泰勒非接触式轮廓仪白光干涉原理

KLA Instruments拥有如今的光学轮廓仪组合，是早先各品牌合力创新的结果：1.ADE 发布了 MicroXAM 白光干涉仪。2.Zeta&trade Instruments 开发了 ZDot&trade 和多模式光学轮廓仪。3.KLA旗下Filmetrics推出了新型、通用的白光干涉仪。KLA Instruments 品牌下多样化的光学轮廓仪产品都拥有各自悠久的创新历史。1999ADE Phase Shift 推出了 MicroXAM 光学轮廓仪，具有埃米级灵敏度，可用于超光滑表面的相移干涉测量，以及更大台阶高度样品的垂直扫描干涉测量。2006KLA 收购了 ADE 公司，为 KLA 的桌面式量测组合增加了 MicroXAM-100 光学轮廓仪，并推出了面向半导体市场的衬底几何形貌和缺陷检测解决方案。2010Zeta-20 是 Zeta Instruments 推出的第一款产品。Zeta-20 是使用 ZDot&trade 专利技术的光学轮廓仪，它结合了结构照明、共聚焦光学以生成高分辨率的3D表面形貌数据和表面真彩图像。该技术使用户能够轻松地聚焦在任何透明或不透明的表面上，从而实现对台阶高度和粗糙度的快速测量。多模组光学系统将 ZDot 技术与白光干涉仪、剪切干涉仪、透明薄膜反射光谱仪和自动缺陷检测功能相结合，扩展了非接触式3D 光学轮廓仪的应用场景。同年，Zeta-200 发布，带有自动化载台，并推出了发光二极管 (LED) 应用的解决方案。Zeta-200 光学轮廓仪利用高透射光学设计、背光源照明技术和专有算法来测量图形化的蓝宝石衬底 (PSS)。 该系统可以适应各种形状的 PSS 凸起，测量视场中所有 PSS 凸起的高度和间距，从而避免仅测量一小部分区域而产生错误的凸起信号或导致的结果偏差。通过多模式光学系统，还可以测量在 PSS 制造过程中薄膜厚度的变化以及样品的翘曲度。最后，通过自动缺陷检测功能，Zeta-200 可以识别不同缺陷的种类，如剥落的凸块、划痕和颗粒。2011Zeta-280 在 Zeta-200 平台的基础上增加了一个适配单个晶圆盒的桌面式机械手臂。Zeta-300 光学轮廓仪支持测量最大8寸的器件。该系统采用一体化主动或被动隔振平台，并搭配隔声罩隔离环境中的噪声。2012Zeta-20 采用 ZDot技术，为封装微流体器件等透明多表面应用场景提供了一种创新的测量解决方案。微流体器件的封装工艺通常会改变通道的尺寸和外形，从而影响器件的性能。因此，封装后的测量对客户的产品控制至关重要。Zeta-20高透射率的光学设计使得ZDot 信号在经过多膜层透射后仍能保持足够强度，从而可以实现对微流体器件玻璃盖板封装前后关键尺寸参数的测量，例如盖板的厚度、微流体通道的深度和尺寸。同年，将 Zeta-280的桌面式机械手臂与 Zeta-300 平台相结合，推出了Zeta-380自动化测量设备。2014MicroXAM-800 集成了Ambios 和 ADE 相移干涉测量技术的最佳硬件和算法，并搭配创新且易用的软件，用于台阶高度和粗糙度的自动测量。2015基于Zeta-20推出太阳能行业创新解决方案，用于绒面和丝网印刷的工艺控制。太阳能光伏的成本控制和提升转化率，推动着晶硅光伏的技术迭代。金字塔绒面的规格和表面栅线印刷的质量，对晶硅光伏的转化效率产生重要影响，因此成为产品控制的关键环节。绒面工艺控制对于控制绒面金字塔结构的高度、外形和尺寸分布至关重要，因为这会影响太阳能电池的光捕获效率。Zeta-20提供了专为绒面金字塔测量的解决方案，可实现金字塔结构的自动探测和统计。金属栅线采用丝网印刷工艺，该工艺会带来金属栅线的宽度、高度、体积、电学特性等方面的变化，从而增加器件的制造成本。Zeta-20的高动态范围测量模式（HDR）为金属栅线工艺提供了测量解决方案，可实现对反射率差异较大的材料测量。在太阳能电池制造工艺过程中，HDR模式被用于测量镀有减反膜涂层绒面表面的金属栅线3D形貌。同年，推出了Zeta-360 和第一代 Zeta-388 产品，提供了基于Zeta平台的晶圆自动化处理解决方案。 2016Profilm3D 是一款基于白光干涉原理的光学轮廓仪，可以适用于多种应用场景，包括薄膜厚度、表面粗糙度、台阶高度等表面形貌测量，是一种高性价比的三维表面形貌测量解决方案。2017Zeta Instruments 加入KLA Instruments 集团，为KLA光学轮廓仪引入 ZDot 技术和多模式测量技术，扩充KLA光学轮廓仪的产品线。Zeta系列用于3D表面形貌测量，支持研发、生产和全自动化环境。2018KLA旗下Filmetrics 推出了世界上首个专门用于3D形貌数据处理的网络应用程序ProfilmOnline ，利用网络浏览器和强大的智能手机功能，使用户无需电脑即可分析、存储和共享3D数据，包括光学轮廓仪、扫描探针显微镜（如原子力显微镜）和其他三维成像显微镜等获取的三维形貌数据。用户可以便捷地从 Filmetrics Profilm3D 光学轮廓仪上传数据，对其进行分析，并与同事共享测量结果。ProfilmOnline允许用户通过跨平台的任意设备，随时随地访问数据。Profilm3D 增加了 TotalFocus&trade 功能，提供其样品表面的3D自然彩色图像。新一代Zeta-388光学轮廓仪是非接触式三维表面形貌测量系统。该系统在Zeta-300的基础上，更新了用于全自动测量的机械手臂操作系统。Zeta-388支持OCR和SECS/GEM，从而可用于全自动产线的生产制造。该系统提供了具有生产价值的工艺控制测量，如PSS上的凸块高度、粗糙度和台阶高度。Zeta-388凭借在图形化蓝宝石衬底 (PSS)工艺中的应用荣获2018年化合物半导体行业量测奖。2019Filmetrics 正式加入 KLA Instruments 集团。在薄膜厚度、材料光学特性（n、k 值）的测量方面，Filmetrics 系列薄膜测量仪扩充 KLA 桌面式量测产品线。Filmetrics Profilm3D 光学轮廓仪扩充 KLA光学轮廓仪产品线，为客户提供高性价比的表面形貌测量解决方案。2020Profilm3D-200 具有一个行程为 200mm的自动样品台，可放置200mm直径的晶圆样品。2023KLA Instruments 推出Zeta-20HR高分辨率光学轮廓仪，专为满足新型太阳能电池的结构表征和下一代生产工艺的量测需求而设计。Zeta-20HR提高了光学轮廓仪的分辨率，将对太阳能电池结构的表征能力拓展至1µ m以下。这款新型的Zeta光学轮廓仪，基于具有ZDot技术的Zeta-20设计，可配置230mm x 230mm尺寸的样品载台，并具备所有标准化且易用的多模组测量能力。Zeta光学轮廓仪是太阳能电池工艺研发和制程控制的理想量测工具。如需申请测样或产品咨询,可通过仪器信息网和我们取得联系！

一、项目基本情况项目编号：GZGK22P197A0608Z项目名称：广东省科学院半导体研究所非接触式光学轮廓仪采购项目采购方式：公开招标预算金额：1,100,000.00元采购需求：合同包1(非接触式光学轮廓仪):合同包预算金额：1,100,000.00元品目号品目名称采购标的数量（单位）技术规格、参数及要求品目预算(元)最高限价(元)1-1光学测试仪器非接触式光学轮廓仪设备采购1(台)详见采购文件1,100,000.00-本合同包不接受联合体投标合同履行期限：见“标的提供时间”要求。二、申请人的资格要求：1.投标供应商应具备《政府采购法》第二十二条规定的条件，提供下列材料：1）具有独立承担民事责任的能力：在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织或自然人， 投标（响应）时提交有效的营业执照（或事业法人登记证或身份证等相关证明） 副本复印件。分支机构投标的，须提供总公司和分公司营业执照副本复印件，总公司出具给分支机构的授权书。2）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录：提供投标截止日前6个月内任意1个月依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料。 如依法免税或不需要缴纳社会保障资金的， 提供相应证明材料。3）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度：供应商必须具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供2021年度财务状况报告或基本开户行出具的资信证明） 。4）履行合同所必需的设备和专业技术能力：按投标（响应）文件格式填报设备及专业技术能力情况。5）参加采购活动前3年内，在经营活动中没有重大违法记录：参照投标（报价）函相关承诺格式内容。 重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。（根据财库〔2022〕3号文，“较大数额罚款”认定为200万元以上的罚款，法律、行政法规以及国务院有关部门明确规定相关领域“较大数额罚款”标准高于200万元的，从其规定）2.落实政府采购政策需满足的资格要求：合同包1(非接触式光学轮廓仪)落实政府采购政策需满足的资格要求如下:本采购包不属于专门面向中小企业采购的项目。3.本项目的特定资格要求：合同包1(非接触式光学轮廓仪)特定资格要求如下:(1)供应商未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)“记录失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为”记录名单；不处于中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。（以资格审查人员于投标（响应）截止时间当天在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）及中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn/）查询结果为准，如相关失信记录已失效，供应商需提供相关证明资料）。(2)单位负责人为同一人或者存在直接控股、 管理关系的不同供应商，不得同时参加本采购项目（或采购包） 投标（响应）。 为本项目提供整体设计、 规范编制或者项目管理、 监理、 检测等服务的供应商， 不得再参与本项目投标（响应）。 投标（报价） 函相关承诺要求内容。(3)已获取本项目采购文件。三、获取招标文件时间： 2022年09月05日 至 2022年09月13日 ，每天上午 00:00:00 至 12:00:00 ，下午 12:00:00 至 23:59:59 （北京时间,法定节假日除外）地点：广东省政府采购网https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/方式：在线获取售价： 免费获取四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点2022年09月26日 14时30分00秒 （北京时间）递交文件地点：广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼（中国广州分析测试中心对面）开标地点：广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼（中国广州分析测试中心对面）五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜1.本项目采用电子系统进行招投标，请在投标前详细阅读供应商操作手册，手册获取网址：https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/help/transaction/download.html。投标供应商在使用过程中遇到涉及系统使用的问题，可通过400-1832-999进行咨询或通过广东政府采购智慧云平台运维服务说明中提供的其他服务方式获取帮助。2.供应商参加本项目投标，需要提前办理CA和电子签章，办理方式和注意事项详见供应商操作手册与CA办理指南，指南获取地址：https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/help/problem/。3.如需缴纳保证金，供应商可通过"广东政府采购智慧云平台金融服务中心"(http://gdgpo.czt.gd.gov.cn/zcdservice/zcd/guangdong/)，申请办理投标（响应）担保函、保险（保证）保函。本项目支持电子保函，可通过登录项目采购电子交易系统跳转至电子保函系统进行在线办理。电子保函办理办法详见供应商操作手册。七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：广东省科学院半导体研究所地 址：广州市天河区长兴路363号联系方式：020-610864202.采购代理机构信息名 称：广州市国科招标代理有限公司地 址：广州市先烈中路100号科学院大院9号楼东座2楼（中国广州分析测试中心对面）联系方式：020-38364802、020-876876513.项目联系方式项目联系人：钟先生、苏先生电 话：020-38364802、020-87687651

公司与上海理工大学分析实验室最近联合开发出在国内同行业中具有领先水平的白光轮廓仪。该轮廓仪属高精度产品，能对各种金属或非金属等物质（物体）的表面进行精确的轮廓测量，尤其可对集成电路及硅片进行精确测量，其分辨率可以达到纳米级程度。 白光轮廓仪的开发成功，对金属加工及开发金属新材料，以及对检测集成电路和硅片的质量等，均具有重要的意义。精科公司在与上海理工大学共同开发的同时，还自主创新开发出白光轮廓仪配套专用软件，更好地保护了企业的自主知识产权。 白光轮廓仪可广泛应用于工业、高等院校、科研等领域。

2023年2月1日，在2023年美国西部光电展览会上，布鲁克公司宣布发布两款新的白光干涉测量(WLI)系统：ContourX-1000和NPFLEX-1000光学轮廓仪。这些落地平台能够更快、自动化地测量表面结构和粗糙度。新产品特有的新的一键式高级查找表面功能，具有自动对焦和自动照明功能，改善了用户体验并缩短获得结果的时间，消除了每次测量前手动注册表面的复杂性。结合自适应测量模式USI和引导式简化的VisionXpress界面，这种独特的功能可以在任何表面上以更高的吞吐量进行无损测量。ContourX-1000具有操作人员友好的自动化测量和分析配方，为半导体和光电加工、先进封装开发和医疗设备制造的大批量生产设施提供最准确和精确的计量。NPFLEX-1000具有大型龙门和旋转头设计，为汽车、医疗和大规模增材制造行业的精密加工QA/QC中大型零件的难定位提供了独特的测量解决方案。“自20世纪80年代以来，我一直在使用布鲁克光学轮廓技术，这些新系统是30多年发展的巅峰。”密歇根计量学创始人兼总裁Don Cohen说到，“通过我们新的WLI解决方案，这些功能得到了进一步提升，特别是考虑到非专业用户在几秒钟内获得高质量结果的可能性，而在普通系统上则需要几分钟。”关于ContourX-1000 3D光学轮廓仪ContourX-1000 3D光学轮廓仪 图片来源：布鲁克纳米表面ContourX-1000具有行业聚焦的布鲁克专利的尖端/倾斜头、自校准激光基准、集成模式识别和配方便携性。其通用扫描干涉测量法(USI)自适应测量模式自动确定最佳测量参数，并且引导式简化的VisionXpress界面使分析质量不受用户经验影响。这种独特的硬件和软件组合可以在最短的时间内获得最佳的测量结果，并为研发和制造带来最大的稳定性和工具对工具的匹配能力。关于NPFLEX-1000 3D光学轮廓仪 NPFLEX-1000 3D光学轮廓仪 图片来源：布鲁克纳米表面NPFLEX-1000集成了ContourX-1000的所有易用性优势，具有大尺寸龙门和坚固的桥架结构。NPFLEX-1000系统在物镜、旋转头和超长工作距离物镜下方具有300 mm的空间，可提供样品尺寸的极大灵活性。此外，通过折叠镜选件，可显著扩展高坡度表面通道。这种极端的可用性可在无与伦比的速度下实现，可在10秒内进行快速、自动化的测量和全面的分析，显著提高生产环境的吞吐量。

自2014年起，国产12寸晶圆的量产问题得到解决，国产晶圆进入到一个飞速发展的时期中。晶圆作为芯片的载体，在当今科技时代起着至关重要的作用，小到遥控器、手机，大到航天领域，例如卫星等都离不开晶圆。那么晶圆的加工工艺是否达到标准决定了成品的优劣。今天笔者就为大家介绍Bruker Dektak-XT接触式表面轮廓仪在晶圆方面的测试应用。Bruker Dektak-XT接触式表面轮廓仪（台阶仪）作为Dektak系列第十代产品，经过50多年的更新升级及技术创新，目前已成为使用广泛的接触式表面检测设备，有着众多的用户群体并得到好评。①台阶高度重现性低于4Å②主流的LVDT传感器技术晶圆在制作电路的流程中，主要以光刻、蚀刻、沉积、研磨、抛光等工艺排列组合，在硅片上将电路层层叠加。Dektak-XT接触式表面轮廓仪能够用于每个工艺过程。光刻/沉积：光刻/沉积工艺中台阶高度的测试蚀刻：蚀刻工艺中台阶高度或凹槽深度的测试抛光/研磨：抛光/研磨工艺中粗糙度的测试在以上测试中，台阶仪都能够快速的得到相应数据。

