精密刻蚀镀膜系统

近日，光驰半导体技术（上海）有限公司（以下简称 “光驰半导体”）成功摘得宝山高新技术产业园区的BSPO-1801单元07-17标准地33357.6平方米（合计50亩）工业用地，并与上海市宝山区规划和自然资源局签订土地使用权出让合同，光驰半导体原子层镀膜与刻蚀镀膜项目在园区实质落地。图片来源：上海宝山据上海宝山消息，光驰半导体项目未来将以半导体前沿ALD（原子层镀膜）技术与刻蚀技术为依据，以持续技术创新和市场开拓为导向，在半导体制造与器件领域实现技术的应用与扩大销售。项目计划2022年8月开工，预计2023年10月竣工。光驰半导体是光驰科技（上海）有限公司的全资子公司，据该公司官网信息，光驰科技（上海）有限公司是株式会社光驰（OPTORUN CO.,LTD）投资成立，以高精度镀膜机的设计与制造为基础的外资独资型企业，生产用于光通信设备、导光系统中制备各种光学部件的增透膜；各类型滤光片的高精度镀膜设备；工艺的研究和开发；相关设备的维修及售后服务。

近日，光驰半导体技术（上海）有限公司投资建设的原子层镀膜与刻蚀设备项目顺利完成竣工验收。宝山高新区消息显示，原子层镀膜与刻蚀设备项目位于宝山高新区07-17地块，总投资5.48亿元，占地面积50亩，总建筑面积6.44万㎡，其中一期建筑面积约3.8万㎡，涵盖标准厂房、研发办公楼等。项目主要致力新型电子元器件及设备制造，利用全球泛半导体产业链的调整与相关前沿研发的投入与技术整合，实现电子专用设备制造产业化、规模化。光驰半导体技术（上海）有限公司，作为光驰科技（上海）有限公司全资子公司。光驰科技自2000年入驻宝山高新区南部园区。2022年，光驰科技将传统光学与半导体技术融合，于北部园区投资设立光驰半导体，进一步提升制造空间与产能，开辟光学元器件向半导体集成光学转变的新市场。项目预计达产后年产能将达到高精度原子层镀膜机120台和5台刻蚀机。2023年4月10日，光驰半导体技术（上海）有限公司半导体原子层镀膜与刻蚀镀膜项目一期正式封顶。

在庆祝中国共产党百年华诞之际，由国家发改委立项支持、中科院高能物理研究所承建的高能同步辐射光源（HEPS）首台科研设备于6月28日上午安装，为其提供技术研发与测试支撑能力的先进光源技术研发与测试平台（PAPS）启动试运行。其中，中科科仪控股公司中科科美研制的直线式劳埃透镜镀膜装置及纳米聚焦镜镀膜装置也于同一天正式投入使用。直线式劳埃透镜镀制装置及纳米聚焦镜镀制装置可实现各类高能物理装置聚焦镜、单色镜、劳埃镜、纳米聚焦镜等膜层制备。在两装置研制过程中，中科科美突破了多项先进制造技术：精密加工制造技术，实现大型真空腔室及复杂运动系统精密加工与装配、减震及超洁净等严苛设计指标；大型真空系统超高真空获得技术，实现结构复杂、内部零部件放气量大的大型真空腔室系统极限真空度达到10-6Pa；高精度直线运动控制技术，实现长距离导轨运行平行度达到微米量级、运动系统速率稳定性控制在千万之一以内；复杂镀膜工艺技术，实现高精度纳米量级万层镀膜工艺，膜厚精度控制在0.1纳米以内。经相关主管部门和院所专家委员会现场测试，高精密镀膜装置结构设计合理、制造工艺先进、主要性能指标达到国际同类产品水平，填补了该领域内多项国内技术空白。直线式劳埃透镜镀制装置HEPS是国家“十三五”重大科技基础设施项目之一，该项目于2019年6月29日开工建设，建设周期6.5年。建成时，HEPS将成为中国第一台高能量同步辐射光源之一，为基础科学和工程科学领域原创性、突破性创新研究提供重要支撑平台。中科科仪控股公司中科科美凭借在真空系统集成领域深厚的专业技术积淀、强大的整体方案解决能力和一站式服务能力参与到该项目中，为国家重大科技基础设施项目实施和技术攻关贡献了力量。

氩离子抛光技术是对样品表面或者截面进行抛光，得到表面光滑无损伤的样品，能够观察到样品内部真实结构。Gatan公司生产的精密刻蚀镀膜系统——PECS II 685（图1），是集抛光和镀膜于一体的氩离子抛光设备，它采用两个宽束氩离子束对样品表面进行抛光。685可以做普通的抛光方法无法解决的问题：a.氩气的工作氛围，可以有效保护容易氧化或者对水蒸气特别敏感的材料；b.样品台采用液氮制冷方式，可以有效的保护热敏感的样品，避免离子束热损伤；c.685自带的精确到纳米级别的镀膜功能，可以有效解决容易氧化且导电性特别不好材料的SEM/EDS/EBSD等的分析。下面我们通过两个案例来说明为什么氩离子抛光技术在镀膜领域的应用是无可替代的。图1 精密刻蚀镀膜系统PECS II 685 例1：光伏作为我国战略性新型产业，其发展牵动着我国的方方面面。光伏玻璃为目前光伏产业链上电池组件封装环节使用的必须辅助材料之一，整个光伏玻璃的发展与光伏产业的发展密切相关。所谓光伏玻璃是指在超白压延玻璃上镀一层减少反射的材料即减反膜，作用是减少或者消除透镜、棱镜、平面镜等光学表面的反射光，增加这些原件的透光量。因此对减反膜的研究显得尤为重要。图2是观察某公司生产的光伏玻璃上减反膜的厚度。图2（a）显示普通制样无法准确观察到减反膜厚度，而利用精密刻蚀镀膜系统PECS II 685制备的样品不仅可以准确测量膜的厚度还可以观察到其真实形貌：这是一种厚度约180 nm的具有多孔结构的膜，见图2(b)。 图2 普通制样及氩离子抛光制样观察减反膜（a普通制样；b PECS II 685制样）例2：以聚碳酸酯为基底，在上面包覆TiO2/SiO2交替膜共8层，每层膜厚度只有50 nm左右，普通制样根本无法观察到膜结构，更无法观察8层交替膜。我们同样使用PECS II 685进行制样，由于样品不导电且容易被氩离子束打伤，故同时利用PECS II 685的冷台、刻蚀、镀膜功能，在同一真空环境下对样品进行抛光和镀膜，利用蔡司的Sigma 300场发射扫描电镜清晰观察到8层TiO2/SiO2交替膜，见图3。 图3 PECS II 685制备TiO2/SiO2交替膜

半导体晶圆表面的接触角测试是半导体制造中常见的一项表面质量评估方法，其重要性在以下几个方面：1、粗糙度评估：半导体晶圆表面的粗糙度会对接触角产生影响，接触角测试可以用来评估晶圆表面的粗糙度，从而评估其表面质量。表面清洁评估：半导体晶圆表面的杂质和污染物会影响接触角的测量结果，接触角测试可以用来评估晶圆表面的清洁程度。2、表面处理评估：半导体晶圆表面的各种表面处理，如刻蚀、沉积、退火等会影响接触角的测量结果，接触角测试可以用来评估这些表面处理对晶圆表面性质的影响。3、界面张力评估：在半导体制造中，各种材料的粘附和分离过程都涉及到界面张力的变化，接触角测试可以用来评估晶圆表面和各种材料之间的界面张力。综上所述，半导体晶圆表面的接触角测试可以用来评估晶圆表面的粗糙度、清洁程度、表面处理效果和界面张力等方面的性质，对半导体制造过程中的表面质量控制具有重要的意义。晶圆全自动接触角测量仪详细参数：技术参数KZS-50图片硬件外观接触角平台长12寸圆平台（6寸、8寸、12寸（通用）扩展升级整体扩展升级接触角设备尺寸670x690x730mm（长*宽*高）重量35KG样品台样品平台放置方式水平放置 样品平台工作方式三维移动样品平台样品承重0.1-10公斤仪器平台扩展可添加手动，自动倾斜平台，全自动旋转平台，温控平台，旋转平台，真空吸附平台调节范围Y轴手动行程400mm，精度0.1mmX轴手动，360°自动旋转，精度0.1mm测试范围0-180°测量精度高达0.01°测量面水平放置样品平台旋转全自动旋转平台仪器水平控制角位台可调，镜头可调，样品平台可调滴液滴液系统软件控制自动滴液，精度0.1微升，自动接液测试注射器高精密石英注射器，容量500ul针头直径0.51mm，1.6mm表面张力测试滴液移动范围X轴手动调节80mm，精度0.01mmZ轴自动调节100mm，精度0.01mm滴液系统软件控制自动滴液泵滴液模组金属丝杆滑台模组镜头/光源光源系统单波冷光源带聚光环保护罩，寿命60000小时以上光源调节软硬共控镜头可移动范围滑台可调100mm镜头远心变倍变焦定制镜头镜头倾斜度±10°，精度0.5°相机帧率/像素300fps（可选配更高帧率）/300万像索电源电源电压220V，功率60W，频率60HZ漏电装置带漏电装置保护软件部分软件算法分辨率拟合法、弧面法、θ/2、切线法、量角法、宽高法、L-Y法、圆法、椭圆法、斜椭圆法测量方式全自动、半自动、手动拟合方式 分辨率点位拟合，根据实际成像像素点完全贴合图像拍摄支持多种拍摄方式，可单张、可连续拍摄，支持视频拍摄，并一键测量。左右接触角区分支持分析方法座滴法、纤维法、动态润湿法、悬滴法、倒置悬滴法、附着滴法、插针法、3D形貌法、气泡捕获法分析方式 润湿性分析、静态分析、实时动态分析、拍照分析、视频分析、前进后退角分析保存模式Word、EXCEL、谱图、照片、视频总结1、晶圆接触角测量可以订制，适用于各种半导体制造中常用的6英寸、8英寸、12英寸等尺寸的晶圆。2、高精度测量：可以在非常小的范围内准确测量晶圆表面的接触角，具有高度的重复性和准确性。3、多功能性：晶圆接触角测量仪通常具有多种测试模式，可以测量不同类型的表面处理，如刻蚀、沉积、清洗等过程对接触角的影响，可以提供全面的表面质量评估。4、高效性：晶圆接触角测量仪可以在非常短的时间内完成多个晶圆的测量，提高了实验的效率。5、自动化程度高：晶圆接触角测量仪通常具有自动化控制和数据处理系统，可以自动完成晶圆的定位、测量和数据处理，减少了实验人员的工作量和误差。晶圆接触角测量仪是一种专门用于测量半导体晶圆表面接触角的仪器。相比传统的接触角测量仪，它具有以下优势：1、适用于大尺寸晶圆：晶圆接触角测量仪通常具有较大的测试平台，能够容纳大尺寸的晶圆，适用于半导体制造中常用的6英寸、8英寸、12英寸等尺寸的晶圆。2、高精度测量：晶圆接触角测量仪使用高精度的光学传感器和计算算法，可以在非常小的范围内准确测量晶圆表面的接触角，具有高度的重复性和准确性。多功能性：晶圆接触角测量仪通常具有多种测试模式，可以测量不同类型的表面处理，如刻蚀、沉积、清洗等过程对接触角的影响，可以提供更全面的表面质量评估。3、高效性：晶圆接触角测量仪可以在非常短的时间内完成多个晶圆的测量，提高了实验的效率。4、自动化程度高：晶圆接触角测量仪通常具有自动化控制和数据处理系统，可以自动完成晶圆的定位、测量和数据处理，减少了实验人员的工作量和误差。综上所述，晶圆接触角测量仪具有高效、高精度、多功能等优点，在半导体晶圆表面处理和质量控制中具有广泛的应用前景。

WELCHLAB APPLICATION某客户致力于材料表面处理和真空薄膜仪器的研发，在竞争方面，直接对标国外知名产品。有别于其他同类产品的国产厂家，该客户产品定位高端，在国内市场有较好的口碑，其对配套的旋片真空泵（油泵）要求，无论是在真空度、噪音、外观、售后服务等，还是在品牌知名度方面，都有非常高的要求，为保证离子镀膜仪真空度的稳定性和工作效率，已标配选用了某原装进口品牌的旋片泵，且销售了数年时间，但此品牌的旋片泵价格高昂，货期不稳定，售后服务有着很大的提升空间。此时，我们针对性的向该客户介绍了Welch品牌CRVpro2旋片真空泵。CRVpro2外观设计美观，真空度高，泵体小巧，运行非常安静，泵体内部做PTFE防腐处理，能够明显提高其使用寿命，完全适合配套客户的离子镀膜仪设备。且因CRVpro2旋片真空泵性价比高，售后服务完善，能瞬间提升客户产品的受关注度和整体竞争力。当然，对于临阵换将，任何人都会有所犹豫，为打消客户疑虑，我们及时提供了一台全新的 CRVpro2旋片真空泵，进行现场测试。CRVpro2的安装非常简单，加注真空油、安装转接头、连接不锈钢波纹管，一气呵成。开机运行！在寂静的实验室里，CRVpro2安静的运行着。时间一秒一秒得飞逝，镀膜仪操作面板上的真空度数值飞速变化，结果仅仅用了不到3分钟，就达到了镀膜仪恒定工作压力以下，即1-2Pa。同时，由于Welch研发工程师对CRVpro2的排气端进行了优化设计，其排气口几乎无油雾排出，非常有利于实验室环境，该公司的测试人员对此结果非常满意。随即，设备配套顺理成章，双方打开双赢的合作局面̷̷CRVpro实验室旋片真空泵的优点：　　1、泵体运行温度低，能有效减低泵被化学腐蚀风险。　　2、油箱和泵体都有抗化学腐蚀涂层，能够保护泵不被化学物质侵蚀。　　3、油箱容量大，能够稀释吸入真空油里的化学物质，降低了化学腐蚀的风险和油被污染的程度。　　4、低噪音：运行特别安静，不干扰工作。　　5、自润滑功能：确保所有运动部件浸润在新鲜的油里，平衡温度，减少油染，延长机械寿命。　　6、防倒吸阀：防止在停机时油被倒吸进真空容器　　7、气压载阀：减少化学蒸汽被夹带进入泵油；保护泵不被可凝性流体如水，乙酰腈等的影响。　　8、cUL和CE认证：具有各国的安全认证，满足官方的3安全标准。　　9、满足各种应用的外形尺寸：现代和紧凑的外形设计，满足各种应用场合的要求。　　10、双电压电机：IP44 电机，可在115V 和240V之间切换，并可配置各种相应的电源插头，使CRVpro可使用。CRVpro实验室旋片真空泵的应用： 1、双排管 2、冷冻干燥 3、真空浓缩 4、采暖通风、空调 5、真空干燥箱 6、手套箱 7、质谱仪 8、工业应用关于威伊（Welch）威伊真空设备（上海）有限公司WELCH是提供优质耐用真空泵产品的专家。我们的丰富产品线涵盖了实验室和工业用真空泵，包括真空活塞泵，真空隔膜泵，真空旋片泵，螺旋泵，涡轮分子泵，液体输送泵等，还有各种真空测量仪，真空控制器，真空蒸馏装置，真空浓缩设备，真空抽吸设备等。关于英格索兰英格索兰（纽交所代码：IR），以企业家精神和主人翁意识为动力，致力于创造美好生活。我们通过旗下备受赞誉的40余个品牌，在工业、能源、医疗和特种多功能车领域提供关键和创新的产品与服务，涵盖空气压缩机、泵、鼓风机，以及流体管理、装载、动力工具和物料吊装系统以及知名的Club Car品牌多功能车。在极其复杂和严苛的工况下，亦能确保优越的性能。我们在世界各地的16,000多名员工将持之以恒地为客户提供可靠的专业知识，帮助客户提高生产力并提升效率，与客户建立终身连接。

