[color=#ff0000]摘要:本文介绍了根据客户要求对CVD管式炉真空控制系统进行升级改造的过程,分析了客户用CVD管式炉真空控制系统中存在的问题,这些问题在目前国产CVD和PECVD管式炉中普遍存在。本文还详细介绍了改造后的真空压力控制系统的工作原理、结构和相关部件参数等详细内容,改造后的真空压力控制精度得到大幅度提高。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align] [size=18px][color=#ff0000]一、背景介绍[/color][/size]客户订购了一台CVD管式炉以进行小尺寸材料的制作,CVD管式炉及其结构如图1所示。在使用中客户发现这台管式炉在CVD工艺过程中无法保证材料的质量和重复性,材料性能波动性较大,分析原因是真空压力控制不准确且不稳定。为解决此问题,客户提出对此CVD管式炉的真空控制系统进行升级改造。[align=center][img=CVD和PECVD管式炉真空控制系统,690,370]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206281659560038_5783_3384_3.png!w690x370.jpg[/img][/align][align=center]图1 用户购置的CVD管式炉及其结构内容[/align]我们通过分析图1所示CVD管式炉的整体结构,发现造成真空压力控制效果较差的原因,主要是此管式炉的真空控制系统存在以下几方面的严重问题,而这些问题在目前国产CVD和PECVD管式炉中普遍存在。(1)真空计选择不合理:对于绝大多数的CVD和PECVD管式炉,其真空度的控制范围一般都为1Pa~0.1MPa(绝对压力),并要求实现真空度精确控制。而在客户所购置的CVD管式炉(包括其他品牌产品)中,为了节省造价,管式炉厂家配备了皮拉尼计和皮拉尼+电容真空计,但这种组合式电容真空计在10kPa~95kPa范围内的精度只有±5%,0.1Pa~10kPa范围内的精度则变为±15%,比单纯的薄膜电容真空计的全量程±0.25%精度相差太大。合理的选择是使用单纯的薄膜电容真空计,而且须配置2只真空计才能覆盖整个真空度范围的测量和控制。(2)控制方法错误:对于1Pa~0.1MPa(绝对压力)范围内的真空度控制,需要分别采用上游和下游控制模式进行控制才能达到很好的控制精度。例如,在1Pa~1kPa范围内采用上游控制模式,即固定真空泵抽速而只调节上游进气流量;在1kPa~0.1MPa范围内采用下游控制模式,即固定上游进气流量而只调节下游的排气流量。客户所采用的CVD管式炉则仅采用了调节进气流量的上游控制模式,势必会造成1kPa~0.1MPa范围内的真空度控制波动性很大,同时造成工作气体的极大浪费。(3)多种比例混合气体控制结构错误:在CVD工艺中,反应气体为按比例配置的多种工作气体混合物。尽管CVD管式炉中采用了4只气体质量流量计来配置工作气体,但质量流量计只能保证气体混合比的准确性而无法对真空度进行准确控制,除非是单一气体则可以通过一个质量流量计来调节进气流量来实现真空度控制。综上所述,客户所购置的CVD管式炉存在一些严重影响真空度控制精度的问题,文本将详细介绍解决这些问题的具体方法和升级改造详细内容。改造后的真空度控制系统可在全量程范围内控制精度优于±1%。[size=18px][color=#ff0000]二、升级改造技术指标[/color][/size]对客户的CVD管式炉的真空控制系统进行升级改造,需要达到的技术指标如下:(1)真空度控制范围:1Pa~0.1MPa(绝对压力)。(2)真空度控制精度:±1%(全量程范围)。(3)控制形式:定点控制和曲线控制。(4)输入形式:编程或手动。(5)PID参数:自整定。[size=18px][color=#ff0000]三、升级改造技术方案[/color][/size]针对客户的4通道进气CVD管式炉,为实现真空控制系统的上述技术指标,所采用的技术方案如图2所示。[align=center][img=CVD和PECVD管式炉真空控制系统,690,360]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206281700285160_4408_3384_3.png!w690x360.jpg[/img][/align][align=center]图2 CVD管式炉真空度控制系统结构示意图[/align]如图2所示,升级改造的技术方案主要在以下几方面进行了改动:(1)还保留了皮拉尼真空计以对真空度进行粗略的测量,更主要的是采用皮拉尼计可以覆盖0.001Pa~1Pa的超高真空监控。但在1Pa~0.1MPa真空度范围内,增加了两只薄膜电容真空计分别覆盖1Pa~1kPa和10kPa~0.1MPa,以提高CVD工艺过程中的真空度测量精度。(2)对于1Pa~0.1MPa(绝对压力)范围内的真空度控制,分别采用上游和下游控制模式进行控制以实现更高的控制精度。例如,在1Pa~1kPa范围内采用上游控制模式,即固定真空泵抽速而只调节上游进气流量;在1kPa~0.1MPa范围内采用下游控制模式,即固定上游进气流量而只调节下游的排气流量。(3)对于多种比例混合工作气体的CVD工艺,继续保留4路气体质量流量控制器以实现比例准确的工作气体混合,但精密混合后的气体进入一个缓冲罐。缓冲罐内气体进入CVD管式炉的流量通过一个电动针阀进行调节,由此既能保证工作气体的准确混合比,又能实现上游进气流量的精密调节。(4)为实现下游控制模式,在CVD管式炉的排气口处增加一个电动针阀,此电动针阀的作用是调节排气流量。下游控制模式在CVD工艺中非常重要,这种模式可以保证1kPa~0.1MPa范围内真空度的精确控制。如果在1kPa~0.1MPa范围内采用上游控制模式,一方面是真空度控制波动太大,另一方面是会无效损耗大量工作气体。(5)真空度的控制精度,除了受到真空计测量精度和电动针阀调节精度的影响之外,还会受到PID控制精度的严重制约。为此,技术方案中选用了24位AD和16位DA的高精度PID控制器,且具有定点和可编程控制功能,同时PID参数可进行自整定以便于准确确定控制参数。(6)由于采用了两只高精度的电容真空计测量整个量程范围的真空度,在实际真空度控制过程中,就需要根据不同量程选择对应的电容真空计并进行真空度控制。由此,这就要求PID控制器需要具备两只真空计之间的自动切换功能。(7)在CVD和PECVD管式炉真空度控制系统升级改造方案中,使用了上下游两种控制模式,这就要求PID控制器同时具备正向和反向操作功能,也可以采用2通道可同时工作的PID控制器,一个通道对应一个电动针阀。[size=18px][color=#ff0000]四、总结[/color][/size]针对客户的4通道进气CVD管式炉存在的CVD工艺中真空度控制严重不稳定的问题,分析了造成真空度控制不稳定的主要原因是真空计测量精度不够、控制方法不正确、多种工作气体混合结构不正确。为解决上述问题,本文提出了相应的升级改造技术方案,更换了精度更高的薄膜电容真空计,采用了控制精度更高的上下游控制方法,在多种气体混合管路上增加了缓存罐,并使用了调节和控制精度较高的电动针阀和2通道PID控制器。升级改造后的真空控制系统,可在全量程的真空度范围(1Pa~0.1MPa)内实现±1%的控制精度和稳定性。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]
[align=center][img=高温石英管式炉及其真空控制系统,600,391]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/11/202311281102414320_6035_3221506_3.jpg!w690x450.jpg[/img][/align][size=16px][color=#990000][b]摘要:针对用户提出的高温石英管加热炉真空度控制系统的升级改造,以及10~100Torr的真空度控制范围,本文在分析现有真空控制系统造成无法准确控制所存在问题的前提下,提出了切实可行的解决方案。解决方案对原有的无PID控制功能的压强自动控制仪和慢速大口径电动蝶阀进行了更换,采用了高精度可编程PID真空压力控制器,采用了口径较小响应速度更快的电动球阀。此解决方案已在多个真空领域得到应用,并可以达到±1%的高精度控制。[/b][/color][/size][align=center][size=16px][color=#990000][b]~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/b][/color][/size][/align][size=18px][color=#990000][b]1. 项目背景[/b][/color][/size][size=16px] 高温石英管式炉广泛用于陶瓷、冶金、电子、玻璃、化工、机械、耐火材料、新材料开发、特种材料和材等领域。石英管式炉的加热元件一般为NiCrAl电阻丝,并采用双层壳体结构,并带有风冷,使得壳体表面的温度小于70℃。保温材料采用高纯氧化铝纤维,环保节能,可以最大程度的减少热量的损失。为了进行各种气氛环境下的高温反应和研究,并避免高温产出物对加热丝的腐蚀影响,石英管式炉中普遍安装了一根高纯石英管用来作为炉膛,且石英管两端可固定金属密封法兰,从而可在石英管内形成密闭真空环境。[/size][size=16px] 最近有用户提出了对在用的石英管式炉进行技术改造,此卧式高温石英管式炉如图1所示。[/size][align=center][size=16px][color=#990000][b][img=需进行升级改造的高温石英管式炉及其真空控制系统,690,286]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/11/202311281105026257_5413_3221506_3.jpg!w690x286.