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精密阻尼隔振平台

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精密阻尼隔振平台相关的资讯

  • 【定制产品】上海百若——阻尼器疲劳试验台PLW
    p style="text-align: center "/pp style="text-align: center"img style="width: 335px height: 500px " src="http://img1.17img.cn/17img/images/201710/insimg/3c79e2a4-8698-4355-bfa0-58a9e6aa4a50.jpg" title="0.jpg" height="500" hspace="0" border="0" vspace="0" width="335"//pp style="text-align: center "strong阻尼器疲劳试验台PLW/strongbr//pp strong 1.生产厂商/strong/pp  上海百若试验仪器有限公司/pp  strong2.采购单位/strong/pp  成都博瑞精信科技有限公司/pp  strong3.主要功能/strong/pp  阻尼器、助力器耐久性能测试 /pp  加载波形正弦运动规律,编程循环嵌套不低于3层 /pp  对阻尼器、助力器进行力——位移功量图绘制,力——位移——时间曲线图绘制 /pp  产品具有轴向疲劳加载、侧向同时加载的功能 /pp  strong4.产品技术特点/strong/pp  1) 采用高集成度、强大的控制、数据处理能力、高可靠性控制测量系统。/pp  2) 采用基于神经元自适应PID算法的全数字、三闭环(力、变形、位移)控制系统,实现力、变形、位移全数字三闭环控制,各控制环间可自动切换,并在各方式间切换时实现无冲击平滑过渡。/pp  3) 可进行定位移、定速度、定应变、定应变速率、定负荷、定负荷速率等多闭环控制模式。/pp  4) 高精准24Bit数据采集系统,高分辨率,可扩展至8路AD采集。/pp  5) 试验过程中实时显示滞回环曲线。/pp  6) 试验过程中显示负荷、位移峰值谷值变化情况。/pp  7) 试验过程中显示动态波形加载曲线。/pp  8) 加载波形具有多层循环嵌套,且不低于3层。/pp  strong5.产品技术参数/strong/pp  最大试验力:动态± 60kkN /pp  负荷示值准确度:± 1% /pp  加载频率:0.01-50Hz /pp  振幅:4.3Hz时± 6.5mm /pp  横向力:2000N/pp strong 6.产品应用介绍/strong/pp  产品主要应用于阻尼器、助力器的动刚度测试,在进行动态加载时设备具有恒定侧向负载的加载能力,以模拟阻尼器实际工况,并按阻尼器轴向受力情况进行模拟,正弦波加载,按照一定的规律进行循环内置3层以上的嵌套循环控制。控制功能上并增加按照阻尼器的运动谱模拟控制功能。产品采用伺服电机油源进行疲劳动力加载,有效地降低能耗及噪音。在设备工作时,根据试验要求,系统会根据设定的频率和振幅,自动耦合电机转速,输出合适的流量,不产生多余的流量,系统不发热。转速低,噪音也低。作动器采用液压静压轴承油膜密封方式进行密封,活塞杆由高压油膜支撑,可以承受一定的侧向力,保证了伺服作动缸的高动态性和高寿命等特性。这种无粘阻现象的特性可以在高动态下确保对试样实施高灵敏的轴向力控制以及试验所需直线运动的高精度位移控制。中文软件界面,符合客户的操作习惯。系统的高响应,低噪音,多循环嵌套控制运动谱,符合客户对这一领域试验的需求。/p
  • VarioBasic系列主动隔振台:为精密实验室量身定制的高性能稳定平台
    实验室中的精密仪器和敏感实验往往要求高度精确的测量与控制,微小的振动都可能对实验结果产生不可忽视的影响。因此,为什么主动隔振台会成为众多实验室不可或缺的设备,以下是几个关键原因:1. 保护精密仪器的精确度与稳定性精密科学仪器如显微镜、光谱仪、电子显微镜、原子力显微镜(AFM)及各类光学平台等,对振动极其敏感。即使是微小的地壳振动、人员走动或空调运行等日常因素引起的震动,都可能导致测量结果失真、图像模糊或数据采集错误。主动隔振台通过动态监测并抵消外界振动,为这些精密设备创造一个几乎“零振动”的工作环境,确保实验结果的准确性和可重复性。2. 提升实验研究的质量与效率在生命科学、纳米技术、材料科学等领域,很多实验需要长时间曝光、微观结构观察或进行精密测量。若无有效的隔振措施,持续的外部振动会显著增加实验失败率,延长实验周期。主动隔振台能够有效减少因振动导致的重做次数,提升实验效率,同时保障研究成果的高质量。3. 促进创新研究与复杂实验的开展随着科学研究的深入,越来越多的前沿实验要求在极端条件下进行,如量子计算、生物分子成像等,这些实验对环境的稳定性和纯净度提出了更高要求。主动隔振台不仅能隔离低频到高频的广泛振动范围,还能适应不同的负载和实验条件,为科学家探索未知领域提供稳定的技术支撑平台,推动科学进步。4. 保障研究人员的安全与健康在进行某些涉及危险物质或高压环境的实验时,任何意外的振动都可能引发安全问题。主动隔振台通过减少外部干扰,不仅保护了实验的顺利进行,也间接保障了实验室人员的安全健康,营造了一个更加安全可靠的研究环境。综上所述,主动隔振台作为现代实验室基础设施的重要组成部分,对于维护实验的精确性、促进科研效率、推动科技前沿探索以及保障实验室安全均具有非常重要的作用。在此茂默科学推荐VarioBasic系列主动隔振台。基础信息:Vario Basic 40尺寸:396x120x111mm 载重:0-300kg,0-600kg Vario Basic 60尺寸:636x130x111mm载重:0-300kg,0-600kgVario Basic 90尺寸:932x130x111mm载重:0-300kg,0-600kg主要特征: 相比于气囊式被动隔振台,主动隔振台没有低频共振,即使在低频范围内也有出色的隔振性能。 超快的稳定时间:低至0.3秒(普通被动隔振台的稳定时间为30秒至60秒)。 主动隔振台带宽0.6/1Hz至200Hz(远超被动隔振台)。 6个自由度主动隔振。 真正的主动隔振:即时产生反作用力来抵消振动。 操作简单-按钮式解决方案。 设计紧凑,安装简便。 高度的位置稳定性-1Hz时固有刚度通常是被动隔振台的20到30倍。 接电即可,无需压缩空气。 适用于将高分辨率测量设备与建筑振动隔离, 广泛的适用范围:拥有标准化产品和用户定制产品。茂默科学力求解决行业内客户对科学仪器选型难、维护难的处境。欲了解更多隔振台相关的产品,Welcome to consult~咨询有惊喜哦!
  • IMCE发布高温动态弹性模量和阻尼分析系统新品
    仪器简介:比利时IMCE公司是一家专业的测试弹性模量和阻尼内耗分析仪器的生产厂家, 仪器基于共振频率动态测量方法, 应用完全非破坏性测试技术, 适用于陶瓷及金属等多种材料的生产(质量控制)及科学研究领域, IMCE公司是目前世界上唯一能在1750C高温和气氛控制条件下, 利用目前最先进的软件评估及研究, 精确测定共振频率、弹性模量、剪切模量和阻尼内耗等相关技术指标。 公司主要产品有:1、弹性模量和阻尼内耗分析仪 型号:RFDA MF Professional 2、高温炉: 型号:RFDA-HT1700 型号:RFDA-HTVP1700C 型号:RFDA-HTVP1600 HT1600, HT650. HT1050 3、软件 型号:RFDA MF Software 在中科院沈阳金属研究所高性能陶瓷与复合材料重点实验室及测试中心有该公司2套先进的高温测试系统。 技术参数:1、共振频率。 10Hz ~ 130KHz2、阻尼或内耗(10ˉ5-----0.1) 3、弹性模量 4、剪切模量 5、泊松比率 6、温度:室温--1750C。 7、气氛控制8,真空系统,激光检测主要特点:1、动态法测试(线性或非线性) 2、样品完全非破坏性测试符合ASTM-E-1876-99方法创新点:双样品高温弹性模量仪HT1700,在原有HTVP1700基础上,简化结构,去掉真空组件,增加了双样品支座及测试系统;性能上除了不能做真空及密封外,其它指标同HTVP1700相同,并且可以在普通空气下实验,可以同时测试2个样品,设备体积减小,提高测试效率一倍,价格降低一半!目前世界上同类设备中温度最高,双样品结构独一无二!高温动态弹性模量和阻尼分析系统
  • 生活大爆炸之实验室仪器---TMC CleanTop光学隔振平台
    《生活大爆炸》是一部关于科学的美剧,已经在近日完结,相信很多人都看过。这部已经走过12年的情景喜剧算是为观众上奉上了一个相对满意的结局。剧中一群来自加州理工学院的宅男科学家,陪我们度过了无数个无聊的夜晚。 事实上,这部剧的确是有真正的科学家参与的。《生活大爆炸》的科学顾问大卫萨尔茨堡是加州大学洛杉矶分校的物理学教授,他一边进行教学研究工作,一边深入地参与到了剧集的创作中。编剧团队会提前一个月把剧本写好,将“科学的部分”留白,送到萨尔茨堡手里,让他填写科学相关的对话,插入科学梗。他也会改掉剧本中“不太科学”的台词和设定,保证呈现出来的内容是正确的。 小编在剧中还发现了我们常用的实验室仪器设备,比如TMC-CleanTop 光学隔振平台,忍不住为导演的严谨点赞,让我们感受到了科学无处不在的魅力! 》》TMC简介 TMC总部位于美国马萨诸塞州,成立于1969年,是专门生产振动隔离系统的厂家。TMC领导了世界振动隔离系统最先进的设计理念,至今仍保持多项专利技术。 TMC公司生产的精密地面隔振系统产品线非常丰富:从简单的桌面式隔振显微镜基台到任意尺寸的光学平台,到复杂的主动惯性隔振系统。 其最新专利发明包括:Everstill K-400,STACIS III,STACIS 2100, STACIS iX, SEM-Base, STACIS iX Stage-Base, STACIS iX LaserTable-Base, and Mag-NetX。TMC Clean Top隔振光学平台TMC CleanTop有三个性能级别:--784系列研究级光学平台--783系列科研级光学平台--781系列实验室级光学平台三个级别的阻尼性能比较:Research Grade: corner compliance data measures the displacement of the table in response to impact by a calibrated hammer. The lack of response below 300 Hz is indicative of extremely high damping and excellent overall structural performance. Compliance was measured on a 48 x 96 x 12 in. table.Scientific Grade: corner compliance data shows higher peak compliance value than the Research Grade. Compliance was measured on a 48 x 96 x 12 in. table.Laboratory Grade: Corner compliance data shows higher amplification at the table' s resonant frequency. Compliance was measured on a 48 x 96 x 12 in. table.内部结构图:技术参数:Core: Steel honeycomb, closed cell, 0.01 in. (0.2 mm) thick foilCore shear modulus: 275,000 PSI (19300 kg/cm2)Core cell size: 0.5 in.2 (3 cm2)Core density: 13.3 lb/ft3 (230 kg/m3)Flatness: +/-0.005 in. (0.13 mm) within entire tapped hole pattern, regardless of table size | +/- 0.004 in. (0.1 mm) over a 2 x 2 ft (60 x 60 cm) areaTop skin: 400 series 3/16 in. (5 mm) thick ferromagnetic stainless steelSidewalls: Damped formed steel channel covered with vinylTapped holes: Backed by 1 in. (25 mm) long CleanTop nylon cups. Steel cups optional.应用案例:
  • 科研人员构建“分子阻塞”超分子机制高阻尼凝胶材料
    近年来,凝胶材料因其灵活可调的力学特性和丰富的功能,受到了各领域研究者的极大关注。然而,凝胶材料往往因溶剂的迁移而具有较低的稳定性,容易溶胀或干燥变形,已经成为制约凝胶材料深入应用的瓶颈难题。尽管已经开发了多种策略来提高凝胶的稳定性,然而,从热力学角度来看,如果凝胶中溶剂的含量偏离了聚合物的平衡溶胀状态,溶剂将不可避免的发生迁移。因此,若要准确控制凝胶中的溶剂含量,保持高稳定性,需要有效抑制溶剂迁移的动力学过程。基于“分子阻塞”超分子机制的有机凝胶构建思路。(论文课题组供图)机械互锁作用通过分子结构中的几何关系将不同的分子连接起来,这使得非共价连接的分子,能够保持稳定的聚集状态。西安交通大学化学学院“智能高分子”团队吴宥伸副教授和张彦峰教授,从机械互锁超分子原理中汲取灵感,提出了“分子阻塞”超分子机制,利用溶剂分子与交联网状结构之间的尺寸差异带来的阻滞,有效抑制溶剂在凝胶内的迁移。通过设计和合成分子尺寸超过1.4 nm的液态支链柠檬酸酯(branched citrate ester, BCE),并将这种大体积分子作为溶剂与交联聚脲原位聚合,制备获得系列新型“分子阻塞”凝胶。“分子阻塞”凝胶具有与普通聚合物或弹性体相媲美的卓越稳定性,可储存10个月而无任何形貌或力学性能改变,并能耐受高温烘烤,保持质量和性能的稳定。特别是“分子阻塞”凝胶的杨氏模量能够在1.3 GPa至30 kPa的大范围内连续调控,变化幅度达到创纪录的43000倍,有效覆盖了现有交联树脂、塑料、弹性体和凝胶的范围。同时,“分子阻塞”效应作为一种非共价耗散机制,赋予了凝胶材料独特的粘弹性力学特性,使其具有高阻尼,达到和超过了商业化的聚氨酯和聚脲材料。上述研究成果,近期发表于《先进材料》,西安交通大学化学学院为第一单位,西安交通大学生命学院为合作单位。论文第一作者为化学学院吴宥伸副教授,论文通讯作者为化学学院副院长张彦峰教授。这一研究受到了国家自然科学基金和西安交通大学分析测试中心的支持。
  • 国内首套超精密主动减振器面世:应用于高端电镜、量测/检测设备等
    7月10日,华中科技大学与光谷“明星”企业——武汉格蓝若智能技术股份有限公司签署成果转化合作协议,由后者出资8000万元,对华中科技大学陈学东院士团队超精密主动减振技术进行产业转化。据悉,陈学东院士团队20年磨一剑,创新性地研发了准零刚度、频变阻尼、协同控制等超精密主动减振核心技术,突破了降频率与保承载、减共振与抑高频、减振动与稳位姿三大技术矛盾,解决了高性能主动减振关键核心技术难题。先后荣获国家技术发明二等奖2次、国家科技进步二等奖1次。超精密主动减振器是高端制造装备、精密仪器设备的核心功能部件,是保证这些装备高精度超稳定运行的关键。产品应用于半导体高端制造设备、高精密机械加工车床、量测/检测设备、高端电子显微镜、科学仪器/设施、机载光电系统等领域。该产品不仅可以高效隔离外部振动,还通过实时采集振动信息,基于先进的控制策略生成多维振动控制信号,精准抑制各种内外部扰动导致的台体振动,实现被减振部件接近“绝对静止”的状态。与国外长期从事主动减振技术研发的企业相比,国内企业在该领域的技术积累较少,特别是超精密主动减振技术长期落后于国外企业。格蓝若和陈学东院士团队,一举突破了超精密主动减振器关键技术壁垒,打破国外垄断,实现国产自主可控。专门承载此技术成果的武汉格蓝若精密技术有限公司于6月25日正式挂牌成立,基于前期合作研发成果,公司推出超精密型、抗冲击型、适用真空型等20余款超精密主动减振器,减振支撑形式包括空气弹簧、金属弹簧、磁浮弹簧、复合弹簧等,可以满足从公斤级到数十吨级设备的高性能减振需求。在当日的活动上,格蓝若作为湖北省人形机器人整机技术攻关“链主”,还展示了人形机器人样机产品,该人形机器人主要面向劳动作业型场景,身高180cm,体重100kg,自由度31+2,移动速度>5km/h,负重能力>40kg,最大关节扭矩380Nm,具备高通用性、高机动性、高负载能力、具身智能等特点。
  • 一平台两中心,先进精密仪器创新平台来了!
