便携质谱分析仪

APIX超高纯电子气质谱分析仪 结合了工艺先进的电子电路和功能强大的过程分析软件的、性能卓越 的大气压离子化质谱仪 (API-MS)使得 Thermo Scientific APIX 生产线提供的分析仪系统成为半导体和电子工业大宗气体连续质量控制的选择。 API-MS 为传统质量控制技术提供了一个成本-效益的替代方案，允许每种大宗气体中一系列潜在污染物浓度监测能够达到很低的测量下限；相较于其他技术，甚至能够优于100倍。 APIX产品线提供了更多完整的杂质分析，包括： H2、CO、CO2、H2O、O2、CH4 、Kr和 Xe ，以及其他需要测量的杂质。随着 300 mm 晶圆生产者发布更严格污染物控制气体质量标准，这种技术将持续的成为ppt级杂质测量下限的首选技术。 特点： 快速在线测量（典型＜5秒）确保 了立即响应供气的波动状况 完全集成的多分析器分析方案提 供了污染物的快速检测 超高的灵敏度和10ppm的测量下限满足当下以及未来的严格的气体分析要求 备份能力在单个大气压离子化分 析器（API）在维护时，允许每 一台大气压离子化质谱仪（APIMS）支持多流路分析 针对于工厂控制和数据集中的标准 化工业通讯协议 (OPC, DDE, Modbus, Siemens 3964R, PROFIBUS, 等等)应用 超高纯氮气（UHP N2） 超高纯氩气（UHP Ar） 超高纯氦气（UHP He） 超高纯氢气（UHP H2） 运行原理APIX δQ 和APIX Quattro 采用阳离子大气压离子化质谱仪 （ API-MS）技术, 该技术被电子工业广泛用于检测超纯气体中的污染物。进样时，样气以大气压或略高于大气压的压力进入离子源。 金属针设置在靠近由孔板行成的通向棱镜组的入口附近。它带有高的电压，能够产生电晕放电。这就产生了从孔板到针头的电子流。电子与离子源中 大量样气发生反应，从而导致大量样气气体分子的电离。 幸运的是，相对于氮气、氢气、氦气和氩气而言，这些出现在样气中浓度很低的污染物需要很少的能量就可以产生 电离。正是因为如此，任何污染物分子出现在样气中，它们与样气离子发生反应的几率就非常高。 这种反应发生时，电荷转移至污染物气体分子，这就形成了再次电离。 这个电荷转移导致非常高比例的污染物气体分子被电离。 事实上，这个效率比其他使用真空腔电离技术的质谱仪， 其效率要高1000倍。 部份样品、完全电离的污染物，经过一系列的减压透镜后，进入三重四级杆质谱仪。一个测量质量数达到300道尔顿（原子质量单位）三重四级杆能够确保实现所有污染物的精确测量。脉冲计数放大器的噪声等级仅为10个脉冲，每106个脉冲, 与大气压离子源配合后, 能够确保12数量级的测量下限，它可以低1012之一 (即1 ppt). 配置：APIX δQ的标准配置为一个单一机箱，它里面配置了1个大气压离子化质谱仪（API-MS）和 一个Air Liquide 气体处理单元，它能够用于ppb或ppt级自动校准。标准机箱是为 相对空气洁净且有温度控制的环境而配置；如果需要，一定数量的冷却降温和吹扫选项也可以满足更多环境需求。 APIX Quattro 标准配置使用了三个机箱，两个配置了4 个大气压离子化质谱仪（API-MS）独立机箱，和第三个装有一个Air Liquide 气体处理单元机箱。 四个质谱仪中的每一个都安装在滑轨上，以便向前拖出，便于维护。 顶部安装的机箱盖包含流路切换阀组， 用于采样气体连接。它允许多个流路连接到每个独立的 散装气体分析器。这种流路选择可以是手动或完全自动完成。每一个大气压离子化质谱仪（ API-MS ）都是独立的，并且都具备多流路切换功能。当一台质谱仪进行年度固定维护时，可以使用其余三台质谱仪监测四个散装气体。 在这两种配置的机箱盖组件包含一个氢安全系统，以确保质谱仪在氢气泄漏时安全关闭。这个安全设备使用独立于质谱仪供电。如果需要有限的机动性，可以提供一组车轮，使该质谱仪能够安全地从一个测试点推送到另一个测试点。 每一个质谱仪通过使用后备电池闪存、运行实时的操作系统的处理器控制。这个处理器作为一系列内部控制器的主人，它们之间的通过以太电缆实现互联。 这些微处理器中的每一个都能作为一个独立部件单独运行，例如气体处理器和多流路进样系统。气体处理器仅需要一个单独的校准气瓶并结合了来自渗透管装置的湿度校准。 内部配电装置通过内部分析仪网络进行监测和控制。 这一设计拓展了 GasWorks 软件的诊断能力。每一个多处理器网络提供了冗余的通讯渠道，允许质谱仪可靠、不需要电脑工作站独立运行，直接传送样品流路数据和诊断信息至DCS或SCADA系统。每一个通讯渠道都可被配置为点对点的 光纤通讯或是硬接线的电流回路、多点连接 。每个分析器都可以配置一个嵌入式opc服务器，与 Microsoft 主机或多种工艺网关协议(Modbus, Siemens, Allen-Bradley, 等.)实现无缝通信 。如果需要质谱仪提供硬接线模拟检测和数字报警输出， OPTO 22 SNAP 和 OPTOMIX 协议将被完全支持，一系列硬件卡件能够使用。 Thermo Scientific GasWorks 软件 Thermo Scientific GasWorks 软件包为质谱仪操作提供了一个直观的、信息丰富且灵活的窗口。使用安装了Gasworks软件的一台电脑可以完成初始设置，过程数据和诊断信息的显示。我们也可以断开电脑与APIX的连接；APIX能够脱离与电脑的连接而独立运行于无人值守模式。 从设计概念到数代产品，完全认可的ISO 9001质量程序得到了软件团队的严格执行。 软件安装可以随时检查，以确保其可验证的完整性和正确性。软件更新可以远程上传。 技术参数测量方式APIX δQ: 1x 三重四级杆质谱分析器 APIX Quattro: 4x 三重四级杆质谱分析器质量范围1-300 AMU离子源类型大气压离子化离子源背景＜1 ppt放大器和动态测量范围100 MHz脉冲计数型检测器脉冲计数通道电子倍增器检测噪声每106 有10个数检测下限 10 ppt (根据组份变化)分析时间（典型） 1s每个组份流路切换时间（典型）15分钟至 1 ppb适合的大宗气体H2 , N2 , Ar, He串口连接类型RS232, RS422, RS485检测的污染物H02 , He, CO, CO2 , O2 , CH4 , Kr 和 Xe (其他污染物也可检测)外形尺寸APIX δQ: 1.9 m (H) x 0.7 m (W) x 0.65 m (D) APIX Quattro: 1.9 m (H) x 2.1 m (W) x 0.65 m (D)

产品概述EXPEC 3500 便携式GC-MS分析仪是基于气相色谱质谱联用技术（GC-MS）的一款可于现场有机污染物分析的便携式仪器。EXPEC 3500 可装备于移动监测车，也可通过肩背或手提方式徒步到达现场进行检测，其可用于现场的大气、水体和土壤中挥发性有机化学污染物（VOCs）和半挥发性有机化学污染物（SVOCs）的快速定性及定量分析。性能优势检测灵敏度高 采用脉冲式内离子源技术，结合吸附热解吸技术，在现场对多数VOCs的检出限都可达1 ppb以下。测量准确度高 具有预抽和反吹功能，预抽的作用是使进样管路中充满样品气体，使得检测结果更加准确；反吹保证测试重复性的同时增加仪器的抗污染能力。便携性能良好 体积小，重量轻，既可以同车辆一同使用，也可以离车由人员携带到车辆无法到达的区域现场使用。抗震性能优异 通过以国军标军用装备实验室环境试验方法为依据的振动测试，质谱真空获得系统通过军用装备冲击试验。软件智能便捷支持一键开机，采样及分析过程向导式操作，全中文数据结果在检测过程中实时显示，定性定量结果智能对照国家标准。仪器维护方便 可实现一键全仪器维护，自动依次完成各个维护步骤。同时具有自动维护功能，可在无人值守的条件下自动进行仪器周期性自检，系统维护等操作。应用领域应急监测，环境监测，职业卫生，公共安全，科学研究产品选型

赛默飞旗下液相色谱LC、气相色谱GC、离子色谱（IC）、质谱（LC-MS/MS、GC-MS/MS、LCHRMS、GCHRMS、IOMS）、痕量元素分析（TEA）和样品前处理系统，是业界领先产品，能为科学分析创造出全新的可能性。主要产品：液相色谱（LC）液质联用（LC-MS/LC-MSMS）高分辨液质离子阱质谱气相色谱（GC）气质联用（GC-MS/GC-MSMS）高分辨气质痕量元素分析产品（AAS, ICP, ICP无机质谱离子色谱（IC）样品前处理设备（SP）水质分析仪（CDD）色谱数据系统（CDS）网络讲堂同位素技术在葡萄酒真伪鉴定和产地溯源中的应用离子色谱在有机化合物分析中的应用研究赛默飞三重四极气质联用仪在疾控领域中的应用赛默飞CSR(大体积进样技术)和NCI（负离子化学电离技术）在电子电器产品有害化合物分析中的应用赛默飞液相色谱柱在制药领域中的应用赛默飞2015版《国家药包材标准》色谱、光谱及元素分析解决方案赛默飞iCAP RQ ICP-MS新产品介绍及最新应用进展赛默飞色谱、光谱对食品中有毒有害物质分析应用更多信息：请访问赛默飞色谱与质谱分析的展台，展位号：SH100244。或使用域名登陆：http://www.instrument.com.cn/netshow/SH100244/

产品概述　　Mars-400 Plus便携式气相色谱-质谱联用仪（Gas Chromatography-Mass Spectrometry, GC-MS）是一款使用内置的电池和载气，由单人携带操作，能在环境恶劣的事故现场进行准确定性定量分析的分析仪器。该仪器将低热容气相色谱技术与离子阱质谱技术有机结合，充分发挥了快速气相色谱法的分析速度快，分离效率高和质谱法定性能力强、检测灵敏度高的优势，能够及时快速地对事故现场的有机污染物进行准确定性和定量检测，主要应用于环境空气、水体、土壤和固体废弃物中挥发性和部分半挥发性有机物的现场分析。产品特点　　现场分析对仪器的综合性能提出了苛刻的要求。作为一款先进的便携式GC-MS，Mars-400 Plus 不仅稳定可靠，环境适应性强，而且其在分析速度、检测灵敏度、样品引入方式、可携带性等方面具有显著的技术优势：　　分析速度快：采用了快速气相色谱技术和离子阱质谱高速扫描模式相结合的方式，使分析周期缩短到常规色谱的20%以下，从而使分析效率较之常规气相色谱技术有了5 倍以上的提高；　　检测灵敏度高：采用三维离子阱作为Mars-400 Plus 的质量分析器，并开发了一种专利的脉冲式内离子源技术，提高了系统对低浓度组分的响应，满足现场对于痕量样品的高灵敏度检测要求；　　测量手段灵活：仪器内置分流进样口，并配置气体采样探头、顶空进样系统，实现气、液、固三种形态的环境样品检测。手持气体采样探头用于现场气体样品的采样；顶空进样系统用于现场水体、土壤中挥发性有机物分析，具有静态顶空和动态吹扫两种采样模式；通过分流进样口可以实现固相微萃取（SPME）进样或直接微量液体进样，SPME 进样可用于水体、溶解固体样品中挥发性和半挥发性有机物采样与进样，能够富集目标物质，去除基质干扰，有效提高检测灵敏度；使用微量注射器可以对有机溶剂进行直接进样分析；使用气体密封注射器能够对污染源排放的高浓度VOCs直接进样分析，快速获得分析结果；　　便携性能优异：仪器通过集成技术研究、整机小型化和抗震设计，使仪器主机的重量小于19 kg，能通过单人随身携带第一时间抵达事故现场；　　操作简便：仪器的分析软件将样品分析流程中的基本操作转化为智能化“向导式”操作模式，采用图形化操作界面，使用触摸液晶屏进行人机交互，降低了现场操作的复杂度。丰富的前处理设备和样品引入配件典型用户　　环境监测站、石油石化公司、安监局、疾控中心（CDC）、防化院典型应用点　　环境监测、石油化工、职业健康、公安刑侦、防化反恐产品获奖BCEIA金奖 自主创新金奖2010科学仪器优秀新产品中国创新设计红星奖荣誉证书

