镜得到两束光程和强度都接近而且夹角易于调节的光束，在光束的重叠区将产生干涉条纹，用于物理/光学专业教学的演示仪器。技术参数：氦氖激光器：1.5mW 平台底板：500mm× 350mm开设实验： 1、马赫-泽德干涉实验并观察干涉仪的稳定性，了解全息光栅的制作方法 2、萨格奈特干涉实验并观察干涉仪的灵敏度 3、迈克尔逊干涉实验，估计激光器的相干长度，观察非定域干涉条纹及条纹反衬度随光程差的变化主要特点：采用铝质底板，利用便携式实验箱，摆放方便，节省空间。学生可自己动手调节光路，使学生了解各种干涉仪的原理和应用。

中图仪器SuperViewW白光干涉三维形貌测量系统基于白光干涉原理，能以3D非接触方式对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）；几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。SuperViewW白光干涉三维形貌测量系统是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能； (4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。性能特色1、高精度、高重复性1）白光干涉三维形貌测量系统采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。SuperViewW白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：部分技术指标 型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

干涉仪通常，我们不容易直接观测到1微米量级的动态现象的，此时，我们会选择光学干涉仪进行观测。例如，测量光学镜头的面精度的干涉仪，精密测量距离或位移的测长仪，需要精密测量位移变化的速度计或振动仪等，都是利用了光学干涉原理的典型仪器。市场上销售的大部分干涉测量装置是由光学干涉部分和信号解析部分组成的。 采用先进的电信号处理技术，可以同时实现高分辨率和很宽的测量范围。 但是，我们这里介绍的光学干涉装置，并不包含干涉条纹的电信号处理内容，我们重点介绍了其光学部分。因此，虽然其可观测的范围有限，但足以进行干涉计测的基础实验和理论验证。 业务范围l 通用干涉仪，如迈克尔逊干涉仪、马赫曾德干涉仪、斐索干涉仪等；l 集成光学干涉系统；l 流体可视化光学系统；l 干涉仪组件l 干涉仪相关组件接受订制特点分辨率小于1微米非接触（非破坏）测量面（2维）测量应用实例面精度测量测长仪速度计／振动仪

激光干涉仪通用长度测量工具sj6000利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。动态测量应用基于时间的动态测量机器运动控制性能评价：1.运动控制器PID控制参数测试与设置2.高速运动后机器的稳定性测试与评价3.高性能运动控制器的微小步幅的测试振动监视1.扫描应用：用于定位精度不重要，但恒速对实现高质量成像非常关键的场合2.机床应用：典型应用包括要求刀具慢速、平稳轮廓运动的高质量表面精加工振动频率分析1.被测对象的振动频率分析2.FFT快速傅立叶变换分析基于距离的动态测量基于距离的动态测量，SJ6000激光干涉仪系统将沿着轴线“飞行"测量，即运动轴在不停顿的情况下以用户间隔进行数据采集。 提供脉冲触发方式采集CT70正交触发盒可监控光栅、编码器、控制器等信号，配合SJ6000激光干涉仪，可实现脉冲触发启动采集和连续脉冲触发采集。适用于运动轴在不停顿的情况下，触发激光干涉仪按照间隔位置进行数据采集。产品特点1、激光干涉仪通用长度测量工具sj6000使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)；2、以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级；3、使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s；4、配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度；5、分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变。在机床领域中的应用激光干涉仪通用长度测量工具sj6000是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。 1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。 4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

中图仪器SJ6000机床精度激光干涉测量仪集光、机、电、计算机等技术于一体，采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000机床精度激光干涉测量仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。SJ6000机床精度激光干涉测量仪非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，如在机床加工领域：1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。 2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿 SJ6000激光干涉仪不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。部分技术指标主机稳频精度：0.05ppm动态采集频率：50 kHz预热时间：≤ 6分钟工作温度范围：(0~40)℃存储温度范围：(-20~70)℃环境湿度：(0~95)%RH环境补偿单元 空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)角度测量范围：±10°平面度测量范围：±1.5mm直线度测量范围：±3mm垂直度测量范围：±3/M mm/m便携箱尺寸：613*460*230mm标准配置重量：18kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器SJ6000线性度测量机床激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点。SJ6000线性度测量机床激光干涉仪结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。线性测量配置及使用方法线性测量（线性轴位置精度测量的简称）配置主要由SJ6000主机、EC20环境补偿单元、线性镜组、SJ6000静态测量软件等组件构成，可满足0~80m范围内的线性测量。其中，线性测量包括定位精度测量、重复定位精度测量和设备反向间隙测量等。线性镜组可以针对不同方向的运动轴而搭建相应的测量光路，如下图：▲水平轴的线性测量示意图▲垂直轴的线性测量示意图SJ6000静态测量软件可以将线性测量结果生成误差补偿表，该表涵盖了各个测量点的补偿值，运动控制系统制造商允许通过修改运动轴的补偿值来消除该运动轴的位置误差，精确的补偿，可以有效地降低运动轴的位置误差。线性测量中目标位置的数据采集有基于位置的目标采集和基于时间的目标采集两种方式，普遍采用基于位置的目标采集方式，即：被测运动轴需设定若干个等距的定位点，当运动轴移动到设定的定位点时，需设置停留时间，以供SJ6000测量软件进行当前点的数据采集。线性测量应用SJ6000线性度测量机床激光干涉仪广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。SJ6000激光干涉仪非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。部分技术指标主机稳频精度：0.05ppm动态采集频率：50 kHz预热时间：≤ 6分钟 工作温度范围：(0~40)℃存储温度范围：(-20~70)℃环境湿度：(0~95)%RH环境补偿单元空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)角度测量范围：±10°平面度测量范围：±1.5mm 直线度测量范围：±3mm垂直度测量范围：±3/M mm/m便携箱尺寸：613*460*230mm标准配置重量：18kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

仪器简介：ESPI（Eletronic Speckle Pattern Interferometry）电子散斑干涉技术是以激光散斑作为被测物场变化信息的载体，利用被测物体在受到激光照射后产生干涉散斑场的相关条纹来检测双光束波前后之间的相位变化。电子散斑干涉技术（ESPI）是一种非接触式全场实时测量技术，可完成位移、应变、表面缺陷和裂纹等多种测试，其具有通用性强、测量精度高、测量简便等优点。Dantec Q-300 ESPI是丹迪公司研发生产的一款用于试件高灵敏度的三维位移、变形和应变分析的光学仪器。技术参数：测量维度：一维、二维、三维测量区域：最大可达200mm×300mm测量精度：位移（0.03—0.1μm可调），应变（0.005%—100%）主要特点：高速、精度高、无接触、方便使用