p2020年8月7日，应用材料公司今天宣布为其大获成功的Centris® Sym3® 刻蚀产品系列再添新成员。现在，该系列产品能让芯片制造商在尖端存储器和逻辑芯片上以更加精细的尺寸成像和成型。/pp应用材料公司的Centris® Sym3® Y刻蚀系统能让芯片制造商在尖端存储器和逻辑芯片上以更加精细的尺寸成像和成型。/pp新型Centris Sym3® Y是应用材料公司最先进的导体刻蚀系统。该系统采用创新射频脉冲技术为客户提供极高的材料选择性、深度控制和剖面控制，使之能够在3D NAND、DRAM和逻辑节点（包括FinFET和新兴的环绕栅极架构）创建密集排列的高深宽比结构。/ppSym3系列成功的关键在于其独特技术特征：高电导反应腔架构能够提供特殊的刻蚀剖面控制，快速有效地排出每次晶圆工艺产生的刻蚀副产物。Sym3 Y系统采用保护关键腔体组件的专有新型涂层材料，扩大了该成功架构的优势，从而进一步减少缺陷并提高良率。/ppSym3刻蚀系统于2015年首次推出，如今已成为应用材料公司历史上最迅速大量占领市场的产品。时至今日，Sym3反应腔出货量达到了5000台大关。/pp应用材料公司的战略是为客户提供全新的材料成型和成像方法，以实现新型3D结构并开辟继续进行2D微缩的新途径，而Sym3系列正是实现这一战略的关键产品。应用材料公司采用独特的化学气相沉积（CVD）镀膜技术对Sym3系统进行协同优化，让客户能够增加3D NAND内存器件中的层数，并减少DRAM制造中四重成型所需的步骤数。应用材料公司会将上述技术与其电子束检测和审查技术一同部署，以加快研发并大规模实现行业最先进节点的产量爬坡，从而帮助客户改善芯片功耗、增强芯片性能、降低单位面积成本并加快上市时间（PPACt）。/pp应用材料公司半导体产品事业部副总裁兼总经理Mukund Srinivasan博士表示：“应用材料公司在2015年推出Sym3系统时采用了全新方法进行导体刻蚀，并解决了3D NAND和DRAM中一些最棘手的刻蚀难题。今天，在最先进的存储器和代工厂逻辑节点中，关键刻蚀和极紫外（EUV）图形化应用呈现出强劲的发展势头和增长。未来，我们将继续升级并助力业界向下一代芯片设计演进。”/pp每个Sym3 Y系统均包括多个刻蚀和等离子清洁晶圆工艺反应腔，并由智能系统控制可确保每个反应腔都拥有一致的性能，从而实现稳定的工艺和高生产力。全球多家领先的NAND、DRAM和代工厂逻辑节点客户都在使用这一新系统。/p

据泰州日报报道，靖江先锋半导体科技有限公司实现了大规格集成电路晶圆刻蚀机核心部件国产化，并将配套全球首条5纳米芯片生产线。报道指出，先锋半导体公司总经理游利介绍，喷淋盘是芯片制造设备刻蚀机的主要部件，先锋半导体产品将用于中微半导体公司生产的5纳米刻蚀机，并应用于台积电全球首条5纳米制程生产线。资料显示，先锋半导体成立于2008年，是一家从事半导体器件、集成电路专用设备及零部件、航空和高端装备精密部件研发、制造、销售、服务于一体的国家高新技术企业，产品主要应用在刻蚀机、镀膜机等集成电路装备，供应给国内外半导体行业OEM厂商，是中国半导体行业精密零部件的主要制造商。2008年成立之初，先锋半导体便与中国半导体设备知名厂商中微半导体展开合作。2018年底，中微半导体突破欧美封锁，成功研发出5纳米芯片刻蚀机，其中的主要部件喷淋盘，就是先锋半导体研发生产的。目前，先锋半导体已成为中芯国际、中微半导体、北方华创、北方微电子等国内半导体企业的重要供应商。游利表示，下一步，先锋将在半导体装备关键零部件国产化替代、本地化研发领域，坚定走“专精特新”发展之路。同时，瞄准行业前沿，用国际化的眼光对标、赶超行业先进，致力打造全球有竞争力的精密制造专家。

据徐州发布消息，6月16日，铜山区、徐州高新区2021年度精准招商重点项目签约活动举行。此次集中签约7个项目，总投资约60亿元，涵盖数字经济、集成电路与ICT、生物医药与大健康等战略性新兴产业领域。签约项目中包括广东先导稀材股份有限公司半导体沉积及镀膜设备生产基地项目。据介绍，2019年，先导集团以4500万欧元全资收购了德国FHR公司（全球领先的薄膜真空设备制造的供应商），拟建设半导体沉积及镀膜设备的国产化生产基地。项目产品包括：化合物半导体薄膜设备、MEMS薄膜设备、MDS薄膜生产线、精密光学薄膜设备、TCO镀膜设备、HIT玻璃镀膜设备、平板显示阵列镀膜设备等。项目全部达产后将形成年约600台（套）设备生产能力，年产值约72亿元。

基本信息 关键内容： 镀膜机 开标时间： 2021-10-29 14:30 采购金额： 1000.00万元 采购单位： 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院 采购联系人： 刘老师 采购联系方式： 立即查看 招标代理机构： 东方国际招标有限责任公司 代理联系人： 迟兆洋 代理联系方式： 立即查看 详细信息 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院高精度电子束真空蒸发镀膜机采购项目2021-10-08 广东省-广州市-越秀区 状态：公告 更新时间： 2021-10-08 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院高精度电子束真空蒸发镀膜机采购项目国际招标 东方国际招标有限责任公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2021-10-08在中国国际招标网公告。 本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。 1、招标条件 项目概况：第1包：高精度电子束真空蒸发镀膜机 1台 预算金额：1000万元人民币 资金到位或资金来源落实情况：已落实 项目已具备招标条件的说明：已具备 2、招标内容： 招标项目编号：0729-214OIT351325 招标项目名称：广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院高精度电子束真空蒸发镀膜机采购项目 项目实施地点：中国广东省 招标产品列表(主要设备)： 序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注 第1包 高精度电子束真空蒸发镀膜机 1台 详见招标文件 预算金额：1000万元人民币 3、投标人资格要求 投标人应具备的资格或业绩：详见招标文件 是否接受联合体投标：不接受 未领购招标文件是否可以参加投标：不可以 4、招标文件的获取 招标文件领购开始时间：2021-10-08 招标文件领购结束时间：2021-10-14 是否在线售卖标书：否 获取招标文件方式：现场领购 招标文件领购地点：www.o-science.com 招标文件售价：￥600/$100 5、投标文件的递交 投标截止时间（开标时间）：2021-10-29 14:30 投标文件送达地点：广州市越秀区先烈中路100-67号14楼自编1401-1402（中科院创新大楼A座） 开标地点：广州市越秀区先烈中路100-67号14楼自编1401-1402（中科院创新大楼A座） 6、投标人在投标前应在____（）或机 电产品招标投标电子交易平台（）完成注册及信息核验。评标结果将在____和中国国际招标网公示。 7、联系方式 招标人：广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院 地址：广州市黄埔区开源大道136号D栋 联系人：刘老师 联系方式 ：020-28399525 招标代理机构：东方国际招标有限责任公司 地址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层，邮编：100081 联系人：迟兆洋 张君仙 联系方式 ：020-87001523 8、汇款方式 招标代理机构开户银行(人民币): 招商银行北京西三环支行 招标代理机构开户银行(美元): 交通银行北京分行阜外支行 账号(人民币): 862081657710001 账号(美元): 110060239012015620014 9、其他补充说明 其他补充说明: 1、投标文件递交地点：广州市越秀区先烈中路100-67号14楼自编1401-1402（中科院创新大楼A座） 2、招标文件采用网上电子发售购买方式： 1）有兴趣的投标人可登陆“东方在线”（http://www.o-science.com招标在线频道），完成投标人注册手续（免费），然后登录系统浏览该项目下产品的“技术指标”，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。 2）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。 人民币账号： 开户名称：东方国际招标有限责任公司 开户行：招商银行北京西三环支行 账号：862081657710001 外币账号： 开户银行：交通银行北京分行阜外支行 帐号(可收外币)：110060239012015620014 开户名称：东方国际招标有限责任公司 Beneficiary： THE ORIENTAL INTERNATIONAL TENDERING CO., LTD Bank：BANK OF COMMUNICATIONS, BEIJING BRANCH Account No.：110060239012015620014 Swift code：COMMCNSHBJG 招标机构名称：东方国际招标有限责任公司 详细地址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室 邮编：100081 联系人：迟兆洋、张君仙 电话： 020-87001523 传真：010-68290525 电子信箱：ytlin@oitc.com.cn 3）投标人应在“东方在线”上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在“东方在线”上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：镀膜机 开标时间：2021-10-29 14:30 预算金额：1000.00万元 采购单位：广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：东方国际招标有限责任公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院高精度电子束真空蒸发镀膜机采购项目2021-10-08 广东省-广州市-越秀区 状态：公告 更新时间： 2021-10-08 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院高精度电子束真空蒸发镀膜机采购项目国际招标 东方国际招标有限责任公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2021-10-08在中国国际招标网公告。 本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。 1、招标条件 项目概况：第1包：高精度电子束真空蒸发镀膜机 1台 预算金额：1000万元人民币 资金到位或资金来源落实情况：已落实 项目已具备招标条件的说明：已具备 2、招标内容： 招标项目编号：0729-214OIT351325 招标项目名称：广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院高精度电子束真空蒸发镀膜机采购项目 项目实施地点：中国广东省 招标产品列表(主要设备)： 序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注 第1包 高精度电子束真空蒸发镀膜机 1台 详见招标文件 预算金额：1000万元人民币 3、投标人资格要求 投标人应具备的资格或业绩：详见招标文件 是否接受联合体投标：不接受 未领购招标文件是否可以参加投标：不可以 4、招标文件的获取 招标文件领购开始时间：2021-10-08 招标文件领购结束时间：2021-10-14 是否在线售卖标书：否 获取招标文件方式：现场领购 招标文件领购地点：www.o-science.com 招标文件售价：￥600/$100 5、投标文件的递交 投标截止时间（开标时间）：2021-10-29 14:30 投标文件送达地点：广州市越秀区先烈中路100-67号14楼自编1401-1402（中科院创新大楼A座） 开标地点：广州市越秀区先烈中路100-67号14楼自编1401-1402（中科院创新大楼A座） 6、投标人在投标前应在____（）或机 电产品招标投标电子交易平台（）完成注册及信息核验。评标结果将在____和中国国际招标网公示。 7、联系方式 招标人：广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院 地址：广州市黄埔区开源大道136号D栋 联系人：刘老师 联系方式 ：020-28399525 招标代理机构：东方国际招标有限责任公司 地址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层，邮编：100081 联系人：迟兆洋 张君仙 联系方式 ：020-87001523 8、汇款方式 招标代理机构开户银行(人民币): 招商银行北京西三环支行 招标代理机构开户银行(美元): 交通银行北京分行阜外支行 账号(人民币): 862081657710001 账号(美元): 110060239012015620014 9、其他补充说明 其他补充说明: 1、投标文件递交地点：广州市越秀区先烈中路100-67号14楼自编1401-1402（中科院创新大楼A座） 2、招标文件采用网上电子发售购买方式： 1）有兴趣的投标人可登陆“东方在线”（http://www.o-science.com招标在线频道），完成投标人注册手续（免费），然后登录系统浏览该项目下产品的“技术指标”，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。 2）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。 人民币账号： 开户名称：东方国际招标有限责任公司 开户行：招商银行北京西三环支行 账号：862081657710001 外币账号： 开户银行：交通银行北京分行阜外支行 帐号(可收外币)：110060239012015620014 开户名称：东方国际招标有限责任公司 Beneficiary： THE ORIENTAL INTERNATIONAL TENDERING CO., LTD Bank：BANK OF COMMUNICATIONS, BEIJING BRANCH Account No.：110060239012015620014 Swift code：COMMCNSHBJG 招标机构名称：东方国际招标有限责任公司 详细地址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室 邮编：100081 联系人：迟兆洋、张君仙 电话： 020-87001523 传真：010-68290525 电子信箱：ytlin@oitc.com.cn 3）投标人应在“东方在线”上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在“东方在线”上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。

