冷场发射扫描电镜

仪器信息网讯 11月下旬，第七届中关村国际前沿科技大赛华东赛区决赛在安徽合肥中安创谷全球路演中心拉开帷幕。其中，由科大硅谷招引落地企业合肥国镜仪器科技有限公司（冷场发射扫描电镜项目）在华东赛区总决赛中荣获佳绩，成功入围2024年5月份的全球总决赛。比赛现场，来自高校院所、投资机构、领军企业的9位专家受邀担任评委。经过评委专家的细致点评、公正赋分，最终，12家硬科技企业脱颖而出，成功入围第七届中关村国际前沿科技大赛华东赛区十二强。据悉，11月份，合肥国镜仪器科技有限公司也参加了由合肥物联网科技产业服务管理中心等主办的“Tech 7创新者项目路演（第6期）”活动，在活动中，新型台式场发射扫描电子显微镜项目总经理方小伟指出，SEM广泛应用于科学研究、工业开发、（第三方）检测等领域。国内市场规模约50亿，国外品牌占据90%市场份额，国内品牌目前聚集在低端产品部分。随着国内科研和产业水平升级，市场规模呈现快速增长状态，总规模预期数年内达百亿以上。电子枪是SEM的信号源，是SEM的核心部件，电子发射技术是SEM的核心技术，对设备性能有决定影响，SEM设备的代际一般用电子发射技术的代际来区分。技术每提升一代，性能将提升十倍。目前国产电镜技术水平主要停留在第一代热发射，第二代热场发射技术国外占据绝对优势，第三代冷场发射技术被国外垄断（日立），第四代纳米线冷场发射电镜则具有亮度高、单色性好、体积小巧、高性价比易维护等多项优势。关于国镜仪器据公开信息，合肥国镜仪器科技有限公司于2023年10月12日注册成立，企业法人为方小伟。经营范围包括：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；工程和技术研究和试验发展；新材料技术研发；仪器仪表制造；智能仪器仪表制造；电子测量仪器制造（除许可业务外，可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目）等。关于科大硅谷“科大硅谷”是聚焦创新成果转化、创新企业孵化、创新生态优化，以中国科学技术大学等高校院所全球校友为纽带，汇聚世界创新力量，发挥科技体制创新引领作用，立足合肥城市区域新空间打造的科技创新策源地、新兴产业聚集地示范工程。到2025年，汇聚中国科大和国内外高校院所校友等各类优秀人才超10万名；形成多层次基金体系，基金规模超2000亿元；集聚科技型企业、新型研发机构、科创服务机构等超1万家，培育高新技术企业1000家，上市公司和独角兽企业50家以上；形成一批可复制可推广的制度成果，成为全国科技体制创新的标杆。

一、项目基本情况1.项目编号：[350001]CCZB[GK]2023010项目名称：超高分辨冷场发射扫描电镜等仪器设备采购方式：公开招标预算金额：7,225,000.00元采购包1(超高分辨冷场发射扫描电镜):采购包预算金额：3,500,000.00元采购包最高限价： 3,500,000.00元投标保证金： 70,000.00元采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算(元)中小企业划分标准所属行业1-1A02109900-其他仪器仪表超高分辨冷场发射扫描电镜1(套)是详见招标文件3,500,000.00工业本采购包不接受联合体投标合同履行期限：自合同生效之日起至合同约定的合同义务履行完毕。采购包2(旋转流变仪):采购包预算金额：900,000.00元采购包最高限价： 900,000.00元投标保证金： 18,000.00元采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算(元)中小企业划分标准所属行业2-1A02109900-其他仪器仪表旋转流变仪1(套)是详见招标文件900,000.00工业本采购包不接受联合体投标合同履行期限：自合同生效之日起至合同约定的合同义务履行完毕。采购包3(扫描探针显微镜):采购包预算金额：1,205,000.00元采购包最高限价： 1,205,000.00元投标保证金： 24,100.00元采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算(元)中小企业划分标准所属行业3-1A02109900-其他仪器仪表扫描探针显微镜1(套)是详见招标文件1,205,000.00工业本采购包不接受联合体投标合同履行期限：自合同生效之日起至合同约定的合同义务履行完毕。采购包4(凝胶渗透色谱):采购包预算金额：420,000.00元采购包最高限价： 420,000.00元投标保证金： 8,400.00元采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算(元)中小企业划分标准所属行业4-1A02109900-其他仪器仪表凝胶渗透色谱1(套)是详见招标文件420,000.00工业本采购包不接受联合体投标合同履行期限：自合同生效之日起至合同约定的合同义务履行完毕。采购包5(广角动静态光散射系统):采购包预算金额：1,200,000.00元采购包最高限价： 1,200,000.00元投标保证金： 24,000.00元采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等）品目号品目编码及品目名称采购标的数量（单位）允许进口简要需求或要求品目预算(元)中小企业划分标准所属行业5-1A02109900-其他仪器仪表广角动静态光散射系统1(套)是详见招标文件1,200,000.00工业本采购包不接受联合体投标合同履行期限：自合同生效之日起至合同约定的合同义务履行完毕。2.项目编号：OITC-G230311159项目名称：中国科学院金属研究所多场原位测试用扫描电镜采购项目预算金额：550.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：550.0000000 万元（人民币）采购需求： 包号设备名称数量简要用途交货期预算交货地点是否允许采购进口产品1多场原位测试用扫描电镜1套高分辨率成像观察，快速获取样品表面微观结构形貌信息、成分衬度信息，原位测试下进行高分辨观察样品。搭载X射线能谱仪附件，可同时对样品表面微观区域内的元素成分进行定性和定量分析；搭载高速高灵敏高分辨EBSD附件，能够对晶体材料进行空间分辨率亚微米级的电子背散射衍射，能够给出结晶学数据。合同生效后9个月550万元中国科学院金属研究所是 投标人可对其中一个包或多个包进行投标，须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得转包、分包，评标、授标以包为单位。合同履行期限：合同生效后9个月内交货。本项目( 不接受 )联合体投标。二、获取招标文件1.时间： 2023-06-27 至 2023-07-04 ，（提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日），每天上午00:00:00至12:00:00，下午12:00:00至23:59:59（北京时间，法定节假日除外）地点：招标文件随同本项目招标公告一并发布；投标人应先在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目下载招标文件(请根据项目所在地，登录对应的(省本级/市级/区县)）福建省政府采购网上公开信息系统操作)，否则投标将被拒绝。方式：在线获取售价：免费2.时间：2023年06月29日 至 2023年07月06日，每天上午9:00至12:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：登录“东方招标”平台http://www.oitccas.com注册并购买。方式：1）登陆“东方招标”平台（http://http://www.oitccas.com/），点击“获取采购文件”链接图标，或直接输入访问地址（http://http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成供应商注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的供应商无需重新注册。磋商文件售价：每包人民币600元。如决定购买磋商文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和三、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。（一）采购人信息名称：福建师范大学地址：福建省福州市闽侯县上街镇乌龙江大道18号福建师范大学旗山校区联系方式：郑老师136968399892.采购代理机构信息（如有）名称：福建省承诚招标代理有限公司地址：福州市鼓楼区梁厝路2号华雄大厦3号楼17层联系方式：李杰0591-87554016/87554653/邮箱：fjscczb@163.com3.项目联系方式项目联系人：李杰电话：0591-87554016网址： zfcg.czt.fujian.gov.cn开户名：福建省承诚招标代理有限公司（二）1.采购人信息地址：沈阳市沈河区文化路72号　　　　　　　　联系方式：佟老师；024-23971066　　　　　　2.采购代理机构信息名 称：东方国际招标有限责任公司　　　　　　　　　　　　地　址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层　　　　　　　　　　　　联系方式：王军、郭宇涵、李雯；010-68290508；010-68290599；010-68290530 　　　　　　　　　　　　3.项目联系方式项目联系人：佟老师电　话：　　024-23971066

天美公司-日立新一代冷场发射扫描电镜SU8200 系列发布会于6 月28 日在北京隆重举行，包括天美公司、日立高新、以及知名专家和VIP 客户在内的大约50 余人参加了此次发布会。SU8200 系列冷场扫描是日立高新经过多年潜心钻研，巨额投入而研发出来的新一代革新性冷场电镜，此系列扫描电镜在完全秉承以往冷场发射扫描电镜全部优点的同时，将探针电流进行了大幅提高，电流稳定性得到了极大增强，同时避免了灯丝Flash 后的采图等待时间，可以说其弥补了以往冷场电镜的所有弱势，成为一款真正的超高分辨分析型冷场扫描电镜，上演了一部现实版的王者归来! 日立 SU8200 系列扫描电镜　　发布会首先由天美公司华北区总经理董莉娜女士致辞，董总在致辞中首先对各位贵宾的到来表示衷心的感谢，并对天美公司的发展历程进行了概括性介绍，指出了天美公司是目前中国仪器行业内实力最强，规模最大的上市公司，并且具有目前全国范围内最大的分销网络和售后服务网络。发布会随后由日立高新中国电镜部经理武田豪先生致辞，在致辞中武田先生首先对各位贵宾的到来表示衷心的感谢，并对SU8200 做了总体介绍，指出SU8200 是SU9000 冷场扫描电镜的通用版型，其继承了SU9000 的尖端电子枪技术和超高分辨本领，在致辞中其对日立高新在中国架构和整体实力也进行了整体介绍。 天美公司华北区总经理董莉娜女士和日立高新中国电镜部经理武田豪先生分别致辞　　而后发布会进入到最关键环节，由日立高新扫描电镜应用专家高木 修先生对SU8200 系列进行详细讲解，讲解中高木先生首先从SU8200 高端冷场电子枪技术讲起，仔细介绍了其所具有高束流和束流稳定性的深层次原因，包括柔性Flash 和高真空技术所带来的优势等，随后高木先生对超低着陆电压技术和带有过滤功能的顶探头技术进行了介绍，指出目前SU8200 系列着陆电压可达到最低的10V，在这样的条件下成像，对某些样品而言其分辨率可进一步提高，衬度和对比度进一步增强 其所具有的顶探头技术可对样品进行表面成分像的观察，同时还可样品进行电位衬度分析，应用领域可得到极大拓展。在EBSP 应用领域，由于SU8200 的高束流和束流稳定性，可完全兼容EBSP 分析附件，短时间内便可轻松获取一幅高分辨率，高分析精度的EBSP 图像，同时进行了大量应用举例。 日立高新扫描电镜应用专家高木 修先生报告 发布会现场　　发布会后各位知名专家和 VIP 客户对SU8200 系列冷成扫描电镜进行了热烈讨论和提问，对SU8200 表现出超高分辨率和强大分析功能表示惊叹和赞赏，并且指出其是目前市场上一款真正兼具冷场和热场双重优点的扫描电镜，今后可在市场得到极大推广。　　公司介绍：　　天美(中国)科学仪器有限公司(&ldquo 天美(中国)&rdquo )是天美(控股)有限公司(&ldquo 天美(控股)&rdquo )的全资子公司，从事表面科学、分析仪器、生命科学设备及实验室仪器的设计、开发和制造及分销 为科研、教育、检测及生产提供完整可靠的解决方案。天美(中国)在北京、上海、等全国15个城市均设立办事处，为各地的客户提供便捷优质的服务。　　天美(控股)是一家从事设计、研发、生产和分销的科学仪器综合解决方案的供应商。 继2004年于新加坡SGX主板上市后，2011年12月21日天美(控股)又在香港联交所主板上市(香港股票代码1298)，成为中国分析仪器行业第一家在国际主要市场主板上市的公司。近年来天美(控股)积极拓展国际市场，先后在新加坡、印度、澳门、印尼、泰国、越南、美国、英国、法国、德国、瑞士等多个国家设立分支机构。公司亦先后收购了法国Froilabo公司、瑞士Precisa公司、美国IXRF公司和英国Edinburgh等多家海外知名生产企业，加强了公司产品的多样化。　　更多详情欢迎访问天美(中国)官方网站：http://www.techcomp.cn

