高真空离子溅射仪

WELCHLAB APPLICATION某客户致力于材料表面处理和真空薄膜仪器的研发，在竞争方面，直接对标国外知名产品。有别于其他同类产品的国产厂家，该客户产品定位高端，在国内市场有较好的口碑，其对配套的旋片真空泵（油泵）要求，无论是在真空度、噪音、外观、售后服务等，还是在品牌知名度方面，都有非常高的要求，为保证离子镀膜仪真空度的稳定性和工作效率，已标配选用了某原装进口品牌的旋片泵，且销售了数年时间，但此品牌的旋片泵价格高昂，货期不稳定，售后服务有着很大的提升空间。此时，我们针对性的向该客户介绍了Welch品牌CRVpro2旋片真空泵。CRVpro2外观设计美观，真空度高，泵体小巧，运行非常安静，泵体内部做PTFE防腐处理，能够明显提高其使用寿命，完全适合配套客户的离子镀膜仪设备。且因CRVpro2旋片真空泵性价比高，售后服务完善，能瞬间提升客户产品的受关注度和整体竞争力。当然，对于临阵换将，任何人都会有所犹豫，为打消客户疑虑，我们及时提供了一台全新的 CRVpro2旋片真空泵，进行现场测试。CRVpro2的安装非常简单，加注真空油、安装转接头、连接不锈钢波纹管，一气呵成。开机运行！在寂静的实验室里，CRVpro2安静的运行着。时间一秒一秒得飞逝，镀膜仪操作面板上的真空度数值飞速变化，结果仅仅用了不到3分钟，就达到了镀膜仪恒定工作压力以下，即1-2Pa。同时，由于Welch研发工程师对CRVpro2的排气端进行了优化设计，其排气口几乎无油雾排出，非常有利于实验室环境，该公司的测试人员对此结果非常满意。随即，设备配套顺理成章，双方打开双赢的合作局面̷̷CRVpro实验室旋片真空泵的优点：　　1、泵体运行温度低，能有效减低泵被化学腐蚀风险。　　2、油箱和泵体都有抗化学腐蚀涂层，能够保护泵不被化学物质侵蚀。　　3、油箱容量大，能够稀释吸入真空油里的化学物质，降低了化学腐蚀的风险和油被污染的程度。　　4、低噪音：运行特别安静，不干扰工作。　　5、自润滑功能：确保所有运动部件浸润在新鲜的油里，平衡温度，减少油染，延长机械寿命。　　6、防倒吸阀：防止在停机时油被倒吸进真空容器　　7、气压载阀：减少化学蒸汽被夹带进入泵油；保护泵不被可凝性流体如水，乙酰腈等的影响。　　8、cUL和CE认证：具有各国的安全认证，满足官方的3安全标准。　　9、满足各种应用的外形尺寸：现代和紧凑的外形设计，满足各种应用场合的要求。　　10、双电压电机：IP44 电机，可在115V 和240V之间切换，并可配置各种相应的电源插头，使CRVpro可使用。CRVpro实验室旋片真空泵的应用： 1、双排管 2、冷冻干燥 3、真空浓缩 4、采暖通风、空调 5、真空干燥箱 6、手套箱 7、质谱仪 8、工业应用关于威伊（Welch）威伊真空设备（上海）有限公司WELCH是提供优质耐用真空泵产品的专家。我们的丰富产品线涵盖了实验室和工业用真空泵，包括真空活塞泵，真空隔膜泵，真空旋片泵，螺旋泵，涡轮分子泵，液体输送泵等，还有各种真空测量仪，真空控制器，真空蒸馏装置，真空浓缩设备，真空抽吸设备等。关于英格索兰英格索兰（纽交所代码：IR），以企业家精神和主人翁意识为动力，致力于创造美好生活。我们通过旗下备受赞誉的40余个品牌，在工业、能源、医疗和特种多功能车领域提供关键和创新的产品与服务，涵盖空气压缩机、泵、鼓风机，以及流体管理、装载、动力工具和物料吊装系统以及知名的Club Car品牌多功能车。在极其复杂和严苛的工况下，亦能确保优越的性能。我们在世界各地的16,000多名员工将持之以恒地为客户提供可靠的专业知识，帮助客户提高生产力并提升效率，与客户建立终身连接。

p　　2020年12月14日，上海——近日，普发真空获得来自德国达姆施塔特工业大学的一份重要订单，将向该校交付一套 DREEBIT 离子束系统，以供其核物理研究所使用。达姆施塔特 LaserSpHERe（Laser Spektroskopie an hochgeladenen Ionen und exotischen radioaktiven Nukliden，高电荷离子和外来放射性核素激光光谱测量）工作组的研究人员将在该研究所开展各种前沿原子物理、核物理和粒子物理精密实验，其中，高电荷离子和外来短寿命同位素的激光光谱测量是研究重点。此次研究计划获得德国科学基金会（DFG）SFB 1245 特殊科研部门支持。/pp　　2014 年底，达姆施塔特工业大学核物理研究所开始建造大型科研设备“激光光谱测量和应用物理学共线设备”(Kollineare Apparatur fü r Laserspektroskopie und angewandte Physik, KOALA)，而此次订购的离子束系统正是要应用于这台设备。该系统所使用的 EBIS-A 离子源可生成各种轻化学元素带电离子以用于实验，而这些离子将连接到 KOALA 设备的束流引导装置内。为了使粒子能够在束流引导管中尽可能自由地移动，纯净的超高真空环境必不可少，而保持这种低压环境则必须依靠极其强大而可靠的真空生成技术。由普发真空集团提供所有相关真空组件的新离子源系统更是如此，它能让离子在其中停留的时间更长。/pp style="text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/0458e1af-b90a-4915-80e8-60a4abe3d022.jpg" title="图片2.png" alt="图片2.png"//pp style="text-align: center "图：DREEBIT离子束系统，可产生实验用带电粒子/pp　　如同烟花能够呈现各种颜色，每一种元素都会发射和吸收某些特定波长的光，对应范围极为精确，而人眼会将这些波长感知为不同的颜色。颜色取决于化学元素种类以及原子的电荷状态，高精度波长测量不仅可提供有关化学元素种类及其电荷状态的信息，若以高精度理论计算进行比对，甚至还可以确定原子核的大小。/pp　　达姆施塔特工业大学工作组负责人 Wilfried Nö rtershä user 博士、教授解释了KOALA光束线的技术优势：“到目前为止，原子半径的光谱测量只能在仅有一个电子的类氢系统上进行，因为只有这样，理论计算才足够准确。但是，如果考虑实验需求，这类简单的原子系统就有一大缺点，也就是所使用的波长处于光谱的远紫外区范围内，因此很难用现有的激光系统捕捉到。然而，目前的技术已经有望达到足够的精度，以适应于具有两个电子、更为复杂的类氦系统。它们的波长用激光系统捕捉容易得多，由此，未来将能够明显地、更加精确地确定从氦到氮的原子核半径。一旦安装上采用EBIS-A离子源的 DREEBIT 离子束系统，这套 KOALA 设备即可为此提供理想的前提条件。”/ppimg style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/cc336f77-fd6f-40e2-8bd7-3bb7fb853786.jpg" title="图片 3.png" alt="图片 3.png"//pp style="text-align: center "图：KOALA（Kollineare Apparatur fü r Laserspektroskopie und angewandte Physik，激光光谱测量和应用物理学共线设备）光束线示意图/pp　　DREEBIT GmbH 公司自2006年成立以来，其“离子束技术”部门已开发出多种类型的离子源并推向市场，例如EBIS和ECRIS。它们主要安装在各种粒子加速器上，以满足科研和医疗应用之需，例如离子束疗法。DREEBIT GmbH 公司自2017年起隶属普发真空集团旗下，专注于开发特殊系统和维修真空产品。截至目前，该公司在德国德累斯顿（Dresden）和格罗斯勒赫尔斯多夫（Groß rö hrsdorf）设有基地，共有约70名员工。/p

p style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="text-indent: 28px "薄膜沉积是集成电路制造过程中必不可少的环节，传统的薄膜沉积工艺主要有物理气相沉积（/spanspan style="text-indent: 28px "PVD/spanspan style="text-indent: 28px "）、化学气相沉积（/spanspan style="text-indent: 28px "CVD/spanspan style="text-indent: 28px "）等气相沉积工艺。物理气相沉积/spanspan style="text-indent: 28px "(Physical Vapour Deposition/spanspan style="text-indent: 28px "，/spanspan style="text-indent: 28px "PVD)/spanspan style="text-indent: 28px "技术是在真空条件下，采用物理方法，将材料源/spanspan style="text-indent: 28px "——/spanspan style="text-indent: 28px "固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。/span/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "物理气相沉积技术工艺过程简单，对环境改善，无污染，耗材少，成膜均匀致密，与基体的结合力强。该技术广泛应用于航空航天、电子、光学、机械、建筑、轻工、冶金、材料等领域，可制备具有耐磨、耐腐蚀、装饰、导电、绝缘、光导、压电、磁性、润滑、超导等特性的膜层。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "仪器信息网近期特对一年内的spanPVD/span设备的中标讯息整理分析，供广大仪器用户参考。span style="color: rgb(127, 127, 127) font-size: 14px "（注：本文搜集信息全部来源于网络公开招投标平台，不完全统计分析仅供读者参考。）/span/pp style="text-align: center text-indent: 0em "span style="text-align: center "img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 240px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/a2ad4457-7ade-41a5-b0c8-6b0bfc0f3001.jpg" title="1.png" alt="1.png" width="400" height="240" border="0" vspace="0"/ /span/pp style="text-align: center "strongspan style="font-family:' 微软雅黑' ,sans-serif color:#444444"各月中标量占比/span/strong/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "span2019/span年span10/span月至span2020/span年span9/span月，根据统计数据，spanPVD/span设备的总中标为span218/span台，涉及金额上亿元。span2019/span年span10/span月至span12/span月，平均中标量约span25/span台每月。span2020/span上半年，由于疫情影响，span1/span月至span4/span月中标市场持续低迷，平均中标量约span5/span台每月，其中二月份无成交量。随着国内疫情稳定以及企业复产复工和高校复学的逐步推进，spanPVD/span设备中标市场活力回升，从二月份到七月份中标量不断增长，其中span7/span月spanPVD/span中标量达span27/span台。第三季度的spanPVD/span设备采购基本恢复正常，平均中标量约span24/span台每月。/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 252px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/98f0aae5-cd0b-4c37-a638-6e07e56be8b6.jpg" title="2.png" alt="2.png" width="400" height="252" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strongspan style="font-family:' 微软雅黑' ,sans-serif color:#444444"采购单位性质分布/span/strong/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "从spanPVD/span设备的招标采购单位来看，高校是采购的主力军，采购量占比高达span68%/span，而企业和科研院所的采购量分别占比span12%/span和span19%/span。值得注意的是，企业和科研院所采购设备的单价较高，集中于高端设备，高校采购低端设备比例略高。企业方面的采购单位主要为电子产业，高校方面的采购单位以大学为主。/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 265px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/16cf7cf8-1078-4811-92cb-06cb57740068.jpg" title="3.png" alt="3.png" width="400" height="265" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strongspan style="font-family:' 微软雅黑' ,sans-serif color:#444444"招标单位地区分布/span/strong/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "本次盘点，招标单位地区分布共涉及span25/span个省份、自治区及直辖市。广东、北京、浙江、江苏和湖北为spanPVD/span设备采购排名前span5/span的地区，其中广东的采购量最大，达span32/span台。在这些地区中，上海、浙江和江苏的spanPVD/span设备采购以高校为主力，北京以科研院所和高校采购为主力，只有湖北以企业采购为主。这主要是因为湖北武汉聚集了国内一批半导体企业，如武汉天马微电子有限公司和湖北长江新型显示产业创新中心有限公司，致力于打造“中国光谷”。/pp style="text-align:center"img style="max-width: 100% max-height: 100% width: 400px height: 233px " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/35dfbb36-d83c-4bcf-894d-3a587cdd8da8.jpg" title="4.png" alt="4.png" width="400" height="233" border="0" vspace="0"//pp style="text-align: center "strongspan style="font-family:' 微软雅黑' ,sans-serif color:#444444"不同类型spanPVD/span设备占比/span/strong/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "spanPVD/span设备种类繁多，包含了磁控溅射、蒸发镀膜、真空镀膜等类型。根据搜集到的中标数据可知，磁控溅射占据了中标spanPVD/span设备的主流、高达span72%/span的spanPVD/span设备采购为磁控溅射。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多种材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。上世纪span 70 /span年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。/pp style="text-indent: 28px text-align: justify "本次spanPVD/span设备中标盘点，涉及品牌有泰科诺、spanKurt J. Lesker/span、创世威纳、spanMoorfield/span、spanLeica/span、合肥科晶、spanVEECO Instruments Inc./span、spanTeer Coatings Ltd./span、spanQUORUM/span、span style="font-size:15px"Syskey/spanspan style="font-size:15px"、spanApplied Materials ,lnc./span、spanULVACInc/span、株式会社昭和真空/span等。/pp style="text-indent: 29px text-align: justify "span style="font-size:15px"其中，各品牌比较受欢迎的产品型号有：/span/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/08db5967-4529-4f60-88a7-518f97a384c8.jpg" title="5.jpg" alt="5.jpg"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongspana href="https://www.instrument.com.cn/netshow/sh102205/C242800.htm"span style="font-size:15px"span三靶射频磁控溅射镀膜仪/span/span/a/span/strong/pp style="text-indent: 29px text-align: justify "span style="font-size:15px"这是一款小型台式span3/span靶等离子溅射仪span(/span射频磁控型span)/span，配有三个span1/span英寸的磁控等离子溅射头和射频（spanRF/span）等离子电源，此款设备主要用于制作非导电薄膜，特别是一些氧化物薄膜。对于新型非导电薄膜的探索，它是一款廉价并且高效的实验帮手。这款span1/span英寸的射频溅射镀膜仪主要是用于在单晶基片上制备氧化物膜，所以并不需要太高的真空度。/span/pp style="text-align: center text-indent: 0em "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/c7c1521d-c5b9-4668-b178-66ac2ce7cd98.jpg" title="6.jpg" alt="6.jpg"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongspana href="https://www.instrument.com.cn/netshow/sh101374/C191053.htm"span style="font-size:15px"span双靶磁控溅射仪/span/span/a/span/strong/pp style="text-indent: 29px text-align: justify "span style="font-size:15px" /spanspan style="font-size: 15px "双靶磁控溅射仪是沈阳科晶自主新研制开发的一款高真空镀膜设备，可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。/spanspan style="font-size: 15px "VTC-600-2HD/spanspan style="font-size: 15px "双靶磁控溅射仪配备有两个靶枪，一个弱磁靶用于非导电材料的溅射镀膜，一个强磁靶用于铁磁性材料的溅射镀膜。与同类设备相比，且具有体积小便于操作的优点，且可使用的材料范围广，是一款实验室制备各类材料薄膜的理想设备。/span/pp style="text-indent: 0em text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/2ed2b9b6-bb58-4779-ab5e-aa97cdaaaa2b.jpg" title="7.jpg" alt="7.jpg"//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongspana href="https://www.instrument.com.cn/netshow/SH104149/C283599.htm"span style="font-size:15px"span科特莱思科热阻蒸发镀膜系统/span/span/a/span/strong/pp style="text-indent: 29px text-align: justify "span style="font-size:15px"这款仪器由预真空进样室（可选）前开门蒸发腔体、冷凝泵和干泵、多个热阻蒸发源或spanOLED/span低温蒸发源、span6”/span基片、基片旋转、基片偏压（可选）、离子源清洗基片（可选）、基片加热span1000/span度span(/span可选span)/span等部分构成。晶振沉积速率及膜厚控制可选择系统手动或自动控制等方式，能够沉积金属、半导体和绝缘材料，还可沉积多层膜及合金薄膜。/spanspan style="font-size: 15px " /span/pp style="text-indent: 29px text-align: justify "span style="font-size:15px"点击此处进入/spanspana href="https://www.instrument.com.cn/list/sort/241.shtml"span style="font-size:15px"span【span半导体行业专用仪器span】/span/span/span/span/a/spanspan style="font-size:15px"专场，获取更多产品信息。/span/pp style="text-indent: 29px text-align: center "span style="font-size:15px"更多资讯请扫描下方二维码，关注【材料说】/span/pp style="text-indent: 28px text-align: center "img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/2a630f7c-a2f9-4376-bd8c-911592840aa9.jpg" title="材料说.jpg" alt="材料说.jpg"//p

