球差校正透射电镜

p　　作者：Mix + CCL br//pp strong前言：/strong/pp　　球差校正透射电镜(Spherical Aberration Corrected Transmission Electron Microscope: ACTEM)随着纳米材料的兴起而进入普通研究者的视野。超高分辨率配合诸多分析组件使ACTEM成为深入研究纳米世界不可或缺的利器。本期我们将给大家介绍何为球差，ACTEM的种类，球差的优势，何时才需要ACTEM、以及如何为ACTEM准备你的样品。最后我们会介绍一下透射电镜的最前沿，球差色差校正透射电镜。/pp　　strong什么是球差：/strong/pp　　100 kV的电子束的波长为0.037埃，而普通TEM的点分辨率仅为0.8纳米。这主要是由TEM中磁透镜的像差造成的。球差即为球面像差，是透镜像差中的一种。其他的三种主要像差为：像散、彗形像差和色差。透镜系统，无论是光学透镜还是电磁透镜，都无法做到绝对完美。对于凸透镜，透镜边缘的会聚能力比透镜中心更强，从而导致所有的光线(电子)无法会聚到一个焦点从而影响成像能力。在光学镜组中，凸透镜和凹透镜的组合能有效减少球差，然而电磁透镜却只有凸透镜而没有凹透镜，因此球差成为影响TEM分辨率最主要和最难校正的因素。此外，色差是由于能量不均一的电子束经过磁透镜后无法聚焦在同一个焦点而造成的，它是仅次于球差的影响TEM分辨率的因素。/pp style="text-align: center"img style="width: 450px height: 246px " src="http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/565984ed-0352-4b62-8539-a16db18b6f6b.jpg" title="1.jpg" height="246" hspace="0" border="0" vspace="0" width="450"//pp style="text-align: center "strong图1：球差和色差示意图/strong/pp自TEM发明后，科学家一直致力于提高其分辨率。1992年德国的三名科学家Harald Rose (UUlm)、Knut Urban(FZJ)以及Maximilian Haider(EMBL)研发使用多极子校正装置(图3)调节和控制电磁透镜的聚焦中心从而实现对球差的校正(图4)，最终实现了亚埃级的分辨率。被称为ACTEM三巨头的他们也获得了2011年的沃尔夫奖。多极子校正装置通过多组可调节磁场的磁镜组对电子束的洛伦茨力作用逐步调节TEM的球差，从而实现亚埃级的分辨率。/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/2080a2cf-4ab3-41ab-b731-7719f0c32d28.jpg" title="2.jpg"//pp style="text-align: center "　strong　图2 三种多极子校正装置示意图/strong/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/090bb4c0-aeea-4ab4-8601-79bcf74b7c8e.jpg" title="3.jpg"//pp style="text-align: center "strong图3 球差校正光路示意图/strong/pp　　strongACTEM的种类：/strong/pp　　我们在前期TEM相关内容已经介绍了透镜相关内容，TEM中包含多个磁透镜：聚光镜、物镜、中间镜和投影镜等。球差是由于磁镜的构造不完美造成的，那么这些磁镜组都会产生球差。当我们矫正不同的磁透镜就有了不同种类的ACTEM。回想一下STEM的原理，当我们使用STEM模式时，聚光镜会聚电子束扫描样品成像，此时聚光镜球差是影响分辨率的主要原因。因此，以做STEM为主的TEM，球差校正装置会安装在聚光镜位置，即为AC-STEM。而当我们使用image模式时，影响成像分辨率的主要是物镜的球差，此种校正器安装在物镜位置的即为AC-TEM。