便携精密计

便携式精密冷镜露点仪露点测量中需注意的问题：　　露点仪通常在大气环境下存放和使用，由于环境空气中的水分含量极高，可达数千到数万×10-6 V/V（体积分数），从而给露点测量操作造成了很大的困难，使得露点测量结果往往发散性比较大。要使测量数据准确可靠，除了保证便携式精密冷镜露点仪具有良好的性能外，还必须注意下面几个问题：　　（1）气路系统应具有良好的密封性，以防止外界环境空气中的水分渗入气路系统中，影响测量结果；　　（2）如果被测气体将直接排入大气，则应考虑大气中的较高含量水分在浓差作用下向测量系统内部反向扩散的问题。常用的方法为在仪器排放口连接一段适当长度的管子，其长度和管径以不会造成背压，影响测量腔的压力为准；　　（3）测量取样管路应尽量短，并避免在管路上有较多的阀门和接头以避免造成死角，从而减少可能的干扰；　　（4）便携式精密冷镜露点仪所使用的管道和测量腔室应选用憎水性强的材料，不锈钢是较好的选择，其次为聚四氟乙烯、铜和聚乙烯等，应尽量避免使用尼龙或橡胶材质的管道进行露点测量。此外，管道和腔室内壁应尽量保证光洁干净。

SDW-105便携式精密露点仪介绍 SDW-105便携式精密露点仪适用于干燥气体微水检测,被测气体有：H2、SF6、N2、O2、Ar2、CO2、压缩空气等 多种气体的水分测量，SDW-105便携式精密露点仪使用了增益回归，零点自动校准，VAISALA公司提供的露点传感器，构成了整个系统 的核心测量单元，它凝结了露点测量多项最新研究成果和专利技术，从而在低湿或者腐蚀化学物 质气体分子的环境下，露点仪也能准确地测量出 相对湿度，并且计算出对应的露点。在测量高于负60度的露点时露点仪的精度保证在正负2度以内。广泛适用于电力、化工、航空、冶金、医药、食品等行业。 功能特点• 先进的探头保护功能，抗污染、抗干扰。• 自动校准程序确保仪器具有长期稳定性， 克服了几乎所有现场测量的不利因素。• 测量数据实时存储和打印。• 超大尺寸真彩触摸屏。• 独有的超大容量储存功能，数字化的电量显示。• 操作简单、携带方便，抗干扰，重复性好、响应速度快、灵敏度高、稳定性好。• 可选RS232/485信号输出。 技术参数测量范围：(-100～0)℃/(-60～+20)℃ (取决于选定的传感器）露点精度：± 2℃响应时间：63%[90%] 90s/450s分 辨 率：露点0.01℃重 复 性：±0.2℃气体流量：SF6调节在(0.5～0.9)L/minH2调节在(0.1～0.4)L/min压力测量：(0～1)MPa探头保护：不锈钢烧结过滤网储存温度等级：(-40～+70)℃操作环境：温 度：(5～+60)℃湿 度：(0～100)%RH 压 力：(0～10)bar样气流速：无影响其它配置：锂电池，交直流电两用，自动切换， 过充过放保护工作电压： AC / 220V 50HzDC / 11.1V锂 电池外形尺寸：310mm×290mm×280mm重 量 ：6.5kg 注意事项1. 禁止在危险地区开关仪器电源。2. 禁止在危险区域内充电3. 在测量过程中，流量调节针形阀应慢慢打开，防止压力突变，以免压力和流量传感器损坏4. 仪器在使用过程中，当电量指示不足时，应及时充电5. 连接通信电缆时，切勿带电操作，需将仪器和电脑关闭，否则容易损坏通信接口。创新点：SDW-105便携式精密露点仪适用于干燥气体微水检测,被测气体有：H2、SF6、N2、O2、Ar2、CO2、压缩空气等 多种气体的水分测量，SDW-105便携式精密露点仪使用了增益回归，零点自动校准，VAISALA公司提供的露点传感器，构成了整个系统 的核心测量单元，它凝结了露点测量多项最新研究成果和专利技术，从而在低湿或者腐蚀化学物 质气体分子的环境下，露点仪也能准确地测量出 相对湿度，并且计算出对应的露点。在测量高于负60度的露点时露点仪的精度保证在正负2度以内。广泛适用于电力、化工、航空、冶金、医药、食品等行业。

便携式精密冷镜露点仪SDW-106介绍 便携式精密冷镜露点仪SDW-106是采用光电检测技术，将不同水份含量的气体在不同温度下的镜面上会结露，检测出露层并测量结露时的温度，直接显示露点。广泛应用于气象、电力、冶金、石化、电子、纺织、医药、食品、空调、航空航天等领域，对氮 气，四氟化硫气体露点测量。 功能特点 • 测量精度高，分辨率0.01℃，最佳的测量重复性0.1℃。• 采用四级制冷技术，制冷能力强，可达到 -60℃。• 采用液晶屏显示，可以显示露点温度、 μl/L值、平衡过程曲线、气体流量等参数， 操作方便。• 具有智能判断和故障自诊断提醒功能，如气体流量不合适、光能量偏低、测量结果未到达平衡报警等。• 采用帕尔帖致冷，风冷散热，体积小巧。• 采用耐腐蚀管路，可测量腐蚀性气体。• 采用数字模糊控制技术，平衡稳定时间短，测量只需要3～5分钟。 技术参数测量范围： (0 ～ -60) ℃ （环境温度10℃）分 辨 率： 0.01℃精度： 0.2 ℃平衡时间： 3～5分钟气体流量：（15～60）L/h气体压力： 10mbar～10bar（1kPa～1MPa）显示： 彩色液晶显示环境温度：(-20 ～ +50)℃ 环境湿度： 最大90%相对湿度，无凝结电源电压： AC 220V±10% 50Hz±10%功率：≤ 70W外形尺寸： 320mm×300mm×190mm重量： 7kg 注意事项1. 测量前最好用高纯氮气吹扫15分钟，此时调节流量调节阀在30L/h以保证后续测量准确度。2. 测量前在 “设置”界面查看“光能量”栏， 显示在（99 ~100 ）区间内。 创新点： 便携式精密冷镜露点仪SDW-106是采用光电检测技术，将不同水份含量的气体在不同温度下的镜面上会结露，检测出露层并测量结露时的温度，直接显示露点。广泛应用于气象、电力、冶金、石化、电子、纺织、医药、食品、空调、航空航天等领域，对氮 气，四氟化硫气体露点测量。 功能特点 • 测量精度高，分辨率0.01℃，最佳的测量重复性0.1℃。• 采用四级制冷技术，制冷能力强，可达到 -60℃。• 采用液晶屏显示，可以显示露点温度、 μ l/L值、平衡过程曲线、气体流量等参数， 操作方便。• 具有智能判断和故障自诊断提醒功能，如气体流量不合适、光能量偏低、测量结果未到达平衡报警等。• 采用帕尔帖致冷，风冷散热，体积小巧。• 采用耐腐蚀管路，可测量腐蚀性气体。• 采用数字模糊控制技术，平衡稳定时间短，测量只需要3～5分钟。

2024年4月8日，第35届中国制冷展在北京中国国际展览中心（顺义馆）拉开帷幕。GTI吉泰精密携通风测试领域测量解决方案及一系列重磅新品设备亮相W2G47展位。现场图片展会首日，GTI吉泰精密展位吸引了众多观众驻足参观。工作人员热情接待纷至沓来的观众，向到访客户介绍公司的专业设备及解决方案，凭借深厚的行业知识和丰富的实际经验，赢得了客户的高度认可与赞扬。展出产品包括管道漏风量测试机、风量罩、超小型微差压数显表、手持式微差压计、面风速仪、叶轮风速仪等通风测试领域所需设备。设备展示管道漏风量测试机主要用于空调风管、消防风管及密闭空间的漏风量测试，可对分段管道和整个系统安装后的总管道进行检测，保证空调系统的工作效率，避免能源浪费。风量罩是集风量测试、风速测试、微差压测试于一体的智能型测试仪器，其广泛适用于空调、管道等场所的风速风量测试，并且可以进行高精度的微差压测试。差压类传感器两种设计紧凑的超小型微差压数显表采用耐高压的微型硅电阻传感器及先进的数字化技术，实现高度灵敏和可靠的差压测试。安装方便、段码LCD显示、读数清晰准确，具有模拟输出及开关功能。面风速仪GTI620-DP Grid是一款可以同时测量风速、风量、压差的便携式测试仪器,采用16个点位同时测试，能够实时计算出平均数值并显示，该仪器可实现多种测量模式切换以满足不同应用需求，配有触摸液晶屏，方便操作，支持数据记录、存储和导出，可通过APP与计算机进行数据传输和分析，也可以连接蓝牙打印机进行实时数据打印，方便数据记录与存储。GTI 115 是一款测量精度高、性能稳定、操作简单，用于非腐蚀气体的手持式微差压测试仪。适用于测量气体的正压，负压及差压，是医院，洁净室，实验室，暖通空调，壁挂炉燃气压力测试或标定压力的理想仪器。连接皮托管可测风速、风量。具有数据存储功能和导出功能，更加方便用户使用。GTI 600是一款手持式叶轮风速仪，可更换大、中、小三种叶轮式传感器，广泛应用于精确测试散流器、格栅出风口和过滤器等不均匀分布的风速、温度并计算风量。展会进行时 精彩在继续本次展会将持续至4月10日GTI吉泰精密展位：W2G47期待您的莅临！

我与国产仪器的那些事儿 ——呼出气体酒精检测仪南京市计量监督检测院 焦欣宇 210000随着我国科技水平的不断进步，国产仪器已经被广大用户认可。我来自南京市计量监督检测院交通安全部，主要从事酒检仪的检定工作。酒检仪是用于检测人体呼出气体中酒精含量的计量器具。近年来，民生安全越来越被重视，酒检仪不仅作为交通管理部门检查酒驾行为的工具，还在越来越多的工作单位用作上岗前的例行检查。所以这一块的业务量越来越大，我所使用的气液两用酒检仪检定装置是中科环仪计量技术有限公司自主研发的国产检定装置，操作简单，快捷。其原理是利用饱和与质量流量动态配气法，其提供的乙醇气体浓度均直接溯源到国家一级标准物质，更加科学严谨的应用于酒检仪的检定工作。相比以往的酒检仪检定过程因为需要消耗大量的乙醇气体要不断更换气瓶要方便的多，使用过程中呼气稳定。不得不佩服的是国产仪器本着从我们实际需要的出发，操作也非常人性化。国产仪器在操作规程上通俗易懂，便于理解。除此之外，在每次需要设备计量检定时，装置体积小，送检也很方便。由于本单位这块业务量大，每次都能在两天左右及时完成检定工作，基本是不会耽误到正常工作的。在日常的检定工作中，我们的计量器具基本已经全部国产化。还有一些目前在逐渐扩展的检验检测项目，在前处理环节，我认为除了特殊要求的国内无法满足的仪器设备外，其他可以全面购买国产设备，例如我们将要购买的离心机；恒温振荡器摇床；样品粉碎机；微波消解器以及一些便携式采样装置。但是在精密分析的大型仪器上，仍然还是使用的国外设备，值得一提的是在精密分析，精密技术的掌控上国内确实需要加强。 支持国产科学仪器已经逐渐成为政府及广大市场的普遍共识，仪器性价比高，操作人性化，使用体验感好，溯源有依据。同时希望国产科学仪器能更飞跃一步，在精密仪器领域能够有所突破，创新研发出属于自己的一套。

p 在中国精密仪器加工制造市场，海外引进的同技术产品能卖到上百万元，而本土却没有一家享誉世界的高端科研仪器设备公司，不禁令人唏嘘。凭借创新思维和理念，来自中新天津生态城启迪之星生态城基地的双创企业天津博霆光电技术有限公司（以下简称“博霆光电”）成立半年来，实现了迅速发展，公司也期待打破这一市场空白，力做国内精密仪器市场的“开荒牛”。/pp博霆光电的创始人名叫蔡元学，博士出身的他是国内精密仪器行业的名人，而从一名高校教师到国内精密仪器市场创业新人的转变，却出乎很多人的意料。在多年的研究中，蔡元学发现，国际上的精密仪器公司都被美、德、日、英、瑞士垄断，而中国本土尚无一家享誉世界的高端科研仪器设备公司，老外们赚得盆丰钵满。为此，他毅然投入到创新创业的大潮之中，力图改变中国精密科研仪器领域在世界上的地位。/pp凭借创新思维与过硬的技术，博霆光电前期研发进展顺利，目前已经开发出多款高品质纳米压印设备、3D打印设备、分布式光纤传感器、固体激光器、高功率二氧化碳激光器、移动CT、便携式元素监测系统、高性能便携式光谱仪、调制器、探测器、调Q开关、紫外胶等光电产品与配件，并拥有独立的产品专利。/pp在实际检测传感的一系列应用中，博霆光电更是开发出多个成型系统。以便携式LIBS系统为例，该系统在核物理、食品安全等领域弥补了传统元素检测方法的不足，具有实时、快速、无损、无需制样等优点及特点。此外，由博霆光电开发的PVC膜鱼眼视觉检测系统，打破国外仪器厂家在PVC膜鱼眼检测设备上的垄断地位，填补了我国在该领域的空白；光纤传感系统则可应用于地质、建筑等行业，它基于布里渊光时域分析技术和差分脉冲对技术，可实现高精度、长距离的应变监测。/pp“成功的企业一定是靠产品与服务的完整体系铸就的，所以被细化的不单单是产品，更多的是服务的完备。”蔡元学告诉自己，博霆光电未来还将增强自身能力，积极推出各项服务，逐步实现产品与技术咨询、人工智能、三方技术人才匹配的结合，在国内精密仪器市场站稳脚跟。/p

