扫描电子显微镜

扫描电子显微镜行业主要公司：目前国内扫描电子显微镜行业的公司主要有中科科仪、聚束科技、国仪量子、泽攸科技和善时仪器等。　　本文核心数据：扫描电子显微镜市场规模、扫描电子显微镜消费量、扫描电子显微镜细分市场需求规模(按采购主体)　　1、需求规模增长较快，2020年增速接近10%　　我国扫描电子显微镜行业起步较晚，于1975年方才由中国科学仪器厂(中科科仪股份有限公司前身)研制出首台扫描电子显微镜。但我国对于科研创新重视程度较高，由于扫描电子显微镜在各科研领域的物质微观形貌表征观察方面应用较为广泛，故其市场需求仍在稳步增长。　　结合全球扫描电子显微镜典型厂商日本电子于其决策说明会披露的全球电子显微镜、扫描电子显微镜市场规模和Grand View Research披露的中国电子显微镜市场规模，基于图表1中的基础假设和测算逻辑测算，2017-2020年中国扫描电子显微镜市场规模如下所示。 由此可知，近年来，中国扫描电子显微镜市场规模呈现逐年增长的态势，且增长速度较快，均在10%左右。2020年，中国扫描电子显微镜市场规模实现16.72亿元，受新冠疫情影响，2020年各单位对于扫描电子显微镜等科学仪器的采购预算增幅有所下调，故其同比增长率较2018年与2019年略有下滑，仅为9.21%。2、产品单价高昂，年需求量尚以百计 　　扫描电子显微镜属于高精密仪器，其产品单价相对高昂。根据对2018-2021年3月中国政府采购网上扫描电子显微镜中标/成交项目的统计，共有361台/套扫描电子显微镜列明了中标/成交金额。这361台/套扫描电子显微镜的中标/成交金额合计为10.67亿元，按该金额计算得到，2018-2021年3月期间中国政府采购网记录的中标/成交扫描电子显微镜平均每台/套的单价约为296.51万元。 　　我国政府采购的扫描电子显微镜种类宽泛，价格公允，故将2018-2021年3月期间中国政府采购网记录的中标/成交扫描电子显微镜平均价格作为中国扫描电子显微镜市场的平均价格，并根据“需求数量=市场规模/产品价格”的逻辑计算，得到中国扫描电子显微镜产品需求数量如下图所示。 　　由此可知，2017-2020年，中国扫描电子显微镜产品需求数量不断增长。2020年，中国扫描电子显微镜产品需求数量在564台左右。3、采购主体主要为高校、企业与科研机构 　　中国扫描电子显微镜的采购主体主要为高校、企业与科研机构。根据赛默飞旗下的飞纳品牌对其在中国销售的1000+台扫描电子显微镜采购主体的统计，以及2018-2021年第一季度3月中国政府采购网上扫描电子显微镜中标/成交项目的统计数据及科研设施与仪器国家网络管理平台披露的扫描电子显微镜保有情况的印证，中国扫描电子显微镜市场45%的采购主体为高校，企业和科研机构各占39%。即2020年，16.72亿元的中国扫描电子显微镜市场中，高校、企业和科研机构分别采购了约7.52亿元、6.52亿元和2.68亿元。 综合来看，我国扫描电子显微镜需求规模逐年增长，但由于价格高昂，年需求量不足千台。从其下游采购主体来看，对扫描电子显微镜存在需求的主要为高校、企业和科研机构，其中高校的需求占比较高，在45%左右。

项目编号：SDDX-SDLC-GK-2022031项目名称：山东大学扫描电子显微镜购置预算金额：375.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：375.0000000 万元（人民币）采购需求：扫描电子显微镜，亟需购置，具体内容详见招标文件。标段划分：划分为1包合同履行期限：质保期进口设备1年，国产设备3年本项目( 不接受 )联合体投标。20230106山东大学扫描电子显微镜购置招标文件（定稿）.doc

项目编号：ZJZB-ZC-202211-255/HSAWT01-20220420项目名称：华中师范大学扫描电子显微镜和透射电子显微镜设备采购预算金额：820.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：820.0000000 万元（人民币）采购需求：本项目采购扫描电子显微镜、透射电子显微镜各1台，主要用于合成生物学科研工作开展，以及创新型人才培养。(详见采购文件第三章“项目采购需求”）（1）类别：货物（2）质量标准：达到国家或行业颁布的其他现行各项技术标准和验收规范规定（3）其他：投标人参加投标的报价超过该包采购最高限价的，该包投标无效；投标人报价须包含该采购需求的全部内容。合同履行期限：交货期：签订合同之日起270日历天内送货并完成安装调试；质保期/保修期：提供自设备验收合格之日起2年内免费维修。本项目( 不接受 )联合体投标。华中师范大学扫描电子显微镜和透射电子显微镜设备采购招标公告.docx

p　　据Grand View Research的一项最新报告，2014年全球a href="http://www.instrument.com.cn/zc/53.html" target="_self" title=""扫描电子显微镜/a(SEM)市场为12.674亿美元，预计2022年该市场将达到29亿美元。/pp　　半导体行业的快速增长提升了显微镜在印刷、涂料、失效分析和元素检测方面应用的需求。而且显微镜在微型晶体管芯片和量子点等半导体行业的应用有望推动市场增长。纳米技术领域研究不断增长的需求需要技术先进、高分辨率的显微镜，再加上政府对研发创新的资金支持，都将推动该市场的增长。/pp　　由于慢性病患病率的不断增加，相关生命科学和医学领域R& D经费和对数码显微镜的需求也在增加，预计到2022年，扫描电镜在制药领域中的应用有望占到30%的市场份额 表面观察、膜厚度分析、涂料分析等应用需求也将推动该市场的增长，预计扫描电镜在汽车行业中应用的复合年增长率将超过11.0%。/pp　　由于世界级扫描电子显微镜制造商的出现以及扫描电镜在元素分析和成像领域的使用越来越多，到2022年，亚太地区市场份额将超过35.0%；先进的扫描电子显微镜在材料研究领域不断增长的需求也将推动拉丁美洲市场的增长，预计复合年增长率为11.6%。/pp　　此外，政府大力的资金支持也将加速制药、半导体和汽车等行业的研发进程。/pp　　这个市场的一些主要厂商包括Bruker、Danish Micro Engineering、FEI、Hitachi、JEOL、Leica、Nanoscience Instruments、Nikon、Olympus、Tescan Orsay Holding 、Carl Zeiss等。/ppbr//p

