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精密研磨抛光系统

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精密研磨抛光系统相关的论坛

  • 抛光和研磨

    复合材料里有紫铜和铁粉,要想抛光看金相,应该使用多少目的砂纸和研磨膏[img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112160955500364_8889_5489251_3.png[/img]

  • TEM制样预设型抛光机

    MultiPrep™ 配套研磨设备http://www.zxbairui.com/UploadFile/2007131172846698.jpgMultiPrep™ 系统适用于高精微(光镜,SEM,TEM,AFM,etc)样品的半自动准备加工。主要性能包括平行抛光,精确角抛光,定址抛光或几种方式结合抛光。它保证良好的重现性,可以解决多用户使用的矛盾。 MultiPrep 无须手持样品,保证只有样品面与研磨剂接触。 TechPrep™ 为MultiPrep™ 的定位装置提供电源。人性化的控制面板设计控制MultiPrep™所有功能。研磨盘转速范围(顺/逆时针)为5到350PRM。除触摸开关控制所有功能外,还有数字触摸键盘用于设置研磨盘速度、计时器、摆动与旋转设置。此系统用水符合冷却标准;自动滴液给料系统适用研磨悬浮液和润滑剂。特点:测微计控制样品的设置精确轴设计保证样品垂直于研磨盘,使之同时旋转。数字千分表显示样品行程,增量1微米。(实时)双轴测微计控制样品角坐标设置(斜度和摆度),10°幅度, 0.02° 增量。6倍速样品自动摆动。8倍速样品自动旋转。样品调整范围:0-600克(100克增量)数字记时器与转速计凸轮锁紧钳无需其他辅助工具,方便用户重新设置工作夹具。

  • 【资料】金相磨光与抛光应用的磨料……

    1.氧化铝,是广泛应用的磨料,它有高的硬度,莫氏硬度达9,有低的化学反应能力,与被磨制的材料一般不起化学反应.它可制作砂轮、砂带、砂纸等用于磨光,制作散装的细粉或罐装研磨用于抛光,均有良好的效果。2.金刚石磨料具有极高的硬度,莫氏10,颗粒尖锐锋利,有良好的磨削作用,是很理想的抛光磨料。这种磨料有三个优点:1)磨料硬度极高而且极尖锐,无论对软的或硬的材料都具有良好的磨削作用。合金组织中如果有软硬相差悬殊的不同相,用金刚石粉抛光可以得到良好的结果。如铸铁中的石墨,钢中的夹杂物,钢表面的硬化层,镀锌钢板以及复合材料等,用金刚石粉抛光可以得到其他磨料所得不到的良好的结果,此外如硬质合金只有用金刚石粉才能有效的抛光。2)磨料基本上是纯粹的磨削作用,而无滚压作用,所以试样表层形变扰乱金属层基本不产生。3)磨粒的切削寿命很长,切削能力很高,所以磨料消耗极少,制备的样品又好。金刚石粉是天然金刚石的下脚料或人造金刚石制成的,粒度一般在45-0.25um之间,15um以下适用于金相抛光。使用较多的是10um,6um,3um和1um.目前,散装金刚石粉用作金相磨料者很少,多半制成研磨膏使用。金刚石研磨膏是硬脂酸、三乙醇胺、肥皂乳剂(润湿剂)和金刚石粉制成的。待续……

  • [分享]机械抛光的特点&.机理

    1.机械抛光是一种古老而又最具实用价值的抛光方法,可分为粗抛、中抛和精抛3类: 粗抛是用硬轮对制品表面进行磨削、磨光或研磨,因此粗抛也称为研磨或磨光。它主要用来除去零件表面的毛刺、划痕、锈痕、氧化皮、砂眼、气泡、焊瘤、焊渣和各种宏观的缺陷,以提高表面平整度和降低表面粗糙度。粗抛后的制品表面只能达到平整到平滑的程度,并不能得到光亮的表面,其表面粗糙度在数微米至数百微米之间。 中抛是用较硬的抛光轮对经过粗抛的表面进一步的加工,除去粗抛时留下的划痕,产生平滑至中等光亮的表面。其表面粗糙度在零点几微米到数微米之间。 精抛是抛光的最后一道工序,它是用涂有抛光膏的软轮对零件表面进行加工的方法。由于它是在已经比较平整的表面上进行的,它可以进一步降低表面粗糙度,已达到微观整平的目的,因而可以获得十分光亮的表面,而且抛光时对基材没有明显的磨耗,其表面粗糙度可达到0.01μm左右,可以真正达到镜面效果。2.机械抛光的机理: 机械抛光时,抛光机上的抛光轮在作高速旋转,操作者将被抛光的制件表面以适当压力按压在抛光轮上,这时因摩擦作用而产生高温,使被抛光表面容易发生变形而形成一层“加工变质层”。在旋转着的摩擦力的作用下,一方面表面的某些凸出部分被削去,同时金属制件表面也会产生塑性变形,凸起部分被压入,或移动一段距离后填入凹陷部位。这种削凸填凹的整平过程,以高速度大规模地反复进行,加上抛光膏地光亮化作用,结果就使原来较粗糙地制件表面,变得平滑而光亮。