仪器简介： ML10 Gold 高性能激光干涉仪是机床、三坐标测量机及其它定位装置精度校准 用的高性能仪器。由于采用了独特的专利设计及最新的光电子技术，使ML10 Gold 激光干涉仪比市场上其它型号的激光干涉仪具有更高的性能和更先进的任选功能。 ML10 Gold 激光干涉仪提供有进行机器位置、几何精度测量的全套光学器件。 ML10 Gold 激光测量系统所有功能都设计与Laser 10 软件配合使用。除了测 量和分析诊断功能外，此软件包的标准配置还包括动态测量、旋转轴测量、双轴测 量和电子水平仪及千分表程序接口模块。 该激光干涉仪系统由激光头ML10 Gold、环境监测补偿器EC10，计算机接口卡 PC10* 或PCM20* 及高精度的光学器件组成。全部器件放在一个配小车的提箱内， 一人便可携带全部系统赴异地进行机器精度检定，大大改善了激光干涉仪的便携 性。 该激光干涉仪系统通过接口与IBM 兼容的PC 机（包括笔记本计算机）连接， 在灵活、直观的软件控制下进行自动测量，既节省了测量时间，又避免了人为误 差，并能按国际上通行的标准进行数据分析处理，如ISO230-2、JIS-B6330、 VDI3441、VDI2617、ASME B89等并适用中国国家标准GB17421-2000等，以便于按 不同标准进行机床精度的评定和比较。 技术参数： 1.线性测量分辨率: 0.001&mu m 2.线性测量范围： 40m（或任选80m） 3.线性测量精度: ± 0.7ppm 4.最高测量速度： 60m/min 5.长期稳频精度： ± 0.05ppm 主要特点： ML10 Gold是全球最畅销的用于长度计量的激光干涉仪,其最大的优点是所有测量功能均采用激光干涉原理,性能稳定,使用可靠,功能扩展性强,价格适中.

SuperViewW中图高精度纳米量级白光干涉测量仪以白光干涉技术原理，对各种精密器件表面进行纳米级测量。它通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。SuperViewW中图高精度纳米量级白光干涉测量仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数，针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，SuperView W1的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。产品功能1)样件测量能力：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；2)单区域自动测量：单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；3)多区域自动测量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位，一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；4)自动拼接测量；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量； 5)编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动单测量功能，实现一键测量；6)数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；7)数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。8)批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；9)数据报表导出：支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、数值结果的导出；10)故障排查功能：配置诊断模块，可保存扫描过程中的干涉条纹图像；11)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；12)环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据；13)气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度；14)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；15)镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。应用领域SuperViewW中图高精度纳米量级白光干涉测量仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。特殊光源模式可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式手动和电动兼容型Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×600×900㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

中图仪器SuperViewW白光干涉仪三维表面形貌测量系统让轮廓测量价格更为实惠。应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙间隙、台阶高度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、波纹度、面形轮廓、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。SuperViewW白光干涉仪三维表面形貌测量系统采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高。除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，保护仪器，降低人为操作风险。产品功能1)样件测量能力：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量；2)单区域自动测量：单片平面样品或批量样品切换测量点位时，可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；3)多区域自动测量：可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位，一键实现自动条纹搜索、扫描等功能；4)自动拼接测量；支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量；5)编程测量功能：支持测量和分析同界面操作的软件模块，可预先配置数据处理和分析步骤，结合自动单测量功能，实现一键测量； 6)数据处理功能：提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能；7)数据分析功能：提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。8)批量分析功能：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数实现一键批量分析；9)数据报表导出：支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能，支持图像、数值结果的导出；10)故障排查功能：配置诊断模块，可保存扫描过程中的干涉条纹图像；11)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；12)环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据；13)气浮隔振功能：采用气浮式隔振底座，可有效隔离地面传导的振动噪声，确保测量数据的高精度；14)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；15)镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。应用领域对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，SuperViewW白光干涉仪三维表面形貌测量系统的复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终点，即可自动扫描，重建其超光滑的表面区域，不见一丝重叠缝隙。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

中图仪器SuperViewW白光干涉非接触式粗糙度测量仪以白光干涉技术为原理，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。典型结果包括：表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；(4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。SuperViewW白光干涉非接触式粗糙度测量仪非接触式高精密测量，不会划伤甚至破坏工件：【测量小尺寸样品时】可以测到12mm，也可以测到更小的尺寸，XY载物台标准行程为140*110mm，局部位移精度可达亚微米级别，Z向扫描电机可扫描10mm范围，可测非常微小尺寸的器件；【测量大尺寸样品时】支持拼接功能，将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像，拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致；SuperViewW白光干涉仪具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。其特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。性能特色1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统SuperViewW白光干涉非接触式粗糙度测量仪既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。应用领域对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。应用范例：粗糙度测量案例 硅晶圆粗糙度测量晶圆IC减薄后的粗糙度检测蓝宝石粗糙度测量部分技术指标 型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配:10×选配:2.5×、5×、20×、50×、100×光学ZOOM标配:0.5×选配:0.375×、0.75×、1×标准视场0.98×0.98㎜（10×物镜，光学ZOOM 0.5×）XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动台阶测量可测样品反射率0.05%~100主机尺寸700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