近年来，3D检测技术发展迅速，广泛应用于工业、国防、医疗、农业等领域。根据其是否应用人造光源作为照明系统，可分为主动式3D成像技术与被动式3D成像技术。无论是哪种方法，为了获得目标的高精度3D轮廓信息，都希望检测仪器具备高精度、高帧率、算法兼容性强、环境适应性强、稳定性强、操作简便、性价比高等特点，这在实际应用中，尤其在微纳米结构检测中有着重要意义。微纳米技术，是指对微纳级材料的测量、加工制造、设计、控制等相关研究技术，它与高精尖装备制造领域的发展息息相关。微纳结构测量最为基础和重要的是表面形貌的3D测量，它包括了轮廓的测量以及表面粗糙度的测量，目前常用的微结构表面形貌测量方法分为接触式和非接触式。接触式测量是目前工业领域内应用最为广泛的测量方法。这种方法在测量时有一个微小的触针，在被测样品表面上做横向移动；在这过程中触针会随着样品表面的轮廓形状垂直起伏，然后通过传感器将这微小的位移信号转换为电信号；对这些信号进行采集和运算处理后，就可以测得表面轮廓或形貌特征。测量中可以使用的传感器有很多，如光栅式、压电式、干涉式以及普遍应用的电感式。这种方法测量量程大，结果稳定可靠，并且仪器操作简单，对测量环境要求低；缺点是触针在测量时有可能会对被测表面造成损伤，且测量速度慢。非接触式测量技术大多基于光学方法，例如干涉显微法、自动聚焦法、激光干涉法等。光学测量方法具有非接触、操作简单、速度快等优点。然而在利用光学方法进行测量时，被测表面的斜率、光学参数等发生变化会引起测量误差。例如，若被测样品表面存在沟槽或其他微细结构，它们引起的散射、衍射等现象会对测量信号造成干扰。另外，若样品表面存在灰尘、细小纤维等，光学测量方法的结果也会有一定失真；而触针式方法由于测量时与样品表面接触，会划去部分表面污染物使测量结果不受影响。因此，根据不同测量要求，每种方法都有其适用性，常用的微纳结构三维测量方法如图1所示。图1：微纳结构三维测量方法接触式检测技术（1）扫描电子显微术利用物质与电子的相互作用，当电子束轰击表面时，会产生多种形式的电子和光电现象，扫描电子显微镜（SEM）利用其中的二次电子和背散射电子与表面具有的关系进行结构分析。SEM具有大视场、大倍率、大景深等优点，但其测量样品制备复杂，种类有限，常用于微结构缺陷检测等定性分析。（2）扫描探针显微术被测样品表面的相关信息利用探针与样品的相互作用特性获得，扫描探针显微镜（SPM）及其衍生而来其他测量方法，具有较高的测量分辨力，但其测量过程需要对测量表面逐点扫描，且只有微米级别成像范围，测试效率较低。（3）机械探针轮廓术探针始终与被测表面接触，被测表面结构的变化会使探针产生垂直位移，通过位移的感知即能获得被测表面特性。该方法在工业特别是制造业领域广泛使用，也是国际社会公认的表面粗糙度测量的标准方法。但是其作为接触式测量方法，容易对被测表面造成划伤，逐点测量的办法效率较低，也难以测量复杂器件。非接触式检测技术（1）激光干涉术通过干涉条纹变化与被测物位置变化的对应关系，获得位移信息，从而达到几何量测的目的。（2）自动聚焦法基于几何光学的物象共轭关系，当照明光斑汇聚在被测面时，进一步调整检测头与表面的距离，直至光斑像尺寸最小而得到该被测位置的相对高度。该方法简单易操作，但水平分辨力受光斑大小的限制较大，且垂直高分辨力对成像分析和调节能力要求高。（3）激光共焦扫描显微术首先利用精密共焦空间滤波结构，通过物象共轭关系滤除焦点外的反射光，极大地提高成像的可见度。通过聚焦光对样品垂直扫描，样品在垂直方向被分层成像，光学切片图像经三维重构，可得到样品的三维结构。该方法一次测量过程就能实现该视场三维形貌的测量，兼具高效和高精度的优点，但其分辨率易受扫描步长和物镜数值孔径的限制。（4）光学显微干涉术传统的干涉测量方法，主要是通过观测干涉条纹的位置、间距等的变化来实现精确测量。典型方法是单色光相移干涉术和白光扫描干涉术。单色光相移干涉术的测量思路为：参考臂和测量臂的反射光发生干涉后，利用相移法引入相位变化，根据该相位变化所引起的干涉光强变化，求解出每个数据点的相位，其结果不连续，位于(-p,p]之间，因此需要对该结果进行解包裹运算，然后根据高度与相位的关系，得到被测样品的表面形貌。这种方法在测量时对背景光强不敏感，测量分辨率高；但无法确定干涉条纹的零级位置和相位差的周期数，存在相位模糊问题；若被测样品表面的相邻高度超过1/4波长则不能测准，因此只能应用于对表面连续或光滑的结构的测试。白光扫描干涉法由单色光相移技术发展而来，由于使用白光作为光源，在干涉时有一个确切的零点位置，其相干长度短，干涉条纹只出现在很小的范围内；当光程差为零时，干涉信号出现最大值，该点就代表对应点的高度信息，通过Z向扫描能够还原被测样品的整体形貌。光谱分光型白光干涉由上述方法发展而来的光谱分光型白光干涉技术，则是基于频域干涉的理论，利用光谱仪将传统方法对条纹的测量转变成为对不同波长光谱的测量。包含有被测表面信息的干涉信号，由含有色散元件和阵列探测器的光谱仪接收，通过分析该频域干涉信号来实现信息获取。相比于单色光干涉技术，光谱分光型白光干涉技术具有更大的测量范围，同时与白光扫描干涉术相比，它在测量时不需要大量的Z向扫描过程，极大提高了测量效率。利用光谱分光型白光干涉技术可以测量绝对距离、位移、微结构表面形貌、薄膜厚度等。在测量微结构三维形貌时，光谱分光型白光干涉技术，比于其他方法操作更简单，测量精度更高。在微纳测量领域，为了提高光学测量系统的水平分辨率，通常采用显微物镜放大的方法。在光谱分光型白光干涉测量系统中可以采用几种显微结构，如Michelson型、Mirau型和Linnik型，图2显示了这三种显微干涉结构的构成原理。图2：三种显微干涉结构的构成原理高精度仪器设备需求不断推动着微纳米技术向前发展，因此高精度的微纳检测技术也成为了必然需求。微纳结构测量的对象有表面形貌、电子特性、材料特性、力学特性等，其中表面形貌3D测量最为基础和重要，它包括轮廓测量（如长、宽、高等）和表面粗糙度等参数的测量。对于尺寸处于微纳米量级的微纳结构器件而言，其静电力、黏附力和结构应力等因素对其本身的影响，会随着其表面积和体积之比的增大而增加，使器件的功能和质量发生变化，从而影响器件的使用。因此，对微纳结构表面形貌的检测非常必要。光谱分光型白光干涉技术，用于测量微纳米结构三维形貌的研究及其进一步产业化，填补国内空白。光谱分光型白光干涉仪（见图3）具备高精度、高帧率、算法兼容性强、环境适应性强、稳定性强、操作简便、性价比高等优点，其在新型成像/检测系统中的应用及产业化，将打破国外垄断。图3：光谱分光型白光干涉仪整机系统原理图光源是超辐射发光二极管（SLD），从光源发出的光进入光纤耦合器，从耦合器输出的光经消色差准直器准直成平行光，使用分光棱镜将准直光分为参考光和样品光。参考光经透镜3聚焦于反射镜，样品光经XY扫描振镜和透镜4，聚焦于样品。经反射的参考光和样品光由光纤耦合器的另一端输出，进入光谱仪中。光谱仪由透镜1、光栅、透镜2以及相机组成。输出的光经透镜1准直为平行光，照射到光栅上；光栅衍射分光，经透镜2汇聚于线阵相机；线阵相机记录参考光和样品光的干涉光谱，传给电脑进行处理。该系统使用振镜代替昂贵的高精密位移台进行二维扫描，可用于位移、振动及厚度测量（点测量）；线轮廓测量（线测量）；表面轮廓成像（面成像）。中科行智最新研发的白光干涉仪，用于对各种精密器件表面进行纳米级测量，专业用于超高精度、高反光及透明材质的尺寸测量。该白光干涉仪采用非接触式测量方式，避免物件受损，可进行精密零部件重点部位的表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸测量。目前，在3D测量领域，白光干涉仪是精度最高的测量仪器之一。中科行智重点开发的3D飞点分光干涉仪，重复精度达30nm，扫描速度70kHz，扫描范围广，最大直径可达40mm；适应性强，可适用于测量最强反射、弱反射及透明物体等；稳定性强，分光模块与光学振镜模块化设计，加入光学振镜扫描，可替代昂贵的高精密位移台。主要特点如下：大视野：采用高精度光学振镜扫描方案，实现水平方向大视野扫描，避免使用昂贵的高精度水平位移台；大景深：高分辨率光谱仪进行信号采集，经分光元件将白光分光，具备mm级测量深度特性，无需深度方向扫描装置；高精度：大测量深度高分辨率相敏谱域干涉调解算法，重复精度30nm；高速度：采用FPGA硬件加速设计，帧率70kHz；灵活性：信号采集端和接收端分离式设计，采集端安装更灵活；用户设置自定义扫描区域、扫描间隔，也可重点获取感兴趣区域；适用性：适用于透明、弱反光、高反光、狭缝等材料类型的表面形貌以及厚度检测（见图4、图5）。目前白光干涉仪相关技术处于国际领先，苏州中科行智智能科技有限公司已发布的3D飞点分光干涉仪为国内首家，可广泛应用于半导体晶片、微机电系统、精密加工表面、材料研究等领域，为国内半导体行业及高精密行业赋能，高质量解决环节价值，可趋于替代国外高精密传感器，赋能国内高精密、高价值智能制造！

p　　英国莱斯特，Taylor Hobson于8月16日推出了由Metrology 4.0软件驱动的新款表面粗糙度轮廓仪Form Talysurfsup® /sup PGI NOVUS。 它十分先进的系统，适用于表面，轮廓，三维和直径测量。/pp style="text-align:center"img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201808/insimg/69bd7829-e2d4-4ea4-8f4d-ec8ee0f643c2.jpg" title="Form Talysurf® PGI NOVUS With Metrology 4.0 Software.jpg"//ppstrongPGI NOVUS系统背后的设计—将卓越与创新相结合/strong/pp　　创新技术是新型PGI NOVUS系统的核心。它配备了全新的双偏置规，使系统能够测量直径和角度，并以相同的速度分析正常和反向的表面光洁度，以获得最佳性能。PGI NOVUS是市场上十分精确，稳定和可重复的高精度测量系统。/ppstrongMetrology 4.0—支持制造业的现代软件/strong/pp　　Metrology 4.0软件是一个新的软件包，提供具有虚拟显示和实时控制的直观界面。它提供了对测量过程的一目了然的监控。实时模拟和真实的零件坐标使监控和控制达到了业界十分先进的水平。/pp　　“新型Form Talysurfsup® /sup PGI NOVUS在测量直径和轮廓方面带来了显着的改进，特别是采用新设计的计量器，可以在上下方向进行形状和表面测量，”Taylor Hobson的表面产品经理Greg Roper谈到。“PGI NOVUS计量器旨在为用户提供更大的测量灵活性。可以在单个系统上测量小型，中型和大型复杂零件。”/pp　　“新软件的功能可确保通过屏幕上形象跟踪实时测量。有一系列不同模式可供使用，提供基本元素，如可记录零件编程，以及包括变量在内的可编程功能的高级工具箱。该功能允许为一组不同尺寸的零件创建一个程序，最大限度地降低操作员所需的工作量和培训水平，同时保持最高的测量精度，”Greg解释道。/pp　　此外，Taylor Hobson提供独特的选项，支持从实验室到车间的所有环境中的高精度测量。 有三种仪器加附件地选择可满足所有的应用要求。/ppstrong主要应用：/strong/pp· 滚珠丝杠轴向测量—节圆直径两侧均可(PCD)。/pp· 轴承—球形，滚轴和四点接触。/pp· 燃料喷嘴—平直度和阀座倾角。/pp· 多部分测量—使用单个程序。/pp　　Taylor Hobson在超精密测量仪器领域居于前列，产品广泛应用于光学，半导体，制造业和纳米技术等市场。它是阿美特克超精密技术部的一个分支，阿美特克是世界领先的电子仪器和机电设备制造商，年销售额达43亿美元。/p

一、项目基本情况项目编号：SDGP370300000202202000688项目名称：淄博市计量技术研究院2022年专用设备采购项目预算金额：本项目总预算为1448500.00元,共分1个包,其中包1包含光学干涉轮廓仪、弱光照度计、垂直度测量仪升级改造等设备等设备:1448500.00元。采购需求：①采购名称：淄博市计量技术研究院2022年专用设备采购项目；②采购内容：包含光学干涉轮廓仪、弱光照度计、垂直度测量仪升级改造等设备等设备；③质量要求：所有产品的生产、制造等各项技术标准，应当符合国家标准、各项规范要求和使用许可；④质保期：产品质保期自安装调试完毕并经验收合格之日起不少于24个月。合同履行期限：进口设备在合同签订后60日历天内交货并安装调试完毕；国产设备在合同签订后30日历天内交货并安装调试完毕。本项目不接受联合体投标。二、申请人的资格要求1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无单独资格要求。采购文件落实政府采购政策，包括节能环保产品、小型和微型企业、监狱企业和残疾人福利性单位等政府采购政策。3.本项目的特定资格要求：1、具有加载统一社会信用代码的《营业执照》有效证件；2、未被列入信用中国网(www.creditchina.gov.cn)、中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn) 等渠道信用记录失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单；3、投标人提供“政府采购供应商信用承诺书”的承诺函。三、获取招标文件时间：截止到2022年11月08日14时00分（北京时间）。地点：淄博市公共资源交易网（http://ggzyjy.zibo.gov.cn/）招标文件获取方式： ①已在淄博市公共资源交易平台（http://ggzyjy.zibo.gov.cn/）注册的供应商，需要登录淄博市公共资源交易网网站首页点击“新系统登录入口”（http://ggzyjy.zibo.gov.cn:9181/TPBidder）根据页面提示重新完善信息。完善后在登录新系统免费下载采购文件。②未注册的供应商请到淄博市公共资源交易网（http://ggzyjy.zibo.gov.cn:8082/）在网站首页点击“新系统登录入口”（http://ggzyjy.zibo.gov.cn:9181/TPBidder）根据页面提示进行注册（注册类型：交易乙方）。咨询电话：0533-2270020、2270010、2270050，咨询时间：北京时间8：30-12：00，13：30-17：00（法定公休日、法定节假日除外）。技术咨询电话：400-998-0000。③为满足信息公开和供应商诚信体系建设需要，供应商还需同时在中国山东政府采购网（http://www.ccgp-shandong.gov.cn/）进行注册。未注册的供应商须登录中国山东政府采购网点击首页右侧“系统入口”模块的“供应商注册”进行注册。请各供应商自行查验，务必保证淄博市公共资源交易网与中国山东政府采购网的注册单位名称及统一社会信用代码信息一致。四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点截止时间： 2022年11月09日14时00分（北京时间）投标文件递交方式： 将加密的电子投标文件在截止时间前通过淄博市公共资源交易网 “上传投标文件”栏目上传完成。①拟参加本项目的投标人须办理并取得数字证书（电子签章）后，方可加密生成及上传电子投标文件。请各投标人仔细阅读《数字证书办理注意事项及相关资料下载》（淄博公共资源交易网→办事指南→服务指南）并按照须知要求办理。②投标人可到淄博市公共资源交易中心一楼大厅办理数字证书，也可网上办理。山东CA（山东省数字证书认证管理有限公司）证书办理电话为400-607-8966，CFCA（中金金融认证中心有限公司）证书办理电话为0533-3590310。其他具体操作请参考“新点投标文件制作软件（淄博版）操作视频-采购类”（淄博市公共资源交易中心网站→办事指南→服务指南），技术咨询电话：400-998-0000。开标时间： 2022年11月09日14时00分（北京时间）地点：?网上开标大厅。请各供应商在开标前登录网上开标大厅（http://ggzyjy.zibo.gov.cn:9181/BidOpeningHall/bidopeninghallaction/hall/login）,在线准时参加开标活动并进行投标文件解密、答疑、澄清等。五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其他补充事宜本项目采用网上开标模式。各投标人无需到达开标现场，请在开标时间截止前登录网上开标大厅，在线准时参加开标活动并进行报价文件解密等。网上开标等详细事宜见招标文件 “网上开标提示”模块。七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系1.采购人信息名 称：淄博市计量技术研究院地 址：淄博市张店区共青团西路98号联系人：陈杰联系方式：0533-23159562.采购代理机构信息名 称：山东和鑫盛工程咨询管理有限公司地 址：山东省淄博市张店区新村西路42号铂金商务大厦4层联系方式：0533-23088813.项目联系方式项目联系人：薛皎、吕丽媛电 话：0533-2308881

