红外原子力显微镜

美国Anasys公司的AFM+可以提供全面的原子力显微功能，具有强大的分析能力，使得AFM不仅仅是一个普通的成像工具，还可以进行材料纳米级尺度的成分分析，热性能和机械性能的分析。AFM+的主要特点：简洁的安装与操作 □ AFM+为最便利的使用而设计制造。探针预装在金属圆片上，确保探针位置的准确性和装针的便捷□ 仪器集几十年AFM设计大师的经验之大成，即使初次使用也能快速获取结果完整的AFM工作模式 □ 包含所有常规成像模式：接触、轻敲、相位、侧向力、力调制、力曲线□ 独有高分辨率低噪音的闭环成像□ 基于DI传承的多功能AFM，实现纳米热学，力学，电学和磁学测量：l 纳米热分析模块（nanoTA, SThM）l 洛仑兹接触共振模块（LCR）l 导电原子力显微镜镜（CAFM）l 开尔文电势显微镜（KPFM）l 磁力显微镜（MFM）l 静电力显微镜（EFM）独有的可升级功能□ 热学性能：独有的热探针技术，提供纳米级红外分析□ 机械性能：洛伦兹接触共振模式能够提供宽频纳米机械分析□ 化学性能：可升级具有纳米红外光谱技术，实现局部化学组分分析□ 近场成像：可升级具有散射式近场光学成像和光谱采集功能

Nanowizard V 第五代生物型原子力显微镜（BioAFM最新一代产品充满各种创新 25年引领生物原子力显微镜技术的研发和创新 全球超过1000家用户的广泛认可8500多篇在生物学领域具有影响的文章 拥有专注于高清晰成像和其它应用的探针研发支持丰富的功能为实现科学研究突破铺平了道路：PeakForce-QI, PeakForce Tapping, PeakForce QNM, QI 单分子力谱技术 单细胞力谱技术 DirectOverlay 2实现AFM与先进光学技术的绝佳整合 全新V8软件 新的ExperimentPlanner和ExperimentControl功能 高数值孔径显微镜整合，多维度环境控制等各类高级整合方案完美的性能，更高的效率 NanoWizardV 诠释了BioAFM的美好未来 无与伦比的易用性 高速成像可用于捕捉动力学过程以及提高实验效率 自动化、高分辨成像

Molecular Vista原子力微镜与可见-红外-拉曼联用系统 ——10nm以下空间分辨可见-红外-拉曼成像与光谱采集原子力显微镜(Atomic Force Microscope, AFM)经过30多年的发展后，从形貌测试及其它常规功能来看已经非常成熟。然而常规的原子力显微镜也越来越无法满足科研人员在纳米尺度下对于样品进行多性质原位测试分析的更高需求，尤其在化学、光学、电学、热学、力学等领域。在这一背景下，美国Molecular Vista应运而生，推出了全新一代原子力显微镜VistaScope！在具备所有常规原子力显微镜功能的条件下，基于专利的光诱导力显微镜（Photo-induced Force Microscope, PiFM)技术，结合波长可调的可见-红外光源，从而实现10nm以下空间分辨可见~红外成像与光谱采集，无需远场光学接收器及光谱仪。此外，VistaScope原子力显微镜还可以与各类拉曼光谱仪进行联用，组成目前市场上功能最为强大的原子力显微镜与可见-红外-拉曼联用系统，以满足科研人员在纳米尺度下的各种测试需求。VistaScope原子力显微镜具备如下功能：NanoIR 纳米红外成像与光谱光诱导力显微镜突破性的采用检测探针与样品之间的偶极交互(dipole interaction)，使其不受到样品横向热膨胀对于空间分辨率带来的负面影响。因此，基于光诱导力显微镜的纳米红外能真正意义上的实现10nm以下空间分辨纳米红外成像！下图为PS-PMMA嵌段共聚物纳米红外成像与光谱案例，红色和绿色分别代表PMMA与PS的分布情况。摘自“Nanoscale chemical imaging by photoinduced force microscopy，Sci. Adv. 2016”基于光诱导力显微镜的纳米红外不仅适合有机高分子材料，也适合无机材料。下图为不同Si/Al比的ZSM-5沸石分子筛的纳米红外骨架振动峰在1100cm-1处的蓝移及劈裂情况，以及通过碳氢化合物在1480cm-1的C=C伸缩振动峰来反映ZSM-5参与甲醇制碳氢化合物（MTH)催化反应后结焦的分布情况。摘自“Nanoscale infrared imaging of zeolites using photoinduced force microscopy，作者Chem”纳米可见吸收成像与光谱NanoVis 偶极交互的检测原理使得光诱导力显微镜不仅能在中红外波段下工作，也可以很好在可见～近红外波段性下进行成像及光谱采集。下图为6-TAMRA荧光染料在不同波长下的可见吸收成像与光谱，黑色箭头所指处的染料颗粒尺寸小于10nm，达到了单分子成像的水平。摘自“Image force microscopy of molecular resonance: A microscope principle, Appl. Phys. Lett. 2010”下图为二硫化钼在不同波长下的可见吸收成像与光谱样品结果来自“Stanford University & University of British Columbia”AFM-Raman 原子力-拉曼联用系统VistaScope原子力显微镜具有正置-倒置光路一体化的设计，可以将激发光从顶部，侧面以及底部激发至样品以适应透明和不透明的样品或使激发在针尖上的光束具有合适的偏振方向从而进一步增强拉曼信号。MVI提供高速高通量的Vista-Raman光谱仪与VistaScope原子力显微镜进行联用，其也可以和其他拉曼光谱仪进行联用。下图为VistaScope联合Vista-Raman对载玻片上碳纳米管的针尖增强拉曼成像(Tip Enhanced Raman Spectroscopy，TERS)。拉曼信号的增强主要源于局域表面等离子体共振(LSPR)的电磁场增强。光诱导力显微镜可以直接表征样品表面的场强分布，通过场强表征结果可以找到高场强进行针尖增强拉曼成像。下图为在光诱导力显微镜对于镀金衬底上亮甲酚蓝(BCB)场强表征，可以看到高场强（亮）和低场强（暗）所得到拉曼光谱信号的强弱对比。s-SNOM 散射式扫描近场光学显微镜有别于传统的扫描近场光学显微镜，光诱导力显微镜采用检测探针与样品之间的偶极交互直接获得样品表面的场强分布，无需远场光学探测器。这不仅杜绝了远场信号的干扰，也无需像SNOM那样配置多个不同波段光学探测器。光诱导力显微镜的检测端可无缝适应紫外～射频，用户仅需考虑如何将激发光激发至样品。同时，MVI也提供散射式扫描近场光学显微镜(s-SNOM)功能，用于光学相位的测量，作为场强测量的补充。下图为金铝二聚体分别在480nm和633nm不同偏振方向激发后的场强分布，图a,b的实测场强与图c,d的理论模拟是否吻合，金铝二聚体间隔仅为5nm!摘自“Wavelength-dependent Optical Force Imaging of Bimetallic Al-Au Heterodimers, Nano Lett. 2018”上面提到拉曼信号的增强主要源于局域表面等离子体共振(LSPR)的电磁场增强，下图为基于银颗粒阵列的表面增强拉曼衬底(SERS)的场强分布，图f的FWHM结果显示光诱导力显微镜实现了3.1nm的空间分辨。摘自“Fabrication and near-field visualization of a waferscale dense plasmonic nanostructured array, RSC Adv. 2018”More Intergration 与其他光学-光谱技术联用VistaScope原子力显微镜还能与其他多种光学-光谱技术联用。例如，非线性-时间分辨-泵浦-探测-超快光谱，光致发光光谱（荧光光谱与磷光光谱），单分子荧光成像，共聚焦成像等。下图为VistaScope原子力显微镜结合飞秒激光器在光诱导力显微镜模式下，以809nm为泵浦光，605nm探测光对于单个萘酞菁硅(SiNc)纳米团簇分子的时间分辨瞬态吸收成像的表征。摘自“Linear and Nonlinear Optical Spectroscopy at the Nanoscale with Photoinduced Force Microscopy, Acc. Chem. Res. 2015”下图为VistaScope原子力显微镜-光诱导力显微镜与荧光光谱对于二硫化钼原位表征结果Multi-frequency AFM 多频原子力显微镜VistaScope原子力显微镜采用了全新的多频模式，在具备所有常规原子力显微镜功能的条件下，也将性能提升到了全新的高度。相比于常规的单频原子力显微镜，多频原子力显微镜拥有更高的空间分辨率与灵敏度。下图为VistaScope在各种AFM模式下的成像结果。

Bruker布鲁克纳米红外光谱nanoIR3，是一款基于原子力显微镜（AFM）的纳米表征工具。布鲁克nanoIR 3-s AFM红外原子力显微镜采用光热诱导共振技术（PTIR，也称AFM-IR），使红外光谱的空间分辨率突破了光学衍射极限，提高至10纳米级别。为揭示纳米尺度下的表界面红外光谱信息提供了可能。该技术曾荣获2010年度美国R&D100大奖。光热诱导技术实现10nm超高化学分辨率和高信噪比纳米红外光谱高性能纳米级 FTIR 光谱只有 布鲁克nanoIR 3-s AFM红外原子力显微镜 能够提供：高性能纳米级 FTIR 光谱高性能红外近场光谱，采用目前先进的纳米红外激光源纳米级 FTIR 光谱，采用集成式DFG，可与宽带同步辐射光源集成适用于光谱和化学成像的多芯片 QCL 激光源点光谱技术POINTspectra 激光器可执行多个波长的光谱分析和高分辨光学成像。nanoIR3-s让测试更加简单：在 AFM 图像中选择要测量的特征测量样品的波谱，选择感兴趣的波长采集高分辨光学属性图根据对多个波长的干涉图的快速测量，获得空间分辨率达到 10nm 的振幅和相位图像 实现 10nm 分辨率Tapping AFM-IR，用于独特的互补性红外光谱分析。

