自动次元测量仪

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自动次元测量仪相关的厂商

  • 东莞忠仪测量仪器有限公司是一家集自主研发,代理销售,技术培训,信息咨询及维修服务於一体的高科技企业。公司与多家零售商和代理商建立了长期稳定的合作关系。為国内的生產加工企业和厂家提供质量可靠的各类仪器设备和专业维修服务,自成立以来凭著良好的信誉、优良的產品品质、热情周到的售后服务赢得了广泛客户的信赖与支持。经长期努力以来,公司集累了一批具有良好素质和专业技术丰富的维修及销售工程师,能及时為您提供最优惠快捷的专业服务。公司主要经营项目如下:1.日本东京光电子(TOE)激光镭射测径仪。2.日本尼康(Nikon)工业测量仪器:投影仪、工具显微镜、工业自动影像仪、高度计,3.日本三丰(Mitutoyo)系列:三坐标、投影仪、工具显微镜、表面粗糙度仪、真圆度测定机、轮廓度测量仪,三丰镭射测定机系列,。4.日本三丰(Mitutoyo)小量具系列:表盘、数显及游标卡尺、分厘卡、厚薄计、杠桿量表、深度规、高度规、高度仪、伸缩规、形状类测针等。5.日本东京精密(ACCRETECH)表面粗糙度仪、真圆度测定机、轮廓度测量仪、形状类测针等。6.瑞士(Trimos)/(TESR)系列各类精密量具,一维/二维精密测高仪,精密长度测长仪. 三维三坐标测量仪,投影仪等等及其它种类精密量测仪器。7.日本AIKOR数显推拉力计系列、手动荷重仪系列(HF-2S)、自动曲线荷重仪系列(1305VR)、硬度计系列的销售和维修、荷重元换新及维修。8.万濠(Rational)万濠投影机、万濠影像量测仪、金像显微镜。9.专业研发量具数据采集管理软件。10.各类进口/国产仪器升级,年度保养,专业维修服务。 本公司销售仪器广泛应用於电子、航空、五金、塑胶、橡胶、模具、硅橡胶按键、油墨涂料等行业,我们不但為客户提供优质的仪器设备,还将通过做好从销售到售后服务的每一个环节来让客户感受到我们细致入微的服务。 公司宗旨:诚信 协作 务实 迅速.
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  • 东莞市正盛测量仪器有限公司位于模具制造之都广东东莞长安。公司主要专营德国ITP测针 精密测量仪器及配件,机床设备及配件,电子产品及配件,仪器耗材等产品,致力于为客户提供测量仪器方便专业的咨询,力求成为客户可信赖的伙伴。
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  • 昆山赛万腾测量仪器有限公司是一家从事三坐标测量机、影像测量仪生产及销售的资深企业,行业经验30年,市场遍布全球。 团队主要成员涉足计量行业二十余年,同中国三坐标测量行业一起成长,经过多年的不懈努力积累了丰富的行业经验,依托科学严谨的管理体系,配备完善的生产手段和检测条件,测量仪器在出厂前都经过了严格的循环检测以确保每一台仪器应用稳定。可广泛应用于航空航天、国防军工、模具制造、电子、塑胶、精密零部件加工、汽车及零配件生产等行业。 公司十分注重科技创新和新产品研发,根据国际市场发展趋势研发的各类新产品,始终领先于同行业的同类产品。公司自创立之日起即与德国专业公司进行设计、品质管理、生产、人才培训等方面的密切合作,为公司长远的发展奠定了坚实的基础。 赛万腾决心在任何情况下都只生产和销售高品质、性能卓越的测量仪器。
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自动次元测量仪相关的仪器

