管式炉含预热腔体

OTF-1200X-4-NW-UL是一款用于CVD实验的小型管式炉，常用生长纳米线和各种薄膜。设备左端设计有一反应前驱体预热区，并在预热炉体上安装有各种接口。可导入气体、液体和放入固体反应物。主反应炉体中有一3英寸的样品台，用于盛放基片，样品台与右端滑轨法兰连接，以便于实验操作。 技术参数炉体和预热腔体 主反应炉体炉管尺寸：100mmO.Dx94mmI.Dx750mmL（石英管）最高工作温度为1100℃一个小型预热炉体，安装在设备左端，用于反应前驱体预热预热腔体为30mmOD×150mmL的不锈钢管右端安装有一滑轨法兰，以便于放样和取样在预热炉体和主反应炉体之间有一水冷法兰左端法兰上有4个气体接口（1/8英寸）（点击图片查看详细资料） 电源单相, 220V AC, 50/60 Hz最大功率3.6KW（需要20A的空气开关）加热区主反应炉：440mm恒温区：100mm预热炉体：150mm工作温度主反应炉体：最高工作温度：1100℃（2hrs)连续工作温度：1000℃最大加热速率：20℃/min预热区：连续工作温度: RT~600℃最大加热速率: 20℃/mi温控系统主反应炉体和预热炉分别由两个独立的温控系统控制采用PID方式来调节温度，可设置30段升降温程序采用K型热电偶控温精度：+/- 1℃可选购控温软件，可通过电脑来设置和显示温度程序 密封法兰主反应炉体 右端法兰：水冷却法兰，通过冷却循环水对密封圈进行水冷（可在本公司购买循环水冷机）法兰上有KF25接口，可通过波纹管与真空泵相连接炉体内的样品台与法兰相连接，并且右端法兰为滑轨法兰，以便于放样和取样法兰上安装有一数显防腐真空计（如下图）左端法兰（主反应炉体和预热炉体之间）2个1/8英寸的接口安装在法兰上，可通过这两个接头独立将任何气体导入到主反应炉体中1个1/8英寸的气体管道，将其气体通过预热腔体然后到主反应腔体中重量110kg仪器尺寸右端法兰关闭时的尺寸：1580mm×458mm×585mm（62"L X 18"W X 23"H）右端法兰打开时的最大尺寸：2040mm×458mm×585mm（80"L X 18"W X 23"H）质保一年质保期，终身维护（不包含炉管、密封圈和加热元件）质量认证质量认证所有电器元件（输入电压24V）都通过了UL认证本公司所有高温炉都可通过TUV、UL或CSA认证

用途：大腔体箱式炉可用于新型材料的研究，如:如陶瓷材料的低温排胶，高温烧结、陶模的烘烤、玻璃及陶瓷装饰品等材料的测试和生产。 标准配置：• HT40AL PID控制器（2个升温， 2个保温）• 手动左开门• 三面加热• 电源线• 手动控制的进气阀• 排气口可选附件：• 陶瓷PID控制器（20组程序，每组15个步骤）• Ht205控制器（ 30组程序，每组15个步骤，带LAN接口）• Ht200控制器（ 30组程序．每组25个步骤 ．带LAN和USB接口）• 支架• 五面加热• 中间层陶瓷支柱• 底部保护板• 控制器的测量输入校准• 测量回路校准

PMO8 Cavity Radiometer腔体辐射计/腔体辐射系统PMO8 Cavity Radiometer 腔体辐射计是瑞士达沃斯公司（PMOD/WRC世界辐射中心）于2020年推出的新型绝对腔体辐射系统，它代替了之前的PMO6腔体辐射计，它被广泛作为太阳辐射测量的参考校准仪器，PMO8符合WMO CIMO-指南的一级标准要求。工作原理PMO8是一种电替代辐射计，它的测量原理是以电能代替太阳辐射能。传感器单元Fliana有两个光吸收探测器：一个是用恒定的电力加热的参考探测器（在黑暗中）和一个电加热的有源探测器，这样从两个探测器到公共散热器的热通量是相等的。如果有源探测器暴露在太阳辐射下，保持热平衡所需的电能会因辐射功率的大小而减少。因此，辐射功率可以很容易地作为电功率差来测量；两个探测器的设计使该辐射系统不会受环境的影响而产生偏差。辐射仪技术参数：测量变量：太阳直接辐照度（W/m 2）范围：600–1200 W/m 2响应时间：30~90秒不稳定性（根据ISO 9060:2018）：130 ppm/y光谱误差（根据ISO 9060:2018）：500 ppm温度响应（根据ISO 9060:2018）：350 ppm非线性：200 ppmWRR的可追溯性：优于0.1%极限角度：4度坡度角：1度精密孔径：5mm孔径几何：根据CIMO指南/ISO 9060:2018安装：安装在垂直于入射辐射的板上。或者，可以从侧面安装仪器（管安装）。调节平行：配备目视对准指示孔控制单元控制单元尺寸和重量：235mmx 319mmx 99mm；重量: 3.1 kg传感器单元尺寸和重量: 90 mm x 95 mm x 227 mm；重量: 2kg电源要求：100-240 VAC功耗：最大20W工作温度/条件：-10~+40°C/干燥环境/天气储存温度：-10~+50°C符合性：CE符合性标准：WMO-CIMO一级标准

杰泰 THG容器视频内窥镜 用于检测大腔体钢瓶、锅炉、管道简述：杰泰科技THG系列容器视频内窥镜采用超低感光图像传感器，超亮陶瓷LED光源，探头照度15万+Lx，满足大空腔的检测场景需求！推杆式通过可复原的弹簧式弯曲结构，轻松越过各种大型弯管，再搭配软管式，高效的完成大型管道/腔体的无死角检测。 功能特点：1. 超低感光图像传感器，满足大空腔的检测需求2. 前置超亮陶瓷LED光源，照度15万+Lx3. 可复原弹簧式推杆镜，轻松过弯管4. 软管式360°转向管道镜，检测无死角5. 阻尼式定位设计，精准的探头锁定6. 搭配可伸缩支撑杆，检测集箱、锅炉无障碍

长期供应 真空炉腔体系统 非标定制高真空腔体——按照客户要求，加工订制；——一对一专业出图设计；——可配套指定真空机组系统；——耐高温、耐腐蚀；——高质量、高精度；加工工艺，采用真空焊接技术拼装焊接；先进的真空捡漏设备，更加保证产品的质量；我公司采用三维建模软件，按照实际比例建立三维模型，根据客户文字、语言草图等需求描述，专业设计出适合客户所需产品方案（在方案定稿之前所有设计不收取任何费用）。为了生产出最匹配客户需求的产品，需要告知我公司以下几个问题点：1、产品在使用过程中是否有温度产生，高温和低温分别是多少摄氏度，是否需要通水或液氮冷却等内外在因素。2、对产品材质是否有特殊要求，真空领域腔体常用材质为：碳钢、铝、304不锈钢、316不锈钢等3、产品的链接方式，抽真空的方式，抽真空所用的真空泵等4、腔体真空度的要求，腔体抽完真空以后是否需要冲入保护气体或其他气体。通常常见真空腔体技术性能：材质：304不锈钢或客户指定材质。腔体适用温度范围：-190℃~+1200℃密封方式：氟胶“O”型圈或金属无氧铜密封圈

