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http://www.rac.ceprei.com/dongtai_details.asp?category_id=55&news_Id=231扫描电镜SEM和能谱仪EDAX的使用技巧 2005-7-1 课程对象电子工艺工程师 品质工程师 管理工程师 质检人员师资介绍:施明哲, 高级工程师,二十多年来主要从事扫描电子显微镜、X射线能量谱仪和波谱仪的操作、应用研究工作。在电子光学和真空技术方面有丰富的工作经验,在会议和刊物上发表了十多篇专业水平较高的文章,并参与编写《半导体失效机理及分析》一书。参与的科研工作曾多次获得所一等奖、二等奖;《VLSI失效分析技术》获国防科学技术二等奖。培训时间:05年9月12日~16日培训地点:电子五所院内培训费用:4000元/人.五天培训证书 中国赛宝实验室可靠性研究分析中心培训证书课时安排:日期 时间 授课内容9月12日 9:00-12:00 扫描电镜理论学习 14:00-17:00 同上9月13日 8:30-12:00 同上 14:00-17:00 同上9月14日 8:30-12:00 扫描电镜演示与答疑 14:00-17:00 能谱仪理论学习9月15日 8:30-12:00 同上 14:00-17:00 同上9月16日 8:30-12:00 同上 14:00-17:00 能谱仪演示与答疑联系人:韩越,李华 电话:020-87236986 传真:020-87237185网址:www.rac.ceprei.com EMAIL: han@ceprei.com培训报名表单位名称 专业领域 参加课程 联系人工作部门/职位联系电话传真Email参加人数 备注 说明:1,请详细填写报名表格,发传真或Email给我们。2,收到您的报名表后,本中心客户代表会致电给您进一步确认培训细则。3,现场以现金或支票方式支付1)费用包括:培训费、资料费、证书费、午餐费2)时间安排 报到:9月12日上午8:00~8:304,食宿自理,需要在广州住宿的客户,我室可以帮忙联系酒店:电子五所招待所:020-87237064 标准双人间:168元/天. 普通三人间:118元/天.课程内容提纲 第一部分:扫描电镜第一章:扫描电镜1.1 慨论1.2扫描电镜原理1.3扫描电镜结构1.4扫描电镜的分辨率1.5扫描电镜图像的形成第二章:高分辨扫描电子显微镜2.1 场发射扫描电子显微镜2.2 SE和BSE之差做为信号的方式2.3 工作距离2.4 使用强磁物镜的方式第三章:扫描电子显微镜的实践3.1 扫描电子显微镜的操作3.2 扫描电子显微镜图像的毛病3.3 扫描电子显微镜的保养3.4 扫描电子显微镜的安装条件3.5 扫描电子显微镜的验收与维护3.6小结第四章:计算机图像演示第二部分:能谱分析第一章、引 言第二章、EDS系统的工作原理1.系统概述2.吸收和处理过程3.计数率的考虑4.谱仪的分辨率第三章、X 射线的产生和与物质的相互作用1.萤光产额2.连续辐射的产生3.莫塞莱定律X射线定性分析4.X射线的吸收5.二次发射(萤光)第四章、X射线测量第五章、能量定性分析1.检出限2.探测器的效率3.空间分辨率3.谱仪分辨率4.伪峰(“artifact”peaks)5.定性分析结果的表示方法第六章、电子显微镜的操作及其参数的选择1.加速电压2.电子源3.孔径光栏选择4.镜筒的合轴5.样品/探测器的几何条件第七章、定 量 分 析1.脉冲计数统计误差2.块状试样的定量分析第八章、能谱的定性和定量分析的方法与步骤1.定性分析概述2.定量分析概述第九章、能谱失真与杂散幅射 1.谱峰的失真2.背底的失真3.杂散辐射第十章、能谱的验收与维护第三部分:实际操作
扫描电镜SEM和能谱仪EDAX的使用技巧主办单位: 中国赛宝实验室可靠性研究分析中心培训时间:2007年10月15日-18日培训费用:4000元/人.四天(含培训费、证书费、资料费、正餐费)( 每单位两人以上可有折扣)培训证书: 中国赛宝实验室可靠性研究分析中心培训证书课程对象:电镜操作工程师 电子工艺工程师 品质工程师 管理工程师 质检人员培训报名中心:报名电话:020-87236986-212 传真:020-87237185Email:xiongey@ceprei.com 联系人:熊小姐【主讲专家】施明哲, 中国赛宝实验室(信产部电子第五研究所)可靠性研究分析中心高级工程师,三十年来主要从事扫描电子显微镜、X射线能量谱仪和波谱仪的操作、应用研究工作。是当前扫描电镜行业广泛知名的专家,在电子光学和真空技术方面有丰富的工作经验,在会议和刊物上发表了十多篇专业水平较高的文章,并参与编写《半导体失效机理及分析》一书。参与的科研工作曾多次获得所一等奖、二等奖;获国家级技术进步二等奖二次,三等奖一次。