详细信息 北京大学电子学院电子束镀膜仪采购项目公开招标公告 北京市-海淀区 状态：公告 更新时间： 2023-05-27 招标文件: 附件1 北京大学电子学院电子束镀膜仪采购项目公开招标公告 2023年05月27日 14:09 公告信息： 采购项目名称 北京大学电子学院电子束镀膜仪采购项目 品目 货物/通用设备/仪器仪表/其他仪器仪表 采购单位 北京大学 行政区域 北京市 公告时间 2023年05月27日 14:09 获取招标文件时间 2023年05月27日至2023年06月02日每日上午:9:00 至 12:00 下午:13:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥600 获取招标文件的地点 登录“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/）注册并购买。 开标时间 2023年06月19日 09:30 开标地点 北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层东方厅（三） 预算金额 ￥380.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 吴老师 项目联系电话 010-62758587 采购单位 北京大学 采购单位地址 北京市海淀区颐和园路5号 采购单位联系方式 吴老师 010-62758587 代理机构名称 东方国际招标有限责任公司 代理机构地址 北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层 代理机构联系方式 王军、郭宇涵、李雯； 010-68290508；010- 68290530 附件： 附件1 采购需求789.docx 项目概况 北京大学电子学院电子束镀膜仪采购项目 招标项目的潜在投标人应在登录“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/）注册并购买。获取招标文件，并于2023年06月19日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：OITC-G230310789 项目名称：北京大学电子学院电子束镀膜仪采购项目 预算金额：380.0000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：380.0000000 万元（人民币） 采购需求： 包号 货物名称 数量 简要技术规格 是否允许采购进口产品 最高 限价 1 电子束镀膜仪 2套 用于支撑校内多学科纳米器件制作方面的课题研究。为了避免交污染，采购两台具备基片低温生长环境的电子束蒸发设备，并配置LOADLOCK和送样机构，将使镀膜系统的功能更加全面、灵活和高效。 是 380 万元 注： 1)投标人须对整个包中全部内容进行投标，不得拆分。评标、授标以整个包为单位。具体技术要求详见招标公告所附附件（即，本招标文件第六章）。 合同履行期限：合同签订后6个月内完成交货。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 本项目不属于专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。 3.本项目的特定资格要求：1） 投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定；(具体为供应商参加政府采购活动应当具备下列条件：（一）具有独立承担民事责任的能力；（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（五）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（六）法律、行政法规规定的其他条件。)2） 投标人须在中华人民共和国境内合法注册、有法人资格并符合工商局或相关行业主管部门核准的经营范围或经营许可(进口产品投标必须委托国内代理商投标)；3） 代理商投标必须有授权（仅针对进口产品投标）；4） 投标人按照招标公告要求购买了招标文件；5） 投标人不得为招标人或招标代理机构的附属或相关机构；6） 投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。7） 为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；8） 投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；9）本项目不接受联合体投标。 三、获取招标文件 时间：2023年05月27日 至 2023年06月02日，每天上午9:00至12:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：登录“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/）注册并购买。 方式：登陆“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/），点击“获取采购文件”链接图标，或直接输入访问地址（http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。 售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2023年06月19日 09点30分（北京时间） 开标时间：2023年06月19日 09点30分（北京时间） 地点：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层东方厅（三） 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1、投标文件递交地点：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层东方厅（三） 2、招标文件采用网上电子发售购买方式： 1）登陆 东方招标 平台（http://www.oitccas.com/），点击 获取采购文件 链接图标，或直接输入访问地址（http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。 2）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。 开户名称：东方国际招标有限责任公司 开户行：招商银行北京西三环支行 账 号：862081657710001 3）投标人应在平台上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在平台上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。 4）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。 开户名称：东方国际招标有限责任公司 开户行：招商银行北京西三环支行 账 号：862081657710001 3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。 4、采购项目需要落实的政府采购政策： （1）政府采购促进中小企业发展 （2）政府采购支持监狱企业发展 （3）政府采购促进残疾人就业 （4）政府采购鼓励采购节能环保产品 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：北京大学 地址：北京市海淀区颐和园路5号 联系方式：吴老师 010-62758587 2.采购代理机构信息 名 称：东方国际招标有限责任公司 地 址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层 联系方式：王军、郭宇涵、李雯； 010-68290508；010- 68290530 3.项目联系方式 项目联系人：吴老师 电 话： 010-62758587 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：镀膜机 开标时间：2023-06-19 09:30 预算金额：380.00万元 采购单位：北京大学 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：东方国际招标有限责任公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 北京大学电子学院电子束镀膜仪采购项目公开招标公告 北京市-海淀区 状态：公告 更新时间： 2023-05-27 招标文件: 附件1 北京大学电子学院电子束镀膜仪采购项目公开招标公告 2023年05月27日 14:09 公告信息： 采购项目名称 北京大学电子学院电子束镀膜仪采购项目 品目 货物/通用设备/仪器仪表/其他仪器仪表 采购单位 北京大学 行政区域 北京市 公告时间 2023年05月27日 14:09 获取招标文件时间 2023年05月27日至2023年06月02日每日上午:9:00 至 12:00 下午:13:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥600 获取招标文件的地点 登录“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/）注册并购买。 开标时间 2023年06月19日 09:30 开标地点 北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层东方厅（三） 预算金额 ￥380.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 吴老师 项目联系电话 010-62758587 采购单位 北京大学 采购单位地址 北京市海淀区颐和园路5号 采购单位联系方式 吴老师 010-62758587 代理机构名称 东方国际招标有限责任公司 代理机构地址 北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层 代理机构联系方式 王军、郭宇涵、李雯； 010-68290508；010- 68290530 附件： 附件1 采购需求789.docx 项目概况 北京大学电子学院电子束镀膜仪采购项目 招标项目的潜在投标人应在登录“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/）注册并购买。获取招标文件，并于2023年06月19日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：OITC-G230310789 项目名称：北京大学电子学院电子束镀膜仪采购项目 预算金额：380.0000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：380.0000000 万元（人民币） 采购需求： 包号 货物名称 数量 简要技术规格 是否允许采购进口产品 最高 限价 1 电子束镀膜仪 2套 用于支撑校内多学科纳米器件制作方面的课题研究。为了避免交污染，采购两台具备基片低温生长环境的电子束蒸发设备，并配置LOADLOCK和送样机构，将使镀膜系统的功能更加全面、灵活和高效。 是 380 万元 注： 1)投标人须对整个包中全部内容进行投标，不得拆分。评标、授标以整个包为单位。具体技术要求详见招标公告所附附件（即，本招标文件第六章）。 合同履行期限：合同签订后6个月内完成交货。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 本项目不属于专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。 3.本项目的特定资格要求：1） 投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定；(具体为供应商参加政府采购活动应当具备下列条件：（一）具有独立承担民事责任的能力；（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（五）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（六）法律、行政法规规定的其他条件。)2） 投标人须在中华人民共和国境内合法注册、有法人资格并符合工商局或相关行业主管部门核准的经营范围或经营许可(进口产品投标必须委托国内代理商投标)；3） 代理商投标必须有授权（仅针对进口产品投标）；4） 投标人按照招标公告要求购买了招标文件；5） 投标人不得为招标人或招标代理机构的附属或相关机构；6） 投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。7） 为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；8） 投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；9）本项目不接受联合体投标。 三、获取招标文件 时间：2023年05月27日 至 2023年06月02日，每天上午9:00至12:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：登录“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/）注册并购买。 方式：登陆“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/），点击“获取采购文件”链接图标，或直接输入访问地址（http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。 售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2023年06月19日 09点30分（北京时间） 开标时间：2023年06月19日 09点30分（北京时间） 地点：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层东方厅（三） 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1、投标文件递交地点：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层东方厅（三） 2、招标文件采用网上电子发售购买方式： 1）登陆 东方招标 平台（http://www.oitccas.com/），点击 获取采购文件 链接图标，或直接输入访问地址（http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。 2）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。 开户名称：东方国际招标有限责任公司 开户行：招商银行北京西三环支行 账 号：862081657710001 3）投标人应在平台上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在平台上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。 4）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。 开户名称：东方国际招标有限责任公司 开户行：招商银行北京西三环支行 账 号：862081657710001 3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。 4、采购项目需要落实的政府采购政策： （1）政府采购促进中小企业发展 （2）政府采购支持监狱企业发展 （3）政府采购促进残疾人就业 （4）政府采购鼓励采购节能环保产品 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：北京大学 地址：北京市海淀区颐和园路5号 联系方式：吴老师 010-62758587 2.采购代理机构信息 名 称：东方国际招标有限责任公司 地 址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层 联系方式：王军、郭宇涵、李雯； 010-68290508；010- 68290530 3.项目联系方式 项目联系人：吴老师 电 话： 010-62758587

东方德菲公司作为日本株式会社SDI的中国指定代理商，特为研究溶胶-凝胶法等液相法制备薄膜材料的各高校和研究院所实验室推荐我公司新代理的设备---日本SDI浸渍提拉镀膜仪MD-0408-S7，此款设备是日本原装、实验室专用、高端台式浸渍提拉镀膜仪，是日本最热销的超低速浸渍镀膜(浸涂)的浸渍提拉镀膜仪，速度可変范围1nm/sec到60mm/sec。浸渍提拉镀膜仪MD-0408-S7的主要特点：1. 可以对玻璃、有机玻璃、铜箔等基材以纳米级速度 (变速单位：1nm）进行浸渍镀膜。2. 1nm/s的超慢速浸渍镀膜有利于分离膜的生成、粒子阵列重排、纳米级膜厚的形成。3. 采用触控面板操作，可控16级变速程序、可控变速范围（变速单位：lnm/sec）、往复运转、存储8个运转模式。4. 日语、英语显示可以一键式切换。浸渍提拉镀膜仪MD-0408-S7主要用于溶胶-凝胶法等液相法制备薄膜材料。浸渍提拉镀膜仪MD-0408-S7的技术参数：行程：150mm(最大800mm) 最小速度(Min)：1nm/s 最大速度(Max)：60mm/s 操作方法：触控面板 画面文字：英语/日语 处理速度指定级数：16级 停止位置指定个数：16个 停止时间指定数量：16个 连续运行模式：有 手动运行模式：有 运转模式存储数量：8个运转模式电机功能(当前速度)：有电机功能(当前位置)：有电机功能(运行剩余时间)：有重复运行：有标准夹具：聚丙烯（PP）材质电源：AC100V、250VA最大搬运重量：1kg最大处理尺寸(mm): 150mm(H)直线运行模式:无备注：※连续运行模式是指：改变速度时，停止时间为“Osec”。※手动运行模式是指：以设定的一个速度上升/下降运行（上升速度和下降速度分开设定）

