开尔文探针系统

产品概要：英铂为您提供MPI品牌的DC、各类开尔文探针，以供产品测试使用。基本信息：技术优势：DC探针：适用于常规漏电流测试开尔文探针：更低的漏电流和更好的可靠性，可以适用于高低温下的测试应用方向：适用于各种晶圆测试。

多种探针支架供选配，如：常规支架，真空支架，射频支架，2D支架，开尔文支架等......

汲取式光纤探针对于过程中的实时在线样品检测和实验室应用特别有用。在一个液态样品不能用比色皿测量的情况下，汲取式光纤探针附件能够测量其吸光度和透过率。反射式光纤探针结合S-3100使用可以生成小的光感系统以测量固体表面的反射。

产品概要：MPI提供了完整的探针臂产品组合，如：同轴、三轴、高压版本、开尔文、射频，所有这些都能在高达300°C的温度下运行。基本信息：简便快速，无需工具所有标准MPI探针臂均采用适用宽温度范围(-60°C…300°C)的不锈钢管设计开发，并由独特的通用探针支架固定，可轻松快速且免工具更换针杆、高度和角度调整；更换探针臂，适用于各种不同的设置，通用探头支架与所有MPI MicroPositioner兼容。高度指示器所有MPI探针针杆均具有适合高度刻度，可以非常快速，轻松地进行主动设置。直流探头尖端支架所有直流探头尖端支架的设计均易于更换和调节探头。探头尖端可以固定在任何变量上，也可以预先配置45°、60°、及与针杆平行等三种角度可选，用于在不同应用中进行特定的尖端散射控制。开尔文探针架MPI Kelvin探头支架与DUT尖端尽可能分离，并提供：垂直自找平探头尖端对准 专用力和感测电缆布置 快速方便地更换探针。这是精确进行超低噪声，阻抗或脉冲IV测量的新基准。开尔文探头甚至使新手用户都可以执行快速而准确的测量，从而易于重新配置4TP连接或/和进行脉冲IV测试。免工具垂直高度调整独特的无需工具的垂直高度调整以及内置的毫米刻度，可快速切换适配高度。轻松更换RF探头MPI独特的螺丝磁力吸附，搭配射频支臂能够迅速实现探针更换。 Mitutoyo 千分尺 MPI旗下均采用Mitutoyo千分尺，以保证1um级的移动，可准确进行定位。技术优势：1、耐高温2、角度调整方便快捷3、轻松更换RF探头4、具有直流探头尖端支架和开尔文探针架应用方向：可在高达300°C的温度下使用。

反射式光纤探针结合scinco S-3150或者S-4100使用可以生成小的光感系统以测量固体表面的反射。

系统解剖探针-头直径1.2mm/15c

AFM探针/原子力探针/导电探针(DDESP-10) AFM配件，原子力探针，AFM探针，原子力探针针尖，显微镜探针针尖，原子力针尖，原子力显微镜探针针尖，接触探针，纳米压痕探针，氮化硅探针，硅探针，热探针，超尖探针，电子探针，显微镜针尖，原子力显微镜针尖，轻巧模式探针，AFM针尖，接触式探针，磁性探针，导电探针，显微镜探针，探针，布鲁克探针，原子力探针，BRUKER PROBE，AFM PROBE，BRUKER探针，原子力显微镜探针，AFM探针，VEECO探针作为一家能够提供AFM/SPM仪器和AFM/SPM探针的企业，布鲁克公司深刻理解每个单独的组件对于一整套性能AFM系统的价值。布鲁克公司以的生产工艺，专业的AFM领域背景，得天独厚的生产装备，赋予探针制造众多的优势，确保在应用领域中提供完整的AFM解决方案。布鲁克AFM探针制造优势：*Class100级别的无尘室*的设计、制造工序及制造工具*探针设计团队与AFM设备研发团队通力合作，配合紧密*训练有素的生产团队，制造出各种型号的探针*全面的质量管理体系，确保探针性能行业在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，全面的质量测试，和AFM领域的专业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。 Doped Diamond这个系列的探针在针尖的一侧涂有可导电的金刚石涂层。由于金刚石的硬度很高，所以涂层也很耐磨。这类探针的典型应用包括：扫描扩散电阻显微镜 (SSRM)，扫描电容显微镜 (SCM)，和隧道/导电原子力显微镜。 NameMountDescriptionPack SizeTip Radius (nm) DDESP-10UnmountedDoped DLC Coated Tips, 42N/m, 320kHz, Al Reflective Coating1035