  • 金相抛光时常用金相抛光粉介绍

    机械抛光的磨料通常为抛光粉和抛光膏、常用的施光粉为Al2O3、Cr2O3 ,它价格便宜,适用性强。 抛光膏一般是人造金刚石为好,抛光效果理想,但价格贵,不适合大专院校的学生实验用。笔者使用的是Al2O3抛 光粉,由于经验不足,制成悬浮液的稠稀适度和在抛光时倒入量掌握不好,加之悬浮液易使粒度不均,抛光效果也不理想,且浪费大。为了改变抛光粉的使用状况,笔者进行了一些探讨。金刚石抛光膏之所以抛光效果好,不仅是金刚石磨料硬度高,尖角锋利,还由于将粉制成膏剂后可以沾嵌在抛光织物上,有利试样的磨面接触磨料磨削,这样即可抛出理想的试样,浪费也少。根据抛光膏的原理,我们将Al2O3抛光粉配制成抛光膏。使用方法同研磨膏一样。使用效果良好。配制方法:将10ml甘油+6g 硬脂酸+60ml水混合加热完全乳化后,再加入100g Al2O3粉,不断搅拌直至冷到室温即可。还可加人少量油酸,以增加其润滑。

  • 【分享】常用的6种抛光方法

    1 机械抛光 机械抛光是靠切削材料表面塑性变形去掉被抛光物质而得到平滑面的抛光方法,以手工操作为主,一般使用油石条、羊毛轮、砂纸等,特殊零件如回转体表面,可使用转台等辅助工具,表面质量 要求高的可采用超精研抛的方法。超精研抛是采用特制的磨具,在含有磨料的研抛液中,紧压在工件被加工表面上,作高速旋转运动。光学镜片模具常采用这种方法。2 化学抛光 化学抛光是让材料在化学介质中部分需要处理的表面溶解,从而得到平滑面。这种方法的主要优点可以同时抛光很多工件,效率高。同时不需复杂设备,化学抛光的关键是抛光液的配制。化学抛光得到的表面粗糙度一般为数 10 μ m 。3 电解抛光 电解抛光基本原理与化学抛光相同,即靠选择性的溶解材料表面微小凸出部分,使表面光滑。电化学抛光过程分为两步:第一步是宏观整平 溶解产物向电解液中扩散,材料表面几何粗糙下降, Ra > 1 μ m 。第二步是微光平整 阳极极化,表面光亮度提高, Ra < 1 μ m 。4 磁研磨抛光 磁研磨抛光是利用磁性磨料在磁场作用下形成磨料刷,对工件磨削加工。这种方法加工效率高,质量好,加工条件容易控制,工作条件好。采用合适的磨料,表面粗糙度可以达到 Ra0.1 μ m 。5 流体抛光 流体抛光是依靠高速流动的液体及其携带的磨粒冲刷工件表面达到抛光的目的。流体动力研磨是由液压驱动,使携带磨粒的液体介质高速往复流过工件表面。介质主要采用在较低压力下流过性好的特殊化合物(聚合物状物质)并掺上磨料制成,磨料可采用碳化硅粉末。常用方法有:磨料喷射加工、液体喷射加工、流体动力研磨等。6 超声波抛光 将工件放入磨料悬浮液中并一起置于超声波场中,依靠超声波的振荡作用,使磨料在工件表面磨削抛光。在溶液腐蚀、电解的基础上,再施加超声波振动搅拌溶液,使工件表面溶解产物脱离,表面附近的腐蚀或电解质均匀;超声波在液体中的空化作用还能够抑制腐蚀过程,利于表面光亮化。超声波加工宏观力小,不会引起工件变形,但工装制作和安装较困难。超声波加工可以与化学或电化学方法结合。

