痕量级气体分析仪

LTGA-200激光痕量气体分析仪是聚光科技（杭州）股份有限公司在多年激光气体分析仪技术积累的基础上推出的用于测量ppb级的专用分析仪器。LTGA-200结合半导体激光吸收光谱技术和长光程低吸附测量气室技术，实现了针对高吸附性痕量气体的稳定检测。产品采用标准机箱式设计，适配标准19英寸机柜，为环境大气、特定区域（如工业园区）大气的有毒有害气体和恶臭气体监测提供了优质的解决方案。检测精度高；稳定、可靠；标定便携、测量可靠；直接测量；

产品简介LTGA-200激光痕量气体分析仪结合半导体激光吸收光谱技术和长光程低吸附测量气室技术，实现了针对高吸附性痕量气体的稳定检测。产品采用标准机箱式设计，适配标准19英寸机柜，为环境大气、特定区域（如工业园区）大气的有毒有害气体和恶臭气体监测提供了解决方案。产品特点● 检测精度高● 稳定、可靠● 标定便捷，测量可靠● 直接测量应用领域工业园区、厂区边界

产品简介高精度痕量气体分析仪（TGA-327）是一款专为半导体行业空气分子污染分析（AMC）测量氟化氢(HF)而设计的专业仪器，采用光腔衰荡光谱技术（CRDS），具有超高的灵敏度，其检测下限可达ppt级别。不需要现场校准，非常适合连续测量。 该分析仪内部管路都进行了特殊涂层，可以有效的减小氟化氢(HF)分子在管道壁上的吸附，加速测量的响应时间并消除测量偏差。同时分析仪采 用小体积腔设计，能够进一步提升测量速度。 光腔衰荡光谱（CRDS）与离子迁移谱（IMS）和离子色谱传统技术相比，具有探测下限低、响应时间快、无需耗材等显著优势，该分析仪具有更优的长期稳定性和低维护性，是半导体行业AMC连续监测的理想选择。产品特点（1）ppt级别的灵敏度、精度以及准确度（2）免标定，低漂移（3）响应时间快（4）连续监测（5）无耗材成本应用领域半导体行业AMC连续监测、洁净室监测、FOUP监测

产品简介高精度痕量气体分析仪（TGA-321）是一款专为半导体行业空气分子污染分析（AMC）测量氨气(NH3)而设计的专业仪器，采用光腔衰荡光谱技术（CRDS），具有超高的灵敏度，其检测下限可达ppt级别。不需要现场校准，非常适合连续测量。 分析仪内部管路都进行了特殊涂层，可以有效的减小氨气(NH3)分子在管道壁上的吸附，加速测量的响应时间并消除测量偏差。同时分析仪采用小体积腔设计，能够进一步提升测量速度。 光腔衰荡光谱（CRDS）与离子迁移谱（IMS）和离子色谱传统技术相比，具有探测下限低、响应时间快、无需耗材等显著优势，该分析仪具有更优的长期稳定性和低维护性，是半导体行业AMC连续监测的理想选择。产品特点（1）ppt级别的灵敏度、精度以及准确度 （2）免标定，低漂移 （3）响应时间快（4）连续监测 （5）无耗材成本应用领域半导体行业AMC连续监测、洁净室监测、FOUP监测

产品简介高精度痕量气体分析仪（TGA-323）是一款专为半导体行业空气分子污染分析（AMC）测量氯化氢(HCl)而设计的专业仪器，采用光腔衰荡光谱技术（CRDS），具有超高的灵敏度，其检测下限可达ppt级别。不需要现场校准，非常适合连续测量。 该分析仪内部管路都进行了特殊涂层，可以有效的减小氯化氢(HCl)分子在管道壁上的吸附，加速测量的响应时间并消除测量偏差。同时分析仪采用小体积腔设计，能够进一步提升测量速度。 光腔衰荡光谱（CRDS）与离子迁移谱（IMS）和离子色谱传统技术相比，具有探测下限低、响应时间快、无需耗材等显著优势，该分析仪具有更优的长期稳定性和低维护性，是半导体行业AMC连续监测的理想选择。产品特点（1）ppt级别的灵敏度、精度以及准确度 （2）免标定，低漂移 （3）响应时间快（4）连续监测 （5）无耗材成本应用领域半导体行业AMC连续监测、洁净室监测、FOUP监测

概述： 痕量级杂质气体比如烃类、H2O、CO、CO2、NOx、N2、H2S等会对高纯氦、高纯氢、高纯氮、其他高纯气体以及烯烃类气体的生产带来危害，会损坏生产设备和影响生产质量，甚至对使用这些气体的装备带来致命威胁。杜克泰克公司与芬兰干涉公司合作研发的DKF10-MH型痕量级多组分气体分析仪专门专业监测并分析ppm微量级、ppb超微量级杂质气体。原理： DKF10-MH多气体分析仪基于红外光声光谱技术，拥有脉冲红外光源，通过窄带光学滤波片，形成中红外区10个光谱波段，用于气体分析；超高灵敏度基于专利的拥有增强悬臂梁光学麦克风技术，可通过10种光学窄带滤波片实现，极窄的光学滤波可去除背景气体的干扰；多个光谱区域可有利于最小的交叉灵敏度。对采样响应结果按照改进的经典最小二乘法进行数据校准。 光声光谱技术可实现短光路光程的高灵敏度测量，更进一步提高了非线性补偿技术，可实现宽量程可达5级的线性动态量程比。气体：烃类：CH4、C2H6、C2H2、C2H4等 无机气体： CO2、CO、N2O、SO2、NO、NO2, NH3、NF3、SF6、H2O等 挥发性有机物VOCs：丙酮、乙醇、甲醇、苯、 甲苯、二甲苯、甲醛等 氟利昂（CFCs）及 全氟化碳（PFCs）: CF4、 C2F6、R-134a、R13等 腐蚀性气体：HF、HCL、HCN等 麻醉剂：异氟烷、七氟烷、地氟烷、安氟醚等；其他气体：N2、H2、O2、氯气等（可选、扩展探头）； 被测气体可定制； 应用：高纯气杂质气体 泄漏检测 过程质量控制 熏蒸气体 工业安全和卫生 废麻醉气体 家禽养殖，生猪养殖 农业 温室气体 大气污染物排放 发酵其他痕量气体分析特性：同时测量高达9种气体 ppb,sub-ppm级的检测限 即采即测、实时分析、秒级响应时间长的标定周期、低的样气量 高分辨率图形显示界面,友好人机交互界面 丰富的可编程测量任务 图形和表格显示全部气体的测量结果 内置趋势查看监控任务,不需要外部的电脑 无耗材、免维护4~20mA模拟量、RS232、RS485通讯坚固耐用的外壳设计 优点：带有增强悬臂梁光学麦克风的红外光声光谱 技术 电子脉冲红外光源 镀金采样气室恒定温度50℃专利超灵敏的基于MEMS悬臂梁传感器光学麦克风，耦合激光干涉测量悬臂梁微观移动 19"3U工业机箱，适用于全部台式或机架固定安装 内置带有5.7"前置显示器的嵌入式计算机 可设置气体报警阈值 数据存储约2GB，连续存储9种气体可达1年 测量结果可以通过U盘，USB口，Ethernet网口，串口导出 后面板有四路气体连接口，两路为采样接口， 配有粉尘颗粒物过滤器自动补偿温度、压力等变化工况的干扰 自动去除包括水汽、颗粒物等采样气体的干扰