2022年1月，中国仪器仪表学会分析仪器分会十届三次理事会及“朱良漪分析仪器创新奖”颁奖在京举行。经过10位专家的会评，2021年“朱良漪分析仪器创新奖”最终评选出“创新成果奖”3项，“青年创新奖”4名。仪器信息网同中国仪器仪表学会分析仪器分会对“朱良漪创新奖”获奖人员进行了联合采访，本期我们的采访对象是“朱良漪青年创新奖”获得者中国科学院生物物理研究所李硕果。李硕果 高级工程师 中科院生物物理研究所主要成果：一种光镜电镜关联成像用光学真空冷台。其研制的成果在科技创新方面，为原位结构生物学研究提供了一种新型、高效的技术手段；在成果转化方面，合作研发产品已落户清华大学生命科学学院。仪器信息网：请您介绍一下您自己，以及您所在的单位？李硕果：感谢仪器信息网的采访，也再次感谢分析仪器学会对我的认可和鼓励。我2012年毕业于四川农业大学生命理学院生物物理学专业，同年加入中国科学院生物物理研究所蛋白质科学研究平台生物成像中心，是一名技术支撑工程师。我的研究方向是生物显微成像新技术新方法的研究，涉及到的主要成像技术包括：超分辨荧光显微成像技术、冷冻聚焦离子束技术和冷冻透射电镜技术以及配套的样品制备技术等。仪器信息网：请介绍您进入仪器技术领域的机缘？您在仪器的研制和产业化方面开展了哪些工作，取得了怎样的创新成果?李硕果：要说“进入仪器技术领域的机缘”，我觉得可能要得益于我的物理学背景。我本科专业是物理学，后来决定考研和从事科研工作。主要有两方面的原因：一方面是因为物理学是一门基础学科，在学习过程中我意识到，仅以一个受教育者的身份来学习，不足以深入了解一门学科，需要进一步进修和钻研；另一方面是现实原因，刚毕业的时候找工作确实很迷茫，没想好人生的发展方向，选择考研是希望能给自己进入社会前安排一个缓冲期，同时也可以慎重思考一下自己未来的职业规划。我在读研的时候曾经有一段时间陷入过深深的迷茫与困惑，看待问题不够全面，经常判断错误，导致很多事情都进展不顺利，挫败感带来了很深的焦虑和自我怀疑，也是在那个时候产生了很多次放弃的念头。机缘巧合，我在这种很不成熟的情绪状态下竟然幸运地加入了生物物理所蛋白质科学研究平台。那个时候我就对自己说，也许是天意，那就再给自己一次机会吧。更幸运的是，我在生物物理所遇到了非常多优秀的前辈以及志同道合的朋友。在生物物理所蛋白质科学研究平台韩玉刚主任，生物成像中心孙飞研究员、李栋研究员和季刚教授级高工以及各位同事们的指导、支持和帮助下，我先后以项目负责人的身份承担了中国科学院仪器设备功能开发项目和国家自然基金委青年基金项目，还参与了多项国家重点研发计划、中科院先导专项等，我们项目组团队设计完成了一款基于高真空光学冷台的冷冻光电关联成像系统HOPE，以及一款基于冷冻结构光照明的光电关联成像系统SIM-HOPE，申请发明专利5项，其中已授权2项（含1项美国发明专利）；申请实用新型专利3项，其中已授权3项，发表研究成果性论文5篇。基于高真空冷台的冷冻光电关联成像系统HOPE仪器信息网：您所研制的仪器成果解决了哪些实际问题，仪器的主要用户有哪些，成果的市场前景如何？李硕果：由我们自主研发的高真空光学冷台HOPE，提出了一种全新的真空环境冷冻光学成像以及光电关联成像技术，解决了冷冻光电关联成像技术流程繁琐、操作复杂、实验效率低下的难题，研制成果——高真空低温光电关联荧光成像仪入选《2021年中国科学院自主研制科学仪器》最新产品名录，获中国国家发明专利授权一项，美国国家发明专利授权一项，发表SCI方法学论文一篇，技术应用论文2篇，还先后受邀在2018冷冻电镜国际研讨会（获最佳墙报奖）、2019年冷泉港亚洲专题研讨会等国际学术会议上就该成果的应用进展做大会报告。2019年2月，就该研究成果达成技术成果转化协议，2020年6月，第一台合作研发产品落户清华大学并完成技术验收。随后，我们在该系统基础上完成升级的冷冻结构光照明光电关联成像系统SIM-HOPE也已经研制完成，并入选《2022年中国科学院自主研制科学仪器》最新产品名录。该研究成果已经提交了发明专利申请，并于2022年4月达成技术成功转化协议，后续的市场推广也在稳步推进中。结构光照明成像技术的引入将有助于实现通过三维高分辨率荧光定位指导聚焦离子束对目标区域的精准加工，以及后续开展对目标区域生物大分子的原位高分辨率电子断层数据收集和高分辨数据重构，是对原位结构生物学研究的一大助力。仪器信息网：作为一名同时熟悉技术开发和应用的人员，请您谈谈您对当前我国生物显微成像仪器研制和应用现状的看法，您认为在实际应用中，现有技术最需要解决的问题是什么？李硕果：作为生物显微成像领域的一名科研工作者，我觉得我们处在一个机遇与挑战并存的时代。在技术基础方面，超分辨荧光成像技术、冷冻电镜高分辨率解析技术等等划时代的技术突破如雨后春笋，喷薄而出；在应用研究方面，随着技术的发展，多科学领域，特别是生命科学领域出现了非常多惊人的重大发现，并衍生出了越来越多的精细分支，而新的实际应用需求又将迫使技术不断更新迭代，引发新的技术突破。从眼前看，实际应用似乎更倾向于新技术新突破，但追本溯源，技术的发展，是根植于对基本原理的深刻理解和灵活运用。因此，我个人认为，现有技术最需要解决的问题是，科技工作者们对基本原理的深入认知，以及融会贯通。因为技术创新本质上，是对原理认知的提升和推演。仪器信息网：对于此次获奖您有何感受？您认为“朱良漪分析仪器创新奖”将给青年人带来怎样的影响？李硕果：首先要再次感谢分析仪器学会“朱良漪分析仪器创新奖”对我的认可和鼓励！我个人对本次获奖最大的感受是：深受鼓舞！真的很受激励，这些激励会让人获得被认可的满足感，进而转化为排除万难努力前进的动力。有一句话叫做“热爱是一种能力”，我觉得在个人成长过程中，“扶持”和“鼓励”真的是非常重要的一种力量，它能在你疲惫的时候给你注入新的力量，让你持续保持热爱的能力。我是在获奖之后才了解到，朱良漪先生是我国仪器仪表行业、自动化控制技术行业最早和始终不渝的开拓者之一，是分析仪器行业的主要创始人，也是不断身体力行的实践者，而且，在他的指导和带领下，造就了一大批中、青年科技人材。朱老先生是一位对新生事物敏感而又敢于接受挑战的探索者，而这种精神和意志力正是需要年轻人用一生的时间去学习和锻炼的。我特别希望未来能有更多的科研工作者们可以获得这样精神层面上的鼓励与引导，这些对于年轻人来说才是最宝贵的财富。仪器信息网：后续您还将开展哪些创新工作?我未来近三年的工作重点是将我们的研发成果，包括高真空冷台和冷冻结构光照明光电关联成像系统进一步优化，同时结合聚焦离子束以及冷冻电子断层成像技术开展精准原位结构生物学研究。关于“朱良漪分析仪器创新奖”朱良漪，原机械部国家仪表总局副局长、中国仪器仪表学会分析仪器分会名誉理事长，是仪器仪表和自动化控制领域最早的开拓者，影响中国仪器仪表和自动化控制行业发展的奠基人。为纪念朱良漪先生矢志不渝推动我国分析仪器事业发展的精神，以及激发企业及广大科技工作者积极投身于分析仪器的创新工作中，由中国仪器仪表学会设置、中国仪器仪表学会分析仪器分会承办执行“朱良漪分析仪器创新奖”，共分为“创新成果奖”和“青年创新奖”两个奖项。“朱良漪分析仪器创新奖”的设立不只是对朱老的怀念与敬意，更是对分析仪器创新精神的坚守与传承。自2017年举办至今，“朱良漪分析仪器创新奖”已成功颁发五届，先后有15项分析仪器创新成果、18位青年创新科学家获奖。

前记：近五年来，在政策支持下，中国电镜产业化发展之路上多点开花，电镜、电镜功能附件装置与设备、电镜制样等方面不断有新的产业化技术涌现。其中不仅包含扫描透射电镜、场发射扫描电镜、聚焦离子束显微镜、透射电镜原位研究系统等重要技术的商品化，也不乏场发射枪、高压电源、光阑等电镜关键部件的攻克。在中国电镜技术产业化呈现百花齐放、国家对电镜设备产业化问题高度重视背景下，仪器信息网也别策划电镜技术系列征稿活动，共同探讨中国电镜产业技术、市场的机遇与挑战。相关投稿将整理至对应专题展示，并在仪器信息网相关渠道推广，欢迎大家投稿，电镜技术、市场相关均可（投稿邮箱：yanglz@instrument.com.cn，关于征稿内容要求也可邮件咨询或电话联系：15311451191，同微信）。本期主题为“电镜核心部件技术”，对应专题如下（点击图片进入专题），相关约稿将陆续上线，欢迎关注。以下为安捷伦科技（中国）有限公司真空事业部供稿，安捷伦科技（中国）有限公司真空部门的前身——创建于1948年的瓦里安（Varian）在1957年发明了第一台溅射离子泵（SIP），大大拓展了当时的技术所能达到的真空度，使超高真空成为可能，因此安捷伦对于真空技术有着丰富的经验和深刻的理解。安捷伦为了满足电子显微镜系统高真空、低电磁噪声和低振动的要求，基于Varian Vacuum 产品的基础，开发了一系列的真空系统。以下，安捷伦分享了对真空技术的看法及面向电子显微镜领域的真空系统整体解决方案。--------------------电子显微镜的真空系统介绍供稿：安捷伦科技（中国）有限公司真空事业部1.引言在上个世纪二三十年代，为了看到有机细胞（细胞核、线粒体等）内部的细微结构（100nm），人们开发出了透射电子显微镜（Transmission Electron Microscopy），它在普通显微镜的基础上用聚焦电子束代替可见光来“透视”标本，大大提高了分辨率。二十世纪六十年代，扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope）问世，它采用高能电子束扫描样品来成像。电子与组成样品的原子相互作用，可以产生包含样品表面形貌、成分和其他信息的信号。2.电子显微镜是如何工作的无论是透射电子显微镜还是扫描电子显微镜，都是靠电子束照射样品来获取图像，其主要部分包含电子源（电子枪）、电子透镜、扫描线圈、检测器等，这些部件通常自上而下地装在一个高真空的腔室（镜筒）内。图1 电子显微镜的系统结构电子枪（也被称为电子源）：一般位于镜筒的顶部，它能发射电子并形成速度均匀的电子束。电子束向下通过电子透镜来聚焦。电子透镜：电子显微镜镜筒中最重要的部件之一，它用一个对称于镜筒轴线的空间电场或磁场使电子轨迹向轴线偏转以形成聚焦，其作用与玻璃凸透镜使光束聚焦的作用相似，所以称为电子透镜。现代电子显微镜大多采用电磁透镜，由很稳定的直流励磁电流通过带极靴的线圈产生的强磁场使电子聚焦。扫描线圈：控制和微调光束位置的电磁线圈。检测器：聚焦的电子束照射样品台上的样品并产生信号，这些信号被检测器检测到，然后被转换成图像。3.真空对于电子显微镜的重要性真空对电子显微镜有非常重要的作用。电子显微镜工作时，整个电子束路径与待分析的样品一起都会置于高真空的环境，如果真空度不够高，电子枪的栅极与阳极间可能会产生极间放电进而烧断灯丝，电子束与残留空气粒子发生碰撞还会导致散射，这种散射会导致电子束中的电子无法到达样品，或者分析失真。4.电子显微镜对真空的要求为了使电子束中的电子尽量不受阻碍地移动，电子显微镜的真空度通常需要达到1E-7mbar量级的高真空，甚至1E-10mbar量级的超高真空；除了真空度，真空泵工作时的振动水平也非常关键。由于电子束的截面小，在样品上的定位精度很高，只有处于振动水平极低的环境中，才能保持这种精度；另外，为了避免油蒸汽污染样品或显微镜内部元件，最好采用无油干式的真空泵。5.典型的真空系统配置下图是一个扫描电子显微镜系统的示例。左侧从上往下分别是装有电子枪和电子透镜的镜筒和放置样品的样品腔，样品腔的右边是一个进出样室（LoadLock）。待分析的样品被放置于进出样室内，进出样室被抽到一定的真空度后再把样品转移到样品腔中进行分析。有进出样室的电子显微镜可以将样品腔一直维持在高真空，从而缩短每次检测的准备时间，提高样品吞吐量，降低单次检测成本。图2 典型的真空系统配置该扫描电子显微镜的镜筒上配置有两台离子泵（IonPump），在样品腔和进出样室还配置了两套分子泵（TurboPump）机组和多个阀门（Valve），并配置了多个真空计以检测不同位置的真空度。6.安捷伦真空：提供适合电子显微镜的全套真空产品安捷伦真空部门的前身、创建于1948年的瓦里安（Varian）在1957年发明了第一台溅射离子泵（SIP）。离子泵的发明大大拓展了当时的技术所能达到的真空度，使超高真空成为可能。安捷伦真空对聚束系统真空应用有着非常丰富的经验，为了满足电子显微镜系统高真空、低电磁噪声和低振动的要求，开发了一系列的产品。离子泵：作为离子泵的发明者，安捷伦真空可以生产多种类型的离子泵。采用专利设计的安捷伦扫描电子显微镜专用离子泵，具有更加稳定和精准的压力读数，以及更少的粒子产生，特别适合安装于电子枪处（电子枪处对温度、磁场的要求都比较高，一般的冷阴极或热阴极真空计对其正常工作会有影响，而普通的离子泵测量的压力偏差又比较大）。安捷伦真空独有的StarCell离子泵在保留较高活性气体抽速的同时，还具有相当高的惰性气体抽速，一般将其安装于镜筒的下部，与电子枪上的SEM离子泵相结合，为电子显微镜提供一个强大的高真空抽气组合。图3 安捷伦SEM专用离子泵分子泵：安捷伦TwisTorr涡轮分子泵采用独有的AFS悬浮轴承技术，工作时振动非常低，被广泛地应用在世界各地的众多电子显微镜上。一个位于日本的业界领袖，从2015年起，在其生产的电子显微镜上使用了1000多台安捷伦分子泵，泵的可靠性非常接近100%，实测的振动水平低于0.01米/秒2，噪声等级更是只有40dB(A)。图4 安捷伦TwisTorr涡轮分子泵阻尼减振器：为了进一步减小分子泵振动对电子显微镜等高灵敏度分析仪器的影响，安捷伦真空专门开发了一款阻尼减震器，该减震器可以将涡轮分子泵在满转速时的振动减小到原来的1/40左右（CF法兰）。图5 阻尼减振器除此之外，安捷伦真空可以提供各种抽速的涡旋干泵、各种类型的真空计、电磁噪声几乎为零的各种真空泵控制器等，另外，基于其在聚束系统广泛的知识和灵活的制造能力，还可以为特定系统定制特殊的离子泵，还可以为敏感的显微镜应用提供最先进的振动模拟和测试。

Chemker 耐腐蚀真空泵浦 / 高真空 / 低噪音 一次满足常用实验室真空过滤等◆ 溶剂纯化 将化学溶液中的精细颗粒或杂质，经滤膜等多孔性材料阻挡去除而得到澄清目标液，称为溶剂纯化，常见于精密仪器上机分析的前处理。 化学溶液、溶剂的负压过滤常以耐腐蚀真空帮浦进行，减缓化学蒸气对泵浦的侵蚀，也藉由负压加快整体过滤速度。◆ 旋转浓缩是一种适合大体积、单一样品的分离与纯化方法。其作用原理为同时调降真空度、增加蒸发面积及温度控制，连续、大量的蒸馏出易挥发性溶剂。但蒸馏出的溶剂若不加以搜集则容易逸散于空气中危害人体及环境，因此可搭配冷凝设备回收蒸馏出的溶剂，如循环式冷凝器等。 回转浓缩机的作用物质以溶剂及化学物质为主，因此帮浦的挑选以聚四氟乙烯(PTFE)制成的耐腐蚀帮浦为最佳选择。帮浦规格的挑选，如流量应与样品瓶容积呈正比；最大真空的要求则依溶剂及其沸点不同而有很大的差异，因此真空控制器的搭配能帮助您精准的控制真空度避免突沸，大幅缩短处理时间。◆ 真空烘箱利用真空降低水或溶剂的沸点并搭配温度加热，能在较低温度下得到较高的干燥效率，特别适合热敏性、易分解、易氧化物质的干燥。泵浦的挑选依溶液(水或溶剂)种类、目标物质的耐受温度、干燥程度及烘箱的尺寸而有不同。目标物质的耐受温度愈低则应选择较高真空的机种以降低沸点；而泵浦流量则与欲干燥的蒸气量及烘箱的体积容积呈正比。

文章名称：Experimental study platform for electrocatalysis of atomic-level controlled high-entropy alloy surfaces期刊和影响因子：Nature Communications IF=17.7DOI：https://doi.org/10.1038/s41467-023-40246-5研究背景： 高熵合金由于出色的热动力学和化学性能，使其在电催化领域受到了学术界的广泛关注。制备原子级可控合金对于提高表面催化性能和设计新型催化剂至关重要。尽管已有的研究对合金组分，元素构成和原子分布等问题对催化性能的影响做了相关的研究，然而对于Pt基合金在催化前和催化后合金表面原子结构变化的原子级透射电镜表征相关工作尚显不足。对于合金表面原子的排布和在空位处合金成分的表征尚属空白。 2023年7月，日本东北大学课题组利用Advance Riko公司的电弧等离子体沉积系统-APD制备了原子级可控的高熵合金，研究了电催化对合金表面原子的影响。得益于APD系统可多靶位同时进行精准等离子溅射的功能，课题组实现了同一种高熵合金不同晶向结构的制备，对多组分合金表面微观结构与其催化性能之间的详细关系进行了深入研究。同时，APD系统的真空传输配件避免了制备样品在传递过程中受到空气的影响。相关研究结果以《Experimental study platform for electrocatalysis of atomic-level controlled high-entropy alloy surfaces 》为题，在SCI期刊Nature Communications上发表。 文中使用的电弧等离子体沉积系统-APD可以在 1.5 nm 到 6 nm 范围内精确控制纳米颗粒的直径，具有活性好，产量高等优势。只要靶材是导电材料，系统就可以将其等离子体化。金属/半导体制备同时控制腔体气氛，可以产生氧化物和氮化物薄膜。高能量等离子体可以沉积碳和相关单质体如非晶碳，纳米钻石，碳纳米管等形成新的纳米颗粒催化剂。电弧等离子体沉积系统-APD图文导读： 图1. 利用Advance Riko公司的APD系统为电催化研究所准备的不同高熵合金示意图。为了实现制备不同高熵合金成分的需求，APD系统可以溅射合金靶材或者同时溅射多个靶材来实现。通过XPS的研究表明，通过APD系统所制备的高熵合金表面成分高度可控。图2. 通过上述方法制备的Pt/Cr-Mn-Fe-Co-Ni/Pt合金不同晶向的表征结果。(a, c, e)为样品横截面的通过STEM获得的HAADF表征结果。(b, d, f)为对应样品的EDS Mapping结果。图3. APD系统所制备的Pt/Cr-Mn-Fe-Co-Ni/Pt合金的循环伏安曲线(CV)和氧化还原反应(ORR)在电位循环中的变化。(a, c, e)为在0.05V-1.0V 的范围内CV曲线随可逆氢电极电位的变化关系。(b, d, f)为Pt/Cr-Mn-Fe-Co-Ni/Pt的ORR随着电位循环的变化，循环电压为0.6V-1V。图4. APD系统所制备的Pt/Cr-Mn-Fe-Co-Ni/Pt合金在电位循环后的退化情况。(a, d, g)分别为合金样品的(111)，(110)和(100)方向的低倍HAADF表征结果。(b, e, h)分别为(a, d, g)中所对应的黄色方框区域的高分辨HAADF图像。(c, f, i)分别为在电位循环前和经过5000次循环后所对应的(b, e, h)区域的EDS结果的对比图。文章结论： 日本东北大学课题组使用APD系统制备了原子级可控的Pt高熵合金，通过高分辨透射电镜表征，从原子级的尺度上研究了电催化对合金表面的影响。通过与Pt-Co二元表面相比，高熵合金表面的氧还原反应性能优于 Pt-Co 二元表面，证明了该平台的有用性。该研究填补了高熵合金用于电催化领域原子级机理上的空白，为该领域的研究提供了理论基础！

