纳米力学测试系统

布鲁克TI 980高精度纳米力学测试系统是布鲁克公司研制的自动化、高通量的测试仪器，可以用来表征材料多项纳米力学性能，包括硬度、弹性模量、摩擦系数、磨损率、破裂韧性、失效、蠕变、粘附力（结合力）等力学数据。高性能的样品加载系统和工艺领先的专利技术三板电容传传感技术赋予仪器超高的稳定性和广泛的应用领域，支持多种类型的不同形状和尺寸的样品。在薄膜、陶瓷、复合物、聚合物、微机电系统、生物和金属等领域都有广泛应用。后续可选择升级模块有高温台、电学性能测试、湿度控制模块、冷台、与拉曼连用等，TI980是最多样化的纳米力学表征工具，是高校、研究所及工业界用户的最佳选择。

布鲁克Hysitron PI 88是布鲁克公司生产的新一代原位纳米力学测试系统，其最大特点是系统设计高度模块化，后期可在已有系统上自行配置并拓展其他功能。该系统通过视频接口将材料的力学数据（载荷-位移曲线）与相应SEM视频之间实现时间同步，允许研究者在整个测试过程中极其精确地定位压头并对变形过程成像。解决了传统纳米压痕方法，只能通过光学显微镜或原位扫描成像观察压痕前后的形貌变化，因无法监测中间过程，而最终对载荷-位移曲线上的一些突变无法给出解释甚至错误解释的问题。PI 88安装于SEM，可以精确施加载荷，检测位移，在电镜下进行压痕、压缩、弯曲、划痕、拉伸和疲劳等力学性能测试；此外，通过升级电学、加热模块，还可研究材料在力、电、热等多场耦合条件下结构与性能的关系。

布鲁克Hysitron TI Premier高精度纳米力学测试系统是布鲁克公司研制的自动化、高通量测试仪器，通过纳米级位成像，可实现压痕、划痕和磨损过程的纳米尺度原位可视化表征。Hysitron（海思创）应用其工艺领先的专利技术“三板电容传导”，从源头上保证了仪器稳定性和灵敏度。使用Hysitron（海思创）纳米力学材料检测系统通过探针可以获得材料微区的硬度、弹性模量、摩擦系数、磨损率、断裂刚度、失效、蠕变、粘附力（结合力）等力学数据。后续可选择升级模块有高温台、电学性能测试、湿度控制模块、冷台、与拉曼连用等。不仅在微纳米水平上开展力学行为特性的研究，还可以进行纳米尺寸上的机械加工。

布鲁克Hysitron PI 88是布鲁克公司生产的新一代原位纳米力学测试系统，其特点是系统设计高度模块化，后期可在已有系统上自行配置并拓展其他功能。该系统通过视频接口将材料的力学数据（载荷-位移曲线）与相应SEM视频之间实现时间同步，允许研究者在整个测试过程中极其精确地定位压头并对变形过程成像。解决了传统纳米压痕方法，只能通过光学显微镜或原位扫描成像观察压痕前后的形貌变化，因无法监测中间过程，而最终对载荷-位移曲线上的一些突变无法给出解释甚至错误解释的问题。PI 88安装于SEM，可以精确施加载荷，检测位移，在电镜下进行压痕、压缩、弯曲、划痕、拉伸和疲劳等力学性能测试；此外，通过升级电学、加热模块，还可研究材料在力、电、热等多场耦合条件下结构与性能的关系。

布鲁克Hysitron PI 85L是SEM专用的多用途、高灵敏度热学、电学和力学的测试系统，利用SEM的高分辨率，可以直接观测整个材料动态变化的过程。传统纳米压痕仪通过光学显微镜或原位扫描只能观察到压痕前及压痕后的形貌变化，中间过程无法观察到，载荷位移曲线上的一些突变我们无法解释，甚至单从曲线分析会导致错误的解释。PI 85L安装于电镜，可以精确施加载荷，检测位移，在电镜下做压痕、拉伸、弯曲、压缩、加热、电学和划痕测试，可以借助电镜的高分辨率，观测并记录整个材料测试过程，观测材料在力下发生的动态变化，如金属蠕变、相变、断裂起始等。PI 85L采用Hysitron专利技术三板电容传感器，具备载荷和位移同时监测和驱动的独特功能。具备业界领先的精度，重复性和低背景噪音等优点。PI 85L拥有多种特色测试功能模块可供选择，如动态力学测试、MEMS加热、拉伸测试、电学测试、纳米划痕等功能模块。

布鲁克Hysitron PI 95是TEM专用的多用途、高灵敏度热学、电学和力学的测试系统，在TEM上检测时，直接观察检测过程，使用侧面进样支架，不仅可以实现纳米尺度材料的成像观察，还可以同时进行加热和通电测试，并同步得到材料的力学数据，通过视频接口可以将材料的力学数据（载荷位移曲线）与相应TEM视频之间实现时间同步。该系统为方便研究者瞬间得到特定参数，比如化学复合物的种类，或对材料已经造成的影响，除成像外，选择区域衍射可以检测样品的取向，原位力学检测可以实时观测和验证。适用JEOL、FEI、Hitachi、Zeiss（不适用于UHR极靴）的PI 95可在纳米尺度既可以轻松完成材料的电学测试，也可以同时进行拉伸、压缩、弯曲等力学实验。后续可升级模块有高温台、原位力电性能测试、纳米划痕等。

先进的设计 所有的纳米压痕试验都取决于精确的加载和位移数据，要求对加载到样品上的载荷有精确的控制。是德科技最新的第五代G200型纳米压痕仪采用电磁驱动的载荷装置，从而保证测量的精确度，独特的设计避免了横向位移的影响。 是德科技最新的第五代G200型纳米压痕仪的杰出设计带来很多的便利性，包括方便的测试到整个样品台，精确的样品定位，方便的确定样品位置和测试区域，简便的样品高度调整，以及快速的测试报告输出。模块化的控制器设计为今后的升级带来极大的方便。 此外，最新的第五代G200型纳米压痕仪完全符合各种国际标准，保证了数据的完整性。客户可以通过每个力学传感器自主设计试验，在任何时候对其进行切换，同时整个设备占地面积小，适合各种实验室环境。NanoSuite的特点和优势 经过近40年的发展，NanoSuite已经成为业内公认的界面友好、操作简便、功能齐全的数据采集和处理软件包，NanoSuite不仅可以自动测试，也可以使用户利用网络远程遥控进行实验控制，NanoSuite不仅能够做到压入过程中硬度和弹性模量等力学性能的实时计算和显示，同时允许用户根据自己的研究需求以及提出的新模型随时添加新的软件通道，此外，根据实验参量的变化快慢能够自动调整数据的采集速率，实现了智能化的数据采集功能，从而既获得您真正需要的数据，又可避免不必要的垃圾数据。– 极其灵活、精确的数据采集和控制– 不断更新的测试方法– 最新的批处理测试功能– 新型的2D 图形输出功能– 测试数据更有效的分析功能– PDF测试数据的直接输出– 优越的自我定制测试模型的建立– 非常方便的个性化测试方法的建立– 功能齐全完善的图像处理功能– 用户可轻松便捷的编辑自己的测试方法已满足特殊的应用与需求– 定制化的测试方法同样可满足ISO 14577国际标准– 可提供专业的建模和仿真软件，帮助用户实现特殊的离线研究需要– Windows 10操作系统增强的载荷加载系统新一代G200型纳米压痕仪是具有从纳牛到牛顿最为完整的加载力范围，并且不同的加载装置可自动软件切换，整个测试流程都是全自动的，极大的提高了测试数据的可靠性和可重复性，避免了可能的人为因素的影响，确保每个测试都是合理、一致、精确。标准的加载装置G200型纳米压痕仪标准配置是XP加载系统（最大为500mN）, 位移分辨率 0.01纳米，最大压入深度 500微米,该装置可应用到所有的测试功能。压头更换轻松完成，非常好的机架刚度极大的减少了系统对测试的影响。高精度加载装置DCM II 是高分辨的纳米纳牛力加载模块，它既可以单独工作，也可以作为一个附件与G200协同工作。由于其惯性质量很低，使得纳米压痕中的初始表面的选取更加灵敏、精确， DCM II 在超低载荷下的纳米压痕测试具有极高的精确度和可重复性，由于它自身的空载共振频率远高于一般建筑物的振动频率，这就使得一般的环境振动对它几乎没有影响，DCM II 具有很宽的动态频率范围(0.1 Hz 到 300 Hz)，所有这些特点使得 DCM II 可以提供同类设备不可比拟的高信噪比和高可靠性的试验数据，例如右图所示的蓝宝石上三个纳米深度的压痕测试，在几个纳米的压痕深度范围内获得了非常可靠的弹性模量。大载荷加载装置是德科技的大载荷加载选件，大大强化了G200型纳米压痕仪的应用范围。这个选件可以用于标准的XP加载模块，将G200型纳米压痕仪的加载能力扩展至10N，可对陶瓷、金属块材和复合材料进行力学表征。大载荷选件的巧妙设计，使得G200既避免了在低载荷的情况下牺牲仪器的载荷和位移精度，同时又保证了用户在需要大加载力的测试时，通过鼠标操作就可以在测试实验中进行无缝加载装置切换。