产品简介：本公司可根据客户要求订制各类真空腔体，您只需要给我们提出功能和要求即可根据您的要求提供合适的腔体，如再购买其它部件如磁控靶、样品台、以及靶电源，就可DIY出磁控镀膜设备。 腔体种类筒形真空腔体球形真空腔体方形真空腔体U形真空腔体异形真空腔体

一、作用原理：（1）真空加热腔体郑州科探仪器KT-Z85X主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为50x50mm，台面可升温到350℃。（2）该腔体设计有进气口和抽真空接口和2-4芯信号真空电极，做多可选用6芯电极。使用时将需检测的器件固定在加热台上，需自行将引入腔体的信号线连接到测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电子信号。二、服务宗旨： 免费上门安装：否 保修期：1年 是否可延长保修期：否 保内维修承诺：免费维修 报修承诺：24小时提供解决方案 免费仪器保养：无 免费培训：电话或者视频沟通 现场技术咨询：无 三、企业概括：公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。四、真空加热腔体郑州科探仪器KT-Z85X技术资料：温控器加热温度35-350℃温控误差±1℃热电偶类型PT100高精度传感器温控表宇电温控器程序控温无（可选30段程序控温表）加热功率≤300W加热电源AC220v尺寸230x230x125MM重量6kg真空腔体腔体材质304不锈钢内腔体尺寸φ85x45mm加热台尺寸φ50mm加热温度350℃信号输出头BNC母头 可选快插接头信号检测线X2根 或 X4根 0.3平方铜线抽气口KF16进气口6MM卡套使用正压≤O.1MPa使用负压机械泵可获得真空≤5Pa 分子泵可获得真空≤10 -3 Pa观察窗内径φ45观察窗材质高透光石英玻璃可选配扩展气体注射硅胶口 SMA905 光纤接口

克普斯镀膜机真空腔体:——按照客户要求，加工订制；——一对一专业出图设计；——可配套指定真空机组系统；——耐高温、耐腐蚀；——高质量、高精度；加工工艺，采用真空焊接技术拼装焊接；先进的真空捡漏设备，更加保证产品的质量；我公司克普斯采用三维建模软件，按照实际比例建立三维模型，根据客户文字、语言草图等需求描述，专业设计出适合客户所需产品方案（在方案定稿之前所有设计不收取任何费用）。常见真空腔体技术性能:材质:不锈钢、铝合金等腔体适用温度范围:-190°C~+1500°C(水冷)空封方式:氟胶O型圈或金属无氧铜圈出厂检测事项:1、真空漏率检测1.3*10-10mbar*//s2、水冷水压检测:8公斤24小时无泄漏检测.内外表面处理:拉丝抛光处理、喷砂电解处理、酸洗处理、电解抛光处理和镜面抛光处理等.不锈钢真空腔体加工,铝合金真空腔体的品质获得并通过|S0 -9001质量标准体系认证,所有产品均经过真空氦质谱检漏仪出厂,产品被用与航空航天、科研、核电、镀膜、真空炉业、能源、医药、冶金、化工等诸多行业,如有需要欢迎咨询！克普斯真空为高校、科研院所设计加工高真空、超高真空的真空腔体，可以根据客户的技术要求(PPT)开发设计，也可以按图(草图、CAD图、照片)设计加工。可以加工的真空腔体形状:方腔、圆柱型、D型及其它要求的形状 可以加工的真空腔体材质:不锈钢材质 (304、304L、316316L)、碳钢材质、铝材质、有机玻璃材质等。真空产品设计能力、完善的真空机械加工体系以及快速的服务啦应支持，承接各种规格型号的真空室开发设计、按图定制等。我们为高真空或超高真空应用设计及制造的各种真空腔体，包括为高校和科研院所设计真空试验腔体、真空环境模拟腔体、真空放电测试腔体、真空激光焊接腔体、CVD反应腔体、真空镀膜室等。另外，客戶订制的真空室都可通过我们的工程设计，与您现有的真空系统融合，成为一套功能完整的系统。也可以通过我们的工程设计，预留标准接口及装配位置，方便您日后增配或更换真空部件，实现系统的升级或功能的转换。我们能定制的真空室结构与材质配置多种结构型态:方腔、圆柱型、D型及其它要求的形状:多种材质:不锈钢材质 (304、304L、316,、316L)、碳钢材质、铝材质、有机玻璃材质。所有材质是经过特别选择的，可达到低磁渗透性的要求。我们的开发设计人员均具有10年以上真空行业工作经验，独立开发设计上百套涵盖真空室的相关产品 我们使用业界*的CNC加工中心以及其它配套的加工机械，并业已形成完善的真空机械加工体系。我们的质量保证及售后服务能力我们的产品严格遵照相关标准，并执行原材料检验、加工在线检测、半成品检测及成品出厂检测，对于非标定制的产品与客户联合检测验收 需要特别指出的是对于真空室，所有接缝处、焊接处及法兰连接处都要通过严格的观察检验及氨质谱检漏仪检漏测试，并对整个系统进行漏率测试，系统漏率优于 8.0x10-8 Pa.L/S.实验室真空系统,真空腔体,真空探针台,克普斯镀膜机真空腔体

ACR-01 绝对腔体辐射仪自校准式测量太阳腔体辐射仪　　　Msolar公司研制的ACR-01绝对腔体辐射仪是一款新型的测量太阳直接辐射的仪器，它采用了一种新型专业的腔体探测器和加热系统组成，广泛应用于气象领域、航空领域、太阳能领域和科研领域．特点用已知电能代替太阳光进行自标定24min被动 周期测太阳光，6min自标定0.5um直径的精密孔径紧凑的电子开关它由腔体辐射计和控制箱组成ACR-01的配置为安捷伦34972a数据采集开关单元（不包括在内）技术指标：全开角度：5°坡度：1°极限角度：4°测量范围：0～1400W/㎡响应时间（95%）：2.5秒主要孔径：Φ6000+0.5um ；25um厚，镀金孔径分离:114.5mm绝对灵敏度：2~3uv/w/㎡ @20℃时非线性：0.001%@700～1400W/㎡修正因子（CF）：0.998温度响应：+0.14%/℃操作温度：-10～+40℃重量：1.25kg材质：铝和不锈钢配置：加热控制箱：配置为安捷伦34903A加热控制箱功耗：12V DC 2A加热线缆和信号线缆：配置为安捷伦34901A引线：6m，PU，加热器，快门，信号ACR-01配置文件：安捷伦34830A Benchlink采集器和软件选配：数据采集：安捷伦34972A控制多路复合器模块：安捷伦34901A控制开关模块：安捷伦34903A控制软件：安捷伦34830A Benchlink采集器和软件电脑和USB线缆太阳辐射跟踪器：APT-01、AST-02、AST-03蓝色光学镜头：光谱范围：0.2-5.6um T=86%