一、会议邀约尊敬的客户：您好！GTI吉泰精密诚挚的邀请您参加2024年7月11-12日在武汉举办的“GMP合规-验证技术创新实践大会”。 展位序号 | NO.17会议时间 | 2024年7月11-12日会议地点 | 武汉光谷生物城 二、大会背景确认与验证作为药品安全的基础要素，无论是临床药品还是商业化生产,确认与验证一直是各国GMP要求的核心内容之一,是监管部门必查点,它也是制药企业在实际操作中遭遇最多挑战、争议和技术难题的焦点。伴随着ISPE确认与验证系列指南及NMPA新版GMP指南的颁布,如何在日益严格的监管环境下,采纳最新、最严谨的验证策略,遵循最新的法规要求,并结合风险评估与最佳制药实践经验,打造高效且优化的确认与验证流程，已成为制药企业确保持续合规生产、推动学术进步的关键所在。 三、展品预览 1.气溶胶光度计MODEL3991是一款颠覆了传统设计，以技术先进、设计科学的光散乱式线性数字气溶胶光度计，是检测高效过滤器完整性或泄漏试验必须采用的最佳测试仪器。结构紧凑、携带方便、操作设置均可以8.4inch的真彩色触摸显示屏各友好界面完成，因具有气溶胶噪声抑制功能，测试数据更加稳定。仪器内置三级权限管理，可设定角色及分配使用权限；生成日志报告，同时内置热敏打印机并配有长效热敏打印纸，测试现场即可完成测试数据的实时打印。 2.气溶胶光度计MODEL3990是一款技术先进、设计科学的光散乱式线性数字气溶胶光度计，是检测高效过滤器完整性或泄漏试验必须采用的最佳测试仪器。结构紧凑、携带方便、操作设置均可在5.6inch的真彩色触摸显示屏各友好界面完成，因具有气溶胶噪声抑制功能，测试数据更加稳定。内置热敏打印机并配有长效热敏打印纸，测试现场即可完成测试数据的实时打印。扫描探头通过一根4米长的管线与3990本体相连，不仅拥有与本体完全相同的操作功能并且同步显示，还具备一维码扫描功能，扫描受试高效过滤器的一维码后，测试数据自动识别归类，数据可追溯，方便测试数据的统计分析，提高了工作效率。 3.气溶胶发生器MODEL3990-01是一款采用Laskin-Nozzle方式的气溶胶发生器，坚固耐用，便携可靠。注入气溶胶( PAO等)溶液、接入20Psi ( 0.14Mpa )洁净的压缩空气后，流量为810cfm ( 1370m3/h )时，通过调节1-6个Laskin-Nozzle，可发生浓度为100μg/L的多分散悬浮颗粒物。 4.气溶胶发生器MODEL3990-02是一款热式、大容量的气溶胶发生器。注入气溶胶溶液并开机后，内部加热元件将液态气溶胶快速转变为蒸汽状态，通过惰性气体（如N₂ 、CO₂ 等）助力，将蒸汽快速冷却生成多分散气溶胶烟雾输出。低至少于2分钟的加热时间，高浓度气溶胶输出，广泛应用于小型的空气净化单元至大型的洁净室空调净化系统的过滤器泄漏测试。 5.GTI620型风量罩是集风量测试、风速测试、微差压测试于一体的智能型测试仪器，其广泛适用于空调、管道等场所的风速风量测试，并且可以进行高精度的微差压测试。 6.面风速仪GTI620-DP Grid是一款可以同时测量风速、风量、压差的便携式测试仪器,采用16个点位同时测试，能够实时计算出平均数值并显示，该仪器可实现多种测量模式切换以满足不同应用需求，配有触摸液晶屏，方便操作，支持数据记录、存储和导出，可通过APP与计算机进行数据传输和分析，也可以连接蓝牙打印机进行实时数据打印，方便数据记录与存储。 7.GTI 115 是一款测量精度高、性能稳定、操作简单，用于非腐蚀气体的手持式微差压测试仪。适用于测量气体的正压，负压及差压，是医院，洁净室，实验室，暖通空调，壁挂炉燃气压力测试或标定压力的理想仪器。连接皮托管可测风速、风量。具有数据存储功能和导出功能，更加方便用户使用。 8.GTI 600是一款手持式叶轮风速仪，可更换大、中、小三种叶轮式传感器，广泛应用于精确测试散流器、格栅出风口和过滤器等不均匀分布的风速、温度并计算风量。 四、邀请函届时，GTI吉泰精密将携带高效过滤器检漏系统、风量罩、手持式微差压计等测试仪器亮相会议现场，并针对制药行业生产测试需求提供完备的洁净环境测试解决方案，敬请期待！

“中国制造 2025”发展战略对高端装备制造业的质量提出了更高要求。超精密测量对提升高端装备制造质量具有基础支撑作用，并在制造全过程中的质量控制发挥决定性作用；只有解决整体测量能力问题，才能从根本上解决高端装备制造质量问题。激光因其高方向性、高单色性、高相干性等特点，具有高准确度、非接触、稳定性好等独特优点，在超精密加工和测量领域应用广泛。目前，越来越多的激光精密测量系统已作为产品检测的重要环节融入高端装备制造生产线，并已成为大型装备制造业中质量保证的重要手段，包括激光干涉仪、激光跟踪仪等。激光干涉仪以光波为载体，利用激光作为长度基准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，广泛应用于材料几何特性表征、精密传感器标定、精密运动测试与高端装备集成等场合；特别是基于激光外差干涉技术的超精密位移测量系统同时具备亚纳米级分辨率、纳米级精度、米级量程和数米每秒的测量速度等优点，是目前唯一能满足光刻机要求的位移测量系统。激光跟踪仪是一种大尺寸空间几何量精密测量仪器，具有测量功能多（三维坐标、尺寸、形状、位置、姿态、动态运动参数等）、测量精度高、测量速度快、量程大、可现场测量等特点，是大型高端装备制造的核心检测仪器。激光跟踪仪基于球坐标测量系进行测量，主要用于大尺寸坐标测量以及大型构件尺寸及形位误差测量，亦可对运动部件进行动态跟踪测量。为帮助用户更好地了解激光精密测量技术及其在高端制造中的应用，仪器信息网将于2022年10月20-21日举办首届“精密测量与先进制造”主题网络研讨会，特邀中国科学院微电子研究所主任周维虎、清华大学教授张书练、哈尔滨工业大学长聘教授胡鹏程、中国计量科学研究院副研究员崔建军分享主题报告。 点击图片直达报名页面中国科学院微电子研究所主任/研究员 周维虎《激光跟踪仪精密测量技术与应用》（点击报名）周维虎研究员长期从事精密光电测量技术与仪器研究，主持科技部重大仪器专项、国家重点研发计划、自然基金重大仪器专项、国防科工局重点预研、装备发展部军用测试仪器、中科院仪器装备项目等50余项精密测量与仪器类课题，获得中国机械工业科学技术发明特等奖、中国计量测试学会技术发明一等奖等7项省部级奖励，发表论文近200篇，申请专利近50项，编写教材1部，起草国家计量检定规程和规范4部，获得国务院特殊津贴、中科院朱李月华优秀教师奖、江苏省双创领军人才、青岛市创新领军人才等称号。成功研发国际上首台飞秒激光跟踪仪、国内首台三自由度激光跟踪仪和六自由度激光跟踪仪，打破了国外在激光跟踪测量领域的技术垄断。担任中国科学院大学岗位教授、博士生导师，北京航空航天大学、华中科技大学、大连理工大学、吉林大学、合肥工业大学等十余所高校兼职教授和博士生导师，南京航空航天大学特聘教授，湖北工业大学楚天学者教授。担任《计测技术》、《测控技术》、《中国测试》和《光电子》期刊编委，《Optical Engineering》、《中国航空学报（中、英文）》等十余份国内外期刊审稿人。报告摘要：激光跟踪仪用于超大尺寸空间几何量测量，具有测量速度快、精度高、范围大，可现场测量等特点。在航空航天、船舶、雷达、高铁、能源设备、汽车、大科学装置等大型装备制造领域具有广泛应用，本报告重点介绍激光跟踪仪研发技术及相关领域中应用。清华大学教授 张书练《激光回馈精密测量技术新进展》（点击报名）张书练，清华大学教授，博士生导师。激光和精密测量专家，偏振正交激光器纳米测量技术的国内创建人和国际主要创建人。曾任清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室主任，现任广东省计量院重点实验室学术委员会主任。作为第一完成人，获国家技术发明二等奖两项，教育部自然科学一等奖两项，电子学会发明一等奖一项等十余次奖项。在ISMTII-2017国际学术会议上被授终身贡献奖。出版专著：唯一作者3部，第一作者1部，主编国际会议专题文集2部，计测技术“教授论精密测量”一期，发表论文360余篇，发明专利权80余项。发明的双折射-双频激光器及干涉仪等纳米测量仪器已经批产。哈尔滨工业大学长聘教授 胡鹏程《超精密激光干涉位移测量技术进展与挑战》（点击报名）胡鹏程，哈工大长聘教授、博导，精密仪器工程研究院副院长，2019年入选国家高层次青年人才计划。校内兼职：第二届校学术委员会，委员；超精密仪器技术及智能化工信部重点实验室，副主任；超精密光电仪器工程研究所，常务副所长。校外兼职：中国计量测试学会，第八届计量仪器专业委员会，副主任委员；IEEE Senior Member；中国电子学会、中国光学工程学会，高级会员；中国仪器仪表学会传感器分会，理事；教育部学位与研究生教育发展中心，中国高校创新创业教育研究中心，评审专家；《光学精密工程》编委，《哈尔滨工业大学学报》青年编委，《红外与激光工程》青年编委；国家重点研发计划引力波探测重点项目，咨询专家组，成员；ISPEMI 2018, Secretary General；IFMI&ISPEMI 2020，Cochair of organizing committee，IFMI&ISPEMI 2022，Cochair of organizing committee 学术研究：围绕超精密激光测量与光电仪器方向，从事基础研究、关键技术突破和仪器研制测试。承担国家科技重大专项课题、技术基础项目、国家重大工程项目、国家自然科学基金国际合作研究项目、国家自然科学基金重大研究计划课题、国家自然科学基金面上项目等，项目经费1.2亿余元；发表SCI检索论文60篇，出版编著1部，申请/授权国内外发明专利152项。 科研成果奖励：中国计量测试学会科学技术进步奖，一等奖(第1完成人，基础类，2021年)；国家技术发明奖，二等奖（第5完成人，2013年）等。报告摘要：甚多轴高速超精密激光干涉测量技术与仪器是高端装备发展与前沿研究的重大核心基础技术，作为光刻机等高端装备中不可替代的核心单元，其直接决定了装备所能达到的极限运动精度与整体性能；作为溯源精度最高的长度计量测试仪器，其准确统一全国相关量值，支撑国际单位制量子化变革等前沿研究。随着高端装备发展与前沿研究的迅猛发展，其甚多轴、高速、超精密测量需求越加显著，使激光干涉测量技术发展不断面临新的挑战。为此，开展了甚多轴高速超精密激光干涉测量技术研究，突破了激光稳频、多轴干涉镜组、干涉信号处理等多项关键技术，研制成功系列超精密激光干涉测量仪器，测量速度优于5m/s，动态测量分辨力0.077nm，光学非线性误差优于0.02nm，并在微电子光刻机、国家基准装置、德国PTB超测量装备等成功应用，为我国高端装备发展与前沿研究奠定重大共性技术基础。中国计量科学研究院课题组长/副研究员 崔建军《差分珐珀激光干涉微位移计量及应用研究》（点击报名）崔建军副研究员长期从事精密几何量测量技术及计量标准研究，主持和参加科技部重大仪器专项、国家重点研发计划、国家及北京市自然科学基金项目、国家市场监管总局项目等30余项精密测量与几何量计量研究项目，获得浙江省科学技术进步二等奖、国家质检总局科技兴检二等奖、中国计量测试学会科学技术进步三等奖等多项省部级奖励，发表论文近40余篇，申请专利近30项，软件著作权20余项，正在负责及参加起草的国家计量检定规程规范10余项。主持建立新一代双频激光干涉仪计量标准装置、激光测微仪、光栅式测微仪校准装置、纳米薄膜厚度计量标准装置等多项国家量值最高的计量标准装置。提出了双频差分法布里珀罗激光干涉技术原理，研制了准确度达到数十皮米的微位移及干涉仪非线性计量装置。担任担任全国半导体器件、全国光学和光子学光纤传感、全国试验机等3个标准化技术委员会委员，担任中国机器人检测认证联盟技术委员会分工作专家组专家，国家计量标准的一级考评员和一级注册计量师，中国计量科学研究院研究生导师，南方科技大学、河南理工大学等多所高校兼职研究生导师，担任《计量学报》、《计量科学与技术》、《中国计量》、《中国激光》，《光学学报》、《sensor review》《measurement》、等十余份国内外期刊审稿人。报告摘要：微位移测量是高端装备核心零部件设计和先进制造急需的应用基础技术，也是几何量计量、微纳制造和光刻技术等发展所急需的关键技术。报告针对当前急需的纳米及亚纳米精度的激光干涉仪、亚纳米电容测微仪和纳米位移传感器等难以计量的现状，创造性提出采用固定频差双频激光建立差分珐珀干涉系统的光学理论，并研究基于该理论构建精度达到数十皮米甚至更高量级的位移测量技术实现方法，研制实现皮米级分辨力的高精度位移测量装置，推动国家精密测量、先进制造等领域的高质量发展，也为建立皮米级国家最高微位移计量标准装置提供技术方法。扫码报名抢位指导单位：中国计量测试学会主办单位：仪器信息网协办单位：上海大学会议日程报告时间报告主题报告人单位职务10月20日上午09:30-10:00工业视觉技术进展及装备应用邾继贵天津大学精密仪器及光电子工程学院院长10:00-10:30激光跟踪仪精密测量技术与应用周维虎中国科学院微电子研究所主任/研究员10:30-11:00激光回馈精密测量技术新进展张书练清华大学教授11:00-11:30待定胡鹏程哈尔滨工业大学长聘教授10月20日下午14:00-14:3020年来齿轮测量技术的发展石照耀北京工业大学长江学者特聘教授14:30-15:00基于波长移相技术的光学平行平板轮廓和厚度信息测量技术于瀛洁上海大学机电工程与自动化学院院长15:00-15:30视觉在线测量与检测技术卢荣胜合肥工业大学教授15:30-16:00面向智能制造的全过程、全样本、全场景测量李明上海大学教授10月21日上午09:00-09:30工业摄影测量技术研究及应用郑顺义武汉大学教授09:30-10:00装备空间运动误差被动跟踪测量方法与仪器娄志峰大连理工大学副教授10:00-10:30差分珐珀激光干涉微位移计量及应用研究崔建军中国计量科学研究院课题组长/副研究员10:30-11:00面向先进制造过程的在线计量技术研究赵子越中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所高级工程师