产品信息Micro Materials 产品纳米力学综合性能测试系统NanoTest Xtreme可以实现真空环境下的纳米力学测试！ 为了更加准确、可靠地预测材料的性质，研究学者们对测试条件模拟真实环境程度的要求越来越高。Micro Materials 公司的NanoTest Vantage 产品可以提供最全面的纳米力学测试功能。现在Micro Materials 公司的最新产品NanoTest Xtreme 可以实现真空环境下-40℃至1000℃这一温度范围内的纳米级力学测试， 并且没有氧化和结霜的影响。自1988年以来，我们一直处于纳米力学创新的前沿： ► 第一个商用高温纳米压痕平台 ► 第一台商用纳米冲击测试仪器 ► 第一个商用液体池 ► 第一台用于高真空、高温纳米力学的商用仪器更适合以下极端环境条件的研究：1、 航空发动机部件的高温 2、 用于高速加工的工具涂层 3、 电站蒸汽管的高温4、核反应堆覆层中的辐射效应 5、低温对油气管道焊缝修复的影响 NanoTest Xtreme 特点：a、500 mN加载头在真空下最高测试温度：1000°Cb、30 N加载头在真空下的最高测试温度：800°C c、真空下的最低测试温度：-40°C d、极限真空度：10-7 mbar e、与真空下所有标准纳米测试技术兼容（纳米压痕、纳米划痕、纳米磨损、纳米冲击、纳米微动） f、可选配第二个加载头，最大负载从500mN增加到30 N g、填充功能可在非空气环境中进行测试 h、高分辨率光学显微镜 i、可选配在整个温度范围内均可使用的SPM 成像/纳米定位平台 NanoTest Xtreme 优点：1、 将高温能力扩展到1000°C，超出NanoTest Vantage提供的850°C 2、 将低温能力提高至-40°C，且无样品结霜 3、超低的热漂移归因于与NanoTestVantage相同的仪器设计原理 4、 完整的纳米力学测试(例如压痕、划痕、磨损、摩擦、冲击) 5、能够填充气体以匹配材料操作环境参数指标1、加载框架 高度抛光的铝，用于快速脱气 加载应用：电磁 标准压头最大负载 500 mN 最大负载，可选高负载头 30 N 位移传感器 ：电容式 负载分辩率 3 nN 位移分辨率 0.002 nm 重新定位精度 0.4 µ m 样品处理 ：手动控制，网格压痕，特定位置选择，多个同时安装的样本 热漂移 0.005 nm/s 符合标准 ：符合ISO 14577和ASTM 2546标准 2、高温平台 最高温度 1000 º C 压头尖端加热 ：是 可测试样本区 16 mm x 16 mm 温度控制 ：反馈和恒定功率 温度精度 0.1 º C 3、低温平台 最低温度 -40 º C 4、SPM纳米定位平台 扫描范围 100 µ m x 100 µ m X Y定位精度 2 nm 5、真空 工作模式 ：真空或气体吹扫 真空度 ：极限10-7 (标准10-6 )mbar 6、选件 纳米划痕，纳米磨损，纳米冲击，动态硬度 应用NanoTest&trade Xtreme可以广泛应用于：航空航天、汽车工业、半导体、生物医学、MEMS、高分子、薄膜和涂层，以及太阳能/燃料电池等。

产品简介MML公司的纳米力学性能测试系统NanoTest&trade Vantage可以提供新型材料和特种材料开发和优化的大量信息。是世界上最灵活、功能最强大的纳米力学测试系统。它可以为用户提供高精度的纳米压痕测试，同时提供相关的全面综合测试：如纳米划痕和磨损测试、纳米冲击和疲劳测试、以及在高温、液体环境中的测试。这些纳米水平上的测试可以为我们提供材料表面局部的定量信息，数据可靠、测试省时。这些因数使得NanoTest&trade Vantage在世界范围内成为大学、工业实验室和标准机构中很多表征和优化项目的最关键设备。自1988年以来，我们一直走在纳米力学创新的前沿： ► 第一个商用高温纳米压痕平台 ► 第一台商用纳米冲击试验机 ► 第一个商用液体池 ► 第一台用于高真空、高温纳米力学的商用仪器产品优势：► 无与伦比的技术多样性 无纳米压痕，纳米划痕，纳米冲击，纳米微震动磨损，纳米磨损 ► 高精度的多种载荷纳米（至500mN）和微米（至30N） ► 引领市场的环境兼容能力 引高温（至850°C）、低温（至-20°C）、液体和湿度环境 ► 真正测量多 真 样性动态、静态、电气和多种成像模式技术指标1、加载框架 花岗岩复合材料设计专门用于计量应用 2、加载应用 电磁 标准头最大载荷 500 mN 位移传感器 线性电容 负载分辨率 3 nN 位移分辨率 0.002 nm 重复定位精度 0.4 µ m 可测试区域 50 mm x 100 mm 样品处理 手动控制并点击显微镜图像 热漂移 0.005 nm/s 接触力 1 µ N 显微镜– 4个物镜 x5, x10, x20 和 x40 屏幕放大率 x410, x825, x1650, x3300 隔振 负K，机械被动 压头交换时间 1 min 符合标准 完全符合ISO 14577和ASTM 2546 3、划痕模块 最大摩擦力 250 mN 摩擦载荷分辨率 10 µ m 最大划痕距离 10 mm 划痕速度 100 nm/s 至 0.1 mm/s 4、冲击模块 加速距离 高达20 µ m 接触应变率 高达104 s-1 微动磨损模块 轨道长度 ≤20 µ m 频率 ≤20 Hz 最大磨损次数 10 5、SPM纳米定位平台 XY扫描范围 100 µ m x 100 µ m Z扫描范围 20 μm 定位精度 ≤2 nm 闭环线性 99.97% 6、AFM XY扫描范围 110 µ m x 110 µ m Z范围 22 µ m 7、高温选项 温度 850 °C 主动，独立的样品和压头加热 是 压头材料 金刚石，氮化硼，蓝宝石 8、高负载头 最大载荷 30 N 摩擦载荷分辨率 300 μN 应用范围航空航天、汽车工业、半导体、生物医学、MEMS、高分子、薄膜和涂层，以及太阳能/燃料电池等

纳米力学测试设备Bruker’s TI 950 TriboIndenter海思创TI 950 TriboIndenter纳米压痕仪是布鲁克一台用于多种纳米力学和纳米摩擦学表征的自动化、高通量测试设备。海思创TI 950纳米压痕仪集成了强大的Preformech I先进控制模块，显著提高了纳米力学测试反馈控制的准确度，提供了空前的低噪音水平。结合布鲁克的大量纳米力学测试技术和正在研发的测试方法，TI 950 TriboIndenter 是一台多功能和极其高效的纳米力学测试系统，适用于广泛的应用。Contact for More Information 优异的控制反馈和灵敏度布鲁克先进的反馈控制算法和测量灵敏度为所有海思创纳米力学测试技术提供了精确的控制。海思创TI 950上所有的反馈控制功能都基于集成了数据信号处理器（DSP）和现场可编程门阵列（FPGA）的专业控制系统，用于精确实现用户的测试需求。 电容传感器技术专业的电容传感器技术提供了纳米压痕过程中前所未有的测量灵敏度（30nN, 0.2nm），准确性和可信度。静电激励模式使用微小电流，具有zui好的温漂性能，从而实现更快的数据采集，更高的精度和更好的重复性。集成原位扫描探针成像的高分辨光学系统海思创TI 950集成了带彩色CCD相机的光学系统，用于高放大倍数下的样品表面观察和测试位置选择。原位扫描探针成像系统能提供更精确的测试位置选择（±10nm）。TI 950的这种双模式成像设计实现了许多应用对精确控制测试位置的需求。 纳米力学和纳米摩擦学测试的一大飞跃Bruker’s Hysitron TI 980 TriboIndenter海思创TI 980 TriboIndenter纳米压痕仪是布鲁克zui先进的纳米力学测试设备，同时具有zui高的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。TI 980纳米压痕仪是布鲁克著ming的海思创纳米压痕设备的新一代产品。它建立在几十年的技术创新上，提供了纳米力学和纳米摩擦学表征领域全新水平的非凡性能、能力和功能。Contact Us Download Brochure 让您时刻保持在材料探索和发展前沿采用布鲁克的Performech II先进控制模块，TI 980纳米压痕仪在控制能力、测试通量、测试灵活性、适用性、灵敏度、可信度和系统模块化等方面有了显著的进步。TI 980包含以下多种强有力的功能：纳米压痕与微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速机械性能成像。这些测试功能有助于全面理解材料纳米尺度下的行为。 简易高速的自动化海思创TI 980提供了高通量表征所需的快速、多样品和多技术自动测试能力。它可以按照设定时间间隔自动验证针尖形状，还可以实现多尺度下的高分辨成像和全样品光学扫描。 不会过时的表征潜力鉴于将来会出现不同与今日的表征需求，TI 980纳米压痕仪被设计为具有zui好的灵活性。TI 980支持大量集成和具有相关性的纳米力学表征技术，使您时刻保持在材料研发前沿。集成多种系统控制模块和数据分析软件、通用样品固定选项（机械、磁性和真空）和模块化环境腔，TI 980也适用于您将来的表征需求。 设备咨询电话：（微信同号）；QQ：；邮箱：欢迎您的来电咨询！网址：