    12月30日,LinkPark(滨河)产业社区及先进精密仪器共性技术研发及工程化创新服务平台启用仪式在杭州青山湖科技城隆重举行,杭州市人大常委会副主任、临安区委书记卢春强,市政府副市长柯吉欣,市政府党组成员、杭州城西科创产业集聚党工委副书记、管委会主任李玲,临安区区委常委、青山湖科技城党工委书记蔡萌等出席启用仪式,杭州市委组织部、市经信局、市科技局、临安区有关部门等领导一行参加活动。 为深入推进中国先进精密仪器产业发展,杭州谱育科技发展有限公司(聚光科技旗下自孵化子公司)携手杭州青山湖科技城,搭建“一平台两中心”——先进精密仪器共性技术研发及工程化创新服务平台、先进精密仪器创新中心、工程师协同创新中心,争取国家和省市资源,围绕产业链部署创新链,合力打造先进精密仪器全产业链的创新策源高地。先进精密仪器共性技术研发及工程化创新服务平台一平台两中心打通创新链 在仪器创新的研究、工程化、产业化链条上,工程化阶段成为创新链上的瓶颈和产业破局的关键,通过建设高水平、全链条的先进精密仪器共性技术研发及工程化创新服务平台,打通创新链、带动产业链,形成支撑仪器整机、核心零部件、试剂耗材、技术服务、高端专用仪器与系统五位一体的产业集群服务能力,打造“面向世界、引领未来、服务全国、带动全省”的先进精密仪器全产业链共性技术研发与工程化创新策源地。 带动产业链 先进精密仪器创新平台启用后,将加速区域内仪器技术创新研究成果的工程化、产业化进程,孵化培育一批生命科学、半导体、先进工业、新材料、食品药品、环境安全等领域的产业项目,加速集聚龙头企业,促进在杭州城西科创大走廊带动先进精密仪器产业集群,打造具备全球竞争力的中国“仪器谷”。 面向世界科技前沿,为我国科研院校与企业创新实验室,开发高端质谱、光学、色谱、电镜等科学仪器。 面向经济主战场,为我国新材料与先进制造业,开发高端智能品控、在线监测分析自动化系统。 面向国家重大需求,为半导体、先进工业等行业,解决“卡脖子”关键技术和高纯检测设备国产化。 面向人民生命健康,开发食药品检验、环境安全监测、生命科学分析与精准医学诊断先进解决方案。 五位一体:打造仪器整机、关键零配件、耗材与试剂、技术服务、高端专用系统集成五位一体的全产业链生态。
  • 中国科大在微波精密测量、海洋地震勘探和大气数值模拟方面取得新进展!
    近日,中国科学技术大学研究团队在微波精密测量、海洋地震勘探和大气数值模拟方面取得多项科技研发成果。基于里德堡原子的微波测量实现精密探测!中国科大郭光灿院士团队史保森、丁冬生课题组利用人工智能的方法,聚焦量子模拟和量子精密测量科学研究,实现了基于里德堡原子多频率微波的精密探测,相关成果日前发表于《自然-通讯》。具有较大电偶极矩的里德堡原子作为微波测量体系具有广泛应用前景,但多频率微波在原子中会引起复杂干涉模式,从而严重干扰信号接收与识别,这是基于里德堡原子的微波测量领域的诸多难题之一。因此,该成果对原子分子光物理学领域的研究具有重大意义,且该成果提出的是在不求解主方程的情况下有效探测多频率微波电场的方案,且在硬件上没有太高要求即可实现较高精度,为精密测量领域与神经网络交叉结合提供了重要参考,在通信、雷达探测等领域具有重要应用前景。高精度深水油气地震勘探数据采集装备成功应用于我国海洋地震勘探数据采集,打破了国际技术封锁和价格垄断!中国科学技术大学核探测与核电子学国家重点实验室曹平副教授团队,把在先进加速器、对撞机等大科学装置研究和建设上积累的先进的电子学测量技术和方法,应用于海洋石油勘探的重大国民经济领域,并与中海油田服务股份有限公司联合研发了高精度深水油气地震勘探数据采集装备。油气勘探是整个石油工业的基础和先导,关系着国民经济的发展和国家的战略安全。然而我国油气勘探,尤其是海洋油气勘探,所用的几乎全是进口装备,进口装备贵且在重要技术上对我国进行了限制,严重阻碍了我国勘探技术的发展。研究团队攻克了超长距离一体化精密采集传输、大覆盖范围多缆全局精确同步、可扩展的海量数据实时读出、水下电缆高可靠作业支撑等一系列关键核心技术难题,这套装备具备高密度采集、宽覆盖超长缆作业和可靠的海上作业等特点,可分辨相差1600万倍的信号,总探测覆盖面积达十几平方公里,精密采集通道规模达数万道,与国际水平相比,该装备的同步技术指标要高20倍,传输能力高1倍,下潜深度也突破了国外的沉放深度限制。新研发填补了国内外大气数值模拟的空白!中国科学技术大学科研团队基于新一代国产神威超算平台,研发了包含大气成分演变过程的全球高分辨率非静力平衡大气数值模式iAMAS,在大规模数据读写速度、并行计算效率、规模可扩展性、运行时效性等多个方面填补了国内外大气数值模拟的空白。
  • 海顿科克新应用-精密显微镜电动载片平台
    海顿科克直线传动是世界领先的直线运动产品制造商,公司最近发布了一个驱动精密显微镜窄片平台的应用,该工作平台移动的最小步长为15微米,最大推力为13N,在这个非常紧凑空间里的实现传动要求,无疑这是一个完美的机械结构,在精密的微流体或者光学仪器中经常会有这种需求。这个结构大约有22MM宽,25.2MM高,其行程最大可以达到64MM。 一个轻型的经过阳极氧化的铝合金型材做成的底座,底座两端分别安装有螺杆衬套和电机安装支架,整个结构的核心是海顿15000系列的永磁式直线步进电机,该电机已经成功应用在几千种结构应用中,该电机不需要复杂的控制设备,只需要简单的速度脉冲和方向信号。 整个结构的移动滑块是用带有自润滑效果的聚缩醛材料做成,滑块本身带有张紧弹簧,这能使滑块在运动过程中保证运动的精确性,滑块由2根涂有TFE涂层的直线滑轨做导向。滑块由KERK的螺杆驱动,螺杆由303不锈钢制成,并且由5种导程可选,分别是0.3MM,0.4MM,0.5MM,1.0MM,2.0MM,该螺杆一端固定在底座的螺杆衬套中,由于螺杆精密,所以当电机工作时,自然可以实现高精度的运动控制。 该电动载片平台结构还可以客户化定制,比如客户特定的底座,不同的行程(最高可达64MM),传感器安装,客户化的布线等等,都可以根据客户要求定制。 更多信息请访问海顿直线电机(常州)有限公司网站http://www.haydonkerk.com.cn
  • 联公精密测量与东南大学联手实现科技仪器自主平台
    (从左到右分别为,联公精密测量联合创始人陈方,首席科学家马蒂亚斯,东南大学仪器科学与工程学宋爱国教授。)3月14日,为深入贯彻落实加强基础研究,实现高水平科技自立自强,建设世界科技强国的方针。《溅射技术在高精度力学传感器上的应用》技术研讨会在东南大学召开。此次技术研讨会校企合作,协同创新,实现科技仪器设备的自主可控搭建平台。由东南大学机器人传感与控制技术研究所、中国仪器仪表学会力触觉感知与交互专业委员会与IEEE机器人与自动化学会南京分会主办,联公精密测量技术(合肥)有限公司协办。在研讨会上,联公精密测量有限公司的首席科学家,马蒂亚斯与联公精密测量联合创始人陈方先生首先介绍了当前德国同行在力学传感器制造领域相对成熟的技术,东南大学首席教授宋爱国随后介绍了团队在力反馈应用技术当中所作出的进展。中国航天科技44所与江苏省计量院的专家们同时参与了会议。2022年国金证券的一份调研报告指出,中国科学仪器市场的国产化率只有5%。而现在更加火热的半导体设备的国产化率是18%。科学仪器属于国产替代难度系数最高的领域之一,业内普遍认为需要5-10年的攻克时间,而科学仪器的高端市场更是完全被外资品牌垄断,形势非常严峻,而其“卡脖子“的难点在于仪器核心的传感器以及配合高端传感器的经验算法。东南大学与联公精密测量有限公司未来会携手将一种新型的溅射技术引用到力学传感器的制造工艺当中,此项尝试可以非常有效地降低传感器使用的环境要求,对高低温,真空高压,高辐射,潮湿腐蚀等恶劣环境,针对当前的航天领域,半导体制造领域有着至关重要的作用,可以有效的避免核心零部件频繁替换所带来的不利影响。同时,联公还即将突破高精度实验室称重仪器的完全国产化。据不完全统计,从2020年开始,在中国工业市场,国产替代的旺盛已逐渐体现,而企业与高校同心协力,发挥各自的优势,可早日实现用我国自主的研究平台、仪器设备来解决重大基础研究问题的需求。
  • 1688万!北京理工大学超精密低噪声测试平台系统、场发射环境扫描电子显微镜等采购项目
    一、项目基本情况1.项目编号:CFTC-BJ01-2311044项目名称:北京理工大学超精密低噪声测试平台系统采购预算金额:490.000000 万元(人民币)采购需求:采购标的用途数量是否接受进口产品投标简要技术参数或要求描述超精密低噪声测试平台系统用于教学及科研1套是详见招标文件第四章“货物需求一览表及技术规格”合同履行期限:签订合同之日起至质保期结束。本项目( 不接受 )联合体投标。2.项目编号:CFTC-BJ01-2311043项目名称:北京理工大学低温、强磁场、高压显微红外测试系统采购预算金额:306.000000 万元(人民币)采购需求:采购标的用途数量是否接受进口产品投标简要技术参数或要求描述低温、强磁场、高压显微红外测试系统用于教学及科研1套是详见招标文件第四章“货物需求一览表及技术规格”合同履行期限:签订合同之日起至质保期结束。本项目( 不接受 )联合体投标。3.项目编号:GXTC-A1-23630980项目名称:北京理工大学场发射环境扫描电子显微镜采购预算金额:462.000000 万元(人民币)最高限价(如有):462.000000 万元(人民币)采购需求:序号货物名称主要规格单位数量交货时间交货地点是否接受进口产品投标1北京理工大学场发射环境扫描电子显微镜采购详见附件套1签订合同之日起10个月内货到采购人指定地点并安装调试验收完毕北京理工大学西山实验区是合同履行期限:签订合同之日起10个月内货到采购人指定地点并安装调试验收完毕 。本项目( 不接受 )联合体投标。4.项目编号:CFTC-BJO1-2311045项目名称:北京理工大学红外焦平面探测器综合测试与成像设备采购预算金额:430.000000 万元(人民币)采购需求:采购标的用途数量是否接受进口产品投标简要技术参数或要求描述红外焦平面探测器综合测试与成像设备教学及科研1套是详见招标文件第四章“货物需求一览表及技术规格”合同履行期限:签订合同之日起至质保期结束。本项目( 不接受 )联合体投标。二、获取招标文件时间:2023年12月04日 至 2023年12月11日,每天上午8:30至12:00,下午12:00至16:30。(北京时间,法定节假日除外)地点:北京市朝阳区东三环南路甲52号顺迈金钻国际商务中心9层9C方式:现场获取售价:¥500.0 元,本公告包含的招标文件售价总和三、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。1.采购人信息名 称:北京理工大学     地址:北京市海淀区中关村南大街5号        联系方式:陈老师010-68912384       2.采购代理机构信息名 称:国金招标有限公司            地 址:北京市朝阳区东三环南路甲52号顺迈金钻国际商务中心9层9C            联系方式:杨振豪、刘晓红、孙涛、王树凡、张含勇、王珊珊、边璐、谢丹丹010-53681306/1309(获取采购文件电话:010-53670136)            3.项目联系方式项目联系人:杨振豪、刘晓红、孙涛、王树凡、张含勇、王珊珊、边璐、谢丹丹电 话:  010-53681306/1309(获取采购文件电话:010-53670136)
  • 日本地震对我国精密测量和计量产生影响
    中国计量科学研究院专家接受本报记者采访时表示:日本地震对我国精密测量和计量产生影响  3月11日,日本东北地区发生9.0级强烈地震。中国计量科学研究院力学与声学研究所振动冲击研究室的副研究员蔡晨光在接受本报记者采访时表示,如此强度的大地震,对我国精密测量和计量将带来一些影响。  蔡晨光所在的振动冲击研究室是从事振动、冲击、转速3个计量专业的实验室。振动冲击转速计量是涉及多学科的动态测量技术,它广泛应用于机械制造、车辆船舶、航空航天地球物理、地质物探等众多科研和工程领域,在国民经济建设中发挥着十分重要的作用。蔡晨光说,日本地震对精密测量和计量的影响,从时间上可以分为两个阶段:第一个阶段是地震和余震持续发生时 第二个阶段是震后地质稳定周期。  这次日本地震的震级达到了9.0级,释放的能量较大,其低频振动分量传递较远,对我国高精密计量仪器有显著的影响。  据了解,高精密测量和计量仪器对环境振动的要求极高。美国环境科学和技术研究院经过大量的理论和实验研究推荐:微米级的测量要求1~100赫兹频带内的环境振动控制在12.5微米/秒以下(VC-C级),否则无法保证精密测量的测量精度。例如,1000倍的精密显微镜,要想保证其测量精度,必须对环境振动进行严格控制,否则就会出现丢失像素,甚至丢失整帧图像的问题 而对于测量精度更高的扫描电子显微镜和透射电子显微镜,则要求环境振动控制在VC-D级(即1~100赫兹频带内的环境振动控制在6微米/秒以下) 对于纳米级的精密测量,例如半导体线宽、三磷酸腺苷及DNA测量,对环境振动的要求更高。美国国家标准和技术研究院(NIST)还针对纳米尺度的计量开展了大量研究,制定了纳米计量需要满足的环境振动标准。  据蔡晨光介绍,由于日本地震的影响,中国计量科学研究院的环境振动远远超出了精密计量所需要控制的量级。“虽然计量院昌平基地的一些精密实验室位于地下14米,可以隔离掉一部分地表传播的地震波,但是对于深度传播的低频地震波却无法进行有效衰减,致使高精密测量仪器无法正常工作。”他举例说,由于地震的影响,精密质量比较仪会长时间内无法稳定,致使高精度的质量量值无法传递和溯源 纳米尺度的精密测量仪器也会受影响而导致无法正常工作。  蔡晨光说,目前中国计量科学研究院昌平基地还没有建立起环境振动的实时监测系统,还无法实时、有效、准确地评估日本大地震这类偶发事件对高精度计量溯源系统的具体影响。“我国现在急需建立环境振动的实时监测系统。”  除了地震波给精密测量造成的直接影响外,在震后的地质稳定周期,精密测量和计量也会受到影响。据蔡晨光介绍,地震将会造成一定程度的地质运动,在震后需要长时间的稳定周期。例如由于地质的液化会造成地面倾斜,地面的倾斜角会在地质状况稳定过程中发生持续漂移变化,而地面倾斜角是精密导航系统中的一个关键参数,需要进行精确测量。  据介绍,在地质情况稳定状态下,地面倾斜角的累积变化量较小,不会对精密导航系统造成太大的初始误差。而当地震发生时,由于地质运动及地质液化造成的倾斜角偏移,将极大地改变当地的倾斜角,从而带来较大的初始误差。所以在地震发生后的很长一段时间内,都需要对倾斜角进行监测,从而保证导航测量的精准。  “在计量院昌平基地有很多精密隔振平台,这些平台上的很多测量系统对倾斜角都比较敏感。例如长度计量中,激光平台和被测平台可能在相邻两米的两个平台上,如果地面倾斜角发生0.001度的变化,垂直方向即会发生35 微米的位移变化,这么大的位移变化即使是微米级的测量都无法允许的,更不要说是纳米测量。”蔡晨光说,我国急需建立倾斜角测量系统和监测系统,来保障我国计量量值复现的准确性和可靠性。
  • 探秘引力波:科学实验中的 “运动” 与 “静止”
    辩证法中曾经讲过运动是永恒的,静止是相对的。科研实验中的运动与静止也是非常有意思的。2016年2月11日晚,美国激光干涉引力波天文台-LIGO通过观测两个黑洞的碰撞融合过程,宣布并证实了引力波的存在。这一发现了广义相对论实验验证后一块缺失的拼图,其意义之重大也可想而知。 图1 美国激光干涉引力波天文台-LIGO 引力波是什么?现代物理学认为,引力波是一种与电磁波不同的辐射,无法通过电磁辐射直接观测。引力波与宇宙中物质的相互作用是非常微弱的,因此可以传播至很远的宇宙空间。引力波是一种时空涟漪,如同石头被丢进水里产生的波纹一样。黑洞、中子星等天体在碰撞过程中有可能产生引力波。 简单来说,如果把肉眼和光学望远镜比喻成“看”,那么射电望远镜就像是“听”,而引力波就是“感知”。通过涟漪的波动,来反推出核心漩涡的信息。引力波探测是「开眼看」别的提升,使我们终于有能力去探测宇宙原始的“黑暗”。 自从1916年爱因斯坦基于广义相对论预言了引力波的存在,近百年来人们不断尝试在实验上去验证。而实验难的两个部分是对长度测量的精度以及外界震动的干扰。只有实验装置之间近乎理想状态的相对“静止”,才能测出这宇宙间缥缈的“运动”。 经过长期的精心设计,人们在2016年成功利用长距离激光迈克尔逊干涉原理将引力波造成的长度变化放大到测量精度以内。在避免外界震动干扰方面,人们成功利用悬浮加电磁阻尼技术将相距千米的实验装置相对震动降低到了接近理想的“静止”状态。正是实验技术的不断提升,才让科学家完成了人类在宇宙探索上的又一壮举。 图2 Montana全新推出的超高阻尼HILA系统(中间区域采用悬浮加电磁阻尼技术) 目前这一减震技术已经应用在了比较精密的小型实验装置上。美国Montana公司新推出的超高阻尼低温光学恒温器HILA系统就是利用悬浮加电磁阻尼减震技术,成功将震动加速度降低到了1 μg/√Hz (1-100 Hz),这一技术的采用,除了能避免制冷机的震动以外,对外界的微弱震动也起到了很好的隔离作用。目前该系统即将完成全部性能测试,而后正式面向全球各实验平台的用户。 Quantum Design China作为美国Montana公司在中国的合作伙伴,正式向全球低温领域的研究人员推荐这一高性能恒温器。期待您在Montana超高阻尼低温光学恒温设备的助力下科研进展顺利,在新的一年里收获更加丰硕的研究成果! 相关产品及链接 1、超精细多功能无液氦低温光学恒温器:http://www.instrument.com.cn/netshow/SH100980/C122418.htm2、低温热去磁恒温器:http://www.instrument.com.cn/netshow/SH100980/C201745.htm3、综合物性测量系统:http://www.instrument.com.cn/netshow/SH100980/C17086.htm4、皮米精度位移激光干涉器:http://www.instrument.com.cn/netshow/SH100980/C159543.htm更多信息... ...