一、项目编号：ZJZB-ZC-202211-255/HSAWT01-20220420（招标文件编号：HSAWT01-20220420）二、项目名称：华中师范大学扫描电子显微镜和透射电子显微镜设备采购三、中标（成交）信息供应商名称：森塔实验室科技服务（武汉）有限公司供应商地址：武汉市东湖新技术开发区高新大道888号高农生物园总部B区1#楼205室中标（成交）金额：816.0000000（万元）四、主要标的信息序号 供应商名称 货物名称 货物品牌 货物型号 货物数量 货物单价(元)1 森塔实验室科技服务（武汉）有限公司 扫描电子显微镜和透射电子显微镜 日立 SU8600和HT7800 各一台 8160000

1、扫描电子显微镜行业竞争派系扫描电子显微镜是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器，其具有景深大、分辨率高, 成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。因为较高的技术壁垒，我国目前扫描电子显微镜的生产企业不多，其主要有中科科仪、聚束科技、国仪量子、泽攸科技和善时仪器等。这些企业均未上市。中国扫描电子显微镜市场的参与者主要分为两大派系：国内企业和海外厂商。其中，由于国内扫描电子显微镜行业起步较晚，海外厂商在扫描电子显微镜产品相关技术方面相较国内企业具有较大优势，因而整体的竞争实力也较国内企业更强。2、扫描电子显微镜行业市场份额与市场集中度由于国内扫描电子显微镜的技术水平与国际先进水平有一定差距，中国的扫描电子显微镜行业市场主要被海外知名扫描电子显微镜生产企业所占据。市场集中度较高，CR4在75%以上。目前，在中国扫描电子显微镜市场较为活跃的海外厂商主要有赛默飞、蔡司、日立、日本电子等，其主要专注于应用在科学研究的中高端扫描电子显微镜。国内的扫描电子显微镜生产厂商较少，主要为中科科仪、聚束科技、国仪量子、泽攸科技等，其中，除中科科仪外，其他厂商均是近5年才成为中国扫描电子显微镜行业市场的参与者。从具体份额来看，我国扫描电子显微镜需求量的90%左右均被海外厂商覆盖，其中蔡司、赛默飞(含飞纳)、日立这三家企业的市场份额均在20%左右。国内厂商在市场份额方面能够与海外厂商竞争的仅有中科科仪一家企业，其市场份额占到了全国扫描电子显微镜市场的7%左右。但随着我国对重大科学仪器国产化替代的重视程度不断提升，各项推动科学仪器国产化替代的政策层出不穷，使得国产化替代趋势不断兴起，以中科科仪为代表的中国扫描电子显微镜企业在中国市场的市场份额仍在不断提升。3、扫描电子显微镜行业企业布局及竞争力评价在扫描电子显微镜产品布局方面，海外厂商均已经应用了场发射电子枪技术，而我国除中科科仪和聚束科技外的其他品牌仍停留在分辨率和放大倍数较为逊色的钨灯丝扫描电镜阶段。此外，按国内扫描电子显微镜产品招投标的情况来看，受产品技术先进性影响，海外厂商扫描电子显微镜产品的平均价格也明显高于国内品牌。前瞻产业研究院挑选了中科科仪、聚束科技、国仪量子、泽攸科技、善时仪器这五家中国扫描电子显微镜行业企业作为代表，并对其较具代表性的扫描电子显微镜进行了参数对比。通过性能对比发现，中科科仪扫描电子显微镜技术成熟度处于国内前列。但将中科科仪、聚束科技和蔡司、日立、日本电子、赛默飞等四家海外知名企业的扫描电子显微镜产品进行参数对比，其在分辨率和电子光学放大倍数方面仍然落后于国外先进厂商。综合来看，我国扫描电子显微镜行业企业的产品研发水平仍需提高。4、扫描电子显微镜行业竞争状态总结从五力竞争模型角度分析，我国扫描电子显微镜行业企业数量较少，海外厂商占主导地位且市场集中度较高，现有竞争者之间的竞争激烈程度较高 同时，由于扫描电子显微镜产品的特殊性，单次采购量有限，且往往需要定制，故其无法批量采购，上游议价能力较强 其下游又多是高校与研究院所，其对扫描电子显微镜的要求较高，多倾向于购置海外厂商的高分辨率产品，对国产扫描电子显微镜的议价能力较强 但扫描电子显微镜行业壁垒较高，替代品较少，行业潜在进入者威胁和替代品风险较低。综合来看，我国扫描电子显微镜行业竞争状态总结如下：

项目编号：0613-227122241216项目名称：ZYCGR22011903场发射扫描电子显微镜采购预算金额：380.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：380.0000000 万元（人民币）采购需求：序号内容数量简要要求1场发射扫描电子显微镜1套分辨率：优于0.6nm@15kv（WD≥4mm），0.7nm@1kv（WD≥1.5mm） 合同履行期限：合同签订后7个月内交货本项目( 不接受 )联合体投标。

项目编号：TXD22534项目名称：生命医学实验平台—扫描电子显微镜（贴息贷款）预算金额：210.0000000 万元（人民币）采购需求：扫描电子显微镜1.电子枪：肖特基场发射电子枪；2.分辨率：1.0 nm @ 15 kV，SE；1.5 nm @ 1 kV，SE；(须提供官方宣传彩页或官方网站说明打印页予以佐证)3.加速电压范围：20 V～30 kV ；具体详见采购文件。采购数量：1台合同履行期限：2022年12月15日前供货并安装完毕本项目( 不接受 )联合体投标。

如果您在学术研究/产品研发过程中需要对样品进行形貌和成分分析，或感兴趣并想系统了解扫描电子显微镜，那么这个讲座请一定不要错过!上海分析技术产业研究院邀请东华大学分析测试中心电镜室室主任杨健茂老师，开展主题为《科研工作者的眼镜——扫描电子显微镜》的培训讲座，欢迎广大从业人员参加。活动内容　　讲座时间：2021年4月15日 星期四 14:00-16:30　　讲座地点：启迪漕河泾(中山)科技园紫荆园 2号楼B座2层2号会议室　　报名链接：http://hdxu.cn/DVAxj (讲座免费，名额有限，先报先得)　　*详细信息请参考报名海报可直接扫描上方二维码报名　　2019年以来，上海分析技术产业研究院举办多场仪器技术培训与讲座，受到园区入驻企业代表及周边高校学生的好评。2021年，研究院将继续邀请专家学者、高校老师与厂商工程师，定期开展实验室、仪器等方面的培训讲座，进一步帮助企业代表与高校学生加强相关知识储备，助推科创研发进程。　　更多研究院培训信息，敬请关注研究院公众号动态!

