立体开启式加热炉

真空加热炉属于马弗炉吗？http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2014/01/201401171056_488040_1841898_3.jpg

PE顶空加热炉马达维修仪器型号：TurboMatrix HS 40故障现象：自检过程中提示加热炉马达停转。见下图http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312232117_484210_1620415_3.jpg故障分析：自检过程中可以看到马达转动，当升降杆升起后马达停止转动，先是怀疑升降杆卡住马达所致，重新校准加热炉后，故障依旧。应当是加热炉位置识别出现错误所致，原来处理过针马达的故障，确定是加热炉马达的编码器积尘，只需清洁编码器即可。故障处理：取下顶空的外壳，拆下加热炉马达上盖，找到加热炉马达，马达上有一个黑色的盖子，盖子上有一白色带孔的圆垫。见下图：http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312232117_484211_1620415_3.jpg小心从底部起下黑色的盖子，下面是电路板，电路板上有一个排线，将排线拔出，拆下电路板上的两个小螺丝，拉开侧面的一个卡子，见下图http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312232117_484212_1620415_3.jpg将电路板小心向上提起少许，卡子一侧有两条焊接的金属线，不要弄断。将电路板向金属线一侧掀起，可以看到下面的编码盘和电路板上的读码器，见下图http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312232118_484213_1620415_3.jpg可以看到编码盘上全是灰尘，已经看不清号码了。用脱脂棉蘸少许无水乙醇，将编码盘和读码器上的灰尘擦拭干净，下图是擦后的脱酯棉。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312232118_484215_1620415_3.jpg将电路板下压复原，向内推入卡子，上紧两个螺丝，插入排线，盖好盖子，为防止灰尘的污染，在盖子上的小孔处贴一个透明胶带，如图一。开机进入系统维护界面，对马达进行校准。用一面小镜子在瓶入口处检查炉盘位置，使用炉盘与瓶入口正对，重启系统保存设置。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312232220_484222_1620415_3.jpg开机进入操作界面，系统自检正常。见下图。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312232118_484216_1620415_3.jpg总结： 冬季北方天气干燥，加之近期雾霾严重，对仪器的光电传感器及编码器容易造成污染，使仪器故障高发。马达上方有一个小孔，增加了污染的风险，小孔不知是作什么用的，这次维护后将小孔用透明胶封住了，有知道留孔原因的请回复。

[size=16px][color=#339999][b]摘要：在目前的各种半导体材料热氧化工艺中，往往需要对正负压力进行准确控制并对温度变化做出快速的响应，为此本文提出了热氧化工艺的正负压力控制解决方案。解决方案的核心是基于动态平衡法分别对进气和排气流量进行快速调节，具体采用了具有分程控制功能和传感器自动切换功能的超高精度真空压力控制器，并结合高速电控针阀和电控球阀，可很好的实现0.1Torr~800Torr绝对压力范围内的正负压快速准确控制。[/b][/color][/size][align=center][size=16px][color=#339999][b][/b][/color][/size][/align][align=center][size=16px][color=#339999][b]~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~[/b][/color][/size][/align][color=#339999][b][size=16px] [/size][size=18px]1. 问题的提出[/size][/b][/color][size=16px] 热氧化工艺是碳化硅等半导体器件制程中的优选工艺，其特点是简便直接，不引入其他杂质，适合器件的大规模生产。