仪器简介：瑞士Nanosurf公司，全球知名的专业研发扫描探针显微镜制造商和技术服务供应商，在扫描探针显微镜领域有超过15年的研发经验，一直致力于新型扫描探针显微镜的创新性研发和制造。目前已推出新一代低噪音-快速扫描-超高稳定性的AFM 和大扫描范围Nanite AFM系统。瑞士Nanosurf公司承诺提供最高品质的服务和客户支持，同时还提供纳米技术的OEM 客户定制，外包等业务。easyScan 2原子力显微镜是瑞士Nanosurf公司在原有easyScan原子力显微镜基础上更新而来，增进了该原子力显微镜的便携性，精确性和可靠性，有更强的抗干扰能力。目前easyScan 系列原子力显微镜已经在50多个国家销售了近2000台。是工业质量控制，纳米材料研发者的完美工具。技术参数：easyScan2 AFM原子力显微镜： 1. 两种可供选择的原子力显微镜扫描头 (1) 大扫描范围 最大扫描范围：X和Y方向110um x 110um xy轴分辨率： 1.7nm 最大扫描范围： Z方向20um z轴分辨率： 0.34nm Z噪音标准（RMS）： 0.4nm(2) 高分辨率 最大扫描范围：X和Y方向10um*10um xy轴分辨率：0.15nm 最大扫描范围：Z方向1.8um z轴分辨率：0.027nm Z噪音标准（RMS）：0.07nm 扫描速度：1800个数据点/秒 传感半径： 15nm 典型负载： 10nN 扫描仪质量：350g 反馈回路宽带：3kHz 自动进场范围：5mm 没有使用危险的高电压2. 电子控制器 数据采集时，可以和任何标准计算计串行端口连接 三个轴都有16位的数据收集与控制系统 轴输出电压：+12V 扫描速度：1-20分/框 1024样品/直线 动态频率范围：15-300KHz 动态频率分辨率：15-300KHz 外部电源 功率消耗量25VA 电子控制器质量2.5kg 3. 软件 软件在Windows 操作系统上运行 测量数据可以实现可视化 不同的窗体的扫描数据可以被同时显示 线观察，点观察，三维观察 在线数学计算功能（减，平均值等等） 类似于粗糙度（Ra，Rq）、顶点剖面、厚度、距离和几何分析的数据分析 可以实现多数据输出 定制显示器、工作场所 安装非常简便主要特点： easyScan2 AFM原子力显微镜：允许快速的、在原位无破坏性的、高分辨率的处理控制。 自动激光对准芯片技术，无需人工手动调节。设计小巧、紧凑；使用简便、舒适 。所有的功能可以在一台计算机上进行 。独立的；适合大、小形状各异的样品 。样品自动进场 。与标准计算机串行端口连接（不需要接口卡） 。特殊的扫描仪设计，确保低震动灵敏度 。

仪器简介：NANONICS IMAGING LTD. （以色列NANONICS有限公司）是业界将近场光学显微镜(NSOM)技术和原子力显微镜(AFM)相技术相结合的领头羊之一。公司成立于1997年，NANONICS是业界成立最久并且对此类系列产品经验最丰富的公司之一，其产品荣获过许多国际大奖。在强大的NSOM/AFM的整合操作系统的推动下，今天NANONICS继续以强大的优势和全面的系统热销市场。NANONICS凭借着实力和品质，其产品涉足的领域从科研到工业，从生物学到半导体，从化学制品到无线电通讯，应用范围极其广泛。 低温NSOM/AFM拥有先进的系统设备、环境友好的样品反应室、化学药品和气体自动传送系统；还有nano-印刷术系统，给消费者提供一个空前的系统配置选择。加上有AFM/NSOM/SEM的整合与AFM/NSOM/micro-Raman的整合系统这样强大的成象结合，可以让用户拥有一个实验平台来完成多个材料表征应用。探针包括NSOM探针，micro-pipettes是检测热、电性能的，同时探针还可以提供气体和液体加样，这是Nanonics系列产品的特色功能，可以为提供用户在很小的范围内做原位反应等。NAONICS系统兼容可所有供应商提供的SPM探针。 Renishaw PLC Ltd是最主要的Raman微型光谱成像系统的供应商，第一次与Nanonics Imaging Ltd一起合作制造了Raman化学成像的扫描探针显微镜（SPM）。此发明获得2003年光子学循环的卓越奖，AFM和Raman的结合物既能运行AFM扫描也能做Raman扫描。Nanonics和Renishaw结合具有强大功能。现在，我们又将瑞典Smiths有限公司的在线红外测试仪和扫描电镜SEM与其结合在一起，使其拥有更强大的材料表征功能，同时客户可以得到更高性价比的仪器。技术参数：1、扫描范围: XY方向70um、Z方向5um，另外有10um扫描器选配 2、扫描步进：70um扫描器＜1nm，10um扫描器＜0.1nm 3、最大样品尺寸：15mm× 15mm 4、反馈机制：光束偏转 5、操作模式：接触式，非接触式，敲击式 6、探针类型：可使用Nanonics专利的玻璃探针、电学热学探针、Nanopen 等；同时也可使用通用的AFM探针 使用范围： 1、力-距离测量 2、液体样品成像 3、电学测量 4、微区热分析测量 5、热阻测量 6、与微拉曼光谱联用 7、纳米化学迁移及操控(Nano FountainPen) 8、深沟或边墙材料成像(Deep Trench and Sidewall Imaging)主要特点：1、是一款性价比很高的原子力显微镜，使用的灵活性很大 2、可使用Nanonics专利的多种玻璃探针，也可以使用常规硅原子力探针 3、独特的扫描器及探针设计确保原子力显微镜扫描与光学显微镜实时兼容 4、可升级与Renishaw激光微拉曼光谱联用 5、可升级近场光学显微镜(NSOM)功能 6、使用Labview软件包，留出一定的空间给用户编写特殊要求的软件模块

alpha300 RA –在一个系统里面集成化学成分分析和纳米级别的结构成像alpha300 RA 是市场上首个高度集成的拉曼原子力显微镜系统，可以在标准的Alpha 300R共聚焦拉曼系统上通过标准模块升级即可完成拉曼原子力系统联用，获得原位的AFM和Raman图像的叠加。alpha300 RA 独特的设计理念使联用系统既保留300R强大的化学组分分析能力，同时加入微纳级别的表面形貌等特性的分析能力，使研究者能对样品进行深度完善的分析和理解。 alpha300 RA 让拉曼和原子力两种互补的技术得以在一套系统里面实现，两种技术的性能完全不受联用的影响，而且使用同一个操作软件，使得操作和分析变得简单应用。拉曼和原子力显微镜使用不同的显微镜物镜，只需要简单转动物镜转盘，成像软件即可原位完成两种技术的图像对比，叠加和分析 此外alpha300 RA可进一步升级来配合TERS (高分辨拉曼)测量 拉曼原子力显微镜系统主要特点l 所有alpha300 R (拉曼) 和alpha300 A (原子力) 的性能集成到一个显微镜系统内l 优异的原位化学组分分析（拉曼）和微纳级别表面特征分析（原子力）的结合l 原子力和拉曼同时进行的绝佳选择l 严格原位，完全不需要在测量过程中移动样品l 只需要转动物镜转盘即可在两种测量技术之间简单切换 拉曼原子力显微镜系统应用实例 多组分高分子混合物，包含了1:1:1比例的聚苯乙烯（PS），充油丁苯橡胶（SRB）和丙烯酸乙基己酯（EHA）的原位拉曼及原子力图像对标最左边的拉曼成像: 绿色代表PS, 红色代表SRB，蓝色代表EHA.第二至第五张图像分别是样品的表面拓扑结构，相位，粘附力和粘度 金刚石压砧在单晶硅表面的压痕的应力分析，原位拉曼原子力图像左图：10x10um原子力表面拓扑结构和深度轮廓图，右图压痕周边的应力拉曼图像，紫色为未受应力影响，黄色为压力应变，灰色为张力应变 拉曼原子力显微镜系统性能通用拉曼操作模式l 拉曼光谱成像：连续扫描的拉曼高光谱全谱成像，每个样品点都能获得完整的拉曼光谱l 平面2D和包含深度Z方向的3D成像模式l 快速和慢速时间序列l 单点及Z方向深度扫描l 光纤耦合的UHTS 系列光谱仪，专为弱光应用的拉曼光谱设计l 共聚焦荧光显微镜功能l 明场显微镜功能 通用原子力显微镜操作模式l 接触模式l AC 模式（轻敲模式）l 数字脉冲力模式 (DPFM)l 抬高模式l 磁力显微镜模式 (MFM)l 静电力显微镜模式 (EFM)l 相位成像模式l 力曲线分析l 微纳操控及微纳印刷l 横向力模式 (LFM)l 化学力模式 (CFM)l 电流探测模式l 其他可选 基本显微镜指标l 研究级别的光学显微镜，6孔物镜转盘l 明场CCD相机，代替目镜观察样品l LED明场科勒照明l 电动XYZ样品台，25x25x20mm平移范围l 主动隔震平台 各类拉曼升级选项（如true surface等）l 多种激光可选择l 多种光谱仪可选择l 自动共聚焦拉曼成像l 自动多区域多点测量l 可升级超快拉曼图像模式(需配置EMCCD和Piezo样品台，可获得每秒1300张光谱的速度)l 可升级落射荧光照明l 自动聚焦功能l 显微镜观察法可选，如暗场，像差，偏光，微分干涉等 超高通光量UHTS光谱仪l 各类透射式波长优化谱仪可选 (UV, VIS or NIR)，均为弱光拉曼光谱设计l 光纤耦合，70%超高光通量l 优异的成像质量，光谱峰形对称无像差 控制电脑WITec控制和数据采集，处理软件

Bruker原子力显微镜 Bruker公司的AFM具有多项 技术，以其 性能广泛应用于科研和工业各领域Dimension Icon 系列作为布鲁克公司(Bruker AXS)原子力显微镜的产品，凝聚了多项行业的 技术，是二十多年技术创新、客户反馈和行业应用的结晶。 应用：应用于科研和工业界各领域，涵盖了聚合物材料表征，集成光路测量，材料力学性能表征，MEMS制造，金属/合金/金属蒸镀的性质研究，液晶材料性能表征，分子器件，生物传感器，分子自组装结构，光盘存储，薄膜性能表征等领域的监测等各类科研和生产工作。 原子力显微镜的工作模式是以针尖与样品之间的作用力的形式来分类的。主要有以下3种操作模式：接触模式（contact mode) ，非接触模式（ non - contact mode) 和敲击模式( tapping mode）。 特征：u 低漂移和低噪音水平u 配置有专有ScanAsys原子成像优化技术，可以简易快速稳定成像u 测试样品尺寸可达：直径210mm，厚度15mmu 温度补偿位置传感器使Z轴和X-Y轴的噪音分别保持在亚-埃级和埃级水平，并呈现出前所未有的高分辨率。u 全新的XYZ闭环扫描头在不损失图像质量的前提下大大提高了扫描速度。u 探针和样品台的开放式设计使Icon 可胜任各种标准和非标准的实验。u 先进的布鲁克AFM的模式和技术，如高次谐波共振模式，和独有的不失真高温成像技术--采用对针尖和样品同时加热的方法， 程度减少针尖和样品之间的温差，避免造成成像失真。