产品概述 Mars-400系列产品将低热容气相色谱技术与离子阱质谱技术完美结合，充分发挥了前者在混合物分离、准确定量和后者在定性检测、结构分析方面的优势，成为应急监测领域中不可或缺的分析利器。产品特点1.便携 高集成度和模块化的设计理念使Mars-400的主机大小跟一台投影仪相当，可以手提、肩背、车载等多种携带方式，是一款真正意义上可随身携带的便携式分析仪。2.操作简便 采用方便现场使用的触摸屏技术，所有操作通过指尖完成；图形化界面便于用户快速学习和掌握；用户根据向导提示选择仪器内置的常见化合物分析方法就可轻松完成整个分析过程。3.速度快 Mars-400采用的低热容气相色谱技术（LTM-GC）可提供比传统柱箱加热方式更快的升温/降温速度，使仪器的单次分析周期缩短至十几分钟，从而大大加快了现场应急反应速度。4.进样方式多样 支持热插拔的伴热采样探头、顶空/吹扫捕集、固相微萃取（SPME）、液体直接进样等多种进样方式，满足应急的现场的检测需求。5.检测范围广、检测能力强 宽质量轴范围覆盖大部分挥发性有机物（VOC）和半挥发性有机物（SVOC），轻松应对更高的检测需求。典型用户 疾控中心（CDC）、环境监测站、安监局、防化院典型应用点 环境监测、职业健康、食品安全、防化反恐产品获奖BCEIA金奖自主创新金奖2010科学仪器优秀新产品中国创新设计红星奖

仪器原理 大气中的挥发性有机物样品，具有组成复杂、含量低、活性强、浓度和化学活性差异大等特点，系统通过与Exp-200深冷预处理装置配合使用，结合氢火焰离子化检测器（FID）技术和质谱检测器技术（MSD）进行大气中VOC样品的在线分析监测。 样品经Pre-3000深冷预处理装置除水、富集浓缩后，通过直热式高温热脱附，被快速送入至毛细管色谱柱进行分离，分离后的样品，低碳（C2-C5）类VOC样品使用氢火焰离子化检测器（FID）进行检测；高碳（C6-C12）和含氧类VOC样品使用质谱检测器（MSD）进行检测，得到各单一组分准确的定性定量分析结果。 在线色谱-质谱分析仪充分利用了气相色谱的分离技术和质谱检测器的定性检测技术，可有效用于环境大气中复杂多组分VOC样品监测。一次采样可检测100多种各类VOC（碳氢化合物、卤代烃、含氧挥发性有机物）样品。仪器特点 工业标准系统设计，系统可靠性高；断电开机后，系统自动循环运行，维护量低； 低温电制冷技术，仪器体积小，整机采用19”标准机柜设计，安装维护方便； 质谱检测数据自动分析处理，结果直接输出，并传送至分析平台，无需人工计算； GC-FID、GC-MS双系统进行VOC检测，一次可检测100多种各类VOC（碳氢化合物、卤代烃、含氧挥发性有机物）； GC-FID系统使用预分离和阀切换反吹技术，避免高沸点组分进入分析系统，提高色谱柱的使用寿命； 对样品深度除水，解决水汽对色谱柱性能的影响；深冷富集可提高样品富集效率，解决含氧类VOC常温富集效率低、差异大的问题，提高检测灵敏度。应用领域　　环境空气组分分析监测　　环境空气痕量样品监测　　石化化工园区厂界挥发性溶剂及未知物组分分析　　科学研究

赛默飞的质谱仪包括：LC-MS液质联用仪、GC-MS气质联用仪、DFS高分辨率磁式质谱仪、IO-MS同位素质谱仪、GD-MS辉光放电质谱等。赛默飞质谱仪拥有无与伦比的出色性能和易用性，利用这些质谱仪在实验中令人惊讶的表现能力和超高的灵敏度，您能够以更高的速率获得更可靠更丰富的结果。 产品范围：三重四级杆串联液质三重四级杆串联气质高分辨质谱离子阱质谱高分辨磁质谱无机质谱液相和离子源高分辨气质更多信息：请访问赛默飞世尔科技质谱分析的展台，展位号：SH103458。或直接登陆以下网址：http://www.instrument.com.cn/netshow/SH103458/

质谱分析仪 BaySpec的新型微型质谱仪基于专有的线性离子阱技术，具有无与伦比的性能。BaySpec最小的质谱仪Portability系列通过直接大气采样提供痕量检测，而我们的Continuity系列质谱仪则为要求更高的应用提供更高的灵敏度和质量范围。定制化的离子聚焦光学器件与高效传输光学器件的结合使Continuity能够检测几乎所有生成的离子。 采样系统 BaySpec提供可选的TD-ESI源，该源配有一个由金属接种环组成的探针，用于采集微量液体(~ 2 µ L)和/或固体(~20 ng)。我们的TD-ESI能够对几乎任何液体或表面进行采样，而无需进行昂贵而费时的样品制备。为了获得更大的灵活性，BaySpec的微型线性离子阱质量分析仪既可检测正离子，也可检测负离子。系统极性测量模式的切换非常简单。只需点击一个按钮或者在这种情况下轻点屏幕。特征Ø 便携式高灵敏度Ø 蒸汽、液体、固体Ø 环境电离Ø MS/MS分析Ø 无需储气罐或外置泵Ø 无需样品准备Ø 现场分析就绪Ø 实时结果 基本参数模型PortabilityContinuity质量范围m/z = 50 – 600 AMUm/z = 50 – 1200 AMU质量分辨率0.49 amu (FWHM)0.49 amu (FWHM)MS/MS 能力是的是的尺寸14.5 x 13 x 9 英寸15 x 15 x 15.5 英寸重量22磅（10公斤）44磅（20公斤）

价格货期电议在线质谱分析仪热催化分析上海伯东客户某大学采购在线质谱分析仪 Omnistar, 对经过热催化后的气体 CH4, NO, CO2 等气体进行分析. 热催化主要涉及在较低温度 (≤ 523 K) 的加氢反应, 生成 CH4, NO, CO2 等气体. 热催化是催化 CO2 转化最常用的方法之一.在线质谱分析仪使用方法: 在催化反应装置尾气段接入质谱分析仪 Omnistar GSD 350 02, 即可在线实时分析反应产物的种类及特性. 定量分析需要加配对应的标气, 利用氦气作为载体, 在测试前进行标定.若您需要进一步了解详情，请联络上海伯东叶女士

价格货期电议上海伯东客户某研究院采购 Pfeiffer 在线质谱分析仪 Omnistar GSD 350 O1 主要用于催化剂的吸附分析检测.在线质谱分析仪与化学吸附仪联用, 检测催化剂通过化学吸附后的微量的气体产物变化, 来进一步优化催化剂的催化性能. 可研究催化剂的 NH3-TPD, TPR, TPO 等反应, 通过 Omnistar 对吸附后的微量产物做更加清晰的定性和定量分析, 明确反应的机理和反应过程. 伯东质谱分析仪成功协助客户发现新的催化剂的拓扑结构!除此之外, 此客户还计划在后续的研究中, 采用伯东质谱分析仪 GSD 350 直接连接催化反应装置, 通过直接检测反应后的气体产物, 来做催化剂的在线研究和评价.上海伯东德国 Pfeiffer 质谱分析仪 Omnistar 体积小, 重量轻, 一体设计, 易于携带和搬运, 可方便快捷地应用于多个反应之中, 一台即可满足实验室后续的各种研究需求. 具有强大的软件分析功能 PV MassSpec, 提供多种质谱图谱库, 可以准确迅速, 定性定量地识别出检测到的未知产物, 是催化研究中不可或缺的科研仪器之一.在线质谱分析仪 Omnistar GSD 350 01 主要参数质量数1-100 amu最大进气口压力1200 hPa检测极限 100 ppb气体流率1-2 sccm (0 °C)输入模拟5 x, -10 – +10 V, 14 bit | 16 bit不锈钢毛细管长度1m进样加热温度最高200 °C铱灯丝, Y2O32根若您需要进一步的了解在线质谱分析仪 OmniStar, 请联络上海伯东叶女士

在线质谱分析仪与气体分离测试系统联用上海伯东客户某研究院采购在线质谱分析仪 Omnistar 与气体分离测试系统联用进行 CH4, CO, C2H2,CO2 的快速定量分析.在线质谱分析仪使用方法: 质谱分析仪通过毛细管与气体分离测试系统连接, 开始测试前加配对应的标气, 利用氦气作为载体, 在测试前进行标定. 采用 MCD 定量模式分析, 即可快速在线实时分析反应产物的含量.在线质谱分析仪 Omnistar GSD 350 01 主要参数质量数1-100 amu最大进气口压力1200 hPa检测极限 100 ppb气体流率1-2 sccm (0 °C)输入模拟5 x, -10 – +10 V, 14 bit | 16 bit不锈钢毛细管长度1m进样加热温度最高200 °C铱灯丝, Y2O32根鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解在线质谱分析仪, 请联络上海伯东叶女士

EnviroSafe多通道在线质谱分析系统能够实时检测、跟踪和监测有害物质的泄漏和生产工艺的安全问题，无需配置多套复杂的分析仪就能实现低成本、高收益的解决方案。该系统专门为有害物质的实时监测设计，在灵敏度、分析速度、响应时间和报告生成等方面提供了卓越的性能。实时监测几乎任何有害物质的能力使该系统成为工业安全的优秀选择之一，并符合国家和行业的相关标准或法规的要求。该系统安装在一个紧凑的、布局合理的机柜内以节省空间，可以灵活地选择放置该系统的位置。如果需要安装在危险区域，可以选择符合ATEX防爆标准的适用于安全1区的配置版本。该系统可以同时监测多达70个采样点位（可定制），这通常意味着整个工厂或园区可以只用一个系统进行监测。所有的样品点通过采样泵连续进样，确保当选择某一样品点时，“新鲜的”样品可以直接到达质谱分析仪。每个样本点的进样和检测时间是可选择的，并且可以按照预设的顺序进行检测。整个过程通过自动化的无人值守远程操作，也可以集成到工厂或园区的控制系统，检测报告可以自动生成，非常适合许多危险区域的实时监测，包括：氯乙烯/DCM生产和中试装置尿素/氨装置VOCs泄漏环境溶剂监测（如甲苯、苯乙烯、苯等）含氯化合物硫醇和胺气体洗涤器监测封闭/密闭工作场所腐蚀物以及许多其他应用领域 每一采样通路可实时监测多达64个组分，每一组分可以单独控制并设置报警参数，确保整个过程被监测，没有任何遗漏。具有真正的在线监测功能，EnviroSafe提供了一种比传统技术更快、更可靠的分析方法。EnviroSafe系统是基于英国ESS公司多年的现场经验，在为工业安全提供技术应用支持的同时，也验证了其数据的可靠性。EnviroSafe系统代表了工业安全预警监测和工作场所暴露监测中的众多先进技术的选择之一。