2013年6月26日天美公司&mdash 日立高新全新一代超高分辨兼超强分析全功能场发射扫描电镜SU8200系列新品发布会在上海建国宾馆举行，中国电镜学会副理事长,上海市显微学会理事长杨勇骥教授、苏州纳米所张锦平研究员、复旦大学先进材料车仁超教授、中科院上海硅酸盐研究所曾毅教授、上海宝钢研究院刘俊亮研究员，还有浙江，江苏，安徽等30余位专家老师莅临参加此次发布会。天美公司华东区电镜销售经理徐育先生致辞 发布会首先由天美公司华东区电镜销售经理徐育先生致辞，在致辞中徐经理对天美公司的发展历程以及与日立高新的合作等方面做了介绍，并对各位来宾的到来表示了热烈欢迎和感谢。日立高新部长今田芳宪先生致辞 然后由日立高新部长今田芳宪先生致辞，在致辞中今田部长从日立高新公司的整体介绍、中国区营销架构、人员配备、以及与天美公司的合作等方面做了整体介绍，并代表日立高新对各位专家老师的到来表示热烈欢迎。苏州纳米所张锦平研究员介绍第六届郭可信暑期专题电镜讲习班的筹备情况 接下来，来自苏州纳米所的张锦平研究员向各位专家老师介绍了即将在7月初举行的&ldquo 第六届郭可信暑期专题电镜讲习班&rdquo 的筹备情况。本次讲习班已邀请到包括院士、千人等，近五十位国内外电镜专家，他们将给予学员们一别开生面的讲习。日立高新技术公司应用专家高木修先生介绍SU8200 最后来自日立高新的应用专家高木修先生重点讲解了日立新型冷场扫描电镜SU8200，SU8200系列冷场扫描电镜是一款真正革新性的冷场旗舰产品，具有低电压下超高分辨本领。它利用最新的冷场电子枪发射技术，在保留以往冷场电镜优点的同时，将探针电流进行了大幅提高，电流稳定性也得到了进一步增强，并且免去了以往冷场电镜Flash后的稳定等待时间，其分辨率达到了目前最高的0.8nm/15kV。因而实现了超高分辨率与强分析能力的完美结合，是目前市场上无可匹敌的一款真正超高分辨分析性扫描电镜！ 通过本次研讨会的成功举办，使与会的专家和老师对SU8200有了更深刻的了解，同时大家对日立高新和天美公司所表现出的&ldquo 用户至上&rdquo 的服务态度也大加赞赏。公司介绍：　　天美(中国)科学仪器有限公司(&ldquo 天美(中国)&rdquo )是天美(控股)有限公司(&ldquo 天美(控股)&rdquo )的全资子公司，从事表面科学、分析仪器、生命科学设备及实验室仪器的设计、开发和制造及分销 为科研、教育、检测及生产提供完整可靠的解决方案。天美(中国)在北京、上海、等全国15个城市均设立办事处，为各地的客户提供便捷优质的服务。　　天美(控股)是一家从事设计、研发、生产和分销的科学仪器综合解决方案的供应商。 继2004年于新加坡SGX主板上市后，2011年12月21日天美(控股)又在香港联交所主板上市(香港股票代码1298)，成为中国分析仪器行业第一家在国际主要市场主板上市的公司。近年来天美(控股)积极拓展国际市场，先后在新加坡、印度、澳门、印尼、泰国、越南、美国、英国、法国、德国、瑞士等多个国家设立分支机构。公司亦先后收购了法国Froilabo公司、瑞士Precisa公司、美国IXRF公司和英国Edinburgh等多家海外知名生产企业，加强了公司产品的多样化。　　更多详情欢迎访问天美(中国)官方网站：http://www.techcomp.cn

一、项目基本情况项目编号：1069-224Z20224485项目名称：东华大学冷场场发射扫描电镜采购项目预算金额：640.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：640.0000000 万元（人民币）采购需求：详见附件合同履行期限：合同签订后360天本项目( 不接受 )联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：3.本项目的特定资格要求：1）投标人或制造商（如适用）有效的营业执照2）本次招标所涉及到的产品若非自主研发生产，投标人须提供制造商针对本项目的授权书3）参加本次招标活动前3年内，投标人在经营活动中没有违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无行贿犯罪记录。三、获取招标文件时间：2022年12月07日 至 2022年12月14日，每天上午9:00至11:00，下午13:00至16:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：上海市曹杨路528弄35号中世办公楼5楼会议室或微信公众号报名方式：现场购买或微信公众号报名售价：￥800.0 元，本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点提交投标文件截止时间：2022年12月29日 10点30分（北京时间）开标时间：2022年12月29日 10点30分（北京时间）地点：上海市曹杨路528弄35号中世办公楼2楼会议室五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：东华大学地址：中国上海市延安西路1882号联系方式：汤老师 021-677987332.项目联系方式项目联系人：沈思骏、侯烨飞、陆丁苑电 话： 021-52555817

―新研发的冷场电子枪，分辨率更高，稳定性更强―　　采用日立高新技术公司(社长：久田 真佐男/以下简称日立高新)全新开发的冷场电子枪，实现超高分辨率下观察的同时，稳定的束流亦可满足长时间下的分析需求。新型冷场发射扫描电镜(FE-SEM)SU8200系列中，有SU8220、SU8230、SU8240三款机型，将从5月20日开始发售。　　扫描电镜广泛应用于纳米技术，半导体及电子产品，碳材料，生物及制药等领域。比如说，作为支撑新一代先进科学发展的核心技术，锂电池和燃料电池领域的碳材料和高分子材料，高效催化剂等的材料研究，正在全球范围内进行着。由于这些材料所具有的细微结构，所以电子显微镜不仅要有超高的分辨本领，还要具备在电子束损伤较小的低加速电压下的观察能力以及高灵敏度的元素分析能力，与此同时更要有良好的稳定性和可靠性。　　这次开始发售的SU8200系列，色差更小，更适合于低加速电压下的高分辨率观察。安装了全新冷场电子枪。该电子枪的主要特点为，利用空气分子付着在灯丝表面以前的这段时间，使灯丝处于长时间稳定状态，实现发射电流稳定、高亮度的观察。正是因为这些，即使在低加速电压下，也能获得大束流，高亮度，优秀的信噪比，良好的稳定性和可靠性。还有，新型冷场电子枪配合各个能谱厂家的大口径高灵敏度的X射线探头，即便是在低加速电压下也可做高空间分辨率的能谱分析(元素分析)。　　另外，在观察性能方面，通过提高马达台的抗震动能力和光路的优化将最高分辨率提高了20%(与前代机型SU8000系列相比)，在加速电压15KV时达到1.0nm，在着陆电压1KV时达到1.1nm。　　SU8200系列，根据样品大小及观察目的，使用不同的马达台和样品仓，共三种机型。　　【主要特点】　　新研发的冷场电子枪　　&bull 利用电子枪轰击后的高亮度稳定期，高分辨观察和分析兼顾　　&bull 大幅提高分辨率(1.1nm/1kV、0.8nm/15kV)　　&bull 减轻污染的高真空样品仓　　&bull 通过顶部过滤器(选配项)实现多种材料对比度可视化　　【主要参数】 SU8220SU8230SU8240二次电子分辨率(*1)0.8 nm (加速电压15kV, WD=4mm, 放大倍率270 kx)1.1 nm (着陆电压1kV, WD=1.5mm, 放大倍率200 kx)(*2)着陆电压0.01-30 kV放大倍率20-2,000x(*3)马达台控制5轴5轴高精度5轴(*4)可动范围X0 - 50 mm0 - 110 mm0 - 110 mmY0 - 50 mm0 - 110 mm0 - 80 mmR360° Z1.5 - 30 mm1.5 - 40 mm1.5 - 40 mmT-5 - 70° 重复精度 小于± 0.5µ m *1: 用本公司样品拍的SEM像测量最小颗粒间的夹缝*2: 使用减速模式观察*3: 以127mm× 95mm（4X5照片尺寸）为基准的显示倍率*4: Regulus® （REGULated Ultra Stable：日立高新生产的高性能马达台）是日立高新技术公司在日本的注册商标.

