冷场发射透射电镜

日本电子株式会社2010年7月最新推出了冷场发射双球差校正原子分辨和分析型透射电镜。传统的冷场发射技术稳定性差，亮度低，无法保证透射电镜的使用需求。日本电子株式会社最新开发的冷场发射技术解决了这些问题，并把该技术加入到最新球差校正透射电镜ARM200F序列里。使ARM200F在保证亚纳米分辨率0.078nm的同时，能量分辨率提高到0.3eV，极大增强了原子级观察和原子级分析能力。 在美国的第一台搭载冷场发射电子枪的JEM-ARM200F将安装在Florida State University’s Applied Superconductivity Center, housed in the National High Magnetic Field Laboratory. 其后美国的Brookheaven国家实验室；欧洲各国；日本的东京大学、东北大学、名古屋大学、九州大学等；中国台湾的清华大学也开始纷纷采购这一设备。从2009年开始，中国先后购买了JEM-ARM200F进二十台，针对不同研究领域选用了不同配置。2017年6月日本电子株式会社推出了最新款的NEO ARM,采用自动球差校正软件、且低压下的分辨能力超强，适用范围进一步扩大，为材料科学研究提供了一个更全面分分析平台。

2016年新年伊始，日本电子株式会社（JEOL）即全球同步推出了新款场发射透射电镜JEM-F200。 为了全面整合近年发展起来的透射电镜上的各种功能，JEM-F200进行了全新设计，在保障各种功能达到极限的同时，追求操作的简单化和自动化，为用户提供透射电镜操作的全新体验。具体特点表现为： 1）精炼的全新设计：在提高机械和电气稳定性的同时，凭借对透射电镜的丰富经验，对电镜整体进行了精炼全新设计，力求为用户提供全新感受； 2) 四级聚光镜设计：为了最大程度发挥出STEM功能，JEM-F200进行了全新概念的四级聚光镜设计，亮度和汇聚角可以分别控制； 3）高端扫描系统：在照明系统扫描功能之上又增加了成像系统的扫描功能（选购件）可以获得大范围的STEM-EELS； 4）皮米样品台控制：标配的压电陶瓷控制样品台，可以在原子尺度上获得精准的移动； 5）全自动装样测角台（SPECPORTER）：样品杆的插入拔出只需电钮即可全自动实现，彰显其便利性及安全性； 6）成熟的冷场发射技术：将JEOL应用在球差校正技术上的高端冷场发射技术移植到普通的场发射透射上，可获得更好的高分辨观察、更高效的成分分析和更好的化学结合状态分析； 7）双超级能谱设计：可安装双超级能谱，将普通电镜能谱的分析能力拓展到原子尺度； 8）节能减排：启用省电模式耗电量降低80%。

场发射透射电子显微镜TH-F120 TH-F120取名源自中华名山“太行”（TH），寓意TH-F120将如太行山一样成为中国透射电镜产业的脊梁。产品特点肖特基场发射电子枪平行束/会聚束自适应切换照明系统对称式极靴、恒功率物镜 （高衬度/高分辨模式可选）高像素CMOS相机四轴高精度样品台全中文软件交互界面产品优势人机分离电镜空间与工作空间分离，减少人为干扰，提升安全性，带来舒适的使用体验高效操作各模块控制高度集成至PC端，全中文软件交互界面一目了然，提升操作效率越级体验将场发射电子枪、高自动化系统等配置120 kV平台，入门即高配丰富拓展预设充足的附件加装接口以及整机升级空间，满足用户使用新需求，有效应对多样的应用场景产品参数 高衬度版高分辨版加速电压10～120 kV10～120 kV信息分辨率0.20 nm0.14 nm点分辨率0.36 nm0.30 nm放大倍率10～1,200,000 x10～1,500,000x主相机像素4096×40964096×4096样品台倾转角-90 °~+90 °-70 °~+70 °支持拓展EDS、STEM、侧插式相机、EELS、插入式冷冻盒

日立发布的200kV球差校正透射电镜HF5000，具有高稳定冷场发射电子枪，自动球差校正器，可一键操作实现自动球差校正，HAADF-STEM分辨率可以达到0.78埃；可配置EDS双探头，固体角最大可达2.0sr；具备TEM、STEM，SEM和电子衍射等多种图像观测模式；镜筒和样品台经过了重新设计，显著提升了仪器的性能和稳定性......HF5000将是材料学、生命科学、半导体制造、石油煤炭等研究领域的可靠助手。特点：　 1、高度自动化球差校正，尽量减少人员介入，适用于繁忙的分析测试中心或设备平台 　　2、三位一体呈现(TEM、STEM、SEM)，内部结构成像和表面结构成像可同时进行同时获取 　　3、EDS超大球面角，无窗口探头。可实现快速，高灵敏度化学成分分析 　　4、前瞻性平台总体设计，为性能扩增预留选项，例如可扩增为气体环境电镜。参数配置：