Aston™ 质谱分析仪安全地减少设备停机时间预防性维护是良好晶圆厂管理与安全第一的理念支柱. 刻蚀和沉积设备需要定期脱机进行深度清洁和/或打开工艺室进行部件更换. 考虑到沉积或蚀刻工艺设备的每小时折旧和生产损失可能轻易超过 1000美元/小时, 减少设备停机时间是至关重要的. 但是, 考虑到许多工具都有高度腐蚀性的清洁气体或工艺副产物气体, 如 HCl, NF3, HBr, HF, F, Cl, 如何安全地停机维护是一个挑战.问题在打开腔室进行日常维护之前, 需要安全地清除腔室内的工艺副产品或清洁循环中的残留工艺气体, 然而,挑战在于如何确保腔室在打开之前是安全的并且没有有害残留气体. 已知的一个方法, 确保工艺室不含有害残留气体（包括由表面去吸收产生的残留气体）的方法是运行（过长）长压力循环吹扫气体. 在没有计量或反馈的情况下, 吹扫周期需要足够长以确保腔室没有有害物质, 这会导致效率低下, 周期长和设备停机时间长. 由于灵敏度和等离子体可用性的问题, 不能使用常见的计量解决方案, 例如光学发射光谱. 传统的残余气体分析仪在腐蚀性气体环境中工作时面临挑战, 这可能导致电子冲击灯丝在长吹扫周期中腐蚀和故障.上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪减少设备停机时间解决方案Aston 原位质谱仪可以进行快速, 化学特异性原位定量气体分析, 以实现准确和快速的腔室吹扫终点检测. 与典型的基于时间的清洗程序相比, 这可以节省大量的设备停机时间。 由于 Aston™ 质谱分析仪可用于加速泄漏检测和腔室老化到已知良好腔室化学指征, 因此可以实现清洁后的进一步停机.在不需要等离子体的情况下, 每秒可以采集数十个样本, 灵敏度低至 100 PPB（十亿分之几）水平. 除了基于灯丝的电子碰撞电离源外, Aston Plasma 还提供内部等离子电离能力. 双电离源支持较宽的工艺压力范围, 等离子电离允许分析较高压力下的苛刻气体, 而不会出现残留气体分析仪中常见的灯丝腐蚀问题.通过减少设备停机时间和重新调试, 可以在不到 12 个月内实现回报, 此外, Aston™ 质谱分析仪还为现场过程监控和管理提供了价值优势.Aston™ 质谱分析仪是一种具有成本效益的解决方案, 可在日常维护和后续维护后投产调试前实现快速, 安全的腔室清洗. 除了 Aston ™ 在沉积和蚀刻过程控制中提供的过程监控优势外, 还可以通过原位测量灵敏度和速度来显着减少设备停机时间.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

针对生物发酵尾气分析需求，SHP8400PMS过程气体质谱分析仪配置多通道采样系统，高稳定性四级杆质量分析器，耐水、耐氧性双灯丝离子源等进口关键部件。整个仪器精度高、漂移小 、响应快、维护少并且可以实现多个生物反应器发酵尾气实时、连续、精确的全组分气体分析 ，是提供发酵尾气监测的理想工具。详细信息 SHP8400PMS 过程气体质谱分析仪依托多年研发应用经验，以实时、高精度、在线监测多路生物过程气体为目标，配置16通道采样系统，具有指纹谱图库的电子轰击离子源，经典、成熟的四极杆质量分析器，性能稳定，使用寿命长的法拉第检测器等。另有专业设计的发酵尾气预处理系统，保证分析结果准确的同时确保了仪器不受溢罐等特殊情况的伤害。更高的投资回报率◆一台过程质谱多可同时分析15台发酵罐尾气组分，台均投入费用少；◆快速在线气体分析（每个取样点快30秒），准确反映工艺动态，给工艺优化提供强有力支撑；◆高稳定性，3-6个月的标定间隔，可长时间稳定运行；◆全组分分析，自动生成摄氧率（OUR）、二氧化碳释放率（CER）、呼吸商（RQ）等数据和曲线；◆自动化程度高，维护需求少，运营成本低；16通道采样系统◆每一通道均为独立进气和独立排气，彻底摒除通道间干扰◆连续流动式取样，保证气体的实时更新◆可控温的进气管路，有效防止过程气体在采样过程中冷凝全组分气体分析◆SHP8400PMS可实现气体全组分分析，除了提供N 2 、O 2 、C O 2 、A r等无机气体的监测结果，也能实现甲醇、乙醇、甲烷等有机气体的实时分析。高精度流量控制◆仪器内置温度补偿型全自动高精度电子流量控制系统，当样气状态改变时，自动进行流量调节，避免了样气压力、温度波动对数据准确性的影响，保证长期连续监测过程中数据的一致性。高稳定质量分析◆72小时内质量轴偏差优于0.1am u，是连续稳定监测的可靠保证。全中文在线质谱分析工作站◆采用新一代Fluent Ribbon用户界面，在提供丰富信息的同时，降低操作难度，易于用户掌握。质谱仪在线监控示意图 在线气体前处理系统◆针对生物过程设计的多通道样气在线处理系统，具备除尘、除湿、除泡沫、控温及调压等功能，保证样气的真实快速传输和质谱仪的长期稳定运行。 完美兼容各种发酵控制系统和工艺分析软件◆软件的数据存储格式和内部交换格式均采用通用的工业标准，与其他软件系统完美兼容。 SHP9000PA在线监控及工艺分析软件◆中文软件界面，适用于工业生产以及实验室多参数过程监控，可根据用户工艺流程定制工艺画面，通过实时数据的采集即时掌握整个工艺流程的概况。◆支持各类工业P LC ，数据采集装置以及本公司在线质谱仪等各类在线分析仪器。自动生成摄氧率（OUR）、二氧化碳释放率（CER）、呼吸商（RQ）等数据和曲线，提供趋势图，柱状图等显示监测数据或历史数据，可更直观地对参数进行分析处理，用户可轻易发现参数之间的相关性，同时按要求格式保存输出。◆可输出控制信号，具有报警功能。

EcoSys-P 经过多年的技术创新和市场验证，证明其在很多领域应用的有效性。近些年，随着不同应用对分析仪的要求的提高，EcoSys-P已完成重大的技术和配置升级，并将其便携式的水平进一步提升。系统标配有膜和毛细管进样装置，其中膜进样口配有一个用于环境空气采样的主动循环泵，为大多数VOCs提供低至PPB水平的检测分析。超快速高灵敏度分析使用可选配的大容量采样泵，样品气可从800米以外的地方被抽取。每个采样口的进样响应时间为1s，非常适合实时分析。毛细管进样口是一种响应时间为100ms的超快入口。该入口可实现真正的实时测量，并适合在2m以外进行采样。一种新的离子源设计显著提高了信号背景比，从而降低了背景水平和更高的灵敏度。通过先进的电子设备将以太网连接到笔记本电脑，这意味着EcoSys-P可以连接到网络，也可以使用无线选项进行无线操作。一如既往，EcoSys-P的建造质量达到了非常高的水平，确保为您提供最适宜的便携式仪器。典型应用领域包括：危险区域监测环境监测VOCs无组织排放管道和烟气检测气体洗涤器取样以及许多其他应用领域。EcoSys-P 能够在非常广泛的浓度范围内对几乎任何气体组分进行采样和检测。使用EcoSys-P，您可以实现：同时监测多达64种组分，无论是定量还是定性自动生成可追溯的检测记录，包括时间和日期等自动识别未知因子可远程操控系统可预设报警参数与其它设备互通互联，实现数据实时传输生成的ASCII文件可适用于其它程序（例如Microsoft Excel）实时检出限可达PPB级别EcoSys-P的选件和附件EcoSys-P的设计非常灵活，适用于广泛的应用。考虑到这一点，ESS有几个非常实用的选项，例如：NIST Library Filemaker-此选项收集、整理、排序数据，并将其转换为一种格式，由200000种化合物组成的NIST Library可以读取并用于识别未知成分适用液体样品的探针（液化器）电源组件—多达8小时现场运行车辆适配器套件—允许对电源组充电或为EcoSys-P供电无线调制解调器选项–EcoSys-P可以从无线网络范围内的任何位置远程驱动。GPS定位Ultratrace PPT—如配置一套热脱附，可将VOCs的检测水平降低到万亿分之一（PPT）的水平如需长时间运行，可以预设启动/运行程序（可自定义），并且可以自动化归零、校准和测量等过程，以简化操作。系统还包括一个功能强大的数据审查包，可以快速、轻松地转换为ASCII格式，还包括3D模拟扫描的审查。通过使用放大/光标选项，可以更详细地研究特别感兴趣的区域。

Atonarp 质谱分析仪 Aston™ 半导体 CVD / ALD 应用上海伯东代理日本 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™ 为半导体生产而设计, 作为一个强大的平台, Aston™ 可以取代多种传统工具, 提供半导体制程中 ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实现尾气在线监控, 诊断并在一系列应用中提供更高的控制水平, 适用于光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.Aston™ 质谱分析仪耐受腐蚀性气体和气化污染物冷凝液, 能够在半导体生产遇到的恶劣工况下可靠运行, 与传统质量分析仪相比, 使用 Aston™ 的维修间隔更长. 它包括自清洁功能, 尽可能的清除由于某些工艺中存在的冷凝物沉积而导致的污垢积累.Aston™ 质谱分析仪典型应用: 保护 CVD 工艺免受干泵故障的影响真空泵是半导体加工厂中应用广泛的设备之一. 真空泵对于在真空环境操作下的各种化学气相沉积工艺至关重要, 这些工艺在真空下运行, 以确保在较低的加工温度下获得均匀, 保形的沉积涂层. 干泵通常是惰性且可靠的, 但在苛刻的半导体制造工艺中进行泵送时, 干泵可能会出现意外故障.灾难性故障电介质沉积冷凝液和苛刻的工艺气体 (如 NF3) 可能会导致性能下降或突然失效模式, 包括沉积物突然吸入, 排气堵塞, 沉积导致干泵卡死以及干泵部件的腐蚀退化. 干泵故障通常会对 10片甚至 100片在加工中的晶圆造成不可修复的损坏. 此外, 工具停机和清理可能会导致大量开支和收入损失.CVD 工艺过程中, 已污染的干泵上海伯东 Aston™ 质谱分析仪提供解决方案通过在故障前, 提前更换或使干泵离线, 可以减轻灾难性的真空损失, 从而提高生产线良率.数据驱动干泵故障预测. 通过测量进入 (进气) 和排出 (排气) 干泵的气体的分子类型和质量 (分压), 可以对破坏性腐蚀或沉积物堆积进行建模. 仅气体压力和体积仅部分指示气流的腐蚀性或堵塞性. 至关重要的是流经干泵的气体成分. Aston™ 质谱分析仪通过对干泵暴露在气体浓度下的情况进行建模, 并将模型与实际泵故障相关联, 可以较准确的预测干泵的预期运行寿命.在恶劣的 CVD 环境中, Aston™ 利用可操作的数据预测和预防因 PV-CVD 干泵引起的灾难性故障, 能够对破坏性腐蚀或沉积进行预测建模, 优化氮气吹扫成本.适用场景: 多个腔室连接到 1个干泵, 高浓度的电介质会导致灾难性的泵故障 (一次损失 10-100 片的晶圆)通过使用上海伯东 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™ 可以提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率, 此款质谱仪可以在新工艺腔室的组装过程中进行安装, 也可将其加装到已运行的现有腔室, 可在短时间内实现晶圆更高产量! Atonarp 质谱由统一的软件平台, 光学和质谱技术的突破性创新提供支持, 可提供实时, 可操作, 全面的分子谱分析数据.Atonarp Aston™ 质谱仪半导体行业应用1. 介电蚀刻: Dielectric Etch2. 金属蚀刻: Metal Etch EPD3. CVD 监测: CVD Monitoring4. 腔室清洁 EPD: Chamber Clean EPD5. 腔室指纹: Chamber Fingerprinting6. 腔室匹配: Chamber Matching7. 高纵横比蚀刻: High Aspect Ratio Etch8. 小开口面积 0.3% 蚀刻: Small Open Area 0.3% Etch9. ALD10. ALE若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