6月25日上午，天美公司携手日立高新技术公司在中山大学分析测试中心举办日立新一代冷场扫描电镜SU8200发布会。日立高新技术公司市场部高木修先生、金田先生、席小宁先生，天美公司副总裁赵薇女士、天美公司华南区总经理吴灵威、天美公司香港总部刘言欢先生出席了此次活动。华南区电镜行业施明哲老师、赵文霞老师、杨秉耀老师、陈新芳老师、尹诗衡老师、李春明老师、张少鸿老师、汤丽媛老师等专家莅临现场指导。 天美公司华南区总经理致词，介绍天美公司概况。（吴灵威先生讲话） 日立高新技术公司市场部高木修先生、席小宁先生对最新型冷场扫描电镜SU8200进行详细介绍，SU8200巧妙的设计及出色的技术特点引起与会人员热烈反响，大家踊跃提问发言，发表观点，热烈的讨论气氛将此次大会推向高潮。 （日立高木修先生、席小宁先生介绍SU8200） (电子五所施明哲老师踊跃发表观点)（与会热烈讨论） 天美公司香港总部刘言款先生介绍了XRF技术，同样引起了与会人员的极大兴趣！（讨论热烈XRF） 此次会议圆满结束，日立最新一代的冷场扫描电镜SU8200系列蓄势待发，即将全面隆重推出中国市场!公司介绍：　　天美(中国)科学仪器有限公司(&ldquo 天美(中国)&rdquo )是天美(控股)有限公司(&ldquo 天美(控股)&rdquo )的全资子公司，从事表面科学、分析仪器、生命科学设备及实验室仪器的设计、开发和制造及分销 为科研、教育、检测及生产提供完整可靠的解决方案。天美(中国)在北京、上海、等全国15个城市均设立办事处，为各地的客户提供便捷优质的服务。　　天美(控股)是一家从事设计、研发、生产和分销的科学仪器综合解决方案的供应商。 继2004年于新加坡SGX主板上市后，2011年12月21日天美(控股)又在香港联交所主板上市(香港股票代码1298)，成为中国分析仪器行业第一家在国际主要市场主板上市的公司。近年来天美(控股)积极拓展国际市场，先后在新加坡、印度、澳门、印尼、泰国、越南、美国、英国、法国、德国、瑞士等多个国家设立分支机构。公司亦先后收购了法国Froilabo公司、瑞士Precisa公司、美国IXRF公司和英国Edinburgh等多家海外知名生产企业，加强了公司产品的多样化。　　更多详情欢迎访问天美(中国)官方网站：http://www.techcomp.cn

当今世界，科技创新进入空前密集活跃时期，“加快实现高水平科技自立自强”被写入二十大工作报告。科学技术从来没有像今天这样深刻影响着国家的前途与命运。在科学界，有这样一种工具，被称之为科学研究的“纳米之眼”，它与芯片、光刻机等关键技术共同被列为我国35项“卡脖子”科技难题之一，它就是扫描电镜。这项核心技术的突破，对于正在发展战略性产业的中国来说，有着重要意义和实用价值。钢研纳克党委书记、董事长、总经理杨植岗、中国仪器仪表行业协会分析仪器分会秘书长曾伟为国产旗舰机（双束）扫描电镜FE-1050揭幕纳克微束此前发布的国内首款高分辨力（双束）扫描电镜产品FE-1050系列1.继国内扫描电镜“旗舰机型”FE-1050发布之后，又一行业重磅消息！日前，本报记者了解到最新消息，素有“中国电镜技术引领者”之称的纳克微束（北京）有限公司（以下简称，纳克微束）继此前在“70周年庆，质镜新征程”发布的国产高分辨场发射扫描电镜“旗舰机型”——FE-1050系列（其为国内首款可搭载聚焦离子束（FIB）模块的双束场发射电镜，创造两个“国内第一”）之后，研发团队没有一丝松懈，持续向扫描电镜技术最高峰发起挑战，并在技术上再获突破，此次硬核发布的行业新顶端产品：国内首款自主研发——极高分（Extreme High Resolution，XHR）场发射扫描电子显微镜FE-2050X，它将具备全电压段亚纳米（≤1.0nm）的极致分辨能力，媲美进口扫描电镜顶端产品。它的问世，将使我国在扫描电镜技术（分辨力设计能力）与国际先进技术的技术差距从此前的25年大幅缩短到不到5年，实现了“跨越式”高质量发展！国际主流扫描电镜产品线划分（分辨力金字塔）与产品定位2.全段亚纳米：极致体验，“冷热”相宜据悉，纳克微束此次发布的极高分辨场发射产品——FE-2050X（代号“电离层”）将搭载新型冷场发射电子阴极和全新自主开发的X-Lens&trade 电磁复合透镜技术，具备优越的球色差相差系数的同时，保证了更好的图像信噪比和更低的电子能散。“冷热相宜”，基于同一系统平台化开发两款高端扫描电镜系列，满足不同应用需求同平台化设计开发的FE-1050系列（“同温层”）和FE-2050系列（“电离层”）两款设备具备非常好的模块通用性和后期升级潜质，行业内首先提出的关键可通用化模组（KCU）概念使得新的第三方附件模块集成变得异常轻松，进入“小时级开发”潜质。据纳克微束总经理介绍，两款产品设计之初便各有所侧重，FE-1050（“同温层”）侧重于综合分析表征能力，而FE-2050（“电离层”）更多侧重于极致的高分辨成像能力。强大的KCU平台概念开发架构，支持多种应用环境3.持续引领电子显微镜技术发展风向，继续“中国电镜技术引领者”地位作为一支拥有多年一线电镜开发经验的国内技术团队： 2016年，在全球率先提出“高通量扫描电镜”概念并付诸市场化，并同控股母公司钢研纳克（股票代码300797）共同获得“BCEIA2019大会金奖”等多项大奖。 2022年初在国内市场预先发布高分辨场发射扫描电镜“旗舰”产品——FE-1050系列，也是国内第一台具备可搭载聚焦离子束（FIB）能力的多用途双束电镜平台，并获得多个国内顶级高校研究所订单，率先将我们扫描电镜水平代入低压高分辨力（＜2nm@1kV）阶段。 2022年底，技术永无止境，纳克微束率先发布国内首款极高分（XHR）场发射扫描电镜——FE-2050X，它也是国内首套可基于冷场发射结构的扫描电镜产品。4. 守正创新——科学仪器国家队就要打赢关键技术“卡脖子”攻坚战 作为拥有70年历史沿革的央企上市公司，中国“电镜第一股”——钢研纳克（股票代码300797）的控股子公司，纳克微束专注于以（场发射）扫描电子显微镜为代表产品的综合性显微成像解决方案的技术开发与探索，打造可以对标主流进口厂商的全品类电镜制造商。团队研发人员占比超过60%，通过十余年成熟的技术积淀及团队创新能力，在设计理念、关键环节、核心技术等方面超前布局，保持国内仪器公司中第一梯队。作为高端国产科学仪器国家队，纳克微束传承了“聚合科技动能”精神，始终坚持“守正创新”。此次突破扫描电镜领域“卡脖子”难题，正是其践行“助力我国科学与硬实力提升”使命的具体行动。纳克微束在高端仪器技术研发领域的突围，对国产电镜行业起到极大激励和引领作用，更增强了国产电镜行业发展的信心。未来，一定会有更多中国科技企业，做强做大中国电镜产业，实现更大范围、更高质量的国产替代！长期以来，国产科学仪器的研发、生产、制造依赖国外先进经验，核心技术“受制于人”。纳克微束总经理指出，虽然此次产品发布使我们在设计层次距离世界电镜强国又近了一步，但是在诸多核心器件、工程工艺、基础材料、控制芯片等子领域要想实现深度的自主创新发展，还有相当长的路要走！“业精于勤而荒于嬉”，我们要想不受制于人，就要“把马步扎得更稳”，花更多精力在基础的研发上，才能走出属于我们中国人的技术路线，这也是当年我们这批人回国报效祖国的梦想。

当今世界，科技创新进入空前密集活跃时期，“加快实现高水平科技自立自强”被写入二十大工作报告。科学技术从来没有像今天这样深刻影响着国家的前途与命运。在科学界，有这样一种工具，被称之为科学研究的“纳米之眼”，它与芯片、光刻机等关键技术共同被列为我国35项“卡脖子”科技难题之一，它就是扫描电镜。这项核心技术的突破，对于正在发展战略性产业的中国来说，有着重要意义和实用价值。钢研纳克党委书记、董事长、总经理杨植岗、中国仪器仪表行业协会分析仪器分会秘书长曾伟为国产旗舰机（双束）扫描电镜FE-1050揭幕纳克微束此前发布的国内首款高分辨力（双束）扫描电镜产品FE-1050系列1.继国内扫描电镜“旗舰机型”FE-1050发布之后，又一行业重磅消息！日前，根据了解到的最新消息，素有“中国电镜技术引领者”之称的纳克微束（北京）有限公司（以下简称，纳克微束）继此前在“70周年庆，质镜新征程”发布的国产高分辨场发射扫描电镜“旗舰机型”——FE-1050系列（其为国内首款可搭载聚焦离子束（FIB）模块的双束场发射电镜，创造两个“国内第一”）之后，研发团队没有一丝松懈，持续向扫描电镜技术最高峰发起挑战，并在技术上再获突破，此次硬核发布的行业新顶端产品：国内首款自主研发——极高分（Extra-high Resolution，XHR）场发射扫描电子显微镜FE-2050X，它将具备全电压段亚纳米（≤1.0nm）的极致分辨能力，媲美进口扫描电镜顶端产品。它的问世，将使我国在扫描电镜技术（分辨力设计能力）与国际先进技术的技术差距从此前的25年大幅缩短到不到5年，实现了“跨越式”高质量发展！国际主流扫描电镜产品线划分（分辨力金字塔）与产品定位2.全段亚纳米：极致体验，“冷热”相宜据悉，纳克微束此次发布的极高分辨场发射产品——FE-2050X（代号“电离层”）将搭载新型冷场发射电子阴极和全新自主开发的X-Lens™电磁复合透镜技术，具备优越的球色差相差系数的同时，保证了更好的图像信噪比和更低的电子能散。“冷热相宜”，基于同一系统平台化开发两款高端扫描电镜系列，满足不同应用需求同平台化设计开发的FE-1050系列（“同温层”）和FE-2050系列（“电离层”）两款设备具备非常好的模块通用性和后期升级潜质，行业内首先提出的关键可通用化模组（KCU）概念使得新的第三方附件模块集成变得异常轻松，进入“小时级开发”潜质。据纳克微束总经理介绍，两款产品设计之初便各有所侧重，FE-1050（“同温层”）侧重于综合分析表征能力，而FE-2050（“电离层”）更多侧重于极致的高分辨成像能力。强大的KCU平台概念开发架构，支持多种应用环境3.持续引领电子显微镜技术发展风向，继续“中国电镜技术引领者”地位作为一支拥有多年一线电镜开发经验的国内技术团队：• 2016年，在全球率先提出“高通量扫描电镜”概念并付诸市场化，并同控股母公司钢研纳克（股票代码300797）共同获得“BCEIA2019大会金奖”等多项大奖。• 2022年初在国内市场预先发布高分辨场发射扫描电镜“旗舰”产品——FE-1050系列，也是国内第一台具备可搭载聚焦离子束（FIB）能力的多用途双束电镜平台，并获得多个国内顶级高校研究所订单，率先将我们扫描电镜水平代入低压高分辨力（＜2nm@1kV）阶段。• 2022年底，技术永无止境，纳克微束率先发布国内首款极高分（XHR）场发射扫描电镜——FE-2050X，它也是国内首套可基于冷场发射结构的扫描电镜产品。 生物切片 锂电池正极片 锂电池正极粉末 高温合金4. 守正创新——科学仪器国家队就要打赢关键技术“卡脖子”攻坚战 作为拥有70年历史沿革的央企上市公司，中国“电镜第一股”——钢研纳克（股票代码300797）的控股子公司，纳克微束专注于以（场发射）扫描电子显微镜为代表产品的综合性显微成像解决方案的技术开发与探索，打造可以对标主流进口厂商的全品类电镜制造商。团队研发人员占比超过60%，通过十余年成熟的技术积淀及团队创新能力，在设计理念、关键环节、核心技术等方面超前布局，保持国内仪器公司中第一梯队。作为高端国产科学仪器国家队，纳克微束传承了“聚合科技动能”精神，始终坚持“守正创新”。此次突破扫描电镜领域“卡脖子”难题，正是其践行“助力我国科学与硬实力提升”使命的具体行动。纳克微束在高端仪器技术研发领域的突围，对国产电镜行业起到极大激励和引领作用，更增强了国产电镜行业发展的信心。未来，一定会有更多中国科技企业，做强做大中国电镜产业，实现更大范围、更高质量的国产替代！长期以来，国产科学仪器的研发、生产、制造依赖国外先进经验，核心技术“受制于人”。纳克微束总经理指出，虽然此次产品发布使我们在设计层次距离世界电镜强国又近了一步，但是在诸多核心器件、工程工艺、基础材料、控制芯片等子领域要想实现深度的自主创新发展，还有相当长的路要走！“业精于勤而荒于嬉”，我们要想不受制于人，就要“把马步扎得更稳”，花更多精力在基础的研发上，才能走出属于我们中国人的技术路线，这也是当年我们这批人回国报效祖国的梦想。