目前比较有效的热氧化工艺有微正压和负压控制两种技术：[/size][size=16px] （1）微正压：氧化过程中氧化炉内1.05atm以上压力的恒定控制。[/size][size=16px] （2）负压：生长气压为10mTorr-1000mTorr范围内的控制。[/size][size=16px] 在热氧化工艺中，无论采用上述那种技术，都需要对氧化炉内的气压进行准确控制，以保证氧化硅层的质量，但如何实现准确控制正负压则是一个需要解决的技术问题。为此本文提出相应的解决方案。[/size][size=18px][color=#339999][b]2. 解决方案[/b][/color][/size][size=16px] 目前碳化硅热氧化工艺，正负压控制范围为0.1Torr~800Torr（绝对压力）。对此范围的绝对压力控制，基于动态平衡控制方法，本文设计的控制系统结构如图1所示。[/size][align=center][color=#339999][b][img=碳化硅热氧化工艺真空压力控制系统,690,354]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2023/08/202308251740511222_1299_3221506_3.jpg!w690x354.jpg[/img][/b][/color][/align][align=center][size=16px][color=#339999][b]图1 碳化硅热氧化工艺真空压力控制系统[/b][/color][/size][/align][size=16px] 在图1所示的解决方案控制系统中，从加热炉的一端输入工作气体，工作气体流经加热炉以及炉内放置的圆晶后，由真空泵抽气排出。工作气体可根据工艺要求进行选择和配置，可选择多种气体按照比例进行混合。[/size][size=16px] 为了在0.1Torr~800Torr整个量程范围内实现正负压力的准确控制，需要至少采用两只不同量程的真空度，如1Torr和1000Torr，图1中只标识了一只真空计。在图1所示的控制系统中，真空计、电控阀门和真空压力控制器构成一个闭环控制系统，具体控制过程如下：[/size][size=16px] （1）工作气体和真空泵始终处于开启状态。[/size][size=16px] （2）两只真空计分别连接控制器的主输入端和辅助输入端，控制器具有传感器自动切换功能，可根据加热炉内的实际压力自动切换到相应量程的真空计。[/size][size=16px] （3）整个正负压力控制采用PID分程控制功能，电控针阀连接控制器的反向输出端，电控球阀连接控制器的正向输出端，由此可以根据不同的压力设定值自动调节进气和出气流量来实现压力的准确控制。[/size][size=16px] 由于热氧化工艺所使用的温度和正负压力范围较宽，本解决方案采用了以下关键装置：[/size][size=16px] （1）由于在真空压力控制过程中，加热炉始终处于加热或冷却状态，温度变化会对压力控制产生严重的影响。为了始终将氧化过程中的正负压力控制在设定值上，阀门的调节速度起着关键作用，本解决方案配备了响应时间小于1秒的高速电控针阀和电控球阀，由此可以将温度和其他因素对压力的波动影响快速恢复和稳定到设定压力。[/size][size=16px] （2）由于正负压力范围宽泛，跨越了好几个数量级，所采用的2只真空压力传感器往往在较低量程区间的信号输出比较弱小，这就需要真空压力控制器具有很高的采集精度和控制精度。为此，本解决方案配备了超高精度的真空压力控制器，技术指标是24位AD、16位DA和0.01%的最小输出百分比，可完全满足全量程真空压力的准确测量和控制。[/size][size=18px][color=#339999][b]3. 总结[/b][/color][/size][size=16px] 上述正负压力控制解决方案可以在全正负压力量程内达到很高的控制精度和响应速度，真空压力控制器除了具有高控制精度和分程控制功能外，还具有程序控制和PID参数自整定等多种功能。控制器还配备有RS485通讯接口，可便捷的与PLC上位机控制系统进行集成，采用自身所带软件也可在计算机上直接进行工艺调试和控制。[/size][align=center][size=16px][color=#339999][b][/b][/color][/size][/align][align=center][b][color=#339999]~~~~~~~~~~~~~~~[/color][/b][/align][size=16px][/size]

