开尔文探针系统

AFM5500M II全自动扫描探针显微镜除了配置高精度平板扫描器和各种测量自动化功能，还有两种共享坐标样品台功能。通过多种设备的关联解析，实现了单个设备无法实现的多维缺陷评价和故障解析。主要特点1. AFM自动化测量&bull 通过自动化控制大大提高效率，自动探针安装，自动光轴调整，自动参数优化；&bull 排除人为操作失误导致的测量误差，一键自动测量/处理/分析（提高整体测试效率） 2. 可靠性排除机械原因造成的误差大范围水平扫描采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果。AFM5500M搭载了全新研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试。 样品 ：硅片上的非晶硅薄膜高精角度测量普通的原子力显微镜所采用的扫描器，在竖直伸缩的时候，会发生弯曲（crosstalk）。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。AFM5500M中搭载的全新扫描器，在竖直方向上不会发生弯曲（crosstalk） ，可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。样品 : 太阳能电池(由于其晶体取向具有对称结构)* 使用AFM5100N（开环控制）时 3. 利用探针评价功能进行探针尖端直径管理4. SIS模式可有效提高数据可靠性 SIS（Sampling Intelligent Scan）样品智能扫描模式只有在需要测量样品形貌和物性信息时才靠近测量点，自动控制探针位置，完全消除对测量不利的水平力，可测量吸附力较大或粗糙的样品，同时可大幅降低对探针的磨损和对样品的损伤，有效提高数据的可靠性。5. 支持机械物性/电磁物性等广泛的物性测量扫描探针显微镜是一种不仅可以测量形貌，还支持各种物性检测的显微镜。AFM5500MⅡ支持可同时获取弹性模量、形变、吸附力和摩擦力等各种机械物性的SIS-ACCESS/SIS-QuantiMech功能、以及导电性、压电分布和表面电位等各种电磁物性测量。6. 新的表面电位势测量模式 AM-KFM/FM-KFM（可用于定量和灵敏度等不同场景）除调幅开尔文力显微镜(AM-KFM)外，AFM5500MⅡ还新增了调频开尔文力显微镜(FM-KFM)。FM-KFM与AM-KFM相比，信号主要来自于探针的尖端，电位检测灵敏度更高，在电位的定量分析上更胜一筹。AM-KFM适用于单一材料间的电位和功函数对比等，FM-KFM适用于测量需要进行精细周期结构和海岛结构量化的复合材料，两种模式通过点击即可自由切换。7. 使用AFM、SEM、CSI等不同显微镜观察同一位置，实现多维度解析通过SEM、AFM、CSI等进行样品的同一位置测试，可以对目标视野进行多维度解析，实现数据的参照对比。日立高新可以提供特有的SEM/AFM/CSI同视野观察，实现联动分析。使用共享样品台进行坐标联动，或通过全新的AFM标记功能，可以在AFM、SEM、CSI之间快速、轻松地锁定同一视野，进一步扩大了联动分析的应用范围。

开尔文探针是一种非接触、非破坏性振动电容装置用于导电材料的功函或半导体或绝缘体材料表面的表面电势，表面功函由材料表面最顶部的1-3层原子或分子决定，因而开尔文探针是一种非常灵敏的表面分析技术，KP Technology公司目前可提供具有1-3 meV业界最高分辨率的测试系统。 特点 ● 最高的功函/表面电势分辨率：1-3meV（2mm探针） ● 与压电系统相比采用音圈驱动具有很高的驱动噪声抑制 ● 过零信号检测系统极大的提高了分辨率，信噪比性能无与伦比 ● 测试和扫描时探针尖与样品的高度调节功能可得到稳定的、可靠的和重复的结果 ● 探针参数全部采用数字控制系统参数 ● 2mm and 50μm探针 ● 功函分辨率1-3meV（2mm探针），5-10meV（50μm探针，光学防震台） ● 手动高度控制（25.4mm KP 平移） ● 跟踪系统自动控制样品和探针距离 ● 过零信号检测系统抑制寄生电容 软件性能 ● 数字控制所有开尔文探针参数 ● 简单的信号优化设置过程 ● 快速测量模式用于跟踪实时功函变化(1000points/min at ~20meV分辨率) 选件 ● 样品加热器 Sample Heater ● 可升级至扫描系统 ● 可升级至RHC系统 ● 表面光电压模块SPV020 and SPS030 ● 镀金探针

开尔文探针表面光电压谱开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。材料表面的功函数通常由上层的1-3层原子或分子决定，所以开尔文探针是一种灵敏的表面分析技术。我们的开尔文探针系统包括：□单点开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；□扫描开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；□超高真空(UHV)开尔文探针；□湿度控制的腐蚀开尔文探针； 扫描开尔文探针系统 (ASKP)ASKP系统是一款可以被大多数客户所接收的高端扫描开尔文探针系统，它是在SKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置，其规格如下：□2毫米，50微米探针；□功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖)，5-10 meV(50微米针尖)；□针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内；□表面势和样品形貌3维地图；□探针扫描或样品扫描选配；□彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置；□参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)；□备用的针尖放大器； 仪器的特色 □分辨率的功函数和表面势，稳定性和数据重现性；□该领域内，拥有好的信噪比；□快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间，远快于其他公司产品；□功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器，与通常的压电驱动器相比，VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作；□所有开尔文探针参数的全数字控制；ON非零探测 Off Null detectionHR高度调节模式 Height Regulation modeSM实际开尔文探针信号监控 Monitoring of the actual Kelvin probe signalUC用户通道，同时测量外部参数 User Channels, simultaneous measurement of external parametersDC电流探测系统去除漂移效应 Current Detection system rejects stray capacity effectsPP平行板震动模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation ModeSA信号平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection)WA功函数平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reportingDC所有探针及探测参数的数字控制Digital Control of all Probe and Detection ParametersQT针尖快速改变 Quick-change Tip, variable spatial resolutionDE 数据输出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party softwareOC输出通道 Output Channel: TTL switching of external circuitFC法拉第笼(电磁干扰防护罩) Faraday Cage (EMI Shield)RS金-铝参考样品 Gold-Aluminium Reference Sample额外选配项SPV表面光伏电压软硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware PackageRH相对湿度腔 Relative Humidity ChamberAC控制气体进口的环境单元 Ambient Cell for controlled Gas InletEDS外部数据示波镜 External Digital OscilloscopeOPT彩色相机 Color Camera, TFT Screen and Optical MountsST针尖置换 Replacement TipsGCT镀金的针尖替换 Gold Coated Replacement TipsXYZ25.4毫米手动3维控制台 3-axis 25.4 mm Manual Stage 应用领域 吸附，电池系统，生物学和生物技术，催化作用，电荷分析，涂层，腐蚀，沉积，偶极层形成，显示技术，教育，光/热散发，费米级扫描，燃料电池，离子化，MEMs，金属，微电子，纳米技术，Oleds，相转变，感光染色，光伏谱学，高分子半导体，焦热电，半导体，传感器，皮肤，太阳能电池，表面污染，表面化学，表面光伏，表面势，表面物理，薄膜，真空研究，功函数工程学；