便携式质谱仪BaySpec新型线性离子阱质量分析仪重量轻、体积小，是市场上高灵敏度的便携式设备，便携式质谱仪具有ppt水平检测限。所有仪器均配备两个用于低压和大气取样的样品入口。所有BaySpec质谱仪均与实时电离方法兼容，包括电子碰撞（EI）、热脱附（TD）、电喷雾电离（ESI）、大气压化学电离（APCI）以及任何其他环境电离技术，如DART和DESI。这些非常紧凑的仪器便携式质谱仪易于操作和维护，适合各种批量或痕量现场实时检测。便携式质谱仪产品特点：■ 新型离子阱技术 ■ 结构紧凑，重量轻■ 灵敏度高 ■ 质量范围大 50-1200amu■ 兼容多种离子化方法 ■ 进样方便，操作简单便携式质谱仪指标参数：便携式质谱仪应用图例:更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电：上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商，代理品牌均处于相关领域的发展前沿；产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等优质服务。您可以通过我们昊量光电的官方网站了解更多的产品信息，或直接来电咨询。

—来自美国劳伦斯伯克利国家实验室的绿色化学分析技术技术背景 当激光作用于样品表面时，在极短时间内诱导产生含有样品物质的等离子体，等离子体产生的过程中，发射出带有样品元素信息的发射光谱，通过检测这些发射光谱，得到样品的元素信息。这种技术被称为激光诱导击穿光谱技术LIBS（Laser Induced Breakdown Spectroscopy），俗称激光光谱元素分析技术，检测限可达ppm级；随着等离子的冷却，凝结的样品颗粒可输送到ICP-MS，可测量样品中的微量、痕量元素或同位素，检测限可达ppb级。 测量的元素可覆盖元素周期表中的大部分元素，高达100多种。 J200激光质谱联用元素分析仪是美国应用光谱公司APPLIED SPECTRA（ASI公司）融会美国劳伦斯伯克利国家实验室（Lawrence Berkeley National Laboratory）30多年激光化学分析基础理论研究成果推出的全球顶级产品。ASI公司由美国劳伦斯伯克利国家实验室资深科学家 Dr. Rick Russo及其团队成立。Russo博士研究领域包括：激光加热和激光剥蚀过程的机理研究；飞秒激光进样系统；利用激光剥蚀技术提高LIBS及ICP-MS 的化学分析精度；激光超声的无损检测和评估等。Russo 博士共发表学术论文300 多篇，专利22 项。ASI公司在激光应用领域具有世界领先的技术及经验。 系统介绍 J200激光质谱联用元素分析仪创造了激光等离子光谱化学分析技术的新时代，首次将LIBS技术和ICP-MS结合，将检测限提高到ppb级，并可得到样品元素的空间分布图（elements mapping)。目前已广泛用于国际高端和国家级实验室，如美国劳伦斯伯克利国家实验室、美国大克拉曼多犯罪实验室 、巴西圣保罗大学、 美国西北太平洋国家实验室等众多知名机构。 J200激光质谱联用元素分析仪基于激光诱导击穿光谱技术，实现了从氢元素到钚元素几乎全元素的测量，包括H、N、O等轻元素以及卤族等其他传统方法（包括ICP-MS）不能测量的元素。此外，J200激光质谱联用元素分析仪还可将剥蚀出的纳米级固体样品微粒直接送入ICP-MS进行更精确的分析，有效避免酸溶、消解等复杂样品前处理带来的二次污染和可能的误差引入，同时还可以大大提升元素检测限，实现了ppb以下到100%的宽范围测量。 功能 快速检测土壤、植物、中草药、刑侦材料（玻璃、油墨等）、矿石、合金等样品中的： ? 常量元素N, P, K, Ca, Mg, S ? 微量元素Fe, Cu, Mn, Zn, B., Mo, Ni, Cl ? 痕量元素：可检测化学周期表上大部分元素 ? 其他：有机元素C、H、O和轻元素Li、Be、Na等 （其他技术很难同时分析） ? 同位素 （可升级和ICP-MS 联用测量) 应用领域 ? 土壤、植物样品检测 ? 中药元素分析 ? 刑侦微量物证分析 ? 农产品检测 ? 地质矿物分析 ? 煤粉组分检测 ? 重金属污染检测 ? 合金分析 ? 宝石鉴定 ? 材料分析等 工作原理 J200激光质谱联用元素分析仪的固体激光器产生激光作用于样品表面。当激光能量大于样品击穿门槛能量时，在样品表面形成等离子体。这些等离子体中受激光能量激发到达高能态的样品物质在迅速回迁至低能态的过程中，发射出带有样品元素种类、含量信息的发射光谱，这些发射光谱信号被智能信号收集系统收集并传输至光谱仪中进行分光，再由CCD检测器进行检测，得到元素信息。硬件特点 ? J200激光质谱联用元素分析仪可对样品进行全元素快速检测，同时可将固体样品的剥蚀颗粒直接送入ICP-MS 系统，实现ppb级精确分析。弥补了ICP-MS不能测量部分轻元素的缺憾，也有效避免了ICP-MS分析中繁杂的 样品前处理过程及可能引入的二次污染。 ? J200激光质谱联用元素分析仪配置高适连接口，轻松实现与市面上绝大多数主流品牌ICP-MS的联用。 ? J200激光质谱联用元素分析仪配备有固体样品室，还可根据用户需求同时配置气体、液体样品室，并通过设 置可自动切换的光路系统，实现固、液、气体样品室在同一系统中的自动化切换，无需人为拆卸。 ? J200激光质谱联用元素分析仪的硬件采用模块化设计，易于更新。激光器和光谱仪（检测器）可根据样品的 种类及用户的研究目的进行升级，两者均不受外界环境温度影响，无需进行特殊的环境控制，使用寿命长。 ? J200的激光能量和激光光斑大小连续可调，激光脉冲能量稳定一致，可实现样品分层剥蚀（分辨率最小可达 7nm）、夹杂物和微光斑分析（直径最小可达5μm）、元素分布制图、高精度定量等多种分析。 ? J200激光质谱联用元素分析仪采用ASI专利技术：剥蚀导航激光和样品高度自动调整传感器相结合，解决了样 品表面凹凸不平导致剥蚀不均匀的问题；激光能量稳定阀确保到达样品表面的激光能量稳定一致；3-D全自动 操作台。 ? J200具备双摄像系统，分别用于广角成像和放大观察某一样品区域。 软件特点 J200的系统软件能实现对所有硬件组件的控制，能提供多种采样模式，包括直线、曲线、随机点、网格任意大小和自定义采样等，通过设置参数，可在无人值守的条件下自动进行大面积采样。 ASI公司专利的TruLIBS™ 数据库是真正的等离子体发射光谱数据库，与NIST数据库相比，TruLIBS™ 数据库能快速、准确地识别复杂的元素谱线，各种搜索功能，如波长范围、元素种类和等离子体激发态，将搜索时间缩短至几秒。TruLIBS™ 同时允许用户直接上传元素激光诱导特征谱线，进行谱峰的识别和标记。 J200内置的数据分析软件功能强大、分析速度快。能任意选取谱线及背景，自动计算谱线的净强度；计算两个波峰之比；自动计算所有波峰的标准偏差；同步分析所有文件夹及目录下的测量数据。多次采样时，软件自动统计监测LIBS的强度 ，监控信号质量，获得精确的定性和定量分析结果。 数据分析软件具有单变量和多变量校准曲线制定功能，易于完成高精度定量分析。单变量标定曲线对于基质较为简单的样品分析效果较好。多变量标准曲线用于分析基质较为复杂的样品，例如土壤、植物样品等，以减少基质中其它元素对目标元素的影响，提高分析准确性。 此外，J200的数据分析软件还具有PCA、PLS-DA、多参数线性回归等多种化学统计分析功能。可对样品进行快速分类鉴别，并可通过样品某一特定元素的二维或三维分布制图，形象展示样品元素的分布。 产地：美国应用案例1、土壤样品常量和微量元素分析 将不同来源的9个土壤标准样品压片处理，使用ASI公司的J200 激光光谱元素分析系统进行测量，并采用J200内置的专业分析软件对测量结果进行分析。并对分析结果的精确度和分类鉴别能力进行评价。图1为9个土壤标准样品的PCA三维分析结果图。这表示分析结果能良好的判断出这9个样品为不同类型的土壤。采用建立的标准曲线检测21号土壤标准物样品，以此来评价分析的准确度和精度（表1）。 2、植物样品表层及深层元素分布 将植物叶片置于金属元素溶液中至24小时，使用J200 激光光谱元素分析系统对叶片进行扫描，可见植物叶片对重金属元素吸收分布的情况。其中常量元素由LIBS系统直接测出，重金属元素由LA-ICP-MS进行测量。 采用飞秒LA-ICP-MS系统还可以对植物叶片进行深度的剖析。测量叶片内部不同部位的元素变化情况以及特定元素的分布情况。实验使用飞秒激光器，10个脉冲，脉冲1至脉冲10表示叶片的表层至内部。3、大米和糙米样品外壳及内部砷元素的分布图谱 大米是中国、韩国和日本等东亚诸国的主要农作物，大米中砷元素含量超标引发了很多食品安全问题。国际食品法典委员会标准中也明确规定铅含量不得大于0.2mg/kg ，镉含量不得大于0.1mg/kg，但仍然对砷元素含量无规定。为了建立相关标准，韩国科学技术研究院搜集了韩国市场上常见的100种大米和糙米样品，分析其中砷元素的含量及分布作为相关标准制定的科学依据。研究结果表明，砷元素主要分布在糙米和大米样品的表面，并存在砷元素含量明显的向中心递减趋势。结论：砷元素主要分布在大米和糙米的表面，打磨是降低砷元素含量的主要手段。部分文献 欢迎来电索取文献目录OlgaSyta,BarbaraWagner,Ewa Bulska,Dobrochna Zielinska,Grazyna Zo?a Zukowska,Jhanis Gonzalez,RichardRusso.Elemental imaging of heterogeneous inorganic archaeological samples by means of simultaneous laser induced breakdown spectroscopy and lasera blationin ductively coupled plasma masss pectrometry measurements.Kiran Subedi, Tatiana Trejos, Jose Almirall,Department of Chemistry and Biochemistry, Florida International University, Miami, FL 33199, USA.Forensic analysis of printing inks using tandem Laser Induced Breakdown spectroscopy and Laser Ablation Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry万翔宇，王阳恩，熊艳，王绍龙，梅兴安；长江大学物理科学与技术学院, 湖北荆州；《激光杂志》2014年第35卷第4期.激光诱导击穿光谱对水系沉积物的分类及铬元素测定的研究李辉，王阳恩，刘庆，林佳辉，徐大海.长江大学物理与光电工程学院,湖北荆州；分段激光诱导击穿光谱的水稻种子识别Benjamin T.Manard,C.Derrick Quarles Jr,E.Miller Wyliea and Ning Xua.Laser ablation–inductively couple plasma masss pectrometry/laserinduced breakdown spectroscopy:a tandem technique for uranium particle characterizationHerveK.Sanghapi,Jinesh Jain,Alexander Bol' shakov,Christina Lopano,Dustin McIntyre,Richard Russoc.Determination of elemental composition of shalerocks by laser induced breakdown spectroscopy.Chirinos, J. R., Oropeza, D. D., Gonzalez, J., Hou, H., Morey, M., Zorba, V., & Russo, R. E. (2014). Simultaneous 3-Dimensional Elemental Imaging with LIBS and LA-ICP-MS. Journal of Analytical Atomic Spectrometry. doi:10.1039/c4ja00066hChoi, S. H., Kim, J. S., Lee, J. Y., Jeon, J. S., Kim, J. W., Russo, R. E., et al. (2014). Analysis of arsenic in rice grains using ICP-MS and fs LA-ICP-MS. Journal of Analytical Atomic Spectrometry, 29(7), 1233–1237. doi:10.1039/C4JA00069BQuarles, C. D., Gonzalez, J. J., East, L. J., Yoo, J. H., Morey, M., & Russo, R. E. (2014a). Fluorine analysis using Laser Induced Breakdown Spectroscopy (LIBS). Journal of Analytical Atomic Spectrometry, 29(7), 1238–1242. doi:10.1039/C4JA00061GDong, M., Mao, X. L., Gonzalez, J., Lu, J., & Russo, R. E. (2013). Carbon Isotope Separation and Molecular Formation in Laser-Induced Plasmas by Laser Ablation Molecular Isotopic Spectrometry. Atomic Spectroscopy. doi:10.1021/ac303524dHarmon, R. S., Russo, R. E., & Hark, R. R. (2013). GEOLIBS–A Review of the Application of Laser-Induced Breakdown Spectroscopy for Geochemical and Environmental Analysis. Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy. doi:10.1016/j.sab.2013.05.017Piscitelli, V., Gonzalez, J., Mao, X. L., Fernandez, A., & Russo, R. E. (2013). Micro-Crater Laser Induced Breakdown Spectroscopy-an Analytical approach in metals samples.