[align=center][b]PE Pyris 1 加热炉玻璃套管的有效清洗方法 [/b][/align][align=center]丁延伟[/align][align=center]中国科学技术大学理化科学实验中心[/align][align=center]（安徽省合肥市金寨路96号）[/align]热重实验主要在高于室温下工作，加热温度大多高达800℃以上。许多有机化合物、高分子材料、生物质等样品在高温下会发生分解，分解产物在高温下为气态，热重曲线上表现出相应的质量变化。然而，这些高温下的气态产物在比较低的温度下会发生冷凝，主要凝结在仪器的较低温度的部件上。这些冷凝物如不及时进行清理，会产生堵塞、在后续实验中继续分解而对结果带来不利的影响等不良后果。因此，需要定期对加热炉进行检查，如发现有较多冷凝物沉积的现象应及时进行清理。本文拟以美国Perkin Elmer公司的Pyris 1型热重分析仪为例来介绍该仪器的加热炉玻璃套管的清洗方法。其他公司的不同型号的仪器与该仪器差别较大，清洗时应根据实际情况进行。首先，按照仪器的操作手册的要求小心地取下加热炉玻璃套管，图1为取下的玻璃套管。由图可见，该套管由于测试样品分解产物的影响，管壁上已经受到了严重的污染，需进行清洗。[align=center][img=,690,388]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/09/201809051603416904_5505_3237657_3.jpg!w690x388.jpg[/img][/align][align=center]图1 清洗前的玻璃套管[/align]首先用无水乙醇进行超声清洗，清洗后图1中支管部分已恢复到透明状态，但其他部分没有发生明显的改善。于是换用丙酮、乙醚等有机溶剂继续进行超声清洗，仍然没有明显的改善。继续换用洗洁精、洗衣粉用试管刷进行清洗，事实证明基本没有效果。经一番考虑后，换用去污粉，用试管刷进行反复清洗，效果立现，如图2所示。[align=center][img=,690,388]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/09/201809051603565724_887_3237657_3.jpg!w690x388.jpg[/img][/align][align=center]图2用去污粉清洗后的玻璃套管图[/align][align=center][img=,690,388]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/09/201809051604077544_9027_3237657_3.jpg!w690x388.jpg[/img][/align][align=center]图3溶剂冲洗后的玻璃套管效果图[/align][align=center][img=,690,388]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2018/09/201809051604219087_50_3237657_3.jpg!w690x388.jpg[/img][/align][align=center]图4 连接在仪器上的清洗后的玻璃套管效果图[/align]由图2可见，管壁上的顽固的冷凝物已经在去污粉颗粒的摩擦作用下被清洗干净。依次用清水和无水乙醇冲洗后的套管如图3所示，已经和全新的套管没有什么区别了。将套管放入80℃的烘箱烘干，烘干后在上下连接处涂抹真空硅脂，连接在仪器上，如图4所示。综上，按照本文所述的方法可以有效地清洗Pyris 1 加热炉玻璃套管。

http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/11/201311010932_474787_2601546_3.jpghttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/11/201311010932_474788_2601546_3.jpghttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/11/201311010933_474789_2601546_3.jpghttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/11/201311010933_474791_2601546_3.jpghttp://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/11/201311010933_474792_2601546_3.jpg自动电熔炉加热炉的盖子，尺寸：长 ：宽： 高 53mm：45mm: 4mm盖子的性质要求：1.表面光滑。2.可耐1500℃的高温。3.加热时不易碎裂，冷热伸缩性好。若有朋友可以做麻烦你把做好的样片给我们先试用一块，然后相应的报价给我。13817458676

