自动控制显微镜

AFM5500M II全自动扫描探针显微镜除了配置高精度平板扫描器和各种测量自动化功能，还有两种共享坐标样品台功能。通过多种设备的关联解析，实现了单个设备无法实现的多维缺陷评价和故障解析。主要特点1. AFM自动化测量&bull 通过自动化控制大大提高效率，自动探针安装，自动光轴调整，自动参数优化；&bull 排除人为操作失误导致的测量误差，一键自动测量/处理/分析（提高整体测试效率）2. 可靠性排除机械原因造成的误差大范围水平扫描采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果。AFM5500M搭载了全新研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试。 样品 ：硅片上的非晶硅薄膜高精角度测量普通的原子力显微镜所采用的扫描器，在竖直伸缩的时候，会发生弯曲（crosstalk）。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。AFM5500M中搭载的全新扫描器，在竖直方向上不会发生弯曲（crosstalk） ，可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。样品 : 太阳能电池(由于其晶体取向具有对称结构)* 使用AFM5100N（开环控制）时 3. 利用探针评价功能进行探针尖端直径管理4. SIS模式可有效提高数据可靠性SIS（Sampling Intelligent Scan）样品智能扫描模式只有在需要测量样品形貌和物性信息时才靠近测量点，自动控制探针位置，完全消除对测量不利的水平力，可测量吸附力较大或粗糙的样品，同时可大幅降低对探针的磨损和对样品的损伤，有效提高数据的可靠性。5. 支持机械物性/电磁物性等广泛的物性测量扫描探针显微镜是一种不仅可以测量形貌，还支持各种物性检测的显微镜。AFM5500MⅡ支持可同时获取弹性模量、形变、吸附力和摩擦力等各种机械物性的SIS-ACCESS/SIS-QuantiMech功能、以及导电性、压电分布和表面电位等各种电磁物性测量。6. 新的表面电位势测量模式 AM-KFM/FM-KFM（可用于定量和灵敏度等不同场景）除调幅开尔文力显微镜(AM-KFM)外，AFM5500MⅡ还新增了调频开尔文力显微镜(FM-KFM)。FM-KFM与AM-KFM相比，信号主要来自于探针的尖端，电位检测灵敏度更高，在电位的定量分析上更胜一筹。AM-KFM适用于单一材料间的电位和功函数对比等，FM-KFM适用于测量需要进行精细周期结构和海岛结构量化的复合材料，两种模式通过点击即可自由切换。7. 使用AFM、SEM、CSI等不同显微镜观察同一位置，实现多维度解析通过SEM、AFM、CSI等进行样品的同一位置测试，可以对目标视野进行多维度解析，实现数据的参照对比。日立高新可以提供特有的SEM/AFM/CSI同视野观察，实现联动分析。使用共享样品台进行坐标联动，或通过全新的AFM标记功能，可以在AFM、SEM、CSI之间快速、轻松地锁定同一视野，进一步扩大了联动分析的应用范围。

1. LAS X自动控制功能1.1. 显微镜参数控制 用户可以通过软件控制显微镜的光强、孔径光阑、视场光阑、放大倍数和观察方式等。1.2. 照相机参数控制 用户可以通过软件控制照相机的曝光时间、增益、彩色/黑白模式、自动曝光、白平衡等，还可以将照相机设置参数存储并再次调用。1.3. 自动拍照 使用软件可以选择采集图像的分辨率和格式，并一键拍摄照片至指定的存储路径。1.4. 存储器 用户可以存储各自使用参数，如不同物镜倍数观察时光强度、孔径光阑大小、视场光阑大小等，参数可被存储、恢复和删除。1.5. 自动对焦 配合具有电动调焦功能的显微镜和数字相机，实现显微镜的自动对焦。1.6. 视频录制 基于观看者的帧速率获得一系列图像，可以保存为自定义回放帧速率的AVI或者MP4文件格式。1.7. 间隔时间拍摄 可在用户界面定义图像采集的持续时间和频率，包括采集直到停止功能和最小时间间隔功能。1.8. 景深合成景深合成（EDOF）功能有效地将单焦点区域图片通过三维堆栈整合起来，在定义高度区间内按顺序在不同的Z位置采集每一层图像，并以此创建一张清晰大景深的图片。1.9. 3D表面查看器3D表面查看器功能可以更好地查看EDOF图片的表面细节，可在EDOF图片上选择覆盖带有颜色编码的深度图，具有相同高度的区域容易被识别。通过放大、旋转3D图片能获得一个可以看到更多特征的视角，并可将图片保存到电脑中。1.10. 标记和查找LAS X软件可在宽场系统中进行标记和查找，定义多区域位置并在实验设置时重新访问，或作为可选拼图模块的设置部分。1.11. 拼图拼图功能包括创建概览图、XY拼图和XYZ拼图。

