日立扫描电镜简易使用手册

日立高新热场式场发射扫描电镜SU5000--搭载全新用户界面，向所有用户提供高画质图像-- 日立高新技术公司（以下简称：日立高新）8月4日开始发售的肖特基式场发射扫描电子显微镜"SU5000"，搭载了全新的用户界面和"EM Wizard"，无论用户的操作技巧是否娴熟都可以拍出好的照片。 扫描电子显微镜在纳米技术领域、材料领域、医学生物等领域均被广泛使用。但随着近年来仪器性能的大幅提升，以及用户群体的不断扩大，使得用户对不需要任何经验和技术就能得到好照片的需求迅速扩增。而且，由于观察对象的样品的不断多样化，对样品的大小和性质的无制约观察变得尤为重要。 这次新开发的"SU5000"对用户没有任何操作技巧上的要求，通过”EM Wizard“只要选择好观察目的就可以得到好照片。"EM Wizard"以人为本的设计理念使电镜的操作性大幅上升，对于用户来说，再也不用去讨论该用什么条件进行观察，只要按照观察目的选择”表面细节观察“或是”成分分布“等就可以自动将适合的观察条件设置好。除此之外，使用经验丰富的操作人员也可以像往常一样自由的选择观察条件，按照自己的操作习惯进行设置。”EM Wizard“对于初学者或者使用经验尚浅的客户来说，它独有的操作简易性和各种学习工具可以帮助您迅速成长起来；对使用经验丰富的客户来说，开放了丰富的可设置选项，会令您操作起来更加得心应手。这正是"EM Wizard"的价值所在。 另外"SU5000"的寻找视野功能"3D MultiFinder"更是独一无二的。不但可大幅提高做样速度，更使视野再现性得到大大提高。并且，为了能适应各种分析的需求，最大束流可达到200nA。再加上全新设计的背散射电子探头和低真空二次电子探头等，都使该款电镜无论在是观察样品还是分析都具备了超强的功能与强大的扩展性。 日立高新在8月3日至8月7日在美国康涅狄格州举办的"Microscopy & Microanalysis"，9月3日至9月5日在日本千叶县幕张国际展览中心举办的"JASIS 2014"，9月7日至9月12日在捷克举行的"18th International Microscopy Congress"上都做了实机展出。*：肖特基式场发射电子显微镜：高亮度、大束流、超强稳定性汇聚一身肖特基式场发射电子显微镜。分辨率高和可做各种定量定性分析。 肖特基式场发射电子显微镜"SU5000" "EM Wizard"画面样式【主要参数】 电子枪ZrO/W 肖特基式场发射电子枪加速电压0.5~30kV着陆电压0.1~2kV分辨率2.0nm@1kV（*1）、1.2nm@30kV、3.0nm@15kV 低真空模式（*2）放大倍率底片倍率：10~600000倍、显示倍率：18~1000000倍5轴马达台X：0~100mm、Y：0~50mm、Z：3~65mm、T：-20~90°、R：360° *1：减速模式是选配项 *2：低真空模式是选配项 2014年，日立高新技术公司（以下简称：日立高新） 新型肖特基场发射扫描电镜*"SU5000"作为工业用设备荣获由公益财团法人日本设计振兴会颁发的GOOD DESIGN AWARD 2014”(2014年度最佳设计奖)。

【产品背景】　　在以纳米技术和生物技术为主的产业领域里，从物质的微细结构到组成成分，SEM在多种多样的观察与分析中得到了灵活应用。SEM用途日益扩大，但对于钢铁等工业材料和汽车零配件等超大/超重样品，由于电镜样品台能对应的样品尺寸和重量受到限制，所以观察时需要进行切割等加工。因此，对超大样品不施以加工处理，便可直接观察表面微细形貌和进行各种分析则成为重要的课题。　　近年来为了实现各种材料的高功能化和高性能化，需要观察并优化材料的微细结构。目前SEM的应用除了以往的研究开发以外，已扩展到质量和生产管理方面，使用频率日益高涨。同时市场也对仪器的操作性能提出了更高的要求，以进一步减轻操作人员的负担。　　此次发售的“SU3800”与“SU3900”，支持超大/超重样品的观察，特别是大型扫描电镜“SU3900”，可选配最 大直径300mm *1、最 大承重5kg样品(比前代机型提高2.5倍*2)的样品台，即使是超大样品也无需切割加工即可观察。　　同时操作性能也得到了全面升级。样品安装完成后，通过自动光路调整及各种自动功能调整图像，随后可立即获得样品图像，真正实现了快速观察。　　前代机型是仅仅通过CCD导航相机的单一彩色图像寻找视野*3。新机型则通过旋转样品台，分别拍摄样品各个部分，再将各个图像拼接成1张大图像，实现了大视野的相机导航观察，十分适用于超大样品的大范围观察。　【主要特点】　　(1) 支持超大/超重样品测试　　可搭载的最 大样品尺寸：“SU3800” 标配可搭载直径200mm样品的样品仓，可应对最 大高度为80mm、重量为2kg的样品。 “SU3900”作为日立高新技术的大型扫描电镜，标配可搭载最 大直径300mm样品的样品仓，可应对最 大高度为130mm、重量为5kg(比前代机型提高2.5倍*2)的样品　　(2) 支持大视野观察　　■“SU3800”与“SU3900”的最 大观察范围分别是：直径130mm、直径200mm　　■安装有“SEM MAP”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野　　■安装有“Multi Zigzag”系统，可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像　　(3) 通过自动化功能提高操作性能　　■通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整，自动功能执行时的等待时间比前代机型*4缩短了三分之一以下　　■安装有“Intelligent Filament Technology(IFT)”软件，自动监控钨灯丝*5的状况，显示预计的更换时期。在长时间的连续观察和颗粒度解析等大视野分析时，也可避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察。