Glacios 2 冷冻透射电镜概述Thermo Scientific Glacios 2 冷冻透射电子显微镜 (cryo-TEM) 可帮助您从各种生物靶标中轻松收集近原子数据。与上一代产品相比，Glacios 2 冷冻透射电镜具有更高的通量，而且提升了冷冻电镜的易用性。其配备了集成式 Thermo Scientific Falcon 4i 直接电子探测器、Thermo Scientific EPU 软件和全新的完整机身，致力提高图像质量、实现数据采集自动化并简化您的工作流程。Glacios 2 冷冻透射电镜非常适用于单颗粒分析、冷冻电子断层扫描 (cryo-ET) 和微电子衍射 (MicroED)。Glacios 2 冷冻透射电镜的优势结果更优Falcon 4i 直接电子探测器、新设计的机身和智能 EPU 软件合力为显微镜和用户提供指引，帮助用户从样本中获得最佳结果。实操时间更短智能 EPU 软件的自动化功能和 AI 驱动型插件可在关键决策点为您提供指导，在某些情况下还可自动做出决策，从而减少在手动干预上的需求数据收集更快Falcon 4i 直接电子探测器的采集速率可达 320 fps，而无条纹成像 (FFI) 和自动化操作搭配智能插件可帮助您加快实验流程。简化的工作流程智能 EPU 软件可协助进行实验设置，并在整个实验过程中提供实时反馈，从而减少了对事先专业知识的需求。Glacios 2 冷冻透射电镜的主要特点高分辨率 TEMGlacios 2 冷冻透射电镜提供近原子分辨率。以经改进的硬件和具有可将对环境影响降到最低的全新机身，现在 Glacios 2 冷冻透射电镜的信息限制为 2.1 &angst 。同样，已将24小时内因冰生长而导致的透射损耗减少到 2%，让您在收集高分辨率图像时事半功倍。如果 Glacios 2 冷冻透射电镜配有 Thermo Scientific Selectris X 成像过滤器，还可进一步提升速度和分辨率。高通量冷冻透射电镜图像采集与上一代产品相比，集成式 Falcon 4i 直接电子探测器以更的时间提供更佳的图像质量。为进一步提高生产率和图像质量，Glacios 2 冷冻透射电镜配备了无条纹成像 (FFI) 功能（它可消除电子束边缘的条纹效应）、更稳定的载物台，并加快了自动数据采集。借助这些改进，您可在每个铝箔孔处收集更多图像，加快每个铝箔孔的单颗粒分析，进而加快单颗粒分析和冷冻电子断层扫描。添加 Selectris X 成像过滤器后，您可使用非常稳定的窄缝宽度 (10 eV) 在单颗粒冷冻电镜和冷冻电子断层扫描中获取更佳的对比度，不仅可提高分辨率，还可以更少的数据获得更快的结果，最大限度提高您的解析效率。最大程度提高易用性和效率智能 EPU 软件可实现更快、更简单的设置和处理，显微镜专业用户和非专业用户均可得益于此。已自动化几个关键设置步骤，例如在可能的情况下镜筒对齐和系统状态修复。此外，该软件和各种可选插件还可让用户充分利用操作显微镜时的时间并获取最佳结果。带有 EPU 质量监测软件的可选智能 EPU 软件是一种 AI 型软件解决方案，可分析中间结果、提供即时反馈并指导进行实时数据收集。带有嵌入式 CryoSPARC Live 的可选智能 EPU 软件是一种对数据质量进行实时结构性反馈的整体解决方案，它附带了全方位服务和应用支持。可选 EPU 多重载网软件可在远离显微镜的情况下完成多达12个载网的数据采集，从而确保生产率最大化。开放式应用编程接口 (API) 可让用户自己定制 Glacios 2 冷冻透射电镜功能。工作流程连通性样本筛选是成功冷冻电镜工作流程的重要组成部分，可在生化和玻璃化方面验证样本质量。Glacios 2 冷冻透射电镜可无缝集成到单颗粒分析和冷冻电子断层扫描工作流程中，并且可在整个工作流程中实现便捷、无污染的样本转移。Glacios 2 冷冻透射电镜可轻松接入其他 Thermo Scientific 仪器上的工作流程，包括：Thermo Scientific Krios 冷冻透射电镜Thermo Scientific Tundra 冷冻透射电镜Thermo Scientific Talos Arctica 冷冻透射电镜Thermo Scientific Aquilos 2 冷冻 FIBThermo Scientific Arctis 冷冻等离子体 FIB除了最佳的机械连通性外，由 Thermo Scientific Athena 软件提供支持的智能 EPU 数据管理还可实现数据连接，以便进行可重现的操作及存储采集的数据。占用空间更小Glacios 2 冷冻透射电镜的硬件结构经过专门设计，与其他配备自动上样系统的 200kV 显微镜相比，占用空间更小，样本取放更容易。