AFM配件，原子力探针，AFM探针，原子力探针针尖，显微镜探针针尖，原子力针尖，原子力显微镜探针针尖，接触探针，纳米压痕探针，氮化硅探针，硅探针，热探针，超尖探针，电子探针，显微镜针尖，原子力显微镜针尖，轻巧模式探针，AFM针尖，接触式探针，磁性探针，导电探针，显微镜探针，探针，布鲁克探针，原子力探针，BRUKER PROBE，AFM PROBE，BRUKER探针，原子力显微镜探针，AFM探针，VEECO探针作为一家能够提供AFM/SPM仪器和AFM/SPM探针的企业，布鲁克公司深刻理解每个单独的组件对于一整套性能AFM系统的价值。布鲁克公司以的生产工艺，专业的AFM领域背景，得天独厚的生产装备，赋予探针制造众多的优势，确保在应用领域中提供完整的AFM解决方案。布鲁克AFM探针制造优势：*Class100级别的无尘室*的设计、制造工序及制造工具*探针设计团队与AFM设备研发团队通力合作，配合紧密*训练有素的生产团队，制造出各种型号的探针*全面的质量管理体系，确保探针性能行业在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，全面的质量测试，和AFM领域的专业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。Doped Diamond这个系列的探针在针尖的一侧涂有可导电的金刚石涂层。由于金刚石的硬度很高，所以涂层也很耐磨。这类探针的典型应用包括：扫描扩散电阻显微镜 (SSRM)，扫描电容显微镜 (SCM)，和隧道/导电原子力显微镜。NameMountDescriptionPackSizeTipRadius(nm) DDESP-10UnmountedDopedDLCCoatedTips,42N/m,320kHz,AlReflectiveCoating1035

AFM配件，原子力探针，AFM探针，原子力探针针尖，显微镜探针针尖，原子力针尖，原子力显微镜探针针尖，接触探针，纳米压痕探针，氮化硅探针，硅探针，热探针，超尖探针，电子探针，显微镜针尖，原子力显微镜针尖，轻巧模式探针，AFM针尖，接触式探针，磁性探针，导电探针，显微镜探针，探针，布鲁克探针，原子力探针，BRUKER PROBE，AFM PROBE，BRUKER探针，原子力显微镜探针，AFM探针，VEECO探针作为一家能够提供AFM/SPM仪器和AFM/SPM探针的企业，布鲁克公司深刻理解每个单独的组件对于一整套性能AFM系统的价值。布鲁克公司以的生产工艺，专业的AFM领域背景，得天独厚的生产装备，赋予探针制造众多的优势，确保在应用领域中提供完整的AFM解决方案。布鲁克AFM探针制造优势：*Class100级别的无尘室*的设计、制造工序及制造工具*探针设计团队与AFM设备研发团队通力合作，配合紧密*训练有素的生产团队，制造出各种型号的探针*全面的质量管理体系，确保探针性能行业在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，全面的质量测试，和AFM领域的专业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。NameMountDescriptionPackSizeTipRadius(nm) MESPUnmountedStandardMFMCoatedTips,2.8N/m,75kHz,Co/CrReflectiveCoating1020

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Doped Diamond这个系列的探针在针尖的一侧涂有可导电的金刚石涂层。由于金刚石的硬度很高，所以涂层也很耐磨。这类探针的典型应用包括：扫描扩散电阻显微镜 (SSRM)，扫描电容显微镜 (SCM)，和隧道/导电原子力显微镜。 NameMountDescriptionPack SizeTip Radius (nm) DDESP-10UnmountedDoped DLC Coated Tips, 42N/m, 320kHz, Al Reflective Coating1035作为一家能够提供AFM/SPM仪器和AFM/SPM探针的企业，布鲁克公司深刻理解每个单独的组件对于一整套性能AFM系统的价值。布鲁克公司以的生产工艺，专业的AFM领域背景，得天独厚的生产装备，赋予探针制造众多的优势，确保在应用领域中提供完整的AFM解决方案。布鲁克AFM探针制造优势：*探针设计团队与AFM设备研发团队通力合作，配合紧密*训练有素的生产团队，制造出各种型号的探针*全面的质量管理体系，确保探针性能行业在实验中，用户所得到的数据取决于探针的质量及探针的重复性。布鲁克的探针具有严格的纳米加工控制，全面的质量测试，和AFM领域的专业背景。所以用户尽可放心，我们的探针不仅为您当前的应用提供所需的结果，同时也能为将来的研究提供参考数据。