超导技术被誉为21世纪最具有经济战略意义的新兴技术之一，超导体所具备的“零电阻”和“完全抗磁”这两大神奇特性，为人们带来了巨大想象空间。例如利用超导体电阻为零的特性来进行电力输送，可以大大减少线路损耗，实现超远距离的大容量电力输送；利用它完全的磁抗性可以制造磁悬浮列车、电磁弹射装置等。“超导最近在媒体出现的频率比较高。比如时下热门的量子计算，涉及到超导量子比特；被称为‘人造太阳’的全超导托卡马克核聚变实验装置，也应用了超导磁体。”中国高温超导研究奠基人之一、国家最高科学技术奖得主赵忠贤院士介绍道，超导距离实际生活最近的应用，则是医院常见的核磁共振成像中的超导磁体。超导薄膜技术是超导技术发展的重要方向之一。日前，由赵忠贤院士倡导建立并担任顾问的研究团队，面对国外禁运，通过技术集成创新，成功研制出基于国产部件的“三光束脉冲激光共沉积镀膜系统”，并制备出大尺寸双面钇钡铜氧（YBCO）超导单晶薄膜，为我国制备高品质、应用型超导薄膜产品技术带来新突破。关键设备买不来，怎么办？在东莞松山湖科学城松山湖材料实验室“实用超导薄膜研究团队”的一间实验室内，一组银白色装置占据了房间一角，三台激光器宛如手术台上的三支机械臂，将一个带有观测窗的球形操作台围在中间，绿色和紫色的光束不时闪烁。这个装置就是该团队近期研发成功的“三光束脉冲激光共沉积镀膜系统”。该设备基于国产部件实现技术集成创新，包括采用国产小型固态脉冲激光器实现多光束共沉积、激光器与光路系统模块化整体位移、自主研发控制软件实现操作智能化等。利用这台设备，该团队还成功制备出2英寸双面YBCO超导单晶薄膜，将脉冲激光沉积技术制备高品质应用型薄膜产品，推向了一个新的高度。该团队负责人金魁研究员表示，大尺寸双面钇钡铜氧（YBCO）单晶薄膜，是设计高温超导薄膜器件的良好载体，而高温超导薄膜器件则是开发未来通信技术和超高性能雷达探测器的重要部件，具有十分重要的应用前景。然而，能够制备该类薄膜的先进设备，此前被德日美等少数国家掌握，一直以来对我国封锁核心技术，并且大尺寸薄膜制备设备近期也已对我国禁运，导致我国高品质应用型“薄膜”和“镀膜设备”核心技术受制于人。金魁坦言，按照最初构想，是希望直接从国外购买一套先进的大尺寸镀膜设备，之后按团队的需求改造，然而却未能如愿。“买小尺寸薄膜制备设备回来，做出的样品主要是用于基础研究，找规律、写论文，国外公司同意卖给我们；但要买能投入实用的大尺寸薄膜制备设备，他们就拒绝了。”金魁表示，另一方面，国外的设备只能实现单面薄膜的制备，无法满足团队需求。关键设备买不来，怎么办？在赵忠贤院士的鼓励和指导下，团队最终下定决心走上了自研之路。令他们感到高兴的是，团队产出成果的进度超过了预期。在国外禁运的情况下，团队仅用一年多时间就取得了成功。“积小胜为大胜”“我们用激光去打真空腔里面的靶材，由于瞬时高温，靶材表面的成分会变成等离子体向外喷射，之后接触高温衬底，外延沉积完成镀膜，过程就像是烙饼一样。”该设备主要的设计和搭建者冯中沛博士是团队里的一名年轻人，设备成功运转，让他格外兴奋。过去一年多，冯中沛和同事们几乎每天都围着这台设备转。在工作室紧邻该装置的墙边有一面白板，上面写满了与装置搭建相关的事项。一年时间里，大到整个装置的设计装配，小到一根螺丝钉的定制，整个团队“挂图作战”，环环推进，最终才获得了成功。“这台设备的功能可以扩展，也可以为超导以外的材料进行镀膜。就像买了一口锅，一开始只用来炒菜，后面还可以用来蒸煮。”冯中沛介绍道。令整个团队感慨的是，直到他们研制出成本更低、性能更优的设备时，从日本采购的小尺寸镀膜设备甚至因为疫情，还没有厂家工程师前来拆箱。“这件事虽然谈不上伟大，但是它给了我们很大信心。遇到‘卡脖子’难题，逼着自己进行自主研制和创新，最终把一条新的技术路线走通了。”赵忠贤表示，假如全国几十万、上百万的科研团队，能有十分之一像这样专注去做一件事，我们跟国外的科技竞争就能握有更大的主动权。“积小胜为大胜，变成大胜就有了长板，有了竞争优势，国外还怎么卡我们脖子？”他说道。除了团队自身的努力和经验积累，赵忠贤还特别提到，松山湖科学城给予的宽松科研环境与合理的评价体系，为这一成果取得提供了重要土壤。在他看来，松山湖材料实验室一方面注重研究实效，不以论文论英雄，让科研人员集中精力搞攻关；另一方面，充分信任科学家，原本购置设备的钱可以灵活用于自主研发，“允许用打酱油的钱去买醋”，赋予科学家自主权。推动超导技术成果转化能否制备出大尺寸、高质量的超导薄膜，关系诸多关键产业的发展前景。以超导薄膜为基础的数字电路，相比半导体材料做的数字电路速度更快、损耗更小、容量更大；用超导薄膜制成的超导量子干涉器，可以探测比人脑磁场弱几千倍的磁场，用收集来的磁信号进行分析，能够确定矿源、预报地震等。而超导薄膜制成的天线、谐振器、滤波器等微波通讯器件，具有常规材料（如金、银等）无法比拟的高灵敏度。此外超导薄膜在大型粒子加速器中也有着广泛的应用。粗略估计，国内外计划建设的各类加速器项目，对超导薄膜谐振腔的需求量将超过10000个。面对这一趋势，与超导基础研究打了大半辈子交道的学界泰斗，开始将工作重心放在推动超导技术成果转化与实际应用上来。2017年底，广东启动首批四家省实验室建设，赵忠贤接受邀请，出任松山湖材料实验室学术委员会主任一职，从北京来到了东莞松山湖。在他倡议和亲自指导推动下，“实用超导薄膜研究团队”在松山湖材料实验室迅速建立起来。除赵忠贤院士作为团队顾问之外，担任团队负责人的金魁研究员，也是一位高水平超导研究专家，他在高温超导体机理研究、超导薄膜制备、新超导体探索等方面都有诸多重要成果，先后在《自然》杂志等主流刊物发表重要论文80余篇。此外，多位具备国家重点实验室工作背景的超导薄膜和低温技术专家也先后加入，组成了国内一流的班底阵容。“我们选定的题目是‘实用超导薄膜及相关技术研究’，这个不像‘量子’或者‘智能’之类的名字时髦，但并不意味着研究的内容不重要。”赵忠贤说，希望以应用为目标来做一个中长期项目，解决超导应用过程中一系列关键核心技术难题，推动实现跨越性的进步，带来应用上的质变。谈及今后的打算，年届八旬的赵忠贤心心念念的，仍然是超导。“一是找到超导应用存在的短板，想办法推动一些项目、组织一批队伍来把超导领域的这些问题全部扫光；二是在超导应用的某些方面，希望看到我们比别人强，有自己的‘绝活’。”

光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw） 光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw） 光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw） 光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw） 光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw） 光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw） 光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw）光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw）光学薄膜的真空镀膜设备 型号：BMC1100DS，带Windows软件自动控制系统（SDC）/日本 制造时间：2003年 状态：运行极好 生产厂家：Shincron （http://www.shincron.co.jp/phase1/en/top/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1100mmｘH 1600mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２ EB Guns (JEOL)　 JEBG-102UHO（&phi 35ccx20） JST-16F (16kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： OPM-V1 (monitor glass &phi 30x30) 石英晶体微天平监控器： 无 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 最大350℃± 10℃（36kw） 型号：RMC1100，带Windows软件自动控制系统/日本 制造时间：2003年8月 状态：运行极好 生产厂家：Rock Giken Inc　（http://www.rock-giken.co.jp/vacuum/index.html） 技术规格： 真空腔体尺寸： &phi 1150mmｘH 1500mm 衬底圆顶尺寸： &phi 950　（3～30rpm） 耐加热系统： &phi 20mm　4kw 蒸发源： ２EB Guns (Plasma System)　 G-12100（&phi 35ccx20） D-10001 (10kw)　 IAD 系统： 无 光学厚度监控器： 380～1500nm（波长） (monitor glass &phi 10x60pcs) 石英晶体微天平监控器： XTC-2(Inficon) 真空泵单元： MTR-630(Shincron) DP(HD-550 x 2sets) with Polycold (PFC-670HLL) 加热系统： 300℃± 10℃（21kw）

详细信息 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目公开招标公告 天津市-南开区 状态：公告 更新时间： 2022-12-05 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目公开招标公告 2022年12月05日 16:24 公告信息： 采购项目名称 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目 品目 货物/专用设备/专用仪器仪表/教学专用仪器 采购单位 南开大学 行政区域 天津市 公告时间 2022年12月05日 16:24 获取招标文件时间 2022年12月06日至2022年12月12日每日上午:9:00 至 11:30 下午:13:30 至 16:00（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥500 获取招标文件的地点 天津市河北区狮子林大街200号6层 开标时间 2022年12月26日 10:00 开标地点 天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层第一会议室 预算金额 ￥600.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 王先生 项目联系电话 022-59009035 采购单位 南开大学 采购单位地址 天津市南开区卫津路94号南开大学八里台校区招投标管理办公室 采购单位联系方式 于老师 022-23501661 代理机构名称 天津津建工程造价咨询有限公司 代理机构地址 天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层 代理机构联系方式 王先生 022-59009035 项目概况 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目 招标项目的潜在投标人应在天津市河北区狮子林大街200号6层获取招标文件，并于2022年12月26日 10点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：NK2022S024WD（1700-2243JJBH1249） 项目名称：南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目 预算金额：600.0000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：600.0000000 万元（人民币） 采购需求： 多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统（1套）的供货、安装及售后服务。本项目允许进口产品投标。 合同履行期限：收到信用证后12个月内完成交货 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 促进中小企业发展 促进中小企业发展明细：投标人为小型或微型企业的，且所投产品的制造厂家为小、微企业的，投标总价给予10%的扣除，用扣除后的价格参与价格评审。 支持监狱企业发展 支持监狱企业发展明细：投标人为监狱企业的，投标总价给予10%的扣除，用扣除后的价格参与价格评审。 强制、优先采购节能产品 强制、优先采购节能产品明细：供应商须书面承诺：在本项目中所使用的主要和辅助材料均须为中国境内生产的全新原装正品，并在项目实施过程中优先选用节能环保产品。如属于政府采购强制节能产品范围，则使用当期 节能产品政府采购清单 中的产品。 优先采购环境标记产品 优先采购环境标记产品明细：供应商须书面承诺：在本项目中所使用的主要和辅助材料均须为中国境内生产的全新原装正品，并在项目实施过程中优先选用节能环保产品。 促进残疾人就业 促进残疾人就业明细：根据财政部、民政部、中国残疾人联合会发布的《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》规定，本项目对残疾人福利性单位产品的价格给予10%的扣除。注：小微企业以投标人填写的《中小企业声明函》为判定标准，残疾人福利性单位以投标人填写的《残疾人福利性单位声明函》为判定标准，监狱企业须投标人提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件，否则不予认定。以上政策不重复享受。 3.本项目的特定资格要求：1）须为在中华人民共和国境内注册，具备独立法人资格的企业，且符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定，并提供其有效的“企业法人营业执照（副本）”复印件加盖公章，及满足资格要求的证明文件；2）供应商若为法人投标，须提供法定代表人身份证明书（需由法定代表人签字或盖章）和法定代表人身份证原件；供应商若为被授权人投标，须提供法人代表授权书（需由法定代表人签字或盖章）和被授权人身份证原件。3）供应商应具有履行合同提供本次采购仪器设备的供应能力、专业技术及服务能力，若为进口产品代理商参与本次投标，还应提供仪器设备制造商针对本项目出具的授权书。4）开标时由招标代理机构查询投标人在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）无不良记录信息。对列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的投标人，拒绝参与本次招标活动。 三、获取招标文件 时间：2022年12月06日 至 2022年12月12日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至16:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：天津市河北区狮子林大街200号6层 方式：鉴于目前疫情防控形势，为了有效减少人员聚集和交叉感染，保证报名工作的顺利进行，提供以下两种方式： 1、现场领取：营业执照副本及“供应商资质要求”中要求的相关证件复印件加盖公章，以现金形式支付（选择采取此种方式，建议提前联系项目负责人）； 2、网上领取（建议采用此种方式），具体要求如下：（1）请将报名资料以扫描件形式发送至tjbh2016@126.com，邮件主题为：1700-2243JJBH1249报名信息，并电话联系项目负责人确认。（2）标书款以电汇或银行转账方式（为方便后期开具发票建议使用对公账户），汇至我公司的银行账号，并请在汇款备注中标明：“1700-2243JJBH1249标书款”（电汇信息及相关表格会以邮件方式发送）（3）标书款汇款后，请将汇款单截图、项目编号、投标人联系人、联系电话及投标人邮箱以邮件形式发送至上述邮箱。 （4）采用网上领取方式进行报名的，报名日期以标书款到账日期为准。注：已在南开大学招投标管理办公室新版网站登记注册的供应商，按以上要求报名。尚未登记注册的，须在南开大学招投标管理办公室新版网站右侧“供应商注册”入口进行注册。已在旧版网站注册的供应商须在新版网站重新注册，通过审核后方可购买招标文件，注册网址：http：//zbb.nankai.edu.cn，注册方法详见新版网站常用下载《供应商注册指南》。 售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2022年12月26日 10点00分（北京时间） 开标时间：2022年12月26日 10点00分（北京时间） 地点：天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层第一会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：南开大学 地址：天津市南开区卫津路94号南开大学八里台校区招投标管理办公室 联系方式：于老师 022-23501661 2.采购代理机构信息 名 称：天津津建工程造价咨询有限公司 地 址：天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层 联系方式：王先生 022-59009035 3.项目联系方式 项目联系人：王先生 电 话： 022-59009035 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：镀膜机 开标时间：2022-12-26 10:00 预算金额：600.00万元 采购单位：南开大学 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：天津津建工程造价咨询有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目公开招标公告 天津市-南开区 状态：公告 更新时间： 2022-12-05 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目公开招标公告 2022年12月05日 16:24 公告信息： 采购项目名称 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目 品目 货物/专用设备/专用仪器仪表/教学专用仪器 采购单位 南开大学 行政区域 天津市 公告时间 2022年12月05日 16:24 获取招标文件时间 2022年12月06日至2022年12月12日每日上午:9:00 至 11:30 下午:13:30 至 16:00（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥500 获取招标文件的地点 天津市河北区狮子林大街200号6层 开标时间 2022年12月26日 10:00 开标地点 天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层第一会议室 预算金额 ￥600.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 王先生 项目联系电话 022-59009035 采购单位 南开大学 采购单位地址 天津市南开区卫津路94号南开大学八里台校区招投标管理办公室 采购单位联系方式 于老师 022-23501661 代理机构名称 天津津建工程造价咨询有限公司 代理机构地址 天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层 代理机构联系方式 王先生 022-59009035 项目概况 南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目 招标项目的潜在投标人应在天津市河北区狮子林大街200号6层获取招标文件，并于2022年12月26日 10点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：NK2022S024WD（1700-2243JJBH1249） 项目名称：南开大学物理科学学院多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统采购项目 预算金额：600.0000000 万元（人民币） 最高限价（如有）：600.0000000 万元（人民币） 采购需求： 多腔体超高真空磁控溅射镀膜系统（1套）的供货、安装及售后服务。本项目允许进口产品投标。 合同履行期限：收到信用证后12个月内完成交货 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 促进中小企业发展 促进中小企业发展明细：投标人为小型或微型企业的，且所投产品的制造厂家为小、微企业的，投标总价给予10%的扣除，用扣除后的价格参与价格评审。 支持监狱企业发展 支持监狱企业发展明细：投标人为监狱企业的，投标总价给予10%的扣除，用扣除后的价格参与价格评审。 强制、优先采购节能产品 强制、优先采购节能产品明细：供应商须书面承诺：在本项目中所使用的主要和辅助材料均须为中国境内生产的全新原装正品，并在项目实施过程中优先选用节能环保产品。如属于政府采购强制节能产品范围，则使用当期 节能产品政府采购清单 中的产品。 优先采购环境标记产品 优先采购环境标记产品明细：供应商须书面承诺：在本项目中所使用的主要和辅助材料均须为中国境内生产的全新原装正品，并在项目实施过程中优先选用节能环保产品。 促进残疾人就业 促进残疾人就业明细：根据财政部、民政部、中国残疾人联合会发布的《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》规定，本项目对残疾人福利性单位产品的价格给予10%的扣除。注：小微企业以投标人填写的《中小企业声明函》为判定标准，残疾人福利性单位以投标人填写的《残疾人福利性单位声明函》为判定标准，监狱企业须投标人提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件，否则不予认定。以上政策不重复享受。 3.本项目的特定资格要求：1）须为在中华人民共和国境内注册，具备独立法人资格的企业，且符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定，并提供其有效的“企业法人营业执照（副本）”复印件加盖公章，及满足资格要求的证明文件；2）供应商若为法人投标，须提供法定代表人身份证明书（需由法定代表人签字或盖章）和法定代表人身份证原件；供应商若为被授权人投标，须提供法人代表授权书（需由法定代表人签字或盖章）和被授权人身份证原件。3）供应商应具有履行合同提供本次采购仪器设备的供应能力、专业技术及服务能力，若为进口产品代理商参与本次投标，还应提供仪器设备制造商针对本项目出具的授权书。4）开标时由招标代理机构查询投标人在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）无不良记录信息。对列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的投标人，拒绝参与本次招标活动。 三、获取招标文件 时间：2022年12月06日 至 2022年12月12日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至16:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：天津市河北区狮子林大街200号6层 方式：鉴于目前疫情防控形势，为了有效减少人员聚集和交叉感染，保证报名工作的顺利进行，提供以下两种方式： 1、现场领取：营业执照副本及“供应商资质要求”中要求的相关证件复印件加盖公章，以现金形式支付（选择采取此种方式，建议提前联系项目负责人）； 2、网上领取（建议采用此种方式），具体要求如下：（1）请将报名资料以扫描件形式发送至tjbh2016@126.com，邮件主题为：1700-2243JJBH1249报名信息，并电话联系项目负责人确认。（2）标书款以电汇或银行转账方式（为方便后期开具发票建议使用对公账户），汇至我公司的银行账号，并请在汇款备注中标明：“1700-2243JJBH1249标书款”（电汇信息及相关表格会以邮件方式发送）（3）标书款汇款后，请将汇款单截图、项目编号、投标人联系人、联系电话及投标人邮箱以邮件形式发送至上述邮箱。 （4）采用网上领取方式进行报名的，报名日期以标书款到账日期为准。注：已在南开大学招投标管理办公室新版网站登记注册的供应商，按以上要求报名。尚未登记注册的，须在南开大学招投标管理办公室新版网站右侧“供应商注册”入口进行注册。已在旧版网站注册的供应商须在新版网站重新注册，通过审核后方可购买招标文件，注册网址：http：//zbb.nankai.edu.cn，注册方法详见新版网站常用下载《供应商注册指南》。 售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2022年12月26日 10点00分（北京时间） 开标时间：2022年12月26日 10点00分（北京时间） 地点：天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层第一会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：南开大学 地址：天津市南开区卫津路94号南开大学八里台校区招投标管理办公室 联系方式：于老师 022-23501661 2.采购代理机构信息 名 称：天津津建工程造价咨询有限公司 地 址：天津市河北区狮子林大街200号泰鸿大厦6层 联系方式：王先生 022-59009035 3.项目联系方式 项目联系人：王先生 电 话： 022-59009035