剪切干涉仪 特性定性的光束准直测试，适用于直径为Ø 1-Ø 50毫米的光束磁性耦合可调设计，允许快速更换剪切板英制和公制螺纹安装孔SI系列剪切干涉仪可用于确定相干光束是否准直。该设计包括一个45度安装的楔形光学平板，和一块位于中间的带刻度参考线的散射屏。散射屏用于观察由光学平板的前后表面的菲涅尔反射产生的干涉条纹。如果光束已经准直，干涉条纹会平行于带刻度的参考线。除了准直度以外，干涉条纹还对球差、慧差和像散敏感。楔形光学平板是由未镀膜的紫外熔融硅。每个板尺寸的楔角优化到可接受光束尺寸的范围；详情请看规格标签。由于光在板上的入射角为45度，条纹图案的强度取决于极化光。当偏振垂直于入射面时会产生最大强度。为了观察到的干涉条纹，入射的光的相干长度必须长于由剪切板引起的光程长度的变化。规格标签的更多信息，请参阅下表脚注。构造剪切干涉仪由三部分组成一套：一个底座，一个带有楔形光学平板的板，和一个带有扩散屏幕的板。建立该干涉仪用4-40螺丝和六角键连接观察屏幕板与底座。楔形光学平板通过磁力夹持就位，使它能够很容易地换成带有不同楔形光学平板的板。该底座是由经阳极氧化处理的铝和带有安装Ø 1/2英寸接杆的螺纹孔组成。在楔形光学平板后面的底座上有一个孔，这样光可以毫无阻碍地穿过光学平板。右边的横截面图的说明剪切干涉仪的构造和光束传播。附件对与小直径光束，相应的干涉条纹图样也小，这样就不利于观测。对于这种情形，可以购买SIVS放大观察屏配件，它可以代替标准的散射观察屏，从而增大散射屏上条纹的尺寸。SIVS包括一个已安装的发散透镜和散射屏，这种屏适合观察直径为1至10毫米的光束。该板含有可以单独提供的楔形光学平板，使各种光束的尺寸可以用一个单一的底座单元测试。点击放大上图是UVFS在光正入射时的透过率曲线。其中UVFS样品未镀膜，厚度为1毫米，数据也包含表面反射。剪切干涉仪Zoom Click to Enlarge楔形光学平板通过三个磁块夹持就位。提供5种型号，用于光束直径从1到50毫米范围定性的确定光的准直性磁铁球将平板固定在底座上可用的光束直径刻在板上根据剪切板的不同，剪切干涉仪可用于直径小到1毫米，大到50毫米的入射光。剪切干涉仪产生的干涉图样对光束发散很敏感，因此可以用来定性的确定光是否准直。如右图所示，剪切板有三个钢球，以磁性吸附的方式固定在板的底面上。当采用不同直径的光束时，这种磁性保留机制易于更换不同的平板。兼容的平板和底座型号请查看规格标签。此外，底板的背面钻有通孔，因此可以使得透射光通过楔形光学平板继续毫无阻碍地传播。底板，散射屏和剪切板包装在一个铝制手提箱内。替换剪切板Zoom 提供5种型号，光束直径从1毫米到50毫米 剪切板兼容多种剪切干涉仪主体 磁性钢球将板固定在底座上 可用的光束直径刻在板上Thorlabs提供五种可交换的剪切板，这些剪切板设计用于1毫米到50毫米的入射光束直径。这些板的磁性耦合可调设计，使得剪切板能够准确的固定在剪切干涉仪上。同一底座兼容多种剪切板（关于兼容性的详情请看规格标签），因此如果用于特殊实验的光束直径变化时，剪切板很容易进行替换。带有不同楔形角的不同板可以提供不同大小的光束。配件Zoom 用于光束直径从1毫米到10毫米 增大散射板上的条纹尺寸用于光束直径从1毫米到10毫米增大散射板上的条纹尺寸SIVS配件有助于观察由小光束直径产生的条纹图样。通过用该配件替换SI035，SI050，SI100或SI254*上的标准散射板观察屏，干涉条纹的尺寸会增大，从而使得确定光是否准直变得更容易。SIVS带有两个1/16英寸的螺丝，因此可以固定在剪切干涉仪上。如果需要，SIVS的安装板可以单独购买（SITST）。SITST具有标准的Thorlabs的SM1 (1.035英寸-40)螺纹，与任意SM1螺纹组件兼容。

中图仪器SJ6000数控机床倾斜轴激光干涉测量仪利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。它集光、机、电、计算机等技术于一体，采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出。SJ6000数控机床倾斜轴激光干涉测量仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、高测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品配置SJ6000激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。 产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。应用场景1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。 机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。对数控机床进行螺距误差补偿 SJ6000数控机床倾斜轴激光干涉测量仪非接触式、高精度的特点使其适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。部分技术指标主机稳频精度：0.05ppm动态采集频率：50 kHz预热时间：≤ 6分钟工作温度范围：(0~40)℃存储温度范围：(-20~70)℃环境湿度：(0~95)%RH 环境补偿单元空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)角度测量范围：±10°平面度测量范围：±1.5mm直线度测量范围：±3mm垂直度测量范围：±3/M mm/m便携箱尺寸：613*460*230mm 标准配置重量：18kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。

红外干涉仪 完美融合创新设计及尖端技术，M-Wave 339干涉仪是艺术级LUPI(不等光程激光干涉仪)，操作于3.39um/10.6um波长(或其他指定波长)，是用于测试中波红外成像组件/系统和光材料均匀性的理想仪器。 规格参数精确度 (未标定) 精确度 (已标定) 重复性基础设备孔径 扩束器孔径相机分辨率变焦镜头 采集模式 激光类型 波长*输出功率≥束偏振 0.01 λ RMS 波前误差 @ 3.39μm 0.004 λ RMS 波前误差 @ 3.39μm 0.001λ RMS 波前误差 @ 3.39μm 25.4mm 直径101.6mm 直径640 x 512 像素1X to 6X相移HeNe3.39 μm、10.6um2 mW线性 包装尺寸系统光轴高度激光安全等级 重量 分析软件 744mm x 407mm x 275mm115mmCDRH IIIb激光产品3B类60 lbs (主机) ESDI Intelliwave LE-2 or Apre Reveal控制装置手动参考光倾斜电动激光功率衰减器电动6x连续变焦电动聚焦WFOV调整模式 / NFOV测量模式单一出厂设置参考臂反射器 (98%)配件/可选扩束镜 (75mm, 100mm, 150mm, 200mm)90度伸缩肘管电动控制项目的遥控器5轴镜片/窗口夹具高度调节器自动聚焦测量设备