日立新一代全数字化120kV透射电子显微镜HT7800，操作的一体化和自动化程度都有明显提高。随着时代的发展和科技的进步，全数字化必将是透射电镜的发展趋势。数字化的优势具体表现在以下几个方面：一、HT7800采用日立全新设计的第二代双隙物镜，很好地继承了日立120kV-TEM的基本理念，即兼顾低倍率与宽视野观察、高衬度与高分辨率观察可在同一仪器上一键切换等。对比于其他厂家的独立模式设计，HT7800可在同一台透射电镜上实现两台电镜的功能。集高衬度和高分辨两种模式于一体，可同时满足软材料/纳米材料类和生命科学类客户对电镜的需求。二、使用高速高灵敏度的CMOS荧光屏相机取代了传统的荧光屏观察窗，将 TEM 操作统一于显示器上，实现透射电镜操作的全数字化，可以在明亮的室内进行观察。三、标准搭载涡轮分子泵(TMP)，实现绿色真空。HT7800所使用的真空泵包括机械泵和涡轮分子泵，均为标准配置。四、标配三维重构功能及±70°倾转样品台。一般情况下透射电子显微镜只能提供样品的平面投影图像，而无法直接获知其三维立体信息。在标准配置下，HT7800就可以通过±70°的连续倾转、拍摄及电脑重构，得到样品的立体形貌信息。五、强大的自动拼图功能。这是数字化带来的另一个优势。HT7800可通过样品台移动和电子束移动两种方式实现全倍率下的自动拼图，可得到像素16倍于主相机的无缝拼接大视野样品图片。图片存储时，自动保存样品位置与样品杆旋转信息，在自动拼接过程中实现高精度对中。自动连拍和自动拼图速度快，举例来说，一次3×3的拼接，全过程可在4min左右完成。六、方便而准确的自动连续拍摄功能。HT7800具有自动聚焦、自动定位并拍摄多张图片的功能。自动连拍功能可以一次性设置多达10000个拍摄的位置及放大倍数，通过快速的自动聚焦系统和智能化定位系统， 自动的完成拍摄任务，而无需人员看管。

专用扫描透射显微镜HD-2700，配备了与德国CEOS GmbH公司（总经理Max Haider先生）共同开发的球差校正仪，显著提高了扫描透射电子显微镜的性能，更适合高级纳米技术研究。由于球差校正系统校正了限制电子显微镜的性能的球差，使其与标准型号显微镜相比，分辨率提高了1.5倍，同时，探针电流提高了10倍。最近，该显微镜还配备了高分辨率镜头和冷场发射电子枪，进一步提高了图像分辨率和电子束能量分辨率。同时，该型号系列还增加了一款不带球差校正的主机配置，可以以后加配球差校正进行升级。特点 高分辨率扫描透射电子显微镜成像HAADF-STEM图像0.136nm，FFT图像0.105nm（高分辨率镜头（*））HAADF-STEM图像0.144nm（标准镜头）明场扫描透射电子显微镜图像0.204nm（w/o球差校正仪）高速，高灵敏度能谱分析：探针电流× 10倍元素面分布更迅速及时低浓度元素检测操作简化自动图像对中功能从样品制备到观察分析实现无缝连接样品杆与日立聚焦离子束系统兼容配有各种选购件可执行各种评估和分析操作同时获取和显示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布（*） 和DF/EELS面分布（*）图像。低剂量功能（*）（有效降低样品的损伤和污染）高精度放大校准和测量（*）实时衍射单元（*）（同时观察暗场-扫描透射电子显微镜图像和衍射图案）采用三维微型柱旋转样品杆（360度旋转）（*），具有自动倾斜图像获取功能。ELV-3000即时元素面分布系统（*）（同时获取暗场-扫描透射电子显微镜图像）（*） 选购件技术指标HD-2700球差校正扫描式透射电子显微镜项目描述图像分辨率w/o球差校正仪保证 0.204nm（当放大倍数为4,000,000时）w球差校正仪保证 0.144 nm（当放大倍数为7,000,000时）（标准镜头）保证 0.136nm（HAADF图像）保证0.105 nm（通过FFT）（当放大倍数为7,000,000时）（高分辨率镜头（*））放大倍数100倍 至 10,000,000倍加速电压200 kV, 120 kV （*）成像信号明场扫描透射电子显微镜：相衬图像（TE图像）暗场扫描透射电子显微镜：原子序数衬度图像（Z衬度图像）二次电子图像（SE图像）电子衍射（*）特征X射线分析和面分布（能谱分析）（*）电子能量损失谱分析和面分布（EV3000）（*）电子光学系统电子源肖特基发射电子源冷场致发射器（*）照明透镜系统2-段聚光镜镜头球差校正仪（*）六极镜头设计扫描线圈2-段式电磁感应线圈原子序数衬度收集角控制投影镜设计电磁图像位移± 1 &mu m试片镜台样品移动X/Y轴 = ± 1 mm, Z轴 = ± 0.4 mm样品倾斜单轴-倾斜样品杆：± 30° （标准镜头）, ± 18° （高分辨率镜头（*））真空系统 3个离子泵，1个TMP极限真空10-8 Pa（电子枪）, 10-5 Pa（样品室）图像显示个人电脑／操作系统PC/AT兼容, Windows XP监视器19-inch液晶显示器面板图像帧尺寸640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素扫描速度快扫，慢扫（0.5至320秒／帧）自动数据显示记录序号，加速电压，下标尺，日期，时间 （*） 选购件