当然也有在一台TEM上安装两个校正器的，就是所谓的双球差校正TEM。此外，由于校正器有电压限制，因此不同的型号的ACTEM有其对应的加速电压，如FEI TITAN 80-300就是在80-300 kV电压下运行，也有专门为低电压配置的低压ACTEM。/pp　　strong球差校正电镜的优势：/strong/pp　　ACTEM或者ACSTEM的最大优势在于球差校正削减了像差，从而提高了分辨率。传统的TEM或者STEM的分辨率在纳米级、亚纳米级，而ACTEM的分辨率能达到埃级，甚至亚埃级别。分辨率的提高意味着能够更“深入”的了解材料。例如：最近单原子催化很火，我们公众号也介绍了大量相关工作。为什么单原子能火，一个很大的原因是电镜分辨率的提高，使得对单原子的观察成为可能。浏览这些单原子催化相关文献，几乎无一例外都用到了ACTEM或者ACSTEM。这些文献所谓的“单原子催化剂”，可能早就有人发现，但是因为受限于当时电镜分辨率不够，所以没能发现关键的催化活性中心。正是因为球差校正的引入，提高了分辨率，才真正揭示了这一系列催化剂的活性中心。/pp　　strong何时才需要用球差校正电镜呢?/strong/pp　　虽然现在ACTEM和ACSTEM正在“大众化”，但是并非一定要用这么高大上的装备。如果你想观察你的样品的原子级结构并希望知道原子的元素种类(例如纳米晶体催化剂等)，ACSTEM将会是比较好的选择。如果你想观察样品的形貌和电子衍射图案或者样品在TEM中的原位反应，那么物镜校正的ACTEM将会是更好的选择。就纳米晶的合成而言，球差校正电镜常用来揭示纳米材料的细微结构信息。比如合成一种纳米核壳材料，其中壳层仅有几个原子层厚度，这个时候普通电镜下很难观察到，而球差电镜则可以拍到这一细微的结构信息(请参见夏幼男教授的SCIENCE，349，412)。/pp　　strong如何为ACTEM准备你的样品：/strong/pp　　首先如果没有合作的实验室的帮助，ACTEM的测试费用将会是非常昂贵的。因此非常有必要在这里介绍如何准备样品。在测试之前最好尽量了解样品的性质，并将这些信息准确地告知测试者。其中我认为先用普通的高分辨TEM观察样品是必须的，通过高分辨TEM的预观察，你需要知道并记录以下几点：一、样品的浓度是否合适，目标位点数量是否足量 二、确定样品在测试电压下是否稳定并确定测试电压，许多样品在电子束照射下会出现积累电荷(导电性差)、结构变化(电子束的knock-on作用)等等 三、观察测试目标性状，比如你希望测试复合结构中的纳米颗粒的原子结构，那么必须观察这些纳米颗粒是否有其他物质包覆等，洁净的样品是实现高分辨率的基础 四、确定样品预处理的方式，明确样品测试前是否需要加热等预处理。五、拍摄足量的高分辨照片，并标注需要进一步观察的特征位点。在ACTEM测试中，与测试人员的交流非常重要，多说多问。/pp　　strong球差色差校正透射电镜：/strong/pp　　球差校正器经过多年的发展，在最新的五重球差校正器的帮助下，人类成功地将球差对分辨率的影响校正到小于色差。只有校正色差才能进一步提高分辨率，于是球差色差校正透射电镜就诞生了。我们欣赏一下放置在德国Ernst Ruska-Centre的Titan G3 50-300 PICO双球差物镜色差校正TEM (300 kV分辨小于0.5埃)以及德国乌尔姆大学的TitanG3 20-80 SALVE 低电压物镜球差色差校正TEM (20 kV 分辨率小于1.4埃)。/pp style="text-align: center"img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201803/insimg/04b96c4d-c6fe-40d2-85c0-b86ce091e6e8.jpg" title="4.jpg"//pp style="text-align: center "strong图4 Titan G3 50-300 PICO、TitanG3 20-80 SALVE及其矫正器/strong/p