产品简介：布鲁克的海思创TI 980 TriboIndenter同时具有最高的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。基于海思创几十年的技术创新，它为纳米力学表征带来了更高水平的性能、功能和易用性。TI 980达到了一台优异纳米力学测试仪器所需的所有要求，实现了控制上突出的先进性和高效性，试验上的灵活度与可实现性，测量稳定性，以及系统设计的模块化。产品参数：TI 980xSol环境控制腔与载台环境控制腔实现了定量纳米力学性能和纳米摩擦学特征随着温度、气氛和湿度的变化。nanoECR纳米压痕测试的原位导电特性可以和纳米力学性能,材料形变行为和接触电阻等同步研究。xProbe基于MEMS传感器的探针可以实现原子力显微镜级别的超低力和位移噪音水平。iTE专利的原位薄膜力学性能分析包提供了排除基底效应影响的薄膜和多层膜结构的定量力学性能。3D OmniProbe和多量程NanoProbe通过扩展力和位移测量量程实现微米尺度的力学和摩擦学特性表征。同步拉曼光谱原位研究力学性能和摩擦学特性与材料结构和化学成分的相关性。模量成像动态扫描纳米压痕模式提供材料表面的定量、高分辨模量分布。荧光显微镜联用集成荧光显微镜可实现荧光共定位纳米力学测试等。电化学模块实现氧化和还原环境下的原位定量纳米力学和纳米摩擦学行为研究。自动探针更换模块按钮操作的自动探针更换模块。样品台多尺度的磁性、机械和真空固定方式可以固定几乎所有待测样品，包括300mm晶圆。TriboAE TM声音传感器能通过针尖原位监测纳米压痕过程中的断裂和形变产生的声音信号。Tribolmage TM纳米尺度划痕/磨损的实时表征。产品特点：简洁、高速的自动控制针尖面积函数自动校正 传感器自动校正 压针和光学系统校正自动测试程序快速、多样品自动测试功能实现高通量表征 智能化自动程序确保用户选择正确的针尖 高分辨多尺度成像结合全尺寸样品的光学搜索，极大简化测试流程实现真正纳米尺度表征从微米到几个纳米的多尺度测量 纳牛级别的力噪音水平和小于90%原子直径的位移测量能力，实现几乎任何材料的定量表征 系统可实现超过6个数量级的力测量和10个数量级的位移测量 力和位移噪音水平保证在客户现场安装时实现精准控制测试过程实现最大精度、可信度和重复性的真正定量纳米力学和纳米摩擦学表征 特殊的力和位移反馈控制方法用于海思创的传感器-专门针对海思创传感器物理特性开发的力与位移反馈控制算法 每隔0.013毫秒实现一次完整反馈控制，使得系统能测量快速瞬态过程，并对其作出反馈，真正实现用户的测试意图-每隔0.013毫秒实现一次完整的感知-分析-控制的循环，使得系统能对瞬态过程进行测量与反馈，以此重现用户定义的测试方式强大的测试模块配置

纳米力学测试设备Bruker’s TI 950 TriboIndenter海思创TI 950 TriboIndenter纳米压痕仪是布鲁克一台用于多种纳米力学和纳米摩擦学表征的自动化、高通量测试设备。海思创TI 950纳米压痕仪集成了强大的Preformech I先进控制模块，显著提高了纳米力学测试反馈控制的准确度，提供了空前的低噪音水平。结合布鲁克的大量纳米力学测试技术和正在研发的测试方法，TI 950 TriboIndenter 是一台多功能和极其高效的纳米力学测试系统，适用于广泛的应用。Contact for More Information 优异的控制反馈和灵敏度布鲁克先进的反馈控制算法和测量灵敏度为所有海思创纳米力学测试技术提供了精确的控制。海思创TI 950上所有的反馈控制功能都基于集成了数据信号处理器（DSP）和现场可编程门阵列（FPGA）的专业控制系统，用于精确实现用户的测试需求。 电容传感器技术专业的电容传感器技术提供了纳米压痕过程中前所未有的测量灵敏度（30nN, 0.2nm），准确性和可信度。静电激励模式使用微小电流，具有zui好的温漂性能，从而实现更快的数据采集，更高的精度和更好的重复性。集成原位扫描探针成像的高分辨光学系统海思创TI 950集成了带彩色CCD相机的光学系统，用于高放大倍数下的样品表面观察和测试位置选择。原位扫描探针成像系统能提供更精确的测试位置选择（±10nm）。TI 950的这种双模式成像设计实现了许多应用对精确控制测试位置的需求。 设备咨询电话：欢迎您的来电咨询！

KLA NanoFlip原位纳米压痕划痕力学测试系统NanoFlip纳米压痕仪可以提供您的材料研究实验室带来无限的便捷。 高性能多功能性是NanoFlip设计的标志，当需要进行成像集成，需要进行频繁的转换和广泛的样本控制时，无论是环境测量还是原位测试，无论有无真空，都能提供同样出色的结果。Fib2Test技术允许用户将样品倾斜90度，以便在双光束SEM内从FIB无缝过渡到压痕测试，而无需移除样品。设计为完全真空兼容，并且具有独特的样品触发功能，NanoFlip非常适用于现场环境，如SEM，FIB和真空室，或者当您的实验带您迁移时，可以在任何情况下工作 可以想象的成像系统，如AFM，光学显微镜和光学Pro测量仪，为您提供几乎无限的成像选项。电磁执行器用于KLA生产的所有系统，包括NanoFlip。 这些执行器是坚固的线性装置，固有地解耦力和位移。 它们的最大力为50 mN，分辨率为3 nN，超低噪声电流小于200 nN。NanoFlip的时间常数为20微秒，是唯一同时符合规格的商用纳米压痕仪，最大压痕行程为50μm，噪声0.1nm，数字分辨率为0.004 nm，漂移率为 0.05nm/s。为了确保业内最广泛，最可靠的数据，NanoFlip能够实现0.1 Hz至1 kHz的动态激励频率。样品台移动，Z轴为25 mm，X为20 mm，Y轴为20 mm，分辨率为nm，可在大面积上精确定位样品。载荷框架刚度 7 e5N/m独特的尖端校准系统集成到软件中，可实现快速，准确和自动的尖端校准。可用的方法包，包含聚合物，薄膜和生物材料的提示，方法和标准可用刮擦选项，最大正常载荷为50 mN，最大刮擦距离为2.5 mm，最大刮擦速度为500μm/ s。可选的NanoBlitz地形和层析成像软件，用于材料的3D和4D映射。

美国K-T公司于2018年4月收购原安捷伦纳米测量部，其是全球微纳米力学（压痕/划痕/成像）测试设备的开创者，全球首台纳米力学测试系统于上世纪80年代初诞生于此，多种测量方法和物理模型都来自该公司。经过30多年不断努力和改进，目前该公司微纳米力学测试不仅实现了静态测试，同时实现了高水平的动态纳米压痕测试和原位纳米压痕测试，当前中国纳米压痕测试国家标准已包含了该公司的连续刚度（CSM）测试专利技术，在该领域具有很高的权威性。K-T公司纳米测量部在连续刚度测试（CSM）、高分辨率、扫描成像、快速测试方面拥有独有技术。K-T是该领域知名的跨国公司，中国设有地区总部，拥有高水平的专业技术支持和售后服务人员，国内用户得到很好的售后服务和支持。标准载荷500mN 标准位移精度优于0.02nm.

布鲁克Hysitron PI 88是布鲁克公司生产的新一代原位纳米力学测试系统，其最大特点是系统设计高度模块化，后期可在已有系统上自行配置并拓展其他功能。该系统通过视频接口将材料的力学数据（载荷-位移曲线）与相应SEM视频之间实现时间同步，允许研究者在整个测试过程中极其精确地定位压头并对变形过程成像。解决了传统纳米压痕方法，只能通过光学显微镜或原位扫描成像观察压痕前后的形貌变化，因无法监测中间过程，而最终对载荷-位移曲线上的一些突变无法给出解释甚至错误解释的问题。PI 88安装于SEM，可以精确施加载荷，检测位移，在电镜下进行压痕、压缩、弯曲、划痕、拉伸和疲劳等力学性能测试；此外，通过升级电学、加热模块，还可研究材料在力、电、热等多场耦合条件下结构与性能的关系。

布鲁克Hysitron TI Premier高精度纳米力学测试系统是布鲁克公司研制的自动化、高通量测试仪器，通过纳米级位成像，可实现压痕、划痕和磨损过程的纳米尺度原位可视化表征。Hysitron（海思创）应用其工艺技术“三板电容传导”，从源头上保证了仪器稳定性和灵敏度。使用Hysitron（海思创）纳米力学材料检测系统通过探针可以获得材料微区的硬度、弹性模量、摩擦系数、磨损率、断裂刚度、失效、蠕变、粘附力（结合力）等力学数据。后续可选择升级模块有高温台、电学性能测试、湿度控制模块、冷台、与拉曼连用等。不仅在微纳米水平上开展力学行为特性的研究，还可以进行纳米尺寸上的机械加工。