一、设备介绍NE-Q05是一款石英真空等离子处理系统，广泛应用于科研院校，企业研发单位和小批量生产打样。小型石英等离子清洗机结构主要包括控制单元、石英真空腔体、真空泵三部分。等离子清洗机的工作流程为：腔体抽真空—充入工艺气体—电离工艺气体并清洗—去除工件。清洗首先在真空腔体内单种或者多种清洗所需气体，一般为Ar、O2、N2等，外加射频功率在平行电极之间形成交变电场，电子通过电场加速对工艺气体进行冲击使气体发生电离形成离子，作用在被清洗表面，电离产生的粒子与电子数量达到一定规模，便形成了等离子体。等离子体高速撞击材料表面，与被清洗表面污染物发生理化反应，实现材料的清洗，并利用气流将污染物排出腔体。通过等离子清洗可以有效清除被清洗表面污染物、改善表面状态、增加材料的粘附性能、提高材料表面的浸润性能。 NE-Q05 系统功能特点： &bull 真空腔体材质采用石英玻璃，不易与材料表面发生反应，污染清洗样品&bull 等离子发生器采用13.56MHz射频发生器，自动阻抗匹配调谐&bull 触摸屏用户界面+PLC控制，可储存多条工艺程序，全自动运行&bull 配备两路气路通道，气体流量可调，无需再搭配气体混合仪&bull 整体外观处理工艺、机架门板烤漆、耐用、防刮&bull 铝合金自动门：氧化处理、喷砂&bull 电路设计电流过载保护，模块式电路、维修方便快捷&bull 手动、自动、真空保压均可操作，不倒翁橡胶脚杯，自动平衡机器、减震二、设备参数序号项目型号规格参数1等离子体发生器功率0-200W可调频率13.56MHz 固态射频电源2真空反应腔室腔体材质石英耐热玻璃腔体容积5L载物托盘玻璃托盘，平行放置腔体直径（圆形）Φ150×270（D）mm3气路控制气体流量控制器浮子针阀流量控制器， 0-1000ML气路数量最小2路气体，支持氧气，氩气，氮气，氢气，四氟化碳等4真空测量真空计SMC 真空计5抽气系统真空泵飞越 8m3/H极限真空度0.1PA6控制系统触摸屏4.3寸PLC松下PLC模块软件程序自主专利设计等离子控制系统7场务条件电源供应220V气管接口直径8mm气体纯度99.99%气体压力0.3-0.6Mpa排气口KF258整机参数整机功率1000W外形尺寸600mm(L)×450mm(W) ×500 mm(H)重量40kg

德国Max Voggenreiter沃根瑞特公司是世界首屈一指的高温高压设备（大腔体压机）供应商，其产品以可靠性、高质量著称，具有稳定的加压加温性能、卓越的控制精度、易用的自动控制以及完善的安全保护。Max Voggenreiter沃根瑞特提供的高温高压设备广泛分布于全球顶级的高压实验室，拥有BGI实验室、马普所、Element 6、Diamond、ESRF等众多用户。在国内，中科大、中科院物理所、南京大学、吉林大学、地质大学（武汉）等顶级学府也先后引进了Max Voggenreiter沃根瑞特的设备。　　德国Voggenreiter沃根瑞特DIA型、D-DIA型Multi-Anvil大腔体压机，大腔体静高压，提供高温高压条件。适用于新材料制备、高压物性测量、地球科学、同步辐射等诸多领域主要特点：— DIA型 或 D-DIA型 Multi-Anvil分压装置— 样品温度 2000°C，样品压强 10Gpa— 压机最大吨位1000-5000吨— 低压区间，使用传统液压系统，稳定性高。可驱动工作活塞在低压区间快速移动— 高压区间下的压力控制通过强力伺服马达进行调节，可以产生非常陡、或非常平的压力曲线，不产生振动，避免液压系统的压力波动— 压力通过控制系统（Siemens S7）进行监测、控制，通过RS-232接口与计算机进行通讯。实际压力值由装配在压力传输器、工作柱上的两个高精度数字压力传感器测量，传输到控制系统。压力最大误差+/-0.5 bar。— 控制系统可设置20段分段控制程序，每段分别对压力、时间进行设定，产生用户需要的压力曲线，同时将实际压力和设备状态信息传输到计算机。控制系统调节伺服马达，调节实际压力，使其趋近设定压力。— 由于在自动控制下，只有伺服马达对压力进行调节，Max Voggenreiter高温高压设备噪声极小，非常适合实验室使用。长期的使用表明，这种控制方式稳定性高，维护成本极低。

德国Max Voggenreiter沃根瑞特公司是世界首屈一指的高温高压设备（大腔体压机）供应商，其产品以可靠性、高质量著称，具有稳定的加压加温性能、卓越的控制精度、易用的自动控制以及完善的安全保护。Max Voggenreiter沃根瑞特提供的高温高压设备广泛分布于全球顶级的高压实验室，拥有BGI实验室、马普所、Element 6、Diamond、ESRF等众多用户。　　Walker型 & Kawai型Multi-Anvil分压装置是目前应用最广泛的6-8式二级加压高温高压装置。　　德国Voggenreiter沃根瑞特Kawai型、Walker型6-8式二级加压大腔体压机，压强25Gpa，温度2500度，德国技术，控压精准，稳定性高。适用于新材料制备、高压物性测量、地球科学等诸多领域。在高温超导体、拓扑绝缘体、超硬材料等领域都有应用案例主要特点：— Walker型 或 Kawai型 Multi-Anvil分压装置— 样品温度 2500°C，样品压强 25Gpa— 压机最大吨位1000-5000吨— 低压区间，使用传统液压系统，稳定性高。可驱动工作活塞在低压区间快速移动— 高压区间下的压力控制通过强力伺服马达进行调节，可以产生非常陡、或非常平的压力曲线，不产生振动，避免液压系统的压力波动— 压力通过控制系统（Siemens S7）进行监测、控制，通过RS-232接口与计算机进行通讯。实际压力值由装配在压力传输器、工作柱上的两个高精度数字压力传感器测量，传输到控制系统。压力最大误差+/-0.5 bar。— 控制系统可设置20段分段控制程序，每段分别对压力、时间进行设定，产生用户需要的压力曲线，同时将实际压力和设备状态信息传输到计算机。控制系统调节伺服马达，调节实际压力，使其趋近设定压力。— 由于在自动控制下，只有伺服马达对压力进行调节，Max Voggenreiter高温高压设备噪声极小，非常适合实验室使用。长期的使用表明，这种控制方式稳定性高，维护成本极低。

