晶棒轴射线定向仪

设备名称:一、设备名称：YX-8D型X射线晶体定向仪二、该仪器主要为大尺寸、超重的硅单晶棒（或方砖）设计的，仪器配置：此设备由两部分组成；（1）主机：由机台、管套及各种机械附件组成的机械部分；（2）控制柜:由稳压器、控制器、高压变压器、放大器、计数器、风冷电机、X射线管及各种指示仪表组成的电气部分构成； 技术指标：项 目参 数电 源单相交流 220V 50Hz管电压0～5mA（可调）管 电压0～5mA（可调）精 度15"操 作手动操作操作方式手 动光 闸手动开关光闸狭 缝4' 5' 6' 角 度θ 度 分 秒 最小计数1"2θ -10～110o （θ范围）峰 值μA表 射线强度计数管电压直流 700～1200V左右托 板300×800（mm）晶 体圆棒、方棒 ；设备所能测量的最大晶锭用来测量直径为160mm-220mm；长度不超过800mm ；数 显海德汉ND280数显 直读编码器承 重不超过80kgX射线管风冷 铜靶

ALL-CKMD400型晶棒参考面X射线定向仪ALL-CKMD 400 MODEL X-RAY CRYSTAL ORIENTATION INSTRUMENT BY THE REFERENCE PLANE 产品特点⑴ 测量晶棒夹具的结构与功能介绍：基准平台：此件固定在主机的台面板上，测量时做水平基准面，基准平台的右侧为定位面，左侧为夹紧装置，左侧的夹紧装置上有夹紧螺钉，设备配套的夹具在测量时放于基准平台上。⑵ 测量〈A〉面：晶体主参考面A面定向：可测量晶棒直径为2、4、6英寸,A面的θ角：18.917°(18°55′00″)(或按客户需要做C向、R向)。①仪器的校准：用标准晶棒校准仪器。晶向〈A〉的θ角：18.917° (18°55′00″)②将装有晶棒的夹具，清理洁净后放到仪器的基准平台上，调整前后位置，使X光能够照射到晶棒的外圆柱面上，旋转基准平台左侧的夹紧螺钉，把紧。打开X射线光闸，使待测量晶棒在夹具内慢慢转动，寻测峰值。当μA表针为最佳状态时(即为最大值时)，保证晶棒不动，夹紧晶棒。③将夹具从定向仪下移出，转到磨床上磨削平面。④自动升降测试。 Features⑴ Construction and function of crystal clipBenchmark platforms: it is fixed on the host machine panel, used for the horizontal platform when testing the sample.The right side of the base platform for locating surface, left platform for clamping .The clip has the screw clamping device.Please put the clip on the horizontal platform when begin to have a testing .⑵Measuring the A direction : crystal main reference A flat orientation: it can measure crystal rods for 2, 4, 6 inch in diameter, A direction θ angle：18.917°(18 ° 55 ' 00 ") (or according to customers requirement ,use the C or R direction).①The calibration of instruments: use a standard crystal rod calibration instrument. Crystal (A) θ Angle :18.917 ° (18 ° 55 ′00 ")②After cleaning up the clip ,and put it on the horizontal platform for adjusting its position ,in order to enable the x-ray exposure on the outside skin of the cylinder crystal ,and fix the screw on the left of rotated horizontal.Open the X-ray shutter ,and let the crystal rotating slow to find the peak .When the μA meter find the best status (i.e the max.value) ,make sure the crystal being static,and fix it tightly.③Unload the clip from the instrument ,and put it on the grinding plane of the grinding machine.④Auto lifting test. 技术指标●输入电源：单相交流220V，50Hz，0.25kW。 ●X射线管：铜靶，风扇冷却，阳极接地。 ●最大管电压电流：30kV，5mA连续可调，使用2.0mA以上， 有可能损坏X光管并加大辐射危害。 ●探测器：计数器。工作电压最高为DC1000V；或闪烁探测器, 工作电压最高为DC1200V。●时间常数：1（快）、2（慢）两档。●测角角度：θ=18.917°（18°55′00″）●主光闸：自动。●显示板：射线强度表。●外型尺寸：1132（长）×642（宽）×1460（高）mm●重量：200kg Technical Parameters●Input power: Single phase with AC 220V,50Hz,0.25kW●X-ray tube : Cu target ,cooled by fan ,and anode earthMax.tube voltage and current :30kV ,5mA ,being continued adjustment .If using the current is more than 2.0mA ,which may be damaged the X-ray tube insert and enlarge the radiative harm●Detector: counter . The max. working voltage is DC1000V Or scintillation counter,the max.working voltage is DC1200V●Time parameter:1(fast)/2(low)●Testing angel :θ=18.917°（18°55′00″）●Main shutter:auto●Displaying board: radiative rose chart●Size:1132（L）×642（W）×1460（H）mm●Weight:200kg

Freiberg Instruments的单晶XRD定向仪 主要里程碑： ◆ 1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集团亚瑟布拉达切克和他的儿子汉斯布拉达切克创立。 ◆ 1969 - 研制了世界上首台基于集成电路的x射线检测计数装置，名为 COUNTIX 130。◆ 1989 - 开发 Omega-Scan 方法BOSCH 要求提供圆形石英毛坯的定向测量系统 - 振荡器产量从 50% 提高到 95%◆ 2005 - 将 Omega 转移到其他材料，如SiC、蓝宝石、GaN、GaAS、Si、Ni基高温合金 ◆ 2010 - 推出用于晶体取向测量的台式 X 射线衍射仪 ( DDCOM ) 全球售出 约 150台石英分选系统◆ 2015 - X 射线技术和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH 传承60年德国工匠精神-三代X射线工程师 产品优势： ◆ 采用Omega-scan扫描方法（专利技术） ◆ 测试速度快: 5s ◆ 测角精度高: 0.003 ◆ 兼具XRD定向功能以及Flat/Norch功能 ◆ 磨抛定向解决方案 ◆ 拥有晶锭粘接转移的专利技术（堆垛 stacking）专为SiC工业设计，被多家SiC衬底头部企业青睐，如：II-VI Advanced Materials, SiCrystal等，国外四分之三的碳化硅制造商依赖Freiberg Instruments公司的晶体取向测量技术，极大提高了生产效率，提升产品质量。 ◆ Mapping 面扫功能，摇摆曲线测定 ◆ 易于集成到工艺线中 ◆ MES和/或SECS/GEM接口 ◆ 倾斜的典型标准偏差（例如：Si 100）： 0.003 °，小于 0.001 ° Omega/Theta X射线衍射仪是一个全自动的垂直三轴衍射仪，用于使用Omega-Scan和Theta-Scan方法对各种晶体进行取向测定和摇摆曲线测量。大而宽敞的设计可以容纳长度达450毫米、重量达30公斤的样品和样品架。 所有的测量都是自动化的，可以从用户友好的软件界面上的访问。使用Omega扫描，可以在晶体旋转时（5秒）确定完整的晶格方向。Theta扫描更加灵活，但每次扫描只能得到一个取向成分。 倾斜角可以以非常高的精度确定；使用Theta扫描可以达到0.001°。对于所有其他晶体方向，精度取决于与表面垂直的角差。 该系统是模块化的，已经配备了许多不同的扩展，用于特殊的目的，如形状或平面的确定、绘图和不同的样品架。样品的倾斜是通过光学测量检测出来的，并可用于校正所产生的方向。 单晶衍射仪定向仪： ◆ 全自动完整的单晶体晶格取向测量 ◆ 使用欧米茄扫描法进行超快速的晶体取向测量 ◆ 自动摇动曲线测量功能 ◆ 衍射仪的角度分辨率：0.1角秒。 ◆ 样品尺寸可达450毫米 ◆ 适用于生产质量控制和研究 用户友好，成本效益高： ◆ 方便的样品处理，易于操作 ◆ 先进的、用户友好的软件 ◆ 能源消耗和运行成本低 ◆ 模块化设计，灵活性强 ◆ 各种升级选项 ◆ 根据用户的要求进行定制 选配功能： ◆ 自动Mapping面扫功能 ◆ Omega/Theta – 晶锭粘接转移的专利技术（堆垛 stacking） ◆ Omega/Theta - 摇摆曲线测量 ◆ Omega/Theta - 定制的样品台 ◆ 用于样品形状测量的激光扫描仪 ◆ 光学检测，用于平面和凹槽检测 ◆ 额外的样品旋转轴用于3D绘图 ◆ 二级通道切割准直器（分析器） ◆ 用于样品调整的设备