详细信息 西安电子科技大学PECVD介质镀膜系统采购项目（二次）公开招标公告 陕西省-西安市-长安区 状态：公告 更新时间： 2022-09-03 西安电子科技大学PECVD介质镀膜系统采购项目（二次）公开招标公告 2022年09月02日 11:46 公告信息： 采购项目名称 PECVD介质镀膜系统采购项目（二次） 品目 货物/专用设备/专用仪器仪表/教学专用仪器 采购单位 西安电子科技大学 行政区域 西安市 公告时间 2022年09月02日 11:46 获取招标文件时间 2022年09月02日至2022年09月09日每日上午:8:00 至 12:00 下午:14:00 至 18:00（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥500 获取招标文件的地点 西安市高新二路山西证券大厦八楼招标四部 开标时间 2022年09月27日 09:00 开标地点 西安市高新二路山西证券大厦8楼第2会议室 预算金额 ￥300.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 姜凯 项目联系电话 029-88497916 采购单位 西安电子科技大学 采购单位地址 西安市长安区西沣路兴隆段266号西安电子科技大学南校区 采购单位联系方式 赵老师、029-81891893 代理机构名称 陕西省采购招标有限责任公司 代理机构地址 西安市高新二路山西证券大厦八楼招标四部 代理机构联系方式 姜凯、程燕、029-88497916 项目概况 PECVD介质镀膜系统采购项目（二次） 招标项目的潜在投标人应在西安市高新二路山西证券大厦八楼招标四部获取招标文件，并于2022年09月27日 09点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：0807-2241CZGJ1162 项目名称：PECVD介质镀膜系统采购项目（二次） 预算金额：300.0000000 万元（人民币） 采购需求： PECVD介质镀膜系统采购 壹套 合同履行期限：交货期：接到甲方通知后90日历天内货到现场并安装调试完毕。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 本次采购为国际招标，按照商务部令2014年第1号《机电产品国际招标投标实施办法（试行）》执行。本项目为非专门面向中小企业采购项目。 3.本项目的特定资格要求：3.1投标人须提供营业执照（境内投标人）或商业登记证(境外投标人)；3.2如为代理商投标，须持有制造商同意其在本次投标中提供该货物的正式授权书（原件）；3.3投标人须提供单位负责人授权书； 三、获取招标文件 时间：2022年09月02日 至 2022年09月09日，每天上午8:00至12:00，下午14:00至18:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：西安市高新二路山西证券大厦八楼招标四部 方式：（购买招标文件时将联系方式、单位介绍信及被授权人身份证加盖公章的扫描件发送至邮箱729886787@qq.com并致电确认）。 售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2022年09月27日 09点00分（北京时间） 开标时间：2022年09月27日 09点00分（北京时间） 地点：西安市高新二路山西证券大厦8楼第2会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 投标人在投标前应在____（https://____）或机 电产品招标投标电子交易平台（https://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。评标结果将在____和中国国际招标网公示。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：西安电子科技大学 地址：西安市长安区西沣路兴隆段266号西安电子科技大学南校区 联系方式：赵老师、029-81891893 2.采购代理机构信息 名 称：陕西省采购招标有限责任公司 地 址：西安市高新二路山西证券大厦八楼招标四部 联系方式：姜凯、程燕、029-88497916 3.项目联系方式 项目联系人：姜凯 电 话： 029-88497916 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：镀膜机 开标时间：2022-09-27 09:00 预算金额：300.00万元 采购单位：西安电子科技大学 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：陕西省采购招标有限责任公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 西安电子科技大学PECVD介质镀膜系统采购项目（二次）公开招标公告 陕西省-西安市-长安区 状态：公告 更新时间： 2022-09-03 西安电子科技大学PECVD介质镀膜系统采购项目（二次）公开招标公告 2022年09月02日 11:46 公告信息： 采购项目名称 PECVD介质镀膜系统采购项目（二次） 品目 货物/专用设备/专用仪器仪表/教学专用仪器 采购单位 西安电子科技大学 行政区域 西安市 公告时间 2022年09月02日 11:46 获取招标文件时间 2022年09月02日至2022年09月09日每日上午:8:00 至 12:00 下午:14:00 至 18:00（北京时间，法定节假日除外） 招标文件售价 ￥500 获取招标文件的地点 西安市高新二路山西证券大厦八楼招标四部 开标时间 2022年09月27日 09:00 开标地点 西安市高新二路山西证券大厦8楼第2会议室 预算金额 ￥300.000000万元（人民币） 联系人及联系方式： 项目联系人 姜凯 项目联系电话 029-88497916 采购单位 西安电子科技大学 采购单位地址 西安市长安区西沣路兴隆段266号西安电子科技大学南校区 采购单位联系方式 赵老师、029-81891893 代理机构名称 陕西省采购招标有限责任公司 代理机构地址 西安市高新二路山西证券大厦八楼招标四部 代理机构联系方式 姜凯、程燕、029-88497916 项目概况 PECVD介质镀膜系统采购项目（二次） 招标项目的潜在投标人应在西安市高新二路山西证券大厦八楼招标四部获取招标文件，并于2022年09月27日 09点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：0807-2241CZGJ1162 项目名称：PECVD介质镀膜系统采购项目（二次） 预算金额：300.0000000 万元（人民币） 采购需求： PECVD介质镀膜系统采购 壹套 合同履行期限：交货期：接到甲方通知后90日历天内货到现场并安装调试完毕。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 本次采购为国际招标，按照商务部令2014年第1号《机电产品国际招标投标实施办法（试行）》执行。本项目为非专门面向中小企业采购项目。 3.本项目的特定资格要求：3.1投标人须提供营业执照（境内投标人）或商业登记证(境外投标人)；3.2如为代理商投标，须持有制造商同意其在本次投标中提供该货物的正式授权书（原件）；3.3投标人须提供单位负责人授权书； 三、获取招标文件 时间：2022年09月02日 至 2022年09月09日，每天上午8:00至12:00，下午14:00至18:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：西安市高新二路山西证券大厦八楼招标四部 方式：（购买招标文件时将联系方式、单位介绍信及被授权人身份证加盖公章的扫描件发送至邮箱729886787@qq.com并致电确认）。 售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2022年09月27日 09点00分（北京时间） 开标时间：2022年09月27日 09点00分（北京时间） 地点：西安市高新二路山西证券大厦8楼第2会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 投标人在投标前应在____（https://____）或机 电产品招标投标电子交易平台（https://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。评标结果将在____和中国国际招标网公示。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：西安电子科技大学 地址：西安市长安区西沣路兴隆段266号西安电子科技大学南校区 联系方式：赵老师、029-81891893 2.采购代理机构信息 名 称：陕西省采购招标有限责任公司 地 址：西安市高新二路山西证券大厦八楼招标四部 联系方式：姜凯、程燕、029-88497916 3.项目联系方式 项目联系人：姜凯 电 话： 029-88497916

薄膜材料因其质量轻，防水性强，外形设计灵活等优势，在半导体、光伏、消费电子、纳米技术等行业得到广泛应用。MOCON的渗透分析仪和测试服务准确评估薄膜材料的水蒸气透过率。高阻隔材料的透水性能确保设备免受环境水汽的侵蚀，提高设备的使用寿命。在半导体设计、制造、封装中的各个环节都要进行反复多次的检测、测试以确保产品质量，从而研发出符合系统要求的器件。缺陷相关的故障成本影响高昂，从IC级别的数十美元，到模块级别的数百美元，乃至应用端级别的数千美元。因此，检测设备从设计验证到整个半导体制造过程都具有无法替代的重要地位。AMETEK SEMICONDUCTOR半导体直播专场活动基于以上背景，阿美特克集团旗下6大部门将开展“半导体联直播专场”线上研讨会活动。本次研讨会活动将于10月26日10点正式开始——CAMECA的刘红艳、GATAN & EDAX的严琴舫和袁昊、MOCON的何志勇、ZYGO的张磊以及TMC的何捷，深耕半导体检测领域的6位专家们将在阿美特克直播间分享他们的技术干货。直播专场将分为三场，敬请期待！AMETEK SEMICONDUCTOR直播报名方式扫描上方图片二维码即可报名参加，本次会议全程免费。10月26日下午15:00-15:45，MOCON专场：如何准确验证高阻隔材料、镀膜的真实透水值。我们将一同探讨如何评估半导体封装材料的阻隔性能，提高设备的使用寿命，欢迎报名参加！

5月24 - 26日，在首届“科学仪器开发者大会”上，致真精密仪器自主研发的原子力显微镜系列产品重磅发布！此次发布的产品包括多功能原子力显微镜（AtomicaPrecision）、晶圆级原子力显微镜（Wafer Mapper-M）。该产品稳定性强、可拓展性良好、提供定制服务；可拓展横向力显微镜、静电力显微镜、磁力显微镜、扫描开尔文探针显微镜、刻蚀和纳米操作等。该产品作为高速、高精度微观形貌表征及综合物性分析工具，可以为高端科研与企业生产研发提供更多的选择与助力。“精彩花絮致真精密仪器携新品亮相展位，莅临的嘉宾们在现场通过亲自参与操作，快速了解产品的核心卖点。体验结束后，表示新产品在性能、操作便捷性等方面都有较好的感受，非常期待未来能够与致真精密仪器展开更深入的合作。致真精密仪器董事长兼首席技术官张学莹博士在大会上作了《高精度扫描探针显微镜的研制和应用》的报告，从原子力显微镜系列新品的开发背景、相关核心技术、多物性分析应用和市场前景等方面对新品进行全面讲解，详细展示了产品在纳米结构高清成像、液下生物细胞成像、高清磁畴（斯格明子）成像、铁电畴成像等方面的精彩效果，引起现场专家学者的浓厚兴趣，获得高度关注。“产品介绍致真精密仪器科研级原子力显微镜AtomicaPrecision产品介绍利用微悬臂探针结构对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征，纵向噪音水平低至0.03 nm(开环），可实现样品表面单个原子层结构形貌图像绘制。可以测量表面的弹性、塑性、硬度、黏着力、磁性、电极化等性质，还可以在真空，大气或溶液下工作，在材料研究中获得了广泛的使用。设备亮点● 多种工作模式● 适配环境：空气、液相● 多功能配置● 稳定性强● 可拓展性良好典型案例晶圆级原子力显微镜Wafer Mapper-M产品介绍利用微悬臂探针结构可对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征。样品台兼容12寸晶圆，电动样品定位台与光学图像相结合，可在300X300mm区域实现1μm的定位精度，激光对准，探针逼近和扫描参数调整完全自动化操作。可用于产线，对晶圆粗糙度进行精密测试。设备亮点● 多种工作模式● 适配环境：空气、液相● 可旋转式扫描头● 多功能配置● 稳定性强、可拓展性良好典型案例在新质生产力与大规模设备更新的推动下，国产替代的呼声愈发高涨，已成为行业发展不可逆转的潮流，致真精密仪器一直以来致力于实现高端科技仪器和集成电路测试设备的自主可控和国产替代，通过工程化和产业化攻关，已经研发了一系列磁学与自旋电子学领域的前沿科研设备，包括“原子力显微镜、高精度VSM、MOKE等磁学测量设备、各类磁场探针台、磁性芯片测试机等产线级设备、物理气相沉积设备、芯片制造与应用教学训练成套系统等”等，如有需要，我们的产品专家可以提供免费的项目申报辅助、产品调研与报价、采购论证工作。致真精密仪器拥有强大的自主研发和创新能力，产品稳定精良，多次助力中国科研工作者取得高水平科研成果。我们希望与更多优秀科研工作者合作，持续提供更加专业的技术服务和完善的行业解决方案！欢迎联系我们！除此之外，我们还可以为各位老师提供免费测试服务，有“磁畴测试”、“SOT磁畴翻转”、“斯格明子观测”、“转角/变场二次谐波”、“ST-FMR测量”、“磁控溅射镀膜”等相关需求的老师，可以随时与我们联系。