2016年新年伊始，日本电子株式会社（JEOL）即全球同步推出了新款场发射透射电镜JEM-F200。 为了全面整合近年发展起来的透射电镜上的各种功能，JEM-F200进行了全新设计，在保障各种功能达到极限的同时，追求操作的简单化和自动化，为用户提供透射电镜操作的全新体验。具体特点表现为： 1）精炼的全新设计：在提高机械和电气稳定性的同时，凭借对透射电镜的丰富经验，对电镜整体进行了精炼全新设计，力求为用户提供全新感受； 2) 四级聚光镜设计：为了最大程度发挥出STEM功能，JEM-F200进行了全新概念的四级聚光镜设计，亮度和汇聚角可以分别控制； 3）高端扫描系统：在照明系统扫描功能之上又增加了成像系统的扫描功能（选购件）可以获得大范围的STEM-EELS； 4）皮米样品台控制：标配的压电陶瓷控制样品台，可以在原子尺度上获得精准的移动； 5）全自动装样测角台（SPECPORTER）：样品杆的插入拔出只需电钮即可全自动实现，彰显其便利性及安全性； 6）成熟的冷场发射技术：将JEOL应用在球差校正技术上的高端冷场发射技术移植到普通的场发射透射上，可获得更好的高分辨观察、更高效的成分分析和更好的化学结合状态分析； 7）双超级能谱设计：可安装双超级能谱，将普通电镜能谱的分析能力拓展到原子尺度； 8）节能减排：启用省电模式耗电量降低80%。

2016年新年伊始，日本电子株式会社（JEOL）即全球同步推出了新款场发射透射电镜JEM-F200。 为了全面整合近年发展起来的透射电镜上的各种功能，JEM-F200进行了全新设计，在保障各种功能达到极限的同时，追求操作的简单化和自动化，为用户提供透射电镜操作的全新体验。具体特点表现为： 1）精炼的全新设计：在提高机械和电气稳定性的同时，凭借对透射电镜的丰富经验，对电镜整体进行了精炼全新设计，力求为用户提供全新感受； 2) 四级聚光镜设计：为了最大程度发挥出STEM功能，JEM-F200进行了全新概念的四级聚光镜设计，亮度和汇聚角可以分别控制； 3）高端扫描系统：在照明系统扫描功能之上又增加了成像系统的扫描功能（选购件）可以获得大范围的STEM-EELS； 4）皮米样品台控制：标配的压电陶瓷控制样品台，可以在原子尺度上获得精准的移动； 5）全自动装样测角台（SPECPORTER）：样品杆的插入拔出只需电钮即可全自动实现，彰显其便利性及安全性； 6）成熟的冷场发射技术：将JEOL应用在球差校正技术上的高端冷场发射技术移植到普通的场发射透射上，可获得更好的高分辨观察、更高效的成分分析和更好的化学结合状态分析； 7）双超级能谱设计：可安装双超级能谱，将普通电镜能谱的分析能力拓展到原子尺度； 8）节能减排：启用省电模式耗电量降低80%。

产品详情日本JEOL场发射透射电子显微镜JEM-F200 以节能环保、减排低碳为理念开发的JEM-F200场发射透射电子显微镜，不仅提高了空间分辨率和分析性能，还采用了新的操作系统可满足多种使用途径，易用性强，外观设计精炼，能为不同层次的用户提供新奇的操作体验。 产品规格：超高分辨极靴高分辨极靴分辨率TEM点分辨率0.19 nm0.23 nmSTEM-HAADF 像0.14 nm @冷场枪0.16 nm @冷场枪0.16 nm @热场枪0.16 nm @热场枪加速电压200 , 80 kV200 , 80 kV主要选配件能谱仪（EDS）、电子能量损失谱仪（EELS）、CCD相机、TEM/STEM断层扫描系统 产品特点： 以节能环保、减排低碳为理念开发的JEM-F200场发射透射电子显微镜，不仅提高了空间分辨率和分析性能，还采用了新的操作系统可满足多种使用途径，易用性强，外观设计精炼，能为不同层次的用户提供新奇的操作体验。 外观设计精炼 精炼的外型，全新的视觉感受。为分析型电镜全新设计的GUI，使操作更加直观方便。JEOL长年积累的丰富经验在设计上得到了充分的体现，与旧机型相比，电镜的机械性和电气稳定性都得到了很大的提高。 四级聚光镜系统 现在的电子显微镜需要支持范围广泛的成像技术--- 从明场/暗场的TEM成像到使用各种检测器的STEM技术。 该设备采用新型四级聚光镜照射光学系统-“Quad-Lens condenser system”，通过分别控制电子束强度和汇聚角，能满足各种研究的需求。 高端扫描系统 JEM-F200可以实现大视野的STEM-EELS分析，该设备在常规的照明系统的电子束扫描功能之上，增加了新的扫描系统-“Advanced Scan System” 即成像系统的电子束扫描功能（选配）。 皮米样品台驱动 JEM-F200 采用能以皮米级步长移动样品台的Pico stage drive（不用压电驱动），能在宽动态范围移动视野-从样品的整个栅网视野移动到原子级图像视野移动都能进行。 SpecPorter（自动插入和拔出样品杆的装置） 插入和拔出样品杆，对电镜初学者来说一直是高难度的操作。 JEM-F200配备的SpecPorter，即使新手也能轻松掌握，将样品杆安装在指定的位置上，只用一个按钮即能安全地插入或拔出。 改进的冷场发射电子枪 JEM-F200能安装高稳定性、高亮度和高能量分辨率的冷场发射电子枪（选配），该枪的利用可以进行EELS化学结合状态分析，高亮度的电子束缩短了分析时间，并且还降低了来自光源的色差，实现了高分辨率的观察。 双能谱（SDD） JEM-F200能同时安装两个大口径、分析灵敏度高的硅漂移检测器（SDD）（选配件）。 凭借更高的灵敏度，EDS分析速度更快，对样品的损伤更小。 环保节能 JEM-F200是第一个标配了ECO模式的透射电子显微镜。ECO模式系统能将能源消耗降低到正常模式时的1/5，可以在装置不运行时，以最小的能耗保持着电镜的最佳条件。该设备具有排程功能，能在指定的时间将电镜从ECO模式恢复到工作状态。