Bruker原子力显微镜-- Dimension FastScan Bruker公司的AFM具有多项zhuan li技术，以其卓yue的性能广泛应用于科研和工业界各领域Dimension FastScanTM 原子力显微镜（Atomic Force Microscope，AFM），在不损失Dimension Icon超高的分辨率和卓yue的仪器性能前提下，zui大限度的提高了成像速度。这项突破性的技术创新，从根本上解决了AFM成像速度慢的难题，大大缩短了各技术水平的AFM用户获得高质量数据的时间,是世界上扫描速度zui快的原子力显微镜。 应用：应用于科研和工业界各领域，涵盖了聚合物材料表征，集成光路测量，材料力学性能表征，MEMS制造，金属/合金/金属蒸镀的性质研究，液晶材料性能表征，分子器件，生物传感器，分子自组装结构，光盘存储，薄膜性能表征等领域的监测等各类科研和生产工作。原子力显微镜的工作模式是以针jian与样品之间的作用力的形式来分类的。主要有以下3种操作模式：接触模式（contact mode) ，非接触模式（ non - contact mode) 和敲击模式( tapping mode）。 特征：u 高xiao率 l 在空气或液体中成像速度是原来速度的 100 倍，自动激光调节和检测器调节，智能进针，大大缩短了实验时间。 l 自动测量软件和高速扫描系统完mei结合，大幅提高了实验数据的可信度和可重复性。 u 高分辨率 l FastScan 精确的力控制模式提高图像分辨率的同时，延长了探针的使用寿命。扫描速度 20Hz 时仍能获得高质量的 TappingModeTM图像，扫描速度 6Hz 仍能获得高质量的ScanAsyst 图像。 l 低噪音，温度补偿传感器展现出亚埃级的噪音水平。 u 在任何样品上均有表现 l 闭环控制的 Icon和 FastScan扫描管极大地降低了 Z方向噪音，使它们 Z 方向的噪音水平分别低于 30pm 和 40 pm，具有极低的热漂移率，可得到超高分辨的真实图像。 l Fast Scan 可以对不同样品进行测量，保证高度从埃级到 100 多纳米的样品高精度无失真扫描

拉曼原子力显微镜型　号FM-NanoviewRa-AFM更新时间2022-10-17所属分类拉曼原子力显微镜产品描述：拉曼原子力显微镜FM-NanoviewRa-AFM◆ 同时集成拉曼光谱仪和原子力显微镜的功能，观测样品三维形貌的同时还可以分析样品的物质组分；◆ 内置10X复消色差光学系统，无需调焦，同时看到探针针尖和拉曼激光光斑；◆ 不移动样品可以从相同的点同时采集AFM和拉曼数据，原位检测样品的形貌信息与化学信息；◆ 激光检测头、激光耦合器和样品扫描台集成一体，稳定可靠；◆ 精密激光及探针。产品概述　　拉曼原子力显微镜技术参数 　　◆ 工作模式：接触、轻敲、F-Z力曲线测量、RMS-Z曲线测量、摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力和静电力 　　◆ 样品尺寸：Φ≤90mm，H≤20mm 　　◆ 扫描范围：XY向20um，Z向2um(可选配XY向50um，Z向5um) 　　◆ 扫描分辨率：XY向0.2nm，Z向0.05nm 　　◆ 样品移动范围：0~20mm 　　◆ 光学放大倍数10X，光学分辨率1um(可选配20X，光学分辨率0.8um) 　　◆ 扫描速率0.6Hz~4.34Hz，扫描角度0~360° 　　◆ 扫描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A 　　◆ 数据采样：14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样 　　◆ 反馈方式：DSP数字反馈 　　◆ 反馈采样速率：64.0KHz 　　◆ 通信接口：USB2.0/3.0 　　◆ 运行环境：WindowsXP/7/8/10操作系统 　　拉曼光谱仪： 　　◆ 激光波长：532±0.05nm,可选配785±0.05nm 　　◆ 激光连续输出功率：500Mw(50-600mW连续可调) 　　◆ 激光波长稳定性：0.05nm 　　◆ 激光功率稳定性：2%(两小时内) 　　◆ 激光器寿命：10000小时 　　◆ 拉曼漂移范围：50-4000cmˉ¹ 　　◆ 光谱分辨率：3cmˉ¹ 　　◆ 动态范围：8000:1 　　◆ 积分时间：17毫秒-100秒 　　◆ 线性度：99.8% 　　◆ 运行环境：WindowsXP/7/8操作系统 　　◆ 自动寻峰：支持 　　◆ 拉曼数据库：3000多种常见数据(选配)，支持升级 　　◆ 开发式拉曼数据库：支持 　　◆ 拉曼数据导入导出：支持 　　◆ 分析软件：Raman Analysis 2

用于研发的灵活与多功能的原子力显微镜仪器简介：FlexAFM原子力显微镜是Nanosurf公司新研发的在大气环境和液体环境下都可以进行测试，并且可与倒置光学显微镜和温度样品台联用。可以满足绝大多数研究的需要。瑞士Nanosurf公司，全球知名的专业研发扫描探针显微镜制造商和技术服务供应商，在扫描探针显微镜领域有超过15年的研发经验，一直致力于新型扫描探针显微镜的创新性研发和制造。目前已推出新一代低噪音-快速扫描-超高稳定性的AFM 和大扫描范围Nanite AFM系统。瑞士Nanosurf公司承诺提供最高品质的服务和客户支持，同时还提供纳米技术的OEM 客户定制，外包等业务。技术参数：1，FLEXAFM原子力显微镜测量模式：接触式原子力显微镜（大气和液态环境），真正非接触式原子力显微镜（大气和液态环境），横向力/摩擦力显微镜（LFM），导电原子力显微镜，磁力显微镜（MFM），开尔文探针（Kelvin Probe），扫描热原子力显微镜（SThM），电容和静电力显微镜（EFM），高级的纳米光刻和纳米操作能力，音叉原子力显微镜，三维扫描成像。2，扫描范围：100 um；10 um3，Z方向范围：10um；3 um4，XY方向驱动分辨率：0.152 nm5，Z方向驱动分辨率：0.046 nm6，最小Z方向测量噪音水平：0.15nm7，样品尺寸：直径100mm主要特点：1，FlexAFM无论是在大气环境下还是在液体环境下都可以进行测试，操作和测试的方便程度是完全一样，没有什么区别。2，灵活弯曲结构的扫描头设计，可以引用于平的或粗糙的样品表面。XY-扫描通过电磁驱动，XY平面的运动是完全线性的 。Z方向的运动是通过压电陶瓷来驱动，Z方向的运动速度很快。3，激光光束进入液体时会发生一定偏移，通常实验时需要耐心和复杂的调整。而FlexAFM 使用了专利SureAlign&trade 的激光光学系统，无论是在大气下还是在液体中根本不需要做任何调整。所以FlexAFM 的激光信号永远处于最佳状态。4，两个方向的视窗，非常方便观察和针尖逼近。并且由于特别的设计，使得无论在大气环境还是液体环境得到同样质量的视像。5，FlexAFM 使用"Liquid Ready" easyScan 2控制器, 可以扩展STM 等技术。为了材料研发上的成功,科学家们依赖专业的工具来快速地提供需要的信息,不管是否是手头的任务. 通过开发关键技术与设计, Nanosurf使得Flex-Axiom成为一款迄今为止强大多功能而且灵活的AFM, 非常方便地进行各种各样材料研发方面的应用. 配合功能强大的C3000控制器, Flex-Axiom还可以进行更多复杂的材料表征应用. 几百个研究用户，多方面应用实例Flex-Axiom是您可信赖的工具，不管是在表面形貌还是计量成像上，不管在大气中还是液体环境中. 当然Flex-Axiom不仅仅可以用于表面形貌测量, 比如还可以进行高级纳米机械性能、电学或者磁学性能表征. 该系统更能有效地用于样品的微纳米操纵功能. Topography, KPFM, and MFM images of the same area of a stainless steel sample 精确而优越的性能方便您研发上的需求Flex-Axiom使用特殊的线性电磁平板扫描器用于XY移动. 该扫描器在全范围内的平均线性度误差小于0.1%, 属于AFM市场上的顶配. Z轴由压电驱动, 带有位置传感器可以实现闭环操作. 高敏感的悬臂梁探测系统可以测量到MHz测量范围. Flex-Axiom的测量头配置的是全功能的, 带有数字反馈与两个双通道锁放的最新24位C3000控制器.Imaging of single and multiple pyrene nanosheets and height analysis with sub-nanometer accuracy. Data courtesy: Mykhailo Vybornyi, University of Berne, Switzerland 模块化设计: 让您今天的预算物有所值，让您未来有更多机会增加配置或需求Flex-Axiom带有模块化的样品台设计与各种探针底座类型, 可以满足您当前与今后的需求. 基于C3000控制器, Flex-Axiom可配置14种AFM操作功能, 甚至更多可扩展功能, 可以进行更多材料开发上面的高级测量与实验研究. ECS 204电化学样品台, 举例来说, 可以进行样品的电化学与以及样品周围的环境控制, 这样就可以开发更多新的应用. 跟一些我们的高级研发用户一起, 用于大范围纳米刻蚀、手套箱内操作、磁阻感应功能都已经被开发出来. Large-area nano-lithography (Dr. Lu Shin Wong, Manchester, UK) Flex-Axiom in glove box (Dr. Philip Kim, Harvard University, US) Magneto-resistive sensing (Dr. Jo?o Gaspar, Braga, PT) Flex-Axiom的模块化概念可以轻松地让它升级到其他FlexAFM产品线 (如用于生命科学的Flex-Bio, 用于自动纳米机械性能分析的Flex-ANA以及用于细胞与纳米操纵的Flex-FPM)， 给您的Flex-Axiom系统提供了更多的升级与扩展的可能性. Flex-Bio Flex-ANA Flex-FPM 开发所有的实践细节，有益于日常操作FlexAFM视频选件集成了两个摄像头用于顶视与侧视, 可以让您快速地找到感兴趣区域并逼近针尖到样品表面位置，然后进行全自动逼近. Camera optics Top view Side view带有定位槽结构的探针底座可使用带有定位沟槽的探针. 该探针底座提供了微米级别定位精度, 更换探针无需调节激光； 可以让您更换探针后依然方便地找到样品同样的位置. Flex-Axiom 配件与附件 Flex-Axiom系统的核心是FlexAFM测量头与C3000控制器，它们由I100电气转接盒连接. 基于标准配置, Flex-Axiom具有多个选件与附件可以供选择, 专门设计用来提高更稳定与可靠的结果, 或者提供了更多新型测量功能与实验的可信性: 各种探针底座类型 FlexAFM视频选件，顶视与侧视双光学ECS 204 电化学样品台ATS 204 自动移动台Isostage主动式防震台环境控制来进行干燥或者低氧环境操作 高级隔声罩用于保护外界噪声与其他干扰