  • 二次元影像测量仪,自动影像测量仪,手动影像测量仪二次元影像测量仪用途:该仪器以二维测量为主,包括点、线、圆、矩形等几何元素和零件的长度、角度、轮廓、外形及表面形状的测量,增加探针可实现三维测量。同时,全自动影像测量仪还具备3D影像测高功能。 二次元影像测量仪特点:1、光学系统品质优良,影像明亮清晰,图像还原性好 2、X、Y向采用空气轴承,花岗石导向,可长时间工作,并保证了机械系统的精确稳定;3、工作台使用德国无牙螺杆和滚珠,丝杆传动;4、环形LED冷光源,使用寿命长,测量时不会产生热变形;5、三轴采用日本松下伺服电机传动;6、采用天然花岗石底坐和立柱,稳定性强,硬度高, 不易变形。二次元影像测量仪技术参数:型号ASIDA6050A ASIDA 8060ASIDA120100AASIDA220180A测量行程(X.Y.Z)600x500x200mm800x600x200mm1200x1000x200mm2200x1800x200mm玻璃载物台尺寸650x550mm860x660 mm1400x1100mm2300x1900mm玻璃载物台30Kg机台底座立柱材料00级花岗石物镜工作距离90mm物镜放大倍率0.7X~5X 视频放大倍率25X~180X光栅尺分辨率≤0.001mmX/Y线性精度E2≤±(2.5+L/200)um≤±(3+L/150)um重复测量精度≤±3um整机重量1800kg2000kg3800kg7500kg应用软件AISDA VMA 3.00.01测量软件(简体、繁体、英文)数据输出格式DXF、EXCEL、WORD等,具有自定义输出格式
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  • 二次元影像测量仪,自动影像测量仪,手动影像测量仪二次元影像测量仪用途:该仪器以二维测量为主,包括点、线、圆、矩形等几何元素和零件的长度、角度、轮廓、外形及表面形状的测量,增加探针可实现三维测量。同时,全自动影像测量仪还具备3D影像测高功能。 二次元影像测量仪特点:1、光学系统品质优良,影像明亮清晰,图像还原性好 2、X、Y向采用空气轴承,花岗石导向,可长时间工作,并保证了机械系统的精确稳定;3、工作台使用德国无牙螺杆和滚珠,丝杆传动;4、环形LED冷光源,使用寿命长,测量时不会产生热变形;5、三轴采用日本松下伺服电机传动;6、采用天然花岗石底坐和立柱,稳定性强,硬度高, 不易变形。二次元影像测量仪技术参数:型号ASIDA6050A ASIDA 8060ASIDA120100AASIDA220180A测量行程(X.Y.Z)600x500x200mm800x600x200mm1200x1000x200mm2200x1800x200mm玻璃载物台尺寸650x550mm860x660 mm1400x1100mm2300x1900mm玻璃载物台30Kg机台底座立柱材料00级花岗石物镜工作距离90mm物镜放大倍率0.7X~5X 视频放大倍率25X~180X光栅尺分辨率≤0.001mmX/Y线性精度E2≤±(2.5+L/200)um≤±(3+L/150)um重复测量精度≤±3um整机重量1800kg2000kg3800kg7500kg应用软件AISDA VMA 3.00.01测量软件(简体、繁体、英文)数据输出格式DXF、EXCEL、WORD等,具有自定义输出格式
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  • 中图仪器Novator二次元影像测量仪自动测量具备多种测量功能,包括表面尺寸、轮廓、角度与位置、形位公差、3D空间形貌与尺寸结构等的精密测量。其线激光3D扫描功能,可实现3D扫描成像和空间测量;点激光线扫描功能,可输出断面高度、距离等二维尺寸做分析。从精确测量到质量控制,从自动化检测到无损检测,Novator二次元影像测量仪自动测量基于自动边缘提取、自动修剪、自动对焦、测量合成、图像合成等人工智能技术,可以自动抓取数据点,测量点、线、圆、弧、椭圆、矩形等几何特征,自动分析测量特征的各种参数,如宽度、直径、位置、直线度、圆锥度、圆柱度等各种几何尺寸。测量功能1.