当光线照射到两种介质的分界面上时，一部分光线改变了传播方向返回原来的媒介中继续传播，这种现象称为光的反射。在自然界中，光的反射存在着镜面反射、漫反射和逆反射三种现象。光的反射示意图镜面反射是在光线入射到一个非常光滑或有光泽的表面上时发生的。光线在物体表面反射的角度和入射的角度，度数相同但方向相反。如果物体的表面和光源成精确的直角，那么反射光线会完整地反射回光源方向。光的漫反射是一种最常见的反射形式。漫反射发生在光线入射到任何粗糙表面上， 由于各点的法线方向不一致，造成反射光线无规则地向不同的方向反射。只有很少一部分光线可以被反射回光源方向，所以漫反射材料只能给人眼提供很少的可视性。逆反射（背面反射）是指反射光线从靠近入射光线的反方向，向光源返回的反射。当入射光线在较大范围内变化时，仍能保持这一特性。当石英片上镀膜后，石英片的逆反射会对镜面反射的结果有明显的影响。本文采用日立的UH4150紫外可见近红外分光光度计、5°绝对反射附件和60mm积分球测试分析逆反射的影响。 下面是2种不同工艺需求的测试数据图：左图为同一批次的2个镀膜样品，变量为基底是否进行了涂黑处理。通过数据可以明显的发现：涂黑处理后的反射率明显降低，在1370nm附近的反射率约为0.3%，这是因为涂黑处理使得基底的背面反射（逆反射）尽可能地消除。 右图为另一种工艺的产品，直接对样品进行测试，不需要额外的处理，可以得到1300 ~ 1600 nm范围内反射率低于0.2%的效果，符合产品的预期。一般遇到测试反射率低于0.5%的指标需求时，建议使用标准片测试。×总结根据测试的目的需求，基底是否处理对实际的测试结果有很大影响。样品的反射率测试，需要考虑背面反射的影响。日立的紫外可见近红外分光光度计UH4150结合镜面反射附件，可以准确的表征低反射率的样品性能。——the end——公司介绍：日立科学仪器（北京）有限公司是世界500强日立集团旗下日立高新技术有限公司在北京设立的全资子公司。本公司秉承日立集团的使命、价值观和愿景，始终追寻“简化客户的高科技工艺”的企业理念,通过与客户的协同创新，积极为教育、科研、工业等领域的客户需求提供专业和优质的解决方案。 我们的主要产品包括：各类电子显微镜、原子力显微镜等表面科学仪器和前处理设备，以及各类色谱、光谱、电化学等分析仪器。为了更好地服务于中国广大的日立客户，公司目前在北京、上海、广州、西安、成都、武汉、沈阳等十几个主要城市设立有分公司、办事处或联络处等分支机构，直接为客户提供快速便捷的、专业优质的各类相关技术咨询、应用支持和售后技术服务，从而协助我们的客户实现其目标，共创美好未来。

热烈祝贺东方德菲代理的日本株式会社SDI浸渍提拉镀膜仪成功入驻北京航空航天大学国际交叉科学研究院。北京航空航天大学化学学院的刘欢教授是从事超润湿表面诱导纳米材料自组装研究方面的专家，刘教授的纳米材料自组装研究离不开高精度的镀膜仪，多年来，刘教授发现国产镀膜仪微米级的速度、精度和稳定性无法满足纳米材料自组装的需求。SDI株式会社是日本研发生产镀膜仪的专业厂家，他们与日本东京大学共同研发的纳米级高精度浸渍提拉镀膜仪NanoDip ,不仅速度精度可以达到1nm/秒，而且速度可控范围大，从1nm/秒到60mm/秒，且性价比高，运行稳定，操作简便，实验精度与实验效率极高，刘教授终于找到了心仪的高精度超低速镀膜仪，且一次性购买了两台。培训时，东方德菲的工程师为刘欢教授课题组成员热心细致地讲解了仪器的操作程序，指导每一位成员动手操作直至熟练。日本SDI浸渍提拉镀膜仪解决了刘教授课题组在仿生多尺度纤维材料的动态浸润行为及液体可控运输研究方面的诸多难题，课题组成员纷纷表示对仪器的满意和认可。 北京航空航天大学是东方德菲的老客户，在接触角测量仪器方面就有很深的渊源，这一次浸渍提拉镀膜仪的入驻更加给与了我们信心，奠定了新的里程碑，鞭策着我们为用户介绍更先进的实验技术，提供更专业更优质的技术服务。

滨松公司将于2016年10月1日开始销售LED照射单元GC系列产品，作为线性紫外（UV）LED照射单元LIGHTNINGCURE LC-L5G的新成员，该产品具备可连接、薄型、低功耗的特点，适用于国内外生产电视机、平板电脑终端、智能手机等厂家工序中的UV固化工序。 该产品将于9月28日在日本东京举办的材料和技术综合展“N+（N PLUS）”、10月5日在日本大阪举行的“关西机械高性能薄膜展”上亮相。 所谓UV固化，是指通过照射UV光，对UV粘合剂、UV镀膜剂、UV油墨等进行固化的技术，其最佳波长根据用途有所不同。UV粘合和UV镀膜时使用波长为365nm或405nm的UV光源，UV印刷时使用385nm或395nm的UV光源。 为进一步满足电视机、平板电脑终端、智能手机等面板的UV粘合、以及对电路板等进行表面保护的UV镀膜等用途，考虑到UV固化应用市场的不断增长，滨松公司在该产品线上增加投放了新的GC系列。将GC系列链接在一起的状态通过连接照射单元，应对各种产品类型 现产品在连接时可按照射窗的长边方向，用兼顾电源与控制信号输入的导线和固定板即可实现连接。通过改变单元的连接数量，即可方便地调整UV光的照射宽度，适用于电视机、平板电脑终端、智能手机，电路板等各种不同尺寸的产品加工要求。在更换产品种类时也无需替换设备等，减少了设备投资费用。 提高光量的均一性 以往的产品也可以将照射单元排列起来扩大UV的照射宽度，但光源不容易照射到单元的正下方，会出现局部UV光量不足的问题。但新的GC系列则实现了单元的直接相连，且所采用的生产技术可以使LED的UV照射窗镜头在位置上高度对准，这样在单元相互连接时实现了在全部UV照射区域里光量的高度均匀性。以此减少UV固化的不均匀性，提高产品质量。更小体积，节省空间 通过对整体设计进行改良，改变了单元内部的吸气排气结构以及风扇电机的型号，实现了GC系列产品的薄型化。单元厚度从原来的55mm缩小为24mm，单元体积则仅是原有产品的四分之一，大大减少了生产现场的空间。 低功耗，节能化 GC系列产品可以根据用途在所需最小范围内进行UV照射，消耗功率从原来的180W减小到40W，实现了大幅度的节能减耗，更加环保友好。在今后，为了满足市场对光强输出的更高要求，滨松公司计划在明年春天推出更大功率UV-LED单元来扩充产品线。 GC系列：GC-77参数一览项目内容 / 值単位照射面积177 × 5mm峰值波长365385395405nm紫外照射强度22W/cm2输入电压（DC）48V消耗功率（Max.）4540W外形尺寸（W × H × D）77 × 140 × 24mm1 在照射距离2mm处的照射面积 2 照射距离2 mm处、照射面积内的最大紫外照射强度线性UV-LED照射单元LIGHTNINGCURE LC-L5G 「GC-77」 LIGHTNINGCURE是滨松光子学公司的注册商标其他UV-LED照射单元系列一览GP系列 该系列的应用为，向印刷品直接喷射UV油墨，用低强度的UV照射使其达到半硬化状态，防止油墨的渗出以提高印刷质量，用于油墨喷射打印机预烘干。同样是窄薄型和低功耗。GJ系列 用于油墨喷射打印机的正式烘干，小型大功率照射单元。 GL系列 在加大GJ系列宽度的同时，实现了光输出的高度均匀性，针对屏幕印刷、凸版印刷、凹版印刷、间歇印刷、一部分的胶印、塑料容器的直接印刷等用途，提供了UV印刷所需要的大功率照射单元。

真空镀膜工艺，屏蔽油精准输送是关键镀膜工艺用于建筑玻璃进行隔热，镜头防止眩光或划伤，激光反射镜加强光线发射，也可用于提高工具或轴承耐磨性能。屏蔽油在金属镀膜生产过程中，保证在其基膜上蒸镀高精度铝锌层，屏蔽油因其表面张力低，真空条件下损失小，粘温性好，绝缘性好等性能特点，因此在金属镀膜工艺中，起到了聚丙烯薄膜与金属镀膜的绝缘作用，来控制金属膜的工艺规格及形状要求。在真空镀膜工艺中，往往容易出现屏蔽油过多或过少的情况，导致金属镀膜工艺出现一系列问题。因此对屏蔽油的精准输送非常关键。德国彗诺mzr-2521微量泵解决屏蔽油精准输送问题 德国彗诺mzr-2521微量齿轮泵是一款低压输送微量泵，具有高精度、低脉动和低剪切应力的特点，能够高精度进行低剂量输送，适用于低粘度液体的计量输送。优点：1.设计紧凑，直径13毫米，长度75毫米2.低剂量高速输送，最小体积0.25微升，流速高达9毫升/分钟3.高精度4.采用耐磨碳化钨或陶瓷材料，使用寿命长德国彗诺微量齿轮泵mzr-2521流程图技术参数流量：0.15-9（最小0.0015*）毫升/分钟最小排量体积：0.25微升排量体积：1.5微升粘度范围：0.3-100（最大1000*）mPas压差范围：0-1.5bar（22 psi）翁开尔是德国彗诺HNPM微量泵中国总代理，咨询了解更多关于mzr-2521微量泵产品信息和应用。