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]图1 需进行改造的真空石英管式炉及其真空控制系统[/b][/color][/size][/align][size=16px] 用户对现有石英管式炉进行技术改造的内容是要实现管式炉真空度的精密控制,如图1所示,现有的真空度控制系统采用了电容薄膜真空规作为真空度传感器,传感器配套有真空显示仪进行真空度测试值显示并输出信号,压强自动控制仪接收传感器信号,然后驱动电动蝶阀进行开度变化,以实现真空度的自动控制。但此真空度控制系统在调试过程中,完全无法实现真空度的自动控制,这主要是现有真空度控制系统存在以下几方面的问题:[/size][size=16px] (1)现有真空控制系统所采用的压强自动控制仪并不具备PID控制功能,所以有时候会出现某些真空度区间无法准确控制的现象。[/size][size=16px] (2)所采用的电动蝶阀响应速度太慢,而且口径太大,很难对压强自动控制仪输出的控制信号做出快速响应,对如此小内径的石英管腔体很难进行真空度的准确控制。[/size][size=16px] 为了彻底解决现有真空度控制系统存在的上述问题,本文提出了如下技术升级改造方案。[/size][size=18px][color=#990000][b]2. 解决方案[/b][/color][/size][size=16px] 首先,按照用户要求,解决方案拟达到的技术指标如下:[/size][size=16px] (1)真空度控制范围:10~100Torr(绝对压力)。[/size][size=16px] (2)真空度控制精度:读数的±%。[/size][size=16px] (3)控制功能:PID自动控制,多个设定点可编程自动控制。[/size][size=16px] 为了实现上述技改指标,本解决方案所设计的高精度真空度控制系统如图2所示。[/size][align=center][size=16px][color=#990000][b][img=改造升级后的真空控制系统结构示意图,690,292]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/11/202311281105266047_8320_3221506_3.jpg!w690x292.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]图2 改造升级后的真空控制系统结构示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 改造升级后的真空控制系统还是沿用下游控制模式,即对排气流量进行调节,同时还继续使用原有的电容真空计,但在以下几方面做出了改进:[/size][size=16px] (1)真空度测量和控制仪表的改进:解决方案中采用了超高精度VPC2021-1型真空压力控制器,其具有24位AD、16位DA和0.01%最小输出百分比,可直接用来接收电容真空计输出的真空度电压信号并按照真空度单位进行显示,无需再使用原有的真空显示仪。此真空压力控制器是一款超高精度的PID控制器,充分发挥了PID自动控制的强大功能,且PID参数可进行自整定,是实现真空度高精度控制的重要保证。另外,此真空压力控制器具有多个设定点编程控制功能,可按照设定折线和真空度变化速率对石英管内的真空度进行自动程序控制。[/size][size=16px] (2)排气阀门的改进:解决方案中将原有的慢速和大口径电动蝶阀更换为响应速度更快和口径更小的电动球阀,在减小排气调节口径提高阀门开度调节效率的同时,能更快的响应真空压力控制器给出的控制信号,极大减小了控制的滞后性,保证了控制的准确性。[/size][size=16px] 图3给出解决方案中真空度控制系统的接线图。[/size][align=center][size=16px][color=#990000][b][img=真空控制系统接线图,600,191]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/11/202311281105446783_3371_3221506_3.jpg!w690x220.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#990000][b]图3 真空度控制系统接线图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 解决方案中所配置的VPC2021-1真空压力控制器具有标准MODBUS通讯协议的RS485接口,并配置了计算机软件,可通过在计算机上运行软件完成控制器的参数设置、远程控制操作、控制过程参数和曲线的显示和存储。[/size][size=18px][color=#990000][b]3. 总结[/b][/color][/size][size=16px] 本解决方案将彻底解决了管式炉真空度的高精度控制问题,并具有以下特点:[/size][size=16px] (1)解决方案的下游真空度控制不受上游进气流量大小的影响,在调节的恒定进气流量下,石英管内的真空度可以自动控制在设定值上。[/size][size=16px] (2)本解决方案具有很强的灵活性,目前本解决方案所控制的是10~100Torr真空度范围,如果要进行0.1~10Torr范围的真空度控制,则通过在进气端口增加一个电动针阀,通过恒定排气流量的同时调节针阀开度,则可实现高真空度精密控制。同样,更换更大量程的真空计,还可以在石英管内实现微正压控制。[/size][size=16px] (3)本解决方案具有很强的适用性,在排气端增加真空进样装置,可将石英管加热炉内高温下产生的气体导入到质谱仪或与其他仪器联用进行产物分析。[/size][size=16px] (4)本解决方案中的真空压力控制器是一款通用性PID控制器,除了具有高精度真空压力控制功能之外,更换温度传感器和流量计后也可以用于温度和流量控制。[/size][size=16px][/size][align=center][size=16px][b][color=#990000]~~~~~~~~~~~~~~~[/color][/b][/size][/align]
立式冷冻干燥机在医药、生物制品、食品、血液制品、活性物质领域得到广泛应用的一种仪器,冷冻干燥机系由制冷系统、真空系统、加热系统、电器仪表控制系统所组成。主要部件为干燥箱、凝结器、冷冻机组、真空泵、加热/冷却装置等。冷冻干燥(以下简称冻干)就是将含水物质,先冻结成固态,而后使其中的水分从固态升华成气态,以除去水分而保存物质的方法。主要特点: ●采用原装进口制冷机,捕水能力强。 ●冷阱开口大,带样品预冻功能。 ●冷阱为全不锈钢,冷阱内无盘管,光洁耐腐蚀。 ●透明钟罩式干燥室,安全直观。 ●不锈钢样品架,普通型样品盘间距可调。 ●外形美观,体积小,显着减少实验室台面占用。
事件回放:3月23日,淘宝网表示,对保健食品类目现有商品信息进行梳理、排查。一个月(3月24日~4月23日)内,该网站保健食品类目将暂停发布新商品,所有允许发布的保健食品信息必须取得国家批准文号,对目前没有取得国家批准文号的保健食品进行下架。对于发布此类保健食品信息的店铺,视情节轻重进行限权直至永久封店处理。 26岁的北京美眉小王的网络购物历史已超过5年,馋嘴的她最近又迷上了在网上买食品,用她的话说是“足不出户,轻点鼠标,重庆的牛肉干、武汉的鸭脖子、湖南的香豆干、内蒙古的奶酪、东北的山核桃通通送上门来!”不过近日小王有点伤心——从黑龙江运过来的进口俄罗斯食品都是过期货,而湖南卖家自制的土家香肠有质量问题,根本无法食用。 专家提醒,网上销售食品还存在很多监管真空,无证照的自制食品正在风行,众多保健食品鱼目混珠……食品是整个网络购物监管的薄弱地带,建议网购消费者多掌握一些挑选和辨别伪劣食品的方法。 【保健食品】 先查批准文号 目前,保健食品成为网购食品中增长最迅速的类别。按照相关法规,保健食品的批准文号是其合法上市的“身份证”,专家提醒在网上购买保健食品时,一定要事先查询并事后核对其批准文号。 保健食品及其批准文号如何辨别查询呢?3月27日,记者以买家身份致电淘宝网客服询问“买家如何鉴别保健品的批准文号?”淘宝客服表示,这需要买家自己识别。 对此,中国保健协会副秘书长周邦勇介绍,每一种保健食品都对应一个批准文号。2004年以前,保健食品的审批及管理由卫生部主管,格式为“卫食健字”开头,而2004年至今转由国家食品药品监督管理局审批及管理,格式为“国食健字”开头。买家在购买前可向卖家索要该保健食品的批准文号,然后去相关网站查询是否真实有效,确认有效之后再下单购买。在收到该保健食品之后,也要核对卖家提供的文号是否与产品上的一致。 需要注意的是,虽然有的批准文号在1996年就已签发,但由于卫生部当时并没有限制有效期,所以目前还不存在保健食品批准文号过期的问题,只要在官方网站上能查到的批准文号,都是真实有效的。但新的《食品安全法》实施以后,将会对批准文号实行5年的有效期。
几年前,我所在的实验室刚刚开始利用拟南芥作为模式植物进行基因的分子生物学鉴定。拟南芥这种模式植物种子的获得,转化材料的获得都是非常容易的事情。一开始我采用喷雾的方法进行floral dip的转化,后来听说真空转化转化效率更高,于是我开始四处打听哪个公司有卖真空转化罐。首先,我开始向有真空罐的实验室打听他们的罐子是从哪里买来的,结果得到的结果只有两种:一种是老板从国外带来的,而另一种则是一来实验室就有,不知道从哪里来的。看看从国外带来的那些罐子,在国内也无法找到地方购买。于是我开始在网上搜索,信息十分有限,输入关键词“真空罐”,你会发现几乎没有你想要的类型,要是是工业上用的钢罐,要么是保存食物的玻璃罐,甚至拔罐用的真空罐,几乎很难找到能够用于拟南芥转化的特殊塑料做成的可以抽真空的真空罐。不过呢,功夫不负有心人,我终于在网上查到了一款我可以使用的真空罐,于是我开始四处查找这款真空罐出售的卖家。最终我买到了。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/11/201211131335_403735_1306303_3.jpg打开包装,有一个细节让我至今难忘,也引起我对我们一些民营小企业的一些思考。包装箱里附带着这样的一个广告页。看了这个广告页,我才知道生产我所买的这款罐子的生产厂家,以及他们的主要产品。广告页上最醒目的就是下面一行字:“尊敬的客户:请把本资料转给您的同行,看他们需要哪种型号,拜托!”这是我第一次看到这样的广告。看了这个,我很纠结,我纠结的是我查到这个东西费了我很长很长时间,而公司呢,或许因为没有实力做宣传吧,仅靠这种手把手的宣传来扩大销路。这类产品或许应用范围不是很广,所以宣传的力度并不大,即便今天事隔几年,我在网上对这个公司及产品进行搜索,结果也不过几十条,这无疑更增大了使用者查询的难度。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2012/11/201211131339_403738_1306303_3.jpg或许这是一种悲哀,是欲购买者的悲哀,亦或更是厂商的悲哀。或许像仪器信息网这样的平台可以帮忙对这类仪器进行一下宣传,架起购买者和厂商之间的桥梁。