量测工具:扫描提取边缘点、多段提取边缘点、圆形提取边缘点、椭圆提取、框选提取轮廓线、聚焦点、最近点等。2.可测几何量: 点、线、圆(圆心坐标、半径、直径)、圆弧、中心、角度、距、线宽、孔位、孔径、孔数、孔到孔的距离、孔到边的距离、弧线中心到孔的距离、弧线中心到边的距离、弧线高点到弧线高点的距离、交叉点到交叉点的距离等。3.构建特征:交点、中心点、极值点、端点、两点连线、平行线、垂线、切线、平分线、中心线、线段融合、半径画圆、三线内切圆、两线半径内切圆等。4.形位公差:直线度、圆度、轮廓度、位置度、平面度、对称度、垂直度、同心度、平行度等形位公差评定。5.坐标系:仪器坐标系、点线、两点 X、两线等工件坐标系;图像配准坐标系;可平移、旋转、手工调整坐标系。6.快速工具:R角、水平节距、圆周节距、筛网、槽孔、轮廓比对、弹簧、O型圈等特殊工具快速测量。7.支持公差批量设置、比例等级划分、颜色自定义管理。VisionX测量软件支持多种轮廓测量和3D空间测量,无缝连接2D/3D混合测量。还有特殊化应用功能以及SPC分析功能,以及单视野闪测功能等。由于不同行业和领域的测量需求各不相同,中图影像仪功能的研发和应用也可以根据具体情况进行定制和改进。产品优势稳固移动平台、高测量精度1.精密大理石机台,稳定性好,精度高。2.精密线性滑轨和伺服控制系统,超低分贝静音级运动。3.三轴全自动可编程检测,实现复杂特征批量检测。激光扫描成像、3D复合测量1.支持点激光轮廓扫描测量,进行高度方向上的轮廓测量。2.支持线激光3D扫描成像,可实现3D扫描成像和空间测量。3.VisionX测量软件支持多种轮廓测量和3D空间测量,无缝连接2D/3D混合测量。频闪照明光源、高速硬件飞拍1.具备频闪照明光源,支持频闪和普通双模式。2.支持飞拍模式测量,测量效率提升5~10倍。3.融入中图闪测仪的拼接测量功能,发挥综合优势。可更换RGB表光、独立升降表光1.可更换RGB表光和白色表光,适应多种复杂颜色和材料表面。2.表光可独立升降,更好的观察样品表面。3.支持六环八分区表面光、透射光、同轴光分段编程控制。自动测量,批量更快1.程序匹配工件坐标系,自动执行测量流程。2.支持CAD图纸和Gerber图纸导入,坐标系匹配测量。3、CNC固定坐标系模式下,可快速精确地进行批量测量。操作简单,轻松无忧1.具备大幅面导航相机,快速实现工件定位。2.具有镜头防撞功能,轻松无忧。3.一体化操作界面,任何人都能轻松设定和测量。Novator二次元影像测量仪自动测量仪器特点是可以自动抓取产品的边界和表面,尤其是在测量一些弱边缘特征(如过渡曲线、圆角加工等)时能完成自动抓取。结合专用测量软件对测绘要素数据进行处理、评价和输出。在保证精度的前提下,测量效率更高。频闪照明和飞拍功能可进行高速测量,测量效率提升5~10倍。如在半导体领域,针对含有小特征多尺寸且无序排列的样品测量,Novator影像仪的飞拍测量模式,在平台快速移动过程中就完成特征提取,使测量流程更流畅,测量时间更短。测量外形尺寸320mm×160mm,含有25920个圆的模具,仅需耗时5分钟,针对此类特征密集排布型工件,飞拍测量充分发挥其优势,对比传统影像测量仪,测量时长由 1小时缩短至 5 分钟,测量效率提升 10 余倍,且测量精度无损失。部分技术指标型号Novator432行程范围X(mm)400Y(mm)300Z(mm)200图像传感器高清彩色工业摄像机显示器24英寸 LCD显示器(1920×1080)放大倍率光学放大0.6~8.0X 影像放大17~232X照明系统透射光远心透射照明(绿色)表面光6环8分区分割照明(白光);选配,可更换RGB光源同轴光LED光3D扫描成像测量Z向测量范围5mm扫描宽度30mm支持飞拍测量模式支持支持导航相机支持传感器配置选配,(1)接触式探针;(2)白光共焦;(3)三角激光外形尺寸(mm)860*1350*1670仪器重量(Kg)650恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。
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自动次元测量仪相关的资讯