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Jandel公司生产的紧凑型四探针探头用于Veeco公司生产的FPP5000和FPP100设备，但是同时也适用于GRQ设备或者取代由Alessi公司生产的矩形探头。 所有jandel公司生产的探头具有非常高的机械精度。通过视频检测系统和光学干涉仪来验证规范探针半径曲率、间矩以及平面性（平面度/平整度），其负荷是通过电子测力计来验证，并且每个探针都通过带有宝石导向针进行上下移动。探针间距1.00mm，1.27mm，1.591mm（针与针之间）公差±10μm探针排列直线或者矩形排列探针头碳化钨/直径d=0.4mm针头材质选择可建议选用50%的锇合金材质半径曲率12.5，25，40，100，150，200，300，500μm缓冲区0.75mm平面度≥±0.025（或更好）针尖压力10g~250g漏电当电压500V时，其两针之间的其电阻为1013Ω

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Eachwave推出的低温砷化镓光电导太赫兹近场探针系列是新一代的高性能光电导型微探针，利用此太赫兹近场探针，样品表面的近场太赫兹电场可被以被空前的分辨率测量，信号质量好，噪声低。这些太赫兹探针可以无缝的与激发波长低于860nm的THz-TDS系统配合使用。THz近场探针提供了一个低成本的解决方案，可将您的THz-TDS升级为高分辨率的近场扫描成像系统。产品特点：— 市场上最小的太赫兹近场探针— 专利设计— 空间分辨率可达3um— 探测频率范围：0-4THz— 适用于所有基于激光的THz系统— 安装可兼容标准的光机械组建— 集成过载保护电路横向场太赫兹近场探针规格参数TeraSpike TD-800-X-HRHRS最小空间分辨率3um20umPC gap size1.5um2um暗电流 @1V 偏置电压光电流1uA0.6uA激发波长700..860mW平均激发功率0.1-4mW接头类型SMP纵向场太赫兹近场探针规格参数TeraSpike TD-800-A-500GN最大空间分辨率8 um8 umPC gap size5 um2 um暗电流 @1V 偏置电压光电流0.5uA0.1 uA激发波长700..860mW平均激发功率0.1-4mW接头类型SMP反射式太赫兹近场探针 反射式太赫兹近场探针是一款收发一体化的太赫兹近场探针产品。探针具有双天线结构，此结构极大的缩短了太赫兹的传输路径，可有效的应用于太赫兹近场时域谱测试以及成像测试系统中。规格参数型号暗电流@1V偏压光电流激发波长平均激发功率链接头TeraSpike TD-800-TR.5 0.5uA700-860nm0.1-4mW2×SMP适用于1550nm波长的太赫兹近场探针规格参数型号脉冲上升时间带宽激发波长激发功率悬臂材料TeraSpike TD-1550-Y-BF0.01-2.5THz700-1600nm0.1-4mWInGaAs(n-type)