安捷伦1888A顶空进样器日常维护 摘要：安捷伦1888A顶空进样器是分析化验室常见的顶空设备，日常使用中经常会出现炸瓶或卡瓶的现象，本文主要讲述了炸瓶后的加热炉清理及样品盘的校正过程。 仪器型号：安捷伦1888A顶空进样品+7890A气相。 仪器故障：运行过程中炸瓶，玻璃进入炉膛。 故障分析：国内实验室的样品瓶一般都要重复使用，在清洗过程中可能造成轻微的裂痕，样品瓶进入加热炉升温致压力增加，瓶承受不住高压造成炸瓶。 仪器故障排除：首先升顶空传输带托盘，拆开图1中样品盘上面的三个风扇保护盖螺丝，取下保护盖。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312092254_481387_1620415_3.jpg松开图2中风扇固定螺钉，取下风扇。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312092254_481388_1620415_3.jpg拆下图3中风扇下方的三个样品盘固定螺丝，取下样品盘。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312092320_481406_1620415_3.jpg可以看到炉内碎瓶的玻璃屑，见图4。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312092254_481390_1620415_3.jpg将碎玻璃屑和样品污渍清理干净，注意样品般固定动环下及两相样品马达的顶杆处的玻璃碎屑，清理过程中戴好防护手套，防止玻璃扎伤。图5是清洁后炉膛，恢复如新。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312092254_481391_1620415_3.jpg先将样品盘安装到固定动环上，不要拧太紧，将一号瓶位对准取样马达处，见图3样品盘上的一个小坑处（不对准也没关系，因为瓶位的感应器在炉膛下面）。盖上传输带托盘，开机自检完成后，按键盘“Menu”键，进入图6界面。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312092254_481392_1620415_3.jpg按“Enter”键进入图7界面，http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312092254_481393_1620415_3.jpg再按“Enter”键进入图8界面，http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312092254_481394_1620415_3.jpg用上下按键移动光标到“Shutter”菜单，按数字键“1”，听到Shutter板转动后，再次按数字键“1”，至Shutter板全开。从传输带向下看，见图9，http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2013/12/201312092254_481395_1620415_3.jpg将上下瓶的位置对准，可打开向传输带托盘看样品盘的1号位是否在取样马达顶杆上。调整好位置后，移动光标到图8位置，按数字键“1”，取样马达顶杆升起，将一测试瓶放入取样位置，使取样马达顶杆复位，测试样品瓶是否能顺畅的上下，测试正常后按数字键“0”，将取