  • 沈阳自动化研究所IDE团队成功研出大型圆柱度测量仪
    近日,中国科学院沈阳自动化研究所智能检测与装备研究室IDE团队在国家重点研发计划项目的支持下,经过艰苦攻关,创新性提出了高负载大可变量程的大型圆柱度测量新方法,并依此方法研发了大型圆柱度测量仪。大型零件圆柱度测量仪样机圆柱度是精密回转类零件重要的精度指标之一。目前,圆柱度测量仪大多通过接触式传感器获取被测目标信息,采用精密转台回转的方式实现测量,如英国Talyrond公司研制的最大测量直径达1.6米的1600型圆柱度测量仪。接触式传感器的可形变量极小,在圆柱度测前定心调整过程中,大偏心距累积的运动定位误差极易超出传感器的极限行程而造成传感器损坏。受被测对象的尺寸、重量及高精密转台的制造技术等因素的影响,过大的载荷将严重影响精密轴系的回转精度,所产生的随机误差难以通过算法有效补偿,无法满足大型工件的高精度测量需求。对于直径超过2米的大型轴承套圈,由于零件尺寸巨大、圆柱度测量精度要求高以及测量环境的局限性,现有的接触式传感器与转台回转的测量方式难以满足其测量要求。因此,亟需研究针对大型回转类零件圆柱度的现场快速精密测量方法及相应的评定技术。沈阳自动化所智能检测与装备研究室IDE团队提出的高负载大可变量程的大型圆柱度测量新方法采用具有精密、隔震等特性的气浮驱动技术,配合精密耦件,通过测前快速自适应偏置调整技术实现工件测前自动定心,采用精密测头回转的方式快速获取有效测量信息。在测量原理方面,提出了更完善的圆柱度测量模型及误差分离算法,测前定心与实际测量采用分立的运动控制系统,既解决了大型工件的载荷问题,又能够通过模型参数拟合的方式实现偏心、测量线偏置、被测圆柱轴倾斜等误差的精准分离;测量系统采用对称式双测头测量方案,综合了非接触式位移传感器安全、柔性的特点与接触式位移传感器精密、可靠的特性。本方法的提出突破了传统测量方法在大型圆柱度测量过程中的局限性,实现了大型回转类零件圆柱度测前自适应偏置调整和现场快速精密测量。目前,该研发团队已完成大型圆柱度测量仪原理样机的研发工作,并在《光学精密工程》《中国激光》等高质量期刊发表相关论文2篇,申请发明专利4项。经过国家权威计量专家及天津计量院的检定,大型圆柱度测量仪样机的回转精度为42.6nm,Z向导轨精度139nm/100mm,最大测量直径为2500mm,且其测量范围可根据使用需求进一步拓展。这意味着该原理样机的核心技术指标已达到国内领先、国际先进水平。本项目的实施将进一步夯实我国大型轴承及以大型轴承为核心基础部件的高端装备的制造技术基础,填补直径大于2米的大型轴承圆柱度测量仪的国内空白,掌握大型圆柱度测量仪的核心技术,提高轴承及相关行业的自主创新能力,为我国高铁、风电和高档数控机床等高端装备制造业的进一步发展提供保障能力,对我国从制造大国迈向制造强国,具有重要的现实意义和巨大的社会经济效益。
  • 中标喜讯:浙江西湖高等研究院《全自动接触角测量仪》项目成功中标
    中标喜讯:德国Dataphysics公司研发生产的OCA25全自动接触角测量仪在浙江西湖高等研究院《全自动接触角测量仪》招标项目中成功中标,将为该院的表面科学研究领域服务。 Dataphysics公司生产的OCA25(视频光学)全自动接触角测量仪是经典的一款科研级仪器,已应用于各个国家很多科研实验室,具有功能强大,扩展性强,精度高,自动化程度高等特点。后期北京奥德利诺仪器有限公司将提供高质量的售后服务。 中标结果公告网站:http://www.wias.org.cn/chinese-detail-513-9700.html
  • 聚焦5G高品质系列设备之“自动线宽测量仪”
    现如今5G基站建设如火如荼5G正在走进家家户户其在通讯、无人驾驶等方面有着广阔的应用空间普及率也在不断提升《中国移动经济发展报告2020》指出预计2025年中国5G普及率将达到50% 不管是基站建设还是5G应用都拉动了5G高频高速线路板的需求5G全新赛道的开启为PCB厂商提供了新的机遇但也对技术、品质提出了更高的要求 正业科技全新自动线宽测量仪(XK32A)技术提升,硬件、软件全面升级可用于5G及高端线路板的检测为品质保障、安全使用保驾护航 正业科技全新自动线宽测量仪(XK32A) 正业科技全新自动线宽测量仪(XK32A)主要应用于5G高端线路板及普通线路板的内、外层半成品经显影蚀刻后(上绿油前)线路的上幅及下幅宽度、线距,圆孔(相机视野范围内)检查和分析。 正业科技线宽测量仪研发已超过 10 年线宽系列产品在PCB行业销售已超过 400 台技术过硬!运行稳定!质量可靠! 第四代“新”升级 工作原理 通过影像成像系统及光源从上表面垂直于被测板,呈显影像(相机实时拍图)感测,并将图像传送至电脑测量软件,通过软件测量工具分析图像的“线宽/线距/线宽上下幅/圆/金手指线宽等”标准公差值对比,从而判断被测板上的测量值OK或NG。 成像原理 产品优势 检测实例 技术参数