光声光谱痕量级甲醛气体分析仪、甲醛气体检测需求背景高于0.1ppm含量的甲醛能导致健康问题，例如喉咙酸痛、皮肤刺痛、恶心、眼睛流泪或咳嗽。甲醛也是典型的致癌物质，长期与甲醛气体接 触也可能会导致癌症，比如白血病。 光声光谱痕量级甲醛气体分析仪、甲醛气体检测技术甲醛气体分析仪，是基于中红外QCL量子级联激光器光源和增强型悬臂梁光学麦克风技术的结合， 特别是针对甲醛的极窄“指纹”吸收光谱，两种最新技术的结合保证了足够灵敏度和高线性的测量，尤其是针对背景气体复杂的微量甲醛测量。超高稳定性和可靠性，保证重复性标定周期从十几个月到几年，是很好性价比的分析方案。 光声光谱痕量级甲醛气体分析仪、甲醛气体检测测量特性响应时间：根据通道积分时间(C.I.T.)和气体置换冲洗周期，典型从5秒到3分钟检测限:0.1ppb到小于1ppb动态量程：典型5级(100000倍检测限)重复性：小于1%的测量值，限于校准的精度校准气体的浓度准确度：典型2-5%，受限于标准气体浓度准确度和其他标准装置的准确度温度稳定性：在温度工作范围内无影响压力稳定性：在压力工作范围内无影响

产品概述LP1激光光声光谱气体分析仪，集成了高精度高选择性可调谐可控光谱的半导体激光器光源，和宽动态量程的悬臂梁增强型光声光谱技术。零背景噪声技术提供了连续几个月不需重复校准的高稳定性，这一特性使得LP1是需要ppb、ppt痕量级浓度测量要求工况的理想选择。高灵敏度和多种激光器光源选择仪器工作在非谐振模式，采用不同的调制模式可以同时测量来自两种激光器光源的信号，由此产生的光声光谱信号当量直接量化了在光声光谱采气样室内不同被测气体的浓度。激光器的调制波长和低压测量的利用，使得分析不同混合气体具有极好的选择性，基于此背景噪声信号最小化技术，使测量结果微漂移以及长的标定周期。对于选择每种适合的激光器光源，目前LP1能够装配宽范围的NIR近红外半导体激光器，并连续增加可选择的激光器。例如量子级联激光器(QCL)，或近红外光学参量振荡器(IROPO)，持续增加气体测量量程，并增强仪器的优异功能。特性根据工况要求可配置多种激光器光源同时分析多组分气体ppb级测量高选择性低采样量&宽动态范围长标定周期免维护内置2点采样标定界面友好温度和压力波动补偿多功能分析任务操作界面图片化测量结果图文并茂无耗材&无可移动零件应用气体杂质温室气体空气质量职业安全过程控制自动化生产制冷剂泄露呼气分析安防安检天然气和合成气土壤分析技术具有悬臂梁增强型光学麦克风的半导体激光器光声光谱采气样室恒定温度50℃拥有专利权的超灵敏光学麦克风，基于MEMS悬臂梁传感器，19”3U工业机箱内置5.7”彩色显示屏的工控计算机可设置被分析气体的报警检测限内置存储器2GB，超过1年的最短采样间隔连续测量数据存储通过U盘或者PC连接USB口、Ethernet网口、串口进行数据传输仪器背部有四路进气口，其中两路客户可定制过滤装置和净化装置。自动补偿温度和压力波动带来的误差环境操作条件:工作温度:0°C~+45°C工作湿度:通用参数尺寸：48.4cmWx13.9cmHx44cmD(19,1inWx5,5inHx17.3inD)重量:约13kg总采样量30ml气体连接：6/4mm管电气连接：输入电压:100~240Vac,50~60Hz输入功率:100W接口通讯接口:Ethernet,USB,RS232,RS485测量特性响应时间：典型5S，可定制；检测限：典型ppb级，根据气体可定制动态量程：典型5个量级(1:100,000)重复性：

概述痕量级杂质气体比如烃类、H2O、CO、CO2、NOx、N2、H2S等会对高纯氦、高纯氢、高纯氮、其他高纯气体、标准气体以及烯烃类气体的生产带来危害，损坏设备和影响生产质量，甚至对使用这些气体的设备带来致命威胁。芬兰干涉公司独家专利研发的GASERA-F10型痕量级多组分气体分析仪专门专业监测并分析ppm微量级、ppb超微量级杂质气体。原理GASERA-F10多气体分析仪基于红外光声光谱技术，拥有脉冲红外光源，通过窄带光学滤波片，形成中红外区10个光谱波段，用于气体分析；超高灵敏度基于专利的拥有增强悬臂梁光学麦克风技术，可通过10种光学窄带滤波片实现，极窄的光学滤波可去除背景气体的干扰；多个光谱区域可有利于最小的交叉灵敏度。对采样响应结果按照改进的经典最小二乘法进行数据校准。光声光谱技术可实现短光路光程的高灵敏度测量，更进一步提高了非线性补偿技术，可实现宽量程可达5级的线性动态量程比。 气体1）烃类：CH4、C2H6、C2H2、C2H4等2）无机气体： CO2、CO、N2O、SO2、NO、NO2, NH3、NF3、SF6、H2O等3）挥发性有机物VOCs：丙酮、乙醇、甲醇、苯、 甲苯、二甲苯、甲醛等4）氟利昂（CFCs）及 全氟化碳（PFCs）: CF4、 C2F6、R-134a、R13等5）腐蚀性气体：HF、HCL、HCN等6）麻醉剂：异氟烷、七氟烷、地氟烷、安氟醚等；7）其他气体：N2、H2、O2、氯气等（可选、扩展探头） 8)被测气体可定制；应用高纯气杂质气体 泄漏检测过程质量控制 熏蒸气体工业安全和卫生 废麻醉气体 家禽养殖，生猪养殖 农业 温室气体大气污染物排放 发酵液态烃中杂质气体 其他痕量气体分析特性 1）同时测量高达9种气体2） ppb,sub-ppm级的检测限3）即采即测、实时分析、秒级响应时间4）长的标定周期、低的样气量5）高分辨率图形显示界面,友好人机交互界面6）丰富的可编程测量任务7）图形和表格显示全部气体的测量结果8）内置趋势查看监控任务,9）不需要外部的电脑10）无耗材、免维护11）4~20mA模拟量、RS232、RS485通讯12）坚固耐用的外壳设计 优点1）带有增强悬臂梁光学麦克风的红外光声光谱 技术2）电子脉冲红外光源3）镀金采样气室恒定温度50°C4）专利超灵敏的基于MEMS悬臂梁传感器光学麦克风，耦合激光干涉测量悬臂梁微观移动5）19"3U工业机箱，适用于全部台式或机架固定安装6）内置带有5.7"前置显示器的嵌入式计算机 可设置气体报警阈值7）数据存储约2GB，连续存储9种气体可达1年8）测量结果可以通过U盘，USB口，Ethernet网口，串口导出9）后面板有四路气体连接口，两路为采样接口， 配有粉尘颗粒物过滤器10）自动补偿温度、压力等变化工况的干扰11）自动去除包括水汽、颗粒物等采样气体的干扰技术参数1）响应时间：据通道积分时间(C.I.T.)和气体置换周期，典型30s到几分钟；2）检测限：根据气体，典型sub-ppm，可定制；3）重复性：1%测量结果，在标定条件下4）准确度：典型2~5%5）动态量程：典型5级，（100,000倍检测限）6）零点漂移：±1检测限/年7）量程漂移：3%测量值/年8）工作条件：温度范围：0 °C – +45 °C湿度范围：低于90% RH, 无凝露压力范围：大气压防护等级： IP20 (IEC 529)振动试验：33 Hz强振9）储存条件： 温度范围：-20 °C – +60 °C10）采样条件：温度范围：0 – +49 °C 无凝露压力范围：930 mbar – 1100 mbar湿度范围：露点+8 °C 或更高气体流量：约1L/m颗粒物： 1 μm 11）总采气量：30mL ，可配抽气泵（负压100hPa）最远距离100米；12）气体接口： 带有快速插头的6/4mm管，可定制；13）尺寸：48.4cm Wx13.9cm Hx40.5cm D (19.1in Wx5.5in Hx16.0in D)14）重量：约13 kg15）电气接口工作电源：100 - 240VAC, 50 - 60 Hz输入功率：100W 通讯接口：Ethernet、USB、RS232、RS485标准低压测量指令2006/95/EC 和电磁兼容EMC指令2004/108/EC EN 50270: 2006, EN 61000-3-2: 2006, EN 61000-3-3: 1995 + A1: 2001 + A2: 2005, EN 61010-1: 2001 安全标准：EN61010-1 (2001), IEC 61010-1 (2001), CAN/CSA-C22.2 No. 61010-1 (2004)和UL 61010-1 (2004 incl. rev. 2005)