[b]内置热监控,氮气能够 100 ppm[/b]HELLER2049MK7回流焊炉是一款槁效、可靠的生产设备。该设备内置热监控系统,能够实时监测温度变化,并通过自动调整加热器功率来保持恒定的温度。该设备使用氮气作为保护气体,在运行过程中可以将氮气含量控制在小于100ppm以内,从而有效减少组件表面上的氧化物形成。[b]Energy Management System[/b]HELLER2049MK7回流焊炉采用节能管理系统,对加热和冷却过程进行有效控制,从而使得整个工艺过程更加槁效节能。通过智能化管理系统,可以减少电力消耗并延长设备寿命。[img=,690,690]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/11/202311021207373923_2007_5802683_3.jpg!w690x690.jpg[/img][b]12“ 宽加热器模块[/b]该型号的回流焊炉配有12英寸宽的加热器模块,在同等尺寸内相比较其他厂家产品具有更大的通道空间和更高的通风性能。这意味着它可以在相同的时间内焊接更多的元件,从而提高了生产效率。[b]多温区设计,更多温控点[/b]Heller焊炉采用多温区设计,能够满足不同温度曲线的要求,并且通过增加更多的温控点来实现精崅控制。这使得每个组件都能够受到准确、一致的加热,进而消除空洞并提高产品质量。[b]槁效助焊剂回收系统[/b]回流焊过程中会使用助焊剂,为了防止助焊剂残留,在HELLER2049MK7回流焊炉中配备有槁效助焊剂回收系统。该系统能够有效地预防残留物附着在组件表面上并影响产品质量。[b]立式真空压力烤箱和真空压力烤箱[/b]除了回流焊炉之外,Heller还提供适用于设备级和板级底部填充固化的多种类型真空压力烤箱。其中包括立式真空压力烤箱(VCO)和真空压力烤箱(PCO)。立式结构使得VCO占用少量占地面积,非常适合洁净室环境。而PCO则通过在整个固化周期中使用压力来收缩和消除底部填充空隙,从而提高设备可靠性。HELLER2049MK7回流焊炉是一款槁效、可靠、节能的生产设备。采用多项先进技术和设计理念,为用户提供了恮面的解决方案,同时也保怔了产品质量和生产效率。如果您正在寻找高质量的电子制造相关设备解决方案集成供应商,请不要犹豫,与我们联系。苏州仁恩机电科技有限公司将竭诚为您提供专业的建议和服务,以满足您的需求并为您的事业发展保驾护航。
[align=center][color=#ff0000][img=,690,368]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206130915093546_2463_3384_3.png!w690x368.jpg[/img][/color][/align][color=#ff0000]摘要:低压缓冲罐广泛应用于各种真空工艺和设备中,本文主要针对缓冲罐在全量程内的真空度精密控制,并根据不同真空度范围和缓冲罐体积大小,提出了相应的解决方案,以满足不同低压过程对缓冲罐真空压力精密控制的不同要求。[/color][align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align][size=18px][color=#ff0000]一、背景介绍[/color][/size]低压缓冲罐是真空系统中常用的一种真空容器,主要通过提供真空“储存”来防止真空泵的过度循环,其基本原理是利用滞留量(体积)来提供更平稳的真空度操作。在真空工艺过程中,低压缓冲罐主要有以下两种结构形式:(1)真空度波动衰减:缓冲罐安装在真空单元之间,避免连续过程中真空度的波动传播。(2)独立操作:缓冲罐安装在单元之间以允许独立操作,例如在临时关闭期间以及连续和批处理单元之间。低压缓冲罐在独立操作形式中,一般需要具备以下功能:(1)对于小尺寸空间的工艺容器,很难实现真空度的高精度恒定或程序控制,真空度的波动和不准确很难达到工艺要求。为此在工艺容器上串接一个容积较大的低压缓冲罐,通过对缓冲罐真空度的精密控制,则可以完美解决此问题。(2)提供气液分离功能,防止工作液体直接倒灌入真空泵。(3)提供冷凝功能,避免反应容器内的部分溶剂转化为气态直接进入真空泵,由此降低真空泵的故障率和提高真空泵的使用寿命。本文主要针对缓冲罐在全量程内的真空度精密控制,提出相应的解决方案,以满足不同低压过程对缓冲罐真空压力精密控制的不同要求。[size=18px][color=#ff0000]二、解决方案[/color][/size]在低压缓冲罐真空度精密控制过程中,基本控制方法是调节缓冲罐的进气和出气流量,并通过进出气流量的动态平衡来实现缓冲罐内部气压的准确控制,即所谓的动态平衡法。但在不同真空工艺和设备中,对低压缓冲罐的真空度范围会有不同的要求,相应的动态控制模式也不尽相同。而且,不同体积大小的低压缓冲罐,为实现缓冲罐内真空度的快速准确控制,则需要不同的调节装置。以下将针对这些不同要求,提出相应的具体解决方案和相关装置细节。[color=#ff0000]2.1 低真空(高压)和高真空(低压)控制方式[/color]一般我们将低于一个大气压下(760Torr)的绝对压力称之为真空(或低压),而整个真空范围又分为低真空(10-760Torr)、高真空(0.01~10Torr)和超高真空(0.01Torr)三部分。本文将只涉及低真空和高真空这两个范围内的真空度精密控制,对于超高真空,目前还没有很好的技术手段进行精密控制,基本还都是仅靠真空泵的抽气能力来实现数量级级别的控制。低真空和高真空缓冲罐真空度的动态平衡法控制中,为达到快速和准确的控制效果,必须分别采用上游和下游两种控制模式,通过上下游这两种模式及其两种模式之间的切换,可以实现真空度全量程内的精确控制。低压缓冲罐动态平衡法真空度控制系统的整体结构如图1所示。整个缓冲罐真空度控制系统主要由进气阀、抽气阀、真空泵、真空传感器和PID控制器组成,它们各自的功能如下:[align=center][color=#ff0000][img=低压缓冲罐真空度控制,500,400]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/06/202206130911289636_8164_3384_3.png!w690x553.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#ff0000]图1 低压缓冲罐真空度控制系统结构示意图[/color][/align](1)进气阀的作用是调节进气流量。在缓冲罐真空度控制过程中,进气流量一般在较小的范围内进行调节,因此进气阀一般为电动针阀。(2)抽气阀的作用是调节出气流量。在缓冲罐真空度控制过程中,进气流量一般在较大的范围内进行调节,因此进气阀的口径大小一般需根据需要进行配置,后面还会进行详细介绍。(3)真空泵的作用是提供真空源。在缓冲罐真空度控制过程中,真空泵要根据真空度要求和缓冲罐体积大小来进行选配。(4)真空传感器的作用是实时测量缓冲罐的真空度并将测量信号反馈给PID控制。在缓冲罐真空度控制过程中,要根据缓冲罐真空度量程和精度要求选配传感器,一般是低真空和高真空范围内各配一个真空计。为保证测量精度,一般会选择电容式真空计。也可以根据需要只选择一个精度较差的皮拉尼计来实现整个高低真空范围内的测量。(5)PID控制器的作用是通过接受到的真空度信号来分别调节进气阀和出气阀,使得缓冲罐内的真空度达到设定值或按照设定程序进行变化。在全量程范围内的真空度控制时,如果需要采用两只不同量程真空计进行全量程覆盖,就需要具有传感器自动切换功能的双通道PID控制器,以便在不同量程范围内的控制过程中进行自动切换。如果采用电容式真空计来实现高精度的真空度控制,相应的PID控制器则需要具有24位A/D和16位D/A的高精度。在缓冲罐的不同真空度范围内,需要采用以下不同的控制模式才能达到满意的控制精度。(1)上游控制模式:上游控制模式也叫进气调节模式,主要适用于高真空范围内的精密控制。在上游控制模式中,抽气阀门基本是全开方式全速抽气,通过调节进气流量来实现缓冲罐内高真空的精密控制。(2)下游控制模式:下游控制模式也叫出气调节模式,主要适用于低真空范围内的精密控制。在下游控制模式中,进气阀门基本是某一固定开度,即固定进气流量,通过调节抽气流量来实现缓冲罐内低真空的精密控制。另外需要特别注意的是,不论采取上述哪一种控制模式,控制精度还受到真空度传感器和PID控制精度的限制。因此,除了选择合理的上下游控制模式之外,还需要根据不同精度要求选择合理的传感器和控制器。[color=#ff0000]2.2 不同缓冲罐体积的真空度控制[/color]缓冲罐真空度精密控制中,除了涉及上述的控制模式选择之外,还涉及控制速度问题,即根据缓冲罐的容积大小和真空度控制范围来确定合理的真空度准确控制速度。这方面主要涉及以下两方面的内容和基本原则:(1)对于小容积的缓冲罐,可以选择具有小流量调节能力的进气阀、排气阀和真空泵。(2)对于较大容积的缓冲罐,可能就需要配备较大流量调节能力的进气阀、排气阀和真空泵。其中进气阀和排气阀需要配备电动球阀等大口径阀门,具体情况还需根据所控真空度范围来进行进一步的合理选择。[align=center]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/align]
旋转蒸发仪冷凝管直立式和斜式有什么使用区别么?谢谢!
气质联用仪换了新柱子后,抽真空时显示前管压力高是什么原因?该如何处理?