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自动次元测量仪相关的资料

自动次元测量仪相关的试剂

自动次元测量仪相关的论坛

  • 目前市面的二次元测量仪、三次元测量仪、测量投影仪与五次元一键式测量仪的区别?

    随着中国市场的科技技术日新月异,制造业对产品的精度要求越来越高,人为测量已无法满足客户要求,大家都开始借助仪器测量。目前市面上对于尺寸的测量主要是有二次元及三次元等。那么这些测量仪的区别在哪儿呢?目前市面的二次元测量仪、三次元测量仪、测量投影仪与五次元一键式测量仪的区别??? 现在市场的影像尺寸测量仪,有三次元测量仪、二次元测量仪和测量投影仪。而二次元测量仪跟测量投影仪难以区别,都是光学检测仪器,在结构和原 理上二次元测量仪通常是连接PC电脑上同时连同软件一起进行操作,精度在0.002MM以内,测量投影仪内部是自带微型电脑的,因此不需要再连接电脑,但在精度上却没有二次元测量仪那么精准,影像测量仪精度一般只能达0.01MM以内。三次元测量仪是在二次元测量的基础上加一个超声测量或红外测量探头,用于测量被测物体的厚度以及盲孔深度等,这些往往二次元测量仪无法测量,但三次元测量仪也有一定的缺陷:Ø 测高探头采用接触法测量,无法测量部分表面不 能接触的物体;Ø 探头工作时,需频繁移动座标,检测速度慢;Ø 因探头有一定大小,因些无法测量过小内径的盲孔;Ø 探头因采用接触法测量,而接触面有一 定宽度,当检测凹凸不平表面时,测量值会有较大误差,同时一般测量范围都较小。 光纤同轴位移传感器以非接触方式测量高度和厚度,解决了过去三角测距方式中无法克服的误差问题,因此开发出可以同轴共焦非接触式一键测量的3D轮廓测量设备成为亟待解决的热点问题。 针对现有技术的上述不足,提供五次元测量设备及其测量计算方法,具有可以非接触检测、更高分辨率、检测速率更快、一键式测量、更高精度等优点。五次元测量仪通过采用大理石做为检测平台和基座,可获得更高的稳定性;内置软件的自动分析,可一键式测量,只需按一个启动键,既可完成尺寸测量,使用方便;采有非接触式光谱共焦测量具有快速、高精度、可测微小孔、非接触等优点,可测量Z轴高度,解决测高探头接触对部分产品造成损伤的问题;大市场光学系统可一次拍取整个工件图像,可使检测精度更高,速度更快。并且可以概据客户需要,进行自动化扩展,配合机械手自动上下料,完全可做到无人化,并可进行 SPC 过程统计。为客户提供高精度检测的同时,概据 SPC 统计数据,实时对生产数据调整, 提高产品质量,节约成本。