1. 概述 针对目前常用的高温加热炉保护气体管路使用中存在的不便性，采用改进措施和配套装置，使得惰性气体管路的使用更方便、更安全和更直观。2. 常用保护气体管路结构 高温真空炉，如石墨加热炉和钨丝加热炉等，在工作过程中都需要惰性气体保护。常需对炉体先抽真空后充惰性气体，并使真空炉内惰性气体的气压略大于大气压，在整个升降温过程中真空炉始终处在正压状态，以避免发热体和工件氧化。保护气体管路结构如图 2-1所示。 http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/04/201704021923_01_3384_3.png图 2-1 高温加热炉常用保护气体管路示意图3. 常用保护气体管路使用步骤 （1）使真空腔处于闭合状态，关闭所有阀门。 （2）开启真空泵和开关阀2，对高温加热炉真空腔开始抽真空。 （3）当真空腔内的真空度达到要求真空度时，一般为20Pa左右，先后开启气瓶减压阀和开关阀1，调节浮子流量计，用最小气体流量对真空腔进行充气，同时真空泵抽掉充气管路中的残存大气。 （4）按顺序先后关闭开关阀2和真空泵，调节浮子流量计增大充气流量，使真空腔内惰性气体较快速度接近大气压。 （5）当充气使得真空腔内气压达到放气阀出气压力时，调节浮子流量计到合适的最小流量，使充入的气体经过真空腔由放气阀排出，形成单向流动。 （6）保持浮子流量计调节位置不变，真空腔内始终处于恒定的正压环境，然后开始高温加热炉的升降温过程和其它试验操作。4. 问题提出 上述的高温真空炉保护气体管路在实际工程使用中存在以下问题： （1）充气管路中调节气体流速的浮子流量计真空密闭性很差，在负压状态下的充气过程中，大气会经浮子流量计进入到真空腔内。如果将充气管路和浮子流量计与真空腔一起抽真空，浮子流量计的泄漏会造成真空腔真空度始终无法达到高温加热炉腔体的真空度要求。 （2）当腔内气压达到设定正压，放气阀开始放气。但放气阀的放气过程并不直观，无法准确观察到放气现象。尽管有些单向放气阀带有放气哨音，但腔体始终处于正压放气状态，连续的放气哨音反而成为一种噪音。如果采用更复杂和准确的压力仪表来进行检测，会增加相应的成本。 5. 新型管路要求 所需求的加热炉保护气体管路如图 5 1所示。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2017/04/201704021924_01_3384_3.png 图 5-1 新型高温加热炉常用保护气体管路示意图 具体要求如下： （1）将浮子流量计改进为真空密封型的浮子流量计，便于将充气管路中的残存气体抽取干净，同时保证充气过程中的惰性气体纯度，避免外部空气渗入。如果不考虑气体流量的直观性调节，也可以增加两路充气管路，一路用开度较大的调节阀来进行快速充气，以满足较大真空腔体对快速充气的要求；另一路用开度较小的针阀控制充气，以满足较小体积真空腔体的充气要求，以避免腔体内部过压太快。 （2）将真空腔上两个放气阀更换为两个不同量程的单向限压阀，如6Psi和9Psi，其中6Psi限压阀保证只有真空腔内气压大于大气压6Psi时才能导通放气，9Psi限压阀保证只有真空腔内气压大于大气压9Psi时才能导通放气。这样配置两个不同量程单向限压阀的作用，一是将真空腔内的惰性气体正压严格控制在6～9Psi之间，二是当其中6Psi放气阀发生堵塞失效正压增加后，9Psi放气阀导通起到安全保护作用，控制真空腔内正压不至于过大。 （3）分别在两个不同量程的单向限压阀出气端连接上两个气泡式流量指示计，从两个限压阀流出的气体通过导管导入油内，以气泡形式指示出气体的流出和流量大小。 （4）如果高温真空炉内不要求有惰性气体正压形式，充入的惰性气体直接经过加热炉后直接以一个大气压压力直接排出炉外。这样可以不安装两个不同量程的单向限压阀，而是在相应接口处直接安装上两个气泡式流量指示计，或只安装上一个气泡式流量指示计而另一接口密封，这样排出的惰性气体可以通过气泡直接观察。在这种情况下，这种气泡式流量指示计就需要兼顾负压功能，即在抽真空状态过程中气泡式流量指示计自动密闭起到关闭阀门的作用，而在充惰性气体过程中当真空腔内气压接近一个大气压式自动打开排出气体并由气泡显示流量大小。6. 效果总结 改进后的管路可以更有效的消除充气管路内残留大气和浮子流量计大气泄漏所引起的真空腔内惰性气体不纯问题，惰性气体防护作用更有效。 通过改进后的高温加热炉保护气体管路，保护气体管路可以应用于有设定正压要求的高温加热炉系统，也可以应用于无正压要求的高温加热炉。 改进后的管路可以精确控制真空腔内惰性气体气压范围，提高真空腔内气压保护的安全性，可以直观的观察到真空腔内惰性气体的气压变化过程和速度，重要的是整体结构比较廉价。