产品概述　　E11 痕量级NOx分析仪是基于化学发光法技术测量ppb~ppm级NO、NO2的分析仪，为环境空气质量监测系统的分析仪之一，用于检测和评价环境空气质量参数（SO2、NOx、CO、O3、PM10）之一的NO2浓度水平。产品特点　　E11 具有高响应度，高重复性，高精确度和操作简便等优点。仪器的测试数据和状态信息（故障、温度、流量、压力等）均可实现自动传输、查询等，可供主管部门方便地、准确地判断空气质量水平；　　支持分密级远程访问、操作(含工控机控制的异常情况关机等)、自动零满校准、检查和软件升级；　　中文彩屏更适合中国区域的使用，显示内容更加丰富，人性化的人机界面，常用功能快捷键化；　　自动存储校准数据和相关信息、报警信息，信息可分密级查看、读取。产品原理　　E11 痕量级NOx分析仪工作的基本原理是化学发光法荧光测试技术。NO与高浓度O3混合后产生激发态的NO2，激发态的NO2在返回基态时，发出特征荧光，通过荧光光强可以对物质进行定量测量。产品应用环境空气质量分析 室内空气质量分析；移动实验室；化工厂烟气排放测量；医用气体中NO2的测量；烟气排放的稀释后监测；生产过程气体浓度测量；其他低排放监测。

产品概述　　E10 痕量级二氧化硫（SO2) 分析仪是基于紫外荧光技术测量ppb~ppm级SO2的分析仪，为环境空气质量监测系统的分析仪之一，用于检测和评价环境空气质量参数（SO2、NOx、CO、O3、PM10）之一的SO2 浓度水平。产品特点　　E10具有高响应度，高重复性，高精确度和操作简便等优点。仪器的测试数据和状态信息（故障、温度、流量、压力等）均可实现自动传输、查询等，可供主管部门方便地、准确地判断空气质量水平；　　光源光强衰减自检功能，提醒客户及时更换光源，保证检测数据的有效性；　　支持分密级远程访问、操作(含工控机控制的异常情况关机等)、自动零满校准、检查和软件升级；　　中文彩屏更适合中国区域的使用，显示内容更加丰富，人性化的人机界面，常用功能快捷键化；　　自动存储校准数据和相关信息、报警信息，信息可分密级查看、读取。产品原理　　E10二氧化硫分析仪工作的基本原理是紫外荧光法。SO2分子接收紫外线能量成为激发态分子，在返回基态时，发出特征荧光，通过荧光光强可以对物质进行定量测量。产品应用环境空气质量分析 室内空气质量分析；移动实验室；化工厂烟气排放测量；纸浆、造纸厂的气体排放监测；污水处理设备的废气排放监测；烟气排放的稀释后监测；生产过程气体浓度测量。

甲醛气体分析仪，简单而友好的人机交互界面带有高分辨率显示和单一旋转按钮，另外，使用者可以通过智能手机、平板和另一些设备来控制气体分析仪。技术甲醛气体分析仪，是基于中红外QCL量子级联激光器光源和增强型悬臂梁光学麦克风技术的结合，特别是针对甲醛的极窄“指纹”吸收光谱，两种最新技术的结合保证了足够灵敏度和高线性的测量，尤其是针对背景气体复杂的微量甲醛测量。超高稳定性和可靠性，保证重复性标定周期从十几个月到几年，是很好性价比的分析方案。优点l独立恒定的内置气体交换系统l无耗材，非化学法l便携式现场应用l单点标定，宽动态量程，短光程l无漂移分析，基于直接的吸收测量l两路内置采样测量和宽动态范围，提供不同时间点前后的测量比较l高选择性，避免醛类或者其它VOCsl交叉干扰特性l可选择性测量甲醛l0.1ppb到小于1ppb的检测限l响应时间可配置，从几秒到几分钟l宽的动态量程和恒定操作l无耗材l少的采样量（几毫升）l内置气体交换系统l长的标定周期（十几个月到几年）

Gasera三参数温室气体痕量气体分析仪一、仪器简介温室气体（GHG）是当今环境问题的热点议题。GHG中占比大的气体，如CO2和H2O等已经得到广泛和深入的研究；而痕量气体，如N2O和CH4，受限于监测技术，仍处于发展阶段，特别是其还涉及碳氮的源汇，更受到研究学者的重视和关注。除此之外，土壤GHG的排放监测，也是研究温室气体源汇、环境大气与土壤交互作用、碳氮循环研究等的重要手段，具有重大意义。Gasera痕量气体测量系统采用灵敏悬臂梁增强光声光谱探测技术，结合量子级联激光（QCL），在中红外光谱吸收线上，监测CH4和N2O，提供ppb级高精度，和高稳定性，提高校准周期至12个月，减少了维护成本和人力时间。同时，可选择增加其他分子测量，如CO2、H2O、NH3等。Gasera痕量气体测量系统可应用于生态研究、土壤气体排放、温室气体监测、畜禽管理等领域。二、技术原理Gasera痕量气体测量系统采用中红外光声光谱技术，光源采用QCL分布式量子级联中红外激光，结合灵敏光学传声器和MEMS悬臂梁传感器，监测分子的微小运动。三、系统特色及优势操作简便，界面直观，数字和图形显示，一键式旋钮同时测量N2O和CH4，检测限低至sub-ppb级，高动态范围至ppm快速响应样品消耗量仅几毫升无耗材，运行稳定，长校准周期（12个月），无漂移短光路，动态范围单点校准内置2点采样接口，可选的多点采样器扩展到12个，内置气体交换系统自动化测量，可自主编辑程序配置便携箱，可野外便携使用四、技术指标1、检测限：N2O---2ppb；CH4---10ppb；H2O---100ppm2、测量范围：动态量程，可高达5个数量级3、响应时间：30S，取决于CIT（用户可定义通道积分时间）和气体交换时间；15S，取决于平均时间和取样4、重复性：＜1%5、准确度：3%，取决于校准气体的精度6、样品流速：1L/min7、温度依懒性：在运行温度内，温度变化不会导致漂移8、压力依懒性：运行压力范围内，压力变化不会导致漂移9、运行环境： 温度0~40℃；压力750mBar~1050mBar；湿度：不凝露；防尘/水IP2010、样品气：温度0~49℃；湿度---无水凝结；压力750mBar~1050mBar；内置颗粒物1μm11、尺寸：48.4W*13.9H*44D（cm）；重量13kg；外壳19寸3U；12、内置计算机，带7”分辨率显示屏；13、数据存储：1年14、内部气路体积：30ml15、供电：90~264VAC，47~63Hz，75W16、接口：以太网接口、USB；RS485或RS232可选；MODBUS和AK协议；产地： 芬兰