  • 二次元影像测量仪在工作中的广泛应用性

    二次元影像测量仪在工业生产中,有着广泛的应用,对很多行业的工件都可以进行测量,同时,在影像测量仪的测量中,也有着许多的测量方式,通过这些方式,影像测量仪才能顺利的完成测量的任务。 以下介绍精密检测仪器二次元影像测量仪的两个测量方式,他们分别是轮廓测量和表面测量。  1、轮廓测量  顾名思义就是影像测量仪测量工件的轮廓边缘,一般采用底部的轮廓光源,需要时也可加表面光做辅助照明,让被测边线更加清晰,有利于测量。  2、表面测量  表面测量可以说是二次元影像测量仪的主要功能,凡是能看到的物体表面图形尺寸,在表面光源照明下,影像测量仪几乎全部能测量,电路板上的线路铜箔尺寸、IC电路等,当被测物件是黑色塑料、橡胶时,影像测量仪也能轻易测量尺寸。http://www.zhengyekeji.net/include/upload/ckeditor/images/1319709450197084656155029.jpg  二次元影像测量仪(又名影像式测绘仪)是建立在CCD数位影像的基础上,依托于计算机屏幕测量技术和空间几何运算的强大软件能力而产生的。计算机在安装上专用控制与图形测量软件后,变成了具有软件灵魂的测量大脑,是整个PCB实验室解决方案设备的主体。