日立高新技术公司最新球差校正透射电子显微镜HF5000 2016年10月17日，天美科学仪器有限公司与日立高新技术公司联合主办的“球差校正透射电镜HF5000新品发布会”在北京北大博雅国际酒店召开。近四十名来自个科研院所、高校的专家学者出席了本次发布会。 日立高新北京分公司总经理加藤先生和天美中国副总裁赵薇女士分别致辞，感谢各位专家学者参加本次发布会，并表示HF5000是日立新研制的200kV球差校正透射电镜，具有优秀的性能和很多新颖实用的设计，是一款旗舰产品，欢迎大家交流讨论。日立高新北京分公司总经理加藤博司先生致辞天美公司副总裁赵薇女士致辞 中科院理化所公共仪器平台主任孟祥敏研究员为发布会致辞。孟祥敏研究员对日立电镜的品质给予了充分的肯定，并表示球差校正透射电镜是一个日益增长的市场，日立新发布的球差校正透射电镜HF5000使研究人员多了一个选择。同时，他提出球差透射电镜售后服务普遍不足的问题，并希望天美和日立在球差电镜产品上面能为用户提供更好的服务。最后，他祝愿日立和天美发展的越来越好。中科院理化所公共仪器平台主任孟祥敏研究员致辞 章效锋博士自2006年起受聘于日立高新，作为资深透射电镜专家，参与了HF5000的设计。本次发布会中，章博士为大家详细介绍了HF5000的技术特点。该机型采用新型高稳定冷场发射电子枪，内置日立高新的全自动球差校正器，可一键操作实现自动球差校正。HF5000具有TEM、STEM、SEM三位一体和电子衍射等多种图像观察模式，可同时获取样品内部结构和表面形貌。HAADF-STEM模式点分辨率可以达到0.78埃，二次电子像可达原子级分辨率。HF5000最多可配置两个无窗EDS探头，其固体角最大可达2.0sr，可实现快速、高效高灵敏的元素分析需求。非常适用于繁忙的分析测试中心和设备平台。同时章博士介绍了HF5000的应用实例，并回答了与会专家提出的问题。 随后，章效锋博士介绍了日立原位环境透射电镜H-9500 ETEM、HF-3300 ETEM/STEM/SEM（选配球差校正器）。环境透射电镜可以通过特制样品台施加外场刺激，实时观察样品的变化。章博士透露，国内H-9500的用户都在短时间内取得了非常好的研究成果。章效锋博详细介绍了日立最新球差透射电镜HF5000西安交大谢德刚博士做了名为“环境透射电镜在研究氢与金属交互作用中的应用”的报告 西安交大在2012年6月就与日立高新公司合作成立了西安交大-日立联合研发中心，中心拥有日立H-9500环境透射电子显微镜，日立SU6600可变气压场发射扫描电镜，单智伟教授任主任。研发中心副主任解德刚博士受邀参加了本次发布会，并报告了环境透射电镜在研究氢与金属交互作用中的应用，包括氢损伤和与氢脆、热处理对微纳尺度材料力学行为的影响、纳米金属材料的气相摧化、锂电池和钠电池等原位研究等成果。 会议在和谐的气氛中进行，现场讨论热烈，最后集体与会人员参加了合影。关于天美：　　天美(控股)有限公司(“天美(控股)”)从事表面科学、分析仪器、生命科学 设备及实验室仪器的设计、开发和制造及分销 为科研、教育、检测及生产提供完整可靠的解决方案。继2004年於新加坡SGX主板上市后，2011年12月 21日天美(控股)又在香港联交所主板上市(香港股票代码1298)，成为中国分析仪器行业第一家在国际主要市场主板上市的公司。近年来天美(控股)积极 拓展国际市场，先后在新加坡、印度、澳门、印尼、泰国、越南、美国、英国、法国、德国、瑞士等多个国家设立分支机构。公司亦先后收购了法国 Froilabo公司、瑞士Precisa公司、美国IXRF公司、英国 Edinburgh Instruments公司等多家海外知名生产企业和布鲁克公司Scion气相和气质产品生产线，加强了公司产品的多样化。　　更多详情欢迎访问天美(中国)官方网站：http://www.techcomp.cn