1) 支持超大/超重样品测试　　可搭载的最 大样品尺寸：“SU3800” 标配可搭载直径200mm样品的样品仓，可应对最 大高度为80mm、重量为2kg的样品。 “SU3900”作为日立高新技术的大型扫描电镜，标配可搭载最 大直径300mm样品的样品仓，可应对最 大高度为130mm、重量为5kg(比前代机型提高2.5倍*2)的样品　　(2) 支持大视野观察　　■“SU3800”与“SU3900”的最 大观察范围分别是：直径130mm、直径200mm　　■安装有“SEM MAP”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野　　■安装有“Multi Zigzag”系统，可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像　　(3) 通过自动化功能提高操作性能　　■通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整，自动功能执行时的等待时间比前代机型*4缩短了三分之一以下　　■安装有“Intelligent Filament Technology(IFT)”软件，自动监控钨灯丝*5的状况，显示预计的更换时期。在长时间的连续观察和颗粒度解析等大视野分析时，也可避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察。

FE-SEM获得的图像分辨率高，信息丰富，样品处理相对简单，并且它可以观察、测量并分析样品的细微结构，因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生命科学、材料等领域。近年来，以Materials Integration为代表，其应用领域及用途在不断扩展，短时间内获取大量数据，减轻作业负荷成为市场的一大需求。为满足这一需求，此次特推出的SU8700作为一款面向新时代的SEM，在日立电镜贯有的高图像质量和高稳定性的基础上，增加了包括自动获取数据等高通量的功能。SU8700可配置各种分析附件，适用于从低加速观察到高束流的EBSD分析，支持陶瓷、金属等不同材料的解析。该系列产品的特点如下：1．支持自动获取数据在FE-SEM的观察和分析中，需要根据测量样品与需求调整观察条件。调整所需时间的长短取决于用户的操作熟练度，这是造成数据质量与效率差异的因素之一。此系列产品标配自动调整功能，可避免人为操作导致的差异。此外，随着仪器性能的提升，需要获取的数据种类与数量也在增加，手动获取各种大量数据会大大增加用户的作业负担。此系列产品可选配“EM Flow Creator”，用户可根据自身需求设定条件，自动获取数据，这对于未来通过获取大量数据实现数据驱动开发起到重要作用。2．增加获取信息的种类与数量通过SEM能够收集到多种信号，且此系列产品最多可以同时显示和存储6个检测器的信号。在减少图像获取次数的同时能够获取多种信息。此外，为一次性获取大量信息，单次扫描像素扩展到了40,960 x 30,720（选配），是之前型号的64倍。利用这一功能，可凭借一张数据图像有效评估多处局部的细微结构。3．增强信号检测能力SU8700的样品仓设计巧妙，可使用短工作距离进行EDS分析，通过提高EDS分析的空间分辨率，能够实现更微小部位的分析。

日立紫外清洗设备是利用紫外光和臭氧对样品表面污染物进行清理的前处理设备，主要针对样品表面的有机污染物，相比等离子清洗更加温和，对样品损伤小。清洗系统:2种清洗模式真空清洗和真空储存清洗时间范围为1min-24h（步幅1min）真空系统:无油真空系统（隔膜泵9L/min）3min内达到所需真空度真空范围为100-500torr(100步) 清洗仓:样品尺寸: 100mm (直径) x 36mm (高)适合于各型号扫描电镜有效清理区域达100 mm

台式显微镜作为扫描电子显微镜（SEM）在生物技术和材料等领域得到广泛应用。该系列由日立高新技术于2005年4月开始销售，可放在办公桌上，设计紧凑，比普通SEM更受广大用户欢迎。它不仅应用于研究机构，而且还越来越广泛地应用于工业领域，成为制造业品质管理的利器。"TM4000 II"和"TM4000Plus II" 可简化从样品观察、图像确认到生成报告等一系列操作过程，大幅提高了工作效率。还标配了报告生成功能，观察结束后可十分轻松地将拍摄的图像制作成MicrosoftWord、Excel、PowerPoint格式的报告。此外，选配项还可实现更多功能。TM4000 II/TM4000Plus II 具有以下三大特点：标配低真空模式，简化样品前处理 采用低真空，不导电样品也无需喷金，可以直接观察，大大提高了工作效率。全自动聚焦和亮度对比度调整，只需按几个按钮就可以拍摄图片，简单快捷。可根据不同样品设置不同的观察条件 样品仓内的真空度及加速电压有多种选择，可根据需求自行设置。简化寻找视野、图像拍摄、图像确认等一系列操作过程（选配） 在样品仓上可选配光学相机，样品开始观察前先拍摄样品的整体照片，双击照片上的样品，即可实现照片导航功能。另外，“TM4000 II”和“TM4000Plus II”可根据不同观测目的，选择5KV、10KV、15KV、20KV四种不同的观测模式，获取图像。其中5kV适合观察样品表面形状，10KV适合常规样品观察，15kV适合高倍率观察，20KV适合元素成分分析。每个电压下都有四挡束流可调，可以针对不同的观察需求选择。

日立2005年在中国推出了S-4800型高分辨场发射扫描电镜，由于出色的应用性能、良好的稳定性和简易的维护，收到了各界用户的一致好评。　　日立2011年新推出了它的后续机型----SU8010，它继承了S-4800的优点，性能有进一步提高，1kv使用减速功能后，分辨率提升到1.3nm，相对于S-4800可以在更低的加速电压下呈高分辨像，明显提升了以往很难观测的低原子序数样品的观测效果。特点：1. 优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm2. 日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品3. Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像4. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能5. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能6. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成