  • 全自动影像测量仪的技术

    全自动影像测量仪是在数字化影像测量仪基础上发展起来的人工智能型现代光学非接触测量仪器,其承续了数字化仪器优异的运动精度与运动操控性能,融合机器视觉软件的设计灵性,属于当今最前沿的光学尺寸检测设备。全自动影像测量仪能够便捷而快速进行三维坐标测量与SPC结果分类,满足现代制造业对尺寸检测日益突出的要求:更高速、更便捷、更精准的测量需要,解决制造业发展中的又一个瓶颈技术。全自动影像测量仪基于机器视觉的自动边缘提取、自动理匹、自动对焦、测量合成、影像合成等人工智能技术,具有“点哪走哪”自动测量、CNC走位自动测量、自动学习批量测量,影像地图目标指引,全视场鹰眼放大等优异功能。同时,基于机器视觉与微米精确控制下的自动对焦过程,可以满足清晰造影下辅助测高需要(亦可加入触点测头完成坐标测高)。支持空间坐标旋转的优异软件性能,可在工件随意放置的情况下进行批量测量,亦可使用夹具进行大批量扫描测量与SPC 结果分类。全自动影像测量仪是影像测量技术的高级阶段,具有高度智能化与自动化特点。其优异的软硬件性能让坐标尺寸测量变得便捷而惬意,拥有基于机器视觉与过程控制的自动学习功能,依托数字化仪器高速而精准的微米级走位,可将测量过程的路径,对焦、选点、功能切换、人工修正、灯光匹配等操作过程自学并记忆。全自动影像测量仪可以轻松学会操作员的所有实操过程,结合其自动对焦和区域搜寻、目标锁定、边缘提取、理匹选点的模糊运算实现人工智能,可自动修正由工件差异和走位差别导致的偏移实现精确选点,具有高精度重复性。从而使操作人员从疲劳的精确目视对位,频繁选点、重复走位、功能切换等单调操作和日益繁重的待测任务中解脱出来,成百倍地提高工件批测效率,满足工业抽检与大批量检测需要。最新推出的全自动影像测量仪具有人工测量、CNC扫描测量、自动学习测量三种方式,并可将三种方式的模块叠加进行复合测量。可扫描生成鸟瞰影像地图,实现“点哪走哪”的全屏目标牵引,测量结果生成图形与影像地图图影同步,可点击图形自动回位、全屏鹰眼放大。可对任意被测尺寸通过标件实测修正造影成像误差,从而提高关键数据的批测精度。全自动影像测量仪人机界面友好,支持多重选择和学习修正,其优异的高速测量可达1500mm/min,重合精度: ±2μm,线性精度:±(3+L/150)μm。优秀性能使其在各种精密电子、晶圆科技、刀具、塑胶、精密零件、弹簧、冲压件、接插件、模具、军工、二维抄数、绘图、工程开发、五金塑胶、PCB板、导电橡胶、粉末冶金、螺丝、钟表零件、手机、医药工业、光纤器件、汽车工程、航天航空、高等院校、科研院所等领域具有广泛运用空间。SK全自动影像测量仪承续了SK数字化影像仪的以下技术特点:集CNC快速测量、CAD逆向测绘、图影管理于一身。运用了现代光学、计算机屏幕测量、空间几何运算和精密运动控制等前沿技术,是集光、机、电、软件为一体的高度智能化设备。具有三轴数控、点哪走哪、图影同步、实时校验、误差修正、工件随意放置、CNC快速测量等基础性能。具有极高的数字化程度,全部操作均由鼠标完成。柔和的三轴微米数控能力,实现“点哪走哪”、同步读数、人机合一;良好的人机界面将烦琐的操作过程有机集成,摆脱手摇时代的机械局限;实时非线性误差修正使其突破了传统设备中存在的精度与速度极限;便捷的CNC快速测量,通过样品实测、图纸计算、CNC 数据导入等方式建立CNC坐标数据,由仪器自动走向每一个目标点进行测量操作,数十倍于手摇式测量设备的工作能力下人员轻松高效。具有优异的高速性能,基于独有的高速位移传感技术,其±2um测量精度下的速度可达500mm/min,其工作效率是工具手摇式测量仪器的数十倍以上。位移驱动为0.1μm,位移解析度为0.4μm,重合精度达±2μm,线性精度±(3+L/150)μm,这些参数均优于传统设备和同类产品。具有空间几何运算能力,可以利用软件技术完成空间坐标系旋转和多坐标系之间的复杂换算,被测工件可随意放置,随意建立坐标原点和基准方向并得到测量值,同时在屏幕上呈现出标记,直观地看出坐标方向和测量点,使最为常见的基准测量变得十分简便而直观,也使分度盘这个机械时代的产物与摇柄一起成为历史。具有支持个性化的软件平台,具有图像保存、编辑、处理等图影管理功能。全新的测绘操作,可轻松描绘或导入CAD图形。还可根据客户需求扩充测量模块,从而满足个性化特点和综合测量的快速需要,使测量设备具有量身定做的软件灵魂。