仪器信息网讯6月9日，天津理工大学在中国政府采购平台发布“物镜球差校正透射电镜项目”招标公告，拟2000万元采购1套物镜球差校正透射电镜。投标截止时间为7月2日，合格的供应商敬请参加投标。　　具体招标信息如下：　　1.项目名称：物镜球差校正透射电镜项目　　2.项目编号：JG2018-072　　3.项目内容(本项目接受进口产品投标)包号是否设置最高限额预算（万元）采购目录第1包是2000物镜球差校正透射电镜1套　　4.获取招标文件的时间：2018-06-08到2018-06-15　　5.获取招标文件的地点：天津市教育委员会教学仪器设备供应中心　　6.获取招标文件的方式:在天津市政府采购网(www.tjgp.gov.cn)或天津市教育委员会教学仪器设备供应中心网站(www.tjjczx.com)免费获取　　7.投标截止时间：2018-07-0209:15　　8.开标时间:2018-07-0209:15　　9.开标地点:天津市教育委员会教学仪器设备供应中心　　10.联系人：刘刈　　11.联系方式：022-24710333　　12.采购人联系人和联系电话：李乔:60215286　　采购项目需求　　本系统主要用于材料的原子级高分辨观察和原子级的结构分析，系统由电子光学系统、物镜球差校正系统、高压系统、真空系统、能谱系统、透射电子显微(TEM)成像系统、扫描透射电子显微(STEM)成像和信号探测系统、数字化成像记录系统、样品杆系统、主机工作站、LCD显示器(2x)、远程操控系统、高底座(highbase)、监控荧光屏的相机、自动光阑系统(5x)、环境罩、压电陶瓷增强样品台、空气压缩机、冷却单元、成像软件、操控软件、分析软件等部分组成　　附1：公开招标文件(JG2018-072理工).doc　　附2：物镜球差校正透射电镜招标参数序号说明1环境改造：1.1配套环境改造工程，该工程须比电镜发货日提前至少一个月完成，该工程须使电镜安装和使用的环境保证电镜的所有功能都不受环境干扰、并对电镜操作人员的身体健康无任何危害、也不造成电镜操作人员感到任何不适。环境改造与电镜主机一同验收。2技术说明：2.1本系统主要用于材料的原子级高分辨观察和原子级的结构分析，系统由电子光学系统、物镜球差校正系统、高压系统、真空系统、能谱系统、透射电子显微（TEM）成像系统、扫描透射电子显微（STEM）成像和信号探测系统、数字化成像记录系统、样品杆系统、主机工作站、LCD显示器（2x）、远程操控系统、高底座（highbase）、监控荧光屏的相机、自动光阑系统（5x）、环境罩、压电陶瓷增强样品台、空气压缩机、冷却单元、成像软件、操控软件、分析软件等部分组成2.2电子枪：2.2.1类型：配有单色仪的高稳定超亮肖特基场发射电子枪；或者冷场发射电子枪，其闪清过程时间不长于10秒，保证成像和分析质量的相邻两次闪清的间隔时间不短于4小时2.2.2亮度：≥7.5x107A/m2/sr/V*2.2.3加速电压：300kV、200kV、80kV和30kV四档2.2.4能量分辨率：≤0.25eV@300kV；≤0.15eV@80kV2.2.5优化磁性电路，使交扰和磁滞降至最低2.3分辨率*2.3.1300kV时TEM点分辨率数值：≤60pm2.3.2300kV时TEM信息分辨率数值：≤60pm*2.3.3200kV时TEM点分辨率数值：≤80pm2.3.4200kV时TEM信息分辨率数值：≤80pm*2.3.580kV时TEM点分辨率数值：≤100pm2.3.680kV时TEM信息分辨率数值：≤100pm*2.3.730kV时TEM点分辨率数值：≤150pm2.3.830kV时TEM信息分辨率数值：≤150pm*2.3.9300kV时STEM点分辨率数值：≤136pm*2.3.10200kV时STEM点分辨率数值：≤164pm*2.3.1180kV时STEM点分辨率数值：≤314pm2.3.12HRTEM（高分辨TEM）和HRSTEM（高分辨STEM）之间切换仅需点击鼠标即可完成，热稳定时间小于30秒2.4加速电压与对中*2.4.1加速电压:30、80、200、300kV四个加速电压下均具备TEM物镜球差校正及其对中和设置、电镜系统的各个对中及设置，也保证将来安装和使用EELS/GIF系统时的对中及设置无问题2.5TEM放大倍数可调范围不窄于50x–1.1Mx2.6STEM放大倍数可调范围不窄于150x–100Mx2.7放大倍数重复性： 1.5%(配置放大倍率校准软件包)2.8至少4个STEM探头，一个BF（明场）、二个低角DF（暗场）、一个HAADF（高角环形暗场）可同时采集信号。