1、通过PLC维持真空系统内部真空2、维持可维持-3Pa真空度——按照客户要求，加工订制；——一对一专业出图设计；——可配套指定真空机组系统；——耐高温、耐腐蚀；——高质量、高精度；加工工艺，采用真空焊接技术拼装焊接；先进的真空捡漏设备，更加保证产品；我公司采用三维建模软件，按照实际比例建立三维模型，根据客户文字、语言草图等需求描述，专业设计出适合客户所需产品方案（在方案定稿之前所有设计不收取任何费用）。为了生产出最匹配客户需求的产品，需要告知我公司以下几个问题点：1、产品在使用过程中是否有温度产生，高温和低温分别是多少摄氏度，是否需要通水或液氮冷却等内外在因素。2、对产品材质是否有特殊要求，真空领域腔体常用材质为：碳钢、铝、304不锈钢、316不锈钢等3、产品的链接方式，抽真空的方式，抽真空所用的真空泵等4、腔体真空度的要求，腔体抽完真空以后是否需要冲入保护气体或其他气体。通常常见真空腔体技术性能：材质：304不锈钢或客户指定材质。腔体适用温度范围：-190℃~+1200℃密封方式：氟胶“O”型圈或金属无氧铜密封圈出厂检测事项：1、真空漏率检测：标准检测漏率：1.3*10-8PaL/S 2、水冷水压检测：标准检测压力：8公斤24小时无泄漏检测。内外表面处理：拉丝抛光处理、喷砂电解处理、酸洗处理、电解抛光处理和镜面抛光处理等。实验室真空系统,真空腔体,真空探针台

焊接工艺真空腔体，材质是采用45号钢材，加工完成后再进行焊接，工艺采用航空航天焊接技术，对于真空要求较高的部件，技术突破采用内焊工艺，来保证腔体-8pa真空度长期保压效果，支持不同规格的定制。

超高真空多腔体镀膜系统——按照客户要求，加工订制；——一对一专业出图设计；——可配套指定真空机组系统；——耐高温、耐腐蚀；——高质量、高精度；加工工艺，采用真空焊接技术拼装焊接；先进的真空捡漏设备，更加保证产品的质量；我公司采用三维建模软件，按照实际比例建立三维模型，根据客户文字、语言草图等需求描述，专业设计出适合客户所需产品方案（在方案定稿之前所有设计不收取任何费用）。为了生产出最匹配客户需求的产品，需要告知我公司以下几个问题点：1、产品在使用过程中是否有温度产生，高温和低温分别是多少摄氏度，是否需要通水或液氮冷却等内外在因素。2、对产品材质是否有特殊要求，真空领域腔体常用材质为：碳钢、铝、304不锈钢、316不锈钢等3、产品的链接方式，抽真空的方式，抽真空所用的真空泵等4、腔体真空度的要求，腔体抽完真空以后是否需要冲入保护气体或其他气体。通常常见真空腔体技术性能：材质：304不锈钢或客户指定材质。腔体适用温度范围：-190℃~+1200℃密封方式：氟胶“O”型圈或金属无氧铜密封圈出厂检测事项：1、真空漏率检测：标准检测漏率：1.3*10-8PaL/S 2、水冷水压检测：标准检测压力：8公斤24小时无泄漏检测。内外表面处理：拉丝抛光处理、喷砂电解处理、酸洗处理、电解抛光处理和镜面抛光处理等。实验室真空系统,真空腔体,真空探针台超高真空多腔体镀膜系统

设备规格：1.全自动操作模式，Robot自动上片取片、RFID识别；2.双腔体生产模式，单个腔体适应于2英寸-12英寸晶圆，支持(300mmx300mm)样品；3.退火温度范围300℃-1400℃；4.升温速率≦100℃/sec(裸片)；5.温度均匀性≦±1%；6.真空腔体（可选配常压腔体或正压腔体）；7.冷却方式包括水冷和氮气吹扫；8.MFC控制，3-5路制程气体；工艺应用:快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；离子注入/接触退火；高温退火；高温扩散；金属合金；热氧化处理。应用领域：化合物半导体（砷化镓、氮化物、碳化硅等）；多晶硅；太阳能电池片；MEMS；功率器件；IC晶圆；LED晶圆。

真空腔体来自普发真空的定制化、面向解决方案的真空室真空系统的核心部件是完全符合应用的真空腔体。普发真空的真空腔体满足最严格的质量和工程要求，以实现客户定制化规格的完美真空解决方案。它们的使用范围包含了中真空到超高真空，也可根据压力设备指令 (2014/68/EU) 作为压力容器用于设计、建造和测试，以实现超压级别高于 0.5 bar。我们制造的所有真空腔体均经过检漏测试，可根据技术要求进行改造，可装配必要的配件。普发真空是为流程所有阶段提供一站式服务的供应商。辅助您找到最适合您应用、设计、制造、质量保证、安装和现场服务的解决方案。标准真空室我们的 TrinosLine 标准真空腔体范围包括完全定制室的替换品，具备成本优势和快速传递的特点。该选项允许多种标准的基本机身与自选端口相结合以满足您的要求。对于最多样的应用，预置标准真空腔体可以替换单个定制室。有四种默认的基本机身：立方体式、圆柱式、水平式或垂直式和模块式。端口的数量和位置可进行定制，从而与您的具体应用相协调。得益于标准化常备的基本机身和预置的建设，同单个定制室相比，交货时间和成本要小得多。产品优势行之有效的可靠设计定制化出口快速交货时间下列设计可供选择：高真空室立方式高真空室水平式高真空室垂直式高真空室垂直式中真空室垂直式模块室组件定制化真空腔体我们多年的经验确保了我们几乎熟悉所有的具体应用，我们也能为您提供系统规格，设计和工程方面的详细建议。我们的工作范围满足您的需求：我们迈向成品的第一步包括产生想法概要以及一整套图。定制真空腔体根据我们客户的要求进行了精确改造。我们的专家具备所有细分市场下广大范围应用相关的丰富经验。资深物理学家、设计工程师、项目经理和生产专家之间协调无间的合作，为您的应用打造出量身定做的真空腔体。我们的客户包括许多著名的大型研究设施和大学，我们为其提供 UHV 真空腔体，低温恒温器和加速器组件，客户还包括业内著名的客户，其开发生产领域由我们配备真空腔体。应您的要求，我们也提供下列服务：消磁退火，烧毁，最终真空残余气体分析和常温室内的尺寸检查物料在标准室中我们使用不锈钢 1.4301/304 作管道，室壁和 ISO 法兰，使用不锈钢 1.4307/304L 作 CF 法兰。所有可能的奥氏体不锈钢和铝合金可用作其它腔室物料。在 950°C 以上的真空退火后，对于很低的脱气率和高强度，优质不锈钢 1.4429 ESU/316LN ESR 可用。我们可应要求为物料提供 3.1 认证。表面处理我们的标准内部和外部处理是玻璃珠喷砂。表面也可进行砂纸磨光、打磨和电抛光、化学染色和钝化以及真空退火处理。选项您的真空室可以用很多方式进行扩展。我们提供大量的配件、附件和内置部件以及附加服务选择。水冷，C 型轮廓，轴枕冷却或双层墙加热框架内置部件，例如安装支架、装配桌等附件，例如阀门、组件等清洁房间条件下的装配FEM 计算压力容器的设计和制造理想泵科技真空测量技术产品测试除强制泄漏测试和功能测量控制外，还进行深入的测试。综合氦气泄漏测试压力测试3D 测量残余气体分析电子绝缘测试渗透性测试染料渗透检查焊缝 X 光检查认证依照 DIN EN ISO 9001 的质量管理系统依照 DIN EN ISO 3834-2 的压力容器焊接制造者依照 AD 2000-Merkblatt（须知）的压力容器制造者依照 EN 287-1、EN 287-2 进行测试的 HP0 焊接者依照 EN 1418 进行测试的操作者多项焊接程序要求