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2整体铝合金，上下指南为宝石；2碳化钨探针，具有优良的耐用性；2P.T.F.E绝缘材料，确保最低泄漏；2电子测力，进行针尖压力测量探针间距和针尖半径曲率，光学干涉仪精确测量。技术参数：探针间距0.500，0.635，1.000，1.591mm（20，25，40，62.6mils）公差：±0.01mm探针排列线性或者方形排列；方形排列不可用于紧凑型、微型cartridge以及0.005mm（20mils）间距探针碳化钨材质，0.40mm（0.30mm探针间距小于1.0mm）45o包括角度，磷青铜连接韧带探针其他材质50%锇合金的探针可供选择半径曲率12.5～500μm（0.5～20mil）；抛光在25μm-1mil以上投影0.5mm（20mil）或应客户要求平面性0.025mm（1mil）以上针尖压力方盒型：在每个针上可设置10g/min；（范围用户不可调）圆柱形和紧凑型：用户有三个范围可调低：10～30g中：30～60g高：60～150g管道P.T.F.E.绝缘的4条缆线（圆柱形显示）漏电两针之间的压力500V，电阻为1013ΩJandel四探针探头微型方盒型探头顶部固定螺钉和定位键；塑料外壳。其他部分为标准配件尺寸（mm）：23.6×28×39（L）重量：28g微型方盒型探头带6-32螺丝孔；塑料外壳。其他部分为标准配件尺寸（mm）：23.6×28×37（L）重量：28g圆柱型探头尺寸：Φ=25.4mm，H=48.5mm重量：40g6路连接插口的方型探头尺寸：Φ=25.4mm，H=41mm重量：55g微晶玻璃陶瓷高/低温度探头具有陶瓷纤维管道尺寸（mm）：21×20×48（H）重量：55g铅盒（导线盒）型探头尺寸：Φ=25.4mm，H=40.5mm重量：50g紧凑型探头尺寸（mm）：19×16×37.5（H）重量：18g具有4个针形连接口的cartridge型探头尺寸：Φ=25.4mm，H=40.5mm重量：50g6路连接插口的cartridge型探头带有黑色物镜转换器和1.5mm针投影仅用于CDE ResMap制图系统尺寸：Φ=25.4mm，H=43mm重量：55g圆柱型/电阻率探头（2mm竖直方形排列）尺寸：Φ=25.4mm，H=15.5mm

NameMountDescriptionPack SizeTip Radius (nm) MESPUnmountedStandard MFM Coated Tips, 2.8N/m, 75kHz, Co/Cr Reflective Coating1020探针的指标主要分三个部分，分别对应了基片，微悬臂梁，和针尖三个部分。1. 基片，就是基片的长，宽，高，各种探针的基片尺寸是基本一致的。2. 悬臂梁，分为矩形梁和三角形悬臂梁，他们的长宽厚的几何尺寸决定了悬臂梁的弹性系数和共振频率。而弹性常数K是探针的很重要的一个参数，一般来说，接触模式的探针的弹性常数小于1N/m。轻敲模式的探针的悬臂梁弹性系数从几个N/m到几十个N/m。常用的RTESP的弹性常数是40N/m。3. 针尖，针尖的的几何形状是一个四面体。指标主要有，曲率半径(Tip Radius)，探针高度（Tip Height），对应于四面体的指标，前角（Front Angel），后角（Back Angel），侧角（Side Angel），还有一个是Tip Set Back，对应的是针尖离悬臂梁最末端的水平距离。材质：1. 轻敲探针：一般是单晶硅，型号如RTESP；2. 接触模式探针：材质是SiN，而新型号的SNL接触探针，悬臂梁是SiN，而针尖则Si（曲率半径2nm左右），这种探针可以提供接触模式下的分辨率图；3. 功能探针：如磁力探针（MESP），导电探针，则是在普通的硅探针的基础上再镀上相应的材料。MESP的镀层是Co/Cr，SCM-PIT的镀层是Pt。常用探针型号介绍： 常用探针型号介绍1. 轻敲模式，RTESPA-300，TESP，FESP2. 接触模式，SNL，NP，3. 智能扫描模式：Scanasyst air,ScanAsyst-fluid,ScanAsyst-Fluid+4. 磁力显微镜，MESP-V2,MESP-RC-V25. 静电力显微镜，导电AFM，等电学测量模式，DDESP，SCM-PIT，SCM-PIC等。6. 其他特殊功能探针。如金刚石探针，大长径比探针。