布鲁克（BRUKER）探针不为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。AFM配件，原子力探针，AFM探针，原子力探针针尖，显微镜探针针尖，原子力针尖，原子力显微镜探针针尖，接触探针，纳米压痕探针，氮化硅探针，硅探针，热探针，超尖探针，电子探针，显微镜针尖，原子力显微镜针尖，轻巧模式探针，AFM针尖，接触式探针，磁性探针，导电探针，显微镜探针，探针，布鲁克探针，原子力探针，BRUKER PROBE，AFM PROBE，BRUKER探针，原子力显微镜探针，AFM探针，VEECO探针

多功能原子力显微镜-AFM利用微悬臂下方的探针和样品表面距离缩小到纳米级，探针和样品表面的分子间作用力使得悬臂受力形变。探针针尖和样品之间的作用力与距离有强烈的依赖关系，即可以通过检测悬臂受力的弯曲程度,从而获得样品表面形貌信息。不同于电子显微镜只能提供二维图像，多功能原子力显微镜-AFM能提供真实的三维表面图。同时,AFM不需要对样品的任何特殊处理,如镀铜或碳，这种处理对样品会造成不可逆转的伤害。第三，电子显微镜需要运行在高真空条件下,原子力显微镜在常压下甚至在液体环境下都可以良好工作。这样可以用来研究生物宏观分子,电池材料，甚至活的生物组织。利用微悬臂探针结构对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征,纵向噪音水平低至0.03nm(开环)，可实现样品表面单个原子层结构形貌图像绘制。AFM最大的特点是可以测量表面原子之间的力,AFM可测量的最小力的量级为10-14-10-16N。多功能原子力显微镜-AFM还可以测量表面的弹性,塑性、硬度、黏着力等性质,AFM还可以在真空,大气或溶液下工作,在材料研究中获得了广泛的研究。多功能原子力显微镜-AFM由本公司自主研发,稳定性强，可拓展性良好，提供定制服务 可拓展横向力显微镜 静电力显微镜 磁力显微镜 扫描开尔文探针显微镜 刻蚀和纳米操作等。该产品作为高速、高精度物质形貌表征工具,可以为高端科研与企业生产研发提供更多的选择与助力。 具体产品介绍详见下图：

产品特点：GATTA-AFM纳米标尺具有准确、高度平行的结构，可以完美地用于检测或优化原子力显微镜。在实际环境中测试原子力显微镜可以达到的分辨率非常重要，不仅可以测出原子力显微镜达到产品标称分辨率的可能性，还可以测出实际使用时可达到的极限。如今GATTA也提供适合测试的GATTA-AFM纳米标尺，现在，有了GATTA原子力显微镜纳米标尺之后，就有了足够的测试样品，这些样本用DNA做成，呈现70nm*90nm*2nm（高）的长方体形状。技术参数：

仪器简介：Nanite 原子力显微镜系统是纳米测量和成像的完美工具。该系统提供三维数据。原子力显微镜测量是非破坏性的，无需制备样品。此外，机械运动平台允许批量的，预编程测量，使用大型花岗岩自动X/Y/Z样品台可测试尺寸达180mm样品的不同区域，用户甚至可以定制更大的移动样品台。Nanite设计灵活、操作简单，是您理想的全自动研究级AFM系统。瑞士Nanosurf公司，全球知名的专业研发扫描探针原子力显微镜制造商和技术服务供应商，在扫描探针原子力显微镜领域有超过15年的研发经验，一直致力于新型扫描探针原子力显微镜的创新性研发和制造。目前已推出新一代低噪音-快速扫描-超高稳定性的AFM 和大扫描范围Nanite AFM系统。瑞士Nanosurf公司承诺提供最高品质的服务和客户支持，同时还提供纳米技术的OEM 客户定制，外包等业务。技术参数：原子力显微镜测量模式: 接触式原子力显微镜，真正非接触式原子力显微镜，横向力/摩擦力显微镜（LFM），导电原子力显微镜，磁力显微镜（MFM），开尔文探针（Kelvin Probe），扫描热原子力显微镜（SThM），电容和静电力显微镜（EFM），高级的纳米光刻和纳米操作能力，音叉原子力显微镜，三维扫描成像。 ● 原子力显微镜扫描器最大测量范围：110um X & Y range，22um Z range ● 大尺寸样品台，全自动测量最大直径为160mm样品。 ● PZT/Voice Coil双模式技术AFM ● 全自动运动平台，马达驱动 ● 专利批处理软件，自动图像拼接缝合技术，可以测量超大样品的三维形貌像 ● 先进的32-bit DSP控制器，专利反馈技术(扫描范围10um时最高扫描20 Hz,消除爬行现象) ● 可以进行纳米压痕和划痕实验 ● 专利光学系统， XY闭环扫描技术 ● 独特开放性软硬件构架设计, 并开放所有源代码供您的二次开发主要特点：● 原子力显微镜扫描器最大测量范围：110um X & Y range，22um Z range● 大尺寸样品台，全自动测量最大直径为160mm样品。● PZT/Voice Coil双模式技术AFM● 全自动运动平台，马达驱动● 专利批处理软件，自动图像拼接缝合技术，可以测量超大样品的三维形貌像● 先进的32-bit DSP控制器，专利反馈技术(扫描范围10um时最高扫描20 Hz,消除爬行现象)● 可以进行纳米压痕和划痕实验● 专利光学系统， XY闭环扫描技术● 独特开放性软硬件构架设计, 并开放所有源代码供您的二次开发

【产品简介】 Nanosurf Bio原子力显微镜在倒置显微镜平台上可以提供高精度、高分辨率和成像功能，实现原位实时获取AFM图像和光学图像。可以在空气或液体环境中对DNA、蛋白质、细胞等成像和结构以及分子间作用力、细胞吸附力等生物力学进行检测，是生物/生命科学领域用户最理想的显微镜。 【仪器参数】 最大扫描范围100μm10μm 最大Z向范围10μm3μm Z向分辨率0.152nm0.046nm XY向分辨率1.525nm0.152nm

Park NX12原子力显微镜用于分析化学的全能型原子力显微镜多功能原子力显微镜平台，满足纳米级测量的需求原子力显微镜（AFM)有纳米级分辨率成像以及电，磁，热和机器性能测量的能力。纳米管扫描系统可用于高分辨率扫描离子电导显微镜（SICM).倒置光学显微镜（IOM）便于透明材料研究和荧光显微镜一体化。—————————————————————————————————————————通过验证的NX10性能通过倒置光学显微镜样品平台，Park NX12将Park原子力显微镜的多功能性和准确性相结合。这使得使用者更容易的使用纳米管技术去研究透明，不透明，或软或硬的样品。出众的电化测试平台电池，燃料电池，传感器和腐蚀等电化学研究是个快速增长的领域，然后许多原子力显微镜不能直接满足其特殊的需求。Park NX12的人性化设计，为快速操作提供便利，从而达到化学研究人员要求的功能性和灵活性。这主要包括：多功能易用电化学池惰性气体和湿度的环境控制选项双恒电位仪的兼容性研究人员可利用Park NX12平台实现各种电化学应用：扫描电化学显微镜(SECM)扫描电化学池显微镜(SECCM)电化学原子力显微镜（EC-AFM）和电化学扫描隧道显微镜( EC-STM)—————————————————————————————————————————考虑建立多用户设备Park NX12力求重新构建，以适应许多用户设备需求。其他原子力显微镜解决方案缺乏必要的多功能性，难以满足该设备中用户的多重需求，很难合理控制设备成本。然而，Park NX12旨在能够容纳标准环境原子力显微镜成像，液体扫描探针显微镜，光学和纳米光学成像，使其成为灵活的原子力显微镜之一。模块化设计Park NX12是专门针对专业电化学研究人员需求量身定制的原子力显微镜平台。它基于化学和电化学性质，气体和液体中介质的特性，为扫描探针显微镜提供了一个通用的解决方案，可用于广泛的不透明和透明材料。Park NX12基于其广泛的可视光投置到扫描探针的扫描探针显微镜技术的纳米管，易用性强。Park NX12具有高精准度，是多用户设备和职业研究人员的理想平台。多功能应用Park NX12功能广泛，包括液体中的PinPoint &trade 和纳米力学，倒置光学显微镜定位透明样品，离子电导显微镜软样品成像，以及改善透明样品光学性能的可视性。—————————————————————————————————————————综合性的力谱方法Park NX12提供了一种在液态和空气中的纳米力学表征的完整套餐，使其成为广泛应用中的理想选择。模块化NX12模块化设计，安装简单，兼容性强，可以满足您的多种实验需求。适合早期职业研究人员的有竞争力的价格和灵活性早期职业研究人员通常没有足够的预算购买价格高昂的原子力显微镜。Park NX12不仅是经济实惠的入门之选，同时还提供了可随着职业发展而不断壮大的模块化平台。它不同于其他价格相近的原子力显微镜，Park NX12配有先进的研究级精度和功能，可为在空气和液体中的透明和不透明材料提供其表面形态纳米级分辨率。这使得新的化学，材料科学或生物化学实验室的理想投资回报成为可能。—————————————————————————————————————————Park SmartScan&trade 自动模式下的单击成像Park NX12配备了我们的SmartScan&trade 操作系统，使其成为市场上高速易使用的原子力显微镜之一。其界面直观给力，即使是未经培训的用户也可以无需监控，快速扫描样品。这使得专业研究人员能够将他们的经验专注在解决更大的问题和开发更好的方案。易使用性共享实验室的用户通常背景各异，经验水平各异。NX12为每个用户提供简单的点击界面和自动化SmartScan&trade 模式。打开原子力显微镜系统后，具体操作如下1. 点击 “设置”系统出现一个小窗口，通过动画演示指导您如何仪器设置和放置待成像的样品。一般情况下，这一步仅需几分钟。2. 点击 “定位”系统自动对悬臂进行频率扫描，让 Z 轴扫描仪向样品靠近，并自动对焦样品，使用户看到成像目标区域后进行操作，移动到目标区域。3. 点击 “成像”系统设置实现优化设置所必要的参数，然后启用悬臂，开始扫描样品。持续扫描，直至获得完整图像。结束悬臂将从样本上移开，准备进行下一次样品成像操作。—————————————————————————————————————————Park NX12 技术参数扫描器Z 扫描器柔性引导高推动力扫描器扫描范围 : 15 µ m (可选 30 µ m)高度信号噪声等级: 30 pm0.5 kHz bandwidth, rms (typical)XY 扫描器闭环控制的柔性引导XY扫描器扫描范围 : 100 µ m × 100 µ m驱动台Z 位移台行程范围 : 25 mm (Motorized)聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized)XY位移台行程范围 : 10 mm x 10 mm (Motorized)样品架样品尺寸 : 开放空间 up to 50 mm x 50 mm, 厚度 up to 20 mm (建议使用 SPM 模式的样品尺寸小于 40 x 40 mm)样品重量 : 500 g光学10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µ m分辨率)样品表面和悬臂的直观同轴影像视野 : 840 × 630 µ m (带10倍物镜)CCD : 500万像素。120万像素 (可选)软件SmartScan&trade AFM系统控制和数据采集的专用软件智能模式的快速设置和简易成像手动模式的高级使用和更精密的扫描控制XEIAFM数据分析软件电子集成功能4通道数字锁相放大器弹性系数校准(热方法，可选)数据Q控制AFM 模式(*可选项)标准成像真正非接触式原子力显微镜PinPoint&trade 原子力显微镜接触式原子力显微镜横向力显微镜 (LFM)相位成像轻敲式原子力显微镜力测量力-距离(F/d)光谱力谱成像 介电/压电性能*静电力显微镜 (EFM)动态接触式静电力显微镜 (EFM-DC)压电力显微镜 (PFM)高压压电力显微镜机械性能力调制显微镜 (FMM)纳米压痕*纳米刻蚀*高压纳米刻蚀*纳米操纵*磁学特性*磁力显微镜 (MFM)可调制磁力显微镜电性能导电原子力显微镜 (C-AFM)*IV 谱线*扫描开尔文探针显微镜 (KPFM)扫描电容显微镜 (SCM)*扫描电阻显微镜 (SSRM)*扫描隧道显微镜 (STM)*光电流测绘 (PCM)*化学性能*功能化探针的化学力显微镜电化学显微镜 (EC-AFM)原子力显微镜选项电化学电池电化学电池通用液体电池的电化学工具包电化学选项恒电位仪双恒电位仪 温度控制温控台 1 -25 °C to +170 °C温控台 2 Ambient to +250 °C温控台 3 Ambient to +600 °C液下探针柄专为在一般液体环境中成像而设计对大多数包括酸在内的缓冲溶液具有抗腐蚀性可在液体中进行接触式和非接触式原子力显微镜成像隔音罩独立型 AE 204Z 扫描头15 μm Z Scanner AFM head30 μm Z Scanner AFM head15 μm Z Scanner SICM module30 μm Z Scanner SICM module环境控制选项手套箱活细胞室液体池通用液体池有液体/气体灌注的开放式或封闭式液体池 温度控制范围: 0 °C to +110 °C (in air), 4 °C to +70 °C (with liquid)电化学池开放式液体池磁场发生器施加平行于样品表面的外部磁场可调磁场范围 : -300 ~ 300 gauss由纯铁芯和两个电磁线圈组成高级模式的入门套件易用于包含专用探针和样品的高级模式