SHP8400PMS-I 防爆型过程气体质谱分析仪，将前沿的在线质谱分析技术与针对性的行业解决方案相结合，实现过程气体的实时、在线分析。通过多通道采样实现多点监测，提供多组分、多流路同时分析。该款质谱分析仪适用于易燃易爆环境和复杂工况环境下的过程气体多组分同时分析，满足长期不间断在线分析和多路不同样品监测的需求。设备简介： SHP8400PMS-I防爆型在线工业质谱仪可用于危险及复杂工况环境下的气体成分快速在线分析，具有防爆、防水、防尘等防护功能。仪器可实现高精度多组分同时检测，提供精准的定性定量测试，并可与生产反应调控过程关联。高精度流体控制◆仪器内置温度补偿型全自动高精度电子流体控制系统，当样气状态改变时，自动进行流量调节，避免了样气压力、温度波动对数据准确性的影响，保证长期连续监测过程中数据的一致性。高稳定质量分析◆72小时内质量轴偏差优于0.1amu，是连续稳定监测的可靠保证。可靠的长期稳定性◆连续36天监测空气中Ar的含量，大标准偏差优于0.4，满足长期连续监测的实际需要。智能在线监控◆在线监控真空度、气路温度、分子泵状态等系统运行参数，如有异常情况出现，立即报警或停机，大程度保障运行安全。精益管理解决方案降低投资成本◆单台质谱仪轻松取代多台气相色谱仪，不仅降低设备投资费用，减少了占地面积，也节省了分析小屋的成本。◆多个工艺气流的各种气体分析数据由一台质谱仪提供，简化了与控制系统的连接，也更为高效。减少运行成本◆质谱仪运行无需载气、助燃气、色谱柱等，避免了气相色谱仪的高维护成本和气体消耗。 在线质谱分析控制原理示意图

上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪无等离子体设计,可以实现快速, 化学特定的原位定量气体分析, 与光学发射光谱 OES 对比, Aston™ 质谱仪 的 OA% 灵敏度显示为 0.25%, 适用于半导体工艺中蚀刻计量控制, ALD, 3D-NAND 和新兴的堆叠式 DRAM.半导体蚀刻工艺挑战日益增加蚀刻是半导体制造中常用的工艺之一. 介电蚀刻用于形成绝缘结构, 触点和通孔, 多晶硅蚀刻用于在晶体管中创建栅极, 金属蚀刻去除材料以显示电路连接图案并钻穿硬掩模.连续蚀刻铝 Al, 钨, 铜 Cu,钛 Ti 和氮化钛 TiN 等工艺金属具有挑战性, 因为许多金属会形成非挥发性金属卤化物副产品（例如六氯化钨 WCl6）, 这些副产品会重新沉积在蚀刻侧壁上, 导致成品率降低（通过微粒污染或沉积材料导致短路）.随着半导体行业不断缩小关键特征尺寸并采用垂直扩展 (如 3D-NAND 存储器和全环绕栅极先进技术节点), 各种新的蚀刻挑战已经出现. 这些包括在晶圆上蚀刻更小的特征, 高展弦比 HAR 沟槽蚀刻 (具有小的开放面积百分比- OA%), 以及在新兴的非挥发性存储器和高 k介质中蚀刻金属闸极, 稀土金属等新材料. 对于先进的纳米级工艺, 如蚀刻到硅介质和金属薄膜, 选择性处理, 如原子层蚀刻 ALE 一次去除材料的几个原子层. ALE 提供了比传统蚀刻技术更多的控制. 对于 3D-NAND 和先进 DRAM 来说, 向批量生产过渡的重大挑战包括解决导体蚀刻困难的要求, 满足积极的生产斜坡和实现所需的吞吐量, 以推动成本效益.上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪提供高性能, 嵌入式和可靠的原位定量分子气体计量已经成为验证工艺室和持续监测工艺化学过程的关键工具, 确保生产环境中的高产率和更大吞吐量.Aston™ 质谱分析仪提供全腔室解决方案使用上海伯东 Atonarp Aston™ 质谱仪通过实时, 定量和精确的分子传感器来解决半导体新兴蚀刻工艺技术相关的关键挑战. 通过解决传感器耐久性, 灵敏度, 匹配, 系统集成和易用性等方面的挑战, 日本 Atonarp Aston™ 质谱仪升级了传统的气体分析计量方法. Aston 是一种全室解决方案, 用于在各种工艺步骤中实时监测前体, 反应物和副产物.这些包括基准室和过程指证, 腔室清洁, 过程监测 (包括存在腐蚀性气体), 颗粒沉积和气体污染物凝结. 小的占地面积和灵活的通信接口允许在室内安装和集成到过程设备控制系统. 为了集成到半导体工艺工具中, Aston 质谱分析仪的高性能和可靠性设计用于生产晶圆的大批量生产过程控制.Aston™ 质谱分析仪半导体蚀刻计量控制半导体行业正从二维结构的扩展转向复杂三维结构的挑战性要求. 传统的离线晶圆测量已不足以实现性能和良率目标, 原位蚀刻测量传统上缺乏生产所需的鲁棒性和可重复性. Aston™ 质谱分析仪的结构中嵌入了专利技术, 使其具有卓越的分析和操作性能. 为了满足过程控制和跨工厂生产工具匹配的严格要求, Aston 从头开始设计, 高运行时间和低维护的吞吐量, 长期信号稳定性和可重复性.为了承受腐蚀和沉积过程的恶劣环境, Aston™ 引入了两个的功能: 等离子电离和自清洁 (ReGen™模式). 等离子体电离消除了由于与腐蚀性气体(如NF3, CF4, Cl2)的反应而导致的灯丝降解. 此外, 除去(正硅酸四乙酯) TEOS 等颗粒和蒸汽污染物沉积, 同时定期进行室内清洁循环, 延长了 Aston™ 质谱仪的使用寿命. ReGenTM 模式使仪器能够使用高能等离子离子清洗自身, 通过去除在膜沉积过程中可能发生在传感器和腔室壁上的沉积. 结合这两个功能, 传感器的灵敏度可维持在数百个RF(射频)小时的操作. Aston质谱仪支持的基于测量的控制, 有可能延长清洗间隔 MTBC 的平均时间. MTBC 的增加意味着工具可用性和长期吞吐量的增加. 除了等离子电离器(用于工艺), 传感器还配备了传统的电子冲击 EI 灯丝电离器, 用于基线和校准.分子传感器的分析级是使用微米级精密双曲电极的四极杆. 由高度线性射频(RF)电路驱动, Aston 质谱的HyperQuad 传感器在 2到300 amu的质量范围内具有更高的分析性能.Aston™ 质谱分析仪技术参数参数值质量分辨率0.8u质量数稳定性0.1u灵敏度(FC / SEM)5x10-6 / 5x10-4 A/Torr最低可检测的部分压力(FC / SEM)10-9 / 10-11 Torr检测极限10 ppb最大工作压力1X10-3 Torr每 u 停留时间40 ms每u扫描更新率37 ms发射电流0.4 mA发射电流精度0.05 %启动时间5mins离子电流稳定 ±1%浓度的准确性 1%浓度稳定±0.5%电力消耗350w重量13.7kg尺寸400 x 297 x 341mm高展弦比 HAR 3D 蚀刻随着多模式技术和 3D器件结构的出现, 高度密集的蚀刻和沉积过程驱动了计量需求. 3D多层膜栈, 如 NAND 存储架构, 代表复杂的, 具有挑战性的蚀刻过程, 具有关键的蚀刻角度, 统一的通道直径和形状要求, 尽管高蚀刻纵横比通道 100:1 是常见的. 对于 3D-NAND, 关键导体蚀刻过程包括阶梯蚀刻(下图)和用于垂直通道和狭缝的 HAR 掩模打开. 通过硝酸硅和氧化硅交替层蚀刻需要高速定量终点检测. 对于 DRAM, 蚀刻过程包括 HAR 门, HAR 沟槽和金属隐窝. 对于阶梯蚀刻, 关键是在整个 3D堆栈的每个介质膜对的边缘创建等宽的“步骤”, 以形成阶梯形状的结构. 在器件加工过程中, 这些步骤的大量重复要求蚀刻高吞吐量和严格的过程控制.多功能现场气体计量需要在一个工具中执行多种监测功能:• 检测和量化污染, 交叉污染, 气体杂质和工艺室内的工艺化学• 评估已开发的蚀刻过程在生产工具 / 运行的复杂功能上的性能• 测量刻蚀后的清洁 (包括先进的无晶圆自动清洁 WAC) 作为腔条件对于消除工艺漂移和确保可重复性性能是至关重要的• 快速准确的蚀刻端点检测 EPD, 通过等离子体或气体监测, 因为这是一个关键的控制功能. 举例包括一氧化碳 CO 副产物在介电蚀刻中下降或氯 Cl 反应物在多晶硅和金属蚀刻端点上升.• 全面的实时计量数据, 允许过程等离子体和反应物的动态腐蚀控制, 以管理要求的腐蚀剖面Aston™ 质谱分析仪无等离子体终点检测虽然光学发射光谱 OES 已被广泛用于蚀刻 EPD, 但低开放面积 OA 和 HAR 设计的趋势使其在许多蚀刻任务中无效. OES 技术需要等离子体'开'和发光物种. 随着昏暗和远程等离子体越来越多地用于 3D设备和原子水平蚀刻 ALE 工艺, 需要更多敏感的数据和分析技术来实现迅速和确定的 EPD. 此外, 脉冲等离子体通常用于管理 HAR 和 低 OA% 工艺的蚀刻剖面, 这使得 OES 对于 EPD 来说是一个不切实际的解决方案. 在3D 结构中, 多层薄膜和多个接触深度阻碍了每一行触点到达底部时端点的光学发射信号的急剧步进变化其他 OES 限制包括:• 在电介质蚀刻中, 在 OA 5% 的模式上进行 EPD一直具有挑战性, 因为 OES 在低浓度下具有低信噪比.在高压Si深蚀刻(例如博世工艺)中, 要求 OA% 的 EPD低于 0.3%, OES 中较大的背景噪声水平抑制了对发射种数量的任何变化的检测.• 在金属蚀刻中, OA% 可能低于10%, 这取决于所涉及的互连尺寸. 对于接触和通过蚀刻, OA 可以在0.1-0.5%之间或更低, 这取决于所涉及的特征的大小. 在钨 W 蚀刻的情况下, 随着 OA的减小, 氯 Cl 反应物的消耗减少, 由于材料运输到 HAR 蚀刻特征, 蚀刻趋于放缓. 这两个因素都降低了反应气的消耗率. 因此, 由于等离子体中反应物的耗尽, 很难看到在终点处 OES信号的显著变化.Aston™ 质谱仪可以利用蚀刻反应物和 EPD 的副产物. 此外, Aston 能够在小的, 有限体积的传感器上运行周期性清洗, 以保持其性能(灵敏度), 在延长晶圆运行次数的情况下获得更大的正常运行时间. 然而, OES 要求在腔室上有一个需要保持清洁的访问窗口，以获得足够强度的稳定信号。通常，加热石英窗用于减缓工艺产品的堆积. 使用 Aston™质谱分析仪，在低浓度下的检测不受等离子体发射的背景光谱的影响, 也不受射频功率脉冲期间等离子体强度波动的影响.图 3a/3b 显示了 CO+和 SiF3 +的副产物 OA%下降到0.25%的电介质腐蚀EPD数据数据清楚地显示了线性行为和在低浓度下的检测不受等离子体发射的背景光谱影响. Aston 质谱的 ppb 灵敏度是针对 0.1%以下的 OA性能.原子级蚀刻 ALE在三维结构中, ALE 过程中的逐层去除需要脉冲射频电源来控制自由基密度和较低的离子能量, 以减少表面损伤和保持方向性. 在这样的光源中, 等离子体的整体光强较低, 并表现出波动幅度. 通常等离子体离晶圆区很远(距晶圆区25厘米), 而且等离子体激发的副产物很少, 使得光学测量不切实际.在 ALE中, 由于每个周期都是自我限制的, 端点检测可能不那么重要. 然而, 在缺乏气体分析的情况下, 工艺工程师对监测腔室和工艺健康状况“视而不见”, 因为无法看到化学状态, 特别是在工艺步骤 (吸附/净化/反应/净化) 之间过渡时的动态状态, ALE 的自限性并不能使它不受过程漂移的影响. 此外, 由于 ALE 不是基于等离子体的, 因此过程中的化学变化不一定可以通过等离子体监测检测到.有一种误解, 认为 ALE 技术实际上是一次一个原子层 相反, 它们每循环的去除/沉积量可能比单分子膜多一点(或少一点). 由于真空泵性能, 晶圆温度或离子轰击能量 (电压) 的变化分别导致表面饱和度和表面反应性的变化, 工艺移位(Å/周期的变化)可能发生.在 ALE (下图)中,由于等离子体的使用不一致, 化学监测方面的差距就不那么明显了. 在这种情况下, Aston™ 质谱仪具有以下优点:• 在每个工艺步骤中建立一个腔室化学状态的指证. 这可以参照其自身的正常行为, 也可以参照标准腔• 描述和监控与化学变化相关的动态过程中, 从一个步骤过渡到下一个步骤• 监测在 ALE 循环第一步之后从系统中清除吸附物质的时间. 等离子体通常用于产生吸附物质(自由基), 但它是在远离晶圆片的地方产生的• 监测 ALE 循环第二步反应产物的变化. 等离子体光强通常较低, 因为它使用了低占空比的脉冲射频• 监测反应产物和反应物在ALE循环第二步后被净化的时间结论原子级蚀刻只能使用像上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱仪这样的分子传感器进行真正的测量和监测. 它的高灵敏度, 速度和对等离子体强度变化的低敏感性产生可靠的定量测量, 即使在低浓度的反应物和副产物, 具有低于1% 水平的高精度, 可以监测微妙的过程漂移和过程变化效应, 提供了可用于机器学习模型的见解.利用其高扫描速度, 通过监测反应产物减少的时间来实现步进时间优化, 因为它是表面反应活性变化的指示, 增加了总体吞吐量.ALE 是先进的蚀刻技术, 上海伯东 Aston 质谱仪为 ALE 提供了先进的化学计量技术, 可以测量和控制反应及其持续时间, 为大批量生产提供了可靠的解决方案.若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