泰勒霍普森的故事始于一位维多利亚时代的企业家 William Taylor。1886年， 他和兄弟在英国莱斯特创办了一家透镜工厂， 开发高质量相机镜头， 为20世纪早期电影业的蓬勃发展做出了巨大的贡献。泰勒霍普森公司通过严格的质量控制来提高产品的可靠性和卓越声誉。在此过程中， 公司开创了另一个全新领域：产品检测。不断研发出行业领先的新技术和新产品， 引领了市场对精密计量仪器的需求， 也奠定了泰勒霍普森公司世界知名计量仪器制造商的地位。1886 - 1939年 公司起步1886年Taylor 兄弟在英国莱斯特创立公司。1893年闻名于世的库克镜头(Cooke Lens)诞生。1905年改变高尔夫球的历史。高尔夫球初期是一种表面光滑的球， 但是天才的 William Taylor 通过仔细观察， 发现磨损和伤痕累累的球反而能飞得更远。经过潜心研究和测试， 他设计出带有凹纹的高尔夫球，并研制出制造凹纹高尔夫球模具的机器。从那时起，现代凹纹高尔夫球就正式诞生了。1914 - 1918年一战期间研制出 AVIAR 航拍镜头，使盟军的空军在战斗中占有优势。双筒望远镜、步枪瞄准器和测距仪镜头的研制也对一战中的盟军起到了帮助作用。1919年William Taylor 获得大英帝国官佐勋章（OBE）。乔治国王和玛丽王后造访了泰勒霍普森工厂，以感谢公司对战争的贡献。1932年第一款用于电影摄影机的库克变焦镜头诞生。1939年1930年代后期，泰勒霍普森公司成为全球光学镜头制造业的翘楚，为世界各国的电影制片厂提供了超过市场总量80%的电影摄影机镜头。1940 - 1959年 计量创新1941年发明了世界上第一台表面粗糙度测量仪 Talysurf 1 ， 成为世界上首个在生产过程中进行粗糙度质量控制的设备和检测的参考标准。1949年发明了世界上第一台圆度测量仪 Talyrond 1 。当时在泰勒霍普森的工厂中制造并使用了一台这样的仪器，客户如果需要检测，要将零件送到泰勒霍普森公司去测量。后来在客户的强烈要求下，Talyrond 1 于1954年正式投入量产。1951年成功研制出测微准直望远镜 Micro Alignment Telescope， 用于检测和调整直线度、准直度、垂直度和平行度等， 目前仍被广泛使用。1960 - 1979年 业界领先1965年开发出手持式 Surtronic 表面粗糙度测量仪，以经济实惠的价格将表面粗糙度检测仪送到了工厂车间。1966年研发出 Talystep，其噪音级别优于 0.7nm RMS，被认为是业界领先的台阶高度和表面粗糙度检测仪器。1970年成功研制出高精度圆度测量仪 Talyrond 73， 至今为止它仍然保有世界领先的圆度精度。1980 - 1999年 鼎盛辉煌1984年推出 Form Talysurf MK1，使用先进的激光传感器，实现了大量程高分辨率测量。1989年推出 Nanostep，可进行纳米级精度的表面测量。1992年Form Talysurf Series系列产品获得了英国女王技术创新奖（Queen' s Award for Technological Innovation）。Talyrond 30 车间型圆度产品上市。新库克系列镜头上市。1993年推出 Form Talysurf Plus。在德国、日本和美国建立了技术中心。库克镜头百年庆典。1996年研制出创新型的使用 Form Talysurf Series PGI （相位光栅干涉技术）传感器的系列轮廓仪。1997年研发出全自动调心调平的 Talyrond 200 系列圆度仪。1999年推出用于检查表面粗糙度的便携式测量仪 Surtronic Duo。2000 - 今，千禧新世纪2002年发布具有专利技术的 CCI 非接触式表面轮廓测量仪。2004年加入美国阿美特克 AMETEK 集团的超精技术事业部，阿美特克是全球领先的机电设备和电子仪器制造企业。2011年发布具有全新的自动化测量概念的 Talyrond 500 系列圆度圆柱度测量系统，无与伦比的移动速度和位置控制精度， 使得Talyrond 500 成为精密零部件制造厂商的首选。2014年推出了纳米级 LUPHOScan 高速非接触式3D非球面光学面形测量系统， 掌握了以非接触方式测量复杂镜片和光学表面的关键技术， 进一步扩大了公司在计量领域的广阔空间。2017年推出 PGI Freeform 自由曲面测量系统，在光博会上获颁“精密光学创新产品奖”。2018年发布了先进的用于表面粗糙度、轮廓、三维表面和直径测量的 Form Talysurf PGI NOVUS，该仪器配备了全新的 Metrology 4.0 软件，包含了直观软件界面、虚拟仪器、远程实时控制等全新概念。2019年独创 TALYScan 280 高速非接触式光学3D形貌测量系统， 通过一次3D扫描， 即可得到完整的表面数据。回望历史，百年荣耀。一家建立于1886年的制造镜片的公司，一直以来引领了表面计量领域的技术改革和产品创新。William Taylor 的座右铭是："不要在其他人做过的事情上浪费时间，而要创造一些他们未曾想到的新产品" 。一百多年来， 它一直都是泰勒霍普森创造未来的动力！联系我们：https://www.instrument.com.cn/netshow/SH102493/关于泰勒霍普森英国泰勒霍普森是专业的超精密计量公司, 专业从事计量产品的设计、研发和生产。泰勒霍普森成立于1886年, 分别于1941年和1949年发明了世界上第一台粗糙度轮廓仪和世界上第一台圆度仪, 并参与制定了多项国际计量标准，一直以来引领着精密计量技术的发展。泰勒霍普森为精密光学、汽车、轴承、机床、航空航天、电子、半导体、材料、医疗、计量院、科研院所及高校等行业提供专业的接触式和非接触式计量解决方案。阿美特克是电子仪器和机电设备的全球领导者，年销售额约为50亿美金。为材料分析、超精密测量、过程分析、测试测量与通讯、电力系统与仪器、仪表与专用控制、精密运动控制、电子元器件与封装、特种金属产品等领域提供技术解决方案。全球共有18,000多名员工，150多家工厂，在美国及其它30多个国家设立了100多个销售及服务中心。

布鲁克公司纳米表面仪器部携ContourGT非接触式三维光学形貌仪参加2013年第15届中国光博会布鲁克公司纳米表面仪器在本届光博会上展出最新的ContourGT非接触式三维光学形貌仪，具有优异的抗噪声特性，能实现定标性测量的重复性和再现性，拥有业界最高垂直分辨率，适用于对各种复杂精密元器件形状的高精度质量管理工作，精确测量表面形貌、台阶高度和表面粗糙度等。 客户服务热线：010- 5833 3252 邮箱：sales.asia@bruker-nano.com 作为表面观测和测量技术的全球领导者，布鲁克公司纳米表面仪器部提供世界上最完整的原子力显微镜、三维非接触式光学形貌仪和探针式表面轮廓仪系列产品。布鲁克公司纳米表面仪器部一直着眼于研发新的计量检测方法和工具，不断迎接挑战，致力于为客户解决各种技术难题，提供最完善的解决方案。此外，还可根据工业生产中的操作模式和操作习惯，精简仪器功能，针对生产中的特定应用需求，为客户量身打造相匹配的仪器设备，简化生产过程的操作流程，提高工作效率。布鲁克的表面测量仪器广泛用于大学、研究所，工业领域的LED行业、太阳能行业、触摸屏行业、半导体行业以及数据存储行业等，进行科学研究、产品开发、质量控制及失效分析，提供符合需求和预算的最佳解决方案。ContourGT 光学形貌仪广泛应用于触摸屏、高亮度LED、太阳能电池、模具、零部件测量等各种领域该系列包括基本型ContourGT-K0，桌上型ContourGT-K1，中端型号ContourGT-X3，以及旗舰型号ContourGT-X8和ContourGT-X8 PSS（该型号专为高亮度LED的质量保证/质量监控而设计）等。每一种型号为用户的不同需求提供解决方案，以满足在精密制造和特定行业的要求，如高亮度LED、触摸屏、太阳能电池、隐形眼镜、半导体、硬盘、汽车和骨科等NPFLEX 三维表面测量系统为大尺寸工件精密加工提供准确测量布鲁克的NPFLEX 三维表面测量系统为大样品表面提供了灵活的非接触式测量方案，可广泛用于医疗植入、航空航天、汽车或精密加工上的大型、异型工件的测量。 基于白光干涉原理，NPFLEX 为用户提供超过接触式方法所能达到的更大数据量、更高分辨率和更好的重复性，使它成为独立或者互补的测量方案。开放式的拱门设计克服了以往某些零件由于角度或取向造成的测量困难，可实现超过300度的测量空间。NPFLEX的超级灵活性、数据准确性和测试效率为精密加工行业提供了一种简单的方法，来实现其更苛刻的加工要求、更高效的加工工艺和更好的终端产品。 客户服务热线：010- 5833 3252 邮箱：sales.asia@bruker-nano.com

布鲁克公司纳米表面仪器部携ContourGT非接触式三维光学形貌仪参加2012年第14届中国光博会布鲁克公司纳米表面仪器在本届光博会上展出最新的ContourGT非接触式三维光学形貌仪，具有优异的抗噪声特性，能实现定标性测量的重复性和再现性，拥有业界最高垂直分辨率，适用于对各种复杂精密元器件形状的高精度质量管理工作，精确测量表面形貌、台阶高度和表面粗糙度等。 作为表面观测和测量技术的全球领导者，布鲁克公司纳米表面仪器部提供世界上最完整的原子力显微镜、三维非接触式光学形貌仪和探针式表面轮廓仪系列产品。布鲁克公司纳米表面仪器部一直着眼于研发新的计量检测方法和工具，不断迎接挑战，致力于为客户解决各种技术难题，提供最完善的解决方案。此外，还可根据工业生产中的操作模式和操作习惯，精简仪器功能，针对生产中的特定应用需求，为客户量身打造相匹配的仪器设备，简化生产过程的操作流程，提高工作效率。布鲁克的表面测量仪器广泛用于大学、研究所，工业领域的LED行业、太阳能行业、触摸屏行业、半导体行业以及数据存储行业等，进行科学研究、产品开发、质量控制及失效分析，提供符合需求和预算的最佳解决方案。ContourGT 光学形貌仪广泛应用于触摸屏、高亮度LED、太阳能电池、模具、零部件测量等各种领域该系列包括基本型ContourGT-K0，桌上型ContourGT-K1，中端型号ContourGT-X3，以及旗舰型号ContourGT-X8和ContourGT-X8 PSS（该型号专为高亮度LED的质量保证/质量监控而设计）等。每一种型号为用户的不同需求提供解决方案，以满足在精密制造和特定行业的要求，如高亮度LED、触摸屏、太阳能电池、隐形眼镜、半导体、硬盘、汽车和骨科等NPFLEX 三维表面测量系统为大尺寸工件精密加工提供准确测量布鲁克的NPFLEX 三维表面测量系统为大样品表面提供了灵活的非接触式测量方案，可广泛用于医疗植入、航空航天、汽车或精密加工上的大型、异型工件的测量。 基于白光干涉原理，NPFLEX 为用户提供超过接触式方法所能达到的更大数据量、更高分辨率和更好的重复性，使它成为独立或者互补的测量方案。开放式的拱门设计克服了以往某些零件由于角度或取向造成的测量困难，可实现超过300度的测量空间。NPFLEX的超级灵活性、数据准确性和测试效率为精密加工行业提供了一种简单的方法，来实现其更苛刻的加工要求、更高效的加工工艺和更好的终端产品。 客户服务热线：400-890-5666 邮箱：sales.asia@bruker-nano.com