KP 超高真空开尔文探针系统开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。材料表面的功函数通常由最上层的1-3层原子或分子决定，所以开尔文探针是一种最灵敏的表面分析技术。 我们的开尔文探针系统包括：□ 单点开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；□ 扫描开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；□ 超高真空(UHV)开尔文探针；□ 湿度控制的腐蚀开尔文探针； 扫描开尔文探针系统 (ASKP) ASKP系统是一款可以被大多数客户所接收的高端扫描开尔文探针系统，它是在SKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置，其规格如下：□ 2毫米，50微米探针；□ 功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖)，5-10 meV(50微米针尖)；□ 针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内；□ 表面势和样品形貌3维地图；□ 探针扫描或样品扫描选配；□ 彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置；□ 参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)；□ 备用的针尖放大器；□ 24个月超长质保期； 仪器的特色□ 全球第一台商用的完全意义上的开尔文探针系统；□ 最高分辨率的功函数和表面势，最好的稳定性和数据重现性；□ 非零专利技术(Off-null,ON) ——ON信号探测系统在高信号水平下工作，与基于零信号原理(null-based,LIA)的系统相比，不会收到噪声的影响拥有高灵敏度；□ 高度调节专利技术 ——我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受　　　　　　　　　　　　　　　样品形貌的影响，针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移；□ 该领域内，拥有最好的信噪比；□ 快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间，远快于其他公司产品；□ 功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器，与通常的压电驱动器相比，VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作；□ 所有开尔文探针参数的全数字控制；ON 非零探测 Off Null detection HR 高度调节模式 Height Regulation mode SM 实际开尔文探针信号监控 Monitoring of the actual Kelvin probe signal UC 用户通道，同时测量外部参数 User Channels, simultaneous measurement of external parameters DC 电流探测系统去除漂移效应 Current Detection system rejects stray capacity effects PP 平行板震动模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation Mode SA 信号平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection) WA 功函数平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reporting DC 所有探针及探测参数的数字控制 Digital Control of all Probe and Detection Parameters QT 针尖快速改变 Quick-change Tip, variable spatial resolution DE 数据输出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party software OC 输出通道 Output Channel: TTL switching of external circuit FC 法拉第笼(电磁干扰防护罩) Faraday Cage (EMI Shield) RS 金-铝参考样品 Gold-Aluminium Reference Sample 额外选配项 SPV 表面光伏电压软硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware Package RH 相对湿度腔 Relative Humidity Chamber AC 控制气体进口的环境单元 Ambient Cell for controlled Gas Inlet EDS 外部数据示波镜 External Digital Oscilloscope OPT 彩色相机 Color Camera, TFT Screen and Optical Mounts ST 针尖置换 Replacement Tips GCT 镀金的针尖替换 Gold Coated Replacement Tips XYZ 25.4毫米手动3维控制台 3-axis 25.4 mm Manual Stage 应用领域 吸附，电池系统，生物学和生物技术，催化作用，电荷分析，涂层，腐蚀，沉积，偶极层形成，显示技术，教育，光/热散发，费米级扫描，燃料电池，离子化，MEMs，金属，微电子，纳米技术，Oleds，相转变，感光染色，光伏谱学，高分子半导体，焦热电，半导体，传感器，皮肤，太阳能电池，表面污染，表面化学，表面光伏，表面势，表面物理，薄膜，真空研究，功函数工程学；

开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。材料表面的功函数通常由最上层的1-3层原子或分子决定，所以开尔文探针是一种最灵敏的表面分析技术。 我们的开尔文探针系统包括：□ 单点开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；□ 扫描开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；□ 超高真空(UHV)开尔文探针；□ 湿度控制的腐蚀开尔文探针； 扫描开尔文探针系统 (ASKP) ASKP系统是一款可以被大多数客户所接收的高端扫描开尔文探针系统，它是在SKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置，其规格如下：□ 2毫米，50微米探针；□ 功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖)，5-10 meV(50微米针尖)；□ 针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内；□ 表面势和样品形貌3维地图；□ 探针扫描或样品扫描选配；□ 彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置；□ 参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)；□ 备用的针尖放大器；□ 24个月超长质保期； 仪器的特色□ 全球第一台商用的完全意义上的开尔文探针系统；□ 最高分辨率的功函数和表面势，最好的稳定性和数据重现性；□ 非零专利技术(Off-null,ON) ——ON信号探测系统在高信号水平下工作，与基于零信号原理(null-based,LIA)的系统相比，不会收到噪声的影响拥有高灵敏度；□ 高度调节专利技术 ——我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受　　　　　　　　　　　　　　　样品形貌的影响，针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移；□ 该领域内，拥有最好的信噪比；□ 快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间，远快于其他公司产品；□ 功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器，与通常的压电驱动器相比，VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作；□ 所有开尔文探针参数的全数字控制；ON 非零探测 Off Null detection HR 高度调节模式 Height Regulation mode SM 实际开尔文探针信号监控 Monitoring of the actual Kelvin probe signal UC 用户通道，同时测量外部参数 User Channels, simultaneous measurement of external parameters DC 电流探测系统去除漂移效应 Current Detection system rejects stray capacity effects PP 平行板震动模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation Mode SA 信号平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection) WA 功函数平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reporting DC 所有探针及探测参数的数字控制 Digital Control of all Probe and Detection Parameters QT 针尖快速改变 Quick-change Tip, variable spatial resolution DE 数据输出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party software OC 输出通道 Output Channel: TTL switching of external circuit FC 法拉第笼(电磁干扰防护罩) Faraday Cage (EMI Shield) RS 金-铝参考样品 Gold-Aluminium Reference Sample 额外选配项 SPV 表面光伏电压软硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware Package RH 相对湿度腔 Relative Humidity Chamber AC 控制气体进口的环境单元 Ambient Cell for controlled Gas Inlet EDS 外部数据示波镜 External Digital Oscilloscope OPT 彩色相机 Color Camera, TFT Screen and Optical Mounts ST 针尖置换 Replacement Tips GCT 镀金的针尖替换 Gold Coated Replacement Tips XYZ 25.4毫米手动3维控制台 3-axis 25.4 mm Manual Stage 应用领域 吸附，电池系统，生物学和生物技术，催化作用，电荷分析，涂层，腐蚀，沉积，偶极层形成，显示技术，教育，光/热散发，费米级扫描，燃料电池，离子化，MEMs，金属，微电子，纳米技术，Oleds，相转变，感光染色，光伏谱学，高分子半导体，焦热电，半导体，传感器，皮肤，太阳能电池，表面污染，表面化学，表面光伏，表面势，表面物理，薄膜，真空研究，功函数工程学；

开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。材料表面的功函数通常由最上层的1-3层原子或分子决定，所以开尔文探针是一种最灵敏的表面分析技术。 我们的开尔文探针系统包括：□ 单点开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；□ 扫描开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；□ 超高真空(UHV)开尔文探针；□ 湿度控制的腐蚀开尔文探针； 扫描开尔文探针系统 (ASKP) ASKP系统是一款可以被大多数客户所接收的高端扫描开尔文探针系统，它是在SKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置，其规格如下：□ 2毫米，50微米探针；□ 功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖)，5-10 meV(50微米针尖)；□ 针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内；□ 表面势和样品形貌3维地图；□ 探针扫描或样品扫描选配；□ 彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置；□ 参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)；□ 备用的针尖放大器；□ 24个月超长质保期； 仪器的特色□ 全球第一台商用的完全意义上的开尔文探针系统；□ 最高分辨率的功函数和表面势，最好的稳定性和数据重现性；□ 非零专利技术(Off-null,ON) ——ON信号探测系统在高信号水平下工作，与基于零信号原理(null-based,LIA)的系统相比，不会收到噪声的影响拥有高灵敏度；□ 高度调节专利技术 ——我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受　　　　　　　　　　　　　　　样品形貌的影响，针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移；□ 该领域内，拥有最好的信噪比；□ 快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间，远快于其他公司产品；□ 功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器，与通常的压电驱动器相比，VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作；□ 所有开尔文探针参数的全数字控制；ON 非零探测 Off Null detection HR 高度调节模式 Height Regulation mode SM 实际开尔文探针信号监控 Monitoring of the actual Kelvin probe signal UC 用户通道，同时测量外部参数 User Channels, simultaneous measurement of external parameters DC 电流探测系统去除漂移效应 Current Detection system rejects stray capacity effects PP 平行板震动模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation Mode SA 信号平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection) WA 功函数平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reporting DC 所有探针及探测参数的数字控制 Digital Control of all Probe and Detection Parameters QT 针尖快速改变 Quick-change Tip, variable spatial resolution DE 数据输出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party software OC 输出通道 Output Channel: TTL switching of external circuit FC 法拉第笼(电磁干扰防护罩) Faraday Cage (EMI Shield) RS 金-铝参考样品 Gold-Aluminium Reference Sample 额外选配项 SPV 表面光伏电压软硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware Package RH 相对湿度腔 Relative Humidity Chamber AC 控制气体进口的环境单元 Ambient Cell for controlled Gas Inlet EDS 外部数据示波镜 External Digital Oscilloscope OPT 彩色相机 Color Camera, TFT Screen and Optical Mounts ST 针尖置换 Replacement Tips GCT 镀金的针尖替换 Gold Coated Replacement Tips XYZ 25.4毫米手动3维控制台 3-axis 25.4 mm Manual Stage 应用领域 吸附，电池系统，生物学和生物技术，催化作用，电荷分析，涂层，腐蚀，沉积，偶极层形成，显示技术，教育，光/热散发，费米级扫描，燃料电池，离子化，MEMs，金属，微电子，纳米技术，Oleds，相转变，感光染色，光伏谱学，高分子半导体，焦热电，半导体，传感器，皮肤，太阳能电池，表面污染，表面化学，表面光伏，表面势，表面物理，薄膜，真空研究，功函数工程学；