5月24日-26日，备受行业关注的2024科学仪器开发者大会在山东青岛召开。本次大会由侯洵、金国藩、张玉奎等15位院士联合发起，中国仪器仪表学会、中国科技评估与成果管理研究会主办，作为此次大会唯一受邀承办分场活动的企业单位，中科科仪融合创新举办“真空技术论坛暨地区用户会”活动，邀请众多专家学者、行业用户围绕“真空技术赋能科学仪器行业发展”的主题深入交流和探讨。26日上午，“真空技术论坛暨中科科仪地区用户会”正式召开，中科科仪党委副书记、总经理王高峰出席会议并致辞，王高峰代表会议承办方向与会专家学者及行业用户的到来表示感谢，阐述了科学仪器行业的重要性，并回顾了中科科仪在科学仪器领域的发展历程以及取得的成果，他表示，真空技术与部件在科学仪器运转、科学研究实验中扮演着重要角色，对于推动科学研究及科学仪器发展至关重要，当前，国产化替代大势所趋，中科科仪将始终面向国家重大战略需求，加大产品研发投入，推动规模产业化发展，并将一如既往地坚持用户至上的原则，为各位专家学者、合作伙伴提供更加优质的产品和服务。中科科仪副总经理余才林、副总经理李赏分别主持科学仪器整机与真空部件会议报告，本次会议邀请到了中国科学院微电子研究所研究员焦斌斌、中国科学院苏州纳米所纳米真空互联实验站副研究员翁雪霏、中国科学院空天信息创新研究院副研究员胡小华、中国科学院苏州医工所副研究员张远清分别进行了主题为《基于MEMS的宽量程高精度智能真空计》、《纳米真空互联实验站建设进展》、《高 性 能 离 子 泵 研 制 及 应 用》、《国产三重四极杆质谱仪核心部件研发进展》的特邀报告，中科科美高级工程师徐峰、科仪光电博士尹贻恒、中科科仪博士时剑文、成都唯实高级工程师蒙志林在现场分别进行了主题为《PVD沉积系统在大科学装置中的应用》、《扫描电镜及其真空技术》、《真空技术在质谱分析仪器中的应用》、《系列高性能薄膜制备仪器研发》的专题报告。各报告嘉宾围绕科学仪器开发和真空技术及应用需求、市场发展态势等方面介绍了科学仪器的最新进展和未来发展趋势。 2024科学仪器开发者大会期间，中科科仪联合控股公司科仪光电在科学仪器技术及产品展区展出了系列高性能仪器分子泵、E-13系列氦质谱检漏仪、小型离子溅射仪等产品及扫描电子显微镜解决方案，与现场科学仪器上游及中游企业深入探讨交流科学仪器行业最新产品及技术进展。中科科仪展台吸引了众多专家学者、合作伙伴莅临参观指导及交流洽谈。 聚力真空技术，赋能行业发展。中科科仪将以此次活动作为新的起点，深耕真空技术领域，不断推出更加优质的产品及服务，赋能质谱仪、电子显微镜、x射线光电子能谱仪、分子束外延设备等科学仪器行业的应用，同时继续加强与各位领导专家、合作伙伴的沟通了解、交流互动、协作共赢，共同促进科学仪器装备和真空技术领域的高质量发展，助力打好科技仪器国产化攻坚战！

项目概况 受南平市建阳生态环境局委托，福州市建设工程管理有限公司对[350703]FZCM[GK]2021006-1、南平市建阳生态环境局土壤重金属环境监测仪器设备货物类采购项目组织公开招标，现欢迎国内合格的供应商前来参加。 南平市建阳生态环境局土壤重金属环境监测仪器设备货物类采购项目的潜在投标人应在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目获取采购文件，并于2021-10-11 09:00（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况 项目编号：[350703]FZCM[GK]2021006-1 项目名称：南平市建阳生态环境局土壤重金属环境监测仪器设备货物类采购项目 采购方式：公开招标 预算金额：1500000元 包1： 合同包预算金额：1500000元 投标保证金：15000元 采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算（元）1-1A032405-环保监测设备真空冷冻干燥机1（台）否真空冷冻干燥机一台，用于土壤样品的前处理。（国产）1000001-2A032405-环保监测设备电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）1（套）是1、电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）一套，用于土壤中重金属项目的测定。（进口）1400000 合同履行期限： 自合同签订之日起至合同约定内容全部完成 本合同包：不接受联合体投标二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.本项目的特定资格要求： 包1（如项目接受联合体投标，对联合体应提出相关资格要求；如属于特定行业项目,供应商应当具备特定行业法定准入要求。) 三、采购项目需要落实的政府采购政策 进口产品，适用于（合同包1）执行《政府采购进口产品管理办法》，允许进口产品参加投标的品目详见《采购标的一览表》。节能产品，适用于（合同包1），按照《关于印发节能产品政府采购品目清单的通知》财库〔2019〕19号执行。环境标志产品，适用于（合同包1），按照《关于印发环境标志产品政府采购品目清单的通知》财库〔2019〕18号执行。信息安全产品，适用于（合同包1）。小型、微型企业符合财政部、工信部文件（财库〔2020〕46号），适用于（合同包1）。监狱企业，适用于（合同包1）。促进残疾人就业 ，适用于（合同包1）。信用记录，（合同包1），按照下列规定执行：（1）投标人应在（招标文件要求的截止时点）前分别通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询并打印相应的信用记录（以下简称：“投标人提供的查询结果”），投标人提供的查询结果应为其通过上述网站获取的信用信息查询结果原始页面的打印件（或截图）。（2）查询结果的审查：①由资格审查小组通过上述网站查询并打印投标人信用记录（以下简称：“资格审查小组的查询结果”）。②投标人提供的查询结果与资格审查小组的查询结果不一致的，以资格审查小组的查询结果为准。③因上述网站原因导致资格审查小组无法查询投标人信用记录的（资格审查小组应将通过上述网站查询投标人信用记录时的原始页面打印后随采购文件一并存档），以投标人提供的查询结果为准。④查询结果存在投标人应被拒绝参与政府采购活动相关信息的，其资格审查不合格。四、获取招标文件 时间：2021-09-18 17:20至2021-10-03 23:59（提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日），每天上午00:00:00至11:59:59，下午12:00:00至23:59:59（北京时间，法定节假日除外) 地点：招标文件随同本项目招标公告一并发布；投标人应先在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目下载招标文件(请根据项目所在地，登录对应的(省本级/市级/区县)）福建省政府采购网上公开信息系统操作)，否则投标将被拒绝。 方式：在线获取 售价：免费五、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 2021-10-11 09:00（北京时间）（自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标文件截止之日止，不得少于20日） 地点：福建省南平市建阳区狮子巷1-8号六、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。七、其他补充事宜 依据闽财函【2021】7号福建省财政厅《关于进一步做好新冠肺炎疫情常态化下举办政府采购活动疫情防控工作的通知》及南财采函【2021】6号文的精神，本项目开标活动当天投标供应商仅限1名代表出席本次采购活动。八、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：南平市建阳生态环境局 地 址：南平市建阳区民主南路182号 联系方式：0599-5826907 2.采购代理机构信息（如有） 名 称：福州市建设工程管理有限公司 地　　址：福州市晋安区福新中路126号 联系方式：0599-5827965 3.项目联系方式 项目联系人：刘工 电　　 话：0599-5827965 网址：zfcg.czt.fujian.gov.cn 开户名：福州市建设工程管理有限公司 福州市建设工程管理有限公司 2021-09-18

产品介绍AFM5300E配置专业的真空腔体，可在环境控制条件下原位对样品微观尺度的形貌及物性进行观测分析。真空环境下可大幅降低氧化、水膜吸附等对样品真实情况的影响；真实测量特殊条件下材料的性能。让研究达到常规原子力显微镜无法企及的高度和深度。产品特点1、环境控制：具备常温大气，高真空、高低温、气氛、液相、湿度等环境功能；2、多功能配置：接触式，轻敲式，SIS（样品智能扫描）等工作模式，能进行三维形貌，电磁及机械力学性能观察分析，独有的极高分辨的SNDM（扫描非线性介电显微镜）；3、操作便捷：激光器/样品移动螺杆置于真空腔外；触点式控温台/扫描器设计；4、真空转移：一体化提供离子研磨仪、高分辨扫描电镜、可控环境原子力显微镜，使用真空转移盒可保护样品在各个设备间转移测量，避免大气暴露； 5、高分辨：真空下极高的相位及磁畴分辨能力。 公司介绍：日立科学仪器（北京）有限公司是世界500强日立集团旗下日立高新技术有限公司在北京设立的全资子公司。本公司秉承日立集团的使命、价值观和愿景，始终追寻“简化客户的高科技工艺”的企业理念,通过与客户的协同创新，积极为教育、科研、工业等领域的客户需求提供专业和优质的解决方案。 我们的主要产品包括：各类电子显微镜、原子力显微镜等表面科学仪器和前处理设备，以及各类色谱、光谱、电化学等分析仪器。为了更好地服务于中国广大的日立客户，公司目前在北京、上海、广州、西安、成都、武汉、沈阳等十几个主要城市设立有分公司、办事处或联络处等分支机构，直接为客户提供快速便捷的、专业优质的各类相关技术咨询、应用支持和售后技术服务，从而协助我们的客户实现其目标，共创美好未来。

p　　近日，安捷伦发布了全新一代高真空涡轮分子泵 TwisTorr 704FS。作为一款加持了诸多“黑科技”的全新产品，TwisTorr 704 FS 高真空涡轮分子泵在具有高性能、高可靠性的同时，还能做到更经济。/pp　span style="color: rgb(0, 112, 192) "　strong首先，高真空涡轮分子泵是什么?/strong/span/pp　　涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空span style="color: rgb(0, 112, 192) "/span泵，典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在极限状态下，可以通过它实现 0.00000001Pa(大气压的十万亿分之一)的超高真空。涡轮分子泵可以用于各类质谱仪(比如 GC/MS、LC/MS、ICP/MS、TOF)、镀膜机、电子显微镜(SEM、TEM)、聚焦离子束系统(FIB)、表面分析仪器，高能物理实验装置、粒子加速器、高真空实验装置等诸多应用。/pp style="text-align: center "img title="001.png" src="http://img1.17img.cn/17img/images/201801/insimg/5cf204ae-44d7-41a5-8c28-e1b39ec0a091.jpg"//pp　　高真空涡轮分子泵内有一个高速旋转(每分钟几万转)的转子，转子上有涡轮和拖动级进行抽气。随着技术的不断进步，市场不仅对泵性能的要求越来越高，更对其小型化、高可靠性、维护方便性及灵活易用性等都提出了更高的要求。下面就来看看，为了满足这些要求，安捷伦最新的高真空涡轮分子泵都“加持”了哪些“黑科技”吧。/ppspan style="color: rgb(0, 112, 192) "　strong　“黑科技” No.1 TwisTorr 拖动技术/strong/span/pp style="text-align: center "img title="002.png" src="http://img1.17img.cn/17img/images/201801/insimg/3d0d4557-01c6-4d6c-962c-ba1f517321e6.jpg"//pp　　通常的分子泵拖动级采用圆柱螺旋形的沟槽，而安捷伦 TwisTorr 技术把拖动级放在了薄薄的圆盘上，这样就可以在有限的空间内集成多对拖动级转子盘和定子盘，节省空间的同时又能提高效率和性能。/pp　　采用该技术的分子泵尺寸会更紧凑，并且有更高的压缩比和前级耐压。更高的压缩比(特别是对小分子气体的高压缩比)可以带来更好的极限真空，而更高的前级耐压允许使用更小的前级泵，从而降低了整个真空系统的成本和尺寸。/pp　strong　span style="color: rgb(0, 112, 192) "“黑科技” No.2 AFS 安捷伦悬浮轴承技术/span/strong/pp　　一般的涡轮分子泵的设计，泵的轴承是通过过盈配合与转子及泵体轴承座紧密连接的，一旦泵体有振动或冲击，这些振动就会传递到轴承，并且通过轴承传递到转子。由于涡轮分子泵的轴承和转子都在高速转动，对振动特别敏感，传递到轴承的振动会影响轴承的寿命，传递到转子的振动会造成转子发生位移，甚至会与泵体或定子接触。而一旦高速转动的转子与其它静止的部分接触，巨大的冲击力会立即造成转子叶片的破碎，整泵也随之报废。/pp style="text-align: center "img title="003.png" src="http://img1.17img.cn/17img/images/201801/insimg/2f765696-2dde-49f1-8545-db3da932f3ae.jpg"//pp　　安捷伦 AFS 悬浮轴承系统，采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体，避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击 并且由于弹性材料的阻尼效应，可以吸收各种振动的能量，降低整泵的噪音和振动，保证最佳的轴承工作条件，从而能延长工作寿命，最大程度减少系统停机时间，确保长时间工作的稳定性。/pp　span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong　“黑科技” No.3 特殊润滑剂永久润滑轴承/strong/span/pp　　使用涡轮分子泵的高真空环境对润滑油或润滑脂非常敏感，因为在高真空环境下，润滑油或润滑脂非常容易汽化。一方面，这些油脂类的蒸气会形成一种气源，影响系统的真空度和纯净度 另一方面，这些蒸气进入到真空腔体后，会冷凝附着在其它零件上，影响高真空系统内相关设备的工作。/pp style="text-align: center "img title="004.png" src="http://img1.17img.cn/17img/images/201801/insimg/b09d5b2c-57ba-4769-bc01-8eb95b90c17c.jpg"//pp　　TwisTorr 704 FS 采用安捷伦与轴承厂家合作研发的特制轴承，能够任意方向安装 并且，由于其使用的特殊润滑剂饱和蒸汽压极低，正常使用时几乎没有损耗，使得该泵在整个寿命周期内都无需进行加注润滑脂、更换油棉等维护。/pp　span style="color: rgb(0, 112, 192) "strong　“黑科技” No.4 分子泵控制器 “3D” 控制软件/strong/span/pp　　早期的分子泵控制器又叫分子泵电源，其最重要的功能是向分子泵供电 后来，改进型的控制器具备了一定的保护功能，可以监控分子泵的功率和温度，相当于为分子泵的工作状态设置了一条红线，分子泵只能在这条线以下工作(2D)，若超过这条线控制器就会报警停机。/pp style="text-align: center "img title="005.png" src="http://img1.17img.cn/17img/images/201801/insimg/89e6022e-5292-4b51-853e-d51b24d18729.jpg"//pp　　与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器，变被动保护为主动调整，可以根据不同的工艺条件，自动调整输出功率和转速，使泵在保证自身安全的同时，始终工作在一个达到最优性能的曲面上(3D)，达到最佳的气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行，可以延长其使用寿命。/pp　　与 704FS 同时发布的还有 804FS 和 404FS，加上之前的 84FS 和 304FS，形成了一个完整的系列。/pp style="text-align: center "img title="006.png" src="http://img1.17img.cn/17img/images/201801/insimg/60488220-3a68-4e89-be10-6dc30b3ebf90.jpg"//p

自从2020年Quantum Design中国子公司将英国Moorfield nanotechnology公司生产的台式高精度薄膜制备与加工系统引进国内市场以来受到了国内科研工作者的广泛关注。Moorfield Nanotechnology推出的台式设备体积小巧但性能可以和大型设备相媲美，并且自动化程度高、操作简单、性能可靠、配置灵活。设备所具有的这些优点正是现代实验所需要的。Moorfield Nanotechnology长期收集用户的需求并对产品线进行不断的优化丰富，以满足各种个性化的实验需求。近年来，越来越多的前沿研究中需要用到多种薄膜制备手段，而传统的设备往往只有一种薄膜制备功能，制备一个样品就需要先后在不同的设备中进行操作，并且容易对样品的性质造成破坏。针对这样的需求，Moorfield Nanotechnology公司全新推出了台式高精度溅射与热蒸发系统——nanoPVD ST15A。该系统可以集成金属/绝缘体溅射、金属热蒸发、有机物蒸发功能，在同一台设备中可以实现多种制备手段的组合，将薄膜制备带入了新的高度。系统通过7英寸触摸屏控制，自动化程度高，各种制备方式可以自由切换，甚至可以同时进行。用户可以通过灵活的制备手段在在同一台设备中制备不同的薄膜或者是复合薄膜。nanoPVD ST15A外观图设备技术特点☛ 台式设备配置灵活☛ 磁控溅射、热蒸发、有机物蒸发☛ 三种制备手段可灵活组合☛ 可制备金属、有机物、电介质薄膜☛ 多达3个流量计控制过程气体☛ 高精度自动气压控制选件☛ 全自动触屏操作系统☛ 基片大至4英寸☛ 可选基片加热☛ 本底真空5 × 10-7 mbar☛ 可选共溅射（蒸发）功能☛ 可选晶振膜厚标定功能☛ 定义保存多个制备程序☛ 全面的安全性设计☛ 超净间兼容☛ 稳定的性能左：nanoPVD ST15A 双蒸发源与磁控溅射组合，右：系统的样品台与挡板背景介绍Moorfield Nanotechnology是英国材料科学领域高性能仪器研发公司，成立25年来专注于高质量的薄膜生长与加工技术，拥有雄厚的技术实力，推出的多种高性能设备受到科研与工业领域的广泛好评。Moorfield公司近十年来与曼彻斯特大学诺奖技术团队紧密合作，推出的台式高精度薄膜制备与加工系列产品由于其体积小巧、性能优异、易于操作更是受到很多科研单位的赞誉。这些设备已经进入了欧洲多所科研院所的实验室，诸如曼彻斯特大学、剑桥大学、帝国理工学院、诺森比亚大学、巴斯大学、埃克塞特大学、哈德斯菲尔德大学、莱顿大学、亚森工业大学、西班牙光子科学研究所、英国国家物理实验室等单位都是Moorfield Nanotechnology的用户和长期合作者。诸多的用户与合作者让产品的性能和设计理念得到了高速发展，并迈入全球化的进程。Quantum Design中国子公司与Moorfield Nanotechnology正式合作，作为中国的代理和战略合作伙伴，为中国用户提供高性能的设备与优质的服务。除了台式设备之外我们还提供多种大型设备和定制服务。目前国内已有包括清华大学、西湖大学、大连理工大学、广东工业大学、中科院等多个单位采购了不同型号的Moorfield高性能薄膜制备与加工设备。产品链接1、台式高性能多功能PVD薄膜制备系列—nanoPVD