产品简介日立高新热场式场发射扫描电镜SU5000--搭载全新用户界面，向所有用户提供高画质图像--日立高新技术公司（以下简称：日立高新）8月4日开始发售的肖特基式场发射扫描电子显微镜"SU5000"，搭载了全新的用户界面和"EM Wizard"，无论用户的操作技巧是否娴熟都可以拍出好的照片。扫描电子显微镜在纳米技术领域、材料领域、医学生物等领域均被广泛使用。但随着近年来仪器性能的大幅提升，以及用户群体的不断扩大，使得用户对不需要任何经验和技术就能得到好照片的需求迅速扩增。而且，由于观察对象的样品的不断多样化，对样品的大小和性质的无制约观察变得尤为重要。 这次新开发的"SU5000"对用户没有任何操作技巧上的要求，通过”EM Wizard“只要选择好观察目的就可以得到好照片。"EM Wizard"以人为本的设计理念使电镜的操作性大幅上升，对于用户来说，再也不用去讨论该用什么条件进行观察，只要按照观察目的选择”表面细节观察“或是”成分分布“等就可以自动将适合的观察条件设置好。除此之外，使用经验丰富的操作人员也可以像往常一样自由的选择观察条件，按照自己的操作习惯进行设置。”EM Wizard“对于初学者或者使用经验尚浅的客户来说，它独有的操作简易性和各种学习工具可以帮助您迅速成长起来；对使用经验丰富的客户来说，开放了丰富的可设置选项，会令您操作起来更加得心应手。这正是"EM Wizard"的价值所在。另外"SU5000"的寻找视野功能"3D MultiFinder"更是独有的。不但可大幅提高做样速度，更使视野再现性得到大大提高。并且，为了能适应各种分析的需求，最大束流可达到200nA。再加上全新设计的背散射电子探头和低真空二次电子探头等，都使该款电镜无论在是观察样品还是分析都具备了超强的功能与强大的扩展性。 日立高新在8月3日至8月7日在美国康涅狄格州举办的"Microscopy & Microanalysis"，9月3日至9月5日在日本千叶县幕张国际展览中心举办的"JASIS 2014"，9月7日至9月12日在捷克举行的"18th International Microscopy Congress"上都做了实机展出。*：肖特基式场发射电子显微镜：高亮度、大束流、超强稳定性汇聚一身肖特基式场发射电子显微镜。分辨率高和可做各种定量定性分析。【主要参数】 电子枪ZrO/W 肖特基式场发射电子枪加速电压0.5~30kV着陆电压0.1~2kV分辨率2.0nm@1kV（*1）、1.2nm@30kV、3.0nm@15kV 低真空模式（*2）放大倍率底片倍率：10~600000倍、显示倍率：18~1000000倍5轴马达台X：0~100mm、Y：0~50mm、Z：3~65mm、T：-20~90°、R：360° *1：减速模式是选配项 *2：低真空模式是选配项 2014年，日立高新技术公司（以下简称：日立高新） 新型肖特基场发射扫描电镜*"SU5000"作为工业用设备荣获由公益财团法人日本设计振兴会颁发的GOOD DESIGN AWARD 2014”(2014年度最佳设计奖)。

产品介绍：　　日立全新一代热场发射扫描电镜SU5000继承了日立半导体行业扫描电镜CD-SEM高稳定性和易操作的特点，不仅具有强大的观察分析能力，同时具有全新的操作体验。SU5000既满足了专业电镜操作者对高分辨观察和分析的需求，也满足了电镜初学者对高质量图片的需求，是一台操作简便且功能强大的扫描电镜。主要特点：1.　高稳定性热场发射电子枪2.　全新的EM Wizard软件，无需设置参数即可获得高质量图片3.　高分辨率和强大的分析能力4.　样品适用性强：不导电样品直接观察（低真空功能，10-300Pa）5.　全新的multi-finder功能，方便快捷的寻找样品6.　附件功能强大：拉伸台，冷热台，电子束曝光，红外CCD，离子束清洁系统等。

产品创新点上市时间：2019年4月此次发售的“SU3800”与“SU3900”，支持超大/超重样品的观察，特别是大型扫描电镜“SU3900”，可选配最大直径300mm *1、最大承重5kg样品(比前代机型提高2.5倍*2)的样品台，即使是超大样品也无需切割加工即可观察。 　　同时操作性能也得到了全面升级。样品安装完成后，通过自动光路调整及各种自动功能调整图像，随后可立即获得样品图像，真正实现了快速观察。 　　前代机型是仅仅通过CCD导航相机的单一彩色图像寻找视野*3。新机型则通过旋转样品台，分别拍摄样品各个部分，再将各个图像拼接成1张大图像，实现了大视野的相机导航观察，十分适用于超大样品的大范围观察。产品简介【产品背景】在以纳米技术和生物技术为主的产业领域里，从物质的微细结构到组成成分，SEM在多种多样的观察与分析中得到了灵活应用。SEM用途日益扩大，但对于钢铁等工业材料和汽车零配件等超大/超重样品，由于电镜样品台能对应的样品尺寸和重量受到限制，所以观察时需要进行切割等加工。因此，对超大样品不施以加工处理，便可直接观察表面微细形貌和进行各种分析则成为重要的课题。近年来为了实现各种材料的高功能化和高性能化，需要观察并优化材料的微细结构。目前SEM的应用除了以往的研究开发以外，已扩展到质量和生产管理方面，使用频率日益高涨。同时市场也对仪器的操作性能提出了更高的要求，以进一步减轻操作人员的负担。此次发售的“SU3800”与“SU3900”，支持超大/超重样品的观察，特别是大型扫描电镜“SU3900”，可选配最 大直径300mm *1、最 大承重5kg样品(比前代机型提高2.5倍*2)的样品台，即使是超大样品也无需切割加工即可观察。同时操作性能也得到了全面升级。样品安装完成后，通过自动光路调整及各种自动功能调整图像，随后可立即获得样品图像，真正实现了快速观察。前代机型是仅仅通过CCD导航相机的单一彩色图像寻找视野*3。新机型则通过旋转样品台，分别拍摄样品各个部分，再将各个图像拼接成1张大图像，实现了大视野的相机导航观察，十分适用于超大样品的大范围观察。【主要特点】　　(1) 支持超大/超重样品测试　　可搭载的最 大样品尺寸：“SU3800” 标配可搭载直径200mm样品的样品仓，可应对最 大高度为80mm、重量为2kg的样品。 “SU3900”作为日立高新技术的大型扫描电镜，标配可搭载最 大直径300mm样品的样品仓，可应对最 大高度为130mm、重量为5kg(比前代机型提高2.5倍*2)的样品　　(2) 支持大视野观察　　■“SU3800”与“SU3900”的最 大观察范围分别是：直径130mm、直径200mm　　■安装有“SEM MAP”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野　　■安装有“Multi Zigzag”系统，可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像　　(3) 通过自动化功能提高操作性能　　■通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整，自动功能执行时的等待时间比前代机型*4缩短了三分之一以下　　■安装有“Intelligent Filament Technology(IFT)”软件，自动监控钨灯丝*5的状况，显示预计的更换时期。在长时间的连续观察和颗粒度解析等大视野分析时，也可避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察。

