OTF-1200X-4-SF是一款炉管尺寸为100mm,带有滑轨法兰的管式炉,最高工作温度为1200℃,此款管式炉专为客户自己搭建CVD系统而设计。 技术参数炉体结构炉管尺寸:100mmO.Dx94mmI.Dx750mmL(石英管)最高工作温度为1100℃右端安装有一水冷滑轨法兰,以便于放样和取样在预热炉体和主反应炉体之间有一水冷法兰左端水冷法兰上有个气体接口,用于客户通入反应气体(点击图片查看详细资料) 电源单相, 220V AC, 50/60 Hz最大功率 3.6KW(需要20A的空气开关)加热区主反应炉:440mm恒温区:100mm温控系统采用PID方式来调节温度,可设置30段升降温程序采用K型热电偶控温精度:+/- 1℃可选购控温软件,可通电脑来设置和显示温度程序 密封法兰右端法兰:水冷却法兰,通过冷却循环水对密封圈进行水冷(可在本公司购买循环水冷机)法兰上有KF25接口,可通过波纹管与真空泵相连接炉体内的样品台与法兰相连接,并且右端法兰为滑轨法兰,以便于放样和取样法兰上安装有一数显防腐真空计(如下图)净重100kg尺寸 右端法兰关闭时的尺寸:1220mm×458mm×585mm(48"L X 18"W X 23"H)右端法兰打开时的最大尺寸:1676mm×458mm×585mm(66"L X 18"W X 23"H)质保一年质保期,终身维护(不包含炉管、密封圈和加热元件)质量认证质量认证所有电器元件(输入电压24V)都通过了UL认证本公司所有高温炉都可通过TUV、UL或CSA认证 注意事项炉管内气压(相对气压)需小于0.02MPa所用气瓶上必须安装减压阀(可在本公司购买减压阀)当设备温度高于1000℃时,炉管内部不可处于真空状态,需处于常压或微正压状态进气流量需小于200sccm
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