  • 氩离子抛光制样

    氩离子抛光制样

    氩离子切割技术是一种利用宽离子束(〜1mm)来切割样品,以获得宽阔而精确的电子显微分析区域的样品表面制备技术。一个坚固的挡板遮挡住样品的非目标区域,有效的遮蔽了下半部分的离子束,创造出一个侧切割平面,去除样品表面的一层薄膜。氩离子抛光技术是对样品表面进行抛光,去除损伤层,从而得到高质量样品,用于在 SEM,光镜或者扫描探针显微镜上进行成像、EDS、EBSD、CL、EBIC 或其它分析。氩离子抛光技术是扫描电镜、电子探针、俄歇电镜、EBSD分析等应用领域性创新发明。机械研磨抛光技术与氩离子束抛光技术的比较: 机械研磨抛光 vs 离子束抛光 ×有限的硬,固体样品 P适合各类样品 o硬度较大金属材料 o软硬金属材料皆可 o硅和玻璃 o同一样品含软硬不同材料 o半导体(铝/宽/高k电介质 o多孔材料 o矿物质(干) o湿或油性样品:油页岩 o有机物data:image/png;base64,iVBORw0KGgoAAAANSUhEUgAAAAEAAAABCAYAAAAfFcSJAAAAAXNSR0IArs4c6QAAAARnQU1BAACxjwv8YQUAAAAJcEhZcwAADsQAAA7EAZUrDhsAAAANSURBVBhXYzh8+PB/AAffA0nNPuCLAAAAAElFTkSuQmCChttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/01/201701191701_669442_3156028_3.png氩离子抛光/切割的优点http://www.gmatg.com/vr/zbjy888/Resources/userfiles/images/20140215_220137.jpg机械抛光的缺点相比较下氩离子抛光的优点:(1)对由硬材料和软材料组成的复合材料样品, 能够很精细地制作软硬接合部的截面, 而使用传统方法制样是很困难的。(2)比FIB方法的抛光面积更大(~1mm以上)。氩离子切割抛光制样具体应用领域有: EBSD样品 光伏、半导体 金属(氧化物,合金) 陶瓷 地质样品、油页岩 高分子、聚合物 CLEBSD制样最有效的方法------氩离子截面抛光仪随着电子背散射技术(EBSD)的日益广泛应用,EBSD样品制备的新技术、新设备也相继出现。样品制备技术也由传统的机械-化学综合抛光,电解抛光丰富到FIB,以及目前广泛应用的氩离子截面抛光仪。传统的机械抛光不能有效去除样品表面的变形层,即使经过反复的研磨,也会出现再次变形的可能,即伴随着消除严重变形层又有形成新的变形层的可能,而且机械抛光的同时还会造成对样品的表面划痕与损伤,大大影响了EBSD试样的效果。电解抛光是靠电化学的作用使试样磨面平整、光洁,一般处理大批量的EBSD试样首选电解抛光。电解抛光可以非常有效的去除表面的氧化层和应力层。不同材质电解抛光工艺不同,需要摸索合适的抛光剂,原始的抛光剂可以在文献和一些工具书中找到,然后需要进行大量的试验,

  • 【求助】SEM制样过程中怎么样抛光?

    最近在学SEM制样,主要是做cross-section,用4000目的砂纸研磨后再用0.3和0.05MIC的氧化铝抛光液抛光,但是一直有划痕,如图: 但是我看到有些人能抛的非常光滑,效果如图: 所以想请教一下有没有别的方法能抛出如上图的效果。希望各位大侠不吝赐教!非常感谢!因工作需要,不得不把图片删去,谢谢理解!

  • 金相抛光机|预磨机|镶嵌机切割机专业供应用户

    一、 用途该机是将试样预磨和抛光操作结合为一体的经济机型,转盘通过带轮的转速比获得不同的转速,从而实现磨抛功能,是中小企业试样制作的理想设备。二、结构特征概述  该机左盘为预磨盘,右盘为抛光盘。预磨时,通过回转水咀将冷却水不断注入旋转的磨盘中,砂纸在大气压的作用下可以紧贴在磨盘上,从而不须将砂纸粘结或夹紧。抛光时,可将抛光织物平铺在抛光盘上,然后用扣圈扣紧织物,再进行抛光,织物和抛光盘都可及时方便的更换。三、技术参数1、磨盘直径: 230mm;抛盘直径: 200mm 2、磨盘/抛盘转速:450r/min、600r/min3、电动机:550W 380V 50Hz4、外型尺寸:690×715×310mm5、净重:55Kg四、主要附件1、磨抛主机 1台2、排水管 1根,3、进水管 1根,4、抛光织物 1片5、金相砂纸 2张 P-2G型金相试样抛光机  在金相试样制备过程中,试样的抛光是一道主要工序,经过磨光的试样,在抛光机上抛光后,可获得光亮如镜的表面,P-2G型金相试样抛光机是采集多方面使用人员的意见和要求设计而成的,它具有传动平稳,噪音小,操作维修方便等优点,能适合更多种材料的抛光要求。该机适用于厂矿企业、大专院校、科研单位的金相试验室,是试样抛光的极佳设备。P-2G型金相试样抛光机主要技术指标1.抛盘直径:∮230mm2.转速:1400r/min,900r/min(订制)3.电源:380v、50Hz,220v、50Hz (订制)4.外形尺寸:810×470×980mm5.净重:74Kg 一、 产品介绍:QG-4A型多能切割机,主要是用来切割圆柱体和多角形及有凸凹等不规则型材的试样,该机是采用全封闭结构,可保证在绝对安全的状态下进行切取试样,为避免在切割中试样因过热而烧伤材料组织,该机除配有强冷却系统外,可避免试样在切落时表面的微烧伤,可增大切割截面,提高切割砂轮的利用率,具有操作使用维护保养方便等优点,是切割不规则型材的极佳设备。二、主要参数: 最大切割截面: Φ65mm 砂轮片规格: 250×2×32mm 转  速: 2800r/min 电 动 机: Y1.5kW-2, 380V,50Hz 外形尺寸: 680×650×540mm 净  重: 100Kg三、产品特点:1、全封闭双罩结构,并配有透明有机玻璃观察窗。保证操作者的安全。2、采用快速加紧装置。可以切割圆柱体、多角形及有凹凸等不规则型的金属试样。3、配有强冷却系统。4、柜式结构,省去用户自己准备工作台的麻烦。5、采用低噪音防水电机,人性化设计,外观美观,噪音低,操作方便。6、冷却液配件1、新型快速夹具。全自动金相镶嵌机ZXQ-2S一、用途   试样镶嵌机是为了使那些形状或尺寸不适合的试样通过镶嵌以便满足随后的制样步骤,获得要求的检测平面;或是为了保护边缘或预防制备过程造成的表面缺陷。在现代金相实验室中,广泛使用的半自动或自动研磨/抛光机对试样尺寸有规格要求,为了适应这种要求,必须对试样进行镶嵌,因此镶嵌机已成为金相实验室中必备的设备之一。  本机属于全自动金相试样镶嵌机,具有进出水冷却的功能,适用于所有材料(热固性和热塑性)的热镶嵌,设定好加热温度、保温时间、作用力等镶嵌参数后,放入试样和镶嵌料,盖上压盖,按下工作按钮,可自动完成镶嵌工作,无需操作人员在机器旁值守。可根据不同要求的试样任意选择置换4种规格的模具,亦可同时压制二个试样,制备能力翻了一番。二、主要技术指标1.模具规格:φ22mmφ30mmφ45mm2.电源:220V 50HZ3.最大耗电量:1800W4.系统压强设定范围:0~2MPa(相对应制样压强范围:0~72MPa)5.温度设定范围:0~300℃6.保温时间设定范围:0~99分99秒7.外形尺寸:400×380×450mm8.重量:100KG9.冷却方式:水冷