多组分气体分析仪 痕量气体分析仪飞瑞特T690型TDLAS痕量气体分析仪采用增强型可调谐半导体激光吸收光谱（TDLAS）技术，检测固定污染源和大气环境中的NH3/CH4//HF /HCI/CO2/H20等物质。 多组分气体分析仪 痕量气体分析仪飞瑞特 仪器特点1.多组分气体分析仪 痕量气体分析仪飞瑞特 高度订制检测模式订制：根据具体的应用场景可以分为壁挂式、19英寸机架式以及便携式三种模式；仪器的检测成分订制：用户可以自由选择具体的检测成分；量程订制：具体检测成分的量程可以实现从ppb级别到百分比级别的订制。 2.多组分气体分析仪 痕量气体分析仪飞瑞特 高精度和高灵敏度 仪器采用高分辨率的“指纹光谱”进行气体分析，能够提供高精度的测量结果。其高灵敏度使得仪器可以检测到极低浓度的气体组分，甚至在ppb（十亿分之一）或更低的水平上进行精确测量。 “指纹光谱”是指气体分子在特定波长范围内的吸收光谱特征。每种气体都具有独特的吸收线和波长，就像每个人都有独特的指纹一样，因此被称为“指纹光谱”。这种“指纹光谱”技术具有重要意义：首先，不同气体分子在吸收光谱中的吸收线位置和强度是独特的。通过选择合适的激光波长与目标气体的吸收线匹配，仪器能够实现高灵敏度和选择性的气体测量。通过分析气体在特定波长下的吸收光谱，可以准确识别和区分不同的气体。这种特异性识别使得仪器在复杂气体混合物的分析中非常有优势，它可以精确测量低浓度的气体，并排除其他干扰物质的影响，确保数据的准确性和可靠性。 3.多组分气体分析仪 痕量气体分析仪飞瑞特 实时监测和快速响应 TDLAS痕量气体分析仪具有快速响应时间，能够实时监测气体浓度的变化。这对于需要及时了解气体浓度波动的应用场景非常重要，例如工业过程控制、安全监测和环境保护等领域。 4.多组分气体分析仪 痕量气体分析仪飞瑞特 不需要频繁校准 TDLAS痕量气体分析仪内置参考光路信号，这些参考信号可以用来实时监测激光光源的稳定性和光路的漂移情况。通过与参考信号进行比对，可以实现实时的校准和补偿，消除光源波动和光路漂移对测量结果的影响。另外，仪器采用了先进的半导体激光器和探测器，这些元件具有长期的稳定性和可靠性，可以保持仪器的准确性和一致性，减少了校准的需求。 多组分气体分析仪 痕量气体分析仪飞瑞特 除TDLAS痕量气体分析仪外，天津飞瑞特科技有限公司还供应各种原理的气体分析检测仪器，可以检测几乎所有的气体种类，检测量程可以从ppb级别到百分比级别。您只需要将被检测的气体成分名称和大致含量告知我们即可，我们将根据您的具体要求以及工况制定出最适合您的气体检测解决方案。如果您对我们的仪器感兴趣或有任何疑问，请随时联系我们，我们将竭诚为您提供支持和咨询。

青岛容广电子技术有限公司产品销售直接负责人：安超手机： RGSZ-1苏玛罐正压采样器（ODS采样器）（产品详细信息，请联系产品负责人，给您提供详细的产品参数以及图片）概述：为深入打好污染防治攻坚战，强化多污染物协同控制和区域协同治理，基本消除重污染天气，“十四五”期间，将进一步加强细颗粒(PM2.5)和臭氧（O3）协同控制监测能力建设。生态环境部于2021年5月10日印发了《十四五全国细颗粒物与臭氧协同控制监测网络能力建设方案》的通知，对重点省份和区域开展ODS及HFCS的监测，主要包括：内蒙古、江苏、浙江、福建、江西、山东、广东、广西、重庆、四川等10个省市为重点。2020年，国家环境分析测试中心和青岛容广电子技术有限公司关于大气中ODS采样器进行合作研制，研发了一款适合于大气中痕量级的ODS正压采样器，并申请了专利技术特点：RGSZ-1 苏玛罐正压采样器主要是用于大气中ODS的苏玛罐采样。HJ/T-759-2015 环境空气 挥发性有机物的测定 罐采样/气相色谱-质谱法本技术主要解决环境中ODS的采样，正压采样，负压清洗的功能，负压清洗做为本底。 环境中ODS采样浓度非常低，极易受到污染。通过正压采样可以防止苏玛罐内的气体污染，负压采样时，一旦泄露，气体会进入苏玛罐，正压采样气体只可能往外释放，不会造成样品的污染，减少在运输过程中产生泄露污染，造成检测结果的不准确性。RGSZ-1 苏玛罐正压采样器主要是用于大气中ODS的苏玛罐采样。HJ/T-759-2015 环境空气 挥发性有机物的测定 罐采样/气相色谱-质谱法详细参数：1. 电源：AC 220V 50HZ 2. 功率：30W3. 气路：硅烷化4. 气泵：聚四氟进口泵，无污染。5．柜体：不锈钢材质6. 抽气/压气 手动切换7. 正负压力表显示8. 30分钟采样，正压不低于1.5大气压8. 流量 6L/min 产品实物图片： 以上资料仅供参考，产品详细信息请联系相关负责人 青岛容广电子技术有限公司提供本仪器的技术支持和完善的售后服务！

青岛容广电子技术有限公司产品销售直接负责人：安超手机：欢迎随时致电咨询，谢谢 RGSZ-1苏玛罐正压采样器（ODS采样器）（产品详细信息，请联系产品负责人，给您提供详细的产品参数以及图片）概述：为深入打好污染防治攻坚战，强化多污染物协同控制和区域协同治理，基本消除重污染天气，“十四五”期间，将进一步加强细颗粒(PM2.5)和臭氧（O3）协同控制监测能力建设。生态环境部于2021年5月10日印发了《十四五全国细颗粒物与臭氧协同控制监测网络能力建设方案》的通知，对重点省份和区域开展ODS及HFCS的监测，主要包括：内蒙古、江苏、浙江、福建、江西、山东、广东、广西、重庆、四川等10个省市为重点。2020年，国家环境分析测试中心和青岛容广电子技术有限公司关于大气中ODS采样器进行合作研制，研发了一款适合于大气中痕量级的ODS正压采样器，并申请了专利技术特点：RGSZ-1 苏玛罐正压采样器主要是用于大气中ODS的苏玛罐采样。HJ/T-759-2015 环境空气 挥发性有机物的测定 罐采样/气相色谱-质谱法本技术主要解决环境中ODS的采样，正压采样，负压清洗的功能，负压清洗做为本底。 环境中ODS采样浓度非常低，极易受到污染。通过正压采样可以防止苏玛罐内的气体污染，负压采样时，一旦泄露，气体会进入苏玛罐，正压采样气体只可能往外释放，不会造成样品的污染，减少在运输过程中产生泄露污染，造成检测结果的不准确性。RGSZ-1 苏玛罐正压采样器主要是用于大气中ODS的苏玛罐采样。HJ/T-759-2015 环境空气 挥发性有机物的测定 罐采样/气相色谱-质谱法详细参数：1. 电源：AC 220V 50HZ 2. 功率：30W3. 气路：硅烷化4. 气泵：聚四氟进口泵，无污染。5．柜体：不锈钢材质6. 抽气/压气 手动切换7. 正负压力表显示8. 30分钟采样，正压不低于1.5大气压8. 流量 6L/min 产品实物图片： 以上资料仅供参考，产品详细信息请联系相关负责人 青岛容广电子技术有限公司提供本仪器的技术支持和完善的售后服务！