  • 首都科技条件平台北京建材总院基地成功举办“2020 绿色建筑实用技术发展论坛——建筑隔声材料研讨会”
    p style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/5973a923-87c0-49ed-93cf-ac4ac797acf8.jpg" title="1.jpg" alt="1.jpg"//pp  11月25日,“2020 绿色建筑实用技术发展论坛——建筑隔声材料研讨会”在北京新世纪日航饭店隆重召开。本次会议由北京建筑材料科学研究总院研发实验服务基地(以前简称“北京建材院基地”)、清华大学研发实验服务基地、检测与认证领域中心、北京建材总院基地专业服务机构北京建筑材料检验研究院有限公司、奥来国信(北京)检测技术有限责任公司、固废资源化利用与节能建材国家重点实验室、北京绿标建材产业技术联盟等联合举办。本次会议以“汇聚新动能孕育新发展”为主题,广泛邀请了行业主管部门、科研院所、高等院校、质检机构以及设计、施工、监理单位和生产企业的相关领导、技术专家共150余人参会,旨在更好促进隔声新材料、新技术的应用和发展,推动绿色建筑隔声技术的进步。/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/02bf4925-bb38-45d6-a4d6-1affa3d1a09b.jpg" title="2.jpg" alt="2.jpg"//pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/88d74777-bbf3-4a83-9603-a54a34c57e08.jpg" title="3.jpg" alt="3.jpg"//pp  北京金隅集团副总经理、固废资源化利用与节能建材国家重点实验室主任王肇嘉代表主办方对大会的召开表示热烈祝贺,对致力于建筑和建材事业发展的各位同仁表示诚挚欢迎。他指出,发展绿色建筑,是建筑业贯彻新发展理念、推动绿色发展、践行新时代高质量发展的时代要求,建设“安全耐久、健康舒适、生活便利、资源节约、环境宜居”的绿色建筑是实现城镇化可持续发展的必要手段。其中,建筑隔声是绿色建筑技术中技术含量高,最能体现建筑舒适度的一项重要指标,也是关乎人们生活质量的重要因素之一。近年来,以人为本的绿色发展理念逐步深入人心,绿色建筑的隔声越来越受到重视,相关政策、标准先后发布实施,建筑隔声新技术、新材料不断涌现,绿色建筑隔声行业的发展也迈向了一个新的阶段。/pp style="text-align: center"img style="" src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/4e83b99c-10b4-47b3-a74f-aec426f2d328.jpg" title="4.jpg"//pp style="text-align: center"img style="" src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/e83f5cf4-8a2d-463c-8d3e-668d89754bfe.jpg" title="5.jpg"//pp  同时奥来国信(北京)检测技术有限责任公司董事长龚治国以及北京东方雨虹防水技术股份有限公司特种砂浆事业部总经理严兴李也分别为大会致辞。/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/e51e3142-cc42-483c-b6c5-3d12d2957196.jpg" title="6.jpg" alt="6.jpg"//pp  大会报告发言及研讨阶段,住房和城乡建设部科技与产业化发展中心绿色建材部品处处长刘敬疆围绕中央、国务院、各部委发布的一系列关于绿色建材行业的政策,从宏观到局部、从现状到发展,全面细致的进行了介绍和解读。/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/312972f1-7b7f-4532-aedf-dcbdf10a5478.jpg" title="7.jpg" alt="7.jpg"//pp  北京康居认证中心主任张小玲介绍了建设被动房对于缓解能源紧张、减少碳排放、减少大气污染起到的重要作用,并结合管道、隔墙、门窗、地面、新风机组、油烟处理器、断热桥构件等几个方面的噪声控制,对被动房的隔声控制技术进行了讲解。/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/c3dc255a-44f9-4ddd-98f3-07ed62703734.jpg" title="8.jpg" alt="8.jpg"//pp  哈尔滨工业大学卢爽教授介绍了一种全新的增强水泥基材料阻尼性能的方式,通过在水泥基材料中掺入介孔硅或改性介孔硅以提高材料的阻尼性能,从而实现减振隔声的目的,同时也可以使农业废弃物变废为宝,前景可期。/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/be8ca5e7-3a76-4833-9815-d80e173561fa.jpg" title="9.jpg" alt="9.jpg"//pp  清华大学研发实验服务基地燕翔教授以高隔声量的建筑轻质构造研究为题,讲解了建筑的传声途径,并从隔声评价、隔声标准及隔声影响因素几个方面,分享了关于空气声传播的相关知识。/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/974c41dd-6ed2-474a-a48a-9398c4d9123a.jpg" title="10.jpg" alt="10.jpg"//pp  山西省建筑材料工业设计研究院滕朝晖主任从隔声砂浆的配比研究和机理分析角度进行了细致的讲解。/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/20b5acdb-806c-4904-9785-71210ed05854.jpg" title="11.jpg" alt="11.jpg"//pp  奥来国信(北京)检测技术有限责任公司副总经理、北京绿标建材产业技术联盟执行理事长檀春丽对目前隔声砂浆的检测研究工作进行了系统介绍,并围绕隔声砂浆检测技术及科研标准等方面进行了深度剖析和创新思考。/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/b9ed8cb4-e551-40d2-9c34-f116ab155f04.jpg" title="12.jpg" alt="12.jpg"//pp  首都科技条件平台北京建材总院基地专项负责人马国儒详细介绍了目前在建筑隔声方面的相关检测技术,深入分析了目前的行业现状,同时对未来相关技术的的发展趋势进行了展望。/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/ba8a0c64-20cb-4c94-ac86-9d918651c830.jpg" title="13.jpg" alt="13.jpg"//pp  郑夏明总经理做“隔声砂浆在民用建筑楼板上的应用”的主题发言/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/9687dfe2-cdcd-4698-aaeb-a4b0a80a41a3.jpg" title="14.jpg" alt="14.jpg"//pp  杜春林总工做“轻质隔声墙体的隔声性能研究”的主题发言/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/8c4fef2d-a6e4-452e-aeef-5a53e42f8562.jpg" title="15.jpg" alt="15.jpg"//pp  张勇敢总经理做“隔声门的声学设计与应用研究”的主题发言/pp  本次会议围绕绿色建筑及隔声领域相关法规政策、标准解读、行业现状分析、未来发展方向以及隔声材料和技术、声学设计、检验检测技术研究等方面内容进行深入交流和探讨,为建筑设计、生产制造、施工应用、质量与测试及材料供应等环节提供了一个良好的技术交流和沟通平台,聚集智慧、凝聚共识、汇聚力量,共享隔声新技术,共谋绿色新发展,对隔声领域的技术提升和绿色建筑的品质提升方面起到重要影响和推动作用,进一步促进了绿色建筑行业的健康有序发展。/pp  会上,与会代表与报告发言的各位专家就各自领域发言内容进行了即兴的交流和互动,现场气氛热烈,极大提升了首都科技条件平台及相关成员单位的行业影响力。/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202011/uepic/ff118f76-9049-4c8d-a297-1c0d61e90e9a.jpg" title="16.jpg" alt="16.jpg"//ppbr//p
  • 中科科仪控股公司中科科美研制的高精密镀膜装置在先进光源技术研发与测试平台正式运行
    在庆祝中国共产党百年华诞之际,由国家发改委立项支持、中科院高能物理研究所承建的高能同步辐射光源(HEPS)首台科研设备于6月28日上午安装,为其提供技术研发与测试支撑能力的先进光源技术研发与测试平台(PAPS)启动试运行。其中,中科科仪控股公司中科科美研制的直线式劳埃透镜镀膜装置及纳米聚焦镜镀膜装置也于同一天正式投入使用。直线式劳埃透镜镀制装置及纳米聚焦镜镀制装置可实现各类高能物理装置聚焦镜、单色镜、劳埃镜、纳米聚焦镜等膜层制备。在两装置研制过程中,中科科美突破了多项先进制造技术:精密加工制造技术,实现大型真空腔室及复杂运动系统精密加工与装配、减震及超洁净等严苛设计指标;大型真空系统超高真空获得技术,实现结构复杂、内部零部件放气量大的大型真空腔室系统极限真空度达到10-6Pa;高精度直线运动控制技术,实现长距离导轨运行平行度达到微米量级、运动系统速率稳定性控制在千万之一以内;复杂镀膜工艺技术,实现高精度纳米量级万层镀膜工艺,膜厚精度控制在0.1纳米以内。经相关主管部门和院所专家委员会现场测试,高精密镀膜装置结构设计合理、制造工艺先进、主要性能指标达到国际同类产品水平,填补了该领域内多项国内技术空白。直线式劳埃透镜镀制装置HEPS是国家“十三五”重大科技基础设施项目之一,该项目于2019年6月29日开工建设,建设周期6.5年。建成时,HEPS将成为中国第一台高能量同步辐射光源之一,为基础科学和工程科学领域原创性、突破性创新研究提供重要支撑平台。中科科仪控股公司中科科美凭借在真空系统集成领域深厚的专业技术积淀、强大的整体方案解决能力和一站式服务能力参与到该项目中,为国家重大科技基础设施项目实施和技术攻关贡献了力量。
  • 芝加哥-深圳MRI项目运输保障,南航深圳首次运输核磁共振精密仪器
    5月22日至7月11日,南航保障了16票次共计205274公斤的芝加哥至深圳核磁共振精密仪器运输。据了解,深圳是精密医疗设备仪器的重要生产地,不仅向全国各地供应了大量的医疗设备,远销欧美的产品也大幅增加。 据悉,此次MRI项目是核磁共振精密仪器在深圳的首次越洋运输,由于该货物为精密仪器,价值昂贵、运输保障的操作难度高、疫情防控要求高,经过与各保障单位多方协调,通过深圳机场海关推行的“畅流计划”,航班起飞后向海关发送预申报,即航班落地后机下交接到货物提取,实现无缝衔接即卸即提,以高效率高质量的服务赢得了货主的高度评价,助力国内医药企业的发展。
  • 智城发布精密细胞培养振荡器新品
    产品介绍 细胞生长对培养环境有着极高的要求, 如温度、CO2浓度、剪切、培养基浓度等。尤其是动物细胞,生长周期较长, 对培养条件运行的连续性、 稳定性和可靠性提出了非常高的要求。 ZWYC-290系列精密细胞培养振荡器是ZHICHENG公司推出的具有我国自主知识产权的细胞振荡器新品。 该产品凝聚了ZHICHENG公司中国研发团队二十年恒温振荡器的专业设计经验和现代生物技术的应用经验,携手海外专家攻关,在引进、消化、吸收国外一线同类旗舰产品的基础上,再创新提高而形成的技术成果。 应用范围ZWYC-290系列精密细胞培养振荡器是生物培养在进入发酵培养前最完善的培养装置,可广泛应用于微生物细胞发酵、动物细胞和植物细胞培养, 在生物医药、食品开发、生物农业环境治理等领域进行微生物培育、菌种或细胞系筛选等有着很好的应用前景, 也可应用于对温度、供氧、剪切等具有较高要求的细菌培养、动植物细胞培养、杂交和生物化学反应以及酶反应研究。 产品特点三大系统:指纹(密码)识别电子门系统、手机天网系统、数据无线传输采集系统五大功能:恒温、振荡、恒湿,光照、CO2六大亮点:自保温聚氨酯壳体、杀菌加湿器、紫外高效灭菌、导流冲洗通道、便捷可卸托盘,绿色粘板功能介绍:? 基本功能(恒温振荡)1、ZHICHENG公司精密细胞培养振荡器,单层振荡培养箱体,振幅12.5mm、25mm、50mm三档可调。全温型;转速为30-300r/min,可调并显示。2、专利技术的单轴悬挂滑杆五驱自平衡驱动单元,连续工作时间长,耗能少,能承受不平衡负载。3、稳定性能高,设备可在最大负荷状态下不间断运行,在启动、运转和停止过程中能保持平稳,设备在重启(包括断电来电)后,维持原有设置自动开启。4、独特的空气循环系统,内外空气持续环流,保证培养过程中有充足的空气补入确保温场均匀性,使腔体内无温度死角。5、超温报警保护功能:l 当实测温度超过报警设定值时培养振荡器报警;l 当实测温度超过断电设定值时加热器停止工作。6、 超速报警保护功能:l 当实测转速超过报警设定值时培养振荡器报警;l 当实测转速超过最高转速时,振荡平台停止振荡。 ? 可选功能(恒湿培养)l 控制范围:40-90%RH,精度:± 5%RH(可修正)l 最新发明专利技术:1)采用金属模块腔体蒸发技术,体积小,效率高,反应快。2)腔体内多通道的独特设计,形成了一次加热蒸发、二次高温消毒、三次压缩增压的制湿技术, 最终形 成高达140℃的雾状蒸汽迅速喷射,均匀扩散,不易形成水滴,而且湿度分布非常均匀。 ? 可选功能(光照培养)l 两种光照单元供选择:(1)日光光照系统:模拟日夜光照环境(2)LED不同光波组合系统:波长主要集中在红橙光和蓝紫光波段区域,主要应用于光合生物的培养 ? 可选功能(CO2培养)l 浓度范围:0-20%l 控制精度:±0.2%(浓度5%时),显示精度:±0.1%(可修正)l 国际顶级品牌的红外传感器,确保控制的高精度和高稳定性l 控制方式:P.I.D(微电脑环境扫描微处理芯片)l CO2供气瓶可自动切换 ? 可选功能(OD在线检测)l 完全替代繁琐的手工定时采样测量方法,是一种自动化教学、科研设备l 采用非接触式检测技术,在动态环境中获得真实的微生物细胞生长曲线l 可在线实时测量微生物细胞浓度的光密度(optical density,OD)值l 可选4、8、12和16通道, 适合正交试验、均匀实验和DOE设计实验l 可高效实现菌种筛选、培养基优化、发酵工艺优化研究和动力学分析l 根据研究需要,可更换激光波长,应用于酶、蛋白质等活性物质的检测 ? 