KLA探针式轮廓仪的过去，现在，与未来。KLA Instruments&trade 探针式轮廓仪（也称台阶仪）提供高精度2D和3D表面量测，测量台阶高度、表面粗糙度、翘曲度和应力以及优秀的稳定性和可靠性，满足客户的研发和生产要求。目前，KLA Instruments&trade 台阶仪包括专为研发助力的Alpha-Step系列D-500/D600桌面式台阶仪，工厂生产用Tencor P-系列P-7，P-17，P-17 OF量产型台阶仪，还有自动化产线上的 HRP系列P-170和HRP-260全自动台阶仪。自1977年KLA首款商用探针式轮廓仪问世，经过四十多年的不断探索和技术创新，KLA取得了一个又一个突破，不断稳固自身在行业中的领导地位。1977Alpha-Step100 是Tencor 推出的首款台阶仪产品。其在台阶高度测量的准确性和重复性方面表现优异。凭借价格实惠、外形小巧和功能强大，很快就成为大多数半导体制造厂或晶圆厂重要的工具。1983Alpha-Step 200 发布，扫描速度比竞品快 2 倍，配备 CRT 显示器，能够自动测量、调平和计算。1987Alpha-Step 250 问世，灵敏度增强至 1 &angst ，增加了隔声外壳。1988Tencor P系列的P-1探针式轮廓仪实现了单次长度 200mm 扫描，且无需任何拼接。P-1 轮廓仪采用革 命性的全新设计，在扫描平台、光学和传感器技术方面进行了行业创新，提供无可匹敌的稳定性、灵敏度和重复性。该系统具有超平面扫描平台，能够单次扫描实现高达 200mm 的高分辨率，确定表面粗糙度、波纹度和薄膜应力特征。新平台也是 3D 扫描平台，增加了第三维度来表现表面形貌。该系统的特色是采用顶视光学系统来提供清晰的样品视图，不受传统倾斜侧视的扭曲影响。此外，该系统的传感器技术采用业界先进的线性可变差分电容器 (LVDC)，从而使电子分辨率达到亚埃级，并且转动惯量小，可实现低作用力控制并降低对噪声的敏感性。1991Tencor P2H 支持自动晶圆和磁盘机械手臂， 减少接触样品带来的污染。同年的Tencor P2 采用开放式框架，支持尺寸达 430mm x 430mm 的样品，同时Tencor FP2可扫描尺寸达 630mm x 630mm 的样品，用于平板行业。1994Tencor P-20 全自动探针式轮廓仪发布，增加了图案识别和 SECS/GEM，并且与现有的机械手臂相结合，实现了全自动化。Alpha-Step 500增加垂直量程至 1mm，并配备了全新高倍率光学器件和彩色摄像头。1996Tencor P-10、 P-11、 P-12 和 P-22 相继发布，产品采用最新的低作用力控制技术，延长垂直量程至1000µ m并增强环境隔离功能。Microhead II 增强线性可变差分电容器 (LVDC)，并增加低至 0.05mg的程式控制低作用力。它增加了通过动态调整枢轴上的作用力，确保在任何台阶高度下，样品表面都能够施加相同的力。此外，新传感器可支持高达 1000µ m 台阶高度。P-12 新增隔声罩和主动隔离台，不仅增强对环境噪声的隔离，还能够测量超光滑硬盘的粗糙度。P-22 在现有 P-20 机械手臂的基础上新增一个隔离台，实现自动晶圆传送、图案识别和 SECS/GEM 等全自动测量，从而为半导体行业提供整体解决方案， 提高其生产效率。1997Tencor P-30 将开放式晶圆盒机械臂替换为 SMIF 机械臂和系统的内置微环境， 以支持半导体行业新的洁净度要求。HRP-220 是在线表面量测的一大突破，配备了 P-22 的长扫描平台以及高分辨率压电平台，DuraSharp 探针可实现精细的特征测量和分析。同年，Tencor Instruments 和 KLA Instruments 两家公司合并成立了 KLA-Tencor, Inc.，成为世界领先的半导体制造和相关行业的良率管理及工艺控制解决方案供应商之一。1998HRP-320 在HRP-220 的测量能力基础上扩展到 300mm 晶圆，是能够单次扫描测量 300mm 晶圆全直径的系统。1999HRP-240 和 HRP-340 在使用的便利性、产出和精度上有了重大改进。新增压电挠性平台设计，以尽量减少平面外的运动，扫描平面度 2x 在保持 90µ m x 90µ m 扫描区域和 1nm 分辨率的同时，比以前的设计有了很大的进步。该系统增加在线高倍和低倍光学器件，并利用距离传感器实现无接触自动聚焦，从而可允许快速、精确对焦，并通过减少探针的表面接触次数来延长其使用寿命。长扫描平台通过增加线性编码器来提高样品定位的准确性，而更细螺距的丝杠可实现更高的分辨率。通过增加数字信号处理器来管理所有平台控制，将计算机处理能力留给用户接口，从而改善系统的整体性能。新增浸渍模式（Dipping Mode&trade ）能够测量高深宽比的蚀刻深度特征。2001Tencor P-15 结合了 P-10 和 P-11 系统的功能，技术更加成熟，为单一平台上的研发和生产提供支持。2003Alpha-Step IQ 在 Alpha-Step 500 基础上新增 USB 电子器件和全新设计的软件，可以显著提供增强的扫描排序和数据分析能力。2007Tencor P-16+ 在-15 的基础上进行了改进：新的 USB 电子器件、更强大的软件以及 Apex 高级数据分析和报告撰写软件功能。2008Tencor P-6 是一台高性能探针式轮廓仪，在较小的平台上沿用了 P-16+ LVDC 传感器技术和扫描平台技术。HRP-250 和 HRP-350 仪器采用噪音更低的 LVDC 传感器技术、新的隔离系统（仅 HRP-350）和第二代 DuraSharp II 探针。可实现更小特征的测量和接近 2 倍的吞吐量。2009Ambios Technology 加入KLA-Tencor并发布 XP100 和 XP200，采用光学杠杆传感器技术，垂直量程1200µ m 并支持200mm晶圆样品。2010KLA-Tencor 发布了基于 Ambios Technology 平台的 Alpha-Step D-100 和 D-120，采用增强光学杠杆传感器技术， 显著改善了测量的稳定性。2013Tencor P-7 和 P-17 配备了新高分辨率彩色相机，并增强了对翘曲度和应力的测量。2014Alpha-Step D-500 和 D-600 仪器采用了与 P系列相同的高分辨率相机。增加了侧视图的梯形校正功能，并且进一步改善了测量的重复性。2016Tencor P-170结合了 P-17 与 HRP 机械手臂，是一款新的全自动探针式轮廓仪。同年，HRP系列的新机型HRP-260 也随后发布。新仪器在自动化晶圆处理方面有了重大的改进。增加了几何图案识别，提高了倾斜校正算法的准确性，并采用新方法进行自动灯光控制。机械手臂包含新电子器件，可支持碳化硅 (SiC) 和蓝宝石等透明样品以及硅、砷化镓 (GaAs) 和 AlTiC 等不透明样品的预对准。也支持卡盒内wafer探测和读取wafer ID.2019KLA Instruments&trade 全系列探针式轮廓仪Alpha-Step、Tencor P- 和 HRP，移植软件平台至最新的Windows 10 OS。同时，新的测量和数据分析功能发布在新的软件平台中。2023KLA将继续探索的脚步，而探针式轮廓仪全线产品也将持续发展，为满足客户的需求不断努力创新。Keep Looking Ahead！

详细信息 智能制造龙城实验室3D表面光学轮廓仪采购及安装项目竞争性磋商公告 江苏省-常州市 状态：公告 更新时间： 2023-09-25 智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目竞争性磋商公告 发布日期：2023-09-25 项目概况 智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目 的潜在投标人应在常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司综合办获取招标文件，并于2023年10月18日14点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 1.项目编号：HZ-CJC2023-072 2.项目名称：智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目 3.采购方式：竞争性磋商 4.预算金额：人民币壹佰伍拾伍万元整（￥1550000元） 5.最高限价：人民币壹佰伍拾伍万元整（￥1550000元）；供应商报价时总价不得高于最高限价，否则作为无效响应处理。 6.采购需求：本项目采购内容包含3D表面光学轮廓仪及相关配件一套，包括设备及系统的采购、供货、安装、调试、测试、售后服务、质保、技术培训等，直至通过采购人验收。本项目可采购进口产品。 7.合同履行期限：签订合同后4个月内供货、安装并调试完成。 8.本项目是否接受联合体：□是 ◆否。 9.本项目是否接受进口产品响应：◆是 □否。 二、申请人的资格要求（须同时满足） 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定以及下列情形： 1.1未被“信用中国”网站（WWW.creditchina.gov.cn）或“中国政府采购网”网站（www.ccgp.gov.cn）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重失信行为记录名单； 1.2单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商（包含法定代表人为同一个人的两个及两个以上法人，母公司、全资子公司及其控股公司），不得参加同一合同项下的政府采购活动。 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 2.1 中小企业政策 ◆本项目不专门面向中小企业预留采购份额。 □本项目专门面向 □中小 □小微企业 采购。即：提供的货物全部由符合政策要求的中小/小微企业制造、服务全部由符合政策要求的中小/小微企业承接。 □本项目预留部分采购项目预算专门面向中小企业采购。对于预留份额，提供的货物由符合政策要求的中小企业制造、服务由符合政策要求的中小企业承接。预留份额通过以下措施进行： / 。 2.2 其它落实政府采购政策的资格要求（如有）： / 。 3.本项目的特定资格要求： 3.1本项目是否接受分支机构参与投标：□是 ◆否； 3.2本项目是否属于政府购买服务： ◆否； □是，公益一类事业单位、使用事业编制且由财政拨款保障的群团组织，不得作为承接主体； 3.3其他特定资格要求： 本项目接受进口产品投标，供应商所投设备为进口产品的，应提供以下之一的证明材料： 3.3.1供应商为所投进口设备的授权经销（代理）商，必须提供制造（生产）商授权投标人的授权书或上级经销（代理）商授权投标人的授权书,并提供逐级经销（代理）商的证书扫描件。 3.3.2供应商为本项目授权供应商，必须提供制造（生产）商授权投标人的授权书或授权经销（代理）商授权投标人的授权书,并提供逐级经销（代理）商的证书扫描件。 三、获取招标文件 1.时间：2023年09月25日至2023年10月08日，每天上午8:30至11:30，下午13:00至17:00（北京时间，法定节假日除外）。 2.地点：常州市政府采购业务管理平台 3.方式：供应商持CA数字认证证书登录常州市政府采购业务管理平台（http://58.216.242.31:8084/cgzx/login）获取电子版磋商文件。 4.售价：/ 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 截止时间：2023年10月18日14点00分（北京时间）。 地点：本项目采用不见面交易方式，无需到现场提交，供应商登录常州市政府采购业务管理平台供应商端，通过系统在线提交电子响应文件。 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.本项目需要落实的政府采购政策：无。 2.本项目采用全流程电子化采购方式，请供应商认真学习常州市政府采购业务管理平台发布的相关操作手册，办理CA认证证书、进行常州市政府采购业务管理平台注册绑定，并认真核实数字认证证书情况确认是否符合本项目电子化采购流程要求。 技术支持服务热线 0519-85588210 CA认证证书办理（可邮寄）联系电话 0519-85588120 2.1办理CA认证证书 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”下载并查阅“常州市政府采购业务管理平台（供应商）国信CA证书办理指南”，按照程序要求办理。 2.2注册 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”-“常州市政府采购业务管理平台供应商操作指南”下载相关操作手册、操作视频等，查阅后进行自助注册。 2.3控件、客户端下载 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”-“常州市政府采购业务管理平台供应商客户端下载下载”下载相关控件和客户端。 2.4获取电子磋商文件 供应商持CA数字认证证书登录常州市政府采购业务管理平台获取电子磋商文件。未在规定期限内通过常州市政府采购业务管理平台获取磋商文件的响应无效。 2.5编制电子响应文件 供应商应使用电子响应文件制作客户端编制电子响应文件并进行线上响应，供应商电子响应文件需要加密并加盖电子签章，如无法按照要求在电子响应文件中加盖电子签章和加密，请及时通过技术支持服务热线联系技术人员。 2.6提交电子响应文件 供应商应于响应截止时间前在常州市政府采购业务管理平台提交电子响应文件，上传电子响应文件过程中请保持与互联网的连接畅通。 2.7电子开标 供应商使用CA认证证书登录常州市政府采购业务管理平台进行电子化不见面开标。 2.8注意事项 供应商在开标前应当使用“验证CA”功能验证本地计算机的控件环境是否正常，并且在开标、评审过程中不可随意更换计算机，必须使用验证成功的计算机进行操作，否则造成相应后果由供应商自行承担。 3.关于常州市中小企业政府采购信用融资： 根据《常州市财政局 中国人民银行常州市中心支行关于进一步推进政府采购信用融资工作的通知》（常财购〔2021〕13号）等有关文件精神，我市实行政府采购信用融资，将信用作为政策工具引入政府采购领域，金融机构根据政府采购项目中标（成交）通知书或中标（成交）合同，为中标（成交）中小企业供应商提供相应额度贷款的融资模式。申请条件及操作流程等事项详见该文件相关内容或者常州市政府采购网--政采融资平台栏目。 3.答疑 投标单位对招标文件如有疑问，请将疑问于2023年10月08日20：30前以书面或邮件形式递交至常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司（注：① 答疑文件须加盖投标单位公章；② 答疑文件以代理机构收到时间为准；否则代理机构有权拒收其答疑文件）。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：智能制造龙城实验室 地 址：常州科教城三一路江南现代工研院三楼 联系方式：倪老师；0519-86336899 2.采购代理机构信息 名 称：常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司 地 址：常州市北塘河路8号恒生科技园44-2栋（一号大门往北一百米） 联系方式：周工；0519-83999268 3.项目联系方式 项目联系人：周工 电 话：0519-83999268 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：轮廓仪 开标时间：2023-10-18 14:00 预算金额：155.00万元 采购单位：智能制造龙城实验室 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 智能制造龙城实验室3D表面光学轮廓仪采购及安装项目竞争性磋商公告 江苏省-常州市 状态：公告 更新时间： 2023-09-25 智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目竞争性磋商公告 发布日期：2023-09-25 项目概况 智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目 的潜在投标人应在常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司综合办获取招标文件，并于2023年10月18日14点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 1.项目编号：HZ-CJC2023-072 2.项目名称：智能制造龙城实验室3D 表面光学轮廓仪采购及安装项目 3.采购方式：竞争性磋商 4.预算金额：人民币壹佰伍拾伍万元整（￥1550000元） 5.最高限价：人民币壹佰伍拾伍万元整（￥1550000元）；供应商报价时总价不得高于最高限价，否则作为无效响应处理。 6.采购需求：本项目采购内容包含3D表面光学轮廓仪及相关配件一套，包括设备及系统的采购、供货、安装、调试、测试、售后服务、质保、技术培训等，直至通过采购人验收。本项目可采购进口产品。 7.合同履行期限：签订合同后4个月内供货、安装并调试完成。 8.本项目是否接受联合体：□是 ◆否。 9.本项目是否接受进口产品响应：◆是 □否。 二、申请人的资格要求（须同时满足） 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定以及下列情形： 1.1未被“信用中国”网站（WWW.creditchina.gov.cn）或“中国政府采购网”网站（www.ccgp.gov.cn）列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重失信行为记录名单； 1.2单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商（包含法定代表人为同一个人的两个及两个以上法人，母公司、全资子公司及其控股公司），不得参加同一合同项下的政府采购活动。 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 2.1 中小企业政策 ◆本项目不专门面向中小企业预留采购份额。 □本项目专门面向 □中小 □小微企业 采购。即：提供的货物全部由符合政策要求的中小/小微企业制造、服务全部由符合政策要求的中小/小微企业承接。 □本项目预留部分采购项目预算专门面向中小企业采购。对于预留份额，提供的货物由符合政策要求的中小企业制造、服务由符合政策要求的中小企业承接。预留份额通过以下措施进行： / 。 2.2 其它落实政府采购政策的资格要求（如有）： / 。 3.本项目的特定资格要求： 3.1本项目是否接受分支机构参与投标：□是 ◆否； 3.2本项目是否属于政府购买服务： ◆否； □是，公益一类事业单位、使用事业编制且由财政拨款保障的群团组织，不得作为承接主体； 3.3其他特定资格要求： 本项目接受进口产品投标，供应商所投设备为进口产品的，应提供以下之一的证明材料： 3.3.1供应商为所投进口设备的授权经销（代理）商，必须提供制造（生产）商授权投标人的授权书或上级经销（代理）商授权投标人的授权书,并提供逐级经销（代理）商的证书扫描件。 3.3.2供应商为本项目授权供应商，必须提供制造（生产）商授权投标人的授权书或授权经销（代理）商授权投标人的授权书,并提供逐级经销（代理）商的证书扫描件。 三、获取招标文件 1.时间：2023年09月25日至2023年10月08日，每天上午8:30至11:30，下午13:00至17:00（北京时间，法定节假日除外）。 2.地点：常州市政府采购业务管理平台 3.方式：供应商持CA数字认证证书登录常州市政府采购业务管理平台（http://58.216.242.31:8084/cgzx/login）获取电子版磋商文件。 4.售价：/ 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 截止时间：2023年10月18日14点00分（北京时间）。 地点：本项目采用不见面交易方式，无需到现场提交，供应商登录常州市政府采购业务管理平台供应商端，通过系统在线提交电子响应文件。 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1.本项目需要落实的政府采购政策：无。 2.本项目采用全流程电子化采购方式，请供应商认真学习常州市政府采购业务管理平台发布的相关操作手册，办理CA认证证书、进行常州市政府采购业务管理平台注册绑定，并认真核实数字认证证书情况确认是否符合本项目电子化采购流程要求。 技术支持服务热线 0519-85588210 CA认证证书办理（可邮寄）联系电话 0519-85588120 2.1办理CA认证证书 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”下载并查阅“常州市政府采购业务管理平台（供应商）国信CA证书办理指南”，按照程序要求办理。 2.2注册 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”-“常州市政府采购业务管理平台供应商操作指南”下载相关操作手册、操作视频等，查阅后进行自助注册。 2.3控件、客户端下载 供应商登录常州市政府采购网“下载中心”-“常州市政府采购业务管理平台供应商客户端下载下载”下载相关控件和客户端。 2.4获取电子磋商文件 供应商持CA数字认证证书登录常州市政府采购业务管理平台获取电子磋商文件。未在规定期限内通过常州市政府采购业务管理平台获取磋商文件的响应无效。 2.5编制电子响应文件 供应商应使用电子响应文件制作客户端编制电子响应文件并进行线上响应，供应商电子响应文件需要加密并加盖电子签章，如无法按照要求在电子响应文件中加盖电子签章和加密，请及时通过技术支持服务热线联系技术人员。 2.6提交电子响应文件 供应商应于响应截止时间前在常州市政府采购业务管理平台提交电子响应文件，上传电子响应文件过程中请保持与互联网的连接畅通。 2.7电子开标 供应商使用CA认证证书登录常州市政府采购业务管理平台进行电子化不见面开标。 2.8注意事项 供应商在开标前应当使用“验证CA”功能验证本地计算机的控件环境是否正常，并且在开标、评审过程中不可随意更换计算机，必须使用验证成功的计算机进行操作，否则造成相应后果由供应商自行承担。 3.关于常州市中小企业政府采购信用融资： 根据《常州市财政局 中国人民银行常州市中心支行关于进一步推进政府采购信用融资工作的通知》（常财购〔2021〕13号）等有关文件精神，我市实行政府采购信用融资，将信用作为政策工具引入政府采购领域，金融机构根据政府采购项目中标（成交）通知书或中标（成交）合同，为中标（成交）中小企业供应商提供相应额度贷款的融资模式。申请条件及操作流程等事项详见该文件相关内容或者常州市政府采购网--政采融资平台栏目。 3.答疑 投标单位对招标文件如有疑问，请将疑问于2023年10月08日20：30前以书面或邮件形式递交至常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司（注：① 答疑文件须加盖投标单位公章；② 答疑文件以代理机构收到时间为准；否则代理机构有权拒收其答疑文件）。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：智能制造龙城实验室 地 址：常州科教城三一路江南现代工研院三楼 联系方式：倪老师；0519-86336899 2.采购代理机构信息 名 称：常州市恒卓建设工程管理咨询有限公司 地 址：常州市北塘河路8号恒生科技园44-2栋（一号大门往北一百米） 联系方式：周工；0519-83999268 3.项目联系方式 项目联系人：周工 电 话：0519-83999268