纳米力学测试仪 iNano灵活易用的力学测试可广泛用于各种材料和应用iNano专为压痕、硬度、划痕测试和多元化纳米级测试等纳米级力学测试设计。iNano能够测试包括软质高聚物到硬质涂层和薄膜等在内的各种材料。模块化系统选项可以完成各种不同应用：特定频率测试、定量划痕和磨损测试、集成探针成像、高温测试和自定义方法编程等。除了能够推进高校科研之外，iNano还可以为以下材料和行业进行纳米压痕测试和抗蠕变性测量：生产质量控制金属和合金医药器械涂料和油漆半导体高聚物与塑料MEMS/纳米级器件电池和储能材料陶瓷与玻璃主要功能高度模块化设计, 既具有最为宽泛的测试功能，又可提供高通量的自动化测试功能，并配有统计数据分析包，适用于纳米力学性能测量、扫描探针显微成像、高温测量和IV电压电流特性测试实时高效的实验控制，简单易用的测试流程开发和测试参数设置标准的InForce 50电磁驱动器集成高速控制器电子设备完成告诉数据采集高达100kHz，捕获材料瞬间的响应，例如锯齿流变和断裂现象。仪器使用工业界最短的时间常数20μs，精准捕捉材料瞬间的真实响应集成了噪音隔离功能的高刚度框架，可确保对各种材料进行准确测量数码变焦的高分辨光学显微镜，精确定位样本纳米压痕专家在线讲授专业纳米压痕课程，以及移动应用程序能够提供测试方法的实时更新功能与选项概览KLA 核心技术iNano 采用电磁驱动转换器提供动力，电磁驱动加载模块技术因其众多的优势被广泛的应用在KLA的压痕设备中,轻松实现载荷和位移的宽动态范围的控制,提供纳米级的力学测试功能, 实现高精度观察与定位测试样本,以及样品高度的简易调节。在其标准配置中，iNano采用了InForce 50驱动器，并提供模块化控制器以便用户按需要增加功能。iNano设备提供扫描探针成像功能、划痕及磨损测试功能、高温纳米力学测试功能、连续刚度测试(CSM) 和高速3D及4D力学图谱等模块化升级选件。该系统兼容ISO14577国际标准。iNano 采用高阶的InView&trade 测试控制和数据采集软件,包含用于简化测试设置的带屏幕控制的InviewRunTest，可在测试期间或之后进行数据分析的 InView ReviewData，和生成各种综合性测试报告的 InFocus 软件。连续刚度测量（CSM）压入循环期间测量刚度和其他材料特性KLA的连续刚度测量技术能够轻松评估材料在应变速率或蠕变效应影响下的动态力学性能。CSM技术在压入过程中保持探针以纳米级的振幅持续振动，从而获得硬度、模量等力学性能随深度、载荷、时间或频率的变化而变化的特性。该选项提供学术界与工业界最常用的恒应变速率测试方法，用以测量随深度或载荷变化的硬度和模量。CSM还可用于其他高级测量选项，其中包括用于存储和损耗模量测量的ProbeDMA&trade 方法以及AccuFilm&trade 消除基底效应的薄测量等。连续刚度测量技术在InQuest控制器和InView软件中集成，可以方便使用并保证数据的可靠性。 使用 CSM 选项测量随压入深度而变化的弹性模量AccuFilm&trade 薄膜方法通过校正衬底对测量的影响对超薄膜进行表征基于连续刚度测量技术(CSM)并结合Hay-Crawford模型的新一代AccuFilm&trade 薄膜测试选件可测量附着于衬底的膜层材料，使用AccuFilm超薄膜方法是基于KLA科学家发明的的新一代超薄膜的测试技术，实验设置操作简单，对于软衬底上的硬质膜以及硬衬底上的软质膜，AccuFilm都可以校正衬底在膜测量中所带来的影响。使用 AccuFiLm 薄膜法，基底影响模量和纯薄膜模量作为归一化压痕深度的函数NanoBlitz 3D 快速力学性能分布快速定量地测量表面力学性能分布测量粗糙表面和/或异质材料通过增加观察次数给出具有统计意义的结果NanoBlitz 3D 采用新一代快速纳米压痕测试技术，实现每个压痕测试时间小于1秒。单次试验最大压痕个数为100000（300X300矩阵），可在用户指定的恒定加载力下，提供材料弹性模量，硬度和接触刚度的三维图谱。快速且大量的测试点极大的提高了统计的准确性，同时可以直接对不同相或不同特性区域进行力学均值、分布和面积占比的统计。NanoBlitz 3D功能为用户提供数据可视化和强大的统计数据分析处理功能。使用 NanoBlitz 3D 选项绘制 WC-CO 复合材料的硬度分布图和统计直方图NanoBlitz4D 力学性能断层扫描基于连续刚度测量(CSM) 技术的力学性能断层扫描NanoBlitz 4D力学谱图利用InForce 50或InForce 1000驱动器和Berkovich压头为低E/H值和高模量( 3GPa) 材料生成纳米力学性质的4D图。NanoBlitz4D以每个压痕5秒的速度完成多达10,000个压痕（30×30阵列），并为阵列中的每个压痕测量随深度而变化的杨氏模量(E)、硬度(H)和刚度(S)数值。NanoBlitz 4D采用恒应变速率方法，为用户提供数据可视化和强大的统计数据分析处理功能。使用 NanoBlitz 4D 选项针对多层薄膜绘制两个不同压入深度的弹性和塑性分布图ProbeDMA&trade 高聚物测试聚合物测试包中配置了圆底平头探针、粘弹性测试标样和粘弹特性的测试方法，该测试选件基于连续刚度测量技术，可在不同频率条件下对材料进行高效可靠测量，得到储存模量和损耗模量与频率的变化关系。该测量技术对纳米量级的聚合物及聚合物薄膜的力学表征至关重要，优于传统DMA测试设备。使用圆底平头探针测试一系列标准高聚物样品的储能模量划痕和磨损测试方法压头通过样品表面时对其施加恒定或渐增的载荷iNano系统可以对多种材料进行划痕和磨损测试。在涂层和薄膜经过化学机械抛光(CMP) 和引线键合等的多种工艺处理的时候，其强度及其对基材的附着力会备受考验。在加工工艺中，材料是否能抵抗塑性变形并保持完整而不从衬底上起泡非常重要。理想情况下，介电材料具有高硬度和高弹性模量，因为这些参数有助于了解材料在制造工艺中的性能变化。划痕测试的定量分析300°C 样品加热允许将样品放入一个腔室中，以便在测试期间对其均匀加热300°C 的样品加热选项允许将样品放置在一个腔室内进行均匀加热，同时接受测试。iNano 样品加热选项用于表征高温下的机械性能。国际标准化的纳米压痕测试iNano包括预先内置的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577 标准测量材料硬度。该测试方法可以自动测量并输出杨氏模量、仪表硬度、维氏硬度和归一化压痕功。按照 ISO14577 标准在一系列标准样品上所测得的硬度值iNano 的其他升级选项远程视频观看 : 远程视频选项包括已安装的网络摄像头，便于在测试之前和期间查看样品。两个观察角度分布为样品设置视图和原位测试视图，可分别观察样品和纳米压头。DataBurst 模式 : DataBurst 模式在高达 100kHz 的速度下触发超级数据采集，捕获材料瞬间响应，例如锯齿流变和断裂现象；允许在真正的步进荷载下测量高应变率材料的力学性能；仪器使用工业界最短的时间常数，帮助客户精准捕捉材料瞬间的真实响应。InView 开放式软件编写平台 : InView 采用开放式软件编写平台，以帮助客户在测试过程中实现加载，测量和计算的全方位控制。用于设计新颖或复杂的实验。开放式软件编写平台给予客户极大的灵活性：帮助客户轻易采集原始测试数据到和最终分析结果的全面使用；客户可以完全浏览，编辑计算公式，自定义参数，实现个性化试验设计；用户可以自由设计和改变试验参数和试验过程，为探索新的试验测试提供可能。TrueTestI-V 电学测试 : True Test I-V 选项允许用户向样品施加特定电压并测量压头的电流，以表征纳米力学测量过程中电学特性的局部变化。带有模块化机架的主动振动隔离:在 iNano 的内置被动隔振的基础上增加主动隔振，为超薄薄膜上高难度的纳米力学测量提供了强大的稳定性和精确度。主动隔振系统减少了所有六个自由度的振动，无需进行调整。生物软材料测试选项台 : 生物材料测试方法利用核心技术连续刚度测试 CSM 表征模量在 1kPa 左右的生物软材料 包含一个平底压头和测量软材料储存损耗模量的测试方法。压头探针和校准样品 : InForce 50、InForce 1000 和 Gemini 驱动器的可互换压头包括 Berkovich、立体角、维氏，以及平底和球体压头。

美国KLA InSEM HT原位高温纳米力学测试系统，纳米压痕仪

选型指南：PB1000型微纳米力学综合测试系统是美国NANOVEA公司销量最高的一款微纳米力学测试系统测量系统，这款仪器采用模块化设计，可在一款仪器下实现纳米与微米/大载荷三个尺度下的压痕，划痕与摩擦磨损测试，进而可得到硬度、弹性模量、蠕变信息、弹塑性、断裂韧度、应力-应变曲线、膜基结合力、划痕硬度、摩擦系数、磨损率等微观力学数据。产品特性:◎可在一台仪器上实现纳米尺度、微米尺度及大载荷尺度下的压痕、划痕与摩擦测试 ◎压痕、划痕与摩擦磨损完全符合ASTM及ISO的国际标准◎模块化设计：可根据客户需求任意选择纳米/微米/大载荷模块的压痕/划痕/磨损功能◎专利的设计可保证系统具有高稳定性与高的精度◎可拓展性强：可随意升级已有设备到多种测试功能技术参数：◎工作台自动控制范围：150 mm×150mm ◎Z方向自动移动范围：50mm◎工作台定位精度：1μm◎光学显微物镜：5X,10X,20X,50X,100X可选◎总放大倍数：200X, 400X, 800X,2000X200X, 4000X可选◎纳米压痕仪/纳米划痕仪/纳米摩擦磨损仪◎微米压痕仪/微米划痕仪/微米摩擦磨损仪◎大载荷压痕仪/大载荷划痕仪/大载荷摩擦磨损仪可选件： ◎ 测量模块：客户需要自己选择纳米模块、微米模块与大载荷模块其中之一 ◎ 光学镜头：客户需要自己选择光学镜头的个数与倍率 ◎ 原子力显微镜产品应用： ◎薄膜及超薄膜(金属膜、陶瓷膜、Low k 膜、多层复合膜等) ◎复合材料(树脂基、陶瓷基、金属基、纤维增强材料表面及界面等) ◎聚合物 (共混物、共聚物等) ◎生物及仿生材料(细胞、骨组织、血管、牙齿、支架等) ◎金属及合金(晶面/晶界/组织相、金属玻璃、稀土等) ◎MEMS (微悬臂、微镜、微泵等) ◎陶瓷材料 ◎电子及半导体(硅片、蓝宝、硬脆及软脆材料等)