产品创新点上市时间：2019年4月此次发售的“SU3800”与“SU3900”，支持超大/超重样品的观察，特别是大型扫描电镜“SU3900”，可选配最大直径300mm *1、最大承重5kg样品(比前代机型提高2.5倍*2)的样品台，即使是超大样品也无需切割加工即可观察。 　　同时操作性能也得到了全面升级。样品安装完成后，通过自动光路调整及各种自动功能调整图像，随后可立即获得样品图像，真正实现了快速观察。 　　前代机型是仅仅通过CCD导航相机的单一彩色图像寻找视野*3。新机型则通过旋转样品台，分别拍摄样品各个部分，再将各个图像拼接成1张大图像，实现了大视野的相机导航观察，十分适用于超大样品的大范围观察。产品简介(1) 支持超大/超重样品测试可搭载的最 大样品尺寸：“SU3800” 标配可搭载直径200mm样品的样品仓，可应对最 大高度为80mm、重量为2kg的样品。 “SU3900”作为日立高新技术的大型扫描电镜，标配可搭载最 大直径300mm样品的样品仓，可应对最 大高度为130mm、重量为5kg(比前代机型提高2.5倍*2)的样品(2) 支持大视野观察　　■“SU3800”与“SU3900”的最 大观察范围分别是：直径130mm、直径200mm　　■安装有“SEM MAP”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野　　■安装有“Multi Zigzag”系统，可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像(3) 通过自动化功能提高操作性能　　■通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整，自动功能执行时的等待时间比前代机型*4缩短了三分之一以下　　■安装有“Intelligent Filament Technology(IFT)”软件，自动监控钨灯丝*5的状况，显示预计的更换时期。在长时间的连续观察和颗粒度解析等大视野分析时，也可避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察。

【产品背景】　　在以纳米技术和生物技术为主的产业领域里，从物质的微细结构到组成成分，SEM在多种多样的观察与分析中得到了灵活应用。SEM用途日益扩大，但对于钢铁等工业材料和汽车零配件等超大/超重样品，由于电镜样品台能对应的样品尺寸和重量受到限制，所以观察时需要进行切割等加工。因此，对超大样品不施以加工处理，便可直接观察表面微细形貌和进行各种分析则成为重要的课题。　　近年来为了实现各种材料的高功能化和高性能化，需要观察并优化材料的微细结构。目前SEM的应用除了以往的研究开发以外，已扩展到质量和生产管理方面，使用频率日益高涨。同时市场也对仪器的操作性能提出了更高的要求，以进一步减轻操作人员的负担。　　此次发售的“SU3800”与“SU3900”，支持超大/超重样品的观察，特别是大型扫描电镜“SU3900”，可选配最 大直径300mm *1、最 大承重5kg样品(比前代机型提高2.5倍*2)的样品台，即使是超大样品也无需切割加工即可观察。　　同时操作性能也得到了全面升级。样品安装完成后，通过自动光路调整及各种自动功能调整图像，随后可立即获得样品图像，真正实现了快速观察。　　前代机型是仅仅通过CCD导航相机的单一彩色图像寻找视野*3。新机型则通过旋转样品台，分别拍摄样品各个部分，再将各个图像拼接成1张大图像，实现了大视野的相机导航观察，十分适用于超大样品的大范围观察。　【主要特点】　　(1) 支持超大/超重样品测试　　可搭载的最 大样品尺寸：“SU3800” 标配可搭载直径200mm样品的样品仓，可应对最 大高度为80mm、重量为2kg的样品。 “SU3900”作为日立高新技术的大型扫描电镜，标配可搭载最 大直径300mm样品的样品仓，可应对最 大高度为130mm、重量为5kg(比前代机型提高2.5倍*2)的样品　　(2) 支持大视野观察　　■“SU3800”与“SU3900”的最 大观察范围分别是：直径130mm、直径200mm　　■安装有“SEM MAP”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野　　■安装有“Multi Zigzag”系统，可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像　　(3) 通过自动化功能提高操作性能　　■通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整，自动功能执行时的等待时间比前代机型*4缩短了三分之一以下　　■安装有“Intelligent Filament Technology(IFT)”软件，自动监控钨灯丝*5的状况，显示预计的更换时期。在长时间的连续观察和颗粒度解析等大视野分析时，也可避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察。

详细介绍 HITACHI 日立 扫描电镜灯丝 51E-0240 51E-0250Agar钨灯丝在采用高延展性的钨材料，在精确的工艺下制作，使用寿命长。此钨灯丝为Hitachi 日立钨灯丝扫描电镜预对中灯丝，使用方便，无需再进行预对中操作即可直接安装使用，一盒10个灯丝。 是否要再次使用用完的碳粉盒灯丝？（更换灯丝）是环保的再利用服务。废弃物的量减少，而且与新产品相比可以控制价格。适用机型HITACHI 日立 扫描电镜灯丝 51E-0240SU3900、SU3800、SU3500、FlexSEM1000、S-3000シリーズ、SU1510、SU-1500、TM-1000/ TM3000シリーズ/TM4000シリーズ/AeroSurf 1500订购前使用后的长丝请不要扔掉，放回专用泡沫塑料中。10个齐了的话请吩咐。最多可以播放5次。在墨盒上刻印，以便知道播放次数。注意事项HITACHI 日立 扫描电镜灯丝 51E-0240不补充专用泡沫塑料。再生委托品中含有因变形等不能再生的墨盒时，请另行咨询。基本上灯丝不再生就返还。另外，即使在这种情况下，价格也是10个的价格，请事先谅解。关于灯丝的更换，请按照使用说明书的记载进行更换。