关键特性&bull 拥有 HF、HCI 和 NH₃ 中的单一气体或多气体配置&bull 还能报告准确和精确的 H₂ O 测量结果&bull 标配 0 - 5 V 及模拟 4 - 20 mA 输出，可选 ModbusTCP&bull 优化的数据处理，使得能以最优的性能测量亚 ppb级浓度&bull 主密码保护可确保分析仪和数据安全&bull 定制的标定和性能认证文件包&bull 通过触摸屏进行气体浓度和分析仪状态的数字化显示 &bull 优化的零气性能，确保可靠地确认过程事件概述 LGR-ICOS&trade 工业用痕量气体分析仪能以最高的灵敏度、 准确度、精度和响应速度，满足客户最苛刻的要求：&bull 对半导体晶圆厂的工艺流程和为了人身健康与安全而进行气载分子污染物（AMC）监测&bull 前开式晶圆传送盒（FOUP）和气相沉积室监测简介LGR-ICOS AMC 监测分析仪能以极高的精度和灵敏度， 对环境空气或惰性工业气流中的氟化氢、氯化氢、氨和 水蒸气进行高度灵敏地测量。该系列分析仪适用于进行 半导体应用中的气载污染物监测、FOUP 监测和各种惰 性气体背景下的测量，能以最佳的整体性能报告宽浓度 范围内的测量结果。该 LGR-ICOS 痕量气体分析仪采用我们已获专利的离 轴 ICOS 技术，也是第四代光腔增强吸收技术。该离轴 ICOS 技术相比传统的光腔衰荡光谱（CRDS）技术具 有许多优势，包括性能更加稳健和可靠，测量时间更短，光腔和镜片可现场维修等。所有 ABB 仪器都配有内部计算机（Linux OS），能将 每次分析的结果和被测气体的完整光谱都保存到内部硬 盘上以实现长期无人值守的运行。数据可以通过模拟、 数字（RS232）和 Modbus 输出连续地导出。而且， 仪器可以通过互联网进行远程控制。通过远程访问，用 户可在无需到达现场的情况下，控制仪器，获取数据， 以及诊断故障。这些 LGR-ICOS 分析仪操作简单，启动迅速（只需几 分钟），无需现场标定，且预防维护需求极少。和所有 ABB 分析仪一样，LGR-ICOS 工业痕量气体分析仪由我 们专业的服务和技术支持人员来支持。项目（气体） H2O NH3 HCI HF H2O

光声光谱法是基于光声效应的新型光谱技术，有别于传统的红外技术。它将光信号有效的转换成声信号，并通过微音器对声音信号的检测计算得到气体的最终浓度，由于光声光谱技术的特殊光学结构以及信号采集，信号处理过程中的特殊计算过程，使此方法能高效采集微弱光声信号，并有效剔除背景信号的干扰，非常适合痕量气体的测量领域，以及在复杂环境下的无干扰测量。 光声痕迹气体分析仪结构图 我公司代理的光声光谱痕量气体分析仪采用非干涉黑体辐射源作为光源，转换效率达到90%，配合滤光片与斩波器，发出可调制光源至光声池。光声池底部配有高精密微音器，检测由光信号转变的声信号。继而计算出与声信号成比例的气体浓度，灵敏度可达到0.01ppm,甚至更高。 产品特点专业用于5ppm的痕量气体检测利用空气做自动校准利用微弱声信号计算气体浓度，屏蔽气体气体的交叉干扰内置红外水汽浓度探测器，有效屏蔽水气干扰内部集成了气泵和用于控制三个采样点的自动控制阀分析仪配置内部活性碳过滤器采用不锈钢钢管采样，每个检测点附近的采样管上安装可更换虑尘器 性能指标应用领域v 石化炼化行业 v 汽车尾气监测行业 v 水泥行业 v 钢铁行业 v 熏蒸气体行业（检验检疫） v 化工区域气体监测报警

M8880超痕量气体分析仪应用于石油化工行业和煤化工行业；可对样品气中常量及痕量组份分析；3、可选一种气体作为载气；4、搭载双检测器多柱并联进行样品检测；5、8路独立的温度控制，20阶程序升温；6、内装反吹装置，实现中心切割等功能；7、专用分析数据工作站，自动进入瓦斯爆炸三角形报警。检测限参数：检测器杂质组分及最低检测限（ul/l）PDHIDH20.06CH40.08CO0.08C2H60.01CO20.09C2H40.01C2H20.01C3H80.01H2S0.01C3H60.01SO20.23TCDO249N270

概要实现对高纯度气体连续监测，主要应用于空分和半导体行业。实现对高纯度气体中的痕量杂质气体 (CO, CO2 和 CH4) 的感度连续测量。特征感度分析采用交替流动调制方式的非分光红外吸收原理可以实现无零点漂移的长期安定的连续测量。小检出限可达10ppb，尤其适合追求高精度的现场测量。使高纯气体中的痕量气体检测成为可能。典型平衡气气体N2，O2，He，Ar，H2和空气。操作简单，无需维护使用时无需任何特使操作，校正和测量等全部操作均可在显示画面上进行。采用HORIBA的专利技术-交替流动调制方式，无需光学调整，无需维护。彩色液晶显示屏，触摸操作可以显示彩色趋势图，有更好的可视性 。典型应用一般情况下，作为工业用气体使用的氧气，氮气是通过空气分离来制造的。首先将除去水分和CO2的原料空气通入分离装置，分离装置时利用氮气、氩气和氧气三者气体的沸点不同进行分离出不同气体。氢气和氦气也是利用类似的气体分离装置制备。GA-370测量实例。高纯度氮气、氩气、氧气制造行业痕量气体的测定。除去水分、CO2后原料气体中痕量气体的测量。 测量原理交替流动调制方式双光路非分光红外吸收原理GA-370用一束红外光透过检测室射入检测器，测量过程中通过切换电磁阀将采用气体和参比气体切换通入检测室。测量样气和参比气体使用相同的气体（例如零点气体）时，无法产生调制信号，因此不会产生漂移，解决了 痕量气体分析中的零点漂移宜问题。而且使用双光路检测气室，以相反的相位导入测量样气和参比气体，可实现了长期安定稳定运行，无需光学调整。 气体流程图规格型号GA-370可测量的气体种类 CO, CO2, 和CH4高纯气体种类 N2, O2, He, Ar, H2, 空气测量组分数目1 组分或 2 组分(由平衡气体种类决定)测量原理交替流动调制方式双光路非分光红外吸收原理量程 0 to 1/2/5/10 ppm低检出限 (2σ) 10 ppb重复性≤ ± 2% F.S.直线性≤ ± 2% F.S.零点量程≤±0.02ppm/天，≤±0.03ppm/周量程漂移 ≤±2% F. S./天 ，≤±3%F .S./周响应时间(T90)≤ 180s流量 *测量氧气：约 3.5 L/min；参比气体：约 3.5 L/min量程气：约 3.5 L/min（注: 测量样气和参比气体的推荐压力值为50-100 kP）模拟输出多可选两路绝缘输出 (2 组分)；0 -1 V，0 -10 V，0 -16 mA，4 - 20 mA，0-20mA中可选1路电流输出： 允许负载电阻750Ω或以下安装环境环境温度0- 40°C环境湿度≤85%颗粒物 低于环境空气基准震动 0.29 m/s2，频率≤100 Hz外形尺寸和重量430(W) × 221(H) × 555(D) mm (含突起部分）；约18 kg电源100 - 240 V AC,≤ ±10% （大电压 ：25 0V )功率约100 VA* 注 1) 参比气体和量程气由用户提供，气瓶的精度需满足测试要求。* 注 2) GA-370 痕量气体分析仪在特殊场合下并不安全。例如，在含H2的环境中使用时需配合防爆小屋以避免爆炸。