开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。材料表面的功函数通常由最上层的1-3层原子或分子决定，所以开尔文探针是一种最灵敏的表面分析技术。 我们的开尔文探针系统包括：□ 单点开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；□ 扫描开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；□ 超高真空(UHV)开尔文探针；□ 湿度控制的腐蚀开尔文探针； 单点开尔文探针系统 (ASKP) KP020系统是一款可以被大多数客户所接收的高端扫描开尔文探针系统，它是在KP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置，其规格如下：□ 2毫米，50微米探针；□ 功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖)，5-10 meV(50微米针尖)；□ 针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内；□ 彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置；□ 参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)；□ 备用的针尖放大器；□ 24个月超长质保期； 仪器的特色□ 全球第一台商用的完全意义上的开尔文探针系统；□ 最高分辨率的功函数和表面势，最好的稳定性和数据重现性；□ 非零专利技术(Off-null,ON) ——ON信号探测系统在高信号水平下工作，与基于零信号原理(null-based,LIA)的系统相比，不会收到噪声的影响拥有高灵敏度；□ 高度调节专利技术 ——我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受　　　　　　　　　　　　　　　样品形貌的影响，针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移；□ 该领域内，拥有最好的信噪比； □ 快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间，远快于其他公司产品；□ 功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器，与通常的压电驱动器相比，VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作；□ 所有开尔文探针参数的全数字控制；ON 非零探测 Off Null detection HR 高度调节模式 Height Regulation mode SM 实际开尔文探针信号监控 Monitoring of the actual Kelvin probe signal UC 用户通道，同时测量外部参数 User Channels, simultaneous measurement of external parameters DC 电流探测系统去除漂移效应 Current Detection system rejects stray capacity effects PP 平行板震动模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation Mode SA 信号平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection) WA 功函数平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reporting DC 所有探针及探测参数的数字控制 Digital Control of all Probe and Detection Parameters QT 针尖快速改变 Quick-change Tip, variable spatial resolution DE 数据输出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party software OC 输出通道 Output Channel: TTL switching of external circuit FC 法拉第笼(电磁干扰防护罩) Faraday Cage (EMI Shield) RS 金-铝参考样品 Gold-Aluminium Reference Sample 额外选配项 SPV 表面光伏电压软硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware Package RH 相对湿度腔 Relative Humidity Chamber AC 控制气体进口的环境单元 Ambient Cell for controlled Gas Inlet EDS 外部数据示波镜 External Digital Oscilloscope OPT 彩色相机 Color Camera, TFT Screen and Optical Mounts ST 针尖置换 Replacement Tips GCT 镀金的针尖替换 Gold Coated Replacement Tips XYZ 25.4毫米手动3维控制台 3-axis 25.4 mm Manual Stage应用领域 吸附，电池系统，生物学和生物技术，催化作用，电荷分析，涂层，腐蚀，沉积，偶极层形成，显示技术，教育，光/热散发，费米级扫描，燃料电池，离子化，MEMs，金属，微电子，纳米技术，Oleds，相转变，感光染色，光伏谱学，高分子半导体，焦热电，半导体，传感器，皮肤，太阳能电池，表面污染，表面化学，表面光伏，表面势，表面物理，薄膜，真空研究，功函数工程学；目前通过我司购买的的开尔文探针测试系统，目前在南昌航空大学工作正常，运行稳定。。

开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。材料表面的功函数通常由最上层的1-3层原子或分子决定，所以开尔文探针是一种最灵敏的表面分析技术。 扫描开尔文探针系统 (SKP)：SKP5050系统是一款可以被大多数客户所接收的高端扫描开尔文探针系统，它是在SKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置，其规格如下：□ 2毫米，50微米探针；□ 功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖)，5-10 meV(50微米针尖)；□ 针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内；□ 表面势和样品形貌3维地图；□ 探针扫描或样品扫描选配；□ 彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置；□ 参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)；□ 备用的针尖放大器； 仪器特色：□ 全球第一台商用的完全意义上的开尔文探针系统；□ 最高分辨率的功函数和表面势，最好的稳定性和数据重现性；□ 非零专利技术(Off-null,ON) ——ON信号探测系统在高信号水平下工作，与基于零信号原理(null-based,LIA)的系统相比，不会收到噪声的影响拥有高灵敏度；□ 高度调节专利技术 ——我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受样品形貌的影响，针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移；□ 该领域内，拥有最好的信噪比；□ 快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间，远快于其他公司产品；□ 功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器，与通常的压电驱动器相比，VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作；□ 所有开尔文探针参数的全数字控制；ON 非零探测 Off Null detection HR 高度调节模式 Height Regulation modeSM实际开尔文探针信号监控 Monitoring of the actual Kelvin probe signalUC用户通道，同时测量外部参数 User Channels, simultaneous measurement of external parametersDC电流探测系统去除漂移效应 Current Detection system rejects stray capacity effectsPP平行板震动模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation ModeSA信号平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection)WA功函数平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reportingDC所有探针及探测参数的数字控制 Digital Control of all Probe and Detection ParametersQT针尖快速改变 Quick-change Tip, variable spatial resolutionDE 数据输出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party softwareOC输出通道 Output Channel: TTL switching of external circuitFC法拉第笼(电磁干扰防护罩) Faraday Cage (EMI Shield)RS金-铝参考样品 Gold-Aluminium Reference Sample额外选配项SPV表面光伏电压软硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware PackageRH相对湿度腔 Relative Humidity ChamberAC控制气体进口的环境单元 Ambient Cell for controlled Gas InletEDS外部数据示波镜 External Digital OscilloscopeOPT彩色相机 Color Camera, TFT Screen and Optical MountsST针尖置换 Replacement TipsGCT镀金的针尖替换 Gold Coated Replacement TipsXYZ25.4毫米手动3维控制台 3-axis 25.4 mm Manual Stage应用领域：吸附，电池系统，生物学和生物技术，催化作用，电荷分析，涂层，腐蚀，沉积，偶极层形成，显示技术，教育，光/热散发，费米级扫描，燃料电池，离子化，MEMs，金属，微电子，纳米技术，Oleds，相转变，感光染色，光伏谱学，高分子半导体，焦热电，半导体，传感器，皮肤，太阳能电池，表面污染，表面化学，表面光伏，表面势，表面物理，薄膜，真空研究，功函数工程学； 参考用户：吉林大学、哈工大、大连理工大学、湖南大学、浙江大学、复旦大学、华中科技大学、华南理工大学、合肥工大、中科院纳米中心、中科院理化所、中科院高能所等...