[b]加热方式比较[/b][color=#444444]实验室当中，大多数都需要加热，关于加热方式，都有哪几种呢？每种的优缺点是什么，今天我来跟大家科普一下，有问题欢迎留言[/color][color=#444444]实验室加热方式有微波加热，电阻丝加热，感应加热，硅钼（碳）棒加热，石墨加热，红外线加热等等。不同的实验，用到的加热方式也是不同的。 [/color][color=#444444] 先说微波加热，是对物质里面的水分子进行加热，较多用于食物加热，这种加热不会破坏食物。实验室当中比如说mopecvd(微波气象沉积技术)也用到微波[/color][color=#444444]，这种技术应用在cvd当中前景挺不错的。[/color][color=#444444] 电阻丝加热，利用电阻发热，通过控制加热的功率来改变加热温度。这种方式成本低，电阻丝比较廉价。但是温度最高达到1200度，但是国外最高可以到达1400度，瑞士进口电阻丝。瑞士的电阻丝类似国内的40cr.[/color][color=#444444] 感应加热，利用法拉第电磁感应定律，交变电流产生交变磁场，通过交变磁场产生涡流加热。加热速度极其快，通过改变频率，几秒时间能够加热到千度。金属热处理中应用广泛。但是不是所有的金属都可以用的到，导电的不一定可以导磁，导磁的一定导电，像铝可以导电，但是不能导磁。[/color][color=#444444] 硅钼（碳）棒是马弗炉常用的加热元件，可以加热到1700度。可以在空气当中自然冷却，初期使用可能会出现冒泡现象，这属于正常现象比如说。高频感应加热炉。[/color][color=#444444] 最后是红外线灯管加热，它的应用十分广泛。可以消毒，杀菌，还可用在马弗炉上面，比如说rtp,快速退火炉，这种使用的就是红外灯管加热，速度也是非常快，一般加热粉末或者其它式样。20s左右就可以达到理想的温度。[/color][color=#444444][color=#444444] 我是马弗炉工程师，欢迎一起探讨实验室问题。如有马弗炉需要，可以给我留言。[/color][/color][img=红外灯管,710,413]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/03/201903290939474530_3128_3860607_3.png!w710x413.jpg[/img]

[img]http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2008/06/200806161533_93273_1622715_3.jpg[/img]用三维结构照明显微镜拍下的细胞核影像[flash]http://www.youtube.com/v/Xib7yoZKspk&hl=en[/flash] 据美国《连线》杂志报道，一种新型的显微镜能够展示高清晰度、多色彩的三维画面，它比以前用的传统显微镜能揭示出更多的细节。此技术能区别细胞内彩色立体的组成结构，捕捉多色彩的三维立体细胞的画面，甚至能够给细胞不同的成份标记上不同的颜色。即使它们只相隔100纳米远，也能分别得清楚。这是一个前所未有的壮举。这一新的发展使得分子细胞生物学有了令人感兴趣的新视角。此研究成果发表在6月6日出版的《科学》杂志上。 德国慕尼黑路德维格-马克西米利安大学（Ludwig Maximilians University）完整蛋白质科学研究中心的赫恩里其劳恩哈德说：“我们为你先前没有看到和研究过的全新结构领域开启了大门。” 光学显微镜具有衍射局限性，其清晰度通常不足大约一半的可见光光波长度，约200纳米。如果二个物体靠近的距离小于这一数字，它们就无法将它们彼此识别出来。而使用更短波长的电子显微镜能看到更加细微的物体，但只限于黑白图像，且只能观察既薄又小的样本。如今，劳恩哈德小组研发的这种新型的显微镜――三维结构照明显微镜（3D-SIM）却打破了这些限制，可以给最细微的样本结构拍下亮丽的立体图像。 三维结构照明显微镜的原理是通过提取这些细微样本制造的干涉图，在电脑的帮助下重建其图像，即使在样本形状不能直接显现的情况下，此显微镜也能提取其形状有关的信息。劳恩哈德解释说，这就像你扫描一张打印照片时所出现的情况，你的眼睛不能分辨出此照片上非常细小的彩色点，但扫描仪能做到，但让你失望的是你看到了扫描图像上布满波纹和阴影。然而，这些干涉图确实包含有价值的信息，“在数学和电脑的帮助下，我们能利用这个来重建其图像。” 确实，劳恩哈德小组利用它在大约100纳米的分辨率下来观看到了哺乳动物老鼠的细胞，制造了高清晰度的图像，呈现出3种不同荧光颜色，而且DNA、细胞核膜和膜孔都分别加有标签。 此技术可以更加细致地研究染色体和其它细胞组成部件是如何在细胞空间里分布的，甚至还能区别DNA片段中哪些是活跃基因哪些是非活跃基因，这对研究衰老和疾病很有帮助。（尼特）