详细信息 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目公开招标公告 北京市-海淀区 状态：公告 更新时间： 2022-05-30 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目公开招标公告 项目概况 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.o-science.com获取招标文件，并于2022年06月21日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：0729-224OIT360952 项目名称：中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目 预算金额：350.0000000 万元（人民币） 采购需求： 包号 货物名称 数量 （台/套） 是否允许采购进口产品 采购预算（人民币） 1 非球面轮廓仪 1套 是 350万元 合同履行期限：详见招标文件 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 无 3.本项目的特定资格要求：无 三、获取招标文件 时间：2022年05月30日 至 2022年06月07日，每天上午9:00至11:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：www.o-science.com 方式：登录东方在线www.o-science.com注册并购买。 售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2022年06月21日 09点30分（北京时间） 开标时间：2022年06月21日 09点30分（北京时间） 地点：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层第二会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1、投标文件递交地点：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层第二会议室 2、招标文件采用网上电子发售购买方式： 1）有兴趣的投标人可登陆“东方在线”（http://www.o-science.com 招标在线频道），完成投标人注册手续（免费），然后登录系统浏览该项目下产品的“技术指标”，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。 2）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。 开户名称：东方国际招标有限责任公司 开户行：招商银行北京西三环支行 账 号：862081657710001 3）投标人应在“东方在线“上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在“东方在线”上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。 3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：中国科学院空天信息创新研究院 地址：北京市海淀区邓庄南路9号 联系方式：010-68290515/0513 2.采购代理机构信息 名 称：东方国际招标有限责任公司 地 址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室 联系方式：耿佳 王淑文 010-68290515/0513 jgeng@oitc.com.cn/swwang@oitc.com.cn 3.项目联系方式 项目联系人：耿佳 王淑文 电 话： 010-68290515/0513 × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：轮廓仪 开标时间：2022-06-21 09:30 预算金额：350.00万元 采购单位：中国科学院空天信息创新研究院 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：东方国际招标有限责任公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目公开招标公告 北京市-海淀区 状态：公告 更新时间： 2022-05-30 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目公开招标公告 项目概况 中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.o-science.com获取招标文件，并于2022年06月21日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：0729-224OIT360952 项目名称：中国科学院空天信息创新研究院非球面轮廓仪采购项目 预算金额：350.0000000 万元（人民币） 采购需求： 包号 货物名称 数量 （台/套） 是否允许采购进口产品 采购预算（人民币） 1 非球面轮廓仪 1套 是 350万元 合同履行期限：详见招标文件 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 无 3.本项目的特定资格要求：无 三、获取招标文件 时间：2022年05月30日 至 2022年06月07日，每天上午9:00至11:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外） 地点：www.o-science.com 方式：登录东方在线www.o-science.com注册并购买。 售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和 四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 提交投标文件截止时间：2022年06月21日 09点30分（北京时间） 开标时间：2022年06月21日 09点30分（北京时间） 地点：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层第二会议室 五、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。 六、其他补充事宜 1、投标文件递交地点：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层第二会议室 2、招标文件采用网上电子发售购买方式： 1）有兴趣的投标人可登陆“东方在线”（http://www.o-science.com 招标在线频道），完成投标人注册手续（免费），然后登录系统浏览该项目下产品的“技术指标”，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。 2）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。 开户名称：东方国际招标有限责任公司 开户行：招商银行北京西三环支行 账 号：862081657710001 3）投标人应在“东方在线“上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在“东方在线”上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。 3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。 七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名 称：中国科学院空天信息创新研究院 地址：北京市海淀区邓庄南路9号 联系方式：010-68290515/0513 2.采购代理机构信息 名 称：东方国际招标有限责任公司 地 址：北京市海淀区西三环北路甲2号院科技园6号楼13层01室 联系方式：耿佳 王淑文 010-68290515/0513 jgeng@oitc.com.cn/swwang@oitc.com.cn 3.项目联系方式 项目联系人：耿佳 王淑文 电 话： 010-68290515/0513

中国仪器仪表的品牌展会－第18届多国仪器仪表学术会议暨展览会，于9月18至21日在上海光大会展中心开幕。我公司和国内外众多知名公司强势亮相于以“公共安全与科学仪器”为主题的比届展会，并分别参加了相关学术会议。　　　　展会期间，我公司产品UV765型紫外可见分光光度计和WGL型光电轮廓仪在2007年度“中国仪器仪表学会科学技术奖”颁奖仪式上荣获“最佳产品奖”。我公司总经理陈国余在仪式上代表获奖企业发言，表示要致力于发展科学仪器，为提高人们生活质量再作贡献。期间，成立了“中国仪器仪表学会科学仪器学术工作委员会”，旨在推动新时期大力发展先进制造业之一－－科学仪器产业。陈国余总经理被聘为该委员会副主任委员。　　作为国内唯一的能展示系列分析、天平、电化学、物理光学等仪器的参展商，我公司还重点参加了“2007年电化学分析仪器学术报告会”、“食品药品安全技术论坛”，并展出了最新的产品，包括UV765型紫外可见分光光度计的专题演示。展会中，中国仪器仪表学会领导专门到我公司展台参观、指导，并鼓励“上海精科”勇于竞争，勇于创新，更上一层楼。

高附加值产品中元器件的表面形貌，包括几何形状和微观纹理，对于其公差、装配和功能至关重要。表面形貌对制造工艺的变化非常敏感，由不同工艺形成的表面复杂且多样。表面形貌会影响零件的摩擦学特性、磨损和使用寿命，例如航发叶片的表面会影响飞机的空气动力学性能和燃料使用效率。扫描白光干涉术（SWLI），也称为相干扫描干涉术（CSI），是用于测量材料表面形貌最精确的技术之一。作为一种光学测量手段，扫描白光干涉术先天具有高精度、快速、高数据密度和非接触式测量等优势，被广泛应用于精密光学、半导体、汽车及航天等先进制造与研究领域。扫描白光干涉仪光路结构与成像原理示意图扫描白光干涉术经过30多年发展，在制造和科研领域得到验证，成为表面形貌高精度测量技术的标杆，尤其在半导体、精密光学和消费电子等产业的推动下，其测量功能和性能得到了持续提升。以扫描白光干涉术为代表的光学测量技术，充分利用了光的波动属性以及干涉和全息成像的优势，以光的波长作为“尺子”，在先进的光学、电子和机械元器件的支撑下，将在先进制造与智能制造中充当越来越重要的角色。第二届精密测量技术与先进制造网络会议期间，两位专家将现场分享扫描白光干涉技术及其在半导体行业的典型应用。部分报告预告如下，点击报名  》》》中国科学院上海光学精密机械研究所研究员 苏榕《扫描白光干涉表面形貌测量技术：原理及应用》（点击报名）苏榕博士，研究员，博士生导师，中国科学院及上海市海外高层次人才引进。长期致力于超精密光学干涉成像与散射测量仪器与技术研究，聚焦基础理论、核心算法、校准技术、工业应用及相关国际标准制定。主持多项国家和省部级重点研发项目；发表论文40余篇，书籍章节2章，部分技术被国际顶尖仪器制造商采用。担任期刊《Light: Advanced Manufacturing》和《Nanomanufacturing and Metrology》编委及《激光与光电子学进展》青年编委，SPIE-Photonics Europe、EOSAM和ASPE技术委员会委员，全国产品几何技术规范标准化技术委员会委员，中国计量测试学会计量仪器专业委员会委员，中国仪器仪表学会显微分会委员。【报告摘要】扫描白光干涉术是目前最精确的表面形貌测量技术之一，被广泛应用于各种工业与科研领域。从发明至今的三十余年间，在精密光学、半导体、汽车及航天等先进制造领域的需求牵引下，该技术不断取得新的进展与突破。本报告将介绍白光干涉技术的原理与应用，以及近年来的技术创新。布鲁克（北京）科技有限公司应用经理 黄鹤《先进封装工艺中三维几何尺寸监控的挑战与布鲁克白光干涉技术的计量解决方案》（点击报名）黄鹤博士现任布鲁克公司纳米表面仪器部中国区应用经理。服务于工艺设备和测量仪器行业超过15年，尤其在半导体、数据存储和材料表面工程研究领域拥有丰富经验，是一名材料学博士。黄鹤博士先后在香港理工大学任助研；在应用材料公司任高级应用工程师，负责化学机械抛光工艺和缺陷检测应用；在维易科公司任应用科学家，负责白光干涉三维形貌技术推广与导入。【报告摘要】在半导体行业路线图对不断缩小晶体管几何尺寸的快速追求的推动下，PCB/HDI尤其载板制造商正在通过更薄的高密度互连，将多芯片模块（包含芯粒）借由基板上开发更小、更密集的功能。在大批量生产过程中，对于更细线宽的铜线（Line）、更小开口的孔洞（Via）和深沟槽（Trench）及层间对位偏差（Overlay）等三维几何尺寸的测量面临多种新的挑战。而具备计量功能的 ContourSP 大型面板高效测量系统专门设计用于在制造过程中测量载板面板的每一层，确保在生产过程中最短的工艺开发时间、最高的产量、最长的正常运行时间和最稳定的测量结果。此外，本报告也会简略介绍白光干涉技术在晶圆封装时再布线工艺（RDL）监控中的典型应用。更多详细日程如下：第二届精密测量与先进制造主题网络研讨会报告时间报告题目报告嘉宾单位职称12月14日上午09:00-09:30纳米级微区形态性能参数激光差动共焦多谱联用测量技术及仪器赵维谦北京理工大学 光电学院院长09:30-10:00扫描白光干涉表面形貌测量技术：原理及应用苏榕中国科学院上海光学精密机械研究所研究员10:00-10:30先进封装工艺中三维几何尺寸监控的挑战与布鲁克白光干涉技术的计量解决方案黄鹤布鲁克（北京）科技有限公司应用经理10:30-11:00激光干涉精密测量技术、仪器及应用谈宜东清华大学 精密仪器系系副主任/副教授11:00-11:30关节类坐标测量技术于连栋中国石油大学（华东）教授12月14日下午14:00-14:30基于相位辅助的复杂属性表面全场三维测量技术张宗华河北工业大学教授14:30-15:00短脉冲光频梳激光测距技术杨睿韬哈尔滨工业大学副研究员15:00-15:30机器人精密减速器及关节测试技术程慧明北京工业大学 博士研究生15:30-16:00纳米尺度精密计量技术与国家量值体系施玉书中国计量科学研究院纳米计量研究室主任/副研究员16:00-16:30尺寸测量，从检验走向控制与孪生李明上海大学教授为促进精密测量技术发展和应用，助力制造业高质量发展，仪器信息网联合哈尔滨工业大学精密仪器工程研究院，将于2023年12月14日举办第二届精密测量技术与先进制造网络会议，邀请业内资深专家及仪器企业技术专家分享主题报告，就制造中的精密测量技术等进行深入的交流探讨。报名页面：https://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/precisionmes2023/

