RT100S多功能高精度空气轴承旋转平台,完美适用于小型测量设备,可作为多轴系统的最终?轴。轻巧紧凑的结构是各种应用中高动态和精确定位任务的理想选择。RT100S:小型封装中最高精度的体现!大通孔便于滑环集成,光学或其他馈通。应用领域:• 计算机断层扫描• X-射线• 超精密加工• 激光加工• 光学检查• 半导体应用• 医疗行业的测试系统• 用于尺寸测量系统的运动轴• 惯性导航• 精密重力测量产品规格Rotary Stage RT100SMax. axial load 最大轴负载206 NMax. radial load 最大侧向负载78 NAxial stiffness 轴刚性103 N/μmRadial stiffness 侧向刚性39 N/μmTilt stiffness 摇摆刚性90 Nm/mradRadial error motion 端跳误差 100 nm LSCAxial error motion 轴误差 50 nm LSCResolution分辨率0.1arcsec,取决于细分比(4× ~ 20000×)Repeatability重复精度0.5 arcsec 或者2倍分辨率Air consumption 耗气量 8 Nl/minTotal mass 重量1,6 kgEncoder 编码器15744 periodsNominal torque 标称扭矩0,13 NmPeak torque 峰值扭矩0,4 NmMax. speed 最大速度200-1200 rpmAngular accuracy 角精度10,3 arcsecMaterial 材料coated aluminium尺寸图运动控制该旋转台可配备运动驱动器和软件。该软件提供易于编程的定位循环,自动归位程序以及与机器接口的通信。集成了压力供应失败时产生安全停止的紧急程序。此外,图形用户界面将设置时间降至最低。
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