11月15日-19日,第二十五届中国国际高新技术成果交易会(以下简称“高交会”)在深圳隆重举办。中科科仪作为国科控股与国科科仪高端装备制造版图中的重要组成部分,携众多前沿技术及硬核产品亮相国科控股高端装备板块。16日上午,中科科仪总经理助理兼科仪光电总经理孟祥良在高交会(福田展区)新产品新技术精品发布活动中进行了《场发射枪扫描电子显微镜》的精彩报告,带来了具有自主知识产权的国产高端场发射枪扫描电子显微镜KYKY-EM8100并进行详细介绍。【发布现场】扫描电子显微镜是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器,具有景深大、分辨率高、成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点,是中国科技发展中不可或缺的高端科学仪器。中科科仪具有50多年的电镜研制历史,具备深厚的电子光学技术基础,是国内率先实现扫描电子显微镜产业化的企业,在产品的研发和制造方面拥有丰富的经验。针对基础科学研究和高精尖工业制造对国产场发射枪扫描电子显微镜的迫切需求,2013年,北京中科科仪股份有限公司牵头,联合北京大学、中科院微电子所、中科院生物物理所、国家环境分析测试中心、清华大学等单位,承担国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”,在2014年成功推出了国内首台肖特基场发射枪扫描电子显微镜KYKY-EM8000,并在此基础上提升电子光学系统综合性能,于2017年推出了国产高端场发射枪扫描电子显微镜产品KYKY-EM8100,分辨率优于0.9nm@30kV,3nm@1kV,解决了高分辨率电子光学成像系统、系统集成调试等关键技术,成为国内首创、达到国际同类产品技术水平、具有完全自主知识产权的肖特基场发射枪扫描电子显微镜。KYKY-EM8100型扫描电子显微镜是中科科仪承担科技部国家重大科学仪器设备开发专项“场发射枪扫描电子显微镜开发和应用”研制成果的一部分,具有自主设计制造了低像差物镜、突破了电子束镜筒加速技术、自主研制了电子光学智能化控制系统等三大技术优势。目前该设备已完成科技成果转化及产业化落地,并形成批量销售,深受各行业用户好评,为我国纳米科技、材料分析、分子生物学研究与半导体检测领域提供技术支撑,取得了显著的经济效益和社会效益。场发射枪扫描电子显微镜是纳米技术、生物技术、医学、化学、物理学研究的重要工具,在半导体集成电路加工、微机电系统、微型传感器等信息技术支撑领域和环境保护领域也发挥着重要作用,广泛应用于金属、陶瓷、矿物、冶金、高分子、复合材料、微生物、新能源材料的表面形貌进行观察及微区的点、线、面成分分析 同时,场发射枪扫描电子显微镜在虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、产品质量鉴定等方面也有广泛的应用,在我国的基础科学研究、生产工艺控制、各分类学科研究的过程中发挥着不可或缺的重要作用。场发射枪扫描电子显微镜的研制成功,是我国电子光学研究水平的集中体现,是我国电子光学领域的重要成果,对摸索我国高端大型科学仪器的发展模式具有重要意义。当前,紧随科研需求和市场热点,中科科仪积极推进电子束等光学仪器设备的研究制造,加速高端仪器设备国产化替代进程,满足更多的科研及产业客户的特殊需求,助力中国高新技术产业高质量发展。未来,中科科仪将加快推进电子光学高端科学仪器装备的研制进程,提升国产化替代水平,不断解决高端仪器装备的问题,高质量引领重大科学仪器攻关及产业化发展,为强化国家战略科技力量、实现高水平科技自立自强做出新的贡献。

项目编号：TC22940DA项目名称：工业和信息化部电子第五研究所扫描电子显微镜采购项目预算金额：178.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：178.0000000 万元（人民币）采购需求：1.招标编号：TC22940DA2.项目信息：扫描电子显微镜1套，本项目包括扫描电子显微镜安装调试、包装运输、培训及售后服务等内容在内的一揽子项目。投标人必须针对整个项目进行投标，仅针对部分项目内容进行投标将被拒绝。3.最高限价：人民币178万元（含税）。合同履行期限：交货期：合同签订后180天内。本项目( 不接受 )联合体投标。

项目编号：HZ20220201-0085项目名称：中南大学物理与电子学院扫描电子显微镜采购项目预算金额：210.0000000 万元（人民币）采购需求：序号标的名称分项项目名称（标的名称）是否核心产品是否接受进口采购项目预算（人民币）交货要求代理服务收费标准交货时间交货地点1高分辨场发射扫描电子显微镜高分辨场发射扫描电子显微镜主机是是210万元合同生效后6个月以内。采购人指定地点具体收费标准详见本项目“投标须知前附表2镜筒内探测器：低位和高位是3样品室二次电子探测器否4角分割及环形分割8通道可伸缩背散射电子探头是5集成X射线能谱仪包含实时彩色电镜技术否6空压机否7冷却循环水否8大尺寸自动采集拼接软件否9多功能控制面板否10UPS 电源否 注：具体详见本项目招标文件第五章采购需求。合同履行期限：具体内容详见招标文件第五章的“采购需求”。本项目( 不接受 )联合体投标。