一、项目基本情况项目编号：JH22-210000-18483项目名称：购置激光全息表面粗糙度轮廓仪包组编号：001预算金额（元）：1,500,000.00最高限价（元）：1,500,000采购需求：查看合同履行期限：合同生效后4个月内到货并安装调试完毕且验收合格（具体以甲乙双方签订的合同为准）需落实的政府采购政策内容：促进中小企业、促进残疾人就业、支持监狱企业、支持脱贫攻坚等相关政策等本项目（是/否）接受联合体投标：否二、供应商的资格要求1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定。2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无,本项目允许进口产品投标且采购的设备满足《政府采购促进中小企业发展管理办法》第六条第二款内容，故不具备专门面向中小企业采购的条件。3.本项目的特定资格要求：如果投标人所投产品为进口产品，须投标人提供制造商或国内总代理出具的销售授权书或产品销售代理证书。三、政府采购供应商入库须知参加辽宁省政府采购活动的供应商未进入辽宁省政府采购供应商库的，请详阅辽宁政府采购网 “首页—政策法规”中公布的“政府采购供应商入库”的相关规定，及时办理入库登记手续。填写单位名称、统一社会信用代码和联系人等简要信息，由系统自动开通账号后，即可参与政府采购活动。具体规定详见《关于进一步优化辽宁省政府采购供应商入库程序的通知》（辽财采函〔2020〕198号）。四、获取招标文件时间：2022年07月11日 08时00分至2022年07月18日 17时00分（北京时间，法定节假日除外）地点：线上获取方式：线上售价：免费五、提交投标文件截止时间、开标时间和地点2022年08月02日 13时30分（北京时间）地点：辽宁轩宇工程管理有限公司（沈阳市皇姑区黄河南大街56号中建峰汇广场A座801室）六、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。七、质疑与投诉供应商认为自己的权益受到损害的，可以在知道或者应知其权益受到损害之日起七个工作日内，向采购代理机构或采购人提出质疑。1、接收质疑函方式：线上或书面纸质质疑函2、质疑函内容、格式：应符合《政府采购质疑和投诉办法》相关规定和财政部制定的《政府采购质疑函范本》格式，详见辽宁政府采购网。质疑供应商对采购人、采购代理机构的答复不满意，或者采购人、采购代理机构未在规定时间内作出答复的，可以在答复期满后15个工作日内向本级财政部门提起投诉。八、其他补充事宜1.投标文件递交方式采用线上递交及现场备份文件递交同时执行并保持一致，参与本项目的供应商须自行办理好CA锁，如因供应商自身原因导致未线上递交投标文件的按照无效投标文件处理。具体操作流程详见辽宁政府采购相关通知。2.关于电子标评审的相关要求详见辽财采函〔2021〕363号“关于完善政府采购电子评审业务流程等有关事宜的通知”。电子文件报送截止时间同递交投标文件截止时间（即开标时间）,解密为30分钟。如供应商未按照规定的时限响应按照无效投标文件处理。3.请供应商自行准备笔记本电脑并下载好对应的CA认证证书带至开标现场进行电子解密（开标现场不提供wifi）。同时供应商须自行准备好备份投标文件于递交投标文件截止时间前递交至代理机构处，如未递交备份文件的按照投标无效处理，供应商仅提交备份文件的而没有进行网上递交的投标文件的，投标无效。关于具体的备份文件的格式、存储、密封要求详见招标文件。九、对本次招标提出询问，请按以下方式联系1.采购人信息名 称：辽宁省检验检测认证中心地 址：沈阳市皇姑区崇山西路7号联系方式：024-312662632.采购代理机构信息：名 称：辽宁轩宇工程管理有限公司地 址：沈阳市皇姑区黄河南大街56号中建峰汇广场A座8楼联系方式：024-31918388-357邮箱地址：312353927@qq.com开户行：中国光大银行沈阳黄河大街支行账户名称：辽宁轩宇工程管理有限公司账号：364901880000244643.项目联系方式项目联系人：闫冠吉、刘甲峰电 话：024-31918388-357

全球领先测量仪器制造商美国Veeco公司，将于“2008中国国际轴承及其专用设备展览会”同期举办光学干涉表征技术研讨会。Veeco旗下的Wyko光学轮廓仪可提供精确的、重复性高的三维测试方案，达纳米以下的垂直分辨率，被广泛应用在精密机械加工、材料、半导体、生物、光学器件等方向。在这次的研讨会中，我们将着重介绍光学干涉测量技术在轴承制造及精密加工领域的应用，并在现场进行仪器操作演示。 欢迎致电021-68866186转123，或发送电邮至sales@veecoasia.com垂询。 敬请阁下光临我公司展台，展位号：Bd24题目：光学干涉表征技术及其在轴承领域的应用 时间：2008年9月24日 14:00-17:00 pm 地点：光大会展中心国际大酒店一层光韵厅3号，上海徐汇区漕宝路66号

3月17-19日，SEMICON China 2015在上海新国际博览中心隆重开幕。布鲁克纳米表面仪器部作为表面观测和测量技术的全球领导者携NPFLEX三维表面测量系统、ContourGT 系列光学形貌仪和Dimension Edge原子力显微镜亮相展会，倍受参展观众的青睐，取得了圆满成功。 布鲁克展台参观人员络绎不绝，现场技术专家忙于为参观客户介绍公司产品。并有来自台湾客户对布鲁克公司非常满意，热情的要求跟工作人员合照。现场气氛火爆，在此次展会上收获颇丰。 布鲁克展台参观人员应用工程师为参观客户进行产品讲解 布鲁克应用专家黄鹤博士现场为客户进行样品测量 台湾客户主动要求跟布鲁克工作人员合照 客户服务热线：400 890 5666 邮箱：sales.asia@bruker-nano.com网址：www.bruker.com/cn 作为表面观测和测量技术的全球领导者，布鲁克公司纳米表面仪器部提供世界上最完整的原子力显微镜、三维非接触式光学形貌仪和探针式表面轮廓仪系列产品。布鲁克公司纳米表面仪器部一直着眼于研发新的计量检测方法和工具，不断迎接挑战，致力于为客户解决各种技术难题，提供最完善的解决方案。此外，还可根据工业生产中的操作模式和操作习惯，精简仪器功能，针对生产中的特定应用需求，为客户量身打造相匹配的仪器设备，简化生产过程的操作流程，提高工作效率。布鲁克的表面测量仪器广泛用于大学、研究所，工业领域的LED行业、太阳能行业、触摸屏行业、半导体行业以及数据存储行业等，进行科学研究、产品开发、质量控制及失效分析，提供符合需求和预算的最佳解决方案。ContourGT 光学形貌仪广泛应用于触摸屏、高亮度LED、太阳能电池、模具、零部件测量等各种领域该系列包括基本型ContourGT-K，中端型号ContourGT-I，以及高端型号ContourGT-X和ContourGT-X8 PSS（该型号专为高亮度LED的质量保证/质量监控而设计）等。每一种型号为用户的不同需求提供解决方案，以满足在精密制造和特定行业的要求，如高亮度LED、触摸屏、太阳能电池、隐形眼镜、半导体、硬盘、汽车和骨科等。NPFLEX 三维表面测量系统为大尺寸工件精密加工提供准确测量布鲁克的NPFLEX 三维表面测量系统为大样品表面提供了灵活的非接触式测量方案，可广泛用于医疗植入、航空航天、汽车或精密加工上的大型、异型工件的测量。基于白光干涉原理，NPFLEX 为用户提供超过接触式方法所能达到的更大数据量、更高分辨率和更好的重复性，使它成为独立或者互补的测量方案。开放式的拱门设计克服了以往某些零件由于角度或取向造成的测量困难，可实现超过300度的测量空间。NPFLEX的超级灵活性、数据准确性和测试效率为精密加工行业提供了一种简单的方法，来实现其更苛刻的加工要求、更高效的加工工艺和更好的终端产品。 感谢您对布鲁克公司纳米表面仪器的继续关注！

2024一开年，科学仪器行业便迎面而来一大新政策。3月13日国务院印发《推动大规模设备更新和消费品以旧换新行动方案》。其中明确了"推动符合条件的高校、职业院校(含技工院校)更新置换先进教学及科研技术设备，提升教学科研水平。”KLA Instruments&trade 作为仪器行业的优质提供商，我们将积极响应国家政策，助力设备更新与以旧换新行动，为行业专家、学术界和其他创新者提供值得信赖的量测技术，助力中国乃至世界实现科学技术上的突破性发展。探针式轮廓仪KLA Instruments&trade Alpha-Step，TencorP系列和HRP系列探针式台阶仪提供高精度的2D和3D表面形貌量测，可为您的研发和生产提供台阶高度、表面粗糙度、弯曲度和应力等测量，具有良好的稳定性和可靠性。光学轮廓仪我们丰富的光学轮廓仪系列产品涵盖多种光学测量技术，包含白光干涉技术，真彩色成像和ZDot&trade 点阵专利技术，我们可以帮助您找到满足您测量需求的正确解决方案。Profilm3D和Zeta光学轮廓仪可为样品表面测量提供快速，便捷的非接触式3D表面形貌测量解决方案。纳米压痕仪KLA Instruments&trade 的纳米压痕仪可对硬度、杨氏模量和其它力学性能进行精确测量。从发布市场上第一款纳米压痕仪，到将纳米压痕技术扩展到快速、高温和高应变速率测试中，我们一直在开发新的静态与动态测量方案，推动下一代纳米力学测试仪的发展。薄膜厚度仪我们就可以通过分析薄膜的反射光谱来测量薄膜的厚度，通过非可见光的测量，我们可以测量薄至1纳米或厚至3毫米的薄膜。测量结果可在几秒钟显示：薄膜厚度、颜色、折射率甚至是表面粗糙度。方块电阻测试仪KLA方块电阻测试仪能够满足各种测量需求，包括：金属薄膜及背面工艺层厚度测量，衬底电阻率，方块电阻，薄膜厚度或电阻率，薄层和体材料的导电率，等等。对于较薄的金属和离子注入层，建议采用接触式四探针(4PP)测量方法，对于较厚的金属层和柔性或软性的导电表面，建议采用非接触式涡流(EC)测量方法。Candela缺陷检测系统Candela系统对化合物半导体衬底（GaN，GaAs，InP，蓝宝石，SiC等）和硬盘驱动器上的各种关键缺陷进行检测和分类，保证生产过程中检测的高灵敏度和高效率。