产品简介日立发布的200kV球差校正透射电镜HF5000，具有高稳定冷场发射电子枪，自动球差校正器，可一键操作实现自动球差校正，HAADF-STEM分辨率可以达到0.78埃；可配置EDS双探头，固体角最大可达2.0sr；具备TEM、STEM，SEM和电子衍射等多种图像观测模式；镜筒和样品台经过了重新设计，显著提升了仪器的性能和稳定性......HF5000将是材料学、生命科学、半导体制造、石油煤炭等研究领域的可靠助手。 特点：1、高度自动化球差校正，尽量减少人员介入，适用于繁忙的分析测试中心或设备平台 2、三位一体呈现(TEM、STEM、SEM)，内部结构成像和表面结构成像可同时进行同时获取 3、EDS超大球面角，无窗口探头。可实现快速，高灵敏度化学成分分析 4、前瞻性平台总体设计，为性能扩增预留选项，例如可扩增为气体环境电镜。 参数配置：

场发射透射电子显微镜TH-F120 TH-F120取名源自中华名山“太行”（TH），寓意TH-F120将如太行山一样成为中国透射电镜产业的脊梁。产品特点肖特基场发射电子枪平行束/会聚束自适应切换照明系统对称式极靴、恒功率物镜 （高衬度/高分辨模式可选）高像素CMOS相机四轴高精度样品台全中文软件交互界面产品优势人机分离电镜空间与工作空间分离，减少人为干扰，提升安全性，带来舒适的使用体验高效操作各模块控制高度集成至PC端，全中文软件交互界面一目了然，提升操作效率越级体验将场发射电子枪、高自动化系统等配置120 kV平台，入门即高配丰富拓展预设充足的附件加装接口以及整机升级空间，满足用户使用新需求，有效应对多样的应用场景产品参数 高衬度版高分辨版加速电压10～120 kV10～120 kV信息分辨率0.20 nm0.14 nm点分辨率0.36 nm0.30 nm放大倍率10～1,200,000 x10～1,500,000x主相机像素4096×40964096×4096样品台倾转角-90 °~+90 °-70 °~+70 °支持拓展EDS、STEM、侧插式相机、EELS、插入式冷冻盒

日立发布的200kV球差校正透射电镜HF5000，具有高稳定冷场发射电子枪，自动球差校正器，可一键操作实现自动球差校正，HAADF-STEM分辨率可以达到0.78埃；可配置EDS双探头，固体角最大可达2.0sr；具备TEM、STEM，SEM和电子衍射等多种图像观测模式；镜筒和样品台经过了重新设计，显著提升了仪器的性能和稳定性......HF5000将是材料学、生命科学、半导体制造、石油煤炭等研究领域的可靠助手。特点：　 1、高度自动化球差校正，尽量减少人员介入，适用于繁忙的分析测试中心或设备平台 　　2、三位一体呈现(TEM、STEM、SEM)，内部结构成像和表面结构成像可同时进行同时获取 　　3、EDS超大球面角，无窗口探头。可实现快速，高灵敏度化学成分分析 　　4、前瞻性平台总体设计，为性能扩增预留选项，例如可扩增为气体环境电镜。参数配置：

产品简介以独特的创新设计及加工工艺，在透射电镜样品杆内搭建铜网伸缩载体和液氮冷冻传输模块，可实现样品在冷冻超低温环境下的高分辨成像。我们的优势创新设计，提高实验效率1．降温速度快，从样品进入电镜到-145℃时间≤40 Min。2．稳定工作时间长，单次补充液氮可持续使用4 h。优异性能，卓越体验1．倾转角高达±75°，观测区域全覆盖。2．温度场稳定均匀，样品漂移率1.5 nm/Min。3．分辨率高，实现电镜极限分辨率。 技术参数 类别项目参数基本参数杆体材质高强度钛合金漂移率≤1.5 nm/Min分辨率电镜极限分辨率样品规格直径3 mm倾转角α ≥ ±75°