如何选购循环水真空泵循环水真空泵参数:以循环水为工作流体,利用流体射流技术产生负压而进行工作的一种新型真空(抽气)泵,用作真空回流、真空干燥、特别对于沸点较高的水溶液产生气体也能正常循环抽气。循环水真空泵广泛用于生化、医学、制药、食品、环保、大专院校、科研、实验室。型号功率流量扬程真空度单头抽气量抽气头数水箱容积尺寸重量SHZ-III1806080.0981021540*39*4510.5SHZ-IIID1806080.0981021540*39*4510循环水真空泵选购循环水真空泵分两大类:台式和立式,台式的抽气头少,一般最多为2-4个,泵内装的水少,一般为15L;立式的抽气头最多可达到十个,泵内可装水为30L。[/b
1. 概述 针对目前常用的高温加热炉保护气体管路使用中存在的不便性,采用改进措施和配套装置,使得惰性气体管路的使用更方便、更安全和更直观。2. 常用保护气体管路结构 高温真空炉,如石墨加热炉和钨丝加热炉等,在工作过程中都需要惰性气体保护。常需对炉体先抽真空后充惰性气体,并使真空炉内惰性气体的气压略大于大气压,在整个升降温过程中真空炉始终处在正压状态,以避免发热体和工件氧化。保护气体管路结构如图 2-1所示。 http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/04/201704021923_01_3384_3.png图 2-1 高温加热炉常用保护气体管路示意图3. 常用保护气体管路使用步骤 (1)使真空腔处于闭合状态,关闭所有阀门。 (2)开启真空泵和开关阀2,对高温加热炉真空腔开始抽真空。 (3)当真空腔内的真空度达到要求真空度时,一般为20Pa左右,先后开启气瓶减压阀和开关阀1,调节浮子流量计,用最小气体流量对真空腔进行充气,同时真空泵抽掉充气管路中的残存大气。 (4)按顺序先后关闭开关阀2和真空泵,调节浮子流量计增大充气流量,使真空腔内惰性气体较快速度接近大气压。 (5)当充气使得真空腔内气压达到放气阀出气压力时,调节浮子流量计到合适的最小流量,使充入的气体经过真空腔由放气阀排出,形成单向流动。 (6)保持浮子流量计调节位置不变,真空腔内始终处于恒定的正压环境,然后开始高温加热炉的升降温过程和其它试验操作。4. 问题提出 上述的高温真空炉保护气体管路在实际工程使用中存在以下问题: (1)充气管路中调节气体流速的浮子流量计真空密闭性很差,在负压状态下的充气过程中,大气会经浮子流量计进入到真空腔内。如果将充气管路和浮子流量计与真空腔一起抽真空,浮子流量计的泄漏会造成真空腔真空度始终无法达到高温加热炉腔体的真空度要求。 (2)当腔内气压达到设定正压,放气阀开始放气。但放气阀的放气过程并不直观,无法准确观察到放气现象。尽管有些单向放气阀带有放气哨音,但腔体始终处于正压放气状态,连续的放气哨音反而成为一种噪音。如果采用更复杂和准确的压力仪表来进行检测,会增加相应的成本。 5. 新型管路要求 所需求的加热炉保护气体管路如图 5 1所示。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/04/201704021924_01_3384_3.png 图 5-1 新型高温加热炉常用保护气体管路示意图 具体要求如下: (1)将浮子流量计改进为真空密封型的浮子流量计,便于将充气管路中的残存气体抽取干净,同时保证充气过程中的惰性气体纯度,避免外部空气渗入。如果不考虑气体流量的直观性调节,也可以增加两路充气管路,一路用开度较大的调节阀来进行快速充气,以满足较大真空腔体对快速充气的要求;另一路用开度较小的针阀控制充气,以满足较小体积真空腔体的充气要求,以避免腔体内部过压太快。 (2)将真空腔上两个放气阀更换为两个不同量程的单向限压阀,如6Psi和9Psi,其中6Psi限压阀保证只有真空腔内气压大于大气压6Psi时才能导通放气,9Psi限压阀保证只有真空腔内气压大于大气压9Psi时才能导通放气。这样配置两个不同量程单向限压阀的作用,一是将真空腔内的惰性气体正压严格控制在6~9Psi之间,二是当其中6Psi放气阀发生堵塞失效正压增加后,9Psi放气阀导通起到安全保护作用,控制真空腔内正压不至于过大。 (3)分别在两个不同量程的单向限压阀出气端连接上两个气泡式流量指示计,从两个限压阀流出的气体通过导管导入油内,以气泡形式指示出气体的流出和流量大小。 (4)如果高温真空炉内不要求有惰性气体正压形式,充入的惰性气体直接经过加热炉后直接以一个大气压压力直接排出炉外。这样可以不安装两个不同量程的单向限压阀,而是在相应接口处直接安装上两个气泡式流量指示计,或只安装上一个气泡式流量指示计而另一接口密封,这样排出的惰性气体可以通过气泡直接观察。在这种情况下,这种气泡式流量指示计就需要兼顾负压功能,即在抽真空状态过程中气泡式流量指示计自动密闭起到关闭阀门的作用,而在充惰性气体过程中当真空腔内气压接近一个大气压式自动打开排出气体并由气泡显示流量大小。6. 效果总结 改进后的管路可以更有效的消除充气管路内残留大气和浮子流量计大气泄漏所引起的真空腔内惰性气体不纯问题,惰性气体防护作用更有效。 通过改进后的高温加热炉保护气体管路,保护气体管路可以应用于有设定正压要求的高温加热炉系统,也可以应用于无正压要求的高温加热炉。 改进后的管路可以精确控制真空腔内惰性气体气压范围,提高真空腔内气压保护的安全性,可以直观的观察到真空腔内惰性气体的气压变化过程和速度,重要的是整体结构比较廉价。
[b]真空烧结炉[/b]的各个结构是相互配合运行的, 任何一个结构出现故障或者使用方式不合理, 都会影响到烧结炉的运行。 我们将针对真空烧结炉的不同结构展开探讨, 优化各结构的内部系统, 以达到能够为设备运行使用减少能源损耗, 达到更理想的燃烧效果。 一、 加热室加热室的作用顾名思义就是在使用阶段能够向炉内提供热量, 只有在热量达到一定的标准设备才能正常运行, 从而使各个结构在系统内发生配合, 从而达到真空烧结的目的。加热器的温度提升变动性比较大, 为了能够在短时间内实现更高效的使用, 通常是由三层温度变化组成的, 可以根据产品的不同类型和要求对系统内部进行调节, 使温度能够与需求的标准保持一致。二、 隔热屏该结构是以圆板和圆筒形状出现的, 能够将热量与外部环境相隔离, 这样既能保障使用阶段的安全性, 同时也能避免能源损耗。 该结构在系统中处于封闭的状态, 并且由多层结构组成, 投入使用后的隔热效果也更理想。 圆板和圆筒一起组成隔热屏, 形成封闭并且呈现真空状态, 当温度由在隔热屏中向周边散发时, 真空部分也能起到保护作用, 达到更理想的使用效果。三、 低温冷阱阱广泛用于超高真空( 或高真空)系统,作用类似于挡板,一般真空烧结炉为提升燃烧的效率, 并节省时间, 会采用低温冷阱的形式来降炉内的空气抽离, 这样能够确保在真空的环境下运行使用, 才能避免出现使用不稳定现象, 并达到设备的安全控制标准。四、 真空测量真空测量是针对炉内运行使用状态来进行的。 测量是定期进行的, 达到间隔时间后, 测量模块能够自动导通。 由于烧结炉的规模比较大, 使用期间检测得到的参数中存在很大的变化因素, 因此误差是不可以避免的。 虽然目前的技术理念已经十分成熟, 但在使用时仍然需要对现场设备采取全面监控的方法, 以确保燃烧效率能够达到预期标准。
电阻炉是利用电流使炉内电热元件或加热介质发热,从而对工件或物料加热的工业炉。电阻炉在机械工业中用于金属锻压前加热、金属热处理加热、钎焊、粉末冶金烧结、玻璃陶瓷焙烧和退火、低熔点金属熔化、砂型和油漆膜层的干燥等。 自从发现电流的热效应(即楞茨-焦耳定律)以后,电热法首先用于家用电器,后来又用 于实验室小电炉。随着镍铬合金的发明,到20世纪20年代,电阻炉已在工业上得到广泛应用。工业上用的电阻炉一般由电热元件、砌体、金属壳体、炉门、炉用机械和电气控制系统等组成。加热功率从不足一千瓦到数千千瓦。工作温度在 650℃以下的为低温炉;650~1000℃为中温炉;1000℃以上为高温炉。在高温和中温炉内主要以辐射方式加热。在低温炉内则以对流传热方式加热,电热元件装在风道内,通过风机强迫炉内气体循环流动,以加强对流传热。电阻炉有室式、井式、台车式、推杆式、步进式、马弗式和隧道式等类型。可控气氛炉、真空炉、流动粒子炉等也都是电阻炉。 电热元件具有很高的耐热性和高温强度,很低的电阻温度系数和良好的化学稳定性。常用的材料有金属和非金属两大类。金属电热元件材料有镍铬合金、铬铝合金、钨、钼、钽等,一般制成螺旋线、波形线、波形带和波形板。非金属电热元件材料有碳化硅、二硅化钼、石墨和碳等,一般制成棒、管、板、带等形状。电热元件的分布和线路接法,依炉子功率大小和炉温要求而定。 电阻炉与火焰炉相比,具有结构简单、炉温均匀、便于控制、加热质量好、无烟尘、无噪声等优点,但使用费较高。
AP1200真空打检机一、简介AP1200真空打检机是一款用于在线检测食品、饮料、药品以及化妆品包装真空度以及外观缺陷的先进设备,为食品和饮料流向市场前提供一道有力的质量与安全屏障。AP1200真空打检机适用于三片罐以及三四旋盖等真空包装产品。AP1200真空打检机功能强大、性能优越;基于最先进的声学和扫描检测系统,AP1200真空打检机对于真空泄露、低真空、无真空、缺盖、残盖、瘪罐、胀罐等质量缺陷罐以及输送带上的倒罐、反向罐等问题罐都能判断并剔除。设备检测精度高、适应性强、稳定性好,严格按程序操作,可常年免维护。二、主要技术参数1. 适应速度:200-1600罐/分2. 误差率:≤1ppm3. 操作方式:触摸屏操作简易方便,中文菜单便于识别4. 参数储存:可同时储存12种产品检测参数,换产品检测只需调取参数无需重设5. 剔除:气动自动剔除并灯光报警6. 核心电气元件:均采用进口世界级品牌以保证设备运行稳定、耐用7. 机壳:304不锈钢材质,工业防护等级可达IP658. 功率:160W9. 电源:220V 50HZ10. 保险丝:3A 250VAC11. 气源:0.8Mpa(自备)12. 环境温度:0℃-50℃13. 环境湿度:10%-80%三、设备配置 标准配置:主机、探头支架、转接盒、声音探头、曲面探头、剔除系统、操作使用说明书点击打开链接
[b]1936MK5-VR真空回流焊炉设备介绍[/b]HELLER 1936MK5-VR真空回流焊炉以蕞低的ΔT提供高水平的可重复性。其具有8个对流区和3个独立红外加热区,为大容量要求提供一致的性能,同时降低维护要求和拥有成本。[b]软件管理[/b]Heller的Mark5回流焊机管理软件是一款能源管理软件,在不同批量生产状态中如全裁生产、半载生产及设备闲置时,通过程序设定达到优化能源消耗目的。另外还有由HELLER合作伙伴KIC公司开发改进而来的一步到位Profiling软件,只需输入PCB板长、宽和厚度就能立即完成PROFILE设置,并以动态图形结构所表现的PROFILE及数据为您完成剩余所有事情。[img=,690,212]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/06/202306150819344644_8693_5802683_3.jpg!w690x212.jpg[/img][b]玻璃基板处理[/b]在半导体先进封装玻璃基板行业方案方面,HELLER拥有丰富经验,包括处理玻璃晶圆和面板(蕞大600mm)。针对大型面板处理问题可以集成到卧式或立式炉中,为客户提供全面的解决方案。[b]1936MK5-VR真空回流焊炉总结[/b]HELLER 1936MK5-VR真空回流焊炉在行业中表现出色,其高水平的可重复性和一致性使其成为焊接过程中的首选设备。而软件管理方面则能够帮助客户优化能源消耗,降低运营成本。对于半导体先进封装玻璃基板行业来说,HELLER拥有丰富经验并提供全面解决方案,确保生产过程顺利、高效进行。苏州仁恩机电科技有限公司是一家专注于半导体封装和电子制造设备解决方案的供应商,秉承着丰富的管理、生产技术和工艺经验,为您提供全面优质的服务。
JJG 52-1999 弹簧管式一般压力表、压力真空表及真空表检定规程.pdf