技术参数1 X射线发生器 a)X射线靶材 ：Cu b)光管冷却方式 ：空冷 c)最大输出电压 ：30kV 5mA d)控制方式 ：管電流SCR控制方式 e)稳定性 ：± 0.5 mA(3mA时、外界电源电压波动± 10%以内) f)辅助快门 ：在光管罩处，带手动快门 g)带漏电保护装置 h)带X射线发生器警报灯 2 测角仪部分 a)测量范围 ：2&theta ＝0゜～110゜ &theta ＝－10゜～60゜ b)带角度显示装置 ：2&theta 、&theta c)设置装置 ：数字显示&theta 角度，可任意设置角度 d)发散狭缝 ：0.05，0.1，0.2 mm e)主快门 ：旋转快门 3 計数电路部分 a)探测器 ：2英寸闪烁计数管 b)输出 ：模拟信号输出 c)时间常数 ：0.1，0.4 sec (交换式) c)放大倍数调整 ：可变 4 X射线防护罩 (1)外形尺寸 ：580mm(W)× 730mm(D)× 530mm(H) 左右各一个 (2)材質 ：全金属式 (3)安全保护机构 ：旋转快门打开时，如果开启X射线防护罩的门，X射线自动关闭。　 (4)防止直射X光束 ：1mm厚鉛板5测量精度 総合測定精度 ：30&rdquo 主要特点1、可以用于蓝宝石晶面、晶棒定向2、可以配2台测角仪同时测量3、还可以提供大样品测试的2991G2系列蓝宝石X射线单晶定向仪4、可以配各种样品台、附件，满足不同测试要求 仪器介绍日本理学集团公司是世界上最著名的X射线分析仪器制造厂家

YX-2H8A嵌入式X射线晶体定向仪 产品特点 YX-2H8A 嵌入式晶体定向仪是我公司根据客户生产工艺的需要而研发的新型双工作台定向仪，主要用于硅单晶蓝宝石等晶体的角度测量，一侧样品台采用V形槽设计，可为直径2~8英寸长度300mm的晶棒做端面角度测量，另一侧可做晶棒的OF面的角度测量，还可以测2~8英寸晶片端面角度测量，可测重量为1~50公斤，人性化的设计使设备更合理。 技术指标● 输入电源：单相交流电压220V，50Hz，0.5Kw● X 射线管：铜靶，风冷。管电压：30Kv，管电流：0~5mA● 计 数 器：盖革计数管● 时间常数：0.1、0.4、3秒三档● 测角范围：θ= -5°~+55°， 2θ= -10°~+110°● 角度读数：刻度环上标出最小读数为：2θ：1°，θ：1°● 数字显示：度、分、秒● 最小读数：1＂● 角度调整：数字显示可设置在任意角度上● 狭 缝：4’、5’、6’● 光 闸：手动● 显 示：数字角度显示● 综合精度：±30＂● 外形尺寸：1160mm（长）×700mm（宽）×1380mm（高）● 重 量：170Kg

ALYX-600A型全封闭式蓝宝石粘棒X射线定向仪为全封闭式双工作台，左侧工作台在X光下定向粘结（2~6）英寸蓝宝石晶棒，晶棒长度最短为20mm，利用导轨滑动在一块料板上，粘结多块晶棒；右侧工作台在X光下定向测量（2~6）英寸蓝宝石晶棒晶片端面角度，仪器定向粘结精度±15"/30"，最小读数1"，具有差值显示功能。ALYX-600A型全封闭式蓝宝石粘棒X射线定向仪技术指标●输入电源：单相交流220V，50Hz，0.25kW。 ●X 射线管：铜靶，风扇冷却，阳极接地。 ●最大管电压电流：30kV，5mA连续可调。●探 测 器：计数器。工作电压最高为DC1000V；或闪烁探测器， 工作电压最高为DC1200V。●时间常数：1（快）、2（慢）两档。●测角范围：2θ=－10°～120°，θ=－5°～60°●角度读数：数字显示以度、分、秒表示，最小读数为1″ 数字显示以度显示，最小读数为0.001°●角度调整：数位显示可予置在任何角度上。●主 光 闸：自动。●防护罩：全封闭防护●显 示 板：角度显示，射线强度表。●综合精度：双衍射型综合精度±15″或±30″（用标准石英片测量）●外型尺寸：1132（长）×642（宽）×1460（高）mm●重 量：300kg

X-3/4/4A型高精度X射线单晶定向仪 此3种型号为双晶衍射型高精度定向仪，强度较低。主要用于测定高精度水晶晶片以及其他单晶材料。 型号 角度显示方式 测角精度 角度显示精度 X-3型 刻度显示 ± 15&Prime 最小读数15&Prime X-4型 数字显示 ± 15&Prime 最小读数10&Prime X-4A型 数字显示 ± 15&Prime 最小读数1&Prime 技术指标: 完全符合国家最新标准（JB/T5482-2004），并达到国外相似型号仪器水平。 输入电源：单相交流220V，50Hz,0.5kW X射线管：铜靶，风扇冷却 最大管电压电流：30Kv，mA 时间常数：0.4，0.8秒 测角范围：2&theta ＝10～120° ，&theta =-10～60° 角度读数：刻度环上标出最小读数为：2&theta ：1° ，&theta ：1° 数字显示以度、分、秒表示 角度调整：数字显示可予置在作任何角度上 主 光 匣：手动 显示板：角度显示，射线强度表。 附件：陶瓷真空样品架，长条样品架。弹簧样品架、大块样品架为任选件 单 色 器：内置 综合精度：± 15&Prime 外型尺寸：1140（长）× 650（宽）1100× （高）mm 重量：300kg具体信息请点击查看：