新一代ID Micro EA桌面同位素比质谱仪彻底打破了质谱设备的使用限定条件。它无需专门的实验室、体积极小，可以安置在桌面上，因此我们称之为桌面质谱仪。桌面质谱仪可以快速对食品真实性（比如蜂蜜掺假）、疾病诊断（比如幽门螺杆菌判别）等进行检测，这有助于人们在气候研究、生物化学、法医学、油气勘探等领域获得新发现。主要特点体积小巧（长70cm，宽30cm，高47cm），占用空间小可插拔可互换的高灵敏度离子源，更换快捷真空泵流速可选：70 L/s 或250 L/s，取决于所需的灵敏度操作简单，使用方便，无需专人进行免维护操作低功耗，低成本性能指标 CO2标气13C内部重现性 ±0.10‰（自然丰度，1个SD） @在质量为44的离子束和强度20纳安下，重复12次注入CO2标气 氮气标气15N内部重复性 ±0.15‰（自然丰度，1个SD） @在质量为28的离子束和强度20纳安下，重复12次注入氮气标气 尿素标样13C重现性 ±0.10‰（自然丰度，1个SD） @5个含有100 μg碳的尿素标样重复测定 尿素标样15N重现性 ±0.2‰（自然丰度，1个SD） @5个含有100 μg碳的尿素标样重复测定 样品分析时间 一个样品为4~5min，取决于元素分析仪 分辨率 质量为29的75系统指标 离子束检测 CNOS三重法拉第收集器 质量分析器构造 14cm RAD，90度 质量分析器磁铁 永久高温稳定磁铁 分辨率 中心收集器 80 真空装置 内置真空泵 低功耗 典型功率240W 尺寸 高47cm，长70cm，宽30cm 重量 45kg 数据系统 包括仪器诊断程序、准备系统控制、分析数据采集和结果显示 软件 全功能软件包：用于质谱仪控制和同位素比值分析 质量保证 通过互联网远程运行，可进行仪器测试，优化性能。

伯东公司授权代理德国普发Pfeiffer吸枪氦质谱检漏仪 ASM 102 S 是专为移动检漏设计的便携式氦质谱检漏仪.设计灵活,方便检漏,可以在任何方向和角度进行检漏. 吸枪便携式氦质谱检漏仪 ASM 102 S优点：便于维护,操作方便吸枪便携式氦检漏仪 重量仅18 kg操作界面多种语言可选（英语,法语,德语）多种电压可选，满足实际需要（200/240V,110/130V）手持遥控器,5M吸枪,可配9cm喷嘴伯东公司根据客户实际需要选型并提供完善的售后服务 吸枪便携式氦质谱检漏仪 ASM 102 S 技术参数：吸枪便携式氦质谱检漏仪ASM 102 S对氦气的最小检测漏率1x10-8 Pa m3/s7.5x10-8 Torr l/s1x10-7 mbar l/s测量范围(氦气)110-7 至 1 mbar l/s前级泵无油干式真空泵检测气体4He操作温度0-45 °C启动时间1.5 min检测模式吸枪检漏重量18 kg吸枪便携式氦质谱检漏仪 ASM 102 S 尺寸图：伯东公司 主要经营产品 德国 Pfeiffer 涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵 应用于各种条件下的 真空测量(真空计, 真空规管) 氦质谱检漏仪；质谱分析仪；真空系统以及 Cryopump 冷凝泵/低温泵, HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源. 若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请登录我们网站或与市场部: 叶女士联系

因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准 残余气体分析仪 Hicube RGA 上海伯东销售维修德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA. 四极杆质谱 PrismaPro 与 HiCube 涡轮分子泵组的搭配, 质量数范围 1-300, 高分辨率和灵敏度. 适用于残余气体分析, 过程监测, 泄漏检测.残余气体分析仪 Hicube RGA 优势残余气体分析和氦气泄漏检测模式可用于从大气压至高真空环境高分辨率和灵敏度通过真空压力监测保护灯丝进气系统带集成式切断阀Pfeiffer 残余气体分析仪 Hicube RGA 技术规格 涡轮分子泵组HiCube&trade Eco功耗170W电压（范围）110 - 240 V 50 / 60 Hz氮气抽速67 l/s前级泵在 50 Hz 时的泵送速度1 m3/h极限真空1X10-7 hPa真空计PKR 361测量范围1X10-9 至 1X103 hPa阀门EVN 116气体流量可调整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s进气口DN 16 ISO-KF PrismaProQMG 250 F1QMG 250 F2QMG 250 F3QMG 250 M1QMG 250 M2QMG 250 M3检测器法拉第 Faraday (F)电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)质量数 amu1–1001–2001–3001–1001–2001–300四极杆直径／长度6 /125 mm最小检测极限 F hPa *1,24X10-135X10-137X10-13---最小检测极限 M hPa *1,2---3X10-154X10-155X10-15对Ar的灵敏度 F A/hPa*35X10-44X10-43X10-45X10-44X10-43X10-4最大工作压力 F hPa5X10-4最大工作压力 M hPa---5X10-55X10-55X10-5对临近质量数的影响*1 10 ppm 20 ppm 50 ppm 10 ppm 20 ppm 50 ppm操作温度 分析200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)操作温度 电子5 – 50 °C烘烤温度 分析300 °C连接法兰DN 40 CF-F保压时间1 ms – 16 s/amu峰比值可重复性± 0.5 %接口以太网电源电压100–240 V AC，50/60 HzHiCube&trade RGA重量25.5 - 26.2 kg 残余气体分析仪 Hicube RGA 典型应用 残余气体分析: 对真空系统中残余气体的分析, 可以获知在达到所需的最终压力或调节要求时, 残余物质的组成. 由此可以得出各种有关系统表面性质, 脱附行为, 纯度和密封性以及工艺气体成分的结论. 这将为您提供有关真空室或真空组件状态的重要信息.泄漏检测: 上海伯东 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA 具有氦气泄漏检测模式, 可以通过软件控制激活. 此功能可以方便您发现真空系统中的任何泄漏.过程监控: HiCube RGA 可以在最大 300u 的测量范围内随时间观察任意数量的选定质量强度, 并可对选定的各质量分配警报循环阈值. 如果它们高于或低于所需极限, 则可以通过数字输出将信号提供给更高级别的控制系统. 因此残余气体分析仪 HiCube RGA 能够提供实时过程观察和控制功能. EVN 116 气体计量阀还可以使真空系统中的压力适应相应过程需求, 此外, 集成式切断阀还允许对泄漏设定点进行快速开/关控制.质量保证和过程优化: 诸如提供气体成分定量测定, 确定过程气体纯度, 以及监测真空镀膜过程相关气体成分等能力, 残余气体分析仪 HiCube RGA 是过程记录和质量保证中的重要工具. 即使测量正在执行, 所有测量值也会得到存储, 并且可以在不停止测量的情况下追踪. 即使仍在执行测量, 也可以导出测量结果以进行进一步分析.若您需要进一步的了解残余气体分析仪详细信息或讨论, 请联络：上海伯东: 叶女士 上海伯东版权所有, 翻拷必究！

Protea公司是一家专注于傅里叶红外气体分析仪和四极杆质谱仪等高端分析仪器研发、生产、销售为一体的高科技公司，总部位于英国伦敦。ProMass系列质谱仪是结构紧凑、坚固的四极杆质谱（QMS）仪，融合了所有新的质谱和真空泵技术。QMS技术是环境空气或过程应用中气体分析的一种有效机制，能够检测和测量几乎所有气体，且检测限值低、响应速度快。 【产品描述】ProMassT便携式质谱仪是一款结构紧凑，设计坚固的便携式四极杆质谱仪（QMS）仪器，采用了新的四极杆和真空泵技术。 ProMassT是用于泄漏测试，环境空气或过程应用中的气体分析的有用分析工具，能够检测和测量几乎所有具有低检测限和快速响应的气体。质谱仪测量样品中分子的质荷比，并通过收集和分析质谱，我们可以识别和量化哪些分子存在。 ProMassT中的QMS包含一个由4个平行圆棒组成的质量过滤器，因此称为四极杆。它具有0-100amu，0-200amu或0-300amu的可变质量范围，适用于便携式或固定式安装。【典型应用】l 半导体生产过程；l 环境空气测量；l 泄漏测试；l 食品行业质量测试；l 合成气分析 – H2, N2, CO2, CO, CH4, H2S；l BTEX 量化；l 呼吸分析。 【特点】l 根据不同的具体应用预置质谱库，单台仪器可以测量几乎所有气体，应用领域十分广泛；l 毛细管直接进样，测量气体简便快捷，无需复杂的制样设备和繁琐的制样过程，即可实现单独测量；l 快速测量，毫秒级响应速度；l 法拉第杯和二次电子倍增器联用，既可快速扫描，又可以精确测量；l 强大的PC端专业质谱分析软件；l 简单易用，无需精通质谱专业知识，即可上手测量。