  • 抛光试样采用什么试剂?

    讨论一下:各位在进行试样抛光时采用什么试剂(如氧化铝粉或研磨膏等),哪一种试剂抛出来的试样表面较好?大家有什么好的建议?

  • 氩离子抛光制样——检测服务

    氩离子抛光制样——检测服务

    原理:氩离子切割技术是一种利用宽离子束(〜1mm)来切割样品,以获得宽阔而精确的电子显微分析区域的样品表面制备技术。一个坚固的挡板遮挡住样品的非目标区域,有效的遮蔽了下半部分的离子束,创造出一个侧切割平面,去除样品表面的一层薄膜。氩离子抛光技术是对样品表面进行抛光,去除损伤层,从而得到高质量样品,用于在 SEM,光镜或者扫描探针显微镜上进行成像、EDS、EBSD、CL、EBIC 或其它分析。氩离子抛光技术是扫描电镜、电子探针、俄歇电镜、EBSD分析等应用领域性创新发明。机械研磨抛光技术与氩离子束抛光技术的比较: 机械研磨抛光 vs 离子束抛光 ×有限的硬,固体样品 P适合各类样品 o硬度较大金属材料 o软硬金属材料皆可 o硅和玻璃 o同一样品含软硬不同材料 o半导体(铝/宽/高k电介质 o多孔材料 o矿物质(干) o湿或油性样品:油页岩 o有机物data:image/png;base64,iVBORw0KGgoAAAANSUhEUgAAAAEAAAABCAYAAAAfFcSJAAAAAXNSR0IArs4c6QAAAARnQU1BAACxjwv8YQUAAAAJcEhZcwAADsQAAA7EAZUrDhsAAAANSURBVBhXYzh8+PB/AAffA0nNPuCLAAAAAElFTkSuQmCChttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/01/201701191701_669521_3156028_3.png氩离子抛光/切割的优点http://www.gmatg.com/vr/zbjy888/Resources/userfiles/images/20140215_220137.jpg机械抛光的缺点相比较下氩离子抛光的优点:(1)对由硬材料和软材料组成的复合材料样品, 能够很精细地制作软硬接合部的截面, 而使用传统方法制样是很困难的。(2)比FIB方法的抛光面积更大(~1mm以上)。氩离子切割抛光制样具体应用领域有: EBSD样品 光伏、半导体 金属(氧化物,合金) 陶瓷 地质样品、油页岩 高分子、聚合物 CLEBSD制样最有效的方法------氩离子截面抛光仪随着电子背散射技术(EBSD)的日益广泛应用,EBSD样品制备的新技术、新设备也相继出现。样品制备技术也由传统的机械-化学综合抛光,电解抛光丰富到FIB,以及目前广泛应用的氩离子截面抛光仪。传统的机械抛光不能有效去除样品表面的变形层,即使经过反复的研磨,也会出现再次变形的可能,即伴随着消除严重变形层又有形成新的变形层的可能,而且机械抛光的同时还会造成对样品的表面划痕与损伤,大大影响了EBSD试样的效果。电解抛光是靠电化学的作用使试样磨面平整、光洁,一般处理大批量的EBSD试样首选电解抛光。电解抛光可以非常有效的去除表面的氧化层和应力层。不同材质电解抛光工艺不同,需要摸索合适的抛光剂,原始的抛光剂可