近日，日立发布新型场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）全新品牌 "Regulus系列"。 此次发布的机型包括作为SU8010的后续机型开发的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升级 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4个机型，均实现了分辨率和操作性的强化。 本次发布的新品牌 "Regulus系列" 电子光学系统进行了最优化处理，使得着陆电压在1kV时分辨率较前代机型提高了约20％。"Regulus8220/8230/8240"达到0.9nm，"Regulus8100"为1.1 nm的分辨率。另外，最适合低加速电压下高分辨观察的冷场电子枪可将样品的细节放大，并获得高质量的图片。最大放大倍率也由之前的100万倍提高到了200万倍。 除此之外，为了能更好的应对不同样品的测试和保持并发挥出高性能，还对用户辅助工能进行了强化，如信号检测系统的操作辅助功能，维护辅助功能等。 那让我们来看看新产品的效果吧。 主要特点：搭载了色差极小的适合低加速电压高分辨率观察的冷场电子枪跟前代机型相比分辨率大约提高了20%（Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100：1.1 nm/1 kV）最大倍率从原来的100万倍提高到200万倍*1用户辅助功能，帮助用户把仪器的高性能完全发挥出来主要参数：名称Regulus8100Regulus8240/8230/8220二次电子分辨率0.8 nm（加速电压 15 kV） 1.1 nm（着陆电压 1 kV）*20.7 nm（加速电压 15 kV） 0.9 nm（着陆电压 1 kV）*2加速电压0.5~30 kV0.5~30 kV着陆电压*20.1~2 kV0.01~20 kV倍率20~1,000,000倍*320~2,000,000倍*3马达台控制3轴自动*45轴自动*1 仅限 Regulus8240/8230/8220*2 减速模式观察*3 127 mm × 95 mm 视野的画面倍率*4 5轴马达台为选配项更多仪器信息请见：超高分辨场发射扫描电子显微镜Regulus8100 http://www.instrument.com.cn/netshow/C271723.htm场发射扫描电子显微镜Regulus8200 http://www.instrument.com.cn/netshow/C271727.htm