可选功能(可选模块)l 具有短信报警等手机互联功能。l 数据无线传输采集系统。能更方便地记录设备的运行数据,实时监控摇床的运行状态。 ? 六大亮点l 一次成型的自保温高强度聚氨酯壳体,保温性能良好,强化了箱体的密封效果,提高了操作的稳定性和安全性。l 拥有最新发明专利技术的温度达140℃的灭菌加湿器,腔体灭菌彻底,加湿效果良好。l 紫外灭菌与循环风扇配合在风道内实现对循环空气的紫外高效灭菌功能。l 导流冲洗通道,便于及时冲洗,避免细菌污染。l 托盘与箱门连动,装卸便捷。l 独特的绿色粘板,粘性和稳定性好,节省空间,易于清洗维护。 技术参数产品名称ZWYC-290系列精密细胞培养振荡器控制方式P.I.D(微电脑环境扫描微处理芯片)显示方式5.6吋640×480点阵65K色真彩触摸式显示屏对流方式强制对流式振荡方式回旋振荡式驱动方式单轴驱动环境温度要求(℃)5~35工作室(个)1~3空气循环360m3/h曲线编程设定(段/步)反复、步调、温度阶梯、曲线编程设定:9/18(段/步),每段时间:999.9(min)定时时间(min)0~9999温度传感器Pt100温度控制范围(℃)4~60温度分辨精度(℃)≤0.1温度波动度(℃)≤±0.1温度均匀度(℃)≤ 0.2(37℃时)可选功能湿度控制范围(%RH)40~90湿度控制精度(%RH)2~3湿度波动度(%RH)≤2振荡幅度(mm)∮12.5、25、50三档可调转速范围(r/min)30~300转速精度(r/min)≤±1平均照度(Lux)≥300紫外强度(mW/m2)≥400可选功能CO2传感器进口品牌的NDIR单束双波红外传感器CO2控制范围(%)0~20CO2控制精度(%)0.2(浓度5%时)CO2显示精度(%)0.1CO2恢复速度(开门1分钟后)10min(浓度5%时)可选功能光密度OD6000.03~2.5 OD±0.03光密度稳定性OD600=1.0±0.03 相同实验条件下的稳定性≥95%(7天)测量通道选4、8、12和16通道可选噪音水平dB(A)≤70 dB(距离设备表面1m处)安全功能上、下限超温报警,上、下限超速报警,上、下限湿度报警,传感器故障报警,独立式过升防止器,独立式超温保护器(可调),独立式漏电、过电流跳闸保护,制冷机超荷保护,门与摇板连锁保护附属功能光照培养系统、自动停机、自动开机、温度/湿度表示校正、监视计时器、时钟显示、来电恢复、参数记忆、参数加密、可扩展RS-485接口制冷功能空冷式、R134.a 功率可控式制冷、无霜运行加速度柔性慢启动摇板数量1~3托盘类型粘性托盘(八块/单元)摇板尺寸(mm)850*450容积/单元(L)225最大装瓶量(支*容量)60*250ml 32*500ml 18*1000ml 10*2000ml  8*3000ml 内胆尺寸/单元(长*宽*高)(mm)937*572*420外型尺寸/单元(长*宽*高)(mm)1080*960*590重量/单元(kg)98电源AC 220V 50/60Hz,1200W 创新点:一次成型的自保温高强度聚氨酯壳体,保温性能良好,强化了箱体的密封效果,提高了操作的稳定性和安全性。拥有最新发明专利技术的温度达140℃的灭菌加湿器,腔体灭菌彻底,加湿效果良好。紫外灭菌与循环风扇配合在风道内实现对循环空气的紫外高效灭菌功能。采用非接触式检测技术,在动态环境中获得真实的微生物细胞生长曲线精密细胞培养振荡器
  • 诚驿科技携“Accurion 零震台”亮相2018北京高级视听展
    6月29日由HIFI主办,中国北方规模最大的影音综合展--HAVE 2018北京高级视听展在北京昆泰酒店盛大开幕,百家参展商多个国内外品牌,为上万名观众奉献一幕幕精彩纷呈的视听盛会,展会上汇聚影音演示、精品鉴赏、新品首秀及多位影音专家亲临现场。 北京诚驿恒仪科技有限公司,携德国品牌Accurion零震台i4亮相展会,这就是音频世界最昂贵的顶尖主动减震技术,带您一起享受纯净的音乐! 高科技的终极聆听乐趣 零震台是一种看起来简单的设备。它的精致复杂的金属表面只需要前面板上的一个开关。 LED单独显示其内部动作:超快速控制系统吸收微米范围的振动幅度。近年来,这项技术已成为现代纳米技术应用的重要组成部分。现在,零震台将它引入高端音频世界! 技术原理 零震台包含传感器和执行器,以机械方式彼此连接。在一个快速的模拟控制回路中测量和处理顶板上的振动,控制电动致动器的放大器产生反馈力,以补偿传入的振动。这样就实现了响应时间和稳定时间短以及最高的阻尼性能! 与普通的阻尼系统相比,零震台具有很大的优势。通过使用动态校正功率,脉冲激励可以比任何被动弹簧 - 质量组合的速度快得多。被动系统持续振荡时间较长。此外,所有被动气动隔离系统都受到其共振频率特性的影响。这种低频共振通常在1至4Hz范围内。在这个特定的频率范围内,无源系统最终会放大振动 - 而不是衰减振动! 零震台是Accurion结合了在专门的高科技仪器中的知识为发烧友鉴赏家提供的完美解决方案。 (Accurion silencer主动减震平台)
  • 拟募资4亿元,深圳智信精密仪器IPO过会
    2022年8月31日深交所披露:创业板上市委员会2022年第59次审议会议于2022年8月31日召开,深圳市智信精密仪器股份有限公司(首发):符合发行条件、上市条件和信息披露要求。据了解,深圳市智信精密仪器股份有限公司以机器视觉及工业软件开发为核心,专注于自动化设备、自动化线体及夹治具产品的研发、设计、生产、销售和相关技术服务,产品主要应用于消费电子领域,同时积极向新能源和医疗等领域拓展。该公司于 2016 年成功进入新能源光伏领域,为客户批量提供“金刚线检测机”;于 2020 年成功进入医疗领域,为客户提供电极检测设备;于 2021 年成功进入新能源动力电池领域,动力电池成品检测线首次完成交付。公司本次发行 A 股募集资金运用均围绕主营业务进行,拟投资项目的具体情况如下:
  • 1500万!东南大学理科平台低温散射式扫描近场光学显微镜采购项目
    一、项目基本情况项目编号:0664-2360SUMECTY005D(SEU-ZB-230698)项目名称:东南大学理科平台低温散射式扫描近场光学显微镜采购预算金额:1500.000000 万元(人民币)最高限价(如有):1460.000000 万元(人民币)采购需求:东南大学理科平台采购低温散射式扫描近场光学显微镜1套,主要技术参数:低温散射型扫描近场光学显微镜平台1.1基于低温AFM的无孔径近场扫描显微镜系统。冷却系统需基于一个完全阻尼且封闭循环低温恒温器,保证底板温度 20 K,并集成到光学平台中。通过自动低温恒温器操作来调节,可变温度范围需满足10k T 300k。XY扫描级的开环扫描范围不小于30 × 30µm @ 300K,不小于24 × 24µm @10K。要求低温AFM测量的形貌噪声 1nm (RMS) @10K。1.2低温AFM需基于轻敲模式AFM技术,通过基于轻敲振幅的AFM反馈进行形貌成像。悬臂偏转的读取需基于光学杠杆原理,采用激光二极管反射在悬臂背面,由光象限二极管读取。最高限价:人民币1460万元整(不含外贸代理费)本项目接受进口产品。本项目所属行业:工业。合同履行期限:境外产品:开具信用证后10个月设备安装调试合格。境内产品:自合同签订之日起30天内到货并安装调试合格。本项目( 不接受 )联合体投标。二、获取招标文件时间:2024年01月02日 至 2024年01月08日,每天上午9:00至11:00,下午14:00至17:00。(北京时间,法定节假日除外)地点:微信公众号“苏美达达天下”方式:在线获取(详见补充事宜)售价:¥600.0 元,本公告包含的招标文件售价总和三、对本次招标提出询问,请按以下方式联系。1.采购人信息名 称:东南大学     地址:南京市玄武区四牌楼2号        联系方式:技术咨询:电子科学与工程学院:骆老师 电话:19852843441; 实验室与设备管理处:刘老师 电话:025-83792693      2.采购代理机构信息名 称:苏美达国际技术贸易有限公司            地 址:南京市长江路198号苏美达大厦5楼502室            联系方式:杨 扬 025-84532455、葛晓菲025-84532451            3.项目联系方式项目联系人:葛晓菲电 话:  025-84532451
  • 引领高精度制造业变革的先锋!摩方精密荣登《财富》杂志
    12月8日,重庆摩方精密科技股份有限公司(以下简称“摩方精密”)荣登《财富》,这不仅是对摩方精密在高精度制造业领域引领变革的肯定,也是对其在全球经济中举足轻重地位的认可。此前,摩方精密凭借在超高精度微纳3D打印技术、超高精密制造解决方案的绝对创新优势和商业模式,已入选《财富》“2023年中国最具社会影响力的创业公司”榜单。摩方精密荣登《财富》原文《引领高精度制造业变革的先锋》“摩方精密凭借颠覆性的微纳3D打印技术,以其降本增效的独特优势,助力基础工业制造出精密微小型的零部件。”全球对微纳米级零部件的需求不断增长,涵盖了从电子元件到医疗植入物等多个领域。然而,传统制造方式往往难以完成这些精密加工需求。随着终端产品的日益精密化、精细化和小型化的趋势,模具制作、机械加工以及冲压等工艺制造难题日益凸显,成本也更加昂贵。在此背景下,摩方精密为市场提供了一种独特的解决方案。摩方精密欧美区总裁John Kawola阐述道:“我们的微纳3D打印技术能支持生产微米级的零部件,并且在生产量及生产效率方面,非常具有竞争力和成本效益。”他进一步强调:“在当前制造规模上,尚无其他公司能同时兼具这两点优势。”摩方精密研发的微纳3D打印机,采用了面投影微立体光刻(Pµ SL)技术,可快速制作出原型,并能更高效地生产出高公差控制且高分辨率的零部件。例如,厚度仅为传统产品三分之一的牙贴面,以及能够模拟活体组织的生物芯片。凭借雄厚的资金实力和庞大的全球客户体系,摩方精密立足中国、布局全球,目前已在美国、英国、德国和日本等地设立海外分公司。摩方精密正在从设备、服务、技术创新、终端应用四方面同步推进,致力于研发和生产前所未有的超高精密零部件,以创新为动力,不断探索微纳3D打印技术的边界,用高精密制造为技术赋能,为行业未来发展注入无限可能。自2018年底全球平台启动以来,摩方精密已与世界35个国家,近2000家工业企业和科研机构建立起紧密的合作关系。在全球范围内,公司已安装超过400套打印系统,并为1,800多位客户提供设备及打印服务。摩方精密在2022年3亿元人民币C轮融资的基础上,于今年7月,成功完成了1.7亿元人民币的D轮融资,近12个月的融资总额已达到4.7亿元人民币。JohnKawola表示:“这些融资成果充分展示了投资界对摩方精密的高度信任与支持。”摩方精密的成功,很大程度上得益于其自创立之初便秉持的全球视野。JohnKawola表示:“早在公司创立初期,我们就确定了构建全球业务网络的战略目标,以期加速企业的蓬勃发展。”为实现这一目标,摩方精密在全球各地设立了区域办事处,雇佣当地优秀人才,并为进入每一个新市场量身定制了独特的品牌传播策略。满足医疗保健领域不断增长的需求摩方精密独特的微纳加工技术,因其助力基础工业发展的优势,吸引了众多客户。在电子和光学领域,随着无线电频率的不断增加,减小天线尺寸已成为提高处理能力的关键。与此同时,在医疗器械行业,减少无创手术和药物输送方法的影响也已成为社会大众关注的焦点。JohnKawola表示:“在众多领域,我们都看到了对微型零部件加工的迫切需求。”以药物研究为例,传统方法通常通过昂贵、耗时且颇具争议的动物实验,以评估潜在药物与活组织的相互作用。为了寻求更为高效和安全的研究方法,研究人员不断尝试其他途径,如在体外培养组织,或模拟重建组织和器官的芯片。然而,这些替代方法存在一个根本性问题:细胞仅在类似人体环境的条件下才能茁壮成长,这需要细胞周围提供充足的营养物质,并确保废物的有效排出。这就不得不提及摩方精密的生物芯片。这款芯片内部设计了微孔,模拟了毛细血管壁的物质传输,能够更精确地模拟真实的生物过程,有助于生长活组织,从而为拯救生命创造更多机会,并显著缩短药物筛选、测试和验证新药所需的时间。JohnKawola表示:“我们坚信这个创新概念以及这一系列的终端应用,将有助于细胞和组织生长及相关药物测试的未来发展。”他强调。摩方精密还在微创手术设备领域取得了重要突破。通过与北京同仁医院的持续合作,波士顿分部的中国团队成功设计并生产了一种用于治疗青光眼的眼内支架。据美国疾病控制与预防中心(CDC)数据显示,青光眼是全球第二大致盲原因。这款长度不到3毫米的装置,已在五项一期临床试验中展现了令人满意的效果。它不仅减少了青光眼手术的复杂步骤,还将原本可能需耗时45分钟的过程缩短至仅需3到5分钟。此外,摩方精密还生产了一种厚度仅为传统牙贴面三分之一的极薄强韧氧化锆牙齿贴面,能使患者保留更多牙釉质。对于许多追求牙齿矫正和美白的人来说,这款产品简化了矫正过程,带来了无痛的治疗体验。拓展新市场持续关注各关键行业的创新机遇已成为摩方精密企业文化的一部分。JohnKawola表示:“微电子机械系统(MEMS)传感器、半导体测试与封装,以及微机器人等领域正日益受到广泛关注。”他强调,“摩方精密的每位成员每天都在积极学习了解新技术和新应用。”未来十年,3D打印行业将不断拓展和改进其硬件、软件和材料领域,实现更广泛的应用。当然,摩方精密对自身在下一代产品设计及制造中所发挥的作用充满信心。“我们注重应用开发和技术创新,”JohnKawola表示,“摩方精密将引领这一领域。”摩方精密的中国团队与北京一家医院携手合作,成功设计并生产出一种颠覆性的支架,大大缩短了治疗青光眼的手术过程。摩方精密的牙贴面厚度仅为传统牙贴面的三分之一,能够更大程度地保留患者牙釉质。摩方精密的生物芯片设计了微孔,模拟了毛细血管壁的物质传输过程。相较于其他药物研究方法,这种设计能够更精确地模拟真实生物过程。关于《财富》FORTUNE《财富》杂志(Fortune)是一本全球知名的商业杂志,创刊于1930年,由美国时代华纳公司出版。该杂志以深入报道和权威分析全球商业、财经和经济领域的新闻和趋势而闻名,被誉为“商业圣经”。《财富》杂志每年发布多个重量级榜单,如“世界500强企业”、“美国500强企业”等,这些榜单在全球范围内具有极高的知名度和影响力。它是商界人士了解全球市场动态、把握商机、提升企业管理水平的重要参考资料。
  • 上海大学张源课题组《Nano Letters》封面文章:3D打印微纳一体化电化学检测平台助力“外泌体