微型化变压扫描电子显微镜(MVP-SEM)是由NASA资助的项目，同时希望它能用于国际空间站和月球上　　据国外媒体报道，探索火星的一个最重要的目标就是从火星表面带回样本，尤其是那些可以用来检测火星上是否有生命的样本。这样的任务往往耗资巨大，而且在样本送返地球的时候可能被污染。因此，一个选择是在送返地球之前，就地对样本进行分析。火星科学实验室与其他火星车已经在火星上利用大量设备对多种样本的化学成分进行评估分析。然而，只有少数技术能够确定火星上是否存在生命。在地球上，科学家们用来检测生命或生物材料的设备是大气扫描电子显微镜(ASEM)或环境扫描电子显微镜(ESEM)。　　ESEM能够显示出比10纳米还小的物体，并且能够辨别样本的组成成分。最近，一个科研团队试图将ESEM微型化，使其能够适用于火星上的就地检测任务。微型化变压扫描电子显微镜(MVP-SEM)是由NASA资助的项目，同时希望它能用于国际空间站和月球上。下一个目标是制造一个类似ESEM的设备，帮助科学家们研究火星地质，寻找火星表面的微生物。该项目首席调查员Jessica Gaskin表示，若火星车或着陆器具有了这项功能，我们不仅能选择更好的样本送回地球，更重要的是，还能拍摄高清图像，在火星上就地研究，不需要冒着被污染的危险送回地球研究。　　各种各样的扫描电子显微镜在诸多领域都有所使用。NASA资助研究的这款设备将用来研究地质材料，保持材料的完整性。因为整个过程并不会损坏样本，事后还能用其他设备进行研究，这样能对样本有更全面的认知了解。这个设备将具有高清成像功能，能量色散谱仪(EDS)，或者是化学探测器，用以判定化学成分。这些扫描电子显微镜能够分析多种物质，并且不需要做准备工作，这大大简化了工作过程。　　Gaskin表示，这项技术的关键部分就是将使用火星的大气作为成像大气。这样我们能观测到火星环境中最原始的样本。天体生物学界饱受诟病的一点就是总是寻找能够在水中大量繁衍的碳基生命。而扩大搜索范围的策略则是在某个区域内寻找某种无法用物理学或化学简单解释的失调现象。例如，如果在某个特定环境中发现了大量硅，那里便可能存在生命。光谱仪能够探测出环境中的失调现象。　　MVP-SEM项目科学家Jennifer Edmunson表示，该设备还能拍摄高清图像，用以判别生命信号。例如，寻找微生物中的蛋白质，比如能在沸水中大量存在的耐超高温热棒菌。设备研发的一个目的就是希望它能够区别相似的化合物，例如草酸钙和碳酸钙。地球上能够在极端环境中生存的微生物有时会作为能在火星冰冷、盐度高的水中生存的微生物的理论模型。而且，如果某种生命形式暴露在样本表面，我们的设备就能拍摄下来，以供日后研究。　　MVP-SEM将使用二次电子探测器来研究微小的表面特征，以及背散射电子探测器来检测样本本质和成分。EDS探测器也将用来研究样本的化学成分。目前，研究团队正在确定最佳探测条件，在此之后，研究出的原型将在喷气推进实验室中模拟火星环境的实验室中进行测试。太阳系观测进展(PICASSO)项目结束后，该图案度低计划通过NASA太阳系探索仪器成熟计划(MatISSE)继续改进设备。

时间分辨扫描电子显微镜是观察功能材料和生命体系表面结构动力学演变的重要设备，可以揭示材料、器件和生命体中电荷的超快转变规律，实现高时空分辨成像及原位测量，研究材料体系的瞬态演变，发现新现象。近期，中国科学院物理研究所李建奇研究团队依托怀柔综合极端条件实验装置成功自主研制了时间分辨扫描电子显微镜，完成了超快电子发射阴极、原位加载模块、激光港、显微图像分析等关键部件的研发工作（图1）。该设备是首台全国产化的超快扫描电子显微镜，主要包括：扫描电镜主机、飞秒激光器和光电联机装置，填补了我国在高时空分辨扫描分析设备领域的空白。该仪器具有国际领先的技术指标，光发射模式下时间分辨率优于1 ps，空间分辨率优于10 nm，原位变温分析范围覆盖100至1050 K。基于本设备的研发，研究团队已取得多项核心专利技术，研究了雪崩二极管器件中的光激发载流子动力学过程，展示了仪器的高时空分辨率能力（图2）。“时间分辨扫描电子显微镜研制”工作得到了北京市科技计划课题等的支持。图1：依托综合极端条件实验装置平台研制的“时间分辨扫描电子显微镜”实物图图2：半导体器件中的载流子超快运动：(a)和(b)为飞秒激光脉冲激发前后样品表面载流子分布变化情况（标尺：100微米）；(c) 载流子动态行为中包含的快过程和慢过程。

日前，电工研究所联合中国计量科学院、国家纳米科学技术中心共同研制成功国内首套可溯源计量型扫描电子显微镜。　　电工所在高分辨力场发射扫描电子显微镜的基础上，加装激光干涉仪测距的纳米级高精度位移台, 并提出了采用步进扫描代替传统电子束扫描的图像获取的创新方法。该方法可直接关联图像扫描与激光干涉仪的位置测量，实现对样品纳米结构扫描成像的量值溯源，有效减少电子束扫描成像过程中放大倍率波动和扫描线圈非线性特征在纳米尺度测量中产生的误差，从而实现对样品纳米结构的溯源测量。　　该设备的研制成功对我国纳米尺度计量标准的制定、扫描电子显微镜及其它纳米尺寸测量仪器的校准、纳米标样和标物的校准、参与国际长度比对等方面将起到重要作用。　　可溯源计量型扫描电子显微镜　　1um二氧化硅微球成像图