产品介绍：　　日立全新一代热场发射扫描电镜SU5000继承了日立半导体行业扫描电镜CD-SEM高稳定性和易操作的特点，不仅具有强大的观察分析能力，同时具有全新的操作体验。SU5000既满足了专业电镜操作者对高分辨观察和分析的需求，也满足了电镜初学者对高质量图片的需求，是一台操作简便且功能强大的扫描电镜。主要特点：1.高稳定性热场发射电子枪2.全新的EM Wizard软件，无需设置参数即可获得高质量图片3.高分辨率和强大的分析能力4.样品适用性强：不导电样品直接观察（低真空功能，10-300Pa）5.全新的multi-finder功能，方便快捷的寻找样品6.附件功能强大：拉伸台，冷热台，电子束曝光，红外CCD，离子束清洁系统等。

1) 支持超大/超重样品测试　　可搭载的最 大样品尺寸：“SU3800” 标配可搭载直径200mm样品的样品仓，可应对最 大高度为80mm、重量为2kg的样品。 “SU3900”作为日立高新技术的大型扫描电镜，标配可搭载最 大直径300mm样品的样品仓，可应对最 大高度为130mm、重量为5kg(比前代机型提高2.5倍*2)的样品　　(2) 支持大视野观察　　■“SU3800”与“SU3900”的最 大观察范围分别是：直径130mm、直径200mm　　■安装有“SEM MAP”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野　　■安装有“Multi Zigzag”系统，可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像　　(3) 通过自动化功能提高操作性能　　■通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整，自动功能执行时的等待时间比前代机型*4缩短了三分之一以下　　■安装有“Intelligent Filament Technology(IFT)”软件，自动监控钨灯丝*5的状况，显示预计的更换时期。在长时间的连续观察和颗粒度解析等大视野分析时，也可避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察。

1) 支持超大/超重样品测试　　可搭载的最 大样品尺寸：“SU3800” 标配可搭载直径200mm样品的样品仓，可应对最 大高度为80mm、重量为2kg的样品。 “SU3900”作为日立高新技术的大型扫描电镜，标配可搭载最 大直径300mm样品的样品仓，可应对最 大高度为130mm、重量为5kg(比前代机型提高2.5倍*2)的样品　　(2) 支持大视野观察　　■“SU3800”与“SU3900”的最 大观察范围分别是：直径130mm、直径200mm　　■安装有“SEM MAP”导航功能，只需在导航画面上指定观察目标位置，即可移动视野　　■安装有“Multi Zigzag”系统，可在不同的视野自动拍摄多张高倍率图像，并将取得的图像拼接在一起，生成大视野高像素图像　　(3) 通过自动化功能提高操作性能　　■通过自动光路调整和各种自动化功能，样品设置完后立即可以开始观察。关于图像调整，自动功能执行时的等待时间比前代机型*4缩短了三分之一以下　　■安装有“Intelligent Filament Technology(IFT)”软件，自动监控钨灯丝*5的状况，显示预计的更换时期。在长时间的连续观察和颗粒度解析等大视野分析时，也可避免长时间测试过程中因钨灯丝使用寿命到期所造成的中断观察。

日立Hitachi 扫描电镜 FlexSEM1000 产品介绍：FlexSEM1000是日立高新公司新推出的一款机型小巧性能优异的钨灯丝电镜，拥有大束流和低球差的物镜和聚光镜设计，配备了高分辨率二次电子探头及高灵敏度五分割背散射探头，具有卓越的低真空成像能量，并且采用新的SEM MAP高精度导航系统及新全的自动化功能，使性能更加优越，使用更加简便。 特点：1.节能环保的设计2.高效率的自动功能3.简捷的操作界面4.高分辨低真空观察 应用领域：1、 生物医学2、 食品卫生3、 电子半导4、 汽车制造5、 新能源

日立2011年新推出了SU9000超高分辨冷场发射扫描电镜，达到扫描电镜世界顶级二次电子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。日立SU9000采取了全新改进的真空系统和电子光学系统，不仅分辨率性能明显提升，而且作为一款冷场发射扫描电镜甚至不需要传统意义上的Flashing操作，可以高效率的快速获取样品超高分辨扫描电镜图像。特点：1. 新型电子光学系统设计达到扫描电镜世界最高分辨率：二次电子0.4nm（30KV），STEM 0.34nm（30KV）。2. Hitachi专利设计的E×B系统，可以自由控制SE和BSE检测信号。3. 全新真空技术设计使得SU9000冷场发射电子束具有超稳定和高亮度特点。4. 全新物镜设计显著提高低加速电压条件下的图像分辨率。5. STEM的明场像能够调整信号检测角度，明场像、暗场像和二次电子图像可以同时显示并拍摄照片。6. 与FIB兼容的侧插样品杆提高更换样品效率和高倍率图像观察效率。项目技术指标二次电子分辨率0.4nm （加速电压30kV，放大倍率80万倍）1.2nm （加速电压1kV，放大倍率25万倍）STEM分辨率0.34nm（加速电压30kV，晶格象）观测倍率底片输出显示器输出LM模式80~10,000x220~25,000xHM模式800~3,000,000x2,200~8,000,000x样品台侧插式样品杆样品移动行程X±4.0mmY±2.0mmZ±0.3mmT±40度标准样品台平面样品台：5.0mm×9.5mm×3.5mmH截面样品台：2.0mm×6.0mm×5.0mmH专用样品台截面样品台：2.0mm×12.0mm×6.0mmH双倾截面样品台：0.8mm×8.5mm×3.5mmH信号检测器二次电子探测器TOP 探测器（选配）BF/DF 双STEM探测器（选配）