    随着微纳一体化检测技术的不断进步以及规范化、信息化管理的逐渐普及,以多种疾病标志物并行联合检测为目标的医用POCT技术在医学检验中发挥越来越重要的作用。该技术以血液、尿液等体液样本为检测对象,通过检测一些特定的生物分子、循环肿瘤DNA(ctDNA)、循环肿瘤细胞(CTC)和外泌体等与癌症进展相关联的变化,可在癌症发病早期就提供预警,从而做到“早发现,早治疗”,而且还可辅助诊断、病程监测和预后判断等,有助于提高重点人群的癌症早诊率和治疗率,提高患者生存率和生活质量。图1. 基于MOF杂化材料的通用型多通道传感检测平台为了实现对多个待测标志物的联合检测,上海大学的张源团队开发了一种多通道的传感芯片检测平台。利用3D打印技术(NanoArch S140,摩方精密)辅助制作了PDMS的微流控通道,并在微通道内部集成了电化学传感检测电极,用于对外泌体表面多个标志蛋白进行同时检测。所设计的微流控通道不但方便开展各种多通道和系列化操作与实验,更适于在复杂环境中对痕量待测物进行检测研究。论文相关工作以“Design and Application of Metal Organic Framework ZIF-90-ZnO-MoS2 Nanohybrid for an Integrated Electrochemical Liquid Biopsy”为题被国际著名期刊《Nano Letters》接收发表,并被选为封面论文。 图2. 采用多通道传感芯片平台对临床样本的检测分析结果在该工作中开发了一种对复杂血液环境中外泌体进行直接、快速检测的技术;大大简化了外泌体的分析流程,总分析时间少于30 min,而且可以并行读出多个分析信号。该研究分析了12名肺癌患者和12名非癌对照组的血液样本,显示了对两组临床样本良好的区分结果。
  • 地铁振动引发“蝴蝶效应” 影响北大4亿元精密仪器
    p  北京地铁4号线列车在13.5米深的地下呼啸而过,100米外北京大学信息科学技术学院大楼中,一台电子显微镜内“仿佛刮起了一阵飓风”。/pp  用肉眼看,这台1米多高的白色金属镜筒安稳立在桌上。将它调至最高精度却会发现,显示屏上的黑白图像长了“毛刺”,原本纤毫毕现的原子图案因为振动变得模糊不清。/pp  在北大校园内,因地铁运行受到影响的精密仪器,远不止这台价值数百万元的电镜。4号线开通时,北大有价值11亿元的精密仪器,其中4亿元的仪器受到影响。/pp  为了减少地铁振动对这些仪器的干扰,北京市和北大都付出了巨大努力。在4号线北大东门段,地铁公司铺设了最先进的减振轨道。北大专门在较远处新修了综合科研楼,转移了部分精密仪器,但地铁振动的影响仍难以消除。一些学者只能在地铁停运后的半夜做实验。/pp  2019年,离综合科研楼600米的地铁16号线二期全线将会开通,北大内精密仪器将面临两面夹击的窘境。北大实验室与设备管理部环境保护办公室主任张志强认为,如果不采取更多减振措施,形势不容乐观。/pp  面临地铁振动干扰的科研单位不止北大。记者了解得知,清华大学、中国科学院、复旦大学、南京大学、首都医科大学、郑州大学医学院也曾遭遇相似困境。中国科学技术大学、浙江大学、南通大学周边即将修建地铁。/pp  城市里越来越密集的地铁网络、科研机构中越来越灵敏的精密仪器,都是中国经济社会快速发展的标志。可当高精尖仪器遇上地铁线路,谁该避让,成了难以调和的矛盾。/pp style="text-align: center "img title="2018-04-28_131104.jpg" src="http://img1.17img.cn/17img/images/201804/insimg/c8defcc7-172c-4a07-a8d5-c29e404fa5e1.jpg"//pp style="text-align: center "规划后的2020年北京地铁线路网。/pp  strong地铁振动的蝴蝶效应/strong/pp  一条条地铁轨道正在北京快速生长。到2020年,它们的总里程将有近千公里。高峰时期,近千辆列车将同时在轨道上飞驰。/pp  在运载乘客的同时,这些重量超过100吨的列车,也成了一个个巨大的振动源。振动通过钢轮、钢轨、隧道和土壤,像波纹一样扩散到地表,进入建筑物内。/pp  很少有人注意到这种振动给城市带来的影响。北京交通大学轨道减振与控制实验室是国内较早开展研究的团队。他们测试的数据显示,10多年间,北京市离地铁100米内的地层微振动提高了近10倍。/pp  交通带来的微振动强度虽不算大,但持续时间长,影响隐蔽不易被发觉。它曾让捷克一座古教堂出现裂纹继而倒塌,曾长期影响巴士底歌剧院的演出效果,也曾干扰英特尔公司在集成板上雕刻纳米级电路。/pp  在地铁激荡起的振动中,对精密仪器干扰最严重的是低频振动。这种振动波长很长,不易在土层中衰减。北大环境振动监测与评估实验室主任雷军,曾和学生拎着地震仪,测量过北京多条地铁线路,他们发现,在精密仪器更敏感的低频范围内,离地铁100米内地表振动强度比没有列车通过时高了30~100倍。/pp  对北大和清华的精密仪器来说,地铁几乎意味着“灾难性打击”。/pp  地铁开通之前,在这两所中国最著名的高校,因公交和铁路引起的环境振动,已逼近甚至超过某些仪器规定的安全值。不过,因为这些仪器在制订正常使用环境振动要求时留有富余量,绝大部分仍能正常工作。临近的地铁线一旦开通,两所大学中对振动敏感的精密仪器,很可能无法在最高精度下正常工作。/pp  有学者认为,这造成巨大的浪费,“花100万美元买回来的仪器,只能当10万美元的用”。/pp  许多仪器的使用者并不知晓,地铁振动会影响仪器。曾有同事找到雷军,抱怨实验室一台测量岩石年龄的精密仪器突然不正常了。这位老师叫来厂家,左调右调,愣是修不好,厂家也摸不着头脑。/pp  雷军问:“什么时候开始不正常的?”对方说:“从2009年开始。”事实上,并非仪器坏了,而是地铁4号线开通后,振动干扰了仪器。/pp  “国内研究地铁振动问题的专家,包括设备厂商,总共不到百来人。”北交大副教授马蒙感慨,这是一个非常小的学术圈子,其中大部分专家还在同一个微信群里。/pp  10多年来,雷军一直在各种场合呼吁关注地铁振动问题。作为九三学社社员,他多次写建议书希望向全国人大反映这一问题。一有机会,他便向不了解的学者和学生科普地铁振动的影响。/pp  在很长一段时间内,原本搞地震学的他,一门心思扑进这个冷门的学术领域。家人常劝他,别“不务正业”。/pp  在雷军看来,这个领域相当重要。他敲着桌子问:“中国正经历工业化转型,可为什么这些年我们的科技成果都是大块头的?一些核心电子元件,包括芯片、光刻机、光栅薄材等许多领域零部件的加工,为什么即便我们买回了国外全套生产线,也造不出一样的东西?很大一个原因就是环境振动超标。今天我们已经能生产粗犷的工业品,我们的短板主要在精度上,一小一精就不行。”/pp  他曾为两个单位做过环境振动评估。一个是中国计量科学研究院,是国家最高计量科学研究中心,原址环境振动严重超标,后来搬迁到昌平,评估却发现新址仍有一些问题。另一个是某国防计量站,环境振动超标100多倍。/pp  对专门研究环境振动的专家来说,地铁引起的微振动,看似蝴蝶扇动翅膀,但在对振动敏感的高精尖领域,足以酿成灾难性的风暴,从而制约一个国家的发展:光刻机需要在1毫米内画上千条线,需要外部环境保持极度稳定 导弹系统中高速旋转的陀螺仪,加工时必须保证质量中心和几何中心完全重合,否则就会指东打西。/pp style="text-align: center "img title="微信图片_20180428192304.jpg" src="http://img1.17img.cn/17img/images/201804/insimg/dab9ff9c-1156-4ee7-a200-09189a4076b1.jpg"//pp style="text-align: center "地图上与地铁线路相邻的北京大学校园。/pp strong 两败俱伤的妥协/strong/pp  同许多外界学者一样,雷军原本也不知道地铁振动对精密仪器有影响。在中国,北大与地铁的激烈抗争,头一回让这一问题浮出水面。/pp  2003年,北京市地铁4号线方案公布,将贴北大东门一路向北。地铁线两边紧密分布着北大几大理工科学院及众多重要实验室,北大相当一部分精密仪器集中在这些科研楼中。有学者提醒北大,得研究下地铁对精密仪器是否有影响。/pp  雷军此前研究建筑物抗震,都是较大级别的振动,没怎么关注过微振动的影响。着手采集北京市其他地铁线的振动数据后,他才发现,“这个问题很复杂,比想象的要严峻得多”。/pp  因为他和同事的报告,北大反对4号线经过。当时北大和地铁公司为两个方案反复争论:要么北大整个搬走,要么地铁4号线改线。/pp  直至最后一次研讨会,双方仍僵持不下。那次会议由北京市一位副市长主持,邀请了一位院士和多位北大校外专家。/pp  那位院士在会上表示,轨道隔振方案可行。他拿自己做过的一个方案打比方,“用手一摸,振动感觉不到了。”/pp  北大一位代表当场反问:“人的手这种传感器灵敏度有多高?”北大对振动最为敏感的那台电子显微镜,敏感度是人体的成百上千倍。/pp  会上最终形成决议,采用一个折中的方案——4号线经过北大的789米轨道段,将采用世界上最先进的轨道减振技术,也就是在钢轨下铺设钢弹簧浮置板。这种浮置板由一家德国公司发明,上面是约50厘米厚的钢筋混凝土板,下面是支撑着的钢弹簧,能将列车的振动与道床隔离。/pp  “对列车来说,这相当于垫了一个很软的垫子,同时弹簧将振动隔开了。”北京交通大学的马蒙副教授告诉中国青年报?中青在线记者,这种轨道减振技术目前在一定程度上已到极限,更软的话,列车运行安全性可能得不到保证。/pp  这种浮置板在总体上能很好隔振,但它也有一个很大的缺点:由于隔振原理,它对低于自振频率的振动没什么用,甚至很可能会放大。/pp  2009年,4号线北大东门段开通后,马蒙和同事又作了测试,验证了这一理论。在马蒙看来,这段轨道减振措施还是有用的,保证了很多要求没那么高的仪器能正常使用,但对于一些极度敏感的设备,它反而会加重干扰。/pp  北大对这个结果并不满意。经观测发现,西南边的校医院旧址振动强度稍小。北大决定在该地盖综合科研楼,将部分受影响的仪器搬过来。但受限于场地和经费,只有约三分之一的设备能入驻。/pp  2011年,大楼地基已经打好,低层正在施工之时,另一个消息传来:地铁16号线将绕经北大西门,离综合科研楼仅200米。/pp  由于校内精密仪器已无处可挪,北大强烈抗议。雷军分析,之所以会出现这种尴尬局面,是因为地铁公司以为减振成功了,并不知道北大正打算搬仪器。同时,他们也没将规划方案提前告知北大。/pp  北京市拨出上千万元专项资金,让市政总院、北交大、中国电子工程设计研究院、中国铁道科学研究院及北大联合组成攻关项目组,拿出一套综合的解决方案,除了地铁轨道减振外,还包括重新设计综合科研楼,考虑在低层装减振平台,用弹簧将上面的建筑整体悬浮起来。/pp  雷军记得那几个月,每周有两三天要开会讨论,几方经常为具体方案争得脸红脖子粗。一位电子设计院专家告诉记者,北大的要求过于理想化,而且双方对数据的采集和分析方法不同,导致数倍的差异。/pp  有专家听过一句玩笑话:如果这事处理得不好,会影响北大“冲击诺贝尔奖”。/pp  正当各方吵得不可开交之时,项目戛然而止。据说北大领导和一位市领导在某个会议碰面,双方握手言好。地铁16号退后一步,往西绕开300多米,甩掉两座车站,北大也不再提要求。/pp  中国铁道科学研究院研究员杨宜谦是项目组专家之一。在他看来,在这场博弈中,北大看似赢了,实则不然。这不是完美的解决方案,这恰恰是“两败俱伤的妥协”。/pp  strong缺失的环保标准/strong/pp  杨宜谦认为,地铁退后一步,能减少对北大精密仪器的干扰,但这个距离往往不足以消除影响。另一方面,地铁改线后,失去了吸引客流的作用。/pp  他当时建议,北大将精密仪器楼搬至郊区,从而完全排除干扰。但对许多北大教师来说,这样的建议难以接受。杨宜谦也能理解,毕竟北大建校在先,地铁在后,让谁搬谁都不乐意。/pp  他和雷军都认同,避免这样的矛盾冲突,应当在规划时讲究先来后到。新规划的地铁线应尽可能避开对振动敏感的高新技术区域,新修建的高新区应尽可能选在没有地铁的郊区。/pp  目前问题的症结在于,科研单位的精密仪器往往购置在先,地铁规划方案形成时却没有考虑相关影响。/pp  杨宜谦对国外相关法律法规标准很熟悉。日本有专门的《振动法》。美国的轨道交通环境影响评价标准中涉及振动敏感设备。/pp  这两个国家也曾有过教训。东京大学曾将一整栋楼用弹簧悬AX起,仍无法消除振动影响。美国华盛顿大学由于轻轨穿越校园,采用轨道减振措施,并降低车速,但15栋敏感建筑中仍有5栋振动超标。/pp  “减振是世界难题,目前最好的办法就是避让。”雷军常举日本筑波科学城的例子。这个集聚了日本科研人才的城市始建于1963年,直到40多年后才通地铁,且同城区相隔2.5公里。/pp  中国尚无环境振动污染防治法,虽然环境保护标准中有关于振动对居住建筑、办公建筑、医院、学校内的人影响的规定,却未涉及对精密仪器的干扰。这导致地铁规划方案进入环境影响评价阶段时,环保部门很少考虑这一层面。/pp  最近,生态环境部发布了《环境影响评价技术导则 城市轨道交通(征求意见稿)》,但仍未提及振动对振动敏感仪器的影响。/pp  杨宜谦还发现,连环保从业人员都对这一问题的态度存在分歧。有人认为,这一问题理所当然归环保部门管,也有人斩钉截铁地认为不归。/pp  相关评价标准的缺位,导致很多途经科研机构及工业园区的地铁方案考虑欠周。有省会城市在规划地铁时,为了方便病人出行,特意在一家大学附属医院内设了地铁站,没想到让一些医疗检查设备没法正常使用。/pp  发现潜在问题时,往往已经晚了。一旦某条具体地铁方案通过层层审批,“往外挪个100米都几乎不可能”。/pp  这常造成高校与地铁的对抗。15号线原计划下穿清华大学,遭清华极力反对。最终,15号线只进入清华校内120米,没与4号线相连,形成换乘站。/pp  早在1955年,清华大学就曾让铁路改过线。京张铁路位于清华校园同侧,振动曾严重干扰科研,在清华的争取下,铁路线向东迁了800米。/pp  并非所有大学都拥有强大的谈判能力。有985高校没经太多考虑,直接在同意文件上盖了章。有的高校遭遇了损失,不愿意公开化。/pp  等到地铁方案已成事实,只能采用其他减振措施。中国电子工程设计院有限公司曾给复旦大学、南京大学等多个受地铁影响的高校做过减振方案。/pp  振动技术研究中心工程师左汉文告诉记者,目前效果最好的方案是综合减振,除了在轨道下铺设钢弹簧浮置板,同时在仪器楼修建之初装上靠弹簧撑起来的隔振支架。如果楼已竣工,只能在每一台仪器下加装减振台,成本将大大提升。/pp  16号线开通后,北大只能采取第二种方案。北大实验室与设备管理部环境保护办公室主任张志强估计,一个最先进的空气弹簧减振台,大约要花费一两百万元,北大需要减振的仪器“在几十上百个这样的数量级”。/pp  见证了高级的德国浮置板、繁琐的修楼搬迁和昂贵的地铁改线,北大最精密的电子显微镜未来身下还将装上复杂的减振台。但它能否逃脱地铁振动的干扰,谁也不敢保证。/ppbr//p
  • 首都科技条件平台检测与认证领域中心助力2020绿色建筑实用技术发展论坛成功召开