Hello，好久不见距离上次更新已有时日，这段时间小编没密集更新是因为知道大家在忙着立新年flag！但2018年的计划一定不能少的是跟随tescan电镜学堂持续输入电镜知识，稳定输出科研成果！ 这里是TESCAN电镜学堂第7期，将继续为大家连载《扫描电子显微镜及微区分析技术》(本书简介请至文末查看)，帮助广大电镜工作者深入了解电镜相关技术的原理、结构以及最新发展状况，将电镜在材料研究中发挥出更加优秀的性能！第二节 特殊试样的处理对于一些特殊的试样，除了常规制样方法外，可能还需要一定的特殊处理。§1. 金相试样金相试样要经过严格的抛光程序，为了在电镜下观察能有更好的衬度，需要进行一定的腐蚀处理。不同的金属需要不同的腐蚀剂以及腐蚀时间，这需要去慢慢摸索。腐蚀不能过度，否则表面会有太多的腐蚀坑，此外，腐蚀剂要清洗干净。§2. 生物试样对于生物样品，为了保证在电镜样品室的高真空下不发生变形而保持原貌，需要对试样进行一系列的处理，需要经过清洗、固定、脱水、干燥等步骤。① 清洗：试样取材好后可用生理盐水或缓冲液清洗，或用5%的苏打水清洗；用超声震荡或酶消化的方法进行处理。② 固定：常用戊二醛及锇酸双固定。③ 脱水：样品经漂洗后用逐级增高浓度的酒精或丙酮脱水，然后进入中间液，一般用醋酸异戊酯作中间液。④ 干燥：可用空气干燥法、临界点干燥、冷冻干燥等方法。§3. 石墨烯试样石墨烯是近年特别火热的样品，不过利用扫描电镜进行石墨烯的观察需要一定的技巧，否则难以有很好的说服力。理论上石墨烯厚度非常小，在扫描电镜下难以有很好的衬度。而那些铺展的很平整，却有着很好的明暗衬度的试样，本人觉得只能算是石墨薄片而不能算石墨烯。扫描电镜分辨率还不足以观察到石墨烯的碳原子结构，也没有探测器能证明其碳结构，不过扫描电镜可以定性判断其膜层的厚薄，当然这需要特殊的制样。我们可先对硅片这种平整基底镀上一层较厚的金膜，然后将石墨烯分散镀金硅片上。我们对镀金的形貌有着非常清晰的认识，如果表面有一层石墨烯的话，金膜就会像蒙了一层纱一样。石墨烯膜层越薄，金颗粒越清楚；反之如果金颗粒越不清楚，则膜层越厚；当完全看不见金颗粒时，则膜层已经相当厚，完全不算是石墨烯了，这点可以通过蒙特卡罗模拟来得到印证。之所以选择先镀金，就是让被覆盖的与未被覆盖的区域进行一个对比，这样可以定性判断石墨烯的膜厚。图4-9 石墨烯分散在硅片和镀金硅片上的对比如图4-9，左边四张图片是石墨烯直接分散在硅片上，因为没有参照物，只能判断出不同区域的厚薄，而这些厚薄是否能达到石墨烯要求的水准则难以判断；而右边六张图片是分散在镀金硅片上的图片，我们很容易通过与空白处金颗粒的对比来大致判断其膜层厚度是否符合石墨烯的要求。第三节 试样的放置问题 试样在放入电镜室中需要满足一定的几何条件。首先，一次性放置多个样品时，尽量保持高度一致。遇到高度不等的情况，可以将较矮的样品放置在加高台上，如图4-10。将不同高度的样品垫平。 图4-10gm-163-r样品台其次，样品如果表面凹凸不平，如断口材料或楔形样品，在放置样品的时候尽量将要观察的区域的朝着eds或etd的方向，避免在电镜观察时，因为观察面背向探测器而有强烈的阴影或者没有eds信号。还有，对于截面样品观察，有时候并非在90度的绝对垂直下效果最好。特别是对于一些膜面质量不是很好有点撕裂的薄膜，有时候倾转一点的角度，在非正入射的条件下有更好的立体感和景深，有时候更能观察到膜面和基体的结合情况。不过在进行测量的时候要记住需要进行倾斜修正。如图4-11上图，在正90度下虽然能观察到膜面，但是膜面质量的好坏及整体情况却无法判断，而在70度下则能看出膜层的整体情况。将倍数放大后，也可看到70度下有更好的景深和立体感，也更有助于进行膜面和基底结合的判断。 图4-11 膜的截面在90度和70度倾转下的对比再如图4-12，试样为两层同样成分的薄膜，如果在正90度下进行观察，膜之间的界线很不明显，而如果旋转到55度，可以发现膜在断裂过程中有发生“错位”地方，这个角度的观察使得对膜层的观察更加清楚。图4-12 双层膜的截面在90度和55度倾转下的对比特别是一些半导体的截面样品，时常都是先在非正入射的情况下进行观察，再转到90度的情况下进行测量。?福利时间每期文章末尾小编都会留1个题目，大家可以在留言区回答问题，小编会在答对的朋友中选出点赞数最高的两位送出本书的印刷版。?奖品公布上期获奖的这位童鞋，请后台私信小编邮寄地址，我们会在收到您的信息并核实后即刻寄出奖品。 【本期问题】截面样品观察，是否一定是在90°的绝对垂直下效果最好，为什么？（快去留言区回答问题领取奖品吧→）简介《扫描电子显微镜及微区分析技术》是由业内资深的技术专家李威老师（原上海交通大学扫描电镜专家，现任TESCAN技术专家）、焦汇胜博士（英国伯明翰大学材料科学博士，现任TESCAN技术专家）、李香庭教授（电子探针领域专家，兼任全国微束分析标委会委员、上海电镜学会理事）编著，并于2015年由东北师范大学出版社出版发行。本书编者都是非常资深的电镜工作者，在科研领域工作多年，李香庭教授在电子探针领域有几十年的工作经验，对扫描电子显微镜、能谱和波谱分析都有很深的造诣，本教材从实战的角度出发编写，希望能够帮助到广大电镜工作者，特别是广泛的TESCAN客户。这里插播一条重要消息： TESCAN服务热线 400-821-5286 开通“应用”和“维修”两条专线啦！按照语音提示呼入帮你更快找到想要找的人 ↓ 往期课程，请关注“TESCAN公司”微信公众号查看：电镜学堂丨扫描电子显微镜的基本原理(一) - 电子与试样的相互作用电镜学堂丨扫描电子显微镜的基本原理(二) - 像衬度形成原理电镜学堂丨扫描电子显微镜的基本原理(三) - 荷电效应电镜学堂丨扫描电子显微镜的结构(一) - 电子光学系统电镜学堂丨扫描电子显微镜的结构(二) - 探测器系统电镜学堂丨扫描电子显微镜样品要求及制备 (一) - 常规样品制备统