GA-370 痕量气体分析仪能够实现连续的、高灵敏度及高精度的微量杂质（CO、CO2、CH4）监测。它有助于高纯气体成品的品质管理，以及优化空分工厂、现场加氢站和半导体行业气体制造设施的生产过程。 产品特色高灵敏度采用交替流动调制型双光束非分散红外吸收法（NDIR），零点极其稳定，无漂移。最低检出限可达 10ppb，尤其适合追求高精度的现场测量。使高纯气体中的痕量气体检测成为可能。可应用于典型平衡气体如：氮气、氧气、氦气、氩气、氢气和空气。* 如有需要用于测量其他平衡气的情况, 请联系 HORIBA。 操作简单，无需维护操作简便的屏幕菜单简化了分析仪的校准和测量等各项操作。无需光学调整。触摸式彩色液晶显示屏（LCD）能够以图表方式显示历史数据。典型应用空分工厂的高纯气体中的微量杂质监测空气分离装置通过低温蒸馏将大气中的空气主要分离成氧（O2）、氮（N2）和氩（Ar）。其原理是利用蒸馏装置中各组分气体沸点的差异进行空气分离。因为水和二氧化碳可能会导致蒸馏过程堵塞，并产生爆炸的危险，所以空气在进入低温蒸馏过程之前必须经过预净化装置（PPU）中的处理，去除空气中的水蒸气、二氧化碳（CO2）和其他杂质，以确保水和二氧化碳不会进入蒸馏装置。“现场加氢站”—“制氢加氢一体站”的微量杂质监测“现场加氢站”－“制氢加氢一体站”是在站内对城市燃气（LNG/LPG）、甲醇等进行重整，生产出高纯度氢气，以供燃料电池汽车（FCV/FCEV）使用的设施。国家标准 GB/T37244-2018 《质子交换膜燃料电池汽车用燃料氢气》 不仅要求氢气纯度必须达到 99.97% 或更高，对每种杂质气体的浓度也设定了相应的要求。氢气中的不纯物（CO，CO2等）容易引起氢燃料电池车的核心部件质子交换膜发生催化剂中毒现象，从而缩短电池的使用寿命。GA-370 痕量气体分析仪凭借超低的检测下限（10ppb），能够轻松应对制氢过程中氢气的微量杂质的监测，稳定测量 CO、CO2 和 CH4，生产出符合要求的高纯氢气。测量原理GA-370 痕量气体分析仪内置的红外光源的光束通过气室到达检测器。在测量过程中，电磁阀交替地将样气和参比气体引入到分析仪的测量气室中。与气室中充满参比气体时的情况相比，当气室中充满样气的时候，样气中的CO、CO2 以及 CH4 会引起到达检测器的光强度的不同。检测器检测到的两种气体对光的吸收差异，使检测器薄膜发生偏转而振动。采用这种测量技术能省去光学斩波器和光学调整的需要，消除零点漂移。双向交替流动使样气和参比气体交替流入两个气室中，传感器产生的膜片位移是双向的，信号更强，因此能达到更低检出限和更高分辨率。 技术指标 * 注 1) 参比气体和量程气由用户提供，气瓶的精度需满足测试要求。* 注 2) GA-370 痕量气体分析仪在特殊场合下并不安全。例如，在含H2的环境中使用时需配合防爆小屋以避免爆炸。

uLAS-700系列激光痕量气体分析仪是基于可调谐半导体激光吸收光谱（TDLAS）技术原理，对特定波长的气体吸收谱线进行扫描分析，并结合数字化的锁相放大器及长光程气室等先进技术实现气体的PPB级的专用分析仪器。 该系列分析仪可实现对痕量气体的高分辨率、高精度、稳定可靠的测量，满足过程分析和环境检测等应用的要求。该系列仪表可被配置检测各种单一气体或多种气体(包括甲烷、二氧化碳、氨气、硫化氢、一氧化碳、氟化氢、乙炔和氧化亚氮等任意组合)，具体配置需与厂家确认。 产品特点ppb级超高灵敏度光谱单线扫描，精确锁定测试波长长光程赫利奥特检测池标定维护简单，使用寿命长 典型应用痕量气体测量空气质量监测温室气体测量气体排放羽流图测量

产品简介LTGA-200激光痕量气体分析仪结合半导体激光吸收光谱技术和长光程低吸附测量气室技术，实现了针对高吸附性痕量气体的稳定检测。产品采用标准机箱式设计，适配标准19英寸机柜，为环境大气、特定区域（如工业园区）大气的有毒有害气体和恶臭气体监测提供了解决方案。产品特点● 检测精度高● 稳定、可靠● 标定便捷，测量可靠● 直接测量应用领域工业园区、厂区边界