Omniprobe公司提供扫描电子和离子束显微镜纳米实验设备，处于行业领先水平。钨探针针尖由Omniprobe公司生产，包括 AutoProbe? 200, AutoProbe? AutoProbe? 250, 300, Short-Cut?, OmniGIS? 和 SST? 400-1 。l 钨/镍探针针尖Tungsten /Nickel Probe Tips常规设计，镍管柄、钨尖，钨尖尺寸：半径0.5um，13o锥角。使用寿命长。货号产品名称规格75960-01钨/镍探针针尖Tungsten/Nickel Probe Tip10/bxl 钨探针针尖Tungsten Probe Tips常规设计，钨尖尺寸：半径0.5um，13o锥角。使用寿命长。货号产品名称规格75960-02钨探针针尖All Tungsten Probe Tip10/bxl 原位探针针尖In-Situ Probe Tips常规的钨针尖，不锈钢柄，适合AutoProbe? 300、原位探针针尖更换系统和Short-Cut? 。钨尖尺寸：半径0.5um，8-10o锥角。 货号产品名称规格75960-03原位探针针尖In-Situ Probe Tip10/bxl Xtreme Access ?” 钨探针针尖 Tungsten Probe Tips常规设计，钨尖尺寸：半径小于0.5um，13o锥角。使用寿命长。货号产品名称规格75960-04XA ?” 钨探针针尖 Tungsten Probe Tip10/bxl Autoprobe 250钨探针针尖Tungsten Probe Tips常规设计，钨尖尺寸：半径小于0.5um，6o锥角。使用寿命长。（兼容Short-Cut?）货号产品名称规格75960-05AP250钨探针针尖 Tungsten Probe Tip10/bxl Xtreme Access Short-Cut? Probe Tips常规设计，钨尖尺寸：半径小于0.5um，6o锥角。使用寿命长。（兼容Short-Cut?）货号产品名称规格75960-06XA Short Cut Tungsten Probe Tip10/bxl XA探针针尖夹持器 Probe Point Holder适合 ?”钨探针针尖，, #75960-04 和 #75960-06. 货号产品名称规格75961-10 XA探针针尖夹持器 Probe Point Holder个l AP250 探针针尖夹持器Probe Tip HolderAutoProbe? 250探针针尖夹持器适合的钨针尖是75960-05.兼容 Short-Cut?。货号产品名称规格75961-105AP250 探针针尖夹持器Probe Tip Holder个

Jandel公司生产的cartridge型四探针探头可用在客户已有的设备,一些vekko设备上。所有jandel公司生产的探头具有非常高的机械精度。通过视频检测系统和光学干涉仪来验证规范探针半径曲率、间距以及平面性（平面度/平整度）,其负荷是通过电子测力计来验证。并且每个探针都通过带有宝石导向针进行上下移动。探针间距0.500mm，0.635mm，1.00mm，1.270mm，1.591mm（针与针之间）公差±10μm排列线性或者方形排列探针头碳化钨/直径d=0.4mm针头材质选择50%的锇合金材质可供选择针尖半径曲率12.5，25，40，100，150，200，300，500μm缓冲区0.5mm平面度≥±0.025（或更好）针尖压力10g～250g漏电当电压500V时，其两针之间的电阻为1013Ω

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主要特征：由于下降速度的控制可高度重复针头的接触条件，可在控制器上单独控制针尖压力。运动针制导系统使用精密红宝石球探针和抛光碳化钨实心针，具有精确的圆角针间距精度±0.01mm，无侧隙。探针在原位制导设备中进行更改和改变，不用担心乱序或者精度值下降，或在指导单位下完成探针的更换。千分尺控制片位移来测定余斜面片的电阻率梯度和连接点钢铰链式盖板，在测量过程中消除光电干扰。速度控制：空气阻尼器控制探针下降速度，从而保证了每次探针测量的接触条件相同。弹簧是用于升降杆，倾向于降低针头。该阻尼器与杆相连接，导致杆被活塞延缓升降速度。技术指标探针材质碳化钨，Φ=0.5mm，L=26mm，450夹角，针尖曲率R=25μm（大到500μm）探针间距1.00mm，1.27mm，1.59mm，公差±0.01mm行程4mm针尖绝缘电阻500V时，2*105Ω针尖压力0~100g（通过特别的张力计可调）待测样品薄片，Φ≤76mm安装表球轴承坐标表0~25mm*0.01mm螺纹千分尺（其他可供预定）带有旋转工作台Φ=76mm，H=14mm真空切片适配器包装尺寸480mm*320mm*320mm（H）净重7kg毛重9kg

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