仪器由主机和控制系统、专用工具、操作软件及附件组成。主要用于化学、材料科学（纳米材料、高分子、聚合物、半导体等）、生命科学以及相关领域的研究工作，对各种材料、化工产品、生物制品、非金属矿及深加工产品等进行观测，并对其表面形貌进行分析。扫描隧道显微镜功能：恒流模式、恒高模式、I(Z)谱、I(V)谱原子力显微镜功能：形貌成像、相位成像、磁力显微镜、静电力显微镜、扩展电阻成像、开尔文探针显微镜、力－距离曲线、振幅－距离曲线、I(V)谱刻蚀功能：力刻蚀、电流刻蚀、矢量刻蚀

Park NX10原子力显微镜简介： NX10原子力显微镜是Park原子力显微镜公司功能最强大的一款原子力显微镜，这是一款全自动的原子力显微镜系统，扫描分辨率达到了0.02nm，集成了Park公司专利技术“非接触式工作模式”“智能扫描模式”“基于压电陶瓷堆积技术的平板扫描器”，并标配快速扫描模式，变速扫描模式，加上可选功能模块，使得NX10型原子力显微镜被广泛用于物理，化学，生物，医药学，细胞学，电学，力学，半导体，磁学等方向的研究。NX10型原子力显微镜技术特色：1）采用非接触式工作模式：Park公司是目前全球唯一一家真正实现非接触测量模式的原子力显微镜厂家，在不影响测量精度的前提下，可实现样品与针尖的非接触测量，避免了由于针尖磨损带来测量重复性差与探针磨损快的缺点。下图是测量CrN样品的实例，CrN样品的硬度很高，具有三角形结构，采用非接触模式测量100幅图后，图像质量几乎无变化，针尖几乎无磨损！！！2）探测器噪声水平为全球业界最低：0.02nm Z轴探测器是全新的NX系列原子力显微镜的核心技术改进之一,它是Park独创的新型应变传感器,凭借着0.2埃的超低噪声，它一跃成为行业内噪声最低的Z轴探测器,检测原子台阶及其容易。3）采用全球最高性能平板扫描器：采用专利技术得三轴分离的平板扫描器，在整个80μm的扫描范围内误差＜1nm !!!! 4）操作极其简单： - 具有“智能扫描模式”Smart scan：这是Park公司的专利技术之一，用户只需要选择扫描速度及扫描范围，系统即可自动调整反馈,无需寻找共振峰,无需调整反馈参数gain值 - 具有中文，英文等多种操作界面 - 凭借着我们先进的预准直悬臂架，悬臂在装载时激光便已完成聚焦。并且，自上而下的同轴视角（行业独一无二）让您可以轻松地找到激光光点。由于激光垂直照射在悬臂上，您可以凭直觉旋动两个定位旋钮，将激光光点随着X轴和Y轴移动。这样，您可以在激光准直界面中，轻易地找到激光并将其定位在PSPD上。此时，您只需要稍作调整实现信号的最大化，便可开始获取数据。 5）具有全球最广泛的原子力显微镜模式：NX10原子力显微镜主要技术参数： - XY闭环扫描范围大：达100μm*100μm- Z向闭环扫描范围大：达15μm- 超高的测量分辨率：可达0.02nm- 全自动扫描范围：20mm*20mm- 具有快速扫描功能：最高达50HzNX10原子力显微镜部分测试实例：

Bruker 全自动原子力显微镜 InSight AFP——第五代AFP具有业界高的分辨率、快的成型速度和快速的3D模具映射InSight AFP是世上性能*高、行业首-选的先进技术节点CMP轮廓和蚀刻深度计量系统。将其现代尖-端扫描仪与固有的稳定电容式压力计和精确的空气轴承定位系统相结合，可以在模具的活动区域进行非破坏性的直接测量。 0.3纳米长期稳定提供NIST可追踪的参考计量，并在一年内保持测量的稳定性260-340个站点/小时内联应用程序的*高生产效率减少MAM时间和优化的晶圆处理可保持高达50个晶圆/小时的吞吐量高达36000微米/秒仿形速度通过热点识别提供高分辨率3D特征*高分辨率，尖-端寿命长InSight AFP的TrueSense技术，具有原子力分析器经验证的长扫描能力。亚微米特征的蚀刻深度、凹陷和侵蚀可以完全自动化地监控，具有无与伦比的可重复性，无需依赖测试键或模型。-----蚀刻和CMP晶片的全自动在线过程控制Insight AFP结合了原子力显微镜的新创新，包括Bruker的专有CDMode，用于表征侧壁特征和粗糙度。CDmode减少了所需的横截面数量，实现了显著的成本节约。此外，AFP数据提供了无法通过其他技术获得的直接侧壁粗糙度测量。自动缺陷审查和分类当今集成电路的器件缺陷比以往任何时候都小，需要快速解决HVM需求。InSight AFP提供了有关半导体晶片和PHTOmask缺陷的快速、可操作的地形和材料信息，使制造商能够快速识别缺陷源并消除其对生产的影响。100倍高分辨率配准光学元件和AFM全局对准可使图案化晶圆和掩模的原始图像放置精度低于±250 nm，确保感兴趣的缺陷是测量的缺陷。该系统与KLARITY和大多数其他YMS系统完全兼容。3D模具映射和HyperMap&trade 分析速度高达36000μm/sec，能够对33mm x 26mm及更大的闪光场进行快速、完整的3D CMP后表征和检查。超2纳米的平面外运动，实现真正的大规模地形和全自动抛光后热点检测。在本例中，在24小时内以1微米x 1微米像素大小获得了完整的标准26毫米x 33毫米十字线场扫描。然后可以使用Bruker的热点检测和审查功能自动检测和重新扫描热点。售后服务Bruker 全自动原子力显微镜 InSight CAP——紧凑型高性能剖面仪和AFMBruker的InSight CAP自动原子力轮廓仪是专门为半导体制造商和供应商设计的CMP和蚀刻计量组合平台。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。 0.5 nm长期动态再现性用于关键工艺决策的直接、稳定的在线计量 亚纳米CMP自动计量的灵敏度，专用碟形和腐蚀计量包，用于无与伦比的过程控制和开发 20nm仿形平面度大于26mm针对关键EUV光刻技术开发和过程控制的高精度CMP后平面度计量 在线计量结果以分钟为单位，适用于蚀刻和CMP的技术开发和过程控制在高级技术节点，多模式光刻技术对CMP提出了纳米级的过程控制要求，以满足聚焦深度需求。InSight CAP围绕新一代AFM扫描仪构建，在65μm X/Y扫描范围内提供改进的平坦度，小于10纳米。该系统的NanoScopeV 64位AFM控制器提供了5倍更快的啮合性能和5倍更快的调整速度，以提高生产效率，所有这些都提高了可靠性。其DT自适应扫描模式也有助于加快扫描速度和改进计量。InSight CAP高分辨率剖面仪结合了多项先进功能，可在宏观凹陷和侵蚀中实现埃级精度测量。灵活的配置支持从100毫米到300毫米的晶圆尺寸，可实现广泛终端应用的精确测量。从高生产率的实验室到全自动化的工厂，InSight CAP profiler可以优化配置，以获得具成本效益的计量解决方案。售后服