皮米激光干涉仪 德国attocube公司在皮米精度位移激光干涉仪FPS的基础上，新推出了体积更小、适合集成到工业产品与同步辐射应用中的IDS型号皮米精度位移激光干涉仪。与FPS型号干涉仪相似，IDS型号同样适用于端环境如高真空与高辐射环境并且具有高精度与高采样速率。IDS产品是适合工业集成与工业网络无缝连接的理想产品。产品在工业应用中具有广泛范围前景，包括闭环位移反馈系统搭建、振动测量、轴承误差测量，实时位移测量等。 德国计量院（PTB）对IDS3010激光干涉仪的精度进行了认证。值得指出，在0-3米的工作距离内， IDS激光干涉仪的的测量数据与德国计量院激光干涉仪数据完全一致。德国计量院的认证使得IDS激光干涉仪的测量数据满足德国标准，使得IDS更加理想的成为位移台鉴定与机器加工等领域的测量工具。IDS3010激光干涉仪主机尺寸与接口IDS3010激光干涉仪应用领域IDS3010充分满足高分辨位移于定位的工业和科研需要，可应用于长度测量、同步辐射、精密仪器、半导体工业以及显微镜。IDS3010激光干涉仪产品特点 + 设计紧凑（50mm x 55mm x 195mm），适合工业集成+ 工业化界面，含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面+ 测量速度快，定位样品采样带宽10MHz+ 环境补偿单元，不同湿度、压力环境中校正反射率参数提高测量精度+ 校正简单，配备可见激光（650nm）用于校正测量激光（1530nm）+ 测量精度高，探测器分辨率高达1 pm设备选件光纤式激光探头 IDS系列激光干涉仪可提供不同型号探头（探头尺寸，光斑大小不同）。探头直径范围：1.2mm – 22mm。典型准直激光光斑：1.6mm， 典型聚焦激光光斑：70 mm。低工作温度：10mK, 1E-10mBar超高真空适用, 10MGy强辐射环境适用。激光探头技术参数表激光探头型号尺寸mm (直径与长)工作距离(低反射，高反射材料）激光类型（聚焦、准直） 光斑大小D1.2/F7Ф 1.2 7.55-9 mm30-45 mm聚焦，焦距7mm70μm@7mmD4/F8Ф 4 11.56-10 mm15-30 mm聚焦，焦距8mm70μm@8mmD4/F13Ф 4 11.511-15 mm30-45 mm聚焦，焦距13mm70μm@13mmD12/F2.8Ф 12 32.32.8 mm聚焦，焦距2.8mm2μm@2.8mmM12/C1.6Ф 14 17.40-1000 mm准直1.6mmM15.5/C1.6Ф 22 20.60-1000 mm准直1.6mmM12/C7.6Ф 14 49.30-5000 mm准直7.6mm应用案例■ IDS3010在航天飞行器形变检测上的应用德国卫星制造商OHB公司（德国OHB-System 是一家专门从事小卫星系统、分系统研制工作的企业,在小型商业卫星、小型研究卫星及相关分系统的研制、制造和操作方面具有丰富的经验）采用attocube的激光位移传感器IDS3010，对三代气象卫星（MTG）柔性组合成像仪进行了高真空光-热-力学模型试验。该试验包括在仪器的不同区域，并监控其后续光学元件相对位移测量哈特曼传感器。在真空环境中通过IDS3010激光干涉仪以小于1角秒的精度对平面基准相对位置的稳定性进行了一个多星期的持续测试。为了校准IDS3010不同探头之间的距离，需要进行初步测试（每个传感器探头与用于角度计算的距离，名义上为100 mm）。为此，平面参考镜的电动框架被用来产生任意角度的运动。这些角度是由IDS3010激光干涉仪和校准的自准直仪测量得到。IDS3010激光干涉仪在±720角秒范围内表现出良好的线性（0.1%），并且非常容易校准。再与MTG柔性组合成像仪对齐之后，即在Shack-Hartmann传感器和IDS3010传感器之间执行另一个交叉校准，以补偿IDS3010传感器相对于Shack-Hartmann传感器的时钟。三代气象卫星的柔性组合成像仪（MTG-FCI）的实验装置。紫色表示激光干涉仪组件：传感器探头支架和角角锥棱镜支架。以上信息由OHB System AG提供结果此次测量的目的是在一周多的时间内连续监测参考镜相对于卫星的稳定性，精度小于1角秒。使用如上所述attocube公司的激光干涉仪得到的测试得到角度精度甚至比一个角秒还要好。理论计算表明，其测试分辨率可以到达0.021角秒（等于5.8u°），但实际读数受试验装置振动的限制。■ IDS3010激光干涉仪在自动驾驶高分辨调频连续波（FMCW）雷达上的应用自动驾驶是目前汽车工业为前沿和火热的研究，而自动驾驶尤为重要的是需要可靠和高分辨率的距离测量雷达。德国弗劳恩霍夫高频物理和雷达技术研究所（Wachtberg，D）Nils Pohl教授和波鸿鲁尔大学（Bochum，D）的研究小组提出了一种全集成硅锗基调频连续波雷达传感器（FMCW），工作频率为224 GHz，调谐频率为52 GHz。通过使用德国attocube公司的皮米精度激光干涉仪FPS1010（新版本为IDS3010）证明了测量系统在-3.9μm至+2.8μm之间达到了-0.5-0.4μm的超高精度。这种全新的高精度雷达传感器将会应用于许多全新的汽车自动驾驶领域。图一 紧凑型FMCW传感器的照片图二 雷达测距示意图，左边为雷达，右边为移目标，attocube激光干涉仪用来标定测量结果参考文献S. Thomas, et al IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 67, 11, (2019).■ IDS3010激光干涉仪在半导体晶圆加工无轴承转台形变的测量上的应用半导体光刻系统中的晶圆轻量化移动结构的变形阻碍了高通量的半导体制造过程。为了补偿这些变形，需要的测量由光压产生的形变。来自理工大学荷兰Eindhoven University of Technology 的科学家设计了一个基于德国attocube干涉仪IDS3010的测量结构，以此来详细地研究因为光压而导致的形变特性。图一所示为测量装置示意图，测量装置由5 x 5 共计25个M12/F40激光探头组成的网格，以此来实现监测纳米的无轴承平面电机内部的移动器变形。实验的目的是通过对无轴承的平面的力分布进行适当的补偿，从而有效控制转台的变形。实验测得大形变量为544nm，小形变量为110nm（如图二所示）。图一 左侧5X5排列探头测量装置示意图，右图为实物图图二 无轴承磁悬浮机台形变量的测量结果，大形变量为544nm参考文献Measuring the Deformation of a Magnetically Levitated Plate displacement sensor.■ IDS3010在X射线成像中提高分辨率的应用在硬X射线成像中，每个探针平均扫描时间的减少对于因为束流造成的损伤是至关重要的。此外，系统的振动或漂移会严重影响系统的实时分辨率。而在结晶学等光学实验中，扫描时间主要取决于装置的稳定性。Attocube公司的皮米精度干涉仪FPS3010（升之后的型号为IDS3010），被用于优化由多层波带片（MZP）和基于MZP的压电样品扫描仪组成的实验装置的稳定性的测量。实验是在德国DESY Photon Science中心佩特拉III期同步加速器的P10光束线站上进行的。Attocube公司的激光干涉仪PFS3010用来检测样品校准电机引起的振动和冲击产生的串扰。基于这些测量，装置的成像分辨率被提高到了±10nm。 图一 实验得到的系统分辨率结果参考文献Markus Osterhoff, et at. Proceedings Volume 10389, X-Ray Nanoimaging: Instruments and Methods III 103890T (2017)■ IDS3010激光干涉仪在微小振动分析中的应用电荷化理论能够描述中性玻色子系统的布洛赫能带，它预言二维量子化的四缘体具有带隙、拓扑的一维边缘模式。全球研究机构苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙的利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑缘体，次在实验上观测到了声子四拓扑缘体。这一具有重要意义的结果时间被刊登在nature上（doi:10.1038/nature25156）。研究人员通过测试了一种机械超材料的体，边缘和拐角的物理属性，发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。德国attocube公司的激光干涉仪IDS3010被用于超声-空气转换器激励后的机械超材料振动分析。IDS3010能到探测到机械超材料不同位置的微小振动，以识别共振频率。终实现了11.2pm的系统误差，为声子四拓扑缘体的实验分析提供了有力的支持。图一 实验中对对机械超材料微小振动的频率分析参考文献Marc Serra-Garcia, et al. Nature volume 555, pages 342–345 (2018)■ IDS3010激光干涉仪在快速机床校准的应用德国亚琛工业大学（Rwth Aachen University，长久以来被誉为“欧洲的麻省理工”）机床与生产工程实验室（WZL）生产计量与质量管理主任的研究人员利用IDS3010让机床自动校准成为可能，这将大的提高机床的加工精度和加工效率。研究人员通过将IDS3010皮米精度激光干涉仪和其他传感器集成到机床中，实现对机床的自动在线测量。这使得耗时、需要中断生产过程、安装和卸载校准设备的手动校准变得多余。研究人员建立了一个单轴装置的原型，利用IDS3010进行位置跟踪，其他传感器如CMOS相机被用来检测俯仰和偏摆。校准结果与常规校准系统的结果进行了比较：六个运动误差（位置、俯仰、偏摆、Y-直线度、Z-直线度）对这两个系统显示出良好的一致性，值得指出的是：使用IDS3010的总时间和成本显著降低。该装置演示了自动校准机床的个原型，而且自动程序减少了机器停机时间，从而通过保持相同的精度水平提高了生产率。参考文献Benjamin Montavon et al J. Manuf. Mater. Process. 2(1), 14 (2018)■ IDS3010激光干涉仪在工业C-T断层扫描设备中的应用工业C-T断层扫描被广泛用于材料测试和工件尺寸表征。设计一个的锥束C-T系统的挑战之一是它的几何测量系统。近，瑞士联邦计量院（METAS）的科学家将德国attocube公司的IDS3010皮米精度激光干涉仪用于X射线源、样品和探测器之间的精密位移跟踪。实验共有八个轴用于位移跟踪。除了测量位移之外，该实验装置还能够实现样品台的角度误差分析。终实现了非线性度小于0.1μm，锥束稳定性在一小时内优于10ppb的高精度工业C-T。参考文献Benjamin A. Bircher, Felix Meli, Alain Küng, Rudolf Thalmann: "A geometry measurement system for a dimensional cone beam CT", 8th Conference on Industrial Computed Tomography (iCT 2018), At Wels, AU■ IDS3010激光干涉仪在增材制造3D打印方面的应用微尺度选择性激光烧结（μ-SLS）是制造集成电路封装构件（如微控制器）的一种创新方法。在大多数的增材制造中需要微米量的精度控制，然而集成电路封装的生产尺寸只有几微米，并且需要比传统的增材制造方法有更小的公差。德克萨斯大学和NXP半导体公司开发了一种基于u-SLS技术的新型3D打印机，用于制造集成电路封装。该系统包括用于在烧结站和槽模涂布台之间传送工件的空气轴承线性导轨。由于该导轨对定位精度要求很高，所以采用德国attocube公司的皮米精度干涉仪IDS3010来进行位置的跟踪。参考文献Nilabh K. Roy, Chee S. Foong, Michael A. Cullinan: "Design of a Micro-scale Selective Laser Sintering System", 27th Annual International Solid Freeform Fabrication Symposium, At Austin, Texas, USA ■ IDS3010激光干涉仪在扫描荧光X射线显微镜中的应用在搭建具有纳米分辨率的X射线显微镜时，对于系统稳定性的要求提出了更高的要求。在整个过程中实验过程中，必须确保各个组件以及组件之间的热稳定性和机械稳定性。德国attocube的IDS3010激光干涉仪具有优异的稳定性和测量亚纳米位移的能力，表现出优异的性能。IDS3010在40小时内具有优于1.25nm的稳定性，并且在100赫兹带宽的受控环境中具有优于300pm的分辨率。因此，IDS3010是对所述X射线显微镜装置中使用的所有部件进行机械控制的不二选择，使得整个X射线显微镜实现了40nm的分辨率，而在数据收集所需的整个时间内系统稳定性优于45nm。参考文献Characterizing a scanning fluorescence X ray microscope made with the displacement sensor■ 皮米精度激光干涉仪IDS3010在相位调制器的精密调制和控制上的应用相位调制器是相干合成孔径望远镜中光束合成机构的关键部件。提高相位调制器的调制精度和控制带宽有助于提高合成孔径望远镜的成像分辨率。相位调制器运动信息包括俯仰角、方位角和轴向位移3个自由度。目前3个或者多个自由度的实时测量还处于发展阶段。同时实现多自由度测量更是少之又少。来自中国科学院光电技术研究所光束控制重点实验室的方国明课题组采用德国attocube system AG公司的三轴皮米精度激光干涉位移传感器IDS3010通过获取待测目标平面内3个不共线点的位移量，而3个不共线的点可确定平面的法线，基于平面法线的性可解，从而可以获得目标的3个自由度运动信息，包括方位角、俯仰角和轴向位移。成功实现了三自由度的同时实时测量。图示： 三自由度测量原理示意图■ 皮米精度位移测量激光干涉仪助力声子四拓扑缘体观测电荷化理论能够描述中性玻色子系统的布洛赫能带，它预言二维量子化的四缘体具有带隙、拓扑的一维边缘模式。苏黎世邦理工大学的Sebastian Huber教授课题组巧妙地利用一种机械超材料结构来模拟二维的拓扑缘体，次在实验上观测到了声子四拓扑缘体。这一具有重要意义的结果时间被刊登在nature上。研究人员通过测试一种机械超材料的体、边缘和拐角的物理属性，发现了理论预言的带隙边缘和隙内拐角态。这为实验实现高维度的拓扑超材料奠定了重要基石。图示：实验装置示意图参考文献Observation of a phononic quadrupole topological insulator.Nature volume 555, pages342–345(2018)■ 激光干涉仪检测纳米精度位移台误差在实际生产中的存在可能导致损失以及客户对产品信心的丢失。光学传感器可以在质量检测中帮助减少误差产生提高成品率。attocube激光干涉仪是理想的可在各个领域提供高精度探测来减少误差的一种光学传感器。作为纳米精度位移台供应商的德国attocube公司，对位移台的精密移动的测量与鉴定是一个非常重要的任务。例如，下图左，ECS3030型号的线性位移台可在真空中进行位移。ECS3030位移台的行程是20mm。技术参数要求的是可重复精度小于50nm。利用attocube激光干涉仪对位移台上样品进行测量，位移台被程序控制来回往复移动1mm,在20mm的行程内在多个不同地点进行来回往复移动。测量结果如下图中所示。通过分析，左图中的数据提取的偏差值是13.2nm，下图右数据的直方图显示标准差是13nm。因此，位移台的可重复性技术指标是合格的。通过使用attocube激光干涉仪可以实施对于纳米精度位移台ECS3030的全自动测量。这已经是德国attocube公司对于位移台的质量检测手段。并且，这样一个简便与实用的传感器可以直接集成到生产线中去提供高产出的质量检测。■ 激光干涉仪组建高精度X射线显微镜同步辐射中心具有广泛的应用领域，生物科技（蛋白质结构），医学研究（微生物），工程研究（裂纹的变化观测），先进材料（纳米结构测量）等。以上应用需要高精度去驱动聚焦镜，样品，光学狭缝等物品（下图左），这样的机械结构需要减少热漂移与定位误差。德国attocube公司的激光干涉仪具备皮米精度分辨率，激光探头可在真空环境中使用，是同步辐射研究的良好选择。在现有激光探头中，标准激光探头M12是已经被证实可以在辐射环境中使用（大10MGy)。美国布鲁克海文实验室E. Nazaretski等人结合attocube激光干涉仪与纳米精度位移台搭建了X射线扫描成像显微镜（下图中）。通过attocube激光干涉仪作为实时检测与反馈位移台移动的工具，科学家实现了0.5nm的步进扫描（下图右）。并且，在真空环境中，系统的热漂移达到了2nm/h。综上所述，高精度的X射线显微镜可以实现纳米精度扫描成像，是实现硬X射线区域光学研究的有力工具。该显微镜使得X射线荧光光谱纳米精度成为了现实。参考文献E. Nazaretski , et.al. J. Synchrotron Rad. (2015). 22, 336–341 ■ 激光干涉仪无损探测轴承误差旋转物体的运动误差分析是高精度机械工程领域的一个主要兴趣之一。如果是高速旋转的转子，甚至1纳米的误差就会产生不想要的振动与运动误差。因此，纳米精度的运动误差监测是机械工程领域前沿的重要研究课题。一个主要的难题是：如何减小运动误差？为了减小误差，先需要测量误差。德国attocube公司的激光干涉仪可以提供一个无损，紧凑并且一插即用的解决方案。通常的线性位移测量需要一个平整的表面，而旋转运动的时候，遇到的是一个曲面（右图上）。attocube激光干涉仪测量的是一个直径为10mm的电动转子。由于attocube激光干涉仪的探头具有较大的容忍角度，激光探头很容易完成了校准并开始进行测量。转子转速为2160转每秒，两个激光探头对转子的运动误差进行了测量。右图下显示的为测量结果，红色实线为平均位置，而虚线显示了误差为5微米的两个圆环。黑色实现为实际测量数据。德国attocube公司的激光干涉仪软件使用界面友好，可提供亚纳米别的运动误差校正方案。即使是新用户，对于其激光干涉仪的使用也会很快熟悉。参考文献 Review of scientific instruments, 84, 035006 (2013) ■ 激光干涉仪校正低温非线性扫描通常扫描台在室温下扫描50微米 x 50微米的范围时候不会有显著的非线性效应。但是当在低温环境（4K或更低）中，压电陶瓷本身的性能发生变化，会产生下图右中的非线性扫描现象。通过德国attocube公司的激光干涉仪，可以在低温环境下使用激光探头对扫描台的扫描运动进行实时检测（高速扫描）。结合对扫描台的施加电压进行实时反馈控制，可解决低温下非线性扫描问题。测试数据■ 实验数据，皮米精度的稳定性图1 77mm长的腔在20个小时内的实验测量数据表明数据误差范围在55pm■ 测量速度快，定位样品采样带宽10MHz图2 样品移动速度2米/秒，移动范围1m发表文章1. Stability investigation of a cryo soft x-ray microscope by fiber interferometry Rev. Sci. Instrum. 91, 023701 (2020) 2. Vibration-heating in ADR Kevlar suspension systems James Tuttle et al 2020 IOP Conf. Ser.: Mater. Sci. Eng. 755 0120153. S. Thomas, et al IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 67, 11, (2019).4. Observation of a phononic quadrupole topological insulator.Nature volume 555, pages342–345(2018)5. Benjamin A. Bircher, Felix Meli, Alain Küng, Rudolf Thalmann: "A geometry measurement system for a dimensional cone beam CT", 8th Conference on Industrial Computed Tomography (iCT 2018), At Wels, AU6. Benjamin Montavon et al J. Manuf. Mater. Process. 2(1), 14 (2018)7. In situ contrast calibration to determine the height of individual diffusing nanoparticles in a tunable confinement S. Fringes et al. J. Appl. Phys. 119 024303 (2016)8. Interferometric characterization of rotation stages for X-Ray nanotomography T. Stankevi? et al. Rev. Sci. Instrum. 88 053703 (2017)9. Measurement of forces exerted by low-temperature plasmas on a plane surface T. Trottenberg and H. Kersten Plasma Sources Sci. Technol. 26 055011 (2017)10. Mesh-type acoustic vector sensor M. K. Zalalutdinov et al. J. Appl. Phys. 122 034504 (2017)11. Markus Osterhoff, et at. Proceedings Volume 10389, X-Ray Nanoimaging: Instruments and Methods III 103890T (2017)用户单位attocube公司产品以其稳定的性能、高的精度和良好的用户体验得到了国内外众多科学家的认可和肯定，在全球范围内有超过了130多位低温强磁场显微镜用户。attocube公司的产品在国内也得到了低温、超导、真空等研究领域著名科学家和研究组的欢迎.....国内部分用户北京大学中国科技大学中科院物理所中科院武汉数学物理所中科院上海应用技术物理研究所复旦大学清华大学南京大学中科院半导体所上海同步辐射中心北京理工大学哈尔滨工业大学中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所……国外部分用户