项目编号：HW20220009601项目名称：电子科技大学扫描电子显微镜采购项目预算金额：350.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：350.0000000 万元（人民币）采购需求：扫描电子显微镜，一套。合同履行期限：合同签订后300日内。本项目( 不接受 )联合体投标。采购需求.pdf

SEM3000是一款使用钨灯丝的高性价比扫描电子显微镜。观察亚微米级的微观结构，放大倍数可达20000倍。此型产品具有快速更换灯丝的优点。其分辨率优于25 nm，在自动五轴样品台的配合下，非常适用于生产品质控制及样品筛选，适合传统光学显微镜无法满足需求的用户。欢迎下载样本了解更多产品信息。创新点：国仪量子自主研发的扫描电镜SEM3000是一款使用钨灯丝的高性能扫描电子显微镜。观察亚微米级的微观结构，放大倍数可达20000倍。此型产品具有快速更换灯丝的优点。其分辨率优于25 nm，在自动五轴样品台的配合下，非常适用于生产品质控制及样品筛选，适合传统光学显微镜无法满足需求的用户。国仪量子扫描电子显微镜SEM3000

SEM3000是一款使用钨灯丝的高性价比扫描电子显微镜。观察亚微米级的微观结构，放大倍数可达20000倍。此型产品具有快速更换灯丝的优点。其分辨率优于25 nm，在自动五轴样品台的配合下，非常适用于生产品质控制及样品筛选，适合传统光学显微镜无法满足需求的用户。欢迎下载样本了解更多产品信息。创新点：国产自主研发扫描电镜SEM3000S是一款使用钨灯丝的高性能扫描电子显微镜。可用于观察纳米级的微观结构，放大倍数可达到150000倍。此型产品具有快速更换灯丝的优点。基于优秀的电子光路设计及新型聚焦系统，其分辨率轻松优于10 nm。国仪量子扫描电子显微镜SEM3000

2018年3月23日，“TESCAN扫描电子显微镜（长春）技术交流会”在吉林省长春市南湖宾馆圆满举办，会议邀请了吉林省电子显微镜学会的专家以及吉林大学、长春理工大学、吉林师范大学等在内的著名院校，和中科院应用化学研究所、应科院长春光机所、一汽大众、中航工业航空液压控制中心在内的科研院所、著名企业的70多名领导专家参加了技术交流会。TESCAN扫描电子显微镜技术交流会现场本次技术交流会由TESCAN与合作伙伴沈阳元杰光学技术有限公司联合举办，元杰光学是TESCAN公司在东北区域的独家合作伙伴。会议伊始，元杰光学总经理马晓冰首选做了会议致辞，对与会的专家老师们表示了热烈的欢迎，元杰光学与TESCAN精诚合作，提供优质的服务保障，致力于为电镜用户带来更好的应用解决方案和技术助力，为科研发展贡献力量。元杰光学总经理马晓冰对参会专家表示热烈欢迎随后，TESCAN技术专家们带来了TESCAN在微观分析领域的创新技术和应用，包括TESCAN发布的最新系列扫描电镜S8000，以及目前在显微领域备受关注的电镜-拉曼一体化技术(SEM-Raman)、双束电镜-质谱一体化技术(FIB-SEM)和冷冻电镜(Cryo-SEM)等新技术。TESCAN是一家“年轻的”电镜公司，因为TESCAN正式成立于1991年；但TESCAN又是一家“有历史”的电镜公司，因为TESCAN的技术起源于上世纪初东欧电子光学的引领者捷克TESLA公司，已有超过70年的电子显微镜制造历史。在技术交流会上，TESCAN市场部经理顾群首先向大家介绍了TESCAN的发展历史以及其在显微领域的技术创新，并重点介绍了TESCAN “All In One”微分析综合解决方案。TESCAN目前已发展成为一个全球知名的电子显微镜供应商，在全球分别设有4个研发中心，2个生产基地以及6家子公司，总部设在全球最大的电镜制造基地-捷克Brno，已成为电子显微镜和聚焦离子束等领域的技术领导者，产品和技术正积极服务于全球客户。TESCAN技术专家分享TESCAN相关创新技术之后，沈阳元杰光学技术有限公司的技术人员也向参会老师详细介绍了元杰光学“显微观察全套解决方案”，并分享了助力科研分析的相关案例。最后，TESCAN中国区总经理冯骏向参会的专家老师们表示了诚挚的欢迎和感谢，冯总提到TESCAN将于元杰光学通力合作，从全面解决方案的提供、售后服务的响应时间和维修价格的合理化、透明化，再到全方面的应用培训、开发和合作，致力于真正为客户解决问题，帮助客户的科研和工作。TESCAN技术交流会现场掠影TESCAN扫描电子显微镜技术交流会参会人员合影如果您对扫描电镜感兴趣或有相关问题咨询欢迎关注"TESCAN公司"官方微信↓ 更多阅读，关注“TESCAN公司”：荣耀之年，感动常在—TESCAN小蜜蜂们的年会Party！TESCAN学院丨2018年度扫描电镜高阶应用培训计划最新出炉！电镜学堂丨扫描电镜的基本操作 & 分辨率指标详解TESCAN RISE电镜-拉曼一体化系统又双叒叕获奖啦！So easy！四步恢复电镜使用状态，治愈你的“节后综合症”315专题丨真假钻石？揭露那些藏在“美丽”背后的陷进！电镜学堂丨电镜操作之如何巧妙选择加速电压？

项目编号：QSZB-Z(H)-E22342(GK) 项目名称：场发射扫描电子显微镜 预算金额（元）：6600000 最高限价（元）：6600000 采购需求： 标项名称: 场发射扫描电子显微镜 数量: 1 预算金额（元）: 6600000 简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：场发射扫描电子显微镜主要内容：详见招标文件第三部分采购需求。 备注： 合同履约期限：标项 1，合同生效后10个月内交付。 本项目（是）接受联合体投标。

8月23日，上海大学公开招标购买1台冷场发射扫描电子显微镜，预算650万元。　　项目编号：SHXM-00-20210813-1030　　项目名称：上海大学冷场发射扫描电子显微镜　　预算金额(元)： 6500000　　最高限价(元)： 6000000　　采购需求：　　包名称：冷场发射扫描电子显微镜　　数量：1　　预算金额(元)：6500000　　简要规格描述或项目基本概况介绍、用途：　　合同履约期限： 合同签订后5个月内　　本项目( 不允许 )接受联合体投标。　　开标时间： 2021年09月15日 09:30