CB500型微纳米力学综合测试系统是美国NANOVEA公司推出的一款性价比高的微纳米力学测试系统测量系统，这款仪器采用模块化设计，可实现纳米/微米/大载荷三个尺度下的压痕，划痕与摩擦磨损测试，进而可得到硬度、弹性模量、蠕变信息、弹塑性、断裂韧度、膜基结合力，划痕硬度，摩擦系数等微观力学数据，用户可根据需要选择适合相应应用的功能模块。产品特性:◎可在一台仪器上实现纳米尺度、微米尺度及大载荷尺度下的压痕、划痕与摩擦测试 ◎压痕、划痕与摩擦磨损完全符合ASTM及ISO的国际标准◎模块化设计：可根据客户需求任意选择纳米/微米/大载荷模块的压痕/划痕/磨损功能◎专利的设计可保证系统具有高稳定性与高的精度◎可拓展性强：可随意升级已有设备到多种测试功能技术参数：◎工作台自动控制范围：100 mm×50mm ◎Z方向自动移动范围：25mm◎工作台定位精度：1μm◎光学显微物镜：5X,10X,20X,50X,100X可选◎总放大倍数：200X, 400X, 800X,2000X200X, 4000X可选◎纳米压痕仪/纳米划痕仪/纳米摩擦磨损仪◎微米压痕仪/微米划痕仪/微米摩擦磨损仪◎大载荷压痕仪/大载荷划痕仪/大载荷摩擦磨损仪可选件： ◎ 测量模块：客户需要自己选择纳米模块、微米模块与大载荷模块其中之一 ◎ 光学镜头：客户需要自己选择光学镜头的个数与倍率产品应用： ◎薄膜及超薄膜(金属膜、陶瓷膜、Low k 膜、多层复合膜等) ◎复合材料(树脂基、陶瓷基、金属基、纤维增强材料表面及界面等) ◎聚合物 (共混物、共聚物等) ◎生物及仿生材料(细胞、骨组织、血管、牙齿、支架等) ◎金属及合金(晶面/晶界/组织相、金属玻璃、稀土等) ◎MEMS (微悬臂、微镜、微泵等) ◎陶瓷材料 ◎电子及半导体(硅片、蓝宝、硬脆及软脆材料等)

布鲁克Hysitron PI 88是布鲁克公司生产的新一代原位纳米力学测试系统，其特点是系统设计高度模块化，后期可在已有系统上自行配置并拓展其他功能。该系统通过视频接口将材料的力学数据（载荷-位移曲线）与相应SEM视频之间实现时间同步，允许研究者在整个测试过程中极其精确地定位压头并对变形过程成像。解决了传统纳米压痕方法，只能通过光学显微镜或原位扫描成像观察压痕前后的形貌变化，因无法监测中间过程，而最终对载荷-位移曲线上的一些突变无法给出解释甚至错误解释的问题。PI 88安装于SEM，可以精确施加载荷，检测位移，在电镜下进行压痕、压缩、弯曲、划痕、拉伸和疲劳等力学性能测试；此外，通过升级电学、加热模块，还可研究材料在力、电、热等多场耦合条件下结构与性能的关系。

纳米力学和纳米摩擦学测试的一大飞跃Bruker’s Hysitron TI 980 TriboIndenter海思创TI 980 TriboIndenter纳米压痕仪是布鲁克zui先进的纳米力学测试设备，同时具有zui高的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。TI 980纳米压痕仪是布鲁克著ming的海思创纳米压痕设备的新一代产品。它建立在几十年的技术创新上，提供了纳米力学和纳米摩擦学表征领域全新水平的非凡性能、能力和功能。 让您时刻保持在材料探索和发展前沿采用布鲁克的Performech II先进控制模块，TI 980纳米压痕仪在控制能力、测试通量、测试灵活性、适用性、灵敏度、可信度和系统模块化等方面有了显著的进步。TI 980包含以下多种强有力的功能：纳米压痕与微米压痕、纳米划痕、纳米摩擦磨损、高分辨原位扫描探针显微镜成像、动态纳米压痕和高速机械性能成像。这些测试功能有助于全面理解材料纳米尺度下的行为。 简易高速的自动化海思创TI 980提供了高通量表征所需的快速、多样品和多技术自动测试能力。它可以按照设定时间间隔自动验证针尖形状，还可以实现多尺度下的高分辨成像和全样品光学扫描。 不会过时的表征潜力鉴于将来会出现不同与今日的表征需求，TI 980纳米压痕仪被设计为具有zui好的灵活性。TI 980支持大量集成和具有相关性的纳米力学表征技术，使您时刻保持在材料研发前沿。集成多种系统控制模块和数据分析软件、通用样品固定选项（机械、磁性和真空）和模块化环境腔，TI 980也适用于您将来的表征需求。 纳米力学测试设备Bruker’s TI 950 TriboIndenter海思创TI 950 TriboIndenter纳米压痕仪是布鲁克一台用于多种纳米力学和纳米摩擦学表征的自动化、高通量测试设备。海思创TI 950纳米压痕仪集成了强大的Preformech I先进控制模块，显著提高了纳米力学测试反馈控制的准确度，提供了空前的低噪音水平。结合布鲁克的大量纳米力学测试技术和正在研发的测试方法，TI 950 TriboIndenter 是一台多功能和极其高效的纳米力学测试系统，适用于广泛的应用。 优异的控制反馈和灵敏度布鲁克先进的反馈控制算法和测量灵敏度为所有海思创纳米力学测试技术提供了精确的控制。海思创TI 950上所有的反馈控制功能都基于集成了数据信号处理器（DSP）和现场可编程门阵列（FPGA）的专业控制系统，用于精确实现用户的测试需求。 电容传感器技术专业的电容传感器技术提供了纳米压痕过程中前所未有的测量灵敏度（30nN, 0.2nm），准确性和可信度。静电激励模式使用微小电流，具有zui好的温漂性能，从而实现更快的数据采集，更高的精度和更好的重复性。集成原位扫描探针成像的高分辨光学系统海思创TI 950集成了带彩色CCD相机的光学系统，用于高放大倍数下的样品表面观察和测试位置选择。原位扫描探针成像系统能提供更精确的测试位置选择（±10nm）。TI 950的这种双模式成像设计实现了许多应用对精确控制测试位置的需求。 Hysitron TI Premier实现定量纳米力学研究布鲁克的海思创TI Premier系列被专门设计为在紧凑平台上实现领xian的定量纳米力学表征。基于已被广泛认可的先进技术，海思创TI Premier提供了纳米力学和纳米摩擦学测试的核心工具。除了使用不同配置的海思创TI Premier实现不同领域的研究测试外，TI Premier还提供了大量升级选项，用于满足将来的多种潜在测试需求。Contact Us Download Brochure 海思创TI Premier可满足不同研发需要。常用的配置选项包括： 准静态纳米压痕 多功能设计，针对薄膜和涂层力学性能表征优化 动态纳米压痕 适用于从超软到超硬的各种材料的准静态和动态力学系能表征 高温纳米压痕 研究不同温度下（高达800℃）材料的力学性能和时间依赖形变行为 多尺度压痕 实现从纳米到微米尺度的压痕测试