MMAS-19微分干涉相衬金相显微镜测量分析系统适用于对多种物体的显微观察。配置落射DIC观察系统与透射照明系统、无限远长距平场消色 差物镜、大视野目镜和偏光观察装置，具有图像立体感且清晰、造型美观，操作方便等特点，是生物学、金属学、矿物学、精密工程学、电子学等研究的理想仪器。MMAS-19系统配备了研润自主研发的MMAS测量分析系统以及MOS高端光学系统。一、技术特点：1、观察系统：大三通光学系统，30度倾斜，自由切换目视观察与电脑摄像，可100%进行透光摄影。大视野平场广角目镜，视场范围直径22mm。2、机械载物台：双层机械式载物台，尺寸210*140mm；移动范围63*50mm。3、落射照明系统：12V，50W卤素灯，亮度可调。良好的散热性设计。4、微分干涉相衬观察系统：微分干涉组件与适配的物镜校正好干涉平面高度。干涉色的变化可通过精密丝杆的旋转调节而变化。5、透射照明系统：内置12V30W卤素灯照明装置，集光镜中内置视场光栏。5、选配件：5.1分化目镜：10X（直径22mm），格值0.1mm/格；5.2无限远长距物镜：PLL50X/0.7（工作距离3.68）、PLL60X/0.7（工作距离2.08）、PLL80X/0.8（工作距离1.25）、PLL100X/0.85（干式、工作距离0.4）；5.3转换器：四孔5.4适配镜：0.5X、1X、0.5带0.1mm/格分化尺；5.5数码摄像机；5.6黄、绿滤色片；二、技术参数：目镜大视野 SWF10X(Φ22mm)物镜（长距）无限远平场消色差物镜LMPlan5X/0.12DIC，工作距离：15mm无限远平场消色差物镜LMPlan10X/0.3DIC，工作距离：10.5mm无限远平场消色差物镜LMPlan20X/0.40DIC，工作距离：4.5mm无限远平场消色差物镜PL L40X/0.60，工作距离：3.98mm放大倍数50~400X目镜筒倾斜30度,三目镜，双目镜组落射照明系统12V50W卤素灯,亮度和灯泡位置可调内置视场光栏、孔径光栏、黄绿蓝滤色片和磨砂玻璃转换装置，推拉式检偏器与起偏器透射照明系统12V30W卤素灯,亮度可调，蓝滤色片和磨砂玻璃阿贝聚光镜NA1.25可上下升降，集光镜中内置视场光栏干涉观察系统适用于LMPlan5X/LMPlan10X/LMPlan20X DIC物镜调焦机构粗微动同轴调焦, 微动格值:2μm,粗动松紧可调，带锁紧和限位装置转换器五孔(内向式滚珠内定位)；载物台双层机械移动式(尺寸:210mmX140mm,移动范围:63mmX50mm)外形尺寸455*545*280配备系统主机+MMAS数据处理系统1套+MOS光学系统一套+电脑一套三、性能特点：1、采用优良的无限远光学系统，可提供出色的光学性能。2、紧凑稳定的高刚性主体，充分体现了显微操作的防振要求。3、符合人机工程学要求的理想设计，使操作更方便舒适，空间更广阔。4、内置式可切换偏光观察装置，起偏器可360°旋转。5、微分干涉相衬观察时图像清晰，干涉色均匀，具有较强的浮雕感。软件功能:MMAS金相显微测量分析系统的核心功能是根据金相图像进行级别评定。目前以具备400多个按国家及行业标准制作的专业功能模块。MMAS金相显微测量分析系统具备数十种图像处理功能、同时具备报告处理、几何测量、定倍打印、图像拼接等多种辅助功能。MMAS金相显微测量分析系统还可以定制图像共聚焦、三维光图等专业功能。MMAS金相显微测量分析系统是为从事金相检验的单位或个人专门开发的一套计算机软件系统，它的基本原理是：用视频采集卡或数码相机等硬件设备，采集到金相显微镜中的金相图片，再对该图片进行处理和分析，得到相关检验结果。1.自动评级：本软件以检验标准为依据，开发出了近百余个类别两百余种软件功能模块，用户可根据需要，选择检验项目，在本软件的帮助下，完成检验工作。2.新建报告：可按用户需求制作报告文档的录入界面、软件可自动生成电子报告文档，并提供报告的保存和打印功能。3.打开报告：打开并浏览已经保存的报告文件。4.几何测量：本软件提供了“直线”、“矩形”、“圆”、“多边形”、“角度”等多种测量工具及测量方法，可完成长度、面积、角度等测量工作。5.查看图库：用户可选择查看本软件收录的所有金相图谱，本软件金相图谱由用户提供原始资料，由我方录入。6.定倍打印：可一次装入多副图片，并可对其进行图像处理，设置说明文字和打印版面，进而生成一份适合各种行业特殊要求的报告文件。7.图像拼接：将采集到的不同视场图像拼接成一幅完整的图像。7.图像共聚焦：该功能模块的作用是：将拍摄对象相同、但焦距不同的几张照片，重合成一张清晰的照片。界面及重合效果.8.三维光图：