ALW-XYDZ 700A 型全封闭晶棒XY轴X射线定向粘料仪ALW-XYDZ 700A MODEL CLOSED SHIELD STICKING INGOT X-RAY INSTRUMENT BY X&Y AXIS 产品特点该仪器为全封闭式双工作台，左侧工作台在X光下对（2~6）英寸蓝宝石晶棒X轴定向，晶棒长度最短为20mm，利用导轨滑动在一块料板上，粘结多块晶棒；右侧工作台在X光下利用专用工具对（2~6）英寸蓝宝石晶棒Y轴角度定向，然后将晶棒和夹具一起放到磨床进行参考面的玻璃面进行磨平、加工.仪器定向粘结精度±15"/30"，最小读数1"，具有差值显示功能。 FeaturesThe instrument is the whole closed type worktable, the left workbench can adhesive 2~6 inches sapphire ingot with the X-ray orientation unit,the minimum length of ingot is 20mm,and use the guide' s glid to adhesive more ingot at a piece flitch The right workbench can test the end plane angle of 2~6 inches sapphire ingot or wafer with the X-ray orientation unit, wiht accuracy ±15"/30", the minimum reading by 1". Has the difference display function. 技术指标●输入电源：单相交流220V，50Hz，0.25kW。 ●X射线管：铜靶，风扇冷却，阳极接地。 ●最大管电压电流：30kV，5mA连续可调，使用2.0mA以上， 有可能损坏X光管并加大辐射危害。 ●探测器：计数器。工作电压最高为DC1000V；或闪烁探测器, 工作电压最高为DC1200V。●时间常数：1（快）、2（慢）两档。●测角范围：2θ=－10°～110°，θ=－5°～55°●角度读数：数字显示以度、分、秒表示，最小读数为1″。 数字显示以度、分、秒表示，带差值，最小读数为1″。 数字显示以度显示，最小读数为0.001°。 数字显示以度表示，带差值，最小读数为0.001°。●角度调整：数位显示可予置在任何角度上。●主光闸：自动。●防护罩：全封闭防护。●显示板：角度显示，射线强度表。●综合精度：双衍射型综合精度±15″或±30″。 （用标准石英片测量）。●外型尺寸：1132（长）×642（宽）×1460（高）mm●重量：300kg Technical Parameters●Input power:Single phase with AC 220V,50Hz,0.25kW●X-ray tube : Cu target ,cooled by fan ,and anodes earthMax.tube voltage and current: 30kV, 5mA, being continued adjustment .If using the current is more than 2.0mA ,which may damage the X-ray tube inserted and enlarge the radiative harm●Detector: counter . The max. working voltage is DC1000V Or scintillation counter,the max.working voltage is DC1200V●Time set : 1(fast)/2(slow)●Angle range: 2θ=－10°～120°，θ=－5°～60°●Angle reading : Digital displaying in degree ,minute and second, the minimum reading to 1" Digital displaying in degree, minute and second, with the difference value ,the minimum reading to 1" Digital displaying in degree ,the minimum reading to 0.001°Digital displaying in degree , with the difference value ,the minimum reading to 0.001°●Angle adjustment: Digital displaying can be set in the any angle.●Main shutter :auto●Shield: totally close●Displaying board: Angle displaying, and Ray intensity tableComprehensive precision: double diffraction comprehensive accuracy±15″or±30″.(Measured with standard quartz ).●External dimension :1132(L) ×642（W）×1200（H）mm●Weight:300kg

YX-2型X射线晶体定向仪特点此种机型为单晶衍射型普通精度定向仪,操作简便,强度较高,可用于压电晶体、光学晶体以及各种单晶晶体材料的检测。 YX-2型:精度± 30",数字显示,最小读数10"其它技术参数基本相同, 详见下面技术指标。技术指标●输 入 电 源: 单相交流电压220V,50Hz,0.3KW● X 射 线 管: 铜靶,风冷.管电压:30KV,管电流:0-5mA●计 数 器: 盖革计数管●时 间 常 数: 0.1、0.4、3秒三档●测 角 范 围: &theta =-10° &mdash 50° ,2&theta =-10° &mdash 100° ●角 度 读 数: 刻度环上标出最小读数为:2&theta :1° ,&theta :1° 数字显示:度 、分 、秒●角 度 调 整: 数字显示可设置在任意角度上●狭 缝: 4' 5' 6' ●光 闸: 手动●显 示: 数字角度显示●综 合 精 度:± 30"●外 形 尺 寸: 1140mm(长)X650mm(宽)X1030mm(高)●重 量: 150KgYX－200型X射线晶体定向仪特点该种机型为双晶衍射型高精度定向仪,操作简便,强度较低,可用于高精度压电晶体、光学晶体以及各种单晶晶体材料的检测。YX-200型:精度± 10", 数字显示,最小读数10"其它技术参数基本相同,详见下面技术指标。技术指标●输 入 电 源: 单相交流电压220V,50Hz,0.3KW● X 射 线 管: 铜靶,风冷.管电压:30KV,管电流:0-5mA●计 数 器: 盖革计数管●时 间 常 数: 0.1、0.4、3秒三档●测 角 范 围: &theta =-10° &mdash 50° ,2&theta =-10° &mdash 100° ●角 度 读 数: 刻度环上标出最小读数为:2&theta :1° ,&theta :1° 数字显示:度 、分 、秒●角 度 调 整: 数字显示可设置在任意角度上●光 闸: 手动●显 示: 数字角度显示●综 合 精 度:± 10"●外 形 尺 寸: 1140mm(长)X650mm(宽)X1030mm(高)●重 量: 150KgYX-2H8型X射线晶体定向仪特点此种机型是在YX-2型单晶衍射定向仪的基础上增加了承重轨道,并对样品台做了改进,可测1-30公斤,2-8英寸直径蓝宝石及各种单晶晶体材料。 YX-2H8可配置 YA、 YB 、 YD 、YE 四种不同样品台, 客户可按需求选择上述配置。 YX-2H8型:精度± 30",数字显示,最小读数10"技术指标●输 入 电 源: 单相交流电压220V,50Hz,0.3KW● X 射 线 管: 铜靶,风冷.管电压:30KV,管电流:0-5mA●计 数 器: 盖革计数管●时 间 常 数: 0.1、0.4、3秒三档●测 角 范 围: &theta =-10° &mdash 50° ,2&theta =-10° &mdash 100° ●角 度 读 数: 刻度环上标出最小读数为:2&theta :1° ,&theta :1° ●角 度 调 整: 数字显示可设置在任意角度上●狭 缝: 4' 5' 6' ●光 闸: 手动●显 示: 数字角度显示●综 合 精 度: ± 30"●外 形 尺 寸: 1150mm(长)X665mm(宽)X1100mm(高)●重 量: 170KgYX－2H8型X射线晶体定向仪样品台YA样品台 主要用于硅和蓝宝石等单晶的大型晶体柱面及片的检测,增加了承重轨道,可测重1-30公斤,直径2-8英寸棒。同时加有气泵,可测2-8英寸片状样品。YB样品台 主要用于硅及蓝宝石等单晶的圆柱形晶体的端面检测,增加了承重轨道。样品台采用V型槽设计,V型槽的宽度可自动调整,便于不同规格大型圆柱形晶体在样品台上360° 旋转。人性化的设计,使设备更合理,可测重1-30公斤、直径2-8英寸、长350mm棒材端面,同时加有气泵,可测2-8英寸片状样品。YD样品台 主要用于硅及蓝宝石等单晶片的外圆参考面的检测,吸气盘上接收X射线的位置采用开放式设计,克服了吸气盘遮挡X射线和定位不准的问题,满足不同规格晶片参考边的检测。样品台的吸气泵可把2-8英寸的晶片吸住,使检测更加准确。YE样品台 主要用于硅和蓝宝石等晶片的多点测量,晶片可在样品台上手动旋转,如0° 、90° 、180° 、270° 等,可满足客户对晶片的特殊测量需求。YX-300型X射线双晶高精度定向仪特点此种机型为双晶衍射型高精度定向仪,操作简便,强度较低,可用于更高精度水晶晶片、压电晶体、光学晶体以及各种单晶晶体材料的检测。YX-300型:精度± 10", 数字显示, 最小读数3" YX-300型:精度± 10", 数字显示,最小读数1"技术指标●输 入 电 源: 单相交流电压220V,50Hz,0.3KW● X 射 线 管: 铜靶,风冷.管电压:30KV,管电流:0-5mA●计 数 器: 盖革计数管●时 间 常 数: 0.1、0.4、3秒三档●测 角 范 围: &theta =-10° &mdash 50° ,2&theta =-10° &mdash 100° ●角 度 读 数: 刻度环上标出最小读数为:2&theta :1° ,&theta :1° ●角 度 调 整: 数字显示可设置在任意角度上●光 闸: 手动●显 示: 数字角度显示●外 形 尺 寸: 1150mm(长)X665mm(宽)X1040mm(高)●重 量: 150KgYX-2A/2B型普通/双晶高精度定向仪特点该仪器是在YX-2型X射线晶体定向仪基础上增加了一个高精度测试端,实现了在一台设备上可检测不同衍射强度晶片的作用,提高了利用率,性价比高,特别适应科研所、学校、企业使用。 YX-2A:左测角仪采用单反射,定向精度± 30",最小读数10"。 右测角仪采用前置单色器双反射,定向精度± 10",最小读数3"。 YX-2B:左测角仪采用单反射,定向精度± 30",最小读数10"。 右测角仪采用前置单色器双反射,定向精度± 10",最小读数1"。技术指标●输 入 电 源: 单相交流电压220V,50Hz,0.3KW● X 射 线 管: 铜靶,风冷.管电压:30KV,管电流:0-5mA●计 数 器: 盖革计数管●时 间 常 数: 0.1、0.4、3秒三档●测 角 范 围: &theta =-10° &mdash 50° ,2&theta =-10° &mdash 100° ●角 度 读 数: 刻度环上标出最小读数为:2&theta :1° ,&theta :1° 数字显示:度 、分 、秒●角 度 调 整: 数字显示可设置在任意角度上●狭 缝: 4' 5' 6' ●光 闸: 手动●显 示: 数字角度显示●综 合 精 度: ± 10"●外 形 尺 寸:1140mm(长)X650mm(宽)X1030mm(高)●重 量:150Kg