产品介绍：日立全新一代大型钨灯丝扫描电镜SU3900采用超大的样品仓和多接口设计，适合超大样品的观察（直径300mm）以及多种分析功能的拓展。同时，SU3900也采用了全新的HexBias偏压技术，也可以配置高灵敏度的背散射探测器和可变压力二次电子探测器，使其高、低电压性能都得到了提升。SU3900也具有IFT灯丝监控技术、全新的光镜导航、集成的能谱以及报告导出等功能，使其操作也变得更得非常简单。 主要特点：HexBias偏压钨灯丝电子枪超大样品仓和多接口实际优异的高、低电压性能高灵敏度五分割背散射电子探测器可变压力二次电子探测器（高、低真空可用）全新的操作界面和光镜导航功能全自动灯丝设定和合轴报告导出和图片处理可集成的EDS简单方便的维护（灯丝更换视频）应用领域：材料科学生命医学食品卫生半导体电子元器件汽车制造文物考古金属冶金 主要参数：电子枪预对中钨灯丝加速电压0.3kV – 30kV分辨率3.0nm@30kV (SE)15.0nm@1kV (SE)4.0nm@30kV (BSE, LV)放大倍率5x – 300,000x（底片倍率）7x – 800,000x（显示器倍率）探测器二次电子探测器，高灵敏度无分割背散射电子探测器可变压力探测器UVD 2.0*低真空可变压力范围6 – 650Pa样品台（三轴马达）X: 0 - 150 mmY: 0 – 150 mmZ: 5 – 85 mmR: 0 – 360°T: -20° - +90°*选配

FE-SEM获得的图像分辨率高，信息丰富，样品处理相对简单，并且它可以观察、测量并分析样品的细微结构，因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生命科学、材料等领域。近年来，以Materials Integration为代表，其应用领域及用途在不断扩展，短时间内获取大量数据，减轻作业负荷成为市场的一大需求。为满足这一需求，此次特推出的SU8700作为一款面向新时代的SEM，在日立电镜贯有的高图像质量和高稳定性的基础上，增加了包括自动获取数据等高通量的功能。SU8700可配置各种分析附件，适用于从低加速观察到高束流的EBSD分析，支持陶瓷、金属等不同材料的解析。该系列产品的特点如下：1．支持自动获取数据在FE-SEM的观察和分析中，需要根据测量样品与需求调整观察条件。调整所需时间的长短取决于用户的操作熟练度，这是造成数据质量与效率差异的因素之一。此系列产品标配自动调整功能，可避免人为操作导致的差异。此外，随着仪器性能的提升，需要获取的数据种类与数量也在增加，手动获取各种大量数据会大大增加用户的作业负担。此系列产品可选配“EM Flow Creator”，用户可根据自身需求设定条件，自动获取数据，这对于未来通过获取大量数据实现数据驱动开发起到重要作用。2．增加获取信息的种类与数量通过SEM能够收集到多种信号，且此系列产品最多可以同时显示和存储6个检测器的信号。在减少图像获取次数的同时能够获取多种信息。此外，为一次性获取大量信息，单次扫描像素扩展到了40,960 x 30,720（选配），是之前型号的64倍。利用这一功能，可凭借一张数据图像有效评估多处局部的细微结构。3．增强信号检测能力SU8700的样品仓设计巧妙，可使用短工作距离进行EDS分析，通过提高EDS分析的空间分辨率，能够实现更微小部位的分析。

产品介绍：日立全新一代高分辨钨灯丝扫描电镜SU3800采用全新的HexBias偏压技术，使其低电压性能大大提升，同时升级的高灵敏度背散射探测器和可变压力探测器使得SU3800的观察能力进一步提升。SU3800还增加了IFT灯丝监控技术、全新的光镜导航、集成的能谱以及报告导出等功能，使其操作也变得更为简单。 主要特点：HexBias偏压钨灯丝电子枪优异的高、低电压性能高灵敏度五分割背散射电子探测器可变压力二次电子探测器（高、低真空可用）全新的操作界面和光镜导航功能全自动灯丝设定和合轴报告导出和图片处理可集成的EDS简单方便的维护（灯丝更换视频） 应用领域：材料科学生命医学食品卫生半导体电子元器件汽车制造 主要参数：电子枪预对中钨灯丝加速电压0.3kV – 30kV分辨率3.0nm@30kV (SE)15.0nm@1kV (SE)4.0nm@30kV (BSE, LV)放大倍率5x – 300,000x（底片倍率）7x – 800,000x（显示器倍率）探测器二次电子探测器，高灵敏度无分割背散射电子探测器可变压力探测器UVD 2.0*低真空可变压力范围6 – 650Pa样品台（三轴马达）X: 0 - 100 mmY: 0 – 40 mmZ: 5 – 65 mmR: 0 – 360°T: -20° - +90° *选配

产品介绍：FlexSEM1000 II是日立新型落地式小型钨灯丝扫描电镜，具有体积小、操作简单、性能强、扩展功能丰富等特点。FlexSEM1000 II配备了二次电子探测器和背散射电子探测器，可以观察样品的形貌和成分；同时具有低真空功能，可以直接观察不导电样品和含水样品；配合新增的SEM-MAP光镜导航和5轴样品台可以快速、高效的完成观察任务。主要特点：1. 体积小、操作简单、性能强（4nm@20kV）、扩展功能丰富2. 拥有多个探测器（SE、BSE）3. 拥有低真空功能，不导电和含水样品直接观察4. 标配五轴样品台（三轴马达）5. 可选可变压力探测器UVD，实现高真空光信号（如CL）观察6. 可选SEM-MAP光镜导航功能7. 报告导出功能 应用领域：材料科学生命医学食品卫生半导体电子元器件汽车制造