透射电镜原位电学分析系统——纳米尺度原位电学成像分析解决方案透射电镜原位电学分析系统在先进材料科学、纳米技术开发、半导体器件开发及失效分析中发挥着至关重要的作用，能够为研究纳米尺度材料及器件提供电学性能分析支撑。该系统能够适配所有具备外部扫描控制接口的透射电镜，通过深度集成的硬件及软件协同，能够实现对所有电学信号的放大、获取及分析，每个信号均能够实现自动量化，覆盖µ A/nA/pA等电流范围。该系统主要技术优势・ 采集系统兼容所有带有外部扫描接口的透射电镜(与EDS或EELS类似)・ 所有放大和采集设置均由软件控制・ 信号自动量化并以电流值(µ A, nA, pA)显示硬件设备特点・ 快速放大优化成像・ 宽增益范围，以适应所有技术・ 小型化的固定式电子设备・ 自动信号路由为透射电镜原位电学样品杆设计的低噪声前置电流放大器 主要技术优势：・ 最靠近原始信号的初级放大，能大幅降低信号噪音・ 内置电压偏压和电流补偿・ 自动信号路由，避免放电为透射电镜配备的电学分析放大器 主要技术优势：・ 第二级放大以达到最大范围・ 出厂精确校准的增益和偏移・ 可选锁定配置电学分析成像仪(DISS6) 主要技术优势：・ 集成扫描发生器和图像采集・ 像素分辨率高，扫描速度快・ 高位深电学分析模数转换・ 同时输入明场, 高角环形暗场和电学分析信号软件设备特点：DISS6 -控制和采集应用程序 主要技术优势：・ 电学分析放大器控制・ 电学分析, 高角环形暗场和明场图像采集・ 自动定量到µ A…fA・ 电流-电压扫描工具・ 实时图像颜色混合工具・ 标准文件格式DIPS6 -数据处理程序 主要技术参数：・ 完整的图像和元数据查看器・ 自动定量到µ A…fA・ 基于梯度的变色效果・ 用于可视化的信号颜色混合・ 导出定量像素值 应用案例图一. STEM-EBIC技术:・ 非弹性损失诱导了片层中的电子-空穴对・ 内部电场将电子-空穴对分开・ 电流被数字化以获得电子束诱生电流(EBIC) STEM图像图二. 揭示内部电场:・ 分析器件中的接点和触点・ 根据设计验证掺杂分布・ 与设备模型和参数相关联图三. 研究每一层结构中的电学性能：・ 定位重组活性增加的位点・ 区分有/没有电学活动的缺陷・ 使用高分辨率技术图四. 基本物理参数测定:・ 少数载流子的扩散长度・ 位错的复合强度图五. FIB/SEM薄片制备:・ 应用标准FIB工作流程进行原位偏压・ 利用扫描电镜中的电学分析视场选择目标・ 在扫描电镜中筛选薄片以观察制备过程中的损伤

CIF透射电镜样品杆清洗机CIF透射电镜（TEM）样品杆清洗机采用双等离子清洗源设计，自动切换，一机多用，清洗快速高效。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途。 产品特点u 双等离子清洗源u 一机多用u 快速高效低损伤 技术参数产品型号CIF-TEM真空泵Agilent 、IDP-3涡轮式真空干泵入口压力1.0个大气压（0psig），出口压力1.4个大气压（6.5psig）抽速60L/min，极限真空3.3 x 10-1 mbarKF16入口接口等离子电源13.56MHz等离子射频电源，射频功率5-100W可调两种等离子体清洗源，原位等离子源和远程等离子源，自动匹配器清洗室清洗室尺寸(长X宽X高)150X150X150mm清洗数量可同时清洗3支TEM样品杆适配品牌THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI、捷欧路JEOL气体控制标配双路50毫升/分气体质量流量控制器（MFC），精确测量自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响气源选择根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择真空控制美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计， 测量范围1E-5Torr真空保证真空计和电磁阀安全互锁操控方式7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面电源220V，50/60Hz，300W质量保证二年质保，终身维护

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CIF透射电镜样品杆存储仪 CIF 透射电镜（TEM）样品杆存储仪采用无油隔膜泵，通过抽真空产生100 Pa恒定洁净无污染的真空环境，特别适用于TEM透射电镜样品杆的日常真空储存或水汽去除，简单方便实用。 产品特点u 洁净无污染u 真空度稳定u 方便实用 技术参数产品型号CIF-VS真空泵双级无油隔膜真空泵，抽速0.7 m3/h 气体控制标配一路清洗气体，采用质量流量计（MFC），自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响，测量范围1Pa-100kPa真空保证真空计和电磁阀安全互锁，自动保证恒定真空存储气压200pa存储数量5支样品杆适配品牌THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI、捷欧路JEOL操控方式7寸全彩触摸屏控制，中英文互动界面质量保证二年质保，终身维护

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CIF透射电镜样品杆存储仪 CIF 透射电镜（TEM）样品杆存储仪采用无油隔膜泵，通过抽真空产生100 Pa恒定洁净无污染的真空环境，特别适用于TEM透射电镜样品杆的日常真空储存或水汽去除，简单方便实用。产品特点u 洁净无污染u 真空度稳定u 方便实用 技术参数产品型号CIF-VS真空泵双级无油隔膜真空泵，抽速0.7 m3/h 气体控制采用质量流量控制器（MFC），精确测量自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响，测量范围1Pa-100kPa真空保证真空计和电磁阀安全互锁，自动保证恒定真空存储气压200-1000Pa存储数量5支样品杆适配品牌THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI、捷欧路JEOL操控方式7寸全彩触摸屏控制，中英文互动界面质量保证二年质保，终身维护