我国几何量精密测量领域自主创新成果——关节式坐标测量机关键技术研究于连栋，赵会宁，贾华坤[序言] 2004年我的导师费业泰教授开始与合肥工业大学校友Richard He合作开发便携关节式坐标测量机，是国内较早开展关节式坐标测量机研究的团队之一，当时费老师带领胡鹏浩和胡毅等几位老师及若干研究生从零开始攻关，研制了首台关节式坐标测量机原型样机。2006年6月本人加入这项研究工作，主要负责测量机误差建模和测量机参数标定和辨识方面的工作。初期仪器的研发工作还曾与中国船舶工业第6354研究所合作过一段时间。经过多年的持续研发，我们在关节式坐标测量机的创新精度支撑理论和仪器研发工程技术方面均积累了丰富的成果，本人先后主持4项与关节式坐标测量机相关的国家自然科学基金面上项目，2013年成功获批“便携关节式坐标测量机开发与应用”国家重大科学仪器设备开发专项（简称仪器专项），项目分别于2018年和2020年通过技术验收和综合验收。天津大学叶声华院士曾经说过“关节臂仪器项目的顺利实施得益于费老师和合肥工业大学在仪器精度理论领域积累的丰硕成果”。该项目历时近20年经过两代人的持续投入和潜心研发，完全掌握了关节式坐标测量机的核心关键技术和应用开发技术，实现了具有自主知识产权的关节式坐标测量机零的突破，该技术成果获中国仪器仪表学会科学技术奖一等奖。仪器专项在实施过程中得到合肥合锻智能制造股份有限公司、清华大学、重庆理工大学、北京信息科技大学等单位的大力支持，项目在申报过程中得到合肥工业大学夏豪杰教授的大力支持，项目实施过程中赵会宁、贾华坤等博士研究生及若干硕士研究生均做出了重要贡献，在此一并表示感谢！一、研究背景关节式坐标测量机是一种广泛应用于汽车制造、飞机装配、模具制造等领域的高精密几何量测量仪器。与传统正交式坐标测量机相比，关节类坐标测量机通常由6或者7个旋转关节串联而成，具有灵活性高、便携性好、测量范围大和适于在位测量等优点。其测角系统由安装在各旋转关节上的高精度角度编码器实现 关节类坐标测量机采用光学扫描测头可实现被测件复杂曲面的非接触快速测量 为得到精确的测量模型，还需研究多种建模和参数辨识方法以及由不同国际组织制定的关节类坐标测量机的性能评价标准。针对上述关键技术，本文介绍了关节类坐标测量机的研究现状和技术进展，并对其未来发展趋势进行了展望。二、核心关键技术2.1基于广义误差模型的运动学建模技术传统D-H建模方法在某些情况下存在病态问题，极大地影响关节式坐标测量机的测量精度。为克服上述问题，提出了一种能够同时包含几何误差和非几何误差的运动学建模方法—广义误差模型建模理论，进一步提高了关节式坐标测量机的模型精度，如图1所示。图1 关节式坐标测量机广义误差模型2.2圆光栅传感器测角误差修正技术将阿贝原则拓展到角度测量领域，定义了测角阿贝误差的概念，提出了测角阿贝误差的修正方法，在修正测角阿贝误差的基础上进一步对测角误差进行修正，圆光栅传感器的测角精度得以显著提高，如图2所示。为探究圆光栅传感器各主要的误差作用方式和各项误差成分比重，开展了基于误差源分析的测角误差修正技术研究，推导并验证了包括旋转主轴径向误差运动和光栅盘安装偏心的测角误差模型，并为精密轴系的设计和装调提供了理论指导作用；为进一步修正温度产生的测角误差，提出了基于傅里叶级数展开-遗传算法优化BP神经网络的方法，显著提高了圆光栅传感器的测角误差。图2 测角阿贝误差测量装置 图3 测角误差修正效果2.3自制3D体约束标定体结合现行ASME B89.4.22-2004、VDI/VDE 2617-9和ISO 10360-12-2016标准，提出一种全新的全测量空间3D体约束的标定系统并首次建立了全空间综合误差标定模型，如图4所示。基于全测量空间3D体约束标定体，利用最佳采样策略，获取全空间标定数据集，建立了基于虚拟距离和单点双重约束的关节式坐标测量机全空间综合误差标定模型（结构参数误差和非结构参数误差），大幅消除了非参数系统误差、拟合误差，并根除了传统标准件位姿变化引起的变形误差，有效提升了标定精度和效率。该技术在机器人、极坐标测量仪器等误差修正方面具有普遍应用价值。图4 全测量空间3D体约束标定系统2.4结构设计与轴系精密装配自主设计了6-DOF关节式坐标测量机的结构，其核心关键机械结构是精密旋转轴系。根据仪器测量精度的设计指标，选择高精密级轴承并依据轴孔配合原则合理设置公差带。制定零件加工质量检测规程，对旋转主轴等零件的关键部位尺寸使用正交式坐标测量机进行检验。利用热胀冷缩效应装配精密轴系，通过改变轴承预紧力实现对旋转主轴转动状态的调整，制定旋转主轴转动状态检测规程，利用自准直仪等仪器设备对旋转主轴的误差运动进行检测，评估精密轴系是否达到最佳工作状态，如图5所示。图5 精密轴系装配图2.5力平衡系统研发由于关节式坐标测量机是一款手持式精密测量设备，需要在靠近基座的第二个关节处安装力平衡系统以平衡仪器自身的重力，提高工人在长期操作仪器时的舒适性，降低操作疲劳，保障测量结果的准确性和可靠性。经公式推导、仿真分析、定量实验和仪器整机平衡性能验证，研发了可靠的关节式坐标测量机力平衡系统，如图6所示。图6 力平衡系统研发过程图2.7仪器测量软件开发测量软件是仪器的重要组成部分，项目组以Qt软件为开发平台，结合OpenCasCade开发了适用于关节式坐标测量机的测量软件，完成直径、圆度、圆柱度、平面度等几何尺寸、形位公差的算法开发，并用标准测试数据与成熟商用软件进行比对，验证算法准确性。软件具备测量过程实时显示、数据存储、测试结果导出等功能，并方便进行功能扩展，如图7所示。图7 关节式坐标测量机测量软件经上述关键技术积累，成功研制了测量范围为1.2m-3.6m共5种关节式坐标测量机，如图8所示。其单点测量重复性介于±0.018-0.036mm，长度测量重复性±0.049-0.119mm。图8 不同型号关节式坐标测量机三、应用技术开发3.1汽车行业的应用针对汽车行业模具标定、焊接夹具定位和人机工程测试三个典型应用场景，在奇瑞汽车股份有限公司开展了相关测试验证，如图9所示。（1）模具标定测量提出利用关节式坐标测量机对汽车冲压模具进行现场测量。通过在测量现场测量被测模具的多个关键点，把测量机的测量坐标系统一到模具自身设计的坐标系内，然后通过关节式坐标测量机测量得到各被测点坐标值，与其理论设计值比较，给出测量结果评价，也可以通过关节式坐标测量机的测量软件拟合测量得到模具模型，与其设计理论模型比较，得到模具的形变，根据其形变情况标定模具。（2）焊接夹具定位测量 在使用关节式坐标测量机对焊接夹具进行定位检测时，通过对夹具体检测基准的测量，采用与理论数模相拟合的方式建立坐标系，分别测量夹具体的各个定位销及定位面与三维数模的偏差，以判定该夹具是否符合要求。（3）人机工程测试 为保证汽车乘坐人员的乘坐舒适性，需要保证汽车座椅空间3D位置的精密安装。在车身边架设关节式坐标测量机，将其测头伸进车厢内，完成对隐藏在车厢内座椅关键点的位置测量，并通过测量车身各关键点，来判断座椅的安装是否符合人机工程的要求。关节式坐标测量机在汽车制造中的应用，解决了汽车零部件几何尺寸测量和定位安装现场检测的难题，提高了生产效率，保障了生产质量。图9 关节式坐标测量机在汽车行业的应用3.2飞机制造中复杂零件、工装的现场检测在民用飞机制造企业利用关节式坐标测量机对飞机舱门及装配工装进行检测，并对点云数据进行处理。该类测量可以保障装配人员通过可视化的方法提高装配质量，根据提供的详细尺寸参数，实现对飞机关键部件生产质量的全面控制，提升飞机关键部件的产品质量，促进了我国飞机制造业的自主高质量发展。如图10所示。图10 关节式坐标测量机在飞机制造业的应用3.3 EAST核聚变大科学装置关键部件定位测量和形变检测全超导托卡马克核聚变 实验装置（EAST）内部含有种类繁多的关键零部件，每次放电后需要对其装配定位精度和形变进行精密测量。传统方法采用靠板、标尺等手段仅能进行定性测量。为解决核聚变装置内部关键部件装配定位测量难题，我们提出激光跟踪仪与关节式坐标测量机进行组合测量的模式，充分发挥激光跟踪仪超大尺寸全局测量和关节式坐标测量机灵活、便携、无测量障碍点的局部测量优势。通过升级EAST大厅外部基准、构建内部基准，统一内外基准网，在EAST核聚变装置维护改造期间通过搭建测量系统，顺利完成关键部件装配定位测量和形变检测，为核聚变实验的顺利进行提供了必要保障，如图11所示。图11 关节式坐标测量机在国家大科学装置的应用四、总结风雨18年仪器研发路，在两代仪器人的共同努力下，积累了基于“新原理、新装置、新工艺”的整套仪器研发经验，实现了自主知识产权的关节式坐标测量机从无到有，从原理样机到小批量生产的突破，打破了国外产品在国内市场的垄断，为相关仪器的国产化替代奠定了基础。【作者】于连栋，博士，教授，2003.9-2020.5年就职于合肥工业大学，2020年6月以来就职于中国石油大学（华东），长期从事3D宏观尺度坐标测试技术、微纳传感技术、超快光学精密测试技术研究，2017年入选国家百千万人才工程、国家级有突出贡献中青年专家、享受国务院政府津贴。点击图片直达报名页