[b]介绍[/b]Heller2043MK5-VR真空回流焊炉是一款专为槁效大批量生产而设计的宪进设备。它采用了10个加热对流区和3个红外区,总加热长度达430cm(169英寸),能够容纳长达500毫米的电路板。该设备还配备了3个冷却区,保怔在大型电路板上也能提供高达 3°C/sec的快速冷却速率。[b]特点[/b]这款Heller2043MK5-VR真空回流焊炉具有许多令人印象深刻的特性。其中蕞引人注目之处是其革命性的冷凝导管设计。通过新水冷式“冷凝导管”,助焊剂可以被收集在一个方便更换和清理的收集瓶中,并且实现在线保养,从而节省了维护时间。[img=,690,351]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/09/202309221013027541_3355_5802683_3.jpg!w690x351.jpg[/img]该设备还采用了双层隔热表面设计以及内部冷凝导管技术,以提供础色的冷却效果。在新的冷却区炉膛设计中,不再有助焊剂残留,减少了设备保养的时间。所有这些特性确保了HELLER2043MK5-VR真空回流焊炉具有础色的产品质量和高产能。[b]应用[/b]Heller Industries为半导体宪进封装行业提供多种解决方案。无论是球焊、芯片粘贴、下填充固化、盖子粘贴还是球固定,我们都可以为您提供适合您需求的洁净室等级选项和自动化选项。我们拥有经验丰富的工程师团队,随时准备为您量身定制蕞佳解决方案。综上所述,Heller2043MK5-VR真空回流焊炉是一款专为槁效大批量生产而设计的宪进设备。其创新性的冷凝导管设计和快速冷却功能以及优良的产品质量使其成为半导体宪进封装行业蕞佳选择之一。联系我们,并将您面临的焊接或固化挑战交给我们,我们将根据您的需求提供具有竞争力和可靠性的定制解决方案。[b]苏州仁恩机电科技有限公司[/b]作为一个具有多年管理、生产技术和工艺经验的企业,我们代理的制造设备广泛应用于各个领域,我们深知槁端技术和专业的售后服务对于客户的重要性,因此我们始终以客户需求为出发点。
在现代电子组装行业,SMT回流焊炉是非常重要的设备之一。而在市场上蕞有价值的SMT回流焊炉中,HELLER 1913Mark5回流焊炉是其中的佼佼者。这款设备专为降低拥有成本而设计,并提供了高可重复性和快速生产能力。[b]13区回流焊炉[/b]作为市场上蕞有价值的SMT回流焊炉之一,HELLER的1913Mark5具有13个不同温度区域来完成宛美的表面贴装过程。通过控制每个区域内的温度变化,可以实现高质量、高精崅度且多种类型PCB板的表面贴装。[img=,690,690]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/07/202307311438481432_8392_5802683_3.jpg!w690x690.jpg[/img][b]能源管理软件-HELLER独家专有[/b]除了其强大的功能外,HELLER还提供了一个令人惊叹和先进的能源管理软件。该软件允许用户根据不同批量生产状态(如全裁生产、半载生产或设备闲置)进行程序设置以优化其能源消耗。[b]一步到位Profiling软件[/b]HELLER还提供了一款由其合作伙伴KIC公司开发的专业Profiling软件。该软件只需简单地输入PCB板的长、宽和厚度即可立即完成Profile的设置,以动态图形结构所表现的Profile及数据为您完成所有剩余工作。[img=,690,517]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/07/202307311438565586_9939_5802683_3.jpg!w690x517.jpg[/img][b]高生产率真空压力烤箱[/b]除了回流焊炉外,HELLER还提供高生产率真空压力烤箱,广泛应用于消费电子行业中的环氧树脂固化工艺。这些应用包括手机组装、可穿戴电子产品和相机模块组装等。HELLER提供卧式和立式两种不同类型的真空压力烤箱,并且所有这些都具有真正在线架构,与批处理类型替代方案相比实现更高吞吐量和更稳定处理效果。HELLER还提供多种洁净室和自动化选项来满足客户不断变化的需求。综上所述,HELLER 1913Mark5回流焊炉是一款适用于各种SMT制造过程中必不可少的设备之一,具有优秀的能源管理功能、先进而易于使用的Profiling软件以及础色且支持多种型号PCB板加工工艺等特点。同时,在消费电子行业中,HELLER的高生产率固化炉也是非常重要的设备之一。[b]苏州仁恩机电科技有限公司[/b]拥有丰富的管理、生产技术和工艺经验,对于每一个项目都进行精心策划和实施,为客户提供量身定制的heller回流焊设备产品和解决方案。
[size=16px][color=#339999]摘要:针对晶体生长和CVD等半导体设备中对0.1%超高精度真空压力控制的要求,本文对相关专利技术进行了分析,认为采用低精度的真空度传感器、调节阀门和PID控制器,以及使用各种下游控制方法基本不太可能实现超高精度的长时间稳定控制。要满足超高精度要求,必须采用0.05%左右精度的传感器和相应精度的PID控制器,结合1s以内开合时间的高速电动针阀和电动球阀,同时还需采用上游进气控制模式。另外,本文提出的超高精度解决方案中,还创新性的提出了进气混合后的减压恒压措施,消除进气压力波动对超高精度控制的影响。[/color][/size][align=center][size=16px][img=彻底讲清如何实现各种单晶炉的0.1%超高精度真空压力控制,690,290]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/04/202304071124469579_383_3221506_3.jpg!w690x290.jpg[/img][/size][/align][size=18px][color=#339999][b]1. 问题的提出[/b][/color][/size][size=16px] 在晶体生长和CVD等半导体设备领域,普遍要求对反应腔室的真空压力进行快速和准确控制。目前许多半导体工艺设备的真空压力基本在绝对压力10~400Torr的真空度范围内,通过使用下游节流阀(电动球阀或电动蝶阀)的开度自动变化来调节抽气速率基本能达到1%以内的控制精度。但对于有些特殊晶体生长等生产工艺,往往会要求在0.1~10Torr真空度范围内进行控制,并要求实现0.1%的更高精度控制。[/size][size=16px] 最近有用户提出对现有晶体生长炉进行技术升级的要求,希望晶体炉的真空压力控制精度从当前的1%改造升级到0.1%,客户进行改造升级的依据是宁波恒普真空科技股份有限公司的低造价的压力控制系统,且技术指标是“公司研发的压力传感器和控制阀门及配套的自适应算法,可将压力稳定控制在±0.3Pa(设定压力在100~500Pa间)”。[/size][size=16px] 我们分析了宁波恒普在真空压力控制方面的两个相关专利,CN115113660A(一种通过多比例阀进行压力控制的系统及方法)和CN217231024U(一种碳化硅晶体生长炉的压力串级控制系统),认为采用所示的专利技术可能无法实现100~500Pa全量程范围内0.1%的长时间稳定的控制精度,最多只可能在个别真空点和个别时间段内勉强内达到。本文将对这两项专利所设计的控制方法进行详细技术分析说明无法达到0.1%控制精度的原因,并提出相应的解决方案。[/size][b][size=18px][color=#339999]2. 专利技术分析[/color][/size][/b][size=16px] 宁波恒普公司申报的发明专利“一种通过多比例阀进行压力控制的系统及方法”,其压力控制系统结构如图1所示,所采用的控制技术是一种真空压力动态平衡控制方法中典型的下游控制模式,即固定进气流量,通过调节排气流量实现真空压力控制。[/size][align=center][size=16px][color=#339999][b][img=01.通过双比例阀进行压力控制的系统的示意图,500,244]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/04/202304071128351485_5277_3221506_3.jpg!w690x338.jpg[/img][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#339999][b]图1 通过双比例阀进行压力控制的系统的示意图[/b][/color][/size][/align][size=16px] 在动态平衡法控制中,这种下游模式的特点是: (1)非常适用于10~760Torr范围内的高气压精确控制,抽气流量的变化可以很快改变真空腔体内部气压的变化,不存在滞后性,这对于高精度的高压气体控制非常重要,因此这种下游控制模式也是目前国内外绝大多数晶体炉的真空压力控制方法。 (2)并不适用于0.1~10Torr范围内低气压控制,这是因为在低气压控制过程中,抽气速率对低气压变化的影响较为缓慢,存在一定的滞后性,调节抽气速率很难实现低气压范围内的真空度高精度控制。因此,对于低气压高真空的精密控制普遍采用的是上游控制模式,即调节进气流量,利用了低气压对进气流量非常敏感的特性。 宁波恒普公司所申报的发明专利“一种通过多比例阀进行压力控制的系统及方法——CN 115113660A”,如图1所示,所采用的下游控制模式是通过分程(或粗调和细调)形式来具体实现,即通过次控制阀开度改变抽气口径大小后,再用主控制阀开度变化进行细调,本质还是为了解决抽气速率的精细化调节问题。 这种抽气速率分段调节的类似方法在国内用的比较普遍,较典型的如图2所示的浙江晶盛公司专利“一种用于碳化硅炉炉腔压力控制的控压装置——CN210089430U”,采用的就是多个分支管路进行下游模式控制,多个分支管路组合目的就是调节抽气口径大小。[/size][align=center][b][size=16px][color=#339999][img=02.下游控制整体结构示意图,500,450]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/04/202304071129101289_1324_3221506_3.jpg!w690x621.jpg[/img][/color][/size][/b][/align][align=center][b][size=16px][color=#339999]图2 下游多支路真空压力控制结构示意图[/color][/size][/b][/align][size=16px] 宁波恒普公司另一个实用新型专利CN217231024U(一种碳化硅晶体生长炉的压力串级控制系统),如图3所示,也是采用下游控制模式。[/size][align=center][b][size=16px][color=#339999][img=03.晶体生长炉的压力串级控制系统的结构示意图,450,361]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/04/202304071132344137_9996_3221506_3.jpg!w690x555.jpg[/img][/color][/size][/b][/align][align=center][b][size=16px][color=#339999]图3 下游串级控制系统结构示意图[/color][/size][/b][/align][size=16px] 在晶体生长和其他半导体工艺的真空压力控制中,国内外普遍都采用下游控制模式而很少用上游控制模式,主要原因如下:[/size][size=16px] (1)绝大多数工艺对气氛环境的要求是高气压(低真空)范围内控制,如10~500Torr(绝对压力),且控制精度能达到1%即可。这种要求,最适合的控制方法就是下游模式。[/size][size=16px] (2)绝大多数半导体工艺都需要输入多种工作气体,而且各种工作气体还要保持严格的质量和比例,所以进气控制基本都采用气体质量流量计。如果在质量和比例控制之后,再对进气流量进行控制,一是没有必要,二是会增加技术难度和设备成本。