3D NAND 工艺通过堆叠存储单元, 提供更高的比特密度, 上海伯东日本 Atonarp Aston™ 质谱分析仪适用于先进半导体工艺（如沉积和蚀刻）所需的定量气体分析. 沉积应用中: 实时过程气体监控，以驱动自动化工具调整以实现过程控制, 沉积步骤之间的终点检测, 实现层的化学计量工程 蚀刻应用中: 以 ppb 为单位测量的工艺气体和副产品, 启用端点腔室清洁.3D NAND 工艺概述工艺步骤 堆叠沉积: 交替氧化物（蓝色）和氮化物（绿色）薄膜沉积（每个堆叠 200 对） 通道蚀刻: 沉积硬掩模, 形成开口, 高纵横比通道贯穿所有层（每个晶片1 万亿个孔） 阶梯蚀刻: 字线的接触焊盘是使用产生阶梯结构的受控蚀刻来创建的. ASTON 优势 均匀的厚度对电气性能至关重要. Aston™ 质谱分析仪可实现厚度控制, 层定义和化学计量工程. 高纵横比通道孔需要从上到下完整且均匀, 没有弯曲或扭曲. Aston™ 质谱能够在腔内测量蚀刻反应物. 蚀刻轮廓控制精度（埃）. 蚀刻深度能力（微米）.Aston™ 质谱仪通过动态测量化学物质来实现蚀刻 工艺步骤 狭缝蚀刻: 沉积硬掩模层, 形成硬开口图案, 蚀刻狭缝以分离通道孔列. 这将创建一个存储单元阵列. 字线沉积: 在一些 3D NAND 方案中, 去除氮化物层, 然后使用由内向外的原子层沉积工艺（紫色）创建钨字线. 晶圆上最终 3D NAND 结构的横截面 ASTON优势 Aston™ 质谱仪通过连续测量反应物来实现蚀刻的均匀性和精度. 去除氮化层并填充钨. Aston™ 质谱仪实现了分子水平的控制. 来源: Lam Research: 3D NAND - Key Process Steps (2016) url: https://www.youtube.com/watch?v=hglK1cf3meM Aston™ 质谱仪优势ppb 级灵敏度的高速采样非常适合高纵横比的 3D 结构耐腐蚀性气体, 坚固紧凑易于集成到工具平台中沉积应用中: 实时过程气体监控，以驱动自动化工具调整以实现过程控制, 沉积步骤之间的终点检测, 实现层的化学计量工程蚀刻应用中: 以 ppb 为单位测量的工艺气体和副产品, 启用端点腔室清洁 Atonarp Aston™ 质谱分析仪技术参数类型Impact-300Impact-300DPPlasma-200Plasma-200DPPlasma-300Plasma-300DP型号AST3007AST3006AST3005AST3004AST3003AST3002质量分离四级杆真空系统分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵分子泵分子泵隔膜泵检测器FC /SEM质量范围2-2852-2202-285分辨率0.8±0.2检测限0.1 PPM工作温度15-35“℃功率350 W重量15 kg尺寸299 x 218 x 331 LxWxH(mm)400 x 240 x 325 LxWxH(mm)若您需要进一步的了解 Atonarp Aston™ 在线质谱分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：上海伯东: 罗先生

产品概述EXPEC 3500 便携式GC-MS分析仪是基于气相色谱质谱联用技术（GC-MS）的一款可于现场有机污染物分析的便携式仪器。EXPEC 3500 可装备于移动监测车，也可通过肩背或手提方式徒步到达现场进行检测，其可用于现场的大气、水体和土壤中挥发性有机化学污染物（VOCs）和半挥发性有机化学污染物（SVOCs）的快速定性及定量分析。性能优势检测灵敏度高 采用脉冲式内离子源技术，结合吸附热解吸技术，在现场对多数VOCs的检出限都可达1 ppb以下。测量准确度高 具有预抽和反吹功能，预抽的作用是使进样管路中充满样品气体，使得检测结果更加准确；反吹保证测试重复性的同时增加仪器的抗污染能力。便携性能良好 体积小，重量轻，既可以同车辆一同使用，也可以离车由人员携带到车辆无法到达的区域现场使用。抗震性能优异 通过以国军标军用装备实验室环境试验方法为依据的振动测试，质谱真空获得系统通过军用装备冲击试验。软件智能便捷支持一键开机，采样及分析过程向导式操作，全中文数据结果在检测过程中实时显示，定性定量结果智能对照国家标准。仪器维护方便 可实现一键全仪器维护，自动依次完成各个维护步骤。同时具有自动维护功能，可在无人值守的条件下自动进行仪器周期性自检，系统维护等操作。应用领域应急监测，环境监测，职业卫生，公共安全，科学研究产品选型

LFMSM-2016 ICP-MS水质自动分析仪基于《水质 65种元素的测定 电感耦合等离子体质谱法》（HJ 700-2014）标准设计，以电感耦合等离子体质谱联用仪为检测器，可满足水中66种元素的在线监测要求。适用于地表水、地下水、生活饮用水以及工业废水等水体中重金属和无机元素的检测。产品概述 LFMSM-2016 ICP-MS水质自动分析仪通过控制单元控制系统实现自动取水，自动完成点火、标定、进样、测试、数据上传等功能。针对现有ICP-MS现场应用方面的制约，LFMSM-2016提供可溶性元素分析和元素总量分析两种工作模式。为应对可溶性元素分析，该系统依照HJ 700-2014 《水质 65 种元素的测定 电感耦合等离子体质谱法》可溶性样品要求，设计全自动化0.45μm 过滤方式，完全依照标准运行。整个系统可实现一键可溶性元素分析和元素总量分析（过滤/消解）测试。功能特点01抛弃式过滤完全依照HJ 700-2014可溶性元素预处理要求，首次实现采用0.45μm抛弃式滤带过滤，单个样品采用单独过滤，前后水样之间不存在任何残样稀释或交叉污染情况。同时采水管道中加滤材方式，很好解决历史高浓度水样对后续监测存在长期残留影响；02检测指标多对超标等异常未知元素快速筛查和准确定性定量，应急监测准确、可靠，可对水中铜、锌、硒、砷、汞、镉、铬、铅、铁、锰、钼、钴、铍、硼、锑、镍、钡、钒、钛、铊、银、铝22种元素同时测定，通过扩展可实现66种元素监测。03线性范围宽部分元素低至ppt级别的元素定量下限，以及出色的抗干扰能力，可满足实际应用过程中痕量、超痕量的分析需求。同时匹配的前处理单元可实现在线稀释，满足不同场景监测需求；04分析速度快单次同时实现样品所有重金属元素的检测分析，单次测量时间3min~5min（分析仪完全预热且连续监测时，不含分析仪重新点火后稳定、测试完后熄火系统冷却时间）；05抗干扰力强通过质荷比进行定性，不受基质、色度、浊度等因素干扰，分析软件内置校正方程以及内标校准算法；06全过程监控运行过程，对工作模式、仪器关键部件状态信息、辅助设备信息实时监控，大幅提高了LFMSM-2016系统的无人化操作运行，并获得极佳的稳定性和可靠性。

赛默飞旗下液相色谱LC、气相色谱GC、离子色谱（IC）、质谱（LC-MS/MS、GC-MS/MS、LCHRMS、GCHRMS、IOMS）、痕量元素分析（TEA）和样品前处理系统，是业界领先产品，能为科学分析创造出全新的可能性。主要产品：液相色谱（LC）液质联用（LC-MS/LC-MSMS）高分辨液质离子阱质谱气相色谱（GC）气质联用（GC-MS/GC-MSMS）高分辨气质痕量元素分析产品（AAS, ICP, ICP无机质谱离子色谱（IC）样品前处理设备（SP）水质分析仪（CDD）色谱数据系统（CDS）网络讲堂同位素技术在葡萄酒真伪鉴定和产地溯源中的应用离子色谱在有机化合物分析中的应用研究赛默飞三重四极气质联用仪在疾控领域中的应用赛默飞CSR(大体积进样技术)和NCI（负离子化学电离技术）在电子电器产品有害化合物分析中的应用赛默飞液相色谱柱在制药领域中的应用赛默飞2015版《国家药包材标准》色谱、光谱及元素分析解决方案赛默飞iCAP RQ ICP-MS新产品介绍及最新应用进展赛默飞色谱、光谱对食品中有毒有害物质分析应用更多信息：请访问赛默飞色谱与质谱分析的展台，展位号：SH100244。或使用域名登陆：http://www.instrument.com.cn/netshow/SH100244/