我们的大范围扫描开尔文探针为用户提供了样品尺寸从5-300mm的完整2D和3D功函数平面图。功函数解析度小于3meV。硬件扫描转换台分辨率低于317.5 nm,扫描开尔文探针提供可靠的、可重复的测量。高性能法拉第和光学外壳保护我们所有的扫描系统以避免快速变化的环境条件,电磁干扰等,以至于为我们的光电效应和表面光电压附加模块提供一个完美的平台。

开尔文探针系统Kelvin Probe System 产地：英国型号：SKP5050, KP020, UHVKP020 开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。材料表面的功函数通常由最上层的1-3层原子或分子决定，所以开尔文探针是一种最灵敏的表面分析技术。 技术规格：SKP5050系统是一款可以被大多数客户所接收的高端扫描开尔文探针系统，它是在SKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置，其规格如下：- 探针直径：2毫米，50微米(其他尺寸可选配)；- 功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖)，5-10 meV(50微米针尖)；- 针尖到样品表面工作距离：~400纳米；- 表面势和样品形貌3维地图；- 探针扫描或样品扫描选配；- 彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置；- 参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)；- 备用的针尖放大器； 仪器特点：- 全球第一台商用的完全意义上的开尔文探针系统；- 最高分辨率的功函数和表面势，最好的稳定性和数据重现性；- 非零专利技术(Off-Null) — 信号探测系统在高信号水平下工作，与基于零信号原理(Null-based, LIA)的系统相比，不会收到噪声的影响拥有高灵敏度；- 高度调节专利技术 — 我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受样品形貌的影响，针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移；- 该领域内，拥有最好的信噪比；- 快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间，远快于其他公司产品；- 功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器，与通常的压电驱动器相比，VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作；- 所有开尔文探针参数的全数字控制； 参考用户：吉林大学，大连理工大学，哈工大，复旦大学，浙江大学，合肥工大，华中科大，湖南大学，华南理工大学，香港科技大学，中科院理化所，中科院纳米中心，中国工程物理研究院等…

扫描开尔文探针是一种非接触、非破坏性振动电容装置用于导电材料的功函或半导体或绝缘体材料表面的表面电势，表面功函由材料表面最顶部的1-3层原子或分子决定，因而开尔文探针是一种非常灵敏的表面分析技术，KP Technology公司目前可提供具有1-3 meV业界最高分辨率的测试系统 主要特点： ● 功函分辨率 3meV ● 扫描面积：5mm to 300mm（四种型号，每种型号扫描面积不同） ● 扫描分辨率：317.5nm ● 自动高度调节 应用领域： ● 有机和非有机半导体 ● 金属 ● 薄膜 ● 太阳能电池和有机光伏材料 ● 腐蚀 升级附件： ● 空气光发射系统 ● 表面光电压(QTH or LED) ● SPS表面光电压光谱(400-1000nm) ● 金或不锈钢探针，直径0.05mm to 20mm ● 相对湿度控制和氮气环境箱

开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。材料表面的功函数通常由最上层的1-3层原子或分子决定，所以开尔文探针是一种最灵敏的表面分析技术。 我们的开尔文探针系统包括：□ 单点开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；□ 扫描开尔文探针(大气环境及气氛控制环境)；□ 超高真空(UHV)开尔文探针；□ 湿度控制的腐蚀开尔文探针； 扫描开尔文探针系统 (ASKP) ASKP系统是一款可以被大多数客户所接收的高端扫描开尔文探针系统，它是在SKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置，其规格如下：□ 2毫米，50微米探针；□ 功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖)，5-10 meV(50微米针尖)；□ 针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内；□ 表面势和样品形貌3维地图；□ 探针扫描或样品扫描选配；□ 彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置；□ 参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)；□ 备用的针尖放大器；□ 24个月超长质保期； 仪器的特色□ 全球第一台商用的完全意义上的开尔文探针系统；□ 最高分辨率的功函数和表面势，最好的稳定性和数据重现性；□ 非零专利技术(Off-null,ON) ——ON信号探测系统在高信号水平下工作，与基于零信号原理(null-based,LIA)的系统相比，不会收到噪声的影响拥有高灵敏度；□ 高度调节专利技术 ——我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受　　　　　　　　　　　　　　　样品形貌的影响，针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移；□ 该领域内，拥有最好的信噪比；□ 快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间，远快于其他公司产品；□ 功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器，与通常的压电驱动器相比，VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作；□ 所有开尔文探针参数的全数字控制；ON 非零探测 Off Null detection HR 高度调节模式 Height Regulation mode SM 实际开尔文探针信号监控 Monitoring of the actual Kelvin probe signal UC 用户通道，同时测量外部参数 User Channels, simultaneous measurement of external parameters DC 电流探测系统去除漂移效应 Current Detection system rejects stray capacity effects PP 平行板震动模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation Mode SA 信号平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection) WA 功函数平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reporting DC 所有探针及探测参数的数字控制 Digital Control of all Probe and Detection Parameters QT 针尖快速改变 Quick-change Tip, variable spatial resolution DE 数据输出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party software OC 输出通道 Output Channel: TTL switching of external circuit FC 法拉第笼(电磁干扰防护罩) Faraday Cage (EMI Shield) RS 金-铝参考样品 Gold-Aluminium Reference Sample 额外选配项 SPV 表面光伏电压软硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware Package RH 相对湿度腔 Relative Humidity Chamber AC 控制气体进口的环境单元 Ambient Cell for controlled Gas Inlet EDS 外部数据示波镜 External Digital Oscilloscope OPT 彩色相机 Color Camera, TFT Screen and Optical Mounts ST 针尖置换 Replacement Tips GCT 镀金的针尖替换 Gold Coated Replacement Tips XYZ 25.4毫米手动3维控制台 3-axis 25.4 mm Manual Stage应用领域 吸附，电池系统，生物学和生物技术，催化作用，电荷分析，涂层，腐蚀，沉积，偶极层形成，显示技术，教育，光/热散发，费米级扫描，燃料电池，离子化，MEMs，金属，微电子，纳米技术，Oleds，相转变，感光染色，光伏谱学，高分子半导体，焦热电，半导体，传感器，皮肤，太阳能电池，表面污染，表面化学，表面光伏，表面势，表面物理，薄膜，真空研究，功函数工程学；目前通过我司购买的的开尔文探针测试系统，目前在南昌航空大学工作正常，运行稳定。。

RHC020-气氛控制扫描开尔文探针开尔文探针是一种非接触、非破坏性振动电容装置用于导电材料的功函或半导体或绝缘体材料表面的表面电势，表面功函由材料表面最顶部的1-3层原子或分子决定，因而开尔文探针是一种非常灵敏的表面分析技术，KP Technology公司目前可提供具有1-3 meV业界最高分辨率的测试系统 RHC020 是控制气氛检测样品的理想解决方案，50x50mm样品加热器可将样品温度升至100℃，采用先进的电子和硬件系统即时监测温度和湿度变化，附加表面光伏SPV020及表面光电压谱SPS030模块，可对光敏感样品进行强度或波长可变的激发。 技术参数： ● 2mm和50μm探针 ● 功函分辨率1-3meV（2mm探针），5-10meV（50μm探针，光学防震台） ● 50mmX50mm最大扫描面积 ● 318纳米定位分辨率 ● 跟踪系统自动控制样品和探针距离● 附加手动高度控制（25.4mm KP 平移） ● 过零信号检测系统抑制寄生电容 ● 50mmX50mm样品加热器 ● 自动相对湿度控制至1%（10-100%RH）选件 ● 直插型探针支架：2mm-50μm ● 自动温度控制 ● 表面光伏模块SPV020和SPS030