[/size][size=16px] (3)在下游控制模式中安装节流阀(电动蝶阀)比较方便,可以在真空泵和腔体之间的真空管路上安装节流阀,而且对节流阀的拆卸和清洗维护也较方便。[/size][size=16px] 国内有些厂家在下游模式中采用上述分程控制方法的动机主要是为了规避使用高速和高精度但价格相对较贵的下游节流阀(电动蝶阀),这种高速高精度下游节流阀主要是具有1秒以内的全程闭合时间,直接使用这种高速蝶阀就可以在高气压范围内实现低真空度控制。而绝大多数国产真空用电动球阀和电动蝶阀尽管价格便宜,但响应速度普遍在几十秒左右,这使得压力控制的波动性很大。所以为了使用国产慢速电动蝶阀,且保证控制精度,只能在下游管路上想办法。[/size][size=16px] 如果采用高速电动球阀或电动蝶阀,且真空计和控制器达到一定精度,则采用任何形式的下游模式控制方式都可以在低气压范围内轻松实现1%的控制精度,但无法达到0.1%的控制精度。而如果采用低速阀门和上述专利所述的控制方法,也有可能达到1%控制精度,但更是无法实现更高精度0.1%的真空压力控制。[/size][b][size=18px][color=#339999]3. 超高精度真空压力控制方法及其技术[/color][/size][/b][size=16px] 晶体生长炉的真空压力控制也是一种典型的闭环PID控制回路,回路中包括真空泵、真空计、电动阀门和PID控制器。其中真空泵提供真空源,真空计作为真空压力测量传感器,电动阀门作为执行器调节进气或出气流量,PID控制器接收传感器信号并与设定值进行比较和PID计算后输出控制信号给执行器。[/size][size=16px] 这里我们重点讨论在0.1~10Torr的低气压(高真空)范围内实现0.1%超高精度的控制方法和相关技术。依据动态平衡法控制理论以及大量的实际控制试验和成功应用经验,如果要实现上述低压范围内(0.1~10Torr)的高精度控制,必须满足以下几个条件,且缺一不可:[/size][size=16px] (1)真空泵要具备覆盖此真空度范围的抽取能力,并尽可能保持较大的抽速,由此在高温加热过程中的气体受热膨胀压力突增时,能及时抽走多余的气体。[/size][size=16px] (2)真空计和PID控制器要具有相应的测量和控制精度。[/size][size=16px] (3)采用上游控制模式,并需采用高速电动针阀自动和快速的调节进气流量大小。[/size][size=16px] 国内外晶体生长炉和半导体工艺的真空压力控制,普遍采用的是薄膜电容真空计,价格在一万元人民币左右的这种进口真空计,测量精度基本在0.25%左右。这种真空计完全可以实现0.5 ~ 1%的控制精度,但无法满足更高精度控制(如0.1%)中的测量要求,更高精度的真空度测量则需要采用0.05%以上精度的昂贵的薄膜电容真空计。[/size][size=16px] 同样,对于PID控制器,也需要相应的测量精度和控制精度。如对于0.25%精度的真空计,采用16位AD、12位DA和0.1%最小输出百分比的PID控制器,可以实现1%以内的控制精度,这在相关研究报告中进行过专门分析和报道。若要进行更高精度的控制,则在采用0.05%精度真空计基础上,还需采用24位AD、16位DA和0.01%最小输出百分比的PID控制器。[/size][size=16px] 宁波恒普公司在其官网的压力控制技术介绍中提到,采用恒普自己研发的压力传感器和控制阀门及配套的自适应算法,在绝对压力100~500Pa范围内可将国内外现有技术的±3Pa压力波动(控制精度在1%左右)提升到±0.3Pa(控制精度在0.1%左右),控制精度提高了一个数量级。我们分析认为:在绝对压力100~500Pa的低压范围内,如果不能同时满足上述的三个条件,基本不太可能实现0.1%的超高精度控制。[/size][b][size=18px][color=#339999]4. 超高精度真空压力控制技术方案[/color][/size][/b][size=16px] 对于超高精度真空压力控制解决方案,我们只关心前述条件的第二和第三点,不再涉及真空泵内容。[/size][b][color=#339999] (1)超高精度真空计的选择[/color][/b][size=16px] 目前国际上能达到0.05%测量精度的薄膜电容真空计有英福康和MKS两个品牌,如图4所示。这类超高精度的真空计都有模拟信号0~10V输出,数模转换是20位。[/size][align=center][b][size=16px][color=#339999][img=04.超高精度薄膜电容真空计,550,240]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/04/202304071130184466_8776_3221506_3.jpg!w690x302.jpg[/img][/color][/size][/b][/align][align=center][b][size=16px][color=#339999]图4 超高精度0.05%薄膜电容真空计 (a)INFICON Cube CDGsci;(b)MKS AA06A[/color][/size][/b][/align][size=16px][b][color=#339999] (2)超高精度PID控制器的选择[/color][/b] 从上述真空计指标可以看出,真空计的DAC输出是20位的0~10V模拟型号,那么真空压力控制器的数据采集精度ADC至少要20位。为此,解决方案选择了目前最高精度的工业用PID控制器,如图5所示,其中24位AD、16位DA和0.01%最小输出百分比。所选控制器具有单通道和双通道两种规格,这样可以分别用来满足不同真空度量程的控制,双通道控制器可以用来同时采集两只不同量程的真空计而分别控制进气阀和抽气阀实现真空压力全量程的覆盖控制。另外PID控制器还具有标准的RS485通讯和随机配套计算机软件。[/size][align=center][b][size=16px][color=#339999][img=05.高速电动阀门和超高精度PID调节器,650,237]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/04/202304071130375986_9640_3221506_3.jpg!w690x252.jpg[/img][/color][/size][/b][/align][align=center][b][size=16px][color=#339999]图5 超高精度PID真空压力控制器和高速电动阀门[/color][/size][/b][/align][size=16px][b][color=#339999] (3)高速电动阀门选择[/color][/b] 高速电动阀门主要包括了真空用电动针阀和电动球阀,都有极小的漏率。如图5所示,其中电动针阀用于微小进气流量的快速调节,电动球阀用于大排气流量的快速调节,它们的全程开启闭合速度都小于1s,控制电压都为0~10V模拟信号。[b][color=#339999] (4)超高精度0.1%压力控制技术方案[/color][/b] 基于上述关键部件的选择,特别是针对0.1~10Torr范围内的0.1%超高精度真空压力控制,本文提出的控制系统具体技术方案如图6所示。[/size][align=center][b][size=16px][color=#339999][img=06.超高精度真空压力控制系统结构示意图,600,325]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/04/202304071131004546_6716_3221506_3.jpg!w690x374.jpg[/img][/color][/size][/b][/align][align=center][b][size=16px][color=#339999]图6 超高精度真空压力控制系统结构示意图[/color][/size][/b][/align][size=16px] 如前所述,在0.1~760Torr的真空压力范围内,分别采用了量程分别为10Torr和1000Torr的两只超高精度真空计,并分别对应上游和下游控制模式来进行覆盖控制,真空源为真空泵。[/size][size=16px] 在10~750Torr范围内,采用下游控制模式,即控制器的第一通道用来控制电动针阀的进气开度保持固定,第二通道用来检测真空计信号,并根据真空压力设定值自动PID调节电动球阀的开度变化实现准确控制。[/size][size=16px] 在0.1~10Torr范围内,采用上游控制模式,即控制器的第二通道用来控制电动球阀的进气开度保持固定(一般为全开),第二通道用来检测真空计信号,并根据真空压力设定值自动PID调节电动针阀的开度变化实现准确控制。[/size][size=16px] 由于电动针阀调节的是总进气流量,所以在具体工艺中需要将多种工作气体先进行混合后再流经电动针阀,而且多种工作气体通过相应的气体质量流量计(MFC)来控制各种气体所占比例,然后进入混气罐。在0.1~10Torr范围内的超高精度控制中,进气压力的稳定是个关键因素。为此,解决方案中增加了一个减压恒压罐,并采用正压控制器对混合后的气体进行减压,使恒压罐内的压力略高于一个大气压且恒定不变。[/size][size=16px] 解决方案中的超高精度PID控制器具有RS485接口并采用标准的MODBUS通讯协议,可以通过配套的计算机软件直接对控制器进行各种设置和操作运行,并显示、存储和调用各种控制参数的变化曲线,这非常便于整个工艺控制过程的调试。工艺参数和过程调试完毕后,可连接PLC上位机进行简单的编程就能与工艺设备控制软件进行集成。[/size][size=16px] 综上所述,本文设计的解决方案,结合相应的超高精度和高速的传感器、电动阀门和PID控制器,能够彻底解决超高精度且长时间的真空压力控制难题,可以满足生产工艺需要。[/size][b][size=18px][color=#339999]5. 总结[/color][/size][/b][size=16px] 晶体生长和半导体材料的生产过程往往需要较长的时间,工艺过程中的真空压力控制精度必须还要考虑长时间的控制精度,仅仅某个真空度下或短时间内达到控制精度并不能保证工艺的稳定和产品质量。[/size][size=16px] 在本文的解决方案中,特别强调了一是必须采用相应高精度和高速的传感器、执行器和控制器,二是必须采用相应的上游或下游控制方式,否则,如果仅靠复杂PID控制算法根本无法通过低精度部件实现高精度控制,特别是在温度对真空压力的非规律性严重影响下更是如此,这在太多的温度和正压控制中得到过证明,也是一个常识性概念。[/size][size=16px] 对于超高精度的真空压力控制,本文创新性的提出了稳定进气压力的技术措施,其背后的工程含义也是先粗调后细调,尽可能消除外界波动对控制精度的影响,这在长时间内都要求进行超高精度稳定控制中尤为重要。[/size][size=16px] 这里需要说明的是,实现超高精度控制的代价就是昂贵的硬件装置,如超高精度的电容真空计。尽管在高速电动阀门和超高精度PID控制器上已经取得技术突破并降低了价格,但在薄膜电容真空计方面国内基本还处于空白阶段。除非在超高精度电容真空计上的国内技术取得突破,可以使得造价大幅降低,否则将不可避免使得真空压力控制系统的成本增大很多,而目前在国内还未看到这种迹象。[/size][align=center][size=16px]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/size][/align]
今天在换衬管的时候没有停仪器,真空也一直抽着现在仪器做调谐就通不过了怀疑是换衬管没有停机的原因可是请教了几位专家和工程师都说应该没有什么大问题能够想到,不泄真空的危害可能会导致空气延色谱柱进入质谱,不知道这个时候是不是会直接 影响到灯丝呀??现在搞不清仪器的问题是在换衬管之前还是之后出现的??今晚上下班和同事一起将离子源清洗一下,发现灯丝都是黑的,也不知道是不是坏掉了保险起见把灯丝换新的了晚上抽真空,明天再试一下!!