项目编号：清设招第2022155号项目名称：清华大学扫描电子显微镜预算金额：450.0000000 万元（人民币）采购需求：包号名称数量是否允许进口产品投标01扫描电子显微镜1套是设备用途介绍：该仪器设备主要用于微观形貌表面分析及表层元素分析，主要涉及以下工艺研究：图形化工艺，关键线条观测，SOG陀螺、Si工艺深硅刻蚀结构剖面观测，SOG压力计硅杯结构观测，硅通孔TSV工艺, 深刻蚀硅通孔侧壁及绝缘层种子层厚度观测。简要技术指标：1）电子枪基本参数：二次电子分辨率≤1.0nm@30kV，≤0.7nm@15kV，≤1.2nm@1kV（分辨率测试条件：无样品台减速模式下多边统计法测试）；标准模式下加速电压和着陆电压可调范围均不小于0.02-30kV，加速电压以10V为步进，连续可调；2）放大倍率可调范围不小于10×- 2,000,000×，根据加速电压、工作距离变化放大倍数可自动校准；3）电子束流可调范围不小于3pA～20nA；4）电子束成像模式下，最大成像视野宽度≥55mm（最大工作距离条件下），并且可通过大视野成像图像进行大尺寸样品或多样品导航功能； 5）在电子束减速模式下可倾斜样品台观察不导电样品侧壁结构，实现不导电MEMS器件样品的侧壁形貌观察；6）配置镜筒内高分辨二次电子探测器和样品室内二次电子探测器；配置样品室内背散射电子探测器，用于样品成分衬度和晶体取向衬度成像；配置样品电流探测器，电流检测范围不小于1pA~10A；配置用于实时观察样品室内情况的红外CCD相机探测器；7）配备前级无油机械干泵、分子泵、离子泵，电子枪真空度≤5×10-7 Pa，样品室工作真空度≤3×10-4 Pa；8）配置样品仓内安装的在线等离子清洗仪附件，可清洗样品仓内由光刻胶等样品引起的污染，也可以清洗样品指定位置的污染；9）供应商需提供全新设备，不允许是翻新设备。合同履行期限：交货时间：合同签订后180日内本项目( 不接受 )联合体投标。

岁末年初，屹东光学站在了一个重要的起点上，屹东光学获批科技部2023年 “基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项的 “场发射扫描电子显微镜”项目。此专项是围绕国家基础研究与科技创新重大战略需求，以关键核心部件国产化为突破口，重点支持高端科学仪器工程化研制与应用开发，切实提升我国科学仪器自主创新能力和装备水平，促进产业升级发展。屹东光学牵头了此次项目的申报，联合申报单位还包括中国科学院物理研究所，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，中国科学院苏州生物医学工程技术研究所，北京芯愿景软件技术股份有限公司。通过激烈竞争，获得国家重大仪器专项任务，既是对屹东光学团队能力的认可和肯定，也是对屹东光学全体员工的激励——为我国在扫描电子显微镜这一共性关键技术上实现完全的自主可控做出自己的贡献。正如科技部2023年国家重点研发计划申报指南中专项1.30“场发射扫描电子显微镜”所提出的，“突破超高分辨电磁透镜设计仿真、高信噪比电子探测器、高亮度场发射源、高通量电镜成像综合控制、多模态图像融合及识别算法等关键技术，开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的场发射扫描电子显微镜，在图像分辨率、电子探测器、样品重复定位精度等关键考核指标均处于国际领先水平，项目需通过可靠性测试和第三方异地测试，平均故障间隔时间≥3000小时项目，技术就绪度不低于8级”。这是一个使我国在扫描电镜技术上追平国际电镜大厂最先进技术能力的目标，是一项艰巨的任务！屹东光学团队深知此项任务之重大，将竭尽全力，完成这一光荣任务，为国产仪器争光！祝贺屹东光学获此光荣任务，预祝屹东团队取得圆满成功！！！

一、项目基本情况项目编号：HBT-15210194-214251项目名称：华中科技大学场发射扫描电子显微镜采购项目预算金额：300.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：300.0000000 万元（人民币）采购需求：华中科技大学拟采购场发射扫描电子显微镜1台，采购清单如下，具体要求见本项目招标文件第三章内容。本项目已做进口设备论证。序号货物名称是否接受进口产品单位数量简要技术要求1场发射扫描电子显微镜是台1主机发射源：热场发射电子枪，束流稳定性优于0.2%/h主机物镜系统：电磁/静电式复合式物镜系统，电子束无交叉光路设计，无漏磁 合同履行期限：交货期：合同签订后6个月内供货；质保期：设备验收后一年

SEM3000S是一款使用钨灯丝的高性能扫描电子显微镜。可用于观察纳米级的微观结构，放大倍数可达到150000倍。此型产品具有快速更换灯丝的优点。基于优秀的电子光路设计及新型聚焦系统，其分辨率轻松优于10 nm。在100 mm全自动五轴样品台的配合下，是科研及新材料研发的得力助手。欢迎下载样本了解更多产品信息。创新点：国仪量子自主研发的扫描电子电镜SEM3000S是一款使用钨灯丝的高性能扫描电子显微镜，拥有完全自主知识产权。观察纳米级的微观结构，放大倍数可达150000倍。此型产品具有快速更换灯丝的优点，基于优秀的电子光路设计及新型聚焦系统，其分辨率轻松优于10 nm。采用了大开门大腔体设计，在100 mm全自动五轴样品台的配合下，是科研及新材料研发的得力助手。扫描电子显微镜SEM3000S

项目编号：GZSW22156HG2165项目名称：原位场发射扫描电子显微镜采购采购方式：公开招标预算金额：8,000,000.00元采购需求：合同包1(原位场发射扫描电子显微镜):合同包预算金额：8,000,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1其他专用仪器仪表原位场发射扫描电子显微镜1(套)详见采购文件8,000,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：自合同签订之日起至质保期满之日。