详细信息 北京航玻新材料技术有限公司枣庄分公司全自动红外真空镀膜机项目-招标公告 北京市-朝阳区 状态：公告 更新时间： 2022-12-20 北京航玻新材料技术有限公司枣庄分公司全自动红外真空镀膜机项目-招标公告 公告 北京航玻新材料技术有限公司枣庄分公司全自动红外真空镀膜机项目-招标公告 (招标编号：TC220A0BF) 招标项目所在地区：北京市 一、招标条件 本北京航玻新材料技术有限公司枣庄分公司全自动红外真空镀膜机项目（招标项目编号：TC220A0BF），已由项目审批/核准/备案机关批准，项目资金来源为招标人自筹且已到位，招标人为北京航玻新材料技术有限公司。本项目已具备招标条件，现进行公开招标。 二、项目概况和招标范围 项目规模：货物名称：全自动红外真空镀膜机；数量：1台；简要规格描述：具备红外滤光片、分色镜、减反射膜、高反射膜等高精度光学薄膜的研制能力，其余详见招标文件第五章“业务需求”；交货期：合同生效后60天内；交货地点：北京航玻新材料技术有限公司枣庄分公司（山东省枣庄市）；最高投标限价：380万元。 。 招标内容与范围：本招标项目划分为标段1 个标段，本次招标为其中的： 001 第1包 三、投标人资格要求 001 第1包： 投标人必须满足以下条件：3.1在中华人民共和国境内依法注册，具有独立法人资格或为其他组织、符合本招标文件的要求并有能力提供本次招标货物和服务的制造商（提供由行政部门颁发的加载统一社会信用代码的营业执照正本或副本，如是法人的分支机构投标的，须同时提供其隶属法人的营业执照正本或副本，并需由其隶属法人出具《授权书》，授权该分支机构参与本项目和签署合同，并承诺对分支机构的应答行为及中标后的履约行为承担责任）；3.2财务状况良好，可以提供满足招标人要求的正规有效的增值税专用发票；3.3单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得参加同一招标项目投标；3.4投标人未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)“记录失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为”记录名单（以投标截止日当天采购代理机构在“信用中国”网站及中国政府采购网查询结果为准，如相关失信记录已失效，投标人需提供相关证明资料）；3.5投标人提供近3年（2019年1月1日（含）至投标截止日）同类产品的销售业绩。业绩证明材料要求：（1）提供与投标人（作为被委托方/乙方）签署的合同关键页扫描件（包含合同封面、内容、金额、签字盖章等；或能体现前述内容的合同关键页），合同对应至少一张结算发票证明，以合同金额为准（未附结算发票的合同不计入）；（2）如签约方为国内非自然人，签字盖章页能体现签约方公章或合同章视为有效。如签约方为国内外自然人或国外非自然人须体现签字视为有效；（3）有效合同时间指合同签约日期或合同履约时间为2019年1月1日至投标截止日期间任意日期。 本项目不允许联合体投标。 四、招标文件的获取 获取时间：2022年12月20日17时00分00秒---2022年12月27日17时00分00秒 获取方法：有意参与本项目的潜在投标人请登录“中招联合招标采购平台（www.365trade.com.cn）购买招标文件，具体操作步骤详见本公告第七条其他公告内容（如有平台操作疑问，可拨打中招联合招标采购平台统一服务热线010-86397110进行咨询）。招标文件费用：招标文件售价200元人民币（本项目仅支持【网上支付】方式，除标书款外还需支付平台交易服务费，收费标准为200元。平台交易服务费由中招联合信息股份有限公司出具增值税电子普通发票。标书款、平台交易服务费一经收取不予退还）。 五、投标文件的递交 递交截止时间：2023年01月10日09时30分00秒 递交方法：投标文件必须在投标文件递交截止时间前送达中关村资本大厦6层会议室（北京市海淀区学院南路62号），招标代理机构将于投标文件递交截止时间在同一地点公开开标。 六、开标时间及地点 开标时间：2023年01月10日09时30分00秒 开标地点及方式：中关村资本大厦6层会议室（北京市海淀区学院南路62号），现场开标。 七、其他公告内容 投标人获取招标文件操作步骤如下：（1）登录www.365trade.com.cn网址进行供应商免费注册；（2）注册完成后，进入系统，点击“我的工作台”- “寻找招标项目”进行项目名称查询，找到项目点击“立即投标”。投标人选中需要参与的标包进行标书费用支付（网上支付）（3）支付完成后，投标人可以进行招标文件下载。 八、监督部门 本招标项目的监督部门为/。 九、联系方式 招标人：北京航玻新材料技术有限公司 地址：北京市朝阳区管庄东里1号 联系人：刘永华 电话：010-51167051 电子邮件：liuyhua_qiu@126.com 招标代理机构：中招国际招标有限公司 地址：北京市海淀区学院南路62号中关村资本大厦 联系人：金月含 电话：010-62108016 电子邮件：jinyuehan@cntcitc.com.cn 招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）：_______________（签名） 招标人或其招标代理机构：_______________（盖章） 202212201520009385130018649 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：镀膜机 开标时间：2023-01-10 09:30 预算金额：380.00万元 采购单位：北京航玻新材料技术有限公司 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：中招国际招标有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 北京航玻新材料技术有限公司枣庄分公司全自动红外真空镀膜机项目-招标公告 北京市-朝阳区 状态：公告 更新时间： 2022-12-20 北京航玻新材料技术有限公司枣庄分公司全自动红外真空镀膜机项目-招标公告 公告 北京航玻新材料技术有限公司枣庄分公司全自动红外真空镀膜机项目-招标公告 (招标编号：TC220A0BF) 招标项目所在地区：北京市 一、招标条件 本北京航玻新材料技术有限公司枣庄分公司全自动红外真空镀膜机项目（招标项目编号：TC220A0BF），已由项目审批/核准/备案机关批准，项目资金来源为招标人自筹且已到位，招标人为北京航玻新材料技术有限公司。本项目已具备招标条件，现进行公开招标。 二、项目概况和招标范围 项目规模：货物名称：全自动红外真空镀膜机；数量：1台；简要规格描述：具备红外滤光片、分色镜、减反射膜、高反射膜等高精度光学薄膜的研制能力，其余详见招标文件第五章“业务需求”；交货期：合同生效后60天内；交货地点：北京航玻新材料技术有限公司枣庄分公司（山东省枣庄市）；最高投标限价：380万元。 。 招标内容与范围：本招标项目划分为标段1 个标段，本次招标为其中的： 001 第1包 三、投标人资格要求 001 第1包： 投标人必须满足以下条件：3.1在中华人民共和国境内依法注册，具有独立法人资格或为其他组织、符合本招标文件的要求并有能力提供本次招标货物和服务的制造商（提供由行政部门颁发的加载统一社会信用代码的营业执照正本或副本，如是法人的分支机构投标的，须同时提供其隶属法人的营业执照正本或副本，并需由其隶属法人出具《授权书》，授权该分支机构参与本项目和签署合同，并承诺对分支机构的应答行为及中标后的履约行为承担责任）；3.2财务状况良好，可以提供满足招标人要求的正规有效的增值税专用发票；3.3单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得参加同一招标项目投标；3.4投标人未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)“记录失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为”记录名单（以投标截止日当天采购代理机构在“信用中国”网站及中国政府采购网查询结果为准，如相关失信记录已失效，投标人需提供相关证明资料）；3.5投标人提供近3年（2019年1月1日（含）至投标截止日）同类产品的销售业绩。业绩证明材料要求：（1）提供与投标人（作为被委托方/乙方）签署的合同关键页扫描件（包含合同封面、内容、金额、签字盖章等；或能体现前述内容的合同关键页），合同对应至少一张结算发票证明，以合同金额为准（未附结算发票的合同不计入）；（2）如签约方为国内非自然人，签字盖章页能体现签约方公章或合同章视为有效。如签约方为国内外自然人或国外非自然人须体现签字视为有效；（3）有效合同时间指合同签约日期或合同履约时间为2019年1月1日至投标截止日期间任意日期。 本项目不允许联合体投标。 四、招标文件的获取 获取时间：2022年12月20日17时00分00秒---2022年12月27日17时00分00秒 获取方法：有意参与本项目的潜在投标人请登录“中招联合招标采购平台（www.365trade.com.cn）购买招标文件，具体操作步骤详见本公告第七条其他公告内容（如有平台操作疑问，可拨打中招联合招标采购平台统一服务热线010-86397110进行咨询）。招标文件费用：招标文件售价200元人民币（本项目仅支持【网上支付】方式，除标书款外还需支付平台交易服务费，收费标准为200元。平台交易服务费由中招联合信息股份有限公司出具增值税电子普通发票。标书款、平台交易服务费一经收取不予退还）。 五、投标文件的递交 递交截止时间：2023年01月10日09时30分00秒 递交方法：投标文件必须在投标文件递交截止时间前送达中关村资本大厦6层会议室（北京市海淀区学院南路62号），招标代理机构将于投标文件递交截止时间在同一地点公开开标。 六、开标时间及地点 开标时间：2023年01月10日09时30分00秒 开标地点及方式：中关村资本大厦6层会议室（北京市海淀区学院南路62号），现场开标。 七、其他公告内容 投标人获取招标文件操作步骤如下：（1）登录www.365trade.com.cn网址进行供应商免费注册；（2）注册完成后，进入系统，点击“我的工作台”- “寻找招标项目”进行项目名称查询，找到项目点击“立即投标”。投标人选中需要参与的标包进行标书费用支付（网上支付）（3）支付完成后，投标人可以进行招标文件下载。 八、监督部门 本招标项目的监督部门为/。 九、联系方式 招标人：北京航玻新材料技术有限公司 地址：北京市朝阳区管庄东里1号 联系人：刘永华 电话：010-51167051 电子邮件：liuyhua_qiu@126.com 招标代理机构：中招国际招标有限公司 地址：北京市海淀区学院南路62号中关村资本大厦 联系人：金月含 电话：010-62108016 电子邮件：jinyuehan@cntcitc.com.cn 招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）：_______________（签名） 招标人或其招标代理机构：_______________（盖章） 202212201520009385130018649

一、项目基本情况项目编号：0664-2260SUMEC787D项目名称：东南大学微纳系统国际创新中心磁控溅射镀膜仪采购预算金额：260.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：260.0000000 万元（人民币）采购需求：东南大学微纳系统国际创新中心采购磁控溅射镀膜仪 一套本项目接受进口产品。合同履行期限：合同签约后12个月到货安装调试合格。本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：本项目若符合扶持福利企业、促进残疾人就业、支持中小微企业、支持监狱和戒毒企业等政策， 将落实相关政策。3.本项目的特定资格要求：（1）供应商必须是所投产品的制造商或代理商，若投标人不是投标产品制造商的，投标人必须具有下列授权文件之一（本条只适用于进口产品）：a.供应商必须提供制造商出具的授权函正本； b.制造商的国内全资子公司出具的授权函正本； c.制造商对授权的区域代理商出具的授权函复印件及该区域代理商出具的授权函正本； d.投标人取得的产品代理证书复印件(正本备查)。4.拒绝下述供应商参加本次采购活动：（1）供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。（2）凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的采购活动。（3）供应商被“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、“中国政府采购网"(www.ccgp.gov.cn)列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。三、获取招标文件时间：2023年01月05日 至 2023年01月11日，每天上午9:00至11:00，下午14:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：线上方式：在线获取售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间：2023年01月29日 09点30分（北京时间）开标时间：2023年01月29日 09点30分（北京时间）地点：南京市长江路198号苏美达大厦辅楼303会议室,五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜申请人的资格要求：1、满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定：（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照，自然人的身份证明）；（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供参加本次政府采购活动前半年内（至少一个月）的会计报表或者上一年度的财务审计报告，成立不足一年的提供开标前六个月内的银行资信证明原件。）；（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（根据项目需求提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）； （4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半年内（至少一个月）依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料）；（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供参加本次政府采购活动前3年内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明）（格式见后附件）。（6）法律、行政法规规定的其他条件。2、凭以下材料获取：（1）获取采购文件材料：1、营业执照【复印件加盖公章，扫描件】2、介绍信或者法定代表人授权书【原件加盖公章，扫描件，开具日期不得早于公告日期】3、委托代理人身份证【复印件加盖公章，扫描件】4、采购文件获取登记表word版【详见招标公告附件】（2）凡有意参加本次采购活动的供应商必须提供第（1）条规定证件登记并获取，不按规定获取的视为获取失败。3、我司提供了在线获取采购文件服务，操作流程如下：（1）、用微信关注我司公众号“苏美达达天下”。（2）、进入公众号-“在线服务”-“在线购标”。（3）、输入本项目的项目编号，举例：0664-2260SUMEC787D，点击查询。添加您所要获取的采购文件到购物车，输入投标单位名称、领购人信息以及发票信息，提交订单并确认微信支付，支付完成后将报名材料扫描件和登记表word版一并发至采购代理机构联系人：焦立阳，邮箱：jiaoly_work@163.com 即可，我们将会把采购文件电子版发送到领购人的邮箱。注意事项：（1）确保领购人邮箱真实准确无误，电子版采购文件将发送到此邮箱。（2）目前标书费发票支持开标现场领取或者顺丰到付。（3）“苏美达达天下”付款平台填写的投标单位名称必须与开票信息一致。如不一致投标人自行承担后果。请认真填写领购人信息及发票信息。（4）非采购代理机构或平台公司原因，发票一经开具不予退换。4、疫情防控期间注意事项（本项目采取在线流程）：在线流程：因疫情原因，本项目进行线上开标，请供应商尽量提前准备投标文件，以便及时送达代理机构指定的地点。供应商按照不见面开标通知（附件1）的要求参加开标会议。如因投标文件未及时送至代理机构造成的后果由供应商自负。七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名称：东南大学地址：南京市玄武区四牌楼2号联系方式：技术咨询：微纳系统国际创新中心：贺老师 电话：025-83792632 分机号8806； 实验室与设备管理处：刘加彬 电话：025-83792693。2.采购代理机构信息名称：苏美达国际技术贸易有限公司地址：南京市长江路198号苏美达大厦联系方式：项目联系人：杨 扬、焦立阳 电话：025-84532455、025-845324523.项目联系方式项目联系人：杨 扬、焦立阳电话：025-84532455、025-84532452

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 用于光学器件精密加工某光学器件制造商采用伯东 Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 应用于光学器件精密加工, 通过蚀刻工艺提高光学器件的聚酰亚胺薄膜的表面光洁度.Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 技术参数Φ4 inch X 12片基片尺寸Φ4 inch X 12片Φ5 inch X 10片Φ6 inch X 8片均匀性±5%硅片刻蚀率20 nm/min样品台直接冷却,水冷离子源Φ20cm 考夫曼离子源 Hakuto 离子刻蚀机 20IBE-J 的核心构件离子源采用的是伯东公司代理美国 考夫曼博士创立的 KRI考夫曼公司的射频离子源 RFICP220伯东 KRI 射频离子源 RFICP 220 技术参数:离子源型号RFICP 220DischargeRFICP 射频离子束流800 mA离子动能100-1200 V栅极直径20 cm Φ离子束聚焦, 平行, 散射流量10-40 sccm通气Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他典型压力 0.5m Torr中和器LFN 2000 采用伯东 Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 可以使 PV、RMS分别为1.347μm和340nm的粗糙表面, 通过蚀刻其粗糙度可降低至75nm和13nm PV、RMS分别为61nm和8nm的表面, 其粗糙度可降低至9nm和1nm. 该刻蚀工艺能有效提高光学器件聚酰亚胺薄膜的表面光洁度. 若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :上海伯东 : 罗先生 台湾伯东 : 王女士T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.twwww.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw伯东版权所有, 翻拷必究！

近日，在海南中航特玻公司特玻生产基地，随着2号线15mm厚的在线低辐射镀膜(LOW-E)超白超厚玻璃在生产线下片装箱，全球首条在线LOW-E超白超厚玻璃线在我国诞生。　　海南中航特玻技术研发团队在国际先进技术基础上，通过自主创新，将在线LOW-E大板的厚度从3mm、4mm、5mm、6mm、8mm增加至10mm 12mm，现在又成功地生产出15 mm超厚玻璃。这是世界当前最厚的在线LOW-E玻璃产品，也是海南中航特玻继研制出在线Low-E超白产品后取得的又一创新成果。在线Low-E超白超厚玻璃的面世，标志着我国玻璃行业技术已经居于国际领先水平，对进一步拓展国际国内建筑节能玻璃市场有着重要意义，更是我国玻璃行业为世界玻璃工业技术进步作出的新贡献。　　据专家介绍，因为受到生产工艺技术的制约，在线Low-E镀膜玻璃厚片生产技术难度较高。在许多公共建筑和大部分高层楼房裙楼商业用房和大堂建筑装饰中需要大板面单片厚玻璃，因为离线Low-e玻璃存在脱膜的问题，所以，一直以来，国内外建筑师都只能在这些部位使用普通浮法玻璃厚片，以至于建筑效果和使用功能与建筑节能产生无解的矛盾。　　而在线Low-E是在浮法线上700C镀膜固溶在玻璃体上，单片使用永不会发生膜层脱膜，15mm超厚玻璃既可满足荷载和抗风强度要求，又美观坚固，钢化加工性较强，其节能膜低辐射性能与玻璃同寿命，单片使用达到冬暖夏凉，保温隔热功效十分显著，在北方冬天大幅降低室内热能的浪费，在南方能够很好的起到隔热节能效果。　　据统计，单片15mm在线LOW-E玻璃的传热系数比普通浮法玻璃传热系数低36%，比普通单片玻璃提高节能效率1/3，应用在建筑领域上，可节约大量的电力和煤炭资源消耗。不仅如此，这次海南中航特玻公司研发的新产品是在线超白厚板大尺寸Low-E玻璃，超白玻璃具有极高的透过率，可见光透过率可达92%，具有非常好的光学性能,可以更真实再现景观，是高端写字楼和豪华酒店建筑师和业主的梦想。　　通过与在线Low-E膜层的结合，既可以保证超白玻璃原有较高的可见光透过率，满足室内采光要求与舒适度，减少室内照明用电，又具有低辐射功能，达到综合节能的效果。是满足通透性建筑型要求较高的关键材料, 如北方和滨海区建筑. 同时，由于超白玻璃对原料的严格要求及自身低铁特性，超白Low-E玻璃不会产生自爆现象。　　用作大堂玻璃及幕墙玻璃时，由于抵抗风压和设计规范的要求必须采用钢化玻璃，而非超白钢化玻璃经常发生自爆，厚片普通钢化玻璃自爆的危险程度更高。因此，这一新技术还解决了困扰多年的建筑用钢化玻璃自爆的问题，这问题曾经是历年“两会“代表提案之一，一直受到社会各方面的高度关注.　　中航三鑫股份有限公司旗下海南中航特玻材料有限公司，是海南省和中航工业国防新材料重点企业，也是我国资本市场新材料板块引人瞩目的企业。位于海南省老城经济开发区，在海南文昌拥有两座世界顶级品质砂矿。企业引进欧美国多项高端浮法玻璃生产制造专有技术，拥有世界最先进CVD在线镀膜生产技术和装备。公司建有4条600吨级的浮法玻璃生产线，采用全氧燃烧生产工艺并配有余热发电，生产的汽车玻璃原片、超薄电子玻璃原片、超白浮法玻璃、超白航空材料、高速列车玻璃，以及在线低辐射系列节能玻璃等，是我国高端玻璃制造领域的领军企业。　　海南中航特玻公司2号线原是生产TCO太阳能基板玻璃。太阳能市场严重萎缩之后，企业通过技术创新，成功转型生产在线Low-E镀膜超白超厚玻璃。该产品为海南中航特玻进一步开辟国内国际市场提供了先机，也大大提高了企业的市场竞争力和经济效益。这条线完全可生产各种颜色和超白等各类在线低辐射系列3—15mm节能玻璃，也是全球第一条多品种高端节能玻璃制造生产线。目前，产品已通过国家玻璃质量监督检验中心的检验合格，性能指标完全满足国家标准《镀膜玻璃第二部分 低辐射镀膜玻璃》(GB18915.2-2002)的各项技术要求。这一优秀成果对于我国第二代浮法玻璃的研发创新，实现玻璃行业转型升级，发展资源节约型、环境友好型和优质高效型玻璃产业，使我国从玻璃大国向玻璃强国迈进，都有着十分重要的战略发展意义。