各位站友,最近“化缘”化得一台岛津2010Plus。开机有几天了。今天检查了一下,有点漏气,高真空3.1E-4Pa,用丙酮测试发现是柱子连接质谱处漏气,拧紧螺帽后。高真空达到1.1E-4Pa(8.36E-7Torr),这个正常不? 之前习惯了安捷伦、力可等仪器。岛津还是十年前用过,没太在意。用Pa这个单位一下转不过弯。换算成Torr。应该算不错的真空度了哈?
[b]微型真空高温炉[/b]是专业为科研实验室应用而设计的小型高温真空炉,作为材料热处理和材料研究,工作温度高达2000°C,高温加热区域直径1.25cm,长度5cm.微型真空高温炉使用钨丝加热元件和专有工艺室提供一个清洁干燥和可控空气环境,用于精确的样品热处理。[b]微型真空高温炉[/b]稳定性好,可编程温度控制,可提供手动或自动系统。不需要水冷却。[img=微型真空高温炉]http://www.f-lab.cn/Upload/minifurnace.png[/img]微型真空高温炉规格参数[table][tr][td]外观 (without vacuum/gas fittings)[/td][td]30 cm Long x 8 cm OD[/td][/tr][tr][td]标称热区长度[/td][td]5 cm[/td][/tr][tr][td]热点区域直径[/td][td]1.25 cm OD[/td][/tr][tr][td]辐射屏蔽[/td][td]专用[/td][/tr][tr][td]加热元件[/td][td]钨[/td][/tr][tr][td]电源[/td][td]120 VAC/20A Phase Control SCR[/td][/tr][tr][td]装载[/td][td]KF[/td][/tr][tr][td]重[/td][td]less than 1 kg[/td][/tr][/table] [table][tr][td=2,1]操作特性[/td][/tr][tr][td]温度控制[/td][td]自动动你哦动自在[/td][/tr][tr][td]2000度时功率[/td][td]小于1KW[/td][/tr][tr][td]操作压[/td][td]真空[/td][/tr][tr][td]冷却[/td][td]无[/td][/tr][tr][td]元件可达最高温度[/td][td]2100C[/td][/tr][/table]微型真空高温炉唯一能达到2000℃以上的可比价格的样品炉。最低限度的设施必需-不需要水冷却,标准功率,可以提供真空泵。
http://www.instrument.com.cn/show/Breviary.asp?FileName=C124359%2Ejpg&iwidth=200&iHeight=200 合肥科晶材料技术有限公司 的 开启式管式炉系列(OTF-1200X)已参加“国产好仪器”活动并通过初审。自上市以来,这款产品已经被多家单位采用,如果您使用过此仪器设备或者对其有所了解,欢迎一起聊聊它各方面的情况。您还可以通过投票抽奖、参与调研等方式参与活动,并获得手机电子充值卡。【点击参与活动】 仪器简介: OTF-1200X单温区开启式真空管式炉采用双层风冷结构,炉体表面温度≤60℃,炉膛采用高纯度氧化铝微晶纤维高温真空吸附成型。内炉膛表面涂有1750℃美国进口的高温氧化铝涂层材料提高反射率及设备的加热效率和炉膛洁净度,同时延长仪器的使用寿命。进口加热电阻丝镶嵌延长炉体使用寿命,是专为高等院校﹑科研院所的实验室及工矿企业在可控多种气氛及真空状态下对金属,非金属及其它化合物进行烧结﹑熔化﹑分析而研制的专用理想设备。技术参数产品型号OTF-1200X-50OTF-1200X-60OTF-1200X-70OTF-1200X-80OTF-1200X-100炉管规格外径:50×内径:44×长:1000mm外径:60×内径:54×长:1000mm外径: 70×内径: 64×长:1000mm外径:80×内径:74×长:1000mm外径:100×内径:94×长:1000mm工作电压 单相AC208-240V,50/60Hz最大功率3KW加热原件Fe-Cr-AlAlloydopedbyMo,表面涂有氧化锆涂层,可以最大程度的延长仪器的使用寿命工作温度最高温度:1200℃(使用时必须通入惰性气体以防止炉管发生形变)工作温度:1100℃推荐升温速率:≤20℃/min加热区加热区长度:440mm恒温区长度:150mm(±1℃)控制方式模糊PID控制和自整定调节功能智能化30段可编程控制。控温仪表操作视频具有超温及断偶报警功能.控温精度:±1℃K型热电偶可安装PC控制软件对数据进行实时采集(需另购)密封系统炉管两端配有不锈钢密封法兰。(包括精密针阀、指针式真空压力表、软管接头).如需获得较高的真空度,建议采用不锈钢波纹管连接及数显真空计(需另外订购)可选法兰:本公司生产的带铰链式法兰(点击图片了解详细资料)扩展端口为了增加抽气速率,达到高真空的要求。可将原有软管接头更换成KF-25接口如用于供气系统,可将原有软管接头更换成Φ6.35mm双卡套接头.真空度双极旋片机械泵:10^-2torr.分子泵机组:10^-5torr.泄漏率5mtorr/min.外形尺寸炉体:590×380×520mm重量40Kg保修期整机一年保修(相关耗材除外,如炉管、密封圈、加热原件)国家专利专利名称:一种宽范围工作温度可开启式高温管式炉专利编号:ZL-2011-2-0389859.8举报电话:0551-5592....【了解更多此仪器设备的信息】
目前,中国对毒地的监管和修复并没有明确的立法。2003年全国施行的《环境影响评价法》里要求,“对规划和建设项目实施后可能造成的环境影响进行分析、预测和评估”,并不包含对用地的历史情况调查,因此不能有效过滤毒地。 北京宋家庄工人施工中毒事件,被视为中国污染场地修复工作起步的标志性事件。事发两个月后,2004年6月,原国家环保总局要求污染企业和单位,在改变原土地使用性质时,必须经具有省级以上质量认证资格的环境监测部门对原址土地进行监测分析。 2008年环保部再度发文,要求对污染场地特别是城市工业遗留、遗弃污染场地进行系统调查,掌握原厂址及其周边土壤和地下水污染物种类、污染范围和污染程度等。 但这些文件并非强制性法规。 目前,全国仅有北京、重庆两地环保部门设有污染场地管理科,并明确规定工业用地原址在二次开发利用前必须进行场地环境评价。重庆还规定,生产经营单位在转产或搬迁前,应当清除遗留或排放的有毒有害物质,并对被污染的土壤进行治理。 其他城市并无强制性要求开发必须进行场地污染调查分析,基本处于监管真空。 武汉长江明珠经济适用房有2400户规模,建在武汉长江化工厂原址上。环评报告书认为,项目场地存在金属锑污染和局部有机物污染。重金属很难在环境中自然降解,金属锑会刺激眼、鼻、喉咙及皮肤,持续接触可破坏心脏及肝脏功能,吸入高含量锑会导致中毒。而有机物污染的土地,短期内根本不适合作为居住用地。 但2010年11月底被媒体曝光时,该小区已基本建好。在武汉市环保局要求之下,毒地采取覆盖土工膜将污染土壤进行隔离,而土工膜隔离修复方法在业内专家看来只是规避风险,而非彻底修复策略,由于污染物没彻底消除,今后进行开挖建设时仍可能引发污染。至今,小区业主已陆续无奈地入住。一位小区业主接受媒体采访时表示,唯一能做的是,“今后让孩子少到小区里玩土”。 由于没有专门针对土壤污染的法律法规,使其后的追责也苍白无力。武汉长江明珠经济适用房未做污染土地修复,没有环评报告,就在毒地上建房。事发后,武汉市环保局仅批复要求:“鉴于本批复下达以前项目已开工建设且部分住宅已建成的事实,你公司除须积极补救,对于幼儿园以外部分建筑可能存在的环境问题和隐患,你公司应当根据承诺负责妥善处理并承担相应的法律责任。” 在采取了覆盖土工膜将污染土壤进行隔离的规避手段,而非彻底修复措施后,居民已然入住,此事亦不了了之
[img=,690,517]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2022/10/202210191603049747_8057_3192313_3.jpg!w690x517.jpg[/img][font=宋体] [/font][font=宋体] [/font][font=宋体] [/font][font=宋体] [/font][font=宋体]DL-6800X型真空箱气袋法采样器是采用气袋法采集固定污染源废气及环境空气中挥发性有机物(VOCs),以及其它适合气袋法采集有毒有害气体的采样器。其原理是在真空箱抽负压时气袋被动采集外部气体。样品不经过采样泵直接进入气袋,对样品无污染,可用于环保、卫生、劳动、安检、军事、科研、教育等领域采集废气。[/font][b][font=宋体]执行标准[/font][/b][font=宋体]HJ732-2014[/font][font=宋体][font=宋体]《固定污染源废气[/font][font=宋体] 挥发性有机物的采样 气袋法》[/font][/font][font=宋体]HJ38-2017 《固定污染源废气 总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定 直接进样-气象色谱质谱法》[/font][font=宋体]HJ604-2017 《环境空气 总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定 直接进样-气象色谱质谱法》[/font][font=宋体]GB/T 14675-93《空[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/bp][color=#3333ff]气质[/color][/url]量恶臭的测定三点比较臭袋法》[/font][b][font=宋体]产品特点[/font][/b][font=宋体]真空箱负压方式采集气态样品,进样气路与抽气气路隔离不接触,实现零交叉污染采样;[/font][font=宋体]主机与采样箱使用一体式设计,方便携带;[/font][font=宋体]配备专用伸缩式采样管,具有滤尘功能,用于采集管道中的废气;[/font][font=宋体]采用大流量采样泵,采样流量采样速度快,负载能力强;[/font][font=宋体]具有气袋自动清洗功能,无需拔插气袋连接管,清洗次数、采样模式可设置;[/font][font=宋体]实时监测真空箱内压力,气袋采满自动停止采样;[/font][font=宋体]采样结束后,真空箱内负压自动泄放,方便开启真空箱;[/font][font=宋体][font=宋体]可适用于[/font][font=宋体]1L~10L规格的气袋;[/font][/font][font=宋体]内置大容量锂电池,支持长时间采样;[/font][font=宋体]2.8英寸彩色触摸屏,操作更加方便快捷。;[/font][font=宋体][font=宋体]历史采样数据可查询,可存储[/font][font=宋体]10000组采样数据;[/font][/font][font=宋体]使用蓝牙打印技术,无线打印采样数据,无需拷贝数据,方便快捷(选配)。[/font][b][font=宋体]技术参数[/font][/b][table][tr][td][b][font=宋体]主要参数[/font][/b][/td][td][b][font=宋体]参数范围[/font][/b][/td][/tr][tr][td][align=center][font=宋体]适用气袋体积[/font][/align][/td][td][font=宋体][font=宋体]([/font][font=宋体]1~10)L[/font][/font][/td][/tr][tr][td][align=center][font=宋体]采样流量[/font][/align][/td][td][font=宋体][font=宋体]大流量:[/font][font=宋体]3 档可调[/font][/font][font=宋体][font=宋体]小流量:[/font][font=宋体]10-100ml/min任意[/font][/font][/td][/tr][tr][td][align=center][font=宋体]电池工作时间[/font][/align][/td][td][font=宋体]≥8h[/font][/td][/tr][tr][td][align=center][font=宋体]工作温度[/font][/align][/td][td][font=宋体]-20 - 60℃[/font][/td][/tr][tr][td][align=center][font=宋体]电池[/font][/align][/td][td][font=宋体]18.5V 1100mA.h[/font][/td][/tr][tr][td][align=center][font=宋体]充电器[/font][/align][/td][td][font=宋体]DC21V 2A[/font][/td][/tr][tr][td][align=center][font=宋体]采样管长度[/font][/align][/td][td][font=宋体]0.8m[/font][/td][/tr][tr][td][/td][td] [/td][/tr][/table]