世界首个集材料生长、器件制备、测试分析为一体的纳米领域大科学装置——纳米真空互联综合实验站正在我国江苏苏州工业园区建设。这个实验站相当于在太空建设了一个全真空的纳米器件研发平台。　　正在建设中的这个纳米实验站是目前世界上最大的真空互联科研装置。其总体方案是：用总长近500米的超高真空管道，将上百台用于材料生长、器件制备、测试分析的大型仪器设备互联，实现样品在不同设备之间传送时其表面不被氧化、沾污，不被外界大气环境所破坏。中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所研究员、纳米真空互联实验站常务副总指挥丁孙安说，实验站通过超高空间分辨、时间分辨、能量分辨、质量分辨等的高端能力仪器设备，对物质的“本征性质”进行研究，从而实现量子材料的设计、制备和表征，后摩尔时代器件加工和测试分析，同时开展新材料、新工艺、新结构和新功能的开发和研究，以及形成第三代半导体工艺包。　　“这个实验装置是在类似太空的全真空环境下的纳米器件研发平台，相当于把现有的加工设备统一搬到太空。”丁孙安说。　　纳米真空互联实验站是依托中科院苏州纳米所，联合清华大学薛其坤院士团队、中科院大连化学物理研究所包信和院士团队建设的。一期建设由中科院、江苏省、苏州市和苏州工业园区共建，预计2018年建成，建设经费3.2亿元。一期建成后将连接30多台设备，形成100米的真空管道。整个实验站的总预算是15亿元。　　苏州工业园区是全球纳米领域具有代表性的八大产业区域之一。中科院纳米所所长杨辉说，在此建设纳米真空互联实验站，是力图通过真空条件下的互联集成和若干重大项目验证，突破现有仪器设备的功能限制，实现材料制备、测试分析与微纳加工工艺等方面协同效应，为科研和战略性新兴产业发展提供先进的、开放性的平台。

摘要：本文首先简单回顾了辉光放电光谱仪（Glow Discharge Optical Emission Spectrometry，GDOES）的发展历程及特性，然后通过实例介绍了GDOES在微米涂层以及纳米超薄膜层深度剖析中的应用，并简介了深度谱定量分析的混合-粗糙度-信息深度（MRI）模型，最后对GDOES深度剖析的发展方向作了展望。1 GDOES发展历程及特性辉光放电发射光谱仪应用于表面分析及深度剖析已经有近100年的历史。辉光放电装置以及相关的光谱仪最早出现在20世纪30年代，但直到六十年代才成为化学分析的研究重点。1967年Grimm引入了“空心阳极-平面阴极”的辉光放电源[1]，使得GDOES的商业化成为可能。随后射频（RF）电源的引入，GDOES的应用范围从导电材料拓展到了非导电材料，而毫秒或微秒级的脉冲辉光放电(Pulsed Glow Discharges，PGDs)模式的推出，不仅能有效地减弱轰击样品时的热效应，同时由于PGDs可以使用更高激发功率，使得激发或电离过程增强，大大提高了GDOES测量的灵敏程度，极大推动了GDOES技术的进步以及应用领域的拓展。GDOES被广泛应用于膜层结构的深度剖析，以获取元素成分随深度变化的关系。相较于其它传统的深度剖析技术，如俄歇电子能谱（AES）、X射线光电子能谱（XPS）和二次离子质谱（SIMS）或二次中性质谱（SNMS），GDOES具有如下的独特性[2]：（1）分析样品材料的种类广，可对导体/非导体/无机/有机…膜层材料进行深度剖析，并可探测所有的元素(包括氢)；（2）分析样品的厚度范围宽，既可对微米量级的涂层/镀层，也可对纳米量级薄膜进行深度剖析；（3）溅射速率高，可达到每分钟几微米；（4）基体效应小，由于溅射过程发生在样品表面，而激发过程在腔室的等离子体中，样品基体对被测物质的信号几乎不产生影响；（5）低能级激发，产生的谱线属原子或离子的线状光谱，因此谱线间的干扰较小；（6）低功率溅射，属层层剥离，深度分辨率高，可达亚纳米级；（7）因为采用限制式光源，样品激发时的等离子体小，所以自吸收效应小，校准曲线的线性范围较宽；（8）无高真空需求，保养与维护都非常方便。基于上述优势，GDOES被广泛应用于表征微米量级的材料表面涂层/镀层、有机膜层的涂布层、锂电池电极多层结构和用于其封装的铝塑膜层、以及纳米量级的功能多层膜中元素的成分分布[3-6]，下面举几个具体的应用实例。2 GDOES深度剖析应用实例2.1 涂层的深度剖析用于材料表面保护的涂层或镀层、食品与药品包装的柔性有机基材的涂布膜层、锂电池的多层膜电极，以及用于锂电池包装的铝塑膜等等的膜层厚度一般都是微米量级，有的膜层厚度甚至达到百微米。传统的深度剖析技术，如AES，XPS和SIMS显然无法对这些厚膜层进行深度剖析，而GDOES深度剖析技术非常适合这类微米量级厚膜的深度剖析。图1给出了利用Horiba-Profiler 2（一款脉冲—射频辉光放电发射光谱仪—Pulsed-RF GDOES，以下深度谱的实例均是用此设备测量），在Ar气压700Pa和功率55w条件下，测量的表面镀镍的铁箔GODES深度谱，其中的插图给出了从表面到Ni/Fe界面各元素的深度谱，测量时间与深度的转换是通过设备自带的激光干涉仪（DIP）对溅射坑进行原位测量获得。从全谱来看，GDOES测量信号强度稳定，未出现溅射诱导粗糙度或坑道效应（信号强度随溅射深度减小的现象，见下），这主要是因为铁箔具有较大的晶粒尺寸。同时还可以看到GDOES可连续测量到~120μm，溅射速率达到4.2μm/min（70nm/s）。从插图来看， Ni的镀层约为1μm，在表面有~100nm的氧化层，Ni/Fe界面分辨清晰。图1 表面镀镍铁箔的GODES深度谱，其中的插图给出了从表面到Ni/Fe界面的各元素的深度谱图2给出了在氩-氧（4 vol%）混合气气压750Pa、功率20w、脉冲频率3000Hz、占空比0.1875条件下，测量的用于锂电池包装铝塑膜（总厚度约为120μm）的GODES深度谱，其中的插图给出了铝塑膜的层结构示意图[7]。可以看出有机聚酰胺层主要包含碳、氮和氢等元素。在其之下碳、氮和氢元素信号的强度先降后升，表明在聚酰胺膜层下存在与其不同的有机涂层—粘胶剂，所含主要元素仍为碳、氮和氢。同时还可以看出在粘胶剂层下面的无机物（如Al，Cr和P）膜层，其中Cr和P源于为提高Al箔防腐性所做的钝化处理。很明显，图2测量的GDOES深度谱明确展现了锂电池包装铝塑膜的层结构。实验中在氩气中引入4 vol%氧气有助于快速溅射有机物的膜层结构，同时降低碳、氮信号的相对强度，提高了无机物如铬信号的相对强度，非常适合于无机-有机多层复合材料的结构分析，而在脉冲模式下，选用合适的频率和占空比，能够有效地散发溅射产生的热量，从而避免了低熔点有机物的碳化。图2一款锂电池包装铝塑膜的GDOES溅射深度谱，其中的插图给出了铝塑膜的层结构示意图[7]2.2 纳米膜层及表层的深度剖析纳米膜层，特别是纳米多层膜已被广泛应用于光电功能薄膜与半导体元器件等高科技领域。虽然传统的深度剖析技术AES，XPS和SIMS也常常应用于纳米膜层的表征，但对于纳米多层膜，传统的深度剖析技术很难对多层膜整体给予全面的深度剖析表征，而GDOES不仅可以给予纳米多层膜整体全面的深度剖析表征，而且选择合适的射频参数还可以获得如AES和SIMS深度剖析的表层元素深度谱。图3给出了在氩气气压750Pa、功率20w、脉冲频率1000Hz、占空比0.0625条件下，测量的一款柔性透明隔热膜（基材为PET）的GODES深度谱，如图3a所示，其中最具特色的就是清晰地表征了该款隔热膜最核心的三层Ag与AZO（Al+ZnO）共溅射的膜层结构，如图3b Ag膜层的GDOES深度谱所示。根据获得的溅射速率及Ag的深度谱拟合（见后），前两层Ag的厚度分别约为5.5nm与4.8nm[8]。很明显，第二层Ag信号较第一层有较大的展宽，相应的强度值也随之下降，这是源于GDOES对金属膜溅射过程中产生的溅射诱导粗糙度所致。图3（a）一款柔性透明隔热膜GDOES深度谱；（b）其中Ag膜层GDOES深度谱[8]图4给出了在氩气气压650Pa、功率20w、脉冲频率10000Hz、占空比0.5的同一条件下，测量的SiO2(300nm)/Si(111)标准样品和自然生长在Si(111)基片上SiO2样品的GODES深度谱[9]。如果取测量深度谱的半高宽为膜层的厚度，由此得到标准样品SiO2层的溅射速率为6.6nm/s（=300nm/45.5s），也就可以得到自然氧化的SiO2膜层厚度约为1nm（=6.6nm/s*0.15s）。所以，GDOES完全可以实现对一个纳米超薄层的深度剖析测量，这大大拓展了GDOES的应用领域，即从传统的钢铁镀层或块体材料的成分分析拓展到了对纳米薄膜深度剖析的表征。图4 （a）SiO2(300nm)/Si(111)标准样品与（b）自然生长在Si(111)基片上SiO2样品的GDOES深度谱[9]3 深度谱的定量分析3.1 深度分辨率对测量深度谱的优与劣进行评判时，深度分辨率Δz是一个非常重要的指标。传统Δz(16%-84%)的定义为[10]：对一个理想（原子尺度）的A/B界面进行溅射深度剖析时，当所测定的归一化强度从16%上升到84%或从84%下降到16%所对应的深度，如图5所示。Δz代表了测量得到的元素成分分布和原始的成分分布间的偏差程度，Δz越小表示测量结果越接近真实的元素成分分布，测量深度谱的质量就越高。但是随着科技的发展，应用的薄膜越来越薄，探测元素100%（或0%）的平台无法实现，就无法通过Δz(16%-84%)的定义确定深度分辨率，而只能通过对测量深度谱的定量分析获得（见下）。图5深度分辨率Δz的定义[10]3.2 深度谱定量分析—MRI模型溅射深度剖析的目的是获取薄膜样品元素的成分分布，但溅射会改变样品中元素的原始成分分布，产生溅射深度剖析中的失真。溅射深度剖析的定量分析就是要考虑溅射过程中，可能导致样品元素原始成分分布失真的各种因素，提出相应的深度分辨率函数，并通过它对测量的深度谱数据进行定量分析，最终获取被测样品元素在薄膜材料中的真实分布。对于任一溅射深度剖析实验，可能导致样品原始成分分布失真的三个主要因素源于：①粒子轰击产生的原子混合（atomic Mixing）；②样品表面和界面的粗糙度（Roughness）；③探测器所探测信号的信息深度（Information depth）。据此Hofmann提出了深度剖析定量分析著名的MRI深度分辨率函数[11]： 其中引入的三个MRI参数：原子混合长度w、粗糙度和信息深度λ具有明确的物理意义，其值可以通过实验测量得到，也可以通过理论计算得到。确定了分辨率函数，测量深度谱信号的归一化强度I/Io可表示为如下的卷积[12]： 其中z'是积分参量，X(z’)为原始的元素成分分布，g(z-z’)为深度分辨率函数，包含了深度剖析过程中所有引起原始成分分布失真的因素。MRI模型提出后，已被广泛应用于AES，XPS，SIMS和GDOES深度谱数据的定量分析。如果假设各失真因素对深度分辨率影响是相互独立的，相应的深度分辨率就可表示为[13]：其中r为择优溅射参数，是元素A与B溅射速率之比（）。3.3 MRI模型应用实例图6给出了在氩气气压550Pa、功率17w、脉冲频率5000Hz、占空比0.25条件下，测量的60 Mo (3 nm)/B4C (0.3 nm)/Si (3.7 nm) GDOES深度谱[14]，结果清晰地显示了Mo (3 nm)/B4C (0.3 nm)/Si (3.7 nm) 膜层结构，特别是分辨了仅0.3nm的B4C膜层， B和C元素的信号其峰谷和峰顶位置完全一致，可以认为B和C元素的溅射速率相同。为了更好地展现拟合测量的实验数据，选择溅射时间在15~35s范围内测量的深度剖析数据进行定量分析[15]。图6 60×Mo (3 nm)/B4C (0.3 nm)/Si (3.7 nm) GDOES深度谱[14]利用SRIM 软件[16]估算出原子混合长度w为0.6 nm，AFM测量了Mo/B4C/Si多层膜溅射至第30周期时溅射坑底部的粗糙度为0.7nm[14]，对于GDOES深度剖析，由于被测量信号源于样品最外层表面，信息深度λ取为0.01nm。利用（1）与（2）式，调节各元素的溅射速率，并在各层名义厚度值附近微调膜层的厚度，Mo、Si、B（C）元素同时被拟合的最佳结果分别如图7（a）、（b）和（c）中实线所示，对应Mo、Si、B(C)元素的溅射速率分别为8.53、8.95和4.3nm/s，拟合的误差分别为5.5%、6.7%和12.5%。很明显，Mo与Si元素的溅射速率相差不大，但是B4C溅射速率的两倍，这一明显的择优溅射效应是能分辨0.3nm-B4C膜层的原因。根据拟合得到的MRI参数值，由（3）式计算出深度分辨率为1.75 nm，拟合可以获得Mo/B4C/Si多层薄膜中各个层的准确厚度，与HR-TEM测定的单层厚度基本一致[15]。图7 测量的GDOES深度谱数据(空心圆)与MRI最佳拟合结果(实线)：(a) Mo层，(b) Si层，(c) B层；相应的MRI拟合参数列在图中[15]。4 总结与展望从以上深度谱测量实例可以清楚地看到，GDOES深度剖析的应用非常广泛，可测量从小于1nm的超薄薄膜到上百微米的厚膜；从元素H到Lv周期表中的所有元素；从表层到体层；从无机到有机；从导体到非导体等各种材料涂层与薄膜中元素成分随深度的分布，深度分辨率可以达到~1nm。通过对测量深度谱的定量分析，不仅可以获得膜层结构中原始的元素成分分布，而且还可以获得元素的溅射速率、膜层间的界面粗糙度等信息。虽然GDOES深度剖析技术日趋完善，但也存在着一些问题，比如在GDOES深度剖析中常见的溅射坑底部凸凹不平的“溅射坑道效应”（溅射诱导的粗糙度），特别是对多晶金属薄膜的深度剖析尤为明显，这一效应会大大降低GDOES深度谱的深度分辨率。消除溅射坑道效应影响一个有效的方法就是引入溅射过程样品旋转技术，使得各个方向的溅射均等。此外，缩小溅射（分析）面积也是提高溅射深度分辨率的一种方法，但需要考虑提高探测信号的强度，以免降低信号的灵敏度。另外，GDOES深度剖析的应用软件有进一步提升的空间，比如测量深度谱定量分析算法的植入，将信号强度转换为浓度以及溅射时间转换为溅射深度算法的进一步完善。作者简介汕头大学物理系教授 王江涌王江涌，博士，汕头大学物理系教授。现任广东省分析测试协会表面分析专业委员会副主任委员、中国机械工程学会高级会员、中国机械工程学会表面工程分会常务委员；《功能材料》、《材料科学研究与应用》与《表面技术》编委、评委。研究兴趣主要是薄膜材料中的扩散、偏析、相变及深度剖析定量分析。发表英文专著2部，专利十余件，论文150余篇，其中SCI论文110余篇。代表性成果在《Physical Review Letters》，《Nature Communications》，《Advanced Materials》，《Applied Physics Letters》等国际重要期刊上发表。主持国家自然基金、科技部政府间国际合作、广东省科技计划及横向合作项目十余项。获2021年广东省科技进步一等奖、2021年广东省高校科研成果转化路演赛“新材料”小组赛一等奖、2021年粤港澳高价值大湾区专利培育布局大赛优胜奖、2020年广东省高校科研成果转化路演赛“新材料”小组赛一等奖、总决赛一等奖。昆山书豪仪器科技有限公司总经理 徐荣网徐荣网，昆山书豪仪器科技有限公司总经理，昆山市第十六届政协委员；曾就职于美国艾默生电气任职Labview设计工程师、江苏天瑞仪器股份公司任职光谱产品经理。2012年3月，作为公司创始人于创立昆山书豪仪器科技有限公司，2019年购买工业用地，出资建造12300平方米集办公、研发、生产于一体的书豪产业化大楼，现已投入使用。曾获2020年朱良漪分析仪器创新奖青年创新入围奖；2019年昆山市实用产业化人才；2019年江苏省科技技术进步奖获提名；2017年《原子发射光谱仪》“中国苏州”大学生创新创业大赛二等奖；2014年度昆山市科学技术进步奖三等奖；2017年度昆山市科学技术进步奖三等奖；多次获得昆山市级人才津贴及各类奖励项目等。主持研发产品申请的已授权专利47项专利，其中发明专利 4 项，实用新型专利 25项，外观专利7项，计算机软件著作权 11项。论文2篇《空心阴极光谱光电法用于测定高温合金痕量杂质元素》，《Application of Adaptive Iteratively Reweighted Penalized Least Squares Baseline Correction in Oil Spectrometer 》第一编著人；主持编著的企业标准4篇；承担项目包括3项省级项目、1项苏州市级项目、4项昆山市级项目；其中：旋转盘电极油料光谱仪获江苏省工业与信息产业转型升级专项资金--重大攻关项目（现已成功验收，获政府补助660万元）、江苏省首台（套）重大装备认定、江苏省工业与信息产业转型升级专项资金项目、苏州市姑苏天使计划项目等；主持研发并总体设计的《HCD100空心阴极直读光谱仪》、《AES998火花直读光谱仪》、《FS500全谱直读光谱仪》《旋转盘电极油料光谱仪OIL8000、OIL8000H、PO100》均研发成功通过江苏省新产品新技术鉴定，实现了产业化。参考文献：[1] GRIMM, W. 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基本信息 关键内容： 真空泵 开标时间： null 采购金额： 107.54万元 采购单位： 武宣县益丰农村建设发展投资有限公司 采购联系人： 左舒扬 采购联系方式： 立即查看 招标代理机构： 广西恒明项目管理有限公司 代理联系人： 蓝艳 代理联系方式： 立即查看 详细信息 武宣县三里镇古立村古立片区“双高”基地水利化建设项目施工投标邀请公告招标编号：E4513002881000894001001 广西壮族自治区-来宾市-武宣县 状态：公告 更新时间： 2021-09-30 武宣县三里镇古立村古立片区 “双高”基地水利化建设项目施工投标邀请公告 招标编号： E4513002881000894001001 2021-09-30 15:31 1. 招标条件 本招标项目武宣县三里镇古立村古立片区 “双高”基地水利化建设项目已由武宣县人民政府以武政函[2021]77号文批复了初步设计，广西壮族自治区财政厅以桂财农[2020]115号文下达了武宣县三里镇古立村古立片区 “双高”基地水利化建设项目工程投资计划，招标人为武宣县益丰农村建设发展投资有限公司，招标代理机构为广西恒明项目管理有限公司。项目已具备招标条件，现邀请你单位参加该项目施工投标。 2. 项目概况与招标范围 工程建设地点： 武宣县三里镇古立村古立片区。 建设规模：1、新安装输配水管（干管、支管、出地管）；DN200镀锌钢管691m，DN150热镀锌钢管25m，2、新建设20座闸阀井，3、新建滑轨式提水泵一座，4、新建300m3高位水池一座，5、新建容量为80KVA的变压器一台，6、安装一台型号为ISW100-250的卧室离心泵，安装一台型号为2BV2061水环式真空泵。 计划工期 90天（日历天）。 招标范围： 武宣县三里镇古立村古立片区 “双高”基地水利化建设项目，施工图纸级工程量清单范围的全部内容。 招标控制价：人民币壹佰零柒万伍仟肆佰贰拾肆元捌角陆分（￥1075424.86元） 3. 投标人资格要求 3.1投标人须具有法人资格，投标人须具有水利水电工程施工总承包叁级或叁级以上资质；有省级及以上建设行政主管部门颁发的安全生产许可证。项目经理资质要求：持有贰级或贰级以上建造师注册证书，专业是水利水电工程专业（以建造师注册证书中“专业类别”栏所填写的专业为准）；具有中级或中级以上技术职称；持有省级或省级以上水行政主管部门颁发的B类安全生产考核合格证。 在人员、设备、资金等方面具备相应的施工能力。 3.2本次招标不接受（接受或不接受）联合体投标。 4. 招标文件的获取 本项目招标文件（图纸、技术资料）为网上免费下载。由潜在投标人的专职投标员凭本人的身份证证号及密码或企业CA锁通过来宾市公共资源交易中心网（http://ggzyjy.laibin.gov.cn/gxlbzbw/）的投标单位入口登陆来宾市公共资源电子交易系统下载招标文件和图纸。 备注：投标人在递交投标文件时按照武宣县公共资源交易中心要求同时递交《投标人廉政承诺书》 【注：《投标人廉政承诺书》在广西来宾市武宣县人民政府门户网站 （http://www.wuxuan.gov.cn）上自行下载】。 5. 投标保证金 5.1 投标保证金的金额：人民币壹万元整（￥10000.00 元）。 5.2 投标保证金均须足额按时交纳，交纳方式为银行转账、电汇。采用银行保函、工程担保或工程保证保险方式的，必须为无条件保函，保函有效期不得低于投标有效期【备注：在投标截止时间前于开标现场将开具的无条件银行保函或工程担保或工程保证保险原件递交给招标人，复印件加盖投标人单位公章装入投标文件中】，否则做否决投标处理。 5.3 投标人在办理投标保证金手续时，请务必在银行转账单或电汇单的用途或空白栏上注明项目名称或项目编号及用途，否则由此造成的一切后果由投标人自行承担，到账时间不得迟于投标截止时间前，否则视为无效投标保证金。【备注：在投标截止时间前于开标现场查验投标保证金提交收据（如有）、银行转账（电汇）底单原件 (电子转账的底单原件可采用彩色打印加盖转账单位公章），复印件加盖投标人单位公章装入投标文件】，否则做否决投标处理。 开户名称：武宣县公共资源交易中心 开户行：中国建设银行武宣支行 账号：45050110207700000304-00178 为了投标保证金能及时退回，开标前投标人提交退保函（格式自拟）。 6. 投标文件的递交 6.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2021年 10 月 21 日10时00分，地点为武宣县公共资源交易中心（武宣县武宣镇城东路 122 号政务中心四楼） 。 6.2逾期送达的或者未送达指定地点的投标文件，招标人不予受理。 7. 确认 你单位收到本投标邀请书后，请于 2021 年 10 月 14 日 17 时30 分前以书面方式予以确认是否参加投标。 8.发布公告的媒介 本招标公告同时____（https://www.chinabidding.cn/）、广西壮族自治区招标投标公共服务平台(http://zbtb.gxi.gov.cn:9000/)、全国公共资源交易平台（广西﹒来宾）（http://ggzy.jgswj.gxzf.gov.cn/lbggzy）、广西来宾市武宣县人民政府门户网站（http://www.wuxuan.gov.cn）上发布。 9.联系方式 招标人：武宣县益丰农村建设发展投资有限公司 地址：武宣县武宣镇华宾路标准厂房技术研发楼 邮编：545900 联系人：左舒扬 电话： 0772-5211532 招标代理机构：广西恒明项目管理有限公司 地址：南宁市青秀区金洲路11号金旺角商住楼A座2403号 邮编：530021 联系人：蓝艳 电话：0771-5346469 E (mail)：695983827@qq.com 交易服务部门：武宣县公共资源交易中心，电 话：0772-5216202 监督部门：武宣县农业农村局 监督电话：0772-5226509 招标人：武宣县益丰农村建设发展投资有限公司 招标代理机构：广西恒明项目管理有限公司 2021 年 9 月 30 日 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：真空泵 开标时间：null 预算金额：107.54万元 采购单位：武宣县益丰农村建设发展投资有限公司 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：广西恒明项目管理有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 武宣县三里镇古立村古立片区“双高”基地水利化建设项目施工投标邀请公告招标编号：E4513002881000894001001 广西壮族自治区-来宾市-武宣县 状态：公告 更新时间： 2021-09-30 武宣县三里镇古立村古立片区 “双高”基地水利化建设项目施工投标邀请公告 招标编号： E4513002881000894001001 2021-09-30 15:31 1. 招标条件 本招标项目武宣县三里镇古立村古立片区 “双高”基地水利化建设项目已由武宣县人民政府以武政函[2021]77号文批复了初步设计，广西壮族自治区财政厅以桂财农[2020]115号文下达了武宣县三里镇古立村古立片区 “双高”基地水利化建设项目工程投资计划，招标人为武宣县益丰农村建设发展投资有限公司，招标代理机构为广西恒明项目管理有限公司。项目已具备招标条件，现邀请你单位参加该项目施工投标。 2. 项目概况与招标范围 工程建设地点： 武宣县三里镇古立村古立片区。 建设规模：1、新安装输配水管（干管、支管、出地管）；DN200镀锌钢管691m，DN150热镀锌钢管25m，2、新建设20座闸阀井，3、新建滑轨式提水泵一座，4、新建300m3高位水池一座，5、新建容量为80KVA的变压器一台，6、安装一台型号为ISW100-250的卧室离心泵，安装一台型号为2BV2061水环式真空泵。 计划工期 90天（日历天）。 招标范围： 武宣县三里镇古立村古立片区 “双高”基地水利化建设项目，施工图纸级工程量清单范围的全部内容。 招标控制价：人民币壹佰零柒万伍仟肆佰贰拾肆元捌角陆分（￥1075424.86元） 3. 投标人资格要求 3.1投标人须具有法人资格，投标人须具有水利水电工程施工总承包叁级或叁级以上资质；有省级及以上建设行政主管部门颁发的安全生产许可证。项目经理资质要求：持有贰级或贰级以上建造师注册证书，专业是水利水电工程专业（以建造师注册证书中“专业类别”栏所填写的专业为准）；具有中级或中级以上技术职称；持有省级或省级以上水行政主管部门颁发的B类安全生产考核合格证。 在人员、设备、资金等方面具备相应的施工能力。 3.2本次招标不接受（接受或不接受）联合体投标。 4. 招标文件的获取 本项目招标文件（图纸、技术资料）为网上免费下载。由潜在投标人的专职投标员凭本人的身份证证号及密码或企业CA锁通过来宾市公共资源交易中心网（http://ggzyjy.laibin.gov.cn/gxlbzbw/）的投标单位入口登陆来宾市公共资源电子交易系统下载招标文件和图纸。 备注：投标人在递交投标文件时按照武宣县公共资源交易中心要求同时递交《投标人廉政承诺书》 【注：《投标人廉政承诺书》在广西来宾市武宣县人民政府门户网站 （http://www.wuxuan.gov.cn）上自行下载】。 5. 投标保证金 5.1 投标保证金的金额：人民币壹万元整（￥10000.00 元）。 5.2 投标保证金均须足额按时交纳，交纳方式为银行转账、电汇。采用银行保函、工程担保或工程保证保险方式的，必须为无条件保函，保函有效期不得低于投标有效期【备注：在投标截止时间前于开标现场将开具的无条件银行保函或工程担保或工程保证保险原件递交给招标人，复印件加盖投标人单位公章装入投标文件中】，否则做否决投标处理。 5.3 投标人在办理投标保证金手续时，请务必在银行转账单或电汇单的用途或空白栏上注明项目名称或项目编号及用途，否则由此造成的一切后果由投标人自行承担，到账时间不得迟于投标截止时间前，否则视为无效投标保证金。【备注：在投标截止时间前于开标现场查验投标保证金提交收据（如有）、银行转账（电汇）底单原件 (电子转账的底单原件可采用彩色打印加盖转账单位公章），复印件加盖投标人单位公章装入投标文件】，否则做否决投标处理。 开户名称：武宣县公共资源交易中心 开户行：中国建设银行武宣支行 账号：45050110207700000304-00178 为了投标保证金能及时退回，开标前投标人提交退保函（格式自拟）。 6. 投标文件的递交 6.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2021年 10 月 21 日10时00分，地点为武宣县公共资源交易中心（武宣县武宣镇城东路 122 号政务中心四楼） 。 6.2逾期送达的或者未送达指定地点的投标文件，招标人不予受理。 7. 确认 你单位收到本投标邀请书后，请于 2021 年 10 月 14 日 17 时30 分前以书面方式予以确认是否参加投标。 8.发布公告的媒介 本招标公告同时____（https://www.chinabidding.cn/）、广西壮族自治区招标投标公共服务平台(http://zbtb.gxi.gov.cn:9000/)、全国公共资源交易平台（广西﹒来宾）（http://ggzy.jgswj.gxzf.gov.cn/lbggzy）、广西来宾市武宣县人民政府门户网站（http://www.wuxuan.gov.cn）上发布。 9.联系方式 招标人：武宣县益丰农村建设发展投资有限公司 地址：武宣县武宣镇华宾路标准厂房技术研发楼 邮编：545900 联系人：左舒扬 电话： 0772-5211532 招标代理机构：广西恒明项目管理有限公司 地址：南宁市青秀区金洲路11号金旺角商住楼A座2403号 邮编：530021 联系人：蓝艳 电话：0771-5346469 E (mail)：695983827@qq.com 交易服务部门：武宣县公共资源交易中心，电 话：0772-5216202 监督部门：武宣县农业农村局 监督电话：0772-5226509 招标人：武宣县益丰农村建设发展投资有限公司 招标代理机构：广西恒明项目管理有限公司 2021 年 9 月 30 日