便携式气相色谱-质谱联用仪（GC-MS） EXPEC 3500产品简介谱育科技EXPEC 3500便携式气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）相当于可携带的小型实验室，包括采样、记录、分析，将最灵敏的质谱技术和最先进的色谱技术小型化，可以装备于移动监测车上，也可以通过肩背或手提方式移至汽车无法驶入的现场进行监测。满足现场环境空气、污染源、未知的VOCs和SVOCs快速定性及定量分析。EXPEC 3500便携式GC-MS分析速度快，数据采集时间≤4 min（以分离43种TO-14标气为标准），是常规GC-MS分析效率的4倍；测量手段灵活，通过顶空进样系统、固相微萃取综合前处理仪，实现气体、水质、土壤（或固废）三种形态的环境样品检测；操作简便：采用图形化操作界面，使用触摸液晶屏进行人机交互，降低了现场操作的复杂度。由于这些特点，EXPEC 3500便携式GC-MS适用于复杂恶劣的环境，是环境污染，化学化工原料泄漏，应急突发事件等监测的必备仪器。EXPEC 3500型便携式气相色谱-质谱联用仪便携式气相色谱-质谱联用仪（GC-MS） EXPEC 3500技术原理EXPEC 3500型便携式气相色谱-质谱联用仪（Gas Chromatography-Mass Spectrometry, GC-MS）是一款使用内置电池和载气，能由单人携带操作，在环境恶劣的事故现场进行准确定性定量分析的分析仪器。该仪器将低热容气相色谱技术与离子阱质谱技术有机结合，充分发挥快速气相色谱法的分析速度快，分离效率高联合质谱法定性能力强、检测灵敏度高的优势。采用惰性化定量环/吸附管自动切换技术和专利离子阱自动增益控制等专利新技术，能够根据样品浓度动态调节离子阱内样品离子富集倍数，实现高达7个数量级的动态检测范围。可外接顶空、吹扫捕集等前处理设备，主要应用于环境空气、水体、土壤和固体废弃物中挥发性有机物、半挥发性有机物的现场分析。便携式气相色谱-质谱联用仪（GC-MS） EXPEC 3500技术特点现场分析对仪器的综合性能提出了苛刻的要求。作为一款先进的便携式GC-MS，EXPEC 3500不仅稳定可靠，环境适应性强，而且其在分析速度、检测灵敏度、样品引入方式、可携带性、产品应用领域等方面具有显著的技术优势：（1） 快速色谱-质谱联用技术，分析速度快，≤4 min（TO-14）； （2） 脉冲式内离子源技术，监测灵敏度优异，ppt量级；（3） 应用惰性化定量环/吸附管自动切换技术和专利离子阱自动增益控制技术，动态范围宽，可达7个数量级；（4） 抗震性能优异，国军标GJB150.18A-2009振动测试；（5） 耗材少，仪器性能优，运行成本低；（6） 具有自动维护功能，根据设定的维护周期，自动周期性地完成开启系统、系统维护、进入待机模式等操作步骤（7） 考虑对目标物浓度的适应性要求，EXPEC 3500同时具备定量环进样、气密针进样和吸附热解吸进样三种进样方式，可由软件控制切换，定量环模块、吸附热解吸模块及样品进样全套管路均需经表面惰性化处理，满足现场高低浓度样品的检测需求。（8） 可根据需要配套顶空/吹扫捕集、固相微萃取（SPME）等样品前处理技术，实现气、液、固三种形态的环境样品检测，满足固定污染源、环境空气、水体、土壤等不同分析场景的需要。便携式气相色谱-质谱联用仪（GC-MS） EXPEC 3500性能参数主机性能指标质量范围(18~550) amu进样方式通过软件控制，气体样品能通过吸附热解析进样，定量环进样和气密针进样三种模式；液体或固体样品能通过顶空进样系统或固相微萃取手柄进样，通过有机溶剂萃取后用微量注射器进样。扫描方式具有全扫描（Full Scan）、选择离子监控（SIM）以及二级质谱（MS/MS）全扫描多种方式；进样分流内置分流进样口，可以通过SPME手柄进样、微量注射器或气体密封注射器直接进样灵敏度优于1 ppb动态范围≥107扫描速率10000 amu/s数据采集分析时间≤4 min（以分离TO-14标气为标准）离子源EI源(双灯丝) 检测器电子倍增管质量分析器四极场质量分析器主机重量19 kg防震等级满足GJB150.16A-2009要求自动调谐仪器可以自动对主机进行质量轴校准预抽功能保证每次分析不受到采样管路死体积的影响反吹功能保证每次分析完成后吸附管残留不会影响之后分析工作环境条件电源220VAC±10% / 50HZ或电池供电环境温度0～45℃环境湿度(0%~85%)RH环境压力(86~106)kPa仪器软件数据库NIST 标准谱库自动质谱图解卷积和鉴定系统（AMDIS）美国国立职业安全与健康研究所（NIOSH）数据库中文版环境样品专用谱库中文版化学品安全指导数据库（SIC）中文版环境标准参考数据库便携式气相色谱-质谱联用仪（GC-MS） EXPEC 3500产品优势作为一款先进的便携式GC-MS，EXPEC 3500不仅稳定可靠，环境适应性强，而且其在真、准、全、快、好用、成熟等方面具有显著且独到的技术优势和应用优势，能够满足现场应急分析的各种实际使用需求：（1）真：EXPEC 3500具有二级质谱（MS/MS）功能，能够更好地应对现场基质复杂的成分，有利于未知化合物的准确定性，排除现场各种杂质干扰，可有效保证定性可靠性。同时配置多种数据库，包括美国国家标准技术研究院（NIST）指纹谱库、自动质谱图解卷积和鉴定系统（AMDIS），通过NIST智能谱库的检索算法，保证定性结果的真实性，同时谱育科技在超过十年便携GC-MS丰富的应用经验中，也形成了包含有毒有害数据库在内的多种自建库，并在不断更新完善中，辅助强化设备的定性能力。（2）准：EXPEC 3500采用四极场质量分析器作为便携式质谱的质量分析器，具有优异的抗震性、稳定性与重现性，以及质量稳定性好、精度高、质量范围宽、响应速度快和系统运行功率低等诸多优点。同时谱育科技自主开发了一种专利的脉冲式内离子源技术，使仪器检出限达到ppb及以下量级，满足痕量有毒有害物质的分析需求。另外仪器具有创新性的预抽与反吹功能，可通过预抽功能有效避免系统死体积内残存气体对本次循环分析结果的影响，通过反吹功能清除二氧化碳等干扰气体对定量准确性的影响，这两种技术手段可有效保证仪器抗污染能力及测试结果的准确性。（3）全：EXPEC 3500质量数范围为18-550 amu，覆盖全面，可实现沸点高达300℃有机化合物的现场监测，能够检测的有毒物质因子超过1000种。同时设备具备顶空和固相微萃取等多种进样方式，可进行水、气、土（包括固废）等不同形态样品的检测。最后，考虑对目标物浓度的适应性要求，EXPEC 3500同时具备定量环进样和吸附热解吸进样两种进样方式，可由软件控制切换，能够根据样品浓度动态调节进样方式，实现高达7个数量级的动态检测范围，从容应对突发应急污染（上千ppm量级）、痕量环境空气组分分析（ppb量级）等不同浓度级别的检测需求。（4）快：目前国外主流便携GC-MS产品需要10-15分钟才能完成一个分析过程出数，而EXPEC 3500结合先进的低热容快速气相色谱技术（LTM-FGC），其分析速度比常规色谱技术提高了4倍以上，配合极快的质谱扫描速率，可在数分钟以内完成对有毒有害物质复杂成分的分析监测。部分国外进口GC-MS分析时间在10 min以上，且其直接质谱进样功能只能适用于单一纯品，无法对应急现场成分复杂的基质及组分进行准确分析，表演形式远大于实际应用。相较于此，EXPEC 3500的快速分析兼顾了定性和定量的准确性。（5）好用：EXPEC 3500针对进口便携GC-MS软件操作困难、实际应用难度大等问题进行了专业性的改进设计，软件界面配置全中文的向导式按键操作，让初学者也能够快速上手。其次，设备具有自动维护功能，可通过用户设定的维护周期自动周期性地完成开启系统、系统维护、进入待机模式等操作步骤，为客户大大节省维护过程中监督控制仪器的操作时间，保证质谱仪器性能，随时应对突发犯罪事件。仪器还配置有危化品相关数据库，辅助现场检测人员快速根据检测结果链接相关标准，判断相应物质是否超标，也可查询到该有毒有害物质的理化信息、危害及处置措施，为决策者提供充分管理信息。最后，EXPEC 3500的各种耗材均为原厂生产，价格相对较低，同时真空系统为非消耗型部件，比起进口便携GC-MS需每年更换真空泵（费用为十万元以上），EXPEC 3500可大大为客户节约后续成本。（6）成熟：谱育科技有着成熟的研发和管理体系，尤其是便携气质产品已积累超过12年的开发经验。相较于国外进口设备的技术壁垒，EXPEC 3500背后的整个研发团队拥有产品全部的自主知识产权，能够根据客户的需求，快速进行产品软件硬件升级和新应用的开发，更加适应当前“十四五”对VOCs监测提出的更高要求，有效提升环境管理部门的现场组分监测能力和应对突发环境事故的能力。目前，该设备在国产便携式气相色谱-质谱联用仪市场占据率绝对首位，用户涉及环保、疾控职防、公安消防以及相关应急部门，还包括水利水务、安监和高校科研等领域，市场保有量超过350套，是经历了市场不断考验的成熟产品。谱育科技拥有国内领先的研发技术团队，致力于业界最前沿的各种分析检测技术研究与应用开发，拥有设备全自主知识产权。谱育科技有工程安装及技术人员50余人。公司设有售后服务部门，公司现场服务部、客户服务部、研发部、工程技术支持中心、呼叫中心、客户培训中心和维修测试中心等部门进行全方位的技术支撑。建立健全了服务体系和专业的售后服务团队，配备专属的售后服务装备和人员，为用户提供高质量、高效率的技术服务。通过多种方式（现场、热线电话、传真、E-mail等）为用户提供各类服务；技术服务队伍由专业的技术工程师组成，具备丰富的工程实践经验，制定了整套完整的技术服务制度，保障及时有效解决设备故障问题。便携式气相色谱-质谱联用仪（GC-MS） EXPEC 3500产品配件5.6.1 HS Smart顶空进样系统HS Smart顶空进样系统（HS Smart Headspace System）是用于便携式色谱质谱分析仪样品前处理的一种便携式仪器。该仪器根据顶空分析原理进行设计，通过分析样品基质（液体和固体）上方（顶空，Headspace）的气体成分来测定这些组分在原样品中的含量。HS Smart顶空进样系统主要运用在环境水体、土壤和沉积物中挥发性有机物（VOCs）的检测，同时也可用于其他材料基质（如包装材料）的挥发性有机物的检测。HS Smart顶空进样系统与便携气相色谱-质谱仪联机图5.6.2 固相微萃取综合前处理仪SPME S固相微萃取综合前处理仪可配合便携型气相色谱-质谱联用仪使用，也可配合车载型或实验室型气相色谱-质谱联用仪使用，集成了样品加热搅拌模块与纤维老化模块，可通过此一台仪器完成整个固相微萃取前处理过程，能够对水、土壤、沉积物、包装材料等基质中的挥发性与半挥发性有机物进行分析、检测。SPME S固相微萃取综合前处理仪六、应用领域谱育科技EXPEC 3500便携式气相色谱-质谱联用仪，是基于气相色谱质谱联用技术（GC-MS）的一款可用于环境空气、水质、土壤中挥发性有机污染物分析的便携式仪器，主机内置操作软件，可脱离电脑工作。其可以装备于移动监测车上，也可以通过肩背或手提方式移至汽车无法驶入的现场进行监测，同时亦可用于水以及废气污染源中挥发性和半挥发性有机物的现场定性及定量分析。根据样品基质区分根据检测频率区分根据应用领域区分&bull 空气、无组织废气及有组织废气等气体样品&bull 饮用水、地表水及地下水等水样&bull 土壤样品及固体废物样品检测……&bull 应急监测&bull 常规监测&bull 平战结合……&bull 环境监测&bull 职业卫生&bull 公共安全……6.1 固定污染源VOCs现场检测产品内置惰性化定量环及独有的反吹模式，在对超高浓度VOCs直接进样分析，快速获得分析结果的同时增强仪器的抗污能力，更适合于现场固定污染源废气及应急事故中VOCs监测任务。多家环保单位使用谱育GC-MS产品参与验证VOCs现场检测标准《固定污染源废气 挥发性有机物的测定 便携式气相色谱-质谱法》（征求意见稿），包括北京市环境监测站、上海市环境监测站、天津市环境监测站、杭州市环境监测站等单位。谱育科技EXPEC 3500便携式气质联用仪完全能满足固定污染源标准的检测要求，用于快速现场污染物的筛查。截取自《固定污染源废气 挥发性有机物的测定 便携式气相色谱-质谱法》编制说明现场应用照片6.2 环境空气VOCs现场检测产品利用专利的脉冲式内离子源结合吸附热解吸技术，提高了系统对低浓度组分的响应，搭配热脱附进样系统，满足现场对于微量样品的高灵敏度检测要求，能够现场对环境空气中痕量VOCs物质进行准确的定性定量分析。北京市环境保护监测中心及四川省生态环境监测总站使用谱育科技EXPEC 3500型便携GC-MS分析仪参与HJ1223-2021《环境空气 挥发性有机物的应急测定 便携式气相色谱-质谱法》检测标准的验证。通过方法全过程的验证，EXPEC 3500型便携式GC-MS分析仪完全能满足环境空气中目标组分的测试要求，适用于现场检测标准的要求。截取自《环境空气 挥发性有机物的测定 便携式气相色谱-质谱法》编制说明截取自HJ1223-2021《环境空气 挥发性有机物的应急测定 便携式气相色谱-质谱法》现场应用照片6.3 水体及土壤中VOCs现场检测产品搭配顶空进样系统，通过吹扫-捕集-热解吸-GCMS分析的方式完成样品中VOCs的前处理及检测工作，可于现场对环境水体、土壤和沉积物中的VOCs进行快速准确的定性定量分析。谱育GC-MS产品参与验证水质VOCs的现场检测标准HJ1227-2021《水质 挥发性有机物的应急测定 便携式顶空气相色谱-质谱法》已正式发布，设备内置的定量环和吸附热脱附进样方式，完全能支持复杂基质（水质或土壤）中高浓度或痕量VOCs物质筛查分析。56种VOCs及内标物氟苯与1,2-二氯苯-d4的标准色谱图现场应用照片6.4 水体及土壤中SVOCs现场检测产品配合固相萃取综合前处理仪，针对前处理过程中的关键操作进行优化，简化操作，保证操作的一致性，提高方法重复性，使得环境水体、土壤和沉积物中SVOCs的现场准确定性定量成为可能。水中17中有机氯农药现场应用照片

便携式气相色谱质谱联用仪是基于低热容色谱技术结合小型化四极杆质谱技术的一款分析仪, 采用惰性化电子轰击离子源、小型四极杆质量分析器，快速升温热脱附和低热容气相色谱技术，可装备于移动监测车，也可通过肩背或手提方式徒步到达现场进行检测。产品特点 双电池配置，支持热拔操作；远程控制，无需驻足泄露点；可外接不同类型前处理，支持多种进样；高集成度，体积小巧，无外 挂电/气模块；带预杆的镀金四极杆，更强的抗污染能力；检测物质覆盖气液固类基质中的VOCs/SVOCs；在现场对大多数VOCs的检出限可达1 ppb以下；向导式操作，预存多分析方法，定性定量结果智能定标。应用领域 可用于现场的大气、水体和土壤中挥发性有机化学污染物（VOCs）和半挥发性有机化学污染物（SVOCs）的快速定性及定量分析，是环境监测、消防应急、职业卫生和公共安全等领域的分析利器