低电压扫描透射电子显微镜具备多种成像模式：透射模式（TEM），扫描模式（SEM），透射扫描（STEM）分析模式：电子衍射模式：ED 能量色散光谱模式：EDS电子加速电压：10, 15, 25 kV空间分辨率：1nm采用Schottky场发射电子枪，高亮度和对比度观察生物样品无需染色，且对切片厚度无要求，成像结果对比度高。真空自闭锁技术，更换样品仅需3分钟。无需冷却水和电源，无需专业实验室，操作简单，维护成本极低。其他类应用： 生物研究方向实验室台式透射电子显微镜系统，支持多种成像模式观察生物样品无需染色，简易快速地获得观察结果无需专门隔震防磁使用环境，操作维护简单无需冷却水，无需专业实验室，维护成本低采用电子加速电压，避免了传统电镜的缺点和限制 在大型的透射电子显微镜系统中，电子加速电压一般在80-300 kV左右。在如此高的电压下，对于C，H，O，N等轻元素组成的样品（如高分子和生物样品等），只有经过重元素染色操作才可以得到较好的图像对比度。而LVEM25采用的电子加速电压范围在10-25 kV，较低的加速下，研究者不需要对样品进行染色，即可得到很高的图像对比度。同时在25 kV电压下，LVEM25还避免了低电压对样品厚度的限制要求，只需要研究者按照正常厚度要求制作样品切片即可。操作简单，维护成本极低。 LVEM25虽然和传统TEM一样遵循了相同的电子透镜基本原理，但是在产品结构上却有着显著的不同。这一创新性设计使得LVEM25的设备尺寸大大缩小，真正实现了TEM的“小型化，台式化"。LVEM25对设备安装环境没有任何要求，不需要高功率电源，无需磁屏蔽和减震装修，更不需要冷却水和液氮冷阱等复杂配置，日常维护成本极低。同时LVEM25操作界面简单友好，研究者经过相对简单的培训后即可执行日常操作。 优化的硬件配置，保证运行稳定可靠。 采用肖特基场发射电子枪 LVEM25采用了Schottky场发射电子枪，保证设备连续运行数千小时。同时为样品成像提供了更好的亮度和空间均匀度。 样品和电子枪附近采用离子泵抽真空 LVEM25在样品腔和电子枪附近配备了离子泵来达到超高真空环境，在保证设备运行稳定的同时，有效避免了外部机械振动。 电子透镜组由永磁体组成 LVEM25的电子透镜模块由永磁体构成，从而精简了一般大型电镜中的磁体电源系统，进一步提高了设备运行的稳定性和可靠性，同时大大降低了维护成本。 放大倍率：1,000 - 470,000 加速电压：10, 15, 25 kV分辨率：1 nm 类型：场发射规格：分析系统 加工定制：标准器电子枪：Schottky场发射电子枪 加速电压：5,10,15,25 kV成像模式：TEM、STEM、SEM、EDS和ED TEM分辨率：最高1.0 nm冷却水：不需要 压缩空气：不需要换样时间：最快2分钟 应用：材料、生物体积：小巧 操作维护：简单

产品简介以独特的创新设计及加工工艺，在透射电镜样品杆内搭建铜网伸缩载体和液氮冷冻传输模块，可实现样品在冷冻超低温环境下的高分辨成像。我们的优势创新设计，提高实验效率1．降温速度快，从样品进入电镜到-145℃时间≤40 Min。2．稳定工作时间长，单次补充液氮可持续使用4 h。优异性能，卓越体验1．倾转角高达±75°，观测区域全覆盖。2．温度场稳定均匀，样品漂移率1.5 nm/Min。3．分辨率高，实现电镜极限分辨率。技术参数类别项目参数基本参数杆体材质高强度钛合金样品直径3mm漂移率＜0.5 nm/min（稳定状态）旋转角α ≥±75°，具体以实际电镜型号为准分辨率电镜极限分辨率兼容电镜Thermo Fisher/FEI，JEOL，Hitachi(HR)TEM/STEM支持(HR)EDS/EELS/SAED支持应用案例Pd纳米颗粒高分辨表征

CIF透射电镜样品杆清洗机CIF透射电镜（TEM）样品杆清洗机采用双等离子清洗源设计，自动切换，一机多用，清洗快速高效。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途。产品特点u 双等离子清洗源u 一机多用u 快速高效低损伤 技术参数产品型号CIF-TEM真空泵前级泵 抽气速率2L/s分子泵 分子泵抽速＞80L/s（N2)极限真空：CF:5x10-6pa，ISO-K:3x10-5pa入口法兰：DN100CF/DN100 ISO-K等离子电源13.56MHz等离子射频电源，射频功率5-120W可调远程等离子源，自动匹配器清洗室清洗室尺寸Φ180xH100mm清洗数量可同时清洗3支TEM样品杆适配品牌THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI、捷欧路JEOL气体控制标配单路质量流量计（MFC)可选双路，50毫升/分，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响气源选择根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择真空控制质量流量计（MFC),皮拉尼真空计， 测量范围1E-5Torr真空保证真空计和电磁阀安全互锁操控方式7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面电源220V，50/60Hz，300W质量保证二年质保，终身维护

产品简介可将最多4个样品同时置入透射电镜中，与市面常见的3孔样品杆相比，大幅提高透射电镜的使用效率。全新的结构设计及超高精度的旋钮换样方式，帮助降低漂移率，提高成像质量。 我们的优势 低漂移提供高质量成像创新的弹性铜片固定方式和超高精度旋钮，减小漂移，提高成像质量。创新设计，提高实验效率1．一次可放置4个样品。2．高精度旋钮控制方式，简便实用。技术参数类别项目参数基本参数杆体材质高强度钛合金样品直径3mm样品数量4个旋转角α ≥±25°，具体以实际电镜型号为准兼容电镜Thermo Fisher/FEI, JEOL, Hitachi(HR)TEM/STEM支持(HR)EDS/EELS/SAED支持应用案例Pd纳米颗粒高分辨表征

