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在硅片上沉积了膜,膜无法取下,现需要测试膜的吸收,考虑到膜有反射,希望测试透过率光谱及反射率光谱来得到膜的吸收。现在试了几种方法:1、用傅立叶变换红外光谱测试。透过率用空白双面抛光硅片做背景,测试透过率;以金镜为背景用镀金的积分球附件测试反射率。结果有些出现反射率?透过率大于100%。2、用显微红外光谱仪测试。以空气为背景,测试硅片透过率T1,假设硅片对红外光不吸收,其反射率R1=1-T1;以硅片做背景,测试硅片上镀膜反射率R2,样品实际反射率R=R1*R2;以硅片做背景测试样品透过率T。样品吸收=1-T-R=1-T-(1-T1)*R2。结果也会出现反射?投射大于100%。若用显微红外测试以金镜做背景也会出现这种情况。各位老师帮我分析一下原因吧,还有测试基底上的膜中红外的吸收应该用什么仪器,用什么测试方法。谢谢谢谢
用傅里叶变换红外光谱仪测薄膜的红外吸收谱沉积薄膜的衬底需要完全红外透过嘛?薄膜是中波段的谢谢,请帮忙指导一下
我们的样品是硅衬底上长膜,老师要去做红外,但是我们组没人懂这个。。。跑去测得时候,那里的老师要我们自己测。。问那里的师兄,他只测过液体跟投射的。。。。。请问我们的样品该怎么做呢?能不能测红外吸收光谱。。。(样品不透明) 我们想得到薄膜的吸收峰变化从而判定样品的结构