经历2020年疫情笼罩，2021年全球电镜市场规模回暖，规模再次以个位数速率增长，作为最大需求单一市场国家，中国则实现20%以上增长。电镜新品发布也迎来活跃一年，发布新品不仅低、中、高端产品基本覆盖，大部分主流品牌皆有输出，国产方面也多点开花。以下对2021年在电镜新品进行盘点，数据主要统计自本网报道或公开信息，如有遗漏、错误欢迎在留言区补充或邮件（yanglz@instrument.com.cn ）。2021年电镜发布新品速览（按发布时间顺序）类型品牌产品名称型号描述SEM蔡司新一代Gemini场发射扫描电镜系列GeminiSEM 360GeminiSEM 460GeminiSEM 560高分辨，不挑样日本电子肖特基场发射电镜JSM-IT800(i)/(is)适用观测半导体器件聚束科技高通量(场发射）扫描电镜Navigator-100B PLUS国产高通量场发射升级款祺跃科技原位高温扫描电镜-国产原位高温日本电子新型扫描电子显微镜JSM-IT510钨灯丝电镜升级飞纳台式场发射扫描电镜Phenom Pharos G2分辨率提至1.8nm日立两款场发射扫描电子显微镜SU8600SU8700聚焦自动获取大量数据功能国仪量子场发射扫描电镜SEM5000国产场发射扫描电镜TEM日本电子新一代冷冻电镜CRYO ARMTM 300II （JEM-3300）速度、操作、通量全面升级赛默飞球差校正透射电镜Spectra Ultra适合电子束敏感材料的球差电镜赛默飞扫描透射电镜Talos F200E为半导体行业设计纳镜鼎新高通量生物扫透电镜智眸365(Smart View 365)国产高通量生物扫描透射电镜聚焦离子束显微镜赛默飞聚焦离子束扫描电子显微镜 (FIB-SEM)Helios 5 PXL Wafer DualBeam聚焦半导体领域其他日本电子超微电子衍射平台Synergy-ED电镜-x射线衍射平台赛默飞定制球差校正电镜Spectra φ定制球差电镜扫描电镜：11款齐发，9款场发射！扫描电镜方面，场发射产品成为新品主流，蔡司和日立分别发布3款、2款场发射电镜，日本电子发布场发射和钨灯丝升级产品，飞纳台式场发射电镜分辨率提升至1.8nm。国产方面，国仪量子也加入场发射产品行列，聚束科技发布高通量场发射升级产品，祺跃科技则基于其原位力学技术，发布原位高温扫描电镜。蔡司|新一代Gemini场发射扫描电镜系列【3款】Gemini系列新品，左至右：GeminiSEM 360，GeminiSEM 460，GeminiSEM 560【发布会专题】 发布时间：3月24日参考价格：300-600万元蔡司此次发布的GeminiSEM 360，GeminiSEM 460，GeminiSEM 560是Gemini电子光学系统针对不同的应用场景衍生出的三款新型号。GeminiSEM 360搭载1型Gemini镜筒，是一款高通用性成像工具。其物镜为静电透镜+磁透镜复合透镜，在提高其电子光学性能的同时将它们对样品的影响降至更低。即使对极具挑战的样品也能进行高品质成像。Beam booster技术具有镜筒内的电子加减速功能，可确保获得小束斑和高信噪比；Gemini镜筒内带有平行设计的镜筒内二次电子和背散射电子探测器，可实现信号的高效采集，同步获取形貌衬度和成分衬度像。GeminiSEM 460搭载2型Gemini镜筒，专为应对复杂的分析工作而设计。它除了复合透镜和镜筒内加减速设计以外，利用双聚光镜设计实现更加灵活的束流调节。用户可以在小束流的高分辨成像模式与大束流的分析模式之间进行无缝切换，对称设计的EDS接口可让您获得无阴影的成分分布图，而物镜无漏磁设计可以让您获得无畸变的大面积EBSD花样。您还可以通过加装各种原位实验附件将Gemini 460升级为一个自动化原位实验平台。GeminiSEM 560搭载3型Gemini镜筒，带给用户极致的高分辨成像体验。该款镜筒拥有两个可协同工作的电子光学系统：Nano-twin透镜和新型电子光学引擎Smart Autopilot，可通过聚光镜优化所有工作条件下的电子束会聚角，进一步提升分辨力；还可实现1倍到200万倍的无缝过渡，大视野导航和亚纳米成像一镜到底。日本电子|场发射电镜JSM-IT800半透镜版本(i)/(is)新型肖特基场发射扫描电子显微镜JSM-IT800【产品链接 】 发布时间：8月31日参考价格：200-400万元JSM-IT800 集成了用于高分辨率成像的透镜内肖特基 Plus 场发射电子枪、创新的电子光学控制系统“Neo Engine”， 以及追求易用性的GUI“ SEM中心”可以完全整合JEOL 的x射线能谱仪。JSM-IT800 有五种不同物镜版本：混合镜头版本 (HL)，这是一种通用 FE-SEM；超级混合镜头版本（SHLs/SHL，功能不同的两个版本），可实现更高分辨率的观察和分析；以及新开发的半透镜版本（i/is，两个不同功能的版本），适用于半导体器件的观察。半透镜通过在物镜下方形成的强磁场透镜会聚电子束来实现超高分辨率。此外，该系统有效地收集从样品发射的低能量二次电子，并使用上部透镜内检测器 (UID) 检测电子。因此，它可以对倾斜样品和横截面样品进行高分辨率观察和分析，这正是半导体器件故障分析所需的。此外，它对于电压对比度观察也非常有用。聚束科技|高通量(场发射）扫描电子显微镜 Navigator-100B PLUS高通量(场发射）扫描电子显微镜 Navigator-100B PLUS【 产品链接 】 发布时间：8月参考价格：500-700万元成像速度在同等条件下是同类机型的10倍以上，可在72小时内以4nm 像素完成对10x10 mm2 区域的无遗漏采集。 新机型在硬件部分模组提升较大，配备新型电子枪，电子束落点能量范围可达30keV，涵盖绝大多数扫描电镜落点能量需求范围。分辨率可达1.0nm (15keV下), 且在1-3kV低加速电压下即可获得1.5nm高分辨率的同时，仍能保持1‰以下的低图像畸变。具备高度智能化，包括简单快捷全景光学导航、一键全自动换样、全景光学导航、实时聚焦追踪，可以实现全自动超大区域（100mm×100mm）全息地图集式拍摄，并绘制成全景地图式信息浏览。祺跃科技|原位高温扫描电镜祺跃科技原位高温扫描电镜新品【发布详情】 发布时间：10月14日新开发的扫描电镜设计理念包括样品室空间从紧凑到合理，样品台承载能力较大、成像探测器承温能力提升、保证高真空足够的抽气能力等，达到追求时序信息的目标。本次新品实现整机国产化的核心部件包括高温二次电子探测器、三维移动平台与大载荷拉伸平台、1400度原位加热器、超大结构样品腔室和超高真空系统等。保障电镜极端环境长时间稳定运行的相关模块包括冷阱、等离子清洗、极靴屏蔽、红外测温等。同时兼容EDX和EBSD等，还预留设置了多种通讯接口，为今后拓展更多原位技术留有余地。 日本电子|钨灯丝扫描电镜升级产品JSM-IT510钨灯丝扫描电子显微镜JSM-IT510【产品链接】 发布时间：11月8日参考价格：130-200万元为了满足基础研究、工业现场对更快获取结果数据等， JSM-IT510系列进一步提升了InTouchScope™ 的可操作性。借助新增的Simple SEM功能，现在可以将日常工作 “交给”仪器。主要特点包括：新型“Simple SEM”功能、最新型低真空二次电子探头 (LHSED)、 扫描电镜图像和能谱的一体化、实时立体三维图像、实时分析功能、新的导航放大功能、0 倍放大、显示X射线产生区域、SMILE VIEW™ Lab管理软件等。飞纳|第二代肖特基场发射台式扫描电镜Phenom Pharos G2飞纳台式场发射扫描电镜 Phenom Pharos G2【 产品链接 】 发布时间：11月24日参考价格：200-300万元Phenom Pharos G2, 集背散射电子成像、二次电子成像和能谱分析功能于一体。高亮度肖特基场发射电子源，使用户可以轻松获得高分辨率图像，且低电压性能优异。Pharos G2分辨率提升至1.8nm，采用热场发射电子源，信噪比高，使用寿命长，保证长期稳定的性能。飞纳台式场发射扫描电镜能谱一体机标配背散射电子成像、二次电子电子成像和能谱分析功能，可对各种样品进行高分辨成像及元素分析。日立|全新场发射扫描电镜SU8600和SU8700全新冷场发射扫描电镜SU8600（左）和热场发射扫描电镜SU8700（右）【发布会专题】 发布时间：12月9日全新一代冷场发射扫描电镜SU8600不光保留了日立传统冷场电镜的优点，还采用了新型冷场电子枪，可选择更多种类的探测器，而且具有全新的自动数据获取功能，这些技术的加入使得SU8600的成像、分析能力以及自动化性能都有了质的飞跃。具体特点包括：强大自动化功能、成熟的电子光学系统、强大的图像显示和存储、简便的操作等。全新一代热场发射扫描电镜SU8700是一款集高分辨观察、高效率分析、自动化操作等特点于一身的扫描电镜。全新的自动数据获取功能，电子光学系统，多探头检测系统等技术的加入使得SU8700的成像和分析能力有了质的飞跃。具体特点包括：强大的自动化功能、全新的电子光学系统、高效的分析能力、丰富的样品适用性、简便的操作等。国仪量子|场发射扫描电子显微镜SEM5000场发射扫描电镜SEM5000【 发布信息 】 参考价格：200-300万元新品场发射扫描电子显微镜SEM5000，是一款高分辨的多功能扫描电镜，分辨率优于1 nm，放大倍数超过一百万倍。SEM5000的新型镜筒，优化了电子光路设计，采用高压隧道技术，在高电压和低电压下均能实现高质量成像；系统配置了无漏磁物镜，实现了无漏磁高分辨成像，适用于磁性样品分析；可选配多种探测器及其它分析仪器，能够满足用户的各种需求。将广泛应用于锂电池材料、新型纳米材料、半导体材料、矿物冶金、地质勘探、生物等领域。透射电镜：冷冻电镜、球差电镜，国产扫描透射透射电镜方面，面向高端市场的扫描透射电镜成为新品主流。日本电子新一代冷冻电镜JEM-3300年初上市。赛默飞球差电镜新品Spectra Ultra、扫描透射电镜新品Talos F200E更加关注半导体领域。国产方面，基于生物到实验室和生物物理所合作，针对病理组织样本高通量成像需求的专用扫描透射电子显微镜SmartView发布。日本电子|新型冷冻电镜JEM-3300新型冷场发射低温电子显微镜(cryo-EM)——CRYO ARM™ 300 II (JEM-3300)【 产品链接 】 发布时间：1月22日参考价格：3000-5000万元JEM-3300新型冷冻电镜基于“快速、易于操作、获得高对比度和高分辨率图像”的理念而开发。与之前的CRYO ARM™ 300相比，JEM-3300可进行高质量数据的快速采集、操作简便，并在通量方面有大幅提升。主要特点：通过最佳电子束控制实现高速成像，独特的“Koehler mode”照射模式允许均匀电子束照射到样品的特定位置，JEM-3300吞吐量相比上一代提升两倍或更高；提高了高质量图像采集的硬件稳定性，配备了一种新型冷场发射枪(cold FEG)、新的柱内 Omega 能量过滤器；系统升级后可操作性更高等。赛默飞| 球差校正透射电镜Spectra Ultra 新一代扫描透射电镜Spectra Ultra S/TEM【产品详情】 发布时间：3月3日参考价格：2500-5000万元全新Spectra Ultra在数分钟内即可灵活优化高级成像和分析条件。出于加快材料研究进程以及高通量需求，用户现在可以以非常快的速度稳定地调节加速电压。这极大扩展了研究的样品范围，最大程度地减少了电子束损伤，并显著降低了工具的优化耗时。“配置了Ultra-X的Spectra Ultra改变了材料科学研究人员和半导体从业者的游戏规则。它可以通过迅速施加不同的加速电压来显著减少电子束损伤，并且用户将能够检测极低浓度的轻元素。”赛默飞世尔材料科学副总裁Rosy Lee表示，“此外，与其他商业化解决方案相比，用户可以以更高的分辨率快速成像快速分析，以研究新材料和改进现有材料。”赛默飞| Talos F200E扫描透射电镜Talos F200E扫描透射电镜发布时间：3月17日参考价格：600-1500万元Talos F200E (S)TEM提供原子级分辨率成像、快速EDS)分析和增强的数据可靠性，专为满足半导体行业日益增长的需求而设计。且具有成本效益，易用性高，帮助半导体实验室实现快速的样品表征，加快可以量产的速度，提高制程良率。“随着创新的步伐不断加快，半导体企业要求其分析实验室加快周转时间，并在各种设备和工艺技术上提供更可靠和可复现的(S)TEM数据，以支持他们的业务，”赛默飞半导体事业部副总裁Glyn Davies表示，“Talos F200E通过提供高质量的图像数据、快速的化学分析和行业领先的缺陷表征等特质，可以为客户提供高性价比、易用的解决方案。”纳镜鼎新|高通量生物扫描透射电子显微镜SmartView高通量生物扫透电子显微镜智眸365(Smart View 365)【产品详情】 发布时间：7月28日智眸365(Smart View 365)以其高通量、全自动、超高清图像的优越特性在降低人员工作强度的同时为专家分析和诊断病理提供更多的信息，有效提高诊断的效率与正确率。满足专业用户对超微病理诊断的需求。主要特点包括：高通量高效率，插入病理切片样品仓，选定工作模式，一次性自动连续完成多至500个样品成像等；高分辨，分辨率高达0.9nm STEM图像；高稳定运行，长寿命、超稳定的场发射电子源；使用简单等。聚焦离子束显微镜赛默飞|Helios 5 EXL晶圆聚焦离子束扫描电子显微镜Helios 5 EXL晶圆聚焦离子束扫描电子显微镜【产品详情】 发布时间：4月21日参考价格：700-1500万元Helios 5 EXL旨在满足半导体厂商随着规模化经营而不断增加的样品量以及相应的分析需求。这款产品拥有的机器学习和先进的自动化能力，可提供精确的样品制备，以支持5纳米以下节点技术和全环绕栅极半导体制程以及良率提高。赛默飞半导体事业部副总裁Glyn Davies 表示：“半导体实验室正面临着巨大的压力，在不增加成本的情况下，他们需要更快地提供TEM分析数据，以支持制程监控并提升学习曲线，Helios 5 EXL可以通过可扩展的、可复现的和高精度的TEM样品制备来应对这一挑战。”其他新品：扩展技术与定制产品日本电子|超微电子衍射平台Synergy-ED超微电子衍射平台Synergy-ED发布时间：5月31日日本电子与Rigaku公司联合开发出Synergy-ED，一个超微电子衍射平台（ED），通过将日本理学的结构分析技术和设备（如其高灵敏度检测器）与日本电子的透射电子显微镜相结合，将两者的核心技术结合起来，希望新品的技术能够应用于材料研究、化学和药物开发等领域，并为利用电子衍射进行单晶结构分析提供新的解决方案。在以前困难的亚微米范围内，结构分析成为可能。赛默飞|定制球差校正电镜Spectra φ定制的高分辨率扫描透射电子显微镜Spectra φ发布时间：5月20日定制的高分辨率扫描透射电镜Spectra φ，用以支持莫纳什大学在先进材料方面的研究。该仪器安装在澳大利亚莫纳什电子显微镜中心（MCEM）。Spectra φ提供增强的电子束灵活性，以优化复杂材料系统的高速多维成像。Spectra φ 的设计和制造符合由MCEM 和澳大利亚科学院院士Joanne Etheridge教授领导的团队的规格。通过将 Spectra φ 纳入其仪器阵容，莫纳什大学将继续推动对重要能源相关的开创性研究，包括高效光伏设备、电池、材料轻量化、低功耗电子产品和清洁发电等。

2016年新年伊始，日本电子株式会社（JEOL）即全球同步推出了新款场发射透射电镜JEM-F200。 为了全面整合近年发展起来的透射电镜上的各种功能，JEM-F200进行了全新设计，在保障各种功能达到极限的同时，追求操作的简单化和自动化，为用户提供透射电镜操作的全新体验。具体特点表现为： 1）精炼的全新设计：在提高机械和电气稳定性的同时，凭借对透射电镜的丰富经验，对电镜整体进行了精炼全新设计，力求为用户提供全新感受； 2) 四级聚光镜设计：为了最大程度发挥出STEM功能，JEM-F200进行了全新概念的四级聚光镜设计，亮度和汇聚角可以分别控制； 3）高端扫描系统：在照明系统扫描功能之上又增加了成像系统的扫描功能（选购件）可以获得大范围的EELS分析，可进行表面等离子共振（Surface Plasmon resonance)等近代物理研究； 4）皮米样品台控制：标配的压电陶瓷控制样品台，可以在原子尺度上获得精准的移动； 5）全自动装样测角台（SPECPORTER）：样品杆的插入拔出只需电钮即可全自动实现，彰显其便利性及安全性； 6）成熟的冷场发射技术：将JEOL应用在球差校正技术上的高端冷场发射技术移植到普通的场发射透射上，可获得更好的高分辨观察、更高效的成分分析和更好的化学结合状态分析； 7）双超级能谱设计：可安装双超级能谱，将普通电镜能谱的分析能力拓展到原子尺度； 8）节能减排：启用省电模式耗电量降低80%。