环境敏感性材料真空测试腔体主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为50x50mm，台面最高可升温到最高350℃。该腔体设计有进气口和抽真空接口和2-4芯信号真空电极，做多可选用6芯电极。使用时将需检测的器件固定在加热台上，需自行将引入腔体的信号线连接到测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电子信号。环境敏感性材料真空测试腔体 技术资料温控器加热温度35-350℃温控误差±1℃热电偶类型PT100高精度传感器温控表宇电温控器程序控温1段（可选30段程序控温表）加热功率≤300W加热电源AC220v尺寸230x230x125MM重量6kg真空腔体腔体材质304不锈钢内腔体尺寸φ85x45mm加热台尺寸φ50mm最高加热温度350℃信号输出头BNC母头 可选快插接头信号检测线X2根 或 X4根 0.3平方铜线抽气口KF16进气口6MM卡套使用正压≤O.1MPa使用负压机械泵可获得真空≤10Pa 分子泵可获得真空≤10 -3 Pa观察窗内径φ45观察窗材质高透光石英玻璃可选配扩展气体注射硅胶口 SMA905 光纤接口液氮冷却扩展口 升级30段控温郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业，如今公司的产品已经遍布国内大多数实验室 及科学院校，科探仪器已经成为老师 同学和信任的品牌。 公司以科技创新为主，服务社会为宗旨，积极设计开发新型材料制备设备，奉献于教育和科学，经过长期的研发和不断地技术积累，拥有热工，制造，控制相关技术10余项，为化学，物理，材料，电子，高分子工程，新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师 同学强强联合，形成了有效的信息，技术交流平台，为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持！ 目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉 CVD供气系统 等离子清洗机 小型离子溅射仪 小型蒸镀仪 石英管真空封口 半导体等。 主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。 公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

上海那艾实验仪器设备[那艾仪器厂家]网站 全国送货厂家一手货! 品质保证!实验仪器非电子产品,使用效率和售后服务很重要。我们同品质比价格,同价格比效率,同效率比售后。设备仪器属于精密设备 客户订单录档案 免费1年质量保质,任何问题提供配件保养维护上海那艾仪器专注以实验仪器设计、研发,生产,销售为核心的仪器企业,目前销售生产有一体化蒸馏仪,中药二氧化硫蒸馏仪,COD消解仪,高氯COD消解仪,硫化物酸化吹气仪,全自动液液萃取仪,挥发油测定仪等等。 红外测温智能微波消解仪规格有：NAI-WB6、NAI-WB8、NAI-WB10、NAI-WB12、NAI-WB16、NAI-WB20、NAI-WB24等更多样品量。微波消解仪器采用微波非脉冲连续自动变频控制，延长了仪器的使用寿命和电磁波的均匀性，腔体采用大容积不锈钢腔体材料特制而成，自锁式缓冲防爆炉门，当反应异常时，缓冲结构确保操作人员人身安全和炉门结构完整无损，炉门和腔体结合紧密，微波泄漏符合国家标准。仪器采用温、压双控系统对消解实验的压力和温度进行控制，实时显示。360°同向连续旋转，微波均匀，保证各个样品微波环境相同，提高实验结果的一致性。当罐内的压力超过设定的保护值时，微波会自动停止加热。安全防爆膜具有双保险功能，当罐内的压力超过防爆膜所能承受的压力时，防爆膜先行破裂，气体泻出，防止罐体受损和对人体的伤害。 适用标准GB 5009.12-2017 食品安全国家标准 食品中铅的测定GB 5009.17-2014 食品安全国家标准 食品中总汞及有机汞的测定GB 5009.268-2016 食品安全国家标准 食品中多元素的测定HJ 491—2009 土壤 总铬的测定 火焰原子吸收分光光度法HJ 678-2013 水质 金属总量的消解 微波消解法HJ 680-2013 土壤和沉积物 汞、砷、硒、铋、锑的测定微波消解/原子荧光法HJ 832-2017 土壤和沉积物 金属元素总量的消解 微波消解法技术参数产品型号NAI-WB6 / 8 / 10 / 12 / 16 / 20 / 24 反应罐数（套）6 / 8 / 10 / 12 / 16 / 20 / 24 电源要求220V AC 50Hz 15A微波源双磁控管，专业微波源，工业级微波电源输出功率 0~2200W （根据配置调节功率）输出特性微波非脉冲连续自动变频控制，0～100%自动输出均匀性垂直双向波导设计，三维输出技术微波腔体66L，316级全不锈钢腔体，6层防腐耐高温特氟隆涂层防爆炉门自锁式缓冲防爆炉门排风和冷却系统炉腔配备大功率排风系统，通风采用耐酸蚀，腔内具有风冷功能转盘设计360°同方向连续旋转控制方式采用德国西门子PLC8寸触摸屏8寸TFT-LED（800X480彩）大屏幕显示保护功能具有故障自检系统控温范围0~350℃；控温精度：±0.3℃；实际使用温度300℃以下内罐材质聚四氟材料；进口改性聚四氟乙烯，TFM材质防爆外套管采用高强度进口宇航材料PEEK反应容积70ml、100ml选择（标配70ml）