UHV-KP020超高真空扫描开尔文探针开尔文探针是一种非接触、非破坏性振动电容装置用于导电材料的功函或半导体或绝缘体材料表面的表面电势，表面功函由材料表面最顶部的1-3层原子或分子决定，因而开尔文探针是一种非常灵敏的表面分析技术，KP Technology公司目前可提供具有1-3 meV业界最高分辨率的测试系统 UHV-KP020 是超高真空室的一个完美补充工具，可靠的和可重复的可轻松获得，包括高质量的线性解码器，使得探针和样品的定位变得简单， 无与伦比的跟踪系统在测试过程中始终将探针和样品恒定的分开。对于薄膜研究，亚单层范围检测是很平常的；也可选购SPV020或SPS030表面光电压模块用于光敏材料研究。 技术参数： ● 功函分辨率1-3meV（2-10mm探针） ● 用户自定针尺寸（2-10mm） ● 用户自定探针长度（法兰到样品） ● DN40（2.75' ' 安装端口）-其他可选 ● 50mm手动平移器（100mm可选） ● 真空度2X10-11mbar ● 跟踪系统自动控制样品和探针距离 ● 过零信号检测系统抑制寄生电容 选件： ● 电动平移器 ● UHVSKP ● 表面光电压模块SPV020和SPS030

UHV-KP020超高真空扫描开尔文探针开尔文探针是一种非接触、非破坏性振动电容装置用于导电材料的功函或半导体或绝缘体材料表面的表面电势，表面功函由材料表面最顶部的1-3层原子或分子决定，因而开尔文探针是一种非常灵敏的表面分析技术，KP Technology公司目前可提供具有1-3 meV业界最高分辨率的测试系统UHV-KP020 是超高真空室的一个完美补充工具，可靠的和可重复的可轻松获得，包括高质量的线性解码器，使得探针和样品的定位变得简单， 无与伦比的跟踪系统在测试过程中始终将探针和样品恒定的分开。对于薄膜研究，亚单层范围检测是很平常的；也可选购SPV020或SPS030表面光电压模块用于光敏材料研究。 技术参数：● 功函分辨率1-3meV（2-10mm探针）● 用户自定针尺寸（2-10mm）● 用户自定探针长度（法兰到样品）● DN40（2.75''安装端口）-其他可选● 50mm手动平移器（100mm可选）● 真空度2X10-11mbar● 跟踪系统自动控制样品和探针距离● 过零信号检测系统抑制寄生电容选件：● 电动平移器● UHVSKP● 表面光电压模块SPV020和SPS030

KP Technology继续支持材料进步，使我们的客户能够提高他们的科学能力并加强他们的研究。我们提供一系列专用的开尔文探头系统，专为各种环境中的应用而开发，从环境和受控气氛到超高真空。针尖材料/直径2 mm 不锈钢针尖功函数解析1 - 3 meV样品扫描50 x 50 毫米相对湿度控制自动： 20 - 80%大气控制氧气 1%光学系统彩色摄像机示波器用于实时信号的数字 TFT 示波器测试样品金和铝样品试验板基底面900 x 600 毫米提供控制带有专用软件的电脑检测系统Off-null with parasitic capacity rejection

技术参数：在大气环境下：扫描隧道显微镜/ 原子力显微镜(接触 +半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/力谱线/粘附力成像/磁力显微镜/静电力显 微镜/扫描电容显微镜/开尔文探针显微镜/扩展电阻成像/纳米压痕/刻蚀: 原子力显微镜(电压+力)/压电力模式/超声原子力/外加磁场/温度控制/气氛控制等功能。在液体环境下：原子力显微镜(接触+半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/粘附力成像/力谱/刻蚀:测量头部：AFM和SPM可选配液相模式和纳米压痕测量头 扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描最大样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚度15mm。针尖扫描：样品无限制 XY样品定位装置：移动范围5×5um，精度5um 扫描范围：90×90×9um（带传感器/闭环控制），可选配低电压模式实现原子级分辨XY方向非线性度：≤0.5%（带传感器/闭环控制） Z方向噪音水平（带宽1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型值0.04nm，最大0.06nm）光学显微系统：配备高数值孔径物镜后，分辨率可由3um提升至1um样品温度控制：室温~300℃

MPI系统是一个性能完好的局部环境室, 为超低噪声、低电容测量提供了完好的 EMI 和光密屏蔽测试环境。 MPI 系统 的一个完全可配置的部分, 它允许多达4端口 RF 或多达8端口的 直流/开尔文或这些配置的组合。易于重新配置, 具有方便的屏蔽功能, 即 MPI shiedidcap ，很多小东西可以简化日常操作。 完整的 shieldcap 是容易更换的 EMI-shieldcap 版探头。 双前门通道和独特的卡盘设计, 使150、200、300毫米硅片或小到 4 * 4 毫米 IC容易装卸程序。辅助卡盘都位于前面, 可以很方便地装载/卸载。推出阶段允许用于校准和探针卡清洁的简单自动化方法. 智能硬件控制面板完全集成到探头系统中, 根据数十年的经验和客户交互设计, 提供更快、更安全、更方便的系统控制和测试操作. 键盘和鼠标是定位控制软件, 也将控制基于 windows 的仪器。由于智能气机组集成, TS3000-SE 系列为实验室节省了大量的冷却时间。MPI和ERS设计了新的300毫米热夹头技术家庭，提供了无与伦比的热弹性，减少了60%的浸泡时间，以及市场上的各种热范围。减少过渡时间，改善电气性能，在惰性气体环境下更容易测试，以及现场可升级性是主要热卡盘系统的附加值。热系统可以通过使用全集成触摸屏显示，置于方便的位置，在操作前快速操作和即时反馈。 这些Chuck包含了专利的AC3冷却技术和自人类管理系统，使用循环冷却空气净化MPI保护环境，从而减少了市场上其他系统的30% - 50%的空气消耗. MPI自动化工程探测系统由独特性的、多点触摸操作SENTIO软件等套件简单直观的操作将节省训练时间,滚动变焦,模仿现代智能移动设备和移动命令可以让每个人在几分钟成为一个专家.Switching活动应用程序与应用程序的其余部分是一个简单的手指扫描的问题。对于射频应用，不需要切换到另一个软件平台——MPI射频校准软件程序QAlibria完全集成到感应器中，通过遵循单一的操作概念方法即可使用。

仪器简介： CSPM5500是本原纳米仪器有限公司于2008年8月研制成功的新一代扫描探针显微镜,其功能齐全、性能优越、运行稳定、使用方便，非常适合用户开展纳米研究工作。 技术参数：(1)国际主流的研究级专业仪器，集成原子力显微镜(AFM)，横向力显微镜(LFM)，扫描隧道显微镜(STM) (2)分辨率： 原子力显微镜：横向0.2nm，垂直0.1nm（以云母晶体标定） 扫描隧道显微镜：横向0.1nm，垂直0.01nm（以石墨晶体标定） (3)高精度计量型仪器，采用NanoSensors提供的可溯源于国际计量权威机构Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)的标准样品进行校准 (4)一键式快速全程全自动进样，无需手动预调，行程大于30mm，可容纳超大样品 (5)两级可读数样品调节机构，可对样品进行精确的检测区域定位 (6)一次扫描技术，图像分辨高达4096×4096物理象素，微米级扫描即可得到纳米级的实际信息 (7)先进PID反馈算法实现快速高精度作用力控制，确保系统在高速扫描中稳定成像，实际扫描速度提升一个数量级 (8)系统采用10M/100M快速以太网(Fast Ethernet 10/100)或USB 2.0与计算机连接 (9)主控机箱前面板具有16×4液晶显示屏，系统当前状态实时显示 (10)具备实时在线三维图像显示功能，便于用户在检测过程中随时直观获得样品信息主要特点：(1) 标准配置： 原子力显微镜(AFM)：包括接触、轻敲、相移成像(Phase Imaging)等多种工作模式 横向力显微镜(LFM)：具有摩擦力回路曲线、摩擦力载荷曲线、摩擦力恒载荷曲线等摩擦学性能分析测量功能 扫描隧道显微镜(STM)：包括恒流模式、恒高模式、I-V曲线、I-Z曲线等 曲线测量分析功能：力-距离曲线、振幅-距离曲线、相移-距离曲线等(2)选配功能： 纳米加工：包括图形刻蚀模式、压痕/机械刻画、矢量扫描模式、DPN浸润笔模式等； 磁力显微镜/静电力显微镜； 环境控制扫描探针显微镜； 液相扫描探针显微镜； 导电原子力显微镜； 扫描探针声学显微镜； 扫描开尔文探针显微镜； 扫描电容显微镜； 压电力显微镜