产品介绍：Regulus8100是日立冷场发射扫描电镜的全新系列，Regulus8100保留了SU8010易维护、易操作等优点，进一步提高性能，1kV减速模式下分辨率达到了0.8nm，15kV达到0.7nm，高低电压均可满足高分辨的观察。主要特点：1. 配备加速电压减速功能，很好的低加速电压成像能力，1kV分辨率可达0.8nm2. 日立专利E×B技术，无需喷镀，可直接观测不导电样品3. 配备电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能4. SE与BSE任意比例搭配功能样品：AlTiC基板加速电压：1kV倍率：2万倍应用领域：1、 纳米材料；2、 半导体器件；3、 高分子材料；4、 生物医学；5、 新能源。

介绍FlexSEM1000是日立高新公司最新推出的一款机型小巧性能优异的钨灯丝电镜，拥有大束流和低球差的物镜和聚光镜设计，配备了高分辨率二次电子探头及高灵敏度五分割背散射探头，具有卓越的低真空成像能量，并且采用最新的SEM MAP高精度导航系统及最新最全的自动化功能，使性能更加优越，使用更加简便。特点1.节能环保的设计2.高效率的自动功能3.简捷的操作界面4.高分辨低真空观察技术参数 分辨率4.0nm（加速电压20kV，高真空模式，二次电子像）15.0nm（加速电压1kV，高真空模式，二次电子）5.0nm（加速电压20kV，低真空模式，背散射电子像）放大倍率底片倍率：6 – 300,000x显示器倍率：16 – 800,000x加速电压0.3-20kV低真空可变压力范围6-100Pa马达台标配三轴自动马达行程X： 0-40mmY： 0-50mmR： 360 °Z： 5-15mmT： -15- 90°电子光学系统电子枪：预对中钨灯丝信号检测系统：二次电子探测器；高灵敏度背散射探测器真空系统全自动阀门控制抽真空系统/涡轮分子泵：61L/S 1台机械泵：100L/min 1台安全装置：带停电、漏电保护的真空保护功能操作辅助功能电子束旋转；动态聚焦；画质优化功能数据输入；2点间测量、角度测量、文字；预设倍率；样品台位置导航功能（SEM MAP)；电子束标记

优秀新品获奖理由：全新发布的日立新型场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）全新品牌 "Regulus系列"，机型包括作为SU8010的后续机型开发的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升级版"Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4个机型，均实现了分辨率和操作性的强化。"Regulus系列" 电子光学系统进行了最优化处理，使得着陆电压在1kV时分辨率较前代机型提高了约20％。"Regulus8220/8230/8240"达到0.9nm，"Regulus8100"为1.1 nm的分辨率。另外，最适合低加速电压下高分辨观察的冷场电子枪可将样品的细节放大，并获得高质量的图片。最大放大倍率也由之前的100万倍提高到了200万倍。除此之外，为了能更好的应对不同样品的测试和保持并发挥出高性能，还对用户辅助工能进行了强化，如信号检测系统的操作辅助功能，维护辅助功能等。 产品简介 "Regulus系列"是日立高新技术的FE-SEM的全新品牌，包括作为SU8010的后续机型开发的 "Regulus8100" 以及SU8200系列的升级 "Regulus8220" "Regulus8230" "Regulus8240"，共4个机型，均实现了分辨率和操作性的强化。 扫描电子显微镜（SEM）被广泛应用于纳米技术，半导体?电子行业，生命科学，材料科学等领域的材料结构观察。近年来，新一代的电子器件应用中受到广泛期待的新型碳材料，高分子材料，复合材料等的研究作为先进科学技术的中坚技术，在全世界范围内受到热捧。扫描电子显微镜广泛用于这些材料的观察?评价，但仅仅具有超高分辨率还远远不够。还要求能在低加速电压下对表面细微结构的观察和高灵敏度的元素分析。除此之外，在长期的研究过程中还追求电镜的性能的持续稳定和信赖性。 本次发布的新品牌 "Regulus系列" 电子光学系统进行了最优化处理，使得着陆电压在1kV时分辨率较前代机型提高了约20％。"Regulus8220/8230/8240"达到0.9nm，"Regulus8100"为1.1 nm的分辨率。另外，最适合低加速电压下高分辨观察的冷场电子枪可将样品的细节放大，并获得高质量的图片。最大放大倍率也由之前的100万倍提高到了200万倍。除此之外，为了能更好的应对不同样品的测试和保持并发挥出高性能，还对用户辅助工能进行了强化，如信号检测系统的操作辅助功能，维护辅助功能等。主要特点搭载了色差极小的适合低加速电压高分辨率观察的冷场电子枪跟前代机型相比分辨率大约提高了20%（Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100：1.1 nm/1 kV）最大倍率从原来的100万倍提高到200万倍*1用户辅助功能，帮助用户把仪器的高性能完全发挥出来

