克柔姆公司首次在国内电子气行业创建完成对含氟特气碳酰氟(COF2)中的无机组份和氟碳化合物杂质的分离技术与检测方法仪器要点:1. 配置Agilent-7890B色谱平台,仪器性能优异;2. 配置高灵敏度的检测器Agilent 7890 D3 -PDHID;3. 仪器配套性能优异的Agilent openLAB CDS反控色谱工作站软件,事件与操作极好;4. 仪器采用双六通阀不同定量管进样切换功能,专适应对大含量杂质CO2的分离,及其他杂质的分离技术成套兼容性: 1、本公司采购配套的Agilent 7890 PDHID D-3-I-7890A-220氦离子化检测器,包括HID的放大电路板为VICI公司与安捷伦公司指定的标准件,技术上的兼容性由标准件厂家负责;不存在克柔姆公司选择不佳之处。2、克柔姆公司技术上对成套氦离子化气相色谱仪的方案负责,以及对氦离子色谱仪所配套的载气独立气路负责;该方案是本公司多年成熟与完善的特种气体分析分离系统。2.1柱温箱2.1.1温度范围:室温以上40℃-450℃2.1.2温度设定:温度1℃;程序设定升温速率0.1℃2.1.3升温速度:0.1℃/min~120℃/min2.1.4温度稳定性;当环境温度变化1℃时,优于0.01℃2.1.5程序升温:20阶21平台2.1.6最大运行时间:999.99分钟2.1.7降温速率:从450℃降至50℃不多于6分钟(22℃室温下)2.8 数据处理系统2.8.1全中文工作站2.8.2参数输入:仪器控制参数,数据采集及计算处理参数的设定;2.8.3报告:内置多种报告格式,可自动生成系统适应性报告、峰纯度报告、光谱检索报告等;用户也可编辑个性化的报告模板;2.8.4在线帮助及教程:每个对话框,均有在线帮助,提示用户设定适合的参数;内置30余套培训教程以供用户自主学习工作站操作;2.8.5在线诊断:内置多项对各组件的自动测试程序,用户可根据仪器使用情况,随时检查仪器性能;内置多种色谱常见问题及其解决方案;2.8.6早期维护预警:提供消耗元件累计使用情况,以便及时进行系统预防性维护;2.8.7电子日志:实时记录仪器使用操作情况,随时查阅仪器状态。五:色谱分离系统配置: 5.1 色谱柱/ Analytical column色谱柱 : Chrom / Gel VCR 接头密封管件 Chrom / 5A VCR 接头密封管件 Chrom / POLT Q 接头密封管件 5.3 仪器检测限仪器主要应用于气体中微量杂质的分析,具体内容详见下表:气体种类需分析特气的杂质种类HeH2O2N2COCO2R14、R32、R143a、R22、R12、R21、R116仪器的最小检测限(PPb)101010251010-15 COF2样气取样与吹扫系统 在线分析: 用户自己配套工程COF2在线取样气管道 5.5 载气纯化器/ Carrier Gas PurifierSpecifications: Valco HP-2-220 1台Gases purifiedHe , Ne, Ar, Kr, Xe, RnMax. Operating pressure1000psiMax operating temperature400℃Max. Flow rate 1 liter/minImpurities removedOutlet impurities less than 10 ppb H2O,H2, O2,N2, NO, NH3, CO, and CO2,based on 100 ppm total inlet impurities. Other impurities removed include CF4, CCl4, SiH4, and hydrocarbons such as CH4 Impurities not removedHe , Ne, Ar, Kr, Xe and Rn 5.6 专用附件/ Accessory Package Ultra high purity regulator with G5/8等同CGA350 fitting 超高纯调压器Metering valve, 1/8" 1/8"计量阀 Gaskets for VCR connections, 1/8" VCR垫片 1/8“ Gaskets for VCR connections, 1/4“ VCR垫片 1/4“Nut and Ferrule 螺帽及卡套 5.7 样瓶接口 采用 用户样气在线式取样管线1/4 -1/8 5.8 标准气体 配W21.8针阀(He平衡气1): H2 、O2、Ar、 N2、CO、CO2 配5 PPM ------ 用户自配(He平衡气2): 氟碳化合物组份 配5 PPM ------ 用户自配
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