纳米力学测试仪 iMicro灵活易用的力学测试可广泛用于各种材料和应用iMicro专为压痕、硬度、划痕测试和多元化纳米级测试等纳米级力学测试设计。iMicro具有多量程加载驱动器，实现在宽泛的荷载和位移的范围内进行测量。iMicro能够测试包括软质高聚物到硬质涂层和薄膜等在内的各种材料。模块化系统选项可以完成各种不同应用：特定频率测试、定量划痕和磨损测试、集成探针成像、高温测试和自定义方法编程等。除了能够推进高校科研之外，iMicro还可以为以下材料和行业进行纳米压痕测试和抗蠕变性测量：硬涂层陶瓷和玻璃金属和合金复合材料涂料和油漆医药器械半导体电池与储能材料汽车和航空航天主要功能高度模块化设计, 既具有最为宽泛的测试功能，又可提供高通量的自动化测试功能，并配有统计数据分析包，适用于纳米力学性能测量、扫描探针显微成像、高温测量和IV电压电流特性测试实时高效的实验控制，简单易用的测试流程开发和测试参数设置标准的InForce 1000电磁驱动器提供高达1N的驱动力集成高速控制器电子设备完成告诉数据采集高达100kHz，捕获材料瞬间的响应，例如锯齿流变和断裂现象。仪器使用工业界最短的时间常数20μs，精准捕捉材料瞬间的真实响应集成了噪音隔离功能的高刚度框架，可确保对各种材料进行准确测量数码变焦的高分辨光学显微镜，精确定位样本纳米压痕专家在线讲授专业纳米压痕课程，以及移动应用程序能够提供测试方法的实时更新功能与选项概览KLA 核心技术iMicro采用电磁驱动转换器提供动力，电磁驱动加载模块技术因其众多的优势被广泛的应用在KLA的压痕设备中,轻松实现载荷和位移的宽动态范围的控制,提供纳米级的力学测试功能, 实现高精度观察与定位测试样本,以及样品高度的简易调节。在其标准配置中，iMicro采用了InForce 1000驱动器，并提供模块化控制器以便用户按需要增加功能。iMicro具备高度模块化设计,可选配InForce 1000 或InForce 50驱动器，并实现驱动器软件无缝切换，设备提供扫描探针成像功能、划痕及磨损测试功能、高温纳米力学测试功能、连续刚度测试(CSM) 和高速3D及4D力学图谱等模块化升级选件。该系统兼容ISO 14577国际标准。iMicro 采用高阶的InView&trade 测试控制和数据采集软件,包含用于简化测试设置的带屏幕控制的InviewRunTest，可在测试期间或之后进行数据分析的 InView ReviewData，和生成各种综合性测试报告的 InFocus 软件。连续刚度测量（CSM）压入循环期间测量刚度和其他材料特性KLA的连续刚度测量技术能够轻松评估材料在应变速率或蠕变效应影响下的动态力学性能。CSM技术在压入过程中保持探针以纳米级的振幅持续振动，从而获得硬度、模量等力学性能随深度、载荷、时间或频率的变化而变化的特性。该选项提供学术界与工业界最常用的恒应变速率测试方法，用以测量随深度或载荷变化的硬度和模量。CSM还可用于其他高级测量选项，其中包括用于存储和损耗模量测量的ProbeDMA&trade 方法以及AccuFilm&trade 消除基底效应的薄测量等。连续刚度测量技术在InQuest控制器和InView软件中集成，可以方便使用并保证数据的可靠性。 使用 CSM 选项测量随压入深度而变化的弹性模量AccuFilm&trade 薄膜方法通过校正衬底对测量的影响对超薄膜进行表征基于连续刚度测量技术(CSM)并结合Hay-Crawford模型的新一代AccuFilm&trade 薄膜测试选件可测量附着于衬底的膜层材料，使用AccuFilm超薄膜方法是基于KLA科学家发明的的新一代超薄膜的测试技术，实验设置操作简单，对于软衬底上的硬质膜以及硬衬底上的软质膜，AccuFilm都可以校正衬底在膜测量中所带来的影响。使用 AccuFiLm 薄膜法，基底影响模量和纯薄膜模量作为归一化压痕深度的函数NanoBlitz 3D 快速力学性能分布快速定量地测量表面力学性能分布测量粗糙表面和/或异质材料通过增加观察次数给出具有统计意义的结果NanoBlitz 3D 采用新一代快速纳米压痕测试技术，实现每个压痕测试时间小于1秒。单次试验最大压痕个数为100000（300X300矩阵），可在用户指定的恒定加载力下，提供材料弹性模量，硬度和接触刚度的三维图谱。快速且大量的测试点极大的提高了统计的准确性，同时可以直接对不同相或不同特性区域进行力学均值、分布和面积占比的统计。NanoBlitz 3D功能为用户提供数据可视化和强大的统计数据分析处理功能。使用 NanoBlitz 3D 选项绘制 WC-CO 复合材料的硬度分布图和统计直方图NanoBlitz4D 力学性能断层扫描基于连续刚度测量(CSM) 技术的力学性能断层扫描NanoBlitz 4D力学谱图利用InForce 50或InForce 1000驱动器和Berkovich压头为低E/H值和高模量( 3GPa) 材料生成纳米力学性质的4D图。NanoBlitz4D以每个压痕5秒的速度完成多达10,000个压痕（30×30阵列），并为阵列中的每个压痕测量随深度而变化的杨氏模量(E)、硬度(H)和刚度(S)数值。NanoBlitz 4D采用恒应变速率方法，为用户提供数据可视化和强大的统计数据分析处理功能。使用 NanoBlitz 4D 选项针对多层薄膜绘制两个不同压入深度的弹性和塑性分布图ProbeDMA&trade 高聚物测试聚合物测试包中配置了圆底平头探针、粘弹性测试标样和粘弹特性的测试方法，该测试选件基于连续刚度测量技术，可在不同频率条件下对材料进行高效可靠测量，得到储存模量和损耗模量与频率的变化关系。该测量技术对纳米量级的聚合物及聚合物薄膜的力学表征至关重要，优于传统DMA测试设备。使用圆底平头探针测试一系列标准高聚物样品的储能模量300°C 样品加热允许将样品放入一个腔室中，以便在测试期间对其均匀加热300°C 的样品加热选项允许将样品放置在一个腔室内进行均匀加热，同时接受测试。iNano 样品加热选项用于表征高温下的机械性能。国际标准化的纳米压痕测试iMicro包括预先内置的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577 标准测量材料硬度。该测试方法可以自动测量并输出杨氏模量、仪表硬度、维氏硬度和归一化压痕功。按照 ISO14577 标准在一系列标准样品上所测得的硬度值iMicro 的其他升级选项划痕和磨损测试选项 : 划痕和磨损测试在探针通过样品表面时对其施加恒定或渐增的纵向载荷，可用于表征薄膜、脆质陶瓷和高聚物等的多种材料。生物软材料测试选项 : 生物材料测试方法利用核心技术连续刚度测试 CSM 表征模量在 1kPa 左右的生物软材料包含一个平底压头和测量软材料储存损耗模量的测试方法，DataBurst 测试选项 : DataBurst 模式在高达 100 kHz 的速度下触发超级数据采集，捕获材料瞬间的响应，例如锯齿流变和断裂现象；允许在真正的步进荷载下测量高应变率材料的力学性能；仪器使用工业界最短的时间常数，帮助客户精准捕捉材料瞬间的真实响应。InView 开放式软件编写平台 : InView 采用开放式软件编写平台，以帮助客户在测试过程中实现加载，测量和计算的全方位控制。用于设计新颖或复杂的实验。开放式软件编写平台给予客户极大的灵活性：帮助客户轻易采集原始测试数据到和最终分析结果的全面使用；客户可以完全浏览，编辑计算公式，自定义参数，实现个性化试验设计；用户可以自由设计和改变试验参数和试验过程，为探索新的试验测试提供可能。True Test I-V 电学测试 : True Test I-V 选项允许用户向样品施加特定电压并测量压头的电流，以表征纳米力学测量过程中电学特性的局部变化。带有模块化机架的主动振动隔离 : 在 iMicro 的内置被动隔振的基础上增加主动隔振，为实现超薄薄膜等高难度纳米力学测量提供了强大的稳定性和精确度。主动隔振系统减少了所有六个自由度的振动，无需进行调整。高精度线性光学编码器平台 : 线性光学编码器 (LOE) 选项，提高了测试过程的定位精度，用于微小结构定位。压头探针和校准样品 : InForce 50、InForce 1000 和Gemini 驱动器的可互换压头包括 Berkovich、立体角、维氏，以及平底和球体压头。