显微镜恒温载物台主要用于对显微镜的温度进行控制。主要特点： 可在-20°C至+100°C的任何温度下保存样品； 设置和运行的温度可通过液晶屏显示； 控制精度在0.1°C以内； 适配市面上绝大多数的显微镜； 内置数字温度计和测温探头；TS-4MP/ER 恒温载物台可使显微镜玻片或培养皿内的样本温度保持在-20至+10°C间的任何温度；设置简单，控制器会保证载物台的温度浮动范围在0.1°C内；TS-4MP 是热电（珀尔帖效应）装置，无可拆卸部件；无需使用 CO2 或液氮进行制冷；只需交流电和连续的水流进行操作；有两个版本可供选择：范围：TS-4MP：-20 至 +60°CTS-4MP/ER：-20 至 +100°CTS-4MP 包含载物台、控制器和可选的泵组件：载物台为镀镍铜材质，并在一侧（参见图片）设有热电组件。塑料基座与玻璃片尺寸和厚度相同，适用于显微镜的医疗载物台，与载玻片使用方式相同。恒温载物台因此可通过正常机械载物台控制根据光进行移动。金属片中间的漏洞可允许光通过。TS-4MP型恒温控制器的载物台因珀尔帖效应对载物台的制冷产生的多余热量需要用水带走。两支水管自我封闭连接以防止溅出。可使用来自水龙头的流动水。如果水龙头的流动水不易获取，我们的水泵和水箱装置，PTU-3结构紧凑、便于使用。安装在载物台上的感应器可提供温度监控以控制目标温度，并监控安全。安全感应器可阻止过热情况以防制冷流水供应或其他故障带来的失败。结构与运行示意图：载物台的热电组件控制器可在5伏直流电的情况下产生较大10安培的电流。当载物台需从加热转变至制冷时，或相反状况时，输出极性会自动转换。在调整所需温度过程中，SV 数字显示器会显示控制温度的选定，同时PV 显示器会读出实际温度。TS-4MP 的测温电路也可在独立温度计中使用，可同提供的微型探头或任何其他类型的 T 型热电偶传感器一同使用。热电偶的范围为 -100至+200°C。单独的热电偶微型探头于 TS-4 中提供。可选的水泵和水箱装置（PTU-3）与控制器后方的辅助 AC 输出装置连接。水箱可提供充足的循环，以保持载物台的冷却。所有水连接装置都配有自封装。TS-4MP的使用：TS-4 MP的标准恒温载物台可以很容易地安装到大多数显微镜上，而且可通过机械载物台控制。表面的弹簧夹可用来将载玻片固定在保温载物台上。控制器有两个显示设置。在“Set”(设置) 位置，可以通过前面板上的旋钮来调整控制温度。数字显示屏上会显示温度选择。在“Run”(运行) 位置，显示载物台的实际温度(载物台温度的自动调节是连续的，与开关设置无关)。可根据需要选择其他型号的载物台：除了标准的保温载物台，Physitemp还提供两种可选的专为培养皿设计的保温载物台。TS-4SMP(下图)35mm培养皿保温载物台可将培养皿和显微镜载物台上样品的温度维持在-10至+60°C之间(TS-4SMPER可将范围扩展至-10至+100°C)。载物台上的环圈被设计成为可容纳一个"Nunc"35mm的培养皿。该环圈也可以被移除使其也可以适用于盛放载玻片。培养皿载物台型号：TS-4SMP，孔径尺寸35mmTS-4/LMP(培养皿保温载物台是为容纳"Nunc"60mm或100mm培养皿而设计的。TS-4/LMP保温载物台可将显微镜台上的温度保持在-5至+60℃之间。这些培养皿载物台适用于大多数正置和倒置的显微镜皮氏培养皿载物台型号：TS-4/LMP，孔径尺寸100mm下单时请注明载物台的型号，例如TS-4SMP/PTU标准载物台(带水泵和水箱单元)。请务必包括要使用的显微镜的厂家和型号，以便我们可以确认所选的载物台是否适合该显微镜。同时可以对载物台进行改装以适配显微镜。水泵和水箱单元：PTU-3型水泵和水箱单元是为与Physitemp的恒温载物台一起使用而设计的。当恒温载物台及显微镜附近没有自来水来源并且长时间以冷却模式运行时，水泵和水箱单元可提供方便的冷却水蓄水池，以冷却加热装置的加热单元。储水箱可容纳7加仑的水，足以使TS-4MP系列的恒温载物台冷却长达8小时。PTU-3型水泵和水箱单元水的循环是通过使用安静的1/25马力单相电机和磁力驱动泵，因此，没有泄漏或需要更换的密封件。进水口和出水口连接处使用自密封接头，以防止泄漏。同时可以将冰块添加到水箱中，以延长工作时间或降低加热单元可以冷却到的最低温度。所有加热单元和电源后部的开关附件插座用于为泵供电，因此，当控制器打开时，水可以立即开始流动。产品主要规格：请关注玉研仪器的更多相关产品。如对产品细节和价格感兴趣，敬请来电咨询！