Park NX20原子力显微镜用于失效分析的理想选择引领用于故障分析和大型样品研究的纳米计量工具作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。 而仪器所提供的数据不能允许有错误的存在。 Park NX20，这款高精密的大型样品原子力显微镜，凭借着数据的准确性，在半导体和硬盘行业中大受赞扬。全面多样的分析功能Park NX20可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。 高精密度可为用户带来高分辨率数据，让用户能够更加专注于工作。 与此同时，非接触扫描模式让探针针尖更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。即便是刚接触原子显微镜的工程师也易于操作Park NX20拥有业界便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。 借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。———————————————————————————————————————————为FA和研究实验室提供精准的形貌测量解决方案样品侧壁三维结构测量NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面，并测量它们的角度。 众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必需的。对样品和基片进行表面光洁度测量表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一，能够带来精准的失效分析和质量保证。高分辨率电子扫描模式QuickStep SCM超快的扫描式电容显微镜PinPoint AFM无摩擦导电原子力显微镜———————————————————————————————————————————多种创新且创新的专利技术帮助顾客减少测试时间CrN样品所做的针尖磨损实验AFM测量通过对比重复扫描情况下探针尖端的形状变化，您可以轻易看到Park的真正非接触模式的优势所在。借助真正非接触模式，探针尖端在扫描氮化铬样品（即探针检测样品）200次后仍可保持锋利的状态。 氮化铬的表面粗糙且研磨性强，会让普通的探针很快变钝。———————————————————————————————————————————低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌超低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像，没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。√ 使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量。√ 在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02 nm。√ 没有前沿或后沿过冲现象√ 终身无需校准，减少设备维护成本Park NX系列原子力显微镜传统的原子力显微镜Park NX20特点 ————低噪声XYZ位置传感器低噪声XYZ闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。高速Z轴扫描器,扫描范围达15um高强度压电堆栈和挠性设计，标准Z轴扫描器的共振频率高达9kHz(一般为10.5kHz）且探针的Z轴扫描速率不低于48 mm/秒。 Z轴扫描范围可从标准的15um扩展至30um（可另选Z扫描头）。自动多点样品扫描借助驱动样品台，可编程步进扫描，多区域成像，以下是它的工作流程：1) 扫描成像2) 抬起悬臂3) 移动驱动平台到设定位置4) 进针5) 重复扫描该自动化功能可大大减少扫描过程中人工移动样品所需时间，从而缩短测试时间，提高生产率。集成編碼器的XY自动样品载台编码器可用于所有自动样品载台，并可保证更高的重复定位精度，从而可更精准地控制样品测量位置。XY马达运动工作时分辨率为1 um重复率为2um。Z马达运动的分辨率为0.1um,重复率为1um。扫描头滑动嵌入式设计您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜扫描头。 该设计可将扫描头自动锁定至预对准的位置，无需调节激光位置，激光自动投射在针尖上。 借助于四象限检测器，显微镜可精确成像并准确测定力.距离曲线。操作方便的样品台借助创新的镜头设计，用户可从侧面操作控样品和探针。 根据XY轴样品台所设定的行程范围，用户在样品台上可放置的大样品体积直径可高达200 mm。用于高级扫描模式易插槽您只需要将可选模块插入扩展槽，您便可激活高级扫描探针显微镜模式。 得益于NX系列原子力显微镜的模块化设计，其产品线的配置兼容性大大提高。同轴高功率光学集成LED照明和CCD系统定制物镜配有超长工作距离（51 mm，0.21的数值孔径，1.0um的分辨率），带来超高的镜头清晰度。同轴光源设计让用户可轻易地在样品表面寻找测试区域，物镜分辨率为0.7um。 得益于CCD的高端传感器，在获得较大视场的同时，分辨率却不受影响。 由软件控制的LED光源能为样品表面提供足够的照明，便于清晰观察样品。高速24位数字电子控制所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理的。 该控制器是全数字、24位高速控制器，可确保Park 真正非接触模式下的成像精度和速度。 凭借着低噪声设计和高速处理单元，该控制器是纳米级成像和精确电压电流测量的绝佳选择。 嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能，更好的解决方案，是资深研究院的理想选择。XY.Z轴检测器的24位信号分辨率XY轴(50 μm)的分辨率可低至0.003 nmZ轴(15 μm)的分辨率可低至0.001 nm嵌入式数字信号处理功能三个锁相放大器探针弹簧系数校准数据Q控制集成式信号端口专用可编程信号输入/输出端口7个输入端口和3个输出端口自动Z轴移动和聚焦系统高度限行Z轴移动和聚焦系统，可以得到清晰的视野和图像，用户通过软件界面进行操作，由高精度步进电机驱动，即使液体或者透明样品也可快速找到样品表面。———————————————————————————————————————————QuickStep SCM模式√ 比传统的扫描式电容显微镜(SCM)扫描速度快十倍√ 信号灵敏度、空间分辨率和数据精准度不受影响高通量QuickStep扫描在QuickStep扫描模式下，SCM测量通量大幅提升，可达到标准SCM扫描速度的十倍，且信号灵敏度、空间分辨率和数据精准度不受影响。 在QuickStep扫描模式下，XY轴扫描器在各像素点停住，记录数据。 扫描器会在各像素点之间快速跳跃。QuickStep扫描传统扫描扫描速度1.5Hz扫描速度1Hz扫描大小: 10 µ m×3 µ m, AC Bias: 0.5 Vp-v, DC Bias: 0 V———————————————————————————————————————————Park SCM精准的掺杂形貌量测在半导体制造业，分析掺杂剂分布对于确定失效原因和进行设计改进有着重要作用。 在器件特性化方面，SCM有着优异二维量化掺杂剂分布分析能力。PinPoint导电原子力显微镜模式PinPoint导电原子力显微镜模式是针对探针和样品之间的指定电接点而开发设计的。 在电流采样过程中，XY轴扫描器会依据用户设定的接触时间停止。 PinPoint导电原子力显微镜模式能够带来更高的空间分辨率，且不受 侧向力的影响，同时在不同样品表面的电流测量也得到优化。——————PinPoint模式——————— —————Contact—————样品: ZnO nano-rods, -3 V sample bias通过对比氧化锌纳米棒在不同类型的导电原子力显微镜图像，我们可以看到相比轻敲式导电原子力显微镜，传统的接触式导电原子力显微镜有着更高精度的电流测量，但其分辨率低，原因 在于探针在接触中快速磨损。 全新的PinPoint导电原子力显微镜不但空间分辨率更高，且电流测量也得到优化。———————————————————————————————————————————高带宽低噪声导电原子力显微镜导电原子力显微镜是各类元件研究的重要工具，特别是工业的失效分析。 Park导电原子力显微镜在市场中拥有核心竞争力，不但有着全行业超低的电流噪声，且增益范围也是较大。业内超低的电流噪声(0.1 pA)业内超大的电流(10 μA)巨大的增益范围（7个数量级，103-109）———————————————————————————————————————————Park NX20先进的SPM模式表面粗糙度检测真正非接触模式 动态力模式电学性能导电原子力显微镜 (ULCA和VECA)静电力显微镜 (EFM)压电力显微镜 (PFM)扫描电容显微镜 (SCM)扫描开尔文探针显微镜 (SKPM)扫描电阻显微镜 (SSRM)扫描隧道显微镜 (STM)机械性能力调制显微镜 (FMM)力.距离(FD) 曲线力谱成像侧向力显微镜 (LFM)纳米刻蚀相位成像Park NX20技术参数————扫描器Z扫描器柔性引导高推动力扫描器扫描范围: 15 µ m (可选 30um)高度信号噪声等级: 30 pm(RMS, at 0.5 kHz带宽)XY扫描器闭环控制的柔性引导XY扫描器扫描范围: 100 um× 100 um(可选 50um× 50um)驱动台Z位移台行程范围 : 25 mm (Motorized)聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized)XY位移台行程范围 : 200 mm x 200 mm样品架样品尺寸 : 基本配置开放空间 up to 200 mm x 200 mm,厚度 up to 20 mm样品重量 : 500 g光学10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1um分辨率)样品表面和悬臂的直观同轴影像视野 : 840 × 630 um (带10倍物镜)CCD : 100万像素, 500万像素 (可选)软件SmartScan&trade AFM系统控制和数据采集的专用软件智能模式的快速设置和简易成像手动模式的高级使用和更精密的扫描控制XEIAFM数据分析软件电子集成功能4通道数字锁相放大器数据Q控制信号处理ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensorDAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioningMaximum data size : 4096 x 4096 pixels连接外部信号20个嵌入式输入/输出端口5个TTL输出 : EOF, EOL, EOP, 调制和交流偏压AFM模式(*可选项)标准成像真正非接触式原子力显微镜PinPoint&trade 原子力显微镜接触式原子力显微镜横向力显微镜(LFM)相位成像轻敲式原子力显微镜 力测量力-距离(F/d)光谱力谱成像 介电/压电性能静电力显微镜 (EFM)动态接触式静电力显微镜 (EFM-DC)压电力显微镜 (PFM)高压压电力显微镜* 机械性能力调制显微镜 (FMM)纳米压痕*纳米刻蚀*高压纳米刻蚀*纳米操纵*磁学性能*磁力显微镜 (MFM)可调制磁力显微镜 电性能导电原子力显微镜 (C-AFM)*IV 谱线*扫描开尔文探针显微镜 (KPFM)扫描电容显微镜 (SCM)*扫描电阻显微镜 (SSRM)*扫描隧道显微镜 (STM)*光电流测绘 (PCM)* 化学性能*功能化探针的化学力显微镜电化学显微镜 (EC-AFM)———————————————————————————————————————————高级选项为用户量身定制原子力显微镜自动数据收集和分析，适合工业客户产线测量Park的自动化控制软件，可根据您的预设程序自动进行AFM测量。它可以准确地收集数据，执行模式识别，并使用它的寻边器和光学模块进行分析，不需要人工介入，从而为您节省大量宝贵时间。温度稳定的隔音罩创新的控制设计使Park NX20能够快速达到温度平衡NX20具有主动隔振功能。集成编码器的自动载台&bull XY马达运动工作时分辨率为1 µ m，重复率为2 µ m。&bull Z马达运动的分辨率为0.1 µ m，分辨率为1 µ m。倾斜样品倾角夹具，可帮助您进行样品侧壁成像。NX20的创新架构实现了对样品侧壁和表面的检测，还能够测量出相应角度。这为您提供了更多的创新研究方案和对样品更深入的理解。样品盘&bull 用于电气测量的专用小样品架&bull 用于固定晶圆的真空槽温度控制 温控台 1: -25 °C to +170 °C温控台 2: Ambient to +250 °C 温控台 3: Ambient to +600 °C

艾博纳原子力显微镜（AFM）维持纳米研究的前沿技术，具有原子级超高分辨率，高水平的性能。可在大气和液体环境中对样品进行探测或进行纳米操控。其测试功能强大、操作简单，除配备接触模式、非接触模式、轻敲模式，也可选配用户需要的模式。我们的系统经过专业的设计，可对测试结果进行各类数据分析，更加方便、快捷完成测试需求。 艾博纳原子力显微镜（AFM）配备了高精度的电 动X、Y、Z轴平移台，具备滚珠丝杠和交叉滚柱导轨，确保了精确的样品操作和定位。此外，该设备具有研究级的顶视视频光学显微镜，提供清晰的样 品观察。它还包括多个扫描仪，以优化扫描条件， 支持系统的定制和扩展。设备的模块化设计允许用 户根据需求添加额外的功能和模式，如图像记录器 、光刻和液体扫描。简易的探头更换机制和激光杆的广泛调节范围提供了额外的操作便利。