2.9对同一个样品区域能同时采集HAADF、LAADF（低角环形暗场）、ABF（环形明场）和BF信号2.10具备差分相位衬度（DPC）成像探头及其配套的齐全软硬件，例如DeScan等2.11能实施DPC成像及其分析，所有倍数下都可以使用2.12能实施iDPC成像及其分析，所有倍数下都可以使用2.13放置样品的极靴间距不窄于5mm2.14相机长度2.14.1选区衍射(SADIFF)时的相机长度范围不窄于3–285cm2.15样品台2.15.1安装方式：侧插式测角仪样品台2.15.2样品更换：气锁方式，典型换样时间小于60秒，更换样品时无需关高压2.15.3含防样品污染液氮冷阱2.15.4样品台驱动方式：至少五轴马达与压电陶瓷驱动(X/Y/Z/a倾斜/b倾斜)2.15.5样品移动范围不窄于± 1.0mm(X,Y) ± 0.375mm(Z)，在X和Y方向的移动精度为≤20pm，在Z方向的移动精度为≤20pm；X/Y/Z方向机械重复精度：≤300nm2.15.6压电陶瓷控制的样品台可确保高精度和无漂移的成像和样品导航，更快更高效的从每个样品采集更多的数据。2.15.7普通双倾样品倾斜角度范围不窄于：± 35° (a)/± 30° (b)2.16完全无油真空系统，保证电镜的正常运行2.17EDS（能谱仪）系统2.17.1包含至少2个硅漂移（SDD）无窗半导体探测器，快门保护，集成在电镜极靴内，可灵活拆装2.17.2能谱仪探头的有效面积总和不低于120平方毫米2.17.3总固体角≥0.7srad2.17.4可分析元素范围不窄于B5–Am952.17.5Fiori峰背比≥4000：1@Ni-K峰2.17.6采谱量程不窄于0～80keV2.17.7最大输入计数率：≥1,000kcps,最大输出计数率：≥500kcps2.17.8在做面扫和线扫时，在每个像素上为EDS系统提供信号的电子束驻留的最短时间为≤10微秒，可任意设置该驻留时间2.17.9含能谱标准应用软件2.17.10定量分析：含K-Factor定量分析，可吸收校正；最新的准确定量功能2.17.11能谱仪探头和电镜的冷阱共用一个大液氮杜瓦瓶冷却。特别的机械快门保护探头接触过高强度的X射线和冰的增长。2.17.12能谱与电镜一体化软件：自动读取和控制电镜参数，包括放大倍数、相机长度等。2.17.13可采集单谱和自动采集谱图像，包括采集过程中自动漂移补偿。2.17.14整个能谱仪系统能够无缝安装在电镜里，不影响电镜设备和自身的任何性能2.17.15各个能谱探头采集到的数据可以独立显示、也可以合并显示，可以独立输出、也可以合并输出2.17.16能谱面扫的采集全过程中的任意一段时间内的所有数据都能够被回放和输出2.17.17在任何加速电压下，电镜本身和样品杆本身的任何材料信号的强度都低于样品信号强度的1%，铍除外2.17.18能谱仪系统的最高工作温度为≥500º C，保证后期的加热升级2.17.19采集能谱的速度可调，最高速度不低于每秒100000谱2.18数字化成像记录系统2.18.1底装高速CMOS–16M像素数字化可伸缩型相机，及原位升级附件，内建超高速快门2.18.2像素(sensorsize)：≥4,096x4,0962.18.3像素尺寸(pixelsize)：≥14μmx14μm2.18.4具备在线数据处理能力，拥有实时样品漂移矫正（能矫正漂移带来的影响，在有漂移存在的情况下保证全图像分辨率）、异常信号扣除（能自动扣除包括X射线和宇宙射线等引入的假象）、动态范围扩展（可超过16位）、以及多种图像记录模式的功能2.18.5具备与电镜主机兼容的软件系统，软件配置全2.18.6可在各档电子束加速电压条件下工作2.18.7全像素4096x4096读出速率(fullsensorread-outspeed)为≥40fps2.18.8全像素帧速(imagedisplay)为≥40fps2.18.9数据存储模式包含图像和视频2.18.10图像格式包含1:1(4k,2k,1k,512)2.18.11视频格式包含1:1(4k,2k,1k,512)2.18.12图像记录模式控制（Imagecapturemodes）包含曝光时间、信噪比和样品辐照剂量（Specimendose），也能够对曝光时间、图像信噪比或样品辐照剂量的要求，进行自动优化2.18.13视频/原位图像记录速度：在4096x4096像素时为≥40fps，在2048x2048像素时为≥80fps，在1024x1024像素时为≥160fps，在512x512像素时为≥320fps。