Freiberg Instruments的单晶XRD定向仪 主要里程碑： ◆ 1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集团亚瑟布拉达切克和他的儿子汉斯布拉达切克创立。◆ 1969 - 研制了世界上首台基于集成电路的x射线检测计数装置，名为 COUNTIX 130。◆ 1989 - 开发 Omega-Scan 方法BOSCH 要求提供圆形石英毛坯的定向测量系统 - 振荡器产量从 50% 提高到 95%◆ 2005 - 将 Omega 转移到其他材料，如SiC、蓝宝石、GaN、GaAS、Si、Ni基高温合金◆ 2010 - 推出用于晶体取向测量的台式 X 射线衍射仪 ( DDCOM ) 全球售出 约 150台石英分选系统◆ 2015 - X 射线技术和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH 传承60年德国工匠精神-三代X射线工程师 晶锭XRD的特点： ◇ 精度高 ◇ 测量速度快： 5秒/样品 ◇ 典型的标准偏差倾斜度（例如：Si 100）： 0.003 °，极小 0.001 °。 ◇ 晶锭的自动对准 ◇ 胶片的自动定位 ◇ 光学测量晶锭和/或研磨原锭的几何特征（平边Flat、凹槽Notch位置） ◇ 晶锭的自动标记 ◇ 易于集成到工艺线中（手动或机器人装载）。 ◇ 数据矩阵代码（DMC）阅读器 ◇ MES接口；SECS/GEM或类似接口 ◇ 直径达300毫米，长度达520毫米的晶锭 Ingot XRD prepared for manual loading

X射线自动定向仪是根据市场对晶体角度测量越来越高的精度要求而推出的手动定向仪的升级产品，它是利用X射线衍射原理，设计制造的光，机，电三为一体精密仪器，能快速地测定天然和人造晶体（压晶体管、光学晶体、激光晶体、半导体晶体）的晶面，可与各种切割、研磨等加工设备配套使用。是精密加工制造晶体器件不可缺少的仪器，上述各种晶体的定向与切割。广泛适用于各种晶体材料加工行业和科研院校。 技术特点： 1. 采用进口PLC控制，自动化程度高、故障率极低、抗干扰能力强、系统稳定性好。 2. 全中文人机界面，7英寸TFT触摸屏，接口直观、操作简单。 3. 自动测角扫描方式，并采用进口高分辨率编码器，大大提高测量精度，规避了人工测量的读数误差，极大降低了操作者的劳动强度和操作难度。 4. 测量方式灵活，只需轻触触摸屏或踩脚踏开关，二者任选。 5. 自动标晶校对准确方便、自动扫描10次，取平均值。 6. 满足客户不同需求，设置单点、两点、四点测量模式。 7. 显示可在任一位置调零，便于显示晶体片角度偏差值。 8. 具有峰值放大的特殊积分器，采用高压模块器件，提高检测精度。 9. 模块化的电子线路，射线管高压电缆一体结构，使用维修简单。 10. 自动控制关闸设计，只在必要时打开，安全方便无隐患。 11. 可根据被测样品不同，定制各种样品台，保证测量精度和使用的方便性。 技术参数： 本技术参数根据中华人民共和国机械行业标准，JB/5482 —91 1)、使用条件： 1) 海拔不超过1000米 （超过1000.米、客户与制造厂协商解决） 2) 环境温度+5°~+35°C ； 3) 相对湿度不得大于75%,(如超过此湿度必须采取相应措施)； 4) 单相交流220V，50HZ 5A，电源电压波动不大于±10%，容量不低0.5KW ； 5) 有良好的接地装置，接地电阻不应大于4Ω； 6) 供电线路中不得有电焊机，高频炉等设备引起的高频和电弧干扰。 2、技术指标： (1) X射线发生器部分 输入电源：单相交流220V、50HZ、0.5KW； X射线管：铜靶阳极接地，强迫风冷； X管电压：-30KVP，全压合闸； X管电流：0~5mA，连续可调； 功 率：总功率不大于0.5KW； 保 护：自动光闸、高压连锁、温度保护； 静态检测精度：≤±10″ （用标准石英片SIO2、1011面）（θ：13°20′）（2θ：26°40′） (2) 测 角 仪 部 分： 样品台转角度：θ，0~+55°； 计数器转角度：2θ，0°~+100°； 狭 缝：发散度为4′.5′.6′插入式； (3) 触 摸 屏： 角度最小读值：1″； 数字显示：度、分、秒。 角 度 调 整：数字显示可予置任何角度值。 （3）记录部分： 计 数 管：GJ5101盖革计数管工作电压0~1100V 。 强度显示；微安表显示被测晶体角强度值。 （4）外型尺寸：1150（长）×650（宽）×1500（高）。 （5）重 量：约200Kg。

ALYX-700型X射线晶锭定向仪ALYX-700 MODEL X-RAY CRYSTAL INGOT ORIENTATION INSTRUMENT 产品特点用于蓝宝石晶锭定向测量,也可用于其它种类的单晶定向测量。同时解决了大尺寸晶棒无法在普通定向仪上定向的问题。该仪器现已广泛应用于蓝宝石C向测定,因为测量的角度是固定的,所以保证了晶锭粘接的准确性。 FeaturesThe model suits for sapphire ingot orientation measurement, can also be used for other types of single-crystal orientation measurement.Atthe same time solve the problem that large-size crystal rod can not be orientated on common orientation instrument. The instrument is now widely used in sapphire C direction determination. Because the angle we measured is constant, we can make sure the precision of ingots connection. 技术指标●输 入 电 源: 单相交流电压220V,50Hz,0.5kW● X 射 线 管: 铜靶,风冷.管电压:30kV,管电流:0~5mA●计 数 器: 盖革计数管●时 间 常 数: 0.1、0.4、3秒三档●角 度 读 数: 显示板 ●角 度 调 整: 回转台●检 测 位 置: 自动调整●光 闸: 电动●外 形 尺 寸: 1100mm(长)X1200mm(宽)X1965mm(高)●重 量: 450kg Technical Parameters●Input power: Single-phase AC voltage with 220V,50Hz,0.5kW●X-ray tube: Cu target, air cooling. Tube voltage: 30kV, Tube current :0~5mA●Counter: Geiger counter●Time constant: 0.1s, 0.4s, 3s●Angle reading : display board●Angel adjustment: rotary table●Position tester:automatic adjustment●Optical Shuttle: electricity●Size:1100mm(L)X1200mm(W)X1965mm(H)●Weight:450kg

技术参数 主要特点1、用于蓝宝石加工，全自动X射线单晶定向2、直接将GOX单晶定向仪放在滚磨机上，加工后，直接自动决定OF参考面3、通过机械手，可以自动加蓝宝石棒料 仪器介绍日本理学集团公司是世界上最著名的X射线分析仪器制造厂家