光学计量仪器作为现代科学和工业领域中不可或缺的工具，通过利用光学原理进行精确测量，在各个领域发挥着重要作用。本文将介绍光学计量仪器的定义、原理以及其在科学研究和工业应用中的重要性。　　第一部分：光学计量仪器的定义和分类　　定义：光学计量仪器是基于光学原理设计和制造的精密测量设备，用于测量长度、角度、形状等物理量。　　分类：光学计量仪器可以根据其功能和应用领域进行分类，包括测微计、激光干涉仪、投影仪、扫描电子显微镜等。每种仪器都有其特定的测量原理和适用范围。　　第二部分：光学计量仪器的原理和工作方式　　光学原理：光学计量仪器利用光的传播和反射、折射等特性进行测量。例如，激光干涉仪利用激光光束的干涉现象测量长度和形状，投影仪通过光学系统投影图像进行测量等。　　工作方式：光学计量仪器通常利用光源、探测器、光学透镜和其他相关组件构成测量系统。通过精确的光学路径设计和信号处理，可以实现高精度的测量结果。　　第三部分：光学计量仪器在科学研究中的应用　　物理学研究：光学计量仪器在物理学领域中广泛应用，例如用于测量材料的光学性质、表面形貌和精细结构等，为理论研究提供重要数据。　　生物医学研究：在生物医学研究中，光学计量仪器可用于测量细胞、组织和生物标本的大小、形状和表面特征，为疾病诊断和治疗提供依据。　　材料科学研究：光学计量仪器在材料科学领域中用于测量材料的机械性能、光学性能和电子性能，为新材料的开发和应用提供支持。　　第四部分：光学计量仪器在工业应用中的重要性　　制造业：光学计量仪器在制造业中广泛应用，例如测量零部件的尺寸和形状，确保产品的精度和质量。　　航空航天：光学计量仪器可用于航空航天领域中对飞行器、航天器以及相关部件进行精确测量，确保飞行安全和性能。　　汽车工业：在汽车制造中，光学计量仪器可用于测量汽车外观、内饰和关键零部件的尺寸和形状，确保产品符合设计要求。　　光学计量仪器作为精密测量的利器，在科学研究和工业应用中发挥着不可或缺的作用。通过利用光学原理和精确的测量系统，这些仪器能够提供高精度、可靠的测量结果，满足各行各业对于精密测量的需求。　　随着科技的不断进步，光学计量仪器也在不断创新和发展。新的技术和方法被引入，以提高测量精度、扩大测量范围和增加测量功能。同时，仪器的便携性和自动化程度也得到了提升，使得使用更加方便和高效。　　然而，光学计量仪器的应用并不仅限于科学研究和工业领域。在日常生活中，我们也可以发现它们的身影。例如，眼镜店使用计量仪器来准确测量眼镜度数；珠宝商使用显微镜和投影仪来评估珠宝的品质和工艺。　　总之，光学计量仪器在现代社会中扮演着重要的角色，推动着科学技术的发展和产业的进步。通过持续的创新和应用，光学计量仪器将继续为我们提供精密测量的利器，助力于各个领域的科研、生产和品质控制，推动着社会的发展和进步。

近年来，我国高端制造业蓬勃发展，对高精度测量设备的需求持续攀升，极大地推动了以三坐标测量机为代表的精密测量仪器市场的迅猛增长。众多国内外知名品牌竞相涌入这一赛道，同时，也催生了一批崭露头角的国产新兴力量。在国产替代需求日益增长的趋势下，中国三坐标测量机企业迎来了前所未有的发展机遇。为深入了解中国三坐标测量机产业的发展态势，仪器信息网成立25周年之际，特别策划了“万里行”系列走访活动。该活动深入中国三坐标测量机代表性企业，与行业专家共同开展实地走访，探寻产业发展的最新进展和亮点，为发展新阶段赋能。走访第2站，由上海大学李明教授，仪器信息网产业研究部主任武自伟、营销服务中心经理韩永风、测量仪器编辑牛亚伟等组成的走访项目组走进派姆特科技(苏州)有限公司 （以下简称“派姆特”），派姆特华东区区域经理胡书飞、总裁助理Susan接待了走访一行人员。——企业发展进展派姆特成立于2019年，在中国、德国、日本均设有研发中心，并在苏州、西安建立了制造基地。得益于公司成立前的技术积累，派姆特在成立第一年即实现了盈利，且此后每年的收入都实现了翻倍增长。短短五年间，派姆特的团队规模已从最初的约30人发展壮大至现在的150余人。派姆特办公楼派姆特的创始人邰大勇，曾在德国马尔精密量仪和美国法如科技公司任职。他亲眼目睹了我国尺寸精密测量仪器市场几乎一度被国外品牌垄断的状况，这促使他萌生了创立一个拥有自主知识产权、受人尊重的国产高端品牌的念头。随着当前国内对供应链安全要求的日益提升，国产化替代需求旺盛，派姆特迎来了快速发展并受到了资本的青睐。2023年6月，公司获得了由中科创星独家投资的千万元级天使轮融资；同年11月，又获得了深圳高新投的第二轮融资；时隔不到一年，2024年5月，派姆特再次获得了卓远资本的第三轮融资。——产品技术与布局派姆特深耕便携式关节臂，拥有多项专利技术。其关节臂测量机涵盖6轴测量臂、7轴测量臂以及激光扫描臂，完美适应接触式与非接触式测量的多样化需求。设备内置平衡机构，采用等臂长设计，操作灵活自如，测量无死角。测量范围覆盖1.5-4.5米，可在5-45℃的全温度范围之内进行测量，内置温度传感器有效补偿温度变化带来的误差，确保测量精度位居国内顶尖水平，广泛应用于汽车、航空航天、国防军工、轨道交通、工程机械、教育等行业。胡书飞介绍道，为了向客户提供更多的测量方案，派姆特不断拓宽测量技术边界，致力于三坐标测量机的核心系统研发，包括测头、控制器和软件。去年，公司推出了FUTURE系列和PRIME系列桥式机型，以及SPACE车间型三坐标测量机。FUTURE系列采用矩形梁结构、气路分离独立控制等目前三坐标测量机的高端技术，可与进口品牌中高端计量设备相媲美。SPACE系列则专为加工现场设计，能够与机器人、自动上下料系统、机床系统等实现联机，为工业客户带来效率与质量的提升。CAM3软件作为派姆特产品矩阵的核心，是公司战略布局的重要一环。大部分三维测量硬件均需与CAM3软件配合使用，以发挥最大效能。胡书飞呼吁政府加大对软件国产化的支持力度，以便派姆特能够借此东风，打造出更加综合性的CAM3软件，以此为核心和平台，推动公司向更广阔的市场进军。目前，派姆特软件团队已超过20人，CAM3软件在上汽集团等企业中得到成功应用。派姆特的便携式测量臂由两个碳素纤维钢固定臂长和六到七个角度编码器组成。该编码器由派姆特自主研发和生产，可作为独立产品供应市场。派姆特产品矩阵市场调研数据显示，2022年全球三维尺寸测量仪器市场规模已突破100亿美元大关，预计未来将持续保持直线上升的增长态势。为了把握这一市场机遇，派姆特致力于打造一个集多场景应用、多测量精度需求的一体化三维测量平台。公司新推出的圆度仪、圆柱圆度仪和轮廓仪产品刚刚亮相市场，未来还将进一步拓展产品线，布局光笔测量仪和激光跟踪仪产品，以满足更广泛的市场需求。合影留念

德国“工业4.0”与”中国制造2025“发展战略，对高端装备中的超精密测量精度要求越来越高。激光因其高方向性、高单色性、高相干性等特点，具有高准确度、非接触、稳定性好等独特优点，在超精密加工和测量领域应用广泛。激光干涉仪以光波为载体，利用激光作为长度基准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器。激光束通过分光镜后，分成两束激光（参考光束和测量），分别经两个角锥反射镜反射后平行于出射光返回，通过分光镜后进行叠加（两束激光频率相同、振动方向相同且相位差恒定，即满足干涉条件），产生相长或相消。反射镜每移动半个激光波长，将产生一次完整的明暗干涉现象，通过接收到的明暗条纹变化及电子细分，即可求得距离变化（距离=干涉条纹数*激光半波长）。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作。激光干涉仪原理构造激光测距仪是利用激光对目标的距离进行准确测定的仪器，根据测量原理分为脉冲法和相位法。脉冲激光测距法由于激光发散角小，激光脉冲持续时间极短，瞬时功率极大可达兆瓦以上，可以达到极远的测程，广泛应用在地形地貌测量、地质勘探、工程施工测量、飞行器高度测量、人造地球卫星相关测距、天体之间距离测量等方面。第二届精密测量技术与先进制造网络会议期间，清华大学与哈尔滨工业大学两位专家将分享激光精密测量技术、仪器及应用。部分报告预告如下，点击报名  》》》清华大学精密仪器系系副主任/副教授 谈宜东《激光干涉精密测量技术、仪器及应用》（点击报名）谈宜东，清华大学精密仪器系长聘副教授，博士生导师，副系主任；基金委优秀青年科学基金获得者，英国皇家学会牛顿高级学者，教育部创新团队负责人。中国电子信息行业联合会光电产业委员会副会长、中国仪器仪表学会机械量测试仪器分会常务理事。主要从事激光技术和精密测量应用等方面的研究工作。作为负责人承担国家自然科学基金，装发和科工局测试仪器领域关键技术攻关项目，科技部重点研发计划课题，军科委基础加强，重大科学仪器专项等多个项目。在Nature Communications, PhotoniX, Optica, Bioelectronics and Biosensors, IEEE Transactions on Industrial Electronics等期刊发表SCI论文100余篇，授权发明专利37项，在国际会议Keynote/Plenary/Invited报告60余次。先后获日内瓦国际发明展金奖，中国激光杂志社主编推荐奖，中国光学工程学会技术发明一等奖，中国电子学会技术发明一、二等奖多项。【报告摘要】 以传统激光干涉为引，介绍清华大学激光精密测量及应用团队在双频激光器、干涉仪及在光刻机中的精密测量应用，并拓展到空间引力波测量。针对传统干涉测量需要配合靶镜的局限性，提出激光回馈测量原理，实现了无靶镜纳米测量，攻克了航空航天、先进制造和国防安全领域的无靶镜测量难题，并开展了多种应用研究，包括：位移测量、激光侦听、高精度激光测距及雷达技术等。哈尔滨工业大学副研究员 杨睿韬《短脉冲光频梳激光测距技术》（点击报名）杨睿韬，哈尔滨工业大学副研究员，博士生导师。研究方向为超精密激光干涉测量，重点攻关短脉冲/光频梳生成与稳频、光梳激光测距等关键技术，承担国家重点研发计划课题/子课题、国自然面上等项目，参与国家科技重大专项、欧盟计量联合研究计划等项目。获中国计量测试学会科技进步一等奖(序4/6)、全国优秀博士学位论文提名等奖项。担任国际SCI期刊Photonics客座编辑。发表学术论文20余篇，申请发明专利10余项，出版专著1部。指导哈工大优秀本科/硕士毕业论文共5人，指导大学生光电设计竞赛国赛一等奖等2项。【报告摘要】 激光测距技术是大范围、高精度空间几何量测量的核心技术基础。短脉冲光频梳的诞生极大的推动了该技术领域的发展，其独特的时域短脉冲序列、频域等间隔梳状多光谱特征，不仅大幅提高了经典的飞行时间、调制波测相、多波长干涉等测距方法的性能，更引领了一系列新型激光测距方法的发展。本报告分析了短脉冲光频梳激光测距方法及趋势，介绍了项目组在短脉冲光频梳激光测距领域的最新进展。更多详细日程如下：第二届精密测量与先进制造主题网络研讨会报告时间报告题目报告嘉宾单位职称12月14日上午09:00-09:30纳米级微区形态性能参数激光差动共焦多谱联用测量技术及仪器赵维谦北京理工大学 光电学院院长09:30-10:00扫描白光干涉表面形貌测量技术：原理及应用苏榕中国科学院上海光学精密机械研究所研究员10:00-10:30先进封装工艺中三维几何尺寸监控的挑战与布鲁克白光干涉技术的计量解决方案黄鹤布鲁克（北京）科技有限公司应用经理10:30-11:00激光干涉精密测量技术、仪器及应用谈宜东清华大学 精密仪器系系副主任/副教授11:00-11:30关节类坐标测量技术于连栋中国石油大学（华东）教授12月14日下午14:00-14:30基于相位辅助的复杂属性表面全场三维测量技术张宗华河北工业大学教授14:30-15:00短脉冲光频梳激光测距技术杨睿韬哈尔滨工业大学副研究员15:00-15:30机器人精密减速器及关节测试技术程慧明北京工业大学 博士研究生15:30-16:00纳米尺度精密计量技术与国家量值体系施玉书中国计量科学研究院纳米计量研究室主任/副研究员16:00-16:30尺寸测量，从检验走向控制与孪生李明上海大学教授为促进精密测量技术发展和应用，助力制造业高质量发展，仪器信息网联合哈尔滨工业大学精密仪器工程研究院，将于2023年12月14日举办第二届精密测量技术与先进制造网络会议，邀请业内资深专家及仪器企业技术专家分享主题报告，就制造中的精密测量技术等进行深入的交流探讨。报名页面：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/precisionmes2023/

2022年2月17日，正值开年复工热火朝天之际，各政府单位也积极开展国家面对“碳中和”大目标的相关工作。宁波海尔欣光电科技有限公司喜迎宁波市计量测试协会暨宁波市计量测试研究院理事长、正高级工程师阮勇等一行人莅临我司考察，交流指导针对温室气体的精密计量工作。 图 海尔欣CEO王胤（右一）与宁波计量院理事长阮勇（右二）合影 阮勇理事长此次到访，和我们进行了亲切交流，对于海尔欣光电现有的高精度温室气体、污染气体测量仪器进行了解后提出珍贵意见，并结合浙江省“碳达峰”、“碳中和”总目标，对于接下来海尔欣公司的主要方向做出指导并合影留念。他明确指出：“碳中和的关键是要将低碳、环保、科技三要素紧密结合起来，抓紧落实本阶段碳中和工作任务，制造符合国内的高性价比国产仪器。” 目前，我国应用于环境监测和科学研究的温室气体测量仪器多数仰赖进口，要实现此类高端分析仪器的国产化，针对温室气体测量的完整计量标准势在必行。宁波海尔欣光电和宁波计量研究院近几年来通过密切合作，从工业用的便携式氨气测量到大气环境中的水汽监测，均收获了高质量的研发成果。宁波海尔欣光电自2014年成立以来，采用国际先进的TDLAS技术，自主研发再创新了多种温室气体、污染气体的浓度和涡动通量观测设备，包含水汽、氨气、甲烷、氧化亚氮等。有鉴于当前国内对于温室气体的计量标准仍存在进步的空间，我们期待与计量院密切的交流合作，能够携手改变目前国内相关仪器设备绝大多数需要进口的局面。