产品详情Nano Indenter G200X可提供纳米级的力学测试功能，简单易用，能够精确进行各种力学定量分析。G200X系统中配置了高精度纳米马达样品台、最 大的样品安装系统和高分辨率光学显微镜。InView软件、InQuest控制器和InForce驱动器让KLA全线压痕产品系列具有一致的卓 越性能。 G200X系统可选功能包括连续刚度测量(CSM)、扫描探针显微成像、划痕测试、动态力学分析频率扫描，、IV电压电流特性测试、超高速压痕测试和冲击测试等等。主要功能电磁驱动器可轻松实现载荷和位移的宽动态范围的控制高分辨率光学显微镜与精密XYZ 移动系统结合，实现高精度观察与定位测试样本。便捷的样本安装台与多样本定位设置功能实现高通量测试。高度模块化设计，设备提供扫描探针成像功能、划痕及磨损测试功能、高温纳米力学测试功能、连续刚度测试(CSM) 和高速3D及4D力学图谱等模块化升级选件。直观的用户操作界面便于快速的进行测试设置；仅需点击几下鼠标即可完成复杂测试的参数设置。实时高效的实验控制，简单易用的测试流程开发和测试参数设置。全新的InView软件，提供用于分析数据的Review软件和生成各种综合性测试报告的 InFocus软件。独 家发明并获得美国R&D奖的材料表面力学图谱功能和高速测试功能，极大的提高了定量数据的可靠性。InQuest高速数字控制器，数据采集速率最 高可达100kHz，时间响应常数最快为20µ s。主要应用高速硬度和模量测量 (基于Oliver-Pharr 模型)高速材料表面力学特性分布测量ISO 14577 标准化硬度测试薄膜及涂层测试界面附着力测量断裂韧性测量粘弹性测量,储能模量和损耗模量及损耗因子扫描探针显微成像（3D 成像）定量划痕和磨损测试高温纳米压痕测试IV电学测试行业分布高校、科研实验室和研究所半导体芯片行业PVD/CVD 硬质涂层（DLC、TiN)MEMS：微机电系统/纳米级通用测试陶瓷与玻璃金属与合金制药膜层材料与油漆复合材料电池与储能汽车与航空航天应用硬度与模量测试 (Oliver-Pharr模型)在薄膜的工艺控制和制造过程中，表征其力学性能至为重要，其中包括汽车行业的涂层质量，以及半导体制造中的前道和后道工艺控制等。G200X纳米压痕仪可在宽泛材料上测量硬度和模量，对从超软凝胶类样品到硬质涂层等各种材料提供解决方案。更快，更好和更具成本效益的解决方案为生产线提供可靠的品质控制及保障。高速材料力学性能图谱功能对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能会有很大差异。 G200X系统能够在X轴和Y轴方向上各提供 100 毫米的样品台移动，并在Z轴方向上提供25毫米的移动，在大面积样本区域下轻松表征不同厚度，宽度，长度的样本。可升级选件NanoBlitz 力学形貌图谱和断层谱图 软件能够快速输出力学性能的彩色分布图。ISO 14577 硬度测试Nano Indenter G200X 包括预先内置的ISO 14577测试方法，可根据ISO 14577 标准测量材料硬度。该测试方法可以自动测量并输出杨氏模量、仪表硬度、维氏硬度和归一化压痕功。界面附着力测试膜层材料的界面粘附性的测量对于帮助用户了解薄膜的失效模式至关重要。内应力的存在常常会导致镀层样品的薄膜分层现象，Nano Indenter G200X系统可以通过膜层界面的断裂及黏附特性和残余应力等性能的测试，实现对多层界面的性能评估。断裂韧性测试断裂韧性反映了结构阻止宏观裂纹失稳扩展能力，是结构抵抗裂纹脆性扩展的参数。低断裂韧性值意味着样品存在的缺陷。G200X特有的刚度成像功能可以轻松地对材料的断裂韧性进行评估。（刚度分布测量需要连续刚度测量和NanoVision选件）粘弹材性测试聚合物是结构异常复杂的材料，力学性能易受其化学特性、加工工艺和热力学历史的影响。力学性能取决于母链的类型和长度、支化、交联、应变、温度和频率等，而这些因素通常是相互关联的。G200X可在特定测试环境中对相关聚合物样本进行力学测试，为聚合物高分子材料设计参数决策提供了有价值的数据信息。/p纳米压痕测试所需样本尺寸小，样本制备要求简单，可高效简化这种特定环境的测量。Nano Indenter G200X 系统还可以通过与材料充分接触的同时激发高频振动来测量聚合物样品的复合模量和粘弹性。扫描探针显微成像 (3D 成像)Nano Indenter G200X 系统提供两种扫描探针显微成像方式，用户可利用三维成像来表征断裂韧性研究中产生的裂纹长度等。 Nano Indenter G200X 与NanoVision选件结合，可提供高达1nm步进的横向分辨率的高精度PZT样品台，实现高精度定位，100µ m x 100µ m的最 大横向扫描范围。Nano Indenter G200X测试平台标准的高精度X/Y 纳米马达台与Inview 软件及扫描测量选件结合，可提供500µ m x 500µ m的最 大横向扫描范围。定量划痕和磨损测试G200X 系统可以对多种材料进行划痕和磨损测试。在涂层和薄膜经过化学机械抛光 (CMP) 和引线键合等的多种工艺处理的时候，其强度及其对基材的附着力会备受考验。在加工工艺中，材料是否能抵抗塑性变形并保持完整而不从衬底上起泡非常重要。理想情况下，介电材料具有高硬度和高弹性模量，因为这些参数有助于了解材料在制造工艺中的性能变化。产品优势NanoIndenter G200X纳米级力学测试平台，简单易用，能够快速准确的提供各种定量的力学测试结果。G200X系统能够轻松表征广泛的材料力学性能，从硬质涂层到超软聚合物样品，并针对不同应用提供综合全面的纳米力学测试升级选件和解决方案。

Hysitron BioSoft生物型纳米压痕仪 布鲁克的Hysitron BioSoft纳米压痕仪是专门设计用于生物材料和软质（如水凝胶）多尺度定量机械测试的仪器。BioSoft 同步强大的力学和光学表征技术，以全面了解生物材料的力学性能。此便携式系统与现有的倒置光学显微镜联用，将先进的生物力学测试功能引入实验室。定量力学性能测量提供独特的力灵敏度和位移范围组合，专门设计用于测量从亚细胞到组织水平的生物样品。兼容性测试灵活性轻松与倒置显微镜集成，以表征各种生物材料。先进生物力学控制模块在单个测试中实现不同控制，包括载荷、位移和开环控制。

布鲁克BRUKER纳米力学测试设备Bruker’s TI 950 TriboIndenter海思创TI 950 TriboIndenter纳米压痕仪是布鲁克一台用于多种纳米力学和纳米摩擦学表征的自动化、高通量测试设备。海思创TI 950纳米压痕仪集成了强大的Preformech I先进控制模块，显著提高了纳米力学测试反馈控制的准确度，提供了空前的低噪音水平。结合布鲁克的大量纳米力学测试技术和正在研发的测试方法，TI 950 TriboIndenter 是一台多功能和极其高效的纳米力学测试系统，适用于广泛的应用。 优异的控制反馈和灵敏度布鲁克先进的反馈控制算法和测量灵敏度为所有海思创纳米力学测试技术提供了精确的控制。海思创TI 950上所有的反馈控制功能都基于集成了数据信号处理器（DSP）和现场可编程门阵列（FPGA）的专业控制系统，用于精确实现用户的测试需求。 电容传感器技术专业的电容传感器技术提供了纳米压痕过程中前所未有的测量灵敏度（30nN, 0.2nm），准确性和可信度。静电激励模式使用微小电流，具有最好的温漂性能，从而实现更快的数据采集，更高的精度和更好的重复性。集成原位扫描探针成像的高分辨光学系统海思创TI 950集成了带彩色CCD相机的光学系统，用于高放大倍数下的样品表面观察和测试位置选择。原位扫描探针成像系统能提供更精确的测试位置选择（±10nm）。TI 950的这种双模式成像设计实现了许多应用对精确控制测试位置的需求。

美国K-T公司是全球微纳米力学测试设备技术的开创者，全球第一台纳米力学测试系统于上世纪80年代初在公司前身诞生，多种测量方法和物理模型来自该公司。经过30多年不断努力和改进，该公司微纳米力学测试不仅实现了静态到动态的测试，同时实现了与光学、电学等设备连用的原位材料力学、微结构学甚至成份学的多手段原位测试功能。当前国标已经引入该公司专利的CSM连续刚度技术，在该领域具有很高的权威性。K-T在连续刚度（CSM）、高分辨、扫描成像、快速测试方面拥有独特技术。K-T是该领域著名跨国公司，中国设有地区总部，拥有最专业的技术支持和售后服务人员。

布鲁克Hysitron PI 85L是SEM专用的多用途、高灵敏度热学、电学和力学的测试系统，利用SEM的高分辨率，可以直接观测整个材料动态变化的过程。传统纳米压痕仪通过光学显微镜或原位扫描只能观察到压痕前及压痕后的形貌变化，中间过程无法观察到，载荷位移曲线上的一些突变我们无法解释，甚至单从曲线分析会导致错误的解释。PI 85L安装于电镜，可以精确施加载荷，检测位移，在电镜下做压痕、拉伸、弯曲、压缩、加热、电学和划痕测试，可以借助电镜的高分辨率，观测并记录整个材料测试过程，观测材料在力下发生的动态变化，如金属蠕变、相变、断裂起始等。PI 85L采用Hysitron专利技术三板电容传感器，具备载荷和位移同时监测和驱动的独特功能。具备业界领先的精度，重复性和低背景噪音等优点。PI 85L拥有多种特色测试功能模块可供选择，如动态力学测试、MEMS加热、拉伸测试、电学测试、纳米划痕等功能模块。

上海衡翼精密仪器有限公司是集科研、生产、销售、技术服务为一体的力学检测设备的生产厂家，公司的产品目前已广泛使用在全国各厂家以及高校和科研单位，并且获得了一致好评，是一家值得信赖的企业，本公司生产的电子拉力试验机，电子扭转试验机，摆锤冲击试验机，紧固件检测设备，橡胶材料检测设备，塑料材料检测设备，智能卡检测设备以及定制的各种非标检测设备，价格公道，质量过硬，欢迎联系我们。纳米材料力学测试仪采用上海衡翼精密仪器有限公司生产的HY-0580(单臂）或（双臂）型拉力试验机。下面就以单臂型拉伸强度试验机为例，来与大家起分享下。碳纤维复合材料拉力测试仪采用单立柱主体结构，广泛适用于金属合金、非金属材料试样的拉伸、压缩、弯曲、剪切、剥离、撕裂等试验，以及些产品的特殊试验。可靠性高，并且容易操作，同时满足GB、ISO、JIS、ASTM、DIN等多种标准要求，并可根据用户需求编辑试验软件，定制试验附具，是各类产品和材料制造商、高等院校、科研单位和各产品质量监督部门的精密仪器。纳米材料力学试验机适用标准：GB/T2611-2007《试验机 通用技术要求》；GB/T16491-2008《电子试验机》；GB/T16852.1-2008《静力单轴试验机的检定 部分：拉力和（或）压力试验机测力系统的检验与校准》；GB/T 3923 纺织物拉伸；GB/T 1040 塑料拉伸性能测定等。配以不同的附具和相关软件控制，可以符合各种材料和产品的力学试验标准。纳米材料力学测试仪技术参数：1. 产品规格： HY-0580（单臂）2． 精度等： 0.5(以内）3． 额定负荷： 1N 5N 10N 20N 50N 100N 200N 500N 1000N 2000N 3000N 5000N（可配多只）4． 有效测力范围：0.1/100-99.999 5． 试验力分辨率，负荷±500000码；内外不分档，且全程分辨率不变。6． 有效试验宽度：120mm7． 有效试验空间：800mm8． 试验速度:：0.001~500mm/min(任意调)9. 速度精度：示值的±0.5%以内；10．位移测量精度：示值的±0.5%以内；11．变形测量精度：示值的±0.5%以内；12．应力控速率范围： 0.005%～6％FS/S13．应力控速率精度： 速率＜0.05％FS/S时，为设定值的±1%以内；速率≥0.05％FS/S时，为设定值的±0.5%以内；14．应变控速率范围： 0.002%～6％FS/S15．应变控速率精度： 速率＜0.05％FS/S时，为设定值的±2%以内；速率≥0.05％FS/S时，为设定值的±0.5%以内；16. 恒力/位移/变形测量范围：0.5％～99.9999％FS17．恒力/位移/变形测量精度：设定值＜10％FS时, 为设定值的±1%以内； 设定值≥10％FS时, 为设定值的±0.1%以内；18．试台升降装置：快/慢两种速度控制，可点动；19．试台安全装置：电子限位保护20．试台返回：手动可以高速度返回试验初始位置，自动可在试验结束后自动返回；21．试验定时间自动停车,试验定变形自动停车,试验定负荷自动停车22．超载保护：超过大负荷10%时自动保护；23. 自动诊断功能，定时对测量系统、驱动系统进行过载、过压、过流、超负荷等检查，出现异常情况立即进行保护23．电源功率： 750W24．主机重量： 120kg25. 电源电压: 220V（单相）26. 主机尺寸：470*400*1510mm