YXL-2型水晶粘料X射线晶体定向仪YXL-2 MODEL CRYSTAL ADHESIVE X-RAY ORIENTATION INSTRUMENT 产品特点该仪器采用单侧工作台和双侧工作台两种,单侧工作台为水晶晶棒粘料机,该粘料机与切割机配套,用于AT切型、晶棒以大R面定位,采用千分尺微调,层数升降依靠与晶棒对应的垫条来完成。 晶棒在料板上“+X”面向上粘接,双侧工作台是一侧粘料,另一侧为300型定向仪,用于切割后晶片的检测。YXL-3型水晶粘料定向仪工作原理与YXL-2型工作原理相同,只是晶棒在料板上“-X”面向上粘接。 Features This instrument adopts two types of working table: unilateral working table and bilateral working table. The unilateral working table is crystal rod sticky machine. The sticky machine matched with cutting machine to be used for cutting by AT shape, crystal rod orientation by big R plane, uses micrometer for micro adjustment, layer number' s lifting up and down is done by the cushion bar corresponding the crystal rod.Crystal rod is pasted on the " + X" plane of material board. One side of the bilateral table is for sticky material, the o ther side is for sticky material, the other side is for 300-type orientation for detecting after cutting.YXL-3 crystal sticky material orientation instrument' s working principle is as same as that of YXL-2' s except for the crystal rod is pasted upwards on the "-X" plane of material board. 技术指标●输 入 电 源: 单相交流电压220V,50Hz,0.3kW● X 射 线 管: 铜靶,风冷●计 数 器: 盖革计数管●时 间 常 数: 0.1、0.4、3秒三档●测 角 范 围: θ=-10°~50°,2θ=-10° ~100°●角 度 读 数: 刻度环上标出最小读数为:2θ:1°,θ:1°●光 闸: 手动●显 示: 数字角度显示●综 合 精 度:±10″●主机型号采用: YX-300型●外 形 尺 寸: 1140mm(长)×650mm(宽)×1100mm(高)●重 量: 180kg Technical Parameters●Input power: Single-phase AC voltage with 220V,50Hz,0.3kW●X-ray tube: Cu target, air cooling.●Counter: Geiger counter●Time constant: 0.1s, 0.4s, 3s●Testing Range of angle :θ=-10°~50°,2θ=-10°~100°●Angel reading: the minimal read values marked on degree scale: 2θ:1°,θ:1°●Optical Shuttle: manually●Displaying: digital angle displaying●Precision: ±10″●Main frame model is :YX-300●Size:1140mm(L)×650mm(W)×1100mm(H)●Weight:180kg 主要参数●粘板尺寸: 330mm(300mm)×200mm(190mm)×20mm或250mm×250mm×20mm●晶棒厚度:10、9、8、7●粘接层数: 5(6)●层数调节: 垫条●料板固定方式: 磁铁●料板移动方式: 进口高精度直线导轨●粘接精度:±10"●粘接精度显示:数字/模拟率表,具有峰值记忆功能 ●最小读数:1"和3"两种●主机型号: YX-300 Main Parameters●Sticky board dimension:330mm(300mm)×200mm(190mm)×20mm or 250mm×250mm×20mm●Crystal rod thickness:10、9、8、7●Sticky layers number:5(6)●Layer number adjustment: Cushion bar●board fixed method:magnetic●board movement method: imported Precision rail●sticky precision:±10"●sticky precision display:digital / analograte Meter, with the peak Memory●minimum reading:1"and 3"●Host model:YX-300

新一代X射线单晶定向仪-s-Laue s-Laue是日本Pulstec公司近期发布的一款基于圆形全二维面探测器技术的新一代X射线单晶定向系统。该设备配备六轴样品台，具有功率小（30KV/1.5mA,因此辐射小）、操作简单、测试效率高（典型X射线曝光时间为15秒）等特点，可提供台式、便携式(即将发布，敬请期待)两种类型设备，既可满足实验室对小样品进行单晶定向的需求，也可以用于大型零件的现场晶体定向。设备参数X-ray sourceW (Tungsten)Voltage/Current30kV/1.5mACoolingAir coolIrradiation spotφ0.8mm(Standard collimator)Sample distance27mmExposure time15secs ※TypicalSample stage6 axis (Θ/Tan./Rad./X/Y/Z)PowerAC100～240V,50/60HzPower consumption150W maxOtherDoor Interlock简单易用用户单位

ALYX-800型蓝宝石粘料X射线晶体定向仪ALYX-800 MODEL X-RAY ADHESIVE CRYSTAL ORIENTATION INSTRUMENT FOR TESTING SAPPHIRE 产品特点用于蓝宝石晶棒粘接的定向测量,也可以用于其它种类的单晶定向测量。因为测量的角度是固定的,所以保证了晶棒粘接的准确性。 FeaturesThe model is used for sapphire crystal rod orientation measurement bonding, can also be used for other types of single-crystal orientation measurement. The machine is with fixed angle, ensuring the accuracy of crystal' s angle precision after crystal rod' s directional bonding. 技术指标●输 入 电 源: 单相交流电压220V,50Hz,0.3kW● X 射 线 管: 铜靶,风冷.管电压:30kV,管电流:0~5mA●计 数 器: 盖革计数管●时 间 常 数: 0.1、0.4、3秒三档●光 闸: 手动●外 形 尺 寸: 910mm(长)×660mm(宽)×1220mm(高)●重 量: 150kg Technical Parameters●Input power: Single-phase AC voltage with 220V,50Hz,0.3kW●X-ray tube: Cu target, air cooling. Tube voltage: 30kV, Tube current :0~5mA●Counter: Geiger counter●Time constant: 0.1s, 0.4s, 3s●Optical Shuttle: manual●Size:910mm(L)×660mm(W)×1220mm(H)●Weight:150kg

YX-2C型嵌入式X射线晶体定向仪产品特点此种机型为单晶衍射型普通精度定向仪，操作简便，强度较高，可用于压电晶体、光学晶体以及各种单晶晶体材料的定向。YX-2C型：精度±30"，数字显示，最小读数10"。技术指标● 输入电源：单相交流电压220V，50Hz，0.5kW● X 射线管：铜靶，风冷。管电压：30kV，管电流：0~5mA● 计 数 器：盖革计数管● 时间常数：0.1、0.4、3秒三档● 测角范围：θ=-5°~+55°，2θ=-10°~+110°● 角度读数： 刻度环上标出最小读数为：2θ：1°，θ：1°● 数字显示：度 、分 、秒● 角度调整：数字显示可设置在任意角度上● 狭 缝：4' ， 5' ，6' ● 光 闸：手动● 显 示：数字角度显示● 综合精度：±30"● 外形尺寸：1140mm(长)X650mm(宽)X1030mm(高)● 重 量：150kg

产品特点： 该仪器是我公司针对客户提供蓝宝石晶锭定角度进行测量定向粘结而研发设计的，解决了大尺寸晶体不能在普通定向仪上测量定向粘结的难题，保证了大尺寸晶体定向粘结的准确性。 该仪器上下升降系统及前后上料均由步进电机驱动操作简单，先进的PLC程序稳定可靠，故障率低可长时间连续无故障运行。设备的专用二维夹具调整范围为±4度，可有效满足300kg以内晶锭的粘接定向，操作者可以很容易调整出所测量定向的角度，特制对称锁紧装置可避免切割或掏棒引起的夹具松动。360度旋转复检一键完成方便准确，有效的减轻了操作者的工作强度，从而减少了单件定向的时间，提高了生产率。该仪器采用了高端传感器，可以自动寻找基准点，大大提高了检测效率。 技术指标 ●输 入 电 流：单相交流电压220V、50HZ ●X 射 线 管：铜靶、风冷、管电压30KV，管电流0-5mA： ●计 数 器：盖革计数管 ●时 间 常 数：1、2、3档 ●角 度 显 示：以标准片或标准棒为准 ●角 度 调 整：专用二维夹具 ●检 测 位 置：以0.5mm塞尺为准 ●工作台前后运动：电动，自动限位 ●上 下 升 降：电动 ●工 作 台 旋 转：电动 ●光 闸：电动 ●外 形 尺 寸：1025（长）×1230（宽）×1950（高） ●仪 器 重 量：620kg