项目编号：清设招第2021493号项目名称：清华大学场发射扫描电子显微镜预算金额：310.0000000 万元（人民币）采购需求：包号名称数量是否允许进口产品投标采购预算（人民币）01场发射扫描电子显微镜1套是310万元设备用途介绍 ：场发射扫描电子显微镜能够对各种类型的材料样品表面微观结构进行超高分辨率成像观察，获取样品表面微观结构形貌信息、成分衬度信息。低电压条件下，无需镀膜可直接高分辨观察金属材料、薄膜类材料等样品。简要技术指标 ：1）无样品台减速模式下多边统计法测试得到的二次电子分辨率：≤0.7nm@15kV，≤1.2nm@1kV；最低加速电压和着陆电压均≤20V，最高加速电压和着陆电压均≥30kV，加速电压以10V为步进连续可调；2）放大倍率：可调节范围优于10~2,0000,000倍，根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数可自动校准，低倍率与高倍率之间无需模式更换；3）配置样品室内二次电子探测器，镜筒内无偏压环形超高分辨二次电子探测器。合同履行期限：交货时间：合同签订后6个月内。

项目编号：ZZ0007-G22HZ0016项目名称：电光404+扫描电子显微镜采购预算金额：160.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：160.0000000 万元（人民币）采购需求：扫描电子显微镜1套合同履行期限：合同签订后6个月内本项目( 不接受 )联合体投标。

不久之前，中国科幻巨作《三体》被搬上荧幕，为人们展现了一个恢弘的三体世界。作为人类与三体力量展开对决的第一幕，电视剧很好地还原了原著中名场面“古筝行动”。古筝行动，即人类借助密集排列固定在运河两岸的“纳米飞刃”材料，将航行在巴拿马运河中载有地球三体组织核心成员的“审判日”号巨轮切削成薄片，以此消灭三体组织核心成员，并获取三体世界重要情报，完成了人类对地球三体力量“审判日”号的审判。图片来源：腾讯视频-电视剧《三体》那么这种只有头发丝十分之一粗细的“飞刃”究竟是什么材料？在现实生活中真实存在吗？是否真能做到像切豆腐一样削铁如泥呢？从“飞刃”的研发者汪淼教授背后这张PPT我们可以看出，所谓的“飞刃”就是碳纳米管（Carbon Nanotubes，CNTs），而这张图片来源于清华大学魏飞教授团队于2013年发表于《ACS Nano》杂志的一篇合成超长碳纳米管的论文（DOI: 10.1021/nn401995z）。图片来源：腾讯视频-电视剧《三体》碳纳米管是由呈六边形排列的碳原子构成数层到数十层的同轴圆管，层与层之间保持约0.34 nm的固定距离，直径一般为2～20 nm。是一种一维量子材料，具有优异的力学、电学和化学性能。碳纳米管中碳原子形成的化学键同时具有sp2和sp3杂化，主要是sp2杂化，具有高模量和高强度。它的抗拉强度达到50～200GPa,是钢的100倍,密度却只有钢的1/6。它的弹性模量可达1TPa，与金刚石的弹性模量相当，约为钢的5倍。碳纳米管是目前可制备出的具有最高比强度的材料。碳纳米管的硬度与金刚石相当，却拥有良好的柔韧性，可以拉伸，是理想的高强度纤维材料，因此“纳米飞刃”在理论上是真实存在的。同时，碳纳米管也是制造“太空电梯”缆绳的最佳材料。 上图为使用KYKY-EM8100型场发射枪扫描电子显微镜拍摄的不同放大倍数的多壁碳纳米管，扫描电子显微镜可以很好地观察碳纳米管的管径、长径比、团聚程度以及断裂缺陷等。在实际应用中，虽然碳纳米管拥有超强的力学性能，但离产业化应用还有很长的一段路要走，除了剧中汪淼博士提到的无法量产的问题以外，还存在着切割过程中材料磨损老化与摩擦放热等问题，这些都会造成碳纳米管材料的老化，使其力学性能大打折扣，造成纤维断裂。现阶段用碳纳米管是无法完成坚硬物体切割的，目前工业上有很多硬质材料都是用切割钢线或者更高质量的金刚线来切割。金刚线，顾名思义，跟金刚石有关，大体上是把金刚石的微粉颗粒以一定的分布密度均匀地镶嵌在母线（一般为高碳钢丝）上，做成的金刚石切割线。通过金刚石切割机，金刚线与被切割物体间进行高速磨削运动，从而实现切割目的。主要用于光伏领域的多晶硅切片、单晶硅、晶棒等。从晶体硅料到硅片经历切方、截断及切片三个环节，其中切方及截断环节为保证切割速度及切割效率，通常用较粗线径的金刚线，而切片环节根据原材料利用率等，选择较细的金刚线。图片来源于网络，版权归原创作者所有金刚线的母线，一般为高碳钢丝，由拉丝厂家将盘条拉制为不同直径的黄丝，再将黄丝进一步拉为微米级的母线。金刚石微粉由人造金刚石颗粒破碎而成，颗粒度一般小于50μm，是金刚线起切割作用的关键材料，其质量及稳定性直接影响后续电镀工艺及成品金刚线质量。金刚石的分布密度、固结强度、切割能力、钢线的抗疲劳性等都直接影响金刚线的性能。图片来源于网络，版权归原创作者所有 上图为使用KYKY-EM6900LV型钨灯丝扫描电子显微镜拍摄的金刚线的纵向及横向截面，可以很好地观察金刚线的母线线径、金刚石微粉的大小及分布密度、镀层的厚度、镀层与母线的固结程度等。科技的进步与发展离不开所有科技工作者付出的辛劳汗水，虽然现阶段人类受困于科技水平暂时还无法实现所有设想，但相信总有一天，人类终会登上碳纳米管缆绳搭载的太空电梯，登陆星际宇宙，挟飞仙以遨游，抱明月而长终。在漫长艰辛的科研旅程中，中科科仪扫描电子显微镜与您风沙星辰，永远相伴！是您科研道路上的得力助手！以上所有观测图均为KYKY-EM8100型场发射枪扫描电子显微镜和KYKY-EM6900LV型钨灯丝扫描电子显微镜拍摄。如有产品咨询意向、技术交流意向及样品测试需求，可扫描下方二维码联系中科科仪DEMO中心，我们将为您提供详细、专业的服务。