如有需要请通过伯英科技联系我们。多功能扫描探针显微镜（带纳米力学测试功能）型号：NT-206，是集多功能于一身的原子力显微镜，带有复杂的硬件与软件分析系统，可分析形貌与力学性能，分辨率为纳米级别。可添加：纳米压痕、划痕、磨损，附着力、摩擦力测试，纳米光刻等功能。A probe is positioned above journal neck of watch gearEmbedded videosystem in combination with motorized XY micropositioning stage provide convenient tuning of the instrument and its fine targeting onto the features on the sample surface. All that dramatically enhances the instrument' s functionality when researching micro- and nanosize objects.To meet requirements of specific research tasks, AFM NT-206 can include specialized changeable probe holders for microtribometry and adhesiometry or for nanoindentation.NT-206 ::: Description ::: Features ::: Delivery set ::: Software 多功能扫描探针显微镜（带纳米力学测试功能）技术指标：Measurement modes:测量模式： Motion patterns at the measurements: - area (matrix) - line - single point.Contact static AFM 接触静态Lateral force microscopy /with contact static AFM/ 横向力显微镜/用静态接触AFMNon-contact dynamic AFM 非接触式动态AFMIntermittent contact AFM (similar to Tapping Mode) 间隙接触（敲击）Phase contrast imaging /with intermittent contact AFM/ 相衬成像/用间隙接触AFMTwo-pass mode (for static and dynamic AFM) 6. 两回合模式（适合静态与动态AFM）Two-pass mode with varying separation (for static and dynamic AFM) /Original technique!/两回合模式，伴随变化的间距，Multicycle scanning (for static and dynamic AFM) /Original technique!/多回合扫描（适合静态与动态AFM）Multilayer scanning with varying load (for static and dynamic AFM) /Original technique!/多回合扫描，伴随变化的载荷（适合静态与动态AFM）Electrostatic force microscopy (two-pass technique) *, **静电力显微镜（双回合技术）Current mode *, **电流模式Magnetic force microscopy (two-pass technique) *, **磁力显微镜（双回合技术）Static force spectroscopy (with calculation of quantitative parameters, surface energy and elastic modulus in the measurement point)静态力谱（在测量点，计算定量参数、表面能与弹性模量）Dynamic force spectroscopy动态力谱Dynamic frequency force spectroscopy /Original technique!/动态频率力谱Nanoindentation *纳米压痕Nanoscratching *纳米划痕Linear nanowear *线性纳米磨损Nanolithography (with control of i load, ii depth and iii bias voltage) *纳米光刻（控制力，深度，偏压）Microtribometry * /Original technique!/微观摩擦力计量Microadhesiometry * /Original technique!/微观附着力计量Shear-force microtribometry * /Original technique!/剪切力微观摩擦力计量Temperature-dependent measurements (under all above modes) *基于温度的测量（适用于所以以上模块）Note. * - Specialized accessories or rig required*需要特殊的附件或工具 ** - Specialized probes required **需要特殊的探针Scan field area:扫描面积from 5x5 micron up to 50x40 micronsMaximum range of measured heights:最大高度范围from 2 to 4 micronLateral resolution (plane XY):侧面分辨率1–5 nm (depending on sample hardness)Vertical resolution (direction Z):竖直分辨率0.1–0.5 nm (depending on sample hardness)Scanning matrix:扫描矩阵Up to 1024x1024 pointsScan rate:扫描速度40–250 points per second in X-Y planeNonlinearity correction :非线性校正A software nonlinearity correction providedMinimum scanning step:最小扫描步阶0.3 nmScanning scheme:扫描步骤The sample is moved in X-Y plane (horizontal) and in Z-direction (vertical) under stationary probe.Scanner type:扫描器类型A piezoceramic tube.Cantilevers (probes):悬臂（探针）Commercial AFM cantilevers of 3.4x1.6x0.4 mm. Recommended are probes from Mikromasch or NT-MDT. Checked for operation with probes by BudgetSensor and NanosensorsCantilever deflection detection system:悬臂倾斜探测系统Laser beam scheme with four-quadrant position-sensitive photodetectorSample size:样品尺寸Up to 30x30x8 mm (w–d–h) extending block insert allows measurement of samples with height up to 35 mmHigh voltage amplifier output: 高压放大器输出+190 VADC:16 bitOperation environment:操作环境Open air, 760+40 mm Hg col., T = 22+4°С, relative humidity 70%Range of automated movement of measuring head:测量头自动移动范围10x10 mm in XY plane for micropositioning of probe relative measured sample at step 2.5 micron with optical visual monitoringOverall dimensions:总尺寸Scanning unit: 185x185x290 mm Control electronic unit: 195x470x210 mmField of view of embedded videosystem:植入视频系统的视场1x0.75 mm, visualization window 640x480 pixel, frame rate up to 30 fps.Vibration isolation:防震隔离Additional antivibration table is recommendedHost computer:控制计算机Not less than: Celeron 2.2, RAM 256 MB, HDD 80 GB, VRAM 128 MB, monitor 17" 1024x768x32 bit, Windows XP SP1, 2 USB port. Recommended: Core i5 or equivalent, RAM 2 GB, HDD 320 GB, VRAM 1 GB, monitor 1600x1200x32 bit, Windows XP SP2 or higher, 2 free USB port.Software:软件Special control software SurfaceScan and the AFM image processing package SurfaceView / SurfaceXplorer are included. * Before measurements, the probe can be positioned to necessary place over the sample with help of automated motorized stage. To provide monitoring for the scan area and objects below the probe, the instrument embeds a videosystem allowing to watch the probe motion over the sample surface. Videosystem and the motorized stage for the probe positioning over sample are included in base set by default. A combination of these two options allows rather flexible selection of objects to be measured on the sample surface at direct visual monitoring by the opeartor.多功能扫描探针显微镜（带纳米力学测试功能）组成模块： DELIVERY SETNT-206 ::: Description ::: Features ::: Delivery set ::: Software ::: BASIC SETScanning unit (atomic force microscope)Includes a base platform with embedded XY positioning stage and a detachable measuring head with integrated video systemControl electronic unit with the connetcion cables in the set (the case variants)Software package including:The software runs under Win32. Supplied on CD. Updates available at this site in section ARCHIVE SOFTWAREAFM control software SurfaceScan for driving complex and data acqusition and visualization .SurfaceView and SurfaceXplorersoftware package for the measured data processing, visualization and analysis.The software can include plug-ins for processing AFM-data obtained with other microscopes.A set of drivers for connection of control electronic unit with host PC and running videosystem.Note:1 Base set includes also the control software (for Win32) and user manual.多功能扫描探针显微镜（带纳米力学测试功能）可选配件 ::: ADDITIONAL ACCESSORIES (optional)A specialized antivibration rackA changeable probe holderChangeable scaners for ranges: 5x5x2 um10x10x3 um20x20x3.5 um40x40x3.5 um50x50x3.5 um90x90x3.5 umSet for scanning the sample emmersed in liquid mediumThermocell: a changeable sample platform for measured sample heating up to 150 °С with stand-allone controllerA changeable holder for conducting probesExtending block insert allowing measurement of thick samples with height up to 35 mmA changeable microtribometer-adhesiometer unitOption: a set of AFM probes(Prod. by Mikromasch)A changeable shear-force microtribometer unitOption: a set of calibration test gratings(Prod. by Mikromasch)A changeable nanoindentor unit多功能扫描探针显微镜（带纳米力学测试功能）软件 SOFTWARENT-206 ::: Description ::: Features ::: Delivery set ::: SoftwareControl software for AFM NT-206 SurfaceScan is a 32-bit Windows application. It runs under Windows XPsp2/Vista/7 operating systems.The control software provides all preliminary tunings and settings necessary for the AFM operation: visual control over the laser-beam detection system adjustment, tuning of the cantilever oscillations (in dynamic modes), feed-back system adjusting, sample positioning under the probe and sample approach to the probe before measurements and removal after the measurements. A full-field or any reduced area within the full field of the scanner can be selected for measurements.Operator can watch any combination of acquired AFM/LFM images in data visualization window or switch to look at them in one window. Additionally, profile of currenly acquired line can be monitored as well.Acquired data are saved in files of special format that can be then processed, visualised (in 2-D and 3-D presentation) and analysed with a specialized software package SurfaceView or SurfaceXplorer.