    p  11月25日,“2020 绿色建筑实用技术发展论坛——建筑隔声材料研讨会”在北京隆重召开。本次会议由首都科技条件平台北京建筑材料科学研究总院研发实验服务基地等主办,首都科技条件平台检测与认证领域中心、首都科技条件平台清华大学研发实验服务基地协办。本次会议以“汇聚新动能孕育新发展”为主题,广泛邀请了行业主管部门、科研院所、高等院校、质检机构以及设计、施工、监理单位和生产企业的相关领导、技术专家共150余人参会,旨在更好促进隔声新材料、新技术的应用和发展,推动绿色建筑隔声技术的进步。/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/0c246e36-e420-4f60-99ba-d2fa01abf7bd.jpg" title="1.jpg" alt="1.jpg"//pp  北京金隅集团副总经理、固废资源化利用与节能建材国家重点实验室主任王肇嘉代表主办方对大会的召开表示热烈祝贺,对致力于建筑和建材事业发展的各位同仁表示诚挚欢迎。他指出,发展绿色建筑,是建筑业贯彻新发展理念、推动绿色发展、践行新时代高质量发展的时代要求,建设“安全耐久、健康舒适、生活便利、资源节约、环境宜居”的绿色建筑是实现城镇化可持续发展的必要手段。其中,建筑隔声是绿色建筑技术中技术含量高,最能体现建筑舒适度的一项重要指标,也是关乎人们生活质量的重要因素之一。近年来,以人为本的绿色发展理念逐步深入人心,绿色建筑的隔声越来越受到重视,相关政策、标准先后发布实施,建筑隔声新技术、新材料不断涌现,绿色建筑隔声行业的发展也迈向了一个新的阶段。同时奥来国信(北京)检测技术有限责任公司董事长龚治国以及北京东方雨虹防水技术股份有限公司特种砂浆事业部总经理严兴李也分别为大会致辞。/pp  大会报告发言及研讨阶段,住房和城乡建设部科技与产业化发展中心绿色建材部品处处长刘敬疆围绕中央、国务院、各部委发布的一系列关于绿色建材行业的政策,从宏观到局部、从现状到发展,全面细致的进行了介绍和解读。北京康居认证中心主任张小玲介绍了建设被动房对于缓解能源紧张、减少碳排放、减少大气污染起到的重要作用,并结合管道、隔墙、门窗、地面、新风机组、油烟处理器、断热桥构件等几个方面的噪声控制,对被动房的隔声控制技术进行了讲解。哈尔滨工业大学卢爽教授介绍了一种全新的增强水泥基材料阻尼性能的方式,通过在水泥基材料中掺入介孔硅或改性介孔硅以提高材料的阻尼性能,从而实现减振隔声的目的,同时也可以使农业废弃物变废为宝,前景可期。清华大学燕翔教授以高隔声量的建筑轻质构造研究为题,讲解了建筑的传声途径,并从隔声评价、隔声标准及隔声影响因素几个方面,分享了关于空气声传播的相关知识。山西省建筑材料工业设计研究院滕朝晖主任从隔声砂浆的配比研究和机理分析角度进行了细致的讲解。奥来国信(北京)检测技术有限责任公司副总经理、北京绿标建材产业技术联盟执行理事长檀春丽对目前隔声砂浆的检测研究工作进行了系统介绍,并围绕隔声砂浆检测技术及科研标准等方面进行了深度剖析和创新思考。北京建筑材料检验研究院有限公司副总经理马国儒详细介绍了目前在建筑隔声方面的相关检测技术,深入分析了目前的行业现状,同时对未来相关技术的的发展趋势进行了展望。另外,广西格声新材料科技有限公司总经理郑夏明、可耐福新型建筑系统(天津)有限公司总工杜春林、中电声韵声学工程技术(北京)有限公司总经理张勇敢分别以“隔声砂浆在民用建筑楼板上的应用”、“轻质隔声墙体的隔声性能研究”、“隔声门的声学设计与应用研究”为主题做了技术分享和交流。报告发言的各位专家就各自领域发言内容与在场嘉宾进行了即兴的交流和互动,现场气氛热烈。/pp  本次会议还吸引了来自首都科技条件平台的各高校院所的专家学者参与到论坛中,围绕绿色建筑及隔声领域相关法规政策、标准解读、行业现状分析、未来发展方向以及隔声材料和技术、声学设计、检验检测技术研究等方面内容进行深入交流和探讨,为建筑设计、生产制造、施工应用、质量与测试及材料供应等环节提供了一个良好的技术交流和沟通平台,聚集智慧、凝聚共识、汇聚力量,共享隔声新技术,共谋绿色新发展,对隔声领域的技术提升和绿色建筑的品质提升方面起到重要影响和推动作用,进一步促进了绿色建筑行业的健康有序发展。/pp style="text-align: center"img style="max-width:100% max-height:100% " src="https://img1.17img.cn/17img/images/202012/uepic/df9273ff-e6ef-40db-8390-888f598b5086.jpg" title="2.jpg" alt="2.jpg"//ppbr//p
  • GES四电弧高温单晶生长炉落户中科院物理所材料基因组研究平台(怀柔科学城)
    四电弧高温单晶生长炉是一种近几年新发展起来的高温材料合成设备,非常适合生长化学性质活泼但熔点高(一般在3000℃左右)的金属间化合物,包括含有稀土元素(或金属铀)的二元及四元金属间化合物,例如UGe2、UPt3、V3Si、URu2Si2、RE2Co17、CePd2Al3、REFe10Ti2 、Nd2Fe14B、URhAl、UNiAl和RENi5等合金单晶。四电弧高温单晶系统在晶体生长中的过程如下:先将原料放在旋转的铜坩埚中,之后四个电同时放电形成高温熔化原料,在精密的提拉系统控制下使用Czochralski方法将熔化的原料拉成单晶。中国科学院物理研究所材料基因组研究平台(怀柔科学城)致力于建设成为我国、规模大、手段齐全的先进材料基因组研究平台,以提升我国在新材料研发与制造领域的研究水平,同时支撑我国物质科学领域基础研究与应用基础研究综合实力的跨越式发展。我们Quantum Design 中国子公司非常荣幸将日本GES公司设计和制造的四电弧高温单晶生长炉系统于近日安装于该平台,该系统将为用户单位在非常规超导电性、非费米液体行为及非常规量子临界行为等诸领域的科研工作提供相关单晶样品制备支持!四电弧高温单晶生长炉外观图:四电弧高温单晶生长炉原理示意图:四电弧高温单晶生长炉晶体生长过程实物图:
  • 科学岛团队研制高性能金属减振器助力“陆地探测四号01星”实现高分辨探测
    8月13日,长征三号乙运载火箭携载“陆地探测四号 01星”成功发射。中国科学院合肥物质院固体所研制的高阻尼孪晶型金属减振器作为关键减振件应用于“陆地探测四号 01星”,助力对陆资源调查监测。 此前,该减振器已应用在 “高分七号”卫星和“ 5米光学卫星 02星”上。 “陆地探测四号01星”是《国家民用空间基础设施中长期发展规划(2015-2025年)》中陆地探测四号星座计划中的首颗星,是全球首颗全天候、高时间分辨率、宽视场的高轨、高分辨率地球同步轨道遥感卫星。与传统低轨SAR卫星、光学卫星相比,“陆地探测四号01星”可将高轨观测重访周期短、成像幅宽大等优势与微波观测不受气候限制(全天候)、不受光照限制(全天时)的优势结合起来,实现对我国本土及周边区域进行全天候、全天时的观测,满足防灾、减灾与地震监测、国土资源勘察以及海洋、水利、气象、农业、环保、林业等行业的应用需求。   针对“陆地探测四号01星”中高精度定轨加速度计在轨服役中遭受的低频、微振动干扰问题,固体所高阻尼材料研究团队在葛庭燧院士发现并提出的晶界内耗研究基础上,基于“高密度孪晶界面运动耗能”的高阻尼材料设计原理,研制了兼有金属刚性和橡胶高阻尼特性的微振动抑制敏感型减振合金,并与航天五院总体部合作,成功将其研制为高精密加速度计用低频、微振动抑制敏感的减振构件,实现对低频振动能的抑制高于99%,创新性地拓展了高阻尼合金的航天应用范围。   2015年1月,固体所同航天五院总体部合作开展了高分卫星微振动减振效应研究。2018年1月,“陆地探测四号01星”用高阻尼减振构件研制任务正式启动。近5年来,经过多次的方案论证、优化,研究团队突破了材料减振性能、高低温适应性、表面防腐处理等关键指标及工艺技术难题,最终研制出各项性能指标及空间环境适应性均优于技术要求的材料及产品。在项目执行过程中,研制测试材料、阻尼构件共计300余件,实现产品初样、正样一次性交付,建立了完善的材料工艺体系和质量控制体系,有效地保证了减振器服役性能的可靠性、稳定性和一致性,保障了航天任务的顺利完成。   未来,研究团队还将在轻质、高强韧、极低温、宽温域、宽频谱等方面开展新型高阻尼材料的基础理论和工程应用研究,持续为我国航天及民用减振降噪领域做出努力和贡献。交付的高性能金属减振器
  • 国产法医DNA检测平台研发解密
    陈力在生产车间向记者介绍法医DNA检测平台的生产情况  12月3日,&ldquo GA118-16A型&rdquo 国产法医DNA检测平台在福建省福州市正式发布。这一检测平台打破了多年来外国公司在此领域的技术垄断,在打击犯罪等方面产生了深远影响。在该检测平台的幕后,还有很多鲜为人知的研发故事  在一处案发现场,法医小心地用工具夹取了粘在枕头上的一根毛发,并迅速把它装入证据袋中。随后,相关的DNA数据在实验室中被迅速检测出来,犯罪分子迅速被警方锁定。  这是如今美国电视剧中常见的桥段。  而在现实中,DNA检测技术也早已成为最有效的刑侦技术手段之一。  来自公安部第一研究所(以下简称一所)的统计数字显示,目前我国已建立超过400家DNA实验室,年度受理案件10万余起,检验检材75万余份,DNA数据库规模也已超过1200万人份。  令人遗憾的是,在上述400多家DNA实验室中,包括DNA检测平台在内的关键设备全部来自进口。昂贵的费用不仅严重制约了DNA检测技术在公安一线的推广应用,也限制了我国法医DNA检测技术的进一步发展。  这一窘境已在一周多以前被打破&mdash 12月3日,&ldquo GA118-16A型&rdquo 国产法医DNA检测平台在福建省福州市正式发布。据业内人士评价,该平台的应用将有效增强我国预防和打击刑事犯罪的快速反应能力、犯罪证据认定能力以及物质条件保障的自给能力。  而在首个国产法医DNA检测平台的幕后,还有很多鲜为人知的研发故事。  从血型到DNA  &ldquo 世界上第一次将DNA应用在生活中是在1985年,在英国一个叫做拿波若的小镇上发生的一起谋杀案中。&rdquo 39岁的赵兴春对于DNA的历史了如指掌,他甚至还写过一本名为《DNA作证》的科普读物。  不过,赵兴春的主要身份并不是&ldquo 作家&rdquo ,而是我国DNA检测权威部门、公安部物证鉴定中心(以下简称物证中心)的专家型官员。  赵兴春告诉法治周末记者,在DNA技术应用到刑侦领域之前,刑侦领域主要是依据血型检测和酶型检测。&ldquo 血型大家都知道,而酶型比血型要高级一些,是通过对蛋白进行分析&mdash 比如犯罪现场的精斑,因为每个人它里面含的东西不一样。&rdquo   赵兴春说,但不论是血型还是酶型,在进行区分的时候都无法做到像DNA那么准确。而DNA就像指纹一样,有唯一性。  1989年,我国首次将DNA检测技术应用到案件侦破工作中。在第一批案子中,有一个新疆女大学生的案子令赵兴春印象尤为深刻。  &ldquo 当时那个女学生一口咬定她的孩子是(和)一位老师(生)的。老师说不是,但又没有办法证明,因为血型不能确切证明是不是他的。后来,就做DNA检测。&rdquo   赵兴春说,此时的DNA检测还是第一代技术DNA指纹图谱技术,操作比较繁琐,对样本的要求很高,要抽一定量的血,而且需要用到同位素,对实验操作者的身体伤害也比较大。  &ldquo 后来检测结果出来,孩子还真不是那个老师的&hellip &hellip 那个老师终于得以洗刷清白。当时,他因为被冤枉,好像都快(得)神经病了。&rdquo 赵兴春说。  1996年,赵兴春进入物证中心,此时正赶上DNA检测从第一代技术向第二代技术的过渡,国内的DNA检测应用水平也跟着突飞猛进。  &ldquo 因为第一代技术对检材的量要求比较高,但在实际案件当中,它不可能给你准备那么大的量&mdash 物证量是很小的,所以必须要发展需要检材比较少的技术。&rdquo 赵兴春解释说。而新一代的荧光标记复合扩增技术实现了这一目标,它可以对DNA进行人工复制,来满足检测的要求。  受制于人造成&ldquo 贵族检测&rdquo   虽然DNA检测应用水平和国际同步,但由于所有的设备、耗材还有试剂都源自进口,因而就留下了受制于人的隐患。曾经在一段特殊时期内,外国公司以技术原因为由断供了试剂。  &ldquo 人家说&lsquo 我们因为技术原因,产品生产不出来&rsquo 。结果有好几个月试剂没法供应,我们想买也买不到。&rdquo 赵兴春说。  更令人担忧的是,在这种情况下建设国家DNA数据库将面临巨大的风险。赵兴春举例说,一旦某一天外国公司停止供应相关的设备材料,耗费巨资建成的国家DNA数据库就瞬间瘫痪,之前的投资也相当于打了水漂。  &ldquo 这个东西如果不能确保持续使用,就等于你没有办法去做DNA比对,也无法录入新的DNA样本,这样就一下被打回了30年前。这就会对国家安全造成影响,破案的效率会大大降低。&rdquo 赵兴春解释说。  此外,由于技术垄断,进行DNA检测的相关设备、材料的价格也非常昂贵。  以作为消耗品的试剂为例,在2006年以前,一个容量为1毫升的试剂盒的售价高达4万多元,价格远超黄金,平均下来要每人份200多元。假设一个实验室一年处理5000个样本,每年仅试剂的开支就高达百万元。  &ldquo 第一仪器贵,第二试剂贵。所以对我们公安机关来说它是&lsquo 贵族检测&rsquo ,用不起。用不起怎么办?只好有选择性的。所以就只能用在杀人案上,大案就用一用,小案就靠别的其他技术手段。&rdquo 赵兴春说。  在这种背景下,DNA检测试剂的研发提上了日程。在赵兴春和同事们的努力下,2004年12月5日,由物证中心自主研发的法医DNA检测试剂通过了公安部组织的验收鉴定。  赵兴春还记得,就在成果发布的当天,国外公司就立即把试剂的价格降低了一半,比他们自己国家的价格还要便宜。&ldquo 所以国产试剂是已经尝到这个甜头了,当然我们自己的试剂更便宜,平均下来只要50多元每人份。&rdquo   不过,为了保证利润,外国公司又将仪器设备和耗材的价格提了上去。不仅如此,该公司还在自己的产品上添加了标签并推出新的设备,而新的设备只能识别该公司自己的试剂。刚刚研发出来的试剂再次面临受制于人的风险。  从零起步  2006年11月8日,在公安部时任领导的推动下,公安部启动&ldquo 118专项&rdquo 。一所和公安部物证鉴定中心携手接下了国产DNA检测平台的研发任务,并在此基础上,继续承担了该领域科技部&ldquo 十一五&rdquo 国家科技支撑计划&ldquo 法医DNA专用检测平台关键技术研究&rdquo 项目。  据项目总师、一所研究员陈惠民介绍,整个项目被分成了硬件平台、采集软件、分析软件、耗材4个课题,其中前两个课题由一所负责,后两个课题由物证中心负责,整个团队大约有50多人,其中年轻人占大多数。  &ldquo 跟试剂相比,我们对仪器的印象就是一个黑匣子。毕竟对试剂的应用我们还有一些了解。&rdquo 陈惠民跟法治周末记者坦言,研发的难度超乎想象。  由于有着产业化的成功经验,庞晓东所在的一所安检事业部得到了其中难度最大的硬件平台和采集软件的研发任务。当他和他的同事们听到自己将要参与研发DNA检测平台时,他们的第一反应是&ldquo 开玩笑&rdquo 。  &ldquo 做DNA测试仪?太开玩笑了。我们自己都觉得不可思议,什么都不懂。&rdquo 庞晓东笑着回忆说。  庞晓东2008年年初担任安检事业部主任助理。他告诉记者,他所在的开发团队中有学电路设计的、光学设计的、结构设计的、软件开发的,但都和DNA没关系。和DNA&ldquo 离得最近&rdquo 的是做化学分析的,但化学分析与生物化学还是&ldquo 隔行&rdquo 。直到项目中后期,才有学法医和生物化学的研究人员进入团队。  