法布里珀罗干涉仪 FPI 法布里珀罗干涉仪（Fabry-Perot Interferometer，FPI 100）是一款共聚焦扫描 FPI，它自带光电探测器单元，设计用于测量和控制连续波激光器的模场分布。其主要特点有： 激光模式分析简单方便可选八种反射镜用于波长范围 300 到 3000 纳米自由光谱范围 1GHz 或 4GHz标准反射镜反射率 99.8%，对应 finesse 大于 400可选配光纤耦合器套件 – 方便使用 FC/APC 光纤接头进行耦合光电二极管更换套件 – 可见光/近红外/红外，通过内置聚焦透镜自动对准用户规定 finesse 值扫描选项 – 集成光电二极管放大器的独立扫描发生器 miniScan 杭州谱镭光电技术有限公司(HangzhouSPL Photonics Co.,Ltd)是一家专业的光电类科研仪器代理商，致力于服务国内科研院所、高等院校实验室、企业研发部门等。我们代理的产品涉及光电子、激光、光通讯、物理、化学、材料、环保、食品、农业和生物等领域，可广泛应用于教学、科研及产品开发。 我们主要代理的产品有：微型光纤光谱仪、中红外光谱仪、积分球及系统、光谱仪附件、飞秒/皮秒光纤激光器、KHz皮秒固体激光器、超窄线宽光纤激光器、超连续宽带激光器、He-Ne激光器、激光器附件及激光测量仪器、光学元器件、精密机械位移调整架、光纤、光学仪器、光源和太赫兹元器件、高性能大口径瞬态（脉冲）激光波前畸变检测干涉仪（用于流场、波前等分析）、高性能光滑表面缺陷分析仪、大口径近红外平行光管、Semrock公司的高品质生物用滤波片以及Meos公司的光学教学仪器等。 拉曼激光器，量子级联激光器，微型光谱仪，光机械，Oceanoptics，Thorlabs 。。。热线电话： / 传真：网址： /邮箱：