便携式挥发性有机物监测仪 PG-1100冷杉PG-1100系列便携式挥发性有机物监测仪，采用符合国标的氢火焰离子化检测器（FID）检测技术，产品符合《HJ1012-2018环境空气和废气 总烃、甲烷和非甲烷总烃便携式监测仪技术要求及检测方法》。可用于污染源废气有组织排放和厂区厂界无组织排放等多种应用场景，便于污染源普查、摸底排放、泄露监测、比对验收、走航巡查。PG-1100便携式挥发性有机物监测仪的特点：快速便捷快速升温，5min点火及热区就绪；15min内获得有效数据&bull 快速更换气瓶&bull 快捷数据处理，导出excel数据，现场打印报告&bull 测量结束直接关机，无需等待漫长降温过程&bull 集成度高（分析主机集成了气、电，无需外接） 环境空气VOC组分在线监测（臭氧前体物PAMS，117多种VOC组分） 冷杉 环境空气VOC组分在线监测系统（臭氧前体物PAMS，117多种VOC组分），采用在线预浓缩系统与气相色谱仪方案，多种除水方式可选，结合冷杉精密仪器定制化 Radium 云系统软件进行数据处理和上传，实现环境空气中臭氧前体物的连续监测。本系统灵敏度高、运行成本低、适用于复杂的采样环境，对挥发性有机物有较优异的检出限。环境空气VOC组分在线监测系统的特点:检测能力强&bull 皮克级的 FID 检出限，检出能力强&bull 单表一次进样可分析 57 种以上目标物&bull 配备 Deans Switch 组件，成熟的实验室技术方案&bull 先进的水汽管理，适用于复杂环境下的连续监测 工业化设计&bull 机柜式一体化设计，节约空间&bull 全自动采样设计，可实现 7× 24 连续监测&bull 符合《2018年重点地区环境空气挥发性有机物监测方案》、《2019年地级及以上城市环境空气挥发性有机物监测方案》等要求 在展会现场，冷杉精密仪器总经理宋新接受环保在线记者采访，就冷杉公司的发展、新产品新技术、项目案例以及未来战略规划等做了详细的诠释。 时间如白驹过隙间溜走，为期三天的展会已圆满落幕。在展会期间，冷杉展台接待参展观众逾千人，与多家企业达成合作意向。冷杉团队始终以真诚热情的态度接待前来参观咨询的的每一位观众，并为其进行产品介绍，操作演示，针对技术特点，国家政策背景以及合作模式等方面的疑问进行一一解答，展现冷杉团队的精神面貌和专业实力。

受益于全球经济的增长、工业技术水平的提升，全球电子测量仪器市场规模保持持续上升的增长势态，而中国已经成为全球仪器仪表行业规模最大的国家之一。近年来，仪器仪表的发展得到了国家和社会的高度重视。　　其中，精密仪器作为仪器仪表的一个重要分支，其设备行业战略地位不断提升，深圳市将其列为“20+8”产业集群，广东省将其纳入“双十”产业集群。除此，北京、浙江、江苏、山东等十几个省市也都相继发布了支持精密仪器设备发展举措。进入“十四五”时期，国家政策进一步倾斜，重点支持精密仪器行业发展，加之国内产业结构转型升级、高端制造业发展，都会对精密仪器行业带来更多的需求。面对国产替代的历史性机遇和国家政策东风助力，华盛昌（002980）牢牢抓住机遇，持续发力，努力承担起一家作为国内测量测试行业引领者的责任与担当。　　总部位于深圳的华盛昌是一家集专业自主设计、研发、生产和销售各类测量仪器仪表于一体的国家级高新技术企业。自1991年创立至今，华盛昌致力于设计生产智能、便携的测量仪器，其持续发扬创新精神，开发了众多有自主产权产品，品类多元，主要包括电工电力类、环境检测类、汽车/医疗检测、医疗健康、传感器以及新能源领域等专业领域类别，深受客户信赖与好评。　　01 品类多元发展，综合能力储备过硬　　从产业链来看，精密仪器设备产业上游主要包括传感器、芯片电子元器件等，中游包括医疗检测类、环境监测类、电工电力类等仪器，下游则覆盖了工业、交通、科技、环保及日常生活等各个方面的应用。　　华盛昌作为国内产品创新能力强、产品品类丰富的综合性测量测试仪器仪表代表企业，已掌握多领域核心测量测试技术，包括电力电子测量技术，红外测温和成像技术，激光测距技术，PM2.5、温湿度、噪音、风速、气体、水质等环境检测技术，人体测温、分子诊断、免疫层析等医疗检测技术，以及MEMS 等传感器技术，是目前国内少数能够同时提供电力电子、红外热成像、环境监测、医疗测量类产品和服务的企业之一，数字万用表、钳形表、红外测温仪、电能质量分析仪等主要产品的核心指标更是足以对标全球测量领域头部厂商，并已在海内外100多个国家和地区获得市场认可。由此可见，往综合型创新方向发展、储备覆盖全面的技术能力，是让华盛昌能实现“国产替代”的底气所在。　　02 重视技术创新，成果转化稳定输出　　技术创新为设计开发提供不竭动力。华盛昌高度重视技术储备和设计研发。近年来，华盛昌积极响应仪器仪表行业国产替代政策需求加强自主研发生产能力建设与人才储备。　　2022年，华盛昌研发人员数量占比已达14.5%，研发投入金额约7531万元，占营业收入的12.63%。　　自成立以来，公司坚持自主研发与技术创新，持续推出了一系列具有技术突破性的创新产品。截至2023年11月30日，公司已获得了国内外专利326项。在专业技术上，公司拥有发明专利17项、实用新型73项，红外测温、测距技术获得了国际授权专利，在工业设计技术上，公司拥有外观设计专利236项，从全球视角捕捉消费者的使用体验和审美观念，公司一直追求产品的人性化和设计感，使公司产品形象和设计符合全球客户的消费习惯。　　03 严谨与创新，更好服务受众　　然而在深入了解华盛昌后就会发现，这所公司更深层次的魅力——工程师式的严谨与创新，无论是在产品设计研发生产，还是在提供服务过程中，都有很明显的体现。为了让研发能更好贴合产业和市场需求，华盛昌坚持“让研发人员与客户直接见面交流”。华盛昌在脚踏实地走好每一步的同时，深入结合行业痛点，大胆创新，在1993年，较早推出带手电筒照明功能的数字万用表，将手电照明和背光技术糅合到万用表，使产品在光线不足环境中清晰显示测量结果，方便用户使用，诸如此类的创新结合，华盛昌推出了众多大受欢迎的产品。　　另一方面，华盛昌具备专业化、定制化、一站式产品研发及生产能力，依托于强大的研发团队，公司定制化业务发展迅速。与国内轨道交通领域专业客户合作，为客户研发、设计和生产轨道交通领域的铁路信号智能测试终端检测设备，广泛应用于轨道信号的高精度测量和信息传输；与英国高端品牌客户合作研发了新能源汽车充电桩的检测仪，性能技术指标优于行业同类产品。　　在未来国产替代化和机密仪器发展过程中，华盛昌也将持续发挥自身优势，继续完善产品品类，加大创新投入与研发，不断发扬严谨与创新精神，向智能化、高性能、多功能方向发展，不断提升产业基础能力和产业现代化水平，加快推动技术、产品创新和成（002001）果应用转化，助力国家仪器仪表产业更快实现高质量发展。