智能微波消解仪CYWB-12不锈钢腔体CYWB系列高通量智能微波消解仪是指在密闭容器里，采用微波加热原理，在高温高压条件下达到样品前处理目的的仪器。并为样品提供了快速，安全，自动化的解决方案仪器，应用于食品、环境保护、疾病控制、质量监督、商品检验、科研院所等领域。 主要特征：CYWB系列高通量智能微波消解仪采用微波非脉冲连续自动变频控制，延长了仪器的使用寿命和电磁波的均匀性，自锁式缓冲防爆炉门，当反应异常时，缓冲结构确保操作人员人身安全和炉门结构完整，炉门和腔体结合紧密。仪器采用温、压双控系统对合成实验的压力和温度进行控制，实时显示。当罐内的压力超过设定的保护值时，微波会自动停止加热。安全防爆膜具有双保险功能，当罐内的压力超过防B膜所能承受的压力时，防B膜先行破裂，气体泻出，防止罐体受损和对人体的伤害。技术参数：型号CYWB-6CYWB-10CYWB-12CYWB-16主机参数电源：220-240 VAC 50/60Hz 8A； 微波频率：微波源/2450MHz；微波输出功率：0~1600W自动连续可调；微波输出特性：微波非脉冲连续自动变频控制，0～100自动输出；微波腔体：52L，316级全不锈钢腔体，6层防腐耐高温特氟龙涂层；耐腐蚀，耐高温；排风和冷却系统：炉腔配备大功率排风系统，各种反应可在通风，安全和易于观察的环境下长时间连续进行。炉腔通风采用耐酸蚀，大风量离心式风机，排风量不小于5m3/min；炉腔内具有风冷功能，持续为反应罐降温，温度和压力实时显示。控制系统参数控制方式：触摸屏设计，8寸TFT-LED（800X480彩）大屏幕显示，远距离直读反应进程，实时显示密闭反应罐温度、压力，并可实时显示温压曲线；温度控制范围：0~300℃；控温精度：±0.5℃；温度控制系统：采用接触式控温方式，控温精度高，使用铂电阻温度传感器；实时检测控制并显示微波消解反应罐内的温度和曲线；压力控制系统：采用非接触式控压方式，控压精度无误差，实时检测控制并显示微波消解反应罐内的压力和曲线；压力控制范围：0~6MPa，0~10MPa，0~15MPa可选；控压精度：0.01MPa；压力保护：超压自动调整/停止微波发射并自动报警；反应罐参数温度可达300℃以上，压力可达1500psi；外罐采用进口PEEK宇航材料，内罐材质：聚四氟材料；内罐反应容积：100ml；高压消解罐批处理量6个样品/批；高压消解罐批处理量10个样品/批；高压消解罐批处理量12个样品/批；高压消解罐批处理量16个样品/批； 智能微波消解仪保护措施：溶样罐的安全泄压孔如果反应异常剧烈大量气体产生使密封活塞不断上升，当上升到超过设计压力（5MPa）高度时，高压气体就会从安全泄压孔泄出。溶样罐的安全爆裂膜当气体急速产生，安全泄压孔来不及泄出时，此时由于溶样杯压力不断增加，使密封碗裙边承受不了而破裂，避免了整个消解罐的破裂。消解炉的安全防护罩如果由于操作上的不当或误将有突发性化学反应或爆炸性的物品装进消解罐进行微波加热时而发生爆炸，则防护罩可有效地挡住炉门和炉腔内的爆炸物蹦撒出来伤人。

产品说明Product DescriptionJTWB系列高通量智能微波消解仪是指在密闭容器里，采用微波加热原理，在高温高压条件下达到样品前处理目的的仪器。并为样品提供了快速，安全，自动化的解决方案仪器，主要应用于食品、环境保护、疾病控制、质量监督、商品检验、科研院所等领域。主要特征Principal CharacterJTWB系列高通量智能微波消解仪采用微波非脉冲连续自动变频控制，延长了仪器的使用寿命和电磁波的均匀性，腔体采用52L大容积不锈钢腔体材料制作而成，自锁式缓冲炉门，当反应异常时，缓冲结构使操作人员人身安全和炉门结构完整，炉门和腔体结合紧密，微波泄漏符合相关标准。仪器采用温、压双控系统对合成实验的压力和温度进行控制，实时显示。360°往返连续旋转，微波均匀，使各个样品微波环境相同，提高实验结果的一致性。当罐内的压力过设定的保护值时，微波会自动停止加热。安全膜具有双保险功能，当罐内的压力过膜所能承受的压力时，膜先行破裂，气体泻出，防止罐体受损和对人体的伤害。技术参数Technical Parameter型号JTWB-4JTWB-6JTWB-10JTWB-12JTWB-16主机参数电源：220-240 VAC 50/60Hz 8A； 微波频率：微波源/2450MHz；微波输出功率：0~1600W自动连续可调；微波输出特性：微波非脉冲连续自动变频控制，0～100自动输出；微波腔体：52L，全不锈钢腔体，6层防腐耐高温特氟龙涂层；耐腐蚀，耐高温；排风和冷却系统：炉腔配备大功率排风系统，各种反应可在通风，安全和易于观察的环境下长时间连续进行。炉腔通风采用耐酸蚀，大风量离心式风机，排风量不小于5m3/min；炉腔内具有风冷功能，持续为反应罐降温，温度和压力实时显示。控制系统参数控制方式：触摸屏设计，8寸TFT-LED（800X480彩）大屏幕显示，远距离直读反应进程，实时显示密闭反应罐温度、压力，并可实时显示温压曲线；温度控制范围：0~300℃；控温精度：±0.5℃；温度控制系统：采用接触式控温方式，控温无误差，使用铂电阻温度传感器；实时检测控制并显示微波消解反应罐内的温度和曲线；压力控制系统：采用非接触式控压方式，控压无误差，实时检测控制并显示微波消解反应罐内的压力和曲线；压力控制范围：0~6MPa，0~10MPa，0~15MPa可选；控压精度：0.01MPa；压力保护：过压自动调整/停止微波发射并自动报警；反应罐参数温度可达300℃以上，压力可达1500psi；外罐采用PEEK宇航材料，内罐材质：聚四氟材料；内罐反应容积：100ml；高压消解罐批处理量4个样品/批；高压消解罐批处理量6个样品/批；高压消解罐批处理量10个样品/批；高压消解罐批处理量12个样品/批；高压消解罐批处理量16个样品/批；膜片采用陶瓷压紧，陶瓷受热不变形； 适用范围Application Range可以应用到消解、萃取、蛋白质水解等多种分析化学的样品前处理工作中，另外微波有机合成也以其应用优势将取代传统的合成方法。诸如原子吸收光谱仪原子荧光光谱仪，电感耦合等离子体发射光谱仪电感耦合等离子体质谱联用仪高效液相色谱仪，气相色谱仪等分析仪器的样品制备，越来越多的实验室采用了微波样品处理系统来替代耗时、费力、污染严重的方法。微波消解仪的消解是一种前处理方式，使用微波快速加热密闭反应容器中的样品和酸，使样品迅速被破坏分解，反应后形成澄清的溶液，可满足后续分析仪器（ICP、AAS、AES等）进样要求并完成检测。微波消解技术是利用微波的穿透性和激活反应能力加热密闭容器内的试剂和样品，可使制样容器内压力增加，反应温度提高，从而大大提高了反应速率，缩短样品制备的时间。并且可控制反应条件，使制样精度更高.减少对环境的污染和改善实验人员的工作环境。微波消解仪应该具备哪些主动安全措施：　　1、采用高精度的温度与压力控制系统，操作人员通过观察温压变化的数据和曲线了解机器远行情况。其软件模块在斜率失控时可主动停止运行，大大降低爆罐的概率的可能性。　　2、具备实时温压异常监控系统，当高精度温压控制系统失效时，该系统作为备份措施及时感应并停止操作，确保安全。　　3、选用高强度耐高温容器材料。　　微波消解仪微波的特性　　（1）金属材料不吸收微波，只能反射微波。如铜、铁、铝等。用金属（不锈钢板）作微波炉的炉膛，来回反射作用在加热物质上。不能用金属容器放入微波炉中，反射的微波对磁控管有损害。　　（2）绝缘体可以透过微波，它几乎不吸收微波的能量。如玻璃、陶瓷、塑料（聚乙烯、聚苯乙烯）、聚四氟乙烯、石英、纸张等，它们对微波是透明的，微波可以穿透它们向前传播。这些物质都不会吸收微波的能量，或吸收微波极少。物质吸收微波的强弱实质上与该物质的复介电常数有关，即损耗因子越大，吸收微波的能力越强[2]。家用微波炉容器大都是塑料制品。微波密闭消解溶样罐用的材料是聚四氟乙烯、工程塑料等。