SuperViewW1三维白光干涉技术3D测量轮廓仪是以白光干涉技术为原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。结果组成1、三维表面结构：粗糙度，波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等；2、二维图像分析：距离，半径，斜坡，格子图，轮廓线等；3、表界面测量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；4、薄膜和厚膜的台阶高度测量；5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量；6、微电子表面分析和MEMS表征。产品功能(1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；(2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；(3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能； (4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；(5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；(6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。工作原理照明光束经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条文出现的位置解析出被测样品的相对高度。SuperViewW1三维白光干涉技术3D测量轮廓仪具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。性能特点1、高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）隔振系统，能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得高测量重复性；2、环境噪声检测功能具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰，在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。3、精密操纵手柄SuperViewW1三维白光干涉技术3D测量轮廓仪集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。4、双重防撞保护措施在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，当镜头触碰到样品表面时，仪器自动进入紧急停止状态，最大限度的保护仪器，降低人为操作风险。5、双通道气浮隔振系统既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机，在无外接气源的条件下也可稳定工作。部分技术指标型号W1光源白光LED影像系统1024×1024干涉物镜标配：10×选配：2.5× 5× 20× 50× 100×光学ZOOM标配：0.5×选配：0.375× 0.75× 1×物镜塔台标配：3孔手动选配：5孔电动XY位移平台尺寸320×200㎜移动范围140×100㎜负载10kg控制方式电动Z轴聚焦行程100㎜控制方式电动Z向扫描范围10 ㎜主机尺寸（长×宽×高）700×606×920㎜恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