以这些速度记录下的图像和视频都能够存入硬盘。2.18.14动态范围为≥16位（帧叠加）2.18.15能拍摄电子衍射谱和Ronchigram2.18.16能够在STEM成像和采像中同步采集STEM像中每个像素点对应的衍射谱（包括Ronchigram）2.18.17整个数字化成像系统能够无缝安装在电镜上，不影响电镜设备和自身的任何性能2.18.18感光器尺寸≥6cmx6cm2.18.19具备即时变焦能力2.18.20相机对应的软件既可执行在线的对齐、过滤、单帧分析等功能，也可执行离线的图像合轴、切片显示、体积工具、过滤、单帧分析等功能2.18.21有效视野(sensoractivearea)：≥56mm*56mm2.18.22配备一套高性能服务器，以快速获取和存储图像与视频。该服务器的配置不弱于以下配置：-OS:Windowsserver2012R2OEM-16GB2Rx4PC4-2133P-Rmemory-IntelXeonprocessorE5-2620v3FIO-2x120GB6GSATARAID1configuredforOS-12x6TB12GSAS7.2KHDDsfordatastorageRAID5configured(availablestoragecapacity66TByte)-2xEthernet10Gb2P560FLR-SFP+Adptr(opticallinkconnections)-Softwareversion2.8-Presenceof10Gb/sfiberopticlinkbetweenthemicroscoperoomandthebufferstoragedevice(room)-Presenceof10Gb/slinkfromtocustomernetworkforaccesstothecustomer’sdatastorage/imageprocessinghardware-Presenceof1Gb/spointtopointUTPconnectionbetweenthemicroscoperoomandthebufferstoragedevice(room)-Presenceofa19”rackformountingthestorageserver另要保证该服务器的使用不得干扰电镜的使用和操作人员，例如做好降噪安排等。2.19聚光镜2.19.1至少三级聚光镜-双线圈光镜，温度保持恒定，不随透镜线圈的激励电流和工作模式(TEM/STEM，放大倍数等)的变化而改变；与单色器相结合，单色点可以缩小到埃级，这允许具有非常小的探针的高分辨率EELS；多模式照射系统，提供细探针模式，探针模式，平行模式，和低倍率模式，可以随意切换各种模式，而不会产生任何温度引起的偏移。2.19.2聚光镜自动光阑有至少4档：C1–2000/70/50/30μm；C2–150/100/70/50μm；C3–1000/150/70/50μm(带位置记忆功能)2.20保证以后能够顺利安装和使用EELS/GIF系统2.21三维重构系统2.21.1包括：数据采集、对中及重构、三维重构可视化处理三大模块完整一套。2.21.2TEM图像、STEM图像和能谱数据的全自动采集软件，自动漂移矫正，自动对焦，自动采集,所控倾角的可调范围不窄于± 70º 、倾转步长最小不超过0.01º 2.21.3数据重构及显示软件，64位2.21.4分析型三维重构样品杆一套2.21.5重构用专用计算机2.21.6配备重构及可视化软件包，重构软件的许可证至少3套、允许至少3台电脑同时使用该软件，可视化软件的流动性许可证允许至少2台电脑同时使用该软件2.21.7最大图像漂移：X/Y方向≤2μm(+/-70° 内倾转)2.21.8最大欠焦量变化：≤4μm(+/-70° 内倾转)2.21.9重复性：≤400nm(样品杆重复3次测量)2.21.10具备对TEM、STEM以及EDS能谱三维数据，自动漂移矫正、自动对焦、自动采集的功能2.21.11含为三维图象采集系统配备的计算机，高端显示卡(GPU)，Windows8.1，23英寸宽屏幕显示器，键盘和鼠标。