  • 【讨论】业内人士称用豆油抛光大米成潜规则

    李德寿1993年开始从事粮食收购加工贸易,如今是随州粮食行业协会副会长、广水市粮食行业协会会长。昨日,他给本报“我给两会捎个信”栏目写来长信,揭露他所看到的食品加工与安全现状,他在信中痛心地说,食品安全已经到了不得不治的地步了。[b]  ●用植物油抛光大米已成“潜规则”[/b]  李德寿直接从事大米销售。他介绍,从随州销售到武汉的大米,几乎都要经过豆油抛光工序,对人体产生危害。他说,抛光可去除米粒表层的糠粉,适当抛光能使外观效果好,对人体无害。“但不法厂商在抛光时添加豆油,已经成了行业潜规则。”他介绍,100斤大米,通常要添加250克豆油,他在武汉看到的大米,全部都经过油料抛光。  他说,采用豆油进行抛光的劣质大米,米中的油脂很容易酸败,对肠胃等人体器官会造成损害,对骨质亦有影响。甚至一些黑心商贩会使用便宜有毒的工业用油抛光大米,轻则影响人的消化系统和神经系统,重则危及生命。[b]  ●50公斤的面粉掺100克工业漂白粉[/b]  李德寿说,面粉里掺杂工业漂白粉也已成惯例。他在随州所见的企业,50公斤的面粉会掺100克工业漂白粉;这种漂白粉对胃肠道粘膜有刺激侵蚀作用,对人的肝脏、肾和血液系统都有影响。  他还提到,猪饲料中加入未经科学检验的微量元素、激素和土霉素药片,用霉变的油菜籽或花生榨油等现象也很普遍。  李德寿总结道,从事食品加工行业十几年,触目惊心的事实让他觉得有必要站出来讲出真相。他建议政府应该建立公共的监督平台,重奖举报危害食品安全的行为,保护举报人。摘自[color=#cc0000]-武汉晚报 [/color]

  • 电气比例阀采用外置传感器和PID控制器实现化学机械抛光超高精度压力控制的解决方案

    电气比例阀采用外置传感器和PID控制器实现化学机械抛光超高精度压力控制的解决方案

    [color=#990000]摘要:为大幅度提高现有CMP工艺设备中压力控制的稳定性,在现有电气比例阀这种单回路PID压力调节技术的基础上,本文提出了升级改造方案,即采用串级控制法(双回路PID控制,也称级联控制),通过在现有电气比例阀回路中增加更高精度的压力传感器和PID控制器,可以将研磨抛光压力的稳定性提高一个数量级,从1~2%的稳定性提升到0.1~0.2%。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align] [size=18px][color=#990000][b]一、问题的提出[/b][/color][/size]在半导体制造过程中,化学机械抛光(CMP)是在半导体晶片上产生光滑、平坦表面的关键工艺。CMP工艺中的压力控制是决定最终产品质量的关键因素。如果压力过高,会损坏半导体材料;如果压力太低,会导致表面不平整。CMP系统中需要配置专用的压力调节装置,以确保压力保持在安全范围内。通过将压力保持在安全范围内,压力调节装置有助于确保半导体晶片在CMP过程中不被损坏。目前的CMP系统中普遍采用电气比例阀作为压力调节器,其典型结构如图1所示。在CMP中采用比例阀来控制抛光过程中施加在晶圆上的压力。由于比例阀是电子控制和压力值的模拟信号输出,因此可以通过控制系统(如PLC)对其进行动态编程和压力监控,这意味可以根据被抛光的特定晶片准确改变施加的压力。此外,由于电气比例阀作为压力调节器是一个闭环控制,即使在下游压力发生变化期间,施加在抛光垫上的压力也会保持不变,由此实现压力的自动调节。[align=center][img=常规研磨机电气比例阀压力控制系统结构,600,280]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209150917534790_1434_3221506_3.png!w690x322.jpg[/img][/align][align=center]图1 常规CMP系统中电气比例阀压力控制装置结构示意图[/align]在一些CMP工艺的实际应用中,要求抛光压力具有很高的稳定性,图1所示的常规压力调节装置则无法满足使用要求,这主要体现在以下几方面的不足:(1)电气比例阀的整体控制精度明显不足,其整体精度(包含线性度、迟滞和重复性)往往在1~2%范围内。这种精度水平主要受集成在比例阀内的压力传感器、高速电磁阀和PID控制器性能和体积等因素制约,而且进一步提高的空间非常有限。(2)电气比例阀安装位置与气缸有一定的距离,由此造成比例阀所检测到的压力值并不是气缸的真实压力,而且比例阀处压力与气缸压力之间有一定的时间滞后。为解决上述存在的问题,进一步提高现有CMP工艺设备中压力控制的稳定性,在现有电气比例阀这种单回路PID压力调节技术的基础上,本文将提出升级改造方案,即采用串级控制法(双回路PID控制,也称级联控制),通过在电气比例阀回路中增加更高精度的压力传感器和PID控制器,可以将研磨抛光压力的稳定性提高一个数量级,从1~2%的稳定性提升到0.1~0.2%。[size=18px][color=#990000][b]二、CMP设备压力控制的串级PID控制方案[/b][/color][/size]在传统的CMP设备压力调节过程中,采用电气比例阀进行压力调节的稳定性完全受集成在比例阀内的压力传感器、高速电磁阀和PID控制器性能和体积等因素制约。为了提高压力控制的稳定性,并充分发挥电气比例阀的自身优势,我们采用了一种串级控制技术,即在作为第一回路的电气比例阀中增加第二控制回路,其中第二控制回路由更高精度的压力传感器和PID控制器构成。串级PID控制方案的整体结构如图2所示。[align=center][img=03.超高精密研磨机电气比例阀压力串级控制系统结构,600,333]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/09/202209150918245058_1534_3221506_3.png!w690x384.jpg[/img][/align][align=center]图2 串级控制法CMP系统压力控制装置结构示意图[/align]在图2所示的串级控制法压力调节装置中,安装了一个外置压力传感器用于直接监测气缸内的气压,压力传感器检测到的气缸压力信号传输给外置的PID控制器,外置PID控制器根据设定值或设定程序将控制信号传送给电气比例阀,比例阀根据此控制信号再经其内部PID控制器来调节高速电磁阀的动作,使得电气比例阀输出到气缸的气体气压与设定值始终保持一致。从上述串级控制过程可以看出,串级控制是一个双控制回路,是两个独立的PID控制回路,电气比例阀起到的是一个执行器的作用。串级控制法(也称级联控制法)是一种有效提升控制精度的传统方法,但在具体实施过程中,需要满足的条件是:[color=#990000]第二回路的传感器和PID控制器(这里是外置压力传感器和PID控制器)精度一般要比第一回路的传感器(这里是电气比例阀内置的压力传感器和PID控制器)要高。[/color]为了实现更高稳定性的CMP系统压力控制,我们推荐的实施方案是采用0.05%精度的外置压力传感器和超高精度PID控制器(技术指标为24位ADC、16位DAC和双浮点运算的0.01%最小输出百分比)。此实施方案我们已经进行过大量考核试验,压力稳定性可以轻松达到0.1%。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]