最近，该显微镜还配备了高分辨率镜头和冷场发射电子枪，进一步提高了图像分辨率和电子束能量分辨率。同时，该型号系列还增加了一款不带球差校正的主机配置，可以以后加配球差校正进行升级。特色 高分辨率扫描透射电子显微镜成像HAADF-STEM图像0.136 nm，FFT图像0.105 nm(高分辨率镜头*)HAADF-STEM图像0.144 nm(标准镜头)明场扫描透射电子显微镜图像0.204 nm(w/o球差校正仪)高速，高灵敏度能谱分析：探针电流×10倍元素面分布更迅速及时低浓度元素检测操作简化自动图像对中功能从样品制备到观察分析实现无缝连接样品杆与日立聚焦离子束系统兼容配有各种选购件可执行各种评估和分析操作同时获取和显示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布*和DF/EELS面分布*图像。低剂量功能*(使样品的损伤和污染程度降至最低)高精度放大校准和测量*实时衍射单元*(同时观察暗场-扫描透射电子显微镜图像和衍射图案)采用三维微型柱旋转样品杆(360度旋转)*，具有自动倾斜图像获取功能。ELV-3000即时元素面分布系统*(同时获取暗场-扫描透射电子显微镜图像)* ：选购件 规格HD-2700球差校正扫描式透射电子显微镜项目描述图像分辨率w/o球差校正仪保证 0.204 nm(当放大倍数为4,000,000时)w球差校正仪保证 0.144 nm(当放大倍数为7,000,000时)(标准镜头)保证 0.136 nm(HAADF图像)保证 0.105 nm(通过FFT)(当放大倍数为7,000,000时)(高分辨率镜头*)放大倍数100倍 至 10,000,000倍加速电压200 kV, 120 kV *成像信号明场扫描透射电子显微镜：相衬图像(TE图像)暗场扫描透射电子显微镜：原子序数衬度图像(Z衬度图像)二次电子图像(SE图像)电子衍射*特征X射线分析和面分布(能谱分析)*电子能量损失谱分析和面分布(EV3000)*电子光学系统电子源肖特基发射电子源冷场致发射器*照明透镜系统2-段聚光镜镜头球差校正仪*六极镜头设计扫描线圈2-段式电磁感应线圈原子序数衬度收集角控制投影镜设计电磁图像位移±1 μm试片镜台样品移动X/Y轴 = ±1 mm, Z轴 = ±0.4 mm样品倾斜单轴-倾斜样品杆：±30°(标准镜头), ±18°(高分辨率镜头*)真空系统 3个离子泵，1个TMP极限真空10-8 Pa(电子枪), 10-5 Pa(样品室)图像显示个人电脑／操作系统PC/AT兼容, Windows XP监视器19-inch液晶显示器面板图像帧尺寸640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素扫描速度快扫，慢扫(0.5至320秒/帧)自动数据显示记录序号，加速电压，下标尺，日期，时间

一、产品简介CIF 透射电镜（TEM）样品杆存储仪采用无油隔膜泵，通过抽真空产生100 Pa恒定洁净无污染的真空环境，特别适用于TEM透射电镜样品杆的日常真空储存或水汽去除，简单方便实用。二、产品特点1. 洁净无污染2. 真空度稳定3. 方便实用三、技术参数产品型号CIF-VS真空泵双级无油隔膜真空泵，抽速0.7 m3/h 气体控制标配一路清洗气体，采用质量流量计（MFC），自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响，测量范围1Pa-100kPa真空保证真空计和电磁阀安全互锁，自动保证恒定真空存储气压200Pa 存储数量5支样品杆适配品牌THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI、捷欧路JEOL操控方式7寸全彩触摸屏控制，中英文互动界面质量保证二年质保，终身维护

一、产品简介CIF透射电镜（TEM）样品杆清洗机采用远程离子清洗源设计，清洗快速高效，低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏。二、产品特点1. 远程离子清洗源2. 一机多用3. 清洗快速高效，低轰击损伤三、技术参数产品型号CIF-TEM等离子电源13.56MHz等离子射频电源，射频功率5-120W可调远程等离子源，自动匹配器清洗室清洗室尺寸Ø 180xH100mm清洗数量可同时清洗3支TEM样品杆适配品牌THERMO FISHER（FEI）、日立HITACHI、捷欧路JEOL气体控制标配单路质量流量计（MFC）可选双路。50毫升/分，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响气源选择根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择真空控制质量流量计（MFC），皮拉尼真空计，测量范围1E-5Torr真空保证真空计和电磁阀安全互锁操控方式7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面真空泵前级泵抽气速率2 L/s分子泵极限真空:CF:5x10-6Pa，ISO-K: 3x10-5Pa分子泵抽速 80L/s （N2）入口法兰：DN100CF/DN100 ISO-K 质量保证二年质保，终身维护电 源220V，50/60Hz，300W