仪器是6890-5975使用了分流微平板,之前一直抽不上真空。后面用死堵堵住排查,MS是没有问题的。考虑怀疑是[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相[/url]这边出问题。工程师建议排查一下微板,就分流路去查看。排查到最底下的接口是有漏气的,其他接口是没有问题的。那就直接上死堵不用它就得了。抽真空显示虽说压力正常,还是偏高。还以为将就可以先用着。(上訴仪器都是只配置MS)后面就按正常的配置操作,结果????前级管压力去到780多。这是不是已经确认是[url=https://insevent.instrument.com.cn/t/Mp]气相[/url]这边漏气呢?还是微板有问题呢?请各位大侠指点一下。[img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112231626543679_7289_3253514_3.png[/img][img]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2021/12/202112231626543923_2007_3253514_3.png[/img]
我进着样,突然就报错真空泄露了,这是什么回事啊
http://www.instrument.com.cn/show/Breviary.asp?FileName=C179324%2Ejpg&iwidth=200&iHeight=200 天津中环电炉股份有限公司 的 CVD管式炉 CVD石墨烯炉(cvd)已参加“国产好仪器”活动并通过初审。自上市以来,这款产品已经被多家单位采用,如果您使用过此仪器设备或者对其有所了解,欢迎一起聊聊它各方面的情况。您还可以通过投票抽奖、参与调研等方式参与活动,并获得手机电子充值卡。【点击参与活动】 仪器简介: CCVD管式炉由沉积温度控件、沉积反应室、真空控制部件和气源控制备件等部分组成亦可根据用户需要设计生产,CVD管式炉除了主要应用在碳纳米材料制备行业外,现在CVD管式炉正在使用在许多行业,包括纳米电子学、半导体、光电工程的研发、涂料等领域CVD管式炉是利用气态化合物或化合物的混合物在基体受热面上发生化学反应,从而在基体表面上生成不挥发涂层的一种薄膜材料制备系统CVD管式炉的特点:1 CVD石墨烯炉兼容、常压、微正压多种主流的生长模式2 CVD石墨烯炉可以在1000Pa-0.1Pa之间任意气压下进行石墨烯的生长3 CVD石墨烯炉使用计算机控制,可以设置多种生长参数4 CVD石墨烯炉可以制备高质量,大面积石墨烯等碳材料,尺寸可达数厘米,研究动力学过程5 CVD石墨烯炉沉积效率高;薄膜的成分精确可控,配比范围大;厚度范围广,由几百埃至数毫米,可以实现厚膜沉积且能大量生产【了解更多此仪器设备的信息】
http://www.instrument.com.cn/show/Breviary.asp?FileName=C124851%2Ejpg&iwidth=200&iHeight=200 合肥科晶材料技术有限公司 的 1600℃管式炉----GSL----1600X(GSL----1600X)已参加“国产好仪器”活动并通过初审。自上市以来,这款产品已经被多家单位采用,如果您使用过此仪器设备或者对其有所了解,欢迎一起聊聊它各方面的情况。您还可以通过投票抽奖、参与调研等方式参与活动,并获得手机电子充值卡。【点击参与活动】 仪器简介: GSL-1600X是一款CE认证的高温管式炉,加热元件采用1700度的硅钼棒,此款设备被广泛的用于新材料样品的烧结或是退火(在真空或是惰性气体保护状态下),控温采用30段可编程智能温度调节仪,控温精度+/-1℃,此款高温炉的最高温度1650度。技术参数壳体结构 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体的表面温度小于55度炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维,可以最大程度的减少热量的损失内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命可以选购600mmx600mm的移动炉架,方便于炉体的移动炉管材质99.8%,高纯氧化铝炉管尺寸(标配)OD: 60mmxID: 52mm x1000mmlength(可选)OD:80mmxID:72mm x1000mmlength为了保证温场均匀性和法兰的密封性,仪器使用升温前需要在炉管两端塞入氧化铝管堵,防止热量的散失(以下有图进行参照)加热元件1750℃硅钼棒最高工作温度1600°C(2912oF)工作温度800-1500°C(2732oF)温控系统升降温采用PID方式控制,并且控温仪表中可编程30段控温程序请点击这里了解为什么SCR更准确比SSC(固态继电器)。控温仪表操作视频加热和冷却速率5°C/minabove1200°Cand10°C/minbelow1200°C加热温区长度457mm(18")恒温区长度150mm(6")(+/-1°Cat1600°C)真空密封系统真空度:10-3Torr(用双旋片的机械真空泵)10-5torr(用分子泵)炉管两端安装有不锈钢密封法兰,法兰上有机械压力表,两个阀门和炉管内包含两个氧化铝管堵,为了较快得到较理想的真空状态,可以选购波纹管与泵和法兰连接同时选购数字式真空显示计,可以较准确的测量炉管内的真空仪器配有一对不锈钢密封法兰和耐高温硅胶密封圈法兰接口为了达到较好的真空状态,出气端法兰上可以选择KF25的转接头与波纹管相连接为了保证进气的气密性,进气端法兰上可以选定Φ6.35的不锈钢卡套接头,与聚四氟乙烯软管相连接控温精度+/-1℃输入电源单相,220VAC,50/60Hz输出最大功率5KW外形尺寸590Lx490Wx760Hmm设备重量150kg包装尺寸47"x45"x45"(1200Lx1150W....【了解更多此仪器设备的信息】
CG-17玻璃三级高真空油扩散泵 GG-17玻璃膨胀系数低,能更好地耐受很高的温度差变,故该泵比同型泵能受得起高温而且使用寿命也更长。该泵适用于电子工业,如电子管。显象管。X光管,以及半导体单晶硅的冶炼提纯,高沸点的油脂蒸馏提纯分离,日光灯,保温瓶高真空排气的仪器。 工作原理 先由转动真空泵把系统抽到10-2Pa扩散泵油被加热沸腾,以高速从喷出的油蒸汽流不断将系统内气体分子带到泵的侧臂弯管球泡处集结,待气体密度达到机械真空泵的工作范围而被抽出,从而逐渐获得高真空. 水环式真空泵/液环真空泵工作原理 水环真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵,它所能获得的极限真空为2000~4000Pa,串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机,称为水环式压缩机,是属于低压的压缩机,其压力范围为1~2×105Pa表压力。 水环泵最初用作自吸水泵,而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中,如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等,水环泵得到广泛的应用。由于真空应用技术的飞跃发展,水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。由于水环泵中气体压缩是等温的,故可抽除易燃、易爆的气体,此外还可抽除含尘、含水的气体,因此,水环泵应用日益增多。 在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入深度)。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点,那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大,且与端面上的吸气口相通,此时气体被吸入,当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,使气体被压缩;当小腔与排气口相通时,气体便被排出泵外。 综上所述,水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的,因此它属于变容式真空泵。 罗茨泵的工作原理 罗茨泵在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。 罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。 旋片式真空泵工作原理 旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×10-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。 旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体,若附有气镇装置,还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的,对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。 旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级,就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的,以获得较高的真空度。 旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下:在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1(Pa)下,其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。 旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子,转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙),转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时,靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触,转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。 两个旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分,当转子按箭头方向旋转时,与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的,正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的,正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的,正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大(即膨胀),气体压强降低,泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强,因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时,即转至空间B的位置,气体开始被压缩,容积逐渐缩小,最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时,排气阀被压缩气体推开,气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转,达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级(低真空级),由低真空级抽走,再经低真空级压缩后排至大气中,即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担,因而提高了极限真空度。