详细信息 白光干涉仪等一批测量设备采购项目公开招标招标公告 福建省-福州市-鼓楼区 状态：公告 更新时间： 2023-10-19 招标文件: 附件1 项目概况 受福建省计量科学研究院委托，福建省天海招标有限公司对[350001]FJTH[GK]2023053、白光干涉仪等一批测量设备采购项目组织公开招标，现欢迎国内合格的供应商前来参加。白光干涉仪等一批测量设备采购项目的潜在投标人应在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目获取采购文件，并于2023年11月10日 09时00分00秒（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：[350001]FJTH[GK]2023053 项目名称：白光干涉仪等一批测量设备采购项目 采购方式：公开招标 预算金额：3,229,800.00元 采购包1(超声波燃气表检定装置等一批测量设备采购项目): 采购包预算金额：1,193,800.00元 采购包最高限价： 925,000.00元 投标保证金：11,938.00元 采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等） 品目号 品目编码及品目名称 采购标的 数量（单位） 允许进口 简要需求或要求 品目预算(元) 中小企业划分标准所属行业 1-1 A02109900-其他仪器仪表 超声波燃气表检定装置 1(套) 否 详见招标文件。 546,000.00 工业 1-2 A02109900-其他仪器仪表 便携式气体微小流量在线检测系统 1(套) 否 详见招标文件。 268,800.00 工业 1-3 A02109900-其他仪器仪表 活塞式气体流量标准装置 1(套) 否 详见招标文件。 379,000.00 工业 本采购包不接受联合体投标 合同履行期限：自合同签订之日起90日 采购包2(除颤脉冲能量计量标准装置等一批测量设备采购项目): 采购包预算金额：830,000.00元 采购包最高限价： 828,410.00元 投标保证金：8,300.00元 采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等） 品目号 品目编码及品目名称 采购标的 数量（单位） 允许进口 简要需求或要求 品目预算(元) 中小企业划分标准所属行业 2-1 A02109900-其他仪器仪表 黑烟车抓拍系统校准装置 1(套) 否 详见招标文件 300,000.00 工业 2-2 A02109900-其他仪器仪表 步距规（含标准球） 1(套) 否 详见招标文件。 80,000.00 工业 2-3 A02109900-其他仪器仪表 除颤脉冲能量计量标准装置 1(套) 否 详见招标文件。 450,000.00 工业 本采购包不接受联合体投标 合同履行期限：自合同签订之日起90日 采购包3(白光干涉仪等一批测量设备采购项目): 采购包预算金额：1,206,000.00元 采购包最高限价： 1,206,000.00元 投标保证金：12,060.00元 采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等） 品目号 品目编码及品目名称 采购标的 数量（单位） 允许进口 简要需求或要求 品目预算(元) 中小企业划分标准所属行业 3-1 A02109900-其他仪器仪表 白光干涉仪 1(台) 否 详见招标文件。 909,000.00 工业 3-2 A02109900-其他仪器仪表 力传感器 3(台) 否 详见招标文件 297,000.00 工业 本采购包不接受联合体投标 合同履行期限：自合同签订之日起120日 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 采购包1： 本采购包为专门面向中小企业采购，投标人须提供中小企业声明函。监狱企业、残疾人福利性单位视同小型、微型企业。 本项目采购类别：货物，采购标的对应的中小企业划分标准所属行业详见“附2：采购标的一览表”。 采购包2： 本采购包为专门面向中小企业采购，投标人须提供中小企业声明函。监狱企业、残疾人福利性单位视同小型、微型企业。 本项目采购类别：货物，采购标的对应的中小企业划分标准所属行业详见“附2：采购标的一览表”。 采购包3： 本采购包为专门面向小微企业采购，投标人须提供中小企业声明函。监狱企业、残疾人福利性单位视同小型、微型企业。 本项目采购类别：货物，采购标的对应的中小企业划分标准所属行业详见“附2：采购标的一览表”。 3.本项目的特定资格要求： 采购包1：无 采购包2：无 采购包3：无 三、采购项目需要落实的政府采购政策 进口产品：不适用本项目 节能产品：《国务院办公厅关于建立政府强制采购节能产品制度的通知》国办发[2007]51号、财政部国家发展改革委关于印发《节能产品政府采购实施意见》的通知(财库[2004]185号)、财政部发展改革委生态环境部市场监管总局印发《关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》(财库〔2019〕9号) 环境标志产品：财政部发展改革委生态环境部市场监管总局印发《关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》(财库〔2019〕9号)、《关于印发环境标志产品政府采购品目清单的通知》财库〔2019〕18号和《关于印发节能产品政府采购品目清单的通知》(财库〔2019〕19号)四、获取招标文件 时间： 2023-10-19 至 2023-10-26 ，（提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日），每天上午00:00:00至12:00:00，下午12:00:00至23:59:59（北京时间，法定节假日除外） 地点：招标文件随同本项目招标公告一并发布；投标人应先在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目下载招标文件(请根据项目所在地，登录对应的(省本级/市级/区县)）福建省政府采购网上公开信息系统操作)，否则投标将被拒绝。 方式：在线获取 售价：免费五、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 2023-11-10 09:00:00（北京时间）（自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标文件截止之日止，不得少于20日） 地点：福建省福州市鼓楼区鼓东街道营迹路69号恒力创富中心西塔8层开标室1（总公司）六、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。七、其他补充事宜 无 八、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名称：福建省计量科学研究院 地址：福州市屏东路9-3号 联系方式：0591-878567522.采购代理机构信息（如有） 名称：福建省天海招标有限公司 地址：福州市鼓楼区鼓东街道营迹路69号（原营迹路南侧）恒力创富中心8层 联系方式：王慈/李程垒/刘国星0591-87878462-817/8073.项目联系方式 项目联系人：王慈/李程垒/刘国星 电话：0591-87878462-817/807 网址： zfcg.czt.fujian.gov.cn 开户名：福建省天海招标有限公司 福建省天海招标有限公司 2023年10月19日 相关附件： 白光干涉仪等一批测量设备采购项目-文件集.zip × 扫码打开掌上仪信通App 查看联系方式 基本信息 关键内容：白光干涉测厚 开标时间：2023-11-10 09:00 预算金额：322.98万元 采购单位：福建省计量科学研究院 采购联系人：点击查看 采购联系方式：点击查看 招标代理机构：福建省天海招标有限公司 代理联系人：点击查看 代理联系方式：点击查看 详细信息 白光干涉仪等一批测量设备采购项目公开招标招标公告 福建省-福州市-鼓楼区 状态：公告 更新时间： 2023-10-19 招标文件: 附件1 项目概况 受福建省计量科学研究院委托，福建省天海招标有限公司对[350001]FJTH[GK]2023053、白光干涉仪等一批测量设备采购项目组织公开招标，现欢迎国内合格的供应商前来参加。白光干涉仪等一批测量设备采购项目的潜在投标人应在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目获取采购文件，并于2023年11月10日 09时00分00秒（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：[350001]FJTH[GK]2023053 项目名称：白光干涉仪等一批测量设备采购项目 采购方式：公开招标 预算金额：3,229,800.00元 采购包1(超声波燃气表检定装置等一批测量设备采购项目): 采购包预算金额：1,193,800.00元 采购包最高限价： 925,000.00元 投标保证金：11,938.00元 采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等） 品目号 品目编码及品目名称 采购标的 数量（单位） 允许进口 简要需求或要求 品目预算(元) 中小企业划分标准所属行业 1-1 A02109900-其他仪器仪表 超声波燃气表检定装置 1(套) 否 详见招标文件。 546,000.00 工业 1-2 A02109900-其他仪器仪表 便携式气体微小流量在线检测系统 1(套) 否 详见招标文件。 268,800.00 工业 1-3 A02109900-其他仪器仪表 活塞式气体流量标准装置 1(套) 否 详见招标文件。 379,000.00 工业 本采购包不接受联合体投标 合同履行期限：自合同签订之日起90日 采购包2(除颤脉冲能量计量标准装置等一批测量设备采购项目): 采购包预算金额：830,000.00元 采购包最高限价： 828,410.00元 投标保证金：8,300.00元 采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等） 品目号 品目编码及品目名称 采购标的 数量（单位） 允许进口 简要需求或要求 品目预算(元) 中小企业划分标准所属行业 2-1 A02109900-其他仪器仪表 黑烟车抓拍系统校准装置 1(套) 否 详见招标文件 300,000.00 工业 2-2 A02109900-其他仪器仪表 步距规（含标准球） 1(套) 否 详见招标文件。 80,000.00 工业 2-3 A02109900-其他仪器仪表 除颤脉冲能量计量标准装置 1(套) 否 详见招标文件。 450,000.00 工业 本采购包不接受联合体投标 合同履行期限：自合同签订之日起90日 采购包3(白光干涉仪等一批测量设备采购项目): 采购包预算金额：1,206,000.00元 采购包最高限价： 1,206,000.00元 投标保证金：12,060.00元 采购需求：（包括但不限于标的的名称、数量、简要技术需求或服务要求等） 品目号 品目编码及品目名称 采购标的 数量（单位） 允许进口 简要需求或要求 品目预算(元) 中小企业划分标准所属行业 3-1 A02109900-其他仪器仪表 白光干涉仪 1(台) 否 详见招标文件。 909,000.00 工业 3-2 A02109900-其他仪器仪表 力传感器 3(台) 否 详见招标文件 297,000.00 工业 本采购包不接受联合体投标 合同履行期限：自合同签订之日起120日 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 采购包1： 本采购包为专门面向中小企业采购，投标人须提供中小企业声明函。监狱企业、残疾人福利性单位视同小型、微型企业。 本项目采购类别：货物，采购标的对应的中小企业划分标准所属行业详见“附2：采购标的一览表”。 采购包2： 本采购包为专门面向中小企业采购，投标人须提供中小企业声明函。监狱企业、残疾人福利性单位视同小型、微型企业。 本项目采购类别：货物，采购标的对应的中小企业划分标准所属行业详见“附2：采购标的一览表”。 采购包3： 本采购包为专门面向小微企业采购，投标人须提供中小企业声明函。监狱企业、残疾人福利性单位视同小型、微型企业。 本项目采购类别：货物，采购标的对应的中小企业划分标准所属行业详见“附2：采购标的一览表”。 3.本项目的特定资格要求： 采购包1：无 采购包2：无 采购包3：无 三、采购项目需要落实的政府采购政策 进口产品：不适用本项目 节能产品：《国务院办公厅关于建立政府强制采购节能产品制度的通知》国办发[2007]51号、财政部国家发展改革委关于印发《节能产品政府采购实施意见》的通知(财库[2004]185号)、财政部发展改革委生态环境部市场监管总局印发《关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》(财库〔2019〕9号) 环境标志产品：财政部发展改革委生态环境部市场监管总局印发《关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》(财库〔2019〕9号)、《关于印发环境标志产品政府采购品目清单的通知》财库〔2019〕18号和《关于印发节能产品政府采购品目清单的通知》(财库〔2019〕19号)四、获取招标文件 时间： 2023-10-19 至 2023-10-26 ，（提供期限自本公告发布之日起不得少于5个工作日），每天上午00:00:00至12:00:00，下午12:00:00至23:59:59（北京时间，法定节假日除外） 地点：招标文件随同本项目招标公告一并发布；投标人应先在福建省政府采购网(zfcg.czt.fujian.gov.cn)免费申请账号在福建省政府采购网上公开信息系统按项目下载招标文件(请根据项目所在地，登录对应的(省本级/市级/区县)）福建省政府采购网上公开信息系统操作)，否则投标将被拒绝。 方式：在线获取 售价：免费五、提交投标文件截止时间、开标时间和地点 2023-11-10 09:00:00（北京时间）（自招标文件开始发出之日起至投标人提交投标文件截止之日止，不得少于20日） 地点：福建省福州市鼓楼区鼓东街道营迹路69号恒力创富中心西塔8层开标室1（总公司）六、公告期限 自本公告发布之日起5个工作日。七、其他补充事宜 无 八、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。 1.采购人信息 名称：福建省计量科学研究院 地址：福州市屏东路9-3号 联系方式：0591-878567522.采购代理机构信息（如有） 名称：福建省天海招标有限公司 地址：福州市鼓楼区鼓东街道营迹路69号（原营迹路南侧）恒力创富中心8层 联系方式：王慈/李程垒/刘国星0591-87878462-817/8073.项目联系方式 项目联系人：王慈/李程垒/刘国星 电话：0591-87878462-817/807 网址： zfcg.czt.fujian.gov.cn 开户名：福建省天海招标有限公司 福建省天海招标有限公司 2023年10月19日 相关附件： 白光干涉仪等一批测量设备采购项目-文件集.zip

一、项目基本情况：项目编号：HSH2023C072项目名称：南昌大学稀土研究院白光干涉仪采购项目采购方式：竞争性磋商预算金额：1600000.00 元最高限价：1520000.00采购需求：采购条目编号采购条目名称数量单位采购预算（人民币）技术需求或服务要求赣购2022F000760384白光干涉仪1台1600000.00元详见公告附件合同履行期限：合同签订后14个月内，完成全部交货。供应商应保证在要求时间内完成全部货物的供货、安装、调试和培训工作,符合国家标准、行业规范和合同等相关文件的要求。本项目不接受联合体投标。二、获取采购文件：时间：2023年07月14日 至 2023年07月21日，每天上午0:00至12:00，下午13:00至23:30（北京时间，法定节假日除外 ）（磋商文件的发售期限自开始之日起不得少于5个工作日）地点：江西省公共资源交易网（网址：https://www.jxsggzy.cn/web/）方式：网上报名并下载磋商文件售价：0.00元八、凡对本次采购提出询问，请按以下方式联系：1.采购人信息名称：南昌大学地址：学府大道 999 号南昌大学前湖校区联系方式：0791-839692902.采购代理机构信息名称：江西合胜合招标咨询有限公司地址：江西省南昌市红谷滩新区凤凰洲绿地外滩公馆19栋911室联系方式：0791-839783763.项目联系方式项目联系人：聂亮、姜梅、范丹萍、司马力、张广海、吴兴斌电话：0791-83978376

2008年5月20号及23号，Veeco公司在北京、上海两地成功地举办了两场光学干涉表征技术研讨会。来着Veeco美国的技术科学家韩森博士及全球产品顾问Wanye Mozer先生全程参加了此次活动。他们针对：MEMS、精密机械加工、汽车、摩擦学、数据存储、半导体等领域做了详细的报告。在北京的研讨会上，我们还安排了NT9100仪器的展示及现场测试活动。在整场活动中，客户直观地了解到了光学干涉技术及光学轮廓仪在他们领域中的应用，得到他们的赞许。Veeco公司会持续地开展此类技术研讨会活动，感兴趣的客户请关注我们的网站。北京研讨会现场

项目编号：NK2023S002WD项目名称：南开大学物理科学学院白光干涉仪采购项目预算金额：150.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：150.0000000 万元（人民币）采购需求：白光干涉仪，1台，具体详见招标文件。本项目不接受联合体参与，允许进口产品投标。合同履行期限：以最终签订合同为准。本项目( 不接受 )联合体投标。获取招标文件时间：2023年03月03日 至 2023年03月10日，每天上午9:00至12:00，下午14:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：天津市河西区洞庭路16号美年广场3号楼2门方式：鉴于目前新型冠状病毒感染的肺炎疫情防控形势，为了有效减少人员聚集和交叉感染，提供网上领取获取招标文件，文件一经售出，所收费用概不退还。售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名称：南开大学地址：南开大学八里台校区联系方式：于老师、包老师、牛老师 022-235016612.采购代理机构信息名称：天津一诺世纪招标代理有限公司地址：天津市河西区洞庭路16号美年广场3号楼2门联系方式：商老师、孙老师3.项目联系方式项目联系人：商老师、孙老师电话：022-88391355

p style="text-align: justify text-indent: 2em "2019慕尼黑上海光博会已落下帷幕，会议吸引了26个国家，超过1177家展商，超过60000名激光、光电、光学行业的观众参与。展会吸引了众多仪器设备厂商参与，期间不少公司都携2019年新品或极具特色的亮点仪器亮相，涉及到的仪器设备包含波片检测仪、CO2探测仪、激光功率分析仪、激光干涉仪、闪测仪、光谱系统、光学轮廓仪等。仪器信息网对这些新品和亮点仪器进行了采访盘点，以飨读者。br//pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai "（注：受限于时间和精力，本盘点仅为不完全汇总，疏漏之处，欢迎读者踊跃补充）/span/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="color: rgb(0, 176, 240) "strong波片检测仪/strong/span/pp style="text-align: center text-indent: 0em " img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/c4d1092c-30c7-451c-9885-caf8a9888335.jpg" title="EW1000.JPG" alt="EW1000.JPG" width="600" height="400" border="0" vspace="0" style="width: 600px height: 400px "//pp style="text-align: center text-indent: 2em "strongEW1000波片检测仪/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "EW1000 的生产商为北京量拓科技有限公司，仪器采用光学偏振调制的测量原理，专门用于波片的全面质量检测，适用于波片生产过程中的质量监控、质量终检、以及新型波片研发中的参数检测。包括波片相位延迟差检测、波片快慢轴方位角检测、波片快慢轴透过率检测等。EW1000利用光波进行非接触测量，对样品无任何破坏性，相位延迟差在0-360° ，测量速度为典型1.6s/波长。该仪器可明确区分快慢轴，避免混淆。仪器采用一键式操作，检测过程无需人工干预。据量拓科技相关负责人介绍，EW1000是全球首款波片检测仪，为公司2019年主打产品。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "span style="color: rgb(0, 176, 240) "strongCO2探测仪/strong/span/pp style="text-align: center text-indent: 0em " img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/f8f3ab0e-ab16-4ba9-b6fe-39683f8663fe.jpg" title="CO2探测仪.JPG" alt="CO2探测仪.JPG" width="600" height="400" border="0" vspace="0" style="width: 600px height: 400px "//pp style="text-align: center text-indent: 2em "strong碳卫星高光谱与高空间分辨率CO2探测仪模型/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "该仪器由国家立项，由中科院长春光机所研发团队经6年研发而成，是我国首台航天高光谱温室气体探测仪器，解决了我国温室气体全球检测手段有无的问题。仪器采用超高分辨率光谱分光探测技术，光谱分辨率可以做到0.04nm；采用皮米量级精细光谱定标技术，光谱定标精度可达0.3pm，都处于国际先进水平。此外仪器还集成了复杂低温光学系统集成制造技术、空间双面铝基志向反射镜制备与应用技术和大面积全息衍射光栅制造等先进技术。该仪器还可应用于全球温室气体检测、碳循环研究、大气环境变化研究、气候变迁、全球植被光合生产力研究。据相关负责人介绍，相关技术也可移植到民用，用于大、小型无人机机载、手持拉曼等相关仪器设备的生产研发中。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strongspan style="color: rgb(0, 176, 240) "激光功率分析仪/span/strong/pp style="text-align: center text-indent: 0em " img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/519f899e-ee00-433e-85af-9a53a2f250cc.jpg" title="图右：激光功率分析仪.JPG" alt="图右：激光功率分析仪.JPG" width="600" height="400" border="0" vspace="0" style="width: 600px height: 400px "//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strong图右：PowerMonitor激光功率分析仪/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "激光功率分析仪分析的对象主要是激光器，在激光加工领域有广泛应用，如大功率的激光切割、激光焊接、3D打印、飞机的零部件加工、船厂的焊接、汽车车门链接处的焊接等。PowerMonitor激光功率分析仪是东隆科技有限公司的最新款仪器，该仪器最大的特点是通过光学镀膜减少了激光本身对材料的损害，无需衰减（衰减会引入很多不可控的误差），即可直接测量。该仪器相比前代产品提升了结构的适配性，改变测试位置无需夹具，此外仪器还丰富了软件的模块化和智能化设计。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strongspan style="color: rgb(0, 176, 240) "闪测仪/span/strong/pp style="text-align: center text-indent: 0em " img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/573f893f-1e80-440a-ab3b-9cca4b69ad21.jpg" title="VX3000系列闪测仪.JPG" alt="VX3000系列闪测仪.JPG" width="600" height="400" border="0" vspace="0" style="width: 600px height: 400px "//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongVX3000系列闪测仪/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "闪测仪主要用于测量小型零部件外观尺寸，客户主要集中在工业领域，在3C周边零部件产品的测量中有广泛应用，在中国拥有上亿元的市场容量。VX3000系列闪测仪是深圳市中图仪器股份有限公司于2019年1月份仪推出的新品仪器。该仪器最多可以同时测量99个样品，样品可任意放置，无需夹具定位。仪器具备自动对焦功能，不会因调整焦点而造成偏差，该仪器在CNC模式下可快速精确地进行批量测量，自动识别测量部位，只需一键即可获得准确一致的测量结果。仪器售价大概在30万左右。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strongspan style="color: rgb(0, 176, 240) "激光干涉仪/span/strong/pp style="text-align: center text-indent: 0em " img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/4c57a604-eddc-40f7-bec4-74968dfd4f12.jpg" title="IR5U 激光干涉仪.JPG" alt="IR5U 激光干涉仪.JPG" width="600" height="400" border="0" vspace="0" style="width: 600px height: 400px "//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongIR5U激光干涉仪/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "2018年苹果、华为等手机制造商都推出了3D结构光人脸识别系统，该系统里面有一个孔是红外小孔，在市面上缺少相关的检测仪器。上海乾曜光学科技有限公司IR5U激光干涉仪的诞生即是瞄准了这一新发市场的需求，专门用来检测3D结构光小孔的平面度，仪器售价在20-30万之间。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strongspan style="color: rgb(0, 176, 240) "微型光谱系统/span/strong/pp style="text-align: center text-indent: 0em " img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/a1bda451-7ee8-45d4-a684-286cf5a9e2ae.jpg" title="红雀.JPG" alt="红雀.JPG" width="600" height="400" border="0" vspace="0" style="width: 600px height: 400px "//pp style="text-align: center text-indent: 0em "strong红雀系列RS超微型近红外光谱系统/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "红雀系列RS超微型近红外光谱系统采用台湾超微光学股份有限公司独家专利的MEMS半导体微机电技术，重量仅40g，尺寸仅有40× 40× 18m3，是一款掌上智能光谱系统，可用于装配手持式拉曼光谱仪。该设备具备高增益（480）、低增益（500）两种信噪比模式，该系统波长范围从950-1700nm，分辨率为8-12nm，售价在4万-5万人民币左右。/pp style="text-align: center text-indent: 0em " img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/2a837f41-a7dd-4b41-bb4c-e3a67fa09b2d.jpg" title="SMD光谱仪.JPG" alt="SMD光谱仪.JPG" width="600" height="400" border="0" vspace="0" style="width: 600px height: 400px "//pp style="text-align: center text-indent: 2em "strongSMD微型光谱系统/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "SMD微型光谱系统为滨松光子学商贸(中国)有限公司于2019年年初推出的新品微型光谱系统，相比于前代产品体积和成本控制进行了大幅度升级。Mini-spectromete采用MEMS方法，分析的波长范围是640nm-1050nm，频谱响应范围为256pixels。该仪器的尺寸为11.7× 4.0× 3.1mm3，重量仅为0.3g。据相关负责人透露，Mini-spectrometer微型光谱系统很有可能斩获号称“光电行业奥斯卡”的棱镜奖。/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "strongspan style="color: rgb(0, 176, 240) "3D光学轮廓仪/span/strong/pp style="text-align: center text-indent: 0em "strong img src="https://img1.17img.cn/17img/images/201903/uepic/88d5c3ea-0d00-466b-a031-b3482ecaa547.jpg" title="非接触式3D光学轮廓仪.JPG" alt="非接触式3D光学轮廓仪.JPG" width="600" height="400" border="0" vspace="0" style="width: 600px height: 400px "//strong/pp style="text-align: center text-indent: 0em "strongSneox 非接触式3D光学轮廓仪/strong/pp style="text-align: justify text-indent: 2em "Sneox 非接触式3D光学轮廓仪是SENSOFAR METROLOGY于2019年推出的新品仪器，主要用于微观三维表面形貌的表征：如微观高度、表面粗糙度等。在高精密加工、手机机壳、表面粗糙度测量、印刷电路板、微小电子电路的测量等方面应用很多。市面上不乏共聚焦设备、干涉设备，而SENSOFAR METROLOGY的3D光学轮廓仪为共聚焦、干涉、多焦面叠加三合一的设备，在减少客户在生产线上抽检时间成本的同时，还具有极高的性价比。相比于前代产品lynx，Sneox在共聚焦速度方面提升了原来的6-7倍，干涉速度提升了5倍，多焦面叠加的分辨能力和适应性量测更加宽广。/p