2.21.12300kV时的三维STEM重构和三维能谱成分重构的空间分辨率分别可达≤1nm和≤3nm2.21.13200kV时的三维STEM重构和三维能谱成分重构的空间分辨率分别可达≤1nm和≤3nm2.21.14在各档电压下实施三维能谱成分重构的数据采集的同时可对同一样品区域实施三维STEM重构的数据采集2.22高视野低背景双倾样品杆一套2.23能在室温和冷冻时做三维重构的冷冻样品杆一套，温度能低至液氮温度2.24电子枪安装组件2.25能校正直至5级球差的TEM物镜球差校正器及其对中2.26最新球差校正软件2.27完全数字化透射电镜，结合了高速，数字化搜索与查看相机(≥30帧/秒)，取代传统的荧光观察屏，让用户可以远程操控电镜，可以在任何环境中工作。-高动态范围模式，允许交替短和长的曝光-超坚固的闪烁体设计，使其不易受束流损伤-能观察聚焦高强度的束流-实时快速傅立叶变换-伪彩色成像-所有电镜校准可以使用相机进行2.28主显示器2.29控制系统及软件2.30遥控操作和监控系统2.31集成法拉第杯，对束流实时测量和监控2.32具备TEM模式、电子衍射模式、NBD（纳米束电子衍射）模式、CBED（会聚束电子衍射）模式2.33校正样品漂移的压电马达2.34UPS保护：至少坚持1小时工作时间2.35冷却循环水机2.36安静、自动化的空气压缩机，提供清洁、无油、无水的压缩气。2.37全自动物镜光阑至少有8档：100/70/60/50/40/30/20/10μm2.38全自动选区光阑至少有4档：800/200/40/10μm2.39配备系统外罩，减弱来自环境的噪音(≤20dBC)和温度变化(峰-峰值变化≤0.8度)，增加系统稳定性，在噪声大的环境中，容易达到超高分辨率。也能实现远程操作。2.40含超稳定的冷阱杜瓦瓶，一次罐装液氮能维持≥3天的时间，从而减轻日常维护。2.41含放大倍率校准包，确保相机记录的图像上印有正确的比例尺；在STEM模式下也能校准图像畸变2.42电子全息丝及其齐全的最新版软硬件一套，以及一套最新版的离线分析软件，在线和离线软件中都要有全息专用的软件、插件及其许可证，以保证电子全息实验及其数据分析的顺利进行2.43洛仑兹透镜模式及其齐全的软硬件一套2.44快速阀门控制及其齐全的软硬件一套，能够在原位实验时针对气体/液体泄露情况自动快速关阀门、以保护真空和电镜部件。2.45为用户已有的聚光镜球差校正透射电镜（本文件中的其它未特意说明的配置皆对应本次招标的物镜球差校正透射电镜）配备和安装一套像素化STEM探头，最新版的软硬件齐全，安装和使用时不影响该电镜的任何功能，也配备至少一套最新版的离线分析软件2.46为用户已有的聚光镜球差校正透射电镜配备和安装一套最新版的单色器自动调节装置，软硬件齐全，可用于各档加速电压，安装和使用时不影响该电镜的任何功能2.47在本次招标的物镜球差校正透射电镜中配备和安装一套最新版的单色器自动调节装置，软硬件齐全，可用于各档加速电压，安装和使用时不影响该电镜的任何功能2.48把用户已有的聚光镜球差校正透射电镜上的STEM自动调节软件升级为最新版2.49微探针STEM对中2.50可用于DigitalMicrograph（即DM）软件的最新版PeakPairsAnalysis(PPA)插件及其许可证一套，64位版，能用于最新版的DM软件2.51出射波重构的最高版齐全软硬件一套，包含在线软件和离线分析软件各一套2.52含预安装连接盒2.53高性能工作站，最低配置：CPU/IntelCorei73.4GHz，内存/16GB(2xDDR3-1600)，硬盘2x1TB；8xDVD-RW读可写光驱；Windows7，64位计算机控制系统；含至少两台24英寸液晶显示器，屏幕分辨率1920x1080像素；操作系统及应用软件，原装进口的实验台，和电镜操作台一体化风格。*2.54当电镜及其附件的所有功能进行全能力运行时，电镜系统配置的所有工作站不得出现操作员可察觉的变缓、停顿或死机现象。2.55软件包含但不限于以下内容2.55.1遥控操作软件，配置全2.55.2电镜主机、TEM模式及相机和STEM探头的控制、调节、对中、信息采集、图像采集软件，配置全。