  • EBSD制样最有效的方法------氩离子截面抛光仪

    EBSD制样最有效的方法------氩离子截面抛光仪

    EBSD制样最有效的方法------氩离子截面抛光仪 电子背散射衍射(EBSD)技术出现于20世纪80年代末,经过十多年的发展已成为显微组织与晶体学分析相结合的一种新的图像分析技术。因其成像依赖于晶体的取向,故也称其为取向成像显微术 。从一张取向成像的组织形貌图中,不仅能获得晶粒、亚晶粒和相的形状、尺寸及分布的信息,而且还可以获得晶体结构、晶粒取向相邻晶粒取向差等晶体学信息,可以方便的利用极图、反极图和取向分布函数显示晶粒的取向及其分布。 背散射电子只发生在试样表层几十个纳米的深度范围,所以试样表面的残余应变层(或称变形层、扰乱层)、氧化膜以及腐蚀坑等缺陷都会影响甚至完全抑制EBSD 的发生,因此试样表面的制备质量很大程度上决定着EBSD的质量。与一般的金相试样相比,一个合格的EBSD样品,要求试样表面无应力层、无氧化层、无连续的腐蚀坑、表面起伏不能过大、表面清洁无污染 。我国自上海宝钢率先引进第一台EBSD至今,国内其它一些钢铁公司、科研院所和大学都相继购置了该设备。到目前为止EBSD设备已将近70台,该设备的总量已经达到一定规模,但其中一大部分并没有完全发挥其应有的功能,究其原因主要是EBSD的图像分析不但需要有很深的晶体学造诣,而且 EBSD对样品的要求很高,初学者很难在短时间内掌握其制样工艺。 随着电子背散射技术(EBSD)的日益广泛应用,EBSD样品制备的新技术、新设备也相继出现。样品制备技术也由传统的机械-化学综合抛光,电解抛光丰富到FIB,以及目前广泛应用的氩离子截面抛光仪。 传统的机械抛光不能有效去除样品表面的变形层,即使经过反复的研磨,也会出现再次变形的可能,即伴随着消除严重变形层又有形成新的变形层的可能,而且机械抛光的同时还会造成对样品的表面划痕与损伤,大大影响了EBSD试样的效果。 电解抛光是靠电化学的作用使试样磨面平整、光洁,一般处理大批量的EBSD试样首选电解抛光。电解抛光可以非常有效的去除表面的氧化层和应力层。不同材质电解抛光工艺不同,需要摸索合适的抛光剂,原始的抛光剂可以在文献和一些工具书中找到,然后需要进行大量的试验,才能找到理想的抛光参数(如:试剂配方、抛光时间、温度等)。摸索出合适的工艺参数后,通过电解抛光可以制备理想的EBSD样品,因其工作量大且成功率很难掌握。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2014/04/201404171500_496465_2498941_3.jpghttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2014/04/201404171500_496466_2498941_3.jpghttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2014/04/201404171500_496467_2498941_3.jpg 上面三个图像:20 kV 条件下得到的碳化钨/钴样品的 EBSD 结果,其中的钴没有发生 FCC 到 HCP 的相变。 试样用Ilion II在1 kV的条件下进行抛光。照片由英国曼切斯特大学 A Gholinia博士提供。 新一代氩离子截面抛光仪(Ilion697 II)是一个用于样品的截面制备及平面抛光的桌面型制样设备,抛光面与机械研磨不同,呈微细镜面,不会有划伤、扭曲变形、凹凸不平、研磨颗粒嵌入样品内部、脱层、孔隙结构填堵等现象,加工的样品反映材料的真实组织结构。 新一代的氩离子截面抛光仪,具有操作便捷(触摸屏控制,配方操作,马达驱动离子枪),抛光过程随时观察,与FIB装置相比,速度更快,扩大了加工面积,且体积小,衬度高,价格便宜等特点,由于经过氩离子截面抛光后样品的菊池花样清晰,EBSD分析更加容易。 以上内容摘自中国电镜网!