仪器简介：扫描探针显微镜(SPM)平台是为了在纳米尺度研究样品的表面性质而设计的。它能够让我们在几微米到几个埃的尺寸下肉眼观察并定量测量样品的力学性质（硬度，弹性，粘度），电学性质（导电性，电容性，表面电荷分布）以及磁的性质。Solver 平台拥有超过40 种测量方法，并且实现在大气，气氛控制以及液体环境下进行工作。技术参数：测量模式： STM/ AFM (接触 + 轻敲+非接触)/ 横向力/ 相位/ 力调制/力谱/粘附力/ 磁力/ 静电力/ 开尔文/ 扩展电阻/纳米压痕/纳米刻蚀: AFM (电压刻蚀 + 力刻蚀)扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描测量头部：AFM和SPM，可选配液相模式最大样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚度10mm。针尖扫描：样品无限制XY样品定位装置：移动范围5× 5um，精度5um光学系统：根据客户需求配置样品温度控制：室温~130℃ 主要特点：Solver P47-PRO SPM 是一种可以在空气、液体和室温～ 130° C 的可控气氛下对不同的样品进行高精度综合分析的通用仪器。此型号不仅适合小公司或学校的试验室使用，同样适合大的研究中心使用。其现代化的设计提供了最高的测量精度和大量的SPM技术。可选配独一无二的双扫描结构可以将扫描范围扩展到200x200um。该型号仪器现已装备到全世界600多个实验室，其中中国大陆正在使用的用户达40多个。

1． 系统介绍MMLAB-prob-2型探针系统是MMLAB-prob系列朗缪尔探针系统的双探针型号。MMLAB-prob系列朗缪尔探针系统基于虚拟仪器原理设计，具有硬件结构简单、可靠性强、抗扰动能力强等优点。MMLAB-prob系列朗缪尔探针系统的软件界面友好，操作简便，实现诊断与数据处理全过程自动化。2． 系统硬件构成MMLAB-prob-2型探针系统硬件由探针、驱动采集单元和计算机构成（图1）。其中，驱动采集单元一端通过USB接口与计算机连接，另一端有电缆与探针连接，其作用一是按照计算机的指令生成扫描信号，放大后为探针提供偏置，二是采集探针的电压电流值并输入计算机。

这款四点探针系统是一款易于使用的工具，用于快速测量材料的薄层电阻，电阻率和电导率。 通过使用我们自己的源测量单元，我们能够创建一个低成本的系统，使测量范围更广泛。 探头采用弹簧加载接触，而不是尖锐的针头，防止损坏精密样品，如厚度在纳米左右的聚合物薄膜。 四点探针系统为您的研究提供以下益处：? 广泛的薄膜电阻测量范围，从10mΩ/□到10MΩ/□? 弹簧加载的探针保护易损的样品免受损坏? 体积小巧，可用于空间有限的繁忙实验室? 易操作的PC软件，用于薄膜电阻，电阻率和电导率的测量? 使用自动校正因子计算加快材料表征? 使用保存设置可轻松重复测量 特征：广泛的测量范围 - 四点探头能够提供10 nA-100 mA的电流，并且可以测量低至100μV-10 V的电压。广泛的薄层电阻测量范围，从10mΩ/□到10MΩ/□，可表征多种材料。 非破坏性测试 - 设计时考虑到了精密样品的测量，四点探头采用镀金弹簧接触圆头， 60克的恒定接触力，防止探针刺破脆弱的薄膜，同时仍能提供良好的电接触。 节省空间的设计 - 通过垂直堆叠组件，我们能够将四点探头的占地面积降至最低（总台面面积12 cm x 30 cm），甚至可以在缺乏货架空间的实验室中使用。 易于使用 - 只需插入系统，安装软件，即可开始使用！ 直观的界面和清洁的设计，简化了薄膜电阻的测量。 快速材料表征 - PC软件可执行薄膜电阻，电阻率和电导率所有必要的测量和计算，从而使材料表征变得毫不费力。 不要忘记保存您的实验数据 - 用于测量的设置会与数据一起保存，从而轻松查看实验的详细信息。 此外，这些设置文件可以通过相同的软件加载，加快重复测量和材料表征。 用更少的时间重复测量，您的研究成果可以显着增加应用示例：材料特性 - 电阻率是材料的固有特性，也是重要的电学特性。 它可以通过测量已知厚度的薄膜薄层的电阻来确定，这使得四点探针测量成为材料电特性的关键技术。 薄膜太阳能电池和发光二极管 - 薄膜器件（如钙钛矿太阳能电池或有机发光二极管）需要薄的导电电极，横向输送电荷以进行提取。 因此，需要低表面电阻材料来减少这个阶段的潜在损失。 当试图放大这些设备时，这变得更加重要，因为电荷在它们可被提取之前，不得不沿着电极方向行进。测量规格电压范围100μV至10 V当前范围10 nA到100 mA薄层电阻范围10mΩ/□至10MΩ/□测量精度 ±4%测量精度±0.5%

探针台综合测试系统特点：最大可支持32寸样品的测试；专为各种直流/高压测试设计；操作方便快捷；模块化设计，方便后续升级；可接受定制；可兼容多种不同类型显微镜；探针台综合测试系统产品规格样品台尺寸8inch/ 12inch/32inch等水平旋转360度样品固定真空吸附，中心吸附，多圈吸附等显微镜类型单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜选配件隔振台（光学平台），屏蔽箱，探针座、探针夹具，真空泵等