近日，中国航天科技集团有限公司八院812所申报的2022年度国家“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”专项《高灵敏手性物质离子迁移谱与质谱联用仪》获科技部立项批复。自主奋斗赋能质谱科技创新“质谱仪被誉为分析仪器皇冠上的‘明珠’，然而在国内市场里，国外进口品牌占据了95%。提升我们自己的专业技术能力，实现自主研发，是大家共同的梦想。”812所裕达公司总经理景加荣说道。812所聚焦真空专业优势，坚持不懈推动质谱仪研发和应用技术发展，依托下属裕达公司工信部“专精特新”企业平台，坚持深耕质谱仪研发领域，从无到有，从小到大，建立以离子阱和四极杆为基础的四极质谱仪技术体系，同时拓展多个联用技术，掌握了质谱领域多项关键核心技术，拥有了核心部件的研制能力。“我们的部分成果已获得美国专利授权，专业技术能力有了质的飞跃，离我们的梦想更近了一步。”景加荣的语气中带着自信。转变观念推动产业发展经过多年技术攻关，812所已掌握质谱领域的多项关键核心技术及核心部件研制能力，打破了国外的技术壁垒。团队不断摸索、仿真、测试和试验，研制出了初代原型样机，通过逐步拓展、自主攻关、技术合作，与传统航天企业和科研院所高校提供定制样机，形成稳固合作，赢得了良好的市场口碑。国外仪器厂商对国内仪器客户需求反馈较差，812所团队抓住商机，不断走访调研，发掘潜在客户，瞄准国内市场空白，研究改进多款样机，短时间内形成了用于航天、生物医药等领域的系列化质谱仪产品。目前，与医药装备上市公司签订了首批50台批量销售订单，实现了该领域市场销售的重大突破。目前812所已初步建成质谱仪生产线，实现了从实验室研制到货架产品批产的重大转型，走出了一条质谱仪技术创新及产业化之路。812所将继续深耕真空应用产业，加强核心专业建设，提高技术创新能力，深入挖掘新市场，努力打造上海市品牌最优的真空应用装备发展中心，立足上海、辐射全国。“要想掌握质谱技术，加快质谱产业化的发展，制造出我们自己的质谱仪，建设与培养‘质谱人才’队伍是关键的一环。”景加荣分析道。812所以奋斗者为本，以创造价值为荣，以技术产品化、产品产业化为己任，构建“传、帮、带”的人才培育体系，搭建技术数据库，在项目中磨练队伍，建成了系统化、专业化的高水平研发团队。

近日，中国航天科技集团有限公司八院812所申报的2022年度国家“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”专项《高灵敏手性物质离子迁移谱与质谱联用仪》获科技部立项批复。自主奋斗赋能质谱科技创新“质谱仪被誉为分析仪器皇冠上的‘明珠’，然而在国内市场里，国外进口品牌占据了95%。提升我们自己的专业技术能力，实现自主研发，是大家共同的梦想。”812所裕达公司总经理景加荣说道。812所聚焦真空专业优势，坚持不懈推动质谱仪研发和应用技术发展，依托下属裕达公司工信部“专精特新”企业平台，坚持深耕质谱仪研发领域，从无到有，从小到大，建立以离子阱和四极杆为基础的四极质谱仪技术体系，同时拓展多个联用技术，掌握了质谱领域多项关键核心技术，拥有了核心部件的研制能力。“我们的部分成果已获得美国专利授权，专业技术能力有了质的飞跃，离我们的梦想更近了一步。”景加荣的语气中带着自信。转变观念推动产业发展经过多年技术攻关，812所已掌握质谱领域的多项关键核心技术及核心部件研制能力，打破了国外的技术壁垒。团队不断摸索、仿真、测试和试验，研制出了初代原型样机，通过逐步拓展、自主攻关、技术合作，与传统航天企业和科研院所高校提供定制样机，形成稳固合作，赢得了良好的市场口碑。国外仪器厂商对国内仪器客户需求反馈较差，812所团队抓住商机，不断走访调研，发掘潜在客户，瞄准国内市场空白，研究改进多款样机，短时间内形成了用于航天、生物医药等领域的系列化质谱仪产品。目前，与医药装备上市公司签订了首批50台批量销售订单，实现了该领域市场销售的重大突破。目前812所已初步建成质谱仪生产线，实现了从实验室研制到货架产品批产的重大转型，走出了一条质谱仪技术创新及产业化之路。812所将继续深耕真空应用产业，加强核心专业建设，提高技术创新能力，深入挖掘新市场，努力打造上海市品牌最优的真空应用装备发展中心，立足上海、辐射全国。“要想掌握质谱技术，加快质谱产业化的发展，制造出我们自己的质谱仪，建设与培养‘质谱人才’队伍是关键的一环。”景加荣分析道。812所以奋斗者为本，以创造价值为荣，以技术产品化、产品产业化为己任，构建“传、帮、带”的人才培育体系，搭建技术数据库，在项目中磨练队伍，建成了系统化、专业化的高水平研发团队。