  • 【讨论】关于电化学抛光铂电极的方法

    做电化学聚合有一段时间了,但是总是不能得到很好质量的样品。感觉是电极表面不够平整造成的,于是想起抛光,不过机械抛光是达不到要求的。听说可以用电化学抛光来做,翻资料、上网去查,终于查到一些,但是只是只言片语很难有个全面的了解。下面是查到的一段叙述:[color=red]电极制备和处理:Pt电极和GC电极分别用6#砂纸、5、1至0.3 m的Al2O3研磨粉抛光,并经超声波清洗后备用。Pt电极在0.1mol∙ L-1 H2SO4溶液中于-0.27~1.25V(vs SCE)电位区间以0.1V∙ s-1速率扫描进行电化学清洁表面,直至获得稳定的循环伏安曲线。[/color]但是我想用Ag/AgCl参比电极代替甘汞电极,不知道大家有没有这方面的经验?

  • 【讨论】预磨机、磨抛机、抛光机区别

    如题,厂家总会死出一系列选择让你选,可是这里我想问问,预磨机、磨抛机、抛光机到底有什么区别。据我所知磨抛机换抛光布或砂纸即可抛光又可磨样,可是看看预磨机也没什么区别呀,是不是也可以这样用呢?大家有什么想法或实践请给小妹指点一二,谢谢啦!

  • 【分享】如何去除双面研磨机工件上面的斑点

    工件出现了麻点或者是斑点,主要是指在采用单轨迹的研磨抛光(双面研磨机)工艺中或者是采用传统的加工方法,由于某些原因,使得空间的粉尘、粗大颗粒的磨粒、杂质以及微屑等异物粘在了被加工工件的表面之上。 工件出现了麻点或者是斑点,主要是指在采用单轨迹的研磨抛光(双面研磨机)工艺中或者是采用传统的加工方法,由于某些原因,使得空间的粉尘、粗大颗粒的磨粒、杂质以及微屑等异物粘在了被加工工件的表面之上。所以造成了工件上出现斑点。 在研磨抛光力的作用之下而造成了工件的表面之上出现了一些微小凹坑,由于所使用的抛光液不断的加入工件研磨,使得凹坑的边缘在不断的被磨损,最后使得此微小的凹坑会不断的增大加深,和扩大,最终使得造成了斑点的出现,另一种针孔是和斑点箱类似的,这是由于工件的原材料的组织较为疏松或是经过非真空的提炼而成,在工件的组织中出现了气孔,此后经过加工使得针孔突显出来,这种缺陷一般是很难在研磨加工中消除的,即使看不出,但是实际上也是存在的。 工件出现这种瑕疵,使用现代工艺的双面抛光机来实现就可以达到完全消除这种瑕疵,这种瑕疵消除的原理在于采用抛光可以到达最理想的效果。 针对一些小而浅的针孔问题,双面面抛光机在通过长时间的抛光之后是可以完全消除的,如果是使用传统加工去除所花费的时间是很长的,采用深圳研容科技双面面抛光机去除真的针孔问题是可以完全做到的,并且效率高,所花费的时间相对而言要短很多。 针孔的会出现不是由于在加工中的不足而产生的,它的出现代表着这种材质本身的不合格,深圳研容科技提醒您:对于要达到镜面效果的工艺而言,是不允许出现有针孔这样的缺陷的,否则无法达到工件的镜面效果。本文转载:横向减薄机www.szyanrong.cn