YX-300型双晶高精度X射线定向仪YX-300 MODEL DOUBLE CRYSTALS X-RAY ORIENTATION INSTRUMENT WITH HIGH PRECISION 产品特点此种机型为双晶衍射型高精度定向仪,操作简便,精度较高,可用于更高精度水晶晶片、压电晶体、光学晶体以及各种单晶晶体材料的检测。YX-300型:精度±10", 数字显示, 最小读数3" YX-300型:精度±10", 数字显示,最小读数1" FeaturesThe model is double crystal diffraction type lower precision orientation instrument, which are easy for operation, with high intensity, applicable to testing berg crystal, piezocrystal, optical crystal and other single crystal materials.Model YX-300: precision ±10",scale display, minimum reading 3"Model YX-300: precision ±10",scale display, minimum reading 1" 技术指标●输 入 电 源: 单相交流电压220V,50Hz,0.3kW● X 射 线 管: 铜靶,风冷.管电压:30kV,管电流:0~5mA●计 数 器: 盖革计数管●时 间 常 数: 0.1、0.4、3秒三档●测 角 范 围: θ=-10°~50°,2θ=-10°~100°●角 度 读 数: 刻度环上标出最小读数为:2θ:1°,θ:1°●角 度 调 整: 数字显示可设置在任意角度上●光 闸: 手动●显 示: 数字角度显示●外 形 尺 寸: 1150mm(长)X665mm(宽)X1040mm(高)●重 量: 150kg Technical Parameters●Input power: Single-phase AC voltage with 220V,50Hz,0.3kW●X-ray tube: Cu target, air cooling. Tube voltage: 30kV, Tube current :0~5mA●Counter: Geiger counter●Time constant: 0.1s, 0.4s, 3s●Testing Range of angle : θ=-10°~50°,2θ=-10°~100°●Angel reading: the minimal read values marked on degree scale: 2θ:1°,θ:1°●Angel adjustment: number can be displayed at any angle●Optical Shuttle: manually●Displaying: digital angle displaying●Size:1150mm(L)X665mm(W)X1040mm(H)●Weight:150kg

YX-200型X射线晶体定向仪YX-200 MODEL X-RAY CRYSTAL ORIENTATION INSTRUMENT 产品特点该种机型为双晶衍射型高精度定向仪,操作简便,强度较低,可用于高精度压电晶体、光学晶体以及各种单晶晶体材料的检测。YX-200型:精度±10", 数字显示,最小读数10"其它技术参数基本相同,详见下面技术指标。 FeaturesYX-200 MODEL is double crystal diffraction type high precision or ientation instruments, which are easy for operation, with high intensity, applicable to the test of piezocrystal, optical crystal and other single crystal materials.Model YX-200: precision ±10", scale display, minimum reading 10"Other technical parameters are similar, please see the followings. 技术指标●输 入 电 源: 单相交流电压220V,50Hz,0.3kW● X 射 线 管: 铜靶,风冷.管电压:30kV,管电流:0~5mA●计 数 器: 盖革计数管●时 间 常 数: 0.1、0.4、3秒三档●测 角 范 围: θ=-10°~50°, 2θ=-10°~100°●角 度 读 数: 刻度环上标出最小读数为:2θ:1°,θ:1° 数字显示:度 、分 、秒●角 度 调 整: 数字显示可设置在任意角度上●光 闸: 手动●显 示: 数字角度显示●综 合 精 度:±10"●外 形 尺 寸: 1140mm(长)X650mm(宽)X1030mm(高)●重 量: 150kg Technical Parameters●Input power: Single-phase AC voltage with 220V,50Hz,0.3kW●X-ray tube: Cu target, air cooling. Tube voltage: 30kV, Tube current :0~5mA●Counter: Geiger counter●Time constant: 0.1s, 0.4s, 3s●Testing Range of angle : θ=-10°~ 50°,2θ=-10° ~100°●Angel reading: the minimal read values marked on degree scale: 2θ:1°,θ:1° digital displaying:degree, minute, second ●Angel adjustment: number can be displayed at any angle Optical Shuttle: manually●Displaying: digital angle displaying●Precision:±10"●Size:1140mm(L)X650mm(W)X1030mm(H)●Weight:150kg

YX-2H8型X射线晶体定向仪YX-2H8 X-RAY CRYSTAL ORIENTATION INSTRUMENT 产品特点此种机型是在YX-2型单晶衍射定向仪的基础上增加了承重直线导轨,并对样品台做了改进,可测1-30公斤,2-8英寸直径蓝宝石及各种单晶材料。YX-2H8可配置 YA、 YB 、 YD 、YE 四种不同样品台, 客户可按需求选择上述配置。 YX-2H8型:精度±30",数字显示,最小读数10" FeaturesOn the basis of YX-2 model,this machine is added with bearing rail, improved sample table. It can measure Si sample with 1~30kg, 2~8 inches and various single crystal material.YX-2H8 can be set with different goniometers YA 、 YB、 YD 、 YE. Customers can request the above configuration according to their needs.Model Y X-2H8: precision ±30", digital display, minimum reading 10" 技术指标●输 入 电 源: 单相交流电压220V,50Hz,0.3kW● X 射 线 管: 铜靶,风冷.管电压:30kV,管电流:0~5mA●计 数 器: 盖革计数管●时 间 常 数: 0.1、0.4、3秒三档●测 角 范 围: θ=-10°~50°,2θ=-10°~100°●角 度 读 数: 刻度环上标出最小读数为:2θ:1°,θ:1°●角 度 调 整: 数字显示可设置在任意角度上●狭 缝: 4' , 5' , 6' ●光 闸: 手动●显 示: 数字角度显示●综 合 精 度: ±30"●外 形 尺 寸: 1150mm(长)X665mm(宽)X1100mm(高)●重 量: 170kg Technical Parameters●Input power: Single-phase AC voltage with 220V,50Hz,0.3kW●X-ray tube: Cu target, air cooling. Tube voltage: 30kV, Tube current :0~5mA●Counter: Geiger counter●Time constant: 0.1s, 0.4s, 3s●Testing Range of angle :θ=-10°~ 50°,2θ=-10°~100°●Angel reading: the minimal read values marked on degree scale: 2θ:1°,θ:1°●Angel adjustment: number can be displayed at any angle●Slit range: 4' , 5' , 6' ●Optical Shuttle: manual●Displaying: digital angle displaying●Precision: ±30"●Size:1150mm(L)X665mm(W)X1100mm(H)●Weight:170kg

ALW-XYDZ 700型晶棒XY轴X射线定向粘料仪ALW-XYDZ 700 MODEL STICKING INGOT X-RAY ORIENTATION INSTRUMENT BY X&Y AXIS 产品特点该仪器为双工作台，左侧工作台在X光下对（2~6）英寸蓝宝石晶棒X轴定向，晶棒长度最短为20mm，利用导轨滑动在一块料板上，粘结多块晶棒；右侧工作台在X光下利用专用工具对（2~6）英寸蓝宝石晶棒Y轴角度定向，然后将晶棒和夹具一起放到磨床进行参考面的玻璃面进行磨平、加工。仪器定向粘结精度±15"/30"，最小读数1" FeaturesThe instrument included double workbench,the left workbench can adhesive 2~6 inches sapphire ingot with the X-ray orientation unit,the minimum length of ingot is 20mm,and use the guide' s glid to adhesive more ingot at a piece flitch The right workbench can test the end plane angle of 2~6 inches sapphire ingot or wafer with the X-ray orientation unit, wiht accuracy ±15"/30", the minimum reading by 1". 技术指标●输入电源：单相交流220V，50Hz，0.25kW●X射线管：铜靶，风扇冷却，阳极接地。●最大管电压电流：30kV，5mA连续可调，使用2.0mA以上， 有可能损坏X光管并加大辐射危害。●探测器：计数器。工作电压最高为DC1000V；或闪烁探测器， 工作电压最高为DC1200V。●时间常数：1（快）、2（慢）两档。●测角范围：2θ=－10°～110°，θ=－5°～55°●角度读数：数字显示以度、分、秒表示，最小读数为1″。 数字显示以度显示，最小读数为0.001°。●角度调整：数位显示可予置在任何角度上。●主光闸：手动。●显示板：角度显示，射线强度表。●综合精度：双衍射型综合精度±15″或±30″。 （用标准石英片测量）。●外型尺寸：1132（长）×642（宽）×1460（高）mm●重量：300kg Technical Parameters●Input power: Single phase with AC 220V,50Hz,0.25kW●X-ray tube : Cu target ,cooled by fan ,and plus earth●Max.tube voltage and current: 30kV ,5mA ,being continued adjustment. If using the current is more than 2.0mA ,which may be damaged the X-ray tube inserted and enlarge the radiative harm●Detector: counter. The max. working voltage is DC1000V Or scintillation counter,the max. working voltage is DC1200V●Time setting : 1(fast)/2(slow)●Angle range: 2θ=－10°～120°，θ=－5°～60°●Angle reading : Digital displaying in minutes or seconds, the minimum reading to 1" Digital displaying in degree , the minimum reading to 0.001°●Angle adjustment: Digital displaying can be set in the any angle .●Main optical shutter: by manual●Displaying :Angle displaying ,and Ray intensity table●Comprehensive precision: double diffraction comprehensive accuracy±15″or±30″.(Measured with standard quartz ).●External dimension :1132(L) ×642（W）×1460（H）mm●Weight:300kg