前记：近五年来，在国家政策支持下，中国电镜产业化发展之路上多点开花，电镜、电镜功能附件装置与设备、电镜制样等方面不断有新的产业化技术涌现。其中不仅包含扫描透射电镜、场发射扫描电镜、聚焦离子束显微镜、透射电镜原位研究系统等重要技术的商品化，也不乏场发射枪、高压电源、光阑等电镜关键部件的攻克。在中国电镜技术产业化呈现百花齐放、国家对电镜设备产业化问题高度重视背景下，仪器信息网也别策划电镜技术系列征稿活动，共同探讨中国电镜产业技术、市场的机遇与挑战。相关投稿将整理至对应专题展示，并在仪器信息网相关渠道推广，欢迎大家投稿，电镜技术、市场相关均可（投稿邮箱：yanglz@instrument.com.cn，关于征稿内容要求也可邮件咨询或电话联系：15311451191，同微信）。本期主题为“电镜核心部件技术”，对应专题如下（点击图片进入专题），相关约稿将陆续上线，欢迎关注。以下为EDWARDS供稿，EDWARDS是百年专注于真空和尾气处理解决方案的制造及供应厂商，服务于半导体、平板显示、可再生和存储能源、科学分析仪器、制药和冶金等先进行业。 EDWARDS与主流分析仪器制造商多年的合作经验，使其对真空技术在电镜分析中的作用有着深刻理解。以下，EDWARDS分享了对真空技术的看法及相应解决方案。--------------------电镜中的真空技术与解决方案供稿：EDWARDS（埃地沃兹）一张漂亮的电镜照片，离不开高真空甚至超高真空环境，不管您留意到它的存在与否。电镜照片的质量与高真空环境之间到底有什么样的神秘关系呢？让我们从电镜的结构和工作原理上一探究竟。无论您在用的是扫描电镜还是透射电镜，它们都是使用一束电子束照射样品上并产生信号，这些信号被检测器检测到，然后被转换成图像，就是我们平常见到的SEM或者TEM照片了。说起来容易，做起来可就没有这么容易了。科研苦不苦，你我最清楚！电镜的测试腔内（见图表1 电镜的内部基本结构），无论是产生电子的电子枪，还是将产生的电子进行聚焦的电子透镜，抑或是控制和微调光束位置的电磁线圈，再或者是检测信号的检测器，都必须位于一个高真空甚至超高真空的腔室（镜筒）内。如果真空压力达不到要求，产生电子的灯丝会烧断；如果真空压力达不到要求，电子束与大量残留的空气分子发生碰撞而产生散射，最终导致电子束中的电子无法达到样品，得到的图像也失去了意义；如果真空压力达不到，将大大降低检测器接收信号的效率。图表1.电镜的内部基本结构（*图片来源于网络）因此，为了使得电子在测试腔内可以畅通无阻地移动，电子显微镜的真空压力需要达到1E-7bar，甚至1E-10mbar的超高真空。正是因为高真空和超高真空环境的存在，使得我们可以把研究对象放大少则几万倍，多则几十万倍。在如此高的放大倍数下，试想一下，如果有些微的震动，拍出的照片“雾里看花”；如果有些微的震动，电子束的定位出现“错乱”，得不到指定位置的信息。因此，在选型真空产品时，不但要满足获得一个高真空或者超高真空环境，同时还要保证所用真空产品能够使得整个系统处于极低振动的环境当中。获得一个高真空和超高真空的环境来之不易，所以，在满足真空压力和低震动的情况下，同时需要确保所选的真空产品质量具有高的可靠性。EDWARDS针对电镜行业的真空解决方案EDWARDS是百年专注于真空和尾气处理解决方案的制造及供应厂商，我们服务于半导体、平板显示、可再生和存储能源、科学分析仪器、制药和冶金等先进行业。EDWARDS与主流分析仪器制造商多年的合作经验，使我们对真空技术在电镜分析中的作用有着深刻理解。EDWARDS针对不同的电镜应用可提供量身定制的解决方案。图表2.全套真空解决方案 真空系统的洁净程度直接决定了电镜照片的质量，因此，前级泵的选择至关重要。EDWARDS率先推出了具有波纹管密封技术的nXDS涡旋干泵，是业内公认可提供洁净真空的前级泵。nXDS具有维护周期长、运行噪音低、极限真空好等多重优点，已经在国内外多家电镜产品上广泛应用。除此之外，还可提供多级罗茨nXRi, 隔膜泵等多种选择以满足客户的定制需求。图表3. nXDS在电镜真空系统中，保证高压系统的正常使用的同时，尽可能降低背景噪音的影响，从而获得一个优质的分子流真空环境是所有厂家追求的目标。分子泵作为最常用的高真空获得设备，也同时承担着多种责任，例如：进样腔、样品腔、电子枪等部位真空要求不一致，这就需要真空泵具有分流的设计，可以提供不同的真空度。同时电镜的超高分辨率也决定了分子泵需要有低振动的属性。EDWARDS推出的nEXT系列分子泵可充分满足以上需求，并已大量应用于不同类型的电镜中，如nEXT85系列在台式电镜中，nEXT240系列在钨灯丝电镜中的应用。图表4. nEXT系列在一些高端电镜中，甚至用到了超高真空，此时，离子泵成为了首选。Edwards提供一列不同抽速，不同应用的离子泵，尤其是电镜专用系列，获得了广泛的认可。电镜版离子泵内置了EXIMO屏蔽罩，有效降低放射电流和离子泵磁场对电子枪的污染和影响；此外，离子泵内部增加了额外的放电柱，大大提高了离子泵在超高真空下的启动能力。图表5. Gamma离子泵真空测量在电镜真空系统中同样不可或缺，Edwards拥有多年真空规管生产经验，可提供全系列真空规，测量范围覆盖1000 mbar到2E-12mbar，满足您各种需求。EDWARDS一直秉承着 “致力于科学，忠实于用户” 的宗旨，今后也将不断突破、不断进取，努力为客户提供更加完善的科学真空解决方案。

近年来，二维材料及其异质结构由于在电子、光电及自旋器件领域展现出巨大的应用潜力而得到了人们的广泛关注。然而，制备表面高度洁净的二维材料以及界面原子级平整干净的二维异质结仍然十分困难，尤其对于表面敏感的二维材料而言更是如此。制备二维材料的方法主要分为两大类：以分子束外延（MBE）和化学气相沉积为代表的“自下而上”法和以机械剥离为代表的“自上而下”法。其中，“自下而上”法由于受到生长动力学的制约，仅能在特定衬底上制备特定的二维材料，并且制备出的二维材料通常具有确定的取向，因此极大地限制了可获得的二维异质结的种类。相比于“自下而上”的材料合成策略，以机械剥离为代表的“自上而下”方法具有操作简单、灵活性强的特点，对于范德瓦尔斯材料而言可以很容易地制备传统生长方法难以实现的少层样品和转角结构。然而，传统的机械剥离方法是在大气或手套箱中进行，仍然存在很多问题：（1）环境的污染将引入大量的杂质或缺陷。即使对于稳定的二维材料（比如石墨烯），这种方法制备的样品，如未经退火处理，传入真空后，由于表面吸附了大量的杂质，难以利用ARPES、STM等表面敏感的技术进行测量，而高温退火可能引入更多的杂质或缺陷。（2）很多单晶表面在空气中甚至低真空环境下不能稳定存在，比如Si(111)-7×7、Cu(111)、Fe(100)等，这些材料的表面必然会被氧化并吸附大量的杂质。因此，传统的机械剥离方法无法制备二维材料与这类衬底构筑的异质界面。最近，中国科学院物理研究所/北京凝聚态物理国家研究中心SF9组的冯宝杰特聘研究员、陈岚研究员、吴克辉研究员与SC7组周兴江研究员、北京理工大学的黄元教授合作，指导博士生孙振宇、韩旭等，自主设计并搭建了一套超高真空环境下的二维材料机械剥离-堆垛系统。他们将机械剥离技术与超高真空MBE技术结合到一起，在本底真空10-10 mbar量级的环境中，利用MBE技术制备了多种原子级平整、洁净的表面，并利用机械剥离技术在这些衬底上成功剥离了多种单层和少层二维材料。设备的工作原理图如1所示，所有操作均在超高真空中完成。首先，他们利用高温退火、离子溅射、等离子体刻蚀、MBE生长等多种表面处理技术获得原子级平整、洁净的表面。表面的质量可以通过原位的扫描隧道显微镜、低能电子衍射、角分辨光电子能谱等超高真空表面分析手段进行确认。然后，他们在超高真空中将二维材料进行解理，获得新鲜的表面，并轻压到衬底表面上。最后，他们将系统加热并分离，获得了多种单层和少层二维材料。利用该方法，他们不仅重复了大气下的金辅助剥离技术，而且成功获得了多种以前未报道过的二维异质结，包括Bi-2212/Al2O3、Bi-2212/Si(111)、MoS2/Si(111)、MoS2/Fe、MoS2/Cr以及FeSe/SrTiO3（任意角度）等。图1 超高真空中机械剥离二维材料图2 在单晶衬底上获得的超薄二维材料为进一步展示该系统的能力，他们选择了两个体系作为示例。（1）利用金辅助剥离技术，他们在超高真空中制备出了毫米级的单层黑磷样品，并利用原位的低能电子衍射、角分辨光电子能谱对样品进行了表征，观察到了清晰的衍射斑点和沿高对称方向的空穴型能带（图3）。这是国际上首次对单层黑磷进行的相关测量。（2）为了揭示不同金属衬底对二维材料物性的影响，他们研究了单层MoS2和WSe2在不同金属表面的光学性质（图4）。通过测量不同金属上单层WSe2的荧光光谱，他们意外地发现，除了Au衬底以外，剩下的Ag、Fe、Cr等表面均不淬灭WSe2的特征A激子发射，且峰位略有偏移。通过拉曼光谱，他们发现在Au和Ag表面上的MoS2，其特征拉曼峰E2g和A1g除频率移动外，展现出了奇特的劈裂行为。图3 大面积单层黑磷的真空原位LEED和ARPES表征图4 不同金属表面单层WSe2和MoS2的光学响应本工作为进一步制备高质量的二维材料及异质结样品、研究材料的本征物性以及界面演生现象提供了一种全新的方法。相关成果以“Exfoliation of 2D van der Waals crystals in ultrahigh vacuum for interface engineering”为题发表在Science Bulletin上（doi.org/10.1016/j.scib.2022.05.017）。该工作得到了国家自然科学基金委、科技部、北京市自然科学基金、中科院国际合作项目以及中科院先导B等项目的资助。

近日，广东监管局披露了关于广东汇成真空科技股份有限公司（以下简称：汇成真空）辅导备案登记受理信息，其辅导机构为东莞证券，已于6月21日办理了辅导备案登记。资料显示，汇成真空是一家面向全球的真空应用解决方案提供商，研发、生产和销售各类真空设备、半导体设备、电子生产设备、光电设备、光伏设备、动力电池设备及产品相关配件的国家高新技术企业，专注设备与产品的相关制造工艺和应用技术、控制软件、工艺流程控制软件及相关生产自动化软件的研发、应用，并提供技术转让、技术咨询和技术服务。今年4月，汇成真空与中科院兰州化学物理研究所、中国科学宁波材料技术与工程研究所合作的“面向5G高频高速覆铜板用大面积柔性纳米薄膜镀膜设备研发及产业化”项目完成签约，此项目针对5G高频高速小型、轻量及薄型化柔性覆铜板工艺需求，开发出大面积柔性纳米薄膜等离子体磁控溅射镀膜设备与工艺，实现装备产业化。在5G技术带动下，电子资讯工业近几年来在中国的迅速发展，结合各种相关产业，已经成为中国最为蓬勃发展、举足轻重的新兴产业，汇成真空多年来坚持自主研发，在光学薄膜设备、功能涂层设备、柔性薄膜设备、大面积镀膜设备等领域拥有多项PVD专利技术，此次与中科院兰州化学物理研究所、中国科学宁波材料技术与工程研究所共同研发合作，建设“面向5G高频高速覆铜板用大面积柔性纳米薄膜镀膜设备研发及产业化”的项目，推动传统覆铜板产品结构面向5G时代需求的转型升级发展。

据广州南沙发布消息，6月28日，广州市南沙区在明珠湾大桥桥面举办重大项目集中签约动工竣工（投产）暨明珠湾大桥通车活动。76个项目于当天集中签约、动工竣工（投产），涵盖新能源汽车、芯片等先进制造产业。在当天的签约仪式上，10个重点项目分两批进行现场签约，总投资额160亿元，达产产值796亿元，其中包括湾区半导体高端设备智造基地。据介绍，湾区半导体高端设备智造基地是先导集团拟在南沙投资建现代化的半导体设备产业园，项目建成后拥有生产各类镀膜沉积设备、磁控溅射设备、离子蚀刻设备及交钥匙工程的综合生产能力。先导集团目前已掌握核心专利和工艺技术，项目产品将拥有100%自主产权，满足半导体产业链国产化替代的需求。广州南沙发布消息指出，目前，南沙正积极促进第三代半导体与新能源汽车产业的融合创新，成立第三代半导体创新中心，形成以晶科电子、芯粤能、爱思威为代表，以联晶智能、芯聚能为龙头的从晶圆生产到芯片设计、封装及应用的第三代半导体全产业链，为将来三千亿级新能源汽车产业集群发展提供“芯”能量。

项目编号：GDJY220624004HG031项目名称：韶关学院材料与化工硕士学位点及教学科研平台建设大型精密仪器、实验室家具及设备采购项目采购方式：公开招标预算金额：1,600,000.00元采购需求：合同包1(材料与化工硕士学位点建设):合同包预算金额：850,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1其他专用仪器仪表电感耦合等离子体原子发射光谱仪（ICP）1(台)详见采购文件550,000.00-1-2其他专用仪器仪表高效液相色谱仪（LC）1(台)详见采购文件300,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：合同签订后15个日历日内交货。合同包2(无机非金属材料专业教学科研平台建设（实验室家具购置）):合同包预算金额：160,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)2-1其他家具用具通风橱2(套)详见采购文件20,000.00-2-2其他家具用具中央台(带水槽）12(台)详见采购文件25,100.00-2-3其他家具用具中央台(带水槽）21(台)详见采购文件13,550.00-2-4其他家具用具边台12(台)详见采购文件6,400.00-2-5其他家具用具边台（带水槽）11(台)详见采购文件4,050.00-2-6其他家具用具边台21(台)详见采购文件4,250.00-2-7其他家具用具边台（带水槽）21(台)详见采购文件3,350.00-2-8其他家具用具边台31(台)详见采购文件3,800.00-2-9其他家具用具边台（带水槽）31(台)详见采购文件11,700.00-2-10其他家具用具边台42(台)详见采购文件3,900.00-2-11其他家具用具中央台3(台)详见采购文件60,900.00-2-12其他家具用具中央台试剂架（与中央台配套）3(台)详见采购文件3,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：合同签订后30个日历日内交货。合同包3(无机非金属材料专业教学科研平台建设（实验室设备购置）):合同包预算金额：590,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)3-1其他专用仪器仪表电化学分析仪1(台)详见采购文件68,000.00-3-2其他专用仪器仪表实验室热风循环烘箱2(台)详见采购文件6,000.00-3-3其他专用仪器仪表数显粘度测试仪7(台)详见采购文件28,000.00-3-4其他专用仪器仪表台式数显白度仪4(台)详见采购文件6,000.00-3-5其他专用仪器仪表超声波清洗机2(台)详见采购文件7,200.00-3-6其他专用仪器仪表土壤液塑限联合测定仪2(台)详见采购文件3,600.00-3-7其他专用仪器仪表数显可塑性测试仪3(台)详见采购文件25,800.00-3-8其他专用仪器仪表超声波清洗机1(台)详见采购文件5,500.00-3-9其他专用仪器仪表酸碱计2(台)详见采购文件5,000.00-3-10其他专用仪器仪表磁力搅拌器电热套2(台)详见采购文件6,000.00-3-11其他专用仪器仪表数显控温磁力搅拌器2(台)详见采购文件2,000.00-3-12其他专用仪器仪表蠕动泵1(台)详见采购文件2,000.00-3-13其他专用仪器仪表高速离心机1(台)详见采购文件9,500.00-3-14其他专用仪器仪表全自动界面张力测试仪1(台)详见采购文件9,500.00-3-15其他专用仪器仪表不锈钢数显式电热鼓风干燥箱2(台)详见采购文件7,000.00-3-16其他专用仪器仪表循环水真空泵1(台)详见采购文件1,200.00-3-17其他专用仪器仪表杯式超滤器2(台)详见采购文件7,200.00-3-18其他专用仪器仪表数显旋转粘度计1(台)详见采购文件4,800.00-3-19其他专用仪器仪表电热恒温真空干燥箱1(台)详见采购文件4,500.00-3-20其他专用仪器仪表混凝土搅拌机1(台)详见采购文件4,000.00-3-21其他专用仪器仪表混凝土试件蒸汽养护箱1(台)详见采购文件8,000.00-3-22其他专用仪器仪表智能恒温恒湿试验箱1(台)详见采购文件6,000.00-3-23其他专用仪器仪表SHR-6水泥水化热测定仪（直接法）1(台)详见采购文件35,000.00-3-24其他专用仪器仪表pH计1(台)详见采购文件3,000.00-3-25其他专用仪器仪表电子天平1(台)详见采购文件3,000.00-3-26其他专用仪器仪表硅酸盐矿物断口标本5(套)详见采购文件1,250.00-3-27其他专用仪器仪表硅酸盐矿物解理标本5(套)详见采购文件1,250.00-3-28其他专用仪器仪表电动搅拌机2(台)详见采购文件1,600.00-3-29其他专用仪器仪表数显可调式封闭电炉3(台)详见采购文件1,500.00-3-30其他专用仪器仪表恒温水箱水槽4(台)详见采购文件2,400.00-3-31其他专用仪器仪表真空钨丝炉1(台)详见采购文件200,000.00-3-32其他专用仪器仪表箱式高温炉2(台)详见采购文件42,000.00-3-33其他专用仪器仪表管式电炉1(台)详见采购文件18,300.00-3-34其他专用仪器仪表高温箱式炉1(台)详见采购文件13,900.00-3-35其他专用仪器仪表行星式球磨机2(台)详见采购文件20,000.00-3-36其他专用仪器仪表硬度计1(台)详见采购文件20,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：合同签订后15个日历日内交货。