锥形光纤探针扫描系统锥形光纤探针扫描系统GalvoStation是一种单通道光电激光设备，锥形光纤探针扫描系统设计用于使用Lambda Fibers进行空间选择性光传输和收集。GalvoStation允许将Lambda光纤发出的光限制在其有效长度的子位置。锥形光纤探针扫描系统在有效长度范围内，可以沿光纤轴任意扫描活性子位点。锥形光纤探针扫描系统利用这一特性，可以对不同深度分辨率的大脑区域进行光刺激，以便使用多电极阵列记录不同深度的光致电生理信号，或在深度分辨率的纤维光度测定实验中收集来自不同大脑区域的荧光信号。用锥形光纤探针Lambda Fibers的位置选择性光传输/收集的轴向分辨率由子站点长度表示。锥形光纤探针扫描系统GalvoStation可以配备一个或两个激光源，并可选地包括一个光路，用于组合光传输和收集与单个探头。下表列出了带有相关应用程序的选项集示例。Laser wavelengths[nm]Collectionband [nm]Application example405 + 473500 – 550基于等吸收控制的GCaMP空间选择性光纤光度法473N/A基于ChR2的空间选择光遗传学405 + 561600 – 650基于等吸收控制的RCaMP空间选择性光纤光度法锥形光纤探针扫描系统组成：完整的GalvoStation系统由GalvoStation(1)，其电源(2)，一个或两个激光驱动器(3)，一个DAQ板(可选，4)和一个光电探测器(可选，5)组成。根据所选的配置，系统提供了一组补片光纤和所需的所有电缆。2根2m长的D-Sub15电缆。一根探针跳线(SMA905到护套)。一根传感器跳线(SMA905到FC/PC)。三根0.5米长的BNC电缆。4根2000米长的BNC电缆。三个BNC-Tee适配器。一根2米长的3针DIN电缆。3根C13交流电缆。一个DAQ电源。还包括一个入门工具包。由:一根5pack Lambda-plus fibers(光纤类型和短管规格由客户定义，包括一张校准幻灯片) 一根探针跳线(与Lambda-plus fibers类型相同) 一根传感器跳线。如果要使用旋转接头，则在订单中指定的连接器将提供额外的跳接线。设备提供的探针跳线建议与Lambda-plus fibers和TaperScan软件进行配套使用蕞佳。GalvoStation提供的传感器跳线基于高数值孔径光纤，适合与光电探测器(可选包括)一起使用。如果与您自己的光电探测器一起使用，请参考制造商的光电探测器跳线的选择和购买指南。锥形光纤探针Lambda-plus fibersLambda-plus fibers是在不同批次的光纤中选择具有严格的锥度长度和锥度轮廓公差的光纤，用于恒定的子位点长度，强烈推荐给GalvoStation和ThetaStation用户。TaperScan—GalvoStation控制软件TaperScan软件可用于GalvoStation的完全控制。它允许选择Lambda fibers的有源子站点，操作激光源及其光功率水平。实现了两种操作模式:手动模式用于直接手动控制Lambda fibers的空间选择性光发射，以及协议模式，可以对单源(例如光遗传刺激)和双源(例如具有等吸光控制的光纤测光)刺激程序进行编程。手动版锥形光纤探针扫描器Thetastation是一种光机械工具，设计用于使用Lambda fibers进行空间选择性光传输。该设备允许限制和手动扫描Lambda fibers在其有效长度的子站点发出的光。通过这样做，可以独立探测植入Lambda fibers的组织区域的子部分:这种能力在光遗传学实验中提供了额外的自由度，当沿着一个轴延伸的读出技术与定点选择性光传输(例如线性微电极阵列)同时使用时，这一点特别相关。一般性建议：建议使用激光光源。使用单模(SM)输入跳线以获得蕞佳传输效率。Lambda fiber的发光子区域的位置和尺寸以及传输效率需要作为千分尺螺杆位置的函数进行校准。关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。

R10扫描探针显微镜控制器继美国RHK Technology公司推出的革ming性扫描探针显微镜控制器R9取得大成功之后，其研发团队通过升其软硬件和功能隆重发布了新一代R10扫描探针显微镜控制器。相比于R9控制器，R10扫描探针显微镜控制器性能提升主要包括： 全新的FPGA固件构架大地提高了配置灵活性 对于高测量提供了60多个可用的数据通道 数据流和扫描速度均提高5倍 优化的高压输出电路板，噪声水平降低到R9控制器的1/4 两个扫描探针控制系统 可设置任意密度的网格点进行图谱测量R10扫描探针显微镜控制器产品特点全集成SPM控制平台：模式和测量之间的所有连接都是通过数字域中的软件进行的，提供了大的灵活性和信号纯度。获得的图形硬件和实验设置系统允许快速方便的定制。数字锁定放大器：多2个PLL和6个锁定放大器可配置为立工作或连接在一起以跟踪多个谐波。可以生成并解调1 Hz到10 MHz以上的参考频率。解调带宽从10mHz到100kHz。方法允许跟踪边带，即使参考频率快速移动。反馈回路：增添至9个。在200 kHz时计算反馈回路。开尔文探测：测量多频KPFM。反馈回路测量接触电势。所有交流和直流模式可用。多速率数据通路：革ming性的方法提供同步的高速（16位@100 MHz）和高精度（22位@25 kHz）测量和的同步。探针防护装置/锁防护装置：基于时间的数据采集二次扫描发生器和反馈回路快速、故障安全提示接近，接近在输入设定点检测的5μs内停止。锁定防护装置停止扫描，并在超出范围参数的5μs内取出探头。返回范围后自动继续扫描。基于时间的数据采集：所有数据和事件都会在时间基础上进行捕获，以供以后检查。对测量参数（如扫描速度、反馈回路设定点、偏置电压）的更改以亚像素精度存储在数据文件中，并显示在存储的图像上。二次扫描发生器和反馈回路：一套R10控制器可控制2个立的扫描系统。这可以是带有两个扫描仪（大范围和小范围）的单个扫描头，也可以是两个立的扫描头。数据安全：所有数据都存储在每个扫描线末端的HDD中，以防止断电时数据丢失。所有数据类型（地形、光谱、FFT、示波器记录道）的后100个文件存储在硬盘上，以供将来分析。显微镜诊断工具：瞬态记录器：检测短至10ns的瞬态。瞬态记录器：100 MS/s采集，持续1秒。50MHz带宽FFT；4通道示波器@50kHz；数据记录器多可记录五天的数据。访问所有I/O信号：可配置控制路由和60+I/O信号采集。IHDL/Inventor SDK：交互式硬件开发语言：用户自定义的例程。支持LabVIEW VIshh、MATLAB、Python等，无需添加软件模块。内置偏置调制：用小到10μV的正弦波直接调制输出偏置DAC。调制频率高达10兆赫。Z位置调制多频调制与检测：直接调制输出DAC，正弦波小至10 pmR10扫描探针显微镜控制器基本参数Analog InputsUltra-high speed input channelsSample rate100 MS/sQuantityUp to 2Analog bandwidth17 MHzInput range± 10V, ± 1V switchable under software controlInput impedance50 Ω, 1 M Ω switchable under software controlEffective Resolution16 bit @ 100 MHz , 18 bit @ 6.25 MHz, 20 bit @ 390 kHz, 22 bits @ 25 kHz, 24 bit @ 1.5 kHzProgrammable gainUp to 512x at full bandwidthInput offsetInput signal can be offset via software to correct for errors in external signal amplifiers.Programmable AD/DC couplingInput signal can be AC or DC coupled as defined in software configuration.Analog Inputs (Continued)High speed input channelsSample rate1 MS/sQuantityUp to 6Input range± 10VAnalog bandwidth1 MHzEffective Resolution24 bit @ 200 kHz, 26 bit @ 12 kHzAnalog OutputsUltra-high speed output channelsOutput rate100 MS/sQuantityUp to 2Analog bandwidth17 MHzOutput range± 1V/ , ± 10V on separate outputsEffective Resolution16 bit @ 100 MHz , 18 bit @ 6.25 MHz, 20 bit @ 390 kHz, 22 bits @ 25 kHz, 24 bit @ 1.5 kHzProgrammable attenuationUp to 1024x at full bandwidthOutput offsetOutput signal can be offset via software to correct for errors in external signal amplifiersHigh speed output channelsSample rate1 MS/sQuantityUp to 10Analog bandwidth100 kHzEffective Resolution20 hbit @ 1 MHz , 22 bit @ 62 kHz, 24 bit @ 3.9 kHzDigital pulse countingFour channels @ 100 MHz count rateDigital Input/Output32 DIO linesR10扫描探针显微镜控制器设备构造前面板后面板高压放大器内部构造测试数据利用R10采集扫描隧道谱图，允许实时显示10条阈值谱线，且谱线的每个像素点可以单显示和分析。用户单位部分用户名单（排名不分先后），科研成果以及用户评价：清华大学、中科院物理所、中国科学技术大学、华中科技大学、国防科技大学、浙江大学......