在安检事业部副主任、原开发部主任陈力看来,这些当时30岁左右的年轻人,由于大多刚刚硕士毕业参加工作,实际上相当于新人。&ldquo 基本上这个团队做研发,差不多是从零起步。什么都不了解,需要做哪些都不知道,水有多深也不知道。&rdquo   于是,找老师补课成为研发人员们的首要任务。研发的过程也成了一个不断学习的过程。  &ldquo 最开始找的是中国刑事警察学院的李树老师,给我们连续讲了一个星期。&rdquo 庞晓东说,虽然感到茅塞顿开,但仍然有很多东西不明白,于是大家又反复查资料、问问题。&ldquo 物证中心那边也非常热情,我们也跟着他们去学习,包括怎样操作仪器。&rdquo   陈惠民告诉记者,正确的认识和理解是整个DNA检测平台研发的关键。&ldquo 一旦我们理解了这个系统的工作原理,我们就能够设计这个系统,通过实验完善各个器件之间的关系,最后把要求的整个系统和指标做出来。&rdquo   &ldquo 这么难的机器你们能做出来?&rdquo   庞晓东坦言,整个项目从头到尾大家都承受了特别大的压力&mdash 而这些压力很大一部分来自于外界的质疑。  "这么难的机器你们能做出来?&rsquo 很多人抱着看笑话的心态。&rdquo 庞晓东说,由于当时整个项目是保密的,这些质疑声主要来自于公安系统内部,因此大家的压力都特别的大。  而由于一切都是从头开始,既没有原理图,也没有可以直接参考的资料,再加上大部分研发人员没有什么工作经验,所以研发进展并不顺利。尤其是光路的部分,在很长的一段时间内都没有任何实质性突破。  陈力还告诉法治周末记者,部里对技术路线的安排也影响了研发的进度。&ldquo 课题分成了一二三四,就是不仅要整体替代外国产品,还要分别替代,这就把我们给&lsquo 框死了&rsquo 。因为你得考虑兼容问题,不能自成体系。&rdquo   陈力解释说,之所以有&ldquo 分别替代&rdquo 的安排,是因为研发的风险比较大。这样一来,某一课题的失败不会影响到整个项目&mdash 即使做不出来,还可以用进口的产品替代。  此外,由于整个系统涉及光、机、电、生化等多个方面,极其复杂,因此原本分解完成的各个部分往往各自独立检测能够通过验证,但相互结合的时候又会出现适应性方面的问题,需要反复修改、磨合。  &ldquo 从2007年开始预研,一直到2010年还没有成型的东西拿出来。包括我们自己内部有些人都动摇了。2010年2月份的时候,小组内也开始有人提出疑问,能做出来么?而且这种声音的比例还挺大。&rdquo 庞晓东回忆说。  陈力告诉记者,由于项目涉及的专业领域太多,各个专业之间隔行如隔山,有的部分虽然直接负责的研发人员有信心,但其他专业的人会质疑。&ldquo 只有样机出来才能确认能否做得了,大家才都有信心&rdquo 。陈力说。  于是,为了稳定军心,项目组决定要尽可能快地做出一个样机出来。  &ldquo 即使天天晚上加班也一定要把它做出来。自己的软件不行,就先用国外的软件连着 光路(部件)不行,先拿国外的光路(部件)用着。无论如何要能看到这么个东西。&rdquo 庞晓东说。  2010年5月,第一台样机正式诞生。虽然这台样机的性能还没有达到国外同类产品的水平,但已经表明,这些年轻人也可以做出这样一个高端的科学仪器来,这给了研发团队极大的信心,外界的质疑声也小了很多。  成功背后的付出  事实上,除了在研发方面要突破重重阻碍,把设计出来的图纸变成实实在在的产品同样面临着相当大的困难。尤其是DNA检测平台属于精密仪器,对零部件加工的要求很高。  以荧光激发系统来说,该系统用于引导激光激发毛细管阵列内的样品荧光标记,要求激光会聚精度高达10微米。  &ldquo 虽然我们可以把嫦娥送到月球上去,但实际上我们在基础方面的差距仍然很大。像我们有的东西不是不想做,但国内加工水平做不了。&rdquo 陈力告诉记者,我国的科学仪器领域比国外要落后二三十年,而这种落后不仅有设计能力的落后,也包括加工能力的落后。  所以,找一个合适的加工厂加工出合格的零部件,成为这些研发人员必须要过的一个坎儿。但往往却是,有加工能力的大厂因为数量太小而不愿意接手 而那些愿意接手的,加工能力又达不到要求。  &ldquo 你比如说这个针阀,看起来很小,但结构却很复杂,而且必须做到高压密封,要能承受100个大气压。&rdquo 常海龙负责结构设计,他告诉记者,一个零部件的加工常常需要多个来回的反复沟通。很多研发人员甚至干脆跑到厂里盯着。  其实不光是零部件的加工,包括整个DNA测试平台的搭建也全靠研发人员自己动手。庞晓东说,尤其是后期样机试制阶段,同事们每天加班到深夜是再正常不过的事情,不少人都是带病坚守。  最终,等到第五台样机组装出来的时候,整机的性能已经达到设计要求,有些方面像光学性能的效力甚至已经超过国外设备同类部件的性能,研究任务基本完成。  2012年10月,整个项目顺利通过了验收。&ldquo 平行测试的结果显示,我们的设备和国外同类设备在检测结果上基本一致。&rdquo 陈力说。  &ldquo 研发团队的年轻人放弃了很多。这个事情就是不断地产生想法,不断地试验,不断地验证,然后不断地解决问题的一个过程,这就需要大量的时间和精力。周末不休息都是经常的状态,甚至包括亲人去世、家人生病时,都没能请假。&rdquo 陈惠民回忆。  陈力也笑着对记者说,研发团队里的年轻人正好赶上了恋爱、结婚或生孩子的时光,很多人甚至为了项目把生孩子的事情都推迟了。&ldquo 我们有些时候开玩笑说,这个项目已经生出八九个孩子了。&rdquo   不仅仅能震慑犯罪  2013年上半年,公安部刑事侦查局、科技信息化局等联合组织上海、福建等10个省市公安机关DNA实验室对&ldquo GA118-16A型&rdquo 国产法医DNA检测平台进行了测试。  测试表明,该检测平台及配套耗材已可以满足我国法医DNA检测应用需要,整体性能达到了国外同类先进技术产品水平,可以替代国外同类产品,彻底打破了国外企业的垄断。  后据公安部第一研究所所长仇保利介绍,该项目先后投入科研经费达1.4亿元,实现了多项重大关键技术突破,已获得发明技术专利40余项,形成了具有完全自主知识产权的关键技术体系,填补了国内相关领域技术的空白。  &ldquo 在实际应用当中,就是可以缩短破案周期,节约成本投入。如果能够在第一时间内提供检测结果,就能快速锁定破案的方向。&rdquo 赵兴春说。  在赵兴春看来,虽然目前国内已经建立了400多家DNA实验室,但就公安侦破工作来说,还远远不够。而国产DNA检测平台的发布将有助于建设国家DNA数据库和更多的DNA实验室,侦破更多案件。  &ldquo 事实上,DNA技术最大的一个贡献就是能够起到一种震慑犯罪的作用&mdash 它让人不敢犯罪,因为你(如果)犯了(罪)就会被绳之以法。现在每一起命案背后都会有DNA技术的身影,大量的案子也得以侦破。尤其是这两年,命案发生率有了明显的下降。&rdquo 赵兴春说。  陈力也告诉记者,虽然法医是DNA检测平台应用的主要领域,但在社会其他领域例如医疗、科研等也有着广阔的前景。  &ldquo 比如在疾病的诊断中,DNA检测可以做辅助判断,看基因里面得哪种病的概率比较高。像之前美国的电影明星安吉丽娜· 朱莉就做了预防性的乳腺切除手术。&rdquo 陈力说。  不过,赵兴春也坦言未来还面临着很多挑战。&ldquo 原来是垄断的,用户可能不敢在人家(外国公司)面前提的要求,现在会提出来。我们刚刚起步,就像步履蹒跚的婴儿,人家已经是成人了。但是用户会拿成人的标准衡量你,所以这就要你快速地成长起来。&rdquo   陈惠民也表示,下一步就是要继续把DNA检测平台做好,尽快建立起自己的产品线和国外的产品进行竞争。  &ldquo 作为科研人员,我们当然希望自己做出来的东西能够有用,能够被社会所接受。在推广过程中也会遇到各种各样的问题,我们也会去改善。同时也会注重新技术的开发,因为如果一项技术被新技术替代了就没有生命力了。&rdquo 陈惠民说。
  • 精密仪器的日常养护知识,你get了吗?
    为了避暑,我们有暑假或高温假。 那大家有没有想过,显微镜因为高温会产生一些问题?那这些问题又应该如何避免呢?一旦出现了问题,我们又该如何处理呢? 今天我们就来探讨一下显微镜的日常养护!工业显微镜的安放环境:干净、干燥、防震避免阳光直射恒温、恒湿(空调房间)净化无尘车间清洁工具:清洁液:用于清洁光学、金属、油漆表面。溶液瓶:盛放混合液的容器,方便沾取,避免挥发。镊子:擦拭工具,要求头部细长,便于卷纸,避免尖头过于尖锐,划伤表面。擦镜纸:长纤维制成,避免纸张纤维对光路污染,为降低成本也可使用脱脂棉或脱脂棉线。吹气球:产生气流,吹除物体表面的浮尘及颗粒物。电吹风:用于加热使用粘接剂(如不干胶)的粘合面,以便于分解。羽毛:比较柔软,适合清洁易损表面,如反光镜。放大镜:可以倒转目镜代替,用于微小区域的表面状态观察。清洁液:混合液:由“无水乙醇 : 无水乙醚=3 : 7混合而成,其中乙醇为有机溶剂,主要担负清洁作用,乙醚为挥发剂;特点是配制及使用方便,清洁效果良好,对人体影响小,缺点是易挥发,易燃,有微量表面残留。中性清洁液:如肥皂水、洗洁精、清洁剂、去污剂等品种,主要用于显微镜机身表面的清洁,不适用于光学器件。除霉剂:专门用于去除光学部件上霉菌污染的化学膏体,效果明显。使用后需要用混合液作二次清洁。压缩空气:罐装高压空气,通过高压高速气流吹掉特殊光学部件表面的附着物,主要用于高度易损表面的清洁,对人体无害,无表面残留。纯净水:纯净水在某些场合也可以作为清洁液的一种,比如电生理试验室的设备经常发现盐类结晶,使用纯净水融化是一种安全的手段。各种光学部件的清洁方法:1、目镜、物镜的清洁: 卷纸方法:如图所示 清洁方法:先用吹气球或压缩气罐将浮尘及坚硬颗粒吹掉。 按右图所示方向从镜片的中心转圈向外沿推,擦拭时注意按压的力度,过度用力可能导致划痕。清洁物镜顶部等细小的透镜时,将纸卷压在镜片上,通过转动镜头擦拭。擦拭时蘸取清洁液,切忌干擦。 2、大面积光学部件的清洁 : 卷纸方法:如图所示,将擦镜纸卷在食指上。 清洁方法:如图所示,食指在表面上以均匀的压力和速度单向抹向外侧。3、单片独立透镜或滤光片的清洁: 卷纸方法:使用大面积折纸按下图折叠。 清洁方法:如下图左手手持镜片,右手以擦镜纸按箭头所示方向擦拭:4、易损表面的清洁: 清洁方法:部分光学表面属于表面软镀膜,擦拭时极易划伤,需要特别注意 (例如表面镀膜反光镜、荧光滤色镜、部分非球面镜等),擦拭前为避免表面上浮尘 颗粒划伤,先用吹气球或压缩空气吹除。 使用羽毛:将羽毛浸入清洁混合液,取出后甩去多余液体,然后沿着一个方向扫过 镜面。其他注意事项蘸取的混合液不易太多,如蘸取太多应适当甩干。清洁前先哈气,有利于各种污物特别是干涸凝固在光学表面的污物清除。针对某些特殊部位的污渍,使用中性清洁液及润滑剂(非有机溶剂)等。不要重复使用擦拭过擦镜纸,特别是最后一次清洁时。光路污染的判断显微镜的光学部件有物镜、目镜、观察筒、聚光镜和光源聚光镜。光学部件又是由棱镜、透镜等光学零件组成,这些光学零件大部分都密封在各光学部件的内部,通常情况下这些内部光学零件并不容易受到污染。但物镜、目镜、聚光镜、光源聚光镜等仍有部分光学零件的表面暴露在外部。放置在实验室中的显微镜,由于空气中的浮尘,使用显微镜时使用者皮肤接触,说话时产生的唾液飞沫,高倍物镜使用的浸油,液体物质污染的标本表面等种种因素,使得物镜、目镜、聚光镜顶镜、光源出口等外露表面极其容易受到污染,从而影响观察效果。所以,在日常的使用过程中应该经常进行清洁和维护。1、目镜污染的判断 目镜表面污染:指暴露在外部的目镜顶镜污染,主要由空气浮尘、人眼皮肤油脂接触、唾液飞沫等原因造成。通过正面观察往往不容易看到目镜是否被污染。 检查方法:正面观察不容易看到污染现象,当视线偏离光轴一个角度时,表面层特殊的反光现象很容易被看到,如图所示。 目镜内部透镜污染:因经常性的拔出目镜、或自行分解目镜透镜组造成,透镜内部灰尘污染会造成视野中产生点状阴影,但是静止不动时不容易被察觉。 检查方法:目视观察时转动目镜,如果视野中发现有移动的阴影,说明目镜透镜组的某个光学面存在污染。用此方法还可以检查出目镜外表面极其微小的污染点。2、物镜污染的判断 物镜日常使用时,由于工作距离短,顶镜非常容易接触到标本上的浸油、封片胶、水珠等污染物,污染物常常积累在顶镜处,会严重影响观察效果。 检查方法:顶镜由于面积极小,肉眼观察比较困难,检查时需要借助辅助工具如放大镜等,实际工作中可将10X目镜倒过来使用,替代放大镜,见图。经目镜放大后的物镜表面污染可以很容易看到。3、光路中其它部位污染的判断 取下目镜,适当调节光源强度,并按以下方法检查。增加光源强度,视线偏离光轴,可以看到光路中粉尘类污染。如图所示。减弱光源强度,视线平行光轴,可以看到深层光路的污染情况,如中间附件、镜头、出光口等部位。4、光路污染的其它检查方法缩小孔径光栏,可以观察到光路中存在的微小污点、灰尘等类型的污染。拉动光路切换杆,如果发现视野里存在移动的阴影,可以确认污染存在于分光棱镜上。5、图像系统的污染判断一般图像系统的污染,主要体现在采集图像时,显示区域存在可见的阴影。阴影的性质一般是颗粒状异物的遮挡。判断图像系统的污染一般涉及 CCD和“接口适配器”两部分。污染判断顺序:在 C型接口适配器处平稳转动 CCD,同时实时预览同步观察,如果此时阴影在浏览区的位置没有变化,仅仅是图像层转动,则说明污染物在 CCD上。固定“C型接口适配器”处,使用专用工具松开 “适配器安装面”的紧固螺丝,平稳转动 “CCD +适配器”,如果阴影不动则可以判断污染在专用适配器的内部透镜上。如果阴影仍然转动,则污染物很可能在显微镜内部,可参考显微镜部分的判断方法。
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    三英精密慕尼黑华南电子展收获满满时间: 2020-11-17 发布者:三英精密 金秋11月,慕展首次将electronica品牌带至深圳,在华南地区首次开创新品牌展——慕尼黑华南电子展(electronica South China)。展会立足粤港澳大湾区,辐射华南、西南及东南亚市场,聚焦5G、物联网、蓝牙技术、汽车、工业电子、可穿戴、消费电子、智能家居等热门技术和应用。650余家国内外优质企业,38,693名行业优质买家及精英共享此次电子盛会。 经过多年的发展,三英精密已经成为了工业CT检测设备行业内专业化、规模化、影响力广泛的公司,正是行业与企业的高度信赖与期待,促成了我们近年来的高速发展。因此,今年我们加大了对电子行业的技术研究投入,进一步为电子行业助力,感谢来到我们展位的每一位需求方、合作方、媒体及业内专家为我们带来的支持与鼓励!首届慕尼黑华南电子展的成功参加给予了我们信心,通过更深入的交流学习及系统集成方案的展示,更直观地为我们的目标客户群、企业及观众提供更多的创新产品和有针对性的优质解决方案,我们将为大家创造更多惊喜。 展会观众的专业度很高,基于我们新产品的上市计划,我们明年还会继续参加上海、深圳慕尼黑电子展,也希望更多的朋友能更多关注我们的产品,关注三英精密。我们将继续积极推动工业CT检测设备行业的创新发展,助力提升行业的创新能力,为蓬勃发展的电子产业带来创新与活力!