8月23日，上海大学公开招标购买1台冷场发射扫描电子显微镜，预算650万元。　　项目编号：SHXM-00-20210813-1030　　项目名称：上海大学冷场发射扫描电子显微镜　　预算金额(元)： 6500000　　最高限价(元)： 6000000　　采购需求：　　包名称：冷场发射扫描电子显微镜　　数量：1　　预算金额(元)：6500000　　简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：　　合同履约期限： 合同签订后5个月内　　本项目( 不允许 )接受联合体投标。　　开标时间： 2021年09月15日 09:30

近日，国仪量子应用中心迎来重磅新品——场发射扫描电镜SEM5000。SEM5000是一款分辨率高、功能丰富的场发射扫描电子显微镜，有着先进的镜筒设计，镜筒内减速、低像差无漏磁物镜设计，实现了低电压高分辨率成像，同时可适用于磁性样品。SEM5000具有光学导航、完善的自动功能、精心设计的人机交互，优化的操作和使用流程。无论操作者是否具有丰富经验，都可以快速上手，完成高分辨率拍摄任务。 左右滑动查看SEM5000 电子枪类型：高亮度肖特基场发射电子枪分辨率：1 nm @ 15 kV 1.5 nm @ 1 kV放大倍率：1 ~ 1000000 x加速电压：20 V ~ 30 kV样品台：五轴全自动样品台产品特点01分辨率高，低加速电压下实现高分辨成像02电磁复合物镜，减小像差，显著提高低电压下的分辨率，而且可观察磁性样品03镜筒内减速，在隧道中的电子能保持高能量，减少了空间电荷效应，低电压分辨率得到保证04电子光路无交叉，有效降低系统像差，提升分辨能力05水冷恒温物镜，保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性06磁偏转六孔可调光阑，自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换应用领域场发射扫描电镜SEM5000可广泛应用于锂电、芯片半导体、陶瓷、建筑材料、电子元器件、化学化工、生物医疗、环保、金属材料等领域。场发射扫描电镜SEM5000拍摄案例樱花花粉经伪彩处理NVPTIO2钛酸锂正极极片负极极片极片表面的导电添加剂隔膜

11月15日，第二十五届中国国际高新技术成果交易会（以下简称“高交会”）在深圳开幕。　　记者在中国科学院专馆看到，作为尖端科学仪器和真空技术领军者——北京中科科仪股份有限公司携其全资子公司科仪光电带来了具有自主知识产权的场发射枪扫描电子显微镜产品KYKY-EM8100。据悉，这是该产品首次在高交会亮相。中国科学院专馆　　场发射枪扫描电镜是纳米技术、生物技术、医学、化学、物理学研究的重要工具，在半导体集成电路加工、微机电系统、微型传感器等信息技术支撑领域和环境保护领域也发挥着重要作用，广泛应用于金属、陶瓷、矿物、冶金、高分子、复合材料、微生物、新能源材料的表面形貌进行观察及微区的点、线、面成分分析。　　同时，场发射枪扫描电镜在虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、产品质量鉴定等方面也有广泛的应用，对于我国的基础科学研究、生产工艺控制、各分类学科的研究有着不可替代的重要地位。　　针对基础科学研究和高精尖工业制造对国产场发射枪扫描电镜的迫切需求，2013年，中科科仪牵头，联合北京大学、中国科学院微电子研究所、中国科学院生物物理研究所、国家环境分析测试中心、清华大学等单位，承担国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”，在2014年成功推出了国内首台肖特基场发射枪扫描电镜KYKY-EM8000，并在此基础上提升电子光学系统综合性能，于2017年推出了国产高端场发射枪扫描电子显微镜产品KYKY-EM8100，分辨率优于0.9nm@30kV，3nm@1kV，解决了高分辨率电子光学成像系统、系统集成调试等关键技术，成为国内首创、达到国际同类产品技术水平、具有完全自主知识产权的肖特基场发射枪扫描电子显微镜。　　KYKY-EM8100场发射枪扫描电镜的技术优势主要有方面：一是自主设计制造了低像差物镜；二是突破了电子束镜筒加速技术；三是自主研制了电子光学智能化控制系统，实现了自动灯丝加热、自动偏压、自动孔径角、自动聚焦、自动亮度/对比度等电子光学智能化控制功能，还实现了图像增强、图像锐化、样品尺寸测量、形貌拟合、颗粒度分析等功能，大大提升了产品的功能性与使用便捷性，助力打好科技仪器设备国产化攻坚战。　　据介绍，该款扫描电镜是北京中科科仪股份有限公司承担科技部国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”研制成果的一部分。该设备目前已完成科技成果转化及产业化落地，并形成批量销售。

2022年12月20日蔡司中国新一代场发射扫描电镜Sigma系列新品线上发布会成功举办。为满足新能源，新材料，电子半导体和集成电路，深海，太空，生命科学，考古等热门领域的高分辨率成像和全面分析的需求，蔡司全新推出的场发射扫描电镜Sigma360和Sigma560，传承GEMINI电子镜筒的优良性能，将会是材料研究、生命科学和工业检测等领域的“全能多面手”。蔡司致力于和用户一起携手共进，推动科学发展与行业进步。蔡司全新场发射扫描电镜Sigma360与Sigma560蔡司中国显微镜事业部材料科研负责人黄铭刚先生出席线上发布会并为全新Sigma系列揭幕。他提到：“作为蔡司集团历史最悠久的部门之一，蔡司显微镜秉承创新的基因，持续利用前沿技术，为不同行业的客户提供跨尺度、多模态的显微成像分析解决方案。我们坚信全新的Sigma系列必将助力客户持续成功。”黄铭刚先生致辞并为新品揭幕蔡司显微镜材料科学全球市场总监BenjaminTordoff博士也受邀在发布会中致辞并介绍了全新Sigma系列的关键技术特点，尤其是低电压性能方面得到了极大提升。BenjaminTordoff博士介绍产品特点随后，蔡司中国显微镜应用经理秦艳女士详细介绍了全新Sigma系列的前沿技术。高分辨、全分析、多扩展、强智能、广应用，新一代场发射扫描电镜Sigma系列将与用户一同开启纳米分析新纪元。全新Sigma系列亮点：1、高分辨。GEMINI电子光学技术再度升级，分辨率进一步提升，低电压效果更加优秀，让用户的高分辨成像工作更加得心应手。低电压高分辨成像结果（Al2O3颗粒，1kV）2、全分析。可配置多种分析手段，获取样品全面信息：全新NanoVPLite保证低真空EDS分析精度；电子通道衬度成像（ECCI）分析样品内部缺陷；无漏磁物镜搭配EBSD，实现高精度晶体取向分析；Raman-SEM联用系统，轻松实现高精度原位拉曼分析。不锈钢ECCI成像3、多扩展。超强的扩展兼容性，为用户拓展电镜应用新维度。它可以是用户的全自动原位实验平台，可以是用户的冷冻传输分析系统，也可以是用户的高精度电子束直写(EBL)平台，还可以是用户的原位电化学分析工作站，等等。钢铁样品800°C原位自动EBSD4、强智能。SmartSEMTouch定制软件为用户带来触屏式、流程化的拍摄与自动拼图体验，操作高效又安全；ZEN软件让图像处理等量化分析工作更加自动、智能；Connect模块可轻松实现光电关联，一站式解决用户的定位难题。简洁的SmartSEMTouch操作界面5、广应用。广泛的应用适用性，无论是材料科学研究、工业检测，还是生命科学领域；无论是金属、聚合物，还是陶瓷、矿石；无论是不导电样品、电子束敏感样品，还是磁性样品；无论是半导体材料、锂电池材料，还是生物样品，它行行全覆盖，样样都拿手。含Ni磁性样品，1kV成像

项目编号：2022-JF223项目名称：高分辨场发射环境扫描电镜预算金额：250.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：250.0000000 万元（人民币）采购需求：高分辨场发射环境扫描电镜，数量：1套；简要技术要求：高分辨场发射环境扫描电镜用于微塑料样品中的表面形貌的二次电子像、反射电子成像观察及图像处理。高性能x射线能谱仪，能同时进行微塑料样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析；其他详见招标文件。合同履行期限：按招标文件要求。本项目( 不接受 )联合体投标。

2019年日本电子株式会社发布新款场发射扫描电镜JSM-F100.保留传统优势：1）长寿命电子枪（厂家质保3年）2）300nA大电流，高速能谱EBSD分析3）无漏磁物镜，磁性样品高分辨观察和分析新特点：1）电镜光镜一体化2）实时成分分析3）一键自动功能，极简操作详情请咨询捷欧路（北京）科贸有限公司及各分公司创新点：无漏磁，高通量，大开门无漏磁场发射扫描电镜

北京师范大学测试中心研究员李永良，从事扫描电镜的教学和测试工作30多年，从最初的钨灯丝扫描电镜到现在的场发射扫描电镜，深刻感受到扫描电镜技术进步带来的巨大变化。很多新技术的出现，如新型场发射电子枪、浸没式物镜、穿镜二次电子探测器、模拟背散射等，大大提高了扫描电镜整体性能，但目前在国内论述场发射扫描电镜的专著较少。因此李永良老师撰写了《场发射扫描电镜的理论与实践》，希望为读者正确理解扫描电镜提供帮助。4月29日，仪器信息网联合北京师范大学测试中心研究员李永良召开了《场发射扫描电镜的理论与实践》新书发布会，近4000名来自行业内的相关专家和学者线上参与了此次会议，共同探讨了场发射扫描电镜的前沿技术与应用，总观看人数超过了6000次，会议氛围热烈。北京师范大学测试中心 研究员 李永良《场发射扫描电镜的理论与实践——理论部分》场发射扫描电镜的出现，标志者扫描电镜进入一个崭新的时代，扫描电镜取得的巨大进步：新型电子枪、浸没式物镜、穿镜二次电子探测器、模拟背散射、E×B和电子束减速等新技术的应用，极大地提高了扫描电镜的性能，场发射扫描电镜已经成为各类分析测试实验室必备的仪器。系统地论述了扫描电镜中电子束和样品的相互作用、场发射扫描电镜的结构和成像原理，通过实操案例详细地介绍了场发射扫描电镜的调试过程和工作参数的选择，重点介绍了样品制备及场发射扫描电镜在生物、环境和材料等领域的应用。燕山大学亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室 高级实验师 张兵《电子背散射衍射技术及其新进展》电子背散射衍射是利用装配在扫描电镜上的附件对晶体材料的微区取向以及结构进行分析的一种表征手段。日前，电子背散射衍射技术有了新进展，不仅涵盖了测试方式、硬件设备以及标定算法的变化，更拓宽了其应用范围广泛应用于多个领域，包括织构、取向分析；晶粒尺寸和形状分析；晶界、亚晶及孪晶性质的分析；局部应力分析；变形行为及方式分析；材料失效分析；物相分析及鉴定等，可见电子背散射衍射技术将在材料科学领域发挥更加重要的作用。布鲁克（北京）科技有限公司 应用科学家 陈剑锋《拓展电镜的检测领域——微纳尺度里高端元素分析及表征技术》主要介绍了布鲁克的纳米分析仪器的技术特色及应用领域。其中，XFlash7具备一系列技术特色，、包括Slim-line技术、最大化探测器立体角、高达1000kcps的输出计数率、无与伦比的信号处理速度、可视化谱峰剥离、EDS空间分辨率估算等，可广泛应用于多个领域。北京师范大学测试中心 研究员 李永良《场发射扫描电镜的理论与实践——实践部分》首先详细讲解了扫描电镜的新技术：新型电子枪、浸没式物镜、穿镜二次电子探测器、模拟背散射、E×B和电子束减速。接着指导了读者如何进行像散校准，要仔细调试电子束电磁对中、找出消像散时的初始位置、一边消像散，一边微调聚焦，时刻保持图像清楚。在校正像散过程中从2万倍开始（如像散太大，还要降低倍数），再校正5万、10万、15万和20万像散。当聚集时图像不会出现拉长现象，只会在模糊和清晰之间来回变化，就表示像散校准完成。最后介绍了场发射扫描电镜在植物花粉、纳米材料、PM2.5、建材、沉积膜、磁性粉末和纳米催化剂等方面的应用。各位专家的精彩讲解视频将实时同步至会议页面：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/fesem240429/ ，一旦视频回放上线，我们将第一时间通过会议平台及官方渠道告知各位。您也可以通过仪器信息网-视频号观看回放，随时回顾专家的精彩见解。