SJ6000运动导轨精度快速激光干涉测量仪采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗扰力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿。SJ6000运动导轨精度快速激光干涉测量仪结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。 产品优势1、激光干涉仪具有非常高的测量精度和重复性。2、激光干涉仪可以实现非接触式测量，不会对被测量物体造成损伤。3、激光干涉仪具有实时性测量能力，能够同时测量多个位置或参数，提高测量效率。测量软件特点（1）友好的人机界面；（2）丰富的应用功能模块；（3）向导式的操作流程；（4）简洁化的记录管理；（5）支持中文、英文和俄文界面；（6）支持企业专属模板定制。产品应用SJ6000运动导轨精度快速激光干涉测量仪是一种能够测量机床精度的高精度测量装置。它利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点，在机床加工领域有着广泛的应用。1.测量机床导轨的直线度和平行度。导轨是机床中的重要零部件，直线度和平行度的误差会直接影响机床的加工精度和稳定性。激光干涉仪可以通过测量导轨上的干涉条纹来确定其直线度和平行度的偏差，从而指导后续的优化和调整。2.测量机床工作台的平面度和垂直度。机床工作台的平面度和垂直度直接影响工件的加工精度和质量。通过激光干涉仪测量工作台上的干涉条纹，可以快速发现工作台的不平整和非垂直状态，并及时进行调整和修正，确保工件的加工精度和稳定性。3.测量机床主轴的同心度和轴向垂直度。机床主轴的同心度和轴向垂直度是决定机床加工精度的关键因素。通过激光干涉仪测量主轴上的干涉条纹，可以准确判断主轴的同心度和轴向垂直度是否达到标准要求，从而为后续的机床调整和校准提供依据。4.其它除了上述应用，激光干涉仪还可以用于测量机床各个部件之间的相对位置和尺寸关系，从而检测和纠正机床的装配误差。此外，激光干涉仪还可以用于检测机床在运行过程中的变形和振动情况，及时发现机床的故障和异常状态，保证机床的稳定性和可靠性。 对数控机床进行螺距误差补偿部分技术规格稳频精度0.05ppm动态采集频率50 kHz预热时间≤ 6分钟工作温度范围(0~40)℃存储温度范围(-20~70)℃环境湿度(0~95)%RH线性测量距离(0~80)m (无需远距离线性附件)线性测量精度0.5ppm (0~40)℃角度轴向量程(0~15)m角度测量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″平面度轴向量程(0~15)m平面度测量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)直线度轴向量程短距离(0.1~4.0)m 长距离(1.0~20.0)m直线度测量精度短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm垂直度轴向量程短距离(0.1～3.0)m 长距离(1.0～15.0)m垂直度测量精度短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m 长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m注意事项：平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。上一篇： 无图晶圆粗糙度测量设备

中图仪器SJ6000设备直线度激光干涉测量仪利用激光干涉现象来实现非接触式测量，具有高精度、高分辨率、快速测量等优点。它结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。SJ6000设备直线度激光干涉测量仪适用于各种复杂的运动系统，不仅仅局限于运动导轨，还可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。帮助企业提高设备性能，减少维护成本和停机时间，为制造业提供了一种精密的测量检测方式。产品功能（1）可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；（2）可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；（3）可实现对机床回转轴的测量与校准；（4）可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；（5）具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；（6）支持手动或自动进行环境补偿。产品配置SJ6000设备直线度激光干涉测量仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。主要镜组图其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。线性测量应用SJ6000激光干涉仪广泛应用于机床、三坐标、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。部分技术指标主机稳频精度：0.05ppm动态采集频率：50 kHz预热时间：≤ 6分钟工作温度范围：(0~40)℃存储温度范围：(-20~70)℃环境湿度：(0~95)%RH环境补偿单元空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃ 空气湿度传感器：±6%RH (0~95)%RH大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa线性测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)角度测量范围：±10°平面度测量范围：±1.5mm直线度测量范围：±3mm垂直度测量范围：±3/M mm/m便携箱尺寸：613*460*230mm标准配置重量：18kg恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

激光干涉法热膨胀测试系统一、简介依阳公司在国内首次推出了最高温度范围和最高精度的激光干涉法热膨胀性能测试系统。这套测试系统采用了目前国际上最低温漂的双频外差式激光干涉仪，解决了以往必须具备苛刻隔振条件下才能进行超低热膨胀性能测试难题，而且测试温度范围覆盖了-20℃至1600℃的中温范围，完全可以满足目前绝大多数低膨胀材料热膨胀性能的高精度测量。依阳公司出品的激光干涉法热膨胀测试系统所采用的双频外差式激光干涉法是以激光波长为基准的长度测量设备，激光干涉法热膨胀性能的测量就成为一种绝对测量方法，在消除了振动、温漂、气体折射率、温度梯度和倾斜变形等一系列影响因素后，此测试系统可用于其他所有热膨胀性能测试方法和测试设备的校准。二、技术指标（1）量程：2mm（2）分辨率：±0.5nm（3）位移测量精度：±5nm（4）位移测量重复性：±3nm（5）测量温度范围：-40℃～200℃（低温下限依据所采用的油浴温度范围） 200℃～1400℃（石墨发热体通电加热）（6）试样形状：板状、棒状、块状（7）试样尺寸：截面积尺寸；厚度5mm～100mm。（8）试验气氛：100Pa以下压强气体（空气或惰性气体）（9）测试方法：ASTM E289。 三、特点1. 依阳公司出品的激光干涉法热膨胀测试系统采用了双频激光外差式干涉技术。采用这种干涉技术是因为它提供了比其他激光干涉法更高的信噪比，而且外差式干涉技术对环境幅度变化并不十分敏感，即使光强衰减90%，仍然可以得到有效的干涉信号，可以达到更好的分辨率和测量精度。从固有的测量精度上来考虑，双频或双光束干涉法要低于多光束干涉法，但双频所具有的优势就是可以明显降低测试中对试样的要求。因此，采用外差式技术，被测材料试样的加工要求相对较低、热膨胀范围和尺寸可以很宽泛，测试步骤简单而快捷，数据处理过程简单。2. 激光干涉仪的温度漂移是影响干涉仪测量精度的重要参数，依阳公司出品的激光干涉法热膨胀仪采用了具有2nm/℃的高稳定性外差式激光干涉仪，同时采用了恒温精度为±0.05℃的恒温水浴使得激光干涉仪处于一个恒温状态，有效的保证了膨胀仪的测量精度。3. 为了适用于各种材料的热膨胀性能测试，被测试样和加热装置放置在可抽气的真空箱内，并使得真空箱内处于真空状态，以避免箱内气体折射率随温度变化的波动对激光束产生影响，但如果真空度过高则会大大提高加热试样和试样温度均匀化的时间。因此，依阳公司出品的激光干涉热膨胀测试系统配备了相应的真空度控制装置，使得真空箱内的真空度始终保持在100Pa左右，这样既能消除气体折射率的影响，又能保持真空箱内气体的传热效率不会降低。4. 尽管双频激光干涉对干涉光束的轻微偏移不敏感，但为了防止由于试样和试样架上温度梯度和膨胀系数不匹配产生严重倾斜从而出现光学失准现象，依阳公司出品的激光干涉法热膨胀测试系统中配置了倾斜调整机构，可以帮助操作者完成干涉仪的精密对准。5. 为了在尽可能宽泛的温度范围内高精度的测量材料的热膨胀性能，依阳公司出品的热膨胀测试系统针对不同的温度范围采用了不同的加热方式。在200℃以下采用的是循环油浴控温方式，在200℃以上则采用了石墨发热体通电加热方式。更低的温度范围可以选择不同的循环油浴或液氮控温实现，高温可以选择达到1600℃以上的加热方式。6. 依阳公司出品的激光干涉法热膨胀性能测试系统采用了试样直立式结构，可以测量各种刚性和弹性体材料的热膨胀性能随温度的变化，试样厚度最小可以达到1mm。