详细介绍：设备规格:全自动操作模式，机械手臂自动上片取片；多腔体生产模式，单个腔体适应于2英寸-12英寸晶圆或者最大支持300mmx300mm样品；退火温度范围300℃-1250℃；升温速率≦100℃/sec(裸片)；温度均匀性≦±1%；真空腔体（可选配常压腔体或正压腔体）；冷却方式包括水冷和氮气吹扫；MFC控制，3-5路制程气体。工艺应用:快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；离子注入/接触退火；高温退火；高温扩散。金属合金；热氧化处理；应用领域：化合物半导体（砷化镓、氮化物、碳化硅等）；多晶硅；太阳能电池片；MEMS；功率器件；IC晶圆；LED晶圆。

主要技术参数指标（该性能指标可在环境温度为+5~+35℃测定）：1.结构： 1.1 工作室尺寸：有效工作尺寸：高1180mm宽1150mm深1100mm ；（可定制！） 1.2 外形尺寸：见示意图； 1.3 保温层厚度：90mm； 1.4 支撑脚；100mm 1.5 加热器位置：腔体四周； 1.6 抽气口位置：侧面，由电磁阀控制； 1.7 放气口位置：配置充气电磁阀； 1.8 开门方式：单开门； 1.9 控制箱位置：右侧； 1.10硅橡胶耐高温密封圈； 1.11 配置水冷循环系统； 1.12 配置鼓风循环系统；2.主要性能： 2.1 工作温度范围：室温+15℃~150℃； 2.2 仪表精度：±1℃； 2.3 温度均匀度：±5℃（空箱，120℃，稳定2小时后）； 2.4 升温时间：≤120分钟（空箱，25℃~120℃）；降温时间：≤240分钟（空箱，150℃~85℃）； 2.5 控温方式：PID调节； 2.6 真空度：30分钟内至10Pa 2.7 24小时平均漏气量：≤100Pa/h； 2.8 箱外表面温度：≤室温+20℃；3.电气容量： 3.1 电源：AC380V 3相4线 50Hz 3.2 加热功率：15KW； 3.3 鼓风功率：370W 3.4 电流：25A 3.5 空气开关容量：30A4.保安装置： 4.1 空气开关（防止过流和短路） 4.2 过流保护（防止电流过高） 4.3 超温保护（防止工作室温度过高，保护产品），超温报警5.其他可满足的功能要求 5.1设备运行控制系统为PLC程序控制，可进行大于9个步次的程序设定。触摸屏采用三菱品牌。 5.2温度控制：温度控制采用PID控制SSR开关。温度传感器采用K型双保护壳热电偶。当工作室温度超过设定值5℃时，停止加热并报警。 5.3安全功能： 加热均具有超温保护功能，真空报警，氮气压力报警，压缩空气压力报警，冷却水流量报警，风扇过载报警，急停按纽，漏电保护。 5.4设备总重量小于2500Kg. 5.5真空泵及管道由厂家提供。 5.6程序可以控制间隔设定的时间充入定量氮气，设好程序后自动运行。 5.7真空度、温度自由调整，可在某一固定温度和某段真空度范围条件下自动保持。 5.8设备控制系统为PLC程序控制，温度均匀、真空度可靠。自动计时，当温度升温到设定值时设备开始计时，计时达到设定值时，设备停止加热，处于真空保持状态，流程具有密码保护功能。PLC能够自动采集存储烘干过程中温度、真空度数据并记录保存。 5.9真空泵由数显真空计自动控制。 5.10真空箱的箱门密封圈保证耐油耐热不易脱落且更换方便。 5.11箱体内上下左右全部要具有加热管，4组加热管使用单独的热电偶及PID控制单元进行控制。箱体内部有风扇，使箱体内部温度均匀并在风扇循环分部位有热电偶检测控制常压气氛下的温度。 5.12提供设备操作、维护、维修等说明书，常见故障分析说明。

技术部 黄经理：工程部 陈经理：设备型号：HM-Plasma5L腔体材质：不锈钢。供电电源：AC 220 V。工作电流：1.2 A(不含真空泵)。射频电源功率：0-300 W可调。射频频率：40 kHz。频率偏移量：小于0.2 kHz。特性阻抗：50欧姆，自动匹配。真空度：1-30 Pa。气体路数：双路气体输入（可自动控制气体流量配比）。气体流量：10-100 ml/min(可调)。过程控制：PLC人机界面自动与手动方式，遥控、外接电脑控制方式可选。清洗时间：1-6000 s可调。刻蚀速率：1-10 nm/min。功率大小10%-100%可调。内腔尺寸直径150×270 mm (容积~5 L )。外形尺寸：510×450×420 mm。重量：45 kg。真空泵：2XZ-4。真空室温度：小于65°C。冷却方式：强制风冷。样品托盘：石英+不锈钢双托盘。全套消音设备确保整机运行无噪声。自动检测压力值与程序运行阶段，启动与终止表面活化过程。

真空测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为50x50mm，台面可升温到高温350℃。该腔体设计有进气口和抽真空接口和2-4芯信号真空电极，做多可选用6芯电极。使用时将需检测的器件固定在加热台上，需自行将引入腔体的信号线连接到测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电子信号。温控器加热温度35-350℃温控误差±1℃热电偶类型PT100高精度传感器温控表宇电温控器程序控温1段（可选30段程序控温表）加热功率≤300W加热电源AC220v尺寸230x230x125MM重量6kg 目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉、CVD供气系统、等离子清洗机、小型离子溅射仪、小型蒸镀仪等，主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。