蓝宝石四角度X射线定向仪X-RAY ORIENTATION INSTRUMENT FOR TESTING SAPPHIRE' S FOURANGLES 产品特点该机是针对大尺寸蓝宝石晶锭专门设计的设备,采用了进口同步导轨,可在此设备上准确的对蓝宝石A,C,R,M四个晶向定向,真正实现了一机多用的效果,是一款性价比极高的晶体检测设备。 FeaturesThis machine is specialized designed for big sized sapphire ingot, adopting imported Synchronous guiding rail. The four planes A,C,R,M can be accurately orientated on this machine. Achieving multiple function in one machine. It is a crystal detecting machine with high ratio of performance to price. 技术指标●输 入 电 源: 单相交流,电压,220V,50Hz,0.3kW● X 射 线 管: 铜靶,风冷,管电压:30kV,管电流:0~5mA●时 间 常 数: 0.1、0.4、3秒三档●狭 缝: 4' , 5' , 6' ●光 闸: 电动●外 形 尺 寸:控制部分:550mm(长)×350mm(宽)×1700mm(高) 测试部分:750mm(长)×550mm(宽)×1800mm(高)●重 量:180kg Technical Parameters●Input power: single-phase AC voltage: 220V,50Hz,0.3kW●X ray tube: Cu target, air cooling.Tube voltage: 30kV, Tube current: 0~5mA●Time constant: three gears: 0.1s, 0.4s, 3s●Slit: 4' , 5' , 6' ●Optical shutter: electricity●Size:controlling part: 50mm(L)×350mm(W)×1700mm(H) Testing part:750mm(L)×550mm(W)×1800mm(H)●Weight:180kg

ALYX-500型自动X射线晶体定向仪ALYX-500 MODEL AUTOMATICAL CRYSTAL X-RAY ORIENTATION INSTRUMENT 产品特点采用计算机控制,可对蓝宝石及其它晶体晶片自动测量,确定晶体峰值、峰位、晶面偏差、表面缺陷等。通过电脑屏幕以表格和曲线的形式显示在计算机上,并可通过连接打印机输出测定结果。 FeaturesThe model is used for computer control, can automatically measure the cut sapphire and other type crystals to determine its crystal peak intension, peak position, crystal surface deviation, and surface defects. Results are displayed on computer screen in the form of tables and curves, and can be printed out through an external connected printer. 技术指标●输 入 电 源: 单相交流电压220V,50Hz,0.3kW● X 射 线 管: 铜靶,风冷.管电压:30kV,管电流:0~5mA●计 数 器: 盖革计数管●显 示: 电脑●测 角 范 围: θ=-10°~50°,2θ=-10°~100°●角 度 调 整: 数字显示可设置在任意角度上●光 闸: 电动●外 形 尺 寸: 700mm(长)×530mm(宽)×1400mm(高)●重 量: 100kg Technical Parameters●Input power: Single-phase AC voltage with 220V,50Hz,0.3kW●X-ray tube: Cu target, air cooling. Tube voltage: 30kV, Tube current :0~5mA●Counter: Geiger counter●Display: computer●Testing Range of angle : θ=-10°~50°,2θ=-10°~100°●Angel adjustment: number can be displayed at any angle●Optical Shuttle: electricity●Size:700mm(L)×530mm(W)×1400mm(H)●Weight:100kg

YXG-2型单晶滚磨X射线定向仪YXG-2 MODEL SINGLE CRYSTAL GRINDER X-RAY ORIENTATION INSTRUMENT 产品特点用于大直径硅单晶及蓝宝石参考面的定向测量,也可以用于其它种类的单晶定向测量,需和磨床配合。因该机测量的角度是固定的,所以保证了滚磨后晶向的准确性。 FeaturesThis model suits for orientation measurement of cylindrical surface of silicon single crystal with big diameter. It can also be used for other types of single crystal' s orientation measurement. It is specially used with roller mill, orientation for crystal cylindrical surface. Because this machine is with fixed angel and assures precision of crystal' s direction after rolling mill, products' orientation precision can be improved. 技术指标●输 入 电 源: 单相交流电压220V,50Hz,0.3kW● X 射 线 管: 铜靶,风冷.管电压:30kV,管电流:0~5mA●计 数 器: 盖革计数管●时 间 常 数: 0.1、0.4、3秒三档●狭 缝: 4' 5' 6' ●光 闸: 电动●外 形 尺 寸: 控制部分:550mm(长)×350mm(宽)×1700mm(高) 测试部分:750mm(长)×550mm(宽)×1750mm(高)●重 量: 180kg Technical Parameters●Input power: Single-phase AC voltage with 220V,50Hz,0.3kW●X-ray tube: Cu target, air cooling. Tube voltage: 30kV, Tube current :0~5mA●Counter: Geiger counter●Time constant: 0.1s, 0.4s, 3s●Slit range: 4' , 5' , 6' ●Optical Shuttle: electricity●Size:Controller device:550mm(L)×350mm(W)×1700mm(H) Testing device:750mm(L)×550mm(W)×1750mm(H)●Weight:180kg

弗莱贝格DDCOM（台式X射线晶体定向仪）采用Omega扫描方法，可以进行超高速的晶体定向测量，用于确定各种晶体的取向。技术特点▼l 方便快捷的晶圆检测l 用于科研 & 研发，小型实验工厂l 适用多种可测量材料l 重量轻、成本低l 手动处理样品工作原理▼ 从样品台底部测量- 用于晶锭、晶圆、芯片的检测- 控制切割、研磨、抛光等过程超高速Omega扫描方法▼l 比Theta扫描方法快200倍l 自动评估三维完整的晶格方向l 在5秒内测定整个晶体的方位紧凑，用户友好和成本效益▼l 易于移动和轻量级的桌面设计l 样品处理方便，操作方便l 空气冷却x射线管能耗低，运行成本低(无需水冷)有效的质量控制流程▼l 用于标准研究和工业工作流程l 晶体方位设定及标示l 预编程立方晶体参数l 先进方便的软件l 精度高，例如高至(1/100)°控制切割、研磨和抛光▼ l 单晶的完全晶格取向l 适用于各种尺寸和重量范围大的独特材料，如：2-12英寸的晶圆片和20公斤以下的晶锭 技术参数▼X-ray 源30 W气冷式x射线管，铜阳极 检测器两个闪烁计数器 样品架精密转台，设定精度0.01°，工具定义样品定位和标记尺寸600 mm × 600 mm × 850 mm重量80 kg电源100-230 V, 100 W，单相室温要求≤ 30° C