自动次元测量仪相关的耗材

  • 雾度测量仪配件
    雾度测量仪配件能够精确测量在玻璃或硅晶圆衬底上薄膜的总透过率和漫透过率,根据公式Haze(λ)=DT(λ)/TT(λ)从而获得雾度值,测量光谱范围为400-900nm。薄膜的总透过率,总反射率,漫透过率对于太阳能光伏制造非常重要,雾度测量仪配件通过三个光谱仪测量400-900nm范围内的光谱,不需要移动或改变任何部件,保证测量精度和使用寿命。雾度测量仪配件采用模块化设计,具有高度的可拓展性,充分满足不同客户的多种需要。例如,自动光学窗口可更换,简化操作,减少用户的人工干预操作。还有厚度和反射率测量模块可集成,从而满足客户测量薄膜厚度和折射率的需求。除此之外,还可以根据用户的预算情况配备自动扫描或手动扫描的机制,可以适合任何尺寸的样品,包括面积大于1平方米的玻璃板。
  • 硅片厚度测量仪配件
    硅片TTV厚度测试仪配件是采用红外干涉技术的测量仪,能够精确给出衬底厚度和厚度变化 (TTV),也能实时给出超薄晶圆的厚度(掩膜过程中的晶圆),非常适合晶圆的研磨、蚀刻、沉淀等应用。硅片厚度测量仪配件采用的这种红外干涉技术具有独特优势,诸 多材料例如,Si, GaAs, InP, SiC, 玻璃,石英以及其他聚合物在红外光束下都是透明的,非常容易测量,标准的测量空间分辨率可达50微米,更小的测量点也可以做到。硅片厚度测量仪配件采用非接触式测量方法,对晶圆的厚度和表面形貌进行测量,可广泛用于:MEMS, 晶圆,电子器件,膜厚,激光打标雕刻等工序或器件的测量,专业为掩膜,划线的晶圆,粘到蓝宝石或玻璃衬底上的晶圆等各种晶圆的厚度测量而设计,同时,硅片厚度测试仪还适合50-300mm 直径的晶圆的表面形貌测量。硅片厚度测试仪配件具有探针系统配件,使用该探针系统后,硅片TTV厚度测试仪可以高精度地测量图案化晶圆,带保护膜的晶圆, 键合晶圆和带凸点晶圆(植球晶圆),wafers with patterns, wafer tapes,wafer bump or bondedwafers 。硅片TTV厚度测试仪配件直接而精确地测量晶圆衬底厚度和厚度变化TTV,同时该硅片厚度测量仪能够测量晶圆薄膜厚度,硅膜厚度(membrane thickness) 和凸点厚度(wafer pump height).,沟槽深度 (trench depth)。
  • 多功能翘曲度测量仪配件
    多功能翘曲度测量仪配件是孚光精仪公司进口的全球领先的翘曲度检测仪器,一套翘曲度测试仪器可以测量:热沉,晶圆(wafer),太阳能电池和硅片翘曲度,应力以及表面形貌。多功能翘曲度测量仪配件是特别为半导体晶圆(wafer)和太阳能电池(solar cell)的翘曲度(warp) 和弯曲度(bow)以及表面形貌(topography)的测量而设计,可以测量晶圆翘曲度(wafer warpage) 和晶圆表面形貌, 晶圆应力,硅片张力,太阳能电池量子效率,既适合科研单位使用,也适合工业客户大产品、高效率的晶圆翘曲度和表面形貌的检测的需要。我们还根据不同晶圆类型提供如下两种硅片翘曲度测量仪:1. 非反射型:适合晶圆表面覆盖晶圆保护膜/胶带(wafer tape),图案化晶圆 /图样化晶圆(patterned wafer),粗糙的晶圆的应用;2. 高反射型: 适合晶圆表面光滑 / 镜反射的应用。多功能翘曲度测量仪配件特点:× 适合不同尺寸的晶圆检测,从0.5’‘到12' ' 的直径;* 标准检测能力为: 每小时可检测2000个晶圆或更多太阳能电池;× 同时测量多个晶圆或太阳能电池;× 测量镀膜后的晶圆或solar cell * 分析太阳能电池或晶圆应力和张力;* 对晶圆表面进行图像分析;* 测量图案化晶圆或非图案化的晶圆;* 具有太阳能电池的量子效率测量选项供选择多功能翘曲度测量仪配件参数:× 翘曲度测量范围:1-20微米;* 重复精度: 百分之0.5 (1 sigma) * 给出结果:曲率半径,晶圆弯曲高度,翘曲度,测量日期和时间;* RMS粗糙度mapping: 0.5-20A (可选项);* 光源:根据用户的应用而配备不同光源;* 探测器:高分辨率探测器阵列并配备亚像素软件;
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