  • 金相抛光方法

    目的为去除金相磨面上因细磨而留下的磨痕,使之成为光滑、无痕的镜面。金相试样的抛光可分为机械抛光、电解抛光、化学抛光三类。机械抛光简便易行,应用较广。   (1)机械抛光   机械抛光是在专用的抛光机上进行的,抛光机主要是由电动机和抛光圆盘(Ф200~300mm)组成,抛光盘转速为200~600r/min以上。抛光盘上铺以细帆布、呢绒、丝绸等。抛光时在抛光盘上不断滴注抛光液。抛光液通常采用Al2O3、MgO或Cr2O3等细粉末(粒度约为0.3~1μm)在水中的悬浮液。机械抛光就是靠极细的抛光粉末与磨面间产生相对磨削和液压作用来消除磨痕的。 操作时将试样磨面均匀地压在旋转的抛光盘上,并沿盘的边缘到中心不断作径向往复运动。抛光时间一般为3~5min。抛光后的试样,其磨面应光亮无痕,且石墨或夹杂物等不应抛掉或有曳尾现象。这时,试样先用清水冲诜 ,再用无水酒精清洗磨面,最后用吹风机吹干。   (2)电解抛光   电解抛光是利用阳极腐蚀法使试样表面变得平滑光高的一种方法。将试样浸入电解液中作阳极,用铝片或不锈钢片作阴极,使试样与阴极之间保持一定距离(20~30mm),接通直流电源。当电流密度足够时,试样磨面即由于电化学作用而发生选择性溶解,从而获得光滑平整的表面。这种方法的优点是速度快,只产生纯化学的溶解作用而无机械力的影响,因此,可避免在机械抛光时可能引起的表层金属的塑性变形,从而能更确切地显示真实的金相组织。但电解抛光操作时工艺规程不易控制。   (3)化学抛光   化学抛光的实质与电解抛光相类似,也是一个表层溶解过程。它是一种将化学试剂涂在试样表面上约几秒至几分钟,依靠化学腐蚀作用使表面发生选择性溶解,从而得到光滑平整的表面的方法。

  • 近红外光谱仪器的光栅分光系统

    [font=宋体]光栅作为分光器件的[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱仪[/color][/url]器所占比例很大,由于使用全息光栅,[/font][font=宋体][font=宋体]使光栅的质量大大提高,没有鬼线,杂散光很低,使光栅分光系统的光学性能有很大的提高。其中一种光栅分光系统采用精密波长编码技术的扫描技术,通过精密控制光栅的转动实现单色光的获取,如图[/font][font=Times New Roman]2-4[/font][font=宋体]所示;另一种技术路线是采用固定凹面光栅的同时配上多通道检测器,如图[/font][font=Times New Roman]2-5[/font][font=宋体]所示,检测器的不同通道单元接收不同波长的单色光,该方式改变了光谱扫描的方式,光谱读取的速度大大提高。上述两种光栅分光光谱仪器价格适中,对[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/1p][color=#3333ff]近红外光谱[/color][/url]技术的普及与推广起很大作用。其中采用阵列检测器的光栅光谱仪因为没有任何移动部件,一般认为仪器的稳固程度较高,非常适宜用于在线系统。[/font][/font][align=center][img=,228,183]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/06/202406251642251485_5277_4070220_3.png!w397x413.jpg[/img][font=宋体] [/font][img=,229,183]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2024/06/202406251642298588_3148_4070220_3.png!w491x346.jpg[/img][/align][align=center][font=宋体][font=宋体]图[/font][font=Times New Roman]2-4[/font][font=宋体]光栅扫描型分光系统示意图图[/font][font=Times New Roman]2-5[/font][font=宋体]固定光栅[/font][/font][font='Times New Roman']—[/font][font=宋体]多通道传感分光系统示意图[/font][/align]

  • 显微磨针仪优势特点

    [url=http://www.f-lab.cn/micropipette-grinders/eg-401.html][b]显微磨针仪EG-401[/b][/url]是[b]研磨微量注射针[/b]的[b]微针研磨器,显微磨针仪EG-401[/b]能够对[b]玻璃微针[/b]进行任意倾斜角度的切割抛光研磨,是微注射的理想工具。[b][url=http://www.f-lab.cn/micropipette-grinders/eg-401.html]显微磨针仪EG-401[/url]特点[/b]是Narishige公司的专利产品,装配有显微镜精确观察微量吸管或微量针管与研磨面的接触情况,从而精确控制微针研磨质量。通常用于斜切玻璃微毛细管显微注射针,锋利针具和各种针头,也可以用于任何的精抛光操作应用。具有稳定的变速电机旋转“磨刀石”研磨盘,进行快速研磨或超精密抛光。包括一个z轴显微操作器,一个提供连续的润滑的滴水器,和一台监控研磨进程显微镜,能够全程有效监控研磨过程,提高磨针效率和质量。[img=显微磨针仪]http://www.f-lab.cn/Upload/EG-401-micropipette.JPG[/img]

  • 做金相如何选择抛光剂和抛光布?

    我们实验室抛光剂就是氧化铝,抛光布一种红色的,一种黑色的,请问这有什么区别哦,问了只是说黑的适合磨铝合金,红的适合磨其他硬的金属,还有这个腐蚀剂应该怎么选,比如 NiV AlCu AlCr AlNd 这些合金应该用什么抛光布抛光剂,腐蚀剂,砂纸用是不是必须#01到#10,中间跳过几号会不会影响效果?

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