自1988年首次在上海举办以来，SEMICON CHINA 已成为中国首要的半导体行业盛事之一，它囊括当今世界上半导体制造邻域主要的设备和材料厂商。SEMICON CHINA见证了中国半导体制造业茁壮成长，加速发展的历史，也将为中国半导体制造业未来的强盛壮大做出贡献。2021年3月17日，SEMICON CHINA 2021在上海新国际博览中心隆重召开。作为世界领先的分析仪器公司之一，布鲁克携其半导体解决方案亮相SEMICON CHINA 2021。布鲁克展台在此次布鲁克参展的产品中，一台台式全自动三维形貌计量的新品吸引了观众的目光。白光干涉仪 Contour X这款白光干涉仪Contour X（三维光学轮廓仪）是世界上最全面的快速，非接触式3D表面计量自动化台式系统。该系统集成了布鲁克专有的自动倾斜光学测头，可以完全编程并自动测试一定角度范围内的表面特征，并能最大程度地减少跟踪误差。据了解，Contour X-500满足计量要求，具有无与伦比Z轴分辨率和准确性，并在更小的占地面积内提供了布鲁克的白光干涉仪（WLI）落地式型号所有业界的优点。利用业界最先进的用户界面，CountourX-500可以直观地调用多种预设好的滤镜和分析工具。借助其新的USI通用扫描模式，本产品可以轻松地针对各种复杂应用场景定制分析方法。这些场景涵盖了从精密加工表面和半导体工艺制程，到眼科和MEMS器件的R＆D表征。

激光干涉技术主要应用光波的空间相干特性。具体而言，对于两束光波或电磁波等横波，当波长相等、且相位差为2π整数倍时，合成波的振幅叠加增强至最大；当相位差为π奇数倍时，合成波的振幅抵消减小至最小。早在十九世纪下半叶，科学家们就已发明了多种原理干涉结构装置用于科学研究，其中最著名的是迈克尔逊-莫雷干涉试验，该实验采用钠光源平均谱线近似单色光进行干涉测量，从而否定了“以太”的假说。图1 迈克尔逊-莫雷干涉试验激光干涉仪的构成真正促进干涉技术巨大进步的契机是1960年激光器的发明。激光由于具有极窄的谱线，因而具有非常优秀的空间相干性。目前激光干涉仪主要的用途包括精准的尺寸和移动距离测量，测量准确度最高可以达到纳米甚至亚纳米量级。在构成上激光干涉仪最常使用的波长为632.8 nm，对于经典的迈克尔逊干涉测量原理，由激光器中出射的单色激光经过50:50半透半反的分束镜后分为2束光束，其中一束经过固定的光程后被反射镜反射，称为参考光束；另外一束光束由于存在被测对象，被反射镜反射后光程发生改变(距离或折射率变化引起)，称为测量光束。当两束光被反射后在分束镜第二次合成并随后照射探测器上被接收后，将产生干涉条纹的移动。由之前的光波的叠加性可知，假设测量光路距离变化为316.4 nm，当只存在一去程一回程的情况下，此时干涉条纹相位变化2π。目前商用激光干涉仪普遍采用两去程两回程，同时采用1024倍电子细分卡，因此分辨率可达0.16 nm。图2 激光干涉仪原理构造激光干涉仪的应用现状1. 在工业领域应用随着理论研究的深入和技术的不断进步，激光干涉测量技术目前精彩纷呈，在多个领域中都得到了非常广泛的应用。 包括单频激光干涉仪、双频激光干涉仪、激光平面干涉仪、法布里-珀罗干涉仪、皮米激光干涉仪、多波长干涉测距等。 单频和双频激光干涉仪。测量具有非接触和无损检测的特点，能够在线测量长度、角度和转速等参数，因此已成为各国精密数控机床在线定位精度测量的最主要标准之一。在精密加工过程中，位置精度是机床的重要指标，激光干涉仪通过在线位置测量、实时数据处理实现机床误差修正。另外在集成电路制造中，激光干涉仪也是光刻机在线位移测量的核心部件。图3 激光干涉仪在精密机床中的应用激光平面干涉仪。激光干涉仪不仅可以用于测量长度、角度以及位移，也可以测量物体的表面形貌。测量基本原理为激光菲索(Fizeau)干涉，激光经过扩束后先后经过参考平面和待测平面，两个平面的反射光发生干涉后产生干涉条纹，通过成像系统接收。分析条纹形状即可判断是否存在缺陷。图4 激光平面干涉仪皮米激光干涉仪。现在随着微纳测量分辨率要求的进一步提高，出现了商品化的皮米激光干涉仪。皮米激光干涉仪采用包覆光纤作为激光传输介质，有效减小了空气折射率扰动对测量的影响；同时在干涉方式上干涉仪采用法布里-珀罗(F-P)干涉仪原理，是一种多倍程干涉，进一步提高了分辨率。 图5 皮米激光干涉仪多波长干涉绝对测距。采用单波长干涉测距虽然分辨率可达到纳米级，但是单波长干涉测距是相对测量，且测量时光路不能中断，而多波长干涉能很好解决这个问题。因为在干涉测距中波长就像一把量尺，但如果测量距离大于这把量尺，则需要多次拼接测量。多波长干涉能形成很长的等效波长，使量尺范围大于被测距离，实现绝对距离测量。图6 多波长干涉绝对测距光相控阵雷达。随着自动驾驶技术的高速发展，现在激光干涉技术也应用在光相控阵(OPA)激光雷达(LiDAR)中。激光雷达会产生一系列密集超短激光脉冲扫描周围物体，通过脉冲返回时长差判断距离和轮廓。光相控阵雷达利用光栅干涉原理，可以通过改变不同狭缝中入射光线的相位差来改变光栅后中央条纹(主瓣)位置，从而控制激光雷达光束的指向和转向。 图7 激光干涉技术在光相控阵雷达中的应用2. 在科学研究方面应用激光干涉引力波天文台(LIGO)。LIGO用于验证广义相对论预言的引力场扰动产生的时空扭曲。它本质上是一个超大型迈克尔逊干涉仪，由2条4千米长的互相垂直的臂构成，同时光线还会在臂内折返300次。当引力波会产生空间弯曲，干涉结果也会轻微变化。2017年美国科学家借助LIGO观测到双中子星合并引力波事件并获得了诺贝尔物理学奖。图8 激光干涉引力波天文台(LIGO)激光全息干涉测量技术。利用非共面多光束干涉可以在空间形成二维或三维周期性强度分布，从而被用来制作二维或三维光子晶体；利用全息干涉技术可用于位移及形变测量、应变与应力分析、缺陷或损伤探测、振动模式可视化及测量、晶体和蛋白质生长过程监测、流体中密度场和热对流场的观察与测量。图9 激光全息干涉测量技术作者：中国计量科学研究院副研究员 李琪

仪器信息网讯 2010 年 5 月 28-31日，由中国航天科工集团公司主办，中国宇航学会光电技术专业委员会、天津津航技术物理研究所承办的2010 年中国(北京)国际光电展览会在国家会议中心举行。近90家中外企业参展，展品范围涵盖光电测试、测量、检测设备，激光器及激光应用、激光材料等，主要参展仪器包括红外热像仪、轮廓仪、激光干涉仪、三坐标测量机、非球面干涉仪等。　　开幕典礼现场　　展会同期还举办了第九届全国光电技术学术交流会，会议设有大会报告和专题报告会。专题报告会包括光电子器件技术、激光物理与新型激光器技术、激光探测与成像技术及应用等九个专题。　　此届展会还设有光电卫星会、航天新品项目发布会、高功率光纤激光器产业化发展论坛、航天外协外购洽谈会、航天对接洽谈会、咨询会等特色活动。　　“2010 年中国(北京)国际光电展览会”航天展团洽谈区　　“2010 年中国(北京)国际光电展览会”一角　　以下是“2010 年中国(北京)国际光电展览会”中的部分展商图片。　　英国泰勒.霍普森有限公司　　武汉高德红外股份有限公司　　中国科学院物理研究所　　北京全欧光学检测仪器有限公司　　北京微视凌志图像技术有限公司　　翟柯莱姆达计量设备(上海)有限公司　　仪器信息网

中国光伏产业持续创新和技术进步，促进了光伏行业良性的发展，为配合“十三五”光伏产业发展规划，推进分布式光伏发电及光伏电站建设。第十一届广州太阳能光伏展（简称“PV Guangzhou2019”）招展现已启动，将于2019年8月16日-18日在广州.广交会展馆A区盛大召开！展示内容覆盖光伏产业各个领域，包括原料供应、主辅材料、太阳能电池板，太阳能电池，机械设备、光伏电池、光伏组件、光伏工程及光伏应用产品，有众多的锂电池生产厂家和光伏生产厂家，以级太阳能生产厂家参与其中。铂悦仪器展位号B723 ， 此次展会向大家展示了I-V 曲线测试仪 PV200，1500V光伏组串检测仪 Solar Utility Pro，德国布鲁克 DektakXT 台阶仪（探针式表面轮廓仪），光学轮廓仪Contour GT，薄膜应力量测仪等相关产品铂悦仪器现场展台【展示仪器】 I-V 曲线测试仪 PV200PV200为光伏系统提供了一个的测试及诊断解决方案，能够根据IEC 62446标准进行投运试验，并且根据IEC 61829快速，准确的测试IV曲线。配合使用Solar Surver 200R辐照度计，PV200能将测量数据转换为STC标准值，是使用PVMobile或者SolarCert Elements上位机软件，均支持与PV组件的出厂标定值进行直接对比。PV200使用者1. 光伏发电系统安装人员2. 光伏发电操作人员和测试技术人员3. 光伏组件制造商德国布鲁克 DektakXT 台阶仪（探针式表面轮廓仪）德国布鲁克 DektakXT 台阶仪（探针式表面轮廓仪）是一项创新性的设计，可以提供更高的重复性和分辨率，测量重复性可以达到5?。台阶仪这项性能的提到了过去四十年Dektak技术创新的，更加巩固了其行业地位。不论应用于研发还是产品测量，通过在研究工作中的广泛使用，DektakXT能够做到功能更强大，操作更简易，检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪（探针式表面轮廓仪）的技术突破，使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能，从而可以广泛的应用于微电子器件，半导体，电池，高亮度发光二管的研发以及材料科学领域。光学轮廓仪Contour GT用于工艺质量监控定标性测试系统ContourGT-X是实验室开发到批量生产均可适用的高性能仪器。它积累了前十代产品在白光干涉技术上的创新，实现了快速地三维表面测量，从纳米级粗糙度表面的测量到毫米级台阶的测量，垂直分辨率可达亚纳米级。可编程的XYZ控制的扫描头自动控制，使得仪器操作简便易行。配备*新的Vision64软件，具有的仪器测量和数据分析功能，而其优化设计的用户界面为使用者自行定义自动测量和数据分析提供了大的便利。

提供试用服务！主动隔振台TS-C30发布2020年广州市固润光电科技有限公司新推出了主动防震台TS-C30正式发布！提供样机试用和振动测试服务！ TS-C30系列是一款紧凑型动态隔振系统，由瑞士制造。拥有更小的体积，为研究人员操作精密仪器提供了更加灵活的空间搭配。此外，它也是Herz桌面隔震台中最经济的一款！此产品在1.2~300Hz频率范围内使用主动隔振技术，比传动被动隔振系统有更出色的隔振表现。为了让广大客户更加深入的了解它的出色性能。 此款产品适用于：- 原子力显微镜- 干涉测量- 轮廓测量- 3D轮廓仪- 表面轮廓仪- 纳米光子学 - 白光干涉仪- 三维表面形貌分析仪- 超景深显微镜- 激光干涉仪- 光镊应用- 超高速光通信 测量设备重量轻，底部表面积不大，重心低，以及微注射、膜片钳技术等对外界振动敏感的实验中的振动消除。 广州市固润光电科技有限公司专注主动隔振、主动消磁和隔音箱十年！我司代理的AVI系列、TS系列主动隔振产品被高校、研究所以及半导体公司广泛应用于精密实验中，并在许多项目中有出色的表现，取得了广大顾客的认同！此外我们拥有一支经验丰富技术团队，可以为客户提供设备的振动测试、试用服务、安装、调试、使用培训、维修、维护等一体式服务，为您的实验提供最稳定的环境保证！