产品详情：舒茨SPTr-GAS Tracer 是便携式光声痕量气体分析仪，将所有功能模块整合进入1/2　19“机箱内，配置触摸显示控制屏，菜单结构分布合理，直观友好的操作界面，所有状态显示，门限值和报警值都以模拟及数字方式提供。实时显示检测浓度曲线，全自动或手动零点校准，由客户自由选择。检测精度高，稳定性好，适用于各类痕量气体浓度检测场合。 光声光谱法是基于光声效应的新型光谱技术，有别于传统的红外光谱技术，它将光信号有效转换成声信号，并通过精密微音器对声音信号的检测计算得到最终的气体浓度。由于光声光谱技术的特殊光学结构以及在信号采集、信号处理过程中的特殊计算过程，使此方法能高效采集微弱光声信号，并有效剔除背景信号的干扰，非常适用于痕量气体浓度检测领域，以及在复杂环境中的无干扰检测。 应用方向:&blacksquare 工业在线监测（半导体、电力、化工、冶金等）&blacksquare 环境污染检测 &blacksquare 现场检测及故障排查 &blacksquare 废气检测 &blacksquare 气体过程控制 &blacksquare 空气污染检测&blacksquare 水中TOC检测 &blacksquare 高炉气体检测 &blacksquare 垃圾焚烧填埋 &blacksquare 隧道气体检测 产品优势：□ 有效屏蔽检测环境中湿度干扰：红外湿度检测模块直接配置在光声模块内部。□ 屏蔽温度不稳的干扰：光声光谱加热到50度并维持此温度下进行检测。□ 屏蔽其他气体干扰：通过检测微弱光声信号，通过精准信号放大并计算气体浓度□ 内部集成气泵和三个采样点自动控制阀□ 分析仪配置内部活性炭过滤器□ 每个检测点附近采样管上安装可更换滤尘器□ 根据不同种类气体，可自动用空气校准零点 技术参数： 产品型号SPTr-GAS300 Tracer通道通道配置参见分析仪铭牌或出厂检测报告。通道配置信息包括：- 测量气体类型- 测量范围- 测量误差响应时间周期时间：20s 预热时间大约30min (根据不同检测器配置)分辨率通常：0.1 g/m3根据检测范围而不同操作方式触摸屏, 5.6” LCD模拟输出 4mA~20mA (正常运行时)2mA (预热或状态报警时)允许负载电阻250Ω~350Ω报警触点输出设备状态报警测量通道上限/下限报警注:当测量值大于上限报警值或小于下限报警值时继电器触电闭合。所有继电器相互隔离，且与内部电路隔离。继电器特性1A contact (250V AC/2A, resistive load)通信串口输出RS232 （7-pin Connector blue/black cable）工作电压(198~242)V AC, 50/60 Hz电源接口EN60320 C1保险丝额定电流: 3A ,Blow Characteristic: Fast Acting尺寸: 5mm x 20mm机壳保护等级IP42 (EN60529)重量约15Kg (typical) 检测气体量程类别： 气体检测量程线性误差精度背景气体NH3Ammonia0…100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2NH3Ammonia0…1 g/m30.1% FS0.1% FSAir or N2C5H10Cyclopentane0…100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2C3H6OAcetone0…2000ppm0.1% FS0.1% FSAir or N2C2H6OEthyl Alcohol0…2000ppm0.1% FS0.1% FSAir or N2C3H8OIsopropyl Alcohol0…1000ppm0.1% FS0.1% FSAir or N2CH4OMethyl Alcohol0…500ppm0.1% FS0.1% FSAir or N2NF3Cyclopentane0…20ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2N2ONitrous Oxide0…500ppm0.1% FS0.1% FSAir or N2C2Cl4PERC0…800ppm0.1% FS0.1% FSAir or N2SO2F2ProFume0…1 g/m30…1000ppm1…150 g/m30.1% FS0.1% FSAir or N2CCl3FR110…500ppm0.1% FS0.1% FSAir or N2C2Cl3F3R1130…50ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2C2F6R1160…100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2CCl2F2R120…100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2C2HCl3F2R1220…100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2C2HCl2F3R1230…100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2CClF3R130…100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2CF4R140…100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2CHClF2R220…100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2CHF3R230…150ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2C8H8Styrene0…50ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2SO2Sulfur dioxide0…100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2SO2Sulfur dioxide0…1000ppm0.1% FS0.1% FSSF6C8H20O4SiTEOS0…100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2C2HCl3F2Toluene0…100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2C2HCl3TRI0…1000ppm0.1% FS0.1% FSAir or N2CH3BrMethyl Bromide0…2 g/m30.1% FS0.1% FSN2 (only)For other gas please contact us for more information.

产品简介高精度痕量气体分析仪（TGA-327）是一款专为半导体行业空气分子污染分析（AMC）测量氟化氢(HF)而设计的专业仪器，采用光腔衰荡光谱技术（CRDS），具有超高的灵敏度，其检测下限可达ppt级别。不需要现场校准，非常适合连续测量。 该分析仪内部管路都进行了特殊涂层，可以有效的减小氟化氢(HF)分子在管道壁上的吸附，加速测量的响应时间并消除测量偏差。同时分析仪采 用小体积腔设计，能够进一步提升测量速度。 光腔衰荡光谱（CRDS）与离子迁移谱（IMS）和离子色谱传统技术相比，具有探测下限低、响应时间快、无需耗材等显著优势，该分析仪具有更优的长期稳定性和低维护性，是半导体行业AMC连续监测的理想选择。产品特点（1）ppt级别的灵敏度、精度以及准确度（2）免标定，低漂移（3）响应时间快（4）连续监测（5）无耗材成本应用领域半导体行业AMC连续监测、洁净室监测、FOUP监测

产品简介高精度痕量气体分析仪（TGA-321）是一款专为半导体行业空气分子污染分析（AMC）测量氨气(NH3)而设计的专业仪器，采用光腔衰荡光谱技术（CRDS），具有超高的灵敏度，其检测下限可达ppt级别。不需要现场校准，非常适合连续测量。 分析仪内部管路都进行了特殊涂层，可以有效的减小氨气(NH3)分子在管道壁上的吸附，加速测量的响应时间并消除测量偏差。同时分析仪采用小体积腔设计，能够进一步提升测量速度。 光腔衰荡光谱（CRDS）与离子迁移谱（IMS）和离子色谱传统技术相比，具有探测下限低、响应时间快、无需耗材等显著优势，该分析仪具有更优的长期稳定性和低维护性，是半导体行业AMC连续监测的理想选择。产品特点（1）ppt级别的灵敏度、精度以及准确度 （2）免标定，低漂移 （3）响应时间快（4）连续监测 （5）无耗材成本应用领域半导体行业AMC连续监测、洁净室监测、FOUP监测

产品简介： 高精度痕量气体分析仪（TGA-323）是一款专为半导体行业空气分子污染分析（AMC）测量氯化氢(HCl)而设计的专业仪器，采用光腔衰荡光谱技术（CRDS），具有超高的灵敏度，其检测下限可达ppt级别。不需要现场校准，非常适合连续测量。 该分析仪内部管路都进行了特殊涂层，可以有效的减小氯化氢(HCl)分子在管道壁上的吸附，加速测量的响应时间并消除测量偏差。同时分析仪采用小体积腔设计，能够进一步提升测量速度。 光腔衰荡光谱（CRDS）与离子迁移谱（IMS）和离子色谱传统技术相比，具有探测下限低、响应时间快、无需耗材等显著优势，该分析仪具有更优的长期稳定性和低维护性，是半导体行业AMC连续监测的理想选择。产品特点：（1）ppt级别的灵敏度、精度以及准确度（2）免标定，低漂移（3）响应时间快（4）连续监测（5）无耗材成本应用领域： 半导体行业AMC连续监测、洁净室监测、FOUP监测。

PDHID氦离子化检测器在线敏感检测适用于气体工业，稀有气体，半导体气体的领域进行痕量杂质分析的自动化仪器是生产线质量控制和品质保证最理想的检测仪器可任意配选，以适用于多种应用场合根据用户需要可提供所需的数据采集和数据输出的方式采用了Valco阀、管路系统和检测器 可选件用户自选的数字或模拟输出按照用户需要，提供进样系统和校准系统扩展应用所需部件电子流量测量和认证痕量湿度检测集成的架装组件特殊合金结构或者Sulfinert 或Silcosteel钝化系统用户自定义的报警系统自动标定和认证校准遥控附件 技术支持仪器的报价中含有终身的技术支持。包括了对应用适应性的确认，文件，现场安装和培训。一旦仪器安装完毕，就可以方便地通过电话和遥控信息的的技术支持。VICI 的TGA痕量气体分析器是一种即装即用的在线分析仪表，硬件软件齐全，可立即用于分析ppb级各种痕量气体杂质。每台仪器都可以按照用户的具体技术要求，用标准的VICI部件配以分析方法，操作条件和程序文件，组成用户所需要的全套仪器。所有的VICI TGS的标准应用方式是检测氦中的杂质，同时也可以组合成检测单元和多元气体中的杂质。取样系统和工业级CPU可以装入仪表架，也可以自成独立系统。标准的设置包括通过OPCserver软件和自动日常维护程序的数据共享。 定型产品可以选择下列配置完整的定型产品测量氢气中的PPB级含硫气体测量CO2中PPB级含硫气体测量常用气（He, H2, Ar, O2, N2, CH4, C2H6, NH3, CO2, CO）中的杂质测量稀有气体（He, Ne, Kr, Xe, Rn）中的杂质测量半导体气体H2, SiH4, SiF4, HBr, CF4, CCl4, NF3, C2F6, C3F8, N2O, C2H2, C2H6, C3H4, PH3, AsH3, SF6, NH3 中的杂质