产品详情法国Plassys超高真空多腔体电子束镀膜机MEB550SL3详细介绍超高真空多腔体电子束蒸镀系统磁控溅射、电子束蒸镀、超高真空、镀膜、约瑟夫森结、超导、量子器件、量子比特、多腔体、Qubit、UHV、铌基超导、氮化铌、钛氮化铌、NbTiN、NbN、sputtering systemEvaporation system、Nb-based superconductor、超导铝结、Josephson junction品牌：PLASSYS 型号：MEB 550SL3 产地：欧洲 法国 应用：约瑟夫森结（Al, Nb, NbN, NbTiN） 超高真空多腔体电子束蒸发镀膜仪电子束蒸镀仪是纳米器件制备中必不可少的仪器，用于蒸镀各种高纯金属薄膜，如Ti, Au, Ni, Cr, Al, Al2O3等。电子束蒸发沉积法可在同一蒸发沉积装置中安装多个坩埚，使得可以蒸发和沉积多种不同的高质量金属薄膜。开展量子计算机实验研究，如基于金刚石NV色心，离子阱，超导量子结，量子点电子自旋的研究，均需要蒸镀各种高质量金属薄膜来制备量子器件，特别是在利用超导量子结来实现量子计算的实验研究中，Josephson结的制备最为关键：需要在非常干净的蒸镀腔里进行，而且需要在不同的角度上蒸镀两次，两次之间需要注入氧气进行金属氧化。所以样品台必须具有三维的旋转功能，同时，蒸镀腔内还需要有可以注射氧气及其他气体来实现清洁和氧化过程。 推荐配置：可以用于沉积Ti, Ni, Au, Cr, Al, Al2O3等金属及氧化物薄膜，目前全球主要超导量子实验室均使用该设备制备超导Al结（量子比特和约瑟夫森结）和量子器件，可以制备大面积、高度稳定性和可重复性超导结。更详细信息或资料，请咨询我们！ 预处理腔：衬底旋转、倾斜（3D）；干泵+ 分子泵 真空度10-8 T 蒸发镀膜腔：电子枪6-15KW； 样品台： 。可加载4英寸衬底； 。衬底可加热到800℃ 。衬底旋转、倾斜， 。倾斜精度和重复性优于0.1°（可升级） 真空泵系统： 。干泵 + 低温泵； 。真空度10-10T或10-11T 膜厚控制仪： 。频率分辨率10-4Hz或更高； 。速率分辨率10-3nm/s； 。厚度分辨率10-2nm 残余气体分析仪 反应蒸镀：氧气气路+MFC 氧化腔体： 。静态/动态氧化 。臭氧发生器/原子氧发生源/辉光放电； 。卤素灯加热至最高200℃ 。残余气体分析仪分子泵 + 干泵；真空度10-8 T 全自动软件包，支持半自动和手动模式，支持远程网络操作和维护。典型用户：耶鲁大学、日本NTT、中科院物理所、中科大、南大、南方科技大学

Kawai型大腔体压机_6-8式二级加压高温高压装置品牌：洛克泰克（RTK）型号：Kawai型产地：湖北武汉厂商：湖北洛克泰克仪器股份有限公司特点：Kawai型6-8式二级加压高温高压装置，开放式结构多引线测量更方便。利用碳化钨压砧，可在样品上产生 20Gpa高压， 2000°C高温。技术优势：① 带自动控制系统对压力进行监测、控制，通过网络与上位机进行通讯。实际压力值由数字压力传感器测量，传输到控制系统② 控制系统分段控制程序，每段分别对压力、时间进行设定，产生用户需要的压力曲线，同时将实际压力和设备状态信息传输到计算机。PLC调节伺服电机，调节实际压力，使其趋近设定压力③ 在自动控制下，只有伺服电机对压力进行调节，高温高压设备噪声极小，非常适合科研实验室使用，设备稳定性高，维护成本极低技术参数Ø Kawai型 Multi-Anvil ApparatusØ 样品温度 2000°C，样品压强 20GpaØ 压机最大吨位1000、2000吨Ø 压机行程150mmØ 低压区间，使用传统液压系统，稳定性高。可驱动工作活塞在低压区间快速移动Ø 高压区间下的压力控制通过伺服电机进行调节，压力最大误差+/-0.5 barØ 带自动控制系统对压力进行监测、控制，通过网络与上位机进行通讯。实际压力值由数字压力传感器测量，传输到控制系统Ø 控制系统分段控制程序，每段分别对压力、时间进行设定，产生用户需要的压力曲线，同时将实际压力和设备状态信息传输到计算机。PLC调节伺服电机，调节实际压力，使其趋近设定压力Ø 在自动控制下，只有伺服电机对压力进行调节，高温高压设备噪声极小，非常适合科研实验室使用,设备稳定性高，维护成本极低

双腔体等离子体原子层沉积系统 QBT-T原子层沉积（Atomic layer deposition)是通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应腔体内并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种技术，具有自限性和自饱和。原子层沉积技术主要应用是在各种尺寸和形状的基底上沉积高精度、无针孔、高保形的纳米薄膜。 产品描述厦门韫茂科技公司的双腔体等离子体原子层沉积系统（QBT-T），设备采用双腔体设计，腔体之间可实现独立控制，双倍产出。腔体分别为PEALD腔室，粉末ALD腔室。由于双腔体双功能的独特设计，使设备可以在平片上实现等离子体ALD的生长工艺以及粉末ALD包覆工艺，设备配有独立控制的300℃完整加热反应腔室系统，保证工艺温度均匀。该系统具有专利粉末样品桶、晶圆载盘、全自动温度控制、ALD前驱体源钢瓶、自动温度控制阀、工业级安全控制，以及现场RGA、QCM、臭氧发生器、手套箱、极片架等设计选项。是先进能源材料、催化剂材料、新型纳米材料,半导体领域研究与应用的最佳研发工具之一。主要技术参数QBT-T 技术参数 Technical Specifications （TiN, ZnO, Al2O3, TiO2等制备）腔体双腔体设计（1个硅片PEALD腔室，1个粉末ALD腔室），每个腔体独立控制，双倍产出等离子体 Plasma最大3kW RF自匹配电源最大基板尺寸Max Wafer SizeФ150mm (可定制）高精准样品加热控制 Wafer HeatingRT-300±1℃前驱体 Max Precursor最大可包括3组等离子体反应气体 8组液态或固态反应前驱体, Max 3 Gas and 8 Liquid/Solid Precursors 臭氧发生器Ozone Generator可选配，生产效率15g/h人机界面 HMI全自动化人机操作界面安全Safety工业标准安全互锁Industry Safety Interlock，报警Alarm，EMO

产品特点：PID自动调节控制器通过将样品暴露在高温、高压和高湿的严酷条件下，来评估产品的耐受能力的可靠性测试设备产品内部由不锈钢制成温度传感器紧贴在腔体内部，可以准确控制样品温度产品参数：型号IR-PCT-350-600S室容积65L*3（垂直类型）温度范围80-150℃控制器数字 PID 控制器（包含计时器）压力范围高达 9.5kg/cm2（安全认证）仪表0~20 kg/cm2材质内腔304不锈钢传感器PT 100隔热材料陶瓷纤维门快速夹钳类型搁板2个加热器类型SUS加热器容积3~5 kw x 3 set尺寸（W*D*H）内部φ350*660外部1100*1300*2200mm电源380V 3P 60Hz安全装置过温和压力限制

真空测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为50x50mm，台面可升温到高温350℃。该腔体设计有进气口和抽真空接口和2-4芯信号真空电极，做多可选用6芯电极。使用时将需检测的器件固定在加热台上，需自行将引入腔体的信号线连接到测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电子信号。温控器加热温度35-350℃温控误差±1℃热电偶类型PT100高精度传感器温控表宇电温控器程序控温1段（可选30段程序控温表）加热功率≤300W加热电源AC220v尺寸230x230x125MM重量6kg 目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉、CVD供气系统、等离子清洗机、小型离子溅射仪、小型蒸镀仪等，主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。