课时安排:日期时间授课内容10月15日8:30-12:00扫描电镜理论学习14:00-17:0010月16日8:30-12:0014:00-17:00扫描电镜演示与答疑10月17日8:30-12:00能谱仪理论学习14:00-17:0010月18日8:30-12:0014:00-17:00能谱仪演示与答疑课程内容提纲 第一部分:扫描电镜第一章、扫描电镜1.1 慨论1.2扫描电镜原理1.3扫描电镜结构1.4扫描电镜的分辨力1.5扫描电镜图像的形成第二章、高分辨扫描电子显微镜2.1 场发射扫描电子显微镜2.2 SE和BSE之差做为信号的方式2.3 工作距离2.4 使用强磁物镜的方式第三章、扫描电子显微镜的实践3.1 扫描电子显微镜的操作3.2 扫描电子显微镜图像的毛病3.3 扫描电子显微镜的保养3.4 扫描电子显微镜的安装条件3.5 扫描电子显微镜的验收与维护3.6小结第四章:电镜图像演示及答疑第二部分:能谱分析第一章、引 言第二章、EDS系统的工作原理1.系统概述2. 吸收和处理过程3.计数率的考虑4.谱仪的分辨力第三章、X 射线的产生和与物质的相互作用1.萤光产额2.连续辐射的产生3.莫塞莱定律X射线定性分析4.X射线的吸收5.二次发射(萤光)第四章、X射线测量第五章、能量定性分析1.检出限2.探测器的效率3.空间分辨力3.谱仪分辨力4. 伪峰(“artifact”peaks)5.定性分析结果的表示方法第六章、电子显微镜的操作及其参数的选择1.加速电压2.电子源3.孔径光栏选择4.镜筒的合轴5.样品/探测器的几何条件第七章、定量分析1.脉冲计数统计误差2.块状试样的定量分析第八章、能谱的定性和定量分析的方法与步骤1.定性分析概述2.定量分析概述第九章、能谱失真与杂散幅射 1.谱峰的失真2.背底的失真3.杂散辐射第第十章、能谱的验收与维护第三部分:实际操作及答疑[img]http://www.instrument.com.cn/bbs/images/affix.gif[/img][url=http://www.instrument.com.cn/bbs/download.asp?ID=65572]报名表[/url][color=red]【由于该附件或图片违规,已被版主删除】[/color]
信息产业部电子第五研究所(中国赛宝实验室)将举办《扫描电镜SEM和能谱仪EDAX的使用技巧研讨班》。欢迎大家参加《扫描电镜SEM和能谱仪EDAX的使用技巧研讨班》课程对象电镜操作人员 电子元器件失效分析工程师 电子工艺工程师 品质工程师师资介绍:施明哲, 高级工程师,二十多年来主要从事扫描电子显微镜、X射线能量谱仪和波谱仪的操作、应用研究工作。在电子光学和真空技术方面有丰富的工作经验,在会议和刊物上发表了十多篇专业水平较高的文章,并参与编写《半导体失效机理及分析》一书。参与的科研工作曾多次获得所一等奖、二等奖;《VLSI失效分析技术》获国防科学技术二等奖。培训时间:06年9月18日——22日培训地点:电子五所院内培训费用:4000元/人.五天培训证书 中国赛宝实验室可靠性研究分析中心培训证书课时安排:日期时间授课内容9月18日9:00-12:00扫描电镜理论学习14:00-17:009月19日8:30-12:0014:00-17:009月20日8:30-12:00能谱仪理论学习14:00-17:009月21日8:30-12:0014:00-17:009月22日8:30-12:00扫描电镜/能谱仪演示与答疑14:00-17:00扫描电镜/能谱仪实际操作与典型照片讲解联系方式:联系人:韩越,李华 电话:020-87236986 传真:020-87237185网址:www.rac.ceprei.com EMAIL: han@ceprei.com培训报名表单位名称专业领域参加课程联系人工作部门/职位Email联系电话传真参加人数备注说明:1,请详细填写报名表格,发传真或Email给我们。2,收到您的报名表后,本中心客户代表会致电给您进一步确认培训细则。3,现场以现金或支票方式支付1)费用包括:培训费、资料费、证书费、午餐费,食宿自理。2)时间安排 报到:9月18日上午8:00—9:004,需要在五所招待所住宿的客户,可以联系:020-87237064,标准双人间:168元/天。课程内容提纲 第一部分:扫描电镜第一章:扫描电镜1.1 慨论1.2扫描电镜原理 1.3扫描电镜结构1.5扫描电镜的分辨率1.6扫描电镜图像的形成第二章:高分辨扫描电子显微镜2.1 场发射扫描电子显微镜2.2 SE和BSE之差做为信号的方式2.3 工作距离 2.4 使用强磁物镜的方式第三章:扫描电子显微镜的实践3.1 扫描电子显微镜的操作3.2 扫描电子显微镜图像的毛病3.3 扫描电子显微镜的保养3.4 扫描电子显微镜的安装条件3.5 扫描电子显微镜的验收与维护3.6小结第四章:计算机图像演示第二部分:能谱分析第一章、引 言第二章、EDS系统的工作原理1.系统概述2.吸收和处理过程3.计数率的考虑4.谱仪的分辨率第三章、X 射线的产生和与物质的相互作用1.萤光产额2.连续辐射的产生3.莫塞莱定律 X射线定性分析4.X射线的吸收5.二次发射(萤光)第四章、X射线测量第五章、能量定性分析1.检出限2.探测器的效率3.空间分辨率3.谱仪分辨率4.伪峰(“artifact”peaks)5.定性分析结果的表示方法第六章、电子显微镜的操作及其参数的选择1.加速电压2.电子源3.孔径光栏选择4.镜筒的合轴5.样品/探测器的几何条件第七章、定 量 分 析1.脉冲计数统计误差2.块状试样的定量分析: 第八章、能谱的定性和定量分析的方法与步骤1.定性分析概述2.定量分析概述第九章、能谱失真与杂散幅射 1.谱峰的失真2.背底的失真3.杂散辐射第十章、能谱的验收与维护第三部分:实际操作