仪器简介：NTEGRA平台是一个革命性的技术概念，在拥有所有SPM技术：原子力/磁力/静电力/表面电势/导电原子/扫描电容/压电力/纳米刻蚀等功能的同时，还能配备近场光学显微镜/共聚焦拉曼/外加磁场/超声原子力/纳米压痕等功能！。Prima则是这个平台中的基础SPM，可以在此基础上根据科 研需求提供多达40 中SPM 功能，其中的每种功能都有一套在其专业领域有着杰出表现的独特配置。可选择配备独一无二的双扫描结构可以将扫描范围扩展最大到200x200um。技术参数：在大气环境下：扫描隧道显微镜/ 原子力显微镜(接触 +半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/力谱线/粘附力成像/磁力显微镜/静电力显 微镜/扫描电容显微镜/开尔文探针显微镜/扩展电阻成像/纳米压痕/刻蚀: 原子力显微镜(电压+力)/压电力模式/超声原子力/外加磁场/温度控制/气氛控制等功能。在液体环境下：原子力显微镜(接触+半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/粘附力成像/力谱/刻蚀:测量头部：AFM和SPM可选配液相模式和纳米压痕测量头 扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描最大样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚度15mm。针尖扫描：样品无限制 XY样品定位装置：移动范围5× 5um，精度5um 扫描范围：90× 90× 9um（带传感器/闭环控制），可选配低电压模式实现原子级分辨XY方向非线性度：&le 0.5%（带传感器/闭环控制） Z方向噪音水平（带宽1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型值0.04nm，最大0.06nm）光学显微系统：配备高数值孔径物镜后，分辨率可由3um提升至1um样品温度控制：室温~300℃ 主要特点：Ntegra Prima 是一个基本的SPM 系统，在这平台上可以根据科研需要提供40 种SPM 功能。 Ntegra Aura 是一款能在气氛控制以及低真空环境下工作的SPM，专门用于电磁等测量。 Ntegra Therma 只有10nm/h 热漂移能长时间可靠工作，并且能在-30℃~300℃环境下测量。 Ntegra Maximus 能够测量100mm 的大样品，在半自动模式下可以连续工作。 Ntegra Solaris 是一款近场光显微镜，能够提供所有近场探测模式，从而突破衍射极限。 Ntegra Vita 能与倒置显微镜联用，专门用于生物方面的检测。 Ntegra Tomo 能与超薄切片机联用，且制备用于研究的纳米片层的新鲜表面（也适用于电镜）。 Ntegra Spectra 集成了AFM-SNOM-Confocal-Raman 从而实现针尖增强（TERS）

Park NX7原子力显微镜实惠智能理想选择灵活智能的研究级AFM，实惠来袭！Park NX7 配有Park原子力显微镜前沿技术，其设计与新型显微镜一样彰显细节品质，可以有效助您取得精准的研究成果。现在价格实惠，是您预算合理下的理想选择。——————————————————————————————————————————通过消除扫描器串扰进行准确的XY扫描√ 独立闭环XY和Z柔性扫描器√ 正交XY扫描√ 样品表面形貌信息测量精准，无需软件处理——————————————————————————————————————————全面专业的原子力显微镜解决方案√ 涵盖多种扫描探针显微镜的扫描模式√ 更智能的NX电子控制器默认启用高级纳米机械测量模式√ 拥有业界前沿的兼容性和可升级性——————————————————————————————————————————人性化设计的软件和硬件功能√ 方便样品或换针的开放式使用√ 预对准的探针夹设计，可轻易直观的进行SLD光校准√ Park SmartScanTM - 原子力显微镜操作软件可以帮助初次使用用户和专业用户进行专业的纳米级研究。——————————————————————————————————————————无扫描器弓形弯曲的平直正交XY轴扫描Park的串扰消除技术不仅改善了扫描器弓形弯曲的缺点，还能够在不同扫描位置，扫描速率和扫描尺寸条件下进行平直正交XY轴扫描。即使再平坦的样品也不会出现如光学平面,各种偏移扫描等背景曲率。因此Park能不惧艰难挑战，为您在研究中提供高精度的纳米测量。无耦合关系的XY和Z扫描器Park的核心技术在于专有的扫描器架构。基于独立XY扫描器和Z扫描器设计的挠曲结构，能让您轻松获得高精度纳米级分辨率数据。——————————————————————————————————————————行业引领的低噪声Z探测器Park AFM 配备了低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,因而达到了样品形貌成像精准，没有边沿过冲无需校准的高效率。Park NX系列不仅为您提供高精准的数据，更为您大大节省了时间成本。由低噪声Z探测器测量准确的样品形貌√ 利用低噪声Z探测器信号进行形貌成像√ 有高宽带，Z探测器低噪声只有0.02 nm√ 边缘位置无前沿或后沿过冲现象√ 只需在原厂校准一次样品: 1.2 μm标准台阶高度(9 μm x 1 μm, 2048 pixels x 128 lines) ——————————————————————————————————————————True Non-Contact&trade 模式可延长探针寿命、保护样品和精准测量True Non-Contact&trade 模式是Park原子力显微镜系统创新的扫描模式，通过在扫描过程中防止针尖和样品损坏，从而产生高分辨率和准确的数据。接触模式下，针尖在扫描过程中持续接触样品；轻敲模式下，针尖周期性地接触样品；而在非接触模式下针尖不会接触样品。因此，使用非接触模式具有几大关键优势。由于针尖锐度得以保持，在整个成像过程中会以高分辨率进行扫描。非接触模式下由于针尖和样品表面不会直接接触，从而避免损坏软样品。更快速的Z轴伺服使得真正的非接触式原子力显微镜有更精准的反馈√ 减少针尖磨损 → 长时间高分辨率扫描√ 无损式探针-样品接触 → 较大地减少样品受损度√ 可满足各种条件下，对各种样品都能够进行非接触式扫描此外，非接触模式可以感知探针与样品原子之间的作用力，甚至可以检测到探针接近样品时产生的横向力。因此，在非接触模式下使用的探针可以有效避免撞到样品表面时突然出现的高层结构。而接触模式和轻敲模式只能进行探针底端检测，很容易受到这种撞击伤害。——————————————————————————————————————————专业的 AFM 解决方案行业引领——支持多种SPM模式和选项如今，研究人员需要在不同的测量条件和样品环境下表征广泛的物理特性。 Park Systems能为您提供多种 SPM 模式、全面的 AFM 选项以及业界前沿的选项兼容性和可升级性，支持高级样品表征。——————————————————————————————————————————Park NX7 支持多种 SPM 模式形貌成像非接触模式接触模式轻巧模式介电/压电特性压电力显微镜(PFM)高压PFMPiezoresponse Spectroscopy磁学特性磁力显微镜 (MFM)电学特性导电原子力显微镜 (C-AFM)电流-电压分光镜开尔文探针力显微镜 (KPFM)高压KPFM扫描电容显微镜 (SCM)扫描扩展电阻显微镜 (SSRM)扫描隧道显微镜(STM)光电流映射 (PCM)静电力显微镜 (EFM)力学特性力调制显微镜 (FMM)纳米压痕纳米刻蚀高压纳米刻蚀纳米操纵横向力显微镜 (LFM)力距(F/d)光谱力容积成像化学特性具有功能化探针的化学力显微镜电化学显微镜 (EC-AFM)——————————————————————————————————————————Park NX7 参数ScannerZ扫描器柔性引导高推动力扫描器Z扫描范围: 15 μm (30 μm可选)XY扫描器闭环控制式单模块柔性XY扫描器扫描范围: 50 µ m × 50 µ m(可选 10 μm × 10 μm 或 100 μm × 100 μm)位移台Z位移台Z位移台行程范围: 26 mmXY位移台XY位移台行程范围: 13 mm X 13 mm样品架样品大小 : up to 50 mm样品厚度: up to 20 mm软件SmartScanTMAFM系统控制和数据采集软件智能模式的快速设置和简易成像手动模式的高级使用和更精密的扫描控制SmartAnalysisTMAFM数据分析软件独立设计—可以安装和分析AFM以外的数据能够生成采集数据的3D绘制

Bruker原子力显微镜 Bruker公司的AFM具有多项 技术，以其 性能广泛应用于科研和工业各领域Dimension Icon 系列作为布鲁克公司(Bruker AXS)原子力显微镜的产品，凝聚了多项行业的 技术，是二十多年技术创新、客户反馈和行业应用的结晶。 应用：应用于科研和工业界各领域，涵盖了聚合物材料表征，集成光路测量，材料力学性能表征，MEMS制造，金属/合金/金属蒸镀的性质研究，液晶材料性能表征，分子器件，生物传感器，分子自组装结构，光盘存储，薄膜性能表征等领域的监测等各类科研和生产工作。 原子力显微镜的工作模式是以针尖与样品之间的作用力的形式来分类的。主要有以下3种操作模式：接触模式（contact mode) ，非接触模式（ non - contact mode) 和敲击模式( tapping mode）。 特征：u 低漂移和低噪音水平u 配置有专有ScanAsys原子成像优化技术，可以简易快速稳定成像u 测试样品尺寸可达：直径210mm，厚度15mmu 温度补偿位置传感器使Z轴和X-Y轴的噪音分别保持在亚-埃级和埃级水平，并呈现出前所未有的高分辨率。u 全新的XYZ闭环扫描头在不损失图像质量的前提下大大提高了扫描速度。u 探针和样品台的开放式设计使Icon 可胜任各种标准和非标准的实验。u 先进的布鲁克AFM的模式和技术，如高次谐波共振模式，和独有的不失真高温成像技术--采用对针尖和样品同时加热的方法， 程度减少针尖和样品之间的温差，避免造成成像失真。