同花顺（300033）金融研究中心10月28日讯，有投资者向钢研纳克（300797）提问， 高通量（场发射）扫描电镜，成像速度可达到传统电镜的数十倍以上。以半导体领域为例：半导体工艺线宽从100nm量级到至今的5nm，工艺制程中的缺陷检测也变的至关重要。半导体元器件进行失效分析往往需要采用先进的物理、冶金及化学的分析手段。扫描电镜分辨率高（纳米级），景深大而且可以从几十倍到几千倍连续扩大，是半导体材料研究和分析的重要工具。请问这高通量电镜是真的这麽厉害吗？公司回答表示，投资者您好，高通量（场发射）扫描电镜是扫描电镜技术的一个比较新的技术分支。最早应用在半导体产线上的电子束晶圆检测设备（EBI），从发明到现在已经在半导体产线中被成功应用于在线检测设备超过20年。近些年慢慢开始被应用到非半导体领域，如材料表征、生命科学的组织结构观测等等。虽然其有着比较大的速度优势，但是由于技术比较新，适用条件比较严苛，在应用到其他领域时也存在诸多限制，需要持续的技术升级与改进。感谢您的关注！

东方国际招标有限责任公司3月30日发布公告，在“中国科学院微电子研究所2010年仪器设备采购项目(第三批)”公开招标中，天美(中国)科学仪器有限公司以USD1,070,700.00中标3套高分辨率场发射扫描电镜。详情请见附件。附件：中国科学院微电子研究所2010年仪器设备采购项目(第三批)中标公告　　招标编号：OITC-G10032033　　采购人名称：中国科学院微电子研究所　　采购代理机构全称：东方国际招标有限责任公司　　采购项目名称：中国科学院微电子研究所2010年仪器设备采购项目(第三批)　　定标日期：2010年3月30日　　招标公告日期：2010年2月11日　　公告信息如下：　　第1包 高分辨率场发射扫描电镜 3套　　成交供应商名称：天美(中国)科学仪器有限公司　　成交价格：USD1,070,700.00　　评标委员会成员名单：张德添、段玉生、熊少祥、李科杰、欧文　　本项目联系人：窦志超　　联系电话：010-68725599-8447　　感谢各供应商对本项目的积极参与，未获中标的供应商请与即日起5个工作日内到我公司办理保证金退回事宜。

p　　strong仪器信息网讯/strong 2015年10月27日，第十六届北京分析测试学术报告会及展览会(BCEIA 2015)在北京国家会议中心隆重开幕。本次展会特别展示了由中科科仪承担的国家重大科学仪器设备开发专项《场发射枪a href="http://www.instrument.com.cn/zc/em.asp" target="_self" title="" style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 112, 192) "扫描电子显微镜/span/a开发和应用》项目的实施成果——国内首台自主研发的肖特基场发射枪扫描电镜产品KYKY-EM8000F。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201510/insimg/e4968a88-8fbd-4d58-b933-0e416021ccea.jpg" title="图0.jpg"//pp style="text-align: center "strong肖特基场发射枪扫描电镜KYKY-EM8000F/strong/pp　　在《场发射枪扫描电子显微镜开发和应用》项目的实施过程中，中科科仪突破了30kV场发射电子枪、低像差物镜设计与制造等关键技术，实现国产场发射枪扫描电镜零的突破，并且产品的分辨率优于1.5nm@30kV。KYKY-EM8000F场发射枪扫描电镜的研制成功，是我国电子光学研究水平的集中体现，将成为我国电子光学领域的重要成果，对摸索我国高端大型科学仪器的发展模式具有重要意义。/pp　　在KYKY-EM8000F展示期间，科技部、中国分析测试协会的相关领导对于该产品都给予了极大的关注，并提出了相应的指导意见。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201510/insimg/209cd609-5181-4d3d-b265-53ed504eb338.jpg" title="图..jpg"//pp　　科技部侯建国副部长、张泽院士、吴学梯司长、吴波尔原司长、原科技平台中心副主任张渝英等一行人来到中科科仪展台前参观，详细了了解KYKY-EM8000F场发射扫描电镜的研制过程，对国内首台场发射扫描电镜的研制成功表示祝贺，勉励中科科仪在将来的产品开发中取得更大成绩。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201510/insimg/7e475557-6c04-4cc5-96d3-da70578a759c.jpg" title="图2..jpg"//pp　　BCEIA2015大会主席、国务院参事、科技部原副部长刘燕华先生等一行人也特地来到中科科仪承担的国家重大科学仪器设备开发专项展台参观，详细了解KYKY-EM8000F场发射扫描电镜的情况，祝贺中科科仪在电镜开发方面取得的进展，强调一定要爱护好中科科仪这个国产电镜的唯一品牌，指出产品开发要以市场为导向，以服务用户为目标，注重产业化，把科学仪器自主创新摆在突出位置。/pp　　同时在本次展会上，KYKY-EM8000F场发射枪扫描电镜还在31家单位申报的41个项目中脱颖而出，荣获了“BCEIA 金奖”。/pp style="text-align: center "strongimg src="http://img1.17img.cn/17img/images/201510/insimg/f9217118-5176-41a4-8718-fdc42fddaef7.jpg" title="图3..jpg"//strong/pp style="text-align: center "strong“BCEIA金奖”颁奖现场/strongbr//pp　　据中科科仪电镜部孙占峰研究员介绍，KYKY-EM8000F的销售台数已超过5台。首台产品于2014年11月21日正式交付给中国科学院大学，同年12月10日，双方共建了中国科学院大学—北京中科科仪股份有限公司“电子显微技术”联合实验室，为KYKY-EM8000F的应用研究搭建了平台。/pp　　中国科学院大学在该仪器上已经开展了“国家自然基金”课题(51272281)以及“中国科学院科研装备项目”(yz201356)的材料形貌研究，对材料的观测尺度涵盖了微米级到纳米级，分析了掺杂碳材料的形貌演化规律，发现了碳材料的生长奇异现象。获得的图像显示了在碳沉积过程中掺杂金属前驱体，会使金刚石发生纳米化 在生长驱动力增大的条件下，无定形碳会发生分叉和交叉生长，这种现象在以往的碳材料研究中从未报道过。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201510/insimg/8fc2f44e-1567-409d-ac4e-18084b5169fe.jpg" title="图4.jpg"//pp style="text-align: center "strong中科科仪电镜部孙占峰研究员/strong/pp　　另外据介绍，《场发射枪扫描电子显微镜开发和应用》项目在新应用方法或解决方案、样品前处理设备、可拓展仪器应用领域的关键部件和数据库等方面也进行了卓有成效的研究，如进行了场发射枪扫描电镜在半导体集成电路的检测技术研究 建立了超过100万兆的秀丽隐杆线虫连续切片扫描电镜成像原始数据库 编制了环境空气-大气粒子(PM2.5)形貌观测与无机元素分析等行业标准建议稿 成功开发了连续超薄切片收集装置和微操作装置等样品前处理和功能拓展装置等。/pp　　通过该项目的实施，中科科仪和合作单位已申请并受理国家发明专利11项，软件著作权2项，发表相关论文2篇，起草相关行业标准建议稿2项 形成了场发射枪扫描电镜的技术资料1套，建立了包括院士、教授、高级工程师在内、覆盖国内扫描电镜研制和应用优势单位的人才队伍，培养了满足国家重大需求的高精尖仪器和电子显微学专业人才，这将为相关电子光学仪器的开发和应用提供有力的技术支撑。/pp style="text-align: right "编辑：秦丽娟/p

邀请函 | 样样都拿手—蔡司场发射扫描电镜新品线上发布会新品重磅推出，丰富好礼等你来拿2022年12月20日 星期二 14：00-15：00蔡司GEMINI电子光学技术最早可追溯至1993年，在DSM 982中就有它的身影。源远流长，精进不止，30年来GEMINI技术不断革新且从未间断，将蔡司场发射扫描电镜技术不断推向新的高度。蔡司全新场发射扫描电镜创新于更大视野的第三代半导体整片成像分析利器更灵活的全自动新材料原位分析平台更智能的数据收集、分析和管理系统……是助力于材料研究、生命科学和工业检测等领域的“多面手”。传承经典，引领创新——蔡司场发射扫描电镜新品发布会将于2022年12月20日在国内正式发布！扫描二维, 预约参会 期待与您的交流！

2007年2月9日，日本电子全球同步升级热场发射扫描电镜。型号由原来的7000F升级为7001F。升级后马达台五轴马达控制成为标准配置。配合长寿命浸没式热场发射电子枪等诸多专利技术，成为日本电子株式会社电子光学仪器中的又一亮点。