近年来，随着量子材料研究的兴起对薄膜制备方法的需求更加的多样化，而传统的薄膜制备设备往往只有一种薄膜制备功能，制备一个样品就需要先后在不同的设备中进行操作，并且容易对样品的性质造成破坏，也需要更多的科研经费投入。英国Moorfield Nanotechnology公司立足于多种成熟的薄膜制备设备，并长期收集用户的需求并对产品线进行不断的优化丰富，以满足各种个性化的实验需求。针对目前日趋多样化的需求，Moorfield Nanotechnology公司全新推出了台式高精度溅射与热蒸发系统——nanoPVD ST15A。该系统可以集成金属/绝缘体溅射、金属热蒸发、有机物蒸发功能，在同一台设备中可以实现多种制备手段的组合，将薄膜制备带入了新的高度。有别于传统台式系统仅用于制备电极等简单用途，nanoPVD ST15A系统是真正的学术研究级设备，可以制备多种高质量的薄膜样品。体统通过7英寸触摸屏控制，自动化程度高，各种制备方式可以自由切换。用户可以通过灵活的制备手段在在同一台设备中制备不同的薄膜或者是复合薄膜。nanoPVD ST15A外观图设备技术特点☛ 台式设备配置灵活☛ 磁控溅射、热蒸发、有机物蒸发☛ 三种制备手段可灵活组合☛ 可制备金属、有机物、电介质薄膜☛ 多达3个流量计控制过程气体☛ 高精度自动气压控制选件☛ 全自动触屏操作系统☛ 基片大至4英寸☛ 可选基片加热☛ 本底真空5 × 10-7 mbar☛ 可选共溅射（蒸发）功能☛ 可选晶振膜厚标定功能☛ 定义保存多个制备程序☛ 全面的安全性设计☛ 超净间兼容☛ 稳定的性能左：nanoPVD ST15A 双蒸发源与磁控溅射组合，右：系统的样品台与挡板 背景介绍Moorfield Nanotechnology是英国材料科学领域高性能仪器研发公司，成立25年来专注于高质量的薄膜生长与加工技术，拥有雄厚的技术实力，推出的多种高性能设备受到科研与工业领域的广泛好评。Moorfield公司近十年来与曼彻斯特大学诺奖技术团队紧密合作，推出的台式高精度薄膜制备与加工系列产品由于其体积小巧、性能优异、易于操作更是受到很多科研单位的赞誉。这些设备已经进入了欧洲多所科研院所的实验室，诸如曼彻斯特大学、剑桥大学、帝国理工学院、诺森比亚大学、巴斯大学、埃克塞特大学、伦敦玛丽女王大学、哈德斯菲尔德大学、莱顿大学、亚森工业大学、西班牙光子科学研究所、英国国家物理实验室等单位都是Moorfield Nanotechnology的用户和长期合作者。诸多的用户与合作者让产品的性能和设计理念得到了高速发展，并迈入全球化的进程。Quantum Design中国子公司与Moorfield Nanotechnology正式合作，作为中国的代理和战略合作伙伴，为中国用户提供高性能的设备与优质的服务。除了台式设备之外我们还提供多种大型设备和定制服务。目前国内已有包括清华大学、西湖大学、大连理工大学、广东工业大学、中科院等多个单位采购了不同型号的Moorfield高性能薄膜制备与加工设备。

SILICON SEMICONDUCTOR I 高真空对于电扫描探针显微镜的优势高真空对于电扫描探针显微镜的优势Advantages Of High Vacuum For Electrical Scanning Probe Microscopy 来自IMEC和比利时鲁汶大学物理与天文学系的Jonathan Ludwig，Marco Mascaro，Umberto Celano，Wilfried Vandervorst，Kristof Paredis学者们利用Park NX-Hivac原子力显微镜对MoS2在形态和电学方面进行了研究。2004年，石墨烯作为一类新材料原型的被发现，引起了人们对二维（2D）层状材料的极大兴趣。从那时起，人们合成并探索了各种各样的二维材料。 其中，过渡金属二氯代物 (TMDs) 因其固有的带隙、小的介电常数、高的迁移率和超薄的材质而引起了人们的广泛关注， 这使其有望成为将逻辑技术延伸到5 nm以上节点的候选材料。然而，在300 mm兼容的制造环境中集成此类材料仍然面临许多挑战，尤其是因为在薄片或单个晶粒中观察到的有用特性，高质量TMD层的可控生长、转移和加工仍然是一个关键障碍。 扫描探针显微镜作为一种固有的高分辨率二维技术，是研究TMDs形态和电学特性的强大工具。本技术说明以MoS2为例，利用Park NX-Hivac原子力显微镜系统的功能，探讨了高真空用于电学测量的优势。调查：材料和方法MoS2 用MOCVD在蓝宝石衬底上生长了一系列不同层厚的MoS2样品。所有的测量都是在生长的、未转移的MoS2 / 蓝宝石上进行的。相同材料制成的元件的室温迁移率高达μm~30 c㎡/Vs，较厚样品的平均迁移率更高。图1：（a-c）所研究样品的AFM形貌图。（d）用于测量蓝宝石上多层MoS2的C-AFM装置示意图。（e）显示悬臂在高摩擦区域扫描时如何扭曲的动画。（f）对应于（b）中黑线的形貌横截面，在MoS2岛边缘显示0.6 nm台阶，在蓝宝石台地上显示0.2 nm台阶。所有的图像都是用Gwydion绘制的。比例尺为500 nm。 所有被测样品的原子力显微镜（AFM）图像如图1所示。总共测量了三个样品，其层厚为1-2层，3-4层，还有一个具有金字塔结构，这里称为多层MoS2。1-2层样品由一个完全封闭的单层MoS2薄膜组成，在顶部形成额外的单层岛。这些单层岛构成了第二层生长的开始，在形貌图上可以识别为浅色区域。与此相似，3-4层样品由一个完全封闭的三层MoS2薄膜和附加的单层岛组成。图1（d）显示了3-4层样品的样品结构示例。在这里，每个绿色层代表一层MoS2。除了MoS2岛，我们还看到对角线贯穿每个样本。这些是蓝宝石衬底上的台阶，可以通过2D薄膜看到。蓝宝石阶梯与MoS2层之间可以通过台阶高度明确区分，c面蓝宝石为0.2nm，单层MoS2台阶为0.6 nm，如图1（f）横截面所示。多层样品与其他两个样品不同之处在于MoS2表面具有3D金字塔状结构。这些金字塔位于一个完全封闭的三层结构上，其形成是由于随着层厚的增加，生长机制由逐层向三维转变。增长的细节可以在参考文献12中找到。导电扫描探针显微镜 本文采用两种导电扫描探针显微镜（SPM）来表征MoS2的电子性质：导电原子力显微镜（C-AFM）和扫描隧道显微镜（STM）。在C-AFM中，悬臂梁与材料表面接触，并且同时记录形貌和电流。为了测量电流，在样品台上施加一个偏压，并通过连接到导电AFM探针的外部电流放大器来测量电流。材料的电接触是通过在材料的顶部和侧面涂上银漆来实现的。我们使用商用Pt-Ir涂层探针，如PPP-CONTSCPt或PPP-NCSTPt，其标称弹簧常数在0.2-7N/m之间。由于C-AFM是一种基于接触的AFM技术，它还能够实现其他C-AFM通道的同时一起记录侧向力。横向力显微镜（LFM）测量激光在PSD上的横向偏转，这是由于悬臂梁在扫描表面时的扭转或扭曲而引起的，如图1（e）所示。LFM图像的正向和反向的差异与物质的摩擦力成正比，后者不同于C-AFM，因为裁剪的Pt-Ir导电导线，在我们的例子中，用于测量当探针高于表面几埃时探针与样品之间的隧穿电流。STM可以通过保持高度恒定并记录电流（称为恒定高度模式）或使用反馈保持电流水平恒定并记录高度（恒流模式）来执行。在恒流模式下，高度图像包含形貌和电学信息。C-AFM 在空气中与在高真空中 为了证明二维材料表面水层的重要性，我们分别对空气和高真空（HV）中的相同MoS2样品进行了C-AFM测量，如图2（a-b）和（c-d）。虽然在空气中和在高真空环境中扫描的形貌图像非常相似，但是C-AFM图像有很大的不同。最值得注意的是，在高真空下测量的电流增加了三个数量级。在5V偏压下，空气中的平均电流水平为1.4nA，而在高真空下，平均电流水平为1.1μA。电流水平的提高是由于去除了空气中始终存在于样品表面的薄水层。该水层对MoS?尤其成问题，因为它对材料进行p-掺杂，有效地切断了它的电性。从类似的CVD生长的MoS2器件的电输运来看，在暴露于去离子水两小时后，通态电流严重退化，迁移率降低了40%。图2: 3-4 MoS2样品的C-AFM显示高真空下电流水平和灵敏度增加。(a)和(b)分别是在空气中5V偏压下的形貌图和电流图像。(c)和(d)是在0.5 V偏压下泵送至高真空后立即拍摄的形貌图和电流图像。在空气和高真空中采集的数据采用相同的参数：相同的探针，弹簧常数k为7 N/m，设定值为10 nN，扫描频率为1 Hz。比例尺为500 nm。 除了电流的增加，高真空下的C-AFM图像也显示了更多的细节。从空气中的图像来看，电流是相对均匀的。除此之外，C-AFM 在空气中针对此样品提取不出太多的信息。相比之下，从真空下扫描的电流图，我们可以清楚地看到MoS2层中的晶界。尽管C-AFM探针与材料直接接触，但施加的力很小，因此在重复扫描过程中不会去除MoS2材料。图3所示为同一样品在高压下以~30nN力进行5次扫描后的形貌图，探针的标称弹簧常数为~7N/m。图3: (a)是3-4层MoS2的最初形貌图，（b）是在0.1V设定值下连续扫描5次后的形貌图，使用弹簧常数约为7 N/m的PPP NCSTPt探针。比例尺为50nm。专为晶界分析的C-AFM和LFM 当使用低弹簧常数探针成像时，例如标称弹簧常数为0.2N/m的PPP-CONTSCPt，我们可以用C-AFM同时获得摩擦数据，从而考虑到形貌、电学和材料特性之间的相关性。图3显示了1-2层MoS2样品的高度、摩擦和电流图像。在图3(a)中，第一层和第二层区域分别标记为1Ly和2Ly。晶界处的摩擦比原始区域高，因此它们在摩擦中表现为黑线。通过比较电流和摩擦力，可以看出摩擦图像中的黑线与电流中的黑线相匹配。然而，由于衬底对2D薄膜的局部导电性的影响，电流图像显示了额外的特征。图4：(a)形貌，(b)摩擦，(c)在1-2层生长的MoS2 / 蓝宝石样品上同时获得的电流。各区域的层厚如(a)所示。比例尺为200 nm。扫描隧道显微镜观察MoS2 借助Park NX-Hivac原子力显微镜，我们还能够获得高质量的STM图像，而无需复杂的超高真空系统和特殊的样品制备/处理。图4显示了在恒流模式下成像的多层MoS2样品的500 nm扫描，Iset=0.5nA, Vbias=1V。由于STM给出了形貌与电子结构的卷积，我们在高度图像中看到了层岛和晶界。图5:多层膜的MoS2 / 蓝宝石的STM图像。裁剪的Pt-Ir导线在恒流模式下 。Iset=0.5nA, Vbias=1V。比例尺为200nm。结论 本研究利用Park NX-Hivac AFM系统，对过渡金属二氯生化合物（TMDs）家族的二维材料二硫化钼（MoS2）进行了形态和电学方面的研究。在AFM形貌图像上观察了单层和多层的差异。此外，在多层图像上确定了由逐层生长机制引起的三维金字塔状结构的细节。 利用导电SPM（C-AFM和STM）研究了MoS2在空气中和高真空条件下的电学性能。在高真空条件下，尽管存在氧化层，但测量到的电流信号清晰、均匀、较高。最后，结合C-AFM和LFM获得了晶界分析的形貌、电学和力学信息。这种方法可以在晶界上找到更具体和更详细的结构。 二维层状材料广泛应用于工业和学术的各个研究领域。二维材料电性能和力学性能的表征与探索是材料研究领域的一个重要课题。原子力显微镜是一种多功能的成像和测量工具，它允许我们使用各种成像模式从多个角度评估二维材料。本研究强调材料分析的改进策略。此外，这些结果强调了多方向和多通道分析二维材料的重要性，其中包括半导体工业高度关注的过渡金属二氯代物。References1. K. S. Novoselov, A. Geim, S. V. Morozov, D. Jiang, Y. Zhang, S. V. Dubonos, I. V. Grigorieva, &A. A. Firsov. Electric field effect in atomically thin carbon films. Science306, 666–669 (2004).2. A. K. Geim & I. V. Grigorieva. Van der Waals heterostructures. Nature499, 419–425 (2013).3. K. F. Mak, C. Lee, J. Hone, J. Shan, & T. F. Heinz. Atomically Thin MoS 2?: A New Direct-Gap Semiconductor. Phys Rev Lett105,136805 (2010).4. H. Liu, A. T. Neal, Z. Zhu, Z. Luo,X. Xu, D. Tománek,&P. D. Ye. Phosphorene: an unexplored 2D semiconductor with a high hole mobility. ACS Nano8, 4033–4041 (2014).5. J. Zhao, H. Liu, Z. Yu, R. Quhe, S. Zhou, Y. Wang, C. C. Liu, H. Zhong, N. Han, J. Lu, Y. Yao,&K. Wu. Rise of silicene: A competitive 2D material. Prog Mater Sci83, 24–151 (2016).6. C. R. Dean, A. F. Young, I. Meric, C. Lee, L. Wang, S. Sorgenfrei, K. Watanabe, T. Taniguchi, P. Kim, K. L. Shepard, & J. Hone.Boron nitride substrates for high-quality graphene electronics. Nat Nanotechnol5, 722–726 (2010).7. X. Xu, W. Yao, D. Xiao, &T. F. Heinz. Spin and pseudospins in layered transition metal dichalcogenides. Nat. Phys.10, 343–350 (2014).8. G. Fiori, F. Bonaccorso, G. Iannaccone, T. Palacios, D. Neumaier, A. Seabaugh, S. K. Banerjee,& L. Colombo. Electronics based on two-dimensional materials. Nat Nanotechnol9, 768–779 (2014).9. X. Xi, L. Zhao,Z. Wang, H. Berger, L. Forró, J. Shan,& K. F. Mak. Strongly enhanced charge-density-wave order in monolayer NbSe2. Nat. Nanotechnol.10, 765–769 (2015).10. S. Manzeli, D. Ovchinnikov, D. Pasquier, O. V. Yazyev, &A. Kis. 2D transition metal dichalcogenides. Nat. Rev. Mater.2, 17033 (2017).11. W. Choi, N. Choudhary, G. H. Han, J. Park, D. Akinwande,&Y. H. Lee. Recent development of two-dimensional transition metal dichalcogenides and their applications. Mater. Today20, 116–130 (2017).12. D. Chiappe, J. Ludwig, A. Leonhardt, S. El Kazzi, A. Nalin Mehta, T. Nuytten, U. Celano, S. Sutar, G. Pourtois, M. Caymax, K. Paredis, W. Vandervorst, D. Lin, S. Degendt, K. Barla, C. Huyghebaert, I. Asselberghs, and I. Radu, Layer-controlled epitaxy of 2D semiconductors: bridging nanoscale phenomena to wafer-scale uniformity. Accepted Nanotechnology (2018).13. E. R. Dobrovinskaya, L. A.Lytvynov,& V. Pishchik. Sapphire: material, manufacturing, applications. Springer Science & Business Media, 2009.14. B. Radisavljevic, A. Radenovic, J. Brivio, V. Giacometti, & A. Kis. Single-layer MoS2 transistors. Nat Nanotechnol6, 147–150 (2011).15. A. Leonhardt, D. Chiappe, I. Asselberghs, C. Huyghebaert,&I. Radu. Improving MOCVD MoS 2 Electrical Performance: Impact of Minimized Water and Air Exposure Conditions. IEEE Electron Device Lett38(11) 1606-1609 (2017).