便携式芯片原子力显微镜——AFM纳米形貌表征从未如此简单！ICSPI公司在便携式nGauge原子力显微镜（AFM）的基础上进行了全新升级，推出了新一代的便携式原子力显微镜Redux。Redux原子力显微镜（AFM）除了具有方便携带，操作简单，扫描速度快，可扫描大尺寸样品，无需维护等优点，还可以迅速找到感兴趣的测量位置，实现相关区域的快速高精度测量。适合各类纳米表征应用场景，从科学研究、高等教育到工业用户的样品3D表面形貌快速成像分析等，领先的创新技术的降低了传统AFM的复杂操作，也的拓宽了传统AFM的应用范围！　适合各类纳米表征应用场景半导体工业材料工业纳米技术生命科技涂料，聚合物和复合材料等高等教育.....产品特点更小巧，更便携独特的AFM微纳机电芯片，使得Redux/nGauge原子力显微镜（AFM）系统仅有公文包大小，可随身携带。更简单，更易用只需点击鼠标三次即可获得样品表面纳米级形貌信息，无需配置减震平台。 第一步：通过内置光学显微镜寻找扫描区域；第二步：Redux/nGauge帮助扫描探针自动寻找样品表面；第三步：点击扫描，获取样品表面形貌信息。维护简单，性价比高类金刚石针尖保证AFM探针超长寿命，且无需繁琐的更换针尖操作和其他后期维护工作。Redux采用的压电AFM探针技术以及耐用的探针针尖（左图）。中图为一根探针第215次扫描样品的结果，右图为第1164次扫描样品的结果各表征手段对比Redux/nGauge AFM传统 AFMSEM大气环境下运行自动寻找样品表面N/A设备安装时间5 分钟1-2 周1-2 周扫描样品时间2 分钟1 小时30 分钟 – 1 小时随测随走培训时间1 小时12+ 小时12+ 小时无需激光对准普通市电/USB供电更换探针难度N/A3D表面形貌成像成像分辨率不导电样品表征设备型号Redux AFM左：Redux原子力显微镜（AFM）；右：Redux原子力显微镜实际使用场景Redux微型原子力显微镜n5（噪声基底优于0.5nm）Redux微型原子力显微镜n7（噪声基底优于0.15nm）产品特点快速：1分钟内便可获取样品信息易用：扫描只需点击三次鼠标简单：全新升级的X, Y和Z定位系统技术参数 AFM技术参数最大扫描范围(XY)20 μm x 20 μm最大扫描高度(Z)10 μm扫描速度80 秒 (256 x 256 pixel, 20 μm x 20 μm)噪音基底0.5nm 或 0.15 nm XY扫描分辨率0.5 nm样品台参数样品台尺寸105 mm x 95 mm x 20 mm可移动范围10 mm x 10 mm光学显微镜参数物镜10x, 0.25 NA视场2.25 mm × 1.25 mm分辨率1920 x 1080 FHD Video output整体尺寸尺寸 (长x 宽 x 高)23.2 cm × 22.0 cm × 24.6 cm重量4 kg软件需求连接方式USB操作系统Windows 10, 11电源电压100-240 VAC ~ 50/60 Hz电流12 VDC, 5 AnGauge AFM成像类型：形貌图，相位图XY 扫描区域：100 µ m × 100 µ mXY 扫描分辨率：0.5 nmZ向扫描范围：10 µ m快速扫描成像时间：16 秒 可表征样品大尺寸：100 mm x 50 mm x 20 mm可表征样品大重量：1 kg测试数据微柱阵列三维成像二氧化硅聚合物复合材料相扫描结果半间距为200nm的光栅形貌表征数据存储单元纳米结构三维形貌表征丹麦Akasel公司9μm金刚石颗粒抛光后的钢铁样品三维形貌表征 美国Biotech公司表征皮肤样本美国Applied Nanotool公司微纳光学器件品控 光电子领域器件检测发表文章1. Zhao, P., et al., Multiple antibiotics distribution in drinking water and their co-adsorption behaviors by different size fractions of natural particles. Science of The Total Environment, 2021. 775: p. 145846.2. Guo, P., et al., Vanadium dioxide phase change thin films produced by thermal oxidation of metallic vanadium. Thin Solid Films, 2020. 707: p. 138117.3. Connolly, L.G., et al., A tip-based metrology framework for real-time process feedback of roll-to-roll fabricated nanopatterned structures. Precision Engineering, 2019. 57: p. 137-148.4. O'Neill, C., et al., Effect of tooth brushing on gloss retention and surface roughness of five bulk‐fill resin composites. Journal of Esthetic and Restorative Dentistry, 2018. 30(1): p. 59-69.用户单位

仪器简介：NTEGRA平台是一个革命性的技术概念，在拥有所有SPM技术：原子力/磁力/静电力/表面电势/导电原子/扫描电容/压电力/纳米刻蚀等功能的同时，还能配备近场光学显微镜/共聚焦拉曼/外加磁场/超声原子力/纳米压痕等功能！。Prima则是这个平台中的基础SPM，可以在此基础上根据科 研需求提供多达40 中SPM 功能，其中的每种功能都有一套在其专业领域有着杰出表现的独特配置。可选择配备独一无二的双扫描结构可以将扫描范围扩展最大到200x200um。技术参数：在大气环境下：扫描隧道显微镜/ 原子力显微镜(接触 +半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/力谱线/粘附力成像/磁力显微镜/静电力显 微镜/扫描电容显微镜/开尔文探针显微镜/扩展电阻成像/纳米压痕/刻蚀: 原子力显微镜(电压+力)/压电力模式/超声原子力/外加磁场/温度控制/气氛控制等功能。在液体环境下：原子力显微镜(接触+半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/粘附力成像/力谱/刻蚀:测量头部：AFM和SPM可选配液相模式和纳米压痕测量头 扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描最大样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚度15mm。针尖扫描：样品无限制 XY样品定位装置：移动范围5×5um，精度5um 扫描范围：90×90×9um（带传感器/闭环控制），可选配低电压模式实现原子级分辨XY方向非线性度：≤0.5%（带传感器/闭环控制） Z方向噪音水平（带宽1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型值0.04nm，最大0.06nm）光学显微系统：配备高数值孔径物镜后，分辨率可由3um提升至1um样品温度控制：室温~300℃ 主要特点：Ntegra Prima 是一个基本的SPM 系统，在这平台上可以根据科研需要提供40 种SPM 功能。 Ntegra Aura 是一款能在气氛控制以及低真空环境下工作的SPM，专门用于电磁等测量。 Ntegra Therma 只有10nm/h 热漂移能长时间可靠工作，并且能在-30℃~300℃环境下测量。 Ntegra Maximus 能够测量100mm 的大样品，在半自动模式下可以连续工作。 Ntegra Solaris 是一款近场光显微镜，能够提供所有近场探测模式，从而突破衍射极限。 Ntegra Vita 能与倒置显微镜联用，专门用于生物方面的检测。 Ntegra Tomo 能与超薄切片机联用，且制备用于研究的纳米片层的新鲜表面（也适用于电镜）。 Ntegra Spectra 集成了AFM-SNOM-Confocal-Raman 从而实现针尖增强（TERS）

产品优势◆ 光学金相显微镜和原子力显微镜一体化设计，功能强大◆ 同时具备光学显微镜和原子力显微镜成像功能，两者可同时工作，互不影响◆ 同时具备光学二维测量和原子力显微镜三维测量功能◆ 激光检测头和样品扫描台集成一体，结构非常稳定，抗干扰性强◆ 精密探针定位装置，激光光斑对准调节非常简便◆ 单轴驱动样品自动垂直接近探针，使针尖垂直于样品扫描◆ 马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式，保护探针及样品◆ 超高倍光学定位系统，实现探针和样品扫描区域精确定位◆ 集成扫描器非线性校正用户编辑器，纳米表征和测量精度优于98%技术参数应用案例

仪器简介：NTEGRA平台是一个创新性的技术概念，在拥有所有SPM技术：原子力/磁力/静电力/表面电势/导电原子/扫描电容/压电力/纳米刻蚀等功能的同时，还能配备近场光学显微镜/共聚焦拉曼/外加磁场/超声原子力/纳米压痕等功能！。Prima则是这个平台中的基础SPM，可以在此基础上根据科 研需求提供多达40 中SPM 功能，其中的每种功能都有一套在其专业领域有着杰出表现的独特配置。可选择配备独特的双扫描结构可以将扫描范围扩展到200x200um。技术参数：在大气环境下：扫描隧道显微镜/ 原子力显微镜(接触 +半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/力谱线/粘附力成像/磁力显微镜/静电力显 微镜/扫描电容显微镜/开尔文探针显微镜/扩展电阻成像/纳米压痕/刻蚀: 原子力显微镜(电压+力)/压电力模式/超声原子力/外加磁场/温度控制/气氛控制等功能。在液体环境下：原子力显微镜(接触+半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/粘附力成像/力谱/刻蚀:测量头部：AFM和SPM可选配液相模式和纳米压痕测量头 扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚度15mm。针尖扫描：样品无限制 XY样品定位装置：移动范围5×5um，精度5um 扫描范围：90×90×9um（带传感器/闭环控制），可选配低电压模式实现原子级分辨XY方向非线性度：≤0.5%（带传感器/闭环控制） Z方向噪音水平（带宽1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型值0.04nm，不超过0.06nm）光学显微系统：配备高数值孔径物镜后，分辨率可由3um提升至1um样品温度控制：室温~300℃ 主要特点：Ntegra Prima 是一个基本的SPM 系统，在这平台上可以根据科研需要提供40 种SPM 功能。 Ntegra Solaris 是一款近场光显微镜，能够提供所有近场探测模式，从而突破衍射极限。 Ntegra Spectra 集成了AFM-SNOM-Confocal-Raman 从而实现针尖增强（TERS）

NT-MDT原子力显微镜自1998年以来，NT-MDT已成功地将AFM与光学显微镜和光谱技术相集成。支持包括hybrid modeTM在内的30多种基本和AFM模式，可提供有关样品表面物理性质的广泛信息。 AFM与共焦拉曼/荧光显微镜的集成提供了有关样品的更多信息。完全相同的样品区域同时测量的AFM和拉曼图可提供有关样品物理性质（AFM）和化学成分（Raman）的补充信息。NTEGRA Spectra II借助尖端增强拉曼散射（TERS），可以进行纳米级分辨率的光谱学/显微术。特制的AFM探针（纳米天线）可用于TERS，以增强和定位尖端附近纳米级区域的光。这种纳米天线充当光的“纳米源”，从而提供了光学成像的可能性，其分辨率小于衍射极限（max〜 10 nm）。扫描近场光学显微镜（SNOM）是获得旋光性样品的光学和光谱图像的另一种方法，其分辨率受探针孔径大小（〜 100 nm）限制。NT-MDT 原子力显微镜系统光路图所有可能的激发/检测和TERS的解决方案应用CdS纳米线通过导电聚合物纳米线与金属电极连接。 AFM探针借助观察显微镜定位在结构上。 由于AFM探针的形状，激光可以直接定位在尖端顶点上。高分辨率AFM图像可提供有关样品形貌的信息。 从同一区域获取的拉曼图和发光图显示出纳米线化学成分的差异。光学图片 原子力显微镜扫描图 拉曼扫描图 荧光扫描图 拉曼谱