自1993年，蔡司将第一台商用FESEM——DSM-982推向市场以来，Gemini电子光学系统就成为了高分辨力与宽样品适用性的代名词。在这28年中，无论是之前的Supra、Ultra、Merlin，还是后来的Sigma和Gemini，无数用户都对蔡司电镜应对棘手样品的能力赞誉有加。今天，扫描电镜已经成为材料科学、微电子、冶金、地质等学科必不可少的表征手段。从金属到聚合物，从结构件到纳米颗粒，从微电子器件到矿石，从永磁材料到软磁材料… … 各大高校、科研院所的电镜实验室每天都会面对各类样品，而对于表征结果的要求也越来越高。这就要求扫描电镜不仅要有高标称分辨率，还要在面对不导电、不耐辐照、不平整、带磁性等等的疑难样品时，依旧能够获取高质量成像结果。经典传承，历久弥新。2021年，蔡司Gemini场发射扫描电镜再一次进化升级，而Gemini电子光学系统也针对不同的应用场景衍生出了更多型号。基于此，蔡司携手仪器信息网，将于2021年3月24日举行线上新品发布会——蔡司新一代场发射扫描电镜新品发布会 ，共同为大家解密新一代Gemini系列场发射扫描电镜的“高分辨 不挑样”。主办单位：蔡司显微镜协办单位：仪器信息网会议形式：线上网络会议，免费报名参加会议时间：2021年3月24日 下午14:30点击报名：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/ZEISS-new/或扫码报名蔡司Gemini电镜有哪些独一无二的特点？新一代Gemini电镜有哪些更新？会为您的工作带来怎样的助益？届时新品发布会上，蔡司将为您一一解答。为方便大家预先了解更多新品及会议信息，以下仪器信息网从为大家带来一手超前剧透：剧透一：会议议程03月24日 蔡司新一代场发射扫描电镜新品发布会时间议程报告人14:30--14:35发布会开场主持人14:35--15:10主题报告：高分辨，不挑样——蔡司新一代Gemini场发射扫描电镜蔡琳玲蔡司显微镜 高级应用专家15:10--15:15第一轮幸运抽奖15:15--16:00特邀报告：蔡司电镜在微纳科技中的应用陈宜方复旦大学信息科学与工程学院 教授 博士生导师16:00--16:30拓展报告：从成像到分析 – 蔡司关联显微分析解决方案李洪蔡司显微镜 高级应用专家16:30--16:45答疑时间16:45--17:00第二轮幸运抽奖剧透二：新品应用案例赏析三枚硬币可以在同一个视野下观察。成像条件：5 kV，腔室内二次电子探测器。磁性FeMn纳米颗粒。成像条件：1 kV，镜筒内二次电子探测器成像。图中立方体的边长约25 nm。干法锂电池隔离膜（Celgard-2400），成像条件：20 V，未使用样品台偏压，镜筒内二次电子探测器。图片由蔡司中国高级应用专家于洋拍摄。介孔氧化硅分子筛，对电子束敏感。1 kV，镜筒内二次电子探测器，20万倍成像。图片由蔡司中国高级应用工程师蔡琳玲拍摄。更多精彩内容，欢迎免费报名参会：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/ZEISS-new/

据报道，2014年12月10日，中国科学院大学&mdash 北京中科科仪股份有限公司&ldquo 电子显微技术&rdquo 联合实验室签约和挂牌仪式，暨我国首台自主研发场发射枪扫描电镜交接仪式，在中国科学院大学雁栖湖园区举行。副校长苏刚教授、材料学院副院长胡中波教授、校党委委员材料学院党总支书记屈一至教授和北京中科科仪董事长张永明研究员、中科科仪总裁陈静研究员、副总裁李昕研究员等出席，仪式由材料学院副院长胡中波教授主持。　　仪式上，电镜部总经理马殿理高级工程师首先就设备的研制及主要性能做了介绍。据悉，本台设备是我国首台自主研发的场发射枪扫描电镜，历时近20年，突破多项关键技术，应用范围广、功能拓展强，综合性能与国际主流产品比肩。我院陈广超教授汇报了本台设备的应用前景及合作方向，他指出，这台设备的引入不仅有助于实验测试工作的开展，更为新型探测技术和部件的研制提供了优秀的平台。苏刚副校长对此次合作表示了祝贺，希望我校能够利用好这一平台，快马加鞭、锦上添花，做出有显示度的工作，同时期待双方开展更多更深入的合作。张永明董事长也表示，我国首台自主研发场发射枪扫描电镜研制成功并交付国科大，是我国电镜发展的一个里程碑，也是双方合作的良好开端。随后，双方举行了首台自主研发场发射枪扫描电镜交接仪式、共建联合实验室签字仪式、挂牌揭幕仪式，并参观了联合实验室，考察了场枪电镜的实际使用情况。　　&ldquo 电子显微技术&rdquo 联合实验室隶属中科院大学材料学院，日常运行挂靠&ldquo 碳量子材料与器件&rdquo 实验室，以发展我国电子显微技术为宗旨，积极开展电子显微学新成果的应用研究，致力于我国电子显微技术相关的材料、器件、设备与系统的研发与知识产权源的建设，是中国科学院大学与北京中科科仪股份有限公司结成的学、研、产互补、互惠、互利的共赢平台。(材料学院 李佳君)

“第八期 日本电子（JEOL）场发射扫描电镜学习班”通知（2016.6.29-2016.7.01）尊敬的日本电子用户：我公司定于2016年6月在北京市海淀区中关村南三街6号中科资源大厦举办第八期场发射扫描电镜学习班，日本电子北京办事处扫描电镜应用工程师张君颖进行讲解，欢迎相关单位用户参加，具体事宜如下：会议目的：进行系统的场发射扫描电镜基本理论、实际操作和高阶应用培训，更好地发挥所购买扫描电镜的功能；为了达到培训效果，参加培训用户人数不超过6人。会议时间：2016年6月29日（周三）至7月1日（周五）受邀代表：JEOL场发射扫描电镜用户（适合型号为6700F,6701F,7400F,7401F,7500F,7600F,7601F,7610F的用户）会议地点：北京市海淀区中关村南三街6号中科资源大厦 南楼二层 捷欧路(北京)科贸有限公司费用：食宿、交通费由用户自理。会议联系人：张君颖（手机：15101165997）邮箱：zhang.junying@jeol.com.cn会议回执：务必请6月20日前将回执反馈至会议联系人（收到前6位回执后截止报名，抱歉！），收到您的回执确认参加后，我们将给出更详细的会议安排细节。谢谢您的合作！！！ 捷欧路（北京）科贸有限公司 2016年5月27日

2020年02月14日，日本电子（JEOL Ltd.）总裁兼首席运营官Izumi Oi宣布发布全新原子分辨率分析电子显微镜JEM-ARM300F2（GRAND ARM™ 2），该电子显微镜将于2020年2月发布。■ 主要特点1 超高空间分辨率与能谱分析的组合优化。新开发的FHP2物镜极靴的特点如下：1）提高了能谱分析效率到两倍以上。2）低光学系数，低Cc系数和低Cs系数使得超高空间分辨率和高灵敏度X射线分析能够在一定范围的加速电压下执行。（保证的STEM分辨率：300kV时53pm，80kV时96pm）**在配置STEM扩展轨迹像差（ETA）校正器时2 用于物镜的超宽极靴（WGP）能谱分析灵敏度超高，原位扩展极强。1）WGP极靴的能谱固体角为2.2 sr。2）WGP极靴宽度可达6mm，更方便进行各种类型的原位实验。3 JEOL开发的12极子球差（Cs）校正器和自动校正软件。1）FHP2极靴，GRAND ARM™ 2在300 kV时的STEM分辨率达到53 pm。2）WGP极靴，GRAND ARM™ 2在300 kV时的STEM分辨率达到59 pm。3）JEOL COSMO™ （自动校正软件）使快速，轻松执行像差校正成为可能。4 新式冷场发射枪（Cold-FEG）。GRAND ARM™ 2配备了新式Cold-FEG，可从电子源提供较小的能量散布。稳定性更好。5 减轻外部干扰的外壳这种新外壳是减少外部干扰（例如气流，室内温度变化和噪音）的标准。■ 主要规格保证分辨率HAADF-STEM图像：53pm（带ETA校正器和FHP2）电子枪：冷场发射枪（Cold-FEG）加速电压标准：300kV和80kV能量色散X射线光谱仪大面积SDD（158mm 2）：可以使用双探测器创新点：1）更稳定的得到冷场发射电子枪；2）更高级的自动球差校正软件3）更高效的能谱分析功能冷场发射12极子球差校正透射电镜

基于50年的扫描电镜研发经验，16-17下半财年伊始，日本电子株式会社发布了具有颠覆性设计的场发射扫描电镜JSM-IT300HR，并且在今年的法国欧洲里昂举行的电镜会上进行了JSM-IT300HR实机展示，大受好评。　　作为业内第一款易用型场发射扫描电镜，JSM-IT300HR拥有众多领先业界的特性：　　1) 摆脱了冷却循环水和空气压缩机，更不需要氮气瓶。第一次在场发射扫描电镜上实现只要有电源就可以安装。　　2) 样品仓超大，12英寸硅片(300mm直径)可直接放入观察。重样品可五轴方向移动。具有12个扩展接口。　　3) 标配低真空(可变压力)模式，兼顾材料科学与生命科学样品。　　4) 触摸屏点击操作，可摆脱键盘鼠标的束缚，实现远程操作。　　5) JEOL是世界上唯一同时生产电子显微镜和X射线能谱仪的厂家，哪怕是球差校正TEM上，JEOL的EDS技术也可以轻松实现原子级的分辨率。现在，JEOL将这种技术移植到SEM上来，JSM-IT300HR可配置一体化分析系统，实现一台显示器无缝切换SEM/EDS。　　6) 支持蒙太奇与光电光联显微镜技术。

尊敬的日本电子用户：我公司定于2016年4月在北京市海淀区中关村南三街6号中科资源大厦举办场发射扫描电镜学习班，日本电子北京办事处扫描电镜应用工程师陈青山进行讲解，欢迎相关单位用户参加，具体事宜如下：会议目的：进行系统的场发射扫描电镜基本理论、实际操作和应用培训，更好地发挥所购买扫描电镜的功能；为了达到培训效果，参加培训用户人数不超过6人。会议时间：2016年4月13日（周三）至4月15日（周五）受邀代表：JEOL场发射扫描电镜用户（适合型号为6700F,6701F,7400F,7401F,7500F,7600F,7601F,7610F的用户）会议地点：北京市海淀区中关村南三街6号中科资源大厦 南楼二层 捷欧路(北京)科贸有限公司费用：食宿、交通费由用户自理。 会议联系人：陈青山（手机：13910007740）邮箱：chen.qingshan@jeol.com.cn会议回执：务必请4月1日前将回执反馈至会议联系人（收到前6位回执后截止报名，抱歉！），收到您的回执确认参加后，我们将给出更详细的会议安排细节。谢谢您的合作！！！