可在晶体材料上调节STEM对中、消像散和聚焦。最新版的STEM自动调节软件。2.55.3球差校正器的控制、调节、对中、信息采集、图像采集软件，配置全。2.55.4全套最新版DM软件2.55.5最新的主控系统软件，可以通过直观简单的工作流程，实现快速可重复操作，从光学模式设置、探测器选择到采集和分析，快速成功地获得结果。可以同时快速获取多达4个STEM信号。2.55.6领先的人体工程学设计，具备友好的数字化用户界面，允许在不同的操作模式和数据采集技术之间快速切换，切换过程中系统自动调回所有相关的操作设置。2.55.7可方便地实现常用功能,包括样品移动、光束移动、放大倍数、模式切换、聚焦、合轴操作等。能非常便捷的将数据、软件各模块在两台液晶显示器之间显示。2.55.8电镜操作者可以根据需要拥有一套或多套电镜状态参数，每套状态参数相互独立，可在使用过程中迅速切换调用，无任何时间延迟。可设置任意多个用户，每个用户之间的参数设置相对独立，同时还可以相互调用。2.55.9主机控制软件具备脚本引擎，能执行定量分析。脚本引擎可以使用研究中广泛采用的CPython编程语言，以针对具体需要进行分析2.55.10为用户已有的非球差校正的高分辨透射电镜配备和安装一套最新版的STEM自动调节软件，配置齐全，安装和使用时不影响该电镜的任何功能2.56具备实时漂移校正帧成像能力2.57具备压电样品台提供的线性漂移补偿，能用于缓解原位加热或冷却实验中不可避免的热漂移而造成的限制2.58具备高速遥控相机实现全面远程控制功能2.59所有电脑的操作系统都为win7；所有电脑和软件都是64位、最新版、在win7操作系统下完全工作。2.60所有样品杆都需要和主机兼容、不影响主机的使用和性能2.61任何图像和谱等数据中都不要有任何外来干扰导致的噪音2.62除电镜本身已具备的一套电子枪外，再提供两套备用的电子枪，其中一套是用于本次招标的物镜球差校正透射电镜、另一套是用于用户已有的聚光镜球差校正透射电镜，这两套电子枪只有在用户需要换电子枪时免费运至用户、并免费安装。3技术服务3.1安装、调试*3.1.1在安装之前，主机制造厂家负责对环境进行免费测量，并将环境改造成适于本台球差校正透射电镜使用的良好环境，环境改造与电镜主机一同验收。改造费用都包含在本次招标的预算里。*3.1.2环境改造完毕后厂家免费负责仪器的运输、安装、调试3.2培训*3.2.1安装开始后，厂家对买方使用人员进行免费培训，培训应使买方使用人员能够进行熟练操作和常规维护，包括软件的高级用户培训。3.3验收3.3.1设备在买方处安装和调试完毕后，在买方对主机、附件、软件的性能和功能进行测试合格满意以及完成3.2培训的基础上，由买方授权人签字验收。3.4保修期*3.4.1安装验收合格后：电镜厂家保证电子枪寿命为至少一年，若电子枪寿命低于半年，电镜厂家免费提供免费的电子枪和进行免费的更换操作，若电子枪寿命高于半年、低于一年，电镜厂家将按电子枪未达一年寿命的剩余时间提供相对折扣，此条件在电镜主机报废前终生有效；电镜厂家对该设备中的其它所有部件（耗材和非电镜厂家生产的样品杆除外，能谱仪系统不是耗材）提供一年的免费保修；冷冻样品杆厂家对其产品提供一年的免费保修。*3.5在安装调试期内外和保修期内外：要求生产厂家应在24小时内对用户的服务要求做出响应，一般问题应在响应后的5个工作日内到达现场、并解决故障，重大问题或其他一时无法迅速解决的问题应在响应后的一周内解决或提出明确、可行的解决方案；对提出明确、可行的解决方案的问题，应在提出解决方案后的一周内解决，若该类问题涉及进口零配件，零配件的海关通关时间不计入解决问题所花的一周。3.6软件升级：在硬件支持的前提下，应用软件终生免费升级。3.7保修期过后，供货方应继续提供终生应用技术支持和维修服务，并承诺保证不短于10年的零配件供应。3.8供应商能够提供的全部技术资料，包括合同签订后提供设备的预安装要求说明书；随机提供产品使用说明书和维护说明书；随机提供完整的产品验收说明书。4购置总量为壹套5如果厂家在合同生效后提出解除合同，厂家则须承担解除合同所产生的所有费用、在解除合同后的一个月内全额退款并向用户补偿与退款相等的经费。6交货日期：合同生效后12个月内发货至天津港