超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器 杨宏兴 1，2，付海金 1，2，胡鹏程 1，2*，杨睿韬 1，2，邢旭 1，2，于亮 1，2，常笛 1，2，谭久彬 1，2 1 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所，黑龙江 哈尔滨 150080； 2 哈尔滨工业大学超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室，黑龙江 哈尔滨 150080 摘要 针对微电子光刻机等高端装备中提出的超精密、高速位移测量需求，哈尔滨工业大学深入探索了传统的共 光路外差激光干涉测量方法和新一代的非共光路外差激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差 精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技术方面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉仪，激 光真空波长相对准确度最高达 9. 6×10-10，位移分辨力为 0. 077 nm，光学非线性误差最低为 13 pm，最大测量速度 为 5. 37 m/s。目前该系列仪器已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测 试领域，为我国光刻机等高端装备发展提供了关键技术支撑和重要测量手段。 关键词 光学设计与制造；激光干涉；超精密高速位移测量引 言 激光干涉位移测量（DMLI）技术是一种以激光 波长为标尺，通过干涉光斑的频率、相位变化来感知位移信息的测量技术。因具有非接触、高精度、高动 态、测量结果可直接溯源等特点，DMLI 技术和仪器被广泛应用于材料几何特性表征、精密传感器标定、 精密运动测试与高端装备集成等场合。特别是在微电子光刻机等高端装备中嵌入的超精密高速激光干涉仪，已成为支撑装备达成极限工作精度和工作效率的前提条件和重要保障。以目前的主流光刻机为例，其内部通常集成有 6 轴至 22 轴以上的超精密高速激光干涉仪，来实时测量高速运动的掩模工件台、 硅片工件台的 6 自由度位置和姿态信息。根据光刻机套刻精度、产率等不同特性要求，目前对激光干涉的位移测量精度需求从数十纳米至数纳米，并将进一步突破至原子尺度即亚纳米量级；而位移测量速度需求，则从数百毫米每秒到数米每秒。 对 DMLI 技术和仪器而言，影响其测量精度和测量速度提升的主要瓶颈包括激光干涉测量的方法原理、干涉光源/干涉镜组/干涉信号处理卡等仪器关键单元特性以及实际测量环境的稳定性。围绕光刻机等高端装备提出的超精密高速测量需求，以美国 Keysight 公司（原 Agilent 公司）和 Zygo 公司为代表的国际激光干涉仪企业和研发机构，长期在高精度激光稳频、高精度多轴干涉镜组、高速高分辨力干涉信号处理等方面持续攻关并取得不断突破， 已可满足当前主流光刻机的位移测量需求。然而， 一方面，上述超精密高速激光干涉测量技术和仪器 已被列入有关国家的出口管制清单，不能广泛地支撑我国当前的光刻机研发生产需求；另一方面，上述技术和仪器并不能完全满足国内外下一代光刻机研 发所提出的更精准、更高速的位移测量需求。 针对我国光刻机等高端装备研发的迫切需求， 哈尔滨工业大学先后探索了传统的共光路双频激光干涉测量方法和新一代的非共光路双频激光干涉测量方法，并在高精度激光稳频、光学非线性误差精 准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等关键技术方 面取得持续突破，研制了系列超精密高速激光干涉 仪，可在数米每秒的高测速下实现亚纳米级的高分辨力高精度位移测量，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域。该技术和仪器不仅直接为我国当前微电子光刻机研发生产提供了关键技术支撑和核心 测量手段，而且还可为我国 7 nm 及以下节点光刻机研发提供重要的共性技术储备。高精度干涉镜组设计与研制 高精度干涉镜组的 3 个核心指标包括光学非线性、热稳定性和光轴平行性，本课题组围绕这 3 个核心指标（特别是光学非线性）设计并研制了前后两代镜组。 共光路多轴干涉镜组共光路多轴干涉镜组由双频激光共轴输入，具备抗环境干扰能力强的优点，是空间约束前提下用于被测目标位置/姿态同步精准测量不可或缺的技术途径，并且是光刻机定位系统精度的保证。该类干涉镜组设计难点在于，通过复杂光路中测量臂和参考臂的光路平衡设计保证干涉镜组的热稳定性，并通过无偏分光技术和自主设计的光束平行性测量系统，保证偏振正交的双频激光在入射分光及多次反射/折射后的高度平行性［19- 20］。目前本课题组研制的 5 轴干涉镜组（图 11） 可实现热稳定性小于 10 nm/K、光学非线性误差小于 1 nm 以及任意两束光的平行性小于 8″，与国 际主流商品安捷伦 Agilent、Zygo 两束光的平行性 5″~10″相当。 图 11. 自主研制的共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图非共光路干涉镜组 非共光路干涉镜组在传统共光路镜组的基础上， 通过双频激光非共轴传输避免了双频激光的频率混叠，优化了纳米量级的光学非线性误差。2014 年，本课题组提出了一种非共光路干涉镜组结构［2，21］，具体结构如图 12 所示，测试可得该干涉镜组的光学非 线性误差为 33 pm。并进一步发现基于多阶多普勒 虚反射的光学非线性误差源，建立了基于虚反射光迹精准规划的干涉镜组光学非线性优化算法，改进并设计了光学非线性误差小于 13 pm 的非共光路干涉镜组［2-3］，并通过双层干涉光路结构对称设计保证热稳定性小于 2 nm/K［22- 25］。同时，本课题组也采用多光纤高精度平行分光，突破了共光路多轴干涉镜组棱镜组逐级多轴平行分光，致使光轴之间的平行度误差 逐级累加的固有问题，保证多光纤准直器输出光任意 两个光束之间的平行度均小于 5″。 图 12. 自主设计的非共光路多轴干涉镜组。（a）典型镜组的3D设计图；（b）实物图基于上述高精度激光稳频、光学非线性误差精准抑制、高速高分辨力干涉信号处理等多项关键技 术，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉仪 （图 17），其激光真空波长准确度最高达 9. 6×10-10 （k=3），位移分辨力为 0. 077 nm，最低光学非线性误差为 13 pm，最大测量速度为 5. 37 m/s（表 2）。并成功应用于上海微电子装备（集团）股份有限公司 （SMEE）、中国计量科学研究院（NIM）、德国联邦物理技术研究院（PTB）等十余家单位 ，在国产光刻机、国家级计量基准装置等高端装备的研制中发挥了关键作用。 图 17. 自主研制的系列超精密高速激光干涉仪实物图。（a）20轴以上超精密高速激光干涉仪；（b）单轴亚纳米级激光干涉仪；（c）三轴亚纳米级激光干涉仪超精密激光干涉仪在精密工程中的实际测量， 不仅考验仪器的研制水平，更考验仪器的应用水 平，如复杂系统中的多轴同步测量，亚纳米乃至皮 米量级新误差源的发现与处理，高水平的温控与隔 振环境等。下面主要介绍超精密激光干涉仪的几 个典型应用。 国产光刻机研制：多轴高速超精密激光干涉仪 在国产光刻机研制方面，多轴高速超精密激光 干涉仪是嵌入光刻机并决定其光刻精度的核心单元之一。但是，一方面欧美国家在瓦森纳协定中明确规定了该类干涉仪产品对我国严格禁运；另一方面该类仪器技术复杂、难度极大，我国一直未能完整掌握，这严重制约了国产光刻机的研制和生产。 为此，本课题组研制了系列超精密高速激光干涉测量系统，已成功应用于我国 350 nm 至 28 nm 多个工艺节点的光刻机样机集成研制和性能测试领域，典型应用如图 18 所示，其各项关键指标均满足国产先进光刻机研发需求，打破了国外相关产品对我国 的禁运封锁，在国产光刻机研制中发挥了重要作用。在所应用的光刻机中，干涉仪的测量轴数可达 22 轴以上，最大测量速度可达 5. 37 m/s，激光真空 波 长/频 率 准 确 度 最 高 可 达 9. 6×10−10（k=3），位 移 分 辨 力 可 达 0. 077 nm，光 学 非 线 性 误 差 最 低 为 13 pm。 配 合 超 稳 定 的 恒 温 气 浴（3~5 mK@ 10 min）和隔振环境，可以对光刻机中双工件台的多维运动进行线位移、角位移同步测量与解耦，以满足掩模工件台、硅片工件台和投影物镜之间日益复杂的相对位置/姿态测量需求，进而保证光刻机整体套刻精度。图 18. 超精密高速激光干涉测量系统在光刻机中的应用原理及现场照片国家级计量基准装置研制：亚纳米精度激光干涉仪 在国家级计量基准装置研制方面，如何利用基本物理常数对质量单位千克进行重新定义，被国际知名学术期刊《Nature》评为近年来世界六大科学难题之一。在中国计量科学研究院张钟华院士提出的“能量天平”方案中，关键点之一便是利用超精密激光干涉仪实现高准确度的长度测量，其要求绝对测量精度达到 1 nm 以内。为此，本课题组研制了国内首套亚纳米激光干涉仪，并成功应用于我国首套量子化质量基准装置（图 19），在量子化质量基准中 国方案的实施中起到了关键作用，并推动我国成为首批成功参加千克复现国际比对的六个国家之一［30- 32］。为达到亚纳米级测量精度，除了精密的隔振与温控环境以外，该激光干涉仪必须在真空环境 下进行测量以排除空气折射率对激光波长的影响， 其测量不确定度可达 0. 54 nm @100 mm。此外，为了实现对被测对象的姿态监测，该干涉仪的测量轴 数达到了 9 轴。图 19. 国家量子化质量基准及其中集成的亚纳米激光干涉仪 结论 近年来，随着高端装备制造、精密计量和大科学装置等精密工程领域技术的迅猛发展，光刻机等高端制造装备、能量天平等量子化计量基准装置、 空间引力波探测等重大科学工程对激光干涉测量技术提出了从纳米到亚纳米甚至皮米量级精度的 重大挑战。对此，本课题组在超精密激光干涉测量方法、关键技术和仪器工程方面取得了系列突破性进展，下一步的研究重点主要包括以下 3 个方面： 1）围绕下一代极紫外光刻机的超精密高速激光干涉仪的研制与应用。在下一代极紫外光刻机中，其移动工件台运动范围、运动精度和运动速度将进一步提升，将要求在大量程、6 自由度复杂耦合、高速运动条件下实现 0. 1 nm 及以下的位移测量精度，对激光干涉仪的研发提出严峻挑战；极紫外光刻机采用真空工作环境，可减小空气气流波动和空气折射率引入的测量误差，同时也使整个测量系统结构针对空气- 真空适应性设计的复杂性大幅度增加。2）皮米激光干涉仪的研制与国际比对。2021年， 国家自然科学基金委员会（NSFC）联合德国科学基 金会（DFG）共同批准了中德合作项目“皮米级多轴 超精密激光测量方法、关键技术与比对测试”（2021 至 2023 年）。该项目由本课题组与德国联邦物理技术研究院（PTB）合作完成，预计将分别研制下一代皮米级精度激光干涉仪，并进行国际范围内的直接 比对。3）空间引力波探测。继 2017 年美国 LIGO 地面引力波探测获诺贝尔物理学奖后，各国纷纷开展了空间引力波探测计划，这些引力波探测器实质上就是巨型的超精密激光干涉仪。其中，中国的空间引力波探测计划，将借助激光干涉仪在数百万公里距离尺度上，实现皮米精度的超精密测量，本课题组在引力波国家重点研发技术项目的支持下，将陆 续开展卫星- 卫星之间和卫星- 平台质量块之间皮米级激光干涉仪的设计和研究，特别是皮米级非线性实现和皮米干涉仪测试比对的工作，预期可对空间引力波探测起到积极的支撑作用。本课题组在超精密激光干涉测量技术与仪器领域有超过 20 年的研究基础，建成了一支能够完全自主开发全部激光干涉仪核心部件、拥有完整自主知识产权的研究团队，并且在研究过程中得到了 12 项国家自然科学基金、2 项国家科技重大专项、2 项 国家重点研发计划等项目的支持，建成了超精密激光测量仪器技术研发平台和产业化平台，开发了系列超精密激光干涉测量仪，在国产先进光刻机研发、我国量子化质量基准装置等场合成功应用，推动了我国微电子光刻机等高端装备领域的发展，并将通过进一步研发，为我国下一代极紫外光刻机研 发、空间引力波探测、皮米激光干涉仪国际比对提供支撑。全文详见：超精密高速激光干涉位移测量技术与仪器.pdf

成果名称高精密半导体激光系统的研制单位名称北京大学联系人马靖联系邮箱mj@labpku.com成果成熟度&radic 研发阶段 □原理样机 □通过小试 □通过中试 □可以量产成果简介：在新一代高精度卫星全球定位系统中，星载原子钟、新一代原子干涉仪、新一代重力测量仪等精密测量设备都迫切需要频率稳定度高、对参考谱线具有自动识别功能的高精密外腔半导体激光器。此外，发展具有我国自主知识产权的高精密半导体激光技术，使我国摆脱此类高端激光依赖进口的被动局面，将为我国新一代的高精度卫星全球定位系统、环境检测技术和生物检测技术等高新技术的发展打下坚实的基础。北京大学信息科学与技术学院陈徐宗教授申请的&ldquo 高精密半导体激光系统的研制&rdquo 项目，以研制具有国际先进水平的高精度可调谐半导体激光器和高精度倍频激光器为目标，瞄准该课题中的关键技术，着力解决高精度可调谐外腔半导体激光器的光栅反馈的稳定性、宽连续可调谐范围、中心波长范围等核心问题。 2009年，该项目获得了北京大学&ldquo 仪器创制与关键技术研发&rdquo 基金资助。在基金的资助下，通过关键器件的购置和实验材料的加工，课题组开展了一系列富有成效的工作，包括：外腔半导体激光头的研制、精密电源与高精密频率控制器的研制、精密光谱监测系统的研制、激光倍频光学系统的研制、倍频腔稳频电路的设计和精密控温器的研制等，实现了激光自动锁频、连续稳频、迁谱线智能识别等创新功能。在未来的工作中，课题组将进一步提升该系统的稳定性和可靠性，优化相关工艺设计，推动高精密半导体激光技术的发展与产业化。应用前景：在新一代高精度卫星全球定位系统中，星载原子钟、新一代原子干涉仪、新一代重力测量仪等精密测量设备都迫切需要频率稳定度高、对参考谱线具有自动识别功能的高精密外腔半导体激光器。

产品概述：冷杉PG-1100系列便携式气相色谱仪，采用符合国标的氢火焰离子化检测器(FID)检测技术，产品符合HJ1012-2018《环境空气和废气 总烃、甲烷和非甲烷总烃便携式监测仪技术要求及检测方法》和HJ38-2017《固定污染源废气 总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定 气相色谱法》。可用于污染源废气有组织排放和厂区厂界无组织排放等多种应用场景，便于污染源普查、摸底排放、泄露监测、比对验收、走航巡查及环境执法。产品特点：合规—— 规圆矩方，准绳嘉量 - 完全符合HJ1012-2018和HJ38-2017标准要求，比测、鉴定有依据 精确—— 精益求精，准确测量 - 采用色谱柱反吹技术，适用各种复杂工况，不惧高沸点化合物干扰测量 - 管路特殊处理工艺，最小化残留与吸附，确保测量数据精确 稳定—— 波澜不惊，稳若泰山 - 高精度电子气路控制（ EPC ），控压精度高，保证测量结果稳定 - 关键零部件使用高品质进口件，确保运行稳定 快捷—— 玲珑轻便，随时待命 - 冷机启动8分钟即可运行，到场2分钟即可获取数据* - 气源内置，主机重量低于10千克，真正便携* 持久—— 低能耗，大储存，续航无忧 - 超大容量锂电，绿色环保能源。 - 单气瓶连续运行续航超过4h，无缝更换气瓶* 友好—— 细心呵护，安全护航 - 屏幕、主机分离式设计，操作更舒适，避免操作者长时间暴露于现场恶劣环境 - 更低维护成本，电池、气瓶可循环充放，重复使用，部件耗材可单独更换 - 金属固态储氢技术，保障使用安全稳定、方便乘坐公共交通工具 - 现场即刻打印报告，固定测试结果固定污染源便携式气相色谱仪技术参数：指标参数检出限≤0.8mg/m3样品空白＜仪器检出限定量重复性≤2.0%（甲烷）线性误差±2.0%F.S.（甲烷）加标回收率80%~120%分析周期≤2min环境温度影响±5.0%F.S.内振动影响±2.0%F.S.内氧气影响±5.0%F.S.内供电220v±10%使用环境0~45℃进样量500ml/min氢气续航8h燃烧气续航4h载气续航4h监测因子 NMHC数据存储1年仪器尺寸250mm×280mm×421mm（L×H×D）仪器重量≤10kg （不包括电池）电池重量≤4kg电池容量20HA电池续航时间＜12h创新点：合规—— 规圆矩方，准绳嘉量- 完全符合HJ1012-2018和HJ38-2017标准要求，比测、鉴定有依据精准—— 精益求精，准确测量- 采用色谱柱反吹技术，适用各种复杂工况，不惧高沸点化合物干扰测量- 管路特殊处理工艺，最小化残留与吸附，确保测量数据精准稳定—— 波澜不惊，稳若泰山- 高精度电子气路控制（ EPC ），控压精度高，保证测量结果稳定- 关键零部件使用高品质进口件，确保运行稳定快捷—— 玲珑轻便，随时待命- 冷机启动5分钟即可运行，到场2分钟即可获取数据* - 气源内置，主机重量低于10千克，真正便携*持久—— 低能耗，大储存，续航无忧- 超大容量锂电，绿色环保能源。- 单气瓶连续运行续航超过4h，无缝更换气瓶* 友好—— 细心呵护，安全护航- 屏幕、主机分离式设计，操作更舒适，避免操作者长时间暴露于现场恶劣环境- 更低维护成本，电池、气瓶可循环充放，重复使用，部件耗材可单独更换- 金属固态储氢技术，保障使用安全稳定、方便乘坐公共交通工具- 现场即刻打印报告，固定测试结果冷杉便携式气相色谱仪PG-1100