CPB仪器与测量栏目最新发文：基于177.3nm激光的真空紫外光调制反射光谱仪，此装置将有望成为高效无损地探测宽禁带半导体材料电子能带结构高阶临界点的有效光学表征手段，并广泛用于超宽禁带半导体材料及其异质结的电子能带结构研究。光调制反射光谱是通过斩波器周期性地改变泵浦光源对样品的照射来测量半导体材料反射率相对变化的一种光谱分析技术。由于所测差分反射率作为能量的函数在材料电子能带结构的联合态密度奇点附近表现出明显的特征，光调制反射光谱已成为研究具有显著电子能带结构的半导体、金属、半金属及其微纳结构和异质结等材料联合态密度临界点的重要实验技术之一。光调制反射光谱中所使用的泵浦激光的光子能量一般要高于被研究材料的带隙，随着第三代宽禁带与超宽禁带半导体材料相关研究和应用的不断深入，需要更高能量的紫外激光作为光调制反射光谱的泵浦光源。目前国际上已报道的光调制反射光谱系统中，配备的泵浦光最大光子能量约5 eV，尚未到达真空紫外波段。因此，迫切需要发展新一代配备高光子能量和高光通量的泵浦光源的光调制反射光谱仪，使其具备探测超宽带隙材料的带隙和一般材料的超高能量临界点的能力。中科院理化所研制的深紫外固态激光源使我国成为世界上唯一一个能够制造实用化深紫外全固态激光器的国家，已成功与多种尖端科研设备相结合并取得重要成果。此文详细介绍了由中科院半导体所谭平恒研究员课题组利用该深紫外固态激光源搭建的国际上首台真空紫外光调制反射光谱仪（图1）的系统设计和构造，将光谱仪器技术、真空技术、低温技术与中科院理化所研制的177.3 nm深紫外激光源相结合，同时采用双单色仪扫描技术和双调制探测技术，有效避免了光调制反射光谱采集中的荧光信号的干扰，提高了采集灵敏度。该系统将光调制反射技术的能量探测范围从常规的近红外至可见光波段扩展至深紫外波段，光谱分辨率优于0.06 nm，控温范围8 K~300 K，真空度低至10-6 hPa, 光调制反射信号强度可达10-4。通过对典型半导体材料GaAs和GaN在近红外波段至深紫外波段的光调制反射信号的测量对其探测能力进行了性能验证（图2）。此装置将有望成为高效无损地探测宽禁带半导体材料电子能带结构高阶临界点的有效光学表征手段，并广泛用于超宽禁带半导体材料及其异质结的电子能带结构研究。该系统基于中科院半导体所承担的国家重大科研装备研制项目“深紫外固态激光源前沿装备研制（二期）”子项目“深紫外激光调制反射光谱仪”，目前已经初步应用于多种半导体材料在深紫外能量范围内的能带结构和物性研究，并入选《中国科学院自主研制科学仪器》产品名录，将有望在推动超宽禁带半导体材料的电子能带结构研究、优化超宽禁带光电子器件的性能方面发挥重要作用。图1. 深紫外激光调制反射光谱仪图2. 177.3 nm（7.0 eV）激光泵浦下的GaAs在1.2 eV至6 eV内的双调制反射光谱及对应能级跃迁

据国家知识产权局公告，安徽皖仪科技股份有限公司申请一项名为“质谱离子源进样装置及进样方法“，公开号CN117650038A，申请日期为2023年11月。专利摘要显示，本发明公开了质谱离子源进样装置及进样方法，进样装置包括样品打印头、样品床、雾化器以及真空接口。样品的进样方法为，样品从样品打印头喷射到载样纸中；载样纸通过加热器加热，使样品的溶剂挥发，样品在载样纸中形成样品斑，同时，滚筒驱动载样纸绕着滚筒旋转，使样品斑朝向真空接口的方向移动；雾化器喷射的带电溶剂喷雾射向载样纸，使样品斑中的化合物在带电溶剂喷雾中溶解，并被后续的带电溶剂喷雾溅射弹起，形成带电样品‑溶剂液滴；液滴通过库伦爆炸形成带电离子；带电离子在真空接口位置被电场吸引，并进入真空接口内完成进样。该进样装置及进样方法，使样品不需要经过复杂的前处理可以直接上样，降低了工作量。

3月18日，“辐射应急监测能力建设第一批仪器设备采购”项目公开招标，采购金额达1169万元。 项目号：21A00143 采购执行编号：TC219D0D8　　项目名称：辐射应急监测能力建设第一批仪器设备采购　　采购需求：分包号：1分包内容最高限价数量单位简要技术要求超低本底高纯锗伽玛谱仪1,970,000.00元1台超低本底高纯锗伽玛谱仪，具体详见附件招标文件。分包号：2分包内容最高限价数量单位简要技术要求实验室设备一2,490,000.00元2台便携式高纯锗γ能谱仪 1台 流气式低本底α/β测量仪 1台分包号：3分包内容最高限价数量单位简要技术要求实验室设备二2,090,000.00元2台α能谱仪 1台 超低本底液闪谱仪 1台分包号：4分包内容最高限价数量单位简要技术要求中型设备2,120,000.00元1批高气压电离室 1台闪烁体低本底α/β测量仪 1台原子吸收分光光度计 1台紫外可见分光光度计 1台微量铀分析仪 1台微波消解仪 1台真空干燥箱 1台器具干燥箱 1台化学前处理系统 1套分包号：5分包内容最高限价数量单位简要技术要求辐射应急终端及γ相机1,600,000.00元1批辐射应急终端（单兵） 10套γ相机 1套分包号：6分包内容最高限价数量单位简要技术要求电磁环境监测设备1,420,000.00元1批高压直流合成场强检测系统 1套5G移动通信基站选频式电磁辐射监测仪及配套电场探头 1套车载选频式电磁辐射自动分析仪 1套　　合同履行期限：各分包中标人应按本招标文件第二篇规定的到货时间交货到采购人指定地点，完成安装调试并达到验收标准。　　本项目是否接受联合体：否　　开标时间： 2021年4月8日 10:00（北京时间

采用进口品牌高性能真空干泵产生一个洁净的 50 Pa的真空压强，通常抽真空时间小于2-3分钟。采用高品质恒功率RF射频电源，确保工艺重复性。感应射频放电模式也大幅降低等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤。特别适用于对温度或轰击敏感的TEM或SEM生物样品进行清洗、表面活化、亲水化等用途。触摸屏自动控制，即插即用。创新点：1.采用高性能无油隔膜泵，抽真空及等离子处理过程中不会产生二次有机污染物；2.采用ICP远程离子源，使等离子体严格束缚于离子源表面，达到样品表面起清洗作用的是氧活性原子及臭氧分子；3.清洗或活化过程是纯化学反应过程（没有物理溅射作用）；即与样品表面有机污染物（碳氢化合物）发生化学反应，生成CO2，CO，H2O并被真空泵组抽出；最终实现样品表面有机污染物清洗之目的。【SuPro】离子清洗仪IC150

一、项目基本情况项目编号：0705-2240 02012003项目名称：上海期智研究院磁控溅射仪采购预算金额：300.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：300.0000000 万元（人民币）采购需求：包件号项目数量简要技术规格备注1磁控溅射仪1套配置304L不锈钢超高真空不锈钢反应腔体，预留RHEED、RGA等接口，后续可按需升级。沉积腔室可升级集成9个2英寸超高真空溅射靶枪。预算：人民币300万元。 合同履行期限：交货期：收到预付款后8到10个月内。本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：（1） 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；（2） 投标人应为投标产品的制造商或其合法代理商，代理商投标应提供投标产品的制造商针对本项目的唯一授权；（3） 投标人须在投标截止期之前在国家商务部认可的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称机电产品交易平台，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册；（4） 本项目不允许联合体投标；（5） 本项目不允许分包和转包（代理商中标后提供由其投标文件中承诺的投标产品制造商生产的产品不视为转包）。 3.本项目的特定资格要求：（1） 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；（2） 投标人应为投标产品的制造商或其合法代理商，代理商投标应提供投标产品的制造商针对本项目的唯一授权；（3） 投标人须在投标截止期之前在国家商务部认可的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称机电产品交易平台，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册；（4） 本项目不允许联合体投标；（5） 本项目不允许分包和转包（代理商中标后提供由其投标文件中承诺的投标产品制造商生产的产品不视为转包）。三、获取招标文件时间：2022年08月02日 至 2022年08月09日，每天上午8:30至11:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：上海国际招标有限公司电子采购平台方式：电子发售售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间：2022年08月31日 09点30分（北京时间）开标时间：2022年08月31日 09点30分（北京时间）地点：上海国际招标有限公司电子采购平台五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜供应商首次注册应按要求提供《供应商注册专用授权函和承诺书》（可从供应商注册页面下载）和营业执照等扫描件，供应商应当提前准备，尽早办理，以免影响领购招标文件。已注册的潜在投标人可从网站采购公告栏的相应公告或者网站上方“SITC电子采购平台”中进入在线领购招标文件流程。若公告要求提供其他领购资料的，潜在投标人应当上传相关资料的原件扫描件，否则招标代理有权拒绝向其出售招标文件。无需提供领购资料的项目，潜在投标人提交领购申请并支付费用到账后即可下载电子招标文件。项目经理会将纸质招标文件快递给潜在投标人，电子发票将发至投标人登记的邮箱。七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：上海期智研究院     地址：上海市徐汇区云锦路701号40-41层        联系方式：徐瑞；021-54652653      2.采购代理机构信息名 称：上海国际招标有限公司            地 址：中国上海延安西路358号美丽园大厦14楼            联系方式：胡羡聪、刘洲烨；86-21-32173682            3.项目联系方式项目联系人：胡羡聪、刘洲烨电 话：  86-21-32173682

前言　　真空泵是一个量大面广的产品，直接影响真空成套设备性能，其市场根据用户的需要而发生动态变化，市场增长的主要驱动力来自于工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。　　随着中国工业的飞速发展，真空泵需求成倍的增长，90年代，多个国际知名真空设备生厂商都在中国投资建厂或建立销售网络，其中，欧瑞康莱宝真空公司(Oerlikon Leybold Vacuum)是最早进入中国的真空获得设备供应商之一。　　1850年，Ernst Leybold成立莱宝公司，至今拥有159年的真空技术发明创新史：1911年发明了世界上第一台分子泵 1913年发明了世界上第一台扩散泵；1962–1963年推出使用液态氦的低温泵和溅射离子泵；1975年推出磁浮涡轮泵–大胆地不使用机械轴承，是高档涡轮泵的典范 1989年第一个使用集成温度管理系统的涡轮泵；1991年推出KEPLA转子叶片镀膜技术，在蚀刻工艺中用于防止腐蚀；拥有的真空技术专利高达一千余项。　　 　　欧瑞康莱宝真空公司首席执行官Andreas Widl博士　　为了进一步了解欧瑞康莱宝真空的最新产品技术和最新市场状况，仪器信息网采访了欧瑞康莱宝真空公司首席执行官Andreas Widl博士。　　欧瑞康集团 六个领域的佼佼者　　Andreas Widl博士首先向我们介绍了集团的整体情况：欧瑞康公司是瑞士上市的高科技集团公司，有着100多年的历史。2008年，全球拥有19000多名员工 在35个国家拥有170个分支机构 年销售额为47亿瑞士法郞。欧瑞康公司拥有纺织、薄膜涂层、太阳能、真空、传动系统、精密技术六大独立事业部，为制造行业提供生产线和设备。　　纺织事业部提供整厂化纤设备，及气流纺纱、环锭纺纱系统、刺绣系统等。欧瑞康涂层(巴尔查斯)致力于开发各种涂层和涂层工艺。欧瑞康太阳能提供薄膜太阳能电池的完整解决方案。传动系统事业部的产品主要应用于高性能汽车、农用机械等领域。欧瑞康精密技术部侧重于航天技术、光学技术和纳米技术等。　　真空技术事业部(莱宝)致力于真空的获得、控制和检测产品的研发、制造、销售，产品主要用于工业、分析仪器、研发等领域。Andreas Widl博士还说道：“其他每个事业部的业务几乎都与真空技术有关，都是莱宝的用户，其领域是莱宝真空的重要市场。”　　莱宝 全系列真空设备及解决方案的提供者　　欧瑞康莱宝真空是世界上最大的真空获得设备供应商之一，2008年，全球拥有1583名员工，在32个国家拥有分支机构。　　欧瑞康莱宝真空的产品阵容：涡轮分子泵、干式泵和油封泵、前级真空泵、罗茨泵、真空系统、低温泵、低温冷头、扩散泵、真空计、检漏仪、阀门及连接件等。专注的市场主要有：半导体和太阳能、镀膜技术、分析与医疗技术、研究开发、工业应用。　　1、全球生产基地布局　　目前，欧瑞康莱宝真空在四个国家设有工厂，分别是：　　——德国的科隆，公司总部所在地，几乎生产所有系列的产品　　——德国的德累斯顿，专门生产应用于半导体行业的干泵、低温冷凝泵等　　——法国的瓦郎斯，专门生产SOGEVAC、新研发的TRIVAC NT　　——中国的天津，生产RUVAC、TRIVAC C、SOGEVAC，并提供真空解决方案　　“欧瑞康莱宝真空于1997年在天津设立了全资工厂。刚进入中国的时候，只有TRIVAC一个产品线，然而，我们不久就发现单一的产品线无法满足中国庞大的市场需求，于是我们增加了RUVAC罗茨泵与SOGEVAC系列单级油封旋片泵两条真空设备生产线。”　　2、稳步增长的发展战略　　“欧瑞康莱宝真空公司的大量业务来自于传统工业市场，如汽车制造、空调系统和制冷系统、各种光源和电子管、电工、材料表面处理等。”　　“2008年，欧瑞康莱宝真空全球收入2.93亿欧元，息税前利润率达10%，可以说取得了不错的业绩。这些成绩得益于公司在核心市场如工业应用等传统市场仍保持了高的竞争力 在新兴的、快速增长的太阳能领域取得了好业绩 持续研发高投入，保证了欧瑞康莱宝真空的技术领先。”　　“欧瑞康莱宝真空的目标是继续保持好的盈利增长速度，为制造行业提供一流的产品和服务。针对此目标所指定的发展策略是：更着重、更集中于太阳能市场发展业务，研发重点也会集中在太阳能领域 为客户提供创造性旳解决办法，包括不断推出新产品和新技术 在全球推出度身定制真空解决方案和卓越服务的概念。”　　度身定制真空解决方案融入了莱宝几十年来的丰富真空技术、经验以及对真空技术的了解，包括：真空技术资讯、泵等设备的选型、附件的搭配、控制系统的集成、安装调试等。　　3、逐渐壮大的莱宝中国　　“中国是纺织大国，也是汽车生产大国；对于欧瑞康的所有事业部来说，中国都是最重要的市场，也是莱宝真空的主要市场。”　　自进入中国市场以来，公司一直处于盈利状态，探其原因，Andreas Widl博士总结道：“贴近市场，了解客户需求，快速交付产品，及时提供服务，集团公司的充分授权等，是欧瑞康莱宝真空的中国业务保持持续增长的原因。”　　“亚洲尤其中国市场需求的增长速度很快，欧瑞康莱宝真空将集中更多资源，满足这个市场的需求。而所有真空技术和产品都来自于我们的科隆研发中心，未来的趋势是将有更多的技术与产品快速地从科隆转移到中国工厂。”　　“虽然2009年天津工厂的扩张速度会有所放缓，但会一直持续下去。而且欧瑞康莱宝公司在中国的市场战略与其全球战略是一致的，即除了继续关注传统工业以外，还将在太阳能、航空航天等多个与真空相关的领域进一步发展我们的业务。”　　“完善的售后服务是欧瑞康莱宝真空一直在努力的目标，目前在上海、北京和广州都设有销售和服务中心。我们还通过欧瑞康莱宝真空学院对客户进行培训，让他们掌握足够多的技术和具备更高的操作水平。”　　4、创新产品　　就像前言所列出的，多个不同类型的世界第一台真空泵出自欧瑞康莱宝真空，至今，莱宝所拥有的真空技术专利高达一千余项。近年来，不断地推出新产品，这也是欧瑞康莱宝真空保持其良好赢利能力的关键。　　　SOGEVAC BI 　 原使用双级泵作为分子前级泵的用户，现在可以选择SOGEVAC BI，其获得真空能力在单级、双级泵之间，完全可以满足客户需求 并且成本低于双级泵，可为客户节省投资 在真空稳定性能、安全监控等方面也有很好效果。低噪音运行和紧凑的设计，SOGEVAC BI为分析仪器应用特别是质谱分析量身设计。　　TURBOLAB 80　　 　　TURBOLAB 80集成了一个干式无油前级泵和一个80l/s的分子泵，分子泵中又包括一个高真空测量计。该TURBOLAB 80即插即用，集成度高，安装和操作简便。是专为大专院校、科研院所设计的超高真空获得设备。 TRIVAC NT　　TRIVAC NT的温度均匀性好，运行温度更低，使油蒸汽的返流率大大降低，之前设计的油蒸汽的返流率0.360 mg/h，改进后的降至0.044 mg/h，可以当做“无油泵”使用 延长泵油使用寿命，维护间隔长。提高莱宝盈利能力 应对经济危机　　“任何一个公司能够持续发展，必须有相当的盈利能力，才能有足够的资金投入到新产品研发、提高售后服务质量等。”　　Andreas Widl博士指出，欧瑞康莱宝真空将从三个方面提高公司的盈利能力：　　首先，加强识别、满足客户需求的能力，具体有：加大产品研发投入，保持技术领先 提高真空度、抽速、可靠性等产品功效 提高交货及时性。　　其次，也是欧瑞康莱宝真空保持竞争力的核心与根源，即以最低成本，满足客户需求。降低产品成本从产品设计开始，既要达到性能要求，同时又能达到制造成本、客户使用的成本、售后服务成本等更低 之后如何组织生产、选择加工的设备和技术使制造成本更低 最后是销售和服务，提供正确的解决方案，让客户以最低的成本获得适当的产品和服务。总的来说，优化价值链上各个环节的资源配置、技术选择、销售和服务结构的完善，使欧瑞康莱宝真空能够以最低的成本给客户提供最大的价值。　　最后，如何更好地、有效地利用公司资源，其核心是优化库存结构、降低库存水平、加快库存周转，管理好客户信贷、公司相关财务，从根本上改善改善现金流状况。　　Andreas Widl博士说：“通过做好这几方面的工作，即使经济环境很困难，相信欧瑞康莱宝真空也完全有能力渡过，并且未来会更强盛。”　　后记　　真空技术被称为21世纪的朝阳产业，从日常生活必需品如手机、计算机及电视到科研领域的观察原子的显微镜、探索太空的卫星等都离不开真空。莱宝公司是世界上最早生产真空设备的厂家之一，并且一直走在世界真空技术发展的前列，与其对了解客户需求、加强产品研发等的重视是分不开的。　　Andreas Widl博士在中国已经生活了3年多的时间，对中国文字、文化有浓厚的兴趣和很深的了解，采访的最后，他说：“我非常认同中国人对‘危机’的解释，既是挑战也是机遇。在市场陷入困难的时候，欧瑞康莱宝真空更需要的是反思产品、服务的结构，做相应的调整，顺利渡过难关，同时做好准备，迎接下一轮的机遇。”　　采访编辑：刘丰秋　　附录1：欧瑞康莱宝真空　　http://vacuumdetails.oerlikon.com/　　附录2：Andreas Widl博士简介　　Dr. Andreas Widl，魏安德(42岁)，Oerlikon Leybold Vacuum CEO， 1998年毕业于慕尼黑科技大学，持有物理学博士学位。他的工作生涯始于1992年在Mannesmann Pilotentwicklung –Mannesmann的技术智库公司。　　之后在通用电气公司工作5年，担任各种管理职位，负责推动通用电气公司工业和金融市场的合成增长。　　2004年年底他加入瑞士的欧瑞康(原为优利讯)公司担任显示技术部门的执行副总裁，负责该部门的结构重组和太阳能事业部的建设。　　2005年12月，他被任命为欧瑞康公司的亚洲执行官，负责公司从日本、韩国、中国、台湾，东南亚到印度等国家和地区的业务，提升集团的竞争力。　　2007年5月，他被任命为亚洲区总裁。同年8月，他同时兼任全球研发部执行副总裁，负责全球的研发活动。　　2008年10月，他被任命为欧瑞康莱宝真空事业部的首席执行官。魏安德先生已婚，有两个孩子，现居住在上海。