舒茨 SPTr-GAS ANALYZER 光声痕量气体分析仪，配置触摸显示控制屏，菜单结构分布合理，直观友好的操作界面，所有状态显示，门限值和报警值都以模拟及数字方式提供。实时显示检测浓度曲线，全自动或手动零点校准，由客户自由选择。检测精度高，稳定性好，适用于各类痕量气体浓度检测场合。口 有效屏蔽检测环境中湿度干扰： 红外湿度检测模块直接配置在光声模块内部。口 屏蔽温度不稳的干扰： 光声光谱加热到50度并维持此温度下进行检测。口 屏蔽其他气体干扰： 通过检测微弱光声信号，通过信号放大并计算气体浓度口 内部集成气泵和三个采样点自动控制阀口 分析仪配置内部活性炭过滤器口 每个检测点附近采样管上安装可更换滤尘器□ SPTr-GAS ANALYZER配置触摸控制屏，所有操作一手掌控□ 双屏幕显示来回滑动切换□ 屏幕1：数值状态显示，包括操作菜单和故障显示□ 屏幕2：实时浓度曲线显示，浓度变化一目了然□ 校准菜单、报警值设置用密码控制，防止误操作□ 配置零点校准、满量程点校准、第三点校准 保证较好线性度□ 中英文菜单自由选择，满足各类客户需求□ 一键恢复“出厂设置”，完美省去误操作后的返厂维 修过程□ 过滤器现场无拆卸更换，完美适用于各类24小时不停机工业现场气体气体范围线性误差检测精度背景气体NH3Ammonia0… 100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2NH3Ammonia0… 1 g/m30.1% FS0.1% FSAir or N2C5H10Cyclopentane0… 100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2C3H6OAcetone0… 2000ppm0.1% FS0.1% FSAir or N2C2H6OEthyl Alcohol0… 2000ppm0.1% FS0.1% FSAir or N2C3H8OIsopropyl Alcohol0… 1000ppm0.1% FS0.1% FSAir or N2CH4OMethyl Alcohol0… 500ppm0.1% FS0.1% FSAir or N2NF3Cyclopentane0… 20ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2N2ONitrous Oxide0… 500ppm0.1% FS0.1% FSAir or N2C2Cl4PERC0… 800ppm0.1% FS0.1% FSAir or N2SO2F2ProFume® 0… 1 g/m30… 1000ppm1… 150 g/m30.1% FS0.1% FSAir or N2CCl3FR110… 500ppm0.1% FS0.1% FSAir or N2C2Cl3F3R1130… 50ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2C2F6R1160… 100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2CCl2F2R120… 100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2C2HCl3F2R1220… 100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2C2HCl2F3R1230… 100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2CClF3R130… 100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2CF4R140… 100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2CHClF2R220… 100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2CHF3R230… 150ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2C8H8Styrene0… 50ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2SO2Sulfur dioxide0… 100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2SO2Sulfur dioxide0… 1000ppm0.1% FS0.1% FSSF6C8H20O4SiTEOS0… 100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2C2HCl3F2Toluene0… 100ppm0.5ppm / 0.1% FS0.1ppm / 0.1% FSAir or N2C2HCl3TRI0… 1000ppm0.1% FS0.1% FSAir or N2CH3BrMethyl Bromide0… 2 g/m30.1% FS0.1% FSN2 (only)Other gas types and concentration ranges under request. Please contact us for more information.如需检测其他类型气体，请随时与我们联系。技术参数：产品型号SPTr-GAS ANALYZER V3.0检测原理光声光谱 Photo acoustic显示最低值0.1 ppm (typical), 根据检测范围而不同响应时间周期时间 20s检测限值 0.01 % FS 根据检测范围而不同预热时间环境温度为20°C (68°F)时大约需要15分钟加热到50°C (122°F)；测值显示Digital indication (5.6” LCD) Unit: ppm, μmol/mol, mg/m3操作方式触摸屏幕 5.6” LCD气路接口NPT 1/8”(F), SU304*可根据不同应用配置外部管接头气体入口内部阀门自动控制周期；内部气管PVC模拟输出(4~20) mA (预热和状态报警:2mA)允许负载电阻：250Ω -350Ω.触点输出分析仪状态报警上限/下限报警触电输出（气体通道）*当测量值大于上限报警值或小于下限报警值时继电器闭合。继电器特性： 1A contact (250V AC /2A, resistive load)通信串口输出RS232 Output (9 pin), 9600, 8,0,1 (只输出)重量大约. 15Kg(Typical)工作电压(198~242)V AC, 50/60 Hz 电源输入根据 EN60320 C1标准执行保险丝Fuse Current: 5ABreaking Capacity: 1.5kA @ 250V ACFuse Size Metric: 5mm x 20mmBlow Characteristic: Fast Acting保护等级IP42 (EN60529)

Picarro G2508 CO2 ，CH4 ，N2O ，NH3 和H2O分析仪同时输出自然态气体参数和当时水汽浓度下的摩尔干值，配备ChemDetect干扰检测标记的软件。无论是青藏高原的土壤通量测量，还是海洋船只上的原位测量，事实证明Picarro出色的野外应用能力。技术原理第四代波长扫描光腔衰荡光谱技术（WS-CRDS）技术参数G2508 痕量气体分析仪性能指标CO2CH4N2ONH3H2O精度 (初始精, 1σ)＜600ppb +0.05%读数＜10ppb +0.05%读数＜25ppb +0.05%读数＜5ppb +0.05%读数500ppm精度 (1min, 1σ)＜300ppb +0.05%读数＜7ppb +0.05%读数＜10ppb +0.05%读数＜3ppb +0.05%读数250ppm精度 (5min, 1σ)＜200ppb +0.05%读数＜5ppb +0.05%读数＜5ppb +0.05%读数＜1ppb +0.05%读数100ppm确保精度范围380~5000ppm1.5~12ppm0.3~200ppm0~300ppb0~3%测量范围0.02~2%0.5~15ppm0~400ppm0~2ppm0~7%测量速率＜8s＜8s＜8s＜8s＜8s响应时间（10-90%/90-10%）~8s~8s~8s见备注~8s摩尔量（干值）YesYesYesNoN/A备注：由于实验装置表面吸附的限制，仪器对H2O和NH3的响应受到影响。但是仪器可以准确测量在腔室内测量来自土壤呼吸的H2O和NH3，并计算准确的土壤呼吸通量。 取样温度-10 ~ 45 ℃温度控制精度±0.005℃环境湿度＜99% R.H，无冷凝压力控制精度±0.0002atm取样压力300-1000Torr（40-133kPa）闭路循环系统兼容Picarro A0702取样流速~230mL/min@760Torr，无需过滤重 量27.2Kg（包括外置泵）功 耗100-240 VAC，启动时＜260W；稳定后：分析仪110 W，泵35 W尺 寸分析仪：43.18x17.78x 44.57cm 外置泵：19 x 10.2 x 28 cm Picarro CRDS技术采用了极窄的光谱区域，与其它光谱技术相比，最大限度的减少了其它种类气体的干扰。但是，现实世界的样品干扰还是可能存在的。Picarro提供光谱干扰检测软件，测试并给出以下气体种类对N2O的干扰与否数据。 CO2无干扰：自动校准至20000ppm乙烷0.2 ppb N2O / ppm C2H6测试至120ppmCH4无干扰：自动校准至200ppm乙烯0.5 ppb N2O / ppm C2H6测试至16ppmNH3无干扰：自动校准至2ppm乙炔不供使用ChemDetect&trade 检测和标记光谱干扰的数据背景气大气应用，非高度变化或富集的N2, O2, H2, He