模具生产是制造业的上游环节，模具的精度直接影响后续产品的生产及装配。由于模具形状各异，且大部分存在异形曲面，使用人工测量误差大，使用三坐标检测门槛高、效率低。目前，一些精密模具生产厂商，特别是在生产中大型精密模具的过程中，由于缺少良好的检测手段，工件精度全靠机床精度和工人经验，无法量化把控产品的品质。高精度三维扫描技术的出现打破了这一困境。天远FreeScan UE Pro创造了一种高效、准确、便携、直观的精密模具三维检测方式，为中大型精密模具的检测提供了一种可行性方案，大幅提升了精密模具的检测效率和质控标准。高效0.5小时完成精密模具（长1米）三维检测以高精度三维扫描的方式进行精密模具的尺寸检测，整体检测过程（包括预处理、摄影测量、三维扫描、三维检测等流程），只需耗时半小时。1）摄影测量——2分钟因该模具为中大型模具，且对精度要求较高，故采用FreeScan UE Pro集成的新一代双目摄影测量系统进行摄影测量，以获取工件的空间框架位置，为后续扫描数据的拼接提供一个参照系，实现全局尺寸精度控制。-摄影测量过程-2）高速扫描——5分钟使用FreeScan UE Pro高速扫描模具，26条交叉蓝色激光线能够快速获取模具的完整三维数据，反光材质也可轻松应对。-三维扫描数据-3）数据处理，三维检测——10分钟FreeScan UE Pro的三维扫描控制软件设计人性化，数据后续处理高效便捷。同时，扫描控制软件无缝对接检测软件，一键导入，快速进行模具的全尺寸三维检测。-三维检测色谱图-准确结合摄影测量精度可达0.02+0.015mm/mFreeScan UE Pro的新一代双目摄影测量系统采用连续全角度拍摄的方式，获取的照片角度更加全面，能够确保全局精度的控制。同时，通过算法优化，FreeScan UE Pro三维扫描的重复性精度稳定：多次扫描同一工件，结果偏差很小。通过多个环节的精度控制，FreeScan UE Pro结合摄影测量精度可达0.02+0.015mm/m，保证了检测结果的可信度。-点击图片查看更多-FreeScan UE Pro结合摄影测量三维扫描精度报告便携设备环境适应性强、通用性强相比传统三坐标检测方式，需要将模具搬运至专用测量室，静置后方可检测。FreeScan UE Pro环境适应性强，使用灵活，在产线上即可完成三维检测。高精度三维扫描检测的方式，符合高效生产节奏的需求，实现了即产即检。同时，使用FreeScan UE Pro进行模具的三维检测时，不同模具均可使用同一台三维扫描设备进行检测，通用性强，不受模具的形状限制。直观色谱图直观显示，检测结果一目了然通过色谱图可直观显示检测结果。颜色偏红则表示工件过厚，颜色偏蓝则表示工件偏薄，对比复杂的数字报表，结果一目了然。-对企业内部工作人员而言，可直观看到加工偏差，进行快速调整；-对企业客户而言，可以快速掌握精密模具的整体尺寸偏差情况，进行产品的验收。❖FreeScan UE Pro为中大型精密模具制造商提供了一种高效、准确、便携、直观的检测方式，并可提供完整的三维检测报告，与模具共同交付，从而规范交付流程。高精度三维扫描技术的普及，为中大型精密模具的高效质量检测提供了可靠的途径，大幅提升了精密模具的检测效率和质控标准。

近年来，随着对液体样品密度快速准确测量的需要，便携式密度计的需求迅速增加。便携式密度计测量液体样品的密度，可以瞬间读出测量结果，显示出样品的密度值。除了可以测量密度外，还可以测量一些溶液的浓度，如硫酸、盐酸、氢氧化钠等。奥地利安东帕的DMA35N型便携式密度计小巧轻便，重量只有275g，具有大屏幕显示，具有自动温度补偿功能，是目前市场上使用最多的便携式密度计，可以存储1024个字符点，使户外使用更加方便。主要应用举例：1、 原材料运输：油轮、港口、 储油管等。 DMA 35N Ex 石化防爆型&ndash 检测燃油/汽油/柴油2、在地面生产车间： 麦芽汁浓度监测、蒸馏&精馏、水质及污水处理厂、酸洗池、通量监测 、过程中控检测、绝缘油 3、电池酸浓度： UPS、Telecom、Switchgear、Automotive and motive power 、Submarine4、制药：发酵、血清 、实验室制备 5、果汁Brix测定 上海纳鍩仪器有限公司做为安东帕公司的授权代理商，常年提供DMA35N的现货供应。 欲了解仪器详情，请浏览产品介绍网页：http://www.instrument.com.cn/netshow/SH101380/C27569.htm 或直接来电咨询： 上海纳锘仪器有限公司 地址：上海市莲花南路1388弄8号楼碧恒广场1503室[201108] 电话：021-60900829，60900830，61131031,61131051 传真：021-61131052 E-Mail：info@nano-instru.com -------------------------------------------------------------------------------- 浙江办事处 地址：浙江杭州莫干山路425号瑞祺大厦814室[204888] 电话：0571-81954578 传真：0571-81954579 E-Mail：sales@nano-instru.com 纳鍩仪器----提供给您纳米级的专业细致服务！

新华网长春12月3日电 记者2日从中国科学院长春光机所了解到，我国高精度衍射光栅刻划机项目已经开始实施，预计2012年研制成功。　　据国家光栅制造与应用工程技术研究中心常务副主任唐玉国博士介绍，新型光栅刻划机性能优越，最大刻划面积达400毫米×500毫米，最大刻线密度为6000线/毫米，均是国际一流水平。该精密机械系统还将包括采用完全符合“阿贝原则”的多层台结构、承重兼导向的一体式石英刀架导轨、金刚石刀具的中途连续切换技术以及实现连续运行与间歇刻划相结合的独特工作方式等多个创新点。　　说起被称为“精密机械之王”的光栅刻划机，很多人觉得陌生，认为离自己的生活很远。其实大到空间探测，小到血糖化验，都少不了光栅发挥作用，而光栅刻划机就是制造光栅的工作母机。　　唐玉国表示，光栅是光谱仪器的核心元件，只有拥有了新的光栅技术，才能催生新的光谱仪器，推动整个光谱仪器行业的创新和发展。研制大型高精度衍射光栅刻划机将大幅度提升我国光栅制造水平，促进光谱仪器产业及光谱测试技术的快速发展，提升我国精密机械制造行业的自主创新能力。　　据了解，该项目将在我国长期技术积累、关键技术获得突破的基础上，依托中科院长春光机所及联合国内相关技术力量进行研制。目前已经获得国家重大科研装备研制项目支持，经费达1.18亿元。此外，该项目已被吉林省纳入十个重大科技攻关项目之列。

美国氯乙烯泄漏警示：事前预警、灾后应对，精密检测仪器“大有可为”2月3日，一列运载危险化学品的火车在美国俄亥俄州脱轨，引发大火。脱轨车厢载有危险化学物质氯乙烯，大量有毒气体被释放。此外，由于事故地点紧邻美国流量第三大河的俄亥俄河，氯乙烯也极有可能污染该河水质。事件一出，有关危险化学品泄漏事故事前预警与灾后应对的话题迅速在网上引发热议。灾后应对：环境应急监测，保障安全该事故发生后，俄亥俄州当地政府立即撤离了污染区的居民，并对污染现场及附近的大气与水体进行了密切监测分析。这也是类似灾害事故中最为常见的应对方法之一。很多化工原料大多具有毒性，发生爆炸或渗漏等意外事故后极易污染大气环境，并有可能渗入土地或溶解于水中，因此对大气、土壤、水体等环境物中有毒物质的监测是非常必要的。精准且高效率的现场监测设备也就成为了事故处置方案中的关键。INFICON HAPSITE ER是一款便携式气质联用仪 (GC/MS)及数据处理工作站，可现场鉴定多种类的化学物质，并在10分钟内提供实验室质量级别的定性和定量结果。目前已经在美国/欧洲/中国/日本等全世界范围内的环境监测，军事国防，消防安全等领域得到广泛应用。事前预警：日常检漏操作，需确保精准灾后应对很重要，但灾前预警更为关键。针对易燃易爆的化学、化工物质，及时发现泄漏、快速查找漏点、排除危险源，是企业或机构确保人身财产安全的重中之重。2022年6月18日，上海石化化工部乙二醇装置区域发生爆炸，乙烯装置燃爆，造成一死一伤，令人痛心。该事故中涉及到的轻质烯烃，因沸点低、易挥发与燃爆的特点，一直是石化企业危险化学品预警监管中的重点与难点。INFICON Micro GC Fusion便携式微型气相色谱，对于该类化学物质有着极强的监测能力，能够在短时间内（一般不超过3分钟）进行定性与定量分析，并可根据燃烧热值调整各管道流量，以避免爆炸的极端危险状况，全面提升石化安全工艺参数。说到易燃易爆的化学物质，燃气可能是我们接触最多也最为熟悉的。截至2020年，我国陆上长输油气管道总里程达17万千米，城镇燃气管网里程已达70万千米。燃气行业的快速发展，在为各行各业提供能源保障的同时，也带来了不容忽视的安全隐患。2021年6月13日，湖北省十堰市发生的重大燃气爆炸事故相信很多人都还印象深刻。而在城市或企业燃气管网的日常监测、预警操作中，精准的泄漏检测方法与技术同样至关重要。INFICON研发的IRwin可燃气体/甲烷泄漏检测仪，是一款独具创新且操作简便的便携式燃气管网巡检和泄漏检测设备，可有效地应对在日常巡检和维抢修中出现的不同情况和条件，灵敏度高、响应迅速且归零快。在湖北十堰事故发生后，INFICON团队也曾携带IRwin参与了十堰市大型安全隐患排查项目，并凭借着高效精准的检测效果得到项目领导的高度认可。常言道，千里之堤，溃于蚁穴。正如一根火车车轴故障引发如此大的生态灾难，在公共事业中，一个小小的泄漏也有可能造成不可逆转的伤害。因此，只有及时响应、精准检测、做好防范，才能保障日常生活、维护公众安全。

2022年9月8日，摩方精密被日本精密工学会正式授予“日本精密工学会制造奖”，成为全球第三家获得该奖项的非日本本土企业，也是第一家来自中国的企业，而此前获得过此殊荣的国外企业，只有德国的两家公司。这也是摩方精密继获得国际光学工程学会棱镜奖、TCT2022最佳硬件及聚合物系统奖后，再次斩获国际重量级奖项。 日本精密工学会成立于1933 年，到目前为止，在全球范围内已拥有包括高等院校、研究机构以及知名企业在内的5500多个成员，在世界精密制造工业领域中，尤其是在精密设计、精密加工、精密机械、精密计量、环境工学、表面材料、医学器械等诸多领域，始终占据着领导者地位。日本精密工学会设奖目的在于，一方面奖励具有卓越的开发力和工业改善力的优秀新型产品或具有促进制造业发展作用的高新技术；另一方面奖励在精密工程领域开发出具有高社会价值产品和技术的优秀企业，以肯定他们的努力和贡献，支持他们进一步发展。因此，此次获奖，无疑对摩方精密在精密加工制造领域的技术实力和突出贡献给予了高度的肯定和莫大的鼓励。摩方精密作为全球微纳3D打印和精密加工领域先行者和领导者，今后将凭借领先于行业的卓越技术实力，为全球制造产业的发展、科学技术的进步做出更大的贡献。

安东帕于2009年5月正式推出全新便携式密度计　　 　　DMA35 是Anton Paar的新一代便携式密度计，采用U-形振荡管技术。DMA35测量密度，自动换算成相关的值并实时显示在全新的大屏幕上，结果可随时存储，打印或输出至电脑。　　你是否厌烦了到处都是连接线的工作环境?DMA35可通过IrDA通讯接口实现与打印机及电脑的无线通讯。Tag&Log版DMA35配备了RFID无线电子标签装置，可自动识别样品并选择对应的测量方法。　　友好的客户界面　　紧凑，轻便的设计，便于单手操作　　操作简便，即使戴防护手套时也是如此　　直观的显示界面 有背光的大LCD显示屏，直观清晰地显示测量结果 测量池有观察窗和背光灯 样品进样时背光灯自动开启　　结实，防漏的外壳设计为工业和现场应用设计 即使取样泵泄漏，样品也不会进入仪器内部　　红外接口用于与打印机和电脑间的数据传输　　Tag&Log版产品配置RFID无线电子标签装置，自动识别样品并选择对应方法　　可储存高达100个样品ID，用于样品识别 储存超过20种测量方法 储存1024个数据，包括时间标记和样品ID 预留5个客户自定义方法　　技术参数：　　 测量范围： 密度 0—3g/cm3 温度 0—40 °C 黏度 0-1000mPa.s　　 准确度： 密度 1 x 10-3 g/cm3 温度 0.2°C　　 重现性： 密度 5 x 10-4 g/cm3 温度 0.1°C　　 分辨率： 密度 1 x 10-4 g/cm3 温度 0.1°C　　 最少进样量： 2 ml　　 操作温度：-10—50°C **　　 可储存1024个数据　　 内置全部常用浓度表及计算功能 (H2SO4, Brix, % alcohol, API gravity, ...)　　 预留5个客户可自定义功能　　 IrDA红外通讯接口， RFID电子标签通讯接口(Tag&Log版具备此功能)　　 防护等级IP54　　 电源： 2个1.5V，AA电池　　 尺寸： 140 x 138 x 27 mm　　 仅重368克