  • 超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器
    超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器 杨宏兴 1,2,付海金 1,2,胡鹏程 1,2*,杨睿韬 1,2,邢旭 1,2,于亮 1,2,常笛 1,2,谭久彬 1,2 1 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所,黑龙江 哈尔滨 150080; 2 哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室,黑龙江 哈尔滨 150080 摘要 针对微电子光刻机等高端装备中提出的超精密、高速位移测量需求,哈尔滨工业大学深入探索了传统的共 光路外差激光干涉测量方法和新一代的非共光路外差激光干涉测量方法,并在高精度激光稳频、光学非线性误差 精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技术方面取得持续突破,研制了系列超精密高速激光干涉仪,激 光真空波长相对准确度最高达 9. 6×10-10,位移分辨力为 0. 077 nm,光学非线性误差最低为 13 pm,最大测量速度 为 5. 37 m/s。目前该系列仪器已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测 试领域,为我国光刻机等高端装备发展提供了关键技术支撑和重要测量手段。 关键词 光学设计与制造;激光干涉;超精密高速位移测量引 言 激光干涉位移测量(DMLI)技术是一种以激光 波长为标尺,通过干涉光斑的频率、相位变化来感知位移信息的测量技术。因具有非接触、高精度、高动 态、测量结果可直接溯源等特点,DMLI 技术和仪器被广泛应用于材料几何特性表征、精密传感器标定、 精密运动测试与高端装备集成等场合。特别是在微电子光刻机等高端装备中嵌入的超精密高速激光干涉仪,已成为支撑装备达成极限工作精度和工作效率的前提条件和重要保障。以目前的主流光刻机为例,其内部通常集成有 6 轴至 22 轴以上的超精密高速激光干涉仪,来实时测量高速运动的掩模工件台、 硅片工件台的 6 自由度位置和姿态信息。根据光刻机套刻精度、产率等不同特性要求,目前对激光干涉的位移测量精度需求从数十纳米至数纳米,并将进一步突破至原子尺度即亚纳米量级;而位移测量速度需求,则从数百毫米每秒到数米每秒。 对 DMLI 技术和仪器而言,影响其测量精度和测量速度提升的主要瓶颈包括激光干涉测量的方法原理、干涉光源/干涉镜组/干涉信号处理卡等仪器关键单元特性以及实际测量环境的稳定性。围绕光刻机等高端装备提出的超精密高速测量需求,以美国 Keysight 公司(原 Agilent 公司)和 Zygo 公司为代表的国际激光干涉仪企业和研发机构,长期在高精度激光稳频、高精度多轴干涉镜组、高速高分辨力干涉信号处理等方面持续攻关并取得不断突破, 已可满足当前主流光刻机的位移测量需求。然而, 一方面,上述超精密高速激光干涉测量技术和仪器 已被列入有关国家的出口管制清单,不能广泛地支撑我国当前的光刻机研发生产需求;另一方面,上述技术和仪器并不能完全满足国内外下一代光刻机研 发所提出的更精准、更高速的位移测量需求。 针对我国光刻机等高端装备研发的迫切需求, 哈尔滨工业大学先后探索了传统的共光路双频激光干涉测量方法和新一代的非共光路双频激光干涉测量方法,并在高精度激光稳频、光学非线性误差精 准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等关键技术方 面取得持续突破,研制了系列超精密高速激光干涉 仪,可在数米每秒的高测速下实现亚纳米级的高分辨力高精度位移测量,已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域。该技术和仪器不仅直接为我国当前微电子光刻机研发生产提供了关键技术支撑和核心 测量手段,而且还可为我国 7 nm 及以下节点光刻机研发提供重要的共性技术储备。高精度干涉镜组设计与研制 高精度干涉镜组的 3 个核心指标包括光学非线性、热稳定性和光轴平行性,本课题组围绕这 3 个核心指标(特别是光学非线性)设计并研制了前后两代镜组。 共光路多轴干涉镜组共光路多轴干涉镜组由双频激光共轴输入,具备抗环境干扰能力强的优点,是空间约束前提下用于被测目标位置/姿态同步精准测量不可或缺的技术途径,并且是光刻机定位系统精度的保证。该类干涉镜组设计难点在于,通过复杂光路中测量臂和参考臂的光路平衡设计保证干涉镜组的热稳定性,并通过无偏分光技术和自主设计的光束平行性测量系统,保证偏振正交的双频激光在入射分光及多次反射/折射后的高度平行性[19- 20]。目前本课题组研制的 5 轴干涉镜组(图 11) 可实现热稳定性小于 10 nm/K、光学非线性误差小于 1 nm 以及任意两束光的平行性小于 8″,与国 际主流商品安捷伦 Agilent、Zygo 两束光的平行性 5″~10″相当。 图 11. 自主研制的共光路多轴干涉镜组。(a)典型镜组的3D设计图;(b)实物图非共光路干涉镜组 非共光路干涉镜组在传统共光路镜组的基础上, 通过双频激光非共轴传输避免了双频激光的频率混叠,优化了纳米量级的光学非线性误差。2014 年,本课题组提出了一种非共光路干涉镜组结构[2,21],具体结构如图 12 所示,测试可得该干涉镜组的光学非 线性误差为 33 pm。并进一步发现基于多阶多普勒 虚反射的光学非线性误差源,建立了基于虚反射光迹精准规划的干涉镜组光学非线性优化算法,改进并设计了光学非线性误差小于 13 pm 的非共光路干涉镜组[2-3],并通过双层干涉光路结构对称设计保证热稳定性小于 2 nm/K[22- 25]。同时,本课题组也采用多光纤高精度平行分光,突破了共光路多轴干涉镜组棱镜组逐级多轴平行分光,致使光轴之间的平行度误差 逐级累加的固有问题,保证多光纤准直器输出光任意 两个光束之间的平行度均小于 5″。 图 12. 自主设计的非共光路多轴干涉镜组。(a)典型镜组的3D设计图;(b)实物图基于上述高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技 术,本课题组研制了系列超精密高速激光干涉仪 (图 17),其激光真空波长准确度最高达 9. 6×10-10 (k=3),位移分辨力为 0. 077 nm,最低光学非线性误差为 13 pm,最大测量速度为 5. 37 m/s(表 2)。并成功应用于上海微电子装备(集团)股份有限公司 (SMEE)、中国计量科学研究院(NIM)、德国联邦物理技术研究院(PTB)等十余家单位 ,在国产光刻机、国家级计量基准装置等高端装备的研制中发挥了关键作用。 图 17. 自主研制的系列超精密高速激光干涉仪实物图。(a)20轴以上超精密高速激光干涉仪;(b)单轴亚纳米级激光干涉仪;(c)三轴亚纳米级激光干涉仪超精密激光干涉仪在精密工程中的实际测量, 不仅考验仪器的研制水平,更考验仪器的应用水 平,如复杂系统中的多轴同步测量,亚纳米乃至皮 米量级新误差源的发现与处理,高水平的温控与隔 振环境等。下面主要介绍超精密激光干涉仪的几 个典型应用。 国产光刻机研制:多轴高速超精密激光干涉仪 在国产光刻机研制方面,多轴高速超精密激光 干涉仪是嵌入光刻机并决定其光刻精度的核心单元之一。但是,一方面欧美国家在瓦森纳协定中明确规定了该类干涉仪产品对我国严格禁运;另一方面该类仪器技术复杂、难度极大,我国一直未能完整掌握,这严重制约了国产光刻机的研制和生产。 为此,本课题组研制了系列超精密高速激光干涉测量系统,已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域,典型应用如图 18 所示,其各项关键指标均满足国产先进光刻机研发需求,打破了国外相关产品对我国 的禁运封锁,在国产光刻机研制中发挥了重要作用。在所应用的光刻机中,干涉仪的测量轴数可达 22 轴以上,最大测量速度可达 5. 37 m/s,激光真空 波 长/频 率 准 确 度 最 高 可 达 9. 6×10−10(k=3),位 移 分 辨 力 可 达 0. 077 nm,光 学 非 线 性 误 差 最 低 为 13 pm。 配 合 超 稳 定 的 恒 温 气 浴(3~5 mK@ 10 min)和隔振环境,可以对光刻机中双工件台的多维运动进行线位移、角位移同步测量与解耦,以满足掩模工件台、硅片工件台和投影物镜之间日益复杂的相对位置/姿态测量需求,进而保证光刻机整体套刻精度。图 18. 超精密高速激光干涉测量系统在光刻机中的应用原理及现场照片国家级计量基准装置研制:亚纳米精度激光干涉仪 在国家级计量基准装置研制方面,如何利用基本物理常数对质量单位千克进行重新定义,被国际知名学术期刊《Nature》评为近年来世界六大科学难题之一。在中国计量科学研究院张钟华院士提出的“能量天平”方案中,关键点之一便是利用超精密激光干涉仪实现高准确度的长度测量,其要求绝对测量精度达到 1 nm 以内。为此,本课题组研制了国内首套亚纳米激光干涉仪,并成功应用于我国首套量子化质量基准装置(图 19),在量子化质量基准中 国方案的实施中起到了关键作用,并推动我国成为首批成功参加千克复现国际比对的六个国家之一[30- 32]。为达到亚纳米级测量精度,除了精密的隔振与温控环境以外,该激光干涉仪必须在真空环境 下进行测量以排除空气折射率对激光波长的影响, 其测量不确定度可达 0. 54 nm @100 mm。此外,为了实现对被测对象的姿态监测,该干涉仪的测量轴 数达到了 9 轴。图 19. 国家量子化质量基准及其中集成的亚纳米激光干涉仪 结论 近年来,随着高端装备制造、精密计量和大科学装置等精密工程领域技术的迅猛发展,光刻机等高端制造装备、能量天平等量子化计量基准装置、 空间引力波探测等重大科学工程对激光干涉测量技术提出了从纳米到亚纳米甚至皮米量级精度的 重大挑战。对此,本课题组在超精密激光干涉测量方法、关键技术和仪器工程方面取得了系列突破性进展,下一步的研究重点主要包括以下 3 个方面: 1)围绕下一代极紫外光刻机的超精密高速激光干涉仪的研制与应用。在下一代极紫外光刻机中,其移动工件台运动范围、运动精度和运动速度将进一步提升,将要求在大量程、6 自由度复杂耦合、高速运动条件下实现 0. 1 nm 及以下的位移测量精度,对激光干涉仪的研发提出严峻挑战;极紫外光刻机采用真空工作环境,可减小空气气流波动和空气折射率引入的测量误差,同时也使整个测量系统结构针对空气- 真空适应性设计的复杂性大幅度增加。2)皮米激光干涉仪的研制与国际比对。2021年, 国家自然科学基金委员会(NSFC)联合德国科学基 金会(DFG)共同批准了中德合作项目“皮米级多轴 超精密激光测量方法、关键技术与比对测试”(2021 至 2023 年)。该项目由本课题组与德国联邦物理技术研究院(PTB)合作完成,预计将分别研制下一代皮米级精度激光干涉仪,并进行国际范围内的直接 比对。3)空间引力波探测。继 2017 年美国 LIGO 地面引力波探测获诺贝尔物理学奖后,各国纷纷开展了空间引力波探测计划,这些引力波探测器实质上就是巨型的超精密激光干涉仪。其中,中国的空间引力波探测计划,将借助激光干涉仪在数百万公里距离尺度上,实现皮米精度的超精密测量,本课题组在引力波国家重点研发技术项目的支持下,将陆 续开展卫星- 卫星之间和卫星- 平台质量块之间皮米级激光干涉仪的设计和研究,特别是皮米级非线性实现和皮米干涉仪测试比对的工作,预期可对空间引力波探测起到积极的支撑作用。本课题组在超精密激光干涉测量技术与仪器领域有超过 20 年的研究基础,建成了一支能够完全自主开发全部激光干涉仪核心部件、拥有完整自主知识产权的研究团队,并且在研究过程中得到了 12 项国家自然科学基金、2 项国家科技重大专项、2 项 国家重点研发计划等项目的支持,建成了超精密激光测量仪器技术研发平台和产业化平台,开发了系列超精密激光干涉测量仪,在国产先进光刻机研发、我国量子化质量基准装置等场合成功应用,推动了我国微电子光刻机等高端装备领域的发展,并将通过进一步研发,为我国下一代极紫外光刻机研 发、空间引力波探测、皮米激光干涉仪国际比对提供支撑。全文详见:超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器.pdf
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