ALW-QZXD 800型半自动寻峰X射线定向仪ALW-QZXD800 MODEL SEMI-AUTOMATICAL FINDING PEAK X-RAY ORIENTATION INSTRUMENT 产品特点该仪器为双工作台，左右工作台均能满足2～8寸晶片的测量，重复精度为±3"。测定单晶材料的峰位角，使用于工业生产的一般要求。计算机分析系统由计算机、数据分析软件组成。对实时数据分析处理后得到的峰形曲线进行处理，进而得到峰位角，通过电脑屏幕以表格和曲线的形式显示，一般样品测一次需20秒左右（扫描范围≤2o），可测一次或者多次。该仪器测角精度为±15"，最小读书1"。 FeaturesThe instrument includes double workbench,the left and right workbench can test the 2~8 inch sapphire ingot both,the repeat accuracy is ±3".Also it can test the single crystal angle peak position , which is used for industrial production .The computer analysis system is composed of the computer and data analysis software. So it can get the angle peak position by processing the peak curves obtained analysis the real-time data ,and display it through the computer screen by table and curves , the general sample testing time is about 20 seconds (scan range ≤2）, can be measured in one or more times. Measuring accuracy of the instrument is below ±15", the minimum reading is 1". 技术指标●输入电源：单相交流220V，50Hz，0.25kW。 ●X 射线管：铜靶，风扇冷却，阳极接地。 ●最大管电压电流：30kV，5mA连续可调。●探 测 器：计数器。工作电压最高为DC1000V；或闪烁探测器， 工作电压最高为DC1200V。●时间常数：1（快）、2（慢）两档。●测角范围：2θ=－10°～120°，θ=－5°～60°●角度读数：数字显示以度、分、秒表示，最小读数为1″ 数字显示以度显示，最小读数为0.001°●角度调整：数位显示可予置在任何角度上。●主 光 闸：自动。●显 示 板：角度显示，射线强度表。●综合精度：双衍射型综合精度±15″或±30″ （用标准石英片测量）●外型尺寸：1132（长）×642（宽）×1460（高）mm●重 量：300kg Technical Parameters●Input power: Single phase with AC 220V,50Hz,0.25kW●X-ray tube: Cu target ,cooled by fan ,and plus earth●Max.tube voltage and current :30kV ,5mA ,being continued adjustment .●Detector: counter . The max. working voltage is DC1000V Or scintillation counter, the max. working voltage is DC1200V●Time setting : 1(fast)/2(slow)●Angle range: 2θ=－10°～120°，θ=－5°～60°●Angle reading : Digital displaying in minutes or seconds, the minimum reading to 1"Digital displaying in degree ,the minimum reading to 0.001°●Angle adjustment :Digital displaying can be set in the any angle.●Main optical shutter: auto●Displaying :Angle displaying ,and Ray intensity table●Comprehensive precision: double diffraction comprehensive accuracy±15″or±30″.(Measured with standard quartz ).●External dimension: 1132(L)×642(W)×1200(H)mm●Weight: 300kg

本劳厄晶体定向仪采用新一代X射线相机，高亮度X射线微焦斑光源，可最快在数秒内完成劳厄数据的采集。劳厄斑点图像分辨率好，对比度高。数据采集软件可同时实现图像数据的处理，可实现背地修正，亮度和对比度调节，并将最佳图像以多种图像格式输出。定向软件操作简单，功能丰富，可自动拟合劳厄斑点，也可用鼠标人工定向。自动计算晶体的欧拉角及欧美习惯角度表示，并求解相邻晶粒的取向差。是晶体定向应用的理想选择。Ni3Al单晶100方向劳厄衍射图谱(10秒)主要指标：&bull 进口高效X射线平板探测器&bull 探测器面积：100毫米X150毫米&bull 像素尺寸：99微米&bull 分辨率： 1032x1548&bull 光源： 钨靶&bull 功率： 50W&bull 光通量：2x108&bull 准直器：0.5，1，2毫米&bull 曝光时间： 连续可调&bull 图像累计功能&bull 通讯方式：网口 &bull 可调XYZ样品台（承重30KG）&bull 样品激光视频定位系统 &bull 外观：根据需要可提供桌面型或立式机柜 主要应用：&bull 单晶材料的晶体取向测量，晶面指数的确定&bull 镍基单晶高温合金取向测量，相邻晶粒的取向差测量 单晶叶片晶粒A视频定位，劳厄图谱及取向拟合单晶叶片晶粒B视频定位，劳厄图谱及取向拟合单晶叶片晶粒A,B取向差的计算苏州伊凡智通仪器科技有限公司

德国弗莱贝格仪器Quatrz XRD——石英晶体X射线衍射仪主要应用于对石英棒、硅片和坯料进行生产质量控制。而根据样品对象的不同，Quatrz XRD可以分为Quatrz Bar XRD、Quatrz Wafer XRD和Quatrz Blank XRD，即全自动石英棒定向仪、全自动石英晶圆盘分析仪和全自动石英晶片分选仪三种型号。全自动石英棒定向仪▼ 样品：石英棒特点：完全自动化的吸收和校准石英棒自动上胶转接器板校准精度：±0.5°(AT & TF)全自动石英晶圆片分析仪▼样品：圆形，长方形和正方形4 x 4毫米至80 x 80毫米(人工处理样本)20 x 20毫米至80 x 80毫米(自动样本处理)特点：空间质量检查的映射图选项模块化设计，支持未来的自动化升级用于输入/输出的标准样品盒：盒式或叠式可用排序函数产量：在标准分选精度下，可高达350片/小时全自动石英晶片分选仪▼样品：圆形，长方形和正方形4 x 4毫米至12 x 12毫米(手工处理样本)1.5 x 1.5毫米至3.0 x 6.0毫米(自动化选项一)4.0 x 4.0 mm至9.0 x 9.0 mm(自动化选项二)特点：质量分组：±7.5 arcsec吞吐量：在标准分拣精度下，每小时可处理高达1000个晶片

技术特点▼u 全自动的垂直三轴衍射仪，使用Omega扫描和Theta扫描方法以及摇摆曲线测定各种晶体的方向。配备可容纳长达450毫米和30公斤的样品及样品架；u 自动化测量，并通过定制软件进行访问。利用Omega扫描，可在晶体旋转(5秒)中确定完整的晶格方向。Theta扫描更加灵活，但每次扫描只产生一个方向分量；u 精确地确定倾斜角度，Theta扫描精度达到0.001°；u 模块化系统，并配备了多功能需求扩展。 行业应用▼具有多种几何形状和大小的样品 根据材料和产量的不同，晶体样品可以表现出多种尺寸和几何形状。Omega/Theta X射线衍射仪可以处理大块钢锭或钢球和实验合成的微小晶体。非线性光学材料(NLO)：晶体质量和定向 与典型的无机金属、半导体和绝缘体相比，NLO材料具有更复杂的晶体结构和更低的对称性。这些晶体通常被切割成尺寸在毫米范围内的小棒，而对这种小晶体的表面质量测定常常可以揭示晶体内部的结构缺陷和裂纹。通过对Omega/Theta的设计进行的一些特殊的修改，我们的定向仪能够确定许多NLO材料，如LBO, BBO和TeO2的的晶向。平面方向的标记和测量 Omega扫描能够在一次测量中确定完整的晶体方位。因此，平面方向可以直接识别。这是一个有用的功能，以标记在平面方向或检查方向的单位或缺口。 摇摆曲线：晶体表面评价 摇摆曲线测量对晶格内的缺陷和应变场很敏感。将这种技术与映射阶段相结合，可以扫描晶体表面并确定缺陷区域。通过装备一个具有映射阶段和双晶体的Omega/Theta衍射仪，可以直接测量晶体表面某一反射的摇摆曲线映射。如下图显示的结果，这种映射的碳化硅晶圆片的内部呈现出两到三倍于摇摆曲线的FWHM。这可能与表面划痕或生长缺陷有关。