由聚光科技旗下谱育科技牵头设立的浙江省质谱仪器创新中心（浙江青科质谱仪器创新有限公司）已于近日完成注册，正式进入建设运营阶段。该中心联合高校、研究所和质谱产业链上下游企业，针对高端质谱关键共性技术开展协同创新，并打造创新企业孵化基地。中心目标至2024年孵化培育创新性企业5家以上，带动产业规模10亿元。谱育科技是聚光科技于2015年自孵化成立的子公司，已完成近二十项国家重大科技专项研发和国家及行业标准制定工作，积累二十余项新型技术平台。在持续加大自主研发投入的同时，公司通过产业投资、协同研发、项目孵化等方式，加速产业布局，打造精密分析仪器行业“链主型”企业。省级制造业创新中心天眼查资料显示，浙江省质谱仪器创新中心（浙江青科质谱仪器创新有限公司）成立于2022年4月21日，由谱育科技直接及间接持股51.85%，浙江盛域医疗技术有限公司、浙江棱镜智能有限公司等公司参股。公开资料显示，该中心于2021年12月8日入选浙江省制造业创新中心拟创建名单。据《浙江省制造业创新中心建设提升实施方案（2021-2025年）》（下称《方案》），制造业创新中心是由企业、科研院所、高校等各类创新主体自愿组合，以独立法人形式创立的新型创新载体。创新中心的主要目标是聚焦制造业重点领域关键共性技术，打通研发供给、转移扩散和首次商业化全链条。质谱、光谱、色谱分析仪器领域是《方案》列举的15个重点发展领域之一。谱育科技作为在质谱领域具备显著发展优势与竞争优势的企业，牵头设立了浙江省质谱仪器创新中心。据质谱创新中心官网介绍，中心将面向工业过程分析、环境监测、应急安全等领域的质谱仪器需求，致力于实现高端质谱仪器关键零部件、核心主机及专用分析系统共性技术的突破，并通过“政、产、学、研、用、资”协同创新机制，实现创新成果商业化进程的快速推进。据了解，质谱仪相对传统分析仪器具备高灵敏度、高特异性、高效率等优势，在制药、食品、科研、环保、医疗、半导体等领域有较为广泛的应用。我国质谱仪市场规模约150亿元，而国产化率仅约10%，核心零部件“卡脖子”问题突出。民生证券分析称，质谱产业链上游本土化，可大幅降低国产质谱仪零部件采购成本，有效提升下游市场国产化率；国产质谱市场增长，则推进上游零部件研发生产投入，形成质谱产业发展的正向循环。质谱创新中心表示，公司目标在2024年建成人员规模达100人的团队，形成共性技术成果10项以上，申请专利20项以上，牵头或参与制定国家或行业标准5项，孵化培育创新性企业5家以上，带动产业规模10亿元，力争在杭州形成具有国际影响力的质谱仪器创新策源地。打造精密仪器产业集群据了解，谱育科技自2015年成立以来，先后积累了二十余项新型技术平台，在高端质谱技术质量分析器领域掌握了离子阱、四极杆、三重四极杆、飞行时间等质谱技术。公司是国内唯一一家拥有三重四极杆技术自主知识产权的企业，并在此基础上迭代升级，推出了质谱流式细胞仪、12寸晶元杂质成分检测专用质谱仪器等产品。此外，公司先后量产了国内首台商用便携式气相色谱质谱联用仪（GC-MS）、首台可车载电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）等产品，性能指标均达到国际同类先进水平。资料显示，谱育科技在“协同创新、产业集群”的发展模式上早有布局。2020年底，谱育科技与青山湖科技城共同搭建“一平台两中心”--先进精密仪器共性技术研发及工程化创新服务平台、质谱仪器创新中心、工程师协同创新中心，旨在形成仪器整机、核心零部件、试剂耗材、技术服务、高端专用仪器与系统五位一体的产业集群。2021年，谱育科技作为精密仪器产业的“链主型”企业，与青山湖科技园合作成立了2亿元规模的产业投资基金，用于扶持谱育科技招引上下游企业，入驻青山湖科技城。目前，聚光科技旗下已有谱聚医疗、谱康医学、艾思睿等7个项目签约落地青山湖科技城，产业产品应用覆盖了环境监测、生命科学、食品安全、医疗检测等十多个领域。其中，谱聚医疗联合复旦大学附属中山医院、北京大学人民医院、浙江大学医学院附属邵逸夫医院、山东齐鲁医院、山东大学、浙江省医疗器械检测研究院等单位，在临床质谱领域进行了多项 “产学研用”一站式产业化合作。公司目前已实现质谱分析检测系统的国产化，离子源、离子传输系统、电控模块、碰撞反应池等质谱核心部件均为自主研发。谱育科技表示，这些项目的落地、孵化和产业化，将积极提升我国精密仪器在质谱、色谱、光谱等技术领域的自动化、智能化、国产化水平，告别长期依赖进口的“卡脖子”局面。

500系列 X-RITE 爱色丽 制版业便携式分光密度仪，设备中文显示分光密度仪采用先进的光谱感应生产技术，提供精密度更高更准确的便携式分光密度仪。500系列特点是可同时测量四色和专用油墨，还备有多种密度、网点和色度功能，十分适合制版业和各类印刷工业，特别为包装印刷业带来超卓的色彩品质水平。每一部爱色丽生产的色彩测量仪都经过严格的质量检定。此外，仪器仍会自动提供校正指示，以便保持其稳定性或不同地点使用时，得到一致的读数。500系列 X-RITE 爱色丽 制版业便携式分光密度仪，产品应用：504型分光密度仪，可以迅速、可靠的测量密度水平，密度(值或减去纸张密度)，密度参照。508型分光密度仪，拥有504的所有功能之外，还可以测量网点面积和网点增大的功能。518型分光密度仪，具有完备测量功能，包括密度、网点、叠印、印刷反差、色调误差和灰度。此外，还具有一种独特功能-自动选择功能，可以自动识别正在测量的实地、网点及叠印等。无需转换功能，便可将读数显示出来。518型适合各类型四色印刷使用，包括胶印、柯式、卷筒、杂志和报纸印刷，方便第一时间得知印刷生产情况。528型分光密度仪，除拥有518所有功能外，528更包括色度功能，例如：L*a*b*、L*c*h0等，是一部结合分光光度仪和密度仪的先进仪器，特别适合包装印刷监控四色及专色使用。530型分光密度仪，530加上完整的光谱功能，包括光谱曲线图、光谱密度数据等。530更配合油墨配色系统和色彩品质控制软件在实验室和质检部使用。500系列 X-RITE 爱色丽 制版业便携式分光密度仪，产品参数：光学系统 45°/0°等同于ANSI和ISO标准 测量直径 3.4mm直径（0.130英寸） 标准 2.0mm直径（0.078英寸）6.0mm直径（0.236英寸） 光源 脉冲式充气钨丝灯 色温 2856° 光谱范围 （适用于528及530型号）400nm—700nm 标准照明体 CIEA,C,D50,D55,D65,D75,F2,F7,F11,F12 标准观察角度 CIE2°及10° 响应方式 T，E，I，A，G，Tx，HIFI 测量范围密度 0.00D—2.500D 反射率：0—160% 测量时间 1.4秒 重复性 ±0.005D 0—2.0D* ±0.010D 2.0—2.5D* 配偏光滤色镜 ±0.010 0—1.8D 0.10△E以内 仪器台间差 0.01D或1%（传统印刷）0.40△Ecmc以内）测量12块BCRA系列色板） 要求电源 氢化金属镍充电电池，4.8V1520mAH 充电时间 约3小时 使用温度范围操作温度 10℃至35℃ 相对温度，30%—85% 体积 高81mm（3.2寸）宽76mm（3.0寸）长197mm（7.8寸） 重量 1050克（2.3磅） 注:因技术进步更改资料,恕不另行通知,产品以后期实物为准。

2024年4月，清谱科技在西藏地区顺利开展“便携式质谱技术应用操作”培训，这是我司工程师首次在海拔4500米以上地区进行设备的调试且所有设备在高海拔地区均正常运行、状态良好！为了更好地提高用户体验，满足用户试验需求，公司组建了专业的培训团队赶赴西藏。根据用户需求有针对性地进行知识技能的传授。培训的主要内容包括便携式质谱分析系统介绍、原理及使用、食品安保应用与操作以及仪器在高海拔地区的注意事项等。由于西藏地处高原，自然环境条件相对恶劣，具有大气压力低、 空气密度小、 气温变化剧烈等特点，因此对精密仪器的可靠性、稳定性等性能要求更为苛刻。清谱科技便携式质谱分析系统攻克了质谱小型化、原位采集离子化、非靶向智能筛查、环境自适应、一键式智能操作等多项关键性技术问题，具有时时可测、处处可至、人人可用的特点，实现了将实验室质谱技术应用到现场的设想。便携式质谱分析系统基于完善的数据谱库，可进行毒物的现场快速检测，如大型活动安保、制毒现场确证等。高原之巅，是挑战，更是机遇。此次清谱科技西藏之行，实现了便携式质谱仪在高原极端环境下的应用，推动高原地区现场即时检测技术进入新时代，更是清谱科技硬实力的强有力展示，清谱科技产品应用场景得以进一步拓展。清谱科技将继续秉持“让人类生活更安全更健康”的企业愿景前行，不断精进，为医疗诊断、公共安全、现场监管、科学研究等领域提供全球领先的解决方案。

现代精密测量技术是一门涉及光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术等多学科的综合性交叉学科，在科学研究、精密制造等领域发挥重要作用。高水平的精密测量技术和精密仪器制造能力，是衡量国家科学研究和整体工业领先程度的重要指标，更是发展高端制造业的必备条件。没有超精密测量，就没有高端装备制造。为了解我国大尺寸精密测量技术及几何量微纳米级精密测量技术发展及应用现状，仪器信息网特别发起“几何量精密测量技术发展及应用”主题约稿活动，广泛征集来自科研单位、仪器企业及应用单位等观点分享，诚邀您参与投稿。1、约稿对象要求1）开展几何量精密测量研究及应用的专家学者，副教授、副研究员、高工及以上；2) 相关仪器企业研发人员/产品经理/应用工程师，具有5年以上从业经验。2、约稿主题（包含但不局限于以下）1) 综述：三坐标测量机、影像测量仪、激光干涉仪、激光跟踪仪、表面粗糙度仪、轮廓仪、三维扫描仪、在线测量等某个或多个几何量精密测量仪器技术发展现状及趋势；2) 上述测量技术在科研或精密制造等领域的应用；3) 几何量精密测量仪器产业观察/市场研究分析；4) 相关新成果、新技术、新方法及其应用；……3、稿件要求1) 文章（图文或视频类）为原创作品，尚未公开发表；2) 观点明确，数据可靠，文字准确简练，中心思想积极向上；3) 正文不少于1500字符，图片和照片务必清晰。 备注：仪器企业专家的约稿，厂商自身的内容不能超过30%4）投稿须为Word文档，本网编辑有权对文稿进行修改，如不同意请注明。4、投稿时间及方式回稿截止时间：2022年6月26日投稿邮箱：niuyw@instrument.com.cn联系人：牛编辑（13520558237） 仪器信息网2022年6月

一种能广泛用于高等院校、科研单位、工矿企业和环保领域化学实验室测量水溶液的pH值和电位mV值的PHSJ-5型实验室pH计，最近由我公司电化学事业部研发成功，现已投放市场。该实验室pH计系精密级pH测量仪器，配有自主开发的数据采集软件，技术、性能在国内属先进，接近国外专业电化学实验室仪器制造商同类新产品水平。　　PHSJ-5型实验室pH计采用高精度A /D 转化芯片，配置精密级pH电极、精密级参比电极和精密级温度传感器，确保了仪器具有0.001级pH的测量精度，能满足用户精密测量水溶液的pH值和电位mV值。该仪器主要有五个特点：一是触摸式大屏幕液晶显示屏，全中文操作界面，使用方便 二是可选择多种pH标准缓冲溶液标定仪器，利于用户建立自己的标液组 三是具有自动识别五种标准溶液功能 四是自动和手动温度补偿、自动校准、自动计算电极百分理论斜率 五是能储存、删除、打印、查阅，最多可储存200套测量数据，并有RS-232通讯功能。　　 图为公司电化学事业部推出的最新型精密级实验室Ph计

作为我国集成电路装备行业的核心企业之一，华海清科股份有限公司成功推出了具有自主知识产权的十二英寸超精密晶圆减薄机Versatile-GP300，于9月27日发往某客户大生产线。这款设备能满足3D IC制造、先进封装等制程的超精密晶圆减薄工艺需求，可提供超精密磨削、抛光、后清洗等多种功能配置，具有高刚性、高精度、工艺开发灵活等优势,主要技术指标达到了国际先进水平，填补了集成电路3D IC制造及先进封装领域中超精密减薄技术的空白。Versatile-GP300采用的工艺很巧妙。团队在设计之初，创新性地将高效减薄和抛光工艺集成，既能实现超平整减薄与表面损伤控制，又兼顾高效率与综合性价比，更匹配3D IC晶圆减薄市场的迫切需求。在我国3D IC制造、先进封装等领域中，十二英寸高精度晶圆减薄机全部依赖进口。如今，华海清科的首台十二英寸超精密晶圆减薄机Versatile-GP300已完成厂内测试，出机进入客户产线验证。这是华海清科又一产品在实现国产半导体装备自主可控道路上的重要突破。“念念不忘，必有回响”。华海清科团队在自主研发道路上，始终秉承着初心，一如既往地用精益求精的态度，不断追求技术突破，不断丰富产品系列，为加速推动集成电路国产设备替代进程、更好地服务社会贡献力量。