国产电子束光刻机实现自主可控，是实现我国集成电路产业链自主可控的重要一环。近日，松山湖材料实验室精密仪器联合工程中心产业化项目研发再获新突破：项目团队成功研制出电子束光刻系统，在全自主电子束光刻机整机的开发与产业化过程中取得阶段性进展，初步实现了电子束光刻机整机的自主可控，标志着国产电子束光刻机研发与产业化迈出关键一步。电子束光刻是利用聚焦电子束对某些高分子聚合物（电子束光刻胶）进行曝光并通过显影获得图形的过程，而产生聚焦电子束并让聚焦电子束按照设定的图形扫描的仪器就叫做电子束光刻机。它是推动我们当前新材料、前沿物理研究、半导体、微电子、光子、量子研究领域的重要手段之一。此前，全球电子束光刻机市场高度集中，主要由美日企业垄断，我国尚未掌握该领域核心技术，装备长期依赖进口。松山湖材料实验室精密仪器研发团队作为首批入驻实验室的团队之一，专注于材料和半导体领域的精密加工、表征和测量设备研发。团队负责人许智已从事相关研究近20年，参与承担多项国家重点研发计划专项工作及国家重大科研装备研制项目，近5年带领产业化团队研发的精密仪器成果转化填补多项国产空白，产值超亿元，产品出口美国、英国、德国、澳大利亚。为了研制具有自主知识产权的电子束光刻机整机，精密仪器研发团队在松山湖材料实验室完成一期项目研发并成立产业化公司后，带资回到实验室进入“滚动发展”模式：产业化公司东莞泽攸精密仪器有限公司与实验室共同投资2400万元进行第二阶段研发，目标是打造集科研与产业化为一体的电子束装备技术创新基地。通过深入开展电子束与新材料交叉领域的前沿技术研发，实现关键装备和共性技术的自主可控，切实提升我国在电子束加工与制备领域的整体创新能力和产业竞争力。目前，东莞泽攸精密仪器有限公司已基于自主研制的扫描电镜主机，完成电子束光刻机工程样机研制，并开展功能验证工作。通过对测试样片的曝光生产，可以绘制出高分辨率的复杂图形，朝着行业先进水平稳步前进。该成果标志着泽攸科技在电子束光刻机关键技术和整机方面的自主创新能力获得重大提升。下一步，团队及产业化公司将持续完善电子束光刻机的性能指标，使其达到批量应用及产业化的要求。

HS-TGA-101热重分析仪（TG、TGA）是在升温、恒温或降温过程中，观察样品的质量随温度或时间的变化，目的是研究材料的热稳定性和组份。广泛应用于塑料、橡胶、涂料、药品、催化剂、无机材料、金属材料与复合材料等各领域的研究开发、工艺优化与质量监控.碲系化合物半导体靶材制备及镀膜性能表征【北京有色金属研究总院 潘兴浩】碲系化合物半导体靶材制备及镀膜性能表征上海和晟 HS-TGA-101 热重分析仪

3月31日消息，昨日中微公司发布其2020年年报，报告期内，中微公司实现营业收入22.73亿元，较上年增长16.76%。归属于上市公司股东的净利润4.92亿元，同比增长161.02%。扣非净利润2331.94万元，同比减少84.19%。中微公司在年报中表示，2020年归母净利润实现翻倍增长主要源于：（1）中芯国际科创板股票投资公允价值变动收益约2.62亿元；（2）公司2020年计入非经常性损益的政府补助较2019 年增加约2.26亿元。而该年扣非净利润较上年同期减少84.19%，则是由于实施股权激励产生的股份支付费用约1.24亿元（属于经常性损益）。图片来源：中微公司年报截图从营收构成来看，中微公司来自半导体设备产品销售的收入达到17.99亿元，来源于设备相关配件的营收为4.42亿元，而设备支持服务的收入则为0.33亿元。产品销售中源于刻蚀设备的收入为12.89亿元，同比增长约58.49%；源于MOCVD设备的收入为4.96亿元，同比下降约34.47%。图片来源：中微公司年报截图在年报中，中微公司就刻蚀技术的未来发展作出了分析。分析指出随着芯片制程向5纳米及更先进制程发展，当前浸没式光刻机受光波长的限制，需要结合刻蚀和薄膜设备，采用多重模板工艺，利用刻蚀工艺实现更小的尺寸。刻蚀技术及相关设备的重要性因此进一步提升。而在2D存储器件的线宽接近物理极限后，NAND闪存已进入3D时代，在其制造工艺中，增加集成度的主要方法不再是缩小单层上线宽而是增加堆叠层数。3D NAND层数增加要求刻蚀技术实现更高的深宽比。中微公司指出，为应对上述趋势，自身在刻蚀设备技术上的研发进展包括：（1）在逻辑集成电路制造环节，其开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户65 纳米到5纳米的芯片生产线上；同时，其根据厂商的需求，已开发出小于5纳米刻蚀设备，用于若干关键步骤的加工，并已获得批量订单。目前正在配合客户需求，开发新一代刻蚀设备和包括更先进大马士革在内的刻蚀工艺，能够涵盖5纳米以下更多刻蚀需求和更多不同关键应用的设备。（2）在3D NAND芯片制造环节，其电容性等离子体刻蚀设备可应用于64层和128层的量产，同时根据存储器厂商的需求正在开发新一代能够涵盖128层及以上刻蚀应用及相对应的极高深宽比的刻蚀设备和工艺。此外，电感性等离子刻蚀设备已经在多个逻辑芯片和存储芯片厂商的生产线上量产，正在进行新技术研发，以满足5纳米以下的逻辑芯片、1X纳米的DRAM芯片和128层以上的3D NAND芯片等产品的ICP刻蚀需求，并进行高产出的ICP刻蚀设备研发。在用于制造LED外延片的MOCVD设备技术上，中微公司表示，其用于Mini LED生产的MOCVD设备的研发工作进展顺利，已有设备在领先客户端开始进行生产验证；此外，制造Micro LED等应用的新型MOCVD设备也正在开发中。中微公司在年报中称，去年全年其研发投入总额为6.40亿元，其中包含股份支付费用0.49亿元。若剔除股份支付费用则全年研发投入为5.91亿元，较2019年增长39.16%，主要由于新工艺的研发，包括存储器刻蚀的CCP和ICP刻蚀设备、Mini-LED大规模生产的高输出量MOCVD设备、Micro-LED应用的新型MOCVD设备等。

最近，中国科学院物理研究所/北京凝聚态物理国家实验室(筹)张广宇研究组与高鸿钧研究组、王恩哥研究组合作，利用自制的远程电感耦合等离子体系统，首次成功实现了石墨烯的可控各向异性刻蚀。这种基于石墨烯的各向异性刻蚀技术是我国科学家在该研究领域中独具特色的工作，相关结果发表在【Advanced Materials (2010)】，并得到了审稿人的高度评价。　　石墨烯(graphene)，是继富勒烯、碳纳米管之后被科学家们发现的又一种新的碳元素结构形态。作为一种室温下稳定存在的二维量子体系，石墨烯打破了凝聚态物理的理论，推翻了人们以前普遍接受的严格的二维晶体无法在有限的温度下存在的科学预言，对凝聚态物理的发展产生了重大的影响。不仅如此，石墨烯表现出来的一系列独特的电学输运特性、光学耦合和其他新奇的物理特性，以及利于剪裁加工的二维特性，使其在分子电子学、微纳米器件、超高速计算机芯片、高转换效率电池、固态气敏传感器、太赫兹学等领域可能有重要的应用前景。　　然而，由于石墨烯的导带与价带之间没有能隙，做成晶体管器件时，很难实现开关特性，而且若要运用于现在普遍使用的逻辑电路，其金属性也是一个巨大的难题。如何在石墨烯中引入能隙，成为人们关注的热点问题，这也为石墨烯的制备提出了新的挑战。一般引入能隙的手段主要有：(1) 利用对称性破缺场或相互作用等使朗道能级发生劈裂，在导带与价带之间引入能隙。这主要通过掺杂、外加电场、化学势场等方式在双层石墨烯中引入对称破缺，实现人工调制能隙。(2) 利用量子限域效应和边缘效应，通过形成石墨烯纳米结构(如 nanoribbons纳米带)引入能隙，通过调节带宽，可以实现对带隙宽度的调节。(3) 利用化学气相沉积法掺杂(如B、N等)产生能隙，通过调节掺杂程度可实现对能隙的调节。(4)利用基底作用诱导(如SiC基底上的外延石墨烯)产生能隙，通过调节基底的作用程度可实现对能隙的调节。此前，张广宇研究组与高鸿钧研究组和陈小龙研究组合作，利用拉曼光谱学的手段，系统地研究了外延石墨烯与碳化硅基底之间的电荷转移机制，为未来这类样品制作电子学器件提供了技术参考依据。相关结果发表在【J. Appl. Phys. 107, 034305, (2010)】。　　基于已有的实验结果，大家一致认为这四种方法中最可行、最具应用价值的当属石墨烯的纳米结构。目前，石墨烯纳米结构的制备技术和电学性能的研究都有飞速的发展，但要实现大规模集成石墨烯纳米结构器件的应用，如何利用现有的微纳加工技术获得边缘可控的石墨烯纳米结构是亟待解决的难题。虽然国际上已有少数研究组利用金属粒子催化加氢反应或利用SiO2衬底与石墨烯的选择性反应来实现石墨烯选择性的各向异性刻蚀，但这些方法的刻蚀速率不可控，刻蚀取向不确定，且无法与传统的微纳加工技术兼容，从而无法实现石墨烯纳米结构器件的集成加工。　　张广宇等人此次实现的这种基于氢等离子体的干法刻蚀技术受等离子体强度和样品温度的调控，刻蚀速率可以精确控制在几个nm/min，且不会引入新的缺陷。由于石墨烯特殊的六角对称性，这种方法可以得到近原子级规则的Zigzag边缘结构。他们还利用这种干法刻蚀技术结合电子束光刻技术首次实现了对石墨烯纳米结构的精确加工和剪裁。这种技术的优势在于可以对石墨烯结构进行原子级尺度加工和对于石墨烯质量的保持性。这种可以沿固定晶向，得到固定的边缘结构的加工剪裁石墨烯的技术是传统技术所无法实现的，为未来大规模精确控制、加工具有确定晶向和边缘结构的石墨烯纳米结构奠定了技术基础。　　这项工作得到了中科院“百人计划”、国家自然科学基金和“973”项目的支持。　　 　　图1新鲜解理的石墨(a)表面光滑台阶清晰可见，不同功率。(b)50W和(c)100W氢等离子体刻蚀过的石墨表面，显示出了形状规则的正六边形孔。(d)刻蚀速率随温度的变化关系。(e)刻蚀速率随时间的变化关系，证明刻蚀速率可精确稳定的控制在几纳米/分钟。　　 　　图2 同样的各向异性刻蚀效应在机械剥离的石墨烯中也如此。氢等离子体刻蚀过的单层(a)、两层(b)及多层(c)石墨烯，正六边形孔洞清晰的形成于缺陷处。(d)单层及两层石墨烯刻蚀速率随温度的变化关系。(e)拉曼光谱表征，几乎看不到代表缺陷态的拉曼D峰，证明石墨烯的晶体质量并没有被温和的氢等离子体破坏。　　 　　图3 氢等离子体刻蚀出的单层正六边形孔洞边缘的扫描隧道显微镜成像(a)恒流模式高度像，(b)原子分辨像，(c)二维傅里叶变换图，显示出刻蚀得到的近原子级规则的边缘与zigzag取向2-1-10平行，且在边缘处观察到了驻波。(d)对应的结构示意图。　　 　　图4 利用电子束曝光与各向异性刻蚀方法相结合制备具有特定取向的sub-20nm石墨烯纳米带的流程图(a)。具体过程如图(b)电子束曝光和氧等离子体刻蚀得到的起始宽度为120nm的石墨烯条带，经过氢等离子体各向异性刻蚀之后细化到sub-20nm的石墨烯纳米带如图(c)。(d)石墨烯纳米带场效应晶体管器件的结构示意图，石墨烯为接触电极，(e)不同宽度的石墨烯纳米带的器件，(f)对应的转移特性曲线，证明8nm宽的石墨烯纳米带能在室温下实现2个数量级的开关比。