扫描电镜RISE — 拉曼成像与扫描电子联用显微镜（拉曼-SEM） 与TESCAN电镜联用的 RISE 显微镜世界首款完全集成的拉曼成像与扫描电子显微镜 RISE 显微镜是一款新型联用显微镜，它将 SEM 和共聚焦拉曼成像结合在一起。通过 RISE 显微镜，可以将超微结构表面特性与分子化合物信息关联起来。 RISE 显微镜将SEM 和alpha300共聚焦拉曼成像显微镜的所有功能都融于一台仪器中：在拉曼和 SEM 测量之间快速、简便切换自动将样品从一个测量位置移动另一个位置集成化软件界面，方便用户进行测量控制测量结果关联与图像叠加独立的SEM 和拉曼成像性能 与ZEISS电镜联用的 RISE 显微镜RISE 显微技术 利用 RISE 显微镜，在整个测量程序中，可以将样品在 SEM 真空室内从一个测量位置自动转移到另一个位置，从而简化了工作流程，大大提高了仪器的易用性。 扫描电镜RISE应用实例 仓鼠脑组织切片的拉曼-SEM叠加图像。彩色编码的拉曼图像：绿色：脑白质；红色：脑灰质；扫描范围:100 x 100 μm，300 x 300 像素 = 90,000 光谱，每光谱测量时间 50 ms。 砷化镓 (GaAs) 样品的拉曼-SEM叠加图像。彩色编码的拉曼图像：黄色：金基底；红色：GaAs；蓝色：生产残留物；扫描范围:50 x 50 μm，300 x 300 像素 = 90,000 光谱，每光谱测量时间 34 ms。 PMMA-PS 共混聚合物的拉曼-SEM叠加图像。 彩色编码的拉曼图像：绿色：聚苯乙烯；红色：聚甲基丙烯酸甲酯。 RISE 显微镜与地质样品的 EDX 同区域对应分析。左：叠加的 SEM-EDX 图像：可以区分三种不同元素组（橙色：Si、O；紫色：Si、Al、Fe、Ca；绿色：Na）。中间：同一样品区的拉曼-SEM叠加图像，呈现分子化合物的空间分布。右：相应的拉曼光谱。红色：绿帘石；绿色：石英；棕色：斜长石（钠长石）；额外其他分子化合物。 扫描电镜RISE主要特点l 扫描电镜可以对样品进行各种各样的分析，而RISE技术把拉曼与电镜结合起来，使在电镜内部直接分析样品的化学组分成为了可能l 共聚焦拉曼显微镜l WITec的RISE共聚焦拉曼成像拥有电镜拉曼联用市场上最高的成像速度，成像灵敏度及成像空间分辨率l 拉曼光谱成像：连续扫描的拉曼高光谱全谱成像，每个样品点都能获得完整的拉曼光谱l 平面2D和包含深度Z方向的3D成像模式l 532激发的拉曼mapping可获得400nm的水平方向空间分辨率l 532激发的拉曼mapping可获得900nm的竖直方向空间分辨率l 超高光通量的透镜式光谱仪可获得最高的光谱灵敏度及光谱分辨率性能l 超快拉曼成像选项可达到每张光谱0.76ms 的超快采谱速度l 非破坏性成像技术，无需对样品进行染色或者标记 RISE 显微技术是您的最佳选择对于入门操作者来说：简易的操作流程让您更容易上手对于有经验的操作者来说：在一台设备上同事实现原位的电镜拉曼联用图像，可以让用户获得更多的样品信息 扫描电镜RISE适用领域：材料科学，纳米技术，高分子科学，地质学，生命科学，制药业

S-4300扫描电镜利用电子束与物质相互作用产生的各种信号进行成像，对样品进行形貌和成份分析。主要技术指标：电子枪和高压：冷场发射枪，加速电压0.5-30kV。分辨率：二次电子分辨率：1.5nm（15kV），3.0nm（1kV）；背散射电子分辨率：3.0nm（15kV）。能谱：可鉴定的元素成分： Be-U；分辨率：127eV。　　功能用途：利用二次电子图象、背散射电子图象，可进行生物、化学、矿物、半导体、纳米材料等金相样品、断口样品的表面形貌观察。利用能谱仪进行微区成分分析。

产品概要：随着快速数据采集和数据处理技术的发展，电子显微镜进入了一个不仅重视数据质量，而且重视其采集过程的时代。SU8600秉承了Regulus8200系列的高质量图像、大束流分析及长时间稳定运行的冷场成像技术，同时还大大提升了高通量、自动数据获取能力。基本信息：SU8600仪器采用最新型电子枪,在高亮度区域也可以稳定发射电子束。即使在低加速电压下,也可以获得高信噪比的图像,同时支持长时间测试以及大电流分析。在面对不同的样品和分析目的时,需要调节SEM的许多参数。SU8600配备了自动电子光路调节功能,从光路对中到象散校正的一系列调整工作可以自动完成，可减少操作人员作业时间。技术优势：1、先进的自动化功能自动电子光学调节自动化数据采集,更高的检测效率采用高精度的压电样品台*可提高导航、回溯及大范围连续成像的准确性 2、兼具超高分辨率及分析扩展能力搭载日立的新型高亮度冷场发射电子源,即使在低加速电压下也可获得超高分辨的图像基于ExB的高效率信号采集系统。多种新型电子探测器*和丰富的选配项，满足更多的观测需求 3、强大的显示及交互特性原生支持双显示器,提供灵活、高效的操作空间6通道同时显示与保存,实现快速的多信号观测与采集,带来更多信息单次扫描最高支持40,960X30,720的超高像素*应用方向：主要应用于半导体器件、材料科学、生命科学等领域。

产品概要：FlexSEM1000II电子扫描显微镜设计小巧,性能卓越，支持多种观察，可在众多领域中应用。基本信息：FlexSEM1000II电子扫描显微镜兼具台式电镜的简单快捷,图像分辨率高达4 nm，同时具有高端机型的高品质图像性能和更加完善的自动化功能可满足更广大用户的需求。技术优势：1、简单、快速、小巧：运用用户辅助功能，快速观察样品2、高画质：设计精巧，性能优异，提供多种观察方法，图像分辨率高3、三维测量：通过Hitachi map 3D实现三维测量4、操作便捷：简单操作即可实现高通量观察5、便于寻找视野：通过相机导航系统，可以更加直观的寻找视野6、大视野观察：运用连续拍照功能，实现大视野观察应用方向：可在多种领域中应用，例如电子元件、环境能源材料、金属材料、高分子材料生物/食品等。

日立紫外清洗设备是利用紫外光和臭氧对样品表面污染物进行清理的前处理设备，主要针对样品表面的有机污染物，相比等离子清洗更加温和，对样品损伤小。清洗系统:2种清洗模式真空清洗和真空储存清洗时间范围为1min-24h（步幅1min）真空系统:无油真空系统（隔膜泵9L/min）3min内达到所需真空度真空范围为100-500torr(100步) 清洗仓:样品尺寸: 100mm (直径) x 36mm (高)适合于各型号扫描电镜有效清理区域达100 mm