仪器简介：NTEGRA平台是一个革命性的技术概念，在拥有所有SPM技术：原子力/磁力/静电力/表面电势/导电原子/扫描电容/压电力/纳米刻蚀等功能的同时，还能配备近场光学显微镜/共聚焦拉曼/外加磁场/超声原子力/纳米压痕等功能！。Prima则是这个平台中的基础SPM，可以在此基础上根据科 研需求提供多达40 中SPM 功能，其中的每种功能都有一套在其专业领域有着杰出表现的独特配置。可选择配备独一无二的双扫描结构可以将扫描范围扩展最大到200x200um。技术参数：在大气环境下：扫描隧道显微镜/ 原子力显微镜(接触 +半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/力谱线/粘附力成像/磁力显微镜/静电力显 微镜/扫描电容显微镜/开尔文探针显微镜/扩展电阻成像/纳米压痕/刻蚀: 原子力显微镜(电压+力)/压电力模式/超声原子力/外加磁场/温度控制/气氛控制等功能。在液体环境下：原子力显微镜(接触+半接触+非接触)/横向力显微镜/相位成像/力调制/粘附力成像/力谱/刻蚀:测量头部：AFM和SPM可选配液相模式和纳米压痕测量头 扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描最大样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚度15mm。针尖扫描：样品无限制 XY样品定位装置：移动范围5× 5um，精度5um 扫描范围：90× 90× 9um（带传感器/闭环控制），可选配低电压模式实现原子级分辨XY方向非线性度：&le 0.5%（带传感器/闭环控制） Z方向噪音水平（带宽1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型值0.04nm，最大0.06nm）光学显微系统：配备高数值孔径物镜后，分辨率可由3um提升至1um样品温度控制：室温~300℃ 主要特点：Ntegra Prima 是一个基本的SPM 系统，在这平台上可以根据科研需要提供40 种SPM 功能。 Ntegra Aura 是一款能在气氛控制以及低真空环境下工作的SPM，专门用于电磁等测量。 Ntegra Therma 只有10nm/h 热漂移能长时间可靠工作，并且能在-30℃~300℃环境下测量。 Ntegra Maximus 能够测量100mm 的大样品，在半自动模式下可以连续工作。 Ntegra Solaris 是一款近场光显微镜，能够提供所有近场探测模式，从而突破衍射极限。 Ntegra Vita 能与倒置显微镜联用，专门用于生物方面的检测。 Ntegra Tomo 能与超薄切片机联用，且制备用于研究的纳米片层的新鲜表面（也适用于电镜）。 Ntegra Spectra 集成了AFM-SNOM-Confocal-Raman 从而实现针尖增强（TERS）

FT-351高温四探针电阻率测试系统一、概述：采用由四探针双电测量方法测试方阻和电阻率系统与高温试验箱结合配置专用的高温测试探针治具，满足半导体材料因温度变化对电阻值变化的测量要求，通过先进的测控软件可以显示出温度与电阻，电阻率，电导率数据的变化曲线，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。二、适用行业：广泛用于：生产企业、高等院校、科研部门对导电陶瓷、硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜的方块电阻、电阻率和电导率数据.三、功能介绍：液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电阻率单位自动选择，仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。采用高精度AD芯片控制，恒流输出，结构合理、质量轻便，运输安全、使用方便；配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成报表；本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高精确度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。四、技术参数资料1.方块电阻范围：10-5～2×105Ω/□2.电阻率范围：10-6×106cm3.测试电流范围：0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA4.电流精度：±0.1%读数5.电阻精度：≤0.3%6.显示读数：液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率7.测试方式: 双电测量8.工作电源: 输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：30W9.整机不确定性误差: ≤4%（标准样片结果）10. 温度： 1200℃可调节；冲温值：≤1-3℃；控温精度：±1°C11、升温速度：9999分钟以内自由设定,一般10分钟内即可升到900℃；功率：3kw.12、炉膛材料：采用复合陶瓷纤维材料，具有真空成型，高温不掉粉的特征。13.专用测试PC软件一套，USB通讯接口，软件界面同步显示、分析、保存和打印数据！14.选购：电脑和打印机还有如下相关产品：FT-351高温四探针电阻率测试系统；FT-352导体材料高温电阻率测试系统； FT-353绝缘材料高温表面和体积电阻率测试系统 ROOKO/瑞柯品牌，来自瑞柯仪器公司，一个专注于改变人们生活方式和品质的企业. 专业与精致并重；智慧之原

自动探针渗透系统-稳态 提供精确的、全自动的、可编程的稳态测量板岩心的透气性(profilel)。可自动跳过岩心部分，一次测量3米岩心。

广东熔炼方块电阻测试仪，烧结四探针软件测试系统涂覆电导率测试仪， 涂布层电阻测试仪 FT-361超低阻双电四探针测试仪 一、概述：本品为解决四探针法测试超低阻材料方阻及电阻率，最小可以测试到1uΩ方阻值，是目前同行业中能测量到的最小值，采用高精度AD芯片控制，恒流输出，结构合理、质量轻便，运输安全、使用方便；适用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电阻率单位自动选择，仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成报表；本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换，进行两次电测量，对数据进行双电测分析，自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测直线或方形四探针相比，大大提高精确度，特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。选购：本机还可以配合各类环境温度试验箱体使用，通过不同的测量治具满足不同环境温度下测量方阻和电阻率的需求.二、广泛用于：覆盖膜 导电高分子膜，高、低温电热膜 隔热、防辐射导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸 金属化标签、合金类箔膜 熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜 电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料方阻测试硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻 半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件，导电薄膜（ITO导电膜玻璃等），金属膜，导电漆膜，蒸发铝膜，PCB铜箔膜，EMI涂层等物质的薄层电阻与电阻率 导电性油漆，导电性糊状物，导电性塑料，导电性橡胶，导电性薄膜，金属薄膜，抗静电材料， EMI 防护材料，导电性纤维，导电性陶瓷等 三、参数资料1.方块电阻范围：10-6～2×102Ω/□2.电阻率范围：10-7～2×103Ω-cm3.测试电流范围：0.1μA ，1μA，10μA，100μA.4.电流精度：±0.1%读数5.电阻精度：≤0.3%6.显示读数：液晶显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率.7.测试方式: 双电测量8.工作电源: 输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：30W9.整机不确定性误差: ≤4%（标准样片结果）10.选购功能: 选购1.pc软件； 2.方形探头； 3.直线形探头； 4.测试平台11.测试探头： 探针间距选购：1mm；2mm；3mm三种规格 探针材质选购：碳化钨针 白钢针；镀金磷铜半球形针ROOKO/瑞柯品牌，来自瑞柯仪器公司，一个专注于改变人们生活方式和品质的企业.

MPI TS2000-IFE 是一个自动化探针台，可以从使用一开始或在测试领域内任何需要时转换为带有 Waferwallet MAX 的全自动探针台。主要应用在负载拉动、RF、mmW、硅光子学、设计验证（产品工程）或在定义的测试环境中测试 MEMS 和其他传感器。MPI 同时推出用于太赫兹应用的 200 毫米自动探针台系统MPI 提供其200 mm TS2000-IFE THZ-Selection 自动探针台系统。THZ-Selection 是一种专用的射频、毫米波、太赫兹和负载牵引探针台，在 -60 至 300 oC 的宽工作温度范围内不会影响测量方向性。它基于 MPI 最通用的 200 毫米平台 - TS2000-IFE 系列。200 毫米晶圆的自动化在片测试探针台系统常用来执行以下操作：无需额外的 S 波段波导，尤其是在亚太赫兹或太赫兹范围内。最小化负载牵引应用的信号路径并提供最宽的调谐范围和最高GAMMA。切换频段时操作简单方便。MPI 专有的 IceFreeEnvironment 技术允许 THZ-Selection 在微定位器和探针卡的帮助下在负温度下运行。该测试系统能够通过具有可编程微观运动的集成探针控制提供晶圆级可靠性。主动隔振缓冲了测试过程中振动误差